JP2005254028A - フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】材料費の低減および取付け作業時間の短縮を図ることができ、メンテナンスが容易で、かつ空調効果の高いフィルタ装置を提供する。
【解決手段】ダクト接続枠１２は、ダクト口１に接続可能であって、フィルタ１１より大きくフィルタ１１の背面周囲に密着可能な背面対向面１２ｃを有している。ルーバ部材１４は、ルーバ保持枠１４ａの内側に風向調整用のルーバ１４ｂを設けて成る。ルーバ保持枠１４ａは、フィルタ１１より大きくフィルタ１１の正面周囲に密着可能な正面対向面１４ｅを有している。固定部材１６は、フィルタ１１をダクト接続枠１２とルーバ部材１４との間に挟んで着脱可能に固定し、ダクト接続枠１２の背面対向面１２ｃをフィルタ１１の背面周囲に密着させ、ルーバ保持枠１４ａの正面対向面１４ｅをフィルタ１１の正面周囲に密着させている。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームで使用するのに適したフィルタ装置に関する。

従来、ＨＥＰＡフィルタを用いた一般的なクリーンルーム用のフィルタ装置は、ＨＥＰＡフィルタをケーシングの内部に配置して、ＨＥＰＡ ＢＯＸを構成している（例えば、特許文献１、２、３参照）。フィルタ装置は、コンベンショナルフロー（乱流方式）の場合、クリーンルームの天井に間隔を置いて配置して使用される。

実開昭５９−１３９３５号公報 特開平９−２９０２７号公報 特開平１１−１４１９４３号公報

しかしながら、特許文献１乃至３に記載のフィルタ装置では、フィルタの取付けにケーシングを必要としていたため、材料費が嵩み、コスト低減に限界があるという課題があった。また、フィルタ装置の設置の際、ケーシングの取付けに工数を要するため、取付けの作業時間が長くかかるという課題があった。フィルタの交換の際には、ケーシングを開いて中からフィルタを取り外す必要があるため、メンテナンスに手数がかかるという課題があった。さらに、特許文献１乃至３に記載のフィルタ装置では、フィルタを通して空気を吹き出すのみの構造のため、空気の拡散性が悪く、空調が十分に行われないという課題があった。

本発明は、このような課題に着目してなされたもので、材料費の低減および取付け作業時間の短縮を図ることができ、メンテナンスが容易で、かつ空調効果の高いフィルタ装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明に係るフィルタ装置は、フィルタとダクト接続枠とルーバ部材と固定部材とを有し、前記ダクト接続枠は、ダクト口に接続可能であって、前記フィルタより大きく前記フィルタの背面周囲に密着可能な背面対向面を有し、前記ルーバ部材は、ルーバ保持枠の内側に風向調整用のルーバを設けて成り、前記ルーバ保持枠は前記フィルタより大きく前記フィルタの正面周囲に密着可能な正面対向面を有し、前記固定部材は、前記フィルタを前記ダクト接続枠と前記ルーバ部材との間に挟んで着脱可能に固定し、前記ダクト接続枠の背面対向面を前記フィルタの背面周囲に密着させ、前記ルーバ保持枠の正面対向面を前記フィルタの正面周囲に密着させていることを、特徴とする。

本発明に係るフィルタ装置は、ルーバ部材を室内側に配置し、ダクト接続枠を天井面取付のダクト口に接続して使用する。フィルタは、ダクト口から吹き出る空気を浄化し、クリーンな空気にして室内に供給する。ダクト接続枠の背面対向面およびルーバ保持枠の正面対向面はそれぞれフィルタの背面周囲および正面周囲に密着しており、ダクト内の浄化されていない空気が各部材の間から室内に漏れ出ることは防止されている。ルーバは、フィルタを通して浄化された空気を風向の調整により室内に拡散させることができる。

