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JP2005259517A - Display device - Google Patents

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JP2005259517A
JP2005259517A JP2004069429A JP2004069429A JP2005259517A JP 2005259517 A JP2005259517 A JP 2005259517A JP 2004069429 A JP2004069429 A JP 2004069429A JP 2004069429 A JP2004069429 A JP 2004069429A JP 2005259517 A JP2005259517 A JP 2005259517A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
electron
display device
substrate
sealing portion
Prior art date
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Pending
Application number
JP2004069429A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Yokota
昌広 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2004069429A priority Critical patent/JP2005259517A/en
Publication of JP2005259517A publication Critical patent/JP2005259517A/en
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Abstract

【課題】この発明は、安価な構成により輝度斑を効果的に抑制できる表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】SEDは、蛍光体層を有する前面基板10、電子放出素子を有する背面基板12、および基板の周縁部を封着する側壁14を有し、内部を真空にした真空外囲器を有する。複数の電子放出素子を接続したマトリックス状の配線21は、画像表示領域内を延びた第1部分41、および画像表示領域から外れた第2部分42からなる。第1部分41は、金属ペーストの印刷により形成され、電気抵抗が100[Ω/m]以下に設定されており、輝度斑を抑制している。第2部分42は、金属材料の成膜により緻密に形成され、封着部のシール性を確保して信頼性を高めている。
【選択図】 図5
An object of the present invention is to provide a display device capable of effectively suppressing luminance unevenness with an inexpensive configuration.
A SED includes a front substrate 10 having a phosphor layer, a rear substrate 12 having an electron-emitting device, and a side wall 14 for sealing a peripheral portion of the substrate, and a vacuum envelope having a vacuum inside. Have. A matrix-like wiring 21 connecting a plurality of electron-emitting devices includes a first portion 41 extending in the image display area and a second portion 42 outside the image display area. The first portion 41 is formed by printing a metal paste, and the electric resistance is set to 100 [Ω / m] or less, thereby suppressing luminance unevenness. The second portion 42 is densely formed by depositing a metal material, ensuring the sealing performance of the sealing portion and improving the reliability.
[Selection] Figure 5

Description

この発明は、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有し、背面基板に設けた電子放出素子から電子を放出させて前面基板に設けた蛍光体層を励起発光させることによりカラー画像を表示する表示装置に関する。   The present invention has a flat envelope having a flat panel structure, and emits electrons from an electron-emitting device provided on a back substrate to display a color image by exciting and emitting a phosphor layer provided on the front substrate. The present invention relates to a display device.

近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、フィールドエミッションディスプレイ(FED)や、プラズマディスプレイ(PDP)等が知られている。また、FEDの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置(以下、SEDと称する)の開発が進められている。   In recent years, field emission displays (FEDs), plasma displays (PDPs), and the like are known as display devices having a vacuum envelope with a flat flat panel structure. In addition, as a kind of FED, a display device (hereinafter referred to as SED) including a surface conduction electron-emitting device has been developed.

SEDは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされて偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。   The SED has a front substrate and a rear substrate that are opposed to each other with a predetermined gap. These substrates are joined to each other at peripheral edges via rectangular frame-shaped side walls, and the inside is evacuated to form a flat envelope having a flat panel structure.

前面基板の内面には3色の蛍光体層が形成され、背面基板の内面には、蛍光体層を励起発光させる電子の放出源として、画素毎に対応する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の内面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。   A phosphor layer of three colors is formed on the inner surface of the front substrate, and on the inner surface of the rear substrate, a large number of electron-emitting devices corresponding to each pixel are arranged as an electron emission source for exciting and emitting the phosphor layer. ing. A large number of wires for driving the electron-emitting devices are provided in a matrix on the inner surface of the rear substrate, and the end portions are drawn out of the vacuum envelope.

前面基板と背面基板の間には板状のグリッドが配設されている。このグリッドには、電子放出素子に対して整列した位置関係で多数のビーム通過孔が形成されているとともに、前面基板および背面基板の内面に当接することで基板間の隙間を維持するための複数の柱状のスペーサが設けられている。   A plate-like grid is disposed between the front substrate and the rear substrate. In this grid, a plurality of beam passage holes are formed in a positional relationship aligned with the electron-emitting devices, and a plurality of holes for maintaining a gap between the substrates by contacting the inner surfaces of the front substrate and the rear substrate. Columnar spacers are provided.

