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JP2006197770A - Linear motor drive device and component mounting device - Google Patents

Linear motor drive device and component mounting device Download PDF

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JP2006197770A
JP2006197770A JP2005009109A JP2005009109A JP2006197770A JP 2006197770 A JP2006197770 A JP 2006197770A JP 2005009109 A JP2005009109 A JP 2005009109A JP 2005009109 A JP2005009109 A JP 2005009109A JP 2006197770 A JP2006197770 A JP 2006197770A
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JP
Japan
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movable
permanent magnets
component
linear motor
orthogonal
Prior art date
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Pending
Application number
JP2005009109A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyoshi Kuroda
潔 黒田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Juki Corp filed Critical Juki Corp
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Priority to CN 200610001415 priority patent/CN1819416B/en
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Abstract

【課題】少なくとも2つの可動部を可動させる場合に、必要な永久磁石の量を少なくして、これによりコスト削減を図る。
【解決手段】X軸方向に沿って並設された複数の永久磁石411a、…からなる固定マグネット部411と、X軸方向に沿って移動し、それぞれ第一可動コイル416A及び第二可動コイル416Bを有する第一可動部414A及び第二可動部414Bと、第一可動部及び第二可動部のX軸方向に沿った移動を案内支持するX軸ガイドレール413とを備えるリニアモータ駆動機構41である。複数の永久磁石は、Y軸方向側の二つの端面の磁極を交互に異ならせて配置され、第一可動部及び第二可動部は、複数の永久磁石をそれらのY軸方向側の端面側から挟むように、当該端面のそれぞれに第一可動コイル及び第二可動コイルを対向させて配置されている。
【選択図】図3
An object of the present invention is to reduce the amount of permanent magnets required when moving at least two movable parts, thereby reducing costs.
A fixed magnet portion 411 composed of a plurality of permanent magnets 411a arranged in parallel along the X-axis direction, and a first movable coil 416A and a second movable coil 416B that move along the X-axis direction, respectively. A linear motor drive mechanism 41 including a first movable portion 414A and a second movable portion 414B having an X axis guide rail 413 that guides and supports movement of the first movable portion and the second movable portion along the X axis direction. is there. The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two end faces on the Y-axis direction side, and the first movable section and the second movable section are the end faces on the Y-axis direction side of the plurality of permanent magnets. The first movable coil and the second movable coil are disposed so as to face each of the end faces so as to be sandwiched between the first movable coil and the second movable coil.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、リニアモータ駆動装置及びこれを備えた部品搭載装置に関する。   The present invention relates to a linear motor driving apparatus and a component mounting apparatus including the linear motor driving apparatus.

従来より、IC、抵抗、コンデンサ等の電子部品をプリント基板又は液晶ディスプレイパネル基板等に自動的に搭載する部品搭載装置が知られている。
この部品搭載装置として、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを備えるヘッド部をリニアモータによりX軸方向に沿って移動自在に構成されたものが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2001−309634号公報
2. Description of the Related Art Conventionally, a component mounting apparatus that automatically mounts electronic components such as an IC, a resistor, and a capacitor on a printed circuit board or a liquid crystal display panel substrate is known.
As this component mounting device, a device is proposed in which a head portion including a suction nozzle for sucking and holding an electronic component is configured to be movable along the X-axis direction by a linear motor (see, for example, Patent Document 1). ).
JP 2001-309634 A

ところで、リニアモータの多くは、固定子に質量が大きい永久磁石が用いられ、当該永久磁石の一面に対向させてコイルを備える可動子が配設されている。そして、この場合に、可動子をさらに追加しようとすると、当該可動子用に新たな永久磁石を設ける必要があった。即ち、各可動子に応じて固定子としての永久磁石を個別に設ける必要があり、これにより、当該リニアモータのコストアップを招いてしまうこととなる。
なお、一の永久磁石の一面に複数の可動子を並設して、当該複数の可動子で一の永久磁石を共用することも考えられるが、この場合、各可動子のX軸方向に沿った移動範囲が小さくなる。従って、これら可動子の移動範囲を十分に確保するためには固定子のX軸方向の長さを長くする必要があり、結果として、当該リニアモータが搭載される部品搭載装置のX軸方向の専有長さが長くなるといった問題が生じてしまう。
By the way, in many of linear motors, a permanent magnet having a large mass is used as a stator, and a mover including a coil is disposed so as to face one surface of the permanent magnet. In this case, when a mover is further added, it is necessary to provide a new permanent magnet for the mover. That is, it is necessary to individually provide a permanent magnet as a stator according to each mover, which leads to an increase in cost of the linear motor.
In addition, it is conceivable that a plurality of movers are arranged in parallel on one surface of one permanent magnet, and the one permanent magnet is shared by the plurality of movers. In this case, along the X-axis direction of each mover. The moving range becomes smaller. Accordingly, in order to ensure a sufficient range of movement of these movers, it is necessary to increase the length of the stator in the X-axis direction. As a result, the component mounting apparatus on which the linear motor is mounted is arranged in the X-axis direction. The problem that the exclusive length becomes long arises.

そこで、本発明の課題は、少なくとも2つの可動部を可動させる場合に、必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これによりコスト削減を図ることができるリニアモータ駆動装置及び部品搭載装置を提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide a linear motor driving device and a component mounting device that can reduce the amount of permanent magnets required when moving at least two movable parts, thereby reducing costs. Is to provide.

上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明のリニアモータ駆動装置は、
一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置されていることを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problem, a linear motor driving device according to claim 1 is provided:
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along one direction; at least two movable portions each moving along a direction in which the plurality of permanent magnets are arranged; A guide support part for guiding and supporting movement along the arrangement direction of the movable parts,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction,
The two movable parts are characterized in that the movable coils are arranged to face each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side.

請求項1に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、少なくとも2つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動装置に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動装置のコスト削減を図ることができる。
According to the first aspect of the present invention, the plurality of permanent magnets of the fixed magnet portion are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction, and each of the two movable magnets having a movable coil. The part is arranged with the movable coil facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich a plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side, so that the two fixed parts share one fixed magnet part. Can do. That is, the one movable part is moved in the alignment direction by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable part. The other movable parts are arranged by the interaction between the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part. Can be moved in the direction.
Accordingly, it is possible to reduce the amount of permanent magnets required for the linear motor driving apparatus configured to move at least two movable parts, thereby reducing the cost of the linear motor driving apparatus.

請求項2に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記ヘッド部と異なる他のヘッド部、前記吸着ノズルに吸着された前記部品を撮像する部品撮像装置及び前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品撮像装置まで導く導光機構、前記基板を撮像する基板撮像装置、前記基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載されていることを特徴としている。
The invention described in claim 2
A component mounting apparatus comprising a head portion having a suction nozzle for sucking and holding a component mounted on a substrate, and a linear motor drive mechanism for moving the head portion in one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the one direction; at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil; and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side thereof,
The head unit is mounted on any one of the at least two movable units, the other movable unit different from the one movable unit, the other head unit different from the head unit, and the suction nozzle A component imaging device that images the adsorbed component, a light guide mechanism that reflects reflected light from the component by a predetermined number of mirrors and guides it to the component imaging device, a substrate imaging device that images the substrate, and adhesion to the substrate Any one of the adhesive application apparatuses which apply | coat an agent is mounted.

請求項2に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に、他のヘッド部、吸着ノズルに吸着された部品を撮像する部品撮像装置及び部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて部品撮像装置まで導く導光機構、基板を撮像する基板撮像装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
According to the second aspect of the present invention, the plurality of permanent magnets of the fixed magnet portion are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction, and each of the two movable magnets having a movable coil. The part is arranged with the movable coil facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich a plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side, so that the two fixed parts share one fixed magnet part. Can do. That is, the one movable part is moved in the alignment direction by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable part. The other movable parts are arranged by the interaction between the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part. Can be moved in the direction.
Accordingly, the head unit is mounted on any one of the movable units, and the component imaging apparatus that images the components adsorbed by the other head unit and the suction nozzle on the other movable unit different from the one movable unit and the reflection from the component At least two movable units equipped with one of a light guide mechanism that reflects light to a component imaging device by reflecting light by a predetermined number of mirrors, a substrate imaging device that images a substrate, and an adhesive application device that applies an adhesive to the substrate The amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to move the part can be reduced, thereby reducing the cost of the linear motor drive mechanism and, as a result, reducing the cost of the component mounting device. it can.

