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JP2005274898A - Exposure equipment - Google Patents

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JP2005274898A
JP2005274898A JP2004087295A JP2004087295A JP2005274898A JP 2005274898 A JP2005274898 A JP 2005274898A JP 2004087295 A JP2004087295 A JP 2004087295A JP 2004087295 A JP2004087295 A JP 2004087295A JP 2005274898 A JP2005274898 A JP 2005274898A
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JP
Japan
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laser
laser beam
laser beams
scanning direction
sub
Prior art date
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Pending
Application number
JP2004087295A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Masui
隆至 桝井
Fumihiro Nakahara
文博 中原
Katsuo Mikashima
勝雄 三ヶ島
Mikiya Seto
幹也 瀬戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritsu Koki Co Ltd
Original Assignee
Noritsu Koki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Noritsu Koki Co Ltd filed Critical Noritsu Koki Co Ltd
Priority to JP2004087295A priority Critical patent/JP2005274898A/en
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Abstract

【課題】 印画紙の搬送速度が変動した場合でも、品質の良い画像を形成し得る露光装置を構成する。
【解決手段】 2つのレーザ光源13R−T、13R−D、2つの変調器14R−T、14R−Dを備えることによって2つのレーザビームLB、LBを送り出し、この2つのレーザビームLB、LBをポリゴンミラー16の傾斜姿勢のミラー面16MT、16MDで反射させて夫々のレーザビームLB、LBを接近する方向に案内し、印画紙Pの感光面において夫々のレーザビームLB、LBを副走査方向に隣接する位置関係で照射する形態での露光を行う。
【選択図】 図3
PROBLEM TO BE SOLVED: To constitute an exposure apparatus capable of forming a high quality image even when the conveyance speed of photographic paper fluctuates.
SOLUTION: Two laser light sources 13R-T, 13R-D, two modulators 14R-T, 14R-D are provided to send out two laser beams LB, LB, and the two laser beams LB, LB are transmitted. Each of the laser beams LB and LB is guided in the approaching direction by being reflected by the inclined mirror surfaces 16MT and 16MD of the polygon mirror 16, and the laser beams LB and LB are guided in the sub-scanning direction on the photosensitive surface of the photographic paper P. Exposure is performed in such a form that irradiation is performed in the adjacent positional relationship.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、発光手段からのレーザビームを回転型のポリゴンミラーで反射させて主走査方向に走査することにより、副搬送方向に搬送される感光材料に露光を行う露光装置に関する。   The present invention relates to an exposure apparatus that exposes a photosensitive material conveyed in a sub-conveying direction by reflecting a laser beam from a light emitting unit by a rotating polygon mirror and scanning in the main scanning direction.

上記のように構成された露光装置として特許文献1に示すものが存在する。この特許文献1では、感光材料をC・M・Yの三原色に発色させるよう半導体レーザを光源とする3種の光源部を備え、夫々の光源部からの光線の光量を決定する変調回路と、光源部からの光線を反射させることにより走査を実現する回転型のポリゴンミラーと、感光材料を副走査方向に搬送する副走査搬送手段とを備え、記録画像に基づき光源部の発光時間を制御することにより、感光材料に対して画像を形成するよう構成されている。   As an exposure apparatus configured as described above, there is one disclosed in Patent Document 1. In this Patent Document 1, a modulation circuit that includes three types of light source units that use a semiconductor laser as a light source so as to develop a photosensitive material in three primary colors of C, M, and Y, and that determines the amount of light from each light source unit; A rotary polygon mirror that realizes scanning by reflecting light rays from the light source unit and a sub-scanning conveying unit that conveys the photosensitive material in the sub-scanning direction, and controls the light emission time of the light source unit based on the recorded image. Thus, an image is formed on the photosensitive material.

特開平6‐106774号公報 (段落番号〔0018〕〜〔0042〕、図1)JP-A-6-106774 (paragraph numbers [0018] to [0042], FIG. 1)

感光材料として印画紙に露光を行うものを例に挙げると、この種の露光装置では印画紙を設定された速度で副走査方向に搬送しながら、この搬送速度と同期したタイミングで主走査方向にライン状の露光を行うものであるため、感光材料を副走査方向に送る搬送速度が変動した場合には、この搬送速度の乱れが画質に影響を与える程のないものであっても、仕上がった写真には露光領域同士に間隙がライン状に形成され、品質を低下させることもあった。具体的に説明すると、プリントサイズに予め切断した印画紙に露光を行う露光装置では、印画紙の搬送系に圧着状態と開放状態とに切り換え自在な搬送ローラを配置しており、この搬送ローラに対して印画紙が接触した際に印画紙が振動することや、搬送速度が僅かに変動することもあった。このような理由から印画紙の副走査方向への速度が変動して、画質を低下させることもあったのである。   As an example of a photosensitive material that exposes photographic paper, this type of exposure apparatus transports photographic paper in the sub-scanning direction at a set speed, and in the main scanning direction at a timing synchronized with the transport speed. Since the line-shaped exposure is performed, when the conveyance speed for feeding the photosensitive material in the sub-scanning direction fluctuates, even if the disturbance in the conveyance speed does not affect the image quality, it is finished. In the photograph, gaps were formed between the exposed areas in a line shape, which sometimes deteriorated the quality. More specifically, in an exposure apparatus that exposes photographic paper that has been cut in advance to a print size, a conveyance roller that can be switched between a crimping state and an open state is disposed in the photographic paper conveyance system. On the other hand, when the photographic paper comes into contact with the photographic paper, the photographic paper may vibrate or the conveyance speed may fluctuate slightly. For this reason, the speed of the photographic paper in the sub-scanning direction fluctuates, and the image quality is sometimes lowered.

このように露光領域同士にライン状の間隙が形成される理由としては、レーザビームのビーム径の小さいことを例に挙げることができる。この不都合を解消する目的でレーザービームを僅かに拡散させてビーム径を大きくすることも考えられるが、このようにビーム径を大きくした場合には、主走査方向、副走査方向夫々での解像度が低下するものとなり採用し難いものであった。   An example of the reason why the linear gap is formed between the exposure regions in this way is that the beam diameter of the laser beam is small. In order to eliminate this inconvenience, it is conceivable to increase the beam diameter by slightly diffusing the laser beam. However, when the beam diameter is increased in this way, the resolution in each of the main scanning direction and the sub-scanning direction is reduced. It was difficult to adopt because it was lowered.

