[go: up one dir, main page]

JP2005354833A - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP2005354833A
JP2005354833A JP2004174187A JP2004174187A JP2005354833A JP 2005354833 A JP2005354833 A JP 2005354833A JP 2004174187 A JP2004174187 A JP 2004174187A JP 2004174187 A JP2004174187 A JP 2004174187A JP 2005354833 A JP2005354833 A JP 2005354833A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driven
piezoelectric element
actuator
driving member
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004174187A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryuta Sasaki
竜太 佐々木
Tomonari Masuzawa
智成 増沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujinon Corp
Original Assignee
Fujinon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujinon Corp filed Critical Fujinon Corp
Priority to JP2004174187A priority Critical patent/JP2005354833A/ja
Priority to EP05253497A priority patent/EP1605529B1/en
Priority to DE602005012557T priority patent/DE602005012557D1/de
Priority to AT05253497T priority patent/ATE422100T1/de
Priority to CN200510076098.XA priority patent/CN1721969A/zh
Priority to US11/148,358 priority patent/US7199506B2/en
Publication of JP2005354833A publication Critical patent/JP2005354833A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025Inertial sliding motors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/026Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】駆動部材をブロック状に形成することによって、被駆動部材を安定して正確に移動させることのできるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、一体的に取り付けられた圧電素子32と駆動部材34を備える。駆動部材34はブロック状に形成され、この駆動部材34の両側面に被駆動板30、30が摩擦係合される。
【選択図】 図2

