[go: up one dir, main page]

JP2006313877A - Antistatic parts - Google Patents

Antistatic parts Download PDF

Info

Publication number
JP2006313877A
JP2006313877A JP2006054544A JP2006054544A JP2006313877A JP 2006313877 A JP2006313877 A JP 2006313877A JP 2006054544 A JP2006054544 A JP 2006054544A JP 2006054544 A JP2006054544 A JP 2006054544A JP 2006313877 A JP2006313877 A JP 2006313877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
varistor
via conductor
comparative example
microns
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006054544A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Inoue
竜也 井上
Hidenori Katsumura
英則 勝村
Keiji Kobayashi
恵治 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2006054544A priority Critical patent/JP2006313877A/en
Publication of JP2006313877A publication Critical patent/JP2006313877A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

【課題】薄型で機械的強度が大きく、電気的特性および品質の優れた静電気対策部品を提供することを目的とする。
【解決手段】セラミック絶縁基板15と、このセラミック絶縁基板上に焼結一体化して設けたバリスタ層14と内部電極11a、11bとビア導体13a、13bとからなるバリスタ部10と、前記バリスタ部10の外表面に設けた少なくとも一対の外部電極12a、12bとを備え、内部電極11a、11bはバリスタ層14を挟んで対向するように設けた少なくとも一対を有し、ビア導体13a、13bにより外部電極12a、12bと内部電極11a、11bとをそれぞれ電気的に接続するとともに、バリスタ部の厚みを100ミクロン以下とした静電気対策部品であり、薄型で機械的強度が大きく実用上に優れ、バリスタの電気的特性および品質の優れた静電気対策部品となる。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide an anti-static component that is thin, has high mechanical strength, and has excellent electrical characteristics and quality.
A varistor section comprising a ceramic insulating substrate, a varistor layer provided on the ceramic insulating substrate by sintering and integration, internal electrodes 11a and 11b, and via conductors 13a and 13b, and the varistor section 10. At least a pair of external electrodes 12a and 12b provided on the outer surface of the electrode, and the internal electrodes 11a and 11b have at least a pair provided so as to face each other with the varistor layer 14 interposed therebetween. 12a and 12b and the internal electrodes 11a and 11b are electrically connected to each other, and the varistor part has a thickness of 100 microns or less. It is an anti-static component with excellent mechanical characteristics and quality.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は電子機器を静電気から保護する静電気対策部品に関するものである。   The present invention relates to a static electricity countermeasure component for protecting an electronic device from static electricity.

近年、携帯電話などの電子機器の小型化、高性能化は急速に進み、それに伴い電子機器回路が高密度化し電子機器の耐電圧は低下している。そのため、人体と電子機器の端子が接触したときに発生する静電気パルスによる機器内部の電気回路の破壊が増えてきている。   In recent years, electronic devices such as mobile phones have been rapidly reduced in size and performance, and accordingly, the electronic device circuits have become denser and the withstand voltage of the electronic devices has decreased. Therefore, the destruction of the electric circuit inside the device due to the electrostatic pulse generated when the human body and the terminal of the electronic device contact each other is increasing.

従来、このような静電気パルスへの対策としては、静電気が入るラインとグランド間に積層チップバリスタなどを設け、静電気をバイパスさせ、機器の電気回路に印加される電圧を抑制する方法が行われている。   Conventionally, as countermeasures against such electrostatic pulses, a method of providing a multilayer chip varistor or the like between a line where static electricity enters and the ground, bypassing the static electricity, and suppressing the voltage applied to the electrical circuit of the device has been performed. Yes.

なお、静電気パルスの対策に用いられる従来の積層チップバリスタに関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開平8−31616号公報
For example, Patent Document 1 is known as prior art document information related to a conventional multilayer chip varistor used for countermeasures against electrostatic pulses.
JP-A-8-31616

最近では、電子機器の小型化、高性能化により、静電気パルスへの対策部位はますます増えてきており、静電気対策部品としても、単品だけでなく、複数の部品を内蔵したアレイ品の要望がとりわけ増えてきている。さらに、小型でかつ薄型の電子機器という要望が高まっており、静電気対策部品にも薄型という要望も高まっている。   Recently, with the miniaturization and high performance of electronic devices, the number of countermeasures against electrostatic pulses has increased, and there is a demand for not only a single component but also an array component that incorporates multiple components. In particular, it is increasing. Furthermore, there is an increasing demand for small and thin electronic devices, and there is also an increasing demand for thin anti-static components.

しかしながら、従来の積層チップバリスタでは、これを構成する酸化亜鉛系の材料の抗折強度が小さく、部品の物理的な強度の要求の点から、ある程度の厚みが必要であり薄型化が困難であった。たとえば市販されている、長さ1.6mm、幅0.8mm程度の積層チップバリスタの場合、0.8mm程度以上の厚みが必要であった。そして、これより薄く構成しようとした場合は、大きさもさらに小さくする必要があり、薄型でかつ大きな部品を構成することは困難であった。このため、多数の素子を内蔵したアレイ品とすることが困難であるという課題があった。   However, in the conventional multilayer chip varistor, the bending strength of the zinc oxide-based material constituting the conventional multilayer chip varistor is small, and a certain amount of thickness is necessary from the viewpoint of the physical strength of the component, and it is difficult to reduce the thickness. It was. For example, in the case of a commercially available multilayer chip varistor having a length of 1.6 mm and a width of about 0.8 mm, a thickness of about 0.8 mm or more is required. When attempting to make it thinner than this, it is necessary to further reduce the size, and it is difficult to form a thin and large component. For this reason, there has been a problem that it is difficult to obtain an array product incorporating a large number of elements.