本発明の目的は、感光材料の搬送速度が変動した場合でも、品質の良い画像を形成し得る露光装置を合理的に構成する点にある。   An object of the present invention is to rationally configure an exposure apparatus that can form a high-quality image even when the conveyance speed of the photosensitive material varies.

本発明の特徴は、発光手段からのレーザビームを回転型のポリゴンミラーで反射させて主走査方向に走査することにより、副搬送方向に搬送される感光材料に露光を行う露光装置において、
前記発光手段が、レーザビームを出射する複数のレーザ光源で構成され、この複数のレーザ光源からのレーザビームの光量を独立して制御する変調器を備えると共に、夫々の変調器で光量が制御された複数のレーザビームを前記感光材料に対し副走査方向に隣接する位置関係で照射する光学系を備え、この隣接する位置関係で照射する複数のレーザビームの光量を制御する複数の前記変調器を同じ画像データで制御する光量制御手段を備えている点にある。
A feature of the present invention is that in an exposure apparatus that exposes a photosensitive material conveyed in the sub-conveying direction by reflecting the laser beam from the light emitting means by a rotating polygon mirror and scanning in the main scanning direction.
The light emitting means includes a plurality of laser light sources that emit laser beams, and includes a modulator that independently controls the light amount of the laser beams from the plurality of laser light sources, and the light amount is controlled by each modulator. An optical system for irradiating the photosensitive material with a positional relationship adjacent to the photosensitive material in the sub-scanning direction, and a plurality of modulators for controlling the light amounts of the plurality of laser beams irradiated with the adjacent positional relationship. There is a light amount control means for controlling with the same image data.

この構成により、副走査方向に隣接する位置関係となる複数のレーザビームの光量を同じ画像データで制御して露光を行えるので、主走査方向の解像度を低下させることなくレーザビームの副走査方向での露光幅を拡大でき、レーザビーム同士の副走査方向での重複量も大きくできる。その結果、感光材料の搬送速度が変動することがあっても露光領域同士の間にライン状の隙間を形成せず良好な品質の画像を形成するものとなった。   With this configuration, exposure can be performed by controlling the light amounts of a plurality of laser beams that are adjacent to each other in the sub-scanning direction with the same image data, so that the resolution in the main scanning direction is not reduced in the sub-scanning direction of the laser beam. The exposure width of the laser beam can be enlarged, and the overlapping amount of laser beams in the sub-scanning direction can also be increased. As a result, even when the conveyance speed of the photosensitive material fluctuates, a line-shaped gap is not formed between the exposed areas, and a good quality image is formed.

本発明は、R(赤)・G(緑)・B(青)の三原色の3種の光源に対応して前記レーザ光源を一対ずつ備えると共に、前記光学系が、一対のレーザ光源から平行姿勢で送り出されるレーザビームを前記感光材料の感光面において副走査方向で隣接する位置関係に導くよう姿勢を設定したミラー面を具備する前記ポリゴンミラーを備えても良い。   The present invention includes a pair of the laser light sources corresponding to three light sources of three primary colors of R (red), G (green), and B (blue), and the optical system is parallel to the pair of laser light sources. The polygon mirror may be provided with a mirror surface set in an attitude so as to guide the laser beam sent out in step 1 to a positional relationship adjacent in the sub-scanning direction on the photosensitive surface of the photosensitive material.

この構成により、R(赤)・G(緑)・B(青)の三原色に対応した一対のレーザビームをポリゴンミラーのミラー面の反射によって感光材料の感光面において副走査方向に隣接する位置関係で導いて露光を行えるものとなった。   With this configuration, a pair of laser beams corresponding to the three primary colors R (red), G (green), and B (blue) are adjacent to each other in the sub-scanning direction on the photosensitive surface of the photosensitive material by reflection of the mirror surface of the polygon mirror. It was possible to perform exposure by guiding it.

本発明は、発光手段からのレーザビームを回転型のポリゴンミラーで反射させて主走査方向に走査することにより、副搬送方向に搬送される感光材料に露光を行う露光装置において、
前記発光手段が、レーザビームを出射するレーザ光源で構成され、このレーザ光源からのレーザビームの光量を制御する変調器を備えると共に、この変調器からのレーザビームから複数のレーザビームを作り出し、かつ、夫々のレーザビームが隣接する平行姿勢で送り出すビーム変換器を備え、このビーム変換器から送り出された一対のレーザビームの隣接方向を副走査方向に設定する光学系を備えた点にある。
The present invention relates to an exposure apparatus that exposes a photosensitive material conveyed in the sub-conveying direction by reflecting the laser beam from the light emitting means with a rotating polygon mirror and scanning in the main scanning direction.
The light emitting means is composed of a laser light source that emits a laser beam, and includes a modulator that controls the amount of the laser beam from the laser light source, and generates a plurality of laser beams from the laser beam from the modulator; and , And a beam converter for sending each laser beam in an adjacent parallel posture, and an optical system for setting the adjacent direction of the pair of laser beams sent from the beam converter in the sub-scanning direction.

この構成により、レーザビームを出射するレーザ光源と、レーザビームの光量を制御する変調器とを複数備えずとも、ビーム変換器で複数のレーザビームを作り出し、このレーザビームを光学系によって副走査方向で隣接する位置関係で感光材料に対して送り出して露光することが可能となる。その結果、ポリゴンミラー、及び、このポリゴンミラーで反射した光線を感光材料に導く光学系を従来からのものをそのまま活用でき、感光材料の搬送速度が変動することがあっても露光領域同士の間にライン状の隙間を形成せず良好な品質の画像を形成するものとなった。   With this configuration, a plurality of laser beams can be generated by the beam converter without using a plurality of laser light sources that emit laser beams and modulators that control the amount of light of the laser beams. Thus, it is possible to carry out exposure with respect to the photosensitive material in an adjacent positional relationship. As a result, a conventional polygon mirror and an optical system that guides the light beam reflected by the polygon mirror to the photosensitive material can be used as they are. Thus, a good quality image was formed without forming a line-shaped gap.

本発明は、前記ビーム変換器として、主光路に沿って送り出されるレーザビームを分岐させるビームスプリッタを備えると共に、このビームスプリッタで分岐したレーザビームを前記主光路と平行姿勢で隣接する一対のレーザビームとして送り出すミラー又はプリズムを備えても良い。   The present invention includes, as the beam converter, a beam splitter for branching a laser beam sent out along a main optical path, and a pair of laser beams adjacent to the laser beam branched by the beam splitter in a posture parallel to the main optical path. A mirror or a prism may be provided.

