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JP2004286578A - Reflective thermal lens spectrometer - Google Patents

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JP2004286578A
JP2004286578A JP2003078657A JP2003078657A JP2004286578A JP 2004286578 A JP2004286578 A JP 2004286578A JP 2003078657 A JP2003078657 A JP 2003078657A JP 2003078657 A JP2003078657 A JP 2003078657A JP 2004286578 A JP2004286578 A JP 2004286578A
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JP
Japan
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thermal lens
light
probe light
sample
sample cell
Prior art date
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Application number
JP2003078657A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazumasa Motai
和真 馬渡
Koji Shimoide
浩治 下出
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Asahi Kasei Corp
Original Assignee
Asahi Kasei Corp
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Publication date
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    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
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Abstract

【課題】装置の精密な調整を行うことなく高感度且つ高精度な試料の分析が可能である反射型の熱レンズ分光分析装置を提供する。
【解決手段】励起光Eの入射によって試料溶液Sに生じた熱レンズにプローブ光Pを入射し、その際のプローブ光Pの熱レンズによる変化に基づいて試料溶液Sの分析を行う熱レンズ分光分析装置を、試料溶液Sを収納する試料セル7と、熱レンズ及び試料セル7を透過したプローブ光Pが入射され、該プローブ光Pを入射してきた方向に反射する再帰性反射板8と、再帰性反射板8によって反射されたプローブ光Pを検出する検出手段12と、を備える構成とした。
【選択図】 図1
An object of the present invention is to provide a reflection type thermal lens spectrometer capable of analyzing a sample with high sensitivity and high accuracy without performing precise adjustment of the apparatus.
Kind Code: A1 A thermal lens spectroscopy in which probe light is incident on a thermal lens generated in a sample solution by the incidence of excitation light, and the sample solution is analyzed based on a change of the probe light by the thermal lens at that time. A sample cell 7 containing a sample solution S, a retroreflector 8 that receives a probe light P transmitted through the thermal lens and the sample cell 7 and reflects the probe light P in a direction in which the probe light P is incident; Detecting means 12 for detecting the probe light P reflected by the retroreflector 8.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高感度且つ高精度な試料の分析が可能である反射型の熱レンズ分光分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
溶液中の色素等の物質が光を吸収して、その緩和過程で発生する熱量を測定する光熱変換分光分析法は、高感度な濃度測定法として知られている。特に、発生した熱により生じた温度分布による屈折率分布を利用する熱レンズ分光分析法は、光の透過量を測定する吸光光度法と比較して100倍以上高感度であることが知られている(例えば、Manabu Tokeshi et al.,J. Lumin. Vol.83−84, 261−264, 1999)。
【0003】
このような熱レンズ分光分析法には、試料の励起及び熱レンズの検出を同一のレーザー光で行うシングルビーム法と、別々のレーザー光で行うダブルビーム法とが知られており、ダブルビーム法の方が高感度である。
一方、最近では、10cmから数cm角程度以下のガラスやシリコン製の平板状チップの表面に数十μmから数百μmの溝を刻み、この溝の中で必要な反応,分離,検出のすべてを短時間に行うμ−TAS(micro total analysis system) の研究が盛んに行われている(例えば、特開平2−245655号公報)。
【0004】
μ−TASを採用することにより、検体量、検出に必要な試薬量、検出に用いる消耗品等の廃棄物、廃液の量がいずれも少なくなる上、検出に必要な時間もおおむね短時間であるという利点がある。また、低コストで使い捨てのチップの開発を目的として、樹脂でチップを作成する方法(R. M. Mccormick et al., Anal. Chem. Vol.69, 2626−2630, 1997 、特開平2−259557号公報、及び特許第2639087号公報)も提案されている。
【0005】
しかしながら、μ−TASにおいては光路長が数十μmから数百μmと通常の条件と比べて10分の1から100分の1であるため、測定対象物を吸光光度法で検出しようとすると感度不足となるという問題がある。このような理由から、高感度な熱レンズ分光分析法が、μ−TASにおける検出法として非常に注目されている。
【0006】
