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JP2006018925A - Substrate drying equipment and manufacturing method of optical disk - Google Patents

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JP2006018925A
JP2006018925A JP2004195795A JP2004195795A JP2006018925A JP 2006018925 A JP2006018925 A JP 2006018925A JP 2004195795 A JP2004195795 A JP 2004195795A JP 2004195795 A JP2004195795 A JP 2004195795A JP 2006018925 A JP2006018925 A JP 2006018925A
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substrate
holding
drying
dye
manufacturing
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JP2004195795A
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Japanese (ja)
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Masaji Suwabe
正次 諏訪部
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress occurrence of distortion of a substrate in a coloring matter drying process. <P>SOLUTION: Substrate drying equipment is provided with a drying furnace 2, a substrate transporting apparatus 1 provided in the drying furnace 2, and a control apparatus for controlling the drying furnace 2 and the substrate transporting apparatus 1. The substrate transporting apparatus 1 is provided with a transporting means 11 holding an inner peripheral part of a substrate in which coloring matter is applied to one main surface and transporting the substrate, and a drive means 21 for driving the transporting means 11. After organic coloring matter is applied to the one main surface of the substrate, the substrate is transported in the drying furnace 2. The substrate is transported holding the inner peripheral part of the substrate by the holding means 12, organic solvent included in the organic coloring matter is volatilized. Thereby, the organic coloring matter applied to the one main surface of the substrate can be dried. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、追記型の光ディスクを製造するための基板乾燥装置および光ディスクの製造方法に関する。   The present invention relates to a substrate drying apparatus and an optical disk manufacturing method for manufacturing a write-once optical disk.

近年、追記型の光ディスクは広く普及している。追記型の光ディスクは、情報の消去や書換は出来ないが、場所を変えて情報を追加記録することができる光ディスクである。このような追記型の光ディスクとしては、CD−R(Compact Disc Recordable)、DVD−R(Digital Versatile Disc-Recordable)などが広く知られている。   In recent years, write-once optical discs have become widespread. A write-once optical disc is an optical disc that cannot be erased or rewritten, but can additionally record information at different locations. As such a recordable optical disc, a CD-R (Compact Disc Recordable), a DVD-R (Digital Versatile Disc-Recordable) and the like are widely known.

従来、追記型の光ディスクの製造工程においては、有機溶媒により希釈された色素を基板に塗布した後、基板乾燥装置内にて基板を加熱している。一般的には、基板乾燥装置内の温度は70℃程度、加熱時間は10分間程度に設定される。このように基板を加熱することで、色素を希釈するために用いた有機溶媒を十分に揮発させて、信号品質を維持することができる。   Conventionally, in a write-once optical disc manufacturing process, a dye diluted with an organic solvent is applied to a substrate, and then the substrate is heated in a substrate drying apparatus. Generally, the temperature in the substrate drying apparatus is set to about 70 ° C., and the heating time is set to about 10 minutes. By heating the substrate in this manner, the organic solvent used for diluting the dye can be sufficiently volatilized to maintain the signal quality.

基板乾燥装置内において基板を搬送する基板搬送装置としては、光ディスクの外周部を保持可能に構成されたものが提案されている(例えば特許文献1参照)。   As a substrate transport device for transporting a substrate in a substrate drying device, a device configured to be able to hold the outer periphery of an optical disc has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

図8Aは、基板乾燥装置内に設けられる基板搬送装置の構成を模式的に示す上面図である。図8Bは、基板乾燥装置内に設けられる基板搬送装置の構成を模式的に示す側面図である。図9Aは、基板乾燥装置内に設けられる基板搬送装置の動作を説明するための上面図である。図9Bは、基板乾燥装置内に設けられる基板搬送装置の動作を説明するための側面図である。   FIG. 8A is a top view schematically showing a configuration of a substrate transfer apparatus provided in the substrate drying apparatus. FIG. 8B is a side view schematically showing the configuration of the substrate transfer apparatus provided in the substrate drying apparatus. FIG. 9A is a top view for explaining the operation of the substrate transfer apparatus provided in the substrate drying apparatus. FIG. 9B is a side view for explaining the operation of the substrate transfer apparatus provided in the substrate drying apparatus.

図8Aおよび8Bに示すように、基板搬送装置は、基板の両側を保持する搬送部102a,102bと、基板の下側を保持する搬送部102cとを備える。搬送部102a,102b,102cは、保持手段103と、この保持手段103を駆動させるための駆動手段104とを備える。保持手段103は、Vの字状の溝が表面に繰り返し形成してなる櫛歯状ガイドを有するベルトである。駆動手段104は、保持手段103の両端に設けられ、その回転により保持手段103が駆動される。   As shown in FIGS. 8A and 8B, the substrate transfer apparatus includes transfer units 102a and 102b that hold both sides of the substrate and a transfer unit 102c that holds the lower side of the substrate. The transport units 102 a, 102 b, and 102 c include a holding unit 103 and a driving unit 104 for driving the holding unit 103. The holding means 103 is a belt having a comb-shaped guide formed by repeatedly forming V-shaped grooves on the surface. The driving means 104 is provided at both ends of the holding means 103, and the holding means 103 is driven by its rotation.

