JP2005138201A - Crankshaft processing device and processing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、クランクシャフト加工装置および加工方法に関する。 The present invention relates to a crankshaft machining apparatus and a machining method.
従来のクランクシャフト加工装置は、クランクシャフトを偏芯させて保持し、ピン部の軸線を中心として回転駆動した状態で、ピン部を研削加工している(例えば、特許文献1参照。)。
しかし、特許文献1に記載のクランクシャフト加工装置においては、生産性つまり加工能率に問題を有する。例えば、クランクシャフトを低速回転させる場合、クランクシャフトは、チャックと一体になっているカウンターウェイトによりバランスされているため、ピン部を高精度に加工することができる。 However, the crankshaft machining apparatus described in Patent Document 1 has a problem in productivity, that is, machining efficiency. For example, when rotating the crankshaft at a low speed, the crankshaft is balanced by a counterweight integrated with the chuck, so that the pin portion can be processed with high accuracy.
一方、クランクシャフトを高速回転させる場合、遠心力の影響を受けるため、クランクシャフトがたわみ、ピン部の加工部位と研削砥石の作業面との平行が崩れ、研削後のピン部の真円度および円筒度が悪化する虞がある。 On the other hand, when the crankshaft is rotated at a high speed, it is affected by the centrifugal force, so the crankshaft is bent, the parallel processing part of the pin part and the work surface of the grinding wheel are broken, and the roundness of the pin part after grinding and The cylindricity may be deteriorated.
本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、良好な加工精度かつ加工能率を有するクランクシャフト加工装置および加工方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems associated with the prior art, and an object thereof is to provide a crankshaft machining apparatus and a machining method having good machining accuracy and machining efficiency.
上記目的を達成するための請求項1に記載の発明は、
クランクシャフトの端部に配置され、前記クランクシャフトのピン部の中心軸が回転中心となるように、前記クランクシャフトを偏芯させて保持するための保持手段と、
前記ピン部を加工する際に、前記保持手段により保持された前記クランクシャフトが遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、前記クランクシャフトに対して、たわみを強制的に付与するための変形手段と
を有することを特徴とするクランクシャフト加工装置である。
In order to achieve the above object, the invention described in claim 1
A holding means that is disposed at an end of the crankshaft and that holds the crankshaft eccentrically so that a central axis of a pin portion of the crankshaft is a rotation center;
When processing the pin portion, forcibly imparting deflection to the crankshaft in a direction opposite to the direction in which the crankshaft held by the holding means is deformed by receiving a centrifugal force. And a crankshaft machining apparatus characterized by comprising:
上記目的を達成するための請求項7に記載の発明は、
クランクシャフトのピン部の中心軸を中心に、前記クランクシャフトを回転させ、
前記クランクシャフトが遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、前記クランクシャフトに対して、たわみを強制的に付与し、前記ピン部を加工する
ことを特徴とするクランクシャフト加工方法である。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 7 provides:
The crankshaft is rotated around the center axis of the pin portion of the crankshaft,
A crankshaft machining method characterized by forcibly imparting deflection to the crankshaft in a direction opposite to a direction in which the crankshaft receives a centrifugal force and deforming, and machining the pin portion. It is.
上記のように構成した本発明は以下の効果を奏する。 The present invention configured as described above has the following effects.
請求項1に記載の発明によれば、回転による遠心力がクランクシャフトに作用する場合、遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、クランクシャフトをたわませることによって、加工部位であるピン部の外周面を、加工ツールに対して平行とすることが可能である。 According to the first aspect of the present invention, when the centrifugal force due to the rotation acts on the crankshaft, the machining site is bent by bending the crankshaft in a direction opposite to the direction in which the centrifugal force is deformed. It is possible to make the outer peripheral surface of the pin portion parallel to the processing tool.