請求項3に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記吸着ノズルに吸着された前記部品及び前記基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置が搭載され、
前記案内支持部は、前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えることを特徴としている。
The invention according to claim 3
A component mounting apparatus comprising a head portion having a suction nozzle for sucking and holding a component mounted on a substrate, and a linear motor drive mechanism for moving the head portion in one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the one direction; at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil; and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side thereof,
Among the at least two movable parts, the head part is mounted on any one of the movable parts, and the other movable part different from the one movable part has the component and the substrate adsorbed by the suction nozzle. A component board imaging device for imaging at least one of
The guide support portion includes a light guide mechanism that reflects reflected light from the component by a predetermined number of mirrors and guides the reflected light to the component board imaging device.

請求項3に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、可動部の移動を案内支持する案内支持部に、吸着ノズルに吸着された部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて、部品及び基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置まで導く導光機構が備えられ、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に部品基板撮像装置が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズルに吸着された部品及び基板の撮像を一の部品基板撮像装置により行うことができるので、当該部品搭載装置をより魅力的なものとすることができる。
According to the third aspect of the present invention, the plurality of permanent magnets of the fixed magnet portion are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction, and each of the two movable magnets having a movable coil. The part is arranged with the movable coil facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich a plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side, so that the two fixed parts share one fixed magnet part. Can do. That is, the one movable part is moved in the alignment direction by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable part. The other movable parts are arranged by the interaction between the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part. Can be moved in the direction.
Accordingly, a component that images at least one of the component and the substrate by reflecting the reflected light from the component adsorbed by the adsorption nozzle to the guide support unit that guides and supports the movement of the movable unit by a predetermined number of mirrors. A light guide mechanism that leads to the board imaging device is provided, the head unit is mounted on any one of the movable units, and at least two movable units on which the component board imaging device is mounted on another movable unit different from the one movable unit. The amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to be movable can be reduced, thereby reducing the cost of the linear motor drive mechanism, and as a result, reducing the cost of the component mounting apparatus.
In addition, since the components and substrates picked up by the suction nozzle can be picked up by one component board image pickup device, the component mounting device can be made more attractive.

請求項4に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有する少なくとも二つのヘッド部と、前記ヘッド部のそれぞれを一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構と、前記少なくとも二つのヘッド部移動機構を前記一方向に対する直交方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記直交方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のそれぞれには、前記ヘッド部移動機構が搭載されていることを特徴としている。
The invention according to claim 4
At least two head portions having suction nozzles for sucking and holding components mounted on the substrate, at least two head portion moving mechanisms for moving each of the head portions in one direction, and the at least two head portion movements A component mounting device comprising a linear motor drive mechanism for moving the mechanism in a direction orthogonal to the one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the orthogonal direction, at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil, and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two surfaces in the one direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the surfaces in the one direction so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the surface in the one direction.
Each of the at least two movable parts is equipped with the head part moving mechanism.

請求項4に記載の発明によれば、固定マグネット部の複数の永久磁石は、一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、それぞれ可動コイルを有する二つの可動部は、複数の永久磁石をそれらの一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに可動コイルを対向させて配置されているので、二つの可動部で一の固定マグネット部を共用することができる。即ち、固定マグネット部の二つの一方向の面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の一方向の面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、それぞれのヘッド部を一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the plurality of permanent magnets of the fixed magnet portion are arranged by alternately changing the magnetic poles of two surfaces in one direction, and the two movable portions each having a movable coil are a plurality of Since the movable coil is arranged to face each of the one-directional surfaces so that the permanent magnets are sandwiched from the one-directional surface side, the two fixed portions share one fixed magnet portion. Can do. That is, the one movable part is moved in the alignment direction by the interaction between the magnetic field generated from one of the two unidirectional surfaces of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable part. In addition, the magnetic field generated from the other side of the surface in one direction of the fixed magnet unit and the magnetic field generated by the moving coil of another moving unit different from the one moving unit may cause the other The movable part can be moved in the line-up direction.
Accordingly, the amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to move at least two movable parts on which at least two head part moving mechanisms for moving each head part in one direction are mounted is reduced. Thus, the cost of the linear motor drive mechanism can be reduced, and as a result, the cost of the component mounting apparatus can be reduced.

請求項1に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、少なくとも2つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動装置に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動装置のコスト削減を図ることができる。
According to the first aspect of the present invention, the one magnetic field generated by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet unit and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable unit is obtained. The movable part can be moved in the alignment direction, and the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part The other movable parts can be moved in the alignment direction by the action.
Accordingly, it is possible to reduce the amount of permanent magnets required for the linear motor driving apparatus configured to move at least two movable parts, thereby reducing the cost of the linear motor driving apparatus.

請求項2に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に、他のヘッド部、吸着ノズルに吸着された部品を撮像する部品撮像装置及び部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて部品撮像装置まで導く導光機構、基板を撮像する基板撮像装置、基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
According to the second aspect of the present invention, the one magnetic field is generated by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet unit and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable unit. The movable part can be moved in the alignment direction, and the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part The other movable parts can be moved in the alignment direction by the action.
Accordingly, the head unit is mounted on any one of the movable units, and the component imaging apparatus that images the components adsorbed by the other head unit and the suction nozzle on the other movable unit different from the one movable unit and the reflection from the component At least two movable units equipped with one of a light guide mechanism that reflects light to a component imaging device by reflecting light by a predetermined number of mirrors, a substrate imaging device that images a substrate, and an adhesive application device that applies an adhesive to the substrate The amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to move the part can be reduced, thereby reducing the cost of the linear motor drive mechanism and, as a result, reducing the cost of the component mounting device. it can.

請求項3に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの直交面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の直交面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、可動部の移動を案内支持する案内支持部に、吸着ノズルに吸着された部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて、部品及び基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えられ、何れか一の可動部にヘッド部が搭載され、一の可動部と異なる他の可動部に部品基板撮像装置が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズルに吸着された部品及び基板の撮像を一の部品基板撮像装置により行うことができ、当該部品搭載装置をより魅力的なものとすることができる。
According to the third aspect of the present invention, the one magnetic field generated by the interaction between the magnetic field generated from one of the two orthogonal surfaces of the fixed magnet portion and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable portion is the one. The movable part can be moved in the alignment direction, and the magnetic field generated from the other side of the orthogonal surface of the fixed magnet part and the magnetic field generated by the movable coil of another movable part different from the one movable part The other movable parts can be moved in the alignment direction by the action.
Accordingly, a component that images at least one of the component and the substrate by reflecting the reflected light from the component adsorbed by the adsorption nozzle to the guide support unit that guides and supports the movement of the movable unit by a predetermined number of mirrors. A light guide mechanism that leads to the substrate imaging device is provided, and the head portion is mounted on any one of the movable portions, and at least two movable portions on which the component substrate imaging device is mounted on another movable portion different from the one movable portion. The amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to be movable can be reduced, thereby reducing the cost of the linear motor drive mechanism, and as a result, reducing the cost of the component mounting apparatus.
In addition, imaging of the component and the substrate sucked by the suction nozzle can be performed by one component board imaging device, and the component mounting device can be made more attractive.

請求項4に記載の発明によれば、固定マグネット部の二つの一方向の面のうちの一面側から発生される磁界と一の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該一の可動部を並び方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部の一方向の面の他面側から発生される磁界と一の可動部と異なる他の可動部の可動コイルにより発生される磁界との相互作用により当該他の可動部を並び方向に移動させることができる。
従って、それぞれのヘッド部を一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構が搭載された少なくとも二つの可動部を可動させる構成のリニアモータ駆動機構に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置のコスト削減を図ることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the interaction between the magnetic field generated from one of the two unidirectional surfaces of the fixed magnet portion and the magnetic field generated by the movable coil of the one movable portion One movable part can be moved in the line-up direction, and is generated by a magnetic field generated from the other surface side of the fixed magnet part in one direction and a movable coil of another movable part different from the one movable part. The other movable part can be moved in the line-up direction by the interaction with the magnetic field.
Accordingly, the amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism configured to move at least two movable parts on which at least two head part moving mechanisms for moving each head part in one direction are mounted is reduced. Thus, the cost of the linear motor drive mechanism can be reduced, and as a result, the cost of the component mounting apparatus can be reduced.