そこで本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、薄型で機械的強度が大きく、電気的特性および品質の優れた静電気対策部品を提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an anti-static component that is thin, has high mechanical strength, and has excellent electrical characteristics and quality.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の静電気対策部品は、セラミック絶縁基板と、このセラミック絶縁基板上に焼結一体化して設けたバリスタ層と内部電極とビア導体とからなるバリスタ部と、前記バリスタ部の外表面に設けた少なくとも一対の外部電極とを備え、前記内部電極は前記バリスタ層を挟んで対向するように設けた少なくとも一対の内部電極を有し、前記ビア導体により前記外部電極と前記内部電極とをそれぞれ電気的に接続するとともに、前記バリスタ部の厚みを100ミクロン以下とした構成であり、これにより、バリスタ部を機械的強度の大きなセラミック絶縁基板上に焼結して一体化したセラミック焼結体としたものであるので、薄型で機械的強度が大きく実用上優れた静電気対策部品となる。そして、対向する一対の内部電極によりバリスタ層を挟んでバリスタを形成した構成であるので、バリスタの電気的特性および品質の優れた静電気対策部品となる。   The antistatic component of the present invention is provided on a ceramic insulating substrate, a varistor layer formed by sintering and integrating on the ceramic insulating substrate, an internal electrode and a via conductor, and an outer surface of the varistor portion. At least a pair of external electrodes, and the internal electrodes have at least a pair of internal electrodes provided to face each other with the varistor layer interposed therebetween, and the external electrodes and the internal electrodes are electrically connected to each other by the via conductors. In addition, the varistor part has a thickness of 100 microns or less, and the varistor part is sintered and integrated on a ceramic insulating substrate having a high mechanical strength. Therefore, it is a thin, thin, high mechanical strength and practically excellent anti-static component. Since the varistor is formed by sandwiching the varistor layer between a pair of opposed internal electrodes, the varistor is an anti-static component with excellent electrical characteristics and quality.

また、上記構成において、ビア導体と外部電極との接続部分のバリスタ部の外表面での突き出しは、3ミクロン以下とすることが望ましい。これにより、実装の際の不良が少なくなり、さらに品質の優れた静電気対策部品となる。   In the above configuration, it is desirable that the protrusion of the connecting portion between the via conductor and the external electrode on the outer surface of the varistor portion is 3 microns or less. As a result, the number of defects during mounting is reduced, and an anti-static component with superior quality is obtained.

また、上記構成において、ビア導体と内部電極との接続部分のバリスタ層での突き出しは、10ミクロン以下とすることが望ましい。これにより、バリスタ層内部でのクラックなどの構造欠陥が少なくなり、寿命特性の劣化などの不良が少なく、さらに特性及び品質の優れた静電気対策部品となる。   In the above configuration, it is desirable that the protrusion of the connection portion between the via conductor and the internal electrode at the varistor layer is 10 microns or less. As a result, structural defects such as cracks in the varistor layer are reduced, there are few defects such as deterioration of life characteristics, and an antistatic component with excellent characteristics and quality is obtained.

また、上記構成において、ビア導体の径は120ミクロン以下とすることが望ましい。これにより、ビア導体の内部および外部への突き出しが少なくなり、実装の際の不良や内部クラックなどの構造欠陥が少なくなり、さらに特性および品質の優れた静電気対策部品となる。   In the above configuration, the diameter of the via conductor is desirably 120 microns or less. As a result, protrusion of the via conductor to the inside and the outside is reduced, structural defects such as defects during mounting and internal cracks are reduced, and an anti-static component with excellent characteristics and quality is obtained.

また、上記静電気対策部品の製造において、ビア導体は、銀含有量が85%以下の銀ペーストを用いて形成することが望ましい。これにより、一体焼結の際にバリスタ部が厚み方向に大きく縮んだとしても、ビア導体部の銀の含有量が少ないため、ビア導体の内部および外部への突き出しが抑えられ、実装の際の不良や内部クラックなどの構造欠陥が少なくなり、さらに特性および品質の優れた静電気対策部品を製造することができる。   Further, in the manufacture of the above-described antistatic component, the via conductor is preferably formed using a silver paste having a silver content of 85% or less. As a result, even if the varistor part shrinks greatly in the thickness direction during integral sintering, the silver content of the via conductor part is small, so the protrusion of the via conductor to the inside and the outside can be suppressed, and during mounting There are fewer structural defects such as defects and internal cracks, and it is possible to manufacture anti-static parts with superior characteristics and quality.

また、上記構成において、バリスタ部の外表面に保護層をさらに設けることが望ましい。これにより、後のめっき工程におけるバリスタ部のめっき液による溶解等の影響が抑えられ、メッキ流れなどの問題を生ずることが無く歩留まり良く製造できるとともに、製品としての耐環境特性を高めることができ、さらに特性および品質の優れた静電気対策部品となる。   In the above configuration, it is desirable to further provide a protective layer on the outer surface of the varistor part. Thereby, the influence of dissolution by the plating solution of the varistor part in the subsequent plating process can be suppressed, it can be produced with high yield without causing problems such as plating flow, and the environmental resistance characteristics as a product can be enhanced, Furthermore, it is an anti-static component with excellent characteristics and quality.

以上のように本発明は、セラミック絶縁基板と、このセラミック絶縁基板上に焼結一体化して設けたバリスタ層と内部電極とビア導体とからなるバリスタ部と、前記バリスタ部の外表面に設けた少なくとも一対の外部電極とを備え、前記内部電極は前記バリスタ層を挟んで対向するように設けた少なくとも一対の内部電極を有し、前記ビア導体により前記外部電極と前記内部電極とをそれぞれ電気的に接続するとともに、前記バリスタ部の厚みを100ミクロン以下とした静電気対策部品であり、薄型で機械的強度が大きく実用上優れた静電気対策部品となるとともに、バリスタの電気的特性のバラツキが小さく、特性および品質の優れた静電気対策部品となるという効果を有する。   As described above, the present invention is provided on the ceramic insulating substrate, the varistor layer formed by integrating the sintered body on the ceramic insulating substrate, the internal electrode and the via conductor, and the outer surface of the varistor portion. At least a pair of external electrodes, and the internal electrodes have at least a pair of internal electrodes provided to face each other with the varistor layer interposed therebetween, and the external electrodes and the internal electrodes are electrically connected to each other by the via conductors. The anti-static component with a thickness of the varistor portion of 100 microns or less, a thin, high mechanical strength and practically excellent anti-static component, and the variation in the electrical characteristics of the varistor is small, It has the effect of becoming an anti-static component with excellent characteristics and quality.

以下、本発明の実施の形態における静電気対策部品について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, the anti-static component in the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の断面図、図2は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の外観斜視図、図3は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の等価回路図、図4は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の模式的分解斜視図である。
(Embodiment 1)
1 is a cross-sectional view of a static electricity countermeasure component according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is an external perspective view of the static electricity countermeasure component according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a static electricity countermeasure according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 4 is a schematic exploded perspective view of the static electricity countermeasure component according to Embodiment 1 of the present invention.

