JP2005296853A - 微粉除去装置 - Google Patents

Abstract

【課題】微粉の粒子からの分離を促進し、微粉の粒子への再付着を防止して、洗浄メディアの再生処理の効率と再生品質を向上させられるように微粉除去装置を工夫すること。
【解決手段】閉じた空間を形成する洗浄槽１と、洗浄槽の上部に設けられた吸引口２と、洗浄槽の最下部に設けられた流入口３と、流入口と吸引口の間に圧力差による気流を生じさせる圧力差供給手段９とを備え、上記洗浄槽内の上記吸引口側と流入口側とを隔離するメッシュ４を上記洗浄槽内に備え、上記流入口から吸引口へ向かう流れに対し、上記メッシュが下方に凸形状となっており、上記流入口から吸引口に向けて流れる洗浄槽内の高速気流に乗って粒子が高速で上昇して上記メッシュに衝突し、その衝撃で粒子から微粉が分離され、微粉だけが上記メッシュを通過して吸引口から排出されるようにしたこと。
【選択図】図１−１

Description

この発明は粒子状の乾式洗浄メディアを使用して洗浄を行う洗浄装置、殊に、使用後の洗浄メディア（粒子）に付着した汚れや異物（微粉）を除去して、洗浄メディアを再生する乾式洗浄装置に関するものであり、ショットブラスト材の再生処理、プラスチックペレット等に付着した微粉の除去処理に有効なものである。
上記の「洗浄メディア」は、静電気力、ファンデルワールス力等により、被洗浄対象物の汚れを除去・吸着する性質を持った粒体または粉体を意味し、また、上記の洗浄メディアの「再生」とは、洗浄に使用した後の洗浄メディア（粒子）に付着した汚れや異物（微粉）を除去して、洗浄メディアを再使用できるようにすることを意味する。

複写機、ファクシミリ、プリンタ等の事務機器メーカでは、資源循環型社会実現のため、使用済みの製品ないしユニットを分解し、清掃し、再組立して部品として再使用したり、樹脂材料として利用したりするリサイクル活動が積極的に行われている。これらの製品乃至ユニットを再利用するためには、使用済みの機器から微粒子粉体であるトナーを抜取り、清浄化することが必要であり、清浄化に必要なコストや環境負荷を低減することが大きな課題となっている。
すなわち、水や溶剤を使用した湿式の洗浄方法では、トナーを含んだ廃液の処理および洗浄後の乾燥処理が高コストでエネルギー消費も大きい点が問題である。また、エアブローによる乾式洗浄方法では、トナー飛散防止のための大掛かりな集塵・排気設備が必要でそのための環境負荷も大きい上、付着力の強いトナーに対しては洗浄能力が十分ではない。
またエアブローによる乾式洗浄では、トナーボトルやトナー容器内部の洗浄では吹き飛ばしたトナーがすぐに容器内部に再付着し易く、洗浄効率が悪いのも問題である。

以上の課題を解決する手段として、特開２００３−５７９９５号公報、特開２００３−１２２１２３号公報に記載されている洗浄方法、すなわち、乾式洗浄メディアを利用した洗浄方法がある。
上記の特開２００３−５７９９５号公報、特開２００３−１２２１２３号公報のものでは、粒子状の乾式洗浄メディア（キャリア）を用いて容器内に付着しているトナーを吸着し、容器外部へ排出することにより、トナーの外部への飛散や容器への再付着を防止しており、また、洗浄に使用したメディアを再使用するため、（ａ）コロナ放電を利用して洗浄用メディアとトナーの静電付着力を弱め、振動ふるいを利用してトナーをメディアから分離し、（ｂ）サイクロン分離装置およびフィルター付吸引ポンプを使ってトナーをメディアから分離するようにしている。

しかし、上記公開公報に記載された方法には、帯電しやすいメディア粒子とトナーの分離がまだ不十分であるという問題が残されている。
すなわち、コロナ放電による除電と振動ふるいのみによる分離方法では、メディア粒子としてナイロン樹脂等の絶縁性で帯電しやすい材質を用いた場合、洗浄メディア粒子とトナーを分離させる力が十分ではなく、洗浄メディア粒子に付着したトナーの多くを除去することができず、また、サイクロンによる分離方法では、洗浄メディアが洗浄槽壁面に押しつけられながら高速で回転する点が問題となる。ナイロン製洗浄メディア粒子と負帯電トナーのように静電気的に強く引き合う組合せの場合、イオン化エアーを供給したとしても両者の帯電が強いため洗浄メディアへ一部のトナーが残留してしまい、さらに、高速の摩擦によってトナーが洗浄メディア粒子表面に融着・固着して除去が困難になってしまうことがあるからである。

また、空気流を用いて粒子に付着している微粉を乾式で除去する方法として、特開２００２−１９２０１７号公報、実用新案登録第３０８４３２６号明細書、特開平１１−１９７４８０号公報に記載されているものがある。
上記特開２００２−１９２０１７号公報に記載されているサイクロンタイプでは、洗浄槽壁面との高速での摩擦が問題になるため、トナーのような帯電しやすく付着しやすい微粉を除去する場合には問題がある。
また、実用新案登録第３０８４３２６号明細書や特開平１１−１９７４８０号公報に記載されているものでは、気流による微粉除去効果を高めるために流速を上げると、上昇した粒子がフィルタ部に付着して滞留し、フィルタ部を閉塞してしまう問題があるため、気流の流速をあまり高めることができず、帯電により互いに強く付着した粒子と微粉を十分に分離することができない。
なお、トナーとナイロン粒子のように帯電系列が離れた物質同士の場合、互いの静電気的付着力が大きいため、空気流で分離するためにはかなりの高速の流れが必要であることが実験で確認された。
特開２００３−５７９９５号公報 特開２００３−１２２１２３号公報 特開２００２−１９２０１７号公報 特開平１１−１９７４８０号公報 実用新案登録第３０８４３２６号明細書

この発明は、以上の従来技術の上記問題を解消することを目的とし、粒子状洗浄メディアを用いた乾式洗浄方法について、洗浄メディアの再生処理の効率と再生品質を向上させられるように微粉除去装置を工夫することをその課題とするものである。