以下に、本発明について、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the scope of the invention is not limited to the illustrated examples.

[実施形態1]
図1は、本発明を適用した実施形態1の部品搭載装置100を示す平面図であり、図2は、部品搭載装置100の制御系を示すブロック図である。
図1及び図2に示すように、実施形態1の部品搭載装置100は、基板Kに搭載される電子部品P(図5参照)を供給する複数の電子部品フィーダー11が並べて保持される部品供給部1と、基板Kに対する電子部品Pの搭載作業を行う搭載作業部2と、電子部品Pを吸着保持する複数(図1には4つ図示)の吸着ノズル31、…をそれぞれ搭載する第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bと、第一ヘッド部3Aおよび第二ヘッド部3Bを所定範囲内の任意の位置に駆動させるX−Yガントリ4と、吸着ノズル31に保持された電子部品Pの撮像を行う撮像装置5と、上記各部の動作制御を行う制御部6等を備えている。
なお、以下の説明において、水平面に沿って互いに直交する一の方向をX軸方向とし、他の方向をY軸方向とし、垂直上下方向をZ軸方向と称することとする。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a plan view showing a component mounting apparatus 100 according to a first embodiment to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a block diagram showing a control system of the component mounting apparatus 100.
As shown in FIGS. 1 and 2, the component mounting apparatus 100 according to the first embodiment supplies components in which a plurality of electronic component feeders 11 that supply electronic components P (see FIG. 5) mounted on a substrate K are held side by side. The first mounting unit 1, the mounting work unit 2 for mounting the electronic component P on the substrate K, and a plurality of (four shown in FIG. 1) suction nozzles 31 for holding the electronic component P by suction are mounted. The head part 3A and the second head part 3B, the XY gantry 4 that drives the first head part 3A and the second head part 3B to arbitrary positions within a predetermined range, and the electronic component P held by the suction nozzle 31 An image pickup apparatus 5 that performs the above-described image pickup, a control unit 6 that performs operation control of the above-described units, and the like.
In the following description, one direction orthogonal to each other along the horizontal plane is referred to as an X-axis direction, the other direction is referred to as a Y-axis direction, and a vertical vertical direction is referred to as a Z-axis direction.

搭載作業部2は、装置外部から搬入される基板Kの搬送装置21の搬送経路の途中に設けられ、基板ステーション(図示略)に搭載された基板Kを挟持するクランプ部22、22等を備えている。
先ず、搬送装置21は、例えば、その搬送経路(X軸方向)に沿って配設される搬送レール211と、この搬送レール211に沿って装置の一端部から搬入される基板Kを当該搭載作業部2に搬入したり、所定の電子部品Pが搭載済みの基板Kを搭載作業部2から装置外部に搬出するためのベルトコンベア(図示略)等を備えている。
そして、搬送装置21により搭載作業部2に搬送され基板ステーションに搭載された基板Kは、クランプ部22、22に挟持されることにより保持されるようになっている。
なお、クランプ部22、22に保持された基板Kは、当該基板Kに対する電子部品Kの搭載の際に、図示しないX軸方向駆動部により所定のタイミングでX軸方向に駆動させるようにしても良い。
The mounting work unit 2 is provided in the middle of the transport path of the transport device 21 for the substrate K carried in from the outside of the apparatus, and includes clamping units 22 and 22 that sandwich the substrate K mounted on a substrate station (not shown). ing.
First, for example, the transport device 21 mounts the transport rail 211 disposed along the transport path (X-axis direction) and the substrate K transported from one end portion of the device along the transport rail 211. A belt conveyor (not shown) or the like for carrying the board K on which the predetermined electronic component P has already been mounted from the mounting work section 2 to the outside of the apparatus is provided.
The substrate K transported to the mounting work unit 2 by the transport device 21 and mounted on the substrate station is held by being clamped between the clamp units 22 and 22.
The substrate K held by the clamps 22 and 22 may be driven in the X-axis direction at a predetermined timing by an X-axis direction driving unit (not shown) when the electronic component K is mounted on the substrate K. good.

部品供給部1は、搬送装置21を挟むようにY軸方向両側に設けられ、フィーダーバンク(図示省略)の所定位置にX軸方向に沿って並設されるように複数の電子部品フィーダー11、…が取り付けられている。   The component supply unit 1 is provided on both sides in the Y-axis direction so as to sandwich the conveying device 21, and a plurality of electronic component feeders 11 are arranged in parallel along the X-axis direction at a predetermined position of a feeder bank (not shown). … Is attached.

X−Yガントリ4は、X軸方向に第一ヘッド部3Aおよび第二ヘッド部3Bを移動させるためのリニアモータ駆動機構41と、リニアモータ駆動機構41と共に第一ヘッド部3Aおよび第二ヘッド部3BをY軸方向に案内する二本のY軸ガイドレール42、42と、リニアモータ駆動機構41を介して第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3BをY軸方向に駆動するY軸モータ43とを備えている。また、X−Yガントリ4は、第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bを二本のY軸ガイドレール42、42の間となる領域の略全体に搬送可能に構成されている。
なお、部品供給部1からの電子部品Pの受け渡し部、搭載作業部2による基板Kに対する電子部品Pの搭載作業領域は何れもX−Yガントリ4による第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bの搬送可能領域内に配置されている。
The XY gantry 4 includes a linear motor driving mechanism 41 for moving the first head portion 3A and the second head portion 3B in the X-axis direction, and the first head portion 3A and the second head portion together with the linear motor driving mechanism 41. Two Y-axis guide rails 42 and 42 for guiding 3B in the Y-axis direction, and a Y-axis motor 43 for driving the first head part 3A and the second head part 3B in the Y-axis direction via a linear motor drive mechanism 41 And. The XY gantry 4 is configured to be able to transport the first head portion 3A and the second head portion 3B to substantially the entire region between the two Y-axis guide rails 42, 42.
The electronic component P delivery section from the component supply section 1 and the mounting work area of the electronic component P on the substrate K by the mounting work section 2 are both the first head section 3A and the second head section 3B by the XY gantry 4. It is arranged in the transportable area.

次に、リニアモータ駆動機構41について図3及び図4を参照して説明する。
ここで、図3は、リニアモータ駆動機構41を示す斜視図であり、図4は、図3のIV−IV線におけるリニアモータ駆動機構41の断面図である。
Next, the linear motor drive mechanism 41 will be described with reference to FIGS.
3 is a perspective view showing the linear motor drive mechanism 41, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the linear motor drive mechanism 41 taken along the line IV-IV in FIG.

図3及び図4に示すように、リニアモータ駆動機構41は、X軸方向に長尺となるように複数の永久磁石411aからなる略直方体状の固定マグネット部411と、固定マグネット部411のZ軸方向側の両端部に接続されて当該固定マグネット部411を支持する上側支持部412A及び下側支持部412Bと、上側支持部412A及び下側支持部412BのY軸方向側の両端面にX軸方向に沿って配設されたX軸ガイドレール413、…と、X軸ガイドレール413により案内支持されながらX軸方向に移動自在に構成され、第一ヘッド部3Aを搭載する第一可動部414A及び第二ヘッド部3Bを搭載する第二可動部414Bとを備えて構成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the linear motor drive mechanism 41 includes a substantially rectangular parallelepiped fixed magnet portion 411 composed of a plurality of permanent magnets 411a so as to be elongated in the X-axis direction, and a Z of the fixed magnet portion 411. The upper support portion 412A and the lower support portion 412B that are connected to both axial end portions and support the fixed magnet portion 411, and the both end surfaces of the upper support portion 412A and the lower support portion 412B on the Y axis direction side X An X-axis guide rail 413 arranged along the axial direction, and a first movable part configured to be movable in the X-axis direction while being guided and supported by the X-axis guide rail 413 and mounting the first head part 3A 414A and the 2nd movable part 414B which mounts the 2nd head part 3B are comprised.

