JP2006258404A

JP2006258404A - Humidifier

Info

Publication number: JP2006258404A
Application number: JP2005080062A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Gomachi; 善雄五町; Hiroshi Aiga; 洋相賀; Takashi Okamoto; 高志岡本; Kenichi Metsugi; 謙一目次; Masahiro Okura; 雅広大倉
Original assignee: OAK SETSUBI KOGYO KK; Obayashi Corp
Current assignee: OAK SETSUBI KOGYO KK; Obayashi Corp
Priority date: 2005-03-18
Filing date: 2005-03-18
Publication date: 2006-09-28

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a humidifier capable of improving the controllability and reliability by simplifying control and structure and preventing liquid dripping when operation stops. <P>SOLUTION: This humidifier is provided with a high pressure air supply line 181 for pressurizing air and supplying it, a water supply tank 150 for storing demineralized water, a mixing nozzle 140 for absorbing demineralized water from the water supply tank 150 by negative pressure generated by pressurizing air and mixing air and demineralized water for injection, and a variable mechanism 160 for changing relative positions in the direction of height of the water supply tank 150 and the mixing nozzle 140. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、クリーンルーム、工場、倉庫等に用いられる加湿装置に関し、特に、加湿効率を向上できるものに関する。 The present invention relates to a humidifier used in a clean room, a factory, a warehouse, and the like, and particularly relates to a device that can improve humidification efficiency.

加湿装置は、半導体工場、液晶工場等のクリーンルームにおいては塵埃制御、分子状汚染物質制御を目的として加湿装置が用いられている。また、紡績、印刷、きのこ栽培等を行うための工場や、調湿を必要とする材料を保管する出荷倉庫等においては、静電気対策、乾燥対策、栽培環境対応等のため、比較的高湿度を必要とすることから局所的な対応も可能な加湿装置が用いられている。 The humidifier is used in a clean room such as a semiconductor factory or a liquid crystal factory for the purpose of dust control and molecular contaminant control. Also, in factories for spinning, printing, mushroom cultivation, and shipping warehouses that store materials that require humidity control, a relatively high humidity level is required for countermeasures against static electricity, drying, and cultivation environments. A humidifier capable of local treatment is used because it is necessary.

このような加湿装置としては、間接純水蒸気発生器、二流体同時制御式の噴霧ノズル（例えば特許文献１参照）、ＯＮ／ＯＦＦ制御式の噴霧ノズル等が知られている。
特開平９−１３７９７８号公報 As such a humidifier, an indirect pure water vapor generator, a two-fluid simultaneous control type spray nozzle (see, for example, Patent Document 1), an ON / OFF control type spray nozzle, and the like are known.
JP-A-9-137978

上述した加湿方法では、次のような問題があった。すなわち、間接純水蒸気発生器においては、制御が複雑となり、かつ、缶胴体（発生器本体）が大型であり、イニシャルコストが高いとともに、１次側熱源に蒸気を必要とするため、ランニングコストが高く、設置スペースが広く必要となる。また、定期的なメンテナンスが義務付けられている。さらに、製作納期が長期間必要という問題もあった。 The humidification method described above has the following problems. That is, in the indirect pure steam generator, the control is complicated, the can body (generator body) is large, the initial cost is high, and steam is required for the primary heat source, so the running cost is low. High and requires a large installation space. Regular maintenance is also required. In addition, there was a problem that a long delivery time was required.

また、ニ流体同時制御においては、ニ流体を同時制御するため、制御が複雑となり、イニシャルコストが高い。ノズルからの水漏れ、及び液ダレ防止のためには給水停止後に高圧エアーの残留運転が必要となる。また、制御機器が増えるため、故障率が高くなる。 In the two-fluid simultaneous control, the two fluids are simultaneously controlled, so the control becomes complicated and the initial cost is high. In order to prevent water leakage from the nozzle and liquid sag, it is necessary to perform residual operation of high-pressure air after water supply is stopped. Moreover, since the number of control devices increases, the failure rate increases.

