JP2004266221A

JP2004266221A - Inspection apparatus and method for wafer storage cassette

Info

Publication number: JP2004266221A
Application number: JP2003057417A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Hayashi; 義典林; Masatake Kawasaki; 正剛川崎; Kiyoteru Sasaki; 清輝佐々木; Kazutaka Hayano; 一敬早野; Koji Ito; 孝司伊藤; Koji Sensai; 宏治泉妻; Atsushi Tanabe; 淳田邊; Hisatsugu Kurita; 久嗣栗田; Fumihiko Sato; 文彦佐藤
Original assignee: Honda Electronics Co Ltd; Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK; Honda Electronics Co Ltd
Priority date: 2003-03-04
Filing date: 2003-03-04
Publication date: 2004-09-24
Anticipated expiration: 2023-03-04
Also published as: JP4383071B2

Abstract

【課題】ウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようなウエハ収納カセットの検査装置及び方法を提供するものである。
【解決手段】ウエハ収納カセット（１０）２を設置する設置台（１１０）と、ウエハ収納カセット（１０）の前部開口面と対向して設けられ、前記ウエハ収納カセット内部の所定部位（１３Ｌ、１３Ｒ）を撮影して画像信号を出力する撮影装置（２０１、２０２）と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニット（３００）とを有し、前記処理ユニット（３００）は、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有する構成となる。
【選択図】図４An object of the present invention is to provide a wafer storage cassette inspection apparatus and method capable of inspecting a wafer storage cassette with higher accuracy.
An installation table (110) on which a wafer storage cassette (10) is installed is provided to face a front opening surface of the wafer storage cassette (10). 13R), and generates actual shape information representing an actual shape of the predetermined portion based on an image represented by an image signal from the imaging device, which outputs an image signal. A processing unit (300), wherein the processing unit (300) generates on-image shape information representing a shape of the predetermined portion on an image represented by the image signal; And real shape information generating means for generating the real shape information using predetermined conversion information from the on-image shape information obtained by the processing means.
[Selection diagram] Fig. 4

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを整列収納するためのウエハ収納カセットの内部形状を検査するための検査装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）の製造工程あるいは運送過程で用いられるウエハ収納カセットの検査装置が提案されている（特許文献１参照）。この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットのウエハを収納するためのスリットが位置すべき高さに設置された一対の光学センサを有し、その一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて前記スリットが正規の位置にあるか否かを判定している。また、この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットの設置位置に対して所定の関係となる位置に設置された反射型の光学センサを有し、その光学センサでの光検出の有無に基づいて前記設置位置に設置されたウエハ収納カセットに歪みがあるか否かを判定している。
【０００３】
このような従来のウエハ収納カセットの検査装置は、簡易な構造によりウエハ収納カセットの変形や歪みを判定することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２３３４２７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置では、ウエハ収納カセットの所定部位が本来位置すべき位置にあるか否かを光学センサでの光検出の有無に基づいて判定しているだけなので、その所定部位の寸法が本来あるべき寸法からどの程度ずれているか否かなど、精度の良い検査を行うことができない。近年、ウエハの大口径化に伴って、ウエハ収納カセットの寸法精度が非常に重要になっており、このような状況に対して前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置は充分に対応し得るものではない。例えば、前記ウエハ収納カセットのスリットが正規の位置にあるか否かを前記一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて判定する方法では、前記スリット幅より小さい分解能をもってウエハ収納カセットの良否を判定することができない。
【０００６】
本発明は、前述したような問題に鑑みてなされたもので、ウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようなウエハ収納カセットの検査装置及び方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前部開口面と対向して設けられ、前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有する構成となる。
【０００８】
このような構成により、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記所定部位の実形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセット内部の所定部位の実形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記所定部位の実形状の適否を判定できるようになる。
【０００９】
前記所定の変換情報は、撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物体の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物体の形状を表すための基準との関係に基づいて定めることができる。また、前記画像上形状情報は、前記所定部位の形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。更に、実形状情報も、前記所定部位の実形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。
【００１０】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、
前記実形状情報生成手段は、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００１１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系において撮影された所定部位の位置を表す画像上位置情報が生成され、その画像上位置情報が所定の絶対座標系における実位置情報に変換される。そして、その実位置情報に基づいた実形状情報が生成される。
【００１２】
前記所定の絶対座標系は、設置台に設置されたウエハ収納カセットの実形状を表しうるものであれば任意に設定することができる。そして、前記変換情報は、前記画像座標系と絶対座標系との関係を表すものとして定めればよい。
【００１３】
前記実位置情報に基づいた実形状情報は、前記実位置情報そのものであっても、前記実位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００１４】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段にて用いられる変換情報が、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットから得られた前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて定められたものとなる構成とすることができる。