Description

本発明はアクチュエータに係り、特にデジタルカメラや携帯電話機等の小型精密機器に搭載され、ズームレンズやフォーカスレンズを駆動するアクチュエータに関する。
デジタルカメラ等のレンズ部の駆動装置として圧電素子を用いたアクチュエータがある。例えば特許文献1のアクチュエータは、圧電素子の端面に駆動棒が固着され、その駆動棒に鏡筒がスライド自在に支持される。鏡筒には板ばねが取り付けられ、この板ばねの弾性力によって駆動棒との間に摩擦力が働くようになっている。そして、圧電素子には、略鋸歯状の波形をした駆動パルスが印加され、圧電素子は伸び方向と縮み方向で異なる速度で変位する。例えば圧電素子が緩やかに変位すると、駆動棒とともに鏡筒が移動する。逆に、圧電素子が速く変位すると、鏡筒がその質量の慣性によって同じ位置に停まる。したがって、圧電素子に略鋸歯状の波形をした駆動パルスを繰り返し印加することによって、鏡筒を細かなピッチで間欠的に移動させることができる。
特許文献2に記載のアクチュエータは、圧電素子の変位方向の端面に係合部材が取り付けられており、この係合部材が移動板に摩擦係合され、移動板に鏡筒が取り付けられている。そして、圧電素子に駆動パルスを印加することによって、係合部材が振動し、移動板と鏡筒が移動される。
特許第2633066号 特開平10−232337号公報
しかしながら、特許文献1、2に記載のアクチュエータは、駆動部材(上記の駆動棒や係合部材等)が棒状、或いは板状に形成されているため、圧電素子の振動が駆動部材によって吸収されて減衰してしまい、鏡筒を正確に移動させることができないという問題があった。特に、高周波の振動は、駆動部材による減衰率が大きいため、鏡筒の応答性が悪くなり、鏡筒を正確に移動させることができないという問題があった。
また、特許文献1、2に記載のアクチュエータは、駆動部材と、被駆動部材との間の摩擦力が不足し、被駆動部材の動作が不安定になりやすいという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、被駆動部材を安定して正確に移動させることのできるアクチュエータを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は前記目的を達成するために、変位方向の一方の端面が固定部材によって支持された圧電素子と、該圧電素子の変位方向の他方の端面に取り付けられたブロック状の駆動部材と、前記変位方向と直交する方向の前記駆動部材の少なくとも一つの端面に摩擦係合されるとともに、前記変位方向に沿って延設された被駆動部材と、を備えたことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、駆動部材がブロック状に形成されているので、圧電素子の振動が駆動部材で減衰することなく被駆動部材に伝達される。したがって、被駆動部材を精度良く移動させることができる。
請求項2に記載の発明は請求項1の発明において、前記変位方向と直交する方向の前記駆動部材の両端面に前記被駆動部材が摩擦係合されることを特徴とする。請求項2に記載の発明によれば、駆動部材の両端面に被駆動部材が摩擦係合されているので、摩擦係合面が増えて大きな出力が得られ、被駆動部材を安定して正確に移動させることができる。特に、摩擦係合面を駆動部材の両端面に設けたことによって、駆動力が偏って被駆動部材に伝わることを防止でき、被駆動部材をより安定して正確に移動させることができる。
請求項3に記載の発明は請求項1又は2の発明において、前記アクチュエータは、前記被駆動部材に取り付けられたレンズ枠を光軸に沿って移動させるレンズ移動用のアクチュエータであることを特徴とする。
本発明に係るアクチュエータによれば、駆動部材がブロック状に形成されているので、圧電素子の振動が駆動部材で減衰することなく被駆動部材に伝達され、被駆動部材を正確に移動させることができる。
以下、添付図面に従って本発明に係るアクチュエータの好ましい実施形態について説明する。図1は、本発明に係るアクチュエータが適用されたレンズ装置の構成を示す斜視図である。同図に示すレンズ装置は、箱型のケース12を有し、このケース12の側面には固定レンズ16が取り付けられる。ケース12の内部には、移動レンズ(例えばズームレンズやフォーカスレンズ)18を保持したレンズ枠20が設けられる。
レンズ枠20の外周面には係合部22とガイド部26が突出形成される。係合部22には、U状の溝23が形成されており、この溝23にガイド棒24が係合される。また、ガイド部26には、貫通孔27が形成され、この貫通孔27にガイド棒28が挿通される。ガイド棒24、28は、光軸方向に配設されており、ケース12に固定されている。これにより、レンズ枠20は、光軸方向にスライド自在に支持される。
また、レンズ枠20には、二枚の被駆動板(被駆動部材に相当)30、30が一体的に取り付けられている。各被駆動板30、30は、図2に示すように細長い矩形状に形成されており、その長手方向が光軸と平行になるように配置されている。また、被駆動板30、30は、互いに平行になるように配置されており、その間隔は、後述する駆動部材34の幅に合わせて設置されている。被駆動部材30、30の材質は特に限定されるものではないが、軽量で、且つ剛性の強い材質、例えばセラミック等が選択される。
本実施の形態のアクチュエータは、二枚の被駆動板30、30の間に配設された圧電素子32と駆動部材34を備える。圧電素子32は、その幅寸法(図2の上下方向の寸法)が被駆動板30、30の間隔よりも小さく形成され、被駆動板30、30に対して若干の隙間を持って配置される。圧電素子32の変位方向(光軸方向)の一方の端面には、ケース12に固定された押え板38が配置され、もう一方の端面には駆動部材34が固定されている。駆動部材34は、矩形のブロック状に形成されており、被駆動板30と同様に、軽量で、且つ剛性の強い材質、例えばセラミック等で作られている。また、駆動部材34は、その幅寸法(図2の上下方向の寸法)が圧電素子32の幅寸法よりも大きく、且つ、被駆動板30、30同士の間隔と略同寸法で形成されている。
被駆動板30、30には押えばね36が取り付けられる。押えばね36は、被駆動板30、30を挟み込むようにして取り付けられており、この押えばね36の弾性力によって、被駆動板30、30が駆動部材34の上面と下面に押圧される。これにより、被駆動板30、30がそれぞれ、駆動部材34の上面と下面に摩擦係合される。被駆動板30と駆動部材34との摩擦力は、後述するように、圧電素子32に緩やかな電圧変化の駆動パルスを印加した際にその駆動力よりも摩擦力が大きくなるように、そして、圧電素子32に急激な電圧変化の駆動パルスを印加した際にその駆動力よりも摩擦力が小さくなるように設定される。
図3(A)、図3(B)は圧電素子32に印加する駆動パルスの例を示したものである。図3(A)は、図2のレンズ枠20を左方向に移動させる際の駆動パルスであり、図3(B)は図2のレンズ枠20を右方向に移動させる際の駆動パルスである。
