JP2006252808A - フィルムの転写方法、フィルム転写装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 処理に要する時間を短縮し、装置規模を縮小し、材料の利用効率を向上し、ライン設計及び製品設計の自由度を向上する。
【解決手段】 支持フィルム、転写フィルム及び保護フィルムの３層構造のシート材の転写フィルムを基板に転写するフィルム転写装置１１０である。保護フィルム剥離後の転写フィルムの一部を、送り方向の所定間隔毎に幅方向に亘って除去することにより、支持フィルム上に残された転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去手段２０を備える。転写パターンに形成された転写フィルムを基板１に転写する手段１１７Ａ、１１７Ｂと、転写済みの転写フィルムから支持フィルムを剥離する手段１１９を備える。一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行う。
【選択図】 図１

Description

本発明は、フィルムの転写方法、フィルム転写装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。

従来より、基板に対し転写される転写フィルムと、この転写フィルム上を覆う保護フィルムと、転写フィルムを支持する支持フィルムと、の３層構造のシート材を巻回してなるシート供給ロールからシート材を巻き戻して供給し、シート材の転写フィルムを基板上に転写する技術が知られている（例えば、特許文献１、２、３）。

特許文献１に開示されたフィルム転写装置は、図１１に示すように、３層構造のシート材１０００を巻回してなるシート供給ロール１００１と、このシート供給ロール１００１から巻き戻されたシート材１０００をガイドする複数のガイドローラ１００２と、搬送路上を一定間隔で搬送されてくる基板１００５間（図１１には１つの基板１００５のみを図示）に相当する位置の前端及び後端位置にて保護フィルム及び転写フィルムを切断する切断装置１００３と、切断装置１００３による２つの切断位置を境として、基板に転写される部分の保護フィルムを剥離する保護フィルム除去装置１００４と、基板１００５とシート材１０００とをまとめて通すことにより両者を圧着する一対の加熱圧着ローラ１００６と、保護フィルム除去装置１００４と加熱圧着ローラ１００６との間のシート材搬送経路においてシート材１０００に一定の張力を与える張力調整用ローラ１００７と、保護フィルム除去装置１００４と張力調整用ローラ１００７との間に設置され、シート材１０００の幅方向の位置ズレを検出する位置ずれ検出装置１００８と、を備えて構成されている。

特許文献１のフィルム転写装置は、以下のように動作する。

シート供給ロール１００１から繰り出した３層構造のシートの保護フィルムと転写フィルムの、一定間隔で順次搬送されてくる基板１００５間に相当する部分を切断し、基板１００５間に相当する部分以外の保護フィルム（つまり後で基板１００５に転写される部分を覆っている保護フィルム）を剥離した後、支持フィルムを切断しないまま基板とともに一対の圧着ローラ１００６間を通すことにより、転写フィルムを基板１００５に転写する。このとき、切断装置１００３と圧着ローラ１００６間でシートが一定の張力を保つように張力計測器で測定しながら張力調整用ローラ１００７の位置調整を行う。なお、転写後の基板１００５は、前に転写した基板１００５と支持フィルムを介して連結されている。このため、基板１００５間の支持フィルムを切断し前後の基板１００５を相互に分離する。

また、特許文献２に開示されたフィルム転写装置は、構成、動作ともに特許文献１とほぼ同様であり、主な相違点は以下のとおりである。

特許文献２の場合、保護フィルム及び転写フィルムを切断する工程において、ミシン目のカッターを用いる。すなわち、特許文献１に記載されたように支持フィルムのみを残して２層（保護フィルム及び転写フィルムの２層）のみ切断することは困難で実行不可能との判断から、特許文献２では３層ともミシン目を入れる工法を提案している。

また、特許文献３に開示されたフィルム転写装置も、構成、動作ともに特許文献１と類似しており、主な相違点は以下のとおりである。

転写フィルムにおいて基板間に相当する不要部分を除去するに際して、予め保護フィルムを剥離してから不要部分の転写フィルムを切断する。また、転写フィルムの切断方法及び除去方法を具体的に挙げている。更に、多面取り基板を対象として、転写フィルム切断・除去ユニットを複数設けている。

図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は、上記の第１乃至第３の特許文献に共通の転写態様の例を示す平面図であり、処理順序が前後する２つの基板１００５に対する転写が終了した状態を示す。

図１２（Ａ）の例の場合、１つの基板１００５に対して複数個の転写パターン１１００（転写フィルムのパターン）を形成している（転写パターンを多面取りしている）。

図１２（Ａ）において、長さＡ１は転写パターン１１００の長さ（送り方向における長さ）、長さＢは転写パターン１１００間の間隔（予め除去される転写フィルムの送り方向における間隔）、長さＣは基板１００５の長さ（送り方向における長さ）、長さＤは基板１００５間の間隔（送り方向における間隔）である。

また、図１２（Ｂ）の例の場合、１つの基板１００５に対して１つの転写パターン１１００を形成している。

図１２（Ｂ）において、長さＡ２は転写パターン１１００の長さ、長さＢは転写パターン１１００間の間隔、長さＣは基板１００５の長さ、長さＤは基板１００５間の間隔である。

なお、図１２（Ａ）に示す転写態様の場合（３面取りの場合）には、Ｃ＝（Ａ１×３）＋（Ｂ×３）−Ｄという制約があり、図１２（Ｂ）に示す転写態様の場合には、Ｃ＝Ａ２＋Ｂ−Ｄという制約がある。

図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように、処理順序が前後する２つの基板１００５に対する転写が終了した段階では、２つの基板１００５は、支持フィルムを介して相互に連結された状態である。

このように、処理順序が前後する２つの基板１００５を支持フィルムを介して連結したままで、処理順序が後の基板１００５に対する転写を行うのは、転写フィルムの張力を維持するためである。

図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示す状態の後は、２つの基板１００５間にまたがる支持フィルムを切断することにより、２つの基板１００５を分離する。

更にその後で、基板１００５上に圧着された転写フィルムから支持フィルムを剥離する。
特開平９−１７４７９７号公報 特開２０００−１４１５７７号公報 特開２００２−３４３７１３号公報

しかしながら、上記の従来技術には、以下に説明する共通の問題があった。

第１の問題は、転写工程の後に支持フィルムの剥離工程を行う必要があるため、処理に要する時間が長くなるという問題である。

第１の問題を生じる理由は、直前に転写した基板上の支持フィルムを切断せず次の基板に転写するフィルムと連結させておくことにより、転写フィルムの張力維持を行っているためである。

第２の問題は、装置内に少なくとも１枚の基板を滞留させる必要があるため、装置規模が大きくなってしまうという問題である。

第２の問題を生じる理由は、転写フィルムの張力を維持するために、直前に転写した基板の支持フィルムを切断しないままの状態で、次基板の転写が完了するまで、前の基板を停止させておくためである。

第３の問題は、一度設備に投入された基板は、転写不要であっても転写を行わざるをえないという問題である。このため、例えば、多面取り時に不良パターン部（予め不良面と分かっている面）へも転写せざるを得ないため、材料の利用効率を悪化させていた。

第３の問題を生じる理由は、貼付け前予めフィルムの転写フィルムに切れ目（スジやミシン目）加工を施し、複数の基板間に亘って連続的に転写を行った後で基板間を切断（分離）する方式であり、転写を中断することが出来ないためである。

第４の問題は、図１２に示すように、転写パターン１１００の長さＡ１（Ａ２）、転写パターン１１００間の間隔Ｂ、基板１００５の長さＣ、及び、基板１００５間の間隔Ｄの間に制約があり、ライン設計及び製品設計の自由度が奪われていたという問題である。すなわち、例えば、図１２（Ａ）に示す転写態様の場合（３面取りの場合）には、Ｃ＝（Ａ１×３）＋（Ｂ×３）−Ｄという制約が生じ、図１２（Ｂ）に示す転写態様の場合には、Ｃ＝Ａ２＋Ｂ−Ｄという制約が生じる。

