JP2005190532A - スピンコート装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 メンテナンスを容易なものにして生産効率を向上させること。

【解決手段】記録膜の形成される光ディスク基板が載置される回転テーブルの下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、インナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、前記整流部材は、内側固定部分と、該内側固定部分に係止される外側着脱部分とからなり、該外側着脱部分は前記回転テーブルの直径ｄ１よりも大きな内径Ｄ１を有し、前記インナーカップは、前記整流部材の前記内側固定部分の外径ｄ２よりも大きな内径Ｄ２を有する円筒状内壁部と、該円筒状内壁部と同心状の円筒状外壁部と、円環状底部とからなり、前記コータカップに対して着脱できるようになっているスピンコート装置。

【選択図】 図１

Description

本発明は、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒなど追記型光ディスクにおける記録層形成用のスピンコート装置に関する。

ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒなど追記型光ディスクの製造工程における記録層の形成は、不図示のスピンコート装置によって光ディスク基板を所定のスピンパターンに従って回転させることによって、その遠心力で記録材料を光ディスク基板全面に広げ、余剰の記録材料は振り切ることにより、一様な厚みの記録層を形成している。

記録層を形成するスピンコート装置が、光ディスクの保護膜形成用、あるいは半導体のフォトレジスト膜形成用のスピンコート装置と異なるところは、塗布する材料である記録材料のほとんどが溶剤とその溶剤に溶けている色素材料とからなるということである。例えば、記録材料は有機溶剤を主溶媒とし、その有機溶媒にフタロシアニン色素、シアニン色素、アゾ色素などを溶かしてなる有機色素溶液である場合が多い。

光ディスク基板１枚をスピンコーティングするのに供給される記録材料の量は、０．１〜２ｃｃ程度が一般的であり、その内、光ディスク基板上にとどまる、つまり実際に記録膜を形成するのに使用される記録材料は５０％以下であり、それ以外の記録材料の溶液はコータカップ、回収用ドレインを通して回収容器に回収される。前述のように、記録材料の溶液は有機色素溶液である場合が多いので、このような場合には、溶剤が短時間で蒸発し、色素材料が固形状態又はドロドロの粘性の高い状態になるので、この対策を施さねばならないという点である。

また、スピンコーティングで振り切られた余剰の有機色素溶液の色素材料がコータカバーの内壁に固着して成長し、その後に振り切られる余剰の有機色素溶液が前記固着した色素材料に衝突することによって跳ね返った余剰の有機色素溶液が光ディスク基板に再付着することで、歩留まりの低下を招くといった問題がある。

更に、振り切られてコータカップに溜まった記録材料液をドレインを通して回収容器に集める機構では、ドレイン通路を極力短くしないと、途中で記録材料が固まってしまい、ドレイン通路が徐々に細くなり、直ぐに流れなくなってしまうために記録材料の回収作業が困難になるという問題などがある。また、スピンコート装置には、記録材料のミストが光ディスク基板の裏側、又は回転テーブルの裏側に回るのを防止する整流部材が設けられているが、その整流部材への記録材料の固着の問題もある。その他にもインナーカップとコータカバーとの当接箇所への記録材料の固着などの問題もある。

このような記録材料が短時間で乾燥して色素材料が固着してしまうことにより生ずる不都合を解決するための対策として、従来は洗浄装置を備えて、定期的に洗浄作業を行っている（例えば、特許文献１を参照）。しかし、洗浄時にはコータカップからインナーカップ、整流部材、及びコータカバーを取り外さなければならず、従来構造ではこれらを取り外すのに、回転テーブルを取り外さなければならず、回転テーブルの着脱に時間を要するために、スピンコート装置を停止する時間が長くなり、非効率的であった。

特に、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒなど追記型光ディスクの製造装置の多くのものが、４個以上のコータカップを備えているので、これらのメンテナンスに要する時間はかなりなものになり、スピンコート装置の停止時間は長くなる。