図3(A)、図3(B)に示すように、圧電素子32には略鋸歯状の駆動パルスが印加される。例えば図3(A)の場合、圧電素子32には時刻β1から時刻β2にかけて緩やかに立ち上がり、時刻β3で急激に立ち下がる略鋸歯状の駆動パルスが圧電素子32に印加される。したがって、時刻β1から時刻β2では、圧電素子32が緩やかに伸長し、これに伴って駆動部材34が緩やかに変位するので、被駆動板30は駆動部材34とともに移動する。これにより、被駆動板30、30を図2の左方向に移動させることができる。時刻β3では、圧電素子32が急激に縮むので、駆動部材34は図2の右方向に変位する。その際、駆動部材34が急激に変位するので、被駆動板30、30は慣性によってその位置に停止したまま、駆動部材34だけが移動する。したがって、図3(A)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図2の被駆動板30、30は左方向への移動と停止を繰り返すので、レンズ枠20を左方向に移動させることができる。
図3(B)の場合には、時刻β4から時刻β5にかけて緩やかに立ち下がり、時刻β6で急激に立ち上がる略鋸歯状の駆動パルスが圧電素子32に印加される。したがって、時刻β4から時刻β5では、圧電素子32が緩やかに縮み、これに伴って駆動部材34が緩やかに変位するので、被駆動板30は駆動部材34とともに移動する。これにより、被駆動板30、30を図2の右方向に移動させることができる。図3(B)の時刻β6では、圧電素子32が急激に伸長するので、駆動部材34は図2の右方向に変位する。その際、駆動部材34が急激に変位するので、被駆動板30、30は慣性によってその位置に停止したまま、駆動部材34だけが移動する。したがって、図3(B)に示した鋸歯状の駆動パルスを繰り返し印加することによって、図2の被駆動板30、30は右方向への移動と停止を繰り返すので、レンズ枠20を右方向に移動させることができる。
次に上記の如く構成されたアクチュエータの作用について説明する。
本実施の形態のアクチュエータの主な特徴として、駆動部材34をブロック状に形成した点がある。駆動部材34を棒状や板状に形成した場合は、圧電素子32の振動が駆動部材34によって吸収されやすくなり、被駆動板30を正確に駆動することが非常に困難になる。特に、低電圧の起電力で、且つ高周波のパルス信号で駆動する場合は、被駆動板30、30を正確に駆動することはできなくなる。
これに対して、本実施の形態のように駆動部材34をブロック状に形成した場合は、圧電素子32の振動が駆動部材34で吸収されるおそれがない。さらに本実施の形態では、被駆動板30が駆動方向に延設されており、駆動部材34と被駆動板30、30の摩擦係合面の位置が圧電素子32に対して常に一定に保たれる構造なので、前記摩擦係合面は常に圧電素子32の近傍に保たれる。したがって、圧電素子32の振動が減衰することなく被駆動板30、30に伝達されるので、被駆動板30を正確に移動させることができる。よって、低電圧で、高周波の駆動パルスを印加した場合であっても、レンズ枠20を高速で正確に移動させることができる。
また、本実施の形態のアクチュエータのもう一つの主な特徴として、駆動部材34の両側から被駆動板30、30を摩擦係合させた点がある。このように構成すると、十分な摩擦力が安定して得られるとともに、駆動部材34に対して上下均等に摩擦力が得られるので、駆動力を被駆動板30、30に均等に、且つ確実に伝達することができる。これに対して、被駆動板30を一枚だけ設けた場合には、被駆動板30と駆動部材34との間で十分な摩擦力が得られなかったり、駆動部材34の片側にだけ摩擦係合面が設けられているのでバランスが悪く、圧電素子32の駆動力を効率よく被駆動板30に伝達することができないという問題がある。したがって、本実施の形態のアクチュエータによれば、駆動部材34の両側から被駆動板30、30を摩擦係合させるようにしたので、駆動力を被駆動板30、30に均等、且つ確実に伝達することができ、レンズ枠20をスムーズに移動させることができる。
なお、上述した実施の形態は、駆動部材34の両側に二枚の被駆動板30、30を摩擦係合させたが、三枚以上の被駆動板30を摩擦係合させてもよい。例えば、図4は四枚の被駆動板30、30…を設けた例である。図4に示す各被駆動板30は、細長い矩形状に形成されており、その長手方向が光軸方向になるようにして配置され、レンズ枠20に固定されている。また、各被駆動板30は、駆動部材34を囲むようにして配置され、駆動部材34の各側面に摩擦係合されている。このように四枚の被駆動板30、30…を駆動部材34の各側面に摩擦係合させることによって、摩擦力を増加させることができ、レンズ枠20をより安定して移動させることができる。また、圧電素子32の駆動力を上下左右均等に伝達することができ、レンズ枠20をよりスムーズに移動させることができる。
また、図5に示すように、駆動部材34の片側のみに被駆動板30を設けてもよい。図5の駆動部材34は、圧縮ばね50の付勢手段によって被駆動部材30に押し付けられている。圧縮ばね50は、その下端(不図示)がケース12に固定され、上端が駆動部材34に当接されており、この圧縮ばね50の付勢力によって、駆動部材34と被駆動部材30の摩擦力が確保されている。このように駆動部材34の片側のみに被駆動板30を設けた場合であっても、駆動部材34を矩形のブロック状に形成することによって、圧電素子32の振動が駆動部材34で減衰されることを防止でき、被駆動板30の駆動制御を正確に行うことができる。
また、上述した実施の形態は、板状の駆動部材34を用いたが、駆動部材34の形状はこれに限定するものではなく、例えば、図6に示すように円柱状の駆動部材40を用いてもよい。この場合、被駆動板42、42には、円弧状の溝44を駆動方向に形成し、この溝44に駆動部材40を摩擦係合させるとよい。この場合にも被駆動板42、42を駆動部材40の両側から摩擦係合させることによって、被駆動板42、42と駆動部材40の摩擦力を十分に安定して確保することができ、被駆動部材42、42をスムーズに安定して移動させることができる。
また、三角柱状の駆動部材を用いてもよく、この場合には、駆動部材の二つの側面に被駆動部材を摩擦係合させることによって、駆動部材と被駆動部材とのガタツキを防止することもできる。
なお、本発明に係るアクチュエータの用途としては、例えばデジタルカメラや携帯電話等の小型精密機器に適用することができる。特に携帯電話は、3V以下の低い電圧で駆動する必要があるが、本発明のアクチュエータを用いることによって、20kHz程度の高周波であっても駆動することができ、レンズ枠20を2mm/s以上の高速度で移動させることができる。よって、10mm程度の移動が必要となるズームレンズであっても、迅速に移動させることができる。
本発明に係るアクチュエータが適用されたレンズ装置の構成を示す分解斜視図 本実施の形態のアクチュエータの構成を示す斜視図 図2の圧電素子に印加される駆動パルスの波形図 図2と異なる構成のアクチュエータを示す斜視図 図2と異なる構成のアクチュエータを示す斜視図 図3と異なる構成のアクチュエータを示す斜視図
符号の説明
20…レンズ枠、30…被駆動板、32…圧電素子、34…駆動部材、36…押えばね

