JP2006085804A - Magneto-optical recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁性膜に磁区パターンとして情報を記録し、磁気光学効果を用いて情報を再生する光磁気記録媒体に関する。 The present invention relates to a magneto-optical recording medium that records information as a magnetic domain pattern on a magnetic film and reproduces the information using a magneto-optical effect.
近年、光磁気記録媒体の高記録密度化への要望が高まっており、それに応えるため、光学的分解能を超えるような非常に微細な記録マークを再生する技術が開発されている。記録媒体の工夫によりこれを達成する方法として、磁気超解像再生法が知られている。この方法では、磁性多層膜において再生用レーザーのスポット径よりも狭い検出領域のみに記録マークが転写され、他の領域では磁気的に一方向に揃ってマスクされるため、信号検出領域が実質的に制限され光学系の分解能を超えた再生が可能になる。しかし、磁気超解像再生法において再生分解能を向上させようとすると、有効に使用される信号検出領域を狭くする必要があるので、再生信号振幅自体は低下するという欠点がある。 In recent years, there has been an increasing demand for higher recording density of magneto-optical recording media, and in response to this, a technique for reproducing very fine recording marks exceeding the optical resolution has been developed. As a method for achieving this by devising a recording medium, a magnetic super-resolution reproduction method is known. In this method, in the magnetic multilayer film, the recording mark is transferred only to the detection area narrower than the spot diameter of the reproducing laser, and in other areas, the signal detection area is substantially masked. Therefore, reproduction exceeding the resolution of the optical system becomes possible. However, in order to improve the reproduction resolution in the magnetic super-resolution reproduction method, it is necessary to narrow the signal detection region that is effectively used, and thus there is a drawback that the reproduction signal amplitude itself decreases.
図1に、磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体及びその再生方法における作用を説明するための模式図を示す。図1(a)に示したように、記録媒体は小さな磁壁抗磁力を有する第1の磁性層11と、相対的に低いキュリー温度Tsを有する第2の磁性層12と、大きな磁壁抗磁力を有する第3の磁性層13からなる交換結合3層膜で構成される。各層中の矢印14は原子スピンの向きを表わしている。スピンの向きが相互に逆向きの領域の境界部には磁壁15が形成されている。記録膜面上を再生用のレーザービーム16を利用して局所的に加熱すると、図1(b)に示したような温度分布が形成され、これに伴い磁壁エネルギー密度の分布が図1(c)に示したように形成される。磁壁エネルギー密度は一般的に温度が上昇するほど低下するので、ピーク温度の位置で磁壁エネルギー密度が最も低くなるような分布になる。この結果、位置Xに存在する第1の磁性層の磁壁をエネルギー密度の低い高温側へ移動させようとする磁壁駆動力Fが発生する。媒体温度が第2の磁性層のキュリー温度Tsよりも低い場所では、各磁性層は交換結合しているため、前述の温度勾配による磁壁駆動力が作用しても、第3の磁性層の大きな磁壁抗磁力に阻止されて磁壁移動は起こらない。ところが、媒体温度Tsよりも高い場所では第1の磁性層と第3の磁性層との間の交換結合が切断されるため、磁壁抗磁力の小さな移動層中の磁壁は、温度勾配による磁壁駆動力で磁壁移動が可能となる。このため、媒体の走査に伴って、磁壁が温度Tsの位置を越えて結合切断領域に侵入した瞬間に、移動層中で高温側へ磁壁移動が起こる。 FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the operation of the domain wall motion detection type magneto-optical recording medium and the reproducing method thereof. As shown in FIG. 1 (a), the recording medium and the first magnetic layer 11 having a small magnetic wall coercivity, a second magnetic layer 12 having a relatively low Curie temperature T s, large wall coercivity It is comprised by the exchange coupling 3 layer film | membrane which consists of the 3rd magnetic layer 13 which has these. Arrows 14 in each layer indicate the direction of atomic spin. A domain wall 15 is formed at the boundary between regions where spin directions are opposite to each other. When the recording film surface is locally heated using the reproducing laser beam 16, a temperature distribution as shown in FIG. 1B is formed, and the domain wall energy density distribution is shown in FIG. ). Since the domain wall energy density generally decreases as the temperature rises, the distribution is such that the domain wall energy density is the lowest at the peak temperature position. As a result, a domain wall driving force F is generated which attempts to move the domain wall of the first magnetic layer existing at the position X to the high temperature side where the energy density is low. In the place where the medium temperature is lower than the Curie temperature T s of the second magnetic layer, each magnetic layer is exchange-coupled. Therefore, even if the domain wall driving force due to the temperature gradient described above acts, The domain wall movement does not occur due to the large domain wall coercive force. However, since the exchange coupling between the first magnetic layer and the third magnetic layer is cut at a place higher than the medium temperature T s , the domain wall in the moving layer having a small domain wall coercive force is a domain wall due to a temperature gradient. The domain wall can be moved by the driving force. Therefore, with the scanning of the medium, at the moment the domain wall has entered the binding cutting region beyond the position of the temperature T s, the domain wall motion occurs to the high temperature side in the moving layer.
