JP2004356370A

JP2004356370A - Magnetic random access memory (mram) and method of manufacturing the same

Info

Publication number: JP2004356370A
Application number: JP2003152121A
Authority: JP
Inventors: Kuniko Kikuta; 邦子菊田; Kenichi Shimura; 健一志村
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 2003-05-29
Filing date: 2003-05-29
Publication date: 2004-12-16
Anticipated expiration: 2023-05-29
Also published as: JP4775616B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MRAM which is formed in the shape in which the magnetic field is concentrated on a free ferro-magnetic layer and ensures easier formation wih less fluctuation in shape. <P>SOLUTION: The MRAM is provided with a substrate 1, a free ferro-magnetic layer 9 having magnetization in the direction in accordance with the storage data, a wiring 12 to which the current is applied to generate the magnetic field to turn the magnetization, a side surface yoke layer 14 joined with the side surface of the wiring 12, and an interlayer insulating layer 15 for isolating the side surface yoke layer 14 from the free ferromagnetic layer 9. The side surface yoke layer 14 includes an angled portion 14a projected on the lower side from an edge of the wiring 12. The interlayer insulating layer 15 includes a first part 15b joined to the lower end of the angled portion 14a at the upper surface, and a second part 15a provided between the side surface yoke layer 14 and the side surface of the free ferromagnetic layer 9. The first part 15b and the second part 15a of the interlayer insulating layer 15 are integrated. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ランダムアクセスメモリ（ｍａｇｎｅｔｉｃｒａｎｄｏｍａｃｃｅｓｓｍｅｍｏｒｙ：ＭＲＡＭ）に関する。本発明は、特に、磁気抵抗素子に磁界を印加する配線の周囲に、該磁気抵抗素子に磁界を集中させるためのヨークを備えたＭＲＡＭに関する。
【０００２】
【従来の技術】
高速書き込みが可能であり、且つ、大きな書き換え回数を有するＭＲＡＭは、有力な不揮発性メモリの一つである。典型的なＭＲＡＭは、メモリセルとして機能する複数の磁気トンネル接合（ｍａｇｎｅｔｉｃｔｕｎｎｅｌｊｕｎｃｔｉｏｎ）が行列に配列されたメモリセルアレイを含む。ＭＴＪは、固定された磁化を有する固定強磁性層と、反転可能な磁化を有する自由強磁性層と、固定強磁性層と自由強磁性層との間に介設されたトンネルバリア層とを含む。自由強磁性層は、その磁化の向きが、固定強磁性層の磁化の向きと平行、又は反平行に向くことが許されるように、反転可能に形成される。
【０００３】
ＭＴＪは、１ビットのデータを、固定強磁性層と自由強磁性層との磁化の相対方向として記憶する。ＭＴＪは、固定強磁性層の磁化と自由強磁性層の磁化とが平行である”平行”状態と、それらの自発磁化が反平行である”反平行”状態の２つの状態を取り得る。”平行”状態と、”反平行”状態とのうちの一方は”０”に、他方は”１”に対応付けられ、ＭＴＪは、１ビットのデータを記憶することができる。
【０００４】
ＭＴＪへのデータの書き込みは、ＭＴＪの近傍に設けられた配線に電流を流して磁界を発生し、該磁界によって自由強磁性層の磁化を所望の方向に向けることによって行われる。電流の方向は、向けられるべき自由強磁性層の磁化の方向に応じて選択される。
【０００５】
ＭＲＡＭの消費電流を抑制するために、自由強磁性層の磁化を反転させる電流（書き込み電流）の低減が求められている。特許文献１乃至特許文献３は、書き込み電流が流される配線の周囲に、透磁率が高い磁性材料で形成されたヨークが設けられているＭＲＡＭを開示している。ヨークは、ＭＲＡＭのメモリセルに磁界を集中させ、書き込み電流を有効に低減する。
【０００６】
書き込み電流を低減するためには、ヨークは、磁界を自由強磁性層に一層に集中させるような形状に形成されることが望まれる。
【０００７】
その一方で、ヨークは、その形状のばらつきが少ないように形成可能であることが望まれる。ヨークの形状のばらつきは、ＭＴＪの特性のばらつきの原因となり、好ましくない。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１１０９３８号公報
【特許文献２】
米国特許公報第６，２１１，０９０号
【特許文献３】
特表２００２−５２２９１５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、磁界を自由強磁性層に一層に集中させるような形状を有し、且つ、その形状のばらつきが少ないように形成することが容易であるヨークを備えたＭＲＡＭを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための手段が以下に記述される。その手段に含まれる技術的事項には、［発明の実施の形態］の記載で使用される番号・符号が付記され、これにより、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］の記載との対応関係が明確にされている。ただし、付記された番号・符号は、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１１】
本発明によるＭＲＡＭは、基板（１）と、記憶データに応じた方向に向けられる磁化を有し、且つ、基板（１）の上方に形成された自由強磁性層（９）と、自由強磁性層（９）の上方に設けられ、磁化を反転させる磁界を発生する電流が流される配線（１２）と、配線（１２）の配線側面に接合された側面ヨーク層（１４）と、側面ヨーク層（１４）を、自由強磁性層（９）から分離する層間絶縁層（１５）とを備えている。側面ヨーク層（１４）は、配線（１２）のエッジから下方に突出する角部（１４ａ）を含む。層間絶縁層（１５）は、基板（１）と概ね平行な上面を有し、且つ、上面において角部（１４ａ）の下端に接合する第１部分（１５ｂ）と、側面ヨーク層（１４）と自由強磁性層（９）の側面との間に介設された第２部分（１５ａ）とを含む。層間絶縁層（１５）の第１部分（１５ｂ）と第２部分（１５ａ）とは、一体に形成されている。即ち、層間絶縁層（１５）の第１部分（１５ｂ）と第２部分（１５ａ）とは、絶縁膜（２６）を形成する一の成膜工程と、その絶縁膜（２６）を加工する加工工程とによって形成される。このような構造は、側面ヨーク層（１４）を自己整合的に形成することを可能にし、側面ヨーク層（１４）の形状のばらつきを有効に抑制する。
【００１２】
当該ＭＲＡＭは、更に、第２部分（１５ａ）と自由強磁性層（９）との間に介設されたサイドウオール（１６）を備えていることが好適である。サイドウオール（１６）は、側面ヨーク層（１４）の角部（１４ａ）の突出長さと、側面ヨーク層（１４）の角部（１４ａ）と自由強磁性層（９）との距離の自由度を高める。
【００１３】
サイドウオール（１６）は、比透磁率が１０よりも大きい磁性体で形成されることが好適である。磁性体で形成されたサイドウオール（１６）は、自由強磁性層（９）に磁界を集中させ、書き込み電流を有効に低減する。
【００１４】
層間絶縁層（１５）とサイドウオール（１６）とは、層間絶縁層（１５）がサイドウオール（１６）に対して選択的にエッチング可能であるような材料で形成されていることが好適である。
【００１５】
本発明によるＭＲＡＭ製造方法は、
基板（１）の上方に、自由強磁性層（９）を形成する工程と、
基板（１）と概ね平行な上面を有する第１部分（１５ｂ）と、自由強磁性層（９）の側面に対向する第２部分（１５ａ）とを含む層間絶縁層（１５）を形成する工程と、
自由強磁性層（９）の上方に配線（１２）を形成する工程と、
配線（１２）の配線側面に接合する側面ヨーク層（１４）を形成する工程
とを備えている。側面ヨーク層（１４）は、配線（１２）のエッジから下方に突出する角部（１４ａ）を含む。角部（１４ａ）の下端は、第１部分（１５ｂ）に接合する。上述の構造を有する層間絶縁層（１５）は、側面ヨーク層（１４）を自己整合的に形成することを可能にする。
【００１６】
側面ヨーク層（１４）を自己整合的にを形成するためには、側面ヨーク層（１４）を形成する工程は、
層間絶縁層（１５）と配線（１２）とを被覆する磁性体膜（図示されない）を形成する工程と、
該磁性体膜を上方からエッチバックして側面ヨーク層（１４）を形成する工程とを含むことが好適である。
【００１７】
当該ＭＲＡＭ製造方法が、更に、自由強磁性層（９）の上にメタルキャップ層（１１）を形成する工程を備えている場合には、層間絶縁層（１５）を形成する工程は、
基板（１）とメタルキャップ層（１１）とを被覆する第１絶縁膜（２６）を形成する工程と、
第１絶縁膜（２６）を被覆する第２絶縁膜（２７）を形成する工程と、
第１絶縁膜（２６）と第２絶縁膜（２７）との一部を、メタルキャップ層（１１）の上面が露出するように除去する工程
とを含むことが好適である。この場合、第１絶縁膜（２６）の残存部が、層間絶縁層（１５）になる。
【００１８】
この場合、配線（１２）を形成する工程は、
メタルキャップ層（１１）の上面が露出された後、メタルキャップ層（１１）の上面と第２絶縁膜（２７）の上面との上に導電膜（図示されない）を形成する工程と、
該導電膜をエッチングして配線（１２）を形成する工程
とを含み、
当該ＭＲＡＭ製造方法は、更に、配線（１２）の形成の後、第２絶縁膜（２７）のうち配線（２７）に被覆されていない部分を除去して、層間絶縁膜（１５）の第１部分（１５ｂ）を露出する工程を備え、
側面ヨーク層（１４）を形成する工程は、
層間絶縁層（１５）と配線（１２）とを被覆する磁性体膜（図示されない）を形成する工程と、
該磁性体膜を上方からエッチバックして側面ヨーク層（１４）を形成する工程とを含むことが好ましい。
【００１９】
当該ＭＲＡＭ製造方法は、更に、
自由強磁性層（９）の側面と、層間絶縁層（１５）の第２部分（１５ａ）との間に、サイドウオール（１６）を形成する工程
を備えていることが好ましい。サイドウオール（１６）の形成は、側面ヨーク層（１４）の角部（１４ａ）の突出長さと、側面ヨーク層（１４）の角部（１４ａ）と自由強磁性層（９）との距離の自由度を高める。
【００２０】
サイドウオール（１６）を形成する工程は、
基板（１）と自由強磁性層（９）とを被覆する第３絶縁膜（図示されない）を形成する工程と、
該第３絶縁膜を上方からエッチバックしてサイドウオール（１６）を形成する工程
とを含むことが好適である。
【００２１】
当該ＭＲＡＭ製造方法が、更に、自由強磁性層（９）の上にメタルキャップ層（１１）を形成する工程を備えている場合、サイドウオール（１６）を形成する工程は、
基板（１）とメタルキャップ層（１１）とを被覆する第３絶縁膜を形成する工程と、
該第３絶縁膜をメタルキャップ層（１１）が露出されるように上方からエッチバックしてサイドウオール（１６）を形成する工程
とを含み、
層間絶縁層（１５）を形成する工程は、
基板（１）とサイドウオール（１６）とメタルキャップ層（１１）とを被覆する第１絶縁膜（２６）を形成する工程と、
第１絶縁膜（２６）を被覆する第２絶縁膜（２７）を形成する工程と、
第１絶縁膜（２６）と第２絶縁膜（２７）との一部をエッチングして、サイドウオール（１６）の上端とメタルキャップ層（１１）の上面とが露出されるように除去する工程
とを含むことが好適である。この場合、第１絶縁膜（２６）の残存部が、層間絶縁層（１５）になる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明によるＭＲＡＭの実施の形態を説明する。
【００２３】
本発明によるＭＲＡＭの実施の第１形態では、図１に示されているように、その表面部にトランジスタ（図示されない）が形成された基板１が、層間絶縁層２で被覆されている。層間絶縁層２には溝が設けられ、その溝には、ワード線３が埋め込まれている。図２に示されているように、ワード線３は、基板１の表面に平行なｘ軸方向に延伸するように設けられている。
【００２４】
図１に示されているように、ワード線３の底面及び側面は、ヨーク層４で被覆されている。ヨーク層４は、高い透磁率を有する磁気的にソフトな磁性材料、例えば、ＦｅＮｉで形成されている。ヨーク層４は、ワード線３の底面又は側面の一方のみを被覆するように形成されることも可能である。
【００２５】
層間絶縁層２及びワード線３は、層間絶縁層５で被覆され、その層間絶縁層５の上には、ＭＴＪ６が形成されている。層間絶縁層５には、層間絶縁層５を貫通する導電性のビア１０が設けられている。
【００２６】
