JP2007017521A - 平面型光導波路作製用樹脂シート - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 112
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 112
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 81
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 159
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 claims abstract description 80
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 claims abstract description 71
- 239000012792 core layer Substances 0.000 claims abstract description 55
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 42
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 40
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 31
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 11
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 54
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- -1 polyethylene, ethylene Polymers 0.000 description 45
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 40
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 39
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 33
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 22
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 19
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 19
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 19
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 15
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 15
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 15
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 13
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 12
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 10
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 9
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 8
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N ethyl ethylene Natural products CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 7
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 6
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 6
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 6
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 5
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 5
- 238000001542 size-exclusion chromatography Methods 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 4
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N dimethylbutene Natural products CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002148 esters Chemical group 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 3
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 3
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 2
- DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 2-isocyanatoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN=C=O DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N methacryloyloxyethyl isocyanate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCN=C=O RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 2
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 1,1-dimethoxyethylbenzene Chemical compound COC(C)(OC)C1=CC=CC=C1 XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- GIMQKKFOOYOQGB-UHFFFAOYSA-N 2,2-diethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 GIMQKKFOOYOQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZZVAVMGKRNEAT-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylpropane-1,3-diol;3-hydroxy-2,2-dimethylpropanoic acid Chemical compound OCC(C)(C)CO.OCC(C)(C)C(O)=O CZZVAVMGKRNEAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRTNMMLRBJMGJJ-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylpropane-1,3-diol;hexanedioic acid Chemical compound OCC(C)(C)CO.OC(=O)CCCCC(O)=O YRTNMMLRBJMGJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMLWXYJZDNNBTD-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)-1-phenylethanone Chemical compound CN(C)CC(=O)C1=CC=CC=C1 UMLWXYJZDNNBTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOGPDSATLSAZEK-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(N)=CC=C3C(=O)C2=C1 XOGPDSATLSAZEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYUACQJONKOESH-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-prop-1-enylphenyl)propan-2-ol Chemical compound CC=CC1=CC=C(CC(C)(C)O)C=C1 YYUACQJONKOESH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 2-methylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3SC2=C1 MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)(C)C)=CC=C3C(=O)C2=C1 YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCOC(=O)C=C NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- FNKXGVCEYFZVAZ-UHFFFAOYSA-N C(CCC)OC(C(C1=CC=CC=C1)=O)C1=CC=CC=C1.C(C(C)C)OC(C(C1=CC=CC=C1)=O)C1=CC=CC=C1 Chemical compound C(CCC)OC(C(C1=CC=CC=C1)=O)C1=CC=CC=C1.C(C(C)C)OC(C(C1=CC=CC=C1)=O)C1=CC=CC=C1 FNKXGVCEYFZVAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004713 Cyclic olefin copolymer Substances 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004716 Ethylene/acrylic acid copolymer Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- JKJWYKGYGWOAHT-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) carbonate Chemical compound C=CCOC(=O)OCC=C JKJWYKGYGWOAHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDVNNDYBCWZVTI-UHFFFAOYSA-N bis[4-(ethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(NCC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(NCC)C=C1 QDVNNDYBCWZVTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N butene Natural products CC=CC IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 150000002027 dodecanoic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N n-hexene Natural products CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010450 olivine Substances 0.000 description 1
- 229910052609 olivine Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(4-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
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- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】硬化することによって平面型光導波路のクラッド層もしくはコア層を構成することのできる接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなり、硬化収縮率が5%未満である樹脂シートを平面型光導波路作製用樹脂シートとして用いる。
【選択図】 図3
Description
すなわち、スピンコート法により形成した樹脂層であっても、シートにした樹脂層であっても、その樹脂層を構成する樹脂成分がエネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーである場合、硬化収縮が大きく、その結果、積層体に反りが発生しやすくなる。従って、エネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーを使わなければ、積層体の反り発生を防止することができる。また、エネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーが含有されていても、エネルギー硬化型ポリマー以外の他の樹脂成分を併用すれば、硬化収縮を抑制することができ、その場合も積層体の反りの発生を防止もしくは抑制することができる。さらに、エネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーとエネルギー硬化型ポリマーとを同時使用すると、硬化収縮がより増幅され、得られる積層体には実用に供することのできない程の反りが発生することも確認された。
(1)平面状のコア層と該コア層を挟むように積層されている平面状の上下2層のクラッド層とからなる光導波路層が少なくとも一組積層されてなる平面型光導波路を作製するための樹脂シートであって、基板もしくはコア層もしくはクラッド層の上に貼着されることによってクラッド層もしくはコア層を構成する接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなり、前記樹脂シートの硬化収縮率が5%未満であることを特徴とする平面型光導波路作製用樹脂シート
(2)前記接着性樹脂層がエネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーと非エネルギー硬化型ポリマーとを樹脂成分として有することを特徴とする上記(1)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(3)前記接着性樹脂層が、分子内にエネルギー重合性官能基を持たないポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする上記(1)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(4)前記接着性樹脂層が、分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする上記(1)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(5)前記接着性樹脂層が非エネルギー硬化型ポリマーと分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤とを樹脂成分として有することを特徴とする上記(1)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
を提供するものである。
(6)平面状のコア層と該コア層を挟むように積層されている平面状の上下2層のクラッド層とからなる光導波路層が少なくとも一組積層されてなる平面型光導波路を作製するための樹脂シートであって、前記クラッド層およびコア層を構成する互いに屈折率が異なる2層の接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなり、前記樹脂シートの硬化収縮率が5%未満であることを特徴とする平面型光導波路作製用樹脂シート
(7)前記接着性樹脂層の少なくとも一方がエネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーと非エネルギー硬化型ポリマーとを樹脂成分として有することを特徴とする上記(6)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(8)前記接着性樹脂層の少なくとも一方が分子内にエネルギー重合性官能基を持たないポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする上記(6)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(9)前記接着性樹脂層の少なくとも一方が分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする上記(6)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