上述の構成を有する基板搬送装置では、図9Aおよび9Bに示すように、色素が一主面に塗布された基板101を、その外周部を櫛歯状ガイドにより3方向から保持しつつ搬送する。   In the substrate transport apparatus having the above-described configuration, as shown in FIGS. 9A and 9B, the substrate 101 on which the pigment is applied on one main surface is transported while holding the outer peripheral portion from three directions by a comb-shaped guide.

特開平6−265265号公報JP-A-6-265265

しかしながら、高温下において外周部を保持すると、外周部に加わる応力によりクリーピング現象が発生して、基板の外周部に歪みが生じてしまうため、光ディスクの機械特性が悪化してしまう。このような機械特性の悪化は、特に、高速回転時のフォーカス加速度およびトラッキング加速度の悪化を招くこととなる。   However, if the outer peripheral portion is held at a high temperature, the creeping phenomenon occurs due to the stress applied to the outer peripheral portion, and the outer peripheral portion of the substrate is distorted, which deteriorates the mechanical characteristics of the optical disc. Such deterioration of the mechanical characteristics particularly leads to deterioration of focus acceleration and tracking acceleration during high-speed rotation.

フォーカス加速度やトラッキング加速度の悪化を引き起こす要因となる歪みが、特に外周部に存在することは好ましくない。これは、光ディスクを一定の回転速度で回転させた場合には、外周側ほど線速度が大きくなるためである。例えば、スピンドルモータの限界と言われる1万rpmで光ディスクを回転させた場合には、最内周r=24mmでは線速度は25m/s(約7倍速)となり、最外周r=58mmでは60m/s(約17倍速)となる。   It is not preferable that the distortion that causes the deterioration of the focus acceleration and the tracking acceleration is present particularly in the outer peripheral portion. This is because when the optical disk is rotated at a constant rotation speed, the linear velocity increases toward the outer peripheral side. For example, when the optical disk is rotated at 10,000 rpm, which is said to be the limit of the spindle motor, the linear velocity is 25 m / s (about 7 times speed) at the innermost circumference r = 24 mm, and 60 m / second at the outermost circumference r = 58 mm. s (about 17 times speed).

したがって、この発明の目的は、色素を乾燥させる際に基板の外周部に発生する歪みを抑えることができる基板乾燥装置および光ディスクの製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate drying apparatus and an optical disk manufacturing method capable of suppressing distortion generated at the outer periphery of the substrate when the dye is dried.

上記課題を解決するために、第1の発明は、一主面に色素が塗布された基板を搬送する基板搬送装置を備えた基板乾燥装置において、
基板搬送装置が、
一主面に色素が塗布された基板の内周部を保持して基板を搬送する搬送手段と、
搬送手段を駆動させるための駆動手段と
を備えることを特徴とする基板乾燥装置である。
In order to solve the above problems, a first invention is a substrate drying apparatus including a substrate transport device that transports a substrate coated with a dye on one main surface.
The substrate transfer device
A transport means for transporting the substrate while holding the inner periphery of the substrate coated with the dye on one main surface;
A substrate drying apparatus comprising: driving means for driving the conveying means.

第1の発明では、一主面に色素が塗布された基板の内周部を搬送手段により保持し、駆動手段により搬送手段を駆動して基板を搬送するので、外周部に応力を加えることなく基板を搬送することができる。   In the first aspect of the invention, the inner peripheral portion of the substrate coated with the pigment on one main surface is held by the conveying means, and the conveying means is driven by the driving means to convey the substrate, so that stress is not applied to the outer peripheral portion. The substrate can be transported.

第1の発明において、搬送手段は、基板のセンターホールを保持して基板を搬送することが好ましい。また、第1の発明において、搬送手段は、基板の内周部を吸着して基板を搬送することが好ましい。   In the first invention, the transport means preferably transports the substrate while holding the center hole of the substrate. In the first invention, it is preferable that the transport means transports the substrate while adsorbing the inner periphery of the substrate.

第2の発明は、色素からなる記録層を備えた光ディスクの製造方法において、
基板の一主面に色素を塗布する塗布工程と、
色素が塗布された基板の内周部を保持しつつ、色素に含まれる溶媒を揮発させる乾燥工程と
を備えることを特徴とする光ディスクの製造方法である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical disc having a recording layer made of a dye
A coating process for coating a pigment on one principal surface of the substrate;
And a drying step of volatilizing a solvent contained in the dye while holding the inner peripheral portion of the substrate coated with the dye.