ＭＴＪ６は、固定された磁化を有する固定強磁性層７と、絶縁体で形成されたトンネルバリア層８と、及び反転可能な磁化を有する自由強磁性層９とを含む。固定強磁性層７は、層間絶縁層５の上に形成されている。固定強磁性層７は、ビア１０を介して、ワード線３に電気的に接続されている。トンネルバリア層８は、固定強磁性層７の上に形成さている。トンネルバリア層８の厚さは、トンネル電流を流し得る程度に薄い。自由強磁性層９は、トンネルバリア層８の上に、固定強磁性層７の一部のみを被覆するように形成されている。自由強磁性層９は、ＭＴＪ６を保護するためのメタルキャップ層１１によって被覆されている。
【００２７】
自由強磁性層９の上方には、ビット線１２が設けられている。ビット線１２は、メタルキャップ層１１によって自由強磁性層９に電気的に接続されている。図２に示されているように、ビット線１２は、図２に示されているように、ワード線３は、基板１の表面に平行、且つ、ｘ軸方向に垂直なｙ軸方向に延伸するように設けられている。
【００２８】
ビット線１２の上面と側面とは、それぞれ、上面ヨーク層１３と側面ヨーク層１４とによって被覆されている。上面ヨーク層１３と側面ヨーク層１４とは、いずれも、導電体で、高い透磁率を有し、且つ、磁気的にソフトな磁性材料、例えば、ＦｅＮｉで形成されている。
【００２９】
側面ヨーク層１４は、その一部分がビット線１２の基板１の側のエッジから下方に突出し、自由強磁性層９の側面に対向するように設けられている。側面ヨーク層１４のエッジから突出する部分は、以下において、角部１４ａと呼ばれる。角部１４ａの存在は、ビット線１２が発生する磁界を、自由強磁性層９に効果的に集中させる。
【００３０】
側面ヨーク層１４は、層間絶縁層１５及びサイドウオール１６によって、固定強磁性層７及び自由強磁性層９から分離されている。層間絶縁層１５は、角部１４ａの側面に接合し、且つ、自由強磁性層９の側面に対向するように形成された垂直部分１５ａと、垂直部分１５ａの下端に接続し、且つ、固定強磁性層７を被覆する水平部分１５ｂとを含む。水平部分１５ｂの上面は、基板１に概ね平行である。側面ヨーク層１４は、角部１４ａの側面が垂直部分１５ａの側面に接触し、且つ、角部１４ａの下端が、水平部分１５ｂに接合するように形成されている。サイドウオール１６は、層間絶縁層１５の垂直部分１５ａと自由強磁性層９の側面との間に介設されている。サイドウオール１６は、典型的には、シリコン酸化膜、及びシリコン窒化膜で形成される。
【００３１】
ビット線１２が発生する磁界を、自由強磁性層９に効果的に集中させるためには、サイドウオール１６は、高い透磁率（具体的には、１０よりも大きい非透磁率）を有し、且つ、磁気的にソフトな磁性材料で形成されることが好適である。サイドウオール１６は、典型的には、Ｆｅ_２Ｏ_３を主成分とするフェリ磁性酸化物（ソフトフェライト）で形成される。フェリ磁性酸化物としては、１０００よりも大きい比透磁率μｓを有するＭｎＺｎフェライト、１００よりも大きい比透磁率を有するＣｕＺｎフェライト、及び１０よりも大きい比透磁率を有するＮｉＺｎフェライトが例示される。
【００３２】
サイドウオール１６は、絶縁体に、強磁性材料の超微粒子が分散された複合材料で形成され得る。典型的には、サイドウオール１６は、ＢａＳｒフェライトの超微粒子が、酸化シリコンに分散された複合材料で形成される。強磁性材料は、径が極めて小さい超微粒子に形成されると強磁性的な振る舞いを示さなくなり、透磁率が大きい常磁性体として振舞う。従って、このような複合材料は、透磁率が高く、且つ、強磁性を示さない。かかる複合材料によってサイドウオール１６が形成されることは、ビット線１２が発生する磁界を、自由強磁性層９に一層に効果的に集中させる点で好ましい。強磁性材料が、かかる振る舞いを示すようにするためには、超微粒子の径は、１〜５００ｎｍであることが好ましい。超微粒子の形状を制御し、さらに、配向を制御することにより、サイドウオール１６の透磁率を増加することが可能である。
【００３３】
図３は、角部１４ａを有する側面ヨーク層１４、及びサイドウオール１６が、磁場を自由強磁性層９に集中させる効果を示すために行われたシミュレーションの結果を示すグラフである。該シミュレーションでは、図４（ａ）〜（ｄ）にそれぞれ示されている構造Ａ乃至構造Ｄが採用されたときに自由強磁性層９に印加される磁界の強さが計算されている。図４（ａ）の構造は、本実施の形態のＭＲＡＭの構造に対応している。図４（ｂ）の構造は、サイドウオール１６がシリコン酸化膜、シリコン窒化膜のような非磁性材料で形成される場合に対応している。図４（ｃ）の構造では、側面ヨーク層１４から角部１４ａが除かれている。図４（ｄ）の構造では、上面ヨーク層１３、及び側面ヨーク層１４が除かれている。図３の線５１、５２は、いずれも、図４（ａ）の構造についてのシミュレーションの結果を示している。線５１は、サイドウオール１６の比透磁率が２．５であり、線５２は、サイドウオール１６の比透磁率が２５００であるときのシミュレーションの結果を示している。図３の線５３、５４、５５は、それぞれ、図４（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の構造についてのシミュレーションの結果を示している。
【００３４】
シミュレーションは、下記の条件で行われている。ビット線１２のｚ軸方向の厚さ及びｘ軸方向の幅は、それぞれ０．４（μｍ）である。側面ヨーク層１４及びサイドウオール１６の厚さは、それぞれ、０．０５（μｍ）である。角部１４ａの突出長さｚ_０は、０．１μｍである。ビット線１２の底面は、ｘｙ平面上にあり、且つ、原点Ｏは、ｘ軸方向においてビット線１２の中心である点に取られている。自由強磁性層９の上面は、ｚ＝０．１（μｍ）で規定される平面の上にある、即ち、ビット線１２と自由強磁性層９との距離は０．１（μｍ）である。０≦ｘ≦０．１４、ｚ＝０．１を満足する位置、即ち、自由強磁性層９の上面にあり、自由強磁性層９の中心からの距離が０以上０．１４（μｍ）以下である複数の位置における磁界の強さが算出されている。
【００３５】
図３の線５３と線５４とから理解されるように、側面ヨーク層１４に角部１４ａを設けることは、ビット線１２が発生する磁界を自由強磁性層９に有効に集中させる。更に、線５２から理解されるように、高い透磁率を有するサイドウオール１６の使用は、磁界を自由強磁性層９に一層に有効に集中させる。サイドウオール１６の透磁率が高いことは、自由強磁性層９への磁界の集中に有効である。サイドウオール１６の透磁率が２５００である場合には、図４（ａ）の構造は、図４（ｄ）の構造の８倍の磁界を自由強磁性層９に印加することを可能にする。
【００３６】
自由強磁性層９に磁界を効果的に集中する角部１４ａは、その形状のバラツキが小さいように形成されることが重要である。角部１４ａの形状のバラツキは、自由強磁性層９に印加される磁界のバラツキの原因となる。自由強磁性層９に印加される磁界のバラツキは、ＭＪＴ６の特性のバラツキの原因となる。ＭＪＴ６の特性のバラツキは、ＭＲＡＭの動作に好ましくない。
【００３７】
しかし、図１の構造の採用は、側面ヨーク層１４の角部１４ａの形状のバラツキが少なくなるように、側面ヨーク層１４を自己整合的に形成することを可能にする。角部１４ａがビット線１２のエッジから下方に突出する突出長さｘは、層間絶縁層１５の水平部分１５ｂの厚さによって自己整合的に決定され、従って、突出長さｘは、そのバラツキを容易に小さくすることできる。更に、側面ヨーク層１４の角部１４ａと自由強磁性層９の側面との距離は、層間絶縁層１５の垂直部分１５ａとサイドウオール１６との厚さによって自己整合的に決定され、従って、該距離は、そのバラツキを容易に小さくすることできる。図１の構造は、側面ヨーク層１４の角部１４ａの形状のバラツキを抑制するために効果的である。
【００３８】
図５から図９は、図１のＭＲＡＭの製造工程を示している。図５（ａ）に示されているように、基板１の上に層間絶縁層２が形成された後、層間絶縁層２に溝が設けられる。ＦｅＮｉのような磁性材料膜と、Ｃｕのような導電膜とが順次に全面に形成された後、それらの膜のうち溝の外部にある部分が除去される。この工程により、層間絶縁層２に設けられた溝の内部にワード線３及びヨーク層４が形成される。更に、層間絶縁層２及びワード線３が層間絶縁層５によって被覆される。
【００３９】
図５（ｂ）に示されているように、層間絶縁層５を貫通するビア１０が形成された後、固定強磁性層７になる磁性体積層膜２１、トンネルバリア層８になる絶縁膜２２、自由強磁性層９となる磁性体積層膜２３、及びメタルキャップ層１１となる金属膜２４が順次に形成される。
【００４０】
続いて、図６（ａ）に示されているように、金属膜２４の上にハードマスク２５が形成される。
【００４１】
続いて、絶縁膜２２、強磁性体積層膜２３、及び金属膜２４のうちハードマスク２５に被覆されていない部分がエッチングされて、図６（ｂ）に示されているように、トンネルバリア層８、自由強磁性層９、及びメタルキャップ層１１が形成される。更に、磁性体積層膜２１がパターニングされて固定強磁性層７が形成された後、ハードマスク２５が除去される。以上の工程により、ＭＴＪ６の形成が完了する。
【００４２】
続いて、図７（ａ）に示されているように、サイドウオール１６が、自由強磁性層９及びメタルキャップ層１１の側面に形成される。サイドウオール１６の形成は、ＭＯＳトランジスタのサイドウオールの形成と同様の構成で行われる。絶縁膜が全面に形成された後、自由強磁性層９及びメタルキャップ層１１の側面のみに該絶縁膜が残るように、該絶縁膜がエッチバックされる。該絶縁膜の残存した部分が、サイドウオール１６となる。
【００４３】
続いて、図７（ｂ）に示されているように、絶縁膜２６と絶縁膜２７とが全面に形成される。絶縁膜２６は、後述の工程によって層間絶縁層１５に加工される。絶縁膜２７は、自由強磁性層９及びメタルキャップ層１１よりも充分に厚く形成される。絶縁膜２７は、絶縁膜２６に対して選択的にエッチング可能な材料で形成される。絶縁膜２６がシリコン酸化膜で形成される場合、絶縁膜２７は、例えば、シリコン窒化膜又はアルミナで形成される。
【００４４】
上述のサイドウオール１６及び絶縁膜２６の厚さは、側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０及び角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離が所望値になるように選ばれる。側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０は、自由強磁性層９、メタルキャップ層１１及び絶縁膜２６の厚さで決定され、角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離は、サイドウオール１６の厚さと絶縁膜２６の厚さとで決定される。従って、サイドウオール１６及び絶縁膜２６の厚さを適切に選択することにより、側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０及び角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離を所望値にすることができる。
【００４５】
更に、図８（ａ）に示されているように、ＣＭＰ（ＣｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｌｉｓｈｉｎｇ）によって絶縁膜２６及び絶縁膜２７の一部が除去され、メタルキャップ層１１の上面が露出される。このＣＭＰにより、絶縁膜２６のうちのメタルキャップ層１１の上面を被覆する部分が除去され、層間絶縁層１５が形成される。
【００４６】
絶縁膜２６及び絶縁膜２７の除去は、ＣＭＰの代わりにエッチバックによって行われ得る。この場合、絶縁膜２６及び絶縁膜２７は、サイドウオール１６に対して選択的にエッチング可能な材料で形成されることが好適である。サイドウオール１６がエッチングされないように絶縁膜２６及び絶縁膜２７をエッチングすることは、自由強磁性層９を保護する点で重要である。
【００４７】
続いて、図８（ｂ）に示されているように、ビット線１２となる金属膜と、上面ヨーク層１３となる磁性膜とが全面に順次に形成された後、該金属膜と該磁性体膜とがパターニングされ、ビット線１２と上面ヨーク層１３とが形成される。
【００４８】
この金属膜と磁性体膜とのエッチングに引き続いて絶縁膜２７がエッチングされ、絶縁膜２７のうちビット線１２に被覆されていない部分が除去される。絶縁膜２７は、層間絶縁層１５がエッチングされないように、選択的にエッチングされる。即ち、絶縁膜２７のエッチングは、層間絶縁層１５に対する選択比が高い条件で行われる。絶縁膜２７の残存部（図示されない）は、ビット線１２をワード線７から絶縁する層間絶縁膜になる。
【００４９】
続いて、図９に示されているように、磁性体膜が全面に形成された後、該磁性体膜が異方性エッチングによってエッチバックされ、側面ヨーク層１４が形成される。以上の工程により、図１のＭＲＡＭの製造が完了する。
【００５０】
上述の製造方法は、側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と、角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離とのばらつきを抑制する上で有利である。側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０は、自由強磁性層９、メタルキャップ層１１及び層間絶縁層１５の厚さで決定され、角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離は、層間絶縁層１５の厚さとサイドウオール１６の厚さとで決定される。従って、上述の製造方法では、側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と、角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離との安定性は、自由強磁性層９、メタルキャップ層１１、層間絶縁層１５、及びサイドウオール１６の厚さの安定性に依存することになる。一般に、薄膜を、その厚みが所望値になるように安定的に形成することは、比較的に容易である。従って、上述の製造方法は、側面ヨーク１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と、角部１４ａから自由強磁性層９の側面までの距離とを、より容易に安定化することができる。
【００５１】