本発明に係るフィルタ装置で、フィルタはダクト接続枠とルーバ部材との間に挟まれ、固定部材により着脱可能に固定されている。このため、フィルタの固定にケーシングを必要としないので、ケーシングにかかる材料費の低減およびその取付け作業時間の短縮を図ることができる。固定部材を取り外せば、ダクト接続枠とルーバ部材との間からフィルタを取り外して容易に交換することができ、メンテナンスが容易である。なお、フィルタは、ＨＥＰＡフィルタから成ることが好ましい。

本発明に係るフィルタ装置は、前記ダクト接続枠は前記背面対向面に複数のダクト側取付孔を有し、前記ルーバ部材は前記正面対向面に各ダクト側取付孔と対応する複数のルーバ側取付孔を有し、前記固定部材は、複数から成り、各ダクト側取付孔と各ルーバ側取付孔とに着脱可能に取り付けられて前記フィルタを前記ダクト接続枠と前記ルーバ部材との間に挟んで着脱可能に固定していることが好ましい。

この構成では、複数の固定部材が各ダクト側取付孔と各ルーバ側取付孔とに着脱可能に取り付けられてフィルタを着脱可能に固定しているため、各固定部材の着脱によりフィルタを着脱して、フィルタの交換などのメンテナンスを容易に行うことができる。

さらに、本発明に係るフィルタ装置は、ダクト側支持部材とルーバ側支持部材と２つのガスケットとを有し、前記ダクト側支持部材は前記ダクト側取付孔に対応する取付孔を有し、前記取付孔に前記固定部材を貫通されて前記フィルタを支持した状態で前記背面対向面に固定され、前記ルーバ側支持部材は前記ルーバ側取付孔に対応する取付孔を有し、前記取付孔に前記固定部材を貫通されて前記フィルタを支持した状態で前記正面対向面に固定され、各ガスケットは前記背面対向面の前記フィルタと密着する位置および前記正面対向面の前記フィルタと密着する位置に設けられていることが好ましい。

この構成では、ダクト側支持部材とルーバ側支持部材とが取付孔に固定部材を貫通されてフィルタを支持した状態でフィルタに固定されるため、フィルタを確実に支持し固定することができる。各ガスケットにより、ダクト保持枠とフィルタとの間およびルーバ保持枠とフィルタとの間の気密性を高めることができる。

本発明によれば、材料費の低減および取付け作業時間の短縮を図ることができ、メンテナンスが容易で、かつ空調効果の高いフィルタ装置を提供することができる。

以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１乃至図３は、本発明の実施の形態のフィルタ装置を示している。
図１に示すように、フィルタ装置１０は、フィルタ１１とダクト接続枠１２とダクト側支持部材１３とルーバ部材１４とルーバ側支持部材１５と固定部材１６とガスケット１７と吊り下げ部材１８とから成っている。

フィルタ１１は、正面形状が正方形のＨＥＰＡフィルタから成る。フィルタ１１は、アルミニウム製の正方形の枠状のホールディングフレームを有し、ホールディングフレームの内側にフィルタパックをホールディングフレームでカバーされるように配置してアングル材で挟持することにより構成されている。

図１（ａ）および（ｃ）に示すように、ダクト接続枠１２は、背面接続部１２ａとダクト接続部１２ｂとを有している。背面接続部１２ａは、板状で幅が均一な正方形の枠状に形成されている。背面接続部１２ａの内周はフィルタ１１の正面形状より小さい正方形を成し、背面接続部１２ａの外周はフィルタ１１の正面形状より大きい正方形を成している。背面接続部１２ａは、一方の面がフィルタ１１のホールディングフレームの背面周囲に密着可能な背面対向面１２ｃを成している。ダクト接続部１２ｂは、背面接続部１２ａの内周に沿って、背面接続部１２ａの背面対向面１２ｃと反対の面側に垂直に設けられている。ダクト接続部１２ｂは、天井面取付のダクト口１に接続可能である。ダクト接続枠１２は、背面対向面１２ｃがフィルタ１１の背面周囲に密着して固定され、背面対向面１２ｃのフィルタ１１の周囲に張り出す位置に、フィルタ１１の上方、両側方、下方に、全部で６つないし８つのダクト側取付孔１２ｄを有している。ダクト接続枠１２は、フィルタ１１の上方の背面接続部１２ａおよびダクト接続部１２ｂを両側方に延長した背面側吊下部１２ｅを有し、その両端に吊下孔１２ｆが設けられている。