このSEDを動作させる場合、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧が印加される。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、グリッドの対応するビーム通過孔を通って対応する蛍光体層に照射され、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている。   When this SED is operated, a drive voltage is selectively applied to each electron-emitting device via a drive circuit connected to the wiring. Thereby, an electron beam is selectively emitted from each electron-emitting device, and these electron beams are irradiated to the corresponding phosphor layer through the corresponding beam passage hole of the grid, and the phosphor layer is excited and emitted. An image is displayed.

このSEDにおいて、電子放出素子から蛍光体層に照射される電子は、電子放出素子間を流れるごく一部の電子に過ぎず、画像表示に十分な電子ビーム照射を行うためには、1〜10mA程度の大きな電流を配線に流す必要がある。このため、配線部では配線抵抗と上述の大きな電流により電圧降下が発生し、電圧降下に起因した輝度斑が生じる。このため、SEDの配線は、抵抗を小さくするため、厚膜の印刷ペースト配線で形成していた。しかしながら、このようなペースト配線では、厚膜で多孔質なため、封着部の気密性を維持することが難しく、また駆動回路への接続部の耐久性も劣化する問題があった。   In this SED, the electrons emitted from the electron-emitting device to the phosphor layer are only a few electrons flowing between the electron-emitting devices. In order to perform electron beam irradiation sufficient for image display, 1 to 10 mA. It is necessary to pass a large current through the wiring. For this reason, in the wiring part, a voltage drop occurs due to the wiring resistance and the above-described large current, and luminance spots due to the voltage drop occur. For this reason, the SED wiring is formed by a thick print paste wiring in order to reduce the resistance. However, since such paste wiring is thick and porous, it is difficult to maintain the hermeticity of the sealing portion, and the durability of the connection portion to the drive circuit is also deteriorated.

この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、安価な構成により輝度斑を抑制しつつ信頼性を確保した表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a display device that ensures reliability while suppressing luminance unevenness with an inexpensive configuration.

上記目的を達成するため、本発明の表示装置は、互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有し、上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記第1部分に続く上記封着部の配線と上記封着部より外側の配線のうち少なくとも上記封着部の配線が金属材料の成膜により形成されていることを特徴とする
上記発明によると、画像表示領域内の配線の第1部分の電気抵抗を十分に低くでき、少なくとも画像表示領域に延設された配線部分における電圧降下を所望する程度に低く押えることができ、電圧降下に起因した輝度斑を効果的に抑制できる。また、封着部の配線と封着部より外側の配線のうち少なくとも封着部の配線を第1部分を延長して形成するのではなく金属材料の成膜により形成したため、少なくとも封着部の配線を第1部分と比較して薄く緻密な構造にでき、信頼性の高い封着を実現できる。また、封着部より外側の配線を緻密な構造とすることにより、この配線部分に異方性導電膜を介して駆動回路を圧着する際の信頼性を高めることができる。
In order to achieve the above object, a display device of the present invention includes a back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices respectively provided at intersections thereof, and the back substrate And a front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices. And the electrical resistance of the first portion provided in the image display region inside the sealing portion of the rear substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wiring formed in the matrix shape Is 100 [Ω / m] or less, and at least the wiring of the sealing portion following the first portion and the wiring outside the sealing portion are formed by film formation of a metal material. ing According to the above invention, the electrical resistance of the first portion of the wiring in the image display area can be sufficiently reduced, and at least the voltage drop in the wiring portion extending in the image display area can be suppressed to a desired level. And luminance spots caused by voltage drop can be effectively suppressed. Further, since the wiring of the sealing part and the wiring outside the sealing part are formed not by extending the first portion but by forming a metal material, at least the wiring of the sealing part is formed. The wiring can be made thinner and denser than the first part, and a highly reliable sealing can be realized. Further, by forming the wiring outside the sealing portion with a dense structure, it is possible to increase the reliability when the driving circuit is pressure-bonded to the wiring portion via the anisotropic conductive film.

また、本発明の表示装置は、互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有し、上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記画像表示領域から外れた上記第1部分より外側の第2部分が金属材料の成膜により形成されていることを特徴とする。   Further, the display device of the present invention includes a back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices provided at intersections thereof, and spaced apart from the back substrate. A vacuum envelope comprising: a front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices; The electrical resistance of the first portion provided in the image display area inside the sealing portion of the back substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wirings formed in a matrix is 100 [Ω / m] or less, and the second portion outside the first portion outside the image display area is formed by film formation of a metal material.