本実施の形態において、図１０に示されているように、サイドウオール１６が形成されないことが可能である。この場合でも、側面ヨーク層１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と、側面ヨーク層１４の角部１４ａと自由強磁性層９との距離とは、層間絶縁層１５、自由強磁性層９、及びメタルキャップ層１１の膜厚で決定される。従って、層間絶縁層１５、自由強磁性層９、及びメタルキャップ層１１の膜厚を安定化することにより、側面ヨーク層１４の角部１４ａの突出長さｚ_０のばらつきと、側面ヨーク層１４の角部１４ａから自由強磁性層９への距離のばらつきとを少なくすることができる。ただし、側面ヨーク層１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と、側面ヨーク層１４の角部１４ａと自由強磁性層９との距離の自由度を高めるためには、サイドウオール１６が形成されることが有効である。サイドウオール１６の挿入は、側面ヨーク層１４の角部１４ａの突出長さｚ_０と独立に、側面ヨーク層１４の角部１４ａと自由強磁性層９との距離を定めることを可能にする。
【００５２】
【発明の効果】
本発明により、磁界を自由強磁性層に一層に集中させるような形状を有し、且つ、その形状のばらつきが少ないように形成可能であるヨークを備えたＭＲＡＭが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態を示す平面図である。
【図３】図３は、側面ヨーク部１４ａに設けられた角部１４ａと、高い透磁率を有するサイドウオール１６とが自由強磁性層９に磁界を集中させる効果を示すグラフである。
【図４】図４は、図３のグラフを作成するために行われたシミュレーションの対象の構造を示している。
【図５】図５は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態の製造方法を示す断面図である。
【図６】図６は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態の製造方法を示す断面図である。
【図７】図７は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態の製造方法を示す断面図である。
【図８】図８は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態の製造方法を示す断面図である。
【図９】図９は、本発明によるＭＲＡＭの実施の一形態の製造方法を示す断面図である。
【図１０】図１０は、本発明によるＭＲＡＭの実施の他の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１：基板
２：層間絶縁層
３：ワード線
４：ヨーク層
５：層間絶縁層
６：ＭＴＪ
７：固定強磁性層
８：トンネルバリア層
９：自由強磁性層
１０：ビア
１１：メタルキャップ層
１２：ビット線
１３：上面ヨーク層
１４：側面ヨーク層
１５：層間絶縁層
１６：サイドウオール
２１：磁性体積層膜
２２：絶縁膜
２３：磁性体積層膜
２４：金属膜
２５：ハードマスク
２６：絶縁膜
２７：絶縁膜[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic random access memory (MRAM). The present invention particularly relates to an MRAM having a yoke around a wiring for applying a magnetic field to a magnetoresistive element for concentrating the magnetic field on the magnetoresistive element.
[0002]
[Prior art]
An MRAM capable of high-speed writing and having a large number of rewrites is one of the leading nonvolatile memories. A typical MRAM includes a memory cell array in which a plurality of magnetic tunnel junctions functioning as memory cells are arranged in a matrix. The MTJ includes a fixed ferromagnetic layer having a fixed magnetization, a free ferromagnetic layer having a reversible magnetization, and a tunnel barrier layer interposed between the fixed ferromagnetic layer and the free ferromagnetic layer. . The free ferromagnetic layer is formed to be reversible so that its magnetization direction is allowed to be parallel or antiparallel to the magnetization direction of the fixed ferromagnetic layer.
[0003]
The MTJ stores 1-bit data as a relative direction of magnetization between the fixed ferromagnetic layer and the free ferromagnetic layer. The MTJ can take two states, a "parallel" state in which the magnetization of the fixed ferromagnetic layer and the magnetization of the free ferromagnetic layer are parallel, and a "anti-parallel" state in which the spontaneous magnetization is antiparallel. One of the “parallel” state and the “anti-parallel” state is associated with “0”, and the other is associated with “1”, and the MTJ can store 1-bit data.
[0004]
Writing of data to the MTJ is performed by causing a current to flow through a wiring provided in the vicinity of the MTJ to generate a magnetic field, and using the magnetic field to direct the magnetization of the free ferromagnetic layer in a desired direction. The direction of the current is selected according to the direction of magnetization of the free ferromagnetic layer to be directed.
[0005]
In order to suppress the current consumption of the MRAM, it is required to reduce a current (write current) for inverting the magnetization of the free ferromagnetic layer. Patent Documents 1 to 3 disclose an MRAM in which a yoke formed of a magnetic material having high magnetic permeability is provided around a wiring through which a write current flows. The yoke concentrates a magnetic field on the memory cells of the MRAM and effectively reduces the write current.
[0006]
In order to reduce the write current, it is desired that the yoke be formed in such a shape that the magnetic field is concentrated on the free ferromagnetic layer.
[0007]
On the other hand, it is desired that the yoke can be formed so as to have less variation in its shape. Variations in the shape of the yoke are undesirable because they cause variations in the MTJ characteristics.
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-110938
[Patent Document 2]
U.S. Pat. No. 6,211,090
[Patent Document 3]
JP 2002-522915 A
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an MRAM having a shape that concentrates a magnetic field on a free ferromagnetic layer more easily and having a yoke that can be easily formed so as to have less variation in the shape. It is in.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
Means for achieving the above object are described below. The technical matters included in the means are appended with the numbers and reference numerals used in the description of [Embodiment of the invention], whereby the description of [Claims] and the [Embodiment of the invention] are given. The correspondence with the description is clarified. However, the appended numbers and symbols must not be used for interpreting the technical scope of the invention described in [Claims].
[0011]
An MRAM according to the present invention includes a substrate (1), a free ferromagnetic layer (9) having a magnetization oriented in a direction corresponding to stored data, and formed above the substrate (1); A wiring (12) provided above the layer (9) and through which a current for generating a magnetic field for reversing the magnetization flows, a side yoke layer (14) joined to the wiring side surface of the wiring (12), and a side yoke layer (14) and an interlayer insulating layer (15) separating the free ferromagnetic layer (9). The side yoke layer (14) includes a corner (14a) projecting downward from the edge of the wiring (12). The interlayer insulating layer (15) has an upper surface substantially parallel to the substrate (1), and has a first portion (15b) joined to a lower end of the corner (14a) on the upper surface, and a side yoke layer (14). And a second portion (15a) interposed between the side surface of the free ferromagnetic layer (9). The first portion (15b) and the second portion (15a) of the interlayer insulating layer (15) are formed integrally. That is, the first portion (15b) and the second portion (15a) of the interlayer insulating layer (15) are formed by one film forming step of forming the insulating film (26) and processing of processing the insulating film (26). Formed by the steps. Such a structure enables the side yoke layer (14) to be formed in a self-aligning manner, and effectively suppresses the variation in the shape of the side yoke layer (14).