したがって、クランクシャフトを高速回転させ、高能率に加工する場合であっても、加工ツールを加工部位に均一に接触させ、ピン部の真円度および円筒度を確保することが可能である。つまり、良好な加工精度かつ加工能率を有するクランクシャフト加工装置を提供することができる。 Therefore, even when the crankshaft is rotated at a high speed and is processed with high efficiency, the processing tool can be brought into uniform contact with the processing portion, and the roundness and cylindricity of the pin portion can be ensured. That is, it is possible to provide a crankshaft machining apparatus having good machining accuracy and machining efficiency.
請求項7に記載の発明によれば、回転による遠心力がクランクシャフトに作用する場合、遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、クランクシャフトが強制的にたわんでいるため、加工部位であるピン部の外周面は、加工ツールに対して平行となる。 According to the invention described in claim 7, when the centrifugal force due to the rotation acts on the crankshaft, the crankshaft is forcibly bent in a direction opposite to the direction in which the centrifugal force is deformed. The outer peripheral surface of the pin part which is a processing part is parallel to the processing tool.
したがって、クランクシャフトを高速回転させ、高能率に加工する場合であっても、加工ツールが加工部位に均一に接触するため、ピン部の真円度および円筒度は確保される。つまり、良好な加工精度かつ加工能率を有するクランクシャフト加工方法を提供することができる。 Therefore, even when the crankshaft is rotated at a high speed and processed with high efficiency, the processing tool uniformly contacts the processing site, so that the roundness and cylindricity of the pin portion are ensured. That is, a crankshaft machining method having good machining accuracy and machining efficiency can be provided.
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施の形態に係るクランクシャフト加工装置を説明するための側面図、図2は、クランクシャフトに作用する回転による遠心力を説明するための側面図、図3は、クランクシャフトに強制的に付与するたわみを説明するための側面図である。 FIG. 1 is a side view for explaining a crankshaft machining apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view for explaining centrifugal force due to rotation acting on the crankshaft, and FIG. It is a side view for demonstrating the bending forcibly given to a shaft.
本発明の実施の形態に係るクランクシャフト加工装置は、例えば、4気筒内燃機関用のクランクシャフト50を保持し、回転駆動するための保持部10と、クランクシャフト50のピン部55(55A,55B)を加工するための加工装置30と、クランクシャフト50のピン部55の変位量を検出するための変位検出装置40と、各部10,30,40を制御するための制御装置(不図示)とを有する。
The crankshaft machining apparatus according to the embodiment of the present invention, for example, holds a
保持部10は、主軸頭11,21、主軸13,23、ワークドライバ14,24、チャック15,25、アクチュエータ16,26を有する。
The
主軸頭11,21は、クランクシャフト50を挟んで、互いの軸線が一致するように配置されており、主軸13,23を回転自在に支持するための軸受け12,22を有する。
The
主軸13,23は、それぞれモータ(不図示)により回転駆動される。なお、主軸の一方13は、軸方向に移動自在である。
The
ワークドライバ14,24は、主軸13,23の対向した端面に取り付けられ、クランクシャフト50のピン部55の中心軸が回転中心となるように、クランクシャフト50を偏芯させるために利用される。
The
チャック15,25は、ワークドライバ14,24に取り付けられ、クランクシャフト50の端部51,52を把持する。つまり、チャック15,25は、クランクシャフト50の端部51,52に配置されており、クランクシャフト50のピン部55の中心軸が回転中心となるように、クランクシャフト50を偏芯させて保持するための保持手段として機能する。
The
なお、チャック15は、主軸13を軸方向に駆動することで、軸方向に移動自在である。したがって、クランクシャフト50のたわみにより生じる主軸間距離の変化に対応し、チャック15を軸方向に移動させ、チャック15,25間距離を変更させる(小さくする)場合、クランクシャフト50に対するチャック15,25の保持力が低下することを、防止することが可能である。