従来の一般的な熱レンズ分光分析法においては、試料にレーザー光を入射し、試料を透過した光を利用して分析を行っていた。しかし、この場合には、試料にレーザー光を集光,照射するための光学系(集光光学系)と、試料を透過したレーザー光を受光して熱レンズ信号を検出するための光学系(受光光学系)との位置関係を精密に調整する必要がある上、光学系全体が大型で複雑になるという問題点があった。
【0007】
このような問題点を解決するため、試料を透過したレーザー光を反射板で反射させ、再び集光光学系に入射させて、その反射光を利用して分析を行うという反射型熱レンズ分光分析法が提案されている(特開平4−369467号公報)。この方法においてはシングルビーム法が採用されており、レーザー光をレンズで反射板に集光し、反射板で反射されたレーザー光をビームスプリッタでフォトダイオードに導いて熱レンズ信号を測定する方法が取られている。
【0008】
【特許文献1】
特開平2−245655号公報
【特許文献2】
特開平2−259557号公報
【特許文献3】
特許第2639087号公報
【特許文献4】
特開平4−369467号公報
【非特許文献1】
Manabu Tokeshi et al.,J. Lumin. Vol.83−84, 261−264, 1999
【非特許文献2】
R. M. Mccormick et al., Anal. Chem. Vol.69, 2626−2630, 1997
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記公報に記載のような反射型熱レンズ分光分析法は、シングルビーム法,ダブルビーム法のいずれの場合においても、レーザー光の光軸と反射板の板面とのなす角度(反射板の傾き)に依存して分析感度が大きく変化し、分析精度が低下するという問題があることを、本発明者らは発見した。
【0010】
このような問題を解消して高精度な分析を行うためには、試料にレーザー光を集光,照射するための集光光学系と、試料を透過したレーザー光を受光して熱レンズ信号を検出するための受光光学系との位置関係を精密に調整する必要が生じるため、反射型熱レンズ分光分析法の長所の一つである調整の容易さが実現されないことになる。
そこで、本発明は前述のような従来技術が有する問題点を解決し、装置の精密な調整を行うことなく高感度且つ高精度な試料の分析が可能である反射型の熱レンズ分光分析装置を提供することを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項1の反射型熱レンズ分光分析装置は、励起光の入射によって試料に生じた熱レンズにプローブ光を入射し、その際の前記プローブ光の前記熱レンズによる変化に基づいて前記試料の分析を行う熱レンズ分光分析装置であって、前記試料を収納する試料セルと、前記熱レンズ及び前記試料セルを透過した前記プローブ光が入射され、該プローブ光を入射してきた方向に反射する再帰性反射手段と、前記再帰性反射手段によって反射された前記プローブ光を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする。
【0012】
前記再帰性反射手段は、どんな方向から光が入射されても、入射された光を必ず光が入射してきた方向に反射する性質を有している。つまり、光の入射角と反射角が同一である。したがって、前記プローブ光がどのような入射角で入射されたとしても、反射光は必ず前記プローブ光が入射してきた方向に反射されるので、前記プローブ光の光軸に対する前記再帰性反射手段の相対位置及び向きが多少変化したとしても、分析の感度や精度に問題が生じることがない。よって、前記再帰性反射手段の設置状態(前記プローブ光の光軸に対する相対位置及び向き)を精密に調整することなく、高感度且つ高精度な熱レンズ分光分析を行うことが可能である。
【0013】
また、本発明に係る請求項2の反射型熱レンズ分光分析装置は、請求項1に記載の反射型熱レンズ分光分析装置において、前記試料セルを樹脂で構成したことを特徴とする。
樹脂製の試料セルは安価であるので、低コストで分析を行うことが可能となる。また、樹脂製の試料セルは射出成形等による製造時に反りなどが発生しやすいが、本発明の反射型熱レンズ分光分析装置であれば、プローブ光の光軸に対する再帰性反射手段の相対位置及び向きが前記反りによって変化したとしても、高精度な測定が可能である。
【0014】
さらに、本発明に係る請求項3の反射型熱レンズ分光分析装置は、請求項1又は請求項2に記載の反射型熱レンズ分光分析装置において、前記試料セルと前記再帰性反射手段とを別体としたことを特徴とする。
再帰性反射手段の形状が板状,フィルム状等である場合には、試料セルと再帰性反射手段とを一体とすることもできるが、そうすると、使い捨てとすることが好ましい試料セルが高コストとなってしまう。しかし、試料セルと再帰性反射手段とを別体とすれば、すなわち、試料セルと再帰性反射手段とを分離して装置内に設置すれば、試料セルが低コストとなるので、低コストで分析を行うことが可能となる。
【0015】
さらに、本発明に係る請求項4の反射型熱レンズ分光分析装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の反射型熱レンズ分光分析装置において、前記試料セルの光路長は1mm以下であることを特徴とする。
試料セルの光路長が短いと、高感度な分析を行うためには励起光及びプローブ光を高度に集光する必要がある。そうすると、試料や熱レンズを透過した後のプローブ光の発散度が大きくなり、光量のロスが大きくなるという問題がある。しかしながら、プローブ光は再帰性反射手段によって必ず入射してきた方向に反射されるので、光量のロスが少なく、高感度且つ高精度な分析を行うことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明に係る反射型熱レンズ分光分析装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態である反射型熱レンズ分光分析装置の構成を説明する構成図である。なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【0017】
図1の反射型熱レンズ分光分析装置は、励起光Eの光源であるレーザー発光手段1と、プローブ光Pの光源であるレーザー発光手段2と、励起光E及びプローブ光Pを集光する1つの集光レンズ6と、試料溶液Sを収納する樹脂製の試料セル7(光路長は1mm以下)と、励起光E及びプローブ光Pを反射する再帰性反射板8(本発明の構成要件である再帰性反射手段に相当する)と、プローブ光Pを検出する検出手段12と、を備えている。なお、2つの集光レンズを設けて、励起光Eとプローブ光Pとをそれぞれ別の集光レンズで集光する構成とすることもできる。
【0018】
このような反射型熱レンズ分光分析装置においては、励起光Eがレーザー発光手段1から出力されるとともに、プローブ光Pがレーザー発光手段2から出力され、プローブ光Pが反射板3で反射されてビームスプリッタ4に入射される。そして、ビームスプリッタ4において励起光Eとプローブ光Pとが同軸とされ、集光レンズ6に導かれる。
【0019】
この集光レンズ6によって励起光Eは試料溶液Sに集光され、これにより図示しない熱レンズが形成される。そして、プローブ光Pは集光レンズ6によって前記熱レンズに集光され、熱レンズ効果により発散又は集光される。