固定マグネット部411は、外形が略直方体状に形成された複数の永久磁石411aがそのY軸方向側の端面(直交面)の磁極を交互に異ならせるようにしてX軸方向に沿って並設されている。即ち、隣り合う永久磁石411aどうしは、S極となる端面とN極となる端面とがX軸方向に沿って交互に並んで配設されている。
なお、図3には、各永久磁石411aのY軸方向側の端面のうち、手前側の端面の磁極を表したが、それぞれの奥側の端面は手前側の端面の磁極と反対の磁極となっている(図示略)。
The fixed magnet portion 411 is arranged in parallel along the X-axis direction so that a plurality of permanent magnets 411a whose outer shape is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape alternately change the magnetic poles on the end surface (orthogonal surface) on the Y-axis direction side. Has been. That is, the adjacent permanent magnets 411a are arranged such that the end faces serving as the S poles and the end faces serving as the N poles are alternately arranged along the X-axis direction.
FIG. 3 shows the magnetic poles on the front end face among the end faces on the Y-axis direction side of each permanent magnet 411a. The end faces on the back side are opposite to the magnetic poles on the front end face. (Not shown).

上側支持部412A及び下側支持部412B並びにX軸ガイドレール413は、第一可動部414A及び第二可動部414BをX軸方向(永久磁石411aの並び方向)に沿った移動を案内支持する案内支持部を構成している。   The upper support portion 412A, the lower support portion 412B, and the X-axis guide rail 413 guide the first movable portion 414A and the second movable portion 414B to guide and support movement along the X-axis direction (the arrangement direction of the permanent magnets 411a). It constitutes a support part.

第一可動部414A及び第二可動部414Bは、固定マグネット部411の永久磁石411aをそれらのY軸方向側の端面側から挟むように、これら端面に対向して配置されている。
具体的には、第一可動部414Aは、各X軸ガイドレール413に係止され、X軸方向に往復移動自在なスライダ415Aと、固定マグネット部411のY軸方向の図4における左側の端面に対向して配設され、通電により磁界を発生して固定マグネット部411の磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動するための第一可動コイル416Aと、第一ヘッド部3A並びにスライダ415A及び第一可動コイル416Aを搭載支持する支持板417Aとを備えて構成されている。
一方、第二可動部414Bも、第一可動部414Aと同様に、スライダ415Bと、固定マグネット部411のY軸方向の図4における右側の端面に対向して配設された第二可動コイル416Bと、第二ヘッド部3B並びにスライダ415B及び第二可動コイル416Bを搭載支持する支持板417Bとを備えて構成されている。
The first movable part 414A and the second movable part 414B are arranged to face these end faces so as to sandwich the permanent magnet 411a of the fixed magnet part 411 from the end face side on the Y axis direction side.
Specifically, the first movable portion 414A is locked to each X-axis guide rail 413, and can move back and forth in the X-axis direction. The left end surface of the fixed magnet portion 411 in the Y-axis direction in FIG. A first movable coil 416A for generating a magnetic field by energization and moving in the X-axis direction by magnetic interaction with the magnetic field of the fixed magnet unit 411, the first head unit 3A, A slider 415A and a support plate 417A for mounting and supporting the first movable coil 416A are provided.
On the other hand, like the first movable portion 414A, the second movable portion 414B also has a slider 415B and a second movable coil 416B disposed opposite to the right end surface in FIG. 4 of the fixed magnet portion 411 in the Y-axis direction. And a support plate 417B for mounting and supporting the second head portion 3B, the slider 415B, and the second movable coil 416B.

第一可動コイル416A及び第二可動コイル416Bは、例えば、制御部6と電気的に接続されており、制御部6の制御下にて通電される電流値が変動されることにより、当該第一可動コイル416A及び第二可動コイル416Bに発生される磁界の大きさが変動するようになっている。   For example, the first movable coil 416A and the second movable coil 416B are electrically connected to the control unit 6, and the current value to be energized under the control of the control unit 6 is changed, whereby the first movable coil 416A and the second movable coil 416B are electrically connected. The magnitude of the magnetic field generated in the movable coil 416A and the second movable coil 416B varies.

そして、第一可動部414Aは、固定マグネット部411のY軸方向の手前側の端面側から発生される磁界と第一可動コイル416Aに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動自在に構成されている。一方、第二可動部414Bは、固定マグネット部411のY軸方向の奥側の端面側から発生される磁界と第二可動コイル416Bに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動自在に構成されている。   The first movable portion 414A has a magnetic interaction between the magnetic field generated from the front end side of the fixed magnet portion 411 in the Y-axis direction and the magnetic field generated by energizing the first movable coil 416A. It is configured to be movable in the axial direction. On the other hand, the second movable portion 414B has a magnetic interaction between a magnetic field generated from the end surface on the back side in the Y-axis direction of the fixed magnet portion 411 and a magnetic field generated by energization of the second movable coil 416B. It is configured to be movable in the axial direction.

第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bの各々は、その先端部で空気吸引により電子部品Pを保持する4つの吸着ノズル31、…と、これら吸着ノズル31、…の各々をZ軸方向(上下方向)に移動させるZ軸モータ32と、吸着ノズル31を介して保持された電子部品PをZ軸方向を中心として回転駆動させるθ軸モータ33とを備えている。
また、第一ヘッド部3Aは、例えば、搬送装置21よりも図1の下側に配設された複数の電子部品フィーダー11、…から電子部品Pを吸着保持するためのものであり、第二ヘッド部3Bは、搬送装置21よりも図1の上側に配設された複数の電子部品フィーダー11、…から電子部品Pを吸着保持するためのものである。
Each of the first head portion 3A and the second head portion 3B has four suction nozzles 31 that hold the electronic component P by air suction at the tip portion thereof, and each of these suction nozzles 31. A Z-axis motor 32 that moves in the vertical direction) and a θ-axis motor 33 that rotates the electronic component P held via the suction nozzle 31 around the Z-axis direction are provided.
Further, the first head portion 3A is, for example, for sucking and holding the electronic component P from a plurality of electronic component feeders 11... Disposed below the transport device 21 in FIG. The head portion 3B is for attracting and holding the electronic component P from the plurality of electronic component feeders 11 arranged on the upper side of FIG.

複数の吸着ノズル31、…は、X軸方向に並んで配設され、各吸着ノズル31は、開閉制御が行われる吸気バルブ(図示略)を介して真空発生器7と接続されており、所定のタイミングで吸気バルブが開かれることによりその先端部が吸引状態とされて、電子部品Pの吸着保持を行うことができるようになっている。   The plurality of suction nozzles 31 are arranged side by side in the X-axis direction, and each suction nozzle 31 is connected to the vacuum generator 7 via an intake valve (not shown) that is controlled to open and close. When the intake valve is opened at this timing, the tip of the intake valve is brought into a suction state, and the electronic component P can be sucked and held.

撮像装置5は、例えば、X−Yガントリ4による第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bの搬送可能領域内に配置され、CMOSカメラやCCDカメラ等から構成され、電子部品Pの撮像に基づいて光電変換して画像データを生成し、当該画像データをCPU61に対して出力する。   The imaging device 5 is, for example, arranged in a transportable area of the first head unit 3A and the second head unit 3B by the XY gantry 4 and is composed of a CMOS camera, a CCD camera, or the like, and is based on imaging of the electronic component P. Then, photoelectric conversion is performed to generate image data, and the image data is output to the CPU 61.

制御部6は、CPU(Central Processing Unit)61と、RAM(Random Access Memory)62と、ROM(Read Only Memory)63等を備えて構成されている。   The control unit 6 includes a CPU (Central Processing Unit) 61, a RAM (Random Access Memory) 62, a ROM (Read Only Memory) 63, and the like.

