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JP2005093125A - Image display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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JP2005093125A
JP2005093125A JP2003321818A JP2003321818A JP2005093125A JP 2005093125 A JP2005093125 A JP 2005093125A JP 2003321818 A JP2003321818 A JP 2003321818A JP 2003321818 A JP2003321818 A JP 2003321818A JP 2005093125 A JP2005093125 A JP 2005093125A
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JP
Japan
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substrate
electrode
image display
control electrode
front substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP2003321818A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Kijima
勇一 木島
Yoshiyuki Kaneko
好之 金子
Shigemi Hirasawa
重實 平澤
Susumu Sasaki
進 佐々木
Tomoki Nakamura
智樹 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Displays Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Displays Ltd filed Critical Hitachi Displays Ltd
Priority to JP2003321818A priority Critical patent/JP2005093125A/en
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

【課題】
加速電極と制御電極を備え、表示領域に間隔保持部材を有する表示装置で、加速電極と制御電極の電子通過孔をセルフアライメント化させて表示画像の大画面化を容易に実現可能とする。
【解決手段】
導電性のメッシュ状基材181を加速電極18とし、メッシュ状基材181の開口を加速電極18の電子通過孔18aとし、このメッシュ状基材181の片面に絶縁層19を介して制御電極17を配置し、前記加速電極18の電子通過孔18aと同軸に絶縁層19に開口19aを、又制御電極17に電子通過孔17aをそれぞれ備えた。
【選択図】 図3
【Task】
In a display device including an acceleration electrode and a control electrode and having a spacing member in a display region, the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode are self-aligned to easily realize a large display image.
[Solution]
The conductive mesh substrate 181 is used as the acceleration electrode 18, and the opening of the mesh substrate 181 is used as the electron passage hole 18 a of the acceleration electrode 18, and the control electrode 17 is interposed on one side of the mesh substrate 181 via the insulating layer 19. And an opening 19a in the insulating layer 19 coaxially with the electron passage hole 18a of the acceleration electrode 18, and an electron passage hole 17a in the control electrode 17 respectively.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、真空中への電子放出を利用した画像表示装置に係わり、特に電子源から放出される電子放出量を制御する制御電極及び加速電極を高精度に形成して安定した電子放出量の制御を可能として表示特性を向上させた画像表示装置に関するものである。   The present invention relates to an image display device using electron emission into a vacuum, and in particular, a control electrode and an acceleration electrode that control the amount of electron emission emitted from an electron source are formed with high accuracy to achieve a stable electron emission amount. The present invention relates to an image display device that can be controlled and has improved display characteristics.

近年、高輝度,高精細に優れた画像表示装置として従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度,高精細の特性を有するとともに、軽量,省スペースの平板状ディスプレイ(パネルディスプレイ)の要求が高まっている。   In recent years, a color cathode ray tube has been widely used as an image display device excellent in high luminance and high definition. However, with the recent improvement in image quality of information processing apparatuses and television broadcasting, there is an increasing demand for flat display (panel display) that has high luminance and high definition characteristics and is light and space-saving.

その典型的な例として液晶表示装置,プラズマディスプレイ表示装置などが実用化されている。また、特に高輝度化が可能なものとしては、電子源から真空中への電子放出を利用した表示装置(以下、電子放出型表示装置または電界放出型表示装置と称される)や低消費電力化を特徴とする有機ELディスプレイなど種々の型式のパネル型表示装置が実用化されている。   As typical examples, liquid crystal display devices, plasma display devices and the like have been put into practical use. In particular, high brightness can be achieved by a display device using electron emission from an electron source into a vacuum (hereinafter referred to as an electron emission display device or a field emission display device) or low power consumption. Various types of panel-type display devices such as organic EL displays that are characterized by being made into practical use have been put into practical use.

この種のパネル型の表示装置のうち、前述した電界放出型表示装置には、C.A.Spindtらにより発案された電子放出構造を有するもの(例えば米国特許第3453478号明細書、特開2000−21305号公報参照)、また、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出構造を有するものさらには、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも称される特開2000−21305号公報参照)を有するもの、また、ダイヤモンド膜、グラファイト膜またはカーボンナノチューブの有する電子放出現象を利用するもの等が知られている。   Among the panel type display devices of this type, the above-described field emission display device includes C.I. A. One having an electron emission structure invented by Spindt et al. (See, for example, US Pat. No. 3,453,478, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-21305), or having a metal-insulator-metal (MIM) type electron emission structure Further, those having an electron emission structure that utilizes an electron emission phenomenon due to a quantum tunnel effect (see Japanese Patent Laid-Open No. 2000-21305, also referred to as a surface conduction electron source), diamond film, graphite film, or carbon Those utilizing the electron emission phenomenon of nanotubes are known.

図21は、既知の電界放出型の画像表示装置の一構成例を説明する断面図である。   FIG. 21 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a known field emission type image display device.

図21において、電界放出型の表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電極とを形成した背面パネル100と、この背面パネル100と対向する内面に陽極と蛍光体層とを備えた前面パネル200とを内周縁部に封止枠300を介挿して封止し、背面パネル100と前面パネル200と封止枠300とで形成される内部を外界の気圧より低圧または真空状態に保持して構成される。   In FIG. 21, the field emission display device includes a rear panel 100 having a field emission electron source and a control electrode formed on the inner surface, and an anode and a phosphor layer on the inner surface facing the rear panel 100. The front panel 200 is sealed at the inner peripheral edge with a sealing frame 300 interposed therebetween, and the interior formed by the back panel 100, the front panel 200, and the sealing frame 300 is maintained at a lower pressure or vacuum state than the atmospheric pressure. Configured.

背面パネル100は、ガラスまたはセラミックスなどを好適とする背面基板1の一面上に電子源2a(図示せず)を有する複数の陰極配線2と、絶縁層3を介して陰極配線2に交差して設けた制御電極4とを有している。そして、陰極配線2と制御電極4との間の電位差で電子源からの電子の放出量(放出のオン・オフを含む)を制御する。   The back panel 100 intersects the cathode wiring 2 via the insulating layer 3 and a plurality of cathode wirings 2 having an electron source 2a (not shown) on one surface of the back substrate 1 preferably made of glass or ceramics. And a control electrode 4 provided. Then, the amount of electrons emitted from the electron source (including emission on / off) is controlled by the potential difference between the cathode wiring 2 and the control electrode 4.

また、前面パネル200は、ガラス等の光透過性に材料で形成された前面基板5の一面上に蛍光体6と陽極7とを有している。また、封止枠300は、背面パネル100と前面パネル200との内周縁にフリットガラスなどの接着剤で固着される。背面パネル100と前面パネル200と封止枠300とで形成される内部は、例えば10-5〜10-7Torrの真空度に排気される。背面パネル100と前面パネル200と間の間隙は間隙保持部材9により所定の間隔に保持される。 Further, the front panel 200 has a phosphor 6 and an anode 7 on one surface of the front substrate 5 formed of a light transmissive material such as glass. The sealing frame 300 is fixed to the inner peripheral edge of the back panel 100 and the front panel 200 with an adhesive such as frit glass. The interior formed by the back panel 100, the front panel 200, and the sealing frame 300 is evacuated to a vacuum degree of 10 −5 to 10 −7 Torr, for example. The gap between the back panel 100 and the front panel 200 is held at a predetermined gap by the gap holding member 9.

図22は、図21に示した電界放出型の表示装置における1画素に電子放出源とその電子放出量を制御する制御電極との構成例を説明する図であり、図22(a)は側面図を、図22(b)は平面図をそれぞれ示している。   FIG. 22 is a diagram for explaining a configuration example of an electron emission source and a control electrode for controlling the amount of electron emission in one pixel in the field emission type display device shown in FIG. 21, and FIG. FIG. 22 (b) shows a plan view.

図22において、背面パネル100の背面基板1に設けられた陰極配線2と、この陰極配線2と交差する制御電極4との間には、絶縁層3が介挿され、制御電極4の各交差部に開孔(グリットホール)4aを有している。一方、陰極配線2の上記交差部には電子源2aを有し、制御電極4の開孔4aに対応する部分では絶縁層3が除去されている。この開孔4aは電子源2aから放出される電子を陽極側に通過させる。   In FIG. 22, an insulating layer 3 is interposed between the cathode wiring 2 provided on the rear substrate 1 of the rear panel 100 and the control electrode 4 intersecting with the cathode wiring 2. The part has an opening (grit hole) 4a. On the other hand, an electron source 2 a is provided at the intersection of the cathode wiring 2, and the insulating layer 3 is removed at a portion corresponding to the opening 4 a of the control electrode 4. The opening 4a allows electrons emitted from the electron source 2a to pass to the anode side.

上記電子源2aは、例えばカーボンナノチューブ(CNT),ダイアモンドライクカーボン(DLC)またはその他の電界放出カソードで構成される。なお、この電子源2aとしては、ここではカーボンナノチューブ(以下CNTと称する)を用いたものとして示してある。また、この電子源2aは図22に示したように制御電極4の開孔4aの直下に設けられている。図22では電子源2aが1画素あたり1個の場合を示しているが、これを複数個とすることもできる。   The electron source 2a is composed of, for example, carbon nanotubes (CNT), diamond-like carbon (DLC), or other field emission cathodes. The electron source 2a is shown here using carbon nanotubes (hereinafter referred to as CNT). Further, the electron source 2a is provided immediately below the opening 4a of the control electrode 4 as shown in FIG. Although FIG. 22 shows a case where there is one electron source 2a per pixel, a plurality of electron sources 2a may be used.

図23は、既知の電界放出型の画像表示装置の他の構成例を説明する模式断面図であり、1画素あたり1個の電子源と1個の開孔とを備えたものである。また、図24は、図23のA部の要部拡大断面図である。   FIG. 23 is a schematic cross-sectional view illustrating another configuration example of a known field emission type image display device, which includes one electron source and one opening per pixel. FIG. 24 is an enlarged cross-sectional view of a main part of part A in FIG.

図23において、参照符号100は背面パネル、200は前面パネル、300は封止枠をそれぞれ示している。背面パネル100は、背面基板1の内面に電子源2a(図示せず)を有する陰極配線2と、この陰極配線2とは電気的に絶縁されて設けられた制御電極4とを有している。この例では制御電極4の保持は前述した絶縁層3を介在させない構成となっている。また、前面パネル200を構成する前面基板5の内面には、前述と同様に蛍光体6と陽極7とが形成されている。   In FIG. 23, reference numeral 100 denotes a rear panel, 200 denotes a front panel, and 300 denotes a sealing frame. The back panel 100 includes a cathode wiring 2 having an electron source 2a (not shown) on the inner surface of the back substrate 1, and a control electrode 4 provided so as to be electrically insulated from the cathode wiring 2. . In this example, the control electrode 4 is held without the insulating layer 3 described above. Further, the phosphor 6 and the anode 7 are formed on the inner surface of the front substrate 5 constituting the front panel 200 in the same manner as described above.

制御電極4は、陰極配線2上に配置する電子源2a(図示せず)から電子放出(電子の引き出し)を制御する機能を有している。また、制御電極4に代えて或いは追加して電子を蛍光体6に収束させる電位を印加する他の電極を設ける構成も可能である。なお、図23では、陽極7の上に蛍光体6を設けた構成としているが、蛍光体6を覆って陽極7を形成する構成もある。また、隣接する蛍光体6の相互間に遮光層(ブラックマトリクス)を設けることも行われている。背面パネル100と前面パネル200とは、封止枠300により貼り合わせてそれらの間が真空封止される。   The control electrode 4 has a function of controlling electron emission (electron extraction) from an electron source 2 a (not shown) disposed on the cathode wiring 2. Further, a configuration in which another electrode for applying a potential for converging electrons to the phosphor 6 instead of or in addition to the control electrode 4 is also possible. In FIG. 23, the phosphor 6 is provided on the anode 7, but there is a configuration in which the anode 7 is formed so as to cover the phosphor 6. In addition, a light shielding layer (black matrix) is also provided between adjacent phosphors 6. The back panel 100 and the front panel 200 are bonded together by a sealing frame 300 and the space between them is vacuum-sealed.

