[go: up one dir, main page]

JP2006062263A - Ink-jet recording device - Google Patents

Ink-jet recording device Download PDF

Info

Publication number
JP2006062263A
JP2006062263A JP2004249147A JP2004249147A JP2006062263A JP 2006062263 A JP2006062263 A JP 2006062263A JP 2004249147 A JP2004249147 A JP 2004249147A JP 2004249147 A JP2004249147 A JP 2004249147A JP 2006062263 A JP2006062263 A JP 2006062263A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
unit
cap
nozzle
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004249147A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masao Tahira
理雄 田平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2004249147A priority Critical patent/JP2006062263A/en
Publication of JP2006062263A publication Critical patent/JP2006062263A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an ink-jet recording device which can safely execute capping without damaging a nozzle even when the nozzle is protected by using a cap member composed of a material having a small elastic deformation amount. <P>SOLUTION: The ink-jet recording device is provided with the nozzle 44 for discharging ink to a glass substrate, a cap unit for protecting the nozzle when the ink is not discharged, a position detection sensor, which detects a position of the glass substrate when the ink is discharged and also detects a position of the cap unit when the ink is not discharged, and a drive device for moving the nozzle on the basis of the detection results of the position detection sensor. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェット記録装置に関するものである。より詳しくは、インクの非吐出時にインク吐出部分を保護部材によって保護する場合に、保護部材に対してインク吐出部分を正確に位置決めすることができるインクジェット記録装置に関するものである。   The present invention relates to an ink jet recording apparatus. More specifically, the present invention relates to an ink jet recording apparatus that can accurately position an ink discharge portion with respect to a protection member when the ink discharge portion is protected by a protection member when ink is not discharged.

近年、インクジェット記録装置の適用分野は、紙面印刷にとどまらず基板回路作製といった他の分野まで拡がってきている。特に薄型ディスプレイの作製分野では、液晶ディスプレイの配線やカラーフィルタ、有機ELディスプレイの有機EL素子をインクジェット記録装置にて作製する方法が注目されている。これは、インクジェット記録装置の使用条件が真空状態を必要としないことによる、高いコストパフォーマンスへの期待が大きいことも要因となっている。   In recent years, the field of application of ink jet recording apparatuses has been extended not only to paper printing but also to other fields such as substrate circuit fabrication. In particular, in the field of manufacturing thin displays, attention has been paid to a method of manufacturing wiring and color filters for liquid crystal displays and organic EL elements for organic EL displays using an inkjet recording apparatus. This is also due to the high expectation of high cost performance due to the fact that the use condition of the ink jet recording apparatus does not require a vacuum state.

また、インクジェット記録装置は、その非使用時に、インクを吐出するインクジェットヘッドのノズルを長時間露出した状態にしておくと、インクが蒸発、乾燥、固着または増粘等することによって、その後の使用時におけるインクの吐出が適切に行われないことや、不可能になることがある。このため、一般に、インクジェット記録装置の非使用時においては、ノズルのインク吐出口はキャップによって覆われている。このキャップによるノズルの封止は、当然に密閉性が高い方が好ましい。このような、ノズルをキャップによって覆う技術は、例えば特許文献1ないし5に開示されている。   In addition, when the inkjet recording apparatus is not in use, if the nozzles of the inkjet head that ejects ink are left exposed for a long time, the ink will evaporate, dry, stick, or thicken, and so on. Ink may not be ejected properly or may not be possible. For this reason, generally, when the ink jet recording apparatus is not used, the ink ejection opening of the nozzle is covered with a cap. Of course, it is preferable that the nozzle is sealed with this cap to have high sealing performance. Such a technique of covering the nozzle with a cap is disclosed in, for example, Patent Documents 1 to 5.

特許文献1には、インクジェットヘッドのキャップ装置が記載されている。このキャップ装置は、弾性体よりなるキャップ部材の内部に形成された空室内に、剛性の大なる素材よりなる中子部材が嵌め込まれた構成を有している。これにより、インクジェットヘッドとキャップ部材との気密性を向上させている。   Patent Document 1 describes an ink jet head cap device. This cap device has a configuration in which a core member made of a material having high rigidity is fitted in an empty chamber formed inside a cap member made of an elastic body. Thereby, the airtightness of an inkjet head and a cap member is improved.

特許文献2には、インク吸引キャップが記載されている。このインク吸引キャップは、弾性材で形成されたキャップ内底部に内側高さより低い高さの弾性材で形成された押え部材が設けられており、印字休止時にノズルを押え部材で密閉することができるようになっている。   Patent Document 2 describes an ink suction cap. This ink suction cap is provided with a pressing member formed of an elastic material having a height lower than the inner height at the inner bottom portion of the cap formed of an elastic material, and the nozzle can be sealed with the pressing member when printing is suspended. It is like that.

特許文献3には、噴射ノズルをキャッピングする細長いトラック形状のゴムキャップ部材を備え、該ゴムキャップ部材の円弧部の高さを直線部よりも高くしたインクジェット記録装置が記載されている。円弧部の高さを直線部よりも高くすることにより、ゴムキャップ面をヘッド面に圧接するバネ荷重を上げることなくヘッド面とゴムキャップ面との密着性を確保している。   Patent Document 3 describes an ink jet recording apparatus that includes an elongated track-shaped rubber cap member for capping an injection nozzle, and the height of an arc portion of the rubber cap member is higher than that of a linear portion. By making the height of the arc portion higher than that of the straight portion, the adhesion between the head surface and the rubber cap surface is ensured without increasing the spring load that presses the rubber cap surface against the head surface.

特許文献4には、プリンタヘッド用キャップが記載されている。特許文献4では、キャップがプリンタヘッドのノズル面に接する部分を長辺部と短辺部とよりなる形状に構成し、精度の出しにくい長辺部を短辺部に比べて柔軟な構造とし、かつ、長辺部の高さを短辺部の高さに比べて高い構造としている。これにより、キャップとノズル面との密着性を維持している。   Patent Document 4 describes a cap for a printer head. In Patent Document 4, the portion where the cap is in contact with the nozzle surface of the printer head is formed into a shape consisting of a long side portion and a short side portion, and the long side portion, which is difficult to obtain accuracy, is made flexible compared to the short side portion, In addition, the height of the long side portion is higher than that of the short side portion. Thereby, the adhesiveness of a cap and a nozzle surface is maintained.

特許文献5には、記録ヘッドのノズル形成面に密着してノズル形成面を封止する弾性部材を有するキャッピング部材を備え、封止時の弾性部材の変位を規制するリブが形成されたヘッド吐出特性維持装置が記載されている。この構成とすることで、適当な押圧力でキャッピング部材の弾性部材における密着面の全周を均一に押し潰した後は、各リブの上面がノズル形成面に当接して密着面がそれ以上潰れないようにし、ノズル形成面を常に確実に封止している。
特開平4−14461号公報(平成4年(1992)1月20日公開) 特開平5−77433号公報(平成5年(1993)3月30日公開) 特開平5−318752号公報(平成5年(1993)12月3日公開) 特開平6−155753号公報(平成6年(1994)6月3日公開) 特開2004−9558号公報(平成16年(2004)1月15日公開)
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228688 includes a capping member having an elastic member that seals the nozzle forming surface in close contact with the nozzle forming surface of a recording head, and has a rib formed to restrict the displacement of the elastic member at the time of sealing. A property maintaining device is described. With this configuration, after the entire circumference of the contact surface of the elastic member of the capping member is uniformly crushed with an appropriate pressing force, the upper surface of each rib contacts the nozzle forming surface and the contact surface is further crushed. The nozzle forming surface is always reliably sealed.
JP-A-4-14461 (published January 20, 1992) Japanese Patent Laid-Open No. 5-77433 (published on March 30, 1993) JP-A-5-318752 (published on December 3, 1993) Japanese Patent Laid-Open No. 6-155753 (published June 3, 1994) Japanese Patent Laying-Open No. 2004-9558 (Released on January 15, 2004)

しかしながら、インクジェット記録装置が基板回路作製といった生産装置へ応用されるに従い、多様な材料からなるインクが使用されるようになった。これに伴い、インク材料に対する溶媒が水やアルコールなどから、より溶解力の強い有機溶媒が使用されるようになった。その結果、インクジェット記録装置は耐薬品性能を有することが必要となり、ノズルのインク吐出口を覆うキャップは特にその必要がある。   However, as ink jet recording apparatuses are applied to production apparatuses such as substrate circuit production, inks made of various materials have come to be used. Along with this, organic solvents having higher dissolving power have been used as solvents for ink materials, such as water and alcohol. As a result, the ink jet recording apparatus needs to have chemical resistance, and the cap that covers the ink discharge port of the nozzle is particularly necessary.

ただし、インクジェット記録装置の非使用時には、インク吐出口を密閉する必要があるため、キャップは、インク吐出口面との接触を完全にするために弾性変形する必要がある。ところが、一般に上記耐薬品性と弾性とは相反する傾向がある。このため、多くの場合、キャップとしては、弾性性能を妥協して耐薬品性能のある材料が用いられている。   However, since the ink discharge port needs to be sealed when the ink jet recording apparatus is not used, the cap needs to be elastically deformed to make complete contact with the ink discharge port surface. However, in general, the chemical resistance and elasticity tend to conflict. For this reason, in many cases, the cap is made of a material having a chemical resistance by compromising the elastic performance.

このような材料を用いた場合には、キャップの弾性変形が十分に行われないため、キャップがキャッピング位置に移動する場合の、インク吐出口面とキャップとの位置決めマージン(キャップとインク吐出口面とが最初に接触してから、インクジェットヘッドとキャップとの相対移動が停止するまでの距離)を大きくすると、ノズルが破損してしまう。これを回避するためには、上記位置決めマージンを小さくする必要がある。   When such a material is used, since the elastic deformation of the cap is not sufficiently performed, a positioning margin between the ink discharge port surface and the cap when the cap moves to the capping position (cap and ink discharge port surface) If the distance between the first contact and the relative movement between the inkjet head and the cap is increased, the nozzle will be damaged. In order to avoid this, it is necessary to reduce the positioning margin.

このマージン量は、インクジェット記録装置の精度、特にインク吐出口の位置決め精度等に大きく影響される。しかしながら、インクジェットを行う基板の大型化に伴うインクジェット記録装置の大型化や複雑化によって、キャッピング時の位置決めの精度が悪化しており、その結果、ノズル破損の危険性が増大しているという問題点を有している。   This margin amount is greatly influenced by the accuracy of the ink jet recording apparatus, particularly the positioning accuracy of the ink discharge ports. However, due to the increase in size and complexity of the inkjet recording apparatus accompanying the increase in the size of the substrate for performing inkjet, the positioning accuracy during capping has deteriorated, resulting in an increased risk of nozzle breakage. have.

