[go: up one dir, main page]

JP2005157205A - 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法 - Google Patents

保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005157205A
JP2005157205A JP2003399139A JP2003399139A JP2005157205A JP 2005157205 A JP2005157205 A JP 2005157205A JP 2003399139 A JP2003399139 A JP 2003399139A JP 2003399139 A JP2003399139 A JP 2003399139A JP 2005157205 A JP2005157205 A JP 2005157205A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
photosensitive
resin layer
support film
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2003399139A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsutoshi Itagaki
勝俊 板垣
Tatsuya Ichikawa
立也 市川
Kimihiro Yoshizako
公博 吉廻
Masao Kubota
雅夫 久保田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2003399139A priority Critical patent/JP2005157205A/ja
Publication of JP2005157205A publication Critical patent/JP2005157205A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

【課題】 保護フィルムや離型処理済み支持フィルム使用しないで済む保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 支持フィルム1と、その支持フィルム1上に順に積層した感光性樹脂層(第一の樹脂層)2及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)3とからなる感光性フィルムであって、その第二の樹脂層3の支持フィルム1に対する接着力は、第一の樹脂層2の支持フィルム1に対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの2枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に回復可能である。
【選択図】 図1

Description

本発明は、保護フィルムのない保護フィルムレス型感光性フィルム、及びその製造方法に関する。
プリント配線板の製造において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、従来、支持体(支持フィルム)上に感光性樹脂層を形成させ、これを保護フィルムで覆った感光性フィルムが広く用いられている。
また、プリント配線板は、通常、感光性フィルムを銅基板上にラミネートして、ポジ型では、パターン露光した後、硬化部分を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、基板上にパターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離除去する方法によって製造されている。
そして、感光性フィルムとしては、支持フィルム、感光性樹脂層及び保護フィルムの3層構造や、あるいは、シリコン系もしくは非シリコン系の離型処理を施した支持フィルムと感光性樹脂層との2層構造が知られている(特許文献1〜3参照)。
特開平09−230580号公報 特開2003−195491号公報 特開2003−195492号公報
しかし、近年、廃棄物による環境問題や、感光性フィルムのコスト削減等の要求から、機能面で割愛可能な保護フィルムや高価な離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む感光性フィルムが強く望まれている。
本発明の目的は、このような保護フィルムや離型処理済み支持フィルム使用しないで済む保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法を提供することである。
本発明は、要するに、支持フィルム1と、その支持フィルム1上に積層した感光性樹脂層とからなる感光性フィルムであって、その支持フィルム1は表裏ともに同じ被着体特性を有し、かつ、その感光性フィルムの2枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面(上側に感光性樹脂層がある場合、上方側の支持フィルム1と下方側の感光性樹脂層との間)で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復することのできる感光性フィルムである。