さらに、噴霧粒径は内装を濡らさない最大限の一定粒径を求めているため、その分気化するための距離が必要となり、内装までの距離が近い場合は、空気圧を高める制御が必要となる。 Furthermore, the spray particle size requires the maximum constant particle size that does not wet the interior, so a distance for vaporization is required, and if the distance to the interior is close, control to increase the air pressure is necessary. .

また、ＯＮ−ＯＦＦ制御においては、給水圧力が有るため、ノズルからの水漏れ、及び液ダレを完全に防止出来ない。空気圧でノズルが開き、停止時にはスプリングで閉鎖する機構を持ったものも有るが、液ダレを完全に防止できるまでに至っていない。また、空調機内等で噴霧水が付着しても構わない場所でも、加湿効率を高めるには限界がある。加湿効率を高めるには、噴霧空気の温度を上げ、相対湿度を下げる必要が有る。 Moreover, in ON-OFF control, since there is a supply water pressure, it is not possible to completely prevent water leakage from the nozzle and liquid dripping. Some have a mechanism in which the nozzle opens with air pressure and closes with a spring when stopped, but it has not been able to completely prevent liquid dripping. In addition, there is a limit to increasing the humidification efficiency even in places where spray water may adhere in an air conditioner or the like. In order to increase the humidification efficiency, it is necessary to raise the temperature of the atomizing air and lower the relative humidity.

さらにまた、噴霧粒径を簡単に制御できるものはなかった。 Furthermore, there was nothing that could easily control the spray particle size.

そこで本発明は、制御及び構造を簡易化することで、制御性及び信頼性を向上させることができるとともに、運転停止時の液ダレを防止し、簡単な構成で噴霧粒径を制御することができる加湿装置を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention can improve controllability and reliability by simplifying the control and structure, prevent liquid dripping when the operation is stopped, and control the spray particle size with a simple configuration. It aims at providing the humidification device which can be performed.

上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の加湿装置は次のように構成されている。 In order to solve the above problems and achieve the object, the humidifying device of the present invention is configured as follows.

（１）気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置において、上記気体を加圧して供給する気体供給部と、上記液体を貯留する液体槽と、上記気体の加圧によって発生する負圧により上記液体を上記液体槽から吸引し、上記気体と上記液体とを混合して噴出させる混合ノズルと、上記液体槽と上記混合ノズルとの高さ方向の相対位置を可変させる可変機構とを備えていることを特徴とする。 (1) In a two-fluid spray humidifier that mixes and sprays gas and liquid, a gas supply unit that pressurizes and supplies the gas, a liquid tank that stores the liquid, and pressurization of the gas A variable nozzle that sucks the liquid from the liquid tank by the generated negative pressure, mixes the gas and the liquid and ejects the liquid, and changes a relative position in the height direction of the liquid tank and the mixing nozzle. And a mechanism.

（２）前記（１）に記載された加湿装置であって、上記混合ノズルは、外部混合型であることを特徴とする。 (2) The humidifier described in (1) above, wherein the mixing nozzle is of an external mixing type.

（３）前記（１）に記載された加湿装置であって、上記液体槽に窒素ガスを供給する窒素ガス供給部が設けられていることを特徴とする。 (3) The humidifier described in (1) above, wherein a nitrogen gas supply unit for supplying nitrogen gas to the liquid tank is provided.

（４）前記（１）に記載された加湿装置であって、上記混合ノズルから噴出された上記液体を赤外線で加熱する加熱機構を備えている。 (4) The humidifying device described in (1), further including a heating mechanism that heats the liquid ejected from the mixing nozzle with infrared rays.

本発明によれば、制御及び構造を簡易化することで、制御性及び信頼性を向上させることができるとともに、運転停止時の液ダレを防止し、簡単な構成で噴霧粒径を制御することが可能となる。 According to the present invention, by simplifying the control and structure, it is possible to improve controllability and reliability, prevent liquid dripping when operation is stopped, and control the spray particle size with a simple configuration. Is possible.

