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JP2006167711A - 被洗浄物の洗浄方法及びその装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 収納体内に被洗浄物を収納して液洗浄すれば、液洗浄は収納体から少量ずつ排出され、この排出の完了によって浸漬洗浄を完了し収納体から被洗浄物を取り出し可能となる。また、洗浄液を少量ずつ排出させながら清浄化洗浄液を収納体に供給すれば、複数の洗浄槽を順次移動させることなく、一つの収納体内で被洗浄物の高純度の洗浄を可能とする。また、収納体の洗浄液排出と同時にまたは液洗浄の完了後に収納体内に洗浄蒸気を導入すれば、被洗浄物を移動することなく液洗浄と蒸気洗浄とを行うことができる。
【解決手段】 被洗浄物を収納体に収納して洗浄液により液洗浄すると共に、この液洗浄の過程で収納体から洗浄液を少量づつ排出する。また、この排出と並行してまたは排出完了後に洗浄蒸気の供給部から洗浄蒸気を収納体内に導入して被洗浄物の蒸気洗浄を行う。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子部品、機械部品、医療機器等の汚染された物品を洗浄する洗浄方法及びその洗浄装置に係るもので、被洗浄物の洗浄を手数を要することなく迅速に行うことを目的としたものである。
特開平4−122481号公報 特開平4−110083号公報 特開昭63−197590号公報
従来、洗浄液を用いて被洗浄物の浸漬洗浄を行う場合は、特許文献1から3に示す如く、被洗浄物の液洗浄を行う。また、更に精密洗浄を行う場合には液洗浄を完了した被洗浄物を蒸気洗浄することが行われている。この液洗浄と蒸気洗浄とを行う場合は、特許文献1、2に示す如く、洗浄液槽と蒸気発生槽とを平面的に並べて配置し、被洗浄物を人手または機械装置により、液洗浄槽と蒸気洗浄槽とを順次移動させることにより被洗浄物の洗浄を行うことが知られている。
また、他の方法は特許文献3に示す如く、液洗浄部の上面に蒸気洗浄部を設け、液洗浄の完了した被洗浄物を液洗浄槽の上部に引き上げ、この位置で洗浄蒸気と接触させて蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄で蓄熱したエネルギーにより蒸気洗浄の完了後に乾燥を行うものが知られている。
また、蒸気洗浄を行わず被洗浄物の浸漬洗浄のみを行う場合は、洗浄液を充填した液密な収納体内で被洗浄物の浸漬洗浄を行い、この浸漬洗浄の完了した被洗浄物を収納体の洗浄液から引き上げて乾燥等の次工程に移送することが行われている。また、洗浄液を充填した液密な収納体を複数個用意し、この複数の収納体を順次移動しながら浸漬洗浄を繰り返すことにより被洗浄物の精密洗浄を可能とするものも存在する。
しかしながら、特許文献1、2に示す如く、液洗浄槽と蒸気洗浄槽を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行う方法は、多くの手数と複雑な移動機構を必要とし洗浄完了までに多くの時間を必要とするものであるため、作業効率の悪いものであった。また、特許文献3に示す発明に於いても、液洗浄の完了後は液洗浄部の洗浄液から被洗浄物を引き上げて蒸気洗浄部に被洗浄物を移動して蒸気洗浄を行うため、液洗浄と蒸気洗浄の切替に多くの手数と移動機構を要するものとなっている。
また、蒸気洗浄を行わず被洗浄物の浸漬洗浄のみを行う場合に於いても、従来は、洗浄液を充填した液密な収納体内で被洗浄物の浸漬洗浄を行うものであるから、浸漬洗浄を完了した被洗浄物は、収納体の洗浄液から引き上げて乾燥等の次工程に移送するか、被洗浄物の洗浄が完了したら、洗浄液を収納体から排出した後に被洗浄物を収納体から取り出すことが行われている。このように被洗浄物を収納体の洗浄液から引き上げたり、洗浄液を収納体から排出するには多くの手数を要し作業工程を複雑なものとする欠点を有している。
本発明は上述の如き課題を解決し、被洗浄物の液洗浄と蒸気洗浄または浸漬洗浄を従来方法に比較し、少ない手数と簡易な機構でありながら迅速に行おうとするものである。
第1の発明は上述の如き課題を解決するため、被洗浄物を収納体に収納して洗浄液により液洗浄すると共に、この液洗浄の過程で収納体から洗浄液を少量づつ排出することを特徴として成るものである。