試料セル7を透過した励起光E及びプローブ光Pは、再帰性反射板8によって反射される。その際には、励起光E及びプローブ光Pは、再帰性反射板8に入射してきた方向に反射される(入射角と反射角が同一である)。反射された励起光E及びプローブ光Pは再び試料セル7に集光され、集光レンズ6を通った後にハーフミラー5で一部が反射される。
【0020】
ハーフミラー5で反射され屈折された励起光E及びプローブ光Pはレンズ9で集光され、励起光カットフィルター10に導入される。この励起光カットフィルター10により励起光Eのみが除去され、プローブ光Pのみが絞り11に導入される。そして、絞り11によってプローブ光Pのうち中心部の光のみが検出手段12に導入され、その発散度又は集光度が測定される。試料セル7に試料溶液Sが収納されている場合と収納されていない場合とにおいて、それぞれ測定を行い、検出手段12の検出値の差を熱レンズ信号とすればよい。通常、この熱レンズ信号は、熱レンズの度、すなわち試料溶液Sの濃度に比例する。
【0021】
再帰性反射板8は、どんな方向から光が入射されても、入射された光を必ず光が入射してきた方向に反射する性質を有している。したがって、励起光E及びプローブ光Pがどのような入射角で入射されたとしても、反射光は必ず励起光E及びプローブ光Pが入射してきた方向に反射されるので、励起光E及びプローブ光Pの光軸に対する再帰性反射板8の傾きが多少変化したとしても、分析の感度や精度に問題が生じることがない。
【0022】
よって、本実施形態の反射型熱レンズ分光分析装置は、再帰性反射板8の設置状態(再帰性反射板8の傾き)を精密に調整することなく、高感度且つ高精度な熱レンズ分光分析を行うことが可能である。なお、再帰性反射板8の傾きとは、再帰性反射板8の板面と、励起光E及びプローブ光Pの光軸と、のなす角度を意味する。
【0023】
ここで、このような反射型熱レンズ分光分析装置の前記各部品について説明する。
励起光Eの光源であるレーザー発光手段1として用いられるレーザーの種類は特に限定されるものではなく、ガスレーザー,固体レーザー等を問題なく用いることができるが、安価であることから半導体レーザーが望ましい。ただし、半導体レーザーを用いる場合には、再帰性反射板8からの反射光が再び励起光Eの光源に入射すると出力変化によるノイズとなるので、半導体レーザーに高周波重畳をかけるか、又は偏光依存ビームスプリッタと4分の1波長板との組み合わせによる光アイソレータを組み込むことが望ましい。なお、レーザーではないが、熱レンズ測定において十分な感度を実現できるならば、発光ダイオードを励起光Eの光源として用いることもできる。
【0024】
また、プローブ光Pの光源であるレーザー発光手段2として用いられるレーザーの種類も特に限定されるものではなく、励起光Eと波長が異なるものであれば、レーザー発光手段1と同様のレーザーを用いることができる。また、発光ダイオードをプローブ光Pの光源として用いることもできる。
さらに、反射板3はプローブ光Pをビームスプリッタ4に導くためのものであり、プローブ光Pの波長において十分な反射率を有するものであれば問題なく用いることができる。ただし、100%に近い反射率であることが望ましい。
【0025】
さらに、ビームスプリッタ4は、励起光Eとプローブ光Pとを同軸にするためのものであり、プローブ光Pに対して反射率が十分高く、励起光Eに対して透過率が十分高いものであればよい。ただし、プローブ光Pに対して100%に近い反射率を有し、励起光Eに対して100%に近い透過率を有することが好ましい。例えば、励起光とプローブ光との波長が異なることを利用するもの、励起光とプローブ光との偏光面が異なることを利用するものなどがあげられる。
【0026】
さらに、集光レンズ6は、試料セル7に収納されている試料溶液Sに励起光Eを集光し、その励起光Eによって試料溶液Sに生じた熱レンズにプローブ光Pを集光するためのものである。励起光Eが試料溶液Sに集光されることによって熱レンズが形成され、そこに同軸で透過したプローブ光Pは熱レンズ効果によって発散又は集光される。熱レンズ信号の感度は一般的に集光位置のビーム径が小さくなるほど向上することが知られているので、集光レンズ6の開口数は高いことが望ましい。
【0027】
さらに、試料セル7は、測定する試料溶液Sを収納するためのものである。試料セル7の素材は、励起光E及びプローブ光Pに対して透明であれば特に限定されるものではないが、励起光E及びプローブ光Pの透過率がなるべく高いことが望ましい。例えば、ポリメチルメタクリレート(PMMA),ポリカーボネート(PC),ポリスチレン(PS),シクロオレフィン系樹脂等の樹脂材料やガラスなどがあげられる。また、試料セル7の形状も特に限定されるものではないが、励起光E及びプローブ光Pが入射し透過する位置には平坦面が存在することが好ましい。
【0028】
さらに、再帰性反射板8は、試料セル7を透過した励起光E及びプローブ光Pが入射され、両光E,Pを再帰性反射板8に入射してきた方向に反射するためのものである。両光E,Pの反射率は100%に近いことが好ましい。再帰性反射板の例としては、コーナーキューブを2次元に並べたもの、球状のビーズを2次元に並べたもの、回折格子やホログラムを利用したもの等があげられる。コーナーキューブや球状のビーズを2次元に並べた再帰性反射板を用いる場合は、集光レンズ6の開口数と必要な反射率とで決まる最適なコーナーキューブ及びビーズのサイズを選択することが望ましい。
【0029】
さらに、ハーフミラー5は、再帰性反射板8からの反射光を検出系に導くためのものであり、励起光E及びプローブ光Pに対する透過率と反射率とのバランスが取れているものが好ましい。例えば、50%の透過率と50%の反射率とを有するもの等があげられる。
さらに、レンズ9は、励起光E及びプローブ光Pを検出手段12に集光するためのものであり、検出手段12が有する検知部分の面積以内に集光できるものであればよい。
【0030】
さらに、励起光カットフィルター10としては、励起光Eを十分に除去できるものであれば問題なく使用することができるが、光学濃度が5以上であるものが好ましい。例えば、色ガラスフィルター,干渉フィルター等があげられる。
さらに、絞り11は、プローブ光Pの中心部分のみを透過させるものであれば、問題なく使用することができる。
【0031】
さらに、検出手段12の種類は、プローブ光Pに対して十分な感度を有していれば特に限定されるものではなく、例えばフォトダイオード等があげられる。
(実施例)
本発明に係る反射型熱レンズ分光分析装置を用いた測定を、実施例により詳細に説明する。図2は本実施例において使用した反射型熱レンズ分光分析装置の構成を説明する構成図である。なお、本実施例においては自作の光学部品が数種使用されているが、同様の特性を有するものであれば市販品を用いても差し支えないことは勿論である。
【0032】
励起光の光源21には、波長635nm、定格出力30mWの半導体レーザー発光装置(LT051PS、シャープ株式会社製)を用いた。また、プローブ光の光源22には、波長780nm、定格出力50mWの半導体レーザー発光装置(ML60114R、三菱電機株式会社製)を用いた。これら半導体レーザー発光装置は、図示しない市販のLDドライバー(ALP−6323CA、旭データシステムズ社製)により、出力制御及び電流制御できるようにした。
【0033】
