JP2005143297A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【課題】 楕円振動を有効的に利用する上での、超音波モータの改良に関する技術を提供することにある。
【解決手段】 超音波モータは、楕円振動が発生し端面に凹部412が形成されるステータ410と、このステータ410の外周面に接触して回転する少なくとも一つの外周側ロータ440と、このステータ410の前記凹部412における内周面に接触して回転する少なくとも一つの内周側ロータ420と、を含む。
【選択図】 図11
【解決手段】 超音波モータは、楕円振動が発生し端面に凹部412が形成されるステータ410と、このステータ410の外周面に接触して回転する少なくとも一つの外周側ロータ440と、このステータ410の前記凹部412における内周面に接触して回転する少なくとも一つの内周側ロータ420と、を含む。
【選択図】 図11
Description
本発明は、定在波型の超音波モータに関する。
定在波型の超音波モータは、縦振動及び捩り振動を合成して、ステータに楕円振動を発生させてロータを駆動するようになっている。ここで、楕円振動の有効的な利用が要望されている。
例えば、効率的に楕円振動を発生させるために、ステータにスリットを形成する技術が、特開平7−75353号公報などに開示されている。このようなスリットは、ステータの一方の端部にのみ形成されている。したがって、このような形状の加工を行うには、ステータの一方の端面からエンドミル加工を行う必要がある。
しかしながら、これによれば、スリット毎に加工を行う必要があり、その数が多くなると、加工に時間がかかるという問題があった。
また、従来の定在波型の超音波モータでは、楕円振動がステータの全体に生じるにも関わらず、端面に生じた楕円振動のみが利用されていたので、出力の取り出す位置が制限されるという問題があった。
このように、従来技術によれば、超音波モータの楕円振動を有効的に利用する上で、製造工程における問題又は出力の取り出し位置における問題があった。
特開平6−343274号公報
実開平6−74216号公報
特開平3−226279号公報
特開平8−103088号公報
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、楕円振動を有効的に利用する上での、超音波モータの改良に関する技術を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は次の特徴を有している。
ステータに形成されるスリットによって楕円振動を発生させる定在波型の超音波モータの製造方法において、
側面の上端から下端に至るスリットを第1のブロックに形成する工程と、
前記第1のブロックを第2のブロックに積み重ねて前記ステータを得る工程と、を含む。
側面の上端から下端に至るスリットを第1のブロックに形成する工程と、
前記第1のブロックを第2のブロックに積み重ねて前記ステータを得る工程と、を含む。
これによれば、ステータが第1及び第2のブロックに分割されているので、スリットの形成が容易になっている。つまり、スリットは、第1のブロックの側面における上端から下端に至るように形成されるので、上下いずれかの端部にのみ形成するよりも、容易に形成することができる。そして、この第1のブロックに第2のブロックを積み重ねれば、一方の端部にのみスリットを有するステータを容易に得ることができる。さらに、スリットの形成が容易になれば、精度も向上させることができる。
ステータに形成されるスリットによって楕円振動を発生させる定在波型の超音波モータの製造方法において、
ブロックの側面に、メタルソーによって、スリットを形成して前記ステータを得る工程を含む。
ブロックの側面に、メタルソーによって、スリットを形成して前記ステータを得る工程を含む。
これによれば、メタルソーによってスリットを形成するので、エンドミル加工よりも簡単にスリットを形成することができる。
ステータに形成されるスリットによって楕円振動を発生させる定在波型の超音波モータの製造方法において、
ブロックの側面に、型によって、スリットを形成して前記ステータを得る工程を含む。
ブロックの側面に、型によって、スリットを形成して前記ステータを得る工程を含む。
これによれば、型によってスリットを形成するので、複数のスリットを一度に形成することができる。
この型の例として、鋳型又はプレス型が挙げられる。
超音波モータの製造方法において、
前記型によって、はすば歯車を製造する工程と、
はすば歯車をブロックに積み重ねて前記ステータを得る工程を含む。
前記型によって、はすば歯車を製造する工程と、
はすば歯車をブロックに積み重ねて前記ステータを得る工程を含む。
これによれば、はすば歯車を利用することで、一層簡単にステータを製造することができる。
ステータに形成されるスリットによって楕円振動を発生させる定在波型の超音波モータにおいて、
前記ステータは、側面の上端から下端に至るスリットが形成される第1のブロックと、前記第1のブロックに積み重ねられる第2のブロックと、を含む。