又、図24に示したように背面基板1上に設ける陰極配線2上には電子源2aが形成されている。この電子源2aは、陰極配線2と制御電極4との間に印加される電界で電子を効率良く発生する電子放出材料で構成される。導電性の材料は、一般的に電界中に露出する外側エッジが先鋭な形状であるほど電子放出性能が高い。したがって、ファイバ状(棒状)の導電材料を用いることで高効率の電子放出を実現することができる。この電子放出材料の一つとして前述したCNTがある。   Further, as shown in FIG. 24, an electron source 2a is formed on the cathode wiring 2 provided on the back substrate 1. The electron source 2 a is made of an electron emission material that efficiently generates electrons by an electric field applied between the cathode wiring 2 and the control electrode 4. A conductive material generally has a higher electron emission performance as the outer edge exposed in an electric field has a sharper shape. Therefore, highly efficient electron emission can be realized by using a fiber-like (rod-like) conductive material. One of the electron emission materials is the CNT described above.

ファイバ状の導電材料を電子源2aとして用いる場合、陰極配線2上にこの導電性ファイバを固定する必要がある。ここでは、ファイバ状の導電材料としてCNTを例として説明する。このCNTは極めて細い針状の炭素化合物(厳密に言えば炭素原子が六角形状に並んだグラフェンと称される平面構造が円筒状に配置されて閉じており、直径がナノメートルスケールの中空物質)であり、これを陰極配線2上に配置して電子源2aとして用いることで効率の良い電子放出を得ることができる。   When a fiber-like conductive material is used as the electron source 2a, it is necessary to fix the conductive fiber on the cathode wiring 2. Here, CNT will be described as an example of the fiber-like conductive material. This CNT is an extremely thin needle-like carbon compound (strictly speaking, a planar structure called graphene in which carbon atoms are arranged in a hexagonal shape is arranged in a cylindrical shape and closed, and a hollow substance with a diameter of nanometer scale) By arranging this on the cathode wiring 2 and using it as the electron source 2a, efficient electron emission can be obtained.

CNTを陰極配線2上に設置する際には、CNTを銀またはニッケルなどの導電性フィラーとともに混練した電極ペーストを塗布して電子源層を形成し、これを焼成して陰極配線2上に固定する方法が知られている。なお、この種の表示装置に関する従来技術を開示したものとしては、例えば特開平11−144652号公報及び特開2000−323078号公報などを挙げることができる。   When installing the CNTs on the cathode wiring 2, an electrode paste prepared by kneading CNT together with a conductive filler such as silver or nickel is applied to form an electron source layer, which is fired and fixed on the cathode wiring 2. How to do is known. In addition, as what disclosed the prior art regarding this kind of display apparatus, Unexamined-Japanese-Patent No. 11-144652 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-323078 etc. can be mentioned, for example.

図25は、電界放出型の画像表示装置の概略構成を説明する背面パネルの平面図であり、図示しない前面パネル側から見た模式図を示している。   FIG. 25 is a plan view of the back panel for explaining the schematic configuration of the field emission type image display device, and shows a schematic view seen from the front panel side (not shown).

図25において、背面基板1は、ガラスまたはアルミナ等を好適とする絶縁基板上に電子源を有する複数本の陰極配線2と複数本の帯状電極素子(メタルリボングリット:MRG)からなる板部材の制御電極4を有する。陰極配線2は背面基板1上の一方向に延在し、この一方向に交差する他方向に多数本並設される。   In FIG. 25, a back substrate 1 is a plate member made up of a plurality of cathode wires 2 having an electron source on a suitable insulating substrate made of glass or alumina and a plurality of strip-like electrode elements (metal ribbon grit: MRG). A control electrode 4 is provided. The cathode wiring 2 extends in one direction on the back substrate 1, and a large number of cathode wirings 2 are arranged in parallel in the other direction intersecting the one direction.

この陰極配線2は、銀などを含む導電性ペーストの印刷などによりパターニングされ、その上面(前面基板側)に電子源が配置される。また、陰極配線2の延在した一端部は陰極配線引出し線20として封止枠を構成する枠体90の外側に引出され、他の一端部は枠体90の内側でかつ表示領域ARの外側の終端22まで延在している。   The cathode wiring 2 is patterned by printing a conductive paste containing silver or the like, and an electron source is disposed on the upper surface (front substrate side). One end of the cathode wiring 2 extending as a cathode wiring lead-out line 20 is led out to the outside of the frame 90 constituting the sealing frame, and the other end is inside the frame 90 and outside the display area AR. Extends to the end 22 of the.

一方、制御電極4は、別部材として製作され、背面基板1上に設置される。すなわち、電子源を有する陰極配線2の上方(前面基板側)に近接し、かつ当該陰極配線2に対して表示領域ARの全域にわたって所定の間隔を有して対向して設置される。この制御電極4を構成する多数本の帯状電極素子41は、上記他方に延在し、上記一方向に多数本並設されている。この帯状電極素子41は、陰極配線2上の電子源との交差部に電子通過孔となる開孔を有し、この電子通過孔を陰極配線2の電子源から放出された電子が前面基板側(陽極側)に通過し、この交差部に画素が形成される。   On the other hand, the control electrode 4 is manufactured as a separate member and installed on the back substrate 1. That is, the cathode wiring 2 having the electron source is disposed close to (above the front substrate side) and is opposed to the cathode wiring 2 over the entire display area AR with a predetermined distance. A large number of strip-like electrode elements 41 constituting the control electrode 4 extend to the other side and are arranged in parallel in the one direction. The strip electrode element 41 has an opening serving as an electron passage hole at an intersection with the electron source on the cathode wiring 2, and electrons emitted from the electron source of the cathode wiring 2 pass through the electron passage hole on the front substrate side. A pixel is formed at this intersection.

この制御電極4は、例えばアルミニウム系または鉄系などの金属材料からなる例えば0.05mm程度の薄板をフォトリソグラフィ法を用いたエッチング加工により多数のストライプ状の薄板に多数に電子通過孔を有するように形成するのが好適である。また、制御電極4は、表示領域ARに外側に設けた固定部でガラス材などの絶縁体からなる保持部材60などよって背面基板1上に固定されて配設される。   The control electrode 4 has a large number of electron passage holes in a large number of striped thin plates formed by etching a thin plate of, for example, about 0.05 mm made of a metal material such as aluminum or iron, using a photolithography method. It is preferable to form it. Further, the control electrode 4 is fixed on the back substrate 1 by a holding member 60 made of an insulator such as a glass material at a fixing portion provided outside the display area AR.

この固定部の近傍または枠体90の近傍で制御電極4に引出し線(制御電極引出し線)40が接続されて画像表示装置の外縁に引き出されている。なお、枠体90に保持部材60の機能を持たせることもできる。そして、陰極配線2と制御電極4との間の電位差で陰極配線2に有する電子源からの電子の放出量を制御する。   A lead wire (control electrode lead wire) 40 is connected to the control electrode 4 in the vicinity of the fixed portion or in the vicinity of the frame 90 and is drawn to the outer edge of the image display device. The frame 90 can also have the function of the holding member 60. Then, the amount of electrons emitted from the electron source in the cathode wiring 2 is controlled by the potential difference between the cathode wiring 2 and the control electrode 4.

一方、図示しない前面基板は、ガラスなどの光透過性を有する絶縁材料で形成され、その内面に陽極と蛍光体とを有している。蛍光体は陰極配線2と制御電極4との交差部に形成される画素に対応して配置される。なお、図中、xは制御電極4の延在方向、yは陰極配線2の延在方向、zは背面基板及び前面基板の基板面と直交する方向をそれぞれ示している。   On the other hand, a front substrate (not shown) is made of a light-transmitting insulating material such as glass, and has an anode and a phosphor on its inner surface. The phosphor is disposed corresponding to the pixel formed at the intersection of the cathode wiring 2 and the control electrode 4. In the figure, x indicates the extending direction of the control electrode 4, y indicates the extending direction of the cathode wiring 2, and z indicates the direction orthogonal to the substrate surfaces of the back substrate and the front substrate.

このように構成される背面基板1と前面基板とが枠体90を介して封止され、その封止された内部空間を排気孔11から真空吸引し、例えば10-5〜10-7Torrに真空に排気して電界放出型の表示装置が形成される。また、上記電子源2aは、例えば、カーボンナノチューブ(CNT),ダイアモンドライクカーボン(DLC)またはその他の電界放出カソード物質などにより構成される。 The rear substrate 1 and the front substrate configured as described above are sealed through the frame body 90, and the sealed internal space is vacuum-sucked from the exhaust hole 11 to, for example, 10 −5 to 10 −7 Torr. A field emission display device is formed by evacuation to a vacuum. The electron source 2a is composed of, for example, carbon nanotubes (CNT), diamond-like carbon (DLC), or other field emission cathode materials.

なお、この種の画像表示装置に関する従来技術を開示したものとしては、例えば下記に示す特許文献1乃至特許文献5などを挙げることができる。
米国特許第3453478号明細書 特開2000−21305号公報 特開平11−144652号公報 特開2000−323078号公報 特開2001−338528号公報
In addition, as what disclosed the prior art regarding this kind of image display apparatus, the patent document 1 thru | or patent document 5 etc. which are shown below can be mentioned, for example.
US Pat. No. 3,453,478 JP 2000-21305 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-144652 JP 2000-323078 A JP 2001-338528 A

このように構成される画像表示装置は、電子源2aから放出された電子が開孔4aを通過して陽極7上の蛍光体6に射突し、この蛍光体6を励起させ、発光させて画像表示が行われ、高輝度,高精細の特性が得られるとともに、軽量,省スペース化の平板状ディスプレイを実現可能にしている。   In the image display device configured as described above, electrons emitted from the electron source 2a pass through the aperture 4a and strike the phosphor 6 on the anode 7, and the phosphor 6 is excited to emit light. Image display is performed, and high-luminance and high-definition characteristics can be obtained, and a light-weight and space-saving flat display can be realized.

しかしながら、このように構成される画像表示装置は、陰極配線2上に形成される各電子源2aと、これらの電子源2aに対応する制御電極4に形成される各開孔4aとの同軸性が表示領域の全面にわたって高精度で得られないと、不必要な陰極電流が制御電極4へ流入し、陽極電流に対してゆう乱を発生させ、この結果、表示画面の表示効率が低下する。さらに、制御電極4が金属材料で形成されている場合には表示効率の低下に加えて放熱の解決手段が必要となる。   However, the image display device configured as described above is coaxial with each electron source 2a formed on the cathode wiring 2 and each aperture 4a formed in the control electrode 4 corresponding to these electron sources 2a. Is not obtained with high accuracy over the entire surface of the display area, an unnecessary cathode current flows into the control electrode 4 to cause a disturbance to the anode current. As a result, the display efficiency of the display screen is lowered. Further, when the control electrode 4 is formed of a metal material, a means for solving heat dissipation is required in addition to a decrease in display efficiency.