このLDドライバは、同じく図示しないPCIカード(NIPCI 6025E、ナショナルインスツルメンツ社製)を介してパーソナルコンピュータに接続されており、半導体レーザー発光装置の出力や電流,変調周波数はパーソナルコンピュータによって調整できるようになっている。また、励起光の変調周波数は0〜100kHzまで可能となっている。さらに、励起光及びプローブ光ともに350MHzの高周波を重畳し、戻り光により発生するノイズの影響を小さくした。
【0034】
励起光用のコリメータレンズ23には、開口数0.34、焦点距離8mmの自作のレンズを用いた。そして、プローブ光用コリメータレンズ24には、開口数0.39、焦点距離7mmの自作のレンズを用いた。プローブ光用コリメータレンズ24は、図示しないマイクロメータヘッド(MHT3−5、ミツトヨ社製)に取り付けて、マイクロメーターオーダーの分解能で光軸方向に変位できるようにした。なお、変位の方式についてはこの例に限定されるものではない。
【0035】
さらに、励起光用のプリズム25及びプローブ光用のプリズム26には、2つの自作のプリズムの傾斜面同士を対向させたものを用いた。なお、励起光用のプリズム25については、拡大率が3倍となるように2つのプリズム間の角度を調整した。また、プローブ光用のプリズム26については、拡大率が2.6倍となるように2つのプリズム間の角度を調整した。
【0036】
さらに、励起光とプローブ光とを同軸にするためのビームスプリッタ27には、p偏光に対する透過率が100%であり、s偏光に対する反射率が100%である自作の偏光依存ビームスプリッタを用いた。なお、この場合には、励起光はs偏光になっており、プローブ光はp偏光となっているため、このビームスプリッタ27におけるパワーロスは、ほぼ0となっている。
【0037】
さらに、励起光及びプローブ光を集光する集光レンズ30には、開口数0.15、焦点距離18.4mmのガラス非球面レンズ(CJ350280、GELTECH社製)を用いた。なお、ビームスプリッタ27を通過した励起光及びプローブ光を集光レンズ30に導くため、前記両光を90°屈折させる自作の反射板プリズム29を使用した。
【0038】
さらに、試料セル31としては、光路長50μmのガラスセル(AB20、ジーエルサイエンス株式会社製)を用いた。なお、試料セル31が載置される図示しないステージには、1μmの分解能で光軸方向の位置合わせが可能な自動位置決めステージ(MINI−60X MINI−5P、シグマ光機株式会社製)を用いた。
【0039】
さらに、再帰性反射板32には、プリズム型再帰性反射板(スコッチライト、ダイヤモンドグレード3900Gシリーズ、住友3M株式会社製)を用いた。この再帰性反射板32は、光軸に対する傾きを図示しないマイクロメータによって0.1°の分解能で調整できるようにしてある。
再帰性反射板32で反射された励起光及びプローブ光の反射光は、再び試料セル31を透過した後に、集光レンズ30によってほぼ平行光とされる。そして、ミラープリズム29によって90°屈折され非偏光依存ビームスプリッタ28に導入される。非偏光依存ビームスプリッタ28は、励起光及びプローブ光に対して透過率80%、反射率20%に設定した自作の非偏光依存ビームスプリッタである。
【0040】
励起光及びプローブ光は、非偏光依存ビームスプリッタ28によって20%の光量が反射され、80%の光量が熱レンズ信号を検出するための光学系へと導かれる。該光学系へと導かれた励起光及びプローブ光の反射光は、中心波長635nm,半値幅10nmのレーザーライン干渉フィルター33(03FIL250、メレスグリオ株式会社製)によって励起光のみがカットされ、プローブ光のみが絞り34に導かれる。絞り34には、ゼロ開口アイリス絞り(CJ53906、エドモンドオプティクス・ジャパン株式会社製)を用いた。
【0041】
絞り34によってプローブ光のうちの中心部分の光のみが透過し、集光レンズ35、続いてシリンドリカルレンズ36へと導かれる。なお、集光レンズ35には、焦点距離が45.5mmである自作のレンズを用い、シリンドリカルレンズ36には、曲面での焦点距離が286mmである自作のシリンドリカルレンズを用いた。
【0042】
集光レンズ35及びシリンドリカルレンズ36によって、プローブ光は検出手段である4分割フォトダイオード37(S6344、浜松ホトニクス株式会社製)に集光され、それぞれ4つのフォトダイオードにおける光の強度が電気信号に変換される。なお、検出手段には必ずしも4分割フォトダイオードを用いる必要はなく、非分割のフォトダイオードでも問題ない。
【0043】
4分割フォトダイオード37からの出力は、自作の回路により電流から電圧に変換された。電流から電圧への変換倍率は1000倍とした。なお、この電流から電圧への変換回路は、変換倍率を1000倍とすれば市販品でも差し支えない。
さらに、変換された電圧信号は、ゲインが100倍の低雑音プリアンプ(LI−75A、エヌエフ回路ブロック社製)に導かれ(図示せず)、さらに図示しない2位相ロックインアンプ(5610B、エヌエフ回路ブロック社製)に導かれて、励起光の変調周波数と同期する電気信号のみが抽出され、それが熱レンズ信号値(ロックインアンプの出力)とされた。
【0044】
このロックインアンプは、BNCケーブルを介してコネクタ(CB−50LP,ナショナルインスツルメンツ株式会社製)に接続されており、コネクタからの出力がデータ集録カード(DAQCARD−700、ナショナルインスツルメンツ社製)によってノートパソコンに取り込まれる。ノートパソコンに取り込まれた熱レンズ信号値は、ソフトウェア(LABVIEW5.0、ナショナルインスツルメンツ社製)によって前記ノートパソコンの表示画面に表示されるとともに、熱レンズ信号値及び熱レンズ信号値の経時変化が記録される(いずれも図示せず)。
【0045】
(分析例)
前述のような実施例の反射型熱レンズ分光分析装置を使用して、濃度25μMのキシレンシアノール水溶液の分析を行った。その際には、再帰性反射板とプローブ光の光軸とのなす角度(再帰性反射板の傾き)を−0.5°〜+0.5°の範囲で種々変化させて、熱レンズ信号の測定を行った。
【0046】
その結果、再帰性反射板の傾きが−0.5°の場合及び+0.5°の場合の熱レンズ信号値は、再帰性反射板の傾きが0°の場合の熱レンズ信号値から約1%低下した程度であり、ほとんど差異はなかった。
これに対して、前述の実施例の反射型熱レンズ分光分析装置において、再帰性反射板の代わりに従来の平面型反射板を用いた場合は、約65%の低下が見られた。なお、この平面型反射板は、直径25mmの平面ミラー(CJ32945、エドモンドオプティクス・ジャパン株式会社製)である。
【0047】
【発明の効果】
以上のように、本発明の反射型熱レンズ分光分析装置は、装置の精密な調整を行うことなく高感度且つ高精度な試料の分析を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の反射型熱レンズ分光分析装置の一実施形態を示す構成図である。
【図2】実施例の反射型熱レンズ分光分析装置の構成を説明する構成図である。
【符号の説明】
7 試料セル
8 再帰性反射板
12 検出手段
E 励起光
P プローブ光
S 試料溶液
31 試料セル
32 再帰性反射板
37 4分割フォトダイオード
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a reflection type thermal lens spectrometer capable of analyzing a sample with high sensitivity and high accuracy.