第2の発明では、一主面に色素が塗布された基板を、その内周部を保持しつつ乾燥させるので、外周部に応力を加えない状態で、基板の一主面に塗布された色素を乾燥させることができる。   In the second invention, since the substrate coated with the dye on one main surface is dried while holding the inner peripheral portion, the dye applied on one main surface of the substrate without applying stress to the outer peripheral portion. Can be dried.

第2の発明では、乾燥工程では、基板のセンターホールを保持することが好ましい。また、第2の発明では、乾燥工程では、基板の内周部を吸着することが好ましい。   In 2nd invention, it is preferable to hold | maintain the center hole of a board | substrate at a drying process. In the second invention, it is preferable that the inner peripheral portion of the substrate is adsorbed in the drying step.

以上説明したように、この発明によれば、外周部に応力を加えない状態で、基板の一主面に塗布された色素を乾燥させることができる。これにより、基板の外周部における歪みの発生を抑制できる。すなわち、機械特性に優れた光ディスクを提供することができる。   As described above, according to the present invention, the dye applied to one main surface of the substrate can be dried without applying stress to the outer peripheral portion. Thereby, generation | occurrence | production of the distortion in the outer peripheral part of a board | substrate can be suppressed. That is, an optical disc having excellent mechanical characteristics can be provided.

以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings of the following embodiments, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.

(1)基板乾燥装置の構成
図1は、この発明の一実施形態による基板乾燥装置の一構成例を示す上面図である。図1に示すように、この基板乾燥装置は、乾燥炉2と、この乾燥炉2内に設けられた基板搬送装置1と、乾燥炉2および基板搬送装置1を制御するための制御装置(図示せず)とを備える。この基板乾燥装置は、追記型の光ディスクの基板乾燥工程に用いて好適なものである。
(1) Configuration of Substrate Drying Device FIG. 1 is a top view showing a configuration example of a substrate drying device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the substrate drying apparatus includes a drying furnace 2, a substrate transport apparatus 1 provided in the drying furnace 2, and a control device (FIG. 1) for controlling the drying furnace 2 and the substrate transport apparatus 1. Not shown). This substrate drying apparatus is suitable for use in a substrate drying process of a write-once optical disc.

乾燥炉2は、その内部を加熱するための加熱手段と、基板を乾燥炉2に搬入するための扉2aと、基板を乾燥炉2から搬出するための扉2bとを備える。加熱手段としては、当業者に周知の手段を使用できる。このような手段として、例えば赤外線ヒータを挙げることができる。なお、図示を省略するが、基板乾燥装置の上方には、基板を乾燥炉2に搬入する搬入装置が設けられ、基板乾燥装置の下方には、基板を乾燥炉2から搬出する搬出装置が設けられている。   The drying furnace 2 includes a heating means for heating the inside thereof, a door 2 a for carrying the substrate into the drying furnace 2, and a door 2 b for carrying the substrate out of the drying furnace 2. As heating means, means well known to those skilled in the art can be used. An example of such means is an infrared heater. Although not shown in the drawing, a carry-in device for carrying the substrate into the drying furnace 2 is provided above the substrate drying device, and a carry-out device for carrying the substrate out of the drying furnace 2 is provided below the substrate drying device. It has been.

図1に示すように、基板搬送装置1は、基板の内周部を保持して基板を搬送する複数の搬送手段11と、この搬送手段11を駆動する駆動手段21とからなる。搬送手段11は、棒状のアーム12と、このアーム12の長手方向の一端に設けられた保持手段13とからなる。駆動手段21は、乾燥炉2の中央よりやや上方に設けられた駆動軸22と、乾燥炉2の中央よりやや下方に設けられた駆動軸22と、この駆動軸22,22によって両端を支持されたベルト23とからなる。このベルト23の外側の面に対して、アーム12の他端が接続される。   As shown in FIG. 1, the substrate transport apparatus 1 includes a plurality of transport means 11 that transports a substrate while holding the inner periphery of the substrate, and a drive means 21 that drives the transport means 11. The conveying means 11 includes a rod-shaped arm 12 and a holding means 13 provided at one end of the arm 12 in the longitudinal direction. The drive means 21 is supported at both ends by a drive shaft 22 provided slightly above the center of the drying furnace 2, a drive shaft 22 provided slightly below the center of the drying furnace 2, and the drive shafts 22, 22. Belt 23. The other end of the arm 12 is connected to the outer surface of the belt 23.

保持手段13は、基板の内周部を保持可能に構成されている。保持手段13は、例えば、基板のセンターホールを保持する保持手段または、基板の内周部を吸着する保持手段である。   The holding means 13 is configured to be able to hold the inner peripheral portion of the substrate. The holding unit 13 is, for example, a holding unit that holds the center hole of the substrate or a holding unit that sucks the inner peripheral portion of the substrate.