更に、前記制御電極に加えて加速電極を持ち陰極線管用電子銃の三極構造と同様のトライオード電子放出動作が可能な構成のものでは、電子源と制御電極更には加速電極の三者の同軸性の確保がより一層困難で、その解決が求められている。   Further, in the configuration having an acceleration electrode in addition to the control electrode and capable of performing a triode electron emission operation similar to the triode structure of an electron gun for a cathode ray tube, the coaxiality of the electron source, the control electrode, and the acceleration electrode It is even more difficult to secure and there is a need for a solution.

一方、このような問題を解決する手段としては、陰極配線2上の電子源2aと対応する制御電極4の開孔4aとをセルフアライメント化すれば、電子源2aと開孔4aとを高精度で一致させることができる。このセルフアライメント化の手段としては、フォトエッチング法により背面基板1から制御電極4までを製作する手段がある。しかしながら、フォトエッチング法を用いる製作手段では、例えば画面対角が公称42インチ型クラスの大画面化を実現させる制御電極の製作には適用できず、実用化が極めて困難であった。   On the other hand, as means for solving such a problem, if the electron source 2a on the cathode wiring 2 and the opening 4a of the corresponding control electrode 4 are self-aligned, the electron source 2a and the opening 4a can be made highly accurate. Can be matched with. As a means for this self-alignment, there is a means for manufacturing the back substrate 1 to the control electrode 4 by a photoetching method. However, the production means using the photo-etching method cannot be applied to the production of a control electrode that realizes a large screen with a nominal screen diagonal of 42 inches, for example, and is extremely difficult to put into practical use.

また、大画面化に対しては、制御電極4を帯状電極素子(MRG)構造で構成する手段では、制御電極4が極めて繊細なウエブ状に形成されることから、セルフアライメント化が困難であるため、背面基板1及びMRG構造の制御電極4を単品構造または組立て体構造に係わらず、それぞれサブミクロンオーダの公差で組立てる必要があり、現実的ではない。この種の問題は、大画面化の画像表示装置の実用化に対して十分ではなく、解決すべき課題の一つとなっていた。   Further, for the enlargement of the screen, it is difficult to achieve self-alignment because the control electrode 4 is formed in a very delicate web shape by means of the control electrode 4 having a strip electrode element (MRG) structure. Therefore, it is necessary to assemble the back substrate 1 and the control electrode 4 having the MRG structure with a tolerance of submicron order regardless of the single-piece structure or the assembly structure, which is not practical. This type of problem is not sufficient for practical use of a large-screen image display device, and has been one of the problems to be solved.

従って、本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、背面基板上に形成された各電子源の有効範囲と、制御電極及び加速電極の各開孔とをセルフアライメント化させて同軸性を確保させ、所望の高品位表示が可能で、しかも表示画像の大画面化も容易に実現可能とする画像表示装置及びその製造方法を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and self-aligns the effective range of each electron source formed on the back substrate and the openings of the control electrode and the acceleration electrode. It is an object of the present invention to provide an image display apparatus and a method for manufacturing the same, which can ensure the coaxiality, can achieve a desired high-quality display, and can easily realize a large display image.

本発明による画像表示装置及びその製造方法は、加速電極及び制御電極の何れか一方をメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする。   The image display device and the manufacturing method thereof according to the present invention are characterized in that one of the acceleration electrode and the control electrode has an electrode configuration including a mesh substrate.

以下本発明の画像表示装置及びその製造方法の代表的な構成を記述する。   Hereinafter, representative configurations of the image display device and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described.

陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置であって、
前記制御電極及び加速電極の何れか一方を導電性のメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする。
A front substrate having an anode and a phosphor on the inner surface, a plurality of cathode wirings extending in one direction and arranged in parallel in the other direction intersecting the one direction, and being electrically connected to the cathode wiring. A plurality of electron sources on the inner surface, the rear substrate facing the front substrate with a predetermined distance, and the electrons from the electron source in the display area interposed between the rear substrate and the front substrate. A control electrode having an electron passage hole to be passed to the front substrate side;
An accelerating electrode that is interposed between the control electrode and the front substrate and has an electron passage hole that passes electrons that have passed through the electron passage holes of the control electrode, and that accelerates electrons that pass through the electron passage hole; A plurality of spacing members arranged in the display area between the front substrate and the back substrate, for holding the predetermined distance, and the display area between the front substrate and the back substrate. An image display device comprising: a support member that is inserted around and holds the predetermined interval; and an end surface of the support member and the front substrate and the rear substrate are hermetically sealed through sealing members, respectively. And
Any one of the control electrode and the acceleration electrode has an electrode configuration including a conductive mesh substrate.

又、本発明による画像表示装置は、前記メッシュ状基材は、メッシュ板とすることが出来、更に前記メッシュ状基材は、前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔を有することが出来、更に又前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔は、前記間隔保持部材と強制嵌合する狭小部を有することが出来、又前記間隔保持部材は、前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材が配置される部位の薄肉部を貫通して配置することが出来る。   In the image display device according to the present invention, the mesh substrate may be a mesh plate, and the mesh substrate may further include a through hole that penetrates the spacing member. The through hole that penetrates the gap holding member may have a narrow portion that is forcibly fitted with the gap holding member, and the gap holding member is a portion where the gap holding member of the mesh substrate is disposed. It can arrange | position through the thin part of.

更に、本発明による画像表示装置の製造方法は、陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置の製造であって、
導電性のメッシュ状基材の片面に前記電子通過孔を除いて絶縁層で被覆して前記加速電極を形成する工程と、この加速電極の前記絶縁層側を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする。
Furthermore, the manufacturing method of the image display device according to the present invention includes a front substrate having an anode and a phosphor on the inner surface, a plurality of cathode wirings extending in one direction and arranged in parallel in the other direction intersecting the one direction, A back substrate having an inner surface with a plurality of electron sources arranged in electrical conduction on the cathode wiring and facing the front substrate at a predetermined interval, and interposed between the back substrate and the front substrate A control electrode having an electron passage hole for allowing electrons from the electron source to pass to the front substrate side in the display area, and the control electrode and the front substrate interposed between the control electrode and the electron passage holes of the control electrode. An acceleration electrode for accelerating electrons passing through the electron passage hole and the front substrate and the rear substrate, and disposed in the display region, Between several to keep the interval A holding member, a support member that is inserted around the display area between the front substrate and the rear substrate, and holds the predetermined distance; an end surface of the support member; and the front substrate and the rear substrate; Each of which is hermetically sealed via a sealing member,
A step of forming the accelerating electrode by covering the one surface of a conductive mesh-like substrate with an insulating layer except for the electron passage holes, and disposing the insulating layer side of the accelerating electrode facing the cathode wiring side. The method includes a step of incorporating into a predetermined portion between the front substrate and the rear substrate.

又、本発明による画像表示装置の製造方法は、前記加速電極と反対側の前記絶縁層上に前記電子通過孔と同軸の電子通過孔を有する制御電極を形成し、この制御電極を前記陰極配線側に対向配置して組み込む構成とすることが出来る。   In the image display device manufacturing method according to the present invention, a control electrode having an electron passage hole coaxial with the electron passage hole is formed on the insulating layer opposite to the acceleration electrode, and the control electrode is formed on the cathode wiring. It can be set as the structure which arranges and opposes on the side.

上述した構成により、高品位表示が可能で、大画面化も可能な画像表示装置及びその製造方法を可能にした。   With the above-described configuration, an image display device capable of high-quality display and having a large screen and a manufacturing method thereof can be realized.

なお、本発明は、上記の構成及び後述する実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であることは言うまでもない。   The present invention is not limited to the above-described configuration and the configurations of the embodiments described later, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

以上、説明したように本発明による画像表示装置によれば、導電性のメッシュ状基材を加速電極又は制御電極の何れかとし、これに絶縁層を介して残余の制御電極又は加速電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来る。 As described above, according to the image display device of the present invention, the conductive mesh-like base material is either the acceleration electrode or the control electrode, and the remaining control electrode or acceleration electrode is integrated with this via the insulating layer. By using the grit electrode assembly formed in the above, the grit electrode assembly can be formed very easily by utilizing the characteristics of the configuration of the mesh substrate.

又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、電極構造及び組立て構造の高精度化が不要となり、その精度を緩く製作できるので、製作が容易となり、歩留まりを容易かつ大幅に向上でき、しかも部品単価を低減できると共に、表示画像の大画面化が容易、かつ低コストで実現可能となるなどの極めて優れた効果が得られる。
更に、加速電極と制御電極の二つの電極を持つグリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
又、スペーサをグリット電極構体と前面基板間で固定する構成ではスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れ、更にグリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、スペーサをグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔に貫通して配置する構成では、スペーサもスペーサ保持孔で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。
又、スペーサがスペーサ保持孔を良好な接触状態で貫通しているため、安定な電界を形成できる等極めて優れた効果が得られる。
In addition, the self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode is possible, and it is not necessary to increase the precision of the electrode structure and assembly structure, and the precision can be loosely manufactured. In addition to being able to improve the cost of component parts, it is possible to obtain extremely excellent effects such as that the display image can be easily enlarged and can be realized at low cost.
Furthermore, a grit electrode assembly having two electrodes, that is, an acceleration electrode and a control electrode, can be handled as a single product, and the workability and dimensional accuracy can be improved including the assembly process of the image display device.
In addition, in the configuration in which the spacer is fixed between the grit electrode assembly and the front substrate, the height of the spacer itself can be lowered, the mechanical strength can be improved, and further, the warp and the bending of the grit electrode assembly can be prevented. The distance and the distance between the substrates in the display area can be maintained with high accuracy.
Further, in the configuration in which the spacer is disposed through the spacer holding hole provided in the grid electrode assembly, the spacer is also held by the spacer holding hole and fixed to both substrates, so that the inclination of the spacer itself can be achieved. In addition, the mechanical strength can be improved by fixing the three points.
Further, since the spacer penetrates the spacer holding hole in a good contact state, an extremely excellent effect such as a stable electric field can be obtained.

以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings of the embodiments.

図1は本発明の表示装置の一実施例の電界放出型の画像表示装置の一例の概略構成の模式的説明図で、前面基板側から見た平面図、図2は図1のB−B線の模式的断面図である。   FIG. 1 is a schematic explanatory view of a schematic configuration of an example of a field emission type image display device according to an embodiment of the display device of the present invention. FIG. 2 is a plan view seen from the front substrate side, and FIG. It is a typical sectional view of a line.

図1及び図2において、参照符号12は前面基板で、透明なガラス板等から構成されている。13は背面基板で、前記前面基板12と同様にガラスあるいはアルミナ等のセラミックスを好適とし、板厚が数mm、例えば3mm程度の絶縁基板から構成されている。14は気密封着部で、この気密封着部14は外枠を兼ねた支持体141の上下端面に配置された封着部材142を介してz方向に積み重られた前記両基板12、13の周縁部を気密封着している。   1 and 2, reference numeral 12 denotes a front substrate, which is composed of a transparent glass plate or the like. Reference numeral 13 denotes a rear substrate, which is preferably made of ceramics such as glass or alumina, like the front substrate 12, and is composed of an insulating substrate having a thickness of several mm, for example, about 3 mm. Reference numeral 14 denotes an airtightly attached portion, which is stacked in the z direction via the sealing members 142 disposed on the upper and lower end surfaces of the support 141 that also serves as an outer frame. Is hermetically sealed.

なお、z方向は背面基板13及び前面基板12の基板面と直交する方向を示す。   The z direction indicates a direction orthogonal to the substrate surfaces of the back substrate 13 and the front substrate 12.