(10)前記接着性樹脂層の少なくとも一方が非エネルギー硬化型ポリマーと分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤とを樹脂成分として有することを特徴とする上記(6)に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート
を提供するものである。
本発明における平面型光導波路作製用樹脂シートは、その硬化収縮率が5%未満である必要がある。硬化収縮率が5%を超えると、硬化の際の反りが大きくなりすぎ実用上満足するものが得られないため好ましくない。
なお、本発明において、前記非エネルギー硬化型ポリマーとは、分子内にエネルギー重合性官能基を保たないポリマー及びその架橋体を意味する。
前記非エネルギー硬化型ポリマー(i)としては、例えば、ポリエチレン、エチレン/1−ブテン共重合体、エチレン/4−メチル−1−ペンテン共重合体、エチレン/1−ヘキセン共重合体、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、プロピレン/1−ブテン共重合体、ポリ1−ブテン、1−ブテン/4−メチル−1−ペンテン共重合体、ポリ4−メチル−1−ペンテン、ポリ3−メチル−1−ブテン、エチレン/環状オレフィン共重合体、環状オレフィン系樹脂などのポリオレフィン類、エチレン/酢酸ビニル共重合体、エチレン/アクリル酸共重合体またはその金属塩、エステル部分のアルキル基の炭素数が1〜20の(メタ)アクリル酸エステル(共)重合体や,エステル部分のアルキル基の炭素数が1〜20の(メタ)アクリル酸エステルと後述の活性水素を持つ官能基を有するモノマーとの共重合体などのポリ(メタ)アクリレート、ポリエチレンテレフタレート,ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、ポリパーフルオロエチレン,パーフルオロアルケニルビニルエーテル共重合体などのフッ素系樹脂、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリフェニレンオキシド、オレフィン/N−置換マレイミド共重合体、アリルカーボネート樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステルアクリレート樹脂などが挙げられる。これらのポリマーの中でも、光学的特性や加工適性の点から、ポリ(メタ)アクリレートを好ましくは用いることができる。また、これらのポリマーは1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記エネルギー硬化型重合性モノマー/オリゴマー(ii)としては、例えば、シクロヘキシル(メタ)アクリレート,2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート,ラウリル(メタ)アクリレート,ステアリル(メタ)アクリレート,イソボルニル(メタ)アクリレートなどの単官能性(メタ)アクリレート類、1,4−ブタンジオールジ(メタ)クリレート,1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート,ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート,ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート,ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート,ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート,ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート,カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート,エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート,イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート,トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート,トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート,ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート,ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート,エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート,プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート,トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート,ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート,ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどの多官能性(メタ)アクリレート類等のモノマー、ウレタンアクリレート,エポキシアクリレート,ポリエステルアクリレートなどの多官能性オリゴマーなどが挙げられる。これらの重合性モノマーは単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。
前記エネルギー重合性官能基非含有感圧性接着剤(iii)としては、アクリル系、シリコーン系、ゴム系などが使用できるが、本発明において、光学用途の面からアクリル系が好適である。アクリル系の感圧接着性樹脂としては、エステル部分のアルキル基の炭素数が1〜20の(メタ)アクリル酸エステルと、所望により得られる活性水素を持つ官能基を有する単量体および他の単量体との共重合体を好ましくは挙げることができる。
前記エネルギー重合性官能基含有感圧性接着剤(iv)としては、側鎖に重合性二重結合を有するエネルギー硬化型官能基が導入されてなる感圧接着性樹脂を用いることができ、光学的用途への適用を考慮すると、アクリル系感圧接着性樹脂が好適である。このような感圧接着性樹脂としては、例えば、前述の感圧接着性樹脂(iii)におけるアクリル系感圧接着性樹脂ポリマー鎖に、カルボン酸、イソシアネート基、エポキシ基、水酸基、アミノ基などの活性点を導入し、この活性点と重合性二重結合を有する化合物を反応させて、該アクリル系感圧接着性樹脂の側鎖に重合性二重結合を有するエネルギー硬化型官能基を導入してなるものを挙げることができる。具体的には、前述のアクリル系感圧接着性樹脂を合成する際に、カルボン酸を導入する場合には、(メタ)アクリル酸などを共重合すればよい。同様に、イソシアネート基を導入する場合には、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートなどを共重合し、エポキシ基を導入する場合には、グリシジル(メタ)アクリレートなどを共重合し、水酸基を導入する場合には、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどを共重合し、アミノ基を導入する場合には、N−メチル(メタ)アクリルアミドなどを共重合すればよい。これらの活性点と反応される重合性二重結合を有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、グリシジル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレートなどの中から、活性点の種類に応じて、適宜選択して用いることができる。このようにして感圧接着性樹脂の側鎖に前記活性点を介して重合性二重結合を有するエネルギー重合性官能基含有感圧性接着剤が得られる。
コア層 屈折率:1.36〜1.80、厚さ:0.5〜3.0μm
クラッド層 屈折率:1.35〜1.79、厚さ:1.0〜10.0μm
(1)屈折率:接着性樹脂層を積層して厚さが約45μmのフィルムとし、紫外線を照射して(リンテック株式会社製、装置名:Adwill RAD−200m/8を使用。照射条件:照度310mW/cm2、光量210mJ/cm2)硬化させた後の樹脂シートの屈折率をアッベ屈折計(株式会社アタゴ製、製品名;NAR−1T)により、光源としてナトリウムD線(波長:589nm)を用いて、温度23℃で測定した。
{(硬化後の比重−硬化前の比重)/硬化後の比重}×100(%)
(シート上に形成された凹凸の形状深さ/スタンパの形状深さ)×100(%)
この実施例1は、前記組成(A)に対応する実施例である。
n−ブチルアクリレート800gとアクリル酸200gとを酢酸エチル/メチルエチルケトン混合溶媒(重量比50:50)2000g中で反応させてアクリル酸エステル共重合体溶液(固形分濃度33.3重量%、固形分重量1,000g)を得た。この共重合体の重量平均分子量(Mw)は、サイズ排除クロマトグラフィー法(SEC法)により測定した標準ポリスチレン換算値で、約500,000であった。この共重合体は、前記組成(A)の非エネルギー硬化型ポリマー(i)に対応する組成分である。