図1、図2および図4において、10はバリスタ部、11aおよび11bは内部電極、12aおよび12bは外部電極、13aおよび13bはビア導体、14はバリスタ層、15はセラミック絶縁基板、16は保護層である。   1, 2, and 4, 10 is a varistor portion, 11 a and 11 b are internal electrodes, 12 a and 12 b are external electrodes, 13 a and 13 b are via conductors, 14 is a varistor layer, 15 is a ceramic insulating substrate, and 16 is protective Is a layer.

図1、図2および図4に示すように、本実施の形態1における静電気対策部品は、セラミック絶縁基板15と、バリスタ層14と内部電極11aおよび11bと保護層16とを積層するとともにビア導体13aおよび13bを形成したバリスタ部10とを、セラミック焼結体として一体化し、バリスタ部10の外表面に一対の外部電極12aおよび外部電極12bを設けた構造であり、対向する一対の内部電極11aと11bとによりバリスタ層14を挟んでバリスタを形成した構成とし、内部電極11aと11bは、それぞれビア導体13aおよび13bとによって外部電極12aと12bに電気的に接続することでバリスタを有する構成としている。   As shown in FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 4, the antistatic component in the first embodiment is formed by laminating a ceramic insulating substrate 15, a varistor layer 14, internal electrodes 11a and 11b, and a protective layer 16, and via conductors. The varistor part 10 in which 13a and 13b are formed is integrated as a ceramic sintered body, and a pair of external electrodes 12a and 12b are provided on the outer surface of the varistor part 10, and a pair of opposed internal electrodes 11a And 11b with a varistor layer 14 interposed therebetween, and the internal electrodes 11a and 11b are electrically connected to the external electrodes 12a and 12b by via conductors 13a and 13b, respectively, to have a varistor. Yes.

そして、本実施の形態1における静電気対策部品は、内部電極11aとビア導体13aとの接続部の直下の部位には、対向する内部電極11bを配置しない構成としている。   And the antistatic component in this Embodiment 1 is set as the structure which does not arrange | position the internal electrode 11b which opposes in the site | part just under the connection part of the internal electrode 11a and the via conductor 13a.

上記したように、本実施の形態1における静電気対策部品は、バリスタ部10を機械的強度の大きなセラミック絶縁基板15上に焼結して一体化したセラミック焼結体としたものであるので、薄型で機械的強度が大きく実用上優れた静電気対策部品となる。そして、対向する一対の内部電極11aと11bとによりバリスタ層14を挟んでバリスタを形成した構成であるので、バリスタの電気的特性のバラツキが小さく、特性および品質の優れた静電気対策部品となる。   As described above, the antistatic component in the first embodiment is a ceramic sintered body in which the varistor portion 10 is sintered and integrated on the ceramic insulating substrate 15 having a high mechanical strength. It has a high mechanical strength and is an excellent anti-static component for practical use. Since the varistor is formed with the varistor layer 14 sandwiched between the pair of internal electrodes 11a and 11b facing each other, the variation in the electrical characteristics of the varistor is small, and the anti-static component having excellent characteristics and quality.

また、内部電極11aとビア導体13aとの接続部の直下の部位には、対向する内部電極11bを配置しない構成とすることにより、たとえビア導体が対向する内部電極側に突き出したとしても、対向する内部電極間の近接を防ぐことができ、ショートなどの不良が少なく、さらに特性および品質の優れた静電気対策部品となる。   Moreover, even if the via conductor protrudes to the opposing internal electrode side, the opposing internal electrode 11b is not disposed in the portion immediately below the connection portion between the internal electrode 11a and the via conductor 13a. Therefore, it is possible to prevent the proximity between the internal electrodes, and there are few defects such as a short circuit, and the electrostatic countermeasure component has excellent characteristics and quality.

そして、本実施の形態1における静電気対策部品の回路は、図3に示す等価回路となる。図3において、201はバリスタ、202は入出力用外部電極、203はグランド用外部電極である。なお、上記のように、外部電極12aと12bとは等価回路的に同じ構成であるため、実際に回路に接続して使用する際には、どちらか一方が入出力用外部電極202、他方がグランド用外部電極203となる。   And the circuit of the antistatic component in this Embodiment 1 becomes an equivalent circuit shown in FIG. In FIG. 3, 201 is a varistor, 202 is an input / output external electrode, and 203 is a ground external electrode. As described above, the external electrodes 12a and 12b have the same configuration in terms of equivalent circuits. Therefore, when actually connected to a circuit, one of them is the input / output external electrode 202, and the other is It becomes the ground external electrode 203.

続いて、本発明の実施の形態1における静電気対策部品の製造方法について、図4を用いて説明する。   Next, a method for manufacturing an antistatic component in Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIG.

まず、酸化亜鉛を主成分とするセラミック粉末と有機バインダからなる酸化亜鉛生シートを作製し準備した。また、アルミナおよびホウ珪酸ガラスを主成分とするガラス−セラミック粉末と有機バインダからなるガラス−セラミック生シートを作製し準備した。この時、これらの生シートの厚みはそれぞれ約30μmとした。なお、これらの生シートはそれぞれ焼成後に、酸化亜鉛生シートはバリスタ層14となり、ガラス−セラミック生シートは保護層16となるものである。   First, a zinc oxide raw sheet made of a ceramic powder mainly composed of zinc oxide and an organic binder was prepared and prepared. Moreover, the glass-ceramic raw sheet which consists of a glass-ceramic powder which has an alumina and a borosilicate glass as a main component, and an organic binder was produced and prepared. At this time, the thickness of each raw sheet was about 30 μm. Each of these green sheets is fired, the zinc oxide green sheet becomes the varistor layer 14, and the glass-ceramic green sheet becomes the protective layer 16.