【００１５】
このような構成により、基準ウエハ収納カセットの所定部位の実形状を基準として検査対象となるウエハ収納カセットの所定部位の実形状を検査することができるようになる。
【００１６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数の棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１７】
このような構成により、側壁に配列される複数の棚板部における所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００１８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を隣接する２つの棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１９】
このような構成により、隣接する２つの棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つの棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００２０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２１】
このような構成により、所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の後端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２３】
このような構成により、所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記後端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端分及び後端部分の実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２６】
前記第一の撮影ユニットによる前記前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記後端部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００２７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、一方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第一のウエハ支持体と、他方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第二のウエハ支持体とを備えたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２８】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報がれられる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報が得られる。一方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端端部分についての実形状情報から、一方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、他方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端部分についての実形状情報から、他方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２９】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。
【００３０】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００３１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。そして、その実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部のウエハ支持面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００３２】
前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実ウエハ支持面位置情報そのものであっても、前記実ウエハ支持面情報から得られる形状情報であってもよい。
【００３３】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各棚板部に対する実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００３４】
このような構成により、各棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つの棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００３５】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数の棚板部の所定部分を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数の棚板部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００３６】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、側壁に配列された複数の棚板部において所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数の棚板部のより広い範囲における各棚板部の実形状を検査できるようになる。
【００３７】
前記撮影領域移動手段による撮影領域の移動手法については特に限定されず、像を撮影装置に導くための光学系を切替えるものであっても、撮影装置と検査対象となるウエハ収納カセットとを相対的に移動させるものであってもよい。
【００３８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数の棚板部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００３９】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数の棚板部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数の棚板部の配列方向に移動する。
【００４０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００４１】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて側壁に形成された複数の棚板部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００４２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数の棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００４３】
このような構成により、所定数の棚板部の所定部位を含む撮影領域が棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られる棚板部も存在しうる。そのように各棚板部について得られた実形状情報に基づいて前記複数の棚板部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００４４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも前記各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００４５】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。その結果、前記複数の棚板部全てについて実ウエハ支持面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数の棚板部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００４６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハの端部を支持するＶ溝支持部が背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数のＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４７】
このような構成により、背面壁に配列される複数のＶ溝支持部における所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００４８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影されるべき前記所定部位を隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４９】