この実施例2は、前記組成(B)に対応する実施例である。
n−ブチルアクリレート990gと4−ヒドロキシブチルアクリレート10gとを酢酸エチル溶媒5000g中で反応させてアクリル酸エステル共重合体溶液(固形分濃度16.7重量%、固形分重量1,000g)を得た。この共重合体の重量平均分子量(Mw)は、サイズ排除クロマトグラフィー法(SEC法)により測定した標準ポリスチレン換算値で、約1,500,000であった。この共重合体は、前記組成(B)のエネルギー重合性官能基非含有感圧性接着剤(iii)に対応する組成分である。
この実施例3は、前記組成(C)に対応する実施例である。
n−ブチルアクリレート520gとメチルメタクリレート200gと2−ヒドロキシエチルアクリレート280gとを、酢酸エチル/メチルエチルケトン混合溶媒(重量比50:50)1500g中で反応させて、アクリル酸エステル共重合体溶液(固形分濃度40重量%、固形分重量1,000g)を得た。
この実施例4は、前記組成(D)に対応する実施例である。
n−ブチルアクリレート800gとアクリル酸200gとを、酢酸エチル/メチルエチルケトン混合溶媒(重量比50:50)2000g中で反応させて、アクリル酸エステル共重合体溶液(固形分濃度33.3重量%)を得た。この共重合体の重量平均分子量(Mw)は、サイズ排除クロマトグラフィー法(SEC法)により測定した標準ポリスチレン換算値で、約500,000であった。また、この共重合体の固形分重量は1,000gであった。この共重合体は、前記組成(D)の非エネルギー硬化型重合性ポリマー(i)に対応する組成分である。
前記実施例1〜4では、図2に示すように、剥離フィルム11a,11b間に、コア層またはクラッド層のいずれか1層を形成するための単層の接着性樹脂層12を有する構成の樹脂シート13について説明した。この実施例5は、図3に示すように、コア層を形成するための接着性樹脂層14と、クラッド層を形成するための接着性樹脂層15との2層を剥離フィルム11aの上に積層し、露出側を他の剥離フィルム11bで保護した2層構成の樹脂シート16について説明する。
前記実施例5で作製した2層構成の樹脂シート16のコア層側の剥離フィルム11aを剥がし、図4に示すように、厚さ100μmのノルボルネン系光学フィルム(JSR株式会社製、商品名:アートン)20上に貼り付けた。さらに、クラッド層側の剥離フィルム11bを剥がし、ここにホログラムパターンが刻まれたポリメチルメタクリレート製スタンパ21をローラーで押し当て、スタンパ21を押し当てたままでスタンパ側から紫外線を照射して硬化させた。硬化後、スタンパ21を剥離することによって、コア層14a上のクラッド層15aにホログラム情報を持つ凹凸形状を転写した。この時の紫外線照射量は500mJ/cm2であった。PMMAスタンパ21を剥がした後、その露出面に再度2層構造シート16を重ね、次の層のパターンが刻まれたスタンパを押し当て、紫外線照射するという操作を繰り返し、合計で10層の異なるホログラムパターンが付与されたコア層を有する多層ホログラム記録媒体用の積層体を作製した。なお、最上層に位置する層17には凹凸形状の転写は行わない。
この比較例1は、樹脂シートの接着性樹脂層として、本発明の範囲から除外している「エネルギー硬化型重合性モノマー/オリゴマーとエネルギー硬化型ポリマーと同時使用する」組成を用いた例示である。
この比較例2は、従来のスピンコート法を用いて得た平面型光導波路用樹脂層の例示である。
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート(共栄社化学性、商品名DCP−A)100g、光重合開始剤(LAMBERTI SPA 社製、商品名:ESACURE KIP−150)6gからなる塗布液を、厚さ50μm、100mm×100mmのポリエチレンテレフタレートフィルムに、スピンコーターを用いて直接塗布(厚さ約9μm)した後、紫外線を照射して硬化させ、得られた積層体の反り量を測定した。なお、この比較例2においては、形状転写性の評価はシートをシリコン基板に貼り付ける替わりにシリコン基板に直接スピンコート法を用いて樹脂層を形成(厚さ約9μm)して行った。
比較例1,2については反り量が大きくカールするほどであり測定不可であった。
そして、実施例5,6で示したように本発明の樹脂シートを用いて多層の平面型光導波路を作製できることも確認できた。
12 接着性樹脂層
13,16 樹脂シート
14 コア層用の接着性樹脂層
15 クラッド層用の接着性樹脂層
14a コア層
15a クラッド層
20 光学フィルム(基板)
Claims (10)
- 平面状のコア層と該コア層を挟むように積層されている平面状の上下2層のクラッド層とからなる光導波路層が少なくとも一組積層されてなる平面型光導波路を作製するための樹脂シートであって、
基板もしくはコア層もしくはクラッド層の上に貼着されることによってクラッド層もしくはコア層を構成する接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなり、前記樹脂シートの硬化収縮率が5%未満であることを特徴とする平面型光導波路作製用樹脂シート。 - 前記接着性樹脂層がエネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーと非エネルギー硬化型ポリマーとを樹脂成分として有することを特徴とする請求項1に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層が、分子内にエネルギー重合性官能基を持たないポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする請求項1に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層が、分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする請求項1に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層が非エネルギー硬化型ポリマーと分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤とを樹脂成分として有することを特徴とする請求項1に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 平面状のコア層と該コア層を挟むように積層されている平面状の上下2層のクラッド層とからなる光導波路層が少なくとも一組積層されてなる平面型光導波路を作製するための樹脂シートであって、
前記クラッド層およびコア層を構成する互いに屈折率が異なる2層の接着性樹脂層が剥離フィルム上に形成されてなり、前記樹脂シートの硬化収縮率が5%未満であることを特徴とする平面型光導波路作製用樹脂シート。 - 前記接着性樹脂層の少なくとも一方がエネルギー硬化型重合性モノマーまたはオリゴマーと非エネルギー硬化型ポリマーとを樹脂成分として有することを特徴とする請求項6に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層の少なくとも一方が分子内にエネルギー重合性官能基を持たないポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする請求項6に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層の少なくとも一方が分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤を樹脂成分として有することを特徴とする請求項6に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
- 前記接着性樹脂層の少なくとも一方が非エネルギー硬化型ポリマーと分子内にエネルギー重合性官能基を有するポリマーからなる感圧性接着剤とを樹脂成分として有することを特徴とする請求項6に記載の平面型光導波路作製用樹脂シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005196507A JP2007017521A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | 平面型光導波路作製用樹脂シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2007017521A true JP2007017521A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37754769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005196507A Pending JP2007017521A (ja) | 2005-07-05 | 2005-07-05 | 平面型光導波路作製用樹脂シート |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007017521A (ja) |
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