前記支持体141はガラス板或いはフリットガラスの整形品等から構成され、一方封着部材142はフリットガラスを好適としている。   The support 141 is made of a glass plate or a shaped product of frit glass, while the sealing member 142 is preferably frit glass.

すなわち、前記封着部材142としては、例えばPbO:75〜80wt%、B2O3:約10wt%、その他:10〜15wt%等の組成からなり、かつ非晶質タイプのフリットガラスを含むガラス材料からなるものが好適である。   That is, the sealing member 142 is made of a glass material including, for example, PbO: 75 to 80 wt%, B2 O3: about 10 wt%, others: 10 to 15 wt%, and amorphous type frit glass. Those are preferred.

又、支持体141と封着部材142とを同一材料で一体に形成しても良い。   Further, the support 141 and the sealing member 142 may be integrally formed of the same material.

又、前記気密封着部14で囲繞された部分が表示領域143を構成しており、この表示領域143の部分は真空に保持されている。   Further, a portion surrounded by the hermetic sealing portion 14 constitutes a display region 143, and the portion of the display region 143 is kept in a vacuum.

更に、この表示領域143の部分にはこの領域の両基板12、13間の間隔を所定の寸法に保持する機能を持つ薄い板状の間隔保持部材のスペ−サ15を複数備え、これらスペ−サ15の上下端は一端をフリットガラスの様な固定材151で前面基板12に固定し、他端は後述するグリット電極構体にフリットガラスの様な固定材151で固定している。   Further, the display area 143 is provided with a plurality of thin plate-like spacing member spacers 15 having a function of keeping the distance between the substrates 12 and 13 in this area at a predetermined size. One end of the upper and lower ends of the substrate 15 is fixed to the front substrate 12 with a fixing material 151 such as frit glass, and the other end is fixed to a grid electrode assembly described later with a fixing material 151 such as frit glass.

次に、参照符号16は陰極配線で、この陰極配線16は背面基板13の内表面に複数本が方向(y方向)に延在し他方向(x方向)に並設されている。この陰極配線16の端部は陰極配線引出し線161として背面基板13の2辺に分けられて気密封着部14の外側に引き出されている。   Next, reference numeral 16 is a cathode wiring, and a plurality of cathode wirings 16 extend in the direction (y direction) on the inner surface of the back substrate 13 and are arranged in parallel in the other direction (x direction). The end of the cathode wiring 16 is divided into two sides of the rear substrate 13 as a cathode wiring lead-out line 161 and led out to the outside of the hermetic seal 14.

この陰極配線16は、例えば蒸着により形成するか、或いは粒径数μm、例えば1〜5μm程度の導電性の銀粒子に、絶縁性を発現する低融点ガラスを混合した銀ペ−ストを厚膜印刷し、例えば600℃程度で焼成して形成すること等により設けられている。   The cathode wiring 16 is formed by, for example, vapor deposition, or a thick film made of silver paste in which conductive silver particles having a particle diameter of several μm, for example, about 1 to 5 μm are mixed with low-melting glass exhibiting insulating properties. For example, it is formed by printing and firing at about 600 ° C., for example.

又、参照符号17は制御電極、18は加速電極で、これら制御電極17と加速電極18は、絶縁層19を挟んで配置され、それぞれの電子通過孔17a、18a及び絶縁層19の前記電子通過孔に対応する開孔19aの三者の中心軸を一致させて一体化されてグリット電極構体23を構成している。
このグリット電極構体23の構成の一例を図3に示す。
なお、図3は本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体の一例の模式分解斜視図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
このグリット電極構体23は、加速電極18を兼ねるメッシュ状基材181を基材としている。
このメッシュ状基材181は、例えばニッケルークロムー鉄合金からなる厚さ数十ミクロン、例えば厚さ20ミクロン程度のメッシュ板から構成されており、このメッシュ板は図4に示すように開口形状が円形の多数の貫通孔182を全面に一様に配置した構成とされている。
なお、図4は本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体を構成するメッシュ状基板の一例の模式平面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図3及び図4において、このメッシュ状基材181は、その片面に厚膜印刷又はドライフィルムとエッチングの組み合わせ等の方法で形成された絶縁層19を備えている。
この絶縁層19の形成は、例えば厚膜印刷による場合は、メッシュ状基材181の多数の円形の貫通孔182(凹部)と残部(凸部)との形状差を利用し、残部(凸部)に絶縁材を残存塗布して開口19aを持つ絶縁層19を形成する。
又、ドライフィルムとエッチングとの組み合わせによる方法では、メッシュ状基材181自体をマスクとして用いてパタンニングすることで形成することが可能である。
又、制御電極17は前記絶縁層19の他面に例えば銀ペーストで直接印刷するか或は金属蒸着、メッキ等の方法で形成すること等で構成されている。
このような構成からなるグリット電極構体23を、図1、図2に示すようにその制御電極17側を背面基板13側に向け、背面基板13上の所定の位置に接着配置された例えばフリットガラスからなる第2の絶縁層24に同じくフリットガラスからなる固着材25を介して固定して、前記陰極配線16の前方(前面基板12側)に当該陰極配線16及び電子源26と絶縁されて配置されている。又、この制御電極17及び加速電極18の各端部は電極引出し線として背面基板13の気密封着部14の外側にそれぞれ引き出されている。
又、前述したが、このグリット電極構体23は、その前記加速電極18側の前面(前面基板12側)に前記両基板12、13間の間隔を所定の寸法に保持する機能を持つ薄い板状のスペ−サ15をフリットガラスの様な固定材151で固定している。
この固定位置は、この実施例ではグリット電極構体23を背面基板13に固定する第2の絶縁層24が配置された部分に対応する位置とし、両基板間の間隔の保持は勿論のこと、スペ−サ15を固定したことによるグリット電極構体23の変形の発生も抑制できる構成としている。
Reference numeral 17 is a control electrode, 18 is an acceleration electrode, and the control electrode 17 and the acceleration electrode 18 are arranged with an insulating layer 19 interposed therebetween, and the electron passage holes 17a and 18a and the electron passage through the insulating layer 19 pass therethrough. A grit electrode assembly 23 is formed by integrating the three central axes of the opening 19a corresponding to the holes.
An example of the configuration of the grit electrode assembly 23 is shown in FIG.
FIG. 3 is a schematic exploded perspective view of an example of the grit electrode assembly used in the image display device of the present invention. The same reference numerals are given to the same portions as those in the above-described drawings.
The grit electrode assembly 23 uses a mesh substrate 181 that also serves as the acceleration electrode 18 as a substrate.
The mesh substrate 181 is composed of a mesh plate made of, for example, a nickel-chromium-iron alloy and having a thickness of several tens of microns, for example, a thickness of about 20 microns. The mesh plate has an opening shape as shown in FIG. A large number of circular through holes 182 are uniformly arranged on the entire surface.
FIG. 4 is a schematic plan view of an example of a mesh substrate constituting the grit electrode assembly used in the image display device of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts or parts having the same functions as those in the above-mentioned figures. It is.
3 and 4, the mesh substrate 181 includes an insulating layer 19 formed on one surface thereof by a method such as thick film printing or a combination of dry film and etching.
For example, in the case of thick film printing, the insulating layer 19 is formed by utilizing the difference in shape between the large number of circular through holes 182 (concave portions) and the remaining portions (convex portions) of the mesh-shaped substrate 181, The insulating layer 19 having the openings 19a is formed by applying the insulating material to the remaining portion.
Further, in the method using a combination of a dry film and etching, it can be formed by patterning using the mesh substrate 181 itself as a mask.
The control electrode 17 is formed by printing directly on the other surface of the insulating layer 19 with, for example, silver paste or by a method such as metal vapor deposition or plating.
As shown in FIGS. 1 and 2, the grit electrode assembly 23 having such a structure is bonded to a predetermined position on the back substrate 13 with the control electrode 17 side facing the back substrate 13, for example, frit glass. The second insulating layer 24 is fixed with a fixing material 25 made of frit glass, and is disposed in front of the cathode wiring 16 (on the front substrate 12 side) and insulated from the cathode wiring 16 and the electron source 26. Has been. Further, the end portions of the control electrode 17 and the acceleration electrode 18 are led out to the outside of the hermetic attachment portion 14 of the rear substrate 13 as electrode lead lines.
As described above, the grit electrode assembly 23 is a thin plate having a function of maintaining a predetermined distance between the substrates 12 and 13 on the front surface (front substrate 12 side) on the acceleration electrode 18 side. The spacer 15 is fixed by a fixing material 151 such as frit glass.
In this embodiment, the fixing position is a position corresponding to a portion where the second insulating layer 24 for fixing the grit electrode assembly 23 to the rear substrate 13 is disposed. -It is set as the structure which can also suppress generation | occurrence | production of the deformation | transformation of the grit electrode assembly 23 by fixing the support 15.

一方、前記陰極配線16上の電子源26は、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出素子、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも呼ばれる)素子、ダイヤモンド膜やグラファイト膜、あるいはカーボンナノチューブ等から構成され、陰極配線16上に所定のピッチで配置されている。   On the other hand, the electron source 26 on the cathode wiring 16 is a metal-insulator-metal (MIM) type electron-emitting device, or an electron-emitting structure utilizing an electron-emitting phenomenon due to a quantum tunnel effect (also called a surface conduction electron source). ) It is composed of an element, a diamond film, a graphite film, a carbon nanotube or the like, and is arranged on the cathode wiring 16 at a predetermined pitch.

この電子源26の形成方法としては、例えば厚膜印刷され焼成された陰極配線16表面にカ−ボンナノチュ−ブペ−ストを印刷し、例えば真空中590℃で焼成して形成する方法等が利用できる。   As a method for forming the electron source 26, for example, a method of forming a carbon nano tube paste on the surface of the cathode wiring 16 which has been printed and fired with a thick film, and fired at 590 ° C. in a vacuum, for example, is used. it can.

この実施例では前記カ−ボンナノチュ−ブペ−ストはシングルウオ−ルカ−ボンナノチュ−ブをエチレンセルロ−ス及びテルピネウオ−ルに分散させたものを用いた。   In this embodiment, the carbon nanotube tube was a single wall carbon nanotube dispersed in ethylene cellulose and terpineol.

ここで、上記ではシングルウオ−ルのカ−ボンナノチュ−ブを用いて説明したが、これらはマルチウオ−ルカ−ボンナノチュ−ブやカ−ボンナノファイバ−でも良く、更にはこれら以外に例えばダイヤモンド、ダイヤモンドライクカ−ボン、黒鉛、無定形カ−ボン等を用いることができ、更に又これらの混合物でも良いことは勿論である。   Here, the single-wall carbon nanotubes have been described above, but these may be multi-wall carbon nanotubes or carbon nanofibers. Besides these, for example, diamond, diamond Like carbon, graphite, amorphous carbon or the like can be used, and it is needless to say that a mixture thereof may also be used.