第４の問題を生じる理由は、各基板間の間隔を一定の寸法に設定し、かつ複数の基板に対し連続的に転写を行う方式であるため、基板内のパターン間隔も一定にしないとパターン転写位置がずれてしまうことから、上記のように制約された寸法でしか転写が出来ないためである。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、処理に要する時間を短縮し、装置規模を縮小し、材料の利用効率を向上し、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することが可能なフィルムの転写方法、フィルム転写装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明のフィルムの転写方法は、基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも２層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写する転写方法において、前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送工程と、前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去工程と、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写工程と、前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離工程と、を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの前記転写工程及び前記支持フィルム剥離工程を重複するタイミングで行うことを特徴としている。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記支持フィルム剥離工程において剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収工程を更に備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記支持フィルム巻取回収工程では、支持フィルムを一定張力で巻き取ることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能なシート圧着ローラを、前記シート材を伴わせて移動させることにより該シート材を介して前記基板に接触させた状態で、該シート材を前記シート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、前記転写工程の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持工程を備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記張力維持工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写フィルム除去工程によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節工程を備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、前記シート材をシート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、前記前端位置調節工程は、転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出工程と、前記前端位置調節用位置検出工程による検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り工程と、を備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記一定量送り工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節工程を備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記パターン長調節工程は、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端をセンサにより検出するパターン長調節用位置検出工程と、前記パターン長調節用位置検出工程での検出がなされてから前記転写フィルム除去工程による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Ｙを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出工程と、前記算出した送り量Ｙと、前記センサによる検出位置と前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置との距離Ｎと、の合計値が、所望の転写パターン長Ｌとなるように、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節する除去動作位置調節工程と、を備えることが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記除去動作位置調節工程では、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節することが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、一の基板における複数の転写箇所に対してそれぞれ前記転写フィルムを転写する場合に、予め不良と分かっている転写箇所には転写せず、不良でない転写箇所にのみ選択的に転写することが好ましい。

本発明のフィルムの転写方法においては、前記転写工程は、送り方向における上流側に配置された第１のシート圧着ローラと、該第１のシート圧着ローラよりも下流側に配置された第２のシート圧着ローラと、によって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより行うことが好ましい。

また、本発明のフィルム転写装置は、基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも２層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写するフィルム転写装置において、前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送手段と、前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去手段と、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写手段と、前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離手段と、を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの前記支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うことを特徴としている。

本発明のフィルム転写装置においては、前記支持フィルム剥離手段により剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収手段を更に備えていることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記支持フィルム巻取回収手段は、前記支持フィルムを一定張力で巻き取ることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能に構成され、前記シート材を伴って移動することにより該シート材を介して前記基板に接触した状態で該シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、当該フィルム転写装置は、更に、転写動作の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持手段を備えていることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記張力維持手段は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を備え、前記第１及び第２のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材の張力を一定に維持することが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写フィルム除去手段によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節手段を備えることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、前記前端位置調節手段は、前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出センサと、前記前端位置調節用位置検出センサによる検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り手段と、を備えることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記一定量送り手段は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を備え、前記第１及び第２のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材を一定量だけ送り方向に送ることが好ましい。

これらの場合、前記前端位置調節用位置検出センサは、光反射式センサ又はレーザー反射式センサであることが好ましい。

この場合、前記圧着ローラの半径をＲとし、前記転写フィルム除去工程によって除去される部分の送り方向における長さをＢとし、円周率をπとし、前記圧着ローラの中心から前回の転写が終了した転写フィルムの後端位置とを結ぶ線と、前記前端位置調節用位置検出センサの光軸とのなす角度をθとすると、前記前端位置調節用位置検出センサは、前記角度θが、θ＜（Ｂ／πＲ）×１８０°を満たすような位置に配置されている必要がある。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節手段を備えることが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記パターン長調節手段は、前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端を検出するパターン長調節用位置検出センサと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出がなされてから前記転写フィルム除去手段による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Ｙを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出手段と、前記転写フィルム除去手段の位置を前記シート材の送り方向において調節する除去手段位置調節手段と、を備え、前記除去手段位置調節手段は、前記算出した送り量Ｙと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出位置と前記転写フィルム除去手段により除去動作を行う位置との距離Ｎと、の合計値が、所望の転写パターン長Ｌとなるように、前記転写フィルム除去手段の位置を調節し、前記転写フィルム除去手段は、該調節された位置にて転写フィルムの除去動作を行うことが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記除去手段位置調節手段は、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去手段の位置を調節することが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、送り方向における上流側に配置されたシート圧着ローラと、前記シート圧着ローラよりも下流側に配置された複数の冷却ローラと、を備え、前記シート圧着ローラ及び前記複数の冷却ローラによって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより転写動作を行うことが好ましい。

本発明のフィルム転写装置においては、前記転写手段は、前記シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラと、前記基板及び前記シート材を挟んで前記シート圧着ローラと対向する位置に配置された基板側圧着ローラと、を備えて構成されていることが好ましい。

また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第１及び第２の基板を備えるプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、前記第１及び第２の基板のうちの少なくとも一方に対して、本発明のフィルムの転写方法により転写フィルムを転写する工程を備えることを特徴としている。

本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、前記転写フィルムによって、前記プラズマディスプレイパネルの前記誘電体層を形成することを好ましい一例としている。

本発明によれば、基板（例えばガラス基板や樹脂基板など）に対して転写フィルムを転写するに際し、転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写フィルムの転写動作と該転写フィルムから支持フィルムを剥離する動作とを完全に別個のタイミングで行う従来技術（特許文献１〜３など）と比べて、処理に要する時間を短縮することができる。

また、保護フィルム剥離後のシート材の転写フィルムの一部（すなわち、転写パターンの間隔に相当する部分）を予め転写フィルム除去手段によって除去した後で、一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写済みの基板を装置内に滞留させずに１基板毎に転写処理を実行できる。よって、装置規模を縮小することができる。

更に、本発明の場合、シート材を構成する３層のうちの転写フィルムのみを基板上に転写する方式であるため、転写パターン毎に個別に転写処理を行うことができる。よって、転写不要な箇所（例えば、多面取り時における不良パターン部）には転写しないようにでき、転写材料の利用効率を向上することができる。

加えて、転写パターン毎に基板に対する転写位置を調節することができるので、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することができる。

なお、従来技術においては、複数の基板に対して連続的に転写を行うことによって、転写フィルムの張力の安定性を維持していたのに対し、本発明においては、支持フィルムを一定張力で巻き取ることにより、転写フィルムの張力の安定性を維持することができる。

更に、転写フィルムの長さを調節するパターン長調節手段を備えるので、転写フィルム毎に所望のパターン長に設定することができる。よって、例えば、１つの基板内で多面取りする（複数のパターンを形成する）場合に、各パターン毎にパターン長をそれぞれ設定することができる。

以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について説明する。

〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係るフィルム転写装置１１０を示す側面図、図２はフィルム転写装置１１０の平面図、図３（Ａ）は転写フィルム１６２を有するシート材１６０を巻回してなるシート供給ロール１７０を示す斜視図、図３（Ｂ）はシート材１６０の層構造を示す断面図、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は基板に対するフィルムの転写態様の例を示す平面図、図５はフィルム転写装置１１０の第１の転写フィルム検出センサ４０及び転写フィルム除去ユニット２０の近傍を示す側面図であり、図５（Ａ）は転写フィルム除去ユニット２０が基準位置に位置している状態を、図５（Ｂ）は転写フィルム除去ユニット２０が基準位置から移動した状態を、それぞれ示す。図６はフィルム転写装置１１０の第２の転写フィルム検出センサ５０の近傍を示す側面図である。図７はフィルム転写装置１１０による転写動作を説明するための一連の工程図であり、それぞれフィルム転写装置１１０の圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂの近傍を示す側面図である。

図３（Ｂ）に示すように、シート材１６０は、転写フィルム１６２を支持する支持フィルム１６３と、フィルム転写装置１１０によって基板上に転写される転写フィルム１６２と、転写フィルム１６２上を覆う保護フィルム１６１と、をこの順に積層してなる３層構造をなしている。

図３（Ａ）に示すように、シート供給ロール１７０は、シート材１６０をロール状に巻回することにより構成され、シート材１６０が巻き戻されることにより該シート材１６０を供給する。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、基板１には、該基板１の姿勢を検出するためのアライメントマーク１Ａが、例えば、基板１の対角２箇所もしくは４隅（４箇所）に形成されている。

このような基板１に対して、必要に応じて、例えば、図４（Ａ）に示すように１つの転写パターン（転写フィルム１６２）を転写したり、或いは、図４（Ｂ）に示すように複数（例えば、３つ）の転写パターン（転写フィルム１６２）を転写したりする。