この構成により、主光路を送られるビームスプリッタで主光路から分岐させ、ミラー又はプリズムで主光路の側に戻し、この主光路に送られるレーザビームと平行姿勢で隣接する一対のレーザビームに変換するので、従来からの露光装置を大きく改造することなく露光を行うことも可能となる。   With this configuration, the main optical path is branched from the main optical path by a beam splitter that is sent, returned to the main optical path by a mirror or a prism, and converted into a pair of adjacent laser beams in a posture parallel to the laser beam sent to the main optical path. Therefore, exposure can be performed without greatly modifying the conventional exposure apparatus.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔第1の実施形態〕図1及び図2に示すように、搬送モータ1からの駆動力がベルト伝動機構2を介して伝えられる一対の駆動ローラ3、3と、これに対応して配置された従動ローラ4、4とを備えて感光材料としての印画紙Pを下方から上方に搬送する(この搬送方向が副走査方向)搬送ユニットを備え、この搬送ユニットで副走査方向に搬送される印画紙Pに対し副走査方向に隣接する一対のレーザビームLB、LBを、前記副走査方向と直交する主走査方向(水平方向)に沿って走査することによりライン状の領域に露光を行う露光ユニットを備えて露光装置が構成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment] As shown in FIGS. 1 and 2, a pair of driving rollers 3 and 3 to which a driving force from a conveying motor 1 is transmitted via a belt transmission mechanism 2 are arranged correspondingly. And a driven unit for transporting the photographic paper P as a photosensitive material from below to above (this transport direction is the sub-scanning direction), and the printing unit transported in the sub-scanning direction by this transport unit. An exposure unit that exposes a linear region by scanning a pair of laser beams LB, LB adjacent to the paper P in the sub-scanning direction along a main scanning direction (horizontal direction) orthogonal to the sub-scanning direction. An exposure apparatus is configured.

前記搬送ユニットは、予めプリントサイズに切断された印画紙Pを下方から上方に送るように搬送方向が設定され、上下に位置する駆動ローラ3、3の中間位置に前記レーザビームLB、LBの露光位置Xが設定されている。図面には示していないが、前記搬送ユニットは一対の従動ローラ4、4を独立して圧着位置と開放位置とに切り換える切り換え機構を備え、この切り換え機構は、下部の従動ローラ4を開放位置に設定して印画紙Pを受け入れ、この受け入れの後に圧着状態に切り換えることにより下部の駆動ローラ3の駆動力で印画紙Pの搬送を開始する。この後、露光が開始された印画紙Pが搬送される際には、上部の従動ローラ4を開放位置に設定して印画紙Pを受け入れ、この受け入れの後に圧着状態に切り換え、更に、この切り換えの後に、下部の従動ローラ4を開放位置に切り換えることにより、上部の駆動ローラ3だけの駆動力で印画紙Pの搬送を行いながら露光を継続するよう作動シーケンスが設定されている。   The transport unit is set in a transport direction so as to send the photographic paper P, which has been cut to a print size in advance, from below to above, and exposure of the laser beams LB and LB is performed at an intermediate position between the drive rollers 3 and 3 positioned above and below. Position X is set. Although not shown in the drawing, the transport unit includes a switching mechanism for independently switching the pair of driven rollers 4 and 4 between a crimping position and an open position, and this switching mechanism places the lower driven roller 4 in the open position. The printing paper P is set and accepted, and after this acceptance, the printing paper P is started to be conveyed by the driving force of the lower driving roller 3 by switching to the crimping state. Thereafter, when the photographic paper P for which exposure has been started is transported, the upper driven roller 4 is set to the open position to receive the photographic paper P, and after this reception, the state is switched to the pressure-bonded state. Thereafter, by switching the lower driven roller 4 to the open position, an operation sequence is set so that the exposure is continued while the photographic paper P is conveyed by the driving force of only the upper driving roller 3.

前記露光ユニットは、等しい光量に設定された前記レーザビームLB、LBが前記露光位置Xにおいて副走査方向において隣接することにより夫々のレーザビームLB、LBの一部が重複する形態で照射されるものであり、図5に示すように印画紙Pに既に露光された領域EPに対して、次に露光される領域ELが副走査方向で僅かに重複するように露光の位置関係が設定されている。   The exposure unit emits the laser beams LB and LB that are set to equal light amounts so that a part of each of the laser beams LB and LB overlaps when the laser beams LB and LB are adjacent in the sub-scanning direction at the exposure position X. As shown in FIG. 5, the positional relationship of the exposure is set so that the area EL to be exposed next overlaps the area EP that has already been exposed on the photographic paper P slightly in the sub-scanning direction. .

前記露光ユニットは、レーザビームLB、LBを送り出す開口部に防塵ガラス11を備えた密封構造となるアルミニウム合金等の軽金属合金のハウジング12の内部にレーザ光線を出射する発光手段と、レーザビームの光量を制御する変調手段と、レーザビームLBを露光位置に導く光学系とを備えている。   The exposure unit includes a light emitting means for emitting a laser beam inside a housing 12 of a light metal alloy such as an aluminum alloy having a sealed structure provided with a dustproof glass 11 at an opening for sending out the laser beams LB, and a light quantity of the laser beam. And an optical system that guides the laser beam LB to the exposure position.

前記発光手段は、R(赤)、G(緑)、B(青)の三原色を構成するようR(赤)のレーザビームLBを出射するよう上下位置に配置した一対のレーザ光源13R−T、13R−Dと、G(緑)のレーザビームLBを出射するよう上下位置に配置した一対のレーザ光源13G−T、13G−Dと、B(青)のレーザビームLBを出射するよう上下に配置した一対のレーザ光源13B−T、13B−Dとを備えている(これらをレーザ光源13と称する)。前記変調手段は、前記レーザ光源13からのレーザビームLBの光量を制御するよう音響光学変換素子で成る赤色用の変調器14R−T、14R−D、緑色用の変調器14G−T、14G−D、青色用の変調器14B−T、14B−Dを備えている(これらを変調器14と称する)。   The light emitting means includes a pair of laser light sources 13R-T arranged at upper and lower positions so as to emit an R (red) laser beam LB so as to constitute three primary colors of R (red), G (green), and B (blue). 13R-D, a pair of laser light sources 13G-T and 13G-D arranged at the upper and lower positions so as to emit the G (green) laser beam LB, and an upper and lower position so as to emit the B (blue) laser beam LB A pair of laser light sources 13B-T and 13B-D (referred to as laser light sources 13). The modulation means includes red modulators 14R-T and 14R-D and green modulators 14G-T and 14G-, which are acousto-optic conversion elements so as to control the light quantity of the laser beam LB from the laser light source 13. D and blue modulators 14B-T and 14B-D are provided (referred to as modulators 14).