図4に示すように、バリスタ層14aとなる酸化亜鉛生シートの上に、銀ペーストを用いスクリーン印刷法で内部電極11bとなる導体層を形成した。その上に、内部電極11bおよび外部電極12bに電気的に接続する位置にビア導体13bとなる銀ペーストを充填し、銀ペーストを用いスクリーン印刷法で内部電極11aとなる導体層を形成したバリスタ層14bとなる酸化亜鉛生シートを積層した。さらに、その上に、内部電極11aおよび外部電極12aに電気的に接続する位置にビア導体13aとなる銀ペーストを充填し、内部電極11bおよび外部電極12bに電気的に接続する位置にビア導体13bとなる銀ペーストを充填したバリスタ層14cとなる酸化亜鉛生シートを積層した。さらに、その上に、ビア導体13aおよび13bとなる銀ペーストを充填し、銀ペーストを用いスクリーン印刷法で外部電極12aおよび12bとなる導体層を形成した保護層16となるガラス−セラミック生シートを積層してバリスタ部10となる積層体を作製した。   As shown in FIG. 4, on the zinc oxide raw sheet used as the varistor layer 14a, the conductor layer used as the internal electrode 11b was formed by the screen printing method using the silver paste. A varistor layer in which a silver paste to be a via conductor 13b is filled in a position electrically connected to the internal electrode 11b and the external electrode 12b, and a conductor layer to be the internal electrode 11a is formed by screen printing using the silver paste. A raw zinc oxide sheet to be 14b was laminated. Further, a silver paste serving as a via conductor 13a is filled in a position electrically connected to the internal electrode 11a and the external electrode 12a, and a via conductor 13b is electrically connected to the internal electrode 11b and the external electrode 12b. A raw zinc oxide sheet to be a varistor layer 14c filled with a silver paste was stacked. Further, a glass-ceramic raw sheet serving as a protective layer 16 is formed by filling a silver paste serving as the via conductors 13a and 13b thereon and forming a conductor layer serving as the external electrodes 12a and 12b by screen printing using the silver paste. The laminated body which becomes a varistor part 10 by laminating was produced.

次に、セラミック絶縁基板15としてアルミナ基板を用い、このアルミナ基板上に上記積層体を貼りつけ、積層体ブロックとした。なお、上記のアルミナ基板の厚みは約180μm、導体層の厚みは約2.5μmとし、ビア導体に使用した銀ペーストの銀の含有率は85wt%、ビア径は120ミクロンとした。また、印刷した導体層のパターンは、切断した後に図4に示した形状となるよう図示した形状を多数個を縦横に配列したパターン形状とした。   Next, an alumina substrate was used as the ceramic insulating substrate 15, and the laminate was bonded onto the alumina substrate to obtain a laminate block. The thickness of the alumina substrate was about 180 μm, the thickness of the conductor layer was about 2.5 μm, the silver content of the silver paste used for the via conductor was 85 wt%, and the via diameter was 120 microns. Further, the printed pattern of the conductor layer was a pattern shape in which a large number of shapes illustrated in FIG. 4 were arranged vertically and horizontally so as to have the shape shown in FIG.

次に、上記の積層体ブロックを大気中で加熱して脱バインダ処理した後、大気中で930℃まで加熱して焼成し一体化した焼結体とした。続いて、形成した焼結体の外部電極の部位にニッケル、すずのめっきを施した後、所望の寸法に切断分離し、図1および図2に示した本実施の形態1における静電気対策部品を作製した(実施例1)。   Next, the laminate block was heated in the atmosphere to remove the binder, and then heated to 930 ° C. in the atmosphere and baked to obtain an integrated sintered body. Subsequently, after nickel and tin are plated on the external electrode portion of the formed sintered body, it is cut and separated to a desired size, and the antistatic component in the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 is produced. (Example 1).

作製した本実施の形態1における静電気対策部品(実施例1)は、長手方向寸法が約1.6mm、幅方向寸法が約0.8mm、厚み方向寸法が約0.25mmであった。そして、バリスタ部の厚みは約70ミクロンであった。また、この静電気対策部品のビア導体と外部電極との接続部分のバリスタ部の外表面での突き出しを測定したところ3ミクロン以内であった。これらを樹脂基材の印刷配線基板上に実装試験を行ったところすべて問題なく実装を行うことができた。   The produced antistatic component (Example 1) in the first embodiment had a longitudinal dimension of about 1.6 mm, a widthwise dimension of about 0.8 mm, and a thicknesswise dimension of about 0.25 mm. And the thickness of the varistor part was about 70 microns. Further, when the protrusion on the outer surface of the varistor portion of the connection portion between the via conductor and the external electrode of this antistatic component was measured, it was within 3 microns. When these were mounted on a resin-based printed wiring board, mounting was possible without any problems.

また、この静電気対策部品を端面から研磨しその断面を観察し、ビア導体と内部電極との接続部分のバリスタ層での突き出しを測定したところ、10ミクロン以内になっており周辺部でのクラックなどは存在しなかった。   Also, this antistatic component was polished from the end face, its cross section was observed, and the protrusion at the varistor layer at the connection portion between the via conductor and the internal electrode was measured. Did not exist.

そして、本実施の形態1における静電気対策部品(実施例1)を300個作製したところ、ショート不良は皆無であった。そして、外部電極12aと12b間のバリスタ電圧V1mAすなわち1mAの電流が流れる時の電圧は、約22Vから約30Vの間であった。また、20個を無作為に取り出し、温度60℃、湿度90%、DC10Vを負荷した高温高湿試験を行ったところ、500時間経過後にバリスタ電圧V1mAが20%以上変化するものはなかった。 And when 300 static electricity countermeasure components (Example 1) in this Embodiment 1 were produced, there was no short circuit defect. The voltage when the varistor voltage V 1 mA between the external electrodes 12a and 12b, that is, the current of 1 mA flows, was between about 22V and about 30V. Further, 20 samples were randomly taken out and subjected to a high-temperature and high-humidity test in which a temperature of 60 ° C., a humidity of 90% and a DC of 10 V was loaded. As a result, no varistor voltage V 1mA changed by 20% or more after 500 hours had elapsed.

さらに、作製の条件を種々変えて、酸化亜鉛生シートの厚みを変えバリスタ部の厚みを約100ミクロン(実施例2)および約50ミクロン(実施例3)にした場合、ビア導体の径を100ミクロン(実施例4)および80ミクロン(実施例5)にした場合、さらに、ビア導体の形成に用いる銀ペーストの銀含有量を80%(実施例6)および75%(実施例7)にした場合について、本実施の形態1における静電気対策部品を作製した。   Further, when the production conditions are changed variously to change the thickness of the raw zinc oxide sheet to about 100 microns (Example 2) and about 50 microns (Example 3), the diameter of the via conductor is 100. In the case of micron (Example 4) and 80 micron (Example 5), the silver content of the silver paste used for forming the via conductor was further set to 80% (Example 6) and 75% (Example 7). In this case, the antistatic component in the first embodiment was produced.