また、第2の発明は、被洗浄物を収納体に収納して洗浄液により液洗浄すると共に、この液洗浄の過程で収納体から洗浄液を少量づつ排出し、この排出と並行してまたは排出完了後に洗浄蒸気の供給部から洗浄蒸気を収納体内に導入して被洗浄物の蒸気洗浄を行うことを特徴として成るものである。
また、第1の発明を実施するための装置は、洗浄液を充填して被洗浄物の洗浄を行う収納体を、充填した洗浄液が下端から少量づつ排出されるように形成して成るものである。
また、第2の発明を実施するための装置は、洗浄液を充填して被洗浄物の洗浄を行う収納体を、充填した洗浄液が下端から少量づつ排出されるように形成すると共にこの収納体に、洗浄蒸気の供給部から被洗浄物の蒸気洗浄を行う洗浄蒸気を供給可能として成るものである。
また、収納体は超音波振動子を接続し、内部に収納した被洗浄物の超音波洗浄を可能としたものであっても良い。
また、収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に移動可能に載置したものであっても良い。
また、収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に固定的に載置したものであっても良い。
また、収納体は減圧機構と接続した減圧可能な収納槽内に設置し、被洗浄物の減圧蒸気洗浄、減圧乾燥を可能としたものであっても良い。
本発明は上述の如く構成したものであるから、収納体内に被洗浄物を収納すると共に洗浄液を充填すれば、収納体内での被洗浄物の液洗浄が可能となる。この液洗浄は収納体内の洗浄液が少量ずつ排出されているから、この排出の完了によって被洗浄物は浸漬洗浄を完了すると共に洗浄液が排出された収納体から容易に被洗浄物を取り出すことが可能となる。
また、収納体内から洗浄液を少量ずつ排出させながら清浄化した洗浄液を収納体内に供給すれば、収納体内の洗浄液は常に一定以上の純度を保つことが可能となり、複数の洗浄槽を順次移動させることなく、一つの収納体内で被洗浄物の高純度の洗浄を可能とすることが出来るものである。
また、収納体内から洗浄液を少量ずつ排出させるものであるから、液洗浄と同時にまたは液洗浄の完了後に収納体内に洗浄蒸気を導入することにより、被洗浄物を移動することなく液洗浄と蒸気洗浄とを行うことができる。本発明によれば、被洗浄物を移動することなく迅速で簡易な構成による液洗浄と蒸気洗浄作業を可能とするものである。
本発明の第1実施例を図1に於いて説明すれば、(1)は収納体で、機械部品、電子部品、医療機器等の被洗浄物を収納可能な寸法に形成すると共に、水、純水、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、フッ素系溶剤等の洗浄液(2)を充填した状態で下端から少量ずつ洗浄液(2)が排出されるよう構成している。この洗浄液(2)の排出は、排出用の流出口を、収納体(1)の底板に開口しても良いが、底板を設けることなく収納体(1)の底部そのものを全面開口し流出口としてもよい。そして、この収納体(1)を洗浄作業を行う作業部(3)に載置した状態で、流出口を構成する外周壁(4)の下端を作業部(3)の上面に密着可能に接触させている。
この密着は、収納体(1)に充填した洗浄液(2)が急速に排出されないためであって、少量の排出は確保される必要がある。そして、上記の作業部(3)は、収納体(1)の流出口から流出した洗浄液(2)を収納する為の液溜部(5)を設けた収納槽(6)内に気密的に配置し、この液溜部(5)に排出弁(7)を介して洗浄液タンク(8)を接続している。この洗浄液タンク(8)は内部に冷却コイル(10)を配置し、洗浄液(2)を冷却可能とすると共に液体ポンプ(11)を接続し、洗浄液(2)を、導入配管(12)により作業部(3)の上面に載置した収納体(1)内に導入可能としている。また、液体ポンプ(11)と収納槽(6)との間にはフイルター、イオン交換機、油水分離器、蒸留再生機等の清浄化機構(13)を配置し液体ポンプ(11)で流動させ清浄化機構(13)で清浄化した洗浄液(2)を、導入配管(12)により作業部(3)の上面に載置した収納体(1)内に導入可能としている。