CPU61は、当該部品搭載装置100を構成する各部を統括して制御するものであり、ROM63に格納されている所定のプログラムを読み出してRAM62の作業領域に展開し、当該プログラムに従って各種処理を実行する。
また、CPU61は、撮像装置5から出力され入力された画像データに基づいて、所定の画像処理プログラムを実行して、吸着ノズル31に吸着された電子部品Pの姿勢等を認識するようになっている。
The CPU 61 controls the respective parts constituting the component mounting apparatus 100 in an integrated manner, reads a predetermined program stored in the ROM 63, develops it in the work area of the RAM 62, and executes various processes according to the program. .
In addition, the CPU 61 executes a predetermined image processing program based on the image data output from the image pickup device 5 and inputs it, and recognizes the posture of the electronic component P sucked by the suction nozzle 31. Yes.

RAM62は、例えば、揮発性の半導体メモリであり、CPU61の制御下にてROM63から読み出されたプログラムやデータ等の格納領域や作業領域等を構成している。
ROM63は、制御、判断等各種処理用の各種プログラムが記憶され、CPU61の制御下にて実行される各種のプログラム並びに各プログラムの処理に係るデータ等を記憶するものである。
The RAM 62 is, for example, a volatile semiconductor memory, and constitutes a storage area, a work area, and the like for programs and data read from the ROM 63 under the control of the CPU 61.
The ROM 63 stores various programs for various processes such as control and determination, and stores various programs executed under the control of the CPU 61 and data related to the processing of each program.

次に、基板Kに対する電子部品Pの搭載動作について説明する。
先ず、吸着ノズル31による電子部品Pの吸着保持を行う。具体的には、制御部6の制御下にて、X−Yガントリ4のリニアモータ駆動機構41及びY軸モータ43が駆動して第一ヘッド部3A及び第二ヘッド部3Bを所定の電子部品フィーダー11上に移動させる。より具体的には、制御部6による第一可動コイル416Aに対する通電制御に基づいて、第一ヘッド部3Aを搬送装置21よりも図1の下側に配設された所定の電子部品フィーダー11、…上に移動させ、制御部6による第二可動コイル416Bに対する通電制御に基づいて、第二ヘッド部3Bを搬送装置21よりも図1の上側に配設された所定の電子部品フィーダー11、…上に移動させる。
そして、制御部6が所定のZ軸モータ32の駆動を制御して、所定の吸着ノズル31を下方向(Z軸方向)に移動させて、真空発生器7の駆動により当該吸着ノズル31にて所定の電子部品Pを吸着保持する。
Next, the mounting operation of the electronic component P on the substrate K will be described.
First, the electronic component P is sucked and held by the suction nozzle 31. Specifically, under the control of the control unit 6, the linear motor drive mechanism 41 and the Y-axis motor 43 of the XY gantry 4 are driven so that the first head unit 3A and the second head unit 3B are predetermined electronic components. Move on the feeder 11. More specifically, based on the energization control for the first movable coil 416A by the control unit 6, the predetermined electronic component feeder 11 in which the first head unit 3A is disposed below the transport device 21 in FIG. ... based on the energization control to the second movable coil 416B by the control unit 6, the second head unit 3B is a predetermined electronic component feeder 11 disposed on the upper side of FIG. Move up.
Then, the controller 6 controls the driving of the predetermined Z-axis motor 32 to move the predetermined suction nozzle 31 downward (Z-axis direction), and the vacuum nozzle 7 drives the suction nozzle 31. A predetermined electronic component P is sucked and held.

次に、吸着ノズル31に保持された電子部品Pを撮像装置5により撮像し、当該撮像により生成された画像データに基づいて、CPU61により所定の画像処理を行って電子部品Pの姿勢等の認識を行う。なお、認識の結果によっては、制御部6の制御下にてθ軸モータ33を駆動させて、吸着ノズル31に吸着された電子部品PをZ軸周りに所定方向に回転させて当該電子部品Pの中心合わせ(センタリング)を行うようになっている。
そして、制御部6の制御下にてリニアモータ駆動機構41及びY軸モータ43の駆動を駆動させて、電子部品Pを保持する吸着ノズル31を基板K上の所定の部品搭載位置に移動させて、当該基板Kに対する電子部品Pの搭載を行う。
一の電子部品Pの搭載が完了すると、制御部6は、基板Kに対する電子部品Pの搭載動作を順次制御する。
Next, the electronic component P held by the suction nozzle 31 is imaged by the imaging device 5, and based on the image data generated by the imaging, the CPU 61 performs predetermined image processing to recognize the posture of the electronic component P and the like. I do. Depending on the recognition result, the θ-axis motor 33 is driven under the control of the control unit 6 to rotate the electronic component P sucked by the suction nozzle 31 in the predetermined direction around the Z axis. Centering is performed.
Then, the drive of the linear motor drive mechanism 41 and the Y-axis motor 43 is driven under the control of the control unit 6, and the suction nozzle 31 that holds the electronic component P is moved to a predetermined component mounting position on the substrate K. Then, the electronic component P is mounted on the substrate K.
When the mounting of one electronic component P is completed, the control unit 6 sequentially controls the mounting operation of the electronic component P on the substrate K.

以上のように、実施形態1の部品搭載装置100によれば、固定マグネット部411のY軸方向の図4における左側の端面側から発生される磁界と第一可動部414Aの第一可動コイル416Aにより発生される磁界との相互作用により当該第一可動部414AをX軸方向に移動させることができるとともに、固定マグネット部411のY軸方向の図4における右側の端面側から発生される磁界と第二可動部414Bの第二可動コイル416Bにより発生される磁界との相互作用により当該第二可動部414BをX軸方向に移動させることができる。
従って、第一ヘッド部3Aが搭載された第一可動部414Aと第二ヘッド部3Bが搭載された第二可動部414Bを可動させる構成のリニアモータ駆動機構41に必要な永久磁石の量を各可動部414A、414B毎に固定マグネット部411を設ける構成のものに比べて少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構41のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置100のコスト削減を図ることができる。
As described above, according to the component mounting apparatus 100 of the first embodiment, the magnetic field generated from the left end face in FIG. 4 of the fixed magnet unit 411 in the Y-axis direction and the first movable coil 416A of the first movable unit 414A. The first movable portion 414A can be moved in the X-axis direction by the interaction with the magnetic field generated by the magnetic field generated by the magnetic field generated from the right end face side of the fixed magnet portion 411 in the Y-axis direction in FIG. The second movable part 414B can be moved in the X-axis direction by interaction with the magnetic field generated by the second movable coil 416B of the second movable part 414B.
Accordingly, the amount of permanent magnets necessary for the linear motor drive mechanism 41 configured to move the first movable portion 414A on which the first head portion 3A is mounted and the second movable portion 414B on which the second head portion 3B is mounted is set for each. Compared to the configuration in which the fixed magnet portion 411 is provided for each of the movable portions 414A and 414B, the cost of the linear motor drive mechanism 41 can be reduced, and as a result, the cost of the component mounting apparatus 100 can be reduced. Can be planned.

なお、上記実施形態では、第一可動部414A及び第二可動部414Bの両方にヘッド部3A、3Bを搭載するような構成としたが、これに限られるものではなく、第一可動部414A及び第二可動部414Bのうちの少なくとも何れか一方にヘッド部3A(3B)が搭載されていれば良い。
即ち、例えば図5に示すように、リニアモータ駆動機構141は、第一可動部414Aにヘッド部3Aを搭載し、第二可動部414Bに、例えば、撮像装置105及びミラーユニット(導光機構)8を搭載するようにしても良い。
ここで、ミラーユニット8は、撮像装置105による電子部品Pの撮像に際して、当該電子部品Pからの反射光を2枚のミラー81、82により反射させて撮像装置105まで導く導光機構を構成するものである。より具体的には、ミラーユニット8は、吸着ノズル31の略直下に配置される吸着ノズル31側の第一ミラー81と、撮像装置105の略直下に配置される第二ミラー82とを備えている。
なお、ミラーユニット8に備わるミラーの枚数は、2枚に限られるものではない。例えば、ミラーユニット8のZ軸方向の厚さを薄くする上では、各ミラーの取り付け角度を小さくし、且つ、ミラーの枚数を増やして光の反射回数を増加させた方が好ましい。
In the above embodiment, the head portions 3A and 3B are mounted on both the first movable portion 414A and the second movable portion 414B. However, the present invention is not limited to this, and the first movable portion 414A and the second movable portion 414B are not limited thereto. It is only necessary that the head portion 3A (3B) is mounted on at least one of the second movable portions 414B.
That is, for example, as shown in FIG. 5, the linear motor driving mechanism 141 has the head portion 3A mounted on the first movable portion 414A, and the second movable portion 414B includes, for example, the imaging device 105 and the mirror unit (light guide mechanism). 8 may be mounted.
Here, the mirror unit 8 constitutes a light guide mechanism that reflects reflected light from the electronic component P by the two mirrors 81 and 82 and guides it to the imaging device 105 when the imaging device 105 captures the electronic component P. Is. More specifically, the mirror unit 8 includes a first mirror 81 on the side of the suction nozzle 31 disposed almost immediately below the suction nozzle 31 and a second mirror 82 disposed substantially directly below the imaging device 105. Yes.
The number of mirrors provided in the mirror unit 8 is not limited to two. For example, in order to reduce the thickness of the mirror unit 8 in the Z-axis direction, it is preferable to reduce the mounting angle of each mirror and increase the number of reflections by increasing the number of mirrors.