図１に示すように、フィルム転写装置１１０は、転写フィルム１６２を転写する対象である基板１を搬送する基板搬送部１００Ａと、基板１に対して転写フィルム１６２を転写するフィルム転写部１００Ｂと、を備えて構成されている。

フィルム転写部１００Ｂは、シート供給ロール１７０からシート材１６０を巻き戻して供給する動作と、巻き戻されたシート材１６０から保護フィルム１６１を剥離する動作と、該剥離後のシート材１６０（支持フィルム１６３及び該支持フィルム１６３上の転写フィルム１６２からなる）の転写フィルム１６２を所望のパターン形状に形成する動作と、所望のパターン形状に形成された転写フィルム１６２を基板１上に転写する動作と、基板１上に転写された転写フィルム１６２から支持フィルム１６３を剥離する動作と、該剥離後の支持フィルム１６３を巻き取って回収する動作と、を行う。特に、転写フィルム１６２を基板１上に転写する動作と、該動作により基板１上に転写された転写フィルム１６２から支持フィルム１６３を剥離する動作と、は重複するタイミングで行う（並行して行う）。

これらの動作を行うために、フィルム転写部１００Ｂは、図１に示すように、シート供給ロール１７０を回動可能に保持するシート供給ロール保持部１１１と、このシート供給ロール保持部１１１に保持されたシート供給ロール１７０より供給された（巻き戻された）シート材１６０を挟持するようにしてガイドする一対のガイドローラ１１２、１１３と、ガイドローラ１１３の位置にてシート材１６０から剥離された保護フィルム１６１を巻き取る保護フィルム巻き取りローラ１１４と、保護フィルム１６１が剥離された残りのシート材１６０（支持フィルム１６３及び該支持フィルム１６３上の転写フィルム１６２からなる）の転写フィルム１６２の一部（転写パターン間に相当する部分）を除去することにより該転写フィルム１６２を所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去ユニット２０と、この転写フィルム除去ユニット２０を移動させることにより転写パターン形状の調節やシート材１６０の伸び分の補正を行う除去ユニット移動機構３０と、転写パターン形状に形成された転写フィルム１６２を有するシート材１６０をガイドするとともに、該シート材１６０の引き回し方向を例えば水平方向から鉛直方向に変化させるガイドローラ１１５と、転写パターン形状に形成された転写フィルムの前端位置を検出するために、転写フィルム除去ユニット２０よりも送り方向下流側において複数箇所に設置された転写フィルム検出センサ（例えば、後述する第１及び第２の転写フィルム検出センサ４０，５０）と、シート材１６０をガイドすると共に該シート材１６０のテンション（張力）の調節などを行う第１のテンションローラ１１６と、シート材１６０をガイドすると共に該シート材１６０が有する転写フィルム１６２を下方に位置する基板１に対して圧着することにより転写する上圧着ローラ１１７Ａと、この上圧着ローラ１１７Ａとはシート材１６０及び基板１を介して対向配置され、基板１をシート材１６０に対して押し付ける下圧着ローラ１１７Ｂと、基板１に転写された（転写済みの）転写フィルム１６２から剥離された支持フィルム１６３をガイドすると共に該支持フィルム１６３のテンションの調節などを行う第２のテンションローラ１１８と、支持フィルム１６３を一定の巻き取りトルクで巻き取ることにより回収する支持フィルム巻き取りローラ１１９と、を備えて構成されている。

ここで、シート材１６０は、予め、図１に示すようにフィルム転写部１００Ｂにおいて所定の経路で引き回されている。

すなわち、シート供給ロール１７０から巻き戻されたシート材１６０は、一対のガイドローラ１１３，１１２間の間隔を通過し、ガイドローラ１１５、第１のテンションローラ１１６、上圧着ローラ１１７Ａ、及び、第２のテンションローラ１１８に対してこの順に架け渡され、一端が支持フィルム巻き取りローラ１１９に固定されている。

なお、シート供給ロール１７０から巻き戻されてからガイドローラ１１５に達するまでの位置では、支持フィルム１６３が下側に位置し、その上側に転写フィルム１６２が位置するように、シート材１６０が引き回されている。

また、シート供給ロール１７０を構成する３層のフィルムのうち、保護フィルム１６１だけは、一対のガイドローラ１１３，１１２を通過する際に剥離され、残りの２層（支持フィルム１６３及び転写フィルム１６２）とは別のルートで回収される。すなわち、保護フィルム１６１は、ガイドローラ１１３の周面に沿って折り返されて、保護フィルム巻き取りローラ１１４側に向かい、該保護フィルム巻き取りローラ１１４に巻き取られる。

保護フィルム巻き取りローラ１１４は、シート供給ロール１７０からのシート材１６０の供給動作と同期して、保護フィルム１６１を巻き取って回収する。これにより、シート供給ロール１７０から供給される分だけ、シート材１６０の保護フィルム１６１が剥離される。

従って、一対のガイドローラ１１３，１１２から先は、保護フィルム１６１を除く２層のフィルム（支持フィルム１６３及び転写フィルム１６２）のみが引き回されている。

また、シート材１６０は、ガイドローラ１１５の周面に沿うようにして、その引き回し方向が（例えば、水平方向から鉛直方向へと）変更され、上圧着ローラ１１７Ａに至る。

更に、シート材１６０の転写フィルム１６２は上下の圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂによる転写動作によって基板１上に転写されるので、上圧着ローラ１１７Ａから先は支持フィルム１６３のみが引き回されている。

転写フィルム除去ユニット２０は、図１に示すように、一対のガイドローラ１１３，１１２とガイドローラ１１５との間に位置するシート材１６０に沿って配置されている。

この転写フィルム除去ユニット２０は、図１の奥行き方向に長尺で、相互に平行に配置された一対のカッター２１などを備えて構成され、保護フィルム１６１を剥離後の２層になったシート材１６０における転写フィルム１６２の一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルム１６２の幅方向に亘ってカッター２１により切断し、このカッター２１間に位置する部分の転写フィルム１６２をシート材１６０から除去することにより、支持フィルム１６３上の転写フィルム１６２を転写パターン形状に形成する。

つまり、転写フィルム除去ユニット２０によって、送り方向における前後の転写フィルム１６２を相互に分断することを、送り方向における所望の間隔毎に行う結果、シート材１６０の支持フィルム１６３上に残された転写フィルム１６２が所望の転写パターン形状に形成される。

従って、転写フィルム除去ユニット２０によって除去された部分のシート材１６０は、支持フィルム１６３のみになる。

なお、一対のカッター２１間の距離は一定であり、従って、転写フィルム除去ユニット２０により除去される部分の送り方向における長さ（寸法）も常に一定である。

このように転写フィルム１６２を一定の送り方向寸法で切断除去するのは、（１）転写パターンの前端及び後端部分の直線性を維持する目的と、（２）転写パターンの前端位置を明確にする目的と、（３）１つの基板１に対する転写動作中に、次に処理すべき基板１に対しても転写フィルム１６２が転写されてしまうことを防止する目的で行う。なお、切断除去する部分の寸法（送り方向寸法）は、これら（１）〜（３）の目的を達成できるような最小限の寸法とする。

除去ユニット移動機構３０は、転写フィルム除去ユニット２０を送り方向（転写フィルム除去ユニット２０の位置では図１の左右方向）における任意の位置に移動させて位置決めする。

除去ユニット移動機構３０により転写フィルム除去ユニット２０の位置を調節した状態で、該転写フィルム除去ユニット２０により転写フィルム１６２を上記のように切断除去することによって、転写パターンとなる転写フィルム１６２の送り方向寸法（転写パターン長）を調節することができ、支持フィルム１６３上の転写フィルム１６２を所望の転写パターン形状に形成することができる。

つまり、除去ユニット移動機構３０による転写フィルム除去ユニット２０の位置を調節することにより、転写フィルム除去ユニット２０によって時間的に前後して除去される転写フィルム１６２の２つの部分の間隔を調節することにより、転写パターン長を調節できる。

除去ユニット移動機構３０は、例えば、図５に示すように、転写フィルム除去ユニット２０を保持した保持部３１と、この保持部３１ごと転写フィルム除去ユニット２０を移動方向にガイドするガイド部３２と、ガイド部３２に沿って保持部３１を移動させる駆動機構（図示略）と、を備えて構成されている。