前記光学系は、レーザビームLBを反射するよう上下位置に配置した上下一対の赤色用のビームミラー15R−T、15R−Dと、上下一対の緑色用のビームミラー15G−T、15G−Dと、上下一対の青色用のビームミラー15B−T、15B−Dとを備えると共に、これらのビームミラーからのレーザビームLBが導かれるアルミニウム等の軽合金製のポリゴンミラー16と、ポリゴンミラー17で反射されたレーザビームLBを露光位置Xの印画紙Pに導く上下一対のfθレンズ群18T、18Dと、ポリゴンミラー16からのレーザビームLBが走査端に達したタイミングをタイミングミラー19で反射されたレーザビームLBから検出する同期センサ20とを備えている。尚、前記ポリゴンミラー16は縦向き姿勢の軸芯Y周りで回転自在に支持され、駆動信号により同期回転するミラーモータ17からの駆動力によって回転する。   The optical system includes a pair of upper and lower red beam mirrors 15R-T and 15R-D arranged at upper and lower positions so as to reflect the laser beam LB, and a pair of upper and lower green beam mirrors 15G-T and 15G-D. And a pair of upper and lower blue beam mirrors 15B-T and 15B-D, and a polygon mirror 16 made of a light alloy such as aluminum to which the laser beam LB from these beam mirrors is guided, and reflected by the polygon mirror 17. A laser beam reflected by a timing mirror 19 when the laser beam LB from the pair of upper and lower fθ lens groups 18T and 18D for guiding the laser beam LB to the photographic paper P at the exposure position X and the polygon mirror 16 reaches the scanning end. And a synchronization sensor 20 for detecting from the beam LB. The polygon mirror 16 is supported so as to be rotatable around a longitudinally oriented axis Y, and is rotated by a driving force from a mirror motor 17 that rotates in synchronization with a driving signal.

前記R(赤)のレーザ光源13R−T、13R−Dは半導体レーザ型に構成され、前記G(緑)とB(青)とのレーザ光源13G−T、13G−D、13B−T、13B−Dは固体レーザ型に構成されている。   The R (red) laser light sources 13R-T and 13R-D are configured in a semiconductor laser type, and the G (green) and B (blue) laser light sources 13G-T, 13G-D, 13B-T, and 13B. -D is configured as a solid-state laser.

前記ポリゴンミラー16は、前記ミラーモータ17に駆動信号を供給することにより、駆動信号の周波数に対応した回転数で回転する構造のものが使用され、また、図1〜図3に示すように、このポリゴンミラー16は、軸芯Yに沿う方向視で正多角形となる外周面を平坦な鏡面に仕上げることにより複数の上下する位置関係で一対ずつのミラー面16M−T、16M−Dが形成されている。前記fθレンズ群18T、18Dは複数のシリンドリカルレンズで成り、ポリゴンミラー16の回転によって主走査方向に等角度走査(一定の角速度で走査)されるレーザビームLBを、印画紙Pの感光面上で等速走査(一定の線速度で走査)するレーザビームLBに変換するよう機能する。   The polygon mirror 16 has a structure that rotates at a rotational speed corresponding to the frequency of the drive signal by supplying a drive signal to the mirror motor 17, and as shown in FIGS. This polygon mirror 16 is formed into a plurality of pairs of mirror surfaces 16M-T and 16M-D in a plurality of up-and-down positional relationships by finishing the outer peripheral surface, which is a regular polygon when viewed in the direction along the axis Y, into a flat mirror surface. Has been. The fθ lens groups 18T and 18D are composed of a plurality of cylindrical lenses, and a laser beam LB that is scanned equiangularly (scanned at a constant angular velocity) in the main scanning direction by rotation of the polygon mirror 16 on the photosensitive surface of the photographic paper P. It functions to convert to a laser beam LB for constant speed scanning (scanning at a constant linear velocity).

また、レーザビームLB、LBが前記露光位置Xにおいて副走査方向において隣接するように、前記ミラー面16M−T、16M−Dを軸芯Yに対して傾斜する姿勢に形成し、前記一対のfθレンズ群18T、18Dはポリゴンミラー16のミラー面16M−T、16M−Dで反射されたレーザビームLB、LBを直線的に導く位置に配置されている。   Further, the mirror surfaces 16M-T and 16M-D are formed so as to be inclined with respect to the axis Y so that the laser beams LB and LB are adjacent in the sub-scanning direction at the exposure position X, and the pair of fθ The lens groups 18T and 18D are arranged at positions where the laser beams LB and LB reflected by the mirror surfaces 16M-T and 16M-D of the polygon mirror 16 are linearly guided.

赤色のレーザビームLB、LBを送り出す系を例に挙げると、図3に示す如く、この光学系は、上下に位置する一対のレーザ光源13R−T、13RーDからのレーザビームLB、LBを平行姿勢で送り出し、変調器14R−T、14R−Dからビームミラー15R−T、15R−Dで反射させて、平行姿勢のままポリゴンミラー16のミラー面16M−T、16M−Dまで導き、このミラー面16M−T、16M−Dで夫々のレーザビームLB、LBが互いに接近する方向に反射させ、このように反射したレーザビームLB、LBを、前述したようにfθレンズ群18T、18Dから露光位置Xの印画紙Pの感光面上において副走査方向に隣接する位置関係となるように照射して露光を行えるように構成されている(図5を参照)。   Taking a system for sending out red laser beams LB and LB as an example, as shown in FIG. 3, this optical system emits laser beams LB and LB from a pair of upper and lower laser light sources 13R-T and 13R-D. The beams are sent out in a parallel posture, reflected from the modulators 14R-T and 14R-D by the beam mirrors 15R-T and 15R-D, and guided to the mirror surfaces 16M-T and 16M-D of the polygon mirror 16 while maintaining the parallel posture. The respective laser beams LB and LB are reflected by the mirror surfaces 16M-T and 16M-D in a direction approaching each other, and the reflected laser beams LB and LB are exposed from the fθ lens groups 18T and 18D as described above. The exposure is performed by irradiating the photosensitive surface of the photographic paper P at position X so as to be adjacent to each other in the sub-scanning direction (see FIG. 5).