例えば、上記特許文献1の構成では、中子部材に対して、キャップ部材が十分に低い剛性でなければならないものの、耐薬品性の優れたパーフロゴムをキャップ部材として使用している。このため、キャップ部材が十分に変形せず、中子部材で支える前に、インクジェットヘッドのノズル面が破損してしまう可能性がある。   For example, in the configuration of Patent Document 1, perfluoro rubber having excellent chemical resistance is used as a cap member although the cap member must have sufficiently low rigidity with respect to the core member. For this reason, the cap member is not sufficiently deformed, and the nozzle surface of the inkjet head may be damaged before it is supported by the core member.

また、特許文献2の構成では、インク吸引キャップとしてパーフロゴムといった弾性の低い材料を用いた場合には、押え部材がノズルに密着する前に、インク吸引キャップがノズル面を破損させてしまう可能性がある。   Further, in the configuration of Patent Document 2, when a low elasticity material such as perflo rubber is used as the ink suction cap, the ink suction cap may damage the nozzle surface before the pressing member comes into close contact with the nozzle. is there.

同様に、特許文献3の構成では、ゴムキャップ部材としてパーフロゴムといった弾性の低い材料を用いた場合には、直線部がヘッド面に密着する前に、円弧部がヘッド面を破損させてしまう可能性がある。また、特許文献4の構成では、キャップとしてパーフロゴムといった弾性の低い材料を用いた場合には、短辺部がノズル面に密着する前に、長辺部がノズル面を破損させてしまう可能性がある。さらに、特許文献5の構成では、キャッピング部材の弾性部材としてパーフロゴムといった弾性の低い材料を用いた場合には、リブ上面がノズル形成面に当接する前に、キャッピング部材の弾性部材がノズル形成面を破損させてしまう可能性がある。   Similarly, in the configuration of Patent Document 3, when a low-elastic material such as perflo rubber is used as the rubber cap member, the arc portion may damage the head surface before the linear portion comes into close contact with the head surface. There is. Moreover, in the structure of patent document 4, when a low elasticity material, such as a perflo rubber, is used as a cap, before a short side part closely_contact | adheres to a nozzle surface, a long side part may damage a nozzle surface. is there. Furthermore, in the configuration of Patent Document 5, when a low-elasticity material such as perflo rubber is used as the elastic member of the capping member, the elastic member of the capping member causes the nozzle formation surface to come into contact before the upper surface of the rib contacts the nozzle formation surface. It may be damaged.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、インクジェットヘッドのノズルを保護するキャップ部材として、弾性変形量の小さい材質からなるキャップ部材を用いた場合であっても、ノズルを破損することなく安全にノズルを保護することができるインクジェット記録装置を実現することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and the object thereof is a case where a cap member made of a material having a small elastic deformation amount is used as a cap member for protecting the nozzle of the inkjet head. An object of the present invention is to realize an ink jet recording apparatus capable of safely protecting a nozzle without damaging the nozzle.

本発明に係るインクジェット記録装置は、上記課題を解決するために、記録媒体に対してインクを吐出するインク吐出手段と、インクの非吐出時にインク吐出手段を保護する保護手段とを備えたインクジェット記録装置において、インクの吐出時には記録媒体の位置を検出すると共に、インクの非吐出時には保護手段の位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果に基づいて、インク吐出手段を移動させる移動手段とを備えていることを特徴としている。   In order to solve the above problems, an ink jet recording apparatus according to the present invention includes an ink ejecting unit that ejects ink onto a recording medium and an ink jet recording unit that protects the ink ejecting unit when ink is not ejected. In the apparatus, the position of the recording medium is detected when ink is ejected, and the position of the protection means is detected when ink is not ejected, and the ink ejecting means is moved based on the detection result of the position detecting means. And a moving means.

上記の構成によれば、インク吐出手段は、インク吐出時には記録媒体に対してインクを吐出する。これにより、記録媒体上に所定の画像等を形成することができる。また、インクの非吐出時には、インク吐出手段は保護手段によって保護されている。保護手段としては、例えばキャップ部材を用いることができる。このキャップ部材をインク吐出手段に被せて密閉することによりインク吐出手段を保護できる。これにより、インクの非吐出時であってもインクが蒸発、乾燥、固着または増粘等することを防止でき、その後のインクの吐出を適切に行うことが可能となる。   According to the above configuration, the ink ejecting means ejects ink onto the recording medium when ink is ejected. As a result, a predetermined image or the like can be formed on the recording medium. Further, when the ink is not ejected, the ink ejecting means is protected by the protecting means. For example, a cap member can be used as the protection means. The ink discharge means can be protected by covering the ink discharge means with the cap member and sealing it. Thereby, even when the ink is not ejected, the ink can be prevented from evaporating, drying, fixing or thickening, and the subsequent ink ejection can be performed appropriately.

また、インクの吐出時には、位置検出手段が記録媒体のわずかな撓みやうねりといった形状の変化に伴う位置ずれを検出することが可能となる。このため、移動手段は、インク吐出手段を、記録媒体に対してインクを吐出するための適切な位置に移動させることができる。その結果、インク吐出手段は、記録媒体に対して常に適切なインクの吐出が可能となる。   In addition, when ink is ejected, the position detecting unit can detect a positional shift accompanying a change in shape such as slight bending or waviness of the recording medium. Therefore, the moving unit can move the ink discharge unit to an appropriate position for discharging ink to the recording medium. As a result, the ink discharge means can always discharge ink appropriately to the recording medium.

一方、インクの非吐出時には、位置検出手段が保護手段の位置を検出することが可能となる。このため、移動手段は、インク吐出手段を保護手段にて保護する最適な位置に移動させることができる。   On the other hand, when the ink is not ejected, the position detection unit can detect the position of the protection unit. For this reason, the moving means can be moved to an optimal position where the ink discharging means is protected by the protection means.

すなわち、インク吐出時のインク吐出手段の最適な位置と、インク非吐出時のインク吐出手段の最適な位置とが異なる場合であっても、いずれの場合においてもインク吐出手段を最適な位置に移動させることが可能となる。従って、インク吐出手段の移動を正確かつ確実に制御することができる。   In other words, even if the optimum position of the ink ejection means during ink ejection differs from the optimum position of the ink ejection means during non-ejection, the ink ejection means is moved to the optimum position in any case. It becomes possible to make it. Accordingly, the movement of the ink discharge means can be controlled accurately and reliably.

これにより、保護手段が例えば弾性変形量の小さい材質からなる場合であっても、インクの非吐出時に、インク吐出手段が必要以上に保護手段と接触することを回避できるため、保護手段によってインク吐出手段を破損させることを防止することができる。その結果、正確かつ確実にインク吐出手段を保護するインクジェット記録装置とすることができる。   Accordingly, even when the protection means is made of a material having a small elastic deformation amount, for example, the ink discharge means can be prevented from contacting the protection means more than necessary when the ink is not discharged. It is possible to prevent the means from being damaged. As a result, an ink jet recording apparatus that protects the ink discharge means accurately and reliably can be obtained.

本発明に係るインクジェット記録装置では、上記保護手段は、光を反射する反射手段を備えており、上記位置検出手段は、記録媒体または反射手段に対して光を発光する発光手段と、記録媒体または反射手段からの反射光を受光する受光手段とを備えていることが好ましい。上記の構成によれば、記録媒体や保護手段の位置を検出する際に、光の反射を利用して位置を検出することが可能となる。その結果、記録媒体および保護手段の位置をより正確に検出することができる。   In the ink jet recording apparatus according to the present invention, the protection unit includes a reflection unit that reflects light, and the position detection unit includes a light emitting unit that emits light to the recording medium or the reflection unit, and a recording medium or It is preferable to include a light receiving means for receiving reflected light from the reflecting means. According to said structure, when detecting the position of a recording medium or a protection means, it becomes possible to detect a position using reflection of light. As a result, the positions of the recording medium and the protection means can be detected more accurately.

本発明に係るインクジェット記録装置では、上記反射手段の光の反射率は、記録媒体の光の反射率と同じであることが好ましい。上記の構成によれば、反射手段と記録媒体との光の反射率が同じであるため、位置の検出を容易かつ正確に行うことが可能となる。その結果、インク吐出手段の移動をより確実かつ正確に制御することができると共に、インクの非吐出時には保護手段によってインク吐出手段を破損させることを回避することができる。なお、「光の反射率が同じ」とは、反射手段の光の反射率が記録媒体の光の反射率と全く同一である場合、または、反射手段の光の反射率が、保護手段における反射手段以外の部分の光の反射率と比べて、記録媒体の光の反射率に近い値である場合、または、反射手段の光の反射率と記録媒体の光の反射率との差が10%以内にある場合のことをいう。   In the ink jet recording apparatus according to the present invention, the light reflectance of the reflecting means is preferably the same as the light reflectance of the recording medium. According to the above configuration, since the light reflectance of the reflecting means and the recording medium is the same, the position can be detected easily and accurately. As a result, the movement of the ink discharge means can be controlled more reliably and accurately, and the ink discharge means can be prevented from being damaged by the protection means when the ink is not discharged. Note that “the light reflectance is the same” means that the light reflectance of the reflecting means is exactly the same as the light reflectance of the recording medium, or that the light reflectance of the reflecting means is reflected by the protecting means. Compared to the light reflectance of the portion other than the means, the value is close to the light reflectance of the recording medium, or the difference between the light reflectance of the reflecting means and the light reflectance of the recording medium is 10%. If it is within.

本発明に係るインクジェット記録装置では、上記反射手段は、記録媒体と同じ材質からなっていることが好ましい。上記の構成によれば、反射手段と記録媒体とが同じ材質からなっているため、光の反射率を同じにすることが可能となる。従って、インク吐出手段が保護手段によって破損してしまうことを回避することができる。   In the ink jet recording apparatus according to the present invention, the reflecting means is preferably made of the same material as the recording medium. According to said structure, since the reflection means and the recording medium consist of the same material, it becomes possible to make the reflectance of light the same. Therefore, it is possible to avoid the ink discharge means from being damaged by the protection means.

本発明に係るインクジェット記録装置では、上記反射手段は、保護手段にてインク吐出手段を保護した状態におけるインク吐出手段と反射手段との距離が、インクの吐出時におけるインク吐出手段と記録媒体との距離と同じになる位置に配置されていることが好ましい。上記の構成によれば、位置検出手段は、インク吐出時における記録媒体の位置検出と、インクの非吐出時における反射手段の位置検出とを、略同じ高さ(距離)で行うことが可能となる。このため、インク吐出手段の保護時における、インク吐出手段の移動を容易かつ確実に行うことができ、インク吐出手段の保護を正確に行うことができる。   In the ink jet recording apparatus according to the present invention, the reflecting means has a distance between the ink ejecting means and the reflecting means in a state where the ink ejecting means is protected by the protecting means. It is preferable to arrange at the same position as the distance. According to the above configuration, the position detecting unit can detect the position of the recording medium when ink is ejected and the position of the reflecting unit when ink is not ejected at substantially the same height (distance). Become. For this reason, when the ink discharge means is protected, the ink discharge means can be moved easily and reliably, and the ink discharge means can be protected accurately.