また、第１の転写フィルム検出センサ４０は、図１に示すように、転写フィルム除去ユニット２０よりも下流側において、一対のガイドローラ１１３，１１２とガイドローラ１１５との間に位置するシート材１６０に沿って配置されている。

この第１の転写フィルム検出センサ４０は、例えば、光反射式センサ或いはレーザー反射式センサからなり、転写パターン形状に形成される転写フィルム１６２の前端位置を、例えばガイドローラ１１５の手前で検出する。すなわち、第１の転写フィルム検出センサ４０は、転写フィルム１６２が除去されて支持フィルム１６３の一層のみになった１層部分と、転写パターン形状に形成された転写フィルム１６２が残留している２層部分との境界を光学的に検出する。

なお、転写フィルム除去ユニット２０は、第１の転写フィルム検出センサ４０により転写フィルム１６２の前端位置が検出されてから、該検出位置よりも転写パターン長だけ送り方向の上流側の位置にて転写フィルム１６２の除去動作を行う。

ここで、図５を参照して、転写パターン長の調節動作を説明する。

なお、以下に説明する転写パターン長の調節動作は、一連のシート材１６０の転写フィルム１６２に対して行う転写フィルム除去ユニット２０による２回目以降の切断除去動作の際に行うものであり、一連のシート材１６０に対する１回目の除去切断動作は、シート材１６０の任意の位置に対して行えば良い。

図５（Ｂ）に示すように、転写パターン長をＬとし、第１の転写フィルム検出センサ４０（による検出位置）から転写フィルム除去ユニット２０の基準位置（図５（Ａ）の位置）までの距離をＮとし、基準位置からの転写フィルム除去ユニット２０の移動距離をΔＮとし、第１の転写フィルム検出センサ４０による転写フィルム１６２の前端位置の検出がなされてから転写フィルム除去ユニット２０による除去動作を行うまでの間のシート材１６０の送り量をＹとすると、転写パターンの長さＬは、Ｎ＋ΔＮ＋Ｙとなる。

このうち距離Ｎ（第１の転写フィルム検出センサ４０から転写フィルム除去ユニット２０の基準位置までの距離）は、予め計測により求め、フィルム転写装置１１０に記憶しておくものとする。従って、距離Ｎは、転写パターン長を調節するたびに算出する必要はない。

また、移動距離ΔＮは、除去ユニット移動機構３０による転写フィルム除去ユニット２０の移動距離であるため、正確に認識することができる。

また、送り量Ｙは、例えば、第１の転写フィルム検出センサ４０による転写フィルム１６２の前端位置の検出がなされてから転写フィルム除去ユニット２０による除去動作を行うまでの間のガイドローラ１１５の回転量（回転角度）に基づいて算出される。この演算を行う算出手段については図示を省略する。

除去ユニット移動機構３０は、算出した送り量Ｙと、既知の値である距離Ｎと、移動距離ΔＮ（転写パターン長Ｌに応じて変化する）と、の合計値を算出し、該算出した合計値が、所望の転写パターン長Ｌとなるように、転写フィルム除去ユニット２０の位置を送り方向において調節し、該転写フィルム除去ユニット２０は、このように調節された位置にて転写フィルム１６２の除去動作を行う。なお、送り量Ｙ、距離Ｎ及び移動距離ΔＮの合計値の算出手段についても図示を省略する。

従来は、転写パターン長Ｌの全長に亘って、ガイドローラの回転量に基づいて長さの計測を行っていたが、この方式だと誤差が大きくなってしまうという問題があった。これに対し、本実施形態の場合、転写パターン長Ｌの全長の極一部である距離Ｙの分だけ、ガイドローラ１１５の回転量（回転角度）に基づいて算出するので、転写パターン長を高精度に調節することが可能となる。

また、フィルム転写部１００Ｂにおいて搬送されるシート材１６０には張力が付与されているため、搬送中の転写フィルム１６２は実際の長さよりも長くなっている。

そのため、除去ユニット移動機構３０は、シート材１６０に加わる張力に起因するシート材１６０の伸び量を考慮した補正を施して、転写フィルム除去ユニット２０の位置を調節する。つまり、図５に示す転写パターン長Ｌは、基板１上に転写されたときの実際の転写フィルム１６２の転写パターン長よりも、張力に起因する伸び量だけ大きい。なお、この補正量は、転写パターン長Ｌが長いほど大きくなる。

このような補正を行うことにより、基板１上に実際に転写される転写フィルム１６２の転写パターン長を正確に制御することができる。

圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂは、例えば、昇降機能及び加圧力調整機能を備えた上下一対のローラとして構成されている。なお、これら圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂは、具体的には、例えば、金属製ローラに一定厚さのゴムコーティングを施したものであることが挙げられる。

これら圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂにより基板１及びシート材１６０をまとめて挟み込んだままで、該圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂの間隔を等速で基板１が通過することにより、転写フィルム１６２が基板１に圧着転写される。

これら圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂは、例えば、加熱圧着により転写フィルム１６２を基板１に転写する。

また、第１のテンションローラ１１６はシート材１６０の送り方向において上圧着ローラ１１７Ａの上流側に配置され、第２のテンションローラ１１８はシート材１６０の送り方向において上圧着ローラ１１７Ａの下流側に配置されている。

より具体的には、第１のテンションローラ１１６はガイドローラ１１５と上圧着ローラ１１７Ａとの間においてシート材１６０に係合し、第２のテンションローラ１１８は上圧着ローラ１１７Ａと支持フィルム巻き取りローラ１１９との間でシート材１６０に係合し、それぞれシート材１６０に張力を付与している。

これら第１及び第２のテンションローラ１１６，１１８は、上圧着ローラ１１７Ａが昇降する際のシート材１６０の張力を一定に維持させる機能と、図１における左右方向又は上下方向に両ローラ１１６，１１８が移動することによりシート材１６０の微少送り（微少距離だけ送ることにより転写フィルム１６２の前端位置を微調整する動作）を行う機能と、を有している。

具体的には、第１のテンションローラ１１６は図１の左右方向への移動機能と、図１の反時計回りへの回動機能と、を備え、第２のテンションローラ１１８は図１の上下方向への移動機能と、図１の時計回りへの回動機能と、を備えている。

第１のテンションローラ１１６は、図１の左側に移動することによりシート材１６０の張力を高める一方で、右側に移動することによりシート材１６０の張力を緩める。

他方、第２のテンションローラ１１８は、図１の上側に移動することによりシート材１６０の張力を高める一方で、下側に移動することによりシート材１６０の張力を緩める。

また、フィルム転写装置１１０は、所望の転写パターン形状に形成された転写フィルム１６２の前端を、基板１に対する転写の開始位置に調節する先端出し動作（前端位置調節動作）を以下のようにして行うように構成されている。

基板１に対する転写フィルム１６２の転写位置のずれ量を最小限とするためには、転写フィルム１６２の前端を転写開始位置に最も近い場所で認識する必要がある。

そのため、図６に示すように、転写パターン形状に形成された転写フィルム１６２の前端が上圧着ローラ１１７Ａの周面上における所定位置（検出位置Ｓ）に達したことを検出できるような位置に、第２の転写フィルム検出センサ５０を設置している。

なお、第２の転写フィルム検出センサ５０も、第１の転写フィルム検出センサ４０と同様に、例えば、光反射式センサ或いはレーザー反射式センサからなる。

ここで、基板１に対する転写フィルム１６２（転写パターン）の転写動作の終了時に、既に次の転写パターンが第２の転写フィルム検出センサ５０により検出されていると不都合であるため、第２の転写フィルム検出センサ５０の設置位置は、詳細には次のように規定している。

すなわち、図６に示すように、前回の転写が終了した転写フィルム１６２の後端位置Ｔと上圧着ローラ１１７Ａの中心Ｅとを結ぶ線Ｆと、第２の転写フィルム検出センサ５０の光軸Ｇとのなす角度θが、以下の（１）式を満たすような位置に第２の転写フィルム検出センサ５０を設置している。

以下の（１）式において、Ｒは上圧着ローラ１１７Ａの半径であり、Ｂは転写フィルム１６２において、転写フィルム除去ユニット２０によって切断除去される部分の送り方向寸法であり、πは円周率である。