[0012]
The MRAM preferably further includes a sidewall (16) interposed between the second portion (15a) and the free ferromagnetic layer (9). The side wall (16) has a protrusion length of a corner (14a) of the side yoke layer (14) and a degree of freedom of a distance between the corner (14a) of the side yoke layer (14) and the free ferromagnetic layer (9). Enhance.
[0013]
The sidewall (16) is preferably formed of a magnetic material having a relative magnetic permeability greater than 10. The sidewall (16) made of a magnetic material concentrates a magnetic field on the free ferromagnetic layer (9) and effectively reduces a write current.
[0014]
The interlayer insulating layer (15) and the sidewall (16) are preferably formed of a material that allows the interlayer insulating layer (15) to be selectively etched with respect to the sidewall (16). .
[0015]
An MRAM manufacturing method according to the present invention includes:
Forming a free ferromagnetic layer (9) above the substrate (1);
Forming an interlayer insulating layer (15) including a first portion (15b) having an upper surface substantially parallel to the substrate (1) and a second portion (15a) facing a side surface of the free ferromagnetic layer (9); When,
Forming a wiring (12) above the free ferromagnetic layer (9);
Forming a side yoke layer (14) to be bonded to the wiring side surface of the wiring (12)
And The side yoke layer (14) includes a corner (14a) projecting downward from the edge of the wiring (12). The lower end of the corner (14a) is joined to the first part (15b). The interlayer insulating layer (15) having the above structure enables the side yoke layer (14) to be formed in a self-aligned manner.
[0016]
In order to form the side yoke layer (14) in a self-aligning manner, the step of forming the side yoke layer (14) includes:
Forming a magnetic film (not shown) covering the interlayer insulating layer (15) and the wiring (12);
Forming a side yoke layer (14) by etching back the magnetic film from above.
[0017]
When the MRAM manufacturing method further includes a step of forming a metal cap layer (11) on the free ferromagnetic layer (9), the step of forming the interlayer insulating layer (15) includes:
Forming a first insulating film (26) covering the substrate (1) and the metal cap layer (11);
Forming a second insulating film (27) covering the first insulating film (26);
Removing a part of the first insulating film (26) and the second insulating film (27) so that the upper surface of the metal cap layer (11) is exposed;
It is preferable to include In this case, the remaining portion of the first insulating film (26) becomes the interlayer insulating layer (15).
[0018]
In this case, the step of forming the wiring (12) includes:
Forming a conductive film (not shown) on the upper surface of the metal cap layer (11) and the upper surface of the second insulating film (27) after the upper surface of the metal cap layer (11) is exposed;
Forming a wiring (12) by etching the conductive film;
And
The MRAM manufacturing method further comprises removing the portion of the second insulating film (27) that is not covered by the wiring (27) after forming the wiring (12), and removing the first insulating film (15). Exposing a portion (15b),
The step of forming the side yoke layer (14) includes:
Forming a magnetic film (not shown) covering the interlayer insulating layer (15) and the wiring (12);
Forming a side yoke layer (14) by etching back the magnetic film from above.
[0019]
The MRAM manufacturing method further includes:
Forming a sidewall (16) between the side surface of the free ferromagnetic layer (9) and the second portion (15a) of the interlayer insulating layer (15)
It is preferable to have The formation of the sidewall (16) depends on the length of the protrusion of the corner (14a) of the side yoke layer (14) and the distance between the corner (14a) of the side yoke layer (14) and the free ferromagnetic layer (9). Increase freedom.
[0020]
The step of forming the sidewall (16) includes:
Forming a third insulating film (not shown) covering the substrate (1) and the free ferromagnetic layer (9);
Forming a sidewall (16) by etching back the third insulating film from above.
It is preferable to include
[0021]
When the MRAM manufacturing method further includes a step of forming a metal cap layer (11) on the free ferromagnetic layer (9), the step of forming the sidewall (16) includes:
Forming a third insulating film covering the substrate (1) and the metal cap layer (11);
Forming a sidewall (16) by etching back the third insulating film from above so that the metal cap layer (11) is exposed;
And
The step of forming the interlayer insulating layer (15) includes:
Forming a first insulating film (26) covering the substrate (1), the sidewall (16) and the metal cap layer (11);
Forming a second insulating film (27) covering the first insulating film (26);
A step of etching a part of the first insulating film (26) and the second insulating film (27) so as to expose the upper end of the sidewall (16) and the upper surface of the metal cap layer (11);
It is preferable to include In this case, the remaining portion of the first insulating film (26) becomes the interlayer insulating layer (15).
[0022]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of an MRAM according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0023]
In the first embodiment of the MRAM according to the present invention, as shown in FIG. 1, a substrate 1 having a transistor (not shown) formed on the surface thereof is covered with an interlayer insulating layer 2. A groove is provided in the interlayer insulating layer 2, and the word line 3 is buried in the groove. As shown in FIG. 2, the word lines 3 are provided so as to extend in the x-axis direction parallel to the surface of the substrate 1.
[0024]
As shown in FIG. 1, the bottom and side surfaces of the word line 3 are covered with a yoke layer 4. The yoke layer 4 is formed of a magnetically soft magnetic material having high magnetic permeability, for example, FeNi. The yoke layer 4 can be formed so as to cover only one of the bottom surface and the side surface of the word line 3.
[0025]
The interlayer insulating layer 2 and the word line 3 are covered with an interlayer insulating layer 5, and an MTJ 6 is formed on the interlayer insulating layer 5. A conductive via 10 penetrating through the interlayer insulating layer 5 is provided in the interlayer insulating layer 5.