[0002]
[Prior art]
Photothermal conversion spectroscopy, in which a substance such as a dye in a solution absorbs light and measures the amount of heat generated during the relaxation process, is known as a highly sensitive concentration measurement method. In particular, thermal lens spectroscopy utilizing the refractive index distribution due to the temperature distribution generated by the generated heat is known to be more than 100 times more sensitive than the absorptiometry which measures the amount of transmitted light. (Eg, Manabu Takeshi et al., J. Lumin. Vol. 83-84, 261-264, 1999).
[0003]
As such thermal lens spectroscopy, there are known a single beam method in which excitation of a sample and detection of a thermal lens are performed with the same laser beam, and a double beam method in which separate laser beams are used. Is more sensitive.
On the other hand, recently, a groove of several tens μm to several hundreds of μm has been cut on the surface of a flat chip made of glass or silicon of about 10 cm to several cm square or less, and all of the necessary reactions, separation and detection in this groove are performed. The research on μ-TAS (micro total analysis system), which performs the reaction in a short time, has been actively conducted (for example, JP-A-2-245655).
[0004]
The use of μ-TAS reduces the amount of a specimen, the amount of a reagent required for detection, the amount of waste such as consumables used for detection, and the amount of waste liquid, and the time required for detection is generally short. There is an advantage. For the purpose of developing a low-cost disposable chip, a method of forming a chip with a resin (RM McCormick et al., Anal. Chem. Vol. 69, 2626-2630, 1997, Japanese Patent Laid-Open No. 2-259557) And Japanese Patent No. 2639087) have also been proposed.
[0005]
However, in μ-TAS, the optical path length is several tens μm to several hundred μm, which is 1/10 to 1/100 as compared with normal conditions. There is a problem of shortage. For this reason, highly sensitive thermal lens spectroscopy has been attracting much attention as a detection method in μ-TAS.
[0006]
In a conventional general thermal lens spectroscopic analysis method, a laser beam is incident on a sample, and analysis is performed using light transmitted through the sample. However, in this case, an optical system (condensing optical system) for condensing and irradiating laser light on the sample and an optical system (condensing optical system) for receiving laser light transmitted through the sample and detecting a thermal lens signal ( It is necessary to precisely adjust the positional relationship with the optical system (light receiving optical system), and the entire optical system is large and complicated.
[0007]
In order to solve such problems, the reflection type thermal lens spectroscopy is to reflect the laser light transmitted through the sample with a reflector, re-enter the condensing optical system, and use the reflected light for analysis. A method has been proposed (JP-A-4-369467). In this method, a single beam method is adopted, in which a laser beam is focused on a reflector by a lens, and the laser beam reflected by the reflector is guided to a photodiode by a beam splitter to measure a thermal lens signal. Has been taken.
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-2-245655 [Patent Document 2]
JP-A-2-259557 [Patent Document 3]
Japanese Patent No. 2639087 [Patent Document 4]
JP-A-4-369467 [Non-Patent Document 1]
Manabu Tokyoshi et al. , J. et al. Lumin. Vol. 83-84, 261-264, 1999
[Non-patent document 2]
R. M. McCormick et al. , Anal. Chem. Vol. 69, 2626-2630, 1997
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the reflection type thermal lens spectroscopy described in the above publication, the angle (reflector plate) between the optical axis of the laser beam and the plate surface of the reflector plate in either the single beam method or the double beam method. The present inventors have found that there is a problem that the analysis sensitivity greatly changes depending on the inclination of the sample) and the analysis accuracy is reduced.
[0010]
In order to solve such problems and perform high-precision analysis, a condensing optical system for condensing and irradiating laser light on the sample and a thermal lens signal by receiving the laser light transmitted through the sample Since it is necessary to precisely adjust the positional relationship with the light receiving optical system for detection, easy adjustment, which is one of the advantages of the reflective thermal lens spectroscopy, cannot be realized.
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and provides a reflection-type thermal lens spectrometer capable of analyzing a sample with high sensitivity and high accuracy without performing precise adjustment of the apparatus. The task is to provide.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problem, the present invention has the following configuration. That is, the reflection-type thermal lens spectrometer according to claim 1 of the present invention allows the probe light to be incident on the thermal lens generated on the sample due to the incident excitation light, and the change in the probe light caused by the thermal lens at that time. A thermal lens spectroscopy analyzer that analyzes the sample based on the sample cell that contains the sample, and the probe light that has passed through the thermal lens and the sample cell is incident, and the probe light is incident. It is characterized by comprising: retroreflecting means for reflecting in a direction; and detecting means for detecting the probe light reflected by the retroreflecting means.
[0012]
The retroreflective means has a property that, regardless of the direction from which light is incident, the incident light is always reflected in the direction in which the light is incident. That is, the incident angle and the reflection angle of the light are the same. Therefore, no matter what incident angle the probe light is incident on, the reflected light is always reflected in the direction in which the probe light is incident. Even if the position and orientation are slightly changed, there is no problem in sensitivity and accuracy of the analysis. Therefore, it is possible to perform high-sensitivity and high-precision thermal lens spectroscopic analysis without precisely adjusting the installation state of the retroreflecting means (the relative position and direction of the probe light with respect to the optical axis).
[0013]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a reflection type thermal lens spectrometer, wherein the sample cell is made of a resin.
Since the resin sample cell is inexpensive, the analysis can be performed at low cost. Further, the resin sample cell is likely to be warped at the time of production by injection molding or the like, but with the reflection type thermal lens spectroscopic analyzer of the present invention, the relative position of the retroreflective means with respect to the optical axis of the probe light and Even if the direction changes due to the warpage, highly accurate measurement is possible.