Claims (3)

  1. 変位方向の一方の端面が固定部材によって支持された圧電素子と、
    該圧電素子の変位方向の他方の端面に取り付けられたブロック状の駆動部材と、
    前記変位方向と直交する方向の前記駆動部材の少なくとも一つの端面に摩擦係合されるとともに、前記変位方向に沿って延設された被駆動部材と、
    を備えたことを特徴とするアクチュエータ。
  2. 前記変位方向と直交する方向の前記駆動部材の両端面に前記被駆動部材が摩擦係合されることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
  3. 前記アクチュエータは、前記被駆動部材に取り付けられたレンズ枠を光軸に沿って移動させるレンズ移動用のアクチュエータであることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
JP2004174187A 2004-06-11 2004-06-11 アクチュエータ Withdrawn JP2005354833A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004174187A JP2005354833A (ja) 2004-06-11 2004-06-11 アクチュエータ
EP05253497A EP1605529B1 (en) 2004-06-11 2005-06-07 Piezoelectric actuator
DE602005012557T DE602005012557D1 (de) 2004-06-11 2005-06-07 Piezoaktor
AT05253497T ATE422100T1 (de) 2004-06-11 2005-06-07 Piezoaktor
CN200510076098.XA CN1721969A (zh) 2004-06-11 2005-06-08 驱动器
US11/148,358 US7199506B2 (en) 2004-06-11 2005-06-09 Piezoelectric actuator for driving lens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004174187A JP2005354833A (ja) 2004-06-11 2004-06-11 アクチュエータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005354833A true JP2005354833A (ja) 2005-12-22