一方、前面基板12の内表面には蛍光面27を構成するメタルバック膜28(陽極)と蛍光体膜29が配置されており、陰極配線16上に配置された電子源26から出た電子が、数十V、例えば50V程度のグリット電圧の印加された制御電極17の電子通過孔17aで制御を受けてここを通過し、絶縁層19の開孔19aを通過した後、更に数百V、例えば200V程度の加速電圧の印可された加速電極18の電子通過孔18aで制御を受け、例えば10KVの陽極電圧の印加された蛍光面27に向い、メタルバック膜28(陽極)を通過して蛍光体膜29に射突してこれを発光させ、映視像面に所望の表示を行う構成となっている。   On the other hand, a metal back film 28 (anode) and a phosphor film 29 constituting the phosphor screen 27 are disposed on the inner surface of the front substrate 12, and electrons emitted from the electron source 26 disposed on the cathode wiring 16 are transferred. After passing through the electron passage hole 17a of the control electrode 17 to which a grit voltage of about several tens V, for example, about 50 V is applied, and passing through the opening 19a of the insulating layer 19, several hundred V, For example, it is controlled by the electron passage hole 18a of the acceleration electrode 18 to which an acceleration voltage of about 200 V is applied, and is directed to the phosphor screen 27 to which an anode voltage of 10 KV is applied, for example, and passes through the metal back film 28 (anode) to fluoresce. The body film 29 is projected to emit light, and a desired display is performed on the projected image plane.

なお、図示しないが蛍光面27はブラックマトリクス(BM)膜を備えており、本実施例の蛍光面は従来のカラ−陰極線管蛍光面と略同様な構成である。   Although not shown, the phosphor screen 27 is provided with a black matrix (BM) film, and the phosphor screen of this embodiment has substantially the same configuration as a conventional color cathode-ray tube phosphor screen.

そして、陰極配線16と制御電極17、加速電極18との交差部にマトリクス状に単位画素が形成され、このマトリクス配列された画素で上記の表示領域が形成される。一般には、上記単位画素の三個のグループで赤(R)、緑(G)、青(B)からなるカラー画素を構成する。   Then, unit pixels are formed in a matrix at intersections between the cathode wiring 16 and the control electrode 17 and the acceleration electrode 18, and the display area is formed by the pixels arranged in the matrix. In general, a color pixel composed of red (R), green (G), and blue (B) is constituted by three groups of the unit pixels.

ここで、前記封着部材142を介して行う気密封着は、例えば窒素雰囲気中で例えば430℃程度の温度で行い、その後例えば350℃程度で加熱しつつ排気して真空に封止する方法等が利用できる。
この実施例の構成であれば、加速電極に円形の貫通孔が全面に一様に配置されたメッシュ状基板を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサの固定もグリット電極構体と前面基板間としたことでスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れる。又、グリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
次に、図5は本発明の表示装置の他の実施例の電界放出型の画像表示装置の一例の概略構成の模式的断面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図5に示す実施例においては、表示領域143に配置されるスペーサ15はグリット電極構体33を貫通して両基板12、13間に固定されている。
このグリット電極構体33は、前述した図3に示すグリット電極構体23と同様に、メッシュ状基材を有する加速電極34の片面に絶縁層35を介して制御電極36を一体に積層して構成したものであるが、このグリット電極構体33は前記スペーサ15が貫通する部分及びその近傍で絶縁層35及び制御電極36が欠落した構成とされている。
図6は前記グリット電極構体33に用いられるメッシュ状基材の一例の模式平面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図6において、メッシュ状基材341は電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔342を備えた帯状板343と、これらの帯状板343相互をつなぐ連結部344と、前記帯状板343相互間に設けられたスペーサ保持孔345及び角孔346を備えた構成で加速電極34を兼ねている。
このメッシュ状基材341の前記スペーサ保持孔345は、表示領域143内に配置されるスペーサ15に対応する位置に設けられており、その一例の詳細を図7に示す。なお、図7は図6のスペーサ保持孔の拡大平面図である。
このスペーサ保持孔345は、スペーサ15の厚さより大きな幅Tと、長さLとを有し、これに孔端面から中心に向かって複数の突起部345aを突出して備えている。T1は突起部345aの突出長である。
この突起部345aはその一例の詳細を図7に示すように、この部分の板厚を基材厚さより薄くするか或は図示しないが突起部345aの根元部分にノッチを入れる等の加工を施してあり、応力が加わった際に変形する。
ここで各寸法の一例を説明すると、例えばスペーサの厚さが50ミクロンの場合、孔の幅Tは例えば100ミクロン、突起部の突出長T1は例えば30ミクロン程度とすれば良い。
これによりスペーサ保持孔345にスペーサ15を挿入する作業では突起部が変形して挿入が容易で、しかも挿入後は両者の接触状態が良好に保持できる構成となっている。なお、図8は図7のC−C線の断面図である。
又、角孔346はスペーサ保持孔345と略同一寸法で前記帯状板343相互間のスペーサ保持孔345とは異なる位置に設けられている。この角孔346はスペーサ保持孔345と同一形状でも良い。
このスペーサ15と係合しない角孔346は排気作業の効率向上にも寄与できる。
又、前記スペーサ保持孔345をハーフエッチ構造としておき、スペーサとの組み立て時にスペーサで貫通開口する構成としても良い。
前記グリット構体33は、前記メッシュ状基材341を備えており、このメッシュ状基材341の帯状板343部分のみに絶縁層35及び制御電極36が被着され、残部のスペーサ保持孔345、角孔346及び連結部344部分には絶縁層35及び制御電極36は欠落して存在しない構成となっている。
この実施例の構成であれば、加速電極に円形の貫通孔が全面に一様に配置されたメッシュ状基材を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
更に、グリット電極構体も帯状板と連結部の組み合わせ構成を備えていることから背面基板のうねり等の凹凸に対して追従可能で、反りや撓みを防止出来る。又、帯状板に絶縁層を厚く均一に形成でき、両電極間の干渉を軽減できる。更に又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
次に、図9は本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の他の例を示す模式平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図9において、メッシュ状基材441は電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔442を備えた帯状部443と、これらの帯状部443相互をつなぐ無孔部444と、前記帯状板343相互間の無孔部444に設けられたスペーサ保持孔445を備えた構成で加速電極44を兼ねている。
このメッシュ状基材441の前記スペーサ保持孔445は、表示領域143内に配置されるスペーサ15に対応する位置でスペーサ15の形状に一致した構成となっている。更にスペーサ保持孔形状は前述した図7及び図8に示すような突起部を有するか或はノッチ加工をした構成としても良い。
図9に示す実施例のメッシュ状基材では、電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔が無孔部を挟んで配置された構成としたことにより、グリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサも前述した図5に示すようにグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えており、更に無孔部を存在させたことで機械的な強度も有することから単板として取り扱うことが可能で作業効率の点でも優れている。
次に、図10は本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の更に他の例を示す模式平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図10において、メッシュ状基材541は電子ビームが通過する多数の長円形の貫通孔542を備えた帯状部543と、これらの帯状部543相互をつなぐ無孔部544と、前記長円形の貫通孔542の長軸と直角に交わりメッシュ状基材541の端部でその略全幅に亘って配置されたスペーサ保持孔545を備えた構成で加速電極54を兼ねている。
このメッシュ状基材541の前記スペーサ保持孔545は、表示領域143内に配置されるスペーサ15に対応する位置でスペーサ15の形状に一致した構成となっている。更にスペーサ保持孔形状は前述した図7及び図8に示すような突起部を形成するか或はノッチ加工した構成としても良い。
図10に示す実施例のメッシュ状基材では、電子ビームが通過する多数の長円形の貫通孔が無孔部を挟んで配置された構成としたことにより、絶縁層及び制御電極を持つグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成とすることが出来、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
Here, the hermetic sealing performed through the sealing member 142 is performed, for example, in a nitrogen atmosphere at a temperature of, for example, about 430 ° C., and then, for example, heated at about 350 ° C. and exhausted and sealed in a vacuum. Is available.
In the configuration of this embodiment, a grid-like substrate in which circular through-holes are uniformly arranged on the entire surface is used for the acceleration electrode, and a grit electrode structure in which a control electrode is integrally formed through an insulating layer is used. By adopting the configuration, this grit electrode assembly can be formed very easily by utilizing the characteristics of the configuration of the mesh substrate, and self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode is possible. Become. In addition, since the electron passage hole is circular, the electric field distribution is uniform and beam control is easy, and high-quality display is possible.
Furthermore, since the spacer is fixed between the grit electrode assembly and the front substrate, the height of the spacer itself can be lowered and the mechanical strength can be improved. Further, it is possible to prevent warping and bending of the grit electrode structure, and to maintain the distance between the electrodes and the distance between the substrates in the display area with high accuracy.
Further, the grit electrode assembly can be handled as a single product, and the workability and dimensional accuracy can be improved including the assembly process of the image display device.
Next, FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a schematic configuration of an example of a field emission type image display device of another embodiment of the display device of the present invention. Are marked with the same symbol.
In the embodiment shown in FIG. 5, the spacer 15 disposed in the display region 143 passes through the grid electrode assembly 33 and is fixed between the substrates 12 and 13.
The grit electrode assembly 33 is configured by integrally laminating a control electrode 36 on one side of an acceleration electrode 34 having a mesh-like base material via an insulating layer 35 in the same manner as the grit electrode assembly 23 shown in FIG. However, the grit electrode assembly 33 has a structure in which the insulating layer 35 and the control electrode 36 are omitted in a portion where the spacer 15 penetrates and in the vicinity thereof.
FIG. 6 is a schematic plan view of an example of a mesh-like base material used for the grit electrode assembly 33. The same reference numerals are given to the same portions or portions having the same functions as those of the above-described drawings.
In FIG. 6, the mesh substrate 341 includes a strip plate 343 having a large number of circular through holes 342 through which an electron beam passes, a connecting portion 344 that connects the strip plates 343, and the strip plates 343. The structure having the spacer holding hole 345 and the square hole 346 provided also serves as the acceleration electrode 34.
The spacer holding hole 345 of the mesh-like base material 341 is provided at a position corresponding to the spacer 15 arranged in the display region 143, and an example of the details is shown in FIG. FIG. 7 is an enlarged plan view of the spacer holding hole of FIG.
The spacer holding hole 345 has a width T larger than the thickness of the spacer 15 and a length L, and is provided with a plurality of protrusions 345a protruding from the hole end surface toward the center. T1 is the protrusion length of the protrusion 345a.
As shown in FIG. 7, the details of one example of the protrusion 345a are formed by making the thickness of this portion thinner than the thickness of the base material, or by notching the base portion of the protrusion 345a although not shown. It deforms when stress is applied.
Here, an example of each dimension will be described. For example, when the spacer has a thickness of 50 microns, the hole width T may be 100 microns, and the protrusion length T1 of the protrusion may be, for example, about 30 microns.
As a result, in the operation of inserting the spacer 15 into the spacer holding hole 345, the protrusion is deformed and can be easily inserted, and the contact state between the two can be satisfactorily maintained after the insertion. 8 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
The square holes 346 have substantially the same dimensions as the spacer holding holes 345 and are provided at positions different from the spacer holding holes 345 between the belt-like plates 343. The square hole 346 may have the same shape as the spacer holding hole 345.
The square hole 346 that does not engage with the spacer 15 can contribute to an improvement in the efficiency of the exhaust operation.
Alternatively, the spacer holding hole 345 may have a half-etched structure and may be opened through the spacer when assembled with the spacer.
The grit structure 33 includes the mesh base material 341. The insulating layer 35 and the control electrode 36 are attached only to the belt-like plate 343 portion of the mesh base material 341, and the remaining spacer holding holes 345, corners are provided. The insulating layer 35 and the control electrode 36 are missing from the hole 346 and the connecting portion 344.
In the configuration of this embodiment, a grid electrode structure in which circular through holes are uniformly arranged on the entire surface of the acceleration electrode and a control electrode is integrally formed on the acceleration electrode via an insulating layer is provided. By using the configuration, this grit electrode structure can be formed very easily by utilizing the characteristics of the configuration of the mesh substrate, and self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode is possible. It becomes. In addition, since the electron passage hole is circular, the electric field distribution is uniform and beam control is easy, and high-quality display is possible.
Furthermore, the spacer also has a three-point fixing structure in which the spacer holding hole provided in the grit electrode assembly is penetrated and held at the portion, and is fixed to both substrates, thereby preventing the inclination and breakage of the spacer itself. The mechanical strength can be improved by fixing at three points. Further, it has a feature that the distance between the electrodes and the distance between both substrates can be maintained with high accuracy.
Furthermore, since the grit electrode assembly also has a combined configuration of a belt-like plate and a connecting portion, it can follow irregularities such as waviness of the back substrate, and can prevent warping and bending. In addition, the insulating layer can be formed thick and uniform on the belt-like plate, and interference between both electrodes can be reduced. Furthermore, the grid electrode assembly can be handled as a single product, and the workability and dimensional accuracy can be improved including the assembly process of the image display device.
Next, FIG. 9 is a schematic plan view showing another example of a mesh-like substrate used in the image display device of the present invention. is there.
In FIG. 9, the mesh-like base material 441 includes a belt-like portion 443 having a large number of circular through holes 442 through which an electron beam passes, a non-hole portion 444 that connects these belt-like portions 443, and the belt-like plate 343. The spacer holding hole 445 provided in the non-hole portion 444 is also used as the acceleration electrode 44.
The spacer holding hole 445 of the mesh substrate 441 has a configuration that matches the shape of the spacer 15 at a position corresponding to the spacer 15 arranged in the display region 143. Further, the spacer holding hole shape may have a projection as shown in FIG. 7 and FIG.
In the mesh-like base material of the embodiment shown in FIG. 9, the grit electrode assembly is configured as a mesh-like base material by arranging a large number of circular through-holes through which an electron beam passes with a non-hole portion interposed therebetween. By using this feature, it can be formed very easily, and self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode becomes possible. In addition, since the electron passage hole is circular, the electric field distribution is uniform and beam control is easy, and high-quality display is possible.
Further, as shown in FIG. 5 described above, the spacer has a three-point fixing structure in which the spacer holding hole provided in the grit electrode assembly is penetrated and held in this portion, and fixed to both substrates. In addition, the mechanical strength can be improved by fixing the three points. In addition, it has the feature that the distance between the electrodes and the distance between both substrates can be maintained with high accuracy, and since it has mechanical strength due to the presence of non-holes, it can be handled as a single plate. It is also excellent in efficiency.
Next, FIG. 10 is a schematic plan view showing still another example of the mesh-like substrate used in the image display device of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts or parts having the same functions as the above-mentioned figures. It is.
In FIG. 10, a mesh-like base material 541 has a belt-like portion 543 provided with a number of oval through-holes 542 through which an electron beam passes, a non-hole portion 544 that connects these belt-like portions 543, and the oval through-holes. The structure includes a spacer holding hole 545 that intersects the major axis of the hole 542 at a right angle and is arranged over the entire width at the end of the mesh-like base material 541 and also serves as the acceleration electrode 54.
The spacer holding hole 545 of the mesh-like base material 541 has a configuration that matches the shape of the spacer 15 at a position corresponding to the spacer 15 disposed in the display region 143. Further, the spacer holding hole shape may be formed by forming a protrusion as shown in FIGS. 7 and 8 or by notching.
In the mesh substrate of the embodiment shown in FIG. 10, a grit electrode having an insulating layer and a control electrode is formed by arranging a large number of oval through-holes through which an electron beam passes with a non-hole portion interposed therebetween. The structure can be formed very easily by utilizing the characteristics of the configuration of the mesh-like base material, and the self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode is possible, thereby enabling high-quality display.
Furthermore, the spacer can also have a three-point fixing structure in which the spacer holding hole provided in the grit electrode assembly is penetrated and held at the portion and fixed to both substrates, and the spacer itself can be prevented from tilting and breaking. The mechanical strength can be improved by fixing three points. Further, it has a feature that the distance between the electrodes and the distance between both substrates can be maintained with high accuracy.