The
つまり、主軸13は、チャック15を、軸方向に移動させるための移動手段として機能する。なお、主軸の他方23を軸方向に駆動するように構成し、チャックの他方25を、軸方向に移動させることも可能であり、この場合、主軸の他方23が、移動手段として機能する。さらに、主軸13,23の両方を軸方向に駆動するように構成することも可能である。
That is, the
アクチュエータ16,26は、チャック15,25の後端に配置されており、変位することで、チャック15,25を傾けることが可能であり、クランクシャフト50に対して、たわみを強制的に付与するための変形手段として機能する。
The
つまり、図2に示されるように、クランクシャフト50を高速回転させる場合、クランクシャフト50は、遠心力を受けて変形する。しかし、アクチュエータ16,26は、図3に示されるように、クランクシャフト50が遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、クランクシャフト50に対して、たわみを強制的に付与することが可能である。
That is, as shown in FIG. 2, when the
したがって、例えば、加工ツールを使用する研削により、研削加工する際に回転による遠心力が作用する場合、遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、クランクシャフト50をたわませることによって、ピン部55の加工部位である外周面を、加工ツールに対して平行とすることが可能である。
Therefore, for example, when a centrifugal force due to rotation is applied during grinding by grinding using a processing tool, the
そのため、クランクシャフト50を高速回転させ、高能率に加工する場合であっても、加工ツールを加工部位に均一に接触させ、ピン部55の真円度および円筒度を確保することが可能である。
Therefore, even when the
なお、例えば、剛性が低いクランクシャフト50を適用する場合、たわみを単に付与すると、半径方向の変位(芯ずれ)が発生し、加工精度が低下する虞がある。ワークドライバ14,24は、芯ずれを解消するため、半径方向(図中の上下方向)に移動自在であり、ピン部55の中心と、クランクシャフト50の回転中心とを一致させるための調心手段として機能する。
For example, when the
つまり、ワークドライバ14,24は、チャック15,25のポジションを変更することで、加工されるピン部55の中心と、クランクシャフト50の回転中心と一致させる方向に、ピン部55の中心位置を、半径方向に調整することが可能である。したがって、剛性が低いクランクシャフト50を高速回転させる場合であっても、ピン部55の真円度および円筒度を確実に確保することが可能である。
In other words, the
加工装置30は、研削加工するための加工ツールである研削砥石31と、ピン部55の加工部位にクーラントを吐出させるためのクーラント供給部(不図示)と、研削砥石31を加工部位に位置決めするための位置決め手段(不図示)とを有する。
The
研削砥石31は、特に限定されず、砥粒の種類、粒度、結合剤の種類、砥粒の平均粒径を適宜選択可能であり、例えば、高精度の加工が可能かつ仕上げ面が良好であり、耐久性に優れているビトリファイド系が挙げられる。
The
研削砥石31は、アクチュエータ16,26の変位に基づき、加工部位に均一に接触させることができるため、偏磨耗が抑えられ、砥石寿命を延長させることが可能である。
Since the
変位検出装置40は、ピン部55から離間しかつピン部55の中心軸に沿って複数配置される検出手段である第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42を有する。
The
第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42は、ピン部55の加工部位の両端の変位量を検出するように設定されており、クランクシャフト50のピン部55の変位量および傾きを検出することが可能である。
The first
したがって、加工するクランクシャフト50の形状に、ばらつきが生じていても、ピン部55の変位量に基づいて、適切なたわみを、クランクシャフト50に対して付与することが可能であり、良好な加工精度(ピン部の真円度および円筒度)を確実に確保することが可能である。
Therefore, even if the shape of the
なお、変位検出装置40は、複数の検出手段を有することに限定されず、単一の検出手段を有することで、構成を単純化することも可能である。また、検出手段は、レーザ式に限定されず、他の適当な方式を適用することも可能である。
In addition, the
制御装置は、例えば、クランクシャフトに対するたわみの強制的な付与を、管理しており、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42からの出力信号つまり検出されたピン部55の変位量データを記憶し、当該データに基づいて、主軸13の軸方向の移動、アクチュエータ16,26の変位量(チャック15,25の傾き量)、ワークドライバ14,24の上下方向の移動を制御している。
The control device manages, for example, forcible application of deflection to the crankshaft, and outputs signals from the first
以上のように、本発明の実施の形態は、良好な加工精度かつ加工能率を有するクランクシャフト加工装置を提供することができる。 As described above, the embodiment of the present invention can provide a crankshaft machining apparatus having good machining accuracy and machining efficiency.