このような構成により、隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つのＶ溝支持部の各棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００５０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記ウエハ収納カセットの前部開口面に対向して設置された前記撮影装置に導く光学系を有し、前記撮影装置が前記支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５１】
このような構成により、ウエハ収納カセットの前部開口面に対向した撮影装置に向けて開放する溝部を有する各Ｖ溝支持部の側端部分の像が光学系により撮影装置に導かれ、撮影装置が各Ｖ溝支持部の側端部分を撮影する。そのため、各Ｖ溝支持部の側端部分の実形状を表す実形状が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記光学系が、前記所定数のＶ溝支持部の両側端部分の像を前記映像装置に導くように設定された構成とすることができる。
【００５３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の両側端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の両側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００５４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、更に、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００５５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号に表される画像に基づいて背面壁に形成された所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部についての実形状情報と各Ｖ溝支持部についての実形状情報とに基づいて各棚板部及び各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５６】
前記第一の撮影ユニットによる前記所定数の棚板部の前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記所定数のＶ溝支持部の所定部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００５７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く光学系を有し、前記第二の撮影ユニットが前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５８】
このような構成により、第二の撮影ユニットにて所定数のＶ溝支持部の側端部分が撮影され、それにより得られた画像上形状情報から実形状情報が生成される。前記各棚板部の実形状とともに、各Ｖ溝支持部の側端部についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が一方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第一のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第二のウエハ支持体と、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が他方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第三のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁の前記第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間に垂直方向に配列されるように複数形成された第四のウエハ支持体とを有するウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置は、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第三のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００６０】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部（第一のウエハ支持体）の前端部分の実画像情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁における所定数のＶ溝支持部（第二のウエハ支持体）の所定部分の実形状情報が得られる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部（第三のウエハ支持体）の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁の第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間における所定数のＶ溝支持部（第四のウエハ支持体）の所定部分の実形状情報が得られる。前記一方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報と前記他方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報から、両側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、背面壁における各Ｖ溝支持部の所定部分についての実形状情報から各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６１】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。また、ウエハ収納カセットの背面壁においてＶ溝支持部が垂直方向に配列されてなる第二のウエハ支持体及び第四のウエハ支持体それぞれの所定部分を照らす第二の撮影ユニット及び第四の撮影ユニットにおける各光源は、共通化することも別体とすることもできる。
【００６２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く第一の光学系と、前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第四の撮影ユニットのカメラに導く第二の光学系とを有し、前記第二の撮影ユニットが前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影すると共に、前記第四の撮影ユニットが前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００６３】
このような構成により、第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第二の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第二のウエハ支持体における各Ｖ溝支持体の側端部分についての実形状情報が得られ、また、第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第四の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第四のウエハ支持体における各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報が得られる。これら各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形形状情報により、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実溝位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６５】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画面上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線一情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。そして、その実溝線位置に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各Ｖ溝支持部の溝線の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６６】
前記実溝線位置情報に基づいた実形状情報は、前記実溝線位置情報そのものであっても、前記実溝線位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００６７】
また、本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６８】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部の上面位置を表す画面上棚板面位置情報が生成され、その画面上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。そして、その実棚板面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部の上面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６９】