更に、本発明の表示装置は、互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有し、上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記画像表示領域から外れた上記第1部分より外側の第2部分が上記第1部分と異なる材料によって上記第1部分より薄く形成されていることを特徴とする。   Further, the display device of the present invention includes a back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices provided at intersections thereof, and a back substrate spaced apart from the back substrate. A vacuum envelope comprising: a front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices; The electrical resistance of the first portion provided in the image display area inside the sealing portion of the back substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wirings formed in a matrix is 100 [Ω / m] or less, and the second portion outside the first portion outside the image display region is formed thinner than the first portion by a material different from the first portion.

この発明の表示装置は、上記のような構成および作用を有しているので、安価な構成により輝度斑を抑制しつつ信頼性を確保できる。   Since the display device of the present invention has the above-described configuration and operation, reliability can be ensured while suppressing luminance unevenness with an inexpensive configuration.

以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。始めに、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、SEDについて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, an SED will be described as an example of a display device according to an embodiment of the present invention.

図1ないし図3に示すように、SED1は、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板10および背面基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対向配置されている。そして、前面基板10および背面基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁14を介して周縁部同志が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器15を構成している。   As shown in FIGS. 1 to 3, the SED 1 includes a front substrate 10 and a rear substrate 12 each made of a rectangular glass plate, and these substrates are arranged to face each other with a gap of about 1.0 to 2.0 mm. Has been. The front substrate 10 and the rear substrate 12 are joined together via a rectangular frame-shaped side wall 14 made of glass, and constitute a vacuum envelope 15 having a flat flat panel structure with a vacuum inside. .

前面基板10の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、青、緑の蛍光体層R、G、B、および遮光層11を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム等からなるメタルバック17が形成されている。   A phosphor screen 16 that functions as an image display surface is formed on the inner surface of the front substrate 10. The phosphor screen 16 is configured by arranging red, blue, and green phosphor layers R, G, and B, and a light shielding layer 11, and these phosphor layers are formed in stripes or dots. A metal back 17 made of aluminum or the like is formed on the phosphor screen 16.

背面基板12の内面には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起発光させるための電子を放出する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板12の内面上には、各電子放出素子18に駆動電圧を与えるための多数本の配線21がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器15の外部に引き出されている。   On the inner surface of the rear substrate 12, a number of surface-conduction electron-emitting elements 18 that emit electron beams are provided as electron emission sources that emit electrons for exciting and emitting the phosphor layer of the phosphor screen 16. ing. These electron-emitting devices 18 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to each pixel. Each electron-emitting device 18 includes an electron emitting portion (not shown) and a pair of device electrodes for applying a voltage to the electron emitting portion. Further, on the inner surface of the back substrate 12, a large number of wirings 21 for applying a driving voltage to the respective electron-emitting devices 18 are provided in a matrix shape, and end portions thereof are drawn out of the vacuum envelope 15. Yes.

接合部材として機能する側壁14は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材20により、前面基板10の周縁部および背面基板12の周縁部に封着され、これらの基板同志を接合している。本実施の形態では、背面基板12と側壁14をフリットガラスを用いて接合し、前面基板10と側壁14をインジウムを用いて接合した。もし、配線21のある背面基板12と側壁14の間を低融点金属で封着する場合は、配線21と封着材20の電気ショートを避けるため、中間層として絶縁層を設けている。   The side wall 14 functioning as a bonding member is sealed to the peripheral edge of the front substrate 10 and the peripheral edge of the rear substrate 12 by, for example, a sealing material 20 such as low melting glass or low melting metal, and these substrates are joined together. doing. In the present embodiment, the back substrate 12 and the side wall 14 are bonded using frit glass, and the front substrate 10 and the side wall 14 are bonded using indium. If the space between the back substrate 12 where the wiring 21 is located and the side wall 14 is sealed with a low melting point metal, an insulating layer is provided as an intermediate layer in order to avoid an electrical short between the wiring 21 and the sealing material 20.

図2ないし図4に示すように、SED1は、前面基板10と背面基板12の間に配設されたスペーサ構体22を備えている。本実施の形態において、スペーサ構体22は、矩形状の金属板からなるグリッド24と、グリッドの両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサ30と、で構成されている。   As shown in FIGS. 2 to 4, the SED 1 includes a spacer structure 22 disposed between the front substrate 10 and the rear substrate 12. In the present embodiment, the spacer structure 22 is composed of a grid 24 made of a rectangular metal plate, and a large number of columnar spacers 30 standing integrally on both sides of the grid.