また、比較のために、バリスタ部を厚くした場合、ビア導体の径を大きくした場合、およびビア導体の形成に用いる銀ペーストの銀含有量を増やした場合について10種の比較例の試料を試作した。これらの比較例の作製条件は、アルミナの厚みをそのままにして、酸化亜鉛生シートの厚みを厚くして、バリスタ部の厚みを約110ミクロン(比較例1)、約150ミクロン(比較例2)および約200ミクロン(比較例3)とした場合、ビア導体の径を200ミクロン(比較例4)および300ミクロン(比較例5)にした場合、ビア導体の形成に用いる銀ペーストの銀含有量を90%(比較例6)および92.5%(比較例7)にした場合、および、それぞれを組み合わせた場合(比較例8、比較例9および比較例10)の10種である。   In addition, for comparison, samples of 10 types of comparative examples are manufactured for cases where the varistor portion is thickened, the diameter of the via conductor is increased, and the silver content of the silver paste used for forming the via conductor is increased. did. The production conditions of these comparative examples are as follows: the thickness of the zinc oxide raw sheet is increased while the thickness of the alumina is left unchanged, and the thickness of the varistor part is about 110 microns (Comparative Example 1), about 150 microns (Comparative Example 2). When the diameter of the via conductor is 200 microns (Comparative Example 4) and 300 microns (Comparative Example 5), the silver content of the silver paste used for forming the via conductor is about 200 microns (Comparative Example 3). There are 10 types of cases of 90% (Comparative Example 6) and 92.5% (Comparative Example 7), and a combination thereof (Comparative Example 8, Comparative Example 9 and Comparative Example 10).

そして、上記の本実施の形態1における静電気対策部品(実施例1〜実施例7)、および10種の比較例(比較例1〜比較例10)について評価した。評価は、それぞれ20個のサンプルを測定し、反りの大小、切断不良の有無、ビア導体部の外表面での外側への突き出しの平均値、ビア導体部のバリスタ層での内側への突き出しの平均値、実装不良率、クラック発生率について調べた。これら本実施の形態1における静電気対策部品および比較例の評価結果を、作製条件とともに(表1)に示す。   And it evaluated about the static electricity countermeasure components (Example 1- Example 7) in this Embodiment 1, and 10 types of comparative examples (Comparative example 1- Comparative example 10). The evaluation was performed by measuring 20 samples each, the size of the warp, the presence or absence of cutting failure, the average value of the outward protrusion on the outer surface of the via conductor part, the inward protrusion of the via conductor part on the varistor layer. The average value, mounting defect rate, and crack occurrence rate were examined. The evaluation results of the static electricity countermeasure components and the comparative example in the first embodiment are shown in (Table 1) together with the manufacturing conditions.

Figure 2006313877
Figure 2006313877

(表1)に示すように、本実施の形態1における静電気対策部品は、いずれも反りが小さく、切断不良、内部クラックおよび基板実装時の実装不良は皆無であった。   As shown in (Table 1), all of the anti-static parts in the first embodiment have small warpage, and there are no cutting defects, internal cracks, and mounting defects when mounted on the board.

一方、比較例のものは、バリスタ部の厚みを110〜200ミクロンにした場合(比較例1、比較例2、比較例3、比較例8および比較例9)には、反りが大きくなった。このため個片に切断する際にカケや割れなどを生じ切断不良が発生した。切断できたものでも個片としての反りが大きく実装不良率が5〜25%もあった。   On the other hand, in the comparative example, when the thickness of the varistor part was 110 to 200 microns (Comparative Example 1, Comparative Example 2, Comparative Example 3, Comparative Example 8 and Comparative Example 9), the warpage was large. For this reason, when cutting into individual pieces, cracks or cracks occurred, resulting in poor cutting. Even those that could be cut had large warping as individual pieces and had a mounting failure rate of 5 to 25%.

また、ビア導体の径を200ミクロンおよび300ミクロンにした場合(比較例4、比較例5、比較例8、比較例9および比較例10)には、バリスタ部の厚みが150ミクロンの比較例8を除いて、ビア導体部の内部への突き出しが11〜20ミクロンと大きく素子内部のクラック発生率が5〜20%になった。また、ビア導体部の外部への突き出しも大きくなり実装不良を生じる場合があった。   Further, when the diameter of the via conductor is 200 microns and 300 microns (Comparative Example 4, Comparative Example 5, Comparative Example 8, Comparative Example 9 and Comparative Example 10), Comparative Example 8 in which the thickness of the varistor part is 150 microns. In other words, the protrusion to the inside of the via conductor portion was as large as 11 to 20 microns, and the crack generation rate inside the element was 5 to 20%. In addition, the protrusion of the via conductor portion to the outside is increased, which may cause mounting defects.

また、ビア導体の形成に用いる銀ペーストの銀含有量を90%および92.5%にした場合(比較例6、比較例7、比較例8、比較例9および比較例10)にも、バリスタ部の厚みが150ミクロンの比較例8を除いて、ビア導体部の内部への突き出しが12〜20ミクロンと大きく素子内部のクラック発生率が5〜30%になった。また、バリスタ部の厚みが150ミクロンの比較例8および110ミクロンの比較例9を除いて、ビア導体部の外部への突き出しも6〜9ミクロンと大きくなり、実装不良率が5〜20%になった。   Further, when the silver content of the silver paste used for forming the via conductor is 90% and 92.5% (Comparative Example 6, Comparative Example 7, Comparative Example 8, Comparative Example 9 and Comparative Example 10), the varistor is also used. Except for Comparative Example 8 where the thickness of the portion was 150 microns, the protrusion to the inside of the via conductor portion was as large as 12 to 20 microns, and the crack occurrence rate inside the element was 5 to 30%. Except for Comparative Example 8 where the thickness of the varistor portion is 150 microns and Comparative Example 9 where the thickness is 110 microns, the via conductors protrude to the outside as large as 6-9 microns, and the mounting defect rate is reduced to 5-20%. became.

なお、上記の本実施の形態1における静電気対策部品(実施例2〜実施例7)、および10種の比較例(比較例1〜比較例10)についても、20個を無作為に取り出し、温度60℃、湿度90%、DC10Vを負荷した高温高湿試験を行った。   In addition, as for the anti-static component (Examples 2 to 7) and the 10 types of comparative examples (Comparative Examples 1 to 10) in the first embodiment, 20 pieces are randomly taken out and the temperature is A high-temperature and high-humidity test with 60 ° C., 90% humidity and 10 V DC was performed.