θ＜（Ｂ／πＲ）×１８０°・・・・・・（１）
基板１に対する転写フィルム１６２の転写動作の終了後、次の転写パターンを構成する転写フィルム１６２を、第２の転写フィルム検出センサ５０による検出位置Ｓに移動させるには、第１のテンションローラ１１６を図１における右方向に移動させる一方で第２のテンションローラ１１８を図１における上方向に移動させながら上圧着ローラ１１７Ａを図１における反時計回りに回動させることにより、シート材１６０を徐々に送る。やがて、転写フィルム１６２の前端は、第２の転写フィルム検出センサ５０により検出される。

転写フィルム１６２の前端が第２の転写フィルム検出センサ５０により検出された後は、上記検出位置Ｓから転写開始位置Ｐ（図７（Ｃ））の上方位置までのシート材１６０の長さＭ（図示略）だけ送り方向に送る。

これにより、転写フィルム１６２の前端位置を転写開始位置Ｐの上方位置に正確に位置合わせすることができる。

ここで、検出位置Ｓから転写開始位置Ｐの上方位置までのシート長さＭは常に一定であるため、予め測定し、フィルム転写装置１１０に記憶させておくものとする。

なお、転写パターン形状に形成された転写フィルム１６２の前端位置出しと、転写フィルム除去ユニット２０による転写フィルム１６２の切断除去動作とは、相互に独立に（並行して）実行することができる（転写動作中以外のとき）。

また、基板搬送部１００Ａは、基板１を前工程の設備から受け入れて所定位置に位置合わせする動作と、熱圧着によって転写フィルム１６２を基板１上に転写する動作に同期して基板１を前進させる動作と、転写フィルム１６２が転写済みの基板１を後工程の設備へと搬出する動作と、を行う。

これらの動作を行うために、基板搬送部１００Ａは、図１ないしは図２に示すように、基板１の支持及び搬送を行う搬送ローラ６０を多数備えて構成された搬送装置（全体図示略：図２においては、一部の搬送ローラ６０に対してのみ符号を付している）と、基板１上に付されたアライメントマーク１Ａを認識する複数のアライメントカメラ７０と、位置合わせのために基板１の姿勢を変化させる駆動機構８０と、アライメントカメラ７０による認識結果に基づいて、前工程から搬送されてきた基板１の所定位置からのずれ量を演算し、このずれ量を補正する動作を駆動機構８０に行わせる制御部（図示略）と、を備えて構成されている。

ここで、基板１上のアライメントマーク１Ａは、図２及び図４に示すように、例えば、基板１の対角２箇所もしくは４隅（４箇所）に形成されており、これらアライメントマーク１Ａを認識するために、各アライメントカメラ７０もその位置に配置されている。

駆動機構８０は、制御部の制御下で、アライメントカメラ７０による認識結果に基づき基板１の姿勢を変化させるものであり、図２に示すように、例えば、基板１の左右両脇に１つずつ設けられている。

各駆動機構８０は、例えば、基板１の左右方向（図２の上下方向）における一端側を搬送方向（図２の矢印Ａ方向）及びその反対方向に移動させる第１駆動部８１と、基板１の前部（搬送方向における前部）を左右方向（図２の上下方向）に移動させる第２駆動部８２と、基板１の後部（搬送方向における後部）を左右方向（図２の上下方向）に移動させる第３駆動部８３と、を備えて構成されている。

アライメントカメラ７０による認識結果に応じて、各駆動部８１〜８３による駆動量を適宜に調節することにより、基板１の姿勢を補正することができる。

また、上記のように転写フィルム１６２の前端位置が転写開始位置Ｐの上位方位置に位置合わせ（先端出し）されるとともに、基板１が転写開始位置に搬送された後は、上圧着ローラ１１７Ａを下降させる一方で、下圧着ローラ１１７Ｂを上昇させる。

これにより、転写フィルム１６２の前端位置が転写開始位置Ｐに位置合わせされるとともに、両圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂにより基板１及びシート材１６０がまとめて挟持される。

この状態で、基板１及びシート材１６０を両圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂの間を図１及び図２の右方向に通過させることにより、転写フィルム１６２が基板１上に転写される。

ここで、上圧着ローラ１１７Ａの後段に位置する第２のテンションローラ１１８は、このような転写動作中も基板１から離間して該基板１の上方に位置にしている。

このため、転写動作によって基板１上に転写済みの転写フィルム１６２からは、支持フィルム１６３が、転写動作に連動して、連続的に剥離される。

つまり、転写フィルム１６２を基板１上に転写する動作と、該動作により基板１上に転写された転写フィルム１６２から支持フィルム１６３を剥離する動作と、が重複するタイミングで行われる（並行して行われる）。

また、このように剥離される支持フィルム１６３は、第２のテンションローラ１１８を介して、支持フィルム巻き取りローラ１１９によって巻き取られる。

ここで、支持フィルム巻き取りローラ１１９は、シート材１６０及び基板１の搬送と同期して、該搬送と同一量だけ支持フィルム１６３の巻き取り動作を行う。また、この巻き取り動作は、常に一定の張力を以て行う。

更に、基板搬送部１００Ａは、転写フィルム１６２の転写が終了した基板１を後工程の設備へと搬出する。

次に、図７を参照して、一連の転写動作を説明する。

先ず、図７（Ａ）に示すように、前工程から搬入された基板１を基板搬送部１００Ａによって所定位置に位置合わせ（アライメント）する。

次に、図７（Ｂ）に示すように、転写フィルム１６２の前端が第２の転写フィルム検出センサ５０の光軸Ｇを横切るまで（検出位置Ｓに達するまで）シート材１６０を送る一方で、基板１を前進させる。

次に、図７（Ｃ）に示すように、転写フィルム１６２の前端が検出位置Ｓに達したタイミングから、上記所定の送り量Ｍ（図示略）だけ送ることにより、転写フィルム１６２の前端位置が転写開始位置Ｐの上方に位置するように位置合わせ（先端出し）する。この先端出しは、第１及び第２のテンションローラ１１６，１１８をシート材１６０のテンションを緩める方向に移動させるとともに、上圧着ローラ１１７Ａを図７（Ｃ）反時計回りに僅かに回動させることにより、すなわち、第１のテンションローラ１１６は図７（Ｃ）の右方向に移動させる一方で、第２のテンションローラ１１８は図７（Ｃ）の上方向に移動させるとともに、上圧着ローラ１１７Ａを図７（Ｃ）反時計回りに僅かに回動させることにより行う。一方で、基板１も更に前進させ、転写開始位置（図７（Ｃ）の基板１の位置）にセットする。

次に、図７（Ｄ）に示すように、上圧着ローラ１１７Ａを下降させる一方で、下圧着ローラ１１７Ｂを上昇させることにより、両圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂにより基板１及びシート材１６０をまとめて挟持する。

ここでの上下の圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂの昇降動作の際に、第１のテンションローラ１１６はシート材１６０のテンションを緩める方向に移動させる一方で、第２のテンションローラ１１８はシート材１６０のテンションを高める方向に移動させる。すなわち、第１のテンションローラ１１６は図７（Ｄ）の右方向に移動させる一方で、第２のテンションローラ１１８は図７（Ｄ）の下方向に移動させる。これにより、図７（Ｄ）の動作の前後でのシート材の張力を一定に維持させることができるとともに、上圧着ローラ１１７Ａの周面における転写フィルム１６２の先端位置を動かさないようにすることができる。よって、転写フィルム１６２の先端位置が転写開始位置Ｐからずれてしまうことを防止し、該転写開始位置Ｐに対して転写フィルム１６２の前端位置を極めて正確に位置合わせすることができる。

続いて、図７（Ｄ）から図７（Ｅ）に示すように、転写動作を行う。

この際には、シート材１６０及び基板１が相互に同期して同一量だけ搬送される。また、第１のテンションローラ１１６及び上圧着ローラ１１７Ａは反時計回りに、第２のテンションローラ１１８及び下圧着ローラ１１７Ｂは時計回りに、それぞれ転動する。