前記ステータは、側面の上端から下端に至るスリットが形成される第1のブロックと、前記第1のブロックに積み重ねられる第2のブロックと、を含む。
このような超音波モータは、上記方法によって製造することができる。
超音波モータにおいて、
前記ステータの外周面に接触して回転する少なくとも一つのロータを含む。
前記ステータの外周面に接触して回転する少なくとも一つのロータを含む。
これによれば、ロータがステータの外周面に接触して回転するので、出力の取り出し位置に多様性のある超音波モータを得ることができる。また、ステータの外周面が広ければ、複数のロータを回転させることもできる。こうして、楕円振動の有効的利用が可能になる。
超音波モータにおいて、
前記ステータは、円筒形をなし、
前記ロータは、リング状をなして、内周面が前記ステータの外周面に接触する。
前記ステータは、円筒形をなし、
前記ロータは、リング状をなして、内周面が前記ステータの外周面に接触する。
ステータの外周面にロータを接触させる手段の一つとして、このように、リング状のロータをステータの外側に配置して、ロータの内周面をステータの外周面に接触させてもよい。
超音波モータにおいて、
前記ステータは、前記ロータの回転を案内するガイド部を外周面に有する。
前記ステータは、前記ロータの回転を案内するガイド部を外周面に有する。
リング状のロータを用いた場合には、このように、ガイド部によってロータの回転位置を維持することが好ましい。
超音波モータにおいて、
前記ステータの端面には凹部が形成され、
前記ステータの前記凹部における内周面に接触して回転する少なくとも一つのロータを含む。
前記ステータの端面には凹部が形成され、
前記ステータの前記凹部における内周面に接触して回転する少なくとも一つのロータを含む。
これによれば、ステータの凹部の内周面にロータを接触させるので、複数のロータによる多段駆動も可能になる。
請求項1記載の発明は、楕円振動が発生し端面に凹部が形成されるステータと、このステータの外周面に接触して回転する少なくとも一つの外周側ロータと、このステータの前記凹部における内周面に接触して回転する少なくとも一つの内周側ロータと、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、外周側ロータ及び内周側ロータを使用して、二種類の位置から出力を取り出すことができる。しかも、複数の外周側ロータ及び複数の内周側ロータを使用すれば、多段駆動も可能になる。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の超音波モータにおいて、
前記ステータの端面に接触して回転する端面側ロータを有することを特徴とする。
前記ステータの端面に接触して回転する端面側ロータを有することを特徴とする。
これによれば、上述した本発明に係る超音波モータに加えて、従来のロータも使用されるので、楕円振動の効率的な利用がさらに可能になる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図2は、第1実施形態に係る超音波モータの全体を示す図である。この超音波モータは、ロータ1及びステータ10を含む。ロータ1は、ステータ10に生じる楕円振動によって回転するようになっている。この楕円振動を発生させるために、ステータ10は、第1〜第3のブロック11〜13、圧電素子14、15、電極板16、17を有する。これらは、内部に設けられたボルト(図示せず)によって連結されている。
図2は、第1実施形態に係る超音波モータの全体を示す図である。この超音波モータは、ロータ1及びステータ10を含む。ロータ1は、ステータ10に生じる楕円振動によって回転するようになっている。この楕円振動を発生させるために、ステータ10は、第1〜第3のブロック11〜13、圧電素子14、15、電極板16、17を有する。これらは、内部に設けられたボルト(図示せず)によって連結されている。
圧電素子14、15は、電極板16、17から印加された高周波交流電圧によって縦振動するようになっている。この縦振動は、第1〜第3のブロック11〜13にも伝達される。
第1のブロック11の外周面には、スリット18が斜めに形成されている。このスリット18が形成されることで、第1のブロック11に伝達された縦振動から捩り振動が生じるようになる。捩り振動は、第2及び第3のブロック12、13に伝達される。そして、縦振動及び捩り振動が合成されて、ステータ10に楕円振動が発生する。
なお、詳しくは、特開平7−75353号公報などに開示されているので、これ以上の説明を省略する。
本実施形態では、上記第1のブロック11の形状及び製造方法に特徴がある。図1(A)は第1のブロックの平面図、図1(B)は、第1及び第2のブロックの分解側面図、図1(C)は図1(B)におけるC−C線断面図である。
第1のブロック11は、図1(C)に示すように、丸キャップ形状をなしており、中央に上述したボルト(図示せず)を挿通するための穴11aが形成されている。また、第1のブロック11の側面には、斜めのスリット18が形成されている。