グリッド24は、前面基板10の内面と対向した第1表面24aおよび背面基板12の内面と対向した第2表面24bを有し、これらの基板と平行に配置されている。そして、グリッド24には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔26が形成されている。電子ビーム通過孔26は、それぞれ電子放出素子18と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを通過させる。   The grid 24 has a first surface 24 a that faces the inner surface of the front substrate 10 and a second surface 24 b that faces the inner surface of the rear substrate 12, and is arranged in parallel with these substrates. A large number of electron beam passage holes 26 are formed in the grid 24 by etching or the like. The electron beam passage apertures 26 are respectively arranged to face the electron emission elements 18 and allow the electron beams emitted from the electron emission elements to pass therethrough.

グリッド24の第1表面24a上には、隣接する電子ビーム通過孔26間に位置して第1スペーサ30aが一体的に立設されている。第1スペーサ30aの延出端は、メタルバック17、および蛍光体スクリーン16の遮光層11を介して前面基板10の内面に当接している。また、グリッド24の第2表面24b上には、隣接する電子ビーム通過孔26間に位置して第2スペーサ30bが一体的に立設されている。第2スペーサ30bの延出端は、背面基板12の内面上に設けられた配線21上に当接している。   On the first surface 24 a of the grid 24, a first spacer 30 a is integrally provided so as to be positioned between adjacent electron beam passage holes 26. The extending end of the first spacer 30 a is in contact with the inner surface of the front substrate 10 via the metal back 17 and the light shielding layer 11 of the phosphor screen 16. Further, on the second surface 24 b of the grid 24, a second spacer 30 b is integrally provided so as to be positioned between the adjacent electron beam passage holes 26. The extending end of the second spacer 30 b is in contact with the wiring 21 provided on the inner surface of the back substrate 12.

上記のように構成されたスペーサ構体22は、前面基板10および背面基板12間に配設され、第1および第2スペーサ30a、30bを前面基板10および背面基板12の内面にそれぞれ当接せしめることにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。   The spacer structure 22 configured as described above is disposed between the front substrate 10 and the rear substrate 12, and the first and second spacers 30a and 30b are brought into contact with the inner surfaces of the front substrate 10 and the rear substrate 12, respectively. Thus, the atmospheric pressure load acting on these substrates is supported, and the interval between the substrates is maintained at a predetermined value.

また、SED1は、グリッド24および前面基板10のメタルバック17に電圧を印加する図示しない電圧供給部を備え、例えば、グリッド24に12kV、メタルバック17に10kVの電圧が印加される。   The SED 1 includes a voltage supply unit (not shown) that applies a voltage to the grid 24 and the metal back 17 of the front substrate 10. For example, a voltage of 12 kV is applied to the grid 24 and a voltage of 10 kV is applied to the metal back 17.

そして、上記SED1において、画像を表示する場合、配線21を介して電子放出素子18の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子18の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、蛍光体スクリーン16およびメタルバック17にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、グリッド24の電子ビーム通過孔26を通った後、蛍光体スクリーン16に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン16の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。   In the SED 1, when displaying an image, a voltage is applied between the device electrodes of the electron-emitting device 18 through the wiring 21 to emit an electron beam from the electron-emitting portion of the arbitrary electron-emitting device 18, and phosphor An anode voltage is applied to the screen 16 and the metal back 17. The electron beam emitted from the electron emission portion is accelerated by the anode voltage, passes through the electron beam passage hole 26 of the grid 24, and then collides with the phosphor screen 16. As a result, the phosphor layer of the phosphor screen 16 is excited to emit light and display an image.

上記構造のSED1を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン16およびメタルバック17の設けられた前面基板10と、電子放出素子18および配線21が設けられているとともに側壁14が接合された背面基板12と、を用意しておく。また、グリッド24に多数のスペーサ30a、30bを設けたスペーサ構体22を用意しておく。   When manufacturing the SED 1 having the above structure, the front substrate 10 provided with the phosphor screen 16 and the metal back 17, the back substrate 12 provided with the electron-emitting devices 18 and the wirings 21, and the side walls 14 are bonded in advance. And prepare. In addition, a spacer structure 22 in which a large number of spacers 30a and 30b are provided on the grid 24 is prepared.

そして、スペーサ構体22を背面基板12上に位置決め配置する。この状態で、前面基板10、背面基板12、およびスペーサ構体22を図示しない真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁14を介して前面基板を背面基板に接合する。これにより、スペーサ構体22を備えたSED1が製造される。   Then, the spacer structure 22 is positioned on the back substrate 12. In this state, the front substrate 10, the rear substrate 12, and the spacer structure 22 are arranged in a vacuum chamber (not shown), the inside of the vacuum chamber is evacuated, and then the front substrate is bonded to the rear substrate via the side wall 14. Thereby, SED1 provided with the spacer structure 22 is manufactured.