内周部は外周部に比して線速度が遅いため、内周部に歪みが生じたとしても記録再生特性に大きな劣化を招くことはないが、信号領域における歪みの発生をより低減し、より良好な記録再生特性を得ることを考慮すると、記録領域より内側の領域を保持することが好ましい。また、記録領域における歪みの発生をさらに低減し、且つ、クランプ領域における歪みの発生を低減して、さらに良好な記録再生特性を得ることを考慮すると、クランプ領域より内側の領域を保持することが好ましい。   Since the inner peripheral portion has a lower linear velocity than the outer peripheral portion, even if distortion occurs in the inner peripheral portion, it does not cause great deterioration in the recording / reproducing characteristics, but the occurrence of distortion in the signal region is further reduced, In consideration of obtaining better recording / reproducing characteristics, it is preferable to keep the area inside the recording area. Further, in consideration of further reducing the occurrence of distortion in the recording area and reducing the occurrence of distortion in the clamp area to obtain better recording / reproduction characteristics, the area inside the clamp area can be retained. preferable.

基板のセンターホールを保持する保持手段13は、保持部と、この保持部の両側に設けられた位置規定部とからなり、例えば、工の字状を有する受コマ(以下、内周受コマと称する)である。   The holding means 13 for holding the center hole of the substrate includes a holding portion and position defining portions provided on both sides of the holding portion. For example, a receiving piece (hereinafter referred to as an inner peripheral receiving piece) having an engineering letter shape. Called).

保持部は、センターホールにより基板を保持するものであり、少なくともセンターホールより小さい形状を有する。その形状としては、例えばセンターホールより小さい径を有する円柱状を挙げることができる。   The holding part holds the substrate by the center hole and has a shape at least smaller than the center hole. As the shape, for example, a cylindrical shape having a smaller diameter than the center hole can be mentioned.

位置規定部は、保持部により保持された基板の位置を規定するためのものであり、保持部の両端において少なくとも上方に突出して、保持部に保持された基板の位置を規定できる形状を有していればよく、その形状は、特に限定されるものではないが、例えば、円盤状を挙げることができる。このような形状を有する位置規定部を設けることにより、基板の搬入時および搬送時などにおいて、基板の落下などを防止することができ、安定した基板の搬入および搬送などを実現することができる。   The position defining portion is for defining the position of the substrate held by the holding portion, and has a shape that protrudes at least upward at both ends of the holding portion and can define the position of the substrate held by the holding portion. The shape is not particularly limited, and examples thereof include a disk shape. By providing the position defining portion having such a shape, it is possible to prevent the substrate from dropping when the substrate is carried in and carried, and stable carrying in and carrying of the substrate can be realized.

図2は、内周受コマの一例を示す側面図および正面図である。内周受コマは、円柱状を有する保持部31と、切頭円錐状を有する位置規定部32とからなり、2つの切頭円錐の切頭面(上面)を円柱の両底面に対して滑らかに接合した形状を有する。内周受コマの幅は、例えば1.6mmであり、保持部31の幅は、例えば0.7mmである。また、円柱状を有する保持部31の径(直径)φは、例えば5mmであり、切頭円錐状を有する位置規定部32の底面の径(直径)φは、例えば8mmである。   FIG. 2 is a side view and a front view showing an example of the inner periphery receiving piece. The inner circumferential receiving piece includes a holding portion 31 having a columnar shape and a position defining portion 32 having a truncated cone shape, and the truncated surfaces (upper surfaces) of the two truncated cones are smooth with respect to both bottom surfaces of the cylinder. It has the shape joined to. The width of the inner periphery receiving piece is, for example, 1.6 mm, and the width of the holding portion 31 is, for example, 0.7 mm. Further, the diameter (diameter) φ of the holding portion 31 having a columnar shape is, for example, 5 mm, and the diameter (diameter) φ of the bottom surface of the position defining portion 32 having a truncated cone shape is, for example, 8 mm.

図3は、基板の内周部を吸着する保持手段13の一例を示す正面図および側面図である。図3に示すように、この保持手段13は、円盤状の支持体41と、この支持体41上に設けられたリング状のバキュームパッド42とからなる。バキュームパッド42の基板を吸着する側には複数の吸引孔43が設けられ、その内部は減圧排気可能に構成されている。複数の吸引孔43は、例えば隣り合う吸引孔43同士が等間隔となるようにバキュームパッド42上に配置される。バキュームパッド42の径(直径)は、好ましくは、基板の信号領域の内径(直径)より小さく選ばれ、より好ましくは、基板のクランプ領域の内径(直径)より小さく選ばれ、例えば22mmに選ばれる。また、支持体41の径(直径)は、バキュームパッド42の大きさに応じて選ばれ、例えば30mmに選ばれる。   FIG. 3 is a front view and a side view showing an example of the holding means 13 that sucks the inner periphery of the substrate. As shown in FIG. 3, the holding means 13 includes a disk-shaped support body 41 and a ring-shaped vacuum pad 42 provided on the support body 41. A plurality of suction holes 43 are provided on the side of the vacuum pad 42 that adsorbs the substrate, and the inside of the suction pad 43 is configured to be evacuated under reduced pressure. The plurality of suction holes 43 are arranged on the vacuum pad 42 so that, for example, adjacent suction holes 43 are equally spaced. The diameter (diameter) of the vacuum pad 42 is preferably selected smaller than the inner diameter (diameter) of the signal area of the substrate, more preferably smaller than the inner diameter (diameter) of the clamping area of the substrate, for example, 22 mm. . Moreover, the diameter (diameter) of the support body 41 is selected according to the size of the vacuum pad 42, for example, 30 mm.