従って、ヘッド部3Aの複数の吸着ノズル31に保持された電子部品Pの撮像に際して、第二可動部414BをX軸方向に移動させることに基づいて、第一ミラー81が所定の吸着ノズル31に保持された電子部品Pの略直下となるように撮像装置105及びミラーユニット8をX軸方向に移動させることができる。これにより、X軸方向に並設された複数の吸着ノズル31に保持された電子部品Pの撮像を簡便に行うことができるとともに、例えば、当該電子部品Pの撮像を行わない時には、複数の吸着ノズル31による電子部品Pの搭載動作等の邪魔にならない場所に移動させておくことができるので、より魅力的な部品搭載装置100を提供することができる。
つまり、撮像装置105を部品搭載装置100のステージ上に配設するとした場合、部品供給部1に取り付けられる電子部品フィーダー11の数に制約が生じたり、また、吸着ノズル31による電子部品Pの吸着保持後には、ステージ上の撮像装置105の場所まで移動する必要があることから、部品搭載動作の効率が低下する虞もある。そこで、本実施形態のような構成とすることにより、電子部品フィーダー11の配置数の制約が生じることもなくなり、また、吸着ノズル31による電子部品Pの吸着後、当該電子部品Pの搭載位置までのヘッド部3Aの移動の最中に撮像装置105による電子部品Pの撮像を行って中心合わせ等を行うことができるので、電子部品Pの搭載速度を向上させることができる。
Therefore, when imaging the electronic component P held by the plurality of suction nozzles 31 of the head portion 3A, the first mirror 81 is moved to the predetermined suction nozzle 31 based on the movement of the second movable portion 414B in the X-axis direction. The imaging device 105 and the mirror unit 8 can be moved in the X-axis direction so as to be almost directly below the held electronic component P. Thereby, it is possible to easily perform imaging of the electronic component P held by the plurality of suction nozzles 31 arranged in parallel in the X-axis direction. For example, when imaging of the electronic component P is not performed, the plurality of suction components Since it can be moved to a place where it does not interfere with the operation of mounting the electronic component P by the nozzle 31, a more attractive component mounting apparatus 100 can be provided.
That is, when the imaging device 105 is arranged on the stage of the component mounting device 100, the number of electronic component feeders 11 attached to the component supply unit 1 is limited, or the electronic component P is attracted by the suction nozzle 31. Since it is necessary to move to the location of the imaging device 105 on the stage after the holding, the efficiency of the component mounting operation may be reduced. Therefore, by adopting the configuration as in the present embodiment, the number of electronic component feeders 11 is not limited, and after the electronic component P is sucked by the suction nozzle 31, the electronic component P is mounted. Since the electronic device P can be imaged by the imaging device 105 during the movement of the head portion 3A and centering or the like can be performed, the mounting speed of the electronic device P can be improved.

また、撮像装置105に代えて、基板Kを撮像する基板撮像装置(図示略)や基板Kに接着剤を塗布する接着剤塗布装置(図示略)等を第二可動部414Bに搭載するようにしても良い。これにより、さらに魅力的な部品搭載装置100を提供することができる。   Further, instead of the imaging device 105, a substrate imaging device (not shown) that images the substrate K, an adhesive application device (not shown) that applies an adhesive to the substrate K, and the like are mounted on the second movable portion 414B. May be. Thereby, the more attractive component mounting apparatus 100 can be provided.

[実施形態2]
以下に、本発明を適用した実施形態2の部品搭載装置200について図6及び図7を参照して説明する。
ここで、図6は、実施形態2の部品搭載装置200を示す平面図であり、図7は、部品搭載装置200に備わるリニアモータ駆動機構241を示す断面図である。
[Embodiment 2]
Hereinafter, a component mounting apparatus 200 according to a second embodiment to which the present invention is applied will be described with reference to FIGS.
Here, FIG. 6 is a plan view illustrating the component mounting apparatus 200 according to the second embodiment, and FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the linear motor driving mechanism 241 included in the component mounting apparatus 200.

図6及び図7に示すように、実施形態2の部品搭載装置200は、第二可動部414Bに吸着ノズル31に吸着された電子部品P及び基板Kの両方を撮像するための部品基板撮像装置205が搭載され、下側支持部412Bには、電子部品Pからの反射光を部品基板撮像装置205まで導くミラーユニット8が配設されている。
ミラーユニット8は、例えば、下側支持部412Bの搬送方向下流側の端部に所定の支持部材83を介して取付固定されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the component mounting apparatus 200 according to the second embodiment is a component board imaging apparatus for imaging both the electronic component P and the board K sucked by the suction nozzle 31 on the second movable portion 414 </ b> B. 205 is mounted, and a mirror unit 8 that guides reflected light from the electronic component P to the component board imaging device 205 is disposed in the lower support portion 412B.
For example, the mirror unit 8 is attached and fixed to the end of the lower support 412B on the downstream side in the transport direction via a predetermined support member 83.

従って、部品基板撮像装置205により吸着ノズル31に保持された電子部品Pの撮像が行われる場合には、ヘッド部3Aの所定の吸着ノズル31に保持された電子部品Pをミラーユニット8の第一ミラー81の略直上に位置させるように、第一可動コイル416Aに対する通電に基づいて第一可動部414AをX軸方向に移動させるとともに、部品基板撮像装置205をミラーユニット8の第二ミラー82の略直上に位置させるように、第二可動コイル416Bに対する通電に基づいて当該第二可動部414Bを移動させるようになっている。
また、部品基板撮像装置205により搭載作業部2のクランプ部22、22により挟持された基板Kの撮像が行われる場合には、基板Kの所定位置に付されたマークの略直上に部品基板撮像装置205を位置させるように、制御部6による第二可動コイル416Bに対する通電制御及びY軸モータ43の駆動制御に基づいて第二可動部414Bを移動させるなっている。
Accordingly, when the electronic imaging of the electronic component P held by the suction nozzle 31 is performed by the component board imaging device 205, the electronic component P held by the predetermined suction nozzle 31 of the head portion 3A is replaced with the first of the mirror unit 8. The first movable portion 414A is moved in the X-axis direction based on the energization of the first movable coil 416A so as to be positioned almost directly above the mirror 81, and the component board imaging device 205 is moved to the second mirror 82 of the mirror unit 8. The second movable portion 414B is moved based on energization to the second movable coil 416B so as to be positioned substantially directly above.
Further, when imaging of the substrate K sandwiched between the clamp portions 22 and 22 of the mounting work unit 2 is performed by the component substrate imaging device 205, the component substrate imaging is performed almost immediately above the mark attached to the predetermined position of the substrate K. The second movable portion 414B is moved based on the energization control on the second movable coil 416B and the drive control of the Y-axis motor 43 by the control unit 6 so that the device 205 is positioned.