図１は本発明の一実施の形態に係る加湿装置１００が組み込まれた加湿システム１０を模式的に示す図、図２は加湿装置１００を示す正面図、図３は加湿装置１００を示す平面図、図４は加湿装置１００を示す側面図、図５は加湿装置１００に組み込まれた混合ノズル１４０を示す要部断面図である。 FIG. 1 is a diagram schematically showing a humidification system 10 incorporating a humidifier 100 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view showing the humidifier 100, and FIG. 3 is a plan view showing the humidifier 100. 4 is a side view showing the humidifying device 100, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part showing the mixing nozzle 140 incorporated in the humidifying device 100.

加湿システム１０は、半導体工場等のクリーンルームユニット２０と、このクリーンルームユニット２０を加湿するための加湿装置１００とを備えている。 The humidification system 10 includes a clean room unit 20 such as a semiconductor factory and a humidifier 100 for humidifying the clean room unit 20.

クリーンルームユニット２０は、クリーンルーム２１と、このクリーンルーム２１の側面から天井面に設けられたエアシャフト２２と、床下に設けられた床下チャンバ２３とが設けられている。 The clean room unit 20 is provided with a clean room 21, an air shaft 22 provided on the ceiling surface from the side of the clean room 21, and an underfloor chamber 23 provided under the floor.

エアシャフト２２のクリーンルーム２１側出口には、ファンフィルタユニット２４及びＨＥＰＡフィルタ２５が設けられている。また、床下チャンバ２３のエアシャフト２２側出口には、ドライコイル２６が設けられている。 A fan filter unit 24 and a HEPA filter 25 are provided at the exit of the air shaft 22 on the clean room 21 side. A dry coil 26 is provided at the outlet of the underfloor chamber 23 on the air shaft 22 side.

加湿装置１００は、エアシャフト２２内に配置された加湿器本体１１０と、この加湿器本体１１０に高圧空気（気体）、純水（液体）、窒素ガスを供給する供給部１８０と、クリーンルーム２１内に配置された湿度検出器１９０と、これらを制御する制御器２００とを備えている。 The humidifier 100 includes a humidifier body 110 disposed in the air shaft 22, a supply unit 180 that supplies high-pressure air (gas), pure water (liquid), and nitrogen gas to the humidifier body 110, and the clean room 21. Are provided with a humidity detector 190 and a controller 200 for controlling them.

加湿器本体１１０は、図２に示すように、高圧空気槽１２０と、この高圧空気槽１２０に接続され、水平方向に延設された高圧空気ヘッダ管１３０と、この高圧空気ヘッダ管１３０上に取り付けられた混合ノズル１４０と、給水槽（液体槽）１５０と、この給水槽１５０の高さを可変させる可変機構１６０と、給水槽１５０に接続され、水平方向に延設された給水ヘッダ管１７０とを備えている。なお、図２中１３１は高圧空気ヘッダ管１３０に接続された給気管、１７１は給水ヘッダ管１７０に接続された給水管を示している。 As shown in FIG. 2, the humidifier body 110 includes a high-pressure air tank 120, a high-pressure air header pipe 130 connected to the high-pressure air tank 120 and extending in the horizontal direction, and the high-pressure air header pipe 130. The attached mixing nozzle 140, a water tank (liquid tank) 150, a variable mechanism 160 for changing the height of the water tank 150, and a water header header 170 connected to the water tank 150 and extending in the horizontal direction. And. In FIG. 2, reference numeral 131 denotes an air supply pipe connected to the high-pressure air header pipe 130, and 171 denotes a water supply pipe connected to the water supply header pipe 170.

混合ノズル１４０は、外部混合型の二流体噴霧式の混合ノズルであり、図５に示すように、中央に給水管１７１に接続された純水供給路１４１、給気管１３１に接続された高圧空気供給路１４２、先端に混合空間１４３が形成されている。なお、図５中１４４は噴出口を示している。 The mixing nozzle 140 is an external mixing type two-fluid spray type mixing nozzle. As shown in FIG. 5, the pure water supply path 141 connected to the water supply pipe 171 and the high-pressure air connected to the air supply pipe 131 at the center. A supply space 142 and a mixing space 143 are formed at the tip. In addition, 144 in FIG. 5 has shown the jet nozzle.