次に、本発明の実施の形態に係るクランクシャフト加工方法を説明する。 Next, a crankshaft machining method according to an embodiment of the present invention will be described.
図4〜図6は、第1レーザ変位計および第2レーザ変位計の出力信号を説明するためのグラフであり、図4は、クランクシャフトの低速回転時、図5は、クランクシャフトの高速回転時、図6は、クランクシャフトのピン部における傾き解消後を示している。 4 to 6 are graphs for explaining output signals of the first laser displacement meter and the second laser displacement meter. FIG. 4 is a diagram showing a case where the crankshaft is rotated at a low speed, and FIG. FIG. 6 shows the state after the inclination of the crankshaft pin is eliminated.
なお、加工するピン部は、完全な円筒形状(真円度および円筒度が共に0μm)であり、クランクシャフトの端部に位置するクランクジャーナル(保持中心)からピン部の中心までの距離が、図示の中央値(1/2ストローク中央値)であるとする。また、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42は、クランクシャフト50の回転中、ピン部55Aの変位量を常に監視している。
The pin part to be processed has a complete cylindrical shape (both roundness and cylindricity are 0 μm), and the distance from the crank journal (holding center) located at the end of the crankshaft to the center of the pin part is It is assumed that the median value shown in the figure (1/2 stroke median value) is obtained. Further, the first
最初に、主軸13,23を、遠心力の影響を受けない低速、例えば、100min−1以下で回転させる。制御装置は、低速回転時における第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42からの出力信号(図4参照)を記憶する。
First, the
その後、主軸13,23を加工時の回転数、例えば、300min−1以上まで上昇させ、主軸13,23を高速回転させる。クランクシャフト50は、遠心力の作用を受けてたわむため(図2参照)、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42は、図5に示される波形を有する出力信号を発する。
Thereafter, the
次に、アクチュエータ16,26を駆動し、変位させることで、チャック15,25を傾け、クランクシャフト50を強制的にたわませる。
Next, by driving and displacing the
この際、制御装置は、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42の出力信号が一致するように(図6参照)、アクチュエータ16,26の変位量を制御する。これにより、クランクシャフト50のピン部55Aの傾きが解消され、ピン部55Aの加工部位と研削砥石31の位置関係は平行となる。
At this time, the control device controls the displacement amounts of the
その後、制御装置は、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42の出力信号が、低速回転時の場合と略一致するように(図4参照)、ワークドライバ14,24を駆動し、上下方向に移動させる。これにより、チャック15,25のポジションが変更され、ピン部55Aの中心位置が半径方向に調整されることで、ピン部55Aの中心と、クランクシャフト50の回転中心とが一致し、芯ずれが解消される。
Thereafter, the control device drives the
そして、加工装置30のクーラント供給部からクーラントを吐出させ、研削砥石31の研削によって、ピン部55Aを加工する。
And coolant is discharged from the coolant supply part of the
この際、遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、クランクシャフト50が強制的にたわんでいるため、ピン部55Aの加工部位である外周面は、研削砥石31に対して平行である。したがって、加工時の回転数が300min−1以上の高速回転であっても、研削砥石31が加工部位に均一に接触するため、ピン部の真円度および円筒度は確保される。
At this time, since the
また、研削砥石31を加工部位に均一に接触させるためのたわみは、ピン部の変位量に基づいて制御されるため、加工するクランクシャフト50の形状に、ばらつきが生じていても、良好な加工精度(ピン部の真円度および円筒度)が確実に確保される。
In addition, since the deflection for uniformly bringing the grinding
そして、ピン部55Aの加工終了後、研削砥石31を次の加工対象であるピン部55Bの位置に移動させて、位置決めし、ピン部55Bを加工する。この際、第1レーザ変位計41および第2レーザ変位計42の出力信号に基づく、傾きおよび芯ずれを解消するための上記調整を、再度実行することも好ましい。
Then, after finishing the processing of the
以上のように、本発明の実施の形態は、良好な加工精度かつ加工能率を有するクランクシャフト加工方法を提供することができる。 As described above, the embodiment of the present invention can provide a crankshaft machining method having good machining accuracy and machining efficiency.