前記赤色用の変調器14R−T、14R−D、緑色用の変調器14G−T、14G−D、青色用の変調器14B−T、14B−Dのうち、同じ色相のレーザビームLBの光量を制御するものは、同じ画像データに基づいて制御されるように構成されている。   Among the red modulators 14R-T and 14R-D, the green modulators 14G-T and 14G-D, and the blue modulators 14B-T and 14B-D, the light amount of the laser beam LB having the same hue. Are controlled based on the same image data.

つまり、図4に示すように、R(赤)、G(緑)、B(青)の三原色に対応した3つの記憶領域に8ビットの濃度データを有するビットマップ構造の画像データを保存するよう半導体メモリ(RAM)で構成された画像データ保存部22を備え、この画像データ保存部22からの画像データが入力する制御装置23を備え、この制御装置23から前記レーザ光源13と、変調器14と、ミラーモータ17とに制御信号を出力する信号系を形成し、更に、前記同期センサ20からの信号を入力する信号系を形成している。尚、制御装置23は、画像データ保存部22に保存された画像データに基づいて変調器14を制御するためにソフトウエア、又は、ハードウエア、又は、これらの組み合わせで成る光量制御手段23Aを備えている。   That is, as shown in FIG. 4, image data having a bitmap structure having 8-bit density data is stored in three storage areas corresponding to the three primary colors R (red), G (green), and B (blue). An image data storage unit 22 composed of a semiconductor memory (RAM) is provided, and a control device 23 to which image data from the image data storage unit 22 is input is provided. From the control device 23, the laser light source 13 and the modulator 14 are provided. And a signal system for outputting a control signal to the mirror motor 17 and a signal system for inputting a signal from the synchronous sensor 20 are formed. The control device 23 includes light amount control means 23A composed of software, hardware, or a combination thereof in order to control the modulator 14 based on the image data stored in the image data storage unit 22. ing.

このような構成から、画像データ保存部22に保存された画像データを印画紙Pに露光する場合には、ミラーモータ17の駆動力でポリゴンミラー16を設定された回線速度で回転させ、この回転と同期した速度で前記搬送モータ1を駆動することによって印画紙Pの搬送を開始し、また、3種のレーザ光源13に電力を供給して発光させる。そして、搬送によって印画紙Pが露光可能な位置に達した際には、画像データ保存部22の3つの記憶領域に保存された画像データから主走査方向に対応したライン状の領域の濃度データを順次読み出し、前記同期センサ20でレーザビームを検出した所定のタイミングで対応する変調器14に転送することによってレーザビームLB、LBの光量の制御を行う。特に、このようにレーザビームLB、LBの光量の制御を行う場合には、R(赤)の濃度データに基づいて一対の変調器14R−T、14R−Dを制御し、G(緑)の濃度データに基づいて一対の変調器14G−T、14G−Dを制御し、B(青)の濃度データに基づいて一対の変調器14B−T、14B−Dを制御することになるので、一対のレーザビームLB、LBの光量を等しく制御する形態で印画紙Pに対して主走査方向に沿ったライン状に露光を行えるのである。   With this configuration, when the image data stored in the image data storage unit 22 is exposed on the photographic paper P, the polygon mirror 16 is rotated at the set line speed by the driving force of the mirror motor 17, and this rotation is performed. The conveyance motor 1 is driven at a speed synchronized with the rotation of the printing paper P to start conveyance, and power is supplied to the three types of laser light sources 13 to emit light. When the photographic paper P reaches a position where exposure can be performed by conveyance, the density data of the line-shaped region corresponding to the main scanning direction is obtained from the image data stored in the three storage regions of the image data storage unit 22. The light amounts of the laser beams LB and LB are controlled by sequentially reading them and transferring them to the corresponding modulators 14 at a predetermined timing when the synchronous sensor 20 detects the laser beams. In particular, when the light amounts of the laser beams LB and LB are controlled in this way, the pair of modulators 14R-T and 14R-D are controlled based on the density data of R (red), and the G (green) The pair of modulators 14G-T and 14G-D are controlled based on the density data, and the pair of modulators 14B-T and 14B-D are controlled based on the density data of B (blue). Thus, the photographic printing paper P can be exposed in a line along the main scanning direction in such a manner that the light amounts of the laser beams LB and LB are equally controlled.

つまり、一対のレーザ光源13から出射したレーザビームLB、LBを対応する一対の変調器14によって同じ画像データに基づいて光量を制御し、光学系によって夫々のレーザビームLB、LBを副走査方向で隣接する位置関係で印画紙Pの感光面に導くことにより主走査方向での解像度を低下させることのない露光を行い、印画紙Pの搬送速度が変動した場合にも、露光領域同士の間にライン状の隙間を形成せず良好な品質の画像を形成できるものにしている。   That is, the light amounts of the laser beams LB and LB emitted from the pair of laser light sources 13 are controlled by the corresponding pair of modulators 14 based on the same image data, and the respective laser beams LB and LB are controlled in the sub scanning direction by the optical system. Even when exposure without reducing the resolution in the main scanning direction is performed by guiding to the photosensitive surface of the photographic paper P in the adjacent positional relationship, and the conveyance speed of the photographic paper P is fluctuated, the exposure area is also in between. It is possible to form a good quality image without forming a line-shaped gap.

〔第2の実施形態〕(この第2の実施形態では前記第1の実施形態と同じ機能を有するものには、第1の実施形態と共通の番号、符号を付している)   [Second Embodiment] (In this second embodiment, components having the same functions as those in the first embodiment are given the same numbers and symbols as those in the first embodiment.)

この第2の実施の形態では、感光材料としての印画紙Pを搬送ユニットで搬送しながら2つのレーザビームLB、LBを主走査方向に走査する形態で露光を行う点については第1の実施形態と変わるものではなく、単一のレーザ光源13からのレーザビームLBから平行姿勢となる2つのレーザビームLB、LBを作り出し、そのレーザビームLB、LBで露光を行うよう構成した点において相違している。   In the second embodiment, the first embodiment is that exposure is performed by scanning the two laser beams LB and LB in the main scanning direction while transporting the photographic paper P as a photosensitive material by the transport unit. The difference is that the two laser beams LB and LB in parallel posture are generated from the laser beam LB from the single laser light source 13 and the exposure is performed with the laser beams LB and LB. Yes.