(2)光ディスクの製造方法
次に、図4〜7を参照しながら、この発明の一実施形態による光ディスクの製造方法について説明する。図4は、この一実施形態による光ディスクの製造方法を説明するためのフローチャートである。図5,6は、この一実施形態による光ディスクの製造方法を説明するための断面図である。図7は、この一実施形態による基板搬送装置の動作を説明するための上面図である。
(2) Optical Disk Manufacturing Method Next, an optical disk manufacturing method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a flowchart for explaining an optical disk manufacturing method according to this embodiment. 5 and 6 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an optical disc according to this embodiment. FIG. 7 is a top view for explaining the operation of the substrate transfer apparatus according to this embodiment.

(基板成形工程)
まず、図5(a)に示すように、例えば射出成形により、一主面に凹凸が形成された第1の基板51を成形する。第1の基板を構成する材料としては、例えばポリカーボネート(PC)またはシクロオレフィンポリマー(例えば、ゼオネックス(登録商標))などの低吸水性の樹脂を使用できる。
(Substrate molding process)
First, as shown in FIG. 5 (a), the first substrate 51 in which irregularities are formed on one main surface is formed by, for example, injection molding. As a material constituting the first substrate, for example, a low water-absorbing resin such as polycarbonate (PC) or a cycloolefin polymer (for example, ZEONEX (registered trademark)) can be used.

(色素塗布工程)
次に、図5(b)に示すように、例えばスピンコート法により、第1の基板51の一主面(凹凸が形成された側の面)上に、有機溶媒により希釈された有機色素を一様に塗布して記録層52を形成する。有機色素としては、例えばシアニン系色素またはフタロシアニン系色素を使用できる。有機溶媒としては、例えばオクタフルオロペンタノールなどのパーフルオロアルキルアルコール溶媒、ジアセトンアルコール、ヒドロキシメチルブタノンなどのケトンアルコール溶媒などを使用できる。
(Dye application process)
Next, as shown in FIG. 5B, an organic dye diluted with an organic solvent is formed on one main surface (surface on which irregularities are formed) on the first substrate 51 by, for example, spin coating. The recording layer 52 is formed by applying uniformly. As the organic dye, for example, a cyanine dye or a phthalocyanine dye can be used. As the organic solvent, for example, a perfluoroalkyl alcohol solvent such as octafluoropentanol, a ketone alcohol solvent such as diacetone alcohol, and hydroxymethylbutanone can be used.

(乾燥工程)
次に、一主面に有機色素が塗布された第1の基板51を、扉2aを介して乾燥炉2に順次搬入して、保持手段13により基板の内周部を保持する。そして、矢印aの方向に向けて第1の基板51を搬送しながら、有機色素に含まれる有機溶媒を揮発させる。そして、第1の基板51が搬出位置まで到達したら、第1の基板51を扉2bを介して乾燥炉2から搬出する。基板51が取り外された搬送手段11は、矢印bの方向に移動して搬入位置に再び戻る。
(Drying process)
Next, the 1st board | substrate 51 with which the organic pigment | dye was apply | coated to one main surface is sequentially carried in into the drying furnace 2 through the door 2a, and the inner peripheral part of a board | substrate is hold | maintained by the holding means 13. FIG. Then, the organic solvent contained in the organic dye is volatilized while transporting the first substrate 51 in the direction of the arrow a. When the first substrate 51 reaches the unloading position, the first substrate 51 is unloaded from the drying furnace 2 through the door 2b. The transport means 11 from which the substrate 51 has been removed moves in the direction of the arrow b and returns to the carry-in position again.

乾燥炉2内の温度、保持時間(搬送時間)は、有機色素の塗布厚、有機色素の希釈に用いられる有機溶媒の種類および量などを考慮して選ぶことが好ましい。乾燥炉2内の温度は、例えば70〜90℃の範囲に選ばれ、保持時間は、例えば10〜30分の範囲に選ばれる。   The temperature in the drying furnace 2 and the holding time (transport time) are preferably selected in consideration of the coating thickness of the organic dye, the type and amount of the organic solvent used for diluting the organic dye, and the like. The temperature in the drying furnace 2 is selected in the range of 70 to 90 ° C., for example, and the holding time is selected in the range of 10 to 30 minutes, for example.