記録膜中に信号に対応した間隔で形成されている磁壁が、媒体の走査に伴って温度Tsの位置を通過するたびに、移動層内で磁壁移動が発生する。媒体を一定速度で走査すると、記録されている磁壁の空間的間隔に対応した時間間隔で、この磁壁移動が発生することになる。したがって、磁壁移動の発生を検知することにより記録信号を再生することができる。磁壁移動の発生は、再生用のレーザービームにより、磁壁移動領域の磁化の向きに応じた偏光面の回転(カー効果)を利用して検知することができる。 Domain walls are formed in corresponding to the signal during the recording film interval, each time through the position of the temperature T s with the scanning of the medium, the magnetic domain wall displacement is generated in the moving bed. When the medium is scanned at a constant speed, this domain wall movement occurs at a time interval corresponding to the spatial interval of the recorded domain walls. Therefore, the recording signal can be reproduced by detecting the occurrence of the domain wall motion. The occurrence of the domain wall motion can be detected by using the rotation of the polarization plane (Kerr effect) corresponding to the magnetization direction of the domain wall motion region by the reproducing laser beam.
信号振幅は磁壁移動距離で決まり、記録されている磁壁間の距離すなわち磁区長には依存しない。また、再生スポットではなく、温度Tsの等温線が記録パターンを弁別していくことになるので、光学系の分解能とは無関係に信号を再生することができる。 The signal amplitude is determined by the domain wall travel distance, and does not depend on the recorded distance between domain walls, that is, the domain length. Further, instead of the reproduction spot, since isotherm temperature T s is to continue to discriminate recording pattern, it can be reproduced independently of the signal from the resolution of the optical system.
上記の磁壁移動検出方式を用いる光磁気記録媒体において、ノイズの少ない良好な再生信号を得ようとすると、隣接する情報トラック間の磁性層の磁気的結合を分断する必要がある。これは情報トラック間の磁性膜が物理的、物性的に連続した一様な膜である場合は、記録マークが閉じた磁壁で周囲を囲まれた磁区として存在するので、この記録マークを拡大させる方向に磁壁移動させようとすると、必然的に磁壁面積が拡大して磁壁の有するエネルギーが大きくなるため、結果として磁壁移動の動作が不安定となるからであると考えられる。 In a magneto-optical recording medium using the above-described domain wall motion detection method, in order to obtain a good reproduction signal with less noise, it is necessary to break the magnetic coupling of the magnetic layer between adjacent information tracks. If the magnetic film between the information tracks is a uniform film that is physically and physically continuous, the recording mark exists as a magnetic domain surrounded by a closed domain wall. If it is attempted to move the domain wall in the direction, the domain wall area inevitably expands and the energy of the domain wall increases, and as a result, the operation of domain wall movement becomes unstable.