上述したSED1においては、電子放出素子18から放出されるごく一部の電子が蛍光体スクリーン16に照射され、大部分はそのまま配線21を流れる。このため、配線21(特に線順次走査を行う走査配線)では多大な電流が流れることとなり、配線21の電気抵抗に基づく電圧降下に起因した輝度斑の問題が顕著となる。つまり、駆動ドライバから遠くなる領域(画面中央)ほど電圧降下により十分な電圧を与えることができなくなり、電子の放出量が少なくなり、蛍光体層R、G、Bに照射する電子が少なくなり、蛍光体層の輝度が低下する。このような輝度斑を防止するため、本実施の形態では、配線21を厚膜の印刷ペーストで形成し、電気抵抗を十分に低くして配線21の電圧降下を抑制するようにした。このように厚膜の低抵抗配線を形成する場合、理想的には緻密な金属で形成することが望ましいが、このような配線では基板(一般的にはガラスであり金属より熱膨張係数が低い)との熱膨張係数差により製造時に剥離断線などの不具合を生じる。このため、フリットガラスと金属粉を溶媒で混ぜ合わせたペーストを用い、基板と金属粉をフリットガラスで固着させる形態としている。このような形態の配線であれば、5μm以上の厚膜配線を形成することができ、配線抵抗を100[Ω/m]以下にすることができる。特に、SED1は、他のFEDやPDPなどの表示パネルと比較して、配線21に1〜10[mA]程度の大きな電流が流れるため、上述の配線形態により電圧降下を0.1〜1V以下に抑制することができる。   In the SED 1 described above, a very small amount of electrons emitted from the electron-emitting device 18 are irradiated on the phosphor screen 16, and most of them flow through the wiring 21 as they are. For this reason, a great amount of current flows in the wiring 21 (especially scanning wiring that performs line sequential scanning), and the problem of unevenness in brightness due to a voltage drop based on the electrical resistance of the wiring 21 becomes significant. In other words, a region farther from the drive driver (the center of the screen) cannot provide a sufficient voltage due to a voltage drop, the amount of emitted electrons is reduced, and electrons that irradiate the phosphor layers R, G, and B are reduced. The brightness of the phosphor layer decreases. In order to prevent such brightness unevenness, in this embodiment, the wiring 21 is formed of a thick print paste, and the electric resistance is sufficiently lowered to suppress the voltage drop of the wiring 21. When forming a low-resistance wiring with a thick film in this way, it is ideally formed with a dense metal. However, with such a wiring, a substrate (generally glass and having a lower thermal expansion coefficient than that of metal). ) And the thermal expansion coefficient difference causes problems such as peeling disconnection during manufacturing. For this reason, a paste in which frit glass and metal powder are mixed with a solvent is used, and the substrate and metal powder are fixed with frit glass. With this type of wiring, a thick film wiring of 5 μm or more can be formed, and the wiring resistance can be set to 100 [Ω / m] or less. In particular, the SED 1 has a large current of about 1 to 10 [mA] in the wiring 21 as compared with other display panels such as FED and PDP. Can be suppressed.

具体的には、本実施の形態では、図5に示すように、背面基板12と前面基板10を側壁14を介して封着した封着部より内側の画像表示領域に延設された配線21の部分(以下、この部分を第1部分41と称する)の電気抵抗を100[Ω/m]以下に設定した。第1部分41の電気抵抗をこの程度に設定することにより、画面の中央部近くで表示画素の輝度が低下することを防止できる。言い換えると、上述した構造のSED1において、1〜10[mA]程度の駆動電流を流すと、第1部分41の電気抵抗が100[Ω/m]を超えた場合、表示画像の輝度斑がわずかながら確認された。つまり、第1部分41の電気抵抗を100[Ω/m]以下に設定することで、輝度斑を生じることのない十分に低い電気抵抗とすることができる。   Specifically, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the wiring 21 is extended to the image display area inside the sealing portion where the rear substrate 12 and the front substrate 10 are sealed via the side wall 14. The electric resistance of the portion (hereinafter, this portion is referred to as the first portion 41) was set to 100 [Ω / m] or less. By setting the electrical resistance of the first portion 41 to this level, it is possible to prevent the luminance of the display pixel from decreasing near the center of the screen. In other words, in the SED 1 having the above-described structure, when a drive current of about 1 to 10 [mA] is passed, if the electric resistance of the first portion 41 exceeds 100 [Ω / m], the luminance unevenness of the display image is slight. While confirmed. That is, by setting the electric resistance of the first portion 41 to 100 [Ω / m] or less, it is possible to obtain a sufficiently low electric resistance without causing luminance spots.