なお、クランクシャフト50のたわみにより生じる主軸間距離の変化に対応し、チャック15を軸方向に移動させ、チャック15,25間距離を変更させ、クランクシャフトに対して発揮される保持手段の保持力の低下を、防止することも好ましい。
In response to the change in the distance between the main shafts caused by the deflection of the
10・・保持部、
11,21・・主軸頭、
12,22・・軸受け、
13,23・・主軸、
14,24・・ワークドライバ、
15,25・・チャック(保持手段)、
16,26・・アクチュエータ(変形手段)、
23・・主軸、
30・・加工装置、
31・・研削砥石、
40・・変位検出装置、
41・・レーザ変位計、
42・・レーザ変位計、
50・・クランクシャフト、
51,52・・端部、
55,55A,55B・・ピン部。
10. ・ Holding part,
11, 21, ... spindle head,
12, 22 ... Bearings
13, 23 ... Spindle,
14, 24 ... Work driver,
15, 25 .. Chuck (holding means),
16, 26 .. Actuator (deformation means),
23 .. Spindle,
30. ・ Processing equipment,
31. ・ Grinding wheel,
40. ・ Displacement detector,
41..Laser displacement meter,
42 .. Laser displacement meter,
50 ・ ・ Crankshaft,
51, 52 .. end,
55, 55A, 55B .. Pin part.
Claims (9)
前記ピン部を加工する際に、前記保持手段により保持された前記クランクシャフトが遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、前記クランクシャフトに対して、たわみを強制的に付与するための変形手段と
を有することを特徴とするクランクシャフト加工装置。 A holding means that is disposed at an end of the crankshaft and that holds the crankshaft eccentrically so that a central axis of a pin portion of the crankshaft is a rotation center;
When processing the pin portion, forcibly imparting deflection to the crankshaft in a direction opposite to the direction in which the crankshaft held by the holding means is deformed by receiving a centrifugal force. A crankshaft machining apparatus, comprising:
前記クランクシャフトが遠心力を受けて変形する方向に対して逆の方向に、前記クランクシャフトに対して、たわみを強制的に付与し、前記ピン部を加工する
ことを特徴とするクランクシャフト加工方法。 The crankshaft is rotated around the center axis of the pin portion of the crankshaft,
A crankshaft machining method characterized by forcibly imparting deflection to the crankshaft in a direction opposite to a direction in which the crankshaft receives a centrifugal force and deforming, and machining the pin portion. .
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CN106272070A (en) * | 2015-06-23 | 2017-01-04 | 株式会社捷太格特 | Grinding Machine |
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---|---|---|---|---|
EP1722575A2 (en) | 2005-05-11 | 2006-11-15 | Sony Corporation | White balance controlling apparatus, method, program and image pickup apparatus |
CN106272070A (en) * | 2015-06-23 | 2017-01-04 | 株式会社捷太格特 | Grinding Machine |
JP2017007038A (en) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 株式会社ジェイテクト | Grinding machine |
CN106272070B (en) * | 2015-06-23 | 2020-07-14 | 株式会社捷太格特 | Grinding machine |
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