また、作業部(3)には超音波振動子(14)を配置し、洗浄液(2)と共に収納体(1)内に収納した被洗浄物を超音波洗浄可能としている。超音波洗浄の如き、被洗浄物の洗浄液による洗浄補助手段としては、超音波洗浄の他、バブル洗浄、揺動洗浄方法を用いることも勿論可能である。
また、被洗浄物の洗浄は収納体(1)に収納して行うが、この収納体(1)に被洗浄物を直接収納し作業部(3)に被洗浄物を直接接触させても良いが、収納体(1)とは別個に形成した洗浄籠に被洗浄物を収納した後、収納体(1)に収納するようにしても良い。収納体(1)に被洗浄物を直接収納する方法では、被洗浄物と他の部材の接触を極力少なくして高度の精密洗浄を行う場合に有効であるし、洗浄籠に収納した被洗浄物を収納体(1)に収納して洗浄する場合は、小型で多数の被洗浄物を洗浄する場合に、取り扱いが容易となる利点を有している。また、別個の洗浄籠を用いることなく、収納体(1)の底部に金網等を設置し洗浄籠を兼用するものであってもよい。
また、収納槽(6)には洗浄蒸気を収納体(1)に供給するための供給部(15)を接続している。この接続は、内部にヒーター(16)を配置して洗浄液(2)を加熱することにより発生した洗浄蒸気を、蒸気配管(17)により蒸気制御弁(18)を介して収納槽(6)に導入可能とすると共に供給部(15)は収納槽(6)内の洗浄液(2)、凝縮液等を、導入制御弁(21)を介して供給部(15)に導入可能に接続している。また、上記の加熱する洗浄液(2)は浸漬洗浄に使用した洗浄液(2)と同一のものを用いているが、浸漬洗浄に使用した洗浄液(2)と異なる洗浄液(2)を任意に選択して加熱することにより洗浄蒸気とすることも勿論可能なものである。
また、収納槽(6)には内部を減圧するための減圧機構(24)を、減圧制御弁(25)を介して減圧配管(26)により接続している。この減圧機構(24)は蒸気回収機能を備えたものであって回収した蒸気の凝縮液化を可能としている。また、減圧配管(26)には減圧制御弁(25)と収納槽(6)との間に真空解除弁(27)を配置している。また、この減圧機構(24)は洗浄液タンク(8)と、凝縮液の戻し配管(28)、戻し制御弁(29)を介して接続し、回収蒸気の凝縮液を洗浄液タンク(8)に供給している。また、この洗浄液タンク(8)は、オーバーフロー配管(22)、オーバーフロー制御弁(23)を介してオーバーフロー液を供給部(15)に供給している。
上述の如く構成したものに於いて、被洗浄物の洗浄を行うには、図1に示す如く、収納体(1)を作業部(3)に載置する。この載置は、収納体(1)の下端外周と作業部(3)の上面とを少量の洗浄液(2)が流出し得る程度に密着接触して行う。そして、収納体(1)内に被洗浄物を収納した後、液体ポンプ(11)を作動し、洗浄液タンク(8)の洗浄液(2)を収納体(1)内に充填して液洗浄を行う。この液洗浄は超音波振動子(14)を作動して超音波洗浄を行うと共に、洗浄液(2)を収納体(1)の下端から少量ずつ排出しながら行うものである。そして、同時に供給部(15)から蒸気配管(17)を介して洗浄蒸気を導入し、洗浄液(2)の少量排出によって洗浄液(2)から少しずつ露出してくる被洗浄物と洗浄蒸気を接触させ蒸気洗浄を行う。
このように、被洗浄物の液洗浄と蒸気洗浄とを同時に進行することが出来るから、液洗浄の完了と同時に仕上げ洗浄である蒸気洗浄も完了し、迅速な洗浄作業が可能となる。また、液洗浄、蒸気洗浄共に被洗浄物の移動が一切不要となり、洗浄作業に要する手数を大幅に減少させることが可能となる。
また、上記の液洗浄は被洗浄物を収納した収納体(1)に洗浄液(2)を一度満たした後は洗浄液(2)の供給を停止し、少量ずつ排出しながら液洗浄と蒸気洗浄とを同時に行うものであっても良いし、一定時間は排出量と同一または排出量以上の洗浄液を供給して液洗浄のみを行い、この液洗浄の完了後に蒸気洗浄を行うものとしても良い。
また、この液洗浄、蒸気洗浄と並行して減圧機構(24)により収納槽(6)内を減圧すれば洗浄液(2)に可燃性のものを用いても、沸点を低くできるため引火の危険を減少することが出来る。また、液洗浄と蒸気洗浄とを完了したら、減圧機構(24)の減圧度を高め突沸乾燥を行うことにより、被洗浄物の乾燥が可能となる。この突沸乾燥を行う場合は、液洗浄、蒸気洗浄、乾燥まで被洗浄物の移動を行う必要が無く、移動機構も不要となるから簡易な装置で迅速な洗浄作業を可能とすることが出来るものである。