これにより、基板１上に転写フィルム１６２が転写され、基板１上に転写パターンが形成される。

転写動作が終了すると、図７（Ｆ）に示すように、上圧着ローラ１１７Ａを上昇させる一方で、下圧着ローラ１１７Ｂを下降させることにより、両圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂによる基板１及びシート材１６０の挟持状態を解除する。

この際にも、シート材１６０を一定のテンションに維持するために、第１及び第２のテンションローラ１１６，１１８を移動させる。すなわち、第１のテンションローラ１１６は左方向に、第２のテンションローラ１１８は上方向に、それぞれ移動させる。

以後は、図７（Ａ）の動作から繰り返し行うことにより、複数の基板１に対して、順次、個別に転写フィルム１６２を転写することができる。

なお、１つの基板１の複数箇所に対してそれぞれ転写パターンを形成する場合にも、同様に、上記図７（Ａ）〜図７（Ｆ）の動作を繰り返し行う。

ここで、転写フィルムとしては、例えば、誘電体フィルムやレジストフィルム（感光性フィルム）などが挙げられる。

このうち誘電体フィルムを転写する場合、基板上に転写した後、焼成する。

レジストフィルムの場合、基板上に転写した後、露光及び現像をこの順に行う。更に、レジストフィルムを膜として基板１上に残留させる場合は、現像の後で焼成を行う。他方、レジストフィルムをマスクとしてエッチング処理などを行う場合、現像の後でエッチング処理を行い、更にその後でレジストフィルムを剥離し、焼成する。

次に、プラズマディスプレイパネルの製造工程にフィルム転写装置１１０を用いる例について説明する。

本実施形態では、例えば、プラズマディスプレイパネルの誘電体層をフィルム転写装置１１０による転写によって形成する例を説明する。

図８はプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ）の構造を示す分解斜視図である。

図８に示すように、ＰＤＰ１５０は、相互に平行に配置された前面基板１０及び背面基板１１の２枚の基板を備えている。

前面基板１０における背面基板１１との対向面側には、透明な走査電極１４及び透明な維持電極１５を、それぞれＰＤＰ１５０の行方向（図８では左右方向）に延在するように形成する。

更に、前面基板１０には、走査電極１４及び維持電極１５を覆う誘電体層１９Ａ並びにこの誘電体層１９Ａを放電から保護する酸化マグネシウムなどからなる保護層１８を形成する。

このうち誘電体層１９Ａは、本実施形態に係るフィルム転写装置１１０によって前面基板１０上に転写する。

背面基板１１における前面基板１０との対向面側には、ＰＤＰ１５０の面方向に対し垂直な方向から見て、走査電極１４及び維持電極１５と直交する列方向（図８では手前側から右斜め奥に向かう方向）に延在するようにデータ電極１６を形成する。

更に、背面基板１１には、データ電極１６を覆う誘電体層１９Ｂと、この誘電体層１９Ｂ上において列方向に延在し、表示セルを行方向において区切る隔壁１２を、該誘電体層１９Ｂより垂直に起立する起立壁状に形成する。

このうち誘電体層１９Ｂは、本実施形態に係るフィルム転写装置１１０によって背面基板１１上に転写する。

加えて、隔壁１２の側面及び誘電体層１９Ｂの表面上には、放電ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する蛍光体層１７を形成する。

こうして、前面基板１０と背面基板１１との間の空間には、隔壁１２により区画された放電空間１３が形成される。

この放電空間１３内には、放電ガスを充填する。

ＰＤＰ１５０においては、走査電極１４とデータ電極１６との最近接点及び維持電極１５とデータ電極１６との最近接点を夫々１つずつ含むように、表示セルが行列状に配置されている。従って、ＰＤＰ１５０は（ｎ×ｍ）個の表示セルを備えている。

以上のような製造方法により製造されるＰＤＰ１５０は、本実施形態に係るフィルム転写装置１１０によって高精度に転写された誘電体層１９Ａ、１９Ｂを備えるため、高品質なものとなる。

次に、図９を参照して、以上において説明したＰＤＰ１５０を備えて構成されるプラズマ表示装置の好適な一例について説明する。

図９は、本実施形態に係るプラズマ表示装置の好適な一例を示す概略的なブロック図である。

図９に示すプラズマ表示装置１００は、アナログインタフェース１２０と、ＰＤＰモジュール１３０とを備えて概略構成されている。

ＰＤＰモジュール１３０は、上記のようにして製造されたプラズマディスプレイパネル１５０（以下、ＰＤＰ１５０）を備えている。

アナログインタフェース１２０は、クロマ・デコーダを備えたＹ／Ｃ分離回路１２１と、Ａ／Ｄ変換回路１２２と、ＰＬＬ回路を備えた同期信号制御回路１２３と、画像フォーマット変換回路１２４と、逆γ（ガンマ）変換回路１２５と、システム・コントロール回路１２６と、ＰＬＥ制御回路１２７とを備えて構成されている。

アナログインタフェース１２０は、概略的には、受信したアナログ映像信号をディジタル信号に変換したのち、これをＰＤＰモジュール１３０に供給する機能を有している。

例えばテレビチューナーから入力されるアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路１２１において、Ｒ（赤），Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の輝度信号に分解されたのち、Ａ／Ｄ変換回路１２２においてディジタル信号に変換される。

その後、ＰＤＰモジュール１３０の画素構成と映像信号の画素構成とが相互に異なる場合には、画像フォーマット変換回路１２４において、必要な画像フォーマットの変換処理が行われる。

Ａ／Ｄ変換回路１２２において、映像信号のＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル）変換を行ったのち、逆γ変換回路１２５において、映像信号に対して逆γ変換を施して、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このようにして生成されたディジタル映像信号は、ＲＧＢ映像信号として、ＰＤＰモジュール１３０に出力される。

同期信号制御回路１２３に内蔵されているＰＬＬ（位相同期ループ）回路は、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック信号およびデータクロック信号を生成して、ＰＤＰモジュール１３０に出力する。

アナログインタフェース１２０のＰＬＥ制御回路１２７は、ＰＤＰの輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させるように制御する。

システム・コントロール回路１２６は、ＰＤＰモジュール１３０に対して、各種制御信号を出力する。

ＰＤＰモジュール１３０は、ディジタル信号処理・制御回路１３１と、パネル部１３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路１３３とから構成されている。ディジタル信号処理・制御回路１３１は、入力インタフェース信号処理回路１３４と、フレームメモリ１３５と、メモリ制御回路１３６と、ドライバ制御回路１３７とを含んでいる。

入力インタフェース信号処理回路１３４は、システム・コントロール回路１２６から発信される各種制御信号、逆γ変換回路１２５から発信されるＲＧＢ映像信号、同期信号制御回路１２３から発信される同期信号、ＰＬＬ回路から発信されるデータクロック信号を受信する。

入力インタフェース信号処理回路１３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力インタフェース信号処理回路１３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示略）によって計算されて、例えば５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路１２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定して、入力インタフェース信号処理回路１３４内の輝度レベル制御回路（図示略）に供給する。

ディジタル信号処理・制御回路１３１では、入力インタフェース信号処理回路１３４において、これらの各種信号の処理を行ったのち、制御信号をパネル部１３２に送信する。これと同時に、メモリ制御回路１３６はメモリ制御信号を、ドライバ制御回路１３７はドライバ制御信号を、それぞれパネル部１３２に送信する。

パネル部１３２は、ＰＤＰ１５０と、ＰＤＰ１５０の走査電極を駆動する走査ドライバ１３８と、ＰＤＰ１５０のデータ電極を駆動するデータドライバ１３９と、ＰＤＰ１５０および走査ドライバ１３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路１４０と、高圧パルス回路１４０からの余剰電力を回収する電力回収回路１４１とを備えて構成されている。

ＰＤＰ１５０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ１５０においては、走査ドライバ１３８が走査電極を制御し、データドライバ１３９がデータ電極（アドレス電極）を制御することによって、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御されて、所望の画像表示が行われる。

このようなプラズマ表示装置１００は、ＰＤＰ１５０を備えているため、高品質のプラズマ表示装置とすることができる。

以上のような実施形態によれば、基板（例えばガラス基板や樹脂基板など）１に対して転写フィルム１６２からなる薄膜パターンを転写するに際し、転写パターン形状に形成された一の転写フィルム１６２の転写動作と、当該転写フィルム１６２からの支持フィルム１６３の剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写フィルム１６２の転写動作と該転写フィルム１６２から支持フィルム１６３を剥離する動作とを完全に別個のタイミングで行う従来技術（特許文献１〜３など）と比べて、処理に要する時間を短縮することができる。