このように、実施形態2の部品搭載装置200によれば、第一ヘッド部3Aが搭載された第一可動部414Aと部品基板撮像装置205が搭載された第二可動部414Bを可動させる構成のリニアモータ駆動機構241に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構241のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置200のコスト削減を図ることができる。
また、吸着ノズル31に吸着された電子部品P及び基板Kの撮像を一の部品基板撮像装置205により行うことができるので、当該部品搭載装置200をより魅力的なものとすることができる。
Thus, according to the component mounting apparatus 200 of the second embodiment, the first movable unit 414A on which the first head unit 3A is mounted and the second movable unit 414B on which the component board imaging device 205 is mounted are movable. The amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism 241 can be reduced, thereby reducing the cost of the linear motor drive mechanism 241 and, as a result, reducing the cost of the component mounting apparatus 200.
Moreover, since the electronic component P and the board | substrate K which were adsorbed | sucked by the adsorption | suction nozzle 31 can be imaged by the one component board | substrate imaging device 205, the said component mounting apparatus 200 can be made more attractive.

[実施形態3]
以下に、本発明を適用した実施形態3の部品搭載装置300について図8を参照して説明する。
ここで、図8は、実施形態3の部品搭載装置300を示す平面図である。
[Embodiment 3]
Hereinafter, a component mounting apparatus 300 according to Embodiment 3 to which the present invention is applied will be described with reference to FIG.
Here, FIG. 8 is a plan view showing the component mounting apparatus 300 of the third embodiment.

図8に示すように、実施形態3の部品搭載装置300は、第一ヘッド部3Aを搭載してY軸方向に移動させるための第一ヘッド部移動機構9Aと、第二ヘッド部3Bを搭載してY軸方向に移動させるための第二ヘッド部移動機構9Bと、第一ヘッド部移動機構9A及び第二ヘッド部移動機構9Bをそれぞれ搭載する第一可動部414A及び第二可動部414BをX軸方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構341とを備えている。
なお、リニアモータ駆動機構341の構成は、上記実施形態1及び実施形態2に例示したものと略同様の構成をなし、その具体的な説明は省略する。
As shown in FIG. 8, the component mounting apparatus 300 according to the third embodiment mounts the first head portion moving mechanism 9 </ b> A for mounting the first head portion 3 </ b> A and moving it in the Y-axis direction, and the second head portion 3 </ b> B. Then, the second head portion moving mechanism 9B for moving in the Y-axis direction, and the first movable portion 414A and the second movable portion 414B on which the first head portion moving mechanism 9A and the second head portion moving mechanism 9B are mounted, respectively. And a linear motor drive mechanism 341 for moving in the X-axis direction.
Note that the configuration of the linear motor drive mechanism 341 is substantially the same as that illustrated in the first and second embodiments, and a detailed description thereof will be omitted.

リニアモータ駆動機構341は、部品搭載装置300のY軸方向の略中央となる位置にてX軸方向に沿って配設され、X軸方向側の両端部がY軸方向に沿って配設された二つのY軸端部支持部材301、301により支持されている。
これらY軸端部支持部材301、301の各々の両端部は、当該両端部どうしを連結するようにして、X軸方向に沿って配設された二つのX軸端部支持部材302、302に支持されている。
The linear motor drive mechanism 341 is disposed along the X-axis direction at a position that is approximately the center of the component mounting apparatus 300 in the Y-axis direction, and both ends on the X-axis direction side are disposed along the Y-axis direction. Are supported by two Y-axis end support members 301 and 301.
Both ends of each of these Y-axis end support members 301, 301 are connected to two X-axis end support members 302, 302 disposed along the X-axis direction so as to connect the both ends. It is supported.

第一ヘッド部移動機構9Aは、第一ヘッド部3AをY軸方向に移動させるY軸駆動部(図示略)と、第一ヘッド部3Aを支持して当該第一ヘッド部3AのY軸方向に対する移動を案内するY軸方向に長尺な第一Y軸ガイド91Aを備え、この第一Y軸ガイド91Aの搬送装置21側の端部がリニアモータ駆動機構341に連結され支持されるとともに、搬送装置21側と反対側の端部が図8における下側のX軸端部支持部材302に接続され支持されている。
また、第二ヘッド部移動機構9Bは、第一ヘッド部移動機構9Aと略同様の構成をなし、第二ヘッド部3BをY軸方向に移動させるY軸駆動部(図示略)と、第二ヘッド部3Bを支持して当該第二ヘッド部3BのY軸方向に対する移動を案内するY軸方向に長尺な第二Y軸ガイド91Bを備え、この第二Y軸ガイド91Bの搬送装置21側の端部がリニアモータ駆動機構341に連結され支持されるとともに、搬送装置21側と反対側の端部が図8における上側のX軸端部支持部材302に接続され支持されている。
The first head unit moving mechanism 9A supports a Y-axis drive unit (not shown) that moves the first head unit 3A in the Y-axis direction and the first head unit 3A to support the first head unit 3A in the Y-axis direction. A first Y-axis guide 91A that is long in the Y-axis direction that guides the movement of the first Y-axis guide 91A. The end of the first Y-axis guide 91A on the conveying device 21 side is connected to and supported by the linear motor drive mechanism 341, and The end opposite to the conveying device 21 is connected to and supported by the lower X-axis end supporting member 302 in FIG.
The second head portion moving mechanism 9B has substantially the same configuration as the first head portion moving mechanism 9A, and includes a Y-axis drive portion (not shown) that moves the second head portion 3B in the Y-axis direction, A second Y-axis guide 91B that is long in the Y-axis direction and supports the head part 3B and guides the movement of the second head part 3B in the Y-axis direction. Are connected to and supported by the linear motor drive mechanism 341, and the end opposite to the conveying device 21 is connected to and supported by the upper X-axis end support member 302 in FIG.

なお、このような構成の場合に基板Kに対して所定の電子部品Pを搭載する際には、例えば、制御部6が、第一ヘッド部3Aの吸着ノズル31による電子部品Pの吸着動作、第二ヘッド部3Bの吸着ノズル31による電子部品Pの搭載動作、第一ヘッド部3Aの吸着ノズル31による電子部品Pの搭載動作、第二ヘッド部3Bの吸着ノズル31による電子部品Pの吸着動作とが順次行われるように、リニアモータ駆動機構341の第一可動コイル416A及び第二可動コイル416Bに対する通電制御並びに第一ヘッド部移動機構9A及び第二ヘッド部移動機構9BのそれぞれのY軸駆動部の駆動制御を所定のタイミングで行うことにより、電子部品Pの搭載効率の最適化を図ることができる。   In the case of such a configuration, when the predetermined electronic component P is mounted on the substrate K, for example, the control unit 6 performs the suction operation of the electronic component P by the suction nozzle 31 of the first head unit 3A. Mounting operation of the electronic component P by the suction nozzle 31 of the second head portion 3B, mounting operation of the electronic component P by the suction nozzle 31 of the first head portion 3A, suction operation of the electronic component P by the suction nozzle 31 of the second head portion 3B And the Y-axis drive of each of the first head portion moving mechanism 9A and the second head portion moving mechanism 9B and the energization control for the first movable coil 416A and the second movable coil 416B of the linear motor drive mechanism 341. By performing the drive control of the parts at a predetermined timing, it is possible to optimize the mounting efficiency of the electronic component P.

以上のように、実施形態3の部品搭載装置300によれば、第一ヘッド部3AをY軸方向に移動させるための第一ヘッド部移動機構9Aが搭載された第一可動部414A及び第二ヘッド部3BをY軸方向に移動させるための第二ヘッド部移動機構9Bが搭載された第二可動部414Bを可動させる構成のリニアモータ駆動機構341に必要な永久磁石の量を少なくすることができ、これにより当該リニアモータ駆動機構341のコスト削減を図り、結果として、部品搭載装置300のコスト削減を図ることができる。   As described above, according to the component mounting apparatus 300 of the third embodiment, the first movable unit 414A and the second movable unit 414A on which the first head unit moving mechanism 9A for moving the first head unit 3A in the Y-axis direction is mounted. To reduce the amount of permanent magnets required for the linear motor drive mechanism 341 configured to move the second movable portion 414B on which the second head portion moving mechanism 9B for moving the head portion 3B in the Y-axis direction is mounted. Thus, the cost of the linear motor drive mechanism 341 can be reduced, and as a result, the cost of the component mounting apparatus 300 can be reduced.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、リニアモータ駆動機構(リニアモータ駆動装置)41、141、241、341として部品搭載装置100、200、300に備えられるものを例示したが、これに限られるものではなく、当該リニアモータ駆動機構41を搭載可能なものであれば如何なる装置に適用しても良い。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various improvements and design changes may be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the linear motor drive mechanisms (linear motor drive devices) 41, 141, 241, and 341 are exemplified in the component mounting apparatuses 100, 200, and 300, but the present invention is not limited to this, and the linear motor drive mechanism is not limited thereto. As long as 41 can be mounted, it may be applied to any device.