スリット18は、図1(B)に示すように、側面において上下端に連続して形成されている。言い換えると、スリット18は、ブロック11の両端面に溝が表れるようになり、側面においては内側に貫通するようになっている。
ブロック11は、金属板にスリット18を打ち抜いてプレス加工することで製造される。したがって、切削加工が行われないので製造工程が簡単になる。
ブロック12は、図1(B)及び図1(C)に示すように、ブロック11の裏側にはまりこむ形状をしている。なお、ブロック12の中央には、第1〜第3のブロック11〜13を上述したボルトによって連結できるように、貫通孔にめねじ12aが形成されている。
本実施形態によれば、ブロック11のスリット18をプレス加工によって簡単に形成できるので、製造コストの削減が可能になるとともに、加工精度を向上させることができる。
(第2実施形態)
次に、図3(A)及び図3(B)は、他の実施形態を示す図である。詳しくは、図3(A)は上記第1のブロック11の変形例の平面図、図3(B)は上記第1及び第2のブロック11、12の変形例の分解側面図である。
次に、図3(A)及び図3(B)は、他の実施形態を示す図である。詳しくは、図3(A)は上記第1のブロック11の変形例の平面図、図3(B)は上記第1及び第2のブロック11、12の変形例の分解側面図である。
同図において、ブロック21は、円柱状又は厚肉のリング状をなし、外周面にスリット28が形成されている。このスリット28は、図3(A)に示すように、両方の端面に表れるようになっている。すなわち、スリット28は、両端面に貫通して、側面の上端から下端に至るまで形成されている。
このようなスリット28の形状は、プレス加工による鍛造又は型による鋳造によって形成することができる。あるいは、スリット28は、両端面に貫通する形状なので切削加工にて形成するときでも工程が容易になる。また、ブロック21は、はすば歯車に似た形状であるので、これを代用してもよい。
なお、ブロック22は、金属からなり円柱状をなすものであって、従来のブロックと同様であるため説明を省略する。
(第3実施形態)
次に、図4(A)〜図4(C)は、図1(A)〜図1(C)に示す第1及び第2のブロック11、12の変形例を示す図で、図4(A)は平面図、図4(B)は側面図、図4(C)は一部を切り欠いた側面図である。
次に、図4(A)〜図4(C)は、図1(A)〜図1(C)に示す第1及び第2のブロック11、12の変形例を示す図で、図4(A)は平面図、図4(B)は側面図、図4(C)は一部を切り欠いた側面図である。
図4(A)〜図4(C)に示すブロック31は、側面における一方の端部(図において上端部)にのみスリット38が形成される点で、従来のスリット付きブロックと同様である。
ただし、本実施形態では、メタルソー(図示せず)にてスリット38が形成される。すなわち、ブロック31における側面と端面とで形成される角部31aに、メタルソーによって切削加工が施されてスリット38が形成される。そのため、スリット38の内部は、図4(C)に示すように、丸い底部となっている。また、図4(A)に示すように、スリット38は、ブロック31の端面において、外周から中心近くに至るまで長い放射線状の溝となっている。
本実施形態によれば、メタルソーによる加工であるため、エンドミル加工に比べて工程が簡単である。
(第4実施形態)
次に、図5(A)及び図5(B)は、図4(A)〜図4(C)に示すブロック31の変形例を示す図である。
次に、図5(A)及び図5(B)は、図4(A)〜図4(C)に示すブロック31の変形例を示す図である。
本実施形態では、スリット48の溝が表れる側の端面に、めねじ41aを削るように凹部41bが形成されている。そして、スリット48は、凹部41bに至るまで形成されている。
本実施形態によれば、凹部41bの領域では、めねじ41bが形成されていないので、この領域ではボルトによる拘束を受けない。そして、この拘束を受けない領域にスリット48が貫通しているので、スリット48を規定する部位も、ボルトによる拘束を受けにくくなる。こうして、スリット48によって捩り振動が効率的に発生するようになる。
(第5実施形態)
次に、図6(A)及び図6(B)は、図4(A)〜図4(C)に示すブロック31の変形例を示す図で、図6(A)は平面図、図6(B)は側面図である。
次に、図6(A)及び図6(B)は、図4(A)〜図4(C)に示すブロック31の変形例を示す図で、図6(A)は平面図、図6(B)は側面図である。
本実施形態において、ブロック51には、一方の端面に溝が表れるようにスリット58が形成されている。ブロック51の側面から見ると、スリット58は、ブロック51の中心軸に沿って真っ直ぐに立ち下がる壁面58aと、斜めに傾斜する壁面58bと、によって形成されている。また、壁面58bは、ブロック51の端面に近づくにつれて壁面58aとの間隔が広がるようになっている。つまり、スリット58は、テーパが付けられた形状となっている。