つまり、図6及び図7に示すように、前記露光ユニットは、レーザビームLB、LBを送り出す開口部に防塵ガラス11を備えた密封構造となるアルミニウム合金等の軽金属合金のハウジング12の内部にレーザ光線を出射する発光手段と、レーザビームの光量を制御する変調手段と、レーザビームLBを露光位置に導く光学系とを備えている。   That is, as shown in FIGS. 6 and 7, the exposure unit has a laser inside a light metal alloy housing 12 such as an aluminum alloy having a sealed structure having a dust-proof glass 11 in an opening for sending out laser beams LB and LB. A light emitting means for emitting a light beam, a modulating means for controlling the light quantity of the laser beam, and an optical system for guiding the laser beam LB to the exposure position are provided.

前記発光手段は、R(赤)、G(緑)、B(青)の三原色を構成するよう、R(赤)のレーザビームLBを出射するレーザ光源13Rと、G(緑)のレーザビームLBを出射するレーザ光源13Gと、B(青)のレーザビームLBを出射するレーザ光源13Bとを備えている(これらをレーザ光源13と称する)。前記変調手段は、前記3つのレーザ光源13からのレーザビームLBの光量を制御するよう音響光学変換素子で成る赤色用の変調器14R、緑色用の変調器14G、青色用の変調器14Bを備えている(これらを変調器14と称する)。   The light emitting means includes a laser light source 13R that emits an R (red) laser beam LB and a G (green) laser beam LB so as to constitute three primary colors of R (red), G (green), and B (blue). And a laser light source 13B that emits a B (blue) laser beam LB (these are referred to as laser light source 13). The modulation means includes a red modulator 14R, a green modulator 14G, and a blue modulator 14B, which are acousto-optic conversion elements so as to control the amount of laser beams LB from the three laser light sources 13. (These are referred to as modulators 14).

前記光学系は、前記変調器14からのレーザビームLBから2つのレーザビームLB、LBを作り出し、かつ、夫々のレーザビームLB、LBが隣接する平行姿勢で送り出すビーム変換器Aと、赤色用のビームミラー15R、緑色用のビームミラー15G、青色用のビームミラー15Bを備え、更に、ビームミラーからのレーザビームLBが導かれるアルミニウム等の軽合金製のポリゴンミラー16と、ポリゴンミラー17で反射されたレーザビームLBを露光位置Xの印画紙Pに導くfθレンズ群18と、ポリゴンミラー16からのレーザビームLBが走査端に達したタイミングをタイミングミラー19で反射されたレーザビームLBから検出する同期センサ20とを備えている。尚、前記ポリゴンミラー16は縦向き姿勢の軸芯Y周りで回転自在に支持され、駆動信号により同期回転するミラーモータ17からの駆動力によって回転する。   The optical system generates two laser beams LB and LB from the laser beam LB from the modulator 14, and sends out the laser beams LB and LB in an adjacent parallel posture. A beam mirror 15R, a green beam mirror 15G, and a blue beam mirror 15B are provided, and further reflected by a polygon mirror 16 made of a light alloy such as aluminum to which the laser beam LB from the beam mirror is guided, and the polygon mirror 17. The fθ lens group 18 that guides the laser beam LB to the photographic paper P at the exposure position X, and the synchronization in which the timing at which the laser beam LB from the polygon mirror 16 reaches the scanning end is detected from the laser beam LB reflected by the timing mirror 19. And a sensor 20. The polygon mirror 16 is supported so as to be rotatable around a longitudinally oriented axis Y, and is rotated by a driving force from a mirror motor 17 that rotates in synchronization with a driving signal.

前記ビーム変換器Aは、主光路LMに沿って送られる1つのレーザビームLBを分岐させる1つのビームスプリッタ31と、分岐したレーザビームLBを反射する2つの全反射ミラー32と、の全反射ミラー32で主光路MLの方向に戻されたレーザビームLBを主光路LMと平行姿勢で送り出すハーフミラー33とで構成されている。また、ハーフミラー33で反射することにより主光路LMと平行姿勢で送り出されるレーザビームLBの光路を副光路LSと称する。尚、前記R(赤)のレーザ光源13Rは半導体レーザ型に構成され、前記G(緑)とB(青)とのレーザ光源13G、13Bは固体レーザ型に構成されている。   The beam converter A is a total reflection mirror including one beam splitter 31 that branches one laser beam LB sent along the main optical path LM and two total reflection mirrors 32 that reflect the branched laser beam LB. The half mirror 33 is configured to send the laser beam LB returned in the direction of the main optical path ML in 32 in a posture parallel to the main optical path LM. The optical path of the laser beam LB that is reflected by the half mirror 33 and sent out in a posture parallel to the main optical path LM is referred to as a sub optical path LS. The R (red) laser light source 13R is configured as a semiconductor laser type, and the G (green) and B (blue) laser light sources 13G and 13B are configured as a solid-state laser type.

前記ポリゴンミラー16は、前記ミラーモータ17に駆動信号を供給することにより、駆動信号の周波数に対応した回転数で回転する構造のものが使用され、また、図6及び図8に示すように、このポリゴンミラー16は、軸芯Yに沿う方向視で正多角形となる外周面を平坦な鏡面に仕上げることにより複数のミラー面16Mが形成されている。前記fθレンズ群18は複数のシリンドリカルレンズで成り、ポリゴンミラー16の回転によって主走査方向に等角度走査(一定の角速度で走査)されるレーザビームLBを、印画紙Pの感光面上で等速走査(一定の線速度で走査)するレーザビームLBに変換するよう機能する。   The polygon mirror 16 has a structure that rotates at a rotational speed corresponding to the frequency of the drive signal by supplying a drive signal to the mirror motor 17, and as shown in FIGS. The polygon mirror 16 is formed with a plurality of mirror surfaces 16M by finishing the outer peripheral surface, which is a regular polygon when viewed in the direction along the axis Y, into a flat mirror surface. The fθ lens group 18 is composed of a plurality of cylindrical lenses, and a laser beam LB that is equiangularly scanned (scanned at a constant angular velocity) in the main scanning direction by the rotation of the polygon mirror 16 is applied to the photosensitive surface of the photographic paper P at a constant velocity. It functions to convert to a laser beam LB that scans (scans at a constant linear velocity).