次に、図11は本発明の画像表示装置の更に他の実施例のスペーサ配列パターンを示す模式平面図で、前述した図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図11に示すスペーサ配列パターンは、スペーサ15をその長手方向を背面基板13の短辺と平行に揃え、このスペーサ15を複数個等ピッチで背面基板13の長手方向に並べて列を形成し、この列を前記短辺方向に3列設けると共に、中央列を上下列と半ピッチずらして配置する構成の配列パターンとしたものである。
図11の様な配列パターン構成であれば、スペーサが表示領域内で均等に配置されているために、表示領域内の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えており、又図5の様にスペーサをグリット電極構体に貫通して配置する構成でもこの配列パターンであればグリット電極構体自体の機械的強度の低下は全く無く、作業性の点でも何等問題は生じない。更に、排気作業においてもこの配列パターンであれば排気コンダクタンスの劣化はなく短時間で高真空が得られ、作業性の向上が図れると共に長寿命の表示装置が得られる。
Next, FIG. 11 is a schematic plan view showing a spacer arrangement pattern of still another embodiment of the image display device of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts or the parts having the same functions as the above-mentioned figures. .
In the spacer arrangement pattern shown in FIG. 11, the spacers 15 are aligned in the longitudinal direction parallel to the short sides of the back substrate 13, and a plurality of the spacers 15 are arranged at equal pitches in the longitudinal direction of the back substrate 13 to form a row. In this arrangement pattern, three rows are provided in the short side direction, and the central row is arranged with a half pitch shift from the upper and lower rows.
In the arrangement pattern configuration as shown in FIG. 11, since the spacers are evenly arranged in the display area, it has the feature that the distance between the two substrates in the display area can be maintained with high accuracy. Even in the configuration in which the spacer is disposed so as to penetrate the grit electrode assembly as in 5, the mechanical strength of the grit electrode assembly itself is not lowered at all with this arrangement pattern, and there is no problem in terms of workability. Further, even in the exhaust operation, if this arrangement pattern is used, the exhaust conductance is not deteriorated and a high vacuum can be obtained in a short time, so that the workability can be improved and a long-life display device can be obtained.

次に、図12は本発明の画像表示装置の他の実施例における背面基板側の模式平面図、図13は図12のD−D断面図、図14は図12のE−E断面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。   Next, FIG. 12 is a schematic plan view on the back substrate side in another embodiment of the image display device of the present invention, FIG. 13 is a DD sectional view of FIG. 12, and FIG. 14 is an EE sectional view of FIG. The same symbols are attached to the same parts or parts having the same functions as those in the above-described drawings.

図12乃至図14において、背面基板13上に陰極配線16が例えば厚膜印刷のような手段で一方向に延在しこの一方向に交差する他方向に並設されている。   12 to 14, the cathode wiring 16 extends in one direction on the back substrate 13 by means such as thick film printing, and is arranged in parallel in the other direction crossing this one direction.

一方、前記陰極配線16上を含む基板表面には、例えばフリットガラスからなる第2の絶縁層24及びこの絶縁層24上に配置された同じく例えばフリットガラスからなる固着材25が配置されている。   On the other hand, a second insulating layer 24 made of, for example, frit glass and a fixing material 25 made of, for example, frit glass disposed on the insulating layer 24 are arranged on the substrate surface including the cathode wiring 16.

この第2の絶縁層24及び固着材25は、前記陰極配線16と直交する方向に延在し、この延在方向に交差する他方向に並設され、制御電極及び加速電極とこの間に挟まれた絶縁層とを有する構成のグリット電極構体を背面基板上の所定の位置に固定する。   The second insulating layer 24 and the fixing material 25 extend in a direction perpendicular to the cathode wiring 16 and are juxtaposed in the other direction intersecting the extending direction, and are sandwiched between the control electrode and the acceleration electrode. A grit electrode assembly having a structure including an insulating layer is fixed at a predetermined position on the rear substrate.

又、前記陰極配線16上の第2の絶縁層24及びこの絶縁層24上に配置された固着材25で区分けされた位置に電子源26が配置されている。   An electron source 26 is disposed at a position separated by the second insulating layer 24 on the cathode wiring 16 and the fixing material 25 disposed on the insulating layer 24.

この構成であれば、中間に配置した絶縁層24及び固着材25でグリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。   With this configuration, the grit electrode assembly can be prevented from being bent or warped by the insulating layer 24 and the fixing material 25 disposed in the middle, and the inter-electrode spacing can be maintained with high accuracy.

次に、図15は本発明の画像表示装置の更に他の実施例における背面基板側の模式平面図、図16は図15のF−F断面図、図17は図15のG−G断面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。   Next, FIG. 15 is a schematic plan view on the back substrate side in still another embodiment of the image display device of the present invention, FIG. 16 is a sectional view taken along line FF in FIG. 15, and FIG. 17 is a sectional view taken along line GG in FIG. Thus, the same symbols are attached to the same parts or parts having the same functions as those in the above-described drawings.

図15乃至図17において、背面基板13上に陰極配線16が例えば厚膜印刷のような手段で一方向に延在しこの一方向に交差する他方向に並設されている。   15 to 17, the cathode wiring 16 extends in one direction on the back substrate 13 by means of, for example, thick film printing, and is arranged in parallel in the other direction crossing this one direction.

この陰極配線16は、グルーピングされており、R(赤)、G(緑)、B(青)で1つの画素とした場合、この陰極配線16上を含む基板表面に配置される第2の絶縁層24及び固着材25は画素間にも配置されている。すなわち、この実施例では第2の絶縁層24及びこの絶縁層24上に配置された固着材25は、前記陰極配線16と直交する方向に延在し、この延在方向に交差する他方向に並設されると共に、陰極配線16の延在方向と同方向にも延在(24a、25a)している。又、前記陰極配線16上の第2の絶縁層24及びこの絶縁層24上に配置された固着材25で区分けされた位置に電子源26が配置されている。   The cathode wirings 16 are grouped. When one pixel is formed of R (red), G (green), and B (blue), the second insulation is arranged on the substrate surface including the cathode wirings 16. The layer 24 and the fixing material 25 are also disposed between the pixels. That is, in this embodiment, the second insulating layer 24 and the fixing material 25 disposed on the insulating layer 24 extend in a direction perpendicular to the cathode wiring 16 and in the other direction intersecting the extending direction. They are arranged side by side and extend in the same direction as the extending direction of the cathode wiring 16 (24a, 25a). An electron source 26 is disposed at a position separated by the second insulating layer 24 on the cathode wiring 16 and the fixing material 25 disposed on the insulating layer 24.

この構成であれば、中間に配置した絶縁層24及び固着材25でグリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。   With this configuration, the grit electrode assembly can be prevented from being bent or warped by the insulating layer 24 and the fixing material 25 disposed in the middle, and the inter-electrode spacing can be maintained with high accuracy.

又、画素間に絶縁層24a及び固着材25aを配置したことにより、電極間間隔を一層高精度に制御出来、スペーサ保持孔をグリット電極構体の強度低下を招く事無く所望の寸法に設定出来る。   Further, since the insulating layer 24a and the fixing material 25a are arranged between the pixels, the inter-electrode spacing can be controlled with higher accuracy, and the spacer holding hole can be set to a desired size without causing a decrease in strength of the grit electrode assembly.

次に、図18は本発明の画像表示装置の他の実施例の一部切欠平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。   Next, FIG. 18 is a partially cutaway plan view of another embodiment of the image display apparatus of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts or parts having the same functions as those in the above-mentioned figures.