また、可動部として第一可動部414A及び第二可動部414Bの2つを設けるようにしたが、固定マグネット部411のY軸方向の一方の端面側に二つ以上の可動部を搭載することにより全体で三つ以上設けるようにしても良い。   In addition, the first movable portion 414A and the second movable portion 414B are provided as the movable portions, but two or more movable portions are mounted on one end face side of the fixed magnet portion 411 in the Y-axis direction. Thus, three or more may be provided as a whole.

本発明を適用した実施形態1の部品搭載装置を示す平面図である。It is a top view which shows the component mounting apparatus of Embodiment 1 to which this invention is applied. 図1の部品搭載装置の制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of the component mounting apparatus of FIG. 図1の部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the linear motor drive mechanism with which the component mounting apparatus of FIG. 1 is equipped. 図3のIV−IV線におけるリニアモータ駆動機構の断面図である。It is sectional drawing of the linear motor drive mechanism in the IV-IV line | wire of FIG. 部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of the linear motor drive mechanism with which a component mounting apparatus is equipped. 本発明を適用した実施形態2の部品搭載装置を示す平面図である。It is a top view which shows the component mounting apparatus of Embodiment 2 to which this invention is applied. 図6の部品搭載装置に備わるリニアモータ駆動機構を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the linear motor drive mechanism with which the component mounting apparatus of FIG. 6 is equipped. 本発明を適用した実施形態3の部品搭載装置を示す平面図である。It is a top view which shows the component mounting apparatus of Embodiment 3 to which this invention is applied.

符号の説明Explanation of symbols

100、200、300 部品搭載装置
3A 第一ヘッド部
3B 第二ヘッド部
31 吸着ノズル
41、141、241、341 リニアモータ駆動機構(リニアモータ駆動装置)
411 固定マグネット部
411a 永久磁石
412A 上側支持部(案内支持部)
412B 下側支持部(案内支持部)
413 X軸ガイドレール(案内支持部)
414A 第一可動部
414B 第二可動部
416A 第一可動コイル
416B 第二可動コイル
105 撮像装置
8 ミラーユニット(導光機構)
81 第一ミラー
82 第二ミラー
205 部品基板撮像装置
9A 第一ヘッド部移動機構
9B 第二ヘッド部移動機構
100, 200, 300 Component mounting device 3A First head portion 3B Second head portion 31 Adsorption nozzles 41, 141, 241, 341 Linear motor drive mechanism (linear motor drive device)
411 Fixed magnet part 411a Permanent magnet 412A Upper support part (guide support part)
412B Lower support (guide support)
413 X-axis guide rail (guide support part)
414A First movable part 414B Second movable part 416A First movable coil 416B Second movable coil 105 Imaging device 8 Mirror unit (light guide mechanism)
81 1st mirror 82 2nd mirror 205 Component board imaging device 9A 1st head part moving mechanism 9B 2nd head part moving mechanism

Claims (4)

一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置されていることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along one direction; at least two movable portions each moving along a direction in which the plurality of permanent magnets are arranged; A guide support part for guiding and supporting movement along the arrangement direction of the movable parts,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction,
The linear motor driving device characterized in that the two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side. .
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記ヘッド部と異なる他のヘッド部、前記吸着ノズルに吸着された前記部品を撮像する部品撮像装置及び前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品撮像装置まで導く導光機構、前記基板を撮像する基板撮像装置、前記基板に接着剤を塗布する接着剤塗布装置の何れか一が搭載されていることを特徴とする部品搭載装置。
A component mounting apparatus comprising a head portion having a suction nozzle for sucking and holding a component mounted on a substrate, and a linear motor drive mechanism for moving the head portion in one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the one direction; at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil; and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in a direction orthogonal to the arrangement direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side thereof,
The head unit is mounted on any one of the at least two movable units, the other movable unit different from the one movable unit, the other head unit different from the head unit, and the suction nozzle A component imaging device that images the adsorbed component, a light guide mechanism that reflects reflected light from the component by a predetermined number of mirrors and guides it to the component imaging device, a substrate imaging device that images the substrate, and adhesion to the substrate One of the adhesive application apparatuses which apply | coat an agent is mounted, The component mounting apparatus characterized by the above-mentioned.
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部を一方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記一方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記並び方向に対する直交方向の二つの直交面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記直交面側から挟むように、当該直交面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のうち、何れか一の可動部に前記ヘッド部が搭載され、前記一の可動部と異なる他の可動部に、前記吸着ノズルに吸着された前記部品及び前記基板のうちの少なくとも何れか一を撮像する部品基板撮像装置が搭載され、
前記案内支持部は、前記部品からの反射光を所定数のミラーにより反射させて前記部品基板撮像装置まで導く導光機構を備えることを特徴とする部品搭載装置。
A component mounting apparatus comprising a head portion having a suction nozzle for sucking and holding a component mounted on a substrate, and a linear motor drive mechanism for moving the head portion in one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the one direction; at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil; and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of two orthogonal surfaces in the orthogonal direction to the arrangement direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the orthogonal surfaces so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the orthogonal surface side thereof,
Among the at least two movable parts, the head part is mounted on any one of the movable parts, and the other movable part different from the one movable part has the component and the substrate adsorbed by the suction nozzle. A component board imaging device for imaging at least one of
The component mounting apparatus, wherein the guide support unit includes a light guide mechanism that reflects reflected light from the component by a predetermined number of mirrors and guides the reflected light to the component board imaging device.
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルを有する少なくとも二つのヘッド部と、前記ヘッド部のそれぞれを一方向に移動させるための少なくとも二つのヘッド部移動機構と、前記少なくとも二つのヘッド部移動機構を前記一方向に対する直交方向に移動させるためのリニアモータ駆動機構とを備える部品搭載装置であって、
前記リニアモータ駆動機構は、
前記直交方向に沿って並設された複数の永久磁石からなる固定マグネット部と、前記複数の永久磁石の並び方向に沿って移動し、それぞれ可動コイルを有する少なくとも二つの可動部と、前記少なくとも二つの可動部の前記並び方向に沿った移動を案内支持する案内支持部と、を備え、
前記複数の永久磁石は、前記一方向の二つの面の磁極を交互に異ならせて配置され、
前記二つの可動部は、前記複数の永久磁石をそれらの前記一方向の面側から挟むように、当該一方向の面のそれぞれに前記可動コイルを対向させて配置され、
前記少なくとも二つの可動部のそれぞれには、前記ヘッド部移動機構が搭載されていることを特徴とする部品搭載装置。
At least two head portions having suction nozzles for sucking and holding components mounted on the substrate, at least two head portion moving mechanisms for moving each of the head portions in one direction, and the at least two head portion movements A component mounting apparatus comprising a linear motor drive mechanism for moving the mechanism in a direction orthogonal to the one direction,
The linear motor drive mechanism is
A fixed magnet portion composed of a plurality of permanent magnets arranged side by side along the orthogonal direction, at least two movable portions that move along the arrangement direction of the plurality of permanent magnets and each have a movable coil, and the at least two A guide support part that guides and supports movement of the two movable parts along the alignment direction,
The plurality of permanent magnets are arranged by alternately changing the magnetic poles of the two surfaces in the one direction,
The two movable parts are arranged with the movable coils facing each of the surfaces in the one direction so as to sandwich the plurality of permanent magnets from the surface in the one direction.
Each of the at least two movable parts has the head part moving mechanism mounted thereon.
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