[0014]
Further, in the reflection type thermal lens spectrometer according to claim 3 of the present invention, in the reflection type thermal lens spectrometer according to claim 1 or 2, the sample cell and the retroreflection means are separated. It is characterized by having a body.
When the shape of the retroreflective means is a plate shape, a film shape, or the like, the sample cell and the retroreflective means can be integrated. However, the sample cell which is preferably disposable is expensive. turn into. However, if the sample cell and the retroreflective means are separated from each other, that is, if the sample cell and the retroreflective means are separated and installed in the apparatus, the cost of the sample cell becomes low, so that the cost is low. Analysis can be performed.
[0015]
Furthermore, in the reflection type thermal lens spectrometer according to claim 4 of the present invention, in the reflection type thermal lens spectrometer according to any one of claims 1 to 3, the optical path length of the sample cell is 1 mm or less. It is characterized by the following.
When the optical path length of the sample cell is short, it is necessary to highly collect the excitation light and the probe light in order to perform highly sensitive analysis. Then, there is a problem that the divergence of the probe light after passing through the sample or the thermal lens increases, and the loss of the light amount increases. However, since the probe light is always reflected in the incident direction by the retroreflecting means, the loss of the light amount is small, and the analysis can be performed with high sensitivity and high accuracy.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of a reflection type thermal lens spectrometer according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a configuration of a reflection type thermal lens spectroscopic analyzer according to one embodiment of the present invention. Note that the present embodiment is an example of the present invention, and the present invention is not limited to the present embodiment.
[0017]
The reflection type thermal lens spectrometer of FIG. 1 includes a laser light emitting means 1 as a light source of the excitation light E, a laser light emitting means 2 as a light source of the probe light P, and a condenser 1 for condensing the excitation light E and the probe light P. One condenser lens 6, a resin sample cell 7 containing the sample solution S (having an optical path length of 1 mm or less), and a retroreflector 8 for reflecting the excitation light E and the probe light P (a component of the present invention) (Corresponding to a certain retroreflective means) and a detecting means 12 for detecting the probe light P. Note that two condensing lenses may be provided so that the excitation light E and the probe light P are condensed by different condensing lenses.
[0018]
In such a reflection-type thermal lens spectrometer, the excitation light E is output from the laser light emitting means 1, the probe light P is output from the laser light emitting means 2, and the probe light P is reflected by the reflecting plate 3. The light enters the beam splitter 4. Then, the excitation light E and the probe light P are made coaxial in the beam splitter 4 and guided to the condenser lens 6.
[0019]
The excitation light E is condensed on the sample solution S by the condenser lens 6, thereby forming a thermal lens (not shown). The probe light P is condensed on the thermal lens by the condenser lens 6, and is diverged or condensed by the thermal lens effect.
The excitation light E and the probe light P transmitted through the sample cell 7 are reflected by the retroreflector 8. At that time, the excitation light E and the probe light P are reflected in the direction of incidence on the retroreflector 8 (the incident angle and the reflection angle are the same). The reflected excitation light E and probe light P are collected again on the sample cell 7 and partially reflected by the half mirror 5 after passing through the condenser lens 6.
[0020]
The excitation light E and the probe light P reflected and refracted by the half mirror 5 are condensed by the lens 9 and introduced into the excitation light cut filter 10. Only the excitation light E is removed by the excitation light cut filter 10, and only the probe light P is introduced into the stop 11. Then, only the light at the center of the probe light P is introduced into the detection means 12 by the stop 11, and the degree of divergence or light concentration thereof is measured. The measurement may be performed when the sample solution S is stored in the sample cell 7 and when the sample solution S is not stored, and the difference between the detection values of the detection unit 12 may be used as the thermal lens signal. Usually, this thermal lens signal is proportional to the degree of thermal lens, that is, the concentration of the sample solution S.
[0021]
The retroreflective plate 8 has such a property that the incident light is always reflected in the direction in which the light is incident, regardless of the direction from which the light is incident. Therefore, no matter what incident angle the excitation light E and the probe light P are incident on, the reflected light is always reflected in the direction in which the excitation light E and the probe light P are incident. Even if the inclination of the retroreflective plate 8 with respect to the optical axis of P slightly changes, no problem occurs in the sensitivity and accuracy of the analysis.
[0022]
Therefore, the reflection type thermal lens spectrometer according to the present embodiment can perform high-sensitivity and high-precision thermal lens spectroscopy without precisely adjusting the installation state of the retroreflector 8 (inclination of the retroreflector 8). It is possible to do. The inclination of the retroreflective plate 8 means an angle between the plate surface of the retroreflective plate 8 and the optical axes of the excitation light E and the probe light P.
[0023]
Here, each component of such a reflection type thermal lens spectrometer will be described.
The type of laser used as the laser light emitting means 1 as a light source of the excitation light E is not particularly limited, and a gas laser, a solid-state laser, or the like can be used without any problem, but a semiconductor laser is preferable because it is inexpensive. . However, when a semiconductor laser is used, when the reflected light from the retroreflective plate 8 is again incident on the light source of the excitation light E, it becomes a noise due to a change in output. It is desirable to incorporate an optical isolator using a combination of a splitter and a quarter-wave plate. It should be noted that a light emitting diode can be used as a light source of the excitation light E, although it is not a laser, if sufficient sensitivity can be realized in the thermal lens measurement.
[0024]
Further, the type of laser used as the laser light emitting means 2 as a light source of the probe light P is not particularly limited, and a laser similar to the laser light emitting means 1 is used as long as the excitation light E has a different wavelength. be able to. Further, a light emitting diode can be used as a light source of the probe light P.
Further, the reflecting plate 3 guides the probe light P to the beam splitter 4, and can be used without any problem as long as it has a sufficient reflectance at the wavelength of the probe light P. However, it is desirable that the reflectance is close to 100%.
[0025]
Further, the beam splitter 4 is for making the excitation light E and the probe light P coaxial, and has a sufficiently high reflectance for the probe light P and a sufficiently high transmittance for the excitation light E. I just need. However, it is preferable to have a reflectance close to 100% for the probe light P and a transmittance close to 100% for the excitation light E. For example, there are those utilizing the fact that the wavelengths of the excitation light and the probe light are different, and those utilizing the fact that the polarization planes of the excitation light and the probe light are different.