このように形成された混合ノズル１４０は、高圧空気供給路１４２から空気が高速で噴出されることにより、混合空間１４３に負圧が発生する。この負圧により純水供給路１４１内の純水が混合空間１４３に吸引され、空気と混合されて噴出口１４４から外部に加湿水が噴き出すことになる。 The mixing nozzle 140 formed in this way generates a negative pressure in the mixing space 143 when air is ejected from the high-pressure air supply path 142 at a high speed. Due to this negative pressure, pure water in the pure water supply channel 141 is sucked into the mixing space 143, mixed with air, and humidified water is ejected from the jet outlet 144 to the outside.

混合ノズル１４０は、高圧空気ヘッダ管１３０に対し、図４に示すように取付角度を調整できるようにして取り付けられている。この取付角度は加湿水が気流に乗り易い角度で調整する。なお、混合ノズル１４０の数は必要な加湿量により適宜設定されている。 The mixing nozzle 140 is attached to the high-pressure air header pipe 130 so that the attachment angle can be adjusted as shown in FIG. This attachment angle is adjusted at an angle at which the humidified water can easily ride on the airflow. Note that the number of mixing nozzles 140 is appropriately set according to the required humidification amount.

給水槽１５０内には、フロート式の自動給水弁１５１が設けられ、後述する純水供給ライン１８６に接続されている。これにより、給水槽１５０に収容される純水の水面はほぼ一定に調整されている。給水槽１５０には、オーバーフロー管１５２と、水抜き管１５３とが接続されている。なお、水抜き管１５３は水抜き弁１５４により、通常は閉じられている。また、エア抜き１５５により、給水槽１５０は大気圧に保たれている。 A float-type automatic water supply valve 151 is provided in the water supply tank 150 and is connected to a pure water supply line 186 described later. Thereby, the water surface of the pure water accommodated in the water supply tank 150 is adjusted to be substantially constant. An overflow pipe 152 and a drain pipe 153 are connected to the water supply tank 150. The drain pipe 153 is normally closed by a drain valve 154. Further, the water supply tank 150 is kept at atmospheric pressure by the air vent 155.

可変機構１６０は、４本のロッド１６１〜１６４により構成されており、適宜組み合わせを変えることにより、給水槽１５０の高さ位置を変えることができる。これにより、給水槽１５０内の純水の水面と混合ノズル１４０との高さ方向の距離Ｈを調整することができる。なお、距離Ｈが大きくなることにより、加湿水の噴霧粒径Ｒが小さくなることから、必要とされる噴霧粒径Ｒに応じて適宜ロッド１６１〜１６４の組合せを変更する。 The variable mechanism 160 is composed of four rods 161 to 164, and the height position of the water supply tank 150 can be changed by appropriately changing the combination. Thereby, the distance H in the height direction between the water surface of the pure water in the water tank 150 and the mixing nozzle 140 can be adjusted. In addition, since the spray particle diameter R of humidification water becomes small when the distance H becomes large, the combination of the rods 161-164 is changed suitably according to the spray particle diameter R required.

供給部１８０は、高圧空気供給ライン１８１と、純水供給ライン１８６と、窒素ガス供給ライン１８８とを備えている。高圧空気供給ライン１８１には、高圧空気供給側から手動弁１８２、減圧弁１８３、圧力計１８４、制御弁１８５が設けられている。純水供給ライン１８６には、手動弁１８７が設けられている。窒素ガス供給ライン１８８には、手動弁１８９が設けられている。 The supply unit 180 includes a high-pressure air supply line 181, a pure water supply line 186, and a nitrogen gas supply line 188. A manual valve 182, a pressure reducing valve 183, a pressure gauge 184, and a control valve 185 are provided on the high pressure air supply line 181 from the high pressure air supply side. A manual valve 187 is provided in the pure water supply line 186. A manual valve 189 is provided in the nitrogen gas supply line 188.