また、保護フィルム１６１を剥離した後のシート材１６０の転写フィルム１６２の一部（すなわち、転写パターンの間隔に相当する部分）を予め転写フィルム除去ユニット２０によって除去した後で、一の転写フィルム１６２の転写動作と、当該転写フィルム１６２からの支持フィルム１６３の剥離動作と、を重複するタイミングで行うので、転写済みの基板１をフィルム転写装置１１０内に滞留させずに１枚の基板１毎に転写処理を実行できる。よって、フィルム転写装置１１０の規模を縮小することができる。

更に、本実施形態の場合、シート材１６０を構成する３層のうちの転写フィルム１６２のみを基板１上に転写する方式であるため、転写パターン１６２毎に個別に転写処理を行うことができる。よって、転写不要な箇所（例えば、多面取り時における不良パターン部）には転写しないようにでき、転写材料の利用効率を向上することができる。つまり、複数の転写箇所のうち、不良でない箇所に対してのみ選択的に転写を行うことが好ましい。

加えて、転写パターン１６２毎に基板１に対する転写位置を調節することができるので、ライン設計及び製品設計の自由度を向上することができる。

なお、従来技術においては、複数の基板１に対して連続的に転写を行うことによって、転写フィルムの張力の安定性を維持していたのに対し、本実施形態の場合、支持フィルム１６３を一定張力で巻き取ることにより、転写フィルム１６２の張力の安定性を維持することができる。

更に、転写フィルム１６２の長さを調節することができるので、転写フィルム１６２毎に所望のパターン長に設定することができる。よって、例えば、１つの基板１内で多面取りする（複数のパターンを形成する）場合に、各パターン毎にパターン長をそれぞれ設定することができる。

〔第２の実施形態〕
次に、図１０を参照して、第２の実施形態に係るフィルム転写装置２００について説明する。

図１０は第２の実施形態に係るフィルム転写装置２００を示す側面図である。

フィルム転写装置２００は、以下に説明する点でのみ上記の第１の実施形態に係るフィルム転写装置１００と異なり、その他の点ではフィルム転写装置１００と同様に構成されているため、フィルム転写装置２００の各構成要素のうち、フィルム転写装置１００と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

上記の第１の実施形態の場合、転写フィルム１６２が上圧着ローラ１１７Ａにより基板１に対して転写された後、即座に、該転写済みの転写フィルム１６２から支持フィルム１６３が剥離されるように構成されているが、この場合、転写フィルム１６２が基板１上で十分に冷却されない段階で該転写フィルム１６２から支持フィルム１６３が剥離されるなどの理由により、基板１に対する転写フィルム１６２の定着が悪くなる可能性がある。

そこで、第２の実施形態に係るフィルム転写装置２００は、図１０に示すように、第１の実施形態に係るフィルム転写装置１００の各構成に加えて、上圧着ローラ１１７Ａの後段（シート材１６０の送り方向下流側）に配置した複数（例えば、２つ）の上冷却ローラ２０１と、シート材１６０及び基板１を挟んで各上冷却ローラ２０１と各々対向配置された下冷却ローラ２０２と、を備えている。

上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２は、上圧着ローラ１１７Ａ及び下圧着ローラ１１７Ｂとは異なり、転写フィルム１６２（及び基板１）を冷却する冷却機構を備えることが好ましい。この場合、複数設置された上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２のうち、圧着ローラ１１７Ａ、１１７Ｂから遠い位置に設置されたものほど温度を低く設定することにより、段階的、且つ、効率的に冷却を行うことができる。なお、上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２は、冷却機構は備えず、単に、非加熱で基板１に対して転写フィルム１６２を圧着するものであっても良い。

上冷却ローラ２０１は、上圧着ローラ１１７Ａに同期して、該上圧着ローラ１１７Ａと同様の動作を行う。また、下冷却ローラ２０２は、下圧着ローラ１１７Ｂに同期して、該下圧着ローラ１１７Ｂと同様の動作を行う。

従って、転写フィルム１６２は、上圧着ローラ１１７Ａ及び下圧着ローラ１１７Ｂにより基板１に対して転写された後で、更に、複数個ずつの上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２によって、基板１に対して確実に圧着される。

また、上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２による圧着動作の際には、両圧着ローラ２０１、２０２が冷却機構を備えていない場合であっても、転写フィルム１６２が冷却されるので、該転写フィルム１６２の基板１に対する定着が良好となる。

以上のような第２の実施形態によれば、上記の第１の実施形態の場合よりも基板１に対する転写フィルム１６２の定着が良くなる。

なお、上記の第２の実施形態では、上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２をそれぞれ２個ずつ備える例を説明したが、この例に限らず、上冷却ローラ２０１及び下冷却ローラ２０２をそれぞれ３個以上備えるようにしても良い。

第１の実施形態に係るフィルム転写装置を示す側面図である。 第１の実施形態に係るフィルム転写装置を示す平面図である。 （Ａ）はシート供給ロールを示す斜視図、（Ｂ）はシート材の層構造を示す断面図である。 基板に対するフィルムの転写態様の例を示す平面図である。 フィルム転写装置の第１の転写フィルム検出センサ及び転写フィルム除去ユニットの近傍を示す側面図であり、（Ａ）は転写フィルム除去ユニットが基準位置に位置している状態を、（Ｂ）は転写フィルム除去ユニットが基準位置から移動した状態を、それぞれ示す。 フィルム転写装置の第２の転写フィルム検出センサの近傍を示す側面図である。 フィルム転写装置による転写動作を説明するための一連の工程図であり、図７（Ａ）〜（Ｆ）はそれぞれフィルム転写装置の圧着ローラの近傍を示す側面図である。 プラズマディスプレイパネルの構造を示す分解斜視図である。 プラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。 第２の実施形態に係るフィルム転写装置を示す側面図である。 従来のフィルム転写装置を示す側面図である。 従来のフィルム転写装置による基板に対するフィルムの転写態様の例を示す平面図である。

符号の説明

１１０ フィルム転写装置
１１２ ガイドローラ（シート搬送手段）
１１３ ガイドローラ（シート搬送手段）
１１５ ガイドローラ（シート搬送手段）
１１４ 保護フィルム巻き取りローラ（保護フィルム剥離手段、保護フィルム巻取回収手段）
２０ 転写フィルム除去ユニット（転写フィルム除去手段）
１１７Ａ 上圧着ローラ（転写手段、シート圧着ローラ、第１のシート圧着ローラ）
１１７Ｂ 下圧着ローラ（転写手段、基板側圧着ローラ）
１１９ 支持フィルム巻き取りローラ（支持フィルム剥離手段、支持フィルム巻取回収手段）
１１６ 第１のテンションローラ（張力維持手段、前端位置調節手段、一定量送り手段）
１１８ 第２のテンションローラ（支持フィルム剥離手段、張力維持手段、前端位置調節手段、一定量送り手段）
５０ 第２の転写フィルム検出センサ（前端位置調節手段、前端位置調節用位置検出センサ）
３０ 除去ユニット移動機構（パターン長調節手段、除去手段位置調節手段）
４０ 第２の転写フィルム検出センサ（パターン長調節手段、パターン長調節用位置検出センサ）
１０ 前面基板（基板）
１１ 背面基板（基板）
１５０ プラズマディスプレイパネル
１９ 誘電体層
２００ フィルム転写装置
２０１ 第２の上圧着ローラ（第２のシート圧着ローラ）
２０２ 第２の下圧着ローラ

Claims (29)