[0026]
Further, the condenser lens 6 focuses the excitation light E on the sample solution S stored in the sample cell 7 and focuses the probe light P on the thermal lens generated in the sample solution S by the excitation light E. belongs to. The excitation light E is focused on the sample solution S to form a thermal lens, and the probe light P transmitted coaxially there is diverged or focused by the thermal lens effect. It is known that the sensitivity of the thermal lens signal generally increases as the beam diameter at the focusing position decreases, and therefore it is desirable that the numerical aperture of the focusing lens 6 be high.
[0027]
Further, the sample cell 7 is for storing a sample solution S to be measured. The material of the sample cell 7 is not particularly limited as long as it is transparent to the excitation light E and the probe light P, but it is desirable that the transmittance of the excitation light E and the probe light P be as high as possible. For example, resin materials such as polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), polystyrene (PS), and cycloolefin-based resin, and glass are exemplified. Although the shape of the sample cell 7 is not particularly limited, it is preferable that a flat surface exists at a position where the excitation light E and the probe light P enter and transmit.
[0028]
Further, the retroreflector 8 receives the excitation light E and the probe light P transmitted through the sample cell 7 and reflects both lights E and P in the direction in which the retroreflector 8 is incident. . It is preferable that the reflectance of both lights E and P is close to 100%. Examples of the retroreflective plate include those in which corner cubes are two-dimensionally arranged, those in which spherical beads are two-dimensionally arranged, and those using a diffraction grating or a hologram. When a retroreflector in which corner cubes and spherical beads are arranged two-dimensionally is used, it is desirable to select the optimal corner cube and bead sizes determined by the numerical aperture of the condenser lens 6 and the required reflectance. .
[0029]
Further, the half mirror 5 is for guiding the reflected light from the retroreflector 8 to the detection system, and preferably has a balance between the transmittance and the reflectance for the excitation light E and the probe light P. . For example, a material having a transmittance of 50% and a reflectance of 50% can be used.
Further, the lens 9 is for condensing the excitation light E and the probe light P on the detecting means 12 and may be any as long as it can converge within the area of the detecting portion of the detecting means 12.
[0030]
Further, as the excitation light cut filter 10, any filter that can sufficiently remove the excitation light E can be used without any problem, but a filter having an optical density of 5 or more is preferable. For example, a color glass filter, an interference filter and the like can be mentioned.
Further, the aperture 11 can be used without any problem as long as it can transmit only the central portion of the probe light P.
[0031]
Further, the type of the detection means 12 is not particularly limited as long as it has sufficient sensitivity to the probe light P, and examples thereof include a photodiode.
(Example)
The measurement using the reflection type thermal lens spectrometer according to the present invention will be described in detail with reference to examples. FIG. 2 is a configuration diagram illustrating the configuration of the reflection type thermal lens spectrometer used in the present embodiment. In this embodiment, several kinds of self-made optical components are used, but it is a matter of course that a commercially available optical component having similar characteristics may be used.
[0032]
As the excitation light source 21, a semiconductor laser light emitting device (LT051PS, manufactured by Sharp Corporation) having a wavelength of 635 nm and a rated output of 30 mW was used. As the light source 22 for the probe light, a semiconductor laser light emitting device (ML60114R, manufactured by Mitsubishi Electric Corporation) having a wavelength of 780 nm and a rated output of 50 mW was used. These semiconductor laser light emitting devices can be controlled in output and current by a commercially available LD driver (ALP-6323CA, manufactured by Asahi Data Systems) not shown.
[0033]
The LD driver is connected to a personal computer via a PCI card (NIPCI 6025E, manufactured by National Instruments), also not shown, and the output, current, and modulation frequency of the semiconductor laser light emitting device can be adjusted by the personal computer. ing. Further, the modulation frequency of the excitation light can be from 0 to 100 kHz. Furthermore, a high frequency of 350 MHz was superimposed on both the excitation light and the probe light to reduce the influence of noise generated by the return light.
[0034]
As the collimator lens 23 for the excitation light, a self-made lens having a numerical aperture of 0.34 and a focal length of 8 mm was used. As the probe light collimator lens 24, a self-made lens having a numerical aperture of 0.39 and a focal length of 7 mm was used. The probe light collimator lens 24 was attached to a not-shown micrometer head (MHT3-5, manufactured by Mitutoyo Corporation) so that it could be displaced in the optical axis direction at a resolution of the order of micrometers. Note that the method of displacement is not limited to this example.
[0035]
Further, as the excitation light prism 25 and the probe light prism 26, two self-made prisms whose inclined surfaces are opposed to each other were used. Note that the angle between the two prisms for the excitation light prism 25 was adjusted so that the enlargement ratio became three times. The angle between the two prisms for the probe light prism 26 was adjusted so that the magnification was 2.6 times.
[0036]
Furthermore, a self-made polarization dependent beam splitter having a transmittance of 100% for p-polarized light and a reflectance of 100% for s-polarized light was used as the beam splitter 27 for coaxializing the excitation light and the probe light. . In this case, since the excitation light is s-polarized and the probe light is p-polarized, the power loss in the beam splitter 27 is almost zero.
[0037]
Further, a glass aspherical lens (CJ350280, manufactured by GELTECH) having a numerical aperture of 0.15 and a focal length of 18.4 mm was used as the condenser lens 30 for condensing the excitation light and the probe light. In order to guide the excitation light and the probe light having passed through the beam splitter 27 to the condenser lens 30, a self-made reflector prism 29 for refracting the two lights by 90 ° was used.
[0038]
Further, as the sample cell 31, a glass cell (AB20, manufactured by GL Sciences Inc.) having an optical path length of 50 μm was used. As a stage (not shown) on which the sample cell 31 is mounted, an automatic positioning stage (MINI-60X MINI-5P, manufactured by Sigma Koki Co., Ltd.) capable of performing alignment in the optical axis direction with a resolution of 1 μm was used. .
[0039]
Further, a prism type retroreflective plate (Scotchlite, diamond grade 3900G series, manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.) was used as the retroreflective plate 32. The retroreflective plate 32 can adjust the inclination with respect to the optical axis at a resolution of 0.1 ° by a micrometer (not shown).