本実施形態によれば、スリット58がテーパ付の形状をなしているので、プレス加工による鍛造又は型による鋳造によってスリット58を形成するときに、型を容易に抜くことができる。
(第6実施形態)
次に、図7(A)及び図7(B)は、図6(A)及び図6(B)に示すブロック51の変形例を示す図であり、図7(A)は平面図、図7(B)は図7(A)におけるB−B線断面図である。
次に、図7(A)及び図7(B)は、図6(A)及び図6(B)に示すブロック51の変形例を示す図であり、図7(A)は平面図、図7(B)は図7(A)におけるB−B線断面図である。
本実施形態では、ブロック61の溝が表れる側の端面に、めねじ61aを削るように凹部61bが形成されている。そして、スリット68は、凹部61bに貫通するまで形成されている。
本実施形態によれば、凹部61bの領域ではめねじ61bが形成されていないので、この領域ではボルトによる拘束を受けない。その効果は、図5(A)及び図5(B)に係る実施形態の効果と同様であるので、詳しい説明を省略する。この実施形態においても、プレス加工によってスリット68を容易に製造することができる。
(第7実施形態)
図8(A)及び図8(B)は、第7実施形態に係る超音波モータを示す図であり、図8(A)は側面図、図8(B)は平面図である。
図8(A)及び図8(B)は、第7実施形態に係る超音波モータを示す図であり、図8(A)は側面図、図8(B)は平面図である。
この超音波モータ100は、ステータ110及びロータ120を有する。ステータ110は、第1〜第3のブロック111〜113、圧電素子114、115及び電極116、117を有して円柱形をなす。第2のブロック112には、複数のスリット118が形成されている。スリット118は、超音波モータの製造方法を適用して形成される。詳しくは、上述した実施形態と同様であるので詳しい説明を省略する。
ロータ120は、図8(B)に示すように、内径がステータ110よりも大きいリング状をなし、リングの内側にステータ110が配置される。ロータ120は、図示しない押圧手段を介して、その内周面120aがステータ110の外周面110aに接触するようになっている。
本実施形態によれば、電極116、117に高周波交流電圧を印加すると、圧電素子114、115の縦振動と、スリット118による捩り振動と、が組み合わされて、楕円振動が生じる。この楕円振動は、ステータ110の端面のみならず、外周面110aにも生じる。ステータ110の外周面110aにはロータ120の内周面120aが接触している。したがって、ステータ110の外周面110aに生じた楕円振動によって、ロータ120を回転させることができる。こうして、楕円振動を有効的に利用することができる。
(第8実施形態)
図9は、第8実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ200は、ステータ210及びロータ220を有する。ステータ210は、第1〜第4のブロック211〜214、圧電素子215、216及び電極217、218を有して円柱形をなす。なお、図9には、第1のブロック211及び第2のブロック212の一部並びにロータ220が断面で示されている。
図9は、第8実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ200は、ステータ210及びロータ220を有する。ステータ210は、第1〜第4のブロック211〜214、圧電素子215、216及び電極217、218を有して円柱形をなす。なお、図9には、第1のブロック211及び第2のブロック212の一部並びにロータ220が断面で示されている。
第3のブロック213には、複数のスリット202が形成されている。スリット202も、超音波モータの製造方法を適用して形成される。詳しくは、上述した実施形態と同様であるので詳しい説明を省略する。
第1及び第2のブロック211、212は、ボルト219によって連結されている。また、第1のブロック211は、第2のブロック212に連結される側の端部において外周面が切り欠かれて、段差面211a及び小径面211bが形成されている。段差面211a及び小径面211bによって、第1のブロック211は、二つの円柱を組み合わせた形状になっている。そして、段差面211a、小径面211b及び第2のブロック212の端面212aで、ガイド部204が構成される。
このガイド部204に、リング状のロータ220が配置される。詳しくは、リング状のロータ220の内径は、第1のブロック211の小径面211bによって形成される円柱の径にほぼ等しいか、あるいはそれよりもわずかに大きくなっている。こうして、ロータ220の内側に、小径面211bがはまりこむ。そして、第1及び第2のブロック211、212が連結されると、段差面211a、小径面211b及び端面212aにて形成されるガイド部204に、ロータ220が配置される。