また、本発明は、支持フィルム1と、その支持フィルム1上に順に積層した感光性樹脂層(第一の樹脂層)2及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)3とからなる感光性フィルムであって、その第二の樹脂層3の支持フィルム1に対する接着力は、第一の樹脂層2の支持フィルム1に対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの2枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面(支持フィルム1と第二の樹脂層3との間)で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復することのできる感光性フィルムでもある。ここで、第一の樹脂層2と第二の樹脂層3との間に、更に第三の樹脂層があってもよい。
前者の感光性フィルムにおいては、支持フィルム1は表裏ともに同じ被着体特性を有するものであることは前述の通りであるが、後者の感光性フィルムにおいても、その支持フィルムの表裏は同じような被着体特性をもつことが好ましい。そのためには、その支持フィルムの積層構造は、通常、単層か3層である。
また、ここで、第二の樹脂層3に含有するポリマーのTgは、第一の樹脂層2に含有するポリマーのTgよりも高いものを用いることが好ましい。
また、ここで、第一の樹脂層2には、支持フィルム1との密着性を向上させる添加剤を添加する(第二の樹脂層3には、そのような添加剤を添加しない)ことが好ましい。
本発明の感光性フィルムの形態は、一枚ずつのラベル状の形態とすることもできるが、通常は、巻芯にぐるぐる巻かれてなるロール状の形態である。すなわち、支持フィルムを外側にして、最初に、巻芯に感光性樹脂層(又は、第二の樹脂層3)を巻き付けたロール状感光性フィルムである。ロール状感光性フィルムの最外層は、遮光シートやブラックポリエチレンシート等の保護シートで巻いてもよい。
本発明は、感光性フィルムの製造方法も提供する。すなわち、その製造方法は、支持フィルム1上に、支持フィルム1に対して接着力のある感光性樹脂層(第一の樹脂層)2を形成し、更にその上に、支持フィルムに対して接着力の弱い感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)3を形成し、その後、支持フィルム1を外側にして、最初に巻芯に樹脂層(厳密には、第二の樹脂層3)を巻き付けロール状に巻き取ることを特徴とするものである。こうすることにより、感光性フィルムの断面が、支持フィルム1、第一の樹脂層2及び第二の樹脂層3の順で繰り返す構造のロール状感光性フィルムが得られる。
(作用)
本発明の感光性フィルムは、支持フィルム1と、その支持フィルム1上に順に積層した感光性樹脂層(第一の樹脂層)2及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)3とからなる感光性フィルムであって、上で述べたように、その第二の樹脂層3の支持フィルム1に対する接着力は、第一の樹脂層2の支持フィルム1に対する接着力よりも小さい。そのため、感光性フィルムの2枚(又は2枚以上)を同じ向きに重ねて押圧・密着させても、剥がすときは、その密着させた界面(支持フィルム1と第二の樹脂層3との間)で容易に剥がれ、押圧・密着前の元の状態に復することができる。支持フィルム1の片面は、従来の保護フィルムの機能を果たす訳である。
支持フィルム1が、表裏ともに同じ被着体特性を有するものであれば、その表裏のどちら側にも感光性樹脂層を形成できるので、作業がやり易く、また、幅広く製造装置を選択できる。支持フィルム1の再利用もしやすい。
本発明により、保護フィルムを使用せずに、従来と同等以上の特性をもつ保護フィルムレス型の感光性フィルムを提供できた。また、離型処理剤や高価な離型処理済み支持フィルムも使用しないので、製造コストの低減にも寄与する。また、保護フィルムを使用しないので廃棄物(ゴミ)の排出量の低減にも貢献する。また、保護フィルムを使用しないので、ロール状品においては、所定の巻き径で多くの感光性フィルム(製品)を巻くことができる。
以下、実施例により本発明を更に具体的に詳細に説明する。
実施例1 保護フィルムレス型感光性フィルムの製造
第一の樹脂層に用いる溶液を調製した。材料の配合を表1に示した。
Figure 2005157205
第二の樹脂層に用いる溶液を調製した。材料の配合は表2に示した。
Figure 2005157205
得られた第一の樹脂層に用いる溶液を、16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム)に均一に塗布し、90℃の熱風に10分間乾燥し、続いて、その上に、第二の樹脂層に用いる溶液をに均一に塗布し、90℃の熱風に10分間乾燥して、図1に示すような感光性フィルムを得た。樹脂層の厚みの合計は30μmであった。
別途、接着力測定用に、PETフィルム上に第一の樹脂層を均一に塗布・乾燥したもの、並びにPETフィルム上に第二の樹脂層を均一に塗布・乾燥した試験フィルムも用意した。
用意した試験フィルム(第一の樹脂層/ポリエチレンテレフタレートフィルムと、第二の樹脂層/ポリエチレンテレフタレートフィルム)の接着力の測定結果を表3に示した。第一の樹脂層とPETフィルムとの接着力は7.0(N/m)であるのに対して、第二の樹脂層とPETフィルムとの接着力は2.0(N/m)で小さいことが分かる。
なお、比較としては、保護フィルム(ポリエチレン(PE)フィルム)を使用した感光性フィルムの樹脂層とPEフィルムとの接着力を測定した。
Figure 2005157205
ここで、接着力測定用試験片の調製は、図2に示す通りとした。すなわち、ガラスエポキシ材の両面に銅箔(厚み35μm)を積層した銅張り積層板5(日立化成工業株式会社製、商品名MCL−E−61)に、両面テープ11(ニチバン株式会社製、商品名:ナイスタック)を、5mm幅に2本(又は10mm幅に1本)貼り、その上に、先に用意した試験フィルム12(20mm×100mm)を樹脂層側を内側にして貼り付け、予めその試験フィルム12(又はPEフィルム)を剥がすような状態にしておく。
接着力の測定方法は、接着力測定用試験片を図3に示す治具に取付け、昇降テーブルを一定速度で降し、接着している試験フィルム12(又はPEフィルム)の接着力をレオメータ(株式会社レオテック製、RT−3010D−CW)で測定した。
プリント配線板への応用例
ガラスエポキシ材であるの両面に銅箔(厚み35μm)を積層した銅張り積層板(日立化成工業株式会社製、商品名MCL−E−61)の銅表面を、#600相当のブラシを持つ研磨機(三啓株式会社製)を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を80℃に加温し、その銅表面上に、先に製造した感光性フィルムを110℃のヒートロールを用い3m/分の速度でラミネートした。
次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機(株式会社オーク製作所製)HMW−201Bを用いて、60mJ/cmで露光したのち、これを所定の現像液で現像し、水洗・乾燥し、続いてプリント配線板の回路形成プロセスを実施し、プリント配線板を完成した。得られたプリント配線板は、比較例(従来の感光性フィルム)と同レベルの性能であることを確認した。また、そのときの1000mあたりの廃棄物(ゴミ)の排出量を表4に示した。廃棄物(ゴミ)の排出量は従来の感光性フィルムを用いた場合の約半分であることが分かる。
Figure 2005157205
(イ)は積層状態も合わせて示した本発明のロール状感光性フィルムの断面図であり、(ロ)は積層部分の拡大図である。 接着力測定用試験片の調製手順を示す模式図(平面図)である。 試験フィルムの接着力を測定する装置及び測定方法を示す概略図(縦断面図)である。
符号の説明
1:支持フィルム
2:第一の樹脂層
3:第二の樹脂層
5:銅張り積層板
6:昇降テーブル
7:荷重
8:留め金
9:ゴムシール
10:基板抑え
11:両面テープ
12:試験フィルム