本実施の形態では、上述した電気抵抗を実現するため、配線21の第1部分41を厚膜の印刷ペーストにより形成した。具体的には、Ag粒子とフリットガラスを溶媒に分散させた金属ペーストにより膜厚5[μm]以上の配線を第1部分41として形成した。なお、金属ペーストは、銀ペーストに限らず、Al粒子やCu粒子を用いてもよく、数種類の金属粒子を混ぜ合わせて用いても良い。   In the present embodiment, in order to realize the above-described electrical resistance, the first portion 41 of the wiring 21 is formed by a thick print paste. Specifically, a wiring having a thickness of 5 [μm] or more was formed as the first portion 41 using a metal paste in which Ag particles and frit glass were dispersed in a solvent. The metal paste is not limited to silver paste, and Al particles or Cu particles may be used, or several kinds of metal particles may be mixed and used.

また、本実施の形態では、上述した画像表示領域から外れた第1部分41より外側の配線21の第2部分42を薄く緻密な金属材料の成膜により形成した。具体的には、配線41を形成する前に、スパッタリングにより周辺部にTiを成膜し、これをイオンミリングで配線パターンに形成した。つまり、上述した厚膜ペースト配線では、金属粉とフリットの混合体であるため多孔質であり、第2部分42を第1部分41と同じ構造の配線により形成した場合、背面基板12と側壁14との間の封着部44において、良好な気密性を得ることが難しく、駆動回路接続部の耐久性も損なわれる。このため、本実施の形態では、封着部44を通って延びた配線21の第2部分42をできるだけ緻密な構造とするため、金属材料を物理蒸着により形成した。   In the present embodiment, the second portion 42 of the wiring 21 outside the first portion 41 outside the image display area described above is formed by thin and dense metal material film formation. Specifically, before forming the wiring 41, a Ti film was formed on the periphery by sputtering, and this was formed into a wiring pattern by ion milling. That is, the thick film paste wiring described above is porous because it is a mixture of metal powder and frit, and when the second portion 42 is formed by the wiring having the same structure as the first portion 41, the back substrate 12 and the side wall 14 It is difficult to obtain good airtightness in the sealing portion 44 between the two and the durability of the drive circuit connection portion is also impaired. Therefore, in the present embodiment, the metal material is formed by physical vapor deposition in order to make the second portion 42 of the wiring 21 extending through the sealing portion 44 as dense as possible.

例えば、第2部分42を成膜する金属材料として、Ti、Cr、Ni、Pt、ITOなどを用いることができる。また、金属材料の成膜方法としては、例えば、スパッタリングや通電加熱蒸着、高周波加熱蒸着、エレクトロンビーム蒸着などの物理成膜、或いはメッキなどがある。   For example, Ti, Cr, Ni, Pt, ITO, or the like can be used as a metal material for forming the second portion 42. In addition, as a film forming method of the metal material, for example, there are physical film forming such as sputtering, energization heating evaporation, high frequency heating evaporation, electron beam evaporation, or plating.

以上のように、本実施の形態によると、配線21のうち画像表示領域内の第1部分41を電気抵抗が100[Ω/m]以下の材料により形成したため、安価な構成によって表示装置の輝度斑を効果的に抑制するができた。その上、本実施の形態によると、封着部を通る配線21の第2部分42を第1部分41とは異なる金属材料の成膜により緻密に形成したため、上述した輝度斑の問題を解消した上で、真空外囲器15の高い気密性を保持でき、より信頼性の高い表示装置を提供できる。   As described above, according to the present embodiment, the first portion 41 in the image display region of the wiring 21 is formed of a material having an electric resistance of 100 [Ω / m] or less, and thus the luminance of the display device can be reduced with an inexpensive configuration. It was possible to effectively suppress the spots. In addition, according to the present embodiment, since the second portion 42 of the wiring 21 passing through the sealing portion is densely formed by film formation of a metal material different from the first portion 41, the above-described problem of luminance unevenness is solved. The high airtightness of the vacuum envelope 15 can be maintained and a more reliable display device can be provided.