図18は、前面基板の内面側から背面基板13側を見た図で、背面基板13上に所定のピッチで陰極配線16が配置され、その上に陰極配線16と平行及び横断するパターンからなる第2の絶縁層24(図示せず)と固着材25が配置されている。   FIG. 18 is a view of the rear substrate 13 side as seen from the inner surface side of the front substrate. The cathode wiring 16 is arranged on the rear substrate 13 at a predetermined pitch, and has a pattern parallel and transverse to the cathode wiring 16 thereon. A second insulating layer 24 (not shown) and a fixing material 25 are disposed.

又、陰極配線16上の固着材25に囲まれた領域に電子源26が配置され、更にこれらの上方で前述した表示領域の略全面を覆うようにグリット電極構体64が載置されており、このグリット電極構体64は前記固着材25と固着されている。   In addition, an electron source 26 is disposed in a region surrounded by the fixing material 25 on the cathode wiring 16, and a grid electrode assembly 64 is placed thereon so as to cover substantially the entire display region described above. The grit electrode assembly 64 is fixed to the fixing material 25.

一方、スペーサ15は前記グリット電極構体64を貫通して背面基板13と前記第2の絶縁層24上の固着材25を介して固着されている。   On the other hand, the spacer 15 passes through the grit electrode assembly 64 and is fixed to the back substrate 13 via the fixing material 25 on the second insulating layer 24.

前記グリット電極構体64は、加速電極65と、その下側に順次積層配置された絶縁層及び制御電極を備えている。   The grid electrode assembly 64 includes an acceleration electrode 65, and an insulating layer and a control electrode that are sequentially stacked on the lower side.

前記加速電極65は、メッシュ状基材651に複数の長円形の貫通孔からなる電子通過孔652と、この電子通過孔652が配置された帯状部653と、帯状部653相互を繋ぐ連結部654、帯状部653相互間に配置されたスペーサ15を貫通保持するスペーサ保持孔655及び空隙となる角孔656とを備えた構成となっており、前記電子通過孔652が前記電子源26と対向配置されている。   The acceleration electrode 65 includes an electron passage hole 652 composed of a plurality of oval through holes in the mesh substrate 651, a band portion 653 in which the electron passage holes 652 are arranged, and a connecting portion 654 that connects the band portions 653 to each other. In addition, a spacer holding hole 655 for penetrating and holding the spacer 15 disposed between the belt-shaped portions 653 and a square hole 656 serving as a gap are provided, and the electron passage hole 652 is disposed to face the electron source 26. Has been.

この図18の構成であれば、グリット電極構体の構造、絶縁層24及び固着材25の配置パターン構成、更には貫通配置されたスペーサとの係合構造等の相乗効果により、グリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。   With the configuration of FIG. 18, the grit electrode assembly is bent due to a synergistic effect such as the structure of the grit electrode assembly, the arrangement pattern configuration of the insulating layer 24 and the fixing member 25, and the engagement structure with the spacers arranged through. And warpage can be prevented, and the distance between the electrodes can be maintained with high accuracy.

又、画素間に絶縁層24a及び固着材25aを配置したことにより、電極間間隔を一層高精度に制御出来、スペーサ保持孔をグリット電極構体の強度低下を招く事無く所望の寸法に設定出来る。更に、グリット電極構体64と背面基板間の排気が容易となって真空度を向上出来、駆動容量を少なくすることが出来る。   Further, since the insulating layer 24a and the fixing material 25a are arranged between the pixels, the inter-electrode spacing can be controlled with higher accuracy, and the spacer holding hole can be set to a desired size without causing a decrease in strength of the grit electrode assembly. Further, the exhaust between the grid electrode assembly 64 and the back substrate can be facilitated, the degree of vacuum can be improved, and the drive capacity can be reduced.

次に、本発明の画像表示装置の製造方法を説明する
図19は本発明の画像表示装置の製造方法を説明する工程図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
Next, a method for manufacturing an image display device according to the present invention will be described. FIG. 19 is a process diagram for describing a method for manufacturing an image display device according to the present invention. Is attached.

この図19に示す工程図は、図1乃至図4に示す本発明の画像表示装置の実施例を参照して説明する。   The process diagram shown in FIG. 19 will be described with reference to the embodiment of the image display apparatus of the present invention shown in FIGS.

図19において、前面基板用ガラスの一面に、BM膜、蛍光体膜29及びメタルバック膜28からなる蛍光面27を形成して前面基板12とする。   In FIG. 19, the front substrate 12 is formed by forming a phosphor screen 27 including a BM film, a phosphor film 29 and a metal back film 28 on one surface of the front substrate glass.

一方、背面基板用ガラスには陰極配線16を例えば圧膜印刷の手段で形成した後、例えばフリットガラスを用いて所定のパターンに印刷、焼成して第2の絶縁層24を形成する
この第2の絶縁層24の厚さは電子源26と制御電極17間間隙を確保できる寸法であればよい。
On the other hand, after the cathode wiring 16 is formed on the glass for the back substrate by means of pressure film printing, for example, the second insulating layer 24 is formed by printing and baking in a predetermined pattern using, for example, frit glass. The thickness of the insulating layer 24 may be a dimension that can secure a gap between the electron source 26 and the control electrode 17.

次に、第2の絶縁層24上に、例えばフリットガラスを用いて所定のパターンに印刷、焼成して固着材25を形成する。   Next, the fixing material 25 is formed on the second insulating layer 24 by printing and baking in a predetermined pattern using, for example, frit glass.

次に、前記陰極配線16上に前述した様に例えばCNTを銀又はニッケル等の導電性フィラーと共に混練した電極ペーストを塗布、形成して電子源26を形成して背面基板13とする。   Next, as described above, an electrode paste prepared by kneading CNT together with a conductive filler such as silver or nickel is applied and formed on the cathode wiring 16 to form the electron source 26 to form the back substrate 13.

又、グリット電極構体23は、図4に示すような多数の円形状の貫通孔182を有する導電性のメッシュ状基材181を基材とし、その片面に図3に示す様に絶縁層19を形成する。   The grit electrode assembly 23 includes a conductive mesh substrate 181 having a large number of circular through holes 182 as shown in FIG. 4, and an insulating layer 19 as shown in FIG. 3 on one side thereof. Form.

この絶縁層19は、前記導電性のメッシュ状基材181の凹凸形状、すなわち凹部(貫通孔部)と、凸部(貫通孔部を除く残部)の形状差を利用し、貫通孔182に対応した開口19aを備えた形状としたもので、その製造方法は前記導電性のメッシュ状基材181の片面に、厚膜印刷又はドライフイルムとエッチングとの組み合わせで形成する。   The insulating layer 19 corresponds to the through hole 182 by utilizing the uneven shape of the conductive mesh-shaped substrate 181, that is, the shape difference between the concave portion (through hole portion) and the convex portion (the remaining portion excluding the through hole portion). The manufacturing method is formed on one surface of the conductive mesh substrate 181 by thick film printing or a combination of dry film and etching.

一方、絶縁層19上に印刷又は蒸着で制御電極17を形成してグリット電極構体23としている。この制御電極17は銀ペーストで直接印刷するか或は金属蒸着、メッキ等の方法で形成する。   On the other hand, the control electrode 17 is formed on the insulating layer 19 by printing or vapor deposition to form a grit electrode assembly 23. The control electrode 17 is directly printed with a silver paste or formed by a method such as metal vapor deposition or plating.

このグリット電極構体23を、前記背面基板13上の固着材25に固着して背面基板組立体BPAとする。   The grid electrode assembly 23 is fixed to the fixing material 25 on the back substrate 13 to form a back substrate assembly BPA.

一方、支持体141の両端面に封着部材142を塗布し、仮焼成する。この仮焼成時の温度はフリットガラスを用いた際は組成にもよるが例えば350℃乃至450℃程度で行う。   On the other hand, the sealing member 142 is apply | coated to the both end surfaces of the support body 141, and it pre-bakes. The temperature during this preliminary firing is, for example, about 350 ° C. to 450 ° C., depending on the composition when frit glass is used.

又、スペーサ15の両端面に固定材151を塗布し、仮焼成する。この仮焼成時の温度はフリットガラスを用いた際は組成にもよるが例えば350℃乃至450℃程度で行う。   Further, the fixing material 151 is applied to both end faces of the spacer 15 and pre-baked. The temperature during this preliminary firing is, for example, about 350 ° C. to 450 ° C., depending on the composition when frit glass is used.

次に、前面基板12にスペーサ15を固定材151により固定し前面基板組立体FPAとする。   Next, the spacer 15 is fixed to the front substrate 12 with a fixing material 151 to obtain a front substrate assembly FPA.

次に、この前面基板組立体FPAと、電子源26等を備えた背面基板組み立て体13と、封着部材142を持つ支持体141を所定の位置関係、例えば図1、図2に示す様な位置関係で組み合わせて仮パネルTPAを形成する。   Next, the front substrate assembly FPA, the rear substrate assembly 13 having the electron source 26 and the like, and the support 141 having the sealing member 142 are arranged in a predetermined positional relationship, for example, as shown in FIGS. The temporary panel TPA is formed by combining the positional relationships.

次に、この仮パネルTPAの両基板12,13をZ方向に加圧しながら例えば窒素雰囲気中450℃まで加熱して封着部材142、固定材151を溶融し、その後加熱温度を例えば350℃に下げ封着部材142、固定材151を硬化させて両基板12,13と支持体141相互間を気密封着すると共に、前面基板12に固定されているスペーサ15をグリット電極構体23と固着する。   Next, while pressing both substrates 12 and 13 of the temporary panel TPA in the Z direction, the sealing member 142 and the fixing material 151 are melted by heating to, for example, 450 ° C. in a nitrogen atmosphere, and then the heating temperature is set to 350 ° C., for example. The lower sealing member 142 and the fixing member 151 are cured to hermetically seal between the substrates 12 and 13 and the support 141, and the spacer 15 fixed to the front substrate 12 is fixed to the grit electrode assembly 23.

次に、図示しない排気管を介して両基板12,13と支持体141で囲まれた表示領域143となる空間を排気する。   Next, a space serving as a display region 143 surrounded by the substrates 12 and 13 and the support 141 is exhausted through an exhaust pipe (not shown).

この排気は、仮パネルTPAを真空炉内に配置し前記封着部材142の溶融工程の加熱と同時に行うことも可能である。   This evacuation can be performed simultaneously with heating in the melting step of the sealing member 142 with the temporary panel TPA placed in a vacuum furnace.

その後排気管を備えた構成では排気完了後排気管をチップオフして表示装置を製造する。   After that, in the configuration including the exhaust pipe, after the exhaust is completed, the exhaust pipe is chipped off to manufacture the display device.

この実施例の方法では、メッシュ状基材を用い、このメッシュ状基材の開口を電子通過孔とし、このメッシュ状基材に絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いることにより、このグリット電極構体をメッシュ状基板の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、加速電極と制御電極との電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、又第2の絶縁層24及び固着材25を形成した後に電子源26を形成することから、電子源26の汚染の恐れが無く、高効率の電子放出を可能にし高輝度で、高品位表示が可能な画像表示装置を提供できる。
更に、スペーサの固定もグリット電極構体と前面基板間としたことでスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れる。又、グリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
In the method of this embodiment, a grit electrode assembly is used in which a mesh substrate is used, the openings of the mesh substrate are used as electron passage holes, and a control electrode is integrally formed on the mesh substrate via an insulating layer. Thus, the grit electrode assembly can be formed very easily by utilizing the characteristics of the configuration of the mesh substrate, and the self-alignment of the electron passage hole between the acceleration electrode and the control electrode can be performed. Since the electron source 26 is formed after the insulating layer 24 and the fixing material 25 are formed, there is no fear of the electron source 26 being contaminated, and an image display capable of high-efficiency electron emission, high brightness, and high-quality display. Equipment can be provided.
Furthermore, since the spacer is fixed between the grit electrode assembly and the front substrate, the height of the spacer itself can be lowered and the mechanical strength can be improved. Further, it is possible to prevent warping and bending of the grit electrode structure, and to maintain the distance between the electrodes and the distance between the substrates in the display area with high accuracy.
Further, the grit electrode assembly can be handled as a single product, and the workability and dimensional accuracy can be improved including the assembly process of the image display device.