1. 基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも２層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写する転写方法において、
   前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送工程と、
   前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去工程と、
   前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写工程と、
   前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離工程と、
   を備え、
   前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの前記転写工程及び前記支持フィルム剥離工程を重複するタイミングで行うことを特徴とするフィルムの転写方法。
2. 前記支持フィルム剥離工程において剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収工程を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のフィルムの転写方法。
3. 前記支持フィルム巻取回収工程では、前記支持フィルムを一定張力で巻き取ることを特徴とする請求項２に記載のフィルムの転写方法。
4. 前記転写工程は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能なシート圧着ローラを、前記シート材を伴わせて移動させることにより該シート材を介して前記基板に接触させた状態で、該シート材を前記シート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、
   前記転写工程の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持工程を備えることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のフィルムの転写方法。
5. 前記張力維持工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことを特徴とする請求項４に記載のフィルムの転写方法。
6. 前記転写フィルム除去工程によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節工程を備えることを特徴とする請求項５に記載のフィルムの転写方法。
7. 前記転写工程は、前記シート材をシート圧着ローラによって前記基板に対し圧着することにより行い、
   前記前端位置調節工程は、
   転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出工程と、
   前記前端位置調節用位置検出工程による検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り工程と、
   を備えることを特徴とする請求項６に記載のフィルムの転写方法。
8. 前記一定量送り工程は、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、を移動ないしは回転させることによって行うことを特徴とする請求項７に記載のフィルムの転写方法。
9. 前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節工程を備えることを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載のフィルムの転写方法。
10. 前記パターン長調節工程は、
    前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端をセンサにより検出するパターン長調節用位置検出工程と、
    前記パターン長調節用位置検出工程での検出がなされてから前記転写フィルム除去工程による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Ｙを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出工程と、
    前記算出した送り量Ｙと、前記センサによる検出位置と前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置との距離Ｎと、の合計値が、所望の転写パターン長Ｌとなるように、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節する除去動作位置調節工程と、
    を備えることを特徴とする請求項９に記載のフィルムの転写方法。
11. 前記除去動作位置調節工程では、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去工程にて除去動作を行う位置を調節することを特徴とする請求項１０に記載のフィルムの転写方法。
12. 一の基板における複数の転写箇所に対してそれぞれ前記転写フィルムを転写する場合に、予め不良と分かっている転写箇所には転写せず、不良でない転写箇所にのみ選択的に転写することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載のフィルムの転写方法。
13. 前記転写工程は、送り方向における上流側に配置されたシート圧着ローラと、該シート圧着ローラよりも下流側に配置された複数の冷却ローラと、によって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより行うことを特徴とする請求項１乃至１２の何れか一項に記載のフィルムの転写方法。
14. 基板に転写される転写フィルムと、前記転写フィルムを支持する支持フィルムと、の少なくとも２層を有するシート材における前記転写フィルムを前記基板に転写するフィルム転写装置において、
    前記シート材を送り方向に搬送するシート搬送手段と、
    前記シート材の前記転写フィルムの一部を、送り方向における所定間隔毎に、該転写フィルムの幅方向に亘って除去することにより、前記支持フィルム上に残された前記転写フィルムを所望の転写パターン形状に形成する転写フィルム除去手段と、
    前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムを前記基板に転写する転写手段と、
    前記基板に転写済みの前記転写フィルムから前記支持フィルムを剥離する支持フィルム剥離手段と、
    を備え、前記転写パターン形状に形成された一の転写フィルムの転写動作と、当該転写フィルムからの前記支持フィルムの剥離動作と、を重複するタイミングで行うことを特徴とするフィルム転写装置。
15. 前記支持フィルム剥離手段により剥離された前記支持フィルムを巻き取って回収する支持フィルム巻取回収手段を更に備えていることを特徴とする請求項１４に記載のフィルム転写装置。
16. 前記支持フィルム巻取回収手段は、前記支持フィルムを一定張力で巻き取ることを特徴とする請求項１５に記載のフィルム転写装置。
17. 前記転写手段は、前記シート材を介して前記基板に対して接離可能に構成され、前記シート材を伴って移動することにより該シート材を介して前記基板に接触した状態で該シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、
    当該フィルム転写装置は、更に、
    転写動作の前に前記シート圧着ローラを前記シート材を介して前記基板に接触させる動作の際に、前記シート材の張力を一定に維持する張力維持手段を備えていることを特徴とする請求項１４乃至１６の何れか一項に記載のフィルム転写装置。
18. 前記張力維持手段は、
    前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、
    前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、
    を備え、
    前記第１及び第２のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材の張力を一定に維持することを特徴とする請求項１７に記載のフィルム転写装置。
19. 前記転写フィルム除去手段によって所望の転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端を、前記基板に対する転写の開始位置に調節する前端位置調節手段を備えることを特徴とする請求項１８に記載のフィルム転写装置。
20. 前記転写手段は、前記シート材を基板に対し圧着するシート圧着ローラを備え、
    前記前端位置調節手段は、
    前記転写パターン形状に形成された前記転写フィルムの前端が前記シート圧着ローラの周面上における所定位置に達したことを検出する前端位置調節用位置検出センサと、
    前記前端位置調節用位置検出センサによる検出のタイミングから、前記シート材を一定量だけ送り方向に送る一定量送り手段と、
    を備えることを特徴とする請求項１９に記載のフィルム転写装置。
21. 前記一定量送り手段は、
    前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向上流側で前記シート材に係合する第１のテンションローラと、
    前記シート圧着ローラの近傍において該シート圧着ローラよりも送り方向下流側で前記シート材に係合する第２のテンションローラと、
    を備え、
    前記第１及び第２のテンションローラを移動ないしは回転させることによって、前記シート材を一定量だけ送り方向に送ることを特徴とする請求項２０に記載のフィルム転写装置。
22. 前記前端位置調節用位置検出センサは、光反射式センサ又はレーザー反射式センサであり、
    前記圧着ローラの半径をＲとし、
    前記転写フィルム除去工程によって除去される部分の送り方向における長さをＢとし、
    円周率をπとし、
    前記圧着ローラの中心から前回の転写が終了した転写フィルムの後端位置とを結ぶ線と、前記前端位置調節用位置検出センサの光軸とのなす角度をθとすると、
    前記前端位置調節用位置検出センサは、前記角度θが、θ＜（Ｂ／πＲ）×１８０°を満たすような位置に配置されていることを特徴とする請求項２０又は２１に記載のフィルム転写装置。
23. 前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの長さを調節するパターン長調節手段を備えることを特徴とする請求項１４乃至２２の何れか一項に記載のフィルム転写装置。
24. 前記パターン長調節手段は、
    前記転写パターン形状に形成される前記転写フィルムの前端を検出するパターン長調節用位置検出センサと、
    前記パターン長調節用位置検出センサによる検出がなされてから前記転写フィルム除去手段による除去動作を行うまでの間の前記シート材の送り量Ｙを、該シート材をガイドするローラの回転量に基づいて算出する算出手段と、
    前記転写フィルム除去手段の位置を前記シート材の送り方向において調節する除去手段位置調節手段と、
    を備え、
    前記除去手段位置調節手段は、前記算出した送り量Ｙと、前記パターン長調節用位置検出センサによる検出位置と前記転写フィルム除去手段により除去動作を行う位置との距離Ｎと、の合計値が、所望の転写パターン長Ｌとなるように、前記転写フィルム除去手段の位置を調節し、前記転写フィルム除去手段は、該調節された位置にて転写フィルムの除去動作を行うことを特徴とする請求項２３に記載のフィルム転写装置。
25. 前記除去手段位置調節手段は、前記シート材に加わる張力に起因する該シート材の伸び量を考慮した補正を施して、前記転写フィルム除去手段の位置を調節することを特徴とする請求項２４に記載のフィルム転写装置。
26. 前記転写手段は、
    送り方向における上流側に配置されたシート圧着ローラと、
    前記シート圧着ローラよりも下流側に配置された複数の冷却ローラと、
    を備え、
    前記シート圧着ローラ及び前記複数の冷却ローラによって前記シート材を前記基板に対し圧着することにより転写動作を行うことを特徴とする請求項１４乃至２５の何れか一項に記載のフィルム転写装置。
27. 前記転写手段は、前記シート材を前記基板に対し圧着するシート圧着ローラと、前記基板及び前記シート材を挟んで前記シート圧着ローラと対向する位置に配置された基板側圧着ローラと、を備えて構成されていることを特徴とする請求項１４乃至２６のいずれか一項に記載のフィルム転写装置。
28. 第１及び第２の基板を備えるプラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、
    前記第１及び第２の基板のうちの少なくとも一方に対して、請求項１乃至１３の何れか一項に記載のフィルムの転写方法により転写フィルムを転写する工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
29. 前記転写フィルムによって、前記プラズマディスプレイパネルの前記誘電体層を形成することを特徴とする請求項２８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

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