また、本実施の形態によると、真空外囲器15から引き出される配線21の第2部分42を緻密な金属材料の成膜により形成したため、表示装置の図示しない駆動回路を図示しない異方性導電膜を介して接続する場合に、良好な接続状態を維持できる。   Further, according to the present embodiment, since the second portion 42 of the wiring 21 drawn out from the vacuum envelope 15 is formed by forming a dense metal material, a drive circuit (not shown) of the display device is not shown in an anisotropic conductive state. When connecting through a membrane, a good connection state can be maintained.

なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the above-described embodiments. For example, you may delete some components from all the components shown by embodiment mentioned above.

特に、本発明は、表示装置に走査信号を与える走査線(横配線)に適用した場合に効果的であるが、映像信号を与える信号線(縦配線)に本発明を適用しても良く、横配線および縦配線の両方に本発明を適用しても良い。   In particular, the present invention is effective when applied to a scanning line (horizontal wiring) for supplying a scanning signal to a display device, but the present invention may be applied to a signal line (vertical wiring) for supplying a video signal, The present invention may be applied to both horizontal wiring and vertical wiring.

また、上述した実施の形態では、金属ペーストの印刷によって配線21の第1部分41を形成して金属材料の成膜によって第2部分42を形成した場合について説明したが、これに限らず、第1部分41は配線抵抗が上述した程度に低くなるものであれば何でも良い。これに対し、第2部分42は、膜厚が薄くなることが望ましい。第2部分42が厚膜の場合、封着材が凸凹の隅まで回り込まずにリークパスを形成する要因となり、駆動回路接続部も同様に気密性の崩れから耐久性劣化を引き起こすこととなる。膜厚的には、上述の低抵抗配線のしきい値と同様に5μm程度以下とすることが信頼性面で望ましい。これ以上の厚さでは、封着材や接着部に特別な組成や気密処理が強いられる。   In the above-described embodiment, the case where the first portion 41 of the wiring 21 is formed by printing the metal paste and the second portion 42 is formed by forming the metal material has been described. The 1 portion 41 may be anything as long as the wiring resistance is reduced to the above-described level. On the other hand, it is desirable that the second portion 42 has a small film thickness. When the second portion 42 is a thick film, the sealing material does not go into the uneven corners and forms a leak path, and the drive circuit connecting portion similarly causes deterioration in durability due to collapse of the airtightness. From the viewpoint of reliability, it is desirable that the film thickness be about 5 μm or less, similar to the threshold value of the low resistance wiring described above. When the thickness is greater than this, a special composition or an airtight treatment is imposed on the sealing material or the bonded portion.

さらに、上述した実施の形態では、画像表示領域より外側の全ての配線部分を第2部分42として緻密な金属材料の成膜により形成した場合について説明したが、少なくとも背面基板12と側壁14との間の封着部だけを緻密な配線構造とすれば良い。或いは、封着部の配線構造に拘わらず、封着部より外側の配線を緻密な配線構造としても良い。   Further, in the above-described embodiment, the case where all the wiring portions outside the image display region are formed as the second portion 42 by forming a dense metal material has been described. However, at least the back substrate 12 and the side wall 14 are formed. It is only necessary to provide a dense wiring structure only between the sealing portions. Alternatively, the wiring outside the sealing portion may be a dense wiring structure regardless of the wiring structure of the sealing portion.

この発明の実施の形態に係るSEDを示す外観斜視図。1 is an external perspective view showing an SED according to an embodiment of the present invention. 図1のSEDの断面図。Sectional drawing of SED of FIG. 図2の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG. 図1のSEDに組み込まれたスペーサ構体を示す斜視図。The perspective view which shows the spacer structure built in SED of FIG. 図1のSEDにおける封着部付近の配線構造を説明するための要部の部分断面図。The fragmentary sectional view of the principal part for demonstrating the wiring structure of the sealing part vicinity in SED of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…SED、10…前面基板、11…遮光層、12…背面基板、14…側壁、15…真空外囲器、16…蛍光体スクリーン、17…メタルバック、18…電子放出素子、21…配線、22…スペーサ構体、41…第1部分、42…第2部分、44…封着部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... SED, 10 ... Front substrate, 11 ... Light-shielding layer, 12 ... Back substrate, 14 ... Side wall, 15 ... Vacuum envelope, 16 ... Phosphor screen, 17 ... Metal back, 18 ... Electron emission element, 21 ... Wiring , 22 ... spacer structure, 41 ... first part, 42 ... second part, 44 ... sealing part.