〔解決手段１〕（請求項１に対応）
解決手段１は、粒子に付着した微粉を高速気流を利用して粒子から分離・除去する微粉除去装置であって、次の（イ）乃至（ニ）によって構成されるものである。
（イ）閉じた空間を形成する洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられた吸引口と、洗浄槽の最下部に設けられた流入口と、流入口と吸引口の間に圧力差による気流を生じさせる圧力差供給手段とを備えていること、
（ロ）上記洗浄槽内の上記吸引口側と流入口側とを隔離するメッシュを上記洗浄槽内に備えていること、
（ハ）上記流入口から吸引口へ向かう流れに対し、上記メッシュが下方に凸形状となっていること、
（ニ）上記流入口から吸引口に向けて流れる洗浄槽内の高速気流に乗って粒子が高速で上昇して上記メッシュに衝突し、その衝撃で粒子から微粉が分離され、微粉だけが上記メッシュを通過して吸引口から排出されること。

〔作用〕
洗浄槽の上記流入口と吸引口との間の圧力差によって、流入口から吸引口に向う高速気流を生じ、この高速気流に乗って粒子が高速で上昇し、当該粒子が上記メッシュに衝突して下方に弾き返される。このときメッシュが衝撃で振動する。
上記メッシュに衝突したときの粒子に対する大きな負の加速度と、当該衝突による粒子の強い振動と、粒子の高速気流との摩擦とによって、粒子から微粉が分離される。分離された微粉だけが上記メッシュを通過して吸気口から排出され、他方、上記メッシュに衝突した粒子は、下方に凸形状のメッシュの下面によって斜め外方（洗浄槽の半径方向外方）に弾き飛ばされる。そして、洗浄槽の半径方向外方部分の上昇気流の流速は中央部に比して大幅に低速であるから、斜め外方に弾き飛ばされた粒子は、洗浄槽の内壁面にそってより速やかに落下し、下部中央の流入口に達したとき、流入口からの気流によって再度上方に吹き上げられる。
以上の動作を繰り返すことによって、極めて効率的に微粉が粒子から分離され、粒子が能率的に洗浄される。

洗浄槽内の気流の最適流速は粒子、微粉の種類、質量等によって異なるので、圧力差供給手段により流入口と吸引口間の圧力差を適宜に選定して、気体流速が最適値になるようにする。
なお、メッシュは「下方に凸形状」であることで、これに衝突した粒子の反射方向をより半径方向外方に向ける等の機能を奏するが、粒子の上昇軌道を斜めにするなどして、メッシュに対して斜めに衝突させる構成においては、メッシュはほぼ平板に近いものでも特に問題はない。したがって、上記「下方に凸形状」は「ほぼ平板状に近い」ものをも含む。

〔実施態様１〕（請求項２に対応）
実施態様１は、上記解決手段１の微粉除去装置について、上記圧力差供給手段として負圧供給手段を吸引口に接続し、洗浄槽内を洗浄槽の外部に対して負圧に保持することである。
洗浄槽内をその外部に対して負圧に保持しているから、洗浄槽内の微粉が外に流出することが回避される。

〔実施態様２〕（請求項３に対応）
実施態様２は、解決手段１又は上記実施態様１の微粉除去装置について、上記洗浄槽の流入口が粒子の投入口および排出口を兼ねていることである。
〔作用〕
流入口から洗浄槽に流入する気流に乗せて所定量の粒子が洗浄槽内に投入され、その後粒子の投入が停止され、引き続き気体を流入口から洗浄槽に流入させて洗浄動作を続行させる。
洗浄が完了したとき、吸引口からの吸引、流入口からの気体流入を停止する。このとき、微粉が分離された粒子が洗浄槽の下端に集中し、流入口から排出される。

〔実施態様３〕（請求項４に対応）
上記解決手段１乃至上記実施態様２の微粉除去装置について、上記洗浄槽の流入口の流路断面積を吸引口の流路断面積より小さくしていることである。
〔作用〕
流入口の流路断面積が吸引口の流路断面積より小さいので、比較的低い負圧で吸引口から吸引することに流入口から吸引口に向かう高速気流を生じさせることができ、したがって、比較的低い負圧源を用いて微粉の粒子からの分離を極めて能率的に行うことができる。

〔実施態様４〕（請求項５に対応）
実施態様４は、上記解決手段１乃至上記実施態様３の微粉除去装置について、上記洗浄槽の流入口の管路が可撓性を有し、管路を撓ませる手段を備え、管路の撓み方向を操作手段によって変化させることである。
〔作用〕
流入口の管路の撓みによって、流入口から洗浄槽への気体流入方向が洗浄槽の中心線に対して傾斜した方向になり、その方向は流入口の管路の撓み方向によって左右される。そして、流入方向が傾斜したこの高速気流は上記メッシュの中心からずれた位置に衝突することになる。したがって、流入口の管路の撓み方向を操作手段で変化させることで、高速気流が上記メッシュに衝突する位置が変化するので、粒子の衝突によるメッシュの局部的な偏摩耗は防止される。

〔実施態様５〕（請求項６に対応）
実施態様５は、上記解決手段１乃至上記実施態様３の微粉除去装置について、上記洗浄槽の流入口に挿入された流路案内部材と、流路案内部材を動かす手段を備えており、流路案内部材を動かすことにより洗浄槽内の高速気流の方向を制御することである。
〔作用〕
流入口から吸引口に向けて流れる高速気流は、洗浄槽内の流路案内部材の方に引っ張られてこれに沿って流れ、この高速気流が上記メッシュの偏心位置に衝突することになる。上記流路案内部材を動かすことにより、高速気流が上記メッシュに衝突する偏心位置が変化する。

〔実施態様６〕（請求項７に対応）
実施態様６は、解決手段１乃至実施態様３の微粉除去装置について、
上記洗浄槽を回転させる手段又は洗浄槽の姿勢を変化させる手段を備えており、洗浄槽を回転させながら、又は洗浄槽の姿勢を変化さながら洗浄動作を行うことである。
〔作用〕
洗浄槽を回転させながら、又は洗浄槽の姿勢を変化さながら洗浄動作を行うことによって、高速気流が上記メッシュに衝突する位置が変化することになる。

〔実施態様７〕（請求項８に対応）
実施態様７は、上記解決手段１乃至実施態様３の微粉除去装置について、上記メッシュを回転させる手段を備えており、当該メッシュを高速回転させながら洗浄動作を行うものである。
〔作用〕
高速気流によって上昇する粒子が高速回転しているメッシュに衝突するので、粒子に対する衝撃が一層強く、また、メッシュの高速回転による遠心力が作用して粒子が半径方向外方にはね飛ばされる。したがって、微粉が粒子から一層効率的に分離され、また、メッシュに粒子が付着してこれを目詰まりさせることはない。
なお、上記メッシュの最適回転速度は粒子の密度や大きさ、メッシュの大きさ等によって異なるが、概略的には、１，０００〜１０，０００ｒｐｍ程度が適当であるる。