この結果、クラック発生の無い、本実施の形態1における静電気対策部品(実施例2〜実施例7)、比較例1、比較例2および比較例8については、500時間経過後にバリスタ電圧V1mAが20%以上変化するものはなかった。しかしながら、クラックの発生率の高い比較例3、比較例4、比較例5、比較例6、比較例7、比較例9および比較例10については、500時間経過後のバリスタ電圧V1mAの初期値に対する変化率が20%以上になるものがあり、クラックの存在が高温高湿試験の結果に悪影響を与えている結果となった。 As a result, for the antistatic component (Examples 2 to 7), Comparative Example 1, Comparative Example 2 and Comparative Example 8 in the first embodiment, in which no crack is generated, the varistor voltage V 1 mA is None changed by more than 20%. However, for Comparative Example 3, Comparative Example 4, Comparative Example 5, Comparative Example 6, Comparative Example 6, Comparative Example 7, Comparative Example 9 and Comparative Example 10 having a high crack occurrence rate, the initial value of the varistor voltage V 1 mA after 500 hours has elapsed. The rate of change with respect to the temperature was 20% or more, and the presence of cracks adversely affected the results of the high-temperature and high-humidity test.

以上の結果のように、バリスタ部の厚みは100ミクロン以下とすることが好ましく、これにより、製品として反りの発生が防止でき、カケや割れなど無い優れた静電気対策部品となる。   As described above, it is preferable that the varistor portion has a thickness of 100 microns or less, whereby it is possible to prevent the product from warping and to be an excellent anti-static component with no chipping or cracking.

また、ビア導体と外部電極との接続部分のバリスタ部の外表面での突き出しは、3ミクロン以下とすることが望ましく、これにより、実装性の優れた静電気対策部品となる。   In addition, it is desirable that the protruding portion of the connection portion between the via conductor and the external electrode on the outer surface of the varistor portion is 3 microns or less, thereby providing an anti-static component with excellent mountability.

また、ビア導体と内部電極との接続部分のバリスタ層での突き出しは、10ミクロン以下とすることが望ましく、ビア導体の径は120ミクロン以下とすることが望ましい。これにより、バリスタ層内部でのクラックなどの構造欠陥が少なくなり、寿命特性の劣化などの不良が少なく、さらに特性及び品質の優れた静電気対策部品となる。   Further, the protrusion of the connection portion between the via conductor and the internal electrode in the varistor layer is desirably 10 microns or less, and the diameter of the via conductor is desirably 120 microns or less. As a result, structural defects such as cracks in the varistor layer are reduced, there are few defects such as deterioration of life characteristics, and an antistatic component with excellent characteristics and quality is obtained.

また、ビア導体は、銀含有量が85%以下の銀ペーストを用いて形成することが望ましく、これにより、一体焼結の際にバリスタ部が厚み方向に大きく縮んだとしても、ビア導体部の銀の含有量が少ないため、ビア導体の内部および外部への突き出しが抑えられ、実装の際の不良や内部クラックなどの構造欠陥が少なくなり、さらに特性および品質の優れた静電気対策部品を製造することができる。   Further, the via conductor is desirably formed using a silver paste having a silver content of 85% or less, so that even if the varistor portion is greatly shrunk in the thickness direction during the integral sintering, the via conductor portion Produces anti-static parts with excellent characteristics and quality due to the low silver content, which prevents the via conductor from protruding into and out of the via conductor, reduces mounting defects and internal defects such as internal cracks, etc. be able to.

次に、上記で作製した本実施の形態1の静電気対策部品の実施例1について、静電気試験を行い評価した。   Next, an electrostatic test was conducted and evaluated for Example 1 of the antistatic component of the first embodiment produced above.

静電気試験は、図5に示す回路により行った。スイッチ103を接続して直流電源101より抵抗102を介し所定の電圧を印加して、静電容量150pFの容量ボックス104に電荷をチャージした後、スイッチを切り替えてスイッチ103を開放しスイッチ105を接続して、容量ボックス104にチャージした電荷を静電気パルスとして、抵抗106を介して信号ライン108を通して被保護機器110に印加するというものである。   The static electricity test was performed using the circuit shown in FIG. After connecting the switch 103 and applying a predetermined voltage from the DC power source 101 via the resistor 102 to charge the capacitance box 104 having a capacitance of 150 pF, the switch is switched to open the switch 103 and connect the switch 105. Then, the charge charged in the capacitor box 104 is applied as an electrostatic pulse to the protected device 110 through the signal line 108 via the resistor 106.

そして、図5に示すように、本実施の形態1の静電気対策部品は、評価試料109として、入出力用外部電極202を信号ライン108側に接続し、グランド用外部電極203をグランドライン107に接続した。   As shown in FIG. 5, the antistatic component of the first embodiment has the input / output external electrode 202 connected to the signal line 108 side and the ground external electrode 203 connected to the ground line 107 as the evaluation sample 109. Connected.

そして静電気パルスを印加した時の、被保護機器110の直前の信号ライン108とグランドライン107間の電圧波形を測定することにより、静電気パルスをバイパスさせて被保護機器110に印加される電圧を抑制する効果、つまり、評価試料109である静電気対策部品の静電気パルスに対する吸収抑制効果を評価した。また、比較のために、バリスタ電圧V1mAが27Vの比較例の積層バリスタを信号ライン108とグランドライン107間に接続して設けた場合の静電気パルスに対する吸収抑制効果も評価した。吸収抑制効果は、図5に示す静電気試験回路により8kVを印加した静電気パルスのピーク電圧値の比較によって確認した。 By measuring the voltage waveform between the signal line 108 immediately before the protected device 110 and the ground line 107 when the electrostatic pulse is applied, the electrostatic pulse is bypassed and the voltage applied to the protected device 110 is suppressed. That is, the effect of suppressing the absorption of the antistatic component, which is the evaluation sample 109, against electrostatic pulses was evaluated. For comparison, the effect of suppressing the absorption of electrostatic pulses when a laminated varistor of a comparative example having a varistor voltage V 1 mA of 27 V was connected between the signal line 108 and the ground line 107 was also evaluated. The absorption suppression effect was confirmed by comparing the peak voltage values of electrostatic pulses to which 8 kV was applied by the electrostatic test circuit shown in FIG.