上記の第1実施例では、収納槽(6)に蒸気回収可能な減圧機構(24)を接続し収納槽(6)内を減圧可能なものとしている。この第1実施例では被洗浄物の減圧乾燥が可能となる利点を有しているが、減圧乾燥の必要がない場合や、構造を簡略化するためには、図2に示す第2実施例の如く、減圧機構(24)を用いずに構成する。また、上記の第1実施例では洗浄蒸気の供給部(15)、洗浄液タンク(8)等を収納槽(6)とは別個に形成したが、第2実施例では洗浄蒸気の供給部(15)、洗浄液タンク(8)等を収納槽(6)内に形成している。また、被洗浄物の洗浄を行う作業部(3)は収納槽(6)内に立ち上げた作業台(33)の上面に形成し、この作業台(33)の側面位置に、作業部(3)と連通して洗浄蒸気の供給部(15)と洗浄液タンク(8)を配置している。また、この洗浄蒸気の供給部(15)と洗浄液タンク(8)とは、オーバーフロー配管(22)を介して連通し、オーバーフロー液を供給部(15)に供給している。
そして、この第2実施例で被洗浄物の洗浄を行うには、収納体(1)に被洗浄物を収納した後、液体ポンプ(11)を作動して洗浄液タンク(8)の洗浄液(2)を収納体(1)に供給し被洗浄物の液洗浄を行う。この洗浄は、前記第1実施例と同様に収納体(1)から洗浄液を少量ずつ排出しながら行う。また、この液洗浄と同時に、洗浄蒸気の供給部(15)から、収納槽(6)内に洗浄蒸気を供給して、液洗浄を完了し洗浄液から露出した被洗浄物に洗浄蒸気を接触凝縮し、蒸気洗浄を行うものである。液洗浄を完了し洗浄液から露出した被洗浄物に洗浄蒸気を接触する場合は、液洗浄と蒸気洗浄とは同時進行し、液洗浄の完了時には蒸気洗浄も完了する。また、第2実施例に於いて洗浄の完了した被洗浄物の乾燥は、収納槽(6)内の上部に凝縮コイル(34)を巻き回した凝縮ゾーン(35)を形成し、この凝縮ゾーン(35)に被洗浄物を移動することにより行うことが出来る。
また、上記の第1、第2実施例に於いて、収納体(1)からの洗浄液の少量ずつの排出は、収納体(1)を載置した作業部(3)と収納体(1)の排出口との間に隙間を設けて行うものであっても良いし、図3に示す如く、排出口に、排出制御弁(36)を設けた排出管(37)を接続し、洗浄液(2)の排出量を調整可能なものとしても良い。
また、上記の第1、第2実施例に於いて、収納体(1)は作業部(3)に固定的に配置したものであっても良いし、移動可能とし、被洗浄物の量、大きさ等に応じて任意に交換したり、複数個を同時に作業部(3)に配置するものであっても良い。
また、上記の第1、第2実施例では被洗浄物の洗浄を行う場合に、液洗浄と蒸気洗浄とを併用して行うものとしているが、被洗浄物は液洗浄のみを行うものであっても良く、第3実施例に於いては図4に示す如く、液洗浄のみで被洗浄物の洗浄作業を完了するものとしている。この第3実施例では収納体(1)に洗浄液(2)を充填した状態で下端から少量ずつ洗浄液(2)が排出される構成は第1、第2実施例と同一であり、収納体(1)を作業部(3)に載置した状態で、洗浄液(2)の少量排出を可能とすると共に作業部(3)の下面に超音波振動子(14)を配置し、洗浄液(2)と共に収納体(1)内に収納した被洗浄物を超音波洗浄可能としている。
また、収納体(1)は作業部(3)、超音波振動子(14)とともに収納槽(6)内に配置し、この収納槽(6)内の液溜部(5)に充填した洗浄液(2)内に浸漬可能とすると共に、収納槽(6)内に於いて洗浄液(2)の液面よりも上部に移動可能に形成している。この洗浄液(2)の液溜部(5)には液体ポンプ(11)を接続し、洗浄液(2)を導入配管(12)により収納槽(6)内に再充填可能としている。また、液体ポンプ(11)と収納槽(6)との間にはフイルター、イオン交換機、油水分離器、蒸留再生機等の清浄化機構(13)を配置し液体ポンプ(11)で流動させ清浄化機構(13)で清浄化した洗浄液(2)を、導入配管(12)により洗浄液(2)の液面より上部に移動させた収納体(1)内に、図4に示す如く導入可能としている。