前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実棚板面位置情報そのものであっても、前記実棚板面位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００７０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における溝部の溝線に対する実溝位置情報に基づいて前記溝線の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７１】
このような構成により、各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔を表わす実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部で形成されるスロットのピッチを検査することができるようになる。
【００７２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における棚板部に対する実棚板面位置情報に基づいて前記棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部の棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００７４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００７５】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、背面壁に配列された複数のＶ溝支持部において所定数のＶ溝支持部の所定部位の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部のより広い範囲における各Ｖ溝支持部の実形状を検査できるようになる。
【００７６】
前記撮影領域移動手段による撮影領域に移動手法については特に限定されず、撮影装置を移動させても、検査対象となるウエハ収納カセットを移動させても、更に、撮影装置に各Ｖ溝支持部の所定部分の像を導く光学系を切替えるようにしてもよい。
【００７７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００７８】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動する。
【００７９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００８０】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて背面壁に形成された複数のＶ溝支持部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００８１】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００８２】
このような構成により、所定数のＶ溝支持部の所定部位を含む撮影領域がＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られるＶ溝支持部も存在しうる。そのように各Ｖ溝支持部について得られた実形状情報に基づいて前記複数のＶ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００８３】
本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各溝線の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８４】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線位置情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実溝線位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部における溝線の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このよう情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８６】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報が生成され、その画像上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実棚板面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８７】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットから出力させる検査結果出力制御手段を有し、前記検査結果出力制御手段が、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報を前記検査結果として前記出力ユニットから出力させるようにした構成とすることができる。
【００８８】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が検査結果として出力ユニットから出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットから出力された実形状情報に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を容易に判断することができるようになる。
【００８９】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットに出力させる検査結果出力制御手段と、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定を行う形状判定手段とを有し、前記検査結果出力制御手段が、前記形状判定手段での判定結果を前記検査結果として前記出力ユニットに出力させるようにした構成とすることができる。
【００９０】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定結果が検査結果として出力ユニットに出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットにより出力された判定結果に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を直接的に判断することができるようになる。
【００９１】
前記各出力ユニットは、検査員に実形状情報を可視的に出力するもの（例えば、表示ユニット、プリンタユニット等）であっても、その実形状情報を他のシステム（ウエハ収納カセットの搬送システム、検査結果集計システムなど）に出力するものであってもよい。
【００９２】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材に対向して設けられ、前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画処理手段にて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有する構成となる。
【００９３】
このような構成により、ウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記ハンドリング部材の実際の外形形状の適否を判定することができるようになる。
【００９４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセットの前部開口面と対向して設けられた撮影装置が前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影する撮影ステップと、前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状生成ステップとを有する構成となる。
【００９５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記画像処理ステップが、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、前記形状情報生成ステップが、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成する構成とすることができる。
【００９６】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記実形状情報ステップにて用いられる変換情報を取得する変換情報取得ステップを有し、前記変換情報取得ステップが、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有する構成とすることができる。
【００９７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００９８】
本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１に示すように構成される。
【００９９】
図１において、このウエハ収納カセット１０は、半導体製造工程においてウエハを搬送するために用いられるものであって、前部に開口面を有した箱体（例えば、樹脂製）となっている。ウエハ収納カセット１０の内部において、一方の側壁（左側壁）１１には左ウエハ支持体１３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）１２には右ウエハ支持体１３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された複数の棚板部を備えている。ウエハは、その周辺部が左ウエハ支持体１３Ｌの棚板部及びそれと同じ高さに位置する右ウエハ支持体１３Ｒの棚板部にて支えられた状態でウエハ収納カセット１０に収納される。
【０１００】