比較として積層バリスタを信号ライン108とグランドライン107間に接続して設けた場合の被保護機器110に印加されたピーク電圧値は約220Vであったのに対し、本実施の形態1における静電気対策部品を設けた場合の被保護機器110に印加されたピーク電圧値は約230Vであった。つまり、構成が全く違うにもかかわらず、従来の積層バリスタとほとんど変わらない静電気パルスに対する吸収抑制効果を持つことが確認できた。   As a comparison, when the laminated varistor is connected between the signal line 108 and the ground line 107, the peak voltage value applied to the protected device 110 is about 220V, whereas the countermeasure against static electricity in the first embodiment is applied. The peak voltage value applied to the protected device 110 when the components were provided was about 230V. In other words, it was confirmed that although it has a completely different configuration, it has the effect of suppressing the absorption of electrostatic pulses that is almost the same as that of a conventional multilayer varistor.

以上のように、本実施の形態1における静電気対策部品は、極めて薄型な形状にできるとともに、静電気対策部品としての十分な機能を有し、クラックなどがなく、かつ、実装性や高温高湿負荷試験などの品質の優れた静電気対策部品とすることができた。   As described above, the anti-static component in the first embodiment can be made extremely thin, has a sufficient function as an anti-static component, has no cracks, and is easy to mount and has a high temperature and high humidity load. It was able to be an anti-static part with excellent quality such as testing.

なお、上記実施の形態1における静電気対策部品は、1つの部品に1素子を形成した構成であったが、必要に応じ所望の寸法と性能の範囲で、2連や4連のアレイなど複数の素子を内蔵したアレイ品として構成することもできる。   In addition, although the anti-static component in the said Embodiment 1 was the structure which formed one element in one component, in the range of a desired dimension and performance as needed, a plurality of arrays, such as a 2 or 4 array It can also be configured as an array product incorporating elements.

また、バリスタ部の内部電極に挟まれたバリスタ機能を有するバリスタ層の層数は1層としたが、バリスタ層の有効層は2層以上あっても構わない。また、セラミック絶縁基板はアルミナ基板を用いたが、十分な抗折強度が得られればフェライトや高誘電率誘電体などを用いても良い。また、電極ペーストは銀ペーストを用いたが、銀−パラジウムペースト、白金ペーストなど他の金属ペーストを用いても良い。また、最下層の内部電極はバリスタ部とセラミック絶縁基板の界面に形成しても良い。   In addition, although the number of varistor layers having a varistor function sandwiched between the internal electrodes of the varistor portion is one, there may be two or more effective varistor layers. Further, although an alumina substrate is used as the ceramic insulating substrate, ferrite or a high dielectric constant dielectric material may be used as long as sufficient bending strength is obtained. Moreover, although the silver paste was used for the electrode paste, other metal pastes such as a silver-palladium paste and a platinum paste may be used. The lowermost internal electrode may be formed at the interface between the varistor portion and the ceramic insulating substrate.

また、上記実施の形態1においては、バリスタ層、内部電極およびビア導体とともに、外部電極を同時にセラミック焼結体として一体化して形成する製造方法を示したが、バリスタ層、内部電極およびビア導体からなるバリスタ部をセラミック焼結体として形成した後に、外部電極を形成しても良い。   In the first embodiment, the manufacturing method in which the external electrode is simultaneously formed as a ceramic sintered body together with the varistor layer, the internal electrode, and the via conductor has been shown. However, from the varistor layer, the internal electrode, and the via conductor, After forming the varistor portion as a ceramic sintered body, the external electrode may be formed.

また、保護層は、後のめっき工程におけるバリスタ部のめっき液に対する保護と、製品としての耐環境特性を高めるため形成している。そして、上記実施の形態1においては、バリスタ層、内部電極、ビア導体および外部電極と同時に焼成して保護層を形成した製造方法を示しているが、バリスタ層、内部電極、ビア導体および外部電極と焼成して焼結体を得、その後にガラスペーストを印刷し所望の温度で焼き付けて保護層を形成した製造方法としても良い。   In addition, the protective layer is formed to protect the varistor portion from the plating solution in the subsequent plating step and to improve the environmental resistance characteristics of the product. And in the said Embodiment 1, although the varistor layer, an internal electrode, a via conductor, and the manufacturing method which fired simultaneously with the external electrode and formed the protective layer are shown, a varistor layer, an internal electrode, a via conductor, and an external electrode It is good also as a manufacturing method which obtained by baking and obtained a sintered compact, printed glass paste after that, and baked at desired temperature, and formed the protective layer.

また、めっきを施す工程は、素子を所望の寸法に分離切断する前に行っているが、分離切断後に行っても良い。   Moreover, although the process of performing the plating is performed before the element is separated and cut into a desired size, it may be performed after the separation and cutting.

本発明に係る静電気対策部品は、薄型で機械的強度が大きく、電気的特性の優れた静電気対策部品であるので、携帯電話などの小型でかつ薄型の電子機器を静電気パルスによる破壊や誤作動から保護する部品として特に有用である。   The anti-static component according to the present invention is a thin anti-static component with high mechanical strength and excellent electrical characteristics. Therefore, small and thin electronic devices such as mobile phones can be destroyed from malfunction or malfunction due to electrostatic pulses. It is particularly useful as a protective part.