上述の如く収納体(1)に収納した被洗浄物を液溜部(5)の洗浄液(2)で浸漬洗浄した後、適宜の上下動機構により洗浄液(2)の液面の上部に上昇させる。この上昇によって収納体(1)内の洗浄液(2)は少量ずつ排出を継続する。この洗浄液(2)の排出中も被洗浄物の洗浄は継続され、洗浄液(2)の排出完了によって洗浄液(2)による洗浄作業を完了しても良い。しかし、被洗浄物を更に精密洗浄しようとする場合は、液体ポンプ(11)を作動し清浄化機構(13)で清浄化した洗浄液(2)を収納体(1)に充填することにより、被洗浄物の洗浄によって汚れた洗浄液(2)は収納体(1)の下方から流出すると共に、清浄化した洗浄液(2)が収納体(1)に充填される。そのため、洗浄作業を中断することなく収納体(1)内の洗浄液(2)を清浄なものとすることが出来、高度の精密洗浄を可能とすることが出来るものである。
実施例1を示すフロー図。 実施例2を示すフロー図。 収納体に排出制御弁を取り付けた状態のフロー図。 実施例3を示すフロー図。
符号の説明
1 収納体
2 洗浄液
3 作業部
6 収納槽
14 超音波振動子
15 供給部
24 減圧機構

Claims (12)

  1. 被洗浄物を収納体に収納して洗浄液により液洗浄すると共に、この液洗浄の過程で収納体から洗浄液を少量づつ排出することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
  2. 被洗浄物を収納体に収納して洗浄液により液洗浄すると共に、この液洗浄の過程で収納体から洗浄液を少量づつ排出し、この排出と並行してまたは排出完了後に洗浄蒸気の供給部から洗浄蒸気を収納体内に導入して被洗浄物の蒸気洗浄を行うことを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
  3. 洗浄液を充填して被洗浄物の洗浄を行う収納体を、充填した洗浄液が下端から少量づつ排出されるように形成したことを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
  4. 洗浄液を充填して被洗浄物の洗浄を行う収納体を、充填した洗浄液が下端から少量づつ排出されるように形成すると共にこの収納体に、洗浄蒸気の供給部から被洗浄物の蒸気洗浄を行う洗浄蒸気を供給可能としたことを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
  5. 収納体は超音波振動子を接続し、内部に収納した被洗浄物の超音波洗浄を可能としたものであることを特徴とする請求項1又は2の被洗浄物の洗浄方法。
  6. 収納体は、超音波振動子を接続し、内部に収納した被洗浄物の超音波洗浄を可能としたものであることを特徴とする請求項3又は4の被洗浄物の洗浄装置。
  7. 収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に移動可能に載置したものであることを特徴とする請求項1又は2の被洗浄物の洗浄方法。
  8. 収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に移動可能に載置したものであることを特徴とする請求項3又は4の被洗浄物の洗浄装置。
  9. 収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に固定的に載置したものであることを特徴とする請求項1又は2の被洗浄物の洗浄方法。
  10. 収納体は、洗浄作業を行う作業部の上面に固定的に載置したものであることを特徴とする請求項3又は4の被洗浄物の洗浄装置。
  11. 収納体は、減圧機構と接続した減圧可能な収納槽内に設置し、被洗浄物の減圧乾燥を可能としたことを特徴とする請求項1又は2の被洗浄物の洗浄方法。
  12. 収納体は、減圧機構と接続した減圧可能な収納槽内に設置し、被洗浄物の減圧蒸気洗浄、減圧乾燥を可能としたことを特徴とする請求項3又は4の被洗浄物の洗浄装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006167643A (ja) * 2004-12-17 2006-06-29 Japan Field Kk 表面処理液の濾過装置
JP5076033B1 (ja) * 2012-06-08 2012-11-21 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の蒸気洗浄方法及びその装置