制御器２００は、例えば、図６に示すような条件下で制御弁１８５のＯＮ−ＯＦＦ制御を行う。すなわち、湿度が４０％のときに制御弁１８５を開き、湿度が５０％のときに制御弁１８５を閉じるように設定されている。 For example, the controller 200 performs ON / OFF control of the control valve 185 under the conditions shown in FIG. That is, the control valve 185 is set to open when the humidity is 40%, and the control valve 185 is closed when the humidity is 50%.

このように構成された加湿システム１０は、次のように動作する。なお、予め、加湿器本体１１０に、高圧空気供給ライン１８１を介して高圧空気、純水供給ライン１８６を介して純水、窒素ガス供給ライン１８８を介して窒素ガスをそれぞれ供給する。 The humidification system 10 configured as described above operates as follows. The humidifier body 110 is supplied with high-pressure air via the high-pressure air supply line 181, pure water via the pure water supply line 186, and nitrogen gas via the nitrogen gas supply line 188.

なお、純水の流量は制御されず、自動給水弁（フロート式）により、自動水位調整される。また、給水槽１５０内に貯留されている純水のバクテリア発生防止のため（空気と遮断するため）、窒素ガスの供給を手動弁１８９により行う。この時の窒素流量は手動調整により若干量とする。さらに、エア抜き１５５により給水槽１５０内部は大気圧に保たれている。 The flow rate of pure water is not controlled, and the automatic water level is adjusted by an automatic water supply valve (float type). Further, in order to prevent bacteria generation of pure water stored in the water supply tank 150 (in order to shut off air), nitrogen gas is supplied by a manual valve 189. At this time, the nitrogen flow rate is slightly adjusted by manual adjustment. Furthermore, the inside of the water supply tank 150 is maintained at atmospheric pressure by the air vent 155.

クリーンルームユニット２０内における空気の流れは以下の通りである。クリーンルーム２１の負荷（発熱）により、温度上昇した空気が床下チャンバ２３に入る。床下チャンバ２３に設置したドライコイル２６により、顕熱冷却される。このとき、減湿はされない。この空気と外気がエアシャフト２２にて混合される。混合された空気は、エアシャフト２２を通り、ファンフィルタユニット２４及びＨＥＰＡフィルタ２５を介してクリーンルーム２１内に供給される。このとき、供給される空気の温度は、室温を維持するために室温より低くなるようにドライコイル２６の動作量が設定されている。 The flow of air in the clean room unit 20 is as follows. Due to the load (heat generation) of the clean room 21, the air whose temperature has increased enters the underfloor chamber 23. Sensible heat cooling is performed by a dry coil 26 installed in the underfloor chamber 23. At this time, the moisture is not reduced. This air and outside air are mixed by the air shaft 22. The mixed air passes through the air shaft 22 and is supplied into the clean room 21 via the fan filter unit 24 and the HEPA filter 25. At this time, the operation amount of the dry coil 26 is set so that the temperature of the supplied air is lower than the room temperature in order to maintain the room temperature.