〔実施態様８〕（請求項９に対応）（複数の流入口を切り替え）
実施態様８は、上記解決手段１乃至実施態様３の微粉除去装置について、洗浄槽への流入角度が異なる複数の流入口を備えており、複数の流入口と当該流入口への給気を遮断する弁を各流入口にそれぞれ備え、当該弁の開閉切り換えによって高速気流の流入口の切り換えを行い、これを繰り返すことによって、微粉除去動作を行うようにしたものである。
〔作用〕
洗浄槽への流入角度が異なる複数の流入口を備えており、複数の流入口と当該流入口への給気を遮断する弁を各流入口にそれぞれ備え、当該弁の開閉によって流入口を選択的に切り換えているので、上記弁の開閉操作によって洗浄槽内の上昇気流の軌道が切り換えられ、当該気流が上記メッシュに衝突する位置及び衝突方向が切り換えられる。
したがって、上記流入口の切り換えを繰り返すことによって、粒子がメッシュに衝突する位置が分散され、粒子の衝突によるメッシュの偏磨耗が回避されるとともに、メッシュの目詰まりが回避される。
なお、各流入口に開閉弁を設ける代わりに、複数の流入口に連通する給気管の各流入口へ分岐部に切り換えコックを設け、このコックによって複数の流入口への給気を選択的に切り換えるようにすることもできる。

〔実施態様９〕（請求項１０に対応）
実施態様９は、上記解決手段１乃至実施態様３の微粉除去装置について、その洗浄槽が上下に分割可能な２分割型の構成となっていることである。
〔作用〕
洗浄槽を上下に分離することで、洗浄槽内面、メッシュのメンテナンスが簡単容易になされる。

〔実施態様１０〕（請求項１１に対応）
実施態様１０は、上記解決手段１乃至実施態様３の微粉除去装置について、その洗浄槽の内壁を覆うインナーシートを交換可能に取り付けていることである。
〔作用〕
洗浄槽内の高速気流によって上記インナーシートが激しく微小振動するので、微粉が洗浄槽内壁に付着することが極力抑制され、また、洗浄槽本体の内壁が上記インナーシートで保護されるので、粒子等による洗浄槽内壁の磨耗損傷が防止され、インナーシートの損傷に対してはこれを交換することで、簡単容易に対応することができる。

〔実施態様１１〕（請求項１２に対応）
実施態様１１は、上記実施態様１０の微粉除去装置について、そのインナーシートが静電吸着作用、表面吸着作用等による微粉吸着性を有することである。
〔作用〕
粒子に付着している微粉は、インナーシートの静電吸着作用または表面吸着作用等による微粉吸着作用で吸着保持されるから、粒子から効果的に分離・除去され、また、粒子から分離された微粉はインナーシートに吸着保持されるから、これが再び粒子に付着することはなく、したがって、粒子に対する洗浄能率が向上する。

〔実施態様１２〕（請求項１３に対応）
実施態様１２は、上記実施態様１０または実施態様１１の微粉除去装置について、そのインナーシートと洗浄槽内壁面の間にクッション層を備えていることである。
〔作用〕
インナーシートと洗浄槽内壁面の間に、例えばスポンジ等のクッション層を備えていることにより、クッション層の内表面は柔軟で弾性を有するから、これに粒子が衝突すると、インナーシート表面が微小に弾性的に窪んで粒子との接触面積が増大する。そして、インナーシート表面の粒子との接触面積を増大させることにより、微粉に対するインナーシートの上記吸着保持力が増大するから、粒子に付着した微粉が効果的に分離・除去される。

〔実施態様１３〕（請求項１４に対応）
実施態様１３は、上記解決手段１乃至実施態様１２の微粉除去装置を、その粒子が乾式洗浄用メディアであり、微粉が電子写真用のトナーである洗浄用メディアの再生装置として利用することである。

この発明の効果は、主な請求項に係る発明毎に整理すれば、次のとおりである。
１．請求項１に係る発明
下部の流入口から吸引口へ向かう高速気流に乗って上昇する粒子を下方に凸形状のメッシュに衝突させることにより、粒子から微粉が効率的に分離され、粒子から分離された微粉はメッシュを通過して吸引口へ吸い込まれて高速気流によって排除されるので、粒子に再付着することがなく、微粉分離効果が高い。
また、メッシュに衝突した粒子は飛んできた方向と違う方向に跳ね返るため、後続の粒子と接触しにくく、微粉を除去された粒子に微粉が再付着しにくいので、微粉分離効果が高い。
粒子が吸引力によってメッシュ下面に付着しても、粒子の衝突によってメッシュが振動し、高速気流によってメッシュ外周方向へ押し流され、メッシュに滞留することはない。したがって、気流速度を高めることができ、微粉分離効果と処理効率を高くすることができる。

２．請求項２に係る発明
負圧供給手段を上記吸引口に接続し、上記流入口から気体を吸引して流入させることにより、洗浄槽内が洗浄槽外に対して負圧に保持されているので、配管接続部等から洗浄槽外へ微粉が漏れ出て作業環境を汚染する可能性が低減される。

３．請求項３に係る発明
上記流入口が粒子の投入口および排出口を兼ねていることにより、装置の構成が単純になり、コストが安くメンテナンスも容易になる。

４．請求項４に係る発明
上記流入口の流路断面積が吸引口の流路断面積より小さくなっていることにより、流入口での流速を高め、微粉の除去効果を高めることができる。

５．請求項５に係る発明
上記流入口の管路が可撓性を備えており、当該管路を撓ませる手段を備えていることにより、流入口から吸引口へ向かう気流を偏向させることができ、粒子や気流が上記メッシュに衝突する位置を変化させることができる。上記メッシュ全体がメディア粒子の衝突および気流により常に清浄に保たれ、安定した微粉除去性能が維持される。
また、粒子が上記メッシュに衝突する位置が変化するので、メッシュが局部的に偏摩耗することがなく、メッシュの寿命が延ばされる。

６．請求項６に係る発明
上記流入口から洗浄槽内に挿入された流路案内部材と、流路案内部材を動かす手段を備えたことにより、流路案内部材に沿って流れる高速気流のコアンダ効果を利用して、流入口から吸引口へ向かう気流を偏向させることができる。そして、流路案内部材を移動、回転、ないし変形させることにより粒子や気流が上記メッシュや洗浄槽壁に衝突する位置を変化させることができる。
上記メッシュ全体がメディア粒子の衝突および気流によるセルフクリーニング効果によって常に清浄に保たれ、安定した微粉除去性能が維持される。
また、粒子がメッシュに衝突する位置が変化するので、メッシュが局所的に偏摩耗することがなく、メッシュの寿命が延ばされる。

