JP2005109331A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 対象物を保持して移動する可動部と、
   前記可動部に設けられた軸受手段と、
   前記軸受手段と協働して前記可動部を移動方向に案内するガイド面を有するガイド部と、
   前記可動部の温度を制御するために前記ガイド部の温度を調整する温度調整手段とを具備することを特徴とするステージ装置。
2. 前記温度調整手段は、前記ガイド部を冷却することにより前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記温度調整手段は、前記ガイド部に設けた冷媒を通す流路および温度センサ、ならびに前記温度センサからの検出信号に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
4. 前記温度調整手段は、前記ガイド部に設けたヒートパイプおよび温度センサ、前記ヒートパイプに接続された冷媒を通す流路、ならびに前記温度センサの出力に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
5. 前記温度調整手段は、前記ガイド部の異なる複数の部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のステージ装置。
6. 前記温度調整手段は、前記可動部の駆動パターンに応じて前記ガイド部の異なる各部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項５に記載のステージ装置。
7. 前記温度調整手段は、前記可動部に設けた温度センサを備え、その検出信号に基づいて前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のステージ装置。
8. 前記軸受手段はエアベアリングであり、前記ガイド部は定盤であり、前記温度調整手段は前記定盤の温度を調整することにより、前記エアベアリングのエアギャップを経た熱の移動を制御して、前記可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置。
9. 前記軸受手段は磁気軸受であり、前記ガイド部は定盤であり、前記温度調整手段は前記定盤の温度を調整することにより、前記磁気軸受のギャップを経た熱の移動を制御して、前記可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のステージ装置。
10. 前記可動部の移動を行うリニアモータを備え、前記リニアモータの固定子は前記ガイド部を支持する構造体上、または前記ガイド部上に設けられ、露光装置における原版または基板の位置決めに使用される請求項１〜９のいずれか１項に記載のステージ装置を有することを特徴とする露光装置。
11. 請求項１０に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光する工程と、
    露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。