一方、加湿制御は次のように行う。すなわち、クリーンルーム２１内の湿度が湿度検出器１９０により検出され、入力されたクリーンルーム２１内の湿度が予め設定された湿度を下回ると、制御器２００から送られた制御信号により制御弁１８５が開く。これにより、高圧空気が高圧空気槽１２０に導入され、高圧空気ヘッダ管１３０を介して、各混合ノズル１４０に供給される。そして、供給された高圧空気は混合ノズル１４０の高圧空気供給路１４２を通って混合空間１４３に噴出される。これにより、混合空間１４３に負圧が発生し、負圧により純水供給路１４１から純水が混合空間１４３に吸引され、混合空間１４３により、空気と純水が混合し、加湿水として混合ノズル１４０から噴出する。これにより、エアシャフト２２内の空気は加湿され、室内湿度が上昇する。このとき、エアシャフト２２内では、加湿した純水分の蒸発潜熱による冷却効果が発生する。 On the other hand, humidification control is performed as follows. That is, when the humidity in the clean room 21 is detected by the humidity detector 190 and the input humidity in the clean room 21 falls below a preset humidity, the control valve 185 is opened by the control signal sent from the controller 200. As a result, high-pressure air is introduced into the high-pressure air tank 120 and supplied to each mixing nozzle 140 via the high-pressure air header pipe 130. The supplied high-pressure air is jetted into the mixing space 143 through the high-pressure air supply path 142 of the mixing nozzle 140. As a result, a negative pressure is generated in the mixing space 143, and the pure water is sucked into the mixing space 143 from the pure water supply path 141 by the negative pressure. Erupts from 140. Thereby, the air in the air shaft 22 is humidified, and indoor humidity rises. At this time, a cooling effect is generated in the air shaft 22 due to the latent heat of vaporization of the humidified pure water.

なお、クリーンルーム２１内の湿度が一定以上となった場合には、制御器２００から送られた制御信号により制御弁１８５が閉じ、混合ノズル１４０からの加湿水の噴出は停止する。 When the humidity in the clean room 21 becomes a certain level or higher, the control valve 185 is closed by a control signal sent from the controller 200, and the ejection of humidified water from the mixing nozzle 140 is stopped.

上述したように、本実施の形態に係る加湿システム１０によれば、加湿量の制御は高圧空気の制御だけで行っているため、制御性が向上するとともに、装置構成を簡略化できる。したがって、装置全体の信頼性が向上し、製造・取付費用を低コスト化できる。 As described above, according to the humidification system 10 according to the present embodiment, the humidification amount is controlled only by the control of high-pressure air, so that controllability is improved and the apparatus configuration can be simplified. Therefore, the reliability of the entire apparatus is improved, and the manufacturing and mounting costs can be reduced.

また、可変機構１６０により、給水槽１５０の高さ位置を変えることで、給水槽１５０内の純水の水面と混合ノズル１４０との高さ方向の距離Ｈを調整でき、加湿水の噴霧粒径Ｒを調整することができる。なお、図７は、純水の水面と混合ノズル１４０との高さ方向の距離Ｈと加湿水の噴霧粒径Ｒとの関係の一例を示すグラフである。 In addition, by changing the height position of the water supply tank 150 by the variable mechanism 160, the distance H in the height direction between the water surface of the pure water in the water supply tank 150 and the mixing nozzle 140 can be adjusted. R can be adjusted. FIG. 7 is a graph showing an example of the relationship between the distance H in the height direction between the surface of pure water and the mixing nozzle 140 and the spray particle size R of the humidified water.

また、混合ノズル１４０への給水は、自吸式であるため、加圧式の場合に必要となる制御弁が不要となる。このため、制御弁がゴミ噛み等により故障した際に発生する混合ノズルからの垂れ流しを防止できる。また、混合ノズル１４０への給水管１７１内は、運転停止時は無圧であるため、混合ノズル１４０からの液ダレを防止できる。 Moreover, since the water supply to the mixing nozzle 140 is a self-priming type, a control valve required in the case of the pressurizing type becomes unnecessary. For this reason, it is possible to prevent dripping from the mixing nozzle that occurs when the control valve fails due to dust biting or the like. In addition, since the pressure in the water supply pipe 171 to the mixing nozzle 140 is no pressure when the operation is stopped, liquid dripping from the mixing nozzle 140 can be prevented.

また、純水を供給しているため、水の蒸発潜熱を利用した冷却を行うことができ、省エネルギに寄与できる。 Moreover, since pure water is supplied, cooling using the latent heat of vaporization of water can be performed, which can contribute to energy saving.