次に、図20は本発明の画像表示装置の製造方法を説明する他の例の工程図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。   Next, FIG. 20 is a process diagram of another example for explaining the manufacturing method of the image display device of the present invention. The same reference numerals are given to the same parts or parts having the same functions as those in the above-mentioned figures.

この図20に示す製造方法では、図19に示す製造方法と比べ、グリット電極構体23側に第2の絶縁層24及び固着材25を配置したものである。   In the manufacturing method shown in FIG. 20, as compared with the manufacturing method shown in FIG. 19, the second insulating layer 24 and the fixing material 25 are disposed on the grit electrode assembly 23 side.

この実施例の方法では、前述した図19の方法と同様な特徴の他に電子源26の表面処理が容易となる等の別の特徴を備えている。   In the method of this embodiment, in addition to the same features as the method of FIG. 19, the surface treatment of the electron source 26 is facilitated.

次に、図5に示す様なスペーサ15がグリット電極構体33を貫通する構成のものでは、前述の図19、図20で説明した方法の他に、予めスペーサ15をグリット電極構体33を貫通して背面基板13上の第2の絶縁層24、固着材25に固着した後、前面基板12と固着する方法でも良い。
このスペーサがグリット電極構体を貫通するものでは、メッシュ状基材を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
更に、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
Next, in the structure in which the spacer 15 as shown in FIG. 5 penetrates the grit electrode assembly 33, the spacer 15 penetrates the grit electrode assembly 33 in advance in addition to the method described in FIGS. 19 and 20 described above. Alternatively, after fixing to the second insulating layer 24 and the fixing material 25 on the back substrate 13, it may be fixed to the front substrate 12.
When this spacer penetrates the grid electrode assembly, a mesh substrate is used, and a grid electrode assembly in which a control electrode is formed integrally with an insulating layer is used. It can be formed very easily by utilizing the feature of the configuration of the substrate, and the self-alignment of the electron passage holes of the acceleration electrode and the control electrode becomes possible.
Furthermore, the spacer also has a three-point fixing structure in which the spacer holding hole provided in the grit electrode assembly is penetrated and held at the portion, and is fixed to both substrates, thereby preventing the inclination and breakage of the spacer itself. The mechanical strength can be improved by fixing at three points. Further, it has a feature that the distance between the electrodes and the distance between both substrates can be maintained with high accuracy.
Furthermore, the grid electrode assembly can be handled as a single product, and the workability and dimensional accuracy can be improved including the assembly process of the image display device.

ここで、前述の実施例ではメッシュ状基材を加速電極として説明したが、制御電極にメッシュ状基材を用い絶縁層を介して加速電極を例えば銀ペースト印刷或は金属蒸着等の方法で形成しても良いことは勿論である。   Here, in the above-described embodiments, the mesh-like base material has been described as an acceleration electrode. However, the acceleration electrode is formed by a method such as silver paste printing or metal vapor deposition through an insulating layer using the mesh-like base material as a control electrode. Of course, you may do.

本発明の画像表示装置の一実施例の概略構成の平面図である。It is a top view of schematic structure of one Example of the image display apparatus of this invention. 図1のB−B線の断面図である。It is sectional drawing of the BB line of FIG. 本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体の一例の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of an example of the grit electrode structure used for the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体を構成するメッシュ状基材の一例の平面図である。It is a top view of an example of the mesh-shaped base material which comprises the grit electrode structure used for the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の他の実施例の概略構成の断面図である。It is sectional drawing of schematic structure of the other Example of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の他の実施例のグリット電極構体に用いられるメッシュ状基材の一例の平面図である。It is a top view of an example of the mesh-shaped base material used for the grit electrode structure of the other Example of the image display apparatus of this invention. 図6のスペーサ保持孔の拡大平面図である。FIG. 7 is an enlarged plan view of the spacer holding hole of FIG. 6. 図7のC−C線の断面図である。It is sectional drawing of CC line of FIG. 本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の他の例を示す平面図である。It is a top view which shows the other example of the mesh-shaped base material used for the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の更に他の例を示す平面図である。It is a top view which shows the further another example of the mesh-shaped base material used for the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の更に他の実施例のスペーサ配列パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the spacer arrangement | sequence pattern of other Example of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の他の実施例における背面基板側の平面図である。It is a top view by the side of the back substrate in other examples of an image display device of the present invention. 図12のD−D線の断面図である。It is sectional drawing of the DD line | wire of FIG. 図12のE−E線の断面図である。It is sectional drawing of the EE line | wire of FIG. 本発明の画像表示装置の更に他の実施例における背面基板側の平面図である。It is a top view by the side of the back substrate in the further another Example of the image display apparatus of this invention. 図15のF−F線の断面図である。It is sectional drawing of the FF line of FIG. 図15のG−G線の断面図である。It is sectional drawing of the GG line of FIG. 本発明の画像表示装置の他の実施例の一部切欠平面図である。It is a partially notched top view of the other Example of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of the image display apparatus of this invention. 本発明の画像表示装置の製造方法を説明する他の例の工程図である。It is process drawing of the other example explaining the manufacturing method of the image display apparatus of this invention. 従来の画像表示装置の構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the structure of the conventional image display apparatus. 図21に示す画像表示装置の制御電極の開孔と陰極配線上の電子源との位置関係を示す拡大図で、図22(a)は断面図、図22(b)は平面図である。FIG. 22A is an enlarged view showing the positional relationship between the opening of the control electrode of the image display device shown in FIG. 21 and the electron source on the cathode wiring, FIG. 22A is a cross-sectional view, and FIG. 22B is a plan view. 従来の画像表示装置の他の構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the other structure of the conventional image display apparatus. 図23のA部の構成を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the structure of the A section of FIG. 従来の電界放出型画像表示装置の概略構成を示す背面パネルの平面図である。It is a top view of the back panel which shows schematic structure of the conventional field emission type image display apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

12 前面基板
13 背面基板
14 気密封着部
141 支持体
142 封着部材
15 間隔保持部材(スペーサ)
151 固定材
16 陰極配線
17、36 制御電極
17a 制御電極の電子通過孔
18、34 加速電極
18a 加速電極の電子通過孔
181 メッシュ状基材
182 貫通孔
19、35 絶縁層
19a 絶縁層の開口
23、33 グリット電極構体
24 第2の絶縁層
25 固着材
26 電子源
27 蛍光面
28 メタルバック膜(陽極)
29 蛍光体膜
345 スペーサ保持孔
345a スペーサ保持孔突起
12 Front substrate 13 Back substrate 14 Hermetic seal 141 Support 142 Seal member 15 Spacing member (spacer)
151 Fixing material 16 Cathode wiring 17, 36 Control electrode 17a Electron passage hole 18, 34 of control electrode Acceleration electrode 18a Electron passage hole 181 of acceleration electrode Mesh substrate 182 Through hole 19, 35 Insulating layer 19a Opening 23 of insulating layer, 33 Grit electrode assembly 24 Second insulating layer 25 Fixing material 26 Electron source 27 Phosphor screen 28 Metal back film (anode)
29 Phosphor film 345 Spacer holding hole 345a Spacer holding hole protrusion

Claims (7)

陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置であって、
前記制御電極及び加速電極の何れか一方を導電性のメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする画像表示装置。
A front substrate having an anode and a phosphor on its inner surface;
A plurality of cathode wirings extending in one direction and juxtaposed in the other direction intersecting the one direction, and a plurality of electron sources arranged in electrical conduction on the cathode wiring are provided on the inner surface. A back substrate facing the front substrate with a predetermined interval;
A control electrode having an electron passage hole interposed between the back substrate and the front substrate and passing electrons from the electron source to the front substrate side in a display area;
An accelerating electrode that is interposed between the control electrode and the front substrate and has an electron passage hole that passes electrons that have passed through the electron passage holes of the control electrode, and that accelerates electrons that pass through the electron passage hole;
A plurality of spacing members disposed in the display area between the front substrate and the back substrate, for holding the predetermined spacing;
A support body that is inserted around the display area between the front substrate and the rear substrate, and holds the predetermined distance;
An image display device formed by hermetically sealing the end surface of the support and the front substrate and the rear substrate via sealing members,
One of the control electrode and the acceleration electrode has an electrode configuration including a conductive mesh substrate.
前記メッシュ状基材は、メッシュ板からなることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。   The image display apparatus according to claim 1, wherein the mesh-shaped substrate is made of a mesh plate. 前記メッシュ状基材は、前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。   3. The image display device according to claim 1, wherein the mesh-like base material has a through hole through which the spacing member is passed. 前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔は、前記間隔保持部材と強制嵌合する狭小部を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の画像表示装置。   4. The through hole that penetrates the gap holding member of the mesh-like base material includes a narrow portion that is forcibly fitted to the gap holding member. Image display device. 前記間隔保持部材は、前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材が配置される部位の薄肉部を貫通して配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の画像表示装置。   5. The spacing member according to claim 1, wherein the spacing member is disposed through a thin portion of a portion of the mesh substrate where the spacing member is disposed. Image display device. 陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置の製造であって、
導電性のメッシュ状基材の片面に前記電子通過孔を除いて絶縁層で被覆して前記加速電極を形成する工程と、この加速電極の前記絶縁層側を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
A front substrate having an anode and a phosphor on its inner surface;
A plurality of cathode wirings extending in one direction and juxtaposed in the other direction intersecting the one direction, and a plurality of electron sources arranged in electrical conduction on the cathode wiring are provided on the inner surface. A back substrate facing the front substrate with a predetermined interval;
A control electrode having an electron passage hole interposed between the back substrate and the front substrate and passing electrons from the electron source to the front substrate side in a display area;
An accelerating electrode that is interposed between the control electrode and the front substrate and has an electron passage hole that passes electrons that have passed through the electron passage holes of the control electrode, and that accelerates electrons that pass through the electron passage hole;
A plurality of spacing members disposed in the display area between the front substrate and the back substrate, for holding the predetermined spacing;
A support body that is inserted around the display area between the front substrate and the rear substrate, and holds the predetermined distance;
Manufacturing an image display device in which the end face of the support and the front substrate and the rear substrate are hermetically sealed via sealing members, respectively.
A step of forming the accelerating electrode by covering the one surface of a conductive mesh-like substrate with an insulating layer except for the electron passage holes, and disposing the insulating layer side of the accelerating electrode facing the cathode wiring side. A method for manufacturing an image display device, comprising: a step of incorporating into a predetermined portion between the front substrate and the rear substrate.
前記加速電極と反対側の前記絶縁層上に前記電子通過孔と同軸の電子通過孔を有する制御電極を形成し、この制御電極を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする請求項6に記載の画像表示装置の製造方法。   A control electrode having an electron passage hole coaxial with the electron passage hole is formed on the insulating layer opposite to the acceleration electrode, and the front electrode and the rear substrate are arranged so as to face the cathode wiring side. The method for manufacturing an image display device according to claim 6, further comprising a step of incorporating the image display device into a predetermined portion between the two.
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