７．請求項７に係る発明
請求項１乃至請求項４の微粉除去装置において、洗浄槽を回転する手段ないし洗浄槽の姿勢を変化させる手段を備えたことにより、粒子や気流が上記メッシュに衝突する位置を変化させ、メッシュ全体が常に清浄に保たれる。
また、粒子がメッシュに衝突する位置が変化するので、メッシュが局部的に偏摩耗することがなく、メッシュの寿命が延ばされる。

８．請求項８に係る発明
請求項１乃至請求項４の微粉除去装置において、上記メッシュを回転させる駆動手段を備え、当該駆動手段によってメッシュを高速回転させることにより、粒子の衝突によるメッシュの振動と、メッシュの高速回転の遠心力によってメッシュに付着した粒子はその半径方向外側へ振り飛ばされ、メッシュ上に滞留することが防止される。
また、粒子がメッシュへ衝突する際、メッシュの高速回転によって粒子に大きな衝撃が作用するので、これにより粒子に付着した微粉の分離・除去効果が高められる。
また、粒子がメッシュに衝突する位置が変化するので、メッシュが局部的に偏摩耗することがなく、メッシュの寿命が延ばされる。

９．請求項９に係る発明
請求項１乃至請求項４の微粉除去装置において、複数の流入口と、これらの流入口への給気を遮断する弁を各流入口にそれぞれ備え、当該弁の開閉を切り換え、この切り換えを繰り返すことにより、粒子を乗せた高速気流の方向とメッシュに衝突したのちの粒子の落下方向を完全に分離して、微粉の粒子からの分離・除去効率を高めることができ、粒子の洗浄品質を高めることができる。
すなわち、一方の流入口から上昇する粒子が、メッシュに衝突して微粉を分離・除去されてから他方の流入口側に落下するので、微粉を除去された粒子が微粉を除去されていない粒子と接触する確率が減り、微粉を分離・除去された粒子が再び微粉に接することはなく、したがって、微粉が再付着することが回避される。

１０．請求項１０に係る発明
請求項１乃至請求項４の微粉除去装置において、洗浄槽が上下に２分割可能な分割型構造になっていることにより、洗浄槽の清掃や部品交換などのメンテナンスが容易になる。

１１．請求項１１に係る発明
請求項１乃至請求項４の微粉除去装置において、洗浄槽内壁を覆うフィルム状のインナーシートを取り付けたことにより、高速気流によって自励振動し、内壁への粒子や微粉の付着が抑制される。また、インナーシートを交換可能にすることで、洗浄槽内壁の清掃作業を容易化される。

１２．請求項１２に係る発明
請求項１１の微粉除去装置において、インナーシートに微粉吸着性を持たせたことにより、粒子から分離された微粉がインナーシートに吸着保持されるので、微粉が再び粒子に再付着することが効果的に抑制される。

１３．請求項１３に係る発明
請求項１０乃至請求項１２の微粉除去装置において、インナーシートと洗浄槽壁面の間にクッション層を備えたことにより、以下の効果が得られる。
ａ）インナーシートが安定的に振動し、当該振動によって内壁への粒子や微粉の付着が抑制される。
ｂ）粒子が上記インナーシートに当たったときに当該インナーシートが微小に弾性変形して窪み、粒子とインナーシートの接触面積を増大するので、粒子表面に付着した微粉を効果的に除去することができる。

１４．請求項１４に係る発明
請求項１乃至請求項１３において、粒子が乾式洗浄用メディアであり、微粉が電子写真用のトナーであることにより、トナー洗浄に用いた洗浄用メディアを効率的に再利用することが可能になり、洗浄工程での環境負荷を低減することができる。

次いで、「微粉」として複写機やレーザープリンタに使用される乾式トナー（平均粒径８μｍ程度）を、また、上記「粒子」として洗浄用メディアとして使用されるナイロンやガラスビーズ、スチールボール等（平均粒径１ｍｍ前後）を想定して、これを対象とした実施の形態を説明する。

実施例１は複写機等の電子写真装置で用いられるトナーボトルやトナーカートリッジを洗浄する乾式洗浄用メディア（「粒子」）から、上記洗浄によって粒子に付着したトナー（「微粉」）を除去する装置である。
〔機構・構造〕
洗浄槽１は、閉じた空間を形成した逆円錐形の容器であり、その材質は金属、樹脂、ガラスなどの中から、耐磨耗性、帯電特性、加工性などを考慮して、対象となる粒子や微粉に応じた適切な材質を用いる。
洗浄槽１の形状は、図１−１に示すような軸対象の回転体形状に限られるものではなく、例えば、角錐形、矩形などの箱型でもよいが、この場合は、洗浄槽最下部を漏斗状ないしすり鉢状に形成して粒子が最下部に集まるようにしたものであることが必要である。

洗浄槽１は、その横断面積が下端が最小で、上方ほど徐々に拡大して上端で最大であるから、当該洗浄槽内の気流の流速分布は、通常、吸引口２と流入口３を結んだ中央が最も高速であり、半径方向外側の周辺部ほど低速である。
洗浄槽壁１ａの内面には、図１−２、図１−３に示すようにフレキシブルなインナーシート５を交換可能に適宜の固着手段で取り付けて当該内面をカバーしている。インナーシート５の材質は、紙またはプラスチックフィルムなどである。インナーシート５は軽くてフレキシブルな素材であるため、高速気流の力によって激しく微小振動させられ、この微小振動によって内壁への粒子や微粉の付着が抑制される。また、インナーシート５は交換可能に取り付けられているので、洗浄槽壁１ａの内面の清掃作業を簡単容易に行える。

洗浄槽壁１ａの内面に取り付けたインナーシート５に粒子のクリーニング機能を持たせることもできる。例えば、ａ）セロファン紙のようにプラスに帯電し易くマイナスに帯電したトナーを静電気的に引きつけ易い材質、ｂ）紙や布のように繊維状多孔質で吸着面積の大きい材質、ｃ）粒子の溝に入りこんだ微粉も除去できるよう表面に微細な起毛を持った布、ｄ）微粘着性をもった粘着シートなどが使用可能である。これらのシートを用いることによって、粒子から微粉を吸着除去し、粒子への微粉の再付着を防止することができる。