[0026]
The MTJ 6 includes a fixed ferromagnetic layer 7 having a fixed magnetization, a tunnel barrier layer 8 formed of an insulator, and a free ferromagnetic layer 9 having a reversible magnetization. The fixed ferromagnetic layer 7 is formed on the interlayer insulating layer 5. The fixed ferromagnetic layer 7 is electrically connected to the word line 3 via a via 10. The tunnel barrier layer 8 is formed on the fixed ferromagnetic layer 7. The thickness of the tunnel barrier layer 8 is small enough to allow a tunnel current to flow. The free ferromagnetic layer 9 is formed on the tunnel barrier layer 8 so as to cover only a part of the fixed ferromagnetic layer 7. The free ferromagnetic layer 9 is covered with a metal cap layer 11 for protecting the MTJ 6.
[0027]
Above the free ferromagnetic layer 9, a bit line 12 is provided. The bit line 12 is electrically connected to the free ferromagnetic layer 9 by the metal cap layer 11. As shown in FIG. 2, the bit lines 12 extend in the y-axis direction parallel to the surface of the substrate 1 and perpendicular to the x-axis direction, as shown in FIG. It is provided to be.
[0028]
The upper surface and the side surface of the bit line 12 are covered with an upper surface yoke layer 13 and a side surface yoke layer 14, respectively. Each of the upper yoke layer 13 and the side yoke layer 14 is a conductor, has high magnetic permeability, and is formed of a magnetically soft magnetic material, for example, FeNi.
[0029]
The side yoke layer 14 is provided so that a part thereof protrudes downward from the edge of the bit line 12 on the substrate 1 side and faces the side surface of the free ferromagnetic layer 9. The portion projecting from the edge of the side yoke layer 14 is hereinafter referred to as a corner 14a. The presence of the corners 14 a effectively concentrates the magnetic field generated by the bit line 12 on the free ferromagnetic layer 9.
[0030]
The side yoke layer 14 is separated from the fixed ferromagnetic layer 7 and the free ferromagnetic layer 9 by an interlayer insulating layer 15 and a sidewall 16. The interlayer insulating layer 15 is joined to the side surface of the corner portion 14a and connected to the lower end of the vertical portion 15a formed to face the side surface of the free ferromagnetic layer 9 and has a fixed strength. And a horizontal portion 15b covering the magnetic layer 7. The upper surface of the horizontal portion 15b is substantially parallel to the substrate 1. The side surface yoke layer 14 is formed such that the side surface of the corner portion 14a contacts the side surface of the vertical portion 15a, and the lower end of the corner portion 14a is joined to the horizontal portion 15b. The sidewall 16 is provided between the vertical portion 15 a of the interlayer insulating layer 15 and the side surface of the free ferromagnetic layer 9. The sidewall 16 is typically formed of a silicon oxide film and a silicon nitride film.
[0031]
In order to effectively concentrate the magnetic field generated by the bit line 12 on the free ferromagnetic layer 9, the sidewall 16 has a high magnetic permeability (specifically, a non-magnetic permeability larger than 10), In addition, it is preferable to be formed of a magnetically soft magnetic material. The sidewall 16 is typically made of Fe ₂ O ₃ It is formed of a ferrimagnetic oxide (soft ferrite) whose main component is. Examples of the ferrimagnetic oxide include MnZn ferrite having a relative magnetic permeability μs greater than 1000, CuZn ferrite having a relative magnetic permeability greater than 100, and NiZn ferrite having a relative magnetic permeability greater than 10.
[0032]
The sidewall 16 can be formed of a composite material in which ultrafine particles of a ferromagnetic material are dispersed in an insulator. Typically, the sidewall 16 is formed of a composite material in which ultrafine particles of BaSr ferrite are dispersed in silicon oxide. When formed into ultrafine particles having a very small diameter, the ferromagnetic material does not exhibit ferromagnetic behavior and behaves as a paramagnetic substance having a high magnetic permeability. Therefore, such a composite material has a high magnetic permeability and does not show ferromagnetism. The formation of the sidewall 16 by such a composite material is preferable in that the magnetic field generated by the bit line 12 is more effectively concentrated on the free ferromagnetic layer 9. In order for the ferromagnetic material to exhibit such behavior, the diameter of the ultrafine particles is preferably 1 to 500 nm. By controlling the shape of the ultrafine particles and further controlling the orientation, the magnetic permeability of the sidewall 16 can be increased.
[0033]
FIG. 3 is a graph showing the results of a simulation performed to show the effect of concentrating the magnetic field on the free ferromagnetic layer 9 by the side yoke layer 14 having the corners 14 a and the sidewall 16. In the simulation, the strength of the magnetic field applied to the free ferromagnetic layer 9 when the structures A to D shown in FIGS. 4A to 4D are adopted is calculated. The structure in FIG. 4A corresponds to the structure of the MRAM according to the present embodiment. The structure in FIG. 4B corresponds to the case where the sidewall 16 is formed of a non-magnetic material such as a silicon oxide film and a silicon nitride film. In the structure of FIG. 4C, the corners 14a are removed from the side yoke layer 14. In the structure of FIG. 4D, the upper yoke layer 13 and the side yoke layer 14 are omitted. Each of the lines 51 and 52 in FIG. 3 shows the result of the simulation for the structure of FIG. A line 51 indicates the result of the simulation when the relative permeability of the sidewall 16 is 2.5, and a line 52 indicates the result of the simulation when the relative permeability of the sidewall 16 is 2500. Lines 53, 54, and 55 in FIG. 3 indicate the results of the simulation for the structures in FIGS. 4B, 4C, and 4D, respectively.
[0034]