Family

ID=34941599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004174187A Withdrawn JP2005354833A (ja) 2004-06-11 2004-06-11 アクチュエータ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7199506B2 (ja)
EP (1) EP1605529B1 (ja)
JP (1) JP2005354833A (ja)
CN (1) CN1721969A (ja)
AT (1) ATE422100T1 (ja)
DE (1) DE602005012557D1 (ja)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4809016B2 (ja) * 2005-08-12 2011-11-02 富士フイルム株式会社 アクチュエータ
JP2007114707A (ja) * 2005-10-24 2007-05-10 Fujinon Corp レンズ装置
US20070176514A1 (en) * 2006-01-27 2007-08-02 Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. Electromechanical actuator structure
JP4884050B2 (ja) * 2006-03-30 2012-02-22 富士フイルム株式会社 駆動装置
PT2123276E (pt) * 2007-02-16 2013-01-16 Toyama Chemical Co Ltd Composição farmacêutica que contem um derivado de pirazina, e processo de utilização de um derivado de pirazina em associação
KR20080093880A (ko) * 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093885A (ko) * 2007-04-18 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080094572A (ko) 2007-04-19 2008-10-23 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
US7956513B2 (en) * 2007-04-20 2011-06-07 Mitsumi Electric Co., Ltd. Method of driving a driving device
US7759634B2 (en) * 2007-04-24 2010-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
JP2009025404A (ja) * 2007-07-17 2009-02-05 Fujinon Corp 駆動装置
EP2019439A3 (en) * 2007-07-26 2011-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
TWI321264B (en) * 2007-12-31 2010-03-01 Ind Tech Res Inst Piezoelectricity-driving optical lens module
CN101477234B (zh) * 2008-01-04 2010-06-16 财团法人工业技术研究院 压电驱动式光学镜头
JP2009268240A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Olympus Corp リニア駆動型超音波モータ
WO2010010692A1 (ja) * 2008-07-25 2010-01-28 日立マクセル株式会社 駆動装置、画像取得装置、及び電子機器
JP5810303B2 (ja) * 2010-04-06 2015-11-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 駆動装置
JP5814543B2 (ja) * 2010-12-06 2015-11-17 キヤノン株式会社 駆動装置、レンズ鏡筒及びレンズ鏡筒を有する光学機器
DE102013106417B4 (de) * 2013-06-19 2017-03-23 Jos. Schneider Optische Werke Gmbh Objektiv
JP6021830B2 (ja) * 2014-01-16 2016-11-09 キヤノン株式会社 リニア超音波モータ
CN112492130B (zh) 2019-09-12 2021-10-01 华为技术有限公司 摄像模组及移动终端
CN115242944B (zh) * 2022-06-14 2024-07-16 南昌欧菲光电技术有限公司 摄像模组、摄像装置及电子设备

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5225941A (en) * 1990-07-03 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Driving device
JP2633066B2 (ja) 1990-07-03 1997-07-23 キヤノン株式会社 駆動装置
JPH09191665A (ja) * 1996-01-04 1997-07-22 Minolta Co Ltd 電気−機械変換素子を使用した直線駆動機構
JP3736000B2 (ja) 1997-02-21 2006-01-18 コニカミノルタホールディングス株式会社 リニアアクチュエータ
US6091552A (en) * 1997-02-21 2000-07-18 Minolta Co., Ltd. Zoom lens mechanism and its assembling method
JPH10337057A (ja) * 1997-06-02 1998-12-18 Minolta Co Ltd 駆動装置
US6134057A (en) * 1997-09-17 2000-10-17 Minolta Co., Ltd. Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism
JP2000050660A (ja) * 1998-08-03 2000-02-18 Minolta Co Ltd アクチュエータ駆動回路及びアクチュエータ駆動装置
JP4144171B2 (ja) * 2000-09-14 2008-09-03 コニカミノルタホールディングス株式会社 電気−機械変換素子を用いた駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE602005012557D1 (de) 2009-03-19
ATE422100T1 (de) 2009-02-15
CN1721969A (zh) 2006-01-18
US20050275314A1 (en) 2005-12-15
EP1605529B1 (en) 2009-01-28
EP1605529A1 (en) 2005-12-14
US7199506B2 (en) 2007-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005354833A (ja) アクチュエータ
US8027106B2 (en) Image capturing module
US7646137B2 (en) Actuator and its control method and lens device
EP1720049B1 (en) Driving mechanism
EP1708287B1 (en) Driving mechanism
JP5683643B2 (ja) リニア超音波モータ及びそれを有する光学装置
US20160349477A1 (en) Vibration type motor, and lens drive apparatus, lens unit and image pickup apparatus using vibration type motor
JP2005354829A (ja) アクチュエータ及びその制御方法
JP2006330053A (ja) レンズ鏡胴
JP2006054979A (ja) アクチュエータ
JP6122452B2 (ja) アクチュエータ
JP2007049878A (ja) アクチュエータ
JP2006330054A (ja) レンズ鏡胴
JP2005354866A (ja) アクチュエータ
US20180287516A1 (en) Vibration wave motor and optical device
JP2007049879A (ja) アクチュエータ
US8520329B2 (en) Piezoelectric actuator, lens barrel and optical device
JP2007049875A (ja) アクチュエータ
US20070035205A1 (en) Actuator
JP4899634B2 (ja) リニア駆動装置、レンズ駆動装置及びカメラの手振れ防止装置
JP2007114707A (ja) レンズ装置
JP2007318851A (ja) リニア駆動装置、レンズ駆動装置及びカメラの手振れ防止装置
JP2007049873A (ja) アクチュエータ
JP2005354832A (ja) アクチュエータ
JP2005354867A (ja) アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061116

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20090318

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090406