図１（ｃ）に示すように、ダクト側支持部材１３は、断面がＬ字型のアングル材から成り、外側の一方の面のダクト側接触面１３ａと外側の他方の面の背面側支持面１３ｂとを有している。ダクト側接触面１３ａは、ダクト側取付孔１２ｄに対応する２つのダクト側支持部材取付孔１３ｃを有している。ダクト側支持部材１３は、背面側支持面１３ｂを上に向け、ダクト接続枠１２の下部の２つのダクト側取付孔１２ｄと各ダクト側支持部材取付孔１３ｃとを連通させて、背面側支持面１３ｂでフィルタ１１を支持した状態で背面対向面１２ｃにダクト側接触面１３ａを接触させて固定されている。

図１（ａ）に示すように、ルーバ部材１４は、ルーバ保持枠１４ａとルーバ１４ｂとを有している。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、ルーバ保持枠１４ａは、正面接続部１４ｃとルーバ取付部１４ｄとを一体的に有している。正面接続部１４ｃは、板状で幅が均一な正方形の枠状に形成されている。正面接続部１４ｃの内周はフィルタ１１の正面形状より小さい正方形を成し、正面接続部１４ｃの外周はフィルタ１１の正面形状より大きい正方形を成している。正面接続部１４ｃは、一方の面がフィルタ１１のホールディングフレームの正面周囲に密着可能な正面対向面１４ｅを成している。ルーバ取付部１４ｄは、正面接続部１４ｃの内周に沿って、正面接続部１４ｃの正面対向面１４ｅと反対の面側に垂直に設けられている。ルーバ取付部１４ｄは、内側に風向調整用のルーバ１４ｂを取付可能である。図１（ｂ）に示すように、ルーバ保持枠１４ａは、正面接続部１４ｃがフィルタ１１の正面周囲に密着して固定され、正面対向面１４ｅのフィルタ１１の周囲に張り出す位置で各ダクト側取付孔１２ｄと対応する位置に、フィルタ１１の上方、両側方、下方に、全部で６つないし８つのルーバ側取付孔１４ｆを有している。ルーバ保持枠１４ａは、フィルタ１１の上方の正面接続部１４ｃおよびルーバ取付部１４ｄを両側方に延長した正面側吊下部１４ｇを有し、その両端に吊下孔１４ｈが設けられている。ルーバ１４ｂは、角度可変の複数の羽根を有するユニバーサルグリルから成り、風向を調整可能である。図１（ｄ）に示すように、ルーバ１４ｂは、ルーバ取付部１４ｄの内側に、取付ピン１４ｉにより固定されている。

図１（ａ）および（ｂ）に示すように、ルーバ側支持部材１５は、断面がＬ字型のアングル材から成り、外側の一方の面のルーバ側接触面１５ａと外側の他方の面の正面側支持面１５ｂとを有している。ルーバ側接触面１５ａは、ルーバ側取付孔１４ｆに対応する２つのルーバ側支持部材取付孔（図示せず）を有している。ルーバ側支持部材１５は、正面側支持面１５ｂを上に向け、ルーバ保持枠１４ａの下部の２つのルーバ側取付孔１４ｆと各ルーバ側支持部材取付孔とを連通させて、正面側支持面１５ｂでフィルタ１１を支持した状態で正面対向面１４ｅにルーバ側接触面１５ａを接触させて固定されている。