また、ロータ220は、形状を維持できる程度の堅さがあるものの、わずかに弾性変形しうる程度の柔軟性がある材質、例えば樹脂などで形成されており、外側にリング状のスプリング230が設けられている。このスプリング230は、自然の長さよりも伸びた状態でロータ220に設けられている。したがって、ロータ220は、スプリング230によって、内周側に押圧されるようになっている。そして、ロータ220の内周面220aは、ブロック211の小径面211bに接触するようになっている。
本実施形態は、このように構成されている。そして、高周波交流電圧が印加されると、ステータ210には、ガイド部204の内部も含めて外周面に楕円振動が発生する。このガイド部204の一部を構成する小径面211bには、ロータ220の内周面220aが接触している。小径面211bにも楕円振動が生じている。したがって、ロータ210に生じた楕円振動によって、ロータ220を回転させることができる。特に、本実施形態によれば、ガイド部204が、リング状のロータ220の位置決めを行い、その回転の案内をするようになっている。こうして、楕円振動を有効的に利用することができる。
(第9実施形態)
図10は、第9実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ300は、ステータ310及びロータ320を有する。ステータ310は、第1〜第3のブロック311〜313、圧電素子314、315及び電極316、317を有して円柱形をなす。なお、図10には、第1のブロック311の一部が断面で示されている。第2のブロック312には、複数のスリット318が形成されている。スリット318は、超音波モータの製造方法を適用して形成される。詳しくは、上述した実施形態と同様であるので詳しい説明を省略する。
図10は、第9実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ300は、ステータ310及びロータ320を有する。ステータ310は、第1〜第3のブロック311〜313、圧電素子314、315及び電極316、317を有して円柱形をなす。なお、図10には、第1のブロック311の一部が断面で示されている。第2のブロック312には、複数のスリット318が形成されている。スリット318は、超音波モータの製造方法を適用して形成される。詳しくは、上述した実施形態と同様であるので詳しい説明を省略する。
また、第1のブロック311には、解放された端面302の中央部において、凹部304が形成されている。凹部304は、ブロック311の端面302から深さ方向に円筒状に形成される内周面304aと、円形の底面304bとからなる。底面304bが描く円と、ブロック311の外周が描く円とは、同心円となっている。
ロータ320は円盤状をなし、その中心には中心軸322が設けられている。中心軸322を支持する軸受け(図示せず)は、この中心軸322を、その軸とは直角の方向に押圧するようになっている。こうして、ロータ320の外周面320aが、ステータ310の凹部304における内周面304aに接触するようになっている。
本実施形態によれば、高周波交流電圧が印加されると、ステータ310の凹部304にも楕円振動が発生し、内周面304aに接触するロータ320が回転する。こうして、楕円振動を有効的に利用することができる。
(第10実施形態)
図11は、本発明を適用した第10実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ400は、図8(A)〜図10に示す超音波モータ100、200、300を組み合わせ、さらに他のロータも加えたものである。
図11は、本発明を適用した第10実施形態に係る超音波モータを示す図である。この超音波モータ400は、図8(A)〜図10に示す超音波モータ100、200、300を組み合わせ、さらに他のロータも加えたものである。
すなわち、超音波モータ400は、ステータ410及びロータ420、430、440、450を有する。
ステータ410は、図10に示す凹部304と同様の構成の凹部412を有し、同図に示すロータ320と同様の構成のロータ420が回転するようになっている。
また、ステータ410は、図9に示すガイド部204と同様の構成のガイド部414を有し、同図に示すロータ220と同様の構成のロータ430が回転するようになっている。
さらに、ステータ410の外周面には、図8(A)及び図8(B)に示すロータ120と同様の構成のロータ440の内周面が接触し、このロータ440が回転するようになっている。
これに加えて、ステータ410における上記凹部412とは反対側の端面410aには、円盤状又は円柱状のロータ450が接触して回転するようになっている。
このように、本実施形態によれば、4つのロータ420、430、440、450によって多段駆動が可能になる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。図12(A)〜図12(E)は、図9に示すガイド部204の変形例を示す図である。
図12(A)において、ステータ510の外周面には、三角溝としてガイド部512が形成され、ロータ514の内周面形状は、これに対応するようになっている。