Claims (11)

互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有する表示装置であって、
上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記第1部分に続く上記封着部の配線と上記封着部より外側の配線のうち少なくとも上記封着部の配線が金属材料の成膜により形成されていることを特徴とする表示装置。
A back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices provided at intersections thereof, and a peripheral portion of the back substrate disposed so as to face and separate from the back substrate A front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices, the inside of which is evacuated, and a display device having a vacuum envelope comprising:
The electrical resistance of the first portion provided in the image display area inside the sealing portion of the rear substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wiring formed in the matrix is 100 [Ω. / M] or less, and among the wiring of the sealing portion following the first portion and the wiring outside the sealing portion, at least the wiring of the sealing portion is formed by film formation of a metal material. Characteristic display device.
上記第1部分は、金属ペーストの印刷によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the first portion is formed by printing a metal paste. 上記金属ペーストは、Ag、Al、Cuのうち少なくとも1種の金属材料を含むことを特徴とする請求項2に記載の表示装置。   The display device according to claim 2, wherein the metal paste includes at least one metal material of Ag, Al, and Cu. 上記封着部の配線は、Ti、Cr、Ni、Pt、ITOなどの金属材料のスパッタリング、蒸着、メッキにより形成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the wiring of the sealing portion is formed by sputtering, vapor deposition, or plating of a metal material such as Ti, Cr, Ni, Pt, or ITO. 上記封着部の配線の膜厚は、上記第1部分より薄いことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein a film thickness of the wiring of the sealing portion is thinner than that of the first portion. 上記第1部分の厚さは5[μm]以上であり、上記封着部の配線の膜厚は5[μm]未満であることを特徴とする請求項5に記載の表示装置。   6. The display device according to claim 5, wherein the thickness of the first portion is 5 [μm] or more, and the film thickness of the wiring of the sealing portion is less than 5 [μm]. 上記封着部より外側の配線には、異方性導電膜を介して駆動回路が圧着により取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein a driving circuit is attached to the wiring outside the sealing portion by pressure bonding through an anisotropic conductive film. 互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有する表示装置であって、
上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記画像表示領域から外れた上記第1部分より外側の第2部分が金属材料の成膜により形成されていることを特徴とする表示装置。
A back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices provided at intersections thereof, and a peripheral portion of the back substrate disposed so as to face and separate from the back substrate A front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices, the inside of which is evacuated, and a display device having a vacuum envelope comprising:
The electrical resistance of the first portion provided in the image display area inside the sealing portion of the rear substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wiring formed in the matrix is 100 [Ω. / M], and the second portion outside the first portion outside the image display area is formed by film formation of a metal material.
互いに絶縁状態でマトリックス状に形成された複数本の配線およびその交点にそれぞれ設けられた複数の電子放出素子を有する背面基板と、この背面基板に離間対向して配置されその周縁部同士が封着されて内部が真空にされているとともに上記複数の電子放出素子に対応する複数の表示画素を有する前面基板と、を備えた真空外囲器を有する表示装置であって、
上記マトリックス状に形成された配線のうち少なくとも1方向に延設された配線の上記背面基板と前面基板の封着部より内側の画像表示領域に設けられた第1部分の電気抵抗が100[Ω/m]以下であり、上記画像表示領域から外れた上記第1部分より外側の第2部分が上記第1部分と異なる材料によって上記第1部分より薄く形成されていることを特徴とする表示装置。
A back substrate having a plurality of wirings formed in a matrix in an insulated state and a plurality of electron-emitting devices provided at intersections thereof, and a peripheral portion of the back substrate disposed so as to face and separate from the back substrate A front substrate having a plurality of display pixels corresponding to the plurality of electron-emitting devices, the inside of which is evacuated, and a display device having a vacuum envelope comprising:
The electrical resistance of the first portion provided in the image display area inside the sealing portion of the rear substrate and the front substrate of the wiring extending in at least one direction among the wiring formed in the matrix is 100 [Ω. / M], and the second portion outside the first portion outside the image display area is formed thinner than the first portion by a material different from that of the first portion. .
上記配線には、1〜10[mA]の電流が流れることを特徴とする請求項1乃至請求項9のうちいずれか1項に記載の表示装置。   10. The display device according to claim 1, wherein a current of 1 to 10 [mA] flows through the wiring. 上記電子放出素子は、表面伝導型の電子放出素子であることを特徴とする請求項1乃至請求項10のうちいずれか1項に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the electron-emitting device is a surface conduction electron-emitting device.
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