さらに、二流体を噴霧する混合ノズル１４０であるため、噴霧粒径Ｒを極小（数ミクロン）とすることができ、加湿水が空気中に溶け込みやすく、加湿効率が高い（ほぼ１００％）。さらに、空気中に溶け込まない水（排水）が出ないため、省エネルギである。 Furthermore, since the mixing nozzle 140 sprays the two fluids, the spray particle size R can be made extremely small (several microns), the humidified water can be easily dissolved in the air, and the humidification efficiency is high (almost 100%). Furthermore, since there is no water (drainage) that does not dissolve in the air, energy is saved.

さらに、給水槽１５０には窒素ガスを供給し、大気と遮断しているため、半導体クリーンルーム等でＡＭＣ（分子状汚染物質）対策として純水加湿を必要とする場合、純水のバクテリア発生防止対策ができる。 Furthermore, since nitrogen gas is supplied to the water supply tank 150 and shut off from the atmosphere, if pure water humidification is required as an AMC (molecular contaminant) countermeasure in a semiconductor clean room, etc., measures to prevent the generation of bacteria in pure water Can do.

図８は上述した加湿装置１００の第１変形例に係る加湿装置３００を示す正面図、図９は加湿装置３００の側面図である。なお、図８及び図９において図２〜図４と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。 FIG. 8 is a front view showing a humidifying device 300 according to the first modification of the humidifying device 100 described above, and FIG. 9 is a side view of the humidifying device 300. 8 and 9, the same functional parts as those in FIGS. 2 to 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

加湿装置３００には、ヒータユニット３１０が設けられている。ヒータユニット３１０は、高圧空気ヘッダ管１３０に取り付けられたブラケット３１１と、このブラケット３１１に取り付けられた４台の赤外線ヒータ３１２とを備えている。赤外線ヒータ３１２の焦点はスポット状であり、混合ノズル１４０の噴出口１４４に向けて設置されている。 The humidifier 300 is provided with a heater unit 310. The heater unit 310 includes a bracket 311 attached to the high-pressure air header pipe 130 and four infrared heaters 312 attached to the bracket 311. The focal point of the infrared heater 312 has a spot shape, and is set toward the ejection port 144 of the mixing nozzle 140.

赤外線ヒータ３１２の波長は中赤外線である３μｍ前後に設定されており、水の赤外線吸収特性（波長３μｍ前後に吸収率の高いピークを持っている）にあった波長の赤外線ヒータ（中赤外線ヒータ）を使用し、混合ノズル１４０から噴霧された加湿水をスポット的に瞬時に加熱することができ、気化時間の短縮が可能となる。したがって、噴霧距離を短くできるため、キャリーオーバーが無く、狭所空間に取り付けることができる。 The wavelength of the infrared heater 312 is set to about 3 μm, which is mid-infrared, and the infrared heater (mid-infrared heater) having a wavelength suitable for the infrared absorption characteristics of water (having a high absorption peak around the wavelength of 3 μm). The humidified water sprayed from the mixing nozzle 140 can be instantaneously heated in a spot manner, and the vaporization time can be shortened. Therefore, since the spraying distance can be shortened, there is no carry-over and it can be installed in a narrow space.

図１０は上述した加湿装置１００の第２変形例に係る加湿装置４００を示す正面図である。図１０において図２及び図８と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。 FIG. 10 is a front view showing a humidifying device 400 according to a second modification of the humidifying device 100 described above. 10, the same functional parts as those in FIGS. 2 and 8 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

加湿装置４００には、ヒータユニット４１０が設けられている。ヒータユニット４１０は、高圧空気ヘッダ管１３０に取り付けられたブラケット４１１と、このブラケット４１１に取り付けられた１台のライン上に焦点を結ぶ赤外線ヒータ４１２とを備えている。赤外線ヒータ４１２の焦点は混合ノズル１４０の噴出口１４４に向けて設置されている。赤外線ヒータ４１２の波長は中赤外線である３μｍ前後に設定されている。 The humidifier 400 is provided with a heater unit 410. The heater unit 410 includes a bracket 411 attached to the high-pressure air header pipe 130 and an infrared heater 412 that focuses on one line attached to the bracket 411. The focal point of the infrared heater 412 is set toward the ejection port 144 of the mixing nozzle 140. The wavelength of the infrared heater 412 is set to about 3 μm, which is a middle infrared ray.