本発明の実施の形態1における静電気対策部品の断面図Sectional drawing of the antistatic component in Embodiment 1 of this invention 同静電気対策部品の外観斜視図External perspective view of the anti-static component 同静電気対策部品の等価回路図Equivalent circuit diagram of the static electricity countermeasure parts 同静電気対策部品の模式的分解斜視図Schematic exploded perspective view of the static electricity countermeasure component 本発明の実施の形態1における静電気試験の回路図Circuit diagram of electrostatic test in embodiment 1 of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

10 バリスタ部
11a、11b 内部電極
12a、12b 外部電極
13a、13b ビア導体
14、14a、14b、14c バリスタ層
15 セラミック絶縁基板
16 保護層
101 電源
102、106 抵抗
103、105 スイッチ
104 容量ボックス
107 グランドライン
108 信号ライン
109 評価試料
110 被保護機器
201 バリスタ
202 入出力用外部電極
203 グランド用外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Varistor part 11a, 11b Internal electrode 12a, 12b External electrode 13a, 13b Via conductor 14, 14a, 14b, 14c Varistor layer 15 Ceramic insulation board 16 Protection layer 101 Power supply 102, 106 Resistance 103, 105 Switch 104 Capacity box 107 Ground line 108 Signal Line 109 Evaluation Sample 110 Protected Device 201 Varistor 202 Input / Output External Electrode 203 Ground External Electrode

Claims (6)

セラミック絶縁基板と、このセラミック絶縁基板上に焼結一体化して設けたバリスタ層と内部電極とビア導体とからなるバリスタ部と、前記バリスタ部の外表面に設けた少なくとも一対の外部電極とを備え、前記内部電極は前記バリスタ層を挟んで対向するように設けた少なくとも一対の内部電極を有し、前記ビア導体により前記外部電極と前記内部電極とをそれぞれ電気的に接続するとともに、前記バリスタ部の厚みを100ミクロン以下とした静電気対策部品。 A ceramic insulating substrate, a varistor layer formed by sintering and integrating on the ceramic insulating substrate, an internal electrode, and a via conductor, and at least a pair of external electrodes provided on the outer surface of the varistor portion. The internal electrode has at least a pair of internal electrodes provided so as to face each other with the varistor layer interposed therebetween, and the external electrode and the internal electrode are electrically connected by the via conductor, and the varistor portion Anti-static parts with a thickness of 100 microns or less. ビア導体と外部電極との接続部分のバリスタ部の外表面での突き出しを3ミクロン以下とした請求項1に記載の静電気対策部品。 The antistatic component according to claim 1, wherein a protrusion of the connection portion between the via conductor and the external electrode on the outer surface of the varistor portion is 3 μm or less. ビア導体と外部電極との接続部分のバリスタ層での突き出しを10ミクロン以下とした請求項1に記載の静電気対策部品。 The antistatic component according to claim 1, wherein a protrusion of the connection portion between the via conductor and the external electrode in the varistor layer is 10 μm or less. ビア導体の径を120ミクロン以下とした請求項1に記載の静電気対策部品。 The antistatic component according to claim 1, wherein the via conductor has a diameter of 120 microns or less. ビア導体は、銀含有量が85%以下の銀ペーストを用いて形成した請求項1に記載の静電気対策部品。 The antistatic component according to claim 1, wherein the via conductor is formed using a silver paste having a silver content of 85% or less. バリスタ部の外表面に保護層をさらに設けた請求項1に記載の静電気対策部品。 The antistatic component according to claim 1, further comprising a protective layer on the outer surface of the varistor portion.
JP2006054544A 2005-04-04 2006-03-01 Antistatic parts Pending JP2006313877A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006054544A JP2006313877A (en) 2005-04-04 2006-03-01 Antistatic parts

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005107252 2005-04-04
JP2006054544A JP2006313877A (en) 2005-04-04 2006-03-01 Antistatic parts

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006313877A true JP2006313877A (en) 2006-11-16

Family

ID=37535226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006054544A Pending JP2006313877A (en) 2005-04-04 2006-03-01 Antistatic parts

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006313877A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008128758A (en) * 2006-11-20 2008-06-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Measurement method for insulation resistance of anti-static components
JP2009088342A (en) * 2007-10-01 2009-04-23 Aica Kogyo Co Ltd Multilayer printed circuit board and its manufacturing method
JP2023056119A (en) * 2021-10-07 2023-04-19 Koa株式会社 Substrate with protection function, electronic device and electronic circuit board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59117102A (en) * 1982-12-23 1984-07-06 Ngk Spark Plug Co Ltd Method for applying tensile strain to steel plate
JPS61101015A (en) * 1984-10-24 1986-05-19 松下電器産業株式会社 Manufacture of laminated thick film capacitor element
JPH02135702A (en) * 1988-11-16 1990-05-24 Murata Mfg Co Ltd Lamination type varistor
JPH06333740A (en) * 1993-05-21 1994-12-02 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Composite integrated circuit component

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59117102A (en) * 1982-12-23 1984-07-06 Ngk Spark Plug Co Ltd Method for applying tensile strain to steel plate
JPS61101015A (en) * 1984-10-24 1986-05-19 松下電器産業株式会社 Manufacture of laminated thick film capacitor element
JPH02135702A (en) * 1988-11-16 1990-05-24 Murata Mfg Co Ltd Lamination type varistor
JPH06333740A (en) * 1993-05-21 1994-12-02 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Composite integrated circuit component

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008128758A (en) * 2006-11-20 2008-06-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Measurement method for insulation resistance of anti-static components
JP2009088342A (en) * 2007-10-01 2009-04-23 Aica Kogyo Co Ltd Multilayer printed circuit board and its manufacturing method
JP2023056119A (en) * 2021-10-07 2023-04-19 Koa株式会社 Substrate with protection function, electronic device and electronic circuit board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101514607B1 (en) Multi-layered ceramic capacitor and board for mounting the same
KR101659155B1 (en) Multi-layered ceramic capacitor and board for mounting the same
JP2010146779A (en) Overvoltage protection component
KR20130104361A (en) Multilayered ceramic capacitor
KR101813407B1 (en) Composite electronic component and board for mounting the same
KR102653206B1 (en) Multilayered capacitor
KR102483618B1 (en) Multi-layered ceramic capacitor and board for mounting the same
KR102724891B1 (en) Mutilayered electronic component
JP2021103767A (en) Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same
CN218038868U (en) Electrical component having a layered structure
CN100568409C (en) Variable resistance
KR102148830B1 (en) Electronic component
US6014309A (en) Laminated ceramic electronic parts
US7277003B2 (en) Electrostatic discharge protection component
KR101771730B1 (en) Laminated ceramic electronic parts and fabricating method thereof
JP6179263B2 (en) ESD protection parts
JP2006313877A (en) Antistatic parts
KR102145311B1 (en) Ceramic electronic component
KR100981037B1 (en) Stacked Filter
KR20150008632A (en) Embedded multi-layered ceramic electronic component
JP5079632B2 (en) ESD protection element
JP2010182560A (en) Manufacturing method of electronic component
KR102574420B1 (en) Multilayered capacitor
JP2006196818A (en) Multilayer ceramic parts
JP3078375B2 (en) Multilayer ceramic capacitors

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090219

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101228

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110224

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110920