図１（ａ）に示すように、固定部材１６は、両端に雄ネジを有する６本ないし８本の丸棒１６ａと、丸棒１６ａの雄ネジにネジ合わせ可能な複数のナット１６ｂとから成る。固定部材１６は、フィルタ１１をダクト接続枠１２とルーバ部材１４との間に挟み、丸棒１６ａを各ダクト側取付孔１２ｄとそれに対応する各ルーバ側取付孔１４ｆとに貫通させて、その両端をナット１６ｂで締め付けて着脱可能に取り付けられている。なお、ダクト接続枠１２およびルーバ保持枠１４ａの下部では、丸棒１６ａをダクト側取付孔１２ｄ、ダクト側支持部材取付孔１３ｃ、ルーバ側支持部材取付孔およびルーバ側取付孔１４ｆに貫通させ、ダクト側取付孔１２ｄおよびダクト側支持部材取付孔１３ｃをナット１６ｂで挟み、ルーバ側支持部材取付孔およびルーバ側取付孔１４ｆをナット１６ｂで挟んで取り付けられている。固定部材１６は、ダクト接続枠１２の背面対向面１２ｃをフィルタ１１の背面周囲に密着させ、ルーバ保持枠１４ａの正面対向面１４ｅをフィルタ１１の正面周囲に密着させて、フィルタ１１を着脱可能に固定している。

図１（ｃ）に示すように、ガスケット１７は、背面対向面１２ｃのフィルタ１１と密着する位置および正面対向面１４ｅのフィルタ１１と密着するコーナの位置に設けられている。
図１（ａ）および（ｂ）に示すように、吊り下げ部材１８は、一端に雄ネジを有する４本の丸棒１８ａと、丸棒１８ａの雄ネジにネジ合わせ可能な８つのナット１８ｂから成る。吊り下げ部材１８は、丸棒１８ａの一端を下に向けて背面側吊下部１２ｅの２つの吊下孔１２ｆおよび正面側吊下部１４ｇの２つの吊下孔１４ｈに挿入し、それぞれ２つのナット１８ｂで固定して取り付けられている。吊り下げ部材１８は、他端を梁などに固定してフィルタ装置１０を吊り下げ可能である。

次に、作用について説明する。
フィルタ装置１０は、例えばクリーンルーム生産装置機械室などに空気を吹き出すように、ルーバ部材１４を室内側に配置し、ダクト接続枠１２を天井面取付のダクト口１に接続して使用する。フィルタ１１は、ダクト口１から吹き出る空気を浄化し、クリーンな空気にして室内に供給する。ダクト接続枠１２の背面対向面１２ｃおよびルーバ保持枠１４ａの正面対向面１４ｅはそれぞれフィルタ１１の背面周囲および正面周囲に密着しており、ダクト内の浄化されていない空気が各部材の間から室内に漏れ出ることは防止されている。また、各ガスケット１７により、ダクト接続枠１２とフィルタ１１との間およびルーバ保持枠１４ａとフィルタ１１との間の気密性がさらに高められている。ルーバ１４ｂは、フィルタ１１を通して浄化された空気を、角度を変えて風向を調整することにより室内に拡散させることができる。

フィルタ装置１０は、フィルタ１１をダクト接続枠１２とルーバ部材１４との間に挟み、各固定部材１６が各ダクト側取付孔１２ｄと各ルーバ側取付孔１４ｆとに着脱可能に取り付けられてフィルタ１１を着脱可能に固定している。このため、フィルタ１１の固定にケーシングを必要としないので、ケーシングにかかる材料費の低減およびその取付け作業時間の短縮を図ることができる。各固定部材１６を緩め、フィルタ１１の上方、各側方、または下方のうちのいずれかの固定部材１６を２本取り外せば、ダクト接続枠１２とルーバ部材１４との間からフィルタ１１を取り外して容易に交換することができ、メンテナンスが容易である。ダクト側支持部材１３とルーバ側支持部材１５とが、ダクト側支持部材取付孔１３ｃおよびルーバ側支持部材取付孔に固定部材１６を貫通されて両側からフィルタ１１を支持した状態でフィルタ１１に固定されるため、フィルタ１１を確実に支持し固定することができる。また、従来は、重いケーシングを取り付けていたため、施工性が悪かったが、フィルタ装置１０ではケーシングを使用しないため、施工性が良好である。

図２および図３に示すように、フィルタ装置１０は、フィルタ１１の両側方の固定部材１６が１箇所ずつであってもよい。この場合、各固定部材１６を緩め、一方の側方の固定部材１６を１つだけを取り外すことにより、フィルタ１１を取り外すことができ、交換などのメンテナンスがさらに容易である。