また、インナーシート５と洗浄槽壁１ａ内面間にスポンジ層６を介在させている（図１−３）。スポンジ層６はインナーシート５にクッション機能を与えるものであるが、インナーシート５または洗浄槽壁１ａ内面に微細な溝やリブ、エンボス突起等を形成してインナーシート５または洗浄槽壁１ａ内面間に微小な空隙層７を形成して、当該微微空隙によってインナーシート５にクッション機能を与えることもできる（図１−４）。このようにインナーシート５と洗浄槽壁内面との間にクッション層や空隙層を形成することによって、次の機能を奏する。
ａ）インナーシート５に安定した振動を生じさせることにより、洗浄槽壁１ａ内面に粒子や微粉の付着が抑制される。
ｂ）粒子とインナーシート５の接触面積が増大し、粒子に付着した微粉が効果的に除去される（クッション層がない場合、粒子とインナーシートは点接触となり微粉除去効率が悪い）。

洗浄槽を分割型、例えば、図１−２のように上部１ｘと下部１ｙとに上下に２分割できる分割型の構造にすると、メンテナンス時にその上部１ｘを下部１ｙから取り外せるので、これらの内壁の清掃作業やインナーシートの交換作業が容易である。
洗浄槽壁１ａの肩部の一部に透明な窓８を設けている（図１−２）。このように洗浄槽壁１ａの一部に窓８を設けることにより、粒子の除去程度を目視で確認し、あるいは適宜のセンサで確認することができる。

吸引口２が上記洗浄槽の上部中央に設けられており、流入口３が洗浄槽の最下部に設けられていて、流入口３の流路断面積は吸引口２の流路断面積よりもはるかに小さく、したがって、洗浄槽内に流入口３から高速気体流が流入する。
流入口３はそのまま外気に通じている。ただし、防爆性を高めるために流入口３を窒素ガス源に接続してもよく、帯電を防止するために加湿空気の洗浄槽と接続してもよい。
吸引口２からの吸引圧、流入口３からの給気圧を調整して、洗浄槽１内が負圧に保たれるようにするのが望ましい。洗浄槽１内が所定の負圧に保たれれば、管路接続部の継ぎ目や流入口から装置外に微粉が飛散することを防止できる。
流入口３の内径と、上記吸引口２の内径との関係は、負圧供給手段の能力、洗浄槽１内の所要気流流速及び配管抵抗等を考慮して適宜選択にする。そして、流入口３における流速を５０ｍ／ｓ以上、好ましくは１００ｍ／ｓ以上になるように、流入口３の内径と上記吸引口２の内径との関係を考慮して負圧供給手段の負圧供給能力量を調整する。このようにすることにより、粒子と微粉が静電気的な力で付着している場合でも、十分な洗浄能力を発揮させることができる。

流入口３でのノズル効果で気流速度を高め、かつ安定させるため、流入口３の長さは流入口３の内径の２倍以上、好ましくは５倍以上とする。
吸引口２にブロワ集塵機、トナー用真空掃除機などの負圧供給手段９を接続している。この場合、給気源１０（コンプレッサ等による給気源）から圧縮空気を流入口３側に供給し、負圧供給手段９と上記給気源１０を制御装置１１で制御することにより、吸引口２と流入口３の間に所定の圧力差を与えるようにし、トナー等の微粉が漏れて飛散するのを防止するために、洗浄槽１の内部が負圧に維持されるように吸引口２、流入口３の圧力を制御する。
大量の微粉で負圧給手段９（上記集塵機や掃除機等）のフィルタが目詰まりしないよう、微粉除去装置と負圧供給手段９との間にサイクロンフィルタＦを入れて微粉を分級除去するのが好ましい（詳細図示略）。また、サイクロンフィルタＦで除去できなかった微粉は、集塵機や掃除機等の負圧供給手段に内蔵されたフィルタによって除去される。

吸引口２と流入口３との間でかつ吸引口２の近くに、下方に凸状のメッシュ４を配置して、これにより洗浄槽１の空間を上下を隔離している。このメッシュ４の目開き（メッシュサイズ）は、微粉は通過できるが洗浄メディア粒子は通過できないサイズである。洗浄メディア粒子の径に対し、２０〜８０％程度のサイズの目開きのメッシュであることが好ましい。
この実施例１ではメッシュ４に衝突した粒子がメッシュに付着して滞留することがないように、メッシュ４は下方に凸の略円錐形状にしている（図１−１）が、略半球にしてもよい。

負圧供給手段９によって吸引口に負圧を作用させると、流入口３から高速気流が洗浄槽内に流入する。微粉が付着した粒子を流入口に近づけると、当該粒子が、流入口から洗浄槽１内へ吸い込まれる。
粒子を洗浄槽１に導入するには、流入口３に樋状の供給手段やスクリューフィーダー等の供給手段を接近させて、粒子を気流に吸い込ませてこれに乗せるようにするか、あるいは、流入口３を移動させて、樋状の供給手段やスクリューフィーダー等の供給手段に流入口３を接近させて粒子を吸い込ませるようにしてもよい。

気流に乗って洗浄槽１内に導入された粒子ｐは、洗浄槽内の高速気流に乗って高速で上昇するが、この間に、付着している微粉が高速気流との摩擦によって除去され、さらに加速されながら吸引口の方向へ飛翔し、その途中でメッシュ４に高速（５０〜１００ｍ／秒）で衝突する。
流入口３付近にあるとき、およびメッシュ４の下面に当接しているときは、粒子ｐの流速が低いため、気流との相対速度が大きくて気流との摩擦が大きいので、高速気流による微粉除去効果が高い。また、メッシュ４の外周辺部では気流流速が低いため、ここでは粒子を上昇させる力が弱く、したがって、粒子は重力で落下する。
粒子ｐに付着している微粉の大方は気流との摩擦によって粒子から分離・除去されるが、粒子ｐがメッシュ４に衝突したとき、当該粒子に激しい衝撃が作用するので、この衝撃によって強固に付着している微粉も粒子から分離される。

衝突衝撃および高速気流との摩擦によって粒子から分離された微粉は、メッシュ４を通過して吸引口２を経て負圧供給手段９に吸い込まれる。
メッシュ４に衝突した粒子ｐ´のその後の運動は、以下のａ）〜ｃ）のいずれかである（図１−１）。
ａ）メッシュで跳ね返って洗浄槽内の半径方向外方にはね飛ばされる（符号（ａ）の軌跡）。
ｂ）メッシュに沿って外側へ流れ、洗浄槽内の上昇気流の流速は、半径方向外側（周辺部）で低いために、半径方向外方にはね飛ばされた粒子は洗浄槽の壁１ａの内面に沿って重力により落下し、流入口３に戻る（符号（ｂ）の軌跡）。
ｃ）メッシュ４に衝突し一時的にこれに付着した粒子ｐ´が、後続の別の粒子ｐに弾き飛ばされてメッシュ４の周辺部へ移動し、落下して流入口３に戻る（符号（ｃ）の軌跡）。