磁気的結合を分断するために、本発明では情報トラックとして利用されるランド及びグルーブ間の側壁部の磁性膜を高出力レーザーでアニール処理を施して磁気的性質を変質させる方法を用いている。この方法を用いることにより、磁壁面積を増加させることなく記録マークを拡大させることができ、ノイズの少ない良好な再生信号を得ることが可能となる。
しかしながら、上述のランド及びグルーブを有する基板において側壁部にアニール処理を施した場合、左右の側壁部でアニール領域が異なっているケースが生じる。これは、実際の基板では左右の側壁部のテーパー角は完全に一致しているわけではないので、同じレーザーパワーで各側壁部をアニール処理した場合に左右で非対称にアニールされるためだと考えられる。例えばアニール処理された光磁気記録媒体に記録されたマークをMFMで観察すると、アニール領域と近接する記録マークのエッジ部分が左右で非対称になっていることが確認できる。このような記録マークの形状は、信号再生時の磁壁移動をスムーズに行うことを妨げるため、再生信号のジッター悪化を招く大きな要因となり得る。 However, when the sidewall treatment is performed on the substrate having the lands and grooves described above, there are cases where the annealing regions are different between the left and right sidewall portions. This is because the taper angles of the left and right side wall portions do not completely coincide with each other in an actual substrate, so that when the side wall portions are annealed with the same laser power, they are annealed asymmetrically on the left and right sides. It is done. For example, when the mark recorded on the magneto-optical recording medium subjected to the annealing treatment is observed with MFM, it can be confirmed that the edge portion of the recording mark adjacent to the annealing region is asymmetric on the left and right. Such a recording mark shape prevents smooth movement of the domain wall at the time of signal reproduction, and can be a major factor that causes a deterioration in jitter of the reproduction signal.
そこで本発明は、左右の側壁部のテーパー角が非対称であっても記録トラック間の側壁部に形成されたアニール領域が側壁領域と一致するように形成されて、良好な再生信号の記録を可能とする光磁気記録媒体を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention enables the recording of a good reproduction signal by forming the annealing region formed in the side wall portion between the recording tracks so as to coincide with the side wall region even if the taper angles of the left and right side wall portions are asymmetric. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium.
本発明の目的は、情報の記録トラックとして利用されるランド及びグルーブを有し、側壁部のテーパー角が左右で異なる光磁気記録媒体において、磁壁が移動可能な第1の磁性層と、記録磁区を保持し、前記第1の磁性層より磁壁抗磁力が大きな第3の磁性層と、前記第1の磁性層及び第3の磁性層よりもキュリー温度の低い、前記第1の磁性層と第3の磁性層間に配された第2の磁性層と、前記記録トラック間の側壁部に形成されたアニール領域とを有し、前記アニール領域は側壁領域と一致するように形成されていることを特徴とする光磁気記録媒体によって達成される。 An object of the present invention is to provide a first magnetic layer having a land and a groove used as an information recording track and having a side wall with a taper angle different on the left and right, a magnetic wall of which can be moved, and a recording magnetic domain. A third magnetic layer having a domain wall coercive force greater than that of the first magnetic layer, and the first magnetic layer and the first magnetic layer having a Curie temperature lower than those of the first magnetic layer and the third magnetic layer. A second magnetic layer disposed between the three magnetic layers and an annealing region formed in a side wall portion between the recording tracks, and the annealing region is formed to coincide with the side wall region. This is achieved by the featured magneto-optical recording medium.
また、前記アニール領域が側壁領域と一致するように形成されるために、前記アニール領域を形成するアニール処理時のパワーを左右の側壁部で補正することを特徴とする光磁気記録媒体によって達成される。 Further, since the annealing region is formed so as to coincide with the sidewall region, the power during the annealing process for forming the annealing region is corrected by the left and right sidewall portions. The
上述の如く、本発明になる光磁気記録媒体によれば、左右の側壁部のテーパー角が非対称であっても記録トラック間の側壁部に形成されたアニール領域が側壁領域と一致するように形成されて、良好な再生信号の記録を可能とする光磁気記録媒体を提供することができる。 As described above, according to the magneto-optical recording medium of the present invention, even if the taper angles of the left and right side wall portions are asymmetric, the annealing region formed in the side wall portion between the recording tracks is formed so as to coincide with the side wall region. Thus, it is possible to provide a magneto-optical recording medium that can record a good reproduction signal.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図2を参照すると、本発明で用いる光磁気記録媒体の層構成を示した模式的断面図が示されている。即ち、基板26上に少なくとも誘電体層25、第1の磁性層21(再生層)、第2の磁性層22(調整層)、第3の磁性層23(記録層)、誘電体層24が順次積層されている。 Referring to FIG. 2, there is shown a schematic sectional view showing the layer structure of the magneto-optical recording medium used in the present invention. That is, at least the dielectric layer 25, the first magnetic layer 21 (reproducing layer), the second magnetic layer 22 (adjustment layer), the third magnetic layer 23 (recording layer), and the dielectric layer 24 are formed on the substrate 26. They are sequentially stacked.