本発明に係るインクジェット記録装置は、以上のように、インクの吐出時には記録媒体の位置を検出すると共に、インクの非吐出時には保護手段の位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果に基づいて、インク吐出手段を移動させる移動手段とを備えているので、保護手段によってインク吐出手段を破損させることを防止することができ、確実かつ正確にインク吐出手段を保護するインクジェット記録装置とすることができるという効果を奏する。   As described above, the ink jet recording apparatus according to the present invention detects the position of the recording medium when ink is ejected, and detects the position of the protection means when ink is not ejected, and the detection of the position detecting means. And an ink jet recording apparatus that can prevent the ink ejecting means from being damaged by the protective means and protect the ink ejecting means reliably and accurately. There is an effect that it can be.

本発明の実施の一形態について図1ないし図9に基づいて説明すると以下の通りである。本実施の形態では、本発明に係るインクジェット記録装置を搭載した、TFT基板のリペア装置を一例に挙げて説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 9 as follows. In the present embodiment, a TFT substrate repair device equipped with the ink jet recording apparatus according to the present invention will be described as an example.

図2は、本実施の形態に係るリペア装置1の概略構成を示す斜視図である。図2に示すように、リペア装置1は、ステージユニット10、修正ユニット21、インク吐出ユニット(インクジェット記録装置)31、および制御部71を備えている。   FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the repair device 1 according to the present embodiment. As shown in FIG. 2, the repair apparatus 1 includes a stage unit 10, a correction unit 21, an ink discharge unit (inkjet recording apparatus) 31, and a control unit 71.

ステージユニット10は、ステージ基台11、基板ホルダ12、第1リニアガイド14、および定盤部15を備えている。基板ホルダ12、第1リニアガイド14および定盤部15はステージ基台11上に配置されている。基板ホルダ12は、リペア前の成膜工程を終えたTFT基板に用いられるガラス基板(記録媒体)13を載置するためのものである。基板ホルダ12には、複数の小さい孔が設けられていると共に、基板ホルダ12よりもステージ基台11側には減圧装置(図示せず)が設けられている。基板ホルダ12上にガラス基板13を載置して、減圧装置によって減圧することにより、ガラス基板13は、上記複数の小さい孔を介して基板ホルダ12に吸着固定される。これにより、ガラス基板13をリペアする際(ガラス基板13にインクを吐出する際)に、ガラス基板13が動いて位置ずれが起きることを防止することができるようになっている。   The stage unit 10 includes a stage base 11, a substrate holder 12, a first linear guide 14, and a surface plate unit 15. The substrate holder 12, the first linear guide 14, and the surface plate portion 15 are disposed on the stage base 11. The substrate holder 12 is for placing a glass substrate (recording medium) 13 used for the TFT substrate after the film forming process before repair is completed. The substrate holder 12 is provided with a plurality of small holes, and a pressure reducing device (not shown) is provided closer to the stage base 11 than the substrate holder 12 is. By placing the glass substrate 13 on the substrate holder 12 and reducing the pressure by the decompression device, the glass substrate 13 is attracted and fixed to the substrate holder 12 through the plurality of small holes. Accordingly, when the glass substrate 13 is repaired (when ink is ejected onto the glass substrate 13), it is possible to prevent the glass substrate 13 from moving and being displaced.

第1リニアガイド14は、定盤部15の移動を案内するものである。第1リニアガイド14は、一対の棒状の案内部材からなっており、各案内部材は、各々が平行な状態で基板ホルダ12よりも端部側のステージ基台11上に配置されている。   The first linear guide 14 guides the movement of the surface plate portion 15. The first linear guide 14 is composed of a pair of rod-shaped guide members, and each guide member is disposed on the stage base 11 on the end side of the substrate holder 12 in a parallel state.

定盤部15は、第1リニアガイド14の各案内部材の長手方向(以下、X方向と称する)に直交する方向(以下、Y方向と称する)に長い部材であって、第1リニアガイド14と噛み合うように配置されている。定盤部15は、第1リニアガイド14の各案内部材に案内されながらX方向に移動するようになっている。   The surface plate 15 is a member that is long in a direction (hereinafter referred to as Y direction) orthogonal to the longitudinal direction (hereinafter referred to as X direction) of each guide member of the first linear guide 14. Are arranged so as to mesh with each other. The surface plate 15 moves in the X direction while being guided by each guide member of the first linear guide 14.

定盤部15には、後述する修正ユニット21およびインク吐出ユニット31が取り付けられている。また、定盤部15は、修正ユニット21およびインク吐出ユニット31が取り付けられている側の面(以下、取り付け面と称する)に第2リニアガイド16を備えている。第2リニアガイド16は、修正ユニット21およびインク吐出ユニット31の移動を案内するためのものである。第2リニアガイド16は、一対の棒状の案内部材からなっている。各案内部材は、各々がY方向に平行な状態で定盤部15の取り付け面上に配置されている。修正ユニット21およびインク吐出ユニット31は、一体となって取り付け面上を第2リニアガイド16に沿ってY方向に移動するようになっている。   A correction unit 21 and an ink discharge unit 31 which will be described later are attached to the surface plate unit 15. Further, the surface plate unit 15 includes a second linear guide 16 on a surface on which the correction unit 21 and the ink discharge unit 31 are attached (hereinafter referred to as an attachment surface). The second linear guide 16 is for guiding the movement of the correction unit 21 and the ink discharge unit 31. The second linear guide 16 includes a pair of rod-shaped guide members. Each guide member is arranged on the mounting surface of the surface plate 15 in a state where each guide member is parallel to the Y direction. The correction unit 21 and the ink discharge unit 31 are integrally moved on the mounting surface along the second linear guide 16 in the Y direction.

修正ユニット21は、ガラス基板12上の欠陥をレーザカットし、インク塗布および乾燥・焼成といった一連のプロセスを行うものである。修正ユニット21は、第1の背面板22、レーザカットユニット23、および移動ステージ26を備えている。また、インク吐出ユニット31は、ガラス基板12上への記録に用いられるインクを吐出するものである。インク吐出ユニット31の詳細な構成は後述する。   The correction unit 21 laser-cuts defects on the glass substrate 12 and performs a series of processes such as ink application, drying and baking. The correction unit 21 includes a first back plate 22, a laser cut unit 23, and a moving stage 26. The ink discharge unit 31 discharges ink used for recording on the glass substrate 12. The detailed configuration of the ink discharge unit 31 will be described later.

第1の背面板22は、レーザカットユニット23およびインク吐出ユニット31を定盤部15に移動可能に取り付け・固定するものである。これら修正ユニット21およびインク吐出ユニット31は、第1の背面板22上にY方向に並んで配置されている。レーザカットユニット23は、高出力用レーザ24および切断部観察用顕微鏡25等を備えている。高出力用レーザ24は、高出力レーザ光を照射して、基板ホルダ12上のガラス基板13を切断するものである。また、切断部観察用顕微鏡25は、ガラス基板13の切断部分を観察するための顕微鏡である。移動ステージ26は、レーザカットユニット23およびインク吐出ユニット31を第2リニアガイド16に直交する方向(XY平面に垂直な方向;以下、Z方向と称する)に移動させるための案内部材である。   The first back plate 22 attaches and fixes the laser cut unit 23 and the ink discharge unit 31 to the surface plate unit 15 so as to be movable. The correction unit 21 and the ink discharge unit 31 are arranged side by side in the Y direction on the first back plate 22. The laser cut unit 23 includes a high-power laser 24, a cutting portion observation microscope 25, and the like. The high-power laser 24 irradiates high-power laser light to cut the glass substrate 13 on the substrate holder 12. The cutting portion observation microscope 25 is a microscope for observing a cut portion of the glass substrate 13. The moving stage 26 is a guide member for moving the laser cut unit 23 and the ink discharge unit 31 in a direction perpendicular to the second linear guide 16 (direction perpendicular to the XY plane; hereinafter referred to as Z direction).

制御部71は、リペア装置1全体の駆動を制御するものである。具体的には、定盤部15、修正ユニット21およびインク吐出ユニット31の移動の制御や、修正ユニット21やインク吐出ユニット31の駆動の制御および判断を行うものである。制御部71は、単一のコンピュータにて構成されていてもよく、複数のコンピュータを備えて各制御を個別に行う構成であってもよい。本実施の形態では、制御部71はステージ基台11から離れた位置に配置されており、ステージ基台11、修正ユニット21およびインク吐出ユニット31とはケーブルを介して電気的に接続されている。   The control unit 71 controls driving of the entire repair device 1. Specifically, the movement control of the surface plate unit 15, the correction unit 21 and the ink discharge unit 31, and the drive control and determination of the correction unit 21 and the ink discharge unit 31 are performed. The control unit 71 may be configured by a single computer, or may include a plurality of computers and perform each control individually. In the present embodiment, the control unit 71 is disposed at a position away from the stage base 11, and the stage base 11, the correction unit 21, and the ink discharge unit 31 are electrically connected via a cable. .

次に、インク吐出ユニット31について図3を用いて説明する。図3は、インク吐出ユニット31の概略構成を示す斜視図である。図3に示すように、インク吐出ユニット31は、第2の背面板32、Zステージ(移動手段)33、ZX継手34、Xステージ(移動手段)35、XY継手36、Yステージ(移動手段)37、リペア部観察用光学系38、放射温度計39、放射温度計継手40、第1ヘッド継手41a、第2ヘッド継手41b、インクジェットユニット(インク吐出手段)42、キャップユニット(保護手段)60、キャッピングボックス61、および底板65等を備えている。   Next, the ink discharge unit 31 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of the ink discharge unit 31. As shown in FIG. 3, the ink discharge unit 31 includes a second back plate 32, a Z stage (moving means) 33, a ZX joint 34, an X stage (moving means) 35, an XY joint 36, and a Y stage (moving means). 37, repair portion observation optical system 38, radiation thermometer 39, radiation thermometer joint 40, first head joint 41a, second head joint 41b, inkjet unit (ink ejection means) 42, cap unit (protection means) 60, A capping box 61, a bottom plate 65, and the like are provided.

第2の背面板32は、インク吐出ユニット31全体を第1の背面板22に固定するためのものである。Xステージ35、Yステージ37およびZステージ33は、各々、インクジェットユニット42をX方向、Y方向およびZ方向に移動させるための案内部材である。ZX継手34はZステージ33およびXステージ35を接続するものであり、XY継手36はXステージ35およびYステージ37を接続するものである。   The second back plate 32 is for fixing the entire ink discharge unit 31 to the first back plate 22. The X stage 35, the Y stage 37, and the Z stage 33 are guide members for moving the inkjet unit 42 in the X direction, the Y direction, and the Z direction, respectively. The ZX joint 34 connects the Z stage 33 and the X stage 35, and the XY joint 36 connects the X stage 35 and the Y stage 37.

リペア部観察用光学系38は、ガラス基板13のリペア部分(インク吐出部分)を観察するための光学系であり、顕微鏡等を有している。放射温度計39は、リペア部分の温度を計測するものである。放射温度計39は、放射温度計継手40を介してXY継手36に接続・固定されている。   The repair portion observation optical system 38 is an optical system for observing a repair portion (ink discharge portion) of the glass substrate 13 and includes a microscope or the like. The radiation thermometer 39 measures the temperature of the repaired part. The radiation thermometer 39 is connected and fixed to the XY joint 36 via the radiation thermometer joint 40.

インクジェットユニット42は、ガラス基板13に対してインクを吐出するものである。インクジェットユニット42は、第1ヘッド継手41aに取り付けられており、第2ヘッド継手41bを介してYステージ37に接続されている。これにより、インクジェットユニット42は、XYZの3方向に移動可能となっている。また、底板上にはキャッピングボックス61が配設されており、キャッピングボックス61上にはキャップユニット60が配設されている。   The ink jet unit 42 ejects ink to the glass substrate 13. The ink jet unit 42 is attached to the first head joint 41a, and is connected to the Y stage 37 via the second head joint 41b. Thereby, the inkjet unit 42 can move in three directions of XYZ. A capping box 61 is disposed on the bottom plate, and a cap unit 60 is disposed on the capping box 61.

次に、インクジェットユニット42、キャップユニット60およびその周辺部分について図4および図5を用いて説明する。図4は、インクジェットユニット42、キャップユニット60およびその周辺部分の概略構成を示す斜視図である。また、図5は、図4とは反対側から見たインクジェットユニット42の概略構成を示す斜視図である。なお、説明を容易にするために、図4では図中の配管・配線・ケーブルガイド等を省略している。   Next, the ink jet unit 42, the cap unit 60, and the peripheral portion thereof will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a perspective view illustrating a schematic configuration of the inkjet unit 42, the cap unit 60, and the peripheral portion thereof. FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of the ink jet unit 42 viewed from the side opposite to FIG. For ease of explanation, piping, wiring, cable guides, etc. in FIG. 4 are omitted in FIG.

図4および図5に示すように、インクジェットユニット42は、インクジェットヘッド43、ノズル44、ヘッドドライバ45、インクタンク46、インク供給チューブ47、およびインク温度調節装置48を備えている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the inkjet unit 42 includes an inkjet head 43, a nozzle 44, a head driver 45, an ink tank 46, an ink supply tube 47, and an ink temperature adjustment device 48.

インクジェットヘッド43、ヘッドドライバ45およびインクタンク46は、第1ヘッド継手41aに取り付けられている。第1ヘッド継手41aは、第2の背面板32と略平行な面(YZ平面)を有しており、インクジェットヘッド43およびヘッドドライバ45は、第1ヘッド継手41aの第2の背面板22とは反対側の面上に取り付けられている。インクタンク46は、第1ヘッド継手41aの側面に取り付けられている。   The inkjet head 43, the head driver 45, and the ink tank 46 are attached to the first head joint 41a. The first head joint 41a has a surface (YZ plane) substantially parallel to the second back plate 32, and the inkjet head 43 and the head driver 45 are connected to the second back plate 22 of the first head joint 41a. Is mounted on the opposite side. The ink tank 46 is attached to the side surface of the first head joint 41a.

インクジェットヘッド43は、ヘッドドライバ45よりも下側(ステージユニット10側)に配置されている。また、インクジェットヘッド43には、下向き(ステージユニット10方向またはキャップユニット60方向)にインクを吐出するノズル44が設けられている。すなわち、インクジェットヘッド43は、ステージユニット10またはキャップユニット60と対向するように配置されている。   The inkjet head 43 is disposed below the head driver 45 (on the stage unit 10 side). The inkjet head 43 is provided with a nozzle 44 that ejects ink downward (in the direction of the stage unit 10 or the direction of the cap unit 60). That is, the inkjet head 43 is disposed so as to face the stage unit 10 or the cap unit 60.

ヘッドドライバ45は、インクジェットヘッド43を駆動制御するものである。なお、インクジェットヘッド43とヘッドドライバ45とは、図示しない配線によって電気的に接続されている。また、ヘッドドライバ45は、図示しない配線によって制御部71と電気的に接続されている。   The head driver 45 controls the drive of the inkjet head 43. The ink jet head 43 and the head driver 45 are electrically connected by a wiring (not shown). Further, the head driver 45 is electrically connected to the control unit 71 through a wiring (not shown).

インクタンク46は、ガラス基板13に吐出するための材料を溶かしたインク溶液を貯蔵したインクパックを有している。インクパック内のインク溶液は、インクタンク46とノズル44とを接続するインク供給チューブ47を介してノズル44へと供給される。また、インクタンク46は、図示しない配線によって内部が加圧・減圧されている。これにより、インクタンク46からノズル44へのインクの流れが制御されている。   The ink tank 46 has an ink pack that stores an ink solution in which a material to be discharged onto the glass substrate 13 is dissolved. The ink solution in the ink pack is supplied to the nozzle 44 through an ink supply tube 47 that connects the ink tank 46 and the nozzle 44. Further, the inside of the ink tank 46 is pressurized and depressurized by wiring (not shown). Thereby, the flow of ink from the ink tank 46 to the nozzle 44 is controlled.

インク温度調節装置48は、インク溶液の温度を調節するものである。インク温度調節装置は、インク供給チューブ47に接するように配置されており、インクを加熱してインク溶液の温度を調節するようになっている。インク溶液は加熱によって粘度が低下するため、ノズル44からの吐出が容易になる。   The ink temperature adjusting device 48 adjusts the temperature of the ink solution. The ink temperature adjusting device is disposed so as to contact the ink supply tube 47 and adjusts the temperature of the ink solution by heating the ink. Since the viscosity of the ink solution is reduced by heating, it is easy to eject from the nozzle 44.

また、第1ヘッド継手41aには、インクタンク46と反対側の側面に赤外ランプ54が配設されている。赤外ランプ54は、赤外線を照射してガラス基板12上のリペア箇所のインクを乾燥・焼成させるものである。赤外ランプ54は、照射する赤外線の光路が放射温度計39の光路と重ならないように傾斜をつけて固定されている。赤外ランプ54から照射される赤外線の焦点位置は、インク吐出時におけるガラス基板表面がなす平面と、ノズル位置を通るZ−Y平面とが交差する部分の直線上にある。   The first head joint 41 a is provided with an infrared lamp 54 on the side surface opposite to the ink tank 46. The infrared lamp 54 irradiates infrared rays and dries and fires the ink at the repair location on the glass substrate 12. The infrared lamp 54 is fixed with an inclination so that the irradiated optical path of the infrared ray does not overlap the optical path of the radiation thermometer 39. The focal position of the infrared ray irradiated from the infrared lamp 54 is on a straight line at a portion where the plane formed by the glass substrate surface at the time of ink ejection and the ZY plane passing through the nozzle position intersect.

なお、第1ヘッド継手41aと赤外ランプ54との間には、断熱板53が配設されている。すなわち、赤外ランプ54は、断熱板53を介して第1ヘッド継手41aに取り付けられている。断熱板53は、赤外ランプ54から発せられる熱がノズル44に伝わることを防止するものである。これにより、赤外ランプ54の発熱によって、ノズル44から吐出されるインクの着弾精度に影響を与えることがない。断熱板53は、赤外ランプ54側の熱伝導率の高い銅板と、ノズル44側の熱伝導率の低いガラス系の板とを貼り合わせた構造を有している。赤外ランプ54からノズル44側へ向かう熱の大部分は、銅板を面方向に伝わり、断熱板53の上方向から放熱される。   A heat insulating plate 53 is disposed between the first head joint 41 a and the infrared lamp 54. That is, the infrared lamp 54 is attached to the first head joint 41 a via the heat insulating plate 53. The heat insulating plate 53 prevents heat generated from the infrared lamp 54 from being transmitted to the nozzle 44. Accordingly, the heat generated by the infrared lamp 54 does not affect the landing accuracy of the ink ejected from the nozzle 44. The heat insulating plate 53 has a structure in which a copper plate with high thermal conductivity on the infrared lamp 54 side and a glass plate with low thermal conductivity on the nozzle 44 side are bonded together. Most of the heat from the infrared lamp 54 toward the nozzle 44 is transmitted to the copper plate in the surface direction and is radiated from above the heat insulating plate 53.

また、第1ヘッド継手41aには、位置検出センサ(位置検出手段)51が取り付けられている。位置検出センサ51は、第1ヘッド継手41aの、インクジェットヘッド43とは反対側の面に取り付けられている。すなわち、位置検出センサ51は、第1ヘッド継手41aを介してインクジェットヘッド43と一体的に取り付けられている。   A position detection sensor (position detection means) 51 is attached to the first head joint 41a. The position detection sensor 51 is attached to the surface of the first head joint 41a opposite to the inkjet head 43. That is, the position detection sensor 51 is integrally attached to the inkjet head 43 via the first head joint 41a.

また、位置検出センサ51は、底面部分(ガラス基板13やキャップユニット60と対向する面の部分)に発光部(発光手段)51aおよび受光部(受光手段)51bを備えている。発光部51aとしては、例えば発光ダイオードを用いることができ、受光部51bとしては、例えばフォトトランジスタを用いることができる。   Further, the position detection sensor 51 includes a light emitting unit (light emitting unit) 51a and a light receiving unit (light receiving unit) 51b on a bottom surface portion (a portion of the surface facing the glass substrate 13 and the cap unit 60). As the light emitting unit 51a, for example, a light emitting diode can be used, and as the light receiving unit 51b, for example, a phototransistor can be used.

発光部51aから照射された光は、反射対象面にて反射され受光部51bに入射するようになっている。位置検出センサ51は、受光部51bにて受光した反射光の光量に基づいて、反射対象面の位置を検出することができるようになっている。例えば、反射対象面が近い側にあるときには、発光部51aから照射された光は光路56aを通り受光部51bに入射する。反射対象面が遠い側にあるときには、発光部51aから照射された光は光路56bを通り受光部51bに入射する。以下では、反射対象面が近い側にある場合の反射対象面の位置と、反射対象面が遠い側にある場合の反射対象面の位置との距離(高さ方向の距離)の差を作動範囲W1と称する。   The light emitted from the light emitting unit 51a is reflected by the reflection target surface and enters the light receiving unit 51b. The position detection sensor 51 can detect the position of the reflection target surface based on the amount of reflected light received by the light receiving unit 51b. For example, when the reflection target surface is on the near side, the light emitted from the light emitting unit 51a passes through the optical path 56a and enters the light receiving unit 51b. When the reflection target surface is on the far side, the light emitted from the light emitting unit 51a enters the light receiving unit 51b through the optical path 56b. In the following, the difference in distance (height direction distance) between the position of the reflection target surface when the reflection target surface is on the near side and the position of the reflection target surface when the reflection target surface is on the far side is shown in the operating range. Called W1.

底板65は、第2の背面板32に固定されている。底板65と第2の背面板43とは、互いに略垂直な状態となっている。さらに、底板65と第2の背面板32とは、底板継手66によって接続されている。これにより、底板65と第2の背面板32との固定を確実に行うことができる。底板上には、キャッピングボックス61、キャップユニット60、吐出確認センサ発光部63a、吐出確認センサ受光部63b、キャッピング洗浄機構(図示せず)等が配設されている。   The bottom plate 65 is fixed to the second back plate 32. The bottom plate 65 and the second back plate 43 are substantially perpendicular to each other. Further, the bottom plate 65 and the second back plate 32 are connected by a bottom plate joint 66. Thereby, fixation with the baseplate 65 and the 2nd backplate 32 can be performed reliably. On the bottom plate, a capping box 61, a cap unit 60, a discharge confirmation sensor light emitting unit 63a, a discharge confirmation sensor light receiving unit 63b, a capping cleaning mechanism (not shown), and the like are disposed.

キャッピングボックス61は、内部に廃液を貯蔵するタンクを有しているものであり、底板65上に配置されている。また、キャッピングボックス61上にはキャップユニット60が搭載されている。キャップユニット60は、インクジェットユニット42の未動作時に、ノズル44を保護するためのキャップ部材等が設けられている。このキャップユニット60の詳細な構成については後述する。   The capping box 61 has a tank for storing waste liquid therein, and is disposed on the bottom plate 65. A cap unit 60 is mounted on the capping box 61. The cap unit 60 is provided with a cap member and the like for protecting the nozzle 44 when the ink jet unit 42 is not operating. The detailed configuration of the cap unit 60 will be described later.

吐出確認センサ発光部63aおよび吐出確認センサ受光部63bは、インクジェットユニット42にあるノズル44からのインクの吐出を確認するものである。吐出確認センサ発光部63aおよび吐出確認センサ受光部63bは、共にキャッピングボックス61上に配置されており、キャップユニット60を挟む位置に対向して配置されている。吐出確認センサ発光部63aから照射された光を、吐出確認センサ受光部63bにて受光し、受光した光の強度の変化によってインクの吐出を確認するようになっている。   The ejection confirmation sensor light emitting unit 63a and the ejection confirmation sensor light receiving unit 63b are for confirming the ejection of ink from the nozzles 44 in the inkjet unit. The discharge confirmation sensor light-emitting part 63a and the discharge confirmation sensor light-receiving part 63b are both arranged on the capping box 61, and are arranged to face the position sandwiching the cap unit 60. The light emitted from the discharge confirmation sensor light emitting part 63a is received by the discharge confirmation sensor light receiving part 63b, and the ink discharge is confirmed by the change in the intensity of the received light.

ここで、キャップユニット60について、図6および図7を用いて具体的に説明する。図6は、キャップユニット60の概略構成を示す斜視図である。図7は、キャップユニット60を分解した状態の概略構成を示す斜視図である。   Here, the cap unit 60 will be specifically described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a perspective view illustrating a schematic configuration of the cap unit 60. FIG. 7 is a perspective view showing a schematic configuration in a state where the cap unit 60 is disassembled.

図6および図7に示すように、キャップユニット60は、キャップゴム83、キャップ土台81、キャップゴム固定部材86、ワイピングブレード88、反射板ユニット90を備えている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the cap unit 60 includes a cap rubber 83, a cap base 81, a cap rubber fixing member 86, a wiping blade 88, and a reflector unit 90.

キャップゴム83は、ノズル44を保護するためのキャップ部材である。キャップゴム83は、キャップ土台81上に載置され、キャップゴム固定部材86によって押し付けられた状態で、ネジによってキャップ土台81に固定されている。   The cap rubber 83 is a cap member for protecting the nozzle 44. The cap rubber 83 is placed on the cap base 81 and is fixed to the cap base 81 with screws while being pressed by the cap rubber fixing member 86.

キャップゴム83は、キャップ唇85および外壁84を有している。キャップ唇85は、ノズル44を保護する際に、ノズル44のインク吐出口部分(以下、ノズル面と称する)と接するようになっており、突出した部分が環状になった形状を有している。環状の突出部分がノズル面の外周側に接することによって、ノズル面を密閉状態にすることができる。これにより、ノズル44が乾燥することを防止することができる。なお、このキャップゴム83にてノズル44を保護する(密閉状態にする)ことを、以下では「キャッピング」とも称する。   The cap rubber 83 has a cap lip 85 and an outer wall 84. The cap lip 85 is in contact with an ink discharge port portion (hereinafter referred to as a nozzle surface) of the nozzle 44 when protecting the nozzle 44, and has a shape in which the protruding portion is annular. . When the annular projecting portion contacts the outer peripheral side of the nozzle surface, the nozzle surface can be sealed. Thereby, it can prevent that the nozzle 44 dries. In addition, protecting the nozzle 44 with the cap rubber 83 (sealing state) is hereinafter also referred to as “capping”.

外壁84とは、キャップゴム83にてノズル44をキャッピングする動作時に、ノズル44に付着したインクがキャップゴム83の外へ飛び散ることを防止するための囲いである。このため、外壁84は、キャップ唇85を囲むようにして一体で形成されている。   The outer wall 84 is an enclosure for preventing ink adhering to the nozzle 44 from being scattered outside the cap rubber 83 during the operation of capping the nozzle 44 with the cap rubber 83. For this reason, the outer wall 84 is integrally formed so as to surround the cap lips 85.

ワイピングブレード88は、ノズル面がキャップゴム83から離れたときに、ワイピングブレード88とノズル面との親液性・撥液性の差を利用して、ノズル面に付着したインク液を取り除くものである。ワイピングブレード88は、弾性部材からなっており、例えば板バネが用いられる。   The wiping blade 88 removes ink adhering to the nozzle surface by utilizing the lyophilic / liquid repellency difference between the wiping blade 88 and the nozzle surface when the nozzle surface is separated from the cap rubber 83. is there. The wiping blade 88 is made of an elastic member, and for example, a leaf spring is used.

本実施の形態においては、キャップゴム83は、インク溶媒に対して耐薬品性を有するパーフロゴムを用いて形成されている。パーフロゴムはフッ素ゴムの一種であり、従来のキャップ部材に用いられるシリコン系ゴムと比較して弾性変形量が小さい材質であるものの、非常に高い耐薬品性を有する材質である。ただし、キャップゴム83の材質としては、パーフロゴムに限定されるものではなく、高い耐薬品性を有する材質であればよい。このように、高い耐薬品性を有する材質であれば、シリコン系ゴムと比べて弾性変形量が小さい材質であっても用いることができる。   In the present embodiment, the cap rubber 83 is formed using perfluoro rubber having chemical resistance against the ink solvent. Perfluoro rubber is a kind of fluoro rubber, and is a material having a very high chemical resistance although it is a material having a small amount of elastic deformation as compared with a silicon rubber used for a conventional cap member. However, the material of the cap rubber 83 is not limited to perfluoro rubber, and any material having high chemical resistance may be used. As described above, any material having high chemical resistance can be used even if the amount of elastic deformation is smaller than that of silicon rubber.

反射板ユニット90は、キャップ土台81上に載置されており、ネジによってキャップ土台81に固定されている。反射板ユニット90は、キャップゴム83をノズル44にキャッピングする際の、ノズル44の高さ方向の位置決めに用いられる。図8は、反射板ユニット90を分解した状態の概略構成を示す斜視図である。   The reflector unit 90 is placed on the cap base 81 and is fixed to the cap base 81 with screws. The reflector unit 90 is used for positioning the nozzle 44 in the height direction when the cap rubber 83 is capped on the nozzle 44. FIG. 8 is a perspective view showing a schematic configuration in a state where the reflector unit 90 is disassembled.

図8に示すように、反射板ユニット90は、反射板(反射手段)93、反射板土台91、押え板92、ネジ94・95、ピン96を備えている。反射板93は、反射板土台91上に載置されており、押え板92によって押さえつけられた状態で、ネジ95によって反射板土台91に固定されている。また、反射板93は、台形の形状を有しており、反射板土台91に設けられた2本のピン96に台形の斜辺が接するように配置されている。これにより、反射板93の水平方向の位置が固定される。   As shown in FIG. 8, the reflecting plate unit 90 includes a reflecting plate (reflecting means) 93, a reflecting plate base 91, a holding plate 92, screws 94 and 95, and pins 96. The reflecting plate 93 is placed on the reflecting plate base 91 and is fixed to the reflecting plate base 91 with screws 95 while being pressed by the holding plate 92. The reflecting plate 93 has a trapezoidal shape, and is arranged so that the trapezoidal hypotenuse contacts the two pins 96 provided on the reflecting plate base 91. Thereby, the horizontal position of the reflecting plate 93 is fixed.

なお、反射板93は、キャッピング時における高さ位置を決める際の反射対象面となる。このため、反射板ユニット90は、キャップゴム83よりも第2の背面板32側であって、ノズル44をキャッピングする際に、位置検出センサ51から出射された光の光軸上に反射板93が存在する位置に配置される。加えて、キャッピング時におけるノズル面から反射板93表面までの距離が、インク吐出時におけるノズル面からガラス基板13までの距離と同じなる位置に反射板93を配置することが好ましい。この場合、位置検出センサ51は、インク吐出時のガラス基板13面と、キャッピング時の反射板93面とを略同じ高さ位置で検出することが可能となる。   The reflector 93 serves as a reflection target surface when determining the height position during capping. For this reason, the reflecting plate unit 90 is closer to the second back plate 32 than the cap rubber 83, and when the nozzle 44 is capped, the reflecting plate 93 is placed on the optical axis of the light emitted from the position detection sensor 51. Is placed at a position where In addition, it is preferable to arrange the reflecting plate 93 at a position where the distance from the nozzle surface during capping to the surface of the reflecting plate 93 is the same as the distance from the nozzle surface during ink ejection to the glass substrate 13. In this case, the position detection sensor 51 can detect the glass substrate 13 surface during ink ejection and the reflecting plate 93 surface during capping at substantially the same height position.

また、反射板93としては、位置検出センサ51にて位置を検出することができるものであればよい。ただし、位置決めをより確実に行うためには、用いる反射板93の光の反射率が、インクが吐出される基板の光の反射率と同じであることが好ましい。この場合、インクが吐出される基板と同じ材質からなる反射板93を用いてもよい。例えば、ガラス基板にインクを吐出する場合には、反射板93としては、このガラス基板のガラスと同じ組成を持つガラスからなる板を用いることができる。なお、上記「光の反射率が同じ」とは、反射板93の光の反射率とインクが吐出される基板の光の反射率とが全く同じである場合、または、反射板93の光の反射率が、キャップゴム83の表面、キャップ土台81の表面若しくはキャップゴム固定部材86の表面の光の反射率と比べて、インクが吐出される基板の光の反射率に近い値である場合、または、反射板93の光の反射率とインクが吐出される基板の光の反射率との差が10%以内にある場合のことをいう。   The reflection plate 93 may be any plate that can detect the position by the position detection sensor 51. However, in order to perform positioning more reliably, it is preferable that the light reflectance of the reflection plate 93 to be used is the same as the light reflectance of the substrate on which ink is ejected. In this case, a reflector 93 made of the same material as the substrate on which ink is ejected may be used. For example, when ink is ejected onto a glass substrate, a plate made of glass having the same composition as the glass of the glass substrate can be used as the reflecting plate 93. Note that “the same light reflectance” means that the light reflectance of the reflecting plate 93 is exactly the same as the light reflectance of the substrate on which the ink is ejected, When the reflectance is a value close to the reflectance of light on the substrate on which ink is ejected, compared to the reflectance of light on the surface of the cap rubber 83, the surface of the cap base 81, or the surface of the cap rubber fixing member 86, Alternatively, it means a case where the difference between the light reflectance of the reflecting plate 93 and the light reflectance of the substrate on which ink is ejected is within 10%.

ここで、ノズル44にキャップゴム83をキャッピングした状態における、ノズル44とキャップゴム83との相対位置関係について図1に基づいて説明する。図1は、キャッピング時におけるノズル44およびキャップユニット60の概略構成を示す断面図である。図1では、説明を分かり易くするために階段断面図としている。   Here, the relative positional relationship between the nozzle 44 and the cap rubber 83 in a state where the cap rubber 83 is capped on the nozzle 44 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the nozzle 44 and the cap unit 60 during capping. In FIG. 1, a staircase cross-sectional view is shown for easy understanding.

図1に示すように、キャッピング時には、ノズル面がキャップ唇85に接している。この場合のノズル面の高さ位置を点105とする。また、ノズル面と対向する位置には、板バネ状のワイピングブレード88が近接した状態で配置されている。このため、ノズル面とワイピングブレード88との隙間にはインクが充填されることとなる。これにより、ノズル面が乾燥することを防止することができる。   As shown in FIG. 1, the nozzle surface is in contact with the cap lips 85 during capping. The height position of the nozzle surface in this case is defined as a point 105. In addition, a leaf spring-like wiping blade 88 is disposed in a close proximity to the nozzle surface. For this reason, the gap between the nozzle surface and the wiping blade 88 is filled with ink. Thereby, it can prevent that a nozzle surface dries.

また、キャッピング時に反射板93の位置を検出する際には、位置検出センサ51から出射された光が反射板93にて反射される。この場合の反射板93表面の高さ位置を点104とする。上記の点105と点104との高さ位置の差は小さく、インク吐出時におけるノズル44からガラス基板13へのインク飛翔距離と略一致している。このため、後述するように、インク吐出時におけるノズル面からガラス基板13表面までの距離と、キャッピング時におけるノズル面から反射板表面までの距離とは略同じになる。すなわち、インク吐出時におけるガラス基板13表面と、キャッピング時における反射板93表面とのノズル面に対する相対位置関係は略同じになる。   Further, when detecting the position of the reflector 93 during capping, the light emitted from the position detection sensor 51 is reflected by the reflector 93. In this case, the height position of the surface of the reflecting plate 93 is a point 104. The difference in height position between the above points 105 and 104 is small and substantially coincides with the ink flight distance from the nozzle 44 to the glass substrate 13 during ink ejection. For this reason, as will be described later, the distance from the nozzle surface to the surface of the glass substrate 13 at the time of ink ejection is substantially the same as the distance from the nozzle surface to the surface of the reflector at the time of capping. That is, the relative positional relationship between the surface of the glass substrate 13 during ink ejection and the surface of the reflecting plate 93 during capping is substantially the same.

次に、インク吐出時およびキャッピング時におけるノズル面の位置決めを行う機構について図9に基づいて説明する。図9(a)はインク吐出時におけるリペア装置1の要部の概略構成を示す背面図である。図9(b)はキャッピング時におけるリペア装置1の要部の概略構成を示す背面図である。ここで、ガラス基板13表面から反射板93表面までの距離をW2とする。図9(a)・(b)に示すように、W2は位置検出センサ51の作動範囲W1と比べて明らかに大きいことが分かる。   Next, a mechanism for positioning the nozzle surface during ink ejection and capping will be described with reference to FIG. FIG. 9A is a rear view showing a schematic configuration of a main part of the repair device 1 at the time of ink ejection. FIG. 9B is a rear view showing a schematic configuration of a main part of the repair device 1 at the time of capping. Here, the distance from the surface of the glass substrate 13 to the surface of the reflection plate 93 is W2. As shown in FIGS. 9A and 9B, it can be seen that W2 is clearly larger than the operating range W1 of the position detection sensor 51.

図9(a)・(b)に示すように、インクジェットユニット42は、インク吐出時にはガラス基板13に近接した位置に移動し、キャッピング時にはキャップユニット60に近接した位置に移動する。従って、図9(a)に示すように、インク吐出時においては、ガラス基板13表面の高さ位置は、位置検出センサ51の作動範囲W1内に入っており、キャップユニット60に取り付けられた反射板93表面の高さ位置は、作動範囲W1内に入っていない。一方、図9(b)に示すように、キャッピング時においては、反射板93表面の高さ位置は、作動範囲W1内に入るものの、ガラス基板13表面の高さ位置は作動範囲W1内に入らない。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the ink jet unit 42 moves to a position close to the glass substrate 13 when ink is ejected, and moves to a position close to the cap unit 60 when capping. Therefore, as shown in FIG. 9A, when ink is ejected, the height position of the surface of the glass substrate 13 is within the operating range W1 of the position detection sensor 51, and the reflection attached to the cap unit 60. The height position of the surface of the plate 93 is not within the operating range W1. On the other hand, as shown in FIG. 9B, at the time of capping, the height position of the surface of the reflector 93 is within the operating range W1, but the height position of the surface of the glass substrate 13 is within the operating range W1. Absent.

すなわち、インク吐出時およびキャッピング時のいずれの場合であっても、位置検出センサ51の作動範囲W1内に、ガラス基板13および反射板93の両方が存在することはなく、いずれか一方のみが存在することとなる。従って、位置検出センサ51は、インク吐出時にはガラス基板13表面の高さ位置を検出することとなり、キャッピング時には反射板93表面の高さ位置を検出することとなる。   That is, in both cases of ink ejection and capping, neither the glass substrate 13 nor the reflection plate 93 exists in the operating range W1 of the position detection sensor 51, and only one of them exists. Will be. Therefore, the position detection sensor 51 detects the height position of the surface of the glass substrate 13 when ink is ejected, and detects the height position of the surface of the reflector 93 when capping.

インク吐出時およびキャッピング時のいずれの場合であっても、インクジェットユニット42の移動はXステージ35、Yステージ37およびZステージ33を移動させることにより行われる。特に、インクジェットユニット42の高さ方向の位置調整はZステージ33を移動させることによって行われる。   In both cases of ink ejection and capping, the inkjet unit 42 is moved by moving the X stage 35, the Y stage 37, and the Z stage 33. In particular, the position adjustment of the inkjet unit 42 in the height direction is performed by moving the Z stage 33.

この高さ位置の調整をより確実に行うためには、まず、Xステージ35およびYステージ37を所定の位置に移動させた後に、Zステージ33を移動させることが好ましい。このため、本実施の形態においては、インクジェットユニット42をXY平面上の所定の位置に移動させた状態で、Zステージ33を移動させることにより高さ位置を調整する場合について説明する。   In order to more reliably adjust the height position, it is preferable to first move the X stage 35 and the Y stage 37 to a predetermined position and then move the Z stage 33. Therefore, in the present embodiment, a case will be described in which the height position is adjusted by moving the Z stage 33 in a state where the inkjet unit 42 is moved to a predetermined position on the XY plane.

Zステージ33は、制御部71から送られた信号に基づいて一定量移動する。これにより、ノズル44の大まかな高さ位置を決めることができる。なお、この移動は、例えばモータ等の駆動装置を用いて行うことができる。   The Z stage 33 moves a certain amount based on the signal sent from the control unit 71. Thereby, the rough height position of the nozzle 44 can be determined. This movement can be performed using a driving device such as a motor.

インク吐出時においては、インクジェットユニット42はガラス基板13に対してインクを吐出する。このため、インクジェットユニット42は、ノズル44がガラス基板13に近づいた位置に移動する。基板が大型のガラス基板13である場合には、ガラス基板13全体にうねりが生じている場合が多く、ノズル面とガラス基板13との距離は必ずしも一定していない。   At the time of ink ejection, the inkjet unit 42 ejects ink onto the glass substrate 13. For this reason, the inkjet unit 42 moves to a position where the nozzle 44 approaches the glass substrate 13. When the substrate is a large glass substrate 13, the entire glass substrate 13 often swells, and the distance between the nozzle surface and the glass substrate 13 is not necessarily constant.

このため、位置検出センサ51を用いてガラス基板13表面の位置を検出する。位置検出センサ51は、発光部51aからガラス基板13に対して光を照射し、ガラス基板13にて反射された反射光を受光部51bで受光する。位置検出センサ51は、この反射光の光量に基づいてガラス基板13の位置を検出する。そして、この検出結果は、制御部71に送られる。   For this reason, the position detection sensor 51 is used to detect the position of the surface of the glass substrate 13. The position detection sensor 51 irradiates the glass substrate 13 with light from the light emitting unit 51a, and the reflected light reflected by the glass substrate 13 is received by the light receiving unit 51b. The position detection sensor 51 detects the position of the glass substrate 13 based on the amount of reflected light. Then, the detection result is sent to the control unit 71.

なお、ガラス基板13に光を照射してガラス基板13の位置を検出する場合には、位置検出センサ51は、ガラス基板13表面にて反射した光と、ガラス基板13を透過してガラス基板13の下にある基板ホルダ12にて反射した光とを受光する場合がある。この場合、位置検出センサ51は、ガラス基板13からの反射光と基板ホルダ12からの反射光との2つの反射光に関する光量のピークを検出することとなる。   When detecting the position of the glass substrate 13 by irradiating the glass substrate 13 with light, the position detection sensor 51 transmits the light reflected on the surface of the glass substrate 13 and the glass substrate 13 and transmits the glass substrate 13. In some cases, the light reflected by the substrate holder 12 underneath is received. In this case, the position detection sensor 51 detects the peak of the light quantity related to the two reflected lights, that is, the reflected light from the glass substrate 13 and the reflected light from the substrate holder 12.

この際、ガラス基板13からの反射光の光量よりも基板ホルダ12からの反射光の光量の方が多い場合がある。この場合には、ガラス基板13からの反射光のピークは、2番目に大きいピークとなるため、位置検出センサ51は、この2番目に大きいピークの光量に基づいてガラス基板13の正確な位置を検出する。すなわち、位置検出センサ51は、単に反射光の光量に基づいてガラス基板13の位置を検出するのではなく、反射光量の分布から適切なピークを判断し、このピークの光量に基づいてガラス基板13の位置を検出するように設定されている。   At this time, the amount of reflected light from the substrate holder 12 may be larger than the amount of reflected light from the glass substrate 13. In this case, since the peak of the reflected light from the glass substrate 13 is the second largest peak, the position detection sensor 51 determines the accurate position of the glass substrate 13 based on the light quantity of the second largest peak. To detect. That is, the position detection sensor 51 does not simply detect the position of the glass substrate 13 based on the light amount of the reflected light, but determines an appropriate peak from the distribution of the reflected light amount, and based on the light amount of this peak, the glass substrate 13. Is set to detect the position of.

制御部71は、送られた検出結果に基づいて補正用の信号を生成してZステージ33へと送る。Zステージ33は、制御部71から送られた補正用の信号に基づいて一定量移動する。これにより、ノズル面とガラス基板13表面との距離を一定に保つことができる。その結果、ガラス基板13表面へのインクの着弾精度の悪化を回避することができる。   The control unit 71 generates a correction signal based on the sent detection result and sends it to the Z stage 33. The Z stage 33 moves by a certain amount based on the correction signal sent from the control unit 71. Thereby, the distance of a nozzle surface and the glass substrate 13 surface can be kept constant. As a result, it is possible to avoid deterioration of the ink landing accuracy on the surface of the glass substrate 13.

キャッピング時においても、インク吐出時と同様にしてノズル44の高さ位置の微調整が行われる。すなわち、まず、インクジェットユニット42がキャップユニット60に近づいた位置に移動する。そして、位置検出センサ51を用いて反射板93の位置を検出する。この場合の位置検出も上記と同様にして行われる。具体的には、位置検出センサ51の発光部51aから反射板93に対して光が照射され、反射板93にて反射された反射光を受光部51bで受光する。位置検出センサ51は、この反射光の光量に基づいて反射板93の位置を検出する。   Even during capping, fine adjustment of the height position of the nozzle 44 is performed in the same manner as during ink ejection. That is, first, the inkjet unit 42 moves to a position approaching the cap unit 60. Then, the position of the reflector 93 is detected using the position detection sensor 51. The position detection in this case is also performed in the same manner as described above. Specifically, light is emitted from the light emitting unit 51a of the position detection sensor 51 to the reflecting plate 93, and the reflected light reflected by the reflecting plate 93 is received by the light receiving unit 51b. The position detection sensor 51 detects the position of the reflecting plate 93 based on the amount of the reflected light.

そして、検出結果は、制御部71に送られる。制御部71は、送られた検出結果に基づいてZステージ33移動用の信号を生成し、Zステージ33へと送る。Zステージ33は、制御部71から送られた信号に基づいて一定量移動する。この場合、ノズル面がキャップゴム83の上方側から下降し、キャップ唇85に接した時点でZステージ33が停止するように制御される。   Then, the detection result is sent to the control unit 71. The control unit 71 generates a signal for moving the Z stage 33 based on the sent detection result, and sends the signal to the Z stage 33. The Z stage 33 moves a certain amount based on the signal sent from the control unit 71. In this case, the Z stage 33 is controlled to stop when the nozzle surface descends from the upper side of the cap rubber 83 and comes into contact with the cap lips 85.

すなわち、キャッピング時においては、位置検出センサ51が反射板93の位置を検出することによって、キャップ唇85の位置を検出する。そして、検出したキャップ唇85の位置に応じた量だけインクジェットユニット42を下降させることにより、ノズル面を最適な位置に移動させるようになっている。これにより、ノズル44のキャッピングをより確実かつ正確に行うことが可能となり、ノズル面の乾燥を防止することができる。   That is, at the time of capping, the position detection sensor 51 detects the position of the reflecting plate 93 to detect the position of the cap lips 85. Then, by lowering the ink jet unit 42 by an amount corresponding to the detected position of the cap lip 85, the nozzle surface is moved to an optimum position. Thereby, capping of the nozzle 44 can be performed more reliably and accurately, and drying of the nozzle surface can be prevented.

なお、Zステージ33を駆動させるモータがステッピングモータの場合には、脱調などが起こった場合に、制御部71が認識しているZステージ33の高さ位置と、実際のZステージ33の高さ位置とが異なる場合がある。この場合、Zステージ33を一回のみ一定量下降させることによって、ノズル44のキャッピングを行うとすると、脱調が起こった後においては、必要以上にノズル面がキャップ唇85に押し付けられてしまうことがある。キャップゴム83の材質は、上述のように弾性変形量が小さいため、この場合にはノズル面が破損してしまう可能性がある。   When the motor for driving the Z stage 33 is a stepping motor, the height position of the Z stage 33 recognized by the control unit 71 and the actual height of the Z stage 33 when a step-out occurs. The position may be different. In this case, if the nozzle 44 is capped by lowering the Z stage 33 by a certain amount only once, after the step-out occurs, the nozzle surface is pressed more than necessary against the cap lip 85. There is. Since the material of the cap rubber 83 has a small amount of elastic deformation as described above, the nozzle surface may be damaged in this case.

なお、「脱調」とは、ステッピングモータの駆動を制御するモータドライバに入力されるパルス信号にステッピングモータが追従できなくなる現象のことである。例えば、モータドライバから「Zステージ33を原点から+30mm移動させる」とする信号を送信したにも関わらず、ステッピングモータによって移動したZステージ33の移動距離が「原点から+29mm」となってしまう現象のことである。   Note that “step-out” is a phenomenon in which the stepping motor cannot follow the pulse signal input to the motor driver that controls the driving of the stepping motor. For example, the movement distance of the Z stage 33 moved by the stepping motor becomes “+29 mm from the origin” even though the signal “Move the Z stage 33 +30 mm from the origin” is transmitted from the motor driver. That is.

このため、キャッピングの際には、インクジェットユニット42を段階的に下降させることが好ましい。インクジェットユニット42の段階的な下降とは、例えば、ノズル面がキャップ唇85と接する手前の位置に移動した時点でZステージ33の下降を一旦停止し、再度位置検出を行った後にZステージ33を下降させるものである。これにより、例え脱調が起こった場合であっても、ノズル面がキャップ唇85に必要以上に押し付けられることがなく、ノズル面の破損を防止できる。   For this reason, when capping, it is preferable to lower the inkjet unit 42 stepwise. The stepwise lowering of the ink jet unit 42 means, for example, that the lowering of the Z stage 33 is temporarily stopped when the nozzle surface moves to a position in front of the cap lip 85 and the position of the Z stage 33 is detected after the position is detected again. It will be lowered. Thereby, even if a step-out occurs, the nozzle surface is not pressed against the cap lips 85 more than necessary, and damage to the nozzle surface can be prevented.

インクジェットユニット42の下降を一旦停止させる位置は、例えば、ノズル面がキャップ唇85と接触する点よりも作動範囲W1の約1/4だけ上方の位置とすることができる。ノズル面がキャップ唇85と接触する高さ位置は点105であり、Zステージ33が一旦停止した時点ではノズル面とキャップ唇85とは接触していない。   The position at which the lowering of the inkjet unit 42 is temporarily stopped can be, for example, a position that is approximately ¼ of the operating range W1 above the point where the nozzle surface contacts the cap lips 85. The height position where the nozzle surface comes into contact with the cap lips 85 is a point 105, and the nozzle surface and the cap lips 85 are not in contact when the Z stage 33 is temporarily stopped.

反射板93表面の高さ位置である点104と、上記点105とはインク飛翔距離分だけ高さが異なるものの、実質的には同じ高さ位置にある。このため、ノズル面が点105より作動範囲W1の約1/4分高い位置にあったとしても、反射板93表面は作動範囲W1の範囲内にある。従って、位置検出センサ51は反射板93表面の高さ位置を検出することができる。   The point 104 that is the height position of the surface of the reflector 93 and the point 105 are substantially at the same height position, although the height differs by the ink flying distance. For this reason, even if the nozzle surface is at a position higher than the point 105 by about 1/4 of the operating range W1, the surface of the reflector 93 is within the operating range W1. Therefore, the position detection sensor 51 can detect the height position of the surface of the reflecting plate 93.

反射板93表面までの距離を再度検出した後には、その検出結果が制御部71に送られる。制御部71は、再度、位置微調整を行うための補正用の信号を生成し、Zステージ33に送る。そして、Zステージ33は、補正用の信号に基づいた量だけ移動(下降)する。これにより、ノズル面とキャップゴム83との距離を一定に保つことが可能となり、ノズル面をキャップ唇85に、より確実に接触させることができる。その結果、ノズル面が破損する危険を回避することができる。   After the distance to the surface of the reflector 93 is detected again, the detection result is sent to the control unit 71. The control unit 71 again generates a correction signal for performing fine position adjustment and sends it to the Z stage 33. Then, the Z stage 33 moves (lowers) by an amount based on the correction signal. Thereby, the distance between the nozzle surface and the cap rubber 83 can be kept constant, and the nozzle surface can be brought into contact with the cap lips 85 more reliably. As a result, the risk of damage to the nozzle surface can be avoided.

なお、反射板93とキャップゴム83との間には、キャップ土台81や反射板土台91が存在するものの、いずれも非弾性部材からなっており、Xステージ35、Yステージ37およびZステージ33の移動等によって、反射板93とキャップゴム83との相対位置が変化することはない。   In addition, although the cap base 81 and the reflector base 91 exist between the reflecting plate 93 and the cap rubber 83, they are all made of an inelastic member, and the X stage 35, the Y stage 37, and the Z stage 33 The relative position between the reflecting plate 93 and the cap rubber 83 does not change due to movement or the like.

また、上記実施の形態においては、位置検出センサとして光の反射を利用したものを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、キャップユニットの位置を検出できるものであればどのような位置検出センサであっても用いることができる。   In the above embodiment, the position detection sensor using light reflection is used. However, the present invention is not limited to this, and any position detection sensor can be used as long as it can detect the position of the cap unit. Even such a position detection sensor can be used.

特に、光の反射を利用する位置検出センサを使用し、キャップユニットに反射板を使用した場合では、キャッピングの際の位置決め時に検出される光量分布が、インク吐出の際の位置決め時に検出される光量分布と略同じになる。このため、位置決めセンサにおいては、検出された光量分布から判断される対象物との距離が、キャッピング時とインク塗布時とで同じ結果になり、そのため、それぞれの場合での位置決めを正確かつ安全に行うことが出来る。   In particular, when a position detection sensor that uses light reflection is used and a reflector is used for the cap unit, the light quantity distribution detected during positioning during capping is the light quantity detected during positioning during ink ejection. It becomes almost the same as the distribution. For this reason, in the positioning sensor, the distance from the object determined from the detected light quantity distribution is the same between capping and ink application, and therefore positioning in each case is accurately and safely performed. Can be done.

なお、本発明は、液滴を吐出するヘッドと、ヘッド非使用時にノズル乾燥を防ぐためのキャッピング機構と、ヘッドを、被記録面に吐出する位置とキャッピングする位置とに往復させる移動手段とを有するインクジェット装置において、ヘッドと一体的に取り付けられ、被記録面との距離を測定する変位センサを設け、ヘッドが被記録面に液滴を吐出する位置を変位センサのゼロ点位置に調整した場合に、キャッピング状態で被記録面と略同一の反射率をもった検出用反射板を変位センサのゼロ点位置にくるように取り付け、吐出時で被記録面を、キャッピング時で検出用反射板を、変位センサにて略同じ高さで検出できるようにしたインクジェット装置と表現することもできる。また、このインクジェット装置においては、検出用反射板が被記録面と同一のものであってもよい。   The present invention includes a head for ejecting liquid droplets, a capping mechanism for preventing nozzle drying when the head is not used, and a moving means for reciprocating the head between a position for ejecting the recording surface and a position for capping. In the inkjet device having a displacement sensor that is mounted integrally with the head and measures the distance to the recording surface, and the position at which the head ejects droplets onto the recording surface is adjusted to the zero point position of the displacement sensor In addition, a detection reflector having substantially the same reflectivity as the recording surface in the capped state is mounted so that it comes to the zero point position of the displacement sensor, and the recording surface is attached when discharging, and the detection reflector is attached when capping. It can also be expressed as an ink jet device that can be detected at substantially the same height by a displacement sensor. In this ink jet apparatus, the detection reflection plate may be the same as the recording surface.

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope shown in the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately changed within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.

以上のように、本発明に係るインクジェット記録装置を用いることによって、多様な材料からなるインクを用い、弾性変形量の小さい材料からなるキャップ部材を用いた場合であっても、インクの非吐出時にノズル等のインク吐出部材を安全に保護することができる。それゆえ、本発明のインクジェット記録装置は、紙面印刷のみならず基板回路作製等の種々の画像を形成する装置に特に好適に用いることができる。従って、本発明は、インクジェット記録装置に関する分野を始めとして、各種の電子・電気機器やその部品を製造する産業分野に好適に用いることができる。   As described above, by using the ink jet recording apparatus according to the present invention, even when the ink made of various materials is used and the cap member made of a material having a small elastic deformation amount is used, the ink is not ejected. Ink ejection members such as nozzles can be safely protected. Therefore, the ink jet recording apparatus of the present invention can be particularly suitably used for apparatuses for forming various images such as substrate circuit production as well as paper surface printing. Therefore, the present invention can be suitably used in an industrial field for manufacturing various electronic / electrical devices and parts thereof, including the field related to an ink jet recording apparatus.

本発明の実施の一形態を示すものであり、ノズルおよびキャップユニットの概略構成を示す断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a nozzle and a cap unit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態を示すものであり、リペア装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a repair device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態を示すものであり、インク吐出ユニットの概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an ink discharge unit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態を示すものであり、インクジェットユニット、キャップユニットおよびその周辺部分の概略構成を示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 illustrates an embodiment of the present invention, and is a perspective view illustrating a schematic configuration of an inkjet unit, a cap unit, and a peripheral portion thereof. 本発明の実施の一形態を示すものであり、インクジェットユニットの概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an ink jet unit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態を示すものであり、キャップユニットの概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a cap unit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の一形態を示すものであり、キャップユニットを分解した状態の概略構成を示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 illustrates an embodiment of the present invention, and is a perspective view illustrating a schematic configuration in a state where a cap unit is disassembled. 本発明の実施の一形態を示すものであり、反射板ユニットを分解した状態の概略構成を示す斜視図である。1, showing an embodiment of the present invention, is a perspective view showing a schematic configuration in a state where a reflector unit is disassembled. FIG. 本発明の実施の一形態を示すものであり、(a)はインク吐出時におけるリペア装置の要部の概略構成を示す背面図であり、(b)はキャッピング時におけるリペア装置の要部の概略構成を示す背面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 illustrates an embodiment of the present invention, in which (a) is a rear view illustrating a schematic configuration of a main part of a repair device during ink ejection, and (b) is an overview of a main part of the repair device during capping. It is a rear view which shows a structure.

符号の説明Explanation of symbols

13 ガラス基板(記録媒体)
31 インク吐出ユニット(インクジェット記録装置)
33 Zステージ(移動手段)
35 Xステージ(移動手段)
37 Yステージ(移動手段)
42 インクジェットユニット(インク吐出手段)
51 位置検出センサ(位置検出手段)
51a 発光部(発光手段)
51b 受光部(受光手段)
60 キャップユニット(保護手段)
93 反射板(反射手段)
13 Glass substrate (recording medium)
31 Ink discharge unit (inkjet recording device)
33 Z stage (moving means)
35 X stage (moving means)
37 Y stage (moving means)
42 Inkjet unit (ink discharge means)
51 Position detection sensor (position detection means)
51a Light emitting part (light emitting means)
51b Light receiving part (light receiving means)
60 Cap unit (protection means)
93 Reflector (reflecting means)

Claims (5)

記録媒体に対してインクを吐出するインク吐出手段と、インクの非吐出時にインク吐出手段を保護する保護手段とを備えたインクジェット記録装置において、
インクの吐出時には記録媒体の位置を検出すると共に、インクの非吐出時には保護手段の位置を検出する位置検出手段と、
上記位置検出手段の検出結果に基づいて、インク吐出手段を移動させる移動手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
In an ink jet recording apparatus including an ink discharge unit that discharges ink to a recording medium and a protection unit that protects the ink discharge unit when ink is not discharged,
A position detecting means for detecting the position of the recording medium when ink is ejected, and for detecting the position of the protection means when ink is not ejected;
An ink jet recording apparatus comprising: a moving unit that moves the ink discharging unit based on a detection result of the position detecting unit.
上記保護手段は、光を反射する反射手段を備えており、
上記位置検出手段は、記録媒体または反射手段に対して光を発光する発光手段と、記録媒体または反射手段からの反射光を受光する受光手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録装置。
The protection means includes a reflection means for reflecting light,
2. The position detecting means comprises: a light emitting means for emitting light to the recording medium or the reflecting means; and a light receiving means for receiving the reflected light from the recording medium or the reflecting means. The ink jet recording apparatus described.
上記反射手段の光の反射率は、記録媒体の光の反射率と同じであることを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録装置。   3. The ink jet recording apparatus according to claim 2, wherein the light reflectance of the reflecting means is the same as the light reflectance of the recording medium. 上記反射手段は、記録媒体と同じ材質からなっていることを特徴とする請求項2または3に記載のインクジェット記録装置。   4. The ink jet recording apparatus according to claim 2, wherein the reflecting means is made of the same material as that of the recording medium. 上記反射手段は、保護手段にてインク吐出手段を保護した状態におけるインク吐出手段と反射手段との距離が、インクの吐出時におけるインク吐出手段と記録媒体との距離と同じになる位置に配置されていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1項に記載のインクジェット記録装置。   The reflection means is disposed at a position where the distance between the ink ejection means and the reflection means in a state where the ink ejection means is protected by the protection means is the same as the distance between the ink ejection means and the recording medium during ink ejection. The ink jet recording apparatus according to claim 2, wherein the ink jet recording apparatus is provided.
JP2004249147A 2004-08-27 2004-08-27 Ink-jet recording device Withdrawn JP2006062263A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004249147A JP2006062263A (en) 2004-08-27 2004-08-27 Ink-jet recording device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004249147A JP2006062263A (en) 2004-08-27 2004-08-27 Ink-jet recording device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006062263A true JP2006062263A (en) 2006-03-09

Family

ID=36109147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004249147A Withdrawn JP2006062263A (en) 2004-08-27 2004-08-27 Ink-jet recording device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006062263A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008307704A (en) * 2007-06-12 2008-12-25 Seiko Epson Corp Fluid ejecting apparatus and cap drive control method
JP2010127215A (en) * 2008-11-28 2010-06-10 Panasonic Corp Ceiling fan
JP2010201742A (en) * 2009-03-03 2010-09-16 Sharp Corp Preliminary discharge section and ink jet device
JP2012137098A (en) * 2012-04-19 2012-07-19 Panasonic Corp Ceiling fan
US8827658B2 (en) 2008-03-04 2014-09-09 Panasonic Corporation Ceiling fan
JPWO2017002857A1 (en) * 2015-07-01 2018-04-19 積水化学工業株式会社 Inkjet head cleaning apparatus and inkjet printing apparatus

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008307704A (en) * 2007-06-12 2008-12-25 Seiko Epson Corp Fluid ejecting apparatus and cap drive control method
US8827658B2 (en) 2008-03-04 2014-09-09 Panasonic Corporation Ceiling fan
JP2010127215A (en) * 2008-11-28 2010-06-10 Panasonic Corp Ceiling fan
JP2010201742A (en) * 2009-03-03 2010-09-16 Sharp Corp Preliminary discharge section and ink jet device
JP2012137098A (en) * 2012-04-19 2012-07-19 Panasonic Corp Ceiling fan
JPWO2017002857A1 (en) * 2015-07-01 2018-04-19 積水化学工業株式会社 Inkjet head cleaning apparatus and inkjet printing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1263606C (en) Drop spray device, electro-optical device and its manufacturing method, electronic instrument
TWI314904B (en) Droplet ejection apparatus
JP4051077B2 (en) Droplet applicator, gap measurement method for droplet discharge unit, and gap adjustment method for droplet discharge unit
JP2007229928A (en) Liquid ejector and liquid ejection method
JP2007289837A (en) Droplet discharge device and identification code
EP2325012A1 (en) Ink supply circuit
CN1966274A (en) Droplet ejection apparatus
KR100778428B1 (en) Method for forming a pattern and liquid ejection apparatus
TW200900258A (en) Apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electo-optical apparatus, electo-optical apparatus and electronic equipment
JP2007125876A (en) Pattern forming method and droplet discharge apparatus
JP2012091133A (en) Liquid droplet discharge device, and liquid droplet discharge head unit
JP2006062263A (en) Ink-jet recording device
CN1830579A (en) Droplet ejection device and droplet discharge head
JP2008225348A (en) Inspecting and measuring apparatus for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus including the apparatus, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
CN100509415C (en) Liquid ejection apparatus
EP4019258B1 (en) Three-dimensional object printing apparatus and three-dimensional object printing method
CN110733265B (en) Nozzle protecting device and nozzle protecting method for ink-jet printer
JP2005014513A (en) Droplet discharge head, nozzle hole position detection method, and droplet discharge apparatus
JP2007210111A (en) Image forming apparatus
KR100779644B1 (en) Method for forming a pattern and liquid ejection apparatus
JP2007132857A (en) Image processing apparatus, image processing method, drawing apparatus, electro-optical apparatus manufacturing method, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
KR100778427B1 (en) Method for forming a pattern and liquid ejection apparatus
JP4457756B2 (en) Functional liquid supply device, carriage device including the same, and droplet discharge device
JP2004188929A (en) Inkjet recording device
JP2004188924A (en) Inkjet recording device

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20071106