本発明はこのような欠点を除去するために、スピンコーティング時に光ディスク基板の平坦性を保持するために、光ディスク基板の載置される回転テーブルが、仮に光ディスク基板の直径以上の直径を有するものであっても、回転テーブルを取り外すことなく、コータカバー、整流部材、インナーカップの三者を着脱可能な構造としている。これによって、インナーカップ内の記録材料が所定量以上になるときに、回転テーブルを取り外すことなく、コータカバーと整流部材とを取り外すことによって、インナーカップを取り外し、新たなインナーカップに容易に交換できるようにし、メンテナンスに要する時間を短縮している。

また、記録材料を変更したとき、あるいはスピンコート作業が長い間中断して記録材料供給機構の記録材料吐出部分で記録材料が固化している可能性がある場合などには、所謂、空撃ちと称されている記録材料の吐出を行っているが、この発明ではインナーカップを取り外し、新たなインナーカップに容易に交換できるようにしたことによって、コータカバーに、前記空撃ち時に吐出される記録材料の溶液を受け入れて、インナーカップに流す空撃ち用孔を形成することで、前記空撃ち時に吐出される記録材料の回収機構を簡素化すると共に、メンテナンスの所要時間を短縮するのに役立っている。

また、コータカバーとインナーカップ又はコータカップとの間の当接箇所に色素材料が固着する量をできるだけ少量にする構造とすることによって、インナーカップ又はコータカップに対してコータカバーの着脱を容易にしており、これもメンテナンスの所要時間を短縮するのに役立っている。
特許第３２７０７５８公報

本発明は、いかにメンテナンスし易いスピンコート装置を提供できるかということを課題とする。

請求項１の発明は、記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルユニットと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されており、前記整流部材は、内側固定部分と、該内側固定部分に係止される外側着脱部分とからなり、該外側着脱部分は前記回転テーブルの直径ｄ１よりも大きな内径Ｄ１を有し、前記インナーカップは、前記整流部材の前記内側固定部分の外径Ｄ２よりも大きな内径ｄ２を有する円筒状内壁部と、該円筒状内壁部と同心状の円筒状外壁部と、前記円筒状内壁部と前記円筒状外壁部とを結合する円環状底部とからなり、前記コータカップに対して着脱できるようになっていることを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項１の発明によれば、記録材料を捕集するインナーカップを短時間に、かつ容易に着脱することができ、したがって、メンテナンスを短時間で行えるので、スピンコート装置の稼働停止時間を大幅に短くでき、生産効率を向上することができる。

請求項２に係る発明は、記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルユニットと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承された状態で、前記インナーカップ内を下方向に延びる円筒状スカート部を有することを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項２の発明によれば、記録材料液のミストがコータカバーとインナーカップとの当接する箇所に固着するのを抑制できるので、インナーカップをコータカップに対して短時間で、かつ容易に着脱することができ、したがって、メンテナンスを短時間で行えるので、スピンコート装置の稼働停止時間を短縮でき、生産効率を向上することができる。

請求項３に係る発明は、記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルユニットと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記記録材料供給機構の空撃ち時に吐出される前記記録材料を前記インナーカップ内に流すための空撃ち用孔を有することを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項３の発明によれば、記録材料供給機構の空撃ち時に吐出される記録材料液の捕集機構が簡易になり、また、記録材料液の捕集通路を短くできるので、装置の簡素化が図れると同時に、従来のように色素材料がドレインに固着するという問題を解決できる。

請求項４に係る発明は、請求項３において、前記コータカバーは、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承された状態では、前記インナーカップ内に延びる円筒状スカート部を有すると共に、前記空撃ち用孔の出口を前記円筒状スカート部の放射外方向に有することを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項４の発明によれば、記録材料液のミストがコータカバーとインナーカップとの当接する箇所に固着するのを抑制できると同時に、空撃ち孔に前記ミストが固着するのも抑制できるので、メンテナンスが容易になる。

請求項５に係る発明は、請求項４において、前記空撃ち用孔は、前記コータカバーの上面に形成された入口を有し、該入口は前記出口よりも大きいことを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項５の発明によれば、記録材料供給機構の空撃ち時に吐出される記録材料液を液体の状態で容易にインナーカップに回収することができる。