図12(B)において、ステータ520の外周面には、丸溝としてガイド部522が形成され、ロータ524の内周面形状は、これに対応するようになっている。
図12(C)において、ステータ530の外周面には、リング状のガイド部532が設けられている。このガイド部532は、断面が角張った形状になっており、ロータ534の内周面形状は、これに対応するようになっている。
図12(D)において、ステータ540の外周面には、リング状のガイド部542が設けられている。このガイド部542は、断面が丸い形状になっており、ロータ544の内周面形状は、これに対応するようになっている。
図12(E)において、ステータ550の外周面には、リング状のガイド部552が設けられている。このガイド部552は、断面が三角形状になっており、ロータ554の内周面形状は、これに対応するようになっている。
1 ロータ
10 ステータ
11、21 第1のブロック
12、22 第2のブロック
31、41、51、61 ブロック
18、28、38、48、58、68 スリット
110、210、310、410 ステータ
120、220、320、420、430、440、450 ロータ
204、414 ガイド部
304、412 凹部
10 ステータ
11、21 第1のブロック
12、22 第2のブロック
31、41、51、61 ブロック
18、28、38、48、58、68 スリット
110、210、310、410 ステータ
120、220、320、420、430、440、450 ロータ
204、414 ガイド部
304、412 凹部
Claims (2)
- 楕円振動が発生し端面に凹部が形成されるステータと、このステータの外周面に接触して回転する少なくとも一つの外周側ロータと、このステータの前記凹部における内周面に接触して回転する少なくとも一つの内周側ロータと、を含むことを特徴とする超音波モータ。
- 請求項1記載の超音波モータにおいて、
前記ステータの端面に接触して回転する端面側ロータを有することを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005041808A JP2005143297A (ja) | 1996-12-19 | 2005-02-18 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35435996 | 1996-12-19 | ||
JP2005041808A JP2005143297A (ja) | 1996-12-19 | 2005-02-18 | 超音波モータ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16535197A Division JP3808592B2 (ja) | 1996-12-19 | 1997-06-06 | 超音波モータ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005143297A true JP2005143297A (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=34702627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005041808A Pending JP2005143297A (ja) | 1996-12-19 | 2005-02-18 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005143297A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113472238A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-10-01 | 东南大学 | 一种自调心无轴承并联式超声波电机 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH02294280A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Piezo Tec Kk | パイプ状電歪公転子およびモータ |
JPH0638558A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Asmo Co Ltd | 振動モータ |
JPH0833370A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Asmo Co Ltd | 超音波モータ |
-
2005
- 2005-02-18 JP JP2005041808A patent/JP2005143297A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051214 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080312 |