この光学系では、レーザ光源13からのレーザビームLBをビーム変換器Aによって平行姿勢となる一対のレーザビームLB、LBに変換し(主光路LMと副光路LSに送られるレーザビームLB)、この一対のレーザビームLB、LBをポリゴンミラー16のミラー面16Mで反射した後、露光位置Xの印画紙Pの感光面上に導くことにより、この印画紙Pの感光面おいて副走査方向に隣接する位置関係で露光を行うものとなっている。具体的には第1の実施形態において図5を参照して説明したように、2つのレーザビームLB、LBが副走査方向に隣接する位置関係に設定され、印画紙Pに対して既に露光された領域EPに対して、次に露光される領域ELが副走査方向で僅かに重複するように露光の位置関係が設定されている。   In this optical system, the laser beam LB from the laser light source 13 is converted into a pair of laser beams LB and LB in a parallel posture by the beam converter A (laser beam LB sent to the main optical path LM and the sub optical path LS). The pair of laser beams LB and LB are reflected by the mirror surface 16M of the polygon mirror 16 and then guided onto the photosensitive surface of the photographic paper P at the exposure position X, so that the photosensitive surface of the photographic paper P is adjacent in the sub-scanning direction. The exposure is performed according to the positional relationship. Specifically, as described with reference to FIG. 5 in the first embodiment, the two laser beams LB and LB are set in a positional relationship adjacent to each other in the sub-scanning direction, and the photographic paper P is already exposed. The exposure positional relationship is set so that the area EL to be exposed next overlaps slightly in the sub-scanning direction with respect to the area EP.

このような構成から、露光処理を行う際には、1フレームを構成するR(赤)、G(緑)、B(青)の三原色の画像データを、半導体メモリ(RAM)に形成された3つの記憶領域に対して8ビットの濃度データを有するビットマップ構造として展開する処理を予め行った後に、ミラーモータ17の駆動力でポリゴンミラー16を設定された回転速度で回転させ、この回転と同期した速度で前記搬送モータ1を駆動することによって印画紙Pの搬送を開始し、3種のレーザ光源13に電力を供給して発光させる。そして、この搬送によって印画紙Pが露光可能な位置に達した際には、前記同期センサ20でレーザビームを検出した所定のタイミングでR(赤)、G(緑)、B(青)夫々の画像データから、画像データの先頭に位置するライン状の領域の濃度データを順次読み出し、この濃度データに基づいてR(赤)の濃度データに基づいて変調器14Rを制御し、G(緑)の濃度データに基づいて変調器14Gを制御し、B(青)の濃度データに基づいて変調器14Bを制御することにより、レーザビームLB、LBの光量を制御する形態で印画紙Pに対して主走査方向に沿ったライン状に露光を行うものとなる。   With this configuration, when performing the exposure process, image data of the three primary colors R (red), G (green), and B (blue) constituting one frame is formed in the semiconductor memory (RAM) 3. After a process of developing a bitmap structure having 8-bit density data for one storage area is performed in advance, the polygon mirror 16 is rotated at a set rotational speed by the driving force of the mirror motor 17 and is synchronized with this rotation. By driving the transport motor 1 at the speed, the transport of the photographic paper P is started, and power is supplied to the three types of laser light sources 13 to emit light. When the photographic paper P reaches a position where it can be exposed by this conveyance, each of R (red), G (green), and B (blue) is detected at a predetermined timing when the synchronous sensor 20 detects the laser beam. From the image data, the density data of the line-shaped region located at the head of the image data is sequentially read out, and the modulator 14R is controlled based on the density data of R (red) based on the density data, and the G (green) The modulator 14G is controlled based on the density data, and the modulator 14B is controlled based on the B (blue) density data, thereby controlling the light amounts of the laser beams LB and LB with respect to the photographic paper P. The exposure is performed in a line shape along the scanning direction.

つまり、単一のレーザ光源13から出射したレーザビームLBを変調器14で光量を制御した後にビーム変換器Aで一対のレーザビームLB、LBを作り出して送り出し、光学系によって副走査方向で隣接する位置関係で印画紙Pの感光面に導くので、主走査方向での解像度を低下させることのない露光を行い、印画紙Pの搬送速度が変動した場合にも、露光領域同士の間にライン状の隙間を形成せず良好な品質の画像を形成できるものにしているのである。特に、この露光装置では、ビーム変換器Aを備えるだけで、従来からの露光装置の大きく変更しなくて済むばかりか、良好な品質の画像を形成できるものとなっている。   That is, the light amount of the laser beam LB emitted from the single laser light source 13 is controlled by the modulator 14, the beam converter A generates a pair of laser beams LB and LB, and the laser beam LB is adjacent in the sub scanning direction by the optical system. Since it is guided to the photosensitive surface of the photographic paper P due to the positional relationship, even if exposure without reducing the resolution in the main scanning direction is performed and the conveyance speed of the photographic paper P fluctuates, a linear pattern is formed between the exposed areas. Thus, a good quality image can be formed without forming a gap. In particular, in this exposure apparatus, only by providing the beam converter A, it is possible not only to change the conventional exposure apparatus largely, but also to form a good quality image.

〔別実施の形態〕
本発明は、上記した実施の形態以外に以下のように構成しても良い(この別実施の形態では前記実施の形態と同じ機能を有するものには、実施の形態と共通の番号、符号を付している)。
[Another embodiment]
In addition to the above-described embodiment, the present invention may be configured as follows (in this another embodiment, the same number and code as those of the embodiment are given to those having the same functions as those of the above embodiment). Attached).

(イ)3つ以上のレーザビームLBを用いて露光を行うように構成しても良い。 (A) The exposure may be performed using three or more laser beams LB.

(ロ)第1の実施形態については、一対のビームミラーの姿勢の設定によって一対のレーザビームLB、LBを露光位置Xにおいて副走査方向で隣接する位置関係に照射することも可能であるため、ポリゴンミラーのミラー面を傾斜姿勢に形成しない構成を採用しても良い。また、一対のレーザ光源13、13から印画紙Pに到る光軸のうちの少なくとも一方の角度設定により、ビームミラーの姿勢の設定や、ポリゴンミラーのミラー面を傾斜姿勢に形成しない構成を採用することも可能である。 (B) In the first embodiment, the pair of laser beams LB and LB can be irradiated in the sub-scanning direction adjacent to each other at the exposure position X by setting the postures of the pair of beam mirrors. A configuration in which the mirror surface of the polygon mirror is not formed in an inclined posture may be employed. In addition, by setting the angle of at least one of the optical axes from the pair of laser light sources 13 and 13 to the photographic paper P, a configuration is adopted in which the posture of the beam mirror is not set and the mirror surface of the polygon mirror is not formed in an inclined posture. It is also possible to do.