請求項６に係る発明は、請求項４又は請求項５において、前記円筒状スカート部は、前記空撃ち用孔の出口に通じる溝をその外周面に備えていることを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項６の発明によれば、記録材料供給機構の空撃ち時に吐出される記録材料液を円滑にインナーカップに滴下させることができ、円筒状スカート部の外面に記録材料液が固着するのを抑制できる。

請求項７に係る発明は、請求項４ないし請求項６のいずれか１項において、前記円筒状スカート部及び前記空撃ち用孔の出口よりも放射外方向における前記コータカバーの下面に、円環状の小溝を備えていることを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項７の発明によれば、記録材料液がコータカバーの下面を伝わってコータカバーとインナーカップとの当接する箇所に固着するのを抑制できるので、メンテナンスが容易になる。

請求項８に係る発明は、請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、少なくとも前記コータカバーを前記インナーカップ又は前記コータカップに位置決めするための位置決め用係止部を備えていることを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項８の発明によれば、コータカバーに形成されている空撃ち用孔と記録材料供給機構との位置合わせを容易に行うことができ、メンテナンス時におけるコータカバーへのコータカバー、インナーカップを装着する所要時間を短縮できる。

請求項９に係る発明は、請求項１ないし請求項８のいずれか１項において、前記インナーカップには、前記記録材料を排出するためのドレイン構造を有していないことを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項９の発明によれば、インナーカップに、捕集した記録材料液を排出するドレイン構造を有していないので、インナーカップの着脱が容易となり、ドレインに色素材料が固着することもないので、メンテナンスが容易となる。

請求項１０に係る発明は、請求項１ないし請求項９のいずれか１項において、前記回転テーブルは、前記光ディスク基板とほぼ同径もしくは同径以上の直径を有することを特徴とするスピンコート装置を提供するものである。

請求項１０の発明によれば、回転テーブルが光ディスク基板以上の直径を有しても、回転テーブルを取り外すことなく、整流部材、インナーカップを着脱することができるので、メンテナンスが容易になる。

本発明によれば、メンテナンスし易い構造を有するスピンコート装置を提供することができ、したがって、メンテナンス時にスピンコート装置を稼働停止にしておく時間を従来に比べて短くできるので、生産性を向上できる。

先ず、本発明を実施するための最良の形態である実施例１のスピンコート装置１００について説明する。

図１ないし図５により本発明の一実施例について説明する。図１は、本発明の一実施例にかかるスピンコート装置１００を示す図面であり、図２はスピンコート装置１００の一部分を拡大した図面であり、図３はコータカバーの一部断面を示す図であり、図４はコータカップとインナーカップとコータカバーとの位置決めを説明するための図面であり、図５は記録材料供給機構の空撃ちを説明するための図面である。

図１において、鍋状のコータカップ１の円形状底部１ａの中央部には通常の小型の回転駆動モータ２が取り付けられている。回転駆動モータ２の回転力はスピンドルユニット３によって回転テーブル４に伝達される。回転テーブル４は、光ディスク基板Ｓの平坦性を確保するために、図２に示すように、光ディスク基板Ｓの直径と同等、もしくはそれよりも大きい直径ｄ１の円板状載置部４Ａと、その下側に位置してスピンドルユニット３に結合された円筒状基部４Ｂとを有する。

回転テーブル４の外周と下部とを囲むように整流部材５が備えられている。整流部材５は、遠心力で振り切られた記録材料液が飛散しないように整流すると共に、スピンコート時に回転テーブル４の下面、光ディスク基板Ｓの下面に記録材料のミストが回り込まないようにする働きをするものである。この整流部材５の特徴は、内側固定部分５Ａと外側着脱部分５Ｂとからなるところにある。図示しない固定部位に固定された内側固定部分５Ａは、回転テーブル４の円筒状基部４Ｂを、これに接触することがないように囲む円環状の板であり、外径の大きい大径部５ａとそれよりも径の小さい小径部５ｂとからなる。大径部５ａと小径部５ｂとによって、その外周には円環状の段差部５ｃが形成される。図２に示すように、内側固定部分５Ａの大径部５ａ、小径部５ｂはそれぞれＤ２、Ｄ２’の直径を有する。図示しないが、更に前記ミストの回り込みを防止するために、内側固定部分５Ａの上面には円環状凸部が形成されると共に、その円環状凸部に対応する回転テーブル４の円板状載置部４Ａの下面に円環状溝が形成され、その円環状溝に前記円環状凸部の一部分が間隙を介して入り込むようになっている。