The simulation is performed under the following conditions. The thickness of the bit line 12 in the z-axis direction and the width in the x-axis direction are each 0.4 (μm). The thickness of each of the side yoke layer 14 and the sidewall 16 is 0.05 (μm). Projection length z of corner 14a ₀ Is 0.1 μm. The bottom surface of the bit line 12 is on the xy plane, and the origin O is taken at a point that is the center of the bit line 12 in the x-axis direction. The upper surface of free ferromagnetic layer 9 is on a plane defined by z = 0.1 (μm), that is, the distance between bit line 12 and free ferromagnetic layer 9 is 0.1 (μm). . A position satisfying 0 ≦ x ≦ 0.14 and z = 0.1, that is, located on the upper surface of the free ferromagnetic layer 9 and a distance from the center of the free ferromagnetic layer 9 is 0 or more and 0.14 (μm) or less Are calculated at a plurality of positions.
[0035]
As can be understood from the lines 53 and 54 in FIG. 3, providing the corners 14 a in the side yoke layer 14 effectively concentrates the magnetic field generated by the bit line 12 on the free ferromagnetic layer 9. Further, as can be seen from line 52, the use of sidewalls 16 having high magnetic permeability more effectively concentrates the magnetic field on free ferromagnetic layer 9. The high magnetic permeability of the sidewall 16 is effective in concentrating the magnetic field on the free ferromagnetic layer 9. When the magnetic permeability of the sidewall 16 is 2500, the structure of FIG. 4A enables the application of a magnetic field eight times larger than the structure of FIG. 4D to the free ferromagnetic layer 9.
[0036]
It is important that the corners 14a for effectively concentrating the magnetic field on the free ferromagnetic layer 9 are formed so that the variation in the shape is small. The variation in the shape of the corner 14a causes variation in the magnetic field applied to the free ferromagnetic layer 9. The variation in the magnetic field applied to the free ferromagnetic layer 9 causes a variation in the characteristics of the MJT 6. The variation in the characteristics of the MJT 6 is not preferable for the operation of the MRAM.
[0037]
However, the adoption of the structure of FIG. 1 enables the side yoke layer 14 to be formed in a self-aligning manner so that the variation in the shape of the corner 14a of the side yoke layer 14 is reduced. The protruding length x at which the corners 14a protrude downward from the edge of the bit line 12 is determined in a self-aligned manner by the thickness of the horizontal portion 15b of the interlayer insulating layer 15, and therefore, the protruding length x reduces its variation. It can be easily reduced. Further, the distance between the corner portion 14a of the side yoke layer 14 and the side surface of the free ferromagnetic layer 9 is determined in a self-aligned manner by the thickness of the vertical portion 15a of the interlayer insulating layer 15 and the sidewall 16. The distance can easily reduce the variation. The structure shown in FIG. 1 is effective for suppressing the variation in the shape of the corner 14a of the side yoke layer 14.
[0038]
5 to 9 show the manufacturing process of the MRAM in FIG. As shown in FIG. 5A, after the interlayer insulating layer 2 is formed on the substrate 1, a groove is provided in the interlayer insulating layer 2. After a magnetic material film such as FeNi and a conductive film such as Cu are sequentially formed on the entire surface, a portion of the films outside the groove is removed. By this step, the word line 3 and the yoke layer 4 are formed inside the groove provided in the interlayer insulating layer 2. Further, the interlayer insulating layer 2 and the word lines 3 are covered with the interlayer insulating layer 5.
[0039]
As shown in FIG. 5B, after a via 10 penetrating through the interlayer insulating layer 5 is formed, a magnetic laminated film 21 that becomes the fixed ferromagnetic layer 7 and an insulating film 22 that becomes the tunnel barrier layer 8 A magnetic layered film 23 serving as the free ferromagnetic layer 9 and a metal film 24 serving as the metal cap layer 11 are sequentially formed.
[0040]
Subsequently, a hard mask 25 is formed on the metal film 24 as shown in FIG.
[0041]
Subsequently, portions of the insulating film 22, the ferromagnetic laminated film 23, and the metal film 24 that are not covered with the hard mask 25 are etched, and as shown in FIG. 8, a free ferromagnetic layer 9 and a metal cap layer 11 are formed. Furthermore, after the magnetic layered film 21 is patterned to form the fixed ferromagnetic layer 7, the hard mask 25 is removed. Through the above steps, the formation of the MTJ 6 is completed.
[0042]
Subsequently, as shown in FIG. 7A, sidewalls 16 are formed on the side surfaces of the free ferromagnetic layer 9 and the metal cap layer 11. The formation of the sidewall 16 is performed in the same configuration as the formation of the sidewall of the MOS transistor. After the insulating film is formed on the entire surface, the insulating film is etched back so that the insulating film remains only on the side surfaces of the free ferromagnetic layer 9 and the metal cap layer 11. The remaining portion of the insulating film becomes the sidewall 16.
[0043]
Subsequently, as shown in FIG. 7B, an insulating film 26 and an insulating film 27 are formed on the entire surface. The insulating film 26 is processed into the interlayer insulating layer 15 by a process described later. The insulating film 27 is formed sufficiently thicker than the free ferromagnetic layer 9 and the metal cap layer 11. The insulating film 27 is formed of a material that can be selectively etched with respect to the insulating film 26. When the insulating film 26 is formed of a silicon oxide film, the insulating film 27 is formed of, for example, a silicon nitride film or alumina.
[0044]
The thickness of the side wall 16 and the insulating film 26 is determined by the protruding length z of the corner 14 a of the side yoke 14. ₀ And the distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 is selected to be a desired value. Projection length z of corner 14a of side yoke 14 ₀ Is determined by the thicknesses of the free ferromagnetic layer 9, the metal cap layer 11, and the insulating film 26. The distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 is determined by the thickness of the sidewall 16 and the thickness of the insulating film 26. Is determined by Therefore, by appropriately selecting the thickness of the sidewall 16 and the insulating film 26, the projecting length z of the corner 14a of the side yoke 14 can be obtained. ₀ The distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 can be set to a desired value.
[0045]