本第２変形例においても上述した第１変形例と同様の効果が得られる。 In the second modification, the same effect as that of the first modification described above can be obtained.

なお、本発明は前記各実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述した例では、加湿機構をエアシャフト２２内に配置したが、クリーンルーム２１内や床下チャンバ２３内に配置してもよい。また、大量の外気を取り入れる場合には、蒸気加湿装置等の他のタイプの加湿装置を併用してもよい。さらに、気体は高圧空気、液体は純水に限られない。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。 The present invention is not limited to the embodiments described above. For example, in the above-described example, the humidification mechanism is disposed in the air shaft 22, but may be disposed in the clean room 21 or the underfloor chamber 23. In addition, when a large amount of outside air is taken in, another type of humidifier such as a steam humidifier may be used in combination. Furthermore, the gas is not limited to high-pressure air, and the liquid is not limited to pure water. Of course, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本発明の一実施の形態に係る加湿装置が組み込まれた加湿システムを模式的に示す図。The figure which shows typically the humidification system with which the humidification apparatus which concerns on one embodiment of this invention was integrated. 同加湿装置を示す正面図。The front view which shows the humidification apparatus. 同加湿装置を示す平面図。The top view which shows the humidification apparatus. 同加湿装置を示す側面図。The side view which shows the humidification apparatus. 同加湿装置に組み込まれた混合ノズルを示す要部断面図。The principal part sectional drawing which shows the mixing nozzle integrated in the humidification apparatus. 同加湿装置に組み込まれた制御部の制御タイミングを示す説明図。Explanatory drawing which shows the control timing of the control part integrated in the humidification apparatus. 同加湿装置における純水の水面と混合ノズルとの高さ方向の距離と加湿水の噴霧粒径との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the distance of the height direction of the water surface of a pure water and the mixing nozzle in the humidification apparatus, and the spray particle diameter of humidification water. 同加湿装置の第１変形例を示す正面図。The front view which shows the 1st modification of the humidification apparatus. 同加湿装置を示す側面図。The side view which shows the humidification apparatus. 同加湿装置の第２変形例を示す正面図。The front view which shows the 2nd modification of the humidification apparatus.

Explanation of symbols

１０…加湿システム、２０…クリーンルームユニット、２１…クリーンルーム、１００…加湿装置、１１０…加湿器本体、１２０…高圧空気槽、１３０…高圧空気ヘッダ管、１３１…給気管、１４０…混合ノズル、１５０…給水槽（液体槽）、１６０…可変機構、１７０…給水ヘッダ管、１７１…給水管、１８０…供給部、１９０…湿度検出器、２００…制御器、３００，４００…加湿装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Humidification system, 20 ... Clean room unit, 21 ... Clean room, 100 ... Humidifier, 110 ... Humidifier main body, 120 ... High pressure air tank, 130 ... High pressure air header pipe, 131 ... Air supply pipe, 140 ... Mixing nozzle, 150 ... Water supply tank (liquid tank), 160 ... variable mechanism, 170 ... water supply header pipe, 171 ... water supply pipe, 180 ... supply section, 190 ... humidity detector, 200 ... controller, 300, 400 ... humidifier.

Claims

In a two-fluid spray humidifier that mixes and sprays gas and liquid,
A gas supply unit that pressurizes and supplies the gas;
A liquid tank for storing the liquid;
A mixing nozzle that sucks the liquid from the liquid tank by a negative pressure generated by pressurization of the gas, and mixes and ejects the gas and the liquid;
A humidifying device comprising: a variable mechanism that varies a relative position of the liquid tank and the mixing nozzle in a height direction.

The humidifying device according to claim 1, wherein the mixing nozzle is an external mixing type.

The humidifying device according to claim 1, wherein a nitrogen gas supply unit that supplies nitrogen gas to the liquid tank is provided.

The humidifying device according to claim 1, further comprising a heating mechanism for heating the liquid ejected from the mixing nozzle with infrared rays.