整流部材５の外側着脱部分５Ｂは、内側固定部分５Ａの円環状の段差部５ｃに適合して密接する段差部５ｄを有すると共に、回転テーブル４の円板状載置部４Ａの直径ｄ１よりも大きな直径Ｄ１の円筒状内壁面５ｅを有する環状のものである。直径ｄ１と直径Ｄ１との差は、接触しない程度ないしは数ｍｍ程度である。また、外側着脱部分５Ｂは回転テーブル４の円板状載置部４Ａの上面とほぼ同等又は幾分それよりも低い上面５ｆと外方向に下がるテーパー面５ｇとを有する。

余剰の記録材料を捕集するためのインナーカップ６は、整流部材５の内側固定部分５Ａの大径部５ａの直径Ｄ２よりも大きな直径ｄ２を有する円筒状の内壁部６ａ、円筒状の外壁部６ｂ、それら内壁部６ａと外壁部６ｂとの底面を結合して閉じる円環状の底板部６ｃとからなり、底板部６ｃには記録材料排出用のドレインは有していない。したがって、スピンコーティング時に振り切られた余剰の記録材料液はインナーカップ６に回収され、溜められる。そして、円筒状の外壁部６ｂの上側部分は、外壁部６ｂから放射外方向に延びる円環状の段差部６ｄによって、円筒状の外壁部６ｂよりも径の大きな大径部６ｅになっている。

コータカップ１の上側部分は、その円筒状側壁部１ｂから放射外方向に延びる円環状の段差部１ｃによって、円筒状側壁部１ｂよりも径の大きな大径部１ｄになっており、インナーカップ６における円筒状の外壁部６ｂの段差部６ｄは、その円環状の段差部１ｃによって支承される。このとき、インナーカップ６の底板部６ｃはコータカップ１の円形状底部１ａに当接し、支承される。したがって、インナーカップ６はコータカップ１によって安定に支承される。

コータカバー７は、図３（Ａ）にも示されているように、光ディスク基板Ｓの直径よりも大きな直径の中央孔７ａを有する円形状の上面７ｂと、インナーカップ６の大径部６ｅの直径よりも幾分小さく、その大径部６ｅに納まる径の円筒状外壁部７ｃと、記録材料の液体が飛散するのを抑制する飛散抑制壁部７ｄと、飛散抑制壁部７ｄの下端からインナーカップ６内に延びる円筒状のスカート部７ｅと、スカート部７ｅの外方向における底部に設けられた円環状の小溝７ｆと、記録材料供給機構８の空撃ち時に吐出される記録材料の液体を受ける空撃ち用孔７ｇとを有する。この空撃ち用孔７ｇは上面７ｂの一部分に設けられており、入口面積が最も大きく、所定面積まで徐々に小さくなり、所定面積に達した後にはインナーカップ６に対向する底部の出口までその面積が保持される流路を形成する。また、図３（Ｂ）に示すように、好ましくはスカート部７ｅの外面には、空撃ち用孔７ｇに通じる溝７ｈが形成されており、空撃ち時に空撃ち用孔７ｇを流れる記録材料液がスカート部７ｅの溝７ｈを通ってインナーカップ６内に滴り落ちるようになっている。