下方に凸形状のメッシュ４の下面に粒子ｐが斜めに衝突することにより、以下の作用・効果が得られる。
１）メッシュ４に衝突した粒子ｐ´が、飛んできた方向と違う方向に跳ね返えされるため、メッシュ４に向かって飛んで来る後続の粒子ｐとは接触しにくく、したがって、微粉を分離された粒子ｐ´に後続の粒子ｐの微粉が付着する可能性は小さい。
２）粒子ｐが吸引力によってメッシュ４に一時的に吸着されても、上昇気流によってメッシュ４の下面に沿ってその外周辺へ押し流されるため、メッシュ４に滞留することはない。
３）また仮に、上記粒子ｐ´がメッシュ４に付着して滞留しても、後続の粒子ｐがこれに衝突して横に弾き飛ばされ、あるいは後続の粒子の衝突によるメッシュ４の振動によってメッシュ４から分離され、メッシュ４にそって半径方向外方へ移動しながら重力で落下する。このように、メッシュ４に粒子が滞留しにくいため、気流流速を十分に高くしても粒子がメッシュに張り付いて離れなくなることはないから、気流流速を十分に高くすることができ、したがって、粒子と微粉の分離能力を非常に高くすることができる。
４）流入口３に戻った粒子は再び高速気流によって吹き上げられて、上記動作を繰り返す。
５）メッシュ４は高速気流と粒子との衝突衝撃により常にクリーニングされるから、メッシュ４が目詰まりすることはない。

洗浄槽１の軸心を水平面に対し垂直にした状態で動作させる場合、粒子が流入口からほぼ垂直に上昇するので、粒子がメッシュのほぼ同じところに衝突する。この場合、粒子が衝突するところは、粒子の衝突衝撃でセルフクリーニングされるので、このところに微粉が付着・堆積することはないが、粒子が衝突しにくいところは次第に微粉が付着・堆積する傾向がある。
そこで、図１−５に示すように洗浄槽１の軸心を垂線に対し５〜３０°程度傾けた状態で動作させると、洗浄槽１内を吸引口２に向かって上昇する気流の方向が重力方向に対して傾斜しているので、この気流に乗って上昇する粒子は重力の作用を受けてその上昇軌道が洗浄槽の半径方向外方に曲げられ、粒子が洗浄槽の中心から離れながら上昇してメッシュの中心から離れたところに衝突する。この状態で洗浄槽１をその軸心まわりに回転させると、粒子がメッシュ４に衝突する位置が変化する。
したがって、メッシュ４全体が常にセルフクリーニングされることになり、また、粒子がメッシュ４に衝突する位置が変化するので、粒子の衝突に伴うメッシュの摩耗が分散されるから、局部的にメッシュが早期消耗することはなく、したがって、メッシュの寿命が延びる。

洗浄槽１を軸心まわりに回転させる代わりに、流入口３を中心にしてすりこぎ運動をさせたり、洗浄槽１を揺動させるなどして、洗浄槽の姿勢を適宜変化させれば同様の効果が得られる。

所定時間経過後、負圧供給手段９の動作を停止させると、洗浄槽内の上昇気流がなくなるので、粒子は自重によって落下して洗浄槽の最下部に集められ、流入口から取り出される。
粒子の粒径や比重が小さく、帯電し易いものの場合、洗浄槽内壁に静電気的に付着してその重力だけで完全に排出することは困難な場合がある。このような場合には、洗浄槽上部の偏心位置に設けた排出補助ノズル１２から除電イオンを含んだ気体を高速で吹き込み（エアブローし）、洗浄槽１内に下向きの渦流を生じさせることにより、洗浄槽内壁に静電気的に付着した粒子を速やかに流入口３から取り出すことができる（図１−６）。なお、上記エアブローの代わりにノッキング装置（図示省略）等の補助的手段を用いて排出を促進することもできる。
粒子が乾式洗浄用メディアの場合、付着していた微粉（トナー）が除去された粒子は洗浄用メディアとして再利用可能なものになる。

以上の実施例による洗浄動作のフローを取り纏めると、図１−７のフロー図のようになる。
なお、このフロー図における「洗浄メディア再生装置」は、この発明を洗浄メディア再生装置に適用した実施例１のものであり、前記「微粉除去装置」に当るものである。

実施例２は図２−１に示すものであり、流入口３から洗浄槽１へ流入する気流の流入角度を変化させて、粒子の上昇方向を変化させることによって、粒子がメッシュに衝突する位置を変化させるものである。
洗浄槽１は本実施例１のものと同じであり、メッシュ４はほぼ半球状のものである。洗浄槽１の流入口３にフレキシブルチューブ２１を取り付け、フレキシブルチューブ２１を流入口３のすぐ下方位置で撓ませている（図２−１）。
偏心リング２２をフレキシブルチューブ２１に嵌めて当該チューブを撓ませる手段を構成している。

偏心リング２２は回転軸２３を有し、当該回転軸２３が垂直姿勢の洗浄槽１の中心の延長線上にあって回転自在に支持されている。上記回転軸２３の回転により偏心リング２２が回転軸２３を中心に回転し、フレキシブルチューブ２１の撓み方向が変化する。そして、フレキシブルチューブ２１の撓み方向に応じて、流入口３から流入する気流の流れ方向が偏向するので、偏心リング２２の回転に応じて粒子及び気流がメッシュ４に衝突する位置が変化することになる。このように、メッシュ全体にメディア粒子が衝突することにより、メッシュに対するセルフクリーニング効果がメッシュ全体に及ぶので、メッシュ全体が常に清浄に保たれ、安定した微粉除去性能が維持される。