The excitation light and the reflected light of the probe light reflected by the retroreflector 32 are transmitted through the sample cell 31 again, and then are converted into substantially parallel light by the condenser lens 30. Then, the light is refracted by 90 ° by the mirror prism 29 and is introduced into the non-polarization dependent beam splitter 28. The non-polarization dependent beam splitter 28 is a self-made non-polarization dependent beam splitter set to have a transmittance of 80% and a reflectance of 20% for the excitation light and the probe light.
[0040]
The excitation light and the probe light are reflected by the non-polarization dependent beam splitter 28 with a light amount of 20%, and the light amount of 80% is guided to an optical system for detecting a thermal lens signal. The excitation light and the reflected light of the probe light guided to the optical system are cut off only the excitation light by a laser line interference filter 33 (03FIL250, manufactured by Meles Griot Co., Ltd.) having a center wavelength of 635 nm and a half-value width of 10 nm. Is guided to the diaphragm 34. As the diaphragm 34, a zero aperture iris diaphragm (CJ53906, manufactured by Edmund Optics Japan KK) was used.
[0041]
Only the light at the center of the probe light is transmitted by the stop 34 and guided to the condenser lens 35 and subsequently to the cylindrical lens 36. A self-made lens having a focal length of 45.5 mm was used as the condenser lens 35, and a self-made cylindrical lens having a focal length of 286 mm on a curved surface was used as the cylindrical lens 36.
[0042]
The probe light is condensed by a condensing lens 35 and a cylindrical lens 36 on a four-division photodiode 37 (S6344, manufactured by Hamamatsu Photonics KK), which is a detecting means, and the light intensity of each of the four photodiodes is converted into an electric signal. Is done. It is not always necessary to use a four-division photodiode as the detection means, and a non-division photodiode does not pose a problem.
[0043]
The output from the four-division photodiode 37 was converted from a current to a voltage by a self-made circuit. The conversion ratio from current to voltage was 1000 times. The current-to-voltage conversion circuit may be a commercially available product provided that the conversion magnification is 1000 times.
Further, the converted voltage signal is guided to a low-noise preamplifier (LI-75A, manufactured by NF Circuit Block Co., Ltd.) with a gain of 100 times (not shown), and further a two-phase lock-in amplifier (5610B, NF circuit) not shown. Only the electric signal synchronized with the modulation frequency of the excitation light was extracted and used as the thermal lens signal value (output of the lock-in amplifier).
[0044]
This lock-in amplifier is connected to a connector (CB-50LP, manufactured by National Instruments Co., Ltd.) via a BNC cable, and the output from the connector is connected to a notebook computer by a data acquisition card (DAQCARD-700, manufactured by National Instruments Co., Ltd.). It is taken in. The thermal lens signal value taken into the notebook personal computer is displayed on the display screen of the notebook personal computer by software (LABVIEW 5.0, manufactured by National Instruments), and the thermal lens signal value and the temporal change of the thermal lens signal value are recorded. (Neither is shown).
[0045]
(Example of analysis)
The xylene cyanol aqueous solution having a concentration of 25 μM was analyzed using the reflection-type thermal lens spectrometer of the above-described embodiment. At this time, the angle between the retroreflector and the optical axis of the probe light (the inclination of the retroreflector) is varied in the range of -0.5 ° to + 0.5 ° to change the thermal lens signal. A measurement was made.
[0046]
As a result, the thermal lens signal value when the inclination of the retroreflective plate is −0.5 ° and + 0.5 ° is approximately 1 ° from the thermal lens signal value when the inclination of the retroreflective plate is 0 °. %, And there was almost no difference.
On the other hand, in the reflection type thermal lens spectrometer of the above-described embodiment, when the conventional flat type reflection plate was used instead of the retroreflection plate, a decrease of about 65% was observed. The flat reflector is a flat mirror having a diameter of 25 mm (CJ32945, manufactured by Edmund Optics Japan KK).
[0047]
【The invention's effect】
As described above, the reflection-type thermal lens spectrometer of the present invention can analyze a sample with high sensitivity and high accuracy without performing precise adjustment of the apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a reflection type thermal lens spectroscopic analyzer of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a configuration of a reflection type thermal lens spectrometer according to the embodiment.
[Explanation of symbols]
7 Sample Cell 8 Retroreflective Plate 12 Detecting Means E Excitation Light P Probe Light S Sample Solution 31 Sample Cell 32 Retroreflective Plate 37 Quadrant Photodiode

Claims (4)

励起光の入射によって試料に生じた熱レンズにプローブ光を入射し、その際の前記プローブ光の前記熱レンズによる変化に基づいて前記試料の分析を行う熱レンズ分光分析装置であって、
前記試料を収納する試料セルと、
前記熱レンズ及び前記試料セルを透過した前記プローブ光が入射され、該プローブ光を入射してきた方向に反射する再帰性反射手段と、
前記再帰性反射手段によって反射された前記プローブ光を検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする反射型熱レンズ分光分析装置。
A thermal lens spectroscopic analyzer that analyzes the sample based on a change in the probe light caused by the thermal lens, wherein the probe light is incident on the thermal lens generated in the sample by the incidence of the excitation light,
A sample cell for storing the sample,
The retroreflective means for receiving the probe light transmitted through the thermal lens and the sample cell and reflecting the probe light in the incident direction,
Detecting means for detecting the probe light reflected by the retroreflecting means,
A reflection-type thermal lens spectrometer comprising:
前記試料セルを樹脂で構成したことを特徴とする請求項1に記載の反射型熱レンズ分光分析装置。2. The reflection type thermal lens spectrometer according to claim 1, wherein the sample cell is made of a resin. 前記試料セルと前記再帰性反射手段とを別体としたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の反射型熱レンズ分光分析装置。3. The reflection type thermal lens spectrometer according to claim 1, wherein the sample cell and the retroreflection means are provided separately. 前記試料セルの光路長は1mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の反射型熱レンズ分光分析装置。The reflective thermal lens spectrometer according to any one of claims 1 to 3, wherein an optical path length of the sample cell is 1 mm or less.
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