また、図４に示すように、コータカップ１とインナーカップ６とコータカバー７との側壁とは、コータカップ１に対して空撃ち用孔７ｇを常に一定の位置に位置決めするための位置決め係止部Ｘ１〜Ｘ４を有する。この例では、コータカップ１の大径部１ｄの内壁に形成された位置決め係止部Ｘ１は楔形凸部であり、インナーカップ６の大径部６ｅの外周には位置決め係止部Ｘ１に適合する楔形の凹部である位置決め係止部Ｘ２が形成されている。そして、インナーカップ６の大径部６ｅの内周には楔形凸部である位置決め係止部Ｘ３が形成され、コータカバー７の円筒状外壁部７ｃには位置決め係止部Ｘ３に適合する楔形凹部である位置決め係止部Ｘ４が形成されている。これら位置決め係止部Ｘ１〜Ｘ４によって、コータカップ１に対するインナーカップ６とコータカバー７との位置は常に一定になり、空撃ち用孔７ｇの位置も常に一定となる。なお、図示しないが、コータカップ１とコータカバー７とが直接係止し、このときインナーカップ６は係止せずに可動状態にある構造であっても勿論よい。

また、これら位置決め係止部Ｘ１〜Ｘ４についてはいろいろの形状が考えられ、楔形に代えて矩形状、半円状、あるいはコータカップ１に設けられた位置決め係止部がインナーカップ６に設けた切り欠き又は透孔を通してコータカバー７との側壁に設けられた位置決め係止部まで延びて係止されるものであってもよい。凸部と凹部とが図４とは逆であっても勿論よい。

コータカバー７の上方には、記録材料を光ディスク基板Ｓに供給する記録材料供給機構８が備えられている。記録材料供給機構８は、左右に旋回するアーム部材８ａとアーム部材８ａの先端部分に備えられたノズル部材８ｂなどとからなり、他の部材については図示していない。図５の矢印Ａ１で示すように、アーム部材８ａは基本ポジションＰから光ディスク基板Ｓの真上まで旋回して停止し、中央孔７ａを通してノズル部材８ｂから記録材料液を光ディスク基板Ｓ上に供給する。記録材料液の供給が終了すると、アーム部材８ａは基本ポジションＰに戻る。

供給する記録材料を変更、あるいはこの装置の稼働停止が長かった場合などには、一般的に、記録材料供給機構８は記録材料の供給が安定になるまで空撃ち動作を行い、ノズル部材８ｂから記録材料液を吐出する。この空撃ち動作のときには、アーム部材８ａは基本ポジションＰから空撃ち用孔７ｇの真上まで移動し、ノズル部材８ｂは記録材料液を空撃ち用孔７ｇに向けて吐出する。ノズル部材８ｂから記録材料液が安定に吐出されることが確認されると、再びアーム部材８ａは基本ポジションＰに戻る。なお、コータカップ１の円形状底部１ａには溶剤などのガスを排気するための排気口１ｅが備えられている。空撃ち用孔７ｇをコータカップ１の所定位置に常に保持するために、前述のような位置決め係止部Ｘ１〜Ｘ４を備えている。

次に、このスピンコート装置１００の動作を説明しながら、インナーカップ６の交換作業について説明する。駆動回転モータ２を低速回転させた状態で、記録材料供給機構８のノズル部材８ｂから記録材料液を光ディスク基板Ｓ上に円環状又は螺旋上に供給してから、駆動回転モータ２を高速回転させ、回転テーブル４と一緒に光ディスク基板Ｓを高速回転させ、光ディスク基板Ｓ上の記録材料液を展延させる。このとき、余剰の記録材料液は遠心力によって振り切られ、振り切られた記録材料液は整流部材５によって整流されて、飛散の少ない角度でコータカバー７の飛散抑止壁部７ｄにぶつかり、円筒状スカート部７ｅを伝わるなどしてインナーカップ６内に滴下する。この際に、記録材料液はミスト状になるものあり、ミストは浮遊しながら降下するが、部材間の当接する隙間に浸入しようとする。

コータカバー７の円筒状スカート部７ｅは、その内面にミストを付着させ、その裏側に回り込むミストの量を少なくすることによって、記録材料液のミストがコータカバー７とインナーカップ６との当接する箇所の隙間に浸入するのを抑制する働きを行う。また、コータカバー７の底部に設けられた円環状の小溝７ｆは、空撃ちされた記録材料液がコータカバー７の底部を伝わってコータカバー７とインナーカップ６との当接箇所に流れるのを防ぐ。したがって、コータカバー７とインナーカップ６との当接する箇所に浸入する記録材料液を最小限に抑制できるために、記録材料液中の色素材料が固化しても、コータカバー７をインナーカップ６から容易に取り外すことができ、メンテナンスを容易なものとする。