上記の光磁気記録媒体は、第1の磁性層のキュリー温度をTc1、第2の磁性層のキュリー温度をTc2、第3の磁性層のキュリー温度をTc3としたとき、これら磁性層のキュリー温度が次式Tc1>Tc2、Tc3>Tc2の条件を満足するものである。 In the magneto-optical recording medium, the Curie temperature of the first magnetic layer is Tc1, the Curie temperature of the second magnetic layer is Tc2, and the Curie temperature of the third magnetic layer is Tc3. Satisfies the conditions of the following expressions Tc1> Tc2 and Tc3> Tc2.
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the magneto-optical recording medium of the present invention will be described.
直流マグネトロンスパッタリング装置に、上述した各材料のターゲットを取り付け、トラッキング用の案内溝(案内帯)が形成されたポリカーボネイト基板を基板ホルダーに固定した後、1×10-5Pa以下の高真空になるまでチャンバー内をクライオポンプで真空排気する。真空排気をしたままArガスをチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、ターゲットをスパッタして各層を成膜する。 After attaching the target of each material described above to the DC magnetron sputtering apparatus and fixing the polycarbonate substrate on which the guide groove (guide band) for tracking is formed to the substrate holder, until a high vacuum of 1 × 10 −5 Pa or less is achieved The chamber is evacuated with a cryopump. Ar gas is introduced into the chamber while being evacuated, and the layers are formed by sputtering the target while rotating the substrate.
まず最初に、下地層として誘電体層25を成膜する。引き続き、第1の磁性層、第2の磁性層、第3の磁性層を順次成膜する。 First, the dielectric layer 25 is formed as a base layer. Subsequently, a first magnetic layer, a second magnetic layer, and a third magnetic layer are sequentially formed.
上地層として誘電体層24を成膜後に、光磁気記録媒体をスパッタリング装置から取り出し、アニール処理を行う。 After the dielectric layer 24 is formed as the upper layer, the magneto-optical recording medium is taken out of the sputtering apparatus and annealed.
図3は本発明の光磁気記録媒体のアニール処理装置の構成を示すものである。図3に示すように、アニール処理装置はスピンドルモーター、スピンドルサーボ回路、ピックアップ、サーボ回路、レーザーパワーコントロール回路、コントローラーから構成されている。 FIG. 3 shows the configuration of the magneto-optical recording medium annealing apparatus of the present invention. As shown in FIG. 3, the annealing apparatus includes a spindle motor, a spindle servo circuit, a pickup, a servo circuit, a laser power control circuit, and a controller.
光磁気記録媒体は、スピンドルサーボ回路により規定の線速度を保つように制御されるスピンドルモータによって、一定の方向に回転しているものとする。 It is assumed that the magneto-optical recording medium is rotated in a certain direction by a spindle motor controlled so as to maintain a prescribed linear velocity by a spindle servo circuit.
光ピックアップ部は、サーボ回路により、フォーカスサーボやトラッキングサーボ、あるいは、半径方向への移動制御などの各種制御がされる。また、光ピックアップ部から出射されるレーザービームは、レーザーパワーコントロール回路によって所定のアニールパワーとなるように制御される。 The optical pickup unit is controlled by a servo circuit such as focus servo, tracking servo, or movement control in the radial direction. The laser beam emitted from the optical pickup unit is controlled by the laser power control circuit so as to have a predetermined annealing power.
コントロール部は、CPU、ROM、RAMなどを備えたマイクロコンピュータであり、この実施の形態のアニール処理装置の各部を制御するものである。CPUは、再生アドレスデータにより、走査している光磁気記録媒体上の位置を知り、この再生アドレスデータを基準として、光磁気記録媒体上の目的とするトラックを走査することができるように、サーボ回路、スピンドル回路などに供給する制御信号を形成し、これを各部に供給する。 The control unit is a microcomputer including a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and controls each unit of the annealing apparatus of this embodiment. The CPU knows the position on the magneto-optical recording medium being scanned based on the reproduction address data, and servos so that the target track on the magneto-optical recording medium can be scanned based on the reproduction address data. A control signal to be supplied to a circuit, a spindle circuit, etc. is formed and supplied to each part.
サーボ回路には、光ピックアップ部からのフォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号などが供給されるとともに、コントロール部から、例えば、光磁気記録媒体上の位置を指示する情報などが供給される。また、スピンドルサーボ回路、レーザーパワーコントロール回路にも、光ピックアップからの情報や、コントロール部からの制御信号が供給され、目的の制御を行うことができるようにされている。 The servo circuit is supplied with a focus error signal, a tracking error signal, and the like from the optical pickup unit, and is supplied with information indicating a position on the magneto-optical recording medium, for example, from the control unit. Also, the spindle servo circuit and the laser power control circuit are supplied with information from the optical pickup and a control signal from the control unit so that the target control can be performed.