(ハ)第1の実施形態では、2つのレーザビームによって同じ画像データを同じタイミングで露光していたが、図9に示すように、2つのレーザビームが印画紙Pを露光するタイミングに差を作り出すように露光を行うことも可能である。 (C) In the first embodiment, the same image data is exposed by the two laser beams at the same timing. However, as shown in FIG. 9, the timing at which the two laser beams expose the photographic paper P is different. It is also possible to perform exposure so as to produce.

第1の実施形態の露光ユニットの構造を模式的に示す平面図The top view which shows typically the structure of the exposure unit of 1st Embodiment 第1の実施形態の露光ユニットの構造を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the exposure unit of 1st Embodiment 第1の実施形態のレーザビームの経路を模式的に示す側面図1 is a side view schematically showing a path of a laser beam according to a first embodiment. 第1の実施形態の露光制御系を示すブロック図The block diagram which shows the exposure control system of 1st Embodiment 第1の実施形態のレーザビームによる露光形態を示す図The figure which shows the exposure form by the laser beam of 1st Embodiment 第2の実施形態の露光ユニットの構造を模式的に示す平面図The top view which shows typically the structure of the exposure unit of 2nd Embodiment 第2の実施形態のビーム変換器の構造を示す図The figure which shows the structure of the beam converter of 2nd Embodiment. 第2の実施形態の露光ユニットの構造を示す斜視図The perspective view which shows the structure of the exposure unit of 2nd Embodiment. 別実施の形態(ハ)の露光形態を示す図The figure which shows the exposure form of another embodiment (c)

符号の説明Explanation of symbols

13 発光手段・レーザ光源
14 変調器
16 ポリゴンミラー
16MT、16MD ミラー面
23A 光量制御手段
31 ビームスプリッタ
32、33 ミラー
A ビーム変換器
P 感光材料
LB レーザビーム
LM 主光路
13 Light emitting means / laser light source 14 Modulator 16 Polygon mirror 16MT, 16MD Mirror surface 23A Light quantity control means 31 Beam splitter 32, 33 Mirror A Beam converter P Photosensitive material LB Laser beam LM Main optical path

Claims (4)

発光手段からのレーザビームを回転型のポリゴンミラーで反射させて主走査方向に走査することにより、副搬送方向に搬送される感光材料に露光を行う露光装置であって、
前記発光手段が、レーザビームを出射する複数のレーザ光源で構成され、この複数のレーザ光源からのレーザビームの光量を独立して制御する変調器を備えると共に、夫々の変調器で光量が制御された複数のレーザビームを前記感光材料に対し副走査方向に隣接する位置関係で照射する光学系を備え、この隣接する位置関係で照射する複数のレーザビームの光量を制御する複数の前記変調器を同じ画像データで制御する光量制御手段を備えている露光装置。
An exposure apparatus that exposes a photosensitive material conveyed in a sub-conveying direction by reflecting a laser beam from a light emitting means on a rotary polygon mirror and scanning in a main scanning direction,
The light emitting means includes a plurality of laser light sources that emit laser beams, and includes a modulator that independently controls the light amount of the laser beams from the plurality of laser light sources, and the light amount is controlled by each modulator. An optical system for irradiating the photosensitive material with a positional relationship adjacent to the photosensitive material in the sub-scanning direction, and a plurality of modulators for controlling the light amounts of the plurality of laser beams irradiated with the adjacent positional relationship. An exposure apparatus comprising a light amount control means for controlling with the same image data.
R(赤)・G(緑)・B(青)の三原色の3種の光源に対応して前記レーザ光源を一対ずつ備えると共に、前記光学系が、一対のレーザ光源から平行姿勢で送り出されるレーザビームを前記感光材料の感光面において副走査方向で隣接する位置関係に導くよう姿勢を設定したミラー面を具備する前記ポリゴンミラーを備えて構成している請求項1記載の露光装置。   A pair of laser light sources corresponding to three light sources of three primary colors of R (red), G (green), and B (blue), and the optical system sent out in parallel from the pair of laser light sources 2. An exposure apparatus according to claim 1, further comprising: the polygon mirror having a mirror surface set in a posture so as to guide a beam to a positional relationship adjacent to each other in the sub-scanning direction on the photosensitive surface of the photosensitive material. 発光手段からのレーザビームを回転型のポリゴンミラーで反射させて主走査方向に走査することにより、副搬送方向に搬送される感光材料に露光を行う露光装置であって、
前記発光手段が、レーザビームを出射するレーザ光源で構成され、このレーザ光源からのレーザビームの光量を制御する変調器を備えると共に、この変調器からのレーザビームから複数のレーザビームを作り出し、かつ、夫々のレーザビームが隣接する平行姿勢で送り出すビーム変換器を備え、このビーム変換器から送り出された一対のレーザビームの隣接方向を副走査方向に設定する光学系を備えている露光装置。
An exposure apparatus that exposes a photosensitive material conveyed in a sub-conveying direction by reflecting a laser beam from a light emitting means on a rotary polygon mirror and scanning in a main scanning direction,
The light emitting means is composed of a laser light source that emits a laser beam, and includes a modulator that controls the amount of the laser beam from the laser light source, and generates a plurality of laser beams from the laser beam from the modulator; and An exposure apparatus comprising a beam converter that sends out each laser beam in an adjacent parallel posture, and an optical system that sets the adjacent direction of the pair of laser beams sent out from the beam converter as a sub-scanning direction.
前記ビーム変換器が、主光路に沿って送り出されるレーザビームを分岐させるビームスプリッタを備えると共に、このビームスプリッタで分岐したレーザビームを前記主光路と平行姿勢で隣接する一対のレーザビームとして送り出すミラー又はプリズムを備えて構成されている請求項3記載の露光装置。   The beam converter includes a beam splitter that branches a laser beam sent out along a main optical path, and a mirror that sends out the laser beam branched by the beam splitter as a pair of laser beams adjacent to the main optical path in a posture parallel to the main optical path, or The exposure apparatus according to claim 3, comprising a prism.
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