整流部材５の外側着脱部分５Ｂは、記録材料液のミストが回転テーブル４の裏側に回り込むのを防ぐ役割を行うので、記録材料液のミストが内側固定部分５Ａと外側着脱部分５Ｂとの当接箇所に侵入するのを防ぐ。したがって、外側着脱部分５Ｂを内側固定部分５Ａから容易に取り外すことができる。このような記録膜形成工程を多数行うことによって、インナーカップ６内に捕集された記録材料は増え、やがて許容量に達して交換が必要になる。このとき、インナーカップ６内の記録材料は粉状の固形物、又はドロドロの粘度の高い液体である。

このインナーカップ６を交換するに当たっては、先ず、必要があれば、コータカップ１、インナーカップ６、コータカバー７に取り付け孔を有する取り付け部（不図示）を設け、その取り付け孔から取り付けビスなどを外した後に、コータカバー７を上方に持ち上げて取り外し、次に整流部材５の外側着脱部分５Ｂを内側固定部分５Ａから取り外す。この際、前述したように、外側着脱部分５Ｂの最小の内径Ｄ１は回転テーブル４の最大の直径ｄ１よりも大きいので、外側着脱部分５Ｂを内側固定部分５Ａから容易に取り外すことができる。この状態で、インナーカップ６を持ち上げて除去する。インナーカップ６の内壁部６ｄの直径ｄ２は、回転テーブル４の最大の直径ｄ１は勿論のこと、整流部材５の内側固定部分５Ａの最大の外径Ｄ２よりも大きいので、回転テーブル４と整流部材５の内側固定部分５Ａとをそのままにしておいて、インナーカップ６を取り外すことができる。また、前述のように、各部材の当接箇所には色素材料がほとんど固着していないので、それらを容易に取り外すことができる。

インナーカップ６に回収された記録材料は再利用される。また、同様に、整流部材５の外側着脱部分５Ｂ、インナーカップ６、コータカバー７は破損などしていないものは洗浄して再使用されるので、洗浄液で記録材料が落ち易いように、少なくとも外側着脱部分５Ｂの外面、インナーカップ６とコータカバー７との内面はフッ素樹脂でコーティングされているのが好ましい。

これらの交換時には、コータカバー７、整流部材５の外側着脱部分５Ｂ、インナーカップ６を外したら、予め洗浄されているインナーカップ６を直ぐにコータカップ１にセットし、次に、整流部材５の外側着脱部分５Ｂを、さらにコータカバー７を取り付けることによって、このスピンコート装置の稼働停止を最小限にして、直ぐにこの装置の稼働を再開できる。このように、この実施例のインナーカップ６の交換時間、つまりメンテナンスに要する時間は短時間であり、したがって、スピンコート装置の稼働の停止時間を従来装置の洗浄に要する時間に比べて大幅に短縮でき、生産効率を向上させることができる。

以上の実施例においては、整流部材５の内側固定部分５Ａと外側着脱部分５Ｂとの当接を段差５ｃと５ｄで行ったが、段差５ｃと５ｄを適合する相補的な角度を有するテーパー面Ｔとしても勿論よい。また、コータカバー７の円筒状スカート部７ｅは下端側が放射外方向に開いて、円筒状スカート部７ｅの下端とインナーカップ６の円筒状の外壁部６ｂの内面との間隔を狭くするようなものであってもよい。

また、以上の実施例では駆動回転モータ２をコータカップ１内に設けたが、駆動回転モータ２の熱をできるだけ回転テーブル４に伝えないために、駆動回転モータ２を回転テーブル４から離すことが行われている。特に図示はしないが、図１を用いて説明すると、駆動回転モータ２をコータカップ１の下方に位置させ、コータカップ１の底板部１ａに孔を設け、その孔を通してラビリンスシール機構などを採用した非接触式のスピンドルユニット３を延ばして、駆動回転モータ２の回転力を回転テーブル４に伝達する。基板を回転テーブル４に吸着するための真空吸着機構については、本発明の要件から外れているので、説明を省略する。