また、本発明における光ピックアップは3スポット法によってトラッキングを行う。3スポット法では、出射ビームは回折格子によってメインビームと2つのサブビームに分割されて光磁気記録媒体に照射される。図4はアニール処理時の光磁気記録媒体に照射されたメインスポットとサブビームスポットの関係を示している。メインスポットは側壁部をアニール処理するために、サブビームは側壁部にトラッキングするために用いられる。まず、2つのサブビームスポットはそれぞれランドとグルーブ上に照射されており、これら2つのサブビームスポットからの反射光をフォトディテクタにより受光して差分を求めることで差動プッシュプル信号を形成している。この差動プッシュプル信号はサーボ回路に供給され、コントロール部からの制御信号に基づいて目的のトラックの側壁部をメインビームが安定して走査することを可能とする。メインビームスポットはランドとグルーブの境界の側壁部に照射されることで、光磁気記録媒体の走査にともない側壁部をアニール処理する。さらに、メインビームスポットからの反射光をフォトディテクタにより受光して和信号を得る。側壁部のテーパー角が左右で異なる場合、和信号レベルにその変化が反映されるので、和信号を検出することで側壁部の非対称性を検出することができる。 Further, the optical pickup in the present invention performs tracking by the three-spot method. In the three-spot method, the outgoing beam is divided into a main beam and two sub-beams by a diffraction grating and irradiated onto the magneto-optical recording medium. FIG. 4 shows the relationship between the main spot and sub-beam spot irradiated on the magneto-optical recording medium during the annealing process. The main spot is used for annealing the side wall, and the sub beam is used for tracking the side wall. First, the two sub-beam spots are irradiated on the land and the groove, respectively, and the reflected light from these two sub-beam spots is received by a photodetector to obtain a differential push-pull signal by obtaining a difference. The differential push-pull signal is supplied to the servo circuit, and the main beam can stably scan the side wall of the target track based on the control signal from the control unit. The main beam spot is irradiated on the side wall portion at the boundary between the land and the groove, so that the side wall portion is annealed as the magneto-optical recording medium is scanned. Further, the reflected light from the main beam spot is received by a photodetector to obtain a sum signal. When the taper angle of the side wall portion is different between right and left, the change is reflected in the sum signal level, so that the asymmetry of the side wall portion can be detected by detecting the sum signal.
上記構成にて、光磁気記録媒体に対してアニール処理を行う。光磁気記録媒体は、最内周あるいは最外周にレーザースポットが照射されるように、コントロール部によって制御される。そして、光磁気記録媒体は、スピンドルサーボ回路によりアニール用の線速度を保つように制御され、光ピックアップ部から出射されるレーザービームは、レーザーパワーコントロール回路によって所定のアニールパワーとなるように制御される。 In the above configuration, the magneto-optical recording medium is annealed. The magneto-optical recording medium is controlled by the control unit so that the laser spot is irradiated on the innermost circumference or the outermost circumference. The magneto-optical recording medium is controlled to maintain the linear velocity for annealing by the spindle servo circuit, and the laser beam emitted from the optical pickup unit is controlled to have a predetermined annealing power by the laser power control circuit. The
図5は従来のアニール処理時の光磁気記録媒体の断面図を示すものである。側壁部1と側壁部2は非対称となっており、側壁部2の方がテーパー角が小さいものと仮定する。各側壁部にメインスポットから同じレーザーパワーが照射された場合、アニール処理時の温度分布と閾値となるアニール温度の関係から結果として図のようなアニール領域が形成されると考えられる。側壁部1における側壁幅とアニール領域幅は一致しているが、側壁部2におけるアニール領域幅は側壁幅に対して狭くなっている。従って、ランド部及びグルーブ部にマークを記録した場合、図のように側壁部2に近接する記録マークのエッジ部が側壁部2の領域にはみ出すような形で湾曲して形成されてしまう。 FIG. 5 shows a sectional view of a conventional magneto-optical recording medium during annealing. It is assumed that the side wall 1 and the side wall 2 are asymmetric, and the side wall 2 has a smaller taper angle. When the same laser power is irradiated to each side wall from the main spot, it is considered that an annealing region as shown in the figure is formed as a result from the relationship between the temperature distribution during annealing and the annealing temperature serving as a threshold value. Although the side wall width in the side wall portion 1 and the annealing region width are the same, the annealing region width in the side wall portion 2 is narrower than the side wall width. Therefore, when marks are recorded on the land portion and the groove portion, the edge portion of the recording mark adjacent to the side wall portion 2 is curved and formed so as to protrude into the region of the side wall portion 2 as shown in the figure.