Further, as shown in FIG. 8A, a part of the insulating film 26 and the insulating film 27 is removed by CMP (Chemical Mechanical Polishing), and the upper surface of the metal cap layer 11 is exposed. By this CMP, a portion of the insulating film 26 covering the upper surface of the metal cap layer 11 is removed, and the interlayer insulating layer 15 is formed.
[0046]
The removal of the insulating films 26 and 27 can be performed by etch back instead of CMP. In this case, the insulating film 26 and the insulating film 27 are preferably formed of a material that can be selectively etched with respect to the sidewall 16. Etching the insulating films 26 and 27 so that the sidewalls 16 are not etched is important in protecting the free ferromagnetic layer 9.
[0047]
Subsequently, as shown in FIG. 8B, after a metal film serving as the bit line 12 and a magnetic film serving as the upper yoke layer 13 are sequentially formed on the entire surface, the metal film and the magnetic film are formed. The body film is patterned to form the bit line 12 and the upper yoke layer 13.
[0048]
Subsequent to the etching of the metal film and the magnetic film, the insulating film 27 is etched, and a portion of the insulating film 27 that is not covered with the bit line 12 is removed. The insulating film 27 is selectively etched so that the interlayer insulating layer 15 is not etched. That is, the etching of the insulating film 27 is performed under the condition that the selectivity to the interlayer insulating layer 15 is high. The remaining portion (not shown) of the insulating film 27 becomes an interlayer insulating film for insulating the bit line 12 from the word line 7.
[0049]
Subsequently, as shown in FIG. 9, after a magnetic film is formed on the entire surface, the magnetic film is etched back by anisotropic etching to form the side yoke layer 14. Through the above steps, the manufacture of the MRAM in FIG. 1 is completed.
[0050]
According to the above-described manufacturing method, the projecting length z of the corner portion 14a of the side yoke 14 ₀ And the distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 is advantageous. Projection length z of corner 14a of side yoke 14 ₀ Is determined by the thicknesses of the free ferromagnetic layer 9, the metal cap layer 11, and the interlayer insulating layer 15, and the distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 is determined by the thickness of the interlayer insulating layer 15 and the sidewall 16 Is determined by the thickness. Therefore, in the above-described manufacturing method, the protrusion length z of the corner portion 14a of the side yoke 14 ₀ And the distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 depends on the stability of the thickness of the free ferromagnetic layer 9, metal cap layer 11, interlayer insulating layer 15, and sidewall 16. Will do. Generally, it is relatively easy to form a thin film stably so that its thickness becomes a desired value. Therefore, the above-described manufacturing method uses the protrusion length z of the corner portion 14a of the side yoke 14. ₀ And the distance from the corner 14a to the side surface of the free ferromagnetic layer 9 can be more easily stabilized.
[0051]
In the present embodiment, it is possible that the sidewall 16 is not formed as shown in FIG. Also in this case, the protruding length z of the corner portion 14a of the side yoke layer 14 ₀ The distance between the corner portion 14a of the side yoke layer 14 and the free ferromagnetic layer 9 is determined by the thicknesses of the interlayer insulating layer 15, the free ferromagnetic layer 9, and the metal cap layer 11. Therefore, by stabilizing the film thickness of the interlayer insulating layer 15, the free ferromagnetic layer 9, and the metal cap layer 11, the protrusion length z of the corner portion 14a of the side yoke layer 14 can be improved. ₀ And the variation in the distance from the corner 14a of the side yoke layer 14 to the free ferromagnetic layer 9 can be reduced. However, the protruding length z of the corner portion 14a of the side yoke layer 14 ₀ In order to increase the degree of freedom of the distance between the corner portion 14a of the side yoke layer 14 and the free ferromagnetic layer 9, it is effective to form the sidewalls 16. The side wall 16 is inserted by the protrusion length z of the corner 14a of the side yoke layer 14. ₀ Independently, the distance between the corner portion 14a of the side yoke layer 14 and the free ferromagnetic layer 9 can be determined.
[0052]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is provided an MRAM provided with a yoke which has a shape such that a magnetic field is concentrated on the free ferromagnetic layer, and which can be formed so as to have a small variation in the shape.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an MRAM according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of an MRAM according to the present invention.
FIG. 3 is a graph showing an effect of a corner portion 14a provided on a side yoke portion 14a and a sidewall 16 having a high magnetic permeability to concentrate a magnetic field on a free ferromagnetic layer 9;
FIG. 4 shows a structure to be simulated for creating the graph of FIG. 3;
FIG. 5 is a sectional view showing a method of manufacturing an MRAM according to an embodiment of the present invention;
FIG. 6 is a sectional view showing a method of manufacturing an MRAM according to an embodiment of the present invention;
FIG. 7 is a sectional view showing a method of manufacturing an MRAM according to an embodiment of the present invention;
FIG. 8 is a sectional view showing a method of manufacturing an MRAM according to an embodiment of the present invention;
FIG. 9 is a sectional view showing the method of manufacturing the MRAM according to the embodiment of the present invention;
FIG. 10 is a cross-sectional view showing another embodiment of the MRAM according to the present invention.
[Explanation of symbols]
1: substrate
2: interlayer insulation layer
3: Word line
4: Yoke layer
5: interlayer insulating layer
6: MTJ
7: Fixed ferromagnetic layer
8: Tunnel barrier layer
9: Free ferromagnetic layer
10: Via
11: Metal cap layer
12: bit line
13: Top yoke layer
14: Side yoke layer
15: interlayer insulating layer
16: Sidewall
21: Magnetic laminate film
22: insulating film
23: Magnetic laminate film
24: metal film
25: Hard mask
26: Insulating film
27: Insulating film