Claims (8)

  1. 支持フィルムと、その支持フィルム上に積層した感光性樹脂層とからなる感光性フィルムであって、
    前記支持フィルムは、表裏ともに同じ被着体特性を有し、かつ、感光性フィルムの2枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復する感光性フィルム。
  2. 支持フィルムと、その支持フィルム上に順に積層した感光性樹脂層(第一の樹脂層)及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)とからなる感光性フィルムであって、
    前記第二の樹脂層の支持フィルムに対する接着力は、前記第一の樹脂層の支持フィルムに対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの2枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復する感光性フィルム。
  3. 支持フィルムは、表裏ともに同じ被着体特性を有している請求項2の感光性フィルム。
  4. 第二の樹脂層に含有するポリマーのTgは、第一の樹脂層に含有するポリマーのTgよりも高い、請求項2又は3の感光性フィルム。
  5. 第一の樹脂層には、支持フィルムとの密着性を向上させる添加剤が含まれている、請求項2〜4のいずれかの感光性フィルム。
  6. ロール状に巻かれている請求項1〜5のいずれかの感光性フィルム。
  7. 支持フィルムを外側にして、最初に、巻芯に感光性樹脂層を巻き付けながら、ロール状に巻かれている請求項6の感光性フィルム。
  8. 支持フィルム上に、支持フィルムに対して接着力のある感光性樹脂層(第一の樹脂層)を形成し、更にその上に、支持フィルムに対して接着力の弱い感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層(第二の樹脂層)を形成し、その後、支持フィルムを外側にして、最初に巻芯に樹脂層を巻き付けロール状に巻き取ることを特徴とする感光性フィルムの製造方法。
JP2003399139A 2003-11-28 2003-11-28 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法 Withdrawn JP2005157205A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003399139A JP2005157205A (ja) 2003-11-28 2003-11-28 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003399139A JP2005157205A (ja) 2003-11-28 2003-11-28 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005157205A true JP2005157205A (ja) 2005-06-16

Family

ID=34723780

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003399139A Withdrawn JP2005157205A (ja) 2003-11-28 2003-11-28 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005157205A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006011548A1 (ja) * 2004-07-30 2006-02-02 Hitachi Chemical Company, Ltd. 感光性フィルム、感光性フィルム積層体及び感光性フィルムロール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006011548A1 (ja) * 2004-07-30 2006-02-02 Hitachi Chemical Company, Ltd. 感光性フィルム、感光性フィルム積層体及び感光性フィルムロール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI395058B (zh) 薄膜型傳送材料
KR20050059342A (ko) 유연한 배선 회로기판의 제조방법
KR100585564B1 (ko) 건식 막 포토레지스트 롤
US20100018638A1 (en) Method for manufacturing flexible printed circuit board
JP3704296B2 (ja) フォトマスク保護用粘着テープの製造方法
JP2882953B2 (ja) ドライフイルムレジスト
JP2005157205A (ja) 保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法
JP4916057B2 (ja) Fpc用保護フィルム、fpc用保護フィルム付樹脂導体箔積層体およびそれを用いたフレキシブルプリント配線基板の製造方法
TW201008431A (en) Method for manufacturing flexible printed circuit boards
JP2007152869A (ja) 極薄金属箔付き粘着テープ
KR102149795B1 (ko) 레지스트 필름 및 패턴 형성 방법
JP2012169268A (ja) 絶縁フィルム構造体及びその製造方法
CN111328217A (zh) Mems封装载板叠构及其制作方法
JPH09232724A (ja) プリント配線板の製造方法
KR100730761B1 (ko) 연성인쇄회로기판의 제조방법 및 그 원자재의 구조
JP2003160770A (ja) 回路形成用金属箔付き粘着テープ及び回路基板の製造方法
JP2005320377A (ja) 金属箔付粘着テープ、及び、回路転写テープ
JP2014123755A (ja) Fpc用保護フィルム、fpc用保護フィルム付樹脂導体箔積層体およびそれを用いたフレキシブルプリント配線基板の製造方法
JPH04245692A (ja) プリント配線板の製造方法
JP3410527B2 (ja) プリント回路基板の画像形成用フォトレジストフィルム
JP2005345698A (ja) 支持・保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造法
JP2003110226A (ja) 回路形成用転写材及び回路基板の製造方法
JP2010258211A (ja) フレキシブル片面銅張板積層体の製造方法及びフレキシブル片面プリント配線板の製造方法
JP2012028817A (ja) Fpc用保護フィルム、fpc用保護フィルム付樹脂導体箔積層体およびそれを用いたフレキシブルプリント配線基板の製造方法
JP3280604B2 (ja) 金属張り積層板の製造方法及びプリント配線板の製造方法及び多層板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20050408