図6は本発明のアニール処理時の光磁気記録媒体の断面図を示すものである。図5と同様に側壁部1と側壁部2は非対称となっており、側壁部2の方がテーパー角が小さいものと仮定する。本発明では、上記メインビームスポットからの和信号を検出することで側壁部のテーパー角の違いを検知して、それをもとにアニールパワーを補正する。実際に和信号レベルの変化に対してどのようにアニールパワーの補正量を決定するかは、使用する基板と磁性膜に依存するので、あらかじめ和信号レベルの変化と最適なアニールパワーの補正量との相関を再生信号特性から実験的に求めたテーブルを用いて行う。補正されたアニールパワーを照射することによって、図のように側壁部1及び側壁部2共に側壁幅とアニール領域幅が一致するようにアニール処理が施される。従って、ランド部及びグルーブ部にマークを記録した場合、磁区形状は矩形に近いものとなり再生時の磁壁移動をスムーズに行うことが可能となる。 FIG. 6 shows a cross-sectional view of the magneto-optical recording medium during the annealing process of the present invention. As in FIG. 5, the side wall 1 and the side wall 2 are asymmetric, and it is assumed that the side wall 2 has a smaller taper angle. In the present invention, the difference in taper angle of the side wall is detected by detecting the sum signal from the main beam spot, and the annealing power is corrected based on the detected difference. How to determine the annealing power correction amount for the actual change of the sum signal level depends on the substrate and the magnetic film to be used, so the change of the sum signal level and the optimal annealing power correction amount are determined in advance. Is obtained using a table experimentally obtained from the reproduction signal characteristics. By irradiating with the corrected annealing power, annealing is performed so that the side wall width and the annealing region width coincide with each other as shown in the drawing. Therefore, when marks are recorded in the land portion and the groove portion, the magnetic domain shape is close to a rectangle, and the domain wall movement during reproduction can be performed smoothly.
最後に、アニール処理が為された光磁気記録媒体に保護コートを形成する。 Finally, a protective coat is formed on the magneto-optical recording medium that has been annealed.
以上のような工程をもって、本発明の光磁気記録媒体を製造することができる。 The magneto-optical recording medium of the present invention can be manufactured through the above steps.
11,31 第1の磁性層
12,32 第2の磁性層
13,33 第3の磁性層
14 電子スピンの向き
15 磁壁
15 再生用のビームスポット
16 磁壁の移動方向
18,46 媒体移動方向
24 誘電体層
25 誘電体層
26 基板
11,31 1st magnetic layer
12,32 Second magnetic layer
13,33 Third magnetic layer
14 Direction of electron spin
15 Domain wall
15 Beam spot for playback
16 Domain wall travel direction
18,46 Medium moving direction
24 Dielectric layer
25 Dielectric layer
26 Board
Claims (3)
磁壁が移動可能な第1の磁性層と、記録磁区を保持し、前記第1の磁性層より磁壁抗磁力が大きな第3の磁性層と、前記第1の磁性層及び第3の磁性層よりもキュリー温度の低い、前記第1の磁性層と第3の磁性層間に配された第2の磁性層と、前記記録トラック間の側壁部に形成されたアニール領域とを有し、前記アニール領域は側壁領域と一致するように形成されていることを特徴とする光磁気記録媒体。 In a magneto-optical recording medium having lands and grooves that are used as information recording tracks, and the taper angles of the side walls are different on the left and right,
A first magnetic layer having a movable domain wall; a third magnetic layer that holds a recording magnetic domain and has a domain wall coercive force larger than that of the first magnetic layer; and the first magnetic layer and the third magnetic layer. The second magnetic layer having a low Curie temperature and disposed between the first magnetic layer and the third magnetic layer, and an annealing region formed in a side wall portion between the recording tracks, the annealing region Is formed so as to coincide with the side wall region.
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