JP2014188478A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Japan Field Kk 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP2017202469A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP7324544B1 (ja) * 2022-12-19 2023-08-10 ジャパン・フィールド株式会社 洗浄液の脱気機構を備えた超音波洗浄装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389984A (ja) * 1989-04-20 1991-04-15 Chiyoda Seisakusho:Kk 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
JPH08215651A (ja) * 1995-02-17 1996-08-27 Dan Kagaku:Kk 下降整流式浸漬洗浄槽の整流方法
JPH1015508A (ja) * 1996-07-02 1998-01-20 World Kiko:Kk 洗浄装置
JP2001255065A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Arakawa Chem Ind Co Ltd 部品類の乾燥方法及び乾燥装置
JP2003145067A (ja) * 2001-11-06 2003-05-20 Aqua Kagaku Kk 洗浄装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389984A (ja) * 1989-04-20 1991-04-15 Chiyoda Seisakusho:Kk 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
JPH08215651A (ja) * 1995-02-17 1996-08-27 Dan Kagaku:Kk 下降整流式浸漬洗浄槽の整流方法
JPH1015508A (ja) * 1996-07-02 1998-01-20 World Kiko:Kk 洗浄装置
JP2001255065A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Arakawa Chem Ind Co Ltd 部品類の乾燥方法及び乾燥装置
JP2003145067A (ja) * 2001-11-06 2003-05-20 Aqua Kagaku Kk 洗浄装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006167643A (ja) * 2004-12-17 2006-06-29 Japan Field Kk 表面処理液の濾過装置
JP5076033B1 (ja) * 2012-06-08 2012-11-21 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の蒸気洗浄方法及びその装置
WO2013183092A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の蒸気洗浄方法及びその装置
KR20140053345A (ko) * 2012-06-08 2014-05-07 쟈판휘루도가부시키가이샤 피세정물의 증기세정방법 및 그 장치
KR101659052B1 (ko) * 2012-06-08 2016-09-22 쟈판휘루도가부시키가이샤 피세정물의 증기세정방법 및 그 장치
JP2014188478A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Japan Field Kk 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP2017202469A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP7324544B1 (ja) * 2022-12-19 2023-08-10 ジャパン・フィールド株式会社 洗浄液の脱気機構を備えた超音波洗浄装置

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