実施例３は、垂直姿勢の洗浄槽１に流路案内部材３１を設けたものであり、フィルタ４はほぼ円弧形状のものである。
流路案内部材３１を洗浄槽１の流入口３から洗浄槽１内に挿入してあり、当該流路案内部材３１は、垂直な下半分と緩やかに傾斜した上半分とからなるもので、下半分は回転軸３１ａで、上半分は細い帯板３１ｂである。
流入口３から吸引口２に向かう上昇気流は、高速流であるから流路案内部材３１の上記帯板３１ｂによって空力的（コアンダ効果）に曲げられて当該帯板３１ｂに沿って流れ、メッシュ４の中央部から半径方向外方に外れたところに衝突することになる。そして、流路案内部材３１の回転軸３１ａを回転させて帯板３１ｂを回転させると、これに伴って上昇気流の偏向方向が変化する。
したがって、流路案内部材３１が回転するにつれて、粒子がメッシュに衝突する位置が変化する。
流路案内部材３１は、上昇気流を乱さずにこれを偏向させられるように屈曲した細長い形状のものであるが、その具体的な形状については棒状、短冊状、樋状などを使用することができる。

上記のとおり、流路案内部材３１を回転させることによって上記気流の流れ方向を変化させることができ、メッシュ４全体がメディア粒子の衝突および気流によるセルフクリーニング効果で清掃に保たれるので、安定した微粉除去性能を維持することができる。
なお、上昇気流の偏向方向を操作するには、流路案内部材３１を上下方向に移動させてもよく、また、その屈曲角度、屈曲方向を変化させてもよいが、実施例３のものが流路案内部材３１の機構、操作手段が最も単純で、空気抵抗が少なく、流路案内部材３１による上昇気流の偏向方向が安定する。

図４−１に示すように、実施例４は複数の流入口を有し、それらを切り替えることにより粒子がメッシュに衝突する位置を変化させるものであり、メッシュに衝突した粒子が後続の、メッシュに衝突する前の粒子と接触する確率を小さくして、微粉除去効率および微粉除去品質を高めるものである。
実施例４の洗浄槽４１は第１の流入口４３ａ，第２の流入口４３ｂの２つの流入口を備えている洗浄槽（二股形状の洗浄槽）である。２つの流入口４３ａ，４３ｂは、互いにその向きが異なっており、各流入口４３ａ，４３ｂに第１の弁Ｖ_１、第２のＶ_２を設けている。これらの弁としては様々なタイプのものを使用できるが、粉粒体を取り扱うものであることからして、フレキシブル管をピンチコックで閉塞するタイプのものを用いるのがよい。

この実施例４におけるフィルタ４０は単純な円板形状として示されているが、円錐状でも、半球状でも問題はない。また、上記の２つの流入口４３ａ，４３ｂに粒子の有無を検出するセンサＳを設けており、これにより個々の流入口における粒子の存否を検出する。このセンサＳとしては、粒子および微粉の性質に合わせて、例えば、反射式または透過式の光学センサ、磁気センサ、超音波センサなどを用いる。
実施例４は、各流入口４３ａ，４３ｂに設けられた第１の弁Ｖ_１，第２の弁Ｖ_２、これらの弁Ｖ_１、Ｖ_２の開閉制御装置（図示略）、負圧供給装置９や給気源１０を制御する制御装置１１を備えており、制御装置１１により、上記センサＳによる検知信号に基づいて微粉除去動作を自動制御する。
なお、粒子に付着した微粉の除去程度を検出するセンサを各流入口４３ａ，４３ｂに設けてもよく、これによって流入口に存在する粒子の洗浄レベルを判別して、所定の洗浄レベルに達したとき洗浄動作を終了させるようにすることもできる。

第１の弁Ｖ_１、第２の弁Ｖ_２の一方を開き、他方を閉とし、負圧供給手段９，給空源１０を動作させ、開となっている流入口からの気流に乗せて粒子を吹き上げさせる。
第１の弁Ｖ_１を開、第２の弁Ｖ_２を閉とした場合、第１の流入口４３ａ側にある粒子は、当該流入口からの気流によって吹き上げられてメッシュ４０に衝突し、その多くは第２の流入口４３ｂ側に落下する。第２の流入口４３ｂ側に落下せず第１の流入口４３ａ側に落下した粒子は、再び気流で吹き上げられ、最終的にすべての粒子が第２の流入口４３ｂ側に落下して、第１の流入口４３ａ側には粒子がなくなる（図４−１の矢印ａの動き）。
第１の流入口４３ａにおける粒子残留ゼロがセンサＳで検出されると、第１の弁Ｖ_１が閉じされ、第２の弁Ｖ_２が開かれる。第１の弁Ｖ_１が閉、第２の弁Ｖ_２が開になると、第２の流入口４３ｂ側にある粒子は再び吹き上げられてメッシュ４０に衝突し、第１の流入口４３ａ側に落下する（図４−１の矢印ｂの動き）。

以上の動作を繰り返すことで粒子に付着している微粉が分離・除去される。上記動作の繰り返しは、図示の例ではセンサＳの粒子検出信号に基づいて弁Ｖ_１，Ｖ_２の開閉制御装置（図示略）によって制御しているが、タイマーで時間を計測し、その信号に基づいて所定間隔で弁Ｖ_１，Ｖ_２の切り換えを行うようにすることもできる。
実施例４によれば、一方の流入口（例えば第１の流入口４３ａ）にあった粒子はメッシュに衝突して微粉が除去された後、他方の流入口（例えば第２の流入口ｂ）側に落下する。したがって、メッシュに衝突して微粉を除去された粒子（図１における粒子ｐ´に相当）がメッシュに衝突する前（微粉除去前）の粒子（図１における粒子ｐに相当）と接触する確率が小さいため、微粉除去後の粒子に微粉が再付着することは少なく、微粉除去効率および微粉除去品質が高められる。
また、第１の弁Ｖ_１および第２の弁Ｖ_２を共に閉にして、洗浄された粒子を流入口から排出するのであるが、このとき、これらからの給気流を完全遮断とはせずに、わずかに上昇気流を残せば、洗浄されて流入口に集められた粒子側に微粉が舞い込むことが防止されるので、排出される（取り出される）粒子の洗浄品質を一層向上させることができる。

図５−１に示す実施例５は、上昇気流を洗浄槽５１の中心線に対して偏向させておいてメッシュ５４を回転させる例であり、メッシュ５４を回転可能にし、メッシュ５４の回転による遠心力でメッシュ５４に滞留する粒子を半径方向外方に振り飛ばされるとともに、メッシュ５４と粒子の衝突の衝撃を一層強くして微粉除去効果を高めたものである。
メッシュ５４はほぼ平坦な円盤状のものであり、その中心を回転軸５４ａの先端に固定している。回転軸５４ａをモータで回転させてメッシュ５４を高速で回転させる。