(反射層成膜工程)
次に、図5(c)に示すように、例えばスパッタリング法により、記録層52上に反射層53を成膜する。反射層53の材料としては、例えば例えば、金属元素、半金属元素、これらの化合物または混合物を使用し、より具体的には例えば、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Pd、Co、Si、Ta、W、Mo、Geなどの単体、またはこれらの単体を主成分とする合金を使用できる。そして、実用性の面を考慮すると、これらのうちのAl系、Ag系、Au系、Si系またはGe系の材料を用いることが好ましい。
(Reflective layer deposition process)
Next, as shown in FIG. 5C, a reflective layer 53 is formed on the recording layer 52 by, eg, sputtering. As a material of the reflective layer 53, for example, a metal element, a metalloid element, a compound or a mixture thereof is used, and more specifically, for example, Al, Ag, Au, Ni, Cr, Ti, Pd, Co, A simple substance such as Si, Ta, W, Mo, Ge, or an alloy containing these simple substances as a main component can be used. In consideration of practicality, it is preferable to use an Al-based material, an Ag-based material, an Au-based material, a Si-based material, or a Ge-based material among them.

(保護層形成工程)
次に、図6(d)に示すように、例えばスピンコート法により、紫外線硬化樹脂を反射層53上に一様に塗布する。そして、塗布された紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させて保護層54を形成する。
(Protective layer forming step)
Next, as shown in FIG. 6D, an ultraviolet curable resin is uniformly applied on the reflective layer 53 by, for example, spin coating. Then, the protective layer 54 is formed by irradiating and curing the applied ultraviolet curable resin with ultraviolet rays.

(貼り合わせ工程)
次に、図6(e)に示すように、例えばスピンコート法により紫外線硬化樹脂を保護層54または第2の基板56上に一様に塗布して、この塗布された紫外線硬化樹脂を介して第1の基板51と第2の基板56とを貼り合わせる。そして、紫外線硬化樹脂の厚みを調整した後、紫外線を照射する。これにより、紫外線硬化樹脂が硬化し、接着層55が形成される。
(Lamination process)
Next, as shown in FIG. 6E, an ultraviolet curable resin is uniformly applied on the protective layer 54 or the second substrate 56 by, for example, a spin coating method, and the applied ultraviolet curable resin is passed through the applied ultraviolet curable resin. The first substrate 51 and the second substrate 56 are bonded together. And after adjusting the thickness of ultraviolet curable resin, it irradiates with an ultraviolet-ray. Thereby, the ultraviolet curable resin is cured and the adhesive layer 55 is formed.

(レーベル印刷工程)
次に、図6(f)に示すように、文字や絵柄などからなるレーベル層57を第2の基板56側に印刷する。このレーベル層57の材料としては、例えば、紫外線硬化インクを使用できる。以上の工程により、目的とする光ディスクが製造される。
(Label printing process)
Next, as shown in FIG. 6 (f), a label layer 57 made up of characters, pictures and the like is printed on the second substrate 56 side. As a material of the label layer 57, for example, an ultraviolet curable ink can be used. The target optical disc is manufactured through the above steps.

この発明の一実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
第1の基板51の一主面に有機色素を塗布した後、第1の基板51の内周部を保持しつつ、乾燥炉2内を搬送して、有機色素に含まれる有機溶媒を揮発させるので、外周部に応力を加えない状態で、第1の基板51の一主面に塗布された有機色素を乾燥させることができる。よって、光ディスクの外周部におけるひずみの発生を抑制できる。すなわち、機械特性に優れた光ディスクを提供することができる。したがって、例えば、8倍以上の高速記録でも、フォーカス加速度を低く抑えることができるため、安定した記録再生特性を実現できる。
According to one embodiment of the present invention, the following effects can be obtained.
After applying the organic dye on one main surface of the first substrate 51, the organic solvent contained in the organic dye is volatilized by transporting the inside of the drying furnace 2 while holding the inner periphery of the first substrate 51. Therefore, the organic dye applied to one main surface of the first substrate 51 can be dried without applying stress to the outer peripheral portion. Therefore, generation | occurrence | production of the distortion in the outer peripheral part of an optical disk can be suppressed. That is, an optical disc having excellent mechanical characteristics can be provided. Therefore, for example, even in high-speed recording of 8 times or more, since the focus acceleration can be kept low, stable recording / reproducing characteristics can be realized.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。この実施例では、この発明をDVD−Rに対して適用した場合について説明する。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples. In this embodiment, a case where the present invention is applied to a DVD-R will be described.

実施例
まず、射出成形により、ポリカーボネートからなる第1の基板51を成形した。次に、スピンコート法により、有機溶媒により希釈された有機色素を第1の基板上に均一に塗布した。
Example First, a first substrate 51 made of polycarbonate was formed by injection molding. Next, an organic dye diluted with an organic solvent was uniformly applied on the first substrate by spin coating.