ウエハ収納カセット１０の上面には、搬送ロボットにより把持されるハンドリング部材１５（ハンドリングフランジ）が備えられている。半導体製造工程において搬送ロボットがこのハンドリング部材１５を把持してウエハ収納カセット１０を搬送する。ハンドリング部材１５は、矩形形状をしており、所定の位置に切り欠きが形成されている。
【０１０１】
左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分（ウエハ収納カセット１０の前部開口面側）は図２に示すように構成され、また、各棚板部の後端部分（ウエハ収納カセット１０の奥側）は図３に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部１３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部１３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬｋが形成される。そして、そのウエハ周辺部が棚板部１３１（ｋ）の上面（ウエハ支持面）にて支えられるようになっている。なお、各棚板部の前端部分及び後端部分のウエハ支持面には突出部分が形成され、ウエハ表面と棚板部のウエハ支持面との接触面積がより小さくなるような構造となっている。
【０１０２】
前述したような構造のウエハ収納カセット１０を検査するための検査装置は、図４乃至図８に示すように構成されている。なお、図４乃至図８は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１０３】
図４において、検査装置１００は、検査台１０１、背面板１０２及び天板１０３を備えている。検査台１０１は、ウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。カセット設置台１１０には、ウエハ収納カセット１０の位置決め機構（図示略）が設けられており、ウエハ収納カセット１０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定の位置に設置されるようなになっている。
【０１０４】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０１（１）、第一の照明器２０２（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第二の照明器２０２（２）、第三のカメラユニット２０１（３）、第三の照明器２０２（３）、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）が設置されている。第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）と、第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）とは、ウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０１（３）及び第三の照明器２０２（３）と、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）とは、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの撮影に用いられる。
【０１０５】
天板１０３の所定部位には矩形状の測定窓が形成され、その測定窓に位置するように、カメラユニット２０３及び照明器２０６が設置されている。照明器２０６は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット１０の上面に設けられたハンドリング部材１５を照らし、カメラユニット２０３は、そのハンドリング部材１５を撮影する。
【０１０６】
撮影装置における第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）は、撮影台１２１上において図５に示すように配置される。第一のカメラユニット２０１（１）はレンズ部２０１ａ、コンバータ２０１ｂ及びカメラ本体２０１ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される。レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０１（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０１（１）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分（図３参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０２（１）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第一の照明器２０２（１）が第一のカメラユニット２０１（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット１０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０１（１）にて得られる左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン２０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１０７】
第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）は、図６に示すように配置される。この場合も、レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０１（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０１（２）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分（図２参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第二の照明器２０２（２）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第二の照明器２０２（２）が第二のカメラユニット２０１（２）の撮影領域を照らすように配置される。
【０１０８】
第三のカメラユニット２０１（３）は、第二のカメラユニット２０１（２）と同様にして（図６参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０２（３）は、第二の照明器２０２（２）と同様にして（図６参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０１（４）は、第一のカメラユニット２０１（１）と同様にして（図５参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を撮影できるように配置され、第四の照明器２０２（４）は、第一の照明器２０２（１）と同様にして（図５参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を照らすように配置される。
【０１０９】
前述したように配置される各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）の撮影領域Ｅｋは、図１４及び図１５に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）が含まれるように、即ち、それら棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）で形成されるスロットＳＬｋ（図２、図３参照）が含まれるように設定される。
【０１１０】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）が設置される撮影台１２１は、図７に示すように、検査台１０１（図４参照）内に設置されたリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２の先端に固定されている。このリフタ装置１２０によって撮影装置が垂直方向に移動され、その撮影装置の撮影領域を垂直方向に順次移動させることができるようになっている。なお、撮影台１２１に設置される撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の周りには、カセット設置台１１０に対向した面に開口を有する透明の保護板１０５が設けられている。
【０１１１】
また、撮影台１２１に対向し、検査対象となるウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０の所定位置には、図８に示すように、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄが埋設されている。これらの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄは、ウエハ収納カセット１０の底板の対応する位置に設けられるべきパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｄの有無を光学的に検出する。即ち、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄにより、４つのパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの有無により表される４ビッドの情報の読取りがなされる。この４ビットの情報によりウエハ収納カセット１０に関する種々の情報を表し得る。
【０１１２】