メッシュ５４の周縁部にはブラシシール５４ｂを設けてあり、このブラシシール５４ｂによってメッシュ５４の外周端から粒子が上方へ吹き抜けるのを抑制している。
なお、実施例５におけるメッシュ５４は下方に凸の半球状又は円錐状のものでもよいが、ほぼ平坦なものの方が高速気流に乗って上昇する粒子との衝突衝撃が強いので好ましく、このメッシュは高速回転していて、衝突した粒子をその遠心力で半径方向外方に振り飛ばすので、ほぼ平坦な円板状であることによる不都合はない。
また、メッシュ５４をモータで駆動する代わりに、メッシュの上方において回転軸５４ａに回転翼を設けて、高速上昇気流でメッシュを高速回転させるようにすることもできる。

高速気流に乗って上昇する粒子はメッシュ５４に衝突し、メッシュ５４の高速回転による遠心力で半径方向外方へ飛ばされ、洗浄槽５１の内壁５１ａに沿って落下する。また、粒子は高速回転しているメッシュ５４に衝突するから、その衝撃はメッシュが回転していない場合に比して極めて強く、したがって、粒子に付着した微粉の分離・除去効果は高い。
また、メッシュ５４は高速回転していて、粒子が衝突する位置が常に変化するので、粒子との衝突によるメッシュの摩耗は均等に分散される。したがって、メッシュ５４が局部的に摩耗することはなく、寿命が延ばされる。

は基本的な実施例１を模式的に示す断面図である。 は実施例１における洗浄槽の変形例を模式的に示す断面図である。 は実施例１における洗浄槽の他の変形例を模式的に示す断面図である。 は実施例１における洗浄槽のさらに他の変形例を模式的に示す断面図である。 は、実施例１における洗浄槽の姿勢を変更する例を模式的に示す断面図である。 は、実施例１において、粒子の取り出し動作を促進する例を模式的に示す断面図である。 は、実施例１における洗浄動作手順を示すフロー図である。 は、実施例２を模式的に示す断面図である。 は、実施例３を模式的に示す断面図である。 は、実施例４を模式的に示す断面図である。 は、実施例５を模式的に示す断面図である。

符号の説明

１：洗浄槽
１ａ：洗浄槽壁
２：吸引口
３：流入口
４：メッシュ
５：インナーシート
６：クッション層
７：空隙層
８：窓
９：負圧供給手段
１０：給気源
１１：制御装置
１２：排出補助ノズル
２１：フレキシブルチューブ
２２：偏心リング
２３：回転軸
３１：流路案内部材
３１ａ：回転軸
３１ｂ：帯板
４０：メッシュ
４１：洗浄槽
４３ａ：第１の流入口
４３ｂ：第２の流入口
５１：洗浄槽
５１ａ：洗浄槽壁
５４：メッシュ
５４ａ：回転軸
５４ｂ：ブラシシール
Ｓ：センサ
Ｖ_１：第１の弁
Ｖ_２：第２の弁

Claims (16)

1. 粒子に付着した微粉を除去する装置であって、閉じた空間を形成する洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられた吸引口と、洗浄槽の最下部に設けられた流入口と、流入口と吸引口の間に圧力差による気流を生じさせる圧力差供給手段とを備え、
   上記洗浄槽内の上記吸引口側と流入口側とを隔離するメッシュを上記洗浄槽内に備えており、
   上記流入口から吸引口へ向かう流れに対し、上記メッシュが下方に凸形状となっており、上記流入口から吸引口に向けて流れる洗浄槽内の高速気流に乗って粒子が高速で上昇して上記メッシュに衝突し、その衝撃で粒子から微粉が分離され、微粉だけが上記メッシュを通過して吸引口から排出されることを特徴とした微粉除去装置。
2. 上記圧力差供給手段として負圧供給手段を吸引口に接続し、洗浄槽内がその外部に対して負圧に保たれていることを特徴とする請求項１の微粉除去装置。
3. 上記洗浄槽の流入口が粒子の投入口および排出口を兼ねていることを特徴とする請求項１又は請求項２の微粉除去装置。
4. 上記洗浄槽の流入口の流路断面積が吸引口の流路断面積より小さくなっていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の微粉除去装置。
5. 上記洗浄槽の流入口の管路が可撓性を有し、管路を撓ませる手段を備えており、
   上記管路の撓み方向を操作手段によって変化させることを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
6. 上記洗浄槽の流入口に挿入された流路案内部材と、流路案内部材を動かす手段を備えており、流路案内部材を動かすことにより洗浄槽内の高速気流の方向を制御することを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
7. 上記洗浄槽を回転させる手段又は洗浄槽の姿勢を変化させる手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
8. 上記メッシュを回転させる手段を備えており、当該メッシュを高速回転させながら洗浄動作を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
9. 洗浄槽への流入角度が異なる複数の流入口を備え、
   上記複数の流入口と当該流入口への給気を遮断する弁を各流入口にそれぞれ備え、当該弁の開閉切り換えによって高速気流の流入口の切り換えを行い、これを繰り返すことによって、微粉除去動作を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
10. 上記洗浄槽が上下に分割可能な２分割型の構成となっていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
11. 上記洗浄槽の内壁を覆うインナーシートを交換可能に取り付けていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の微粉除去装置。
12. 上記インナーシートが微粉吸着性を有することを特徴とする請求項１１の微粉除去装置。
13. 上記インナーシートと洗浄槽内壁面の間にクッション層を備えていることを特徴とする請求項１１又は請求項１２の微粉除去装置。
14. 請求項１乃至請求項１３の微粉除去装置であって、その粒子が乾式洗浄用メディアであり、微粉が電子写真用のトナーである洗浄用メディアの再生装置。
15. 粒子に付着した微粉を除去する方法であって、
    圧力差供給手段と、閉じた空間を形成する洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、圧力差供給手段が接続された吸引口と、洗浄槽の最下部に設けられた流入口と、洗浄槽内空間を吸引口側と流入口側とを隔離するメッシュとを用い、
    上記流入口から吸引口へ向かう粒子を下方に凸形状のメッシュに衝突させて粒子から微粉を分離させ、分離された微粉を吸引口から排出し、
    粒子から微粉が十分分離されて洗浄が完了したとき、吸引口からの吸引、流入口からの気体流入を停止して、洗浄された粒子を上記流入口から排出することを特徴とする微粉除去方法。
16. 上記メッシュが円板状であり、当該メッシュを高速回転させながら粒子を当該メッシュに衝突させ、メッシュの高速回転による遠心力で半径方向外方に振り飛ばすようにした請求項１５の微粉除去方法。

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