なお、フィルタ装置１０は、図３（ａ）に示すように、フィルタ１１の正面を横方向に向けた状態、あるいは、図３（ｂ）に示すように、フィルタ１１の正面を下方に向けた状態で取り付けることができる。このため、フィルタ装置１０を設置するクリーンルームの形状や大きさ、天井や壁の設置位置、ダクトの設置条件などに合わせて、フィルタ１１の向きを変えて取り付けることができる。

本発明の実施の形態のフィルタ装置を示す（ａ）左側面図、（ｂ）ルーバを外した状態の正面図、（ｃ）ダクト側支持部材付近の拡大図、（ｄ）ルーバ下端付近の拡大図である。 図１に示すフィルタ装置の変形例を示す分解斜視図である。 図１に示すフィルタ装置の（ａ）フィルタ正面を横方向に向けて使用したときの側面図、（ｂ）フィルタ正面を下方に向けて使用したときの側面図である。

符号の説明

１ ダクト口
１０ フィルタ装置
１１ フィルタ
１２ ダクト接続枠
１２ａ 背面接続部
１２ｂ ダクト接続部
１２ｃ 背面対向面
１２ｄ ダクト側取付孔
１３ ダクト側支持部材
１３ａ ダクト側接触面
１３ｂ 背面側支持面
１３ｃ ダクト側支持部材取付孔
１４ ルーバ部材
１４ａ ルーバ保持枠
１４ｂ ルーバ
１４ｃ 正面接続部
１４ｄ ルーバ取付部
１４ｅ 正面対向面
１４ｆ ルーバ側取付孔
１４ｇ 取付ピン
１５ ルーバ側支持部材
１５ａ ルーバ側接触面
１５ｂ 正面側支持面
１６ 固定部材
１６ａ 丸棒
１６ｂ ナット
１７ ガスケット
１８ 吊り下げ部材
１８ａ 丸棒
１８ｂ ナット

Claims (3)

1. フィルタとダクト接続枠とルーバ部材と固定部材とを有し、
   前記ダクト接続枠は、ダクト口に接続可能であって、前記フィルタより大きく前記フィルタの背面周囲に密着可能な背面対向面を有し、
   前記ルーバ部材は、ルーバ保持枠の内側に風向調整用のルーバを設けて成り、前記ルーバ保持枠は前記フィルタより大きく前記フィルタの正面周囲に密着可能な正面対向面を有し、
   前記固定部材は、前記フィルタを前記ダクト接続枠と前記ルーバ部材との間に挟んで着脱可能に固定し、前記ダクト接続枠の背面対向面を前記フィルタの背面周囲に密着させ、前記ルーバ保持枠の正面対向面を前記フィルタの正面周囲に密着させていることを、
   特徴とするフィルタ装置。
2. 前記ダクト接続枠は前記背面対向面に複数のダクト側取付孔を有し、
   前記ルーバ部材は前記正面対向面に各ダクト側取付孔と対応する複数のルーバ側取付孔を有し、
   前記固定部材は、複数から成り、各ダクト側取付孔と各ルーバ側取付孔とに着脱可能に取り付けられて前記フィルタを前記ダクト接続枠と前記ルーバ部材との間に挟んで着脱可能に固定していることを、
   特徴とする請求項１記載のフィルタ装置。
3. ダクト側支持部材とルーバ側支持部材と２つのガスケットとを有し、
   前記ダクト側支持部材は前記ダクト側取付孔に対応する取付孔を有し、前記取付孔に前記固定部材を貫通されて前記フィルタを支持した状態で前記背面対向面に固定され、
   前記ルーバ側支持部材は前記ルーバ側取付孔に対応する取付孔を有し、前記取付孔に前記固定部材を貫通されて前記フィルタを支持した状態で前記正面対向面に固定され、
   各ガスケットは前記背面対向面の前記フィルタと密着する位置および前記正面対向面の前記フィルタと密着する位置に設けられていることを、
   特徴とする請求項２記載のフィルタ装置。

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