検査装置における処理系は、図９に示すように構成される。図９において、この処理系は、処理ユニット３００、入力ユニット３０１（キーボード等）、表示ユニット３０２及び駆動制御回路３０３を有する。処理ユニット３００は、撮影台１２１に設置された各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）からの画像信号を処理して検査対象となるウエハ収納カセット１０の左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状を表す実形状データ（例えば、位置、距離等を表す）を生成する。また、処理ユニット３００は、天板１０３に設置されたカメラユニット２０３からの画像信号を処理してウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を表す実形状データを生成する。更に、処理ユニット３００は、リフタ装置１２０の駆動制御を行う駆動制御回路３０３に対して所定の制御情報を供給する。
【０１１３】
処理ユニット３００は、前述したように生成した実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定し、その良否判定結果を出力する。そして、処理ユニット３００は、前述したように生成された左ウエハ支持体１３Ｌ、右ウエハ支持体１３Ｒ及びハンドリング部材１５についての実形状情報及びそれらの実形状情報に基づいた良否判定結果を表示ユニット３０２に表示させる。
【０１１４】
また、処理ユニット３００は、カセット設置台１１０に備えられた４つの光学センサ１１５ａ〜１１５ｄからの出力信号に基づいてウエハ収納カセット１０についての所定の情報を取得する。
【０１１５】
駆動制御回路３０３は、制御ユニット３００の制御のもと、リフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５をそのモータ１２５に対して設けられたセンサ１２６からの出力に基づいて駆動制御する。この駆動制御回路３０３は、図１０に示すように構成される。
【０１１６】
図１０において、この駆動制御回路３０３は、位置制御部３０３１、モータ駆動部３０３２、位置情報設定部３０３３、位置検出部３０３４及び比較部３０３５を有する。位置制御部３０３１は、処理ユニット３００から供給される位置指令情報に基づいてリフタ装置１２０の目標駆動量に対応する目標位置情報を出力すると共に駆動制御信号を出力する。モータ駆動部３０３２は、位置制御部３０３１からの駆動制御信号に基づいてリフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５に対して駆動パルス信号を出力する。位置情報設定部３０３３は、位置制御部３０３１から出力される目標位置情報を取得して保持する。位置検出部３０３４は、センサ１２６からのモータ１２５の実際の駆動量に対応した検出位置情報（例えば、モータ１２５の駆動量に対応したパルス数）を取得する。比較部３０３５は、位置情報設定部３０３３に設定された目標位置情報と位置検出部３０３４にて取得される検出位置情報とを比較し、その比較結果を位置制御部３０３１に供給する。位置制御部３０３１は、比較部３０３４からの比較結果に基づいて駆動制御信号の出力制御を行う。そして、前記目標位置情報と前記検出位置情報とが一致すると、位置制御部３０３１は、その際の比較部３０３４での比較結果に基づいて駆動制御信号の出力を停止する。その結果、リフタ装置１２０のモータ１２５が停止する。
【０１１７】
前述したように構成される駆動制御回路３０３により、モータ１２５が前記目標駆動量（位置指令情報に対応）だけ駆動される。このように駆動制御されるモータ１２５によってリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２（図７参照）がその目標駆動量ずつ最下位位置から順次上方に移動される。例えば、その目標駆動量が左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおける隣接する棚板部の間隔に対応した量（スロットピッチ）に設定されると、リフタ装置１２０により撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の撮影領域Ｅｋがそのスロットピッチずつ移動することとなる。
【０１１８】
処理ユニット３００は、図１１乃至図１３に示す手順に従って処理を行う。なお、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）から得られる画像信号に対する処理は同じであるので、以下、各カメラユニット２００（１）〜２００（４）を撮影装置と総称して説明する。
【０１１９】
まず、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状が既知となる基準ウエハ収納ケース（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置される。この状態で、入力ユニット３０１においてキャリブレーションモードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、まず、図１１に示す手順に従って処理を実行する。なお、前記既知となる実形状は、所定の絶対座標系（Ｘ−Ｙ）におけるＹ座標値及びＸ座標値（実形状データ）で表される。具体的には、図１５に示すように、各棚板部（１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）等）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のＹ座標値（Ｙｋ、Ｙｋ＋１等）、及び各棚板部の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のＸ座標値（Ｘｋ、Ｘｋ＋１等）で実形状が表される。
【０１２０】
図１１において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１）後、撮影装置が撮影領域Ｅｋ（Ｅ１）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、最下位の棚板部１３１（１）とそれに隣接する棚板部１３２（２）を含む（スロットＳＬ１を含む）撮影領域Ｅ１が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ１を撮影する撮影装置からの画像信号を画素単位の画像データに変換して所定のメモリに格納する（Ｓ３）。その後、処理ユニット３００は、内部カウンタｋがＮ−１に達したか否かを判定する（Ｓ４）。なお、Ｎは、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおける棚板部の総数である。
【０１２１】
内部カウンタｋがＮ−１に達していなければ（Ｓ４でＮＯ）、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを＋１だけインクリメントして（Ｓ５）、撮影装置が次の撮影領域Ｅｋ（Ｅ２）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、棚板部１３１（２）とそれに隣接する棚板部１３１（３）を含む（スロットＳＬ２を含む）撮影領域Ｅ２が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ２を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データを所定のメモリに格納する（Ｓ３）。
【０１２２】
以下、同様にして、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅｋがスロットピッチずつ移動するように撮影装置を移動させ、各撮影領域Ｅｋにて得られる画像データを順次所定のメモリに格納する（Ｓ２〜Ｓ５）。この過程で、内部カウンタｋがＮ−１に達すると、図１４に示すように、棚板部１３１（Ｎ−１）とそれに隣接する最上位の棚板部１３１（Ｎ）を含む（スロットＳＬＮ−１を含む）撮影領域ＥＮ−１を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データが所定のメモリに格納される（Ｓ２、Ｓ３）。そして、内部カウンタｋがＮ−１に達したのとの判定により（Ｓ４でＹＥＳ）、処理ユニット３００は、一連の処理を終了させる。
【０１２３】
以上のような処理により、基準ウエハ収納カセットにおける左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）（ｋ＝１、２、・・・、Ｎ−１）を表すＮ−１個の画像データが処理ユニット３００に取り込まれる。
【０１２４】
次いで、処理ユニット３００は、図１２に示す手順に従った処理を実行する。図１２において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１１）後に、以下の処理（Ｓ１２〜Ｓ１５）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ１６）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で処理を終了させる。まず、前述したように取り込まれたＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ１２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する棚板部１３１（ｋ）、棚板部１３１（ｋ＋１）の画像上での形状を特定する画像上形状データが生成される（Ｓ１３）。具体的には、図１５に示すように、画像上の画素位置を特定するための座標系（以下、画素座標系という）ｘ−ｙにおいて、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のｙ座標値（ｙｋ、ｙｋ＋１）と、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のｘ座標値（ｘｋ、ｘｋ＋１）とが画像上形状データとして生成される。
【０１２５】
このようにして画像上形状データが得られると、その画像上形状データ（ｙｋ、ｙｋ＋１、ｘｋ、ｘｋ＋