Claims

Board and
A free ferromagnetic layer having a magnetization oriented in a direction corresponding to the stored data, and formed above the substrate;
A wiring provided above the free ferromagnetic layer and through which a current for generating a magnetic field for reversing the magnetization flows;
A side yoke layer joined to a wiring side surface of the wiring,
An interlayer insulating layer separating the side yoke layer from the free ferromagnetic layer,
The side surface yoke layer includes a corner projecting downward from an edge of the wiring,
The interlayer insulating layer,
A first portion having an upper surface substantially parallel to the substrate, and joining to a lower end of the corner at the upper surface;
A second portion interposed between the side surface yoke layer and the side surface of the free ferromagnetic layer,
An MRAM in which the first portion and the second portion are integrally formed.

2. The MRAM according to claim 1, wherein
Furthermore,
An MRAM including a sidewall interposed between the second portion and the free ferromagnetic layer.

3. The MRAM according to claim 2, wherein
An MRAM in which the sidewall is formed of a magnetic material having a relative magnetic permeability greater than 10.

3. The MRAM according to claim 2, wherein
The MRAM, wherein the interlayer insulating layer and the sidewall are formed of a material such that the interlayer insulating layer can be selectively etched with respect to the sidewall.

Forming a free ferromagnetic layer above the substrate;
Forming an interlayer insulating layer including a first portion having a top surface substantially parallel to the substrate, and a second portion facing a side surface of the free ferromagnetic layer;
Forming a wiring above the free ferromagnetic layer;
Forming a side yoke layer joined to the wiring side surface of the wiring,
The side surface yoke layer includes a corner projecting downward from an edge of the wiring,
An MRAM manufacturing method, wherein a lower end of the corner is joined to the first portion.

The MRAM manufacturing method according to claim 5,
The step of forming the side yoke layer includes:
Forming a magnetic film covering the interlayer insulating layer and the wiring;
Forming the side yoke by etching back the magnetic film from above.

The MRAM manufacturing method according to claim 5,
The method further includes a step of forming a metal cap layer on the free ferromagnetic layer,
The step of forming the interlayer insulating layer,
Forming a first insulating film covering the substrate and the metal cap layer;
Forming a second insulating film covering the first insulating film;
Removing a part of the first insulating film and the second insulating film so that an upper surface of the metal cap layer is exposed,
The MRAM manufacturing method, wherein the interlayer insulating layer is a remaining portion of the first insulating film.

The method of manufacturing an MRAM according to claim 7,
The step of forming the wiring,
Forming a conductive film on the upper surface of the metal cap layer and the upper surface of the second insulating film after the upper surface of the metal cap layer is exposed;
Forming the wiring by etching the conductive film,
The MRAM manufacturing method further includes a step of exposing the first portion of the interlayer insulating film by removing a portion of the second insulating film that is not covered with the wiring after forming the wiring. ,
The step of forming the side yoke layer includes:
Forming a magnetic film covering the interlayer insulating layer and the wiring;
Forming the side yoke by etching back the magnetic film from above.

The MRAM manufacturing method according to claim 5,
Furthermore,
An MRAM manufacturing method, comprising: forming a sidewall between the side surface of the free ferromagnetic layer and the second portion of the interlayer insulating layer.

The method of manufacturing an MRAM according to claim 9,
The method for manufacturing an MRAM, wherein the sidewall is formed of a magnetic material having a relative magnetic permeability greater than 10.

The method of manufacturing an MRAM according to claim 9,
The step of forming the sidewall,
Forming a third insulating film covering the substrate and the free ferromagnetic layer;
Forming the sidewalls by etching back the third insulating film from above.

The method of manufacturing an MRAM according to claim 9,
The method further includes a step of forming a metal cap layer on the free ferromagnetic layer,
The step of forming the sidewall,
Forming a third insulating film covering the substrate and the metal cap layer;
Forming the sidewalls by etching back the third insulating film from above so that the metal cap layer is exposed,
The step of forming the interlayer insulating layer,
Forming a first insulating film covering the substrate, the sidewall, and the metal cap layer;
Forming a second insulating film covering the first insulating film;
Etching a part of the first insulating film and the second insulating film to remove an upper end of the sidewall and an upper surface of the metal cap layer, and
The MRAM manufacturing method, wherein the interlayer insulating layer is a remaining portion of the first insulating film.