なお、以上の実施例では最良の形態について述べたが、必ずしもコータカバー７の円筒状スカート部７ｅ、空撃ち用孔７ｇ、小溝７ｆを単一のスピンコート装置に備えていなくともよい。

本発明の一実施例に係るスピンコート装置１００の示す図である。 本発明の一実施例に係るスピンコート装置１００の一部分を拡大した図である。 本発明の一実施例に係るスピンコート装置１００に用いられるコータカバーの部分断面図である。 本発明の一実施例に係るスピンコート装置１００における位置決め部を説明するための図である。 本発明の一実施例に係るスピンコート装置１００における記録材料供給機構について説明するための図である。

符号の説明

１・・・コータカップ、
２・・・駆動回転モータ、
３・・・スピンドルユニット、
４・・・回転テーブル、
５・・・整流部材、
５Ａ・・・内側固定部分、
５Ｂ・・・外側着脱部分、
６・・・インナーカップ、
７・・・コータカバー、
７ｅ・・・スカート部、
７ｆ・・・小溝、
７ｇ・・・空撃ち用孔、
８・・・記録材料供給機構、
Ｘ１〜Ｘ４・・・位置決め係止部。

Claims (10)

1. 記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、
   前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されており、
   前記整流部材は、内側固定部分と、該内側固定部分に係止される外側着脱部分とからなり、該外側着脱部分は前記回転テーブルの直径ｄ１よりも大きな内径Ｄ１を有し、
   前記インナーカップは、前記整流部材の前記内側固定部分の外径Ｄ２よりも大きな内径ｄ２を有する円筒状内壁部と、該円筒状内壁部と同心状の円筒状外壁部と、前記円筒状内壁部と前記円筒状外壁部とを結合する円環状底部とからなり、前記コータカップに対して着脱できるようになっていることを特徴とするスピンコート装置。
2. 記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、
   前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承された状態で、前記インナーカップ内を下方向に延びる円筒状スカート部を有することを特徴とするスピンコート装置。
3. 記録材料を光ディスク基板に供給する記録材料供給機構と、記録膜が形成される前記光ディスク基板が載置される回転テーブルと、回転駆動モータと、該回転駆動モータの回転力を前記回転テーブルに伝達するスピンドルと、前記回転テーブル又は前記光ディスク基板の下側に記録材料のミストが回り込むのを防止する整流部材と、コータカップと、該コータカップ内に納められるインナーカップと、コータカバーとを備えたスピンコート装置において、
   前記コータカバーは、着脱可能なように前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記記録材料供給機構の空撃ち時に吐出される前記記録材料を前記インナーカップ内に流すための空撃ち用孔を有することを特徴とするスピンコート装置。
4. 請求項３において、
   前記コータカバーは、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承されるようになっており、前記インナーカップ又は前記コータカップに支承された状態では、前記インナーカップ内に延びる円筒状スカート部を有すると共に、前記空撃ち用孔の出口を前記円筒状スカート部の放射外方向に有することを特徴とするスピンコート装置。
5. 請求項４において、
   前記空撃ち用孔は、前記コータカバーの上面に形成された入口を有し、該入口は前記出口よりも大きいことを特徴とするスピンコート装置。
6. 請求項４又は請求項５において、
   前記円筒状スカート部は、前記空撃ち用孔の出口に通じる溝をその外周面に備えていることを特徴とするスピンコート装置。
7. 請求項４ないし請求項６のいずれか１項において、
   前記円筒状スカート部及び前記空撃ち用孔の出口よりも放射外方向における前記コータカバーの下面に、円環状の小溝を備えていることを特徴とするスピンコート装置。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、
   少なくとも前記コータカバーを前記インナーカップ又は前記コータカップに位置決めするための位置決め用係止部を備えていることを特徴とするスピンコート装置。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか１項において、
   前記インナーカップには、前記記録材料を排出するためのドレイン構造を有していないことを特徴とするスピンコート装置。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれか１項において、
    前記回転テーブルは、前記光ディスク基板とほぼ同径もしくは同径以上の直径を有することを特徴とするスピンコート装置。

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