次に、基板乾燥装置の乾燥炉2内に第1の基板51を順次搬入して、内周受コマ13によりセンターホールを保持した。そして、センターホールを内周受コマ13により保持しつつ、第1の基板51を矢印aの方向に搬送して有機溶媒を揮発させた。なお、乾燥炉2内の温度を85℃に設定し、乾燥炉2内を搬送する時間を10分間に設定した。   Next, the first substrate 51 was sequentially carried into the drying furnace 2 of the substrate drying apparatus, and the center hole was held by the inner peripheral receiving piece 13. The first substrate 51 was transported in the direction of arrow a while the center hole was held by the inner circumferential receiving piece 13 to volatilize the organic solvent. In addition, the temperature in the drying furnace 2 was set to 85 degreeC, and the time which conveys the inside of the drying furnace 2 was set to 10 minutes.

次に、乾燥炉2から第1の基板51を搬出し、スパッタリング法により反射層53を記録層52上に形成した。次に、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を反射層53上に均一に塗布した後、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させて保護層54を得た。   Next, the first substrate 51 was unloaded from the drying furnace 2, and a reflective layer 53 was formed on the recording layer 52 by sputtering. Next, an ultraviolet curable resin was uniformly applied on the reflective layer 53 by a spin coating method, and then the ultraviolet curable resin was cured by irradiating ultraviolet rays, whereby a protective layer 54 was obtained.

次に、保護層54上に紫外線硬化樹脂を一様に塗布して、第1の基板51と第2の基板56とを紫外線硬化樹脂を介して貼り合わせた。その後、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させて接着層55を得た。次に、第2の基板56上にレーベル層57を形成した。なお、上述の各基板および各層の厚さ、材料などは、DVD−R規格に準拠したものとした。   Next, an ultraviolet curable resin was uniformly applied on the protective layer 54, and the first substrate 51 and the second substrate 56 were bonded together via the ultraviolet curable resin. Thereafter, the adhesive layer 55 was obtained by irradiating ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin. Next, a label layer 57 was formed on the second substrate 56. In addition, the thickness of each above-mentioned board | substrate and each layer, material, etc. shall be based on DVD-R specification.

そして、上述のようにして得られた光ディスクのフォーカス加速度を以下の測定条件において測定したところ、フォーカス加速度は12.8m/s2であった
測定条件
測定半径位置:58mm
回転数:2000rpm
And when the focus acceleration of the optical disk obtained as described above was measured under the following measurement conditions, the focus acceleration was 12.8 m / s 2 Measurement conditions Measurement radius position: 58 mm
Rotation speed: 2000rpm

比較例
次に、従来の基板搬送装置を用いて基板を搬送する以外はすべて実施例と同様にして光ディスクを作製した。そして、実施例と同様にしてフォーカス加速度を測定したところ、フォーカス加速度19.5m/s2であった。ここで、従来の基板搬送装置とは、基板を外周部により保持しつつ、乾燥炉内を搬送する装置を示す(図8参照)。
Comparative Example Next, an optical disk was manufactured in the same manner as in the example except that the substrate was transferred using a conventional substrate transfer device. When the focus acceleration was measured in the same manner as in the example, the focus acceleration was 19.5 m / s 2 . Here, the conventional substrate transfer apparatus refers to an apparatus that transfers the inside of the drying furnace while holding the substrate by the outer peripheral portion (see FIG. 8).

以上の検討結果より以下のことが分かる。すなわち、実施例の光ディスクのフォーカス速度は、従来例の光ディスクに比して低いことが分かる。すなわち、乾燥工程において、基板の内周部を保持することにより、外周部における歪みの発生を抑えて、良好な機械特性を有する光ディスクを製造できることが分かる。   From the above examination results, the following can be understood. That is, it can be seen that the focus speed of the optical disc of the example is lower than that of the optical disc of the conventional example. That is, it can be seen that by holding the inner peripheral portion of the substrate in the drying process, it is possible to manufacture an optical disc having good mechanical properties while suppressing the occurrence of distortion in the outer peripheral portion.

以上、この発明の一実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の一実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。   The embodiment of the present invention has been specifically described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications based on the technical idea of the present invention are possible.

例えば、上述の一実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。   For example, the numerical values given in the above-described embodiment are merely examples, and different numerical values may be used as necessary.

また、上述の一実施形態では、2枚の基板を貼り合わせて構成される光記録媒体(例えばDVD(Digital Versatile Disc))の製造方法に対してこの発明を適用した例について示したが、この発明はこの製造方法に限定されるものではない。例えば、基板上に記録層、保護層が順次形成されてなり、基板側から光を照射して情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体(例えばCD−R(Recordable))にこの発明を適用することができる。また、基板上に記録層、光透過層が順次積層してなり、光透過層側から光を照射して情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体(例えばBlu-ray Disc(登録商標))などの製造方法に対してもこの発明を適用することは可能である。   In the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to a method for manufacturing an optical recording medium (for example, a DVD (Digital Versatile Disc)) configured by bonding two substrates is shown. The invention is not limited to this manufacturing method. For example, the present invention is applied to an optical recording medium (for example, CD-R (Recordable)) in which a recording layer and a protective layer are sequentially formed on a substrate, and information signals are recorded or reproduced by irradiating light from the substrate side. Can be applied. Further, an optical recording medium (for example, Blu-ray Disc (registered trademark)) on which a recording layer and a light transmission layer are sequentially laminated on a substrate, and information signals are recorded or reproduced by irradiating light from the light transmission layer side. The present invention can also be applied to manufacturing methods such as

この発明の一実施形態による基板乾燥装置の一構成例を示す上面図である。It is a top view which shows the example of 1 structure of the board | substrate drying apparatus by one Embodiment of this invention. 内周受コマの一形状例を示す側面図および正面図である。It is the side view and front view which show the example of 1 shape of an inner periphery receiving piece. 基板の内周部を吸着する保持手段の一例を示す正面図および側面図である。It is the front view and side view which show an example of the holding means which adsorb | sucks the inner peripheral part of a board | substrate. この発明の一実施形態による光ディスクの製造方法を説明するためのフローチャートである。5 is a flowchart for explaining a method of manufacturing an optical disc according to an embodiment of the present invention. この発明の一実施形態による光ディスクの製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the optical disk by one Embodiment of this invention. この発明の一実施形態による光ディスクの製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the optical disk by one Embodiment of this invention. この発明の一実施形態による搬送装置の動作を説明するための上面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the conveying apparatus by one Embodiment of this invention. 図8Aは、従来の基板搬送装置の構成を模式的に示す上面図、図8Bは、従来の基板搬送装置の構成を模式的に示す側面図である。FIG. 8A is a top view schematically showing the configuration of the conventional substrate transfer apparatus, and FIG. 8B is a side view schematically showing the configuration of the conventional substrate transfer apparatus. 図9Aは、従来の基板搬送装置の動作を説明するための上面図、図9Bは、従来の基板搬送装置の動作を説明するための側面図である。FIG. 9A is a top view for explaining the operation of the conventional substrate transfer apparatus, and FIG. 9B is a side view for explaining the operation of the conventional substrate transfer apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・基板搬送装置、2・・・乾燥炉、11・・・搬送手段、12・・・アーム、13・・・保持手段、21・・・駆動手段、22・・・駆動軸、23・・・ベルト、51・・・基板、52・・・記録層、53・・・反射層、54・・・保護層、55・・・接着層、56・・・第2の基板、57・・・レーベル層   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate conveyance apparatus, 2 ... Drying furnace, 11 ... Conveyance means, 12 ... Arm, 13 ... Holding means, 21 ... Drive means, 22 ... Drive shaft, 23 ... belt, 51 ... substrate, 52 ... recording layer, 53 ... reflective layer, 54 ... protective layer, 55 ... adhesive layer, 56 ... second substrate, 57 ..Label layer

Claims (6)

一主面に色素が塗布された基板を搬送する基板搬送装置を備えた基板乾燥装置において、
上記基板搬送装置が、
一主面に色素が塗布された基板の内周部を保持して基板を搬送する搬送手段と、
上記搬送手段を駆動させるための駆動手段と
を備えることを特徴とする基板乾燥装置。
In a substrate drying apparatus provided with a substrate transport device that transports a substrate coated with a dye on one main surface,
The substrate transfer device is
A transport means for transporting the substrate while holding the inner periphery of the substrate coated with the dye on one main surface;
And a driving means for driving the transport means.
上記搬送手段は、上記基板のセンターホールを保持して基板を搬送することを特徴とする請求項1記載の基板乾燥装置。   2. The substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the transport means transports the substrate while holding a center hole of the substrate. 上記搬送手段は、上記基板の内周部を吸着して基板を搬送することを特徴とする請求項1記載の基板乾燥装置。   2. The substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the transport means transports the substrate while adsorbing an inner peripheral portion of the substrate. 色素からなる記録層を備えた光ディスクの製造方法において、
基板の一主面に色素を塗布する塗布工程と、
色素が塗布された基板の内周部を保持しつつ、上記色素に含まれる溶媒を揮発させる乾燥工程と
を備えることを特徴とする光ディスクの製造方法。
In a method for producing an optical disc having a recording layer made of a dye,
A coating process for coating a pigment on one principal surface of the substrate;
And a drying step of volatilizing the solvent contained in the pigment while holding the inner periphery of the substrate coated with the pigment.
上記乾燥工程では、上記基板のセンターホールを保持することを特徴とする請求項4記載の光ディスクの製造方法。   5. The method of manufacturing an optical disc according to claim 4, wherein in the drying step, a center hole of the substrate is held. 上記乾燥工程では、上記基板の内周部を吸着することを特徴とする請求項4記載の光ディスクの製造方法。   5. The method of manufacturing an optical disc according to claim 4, wherein, in the drying step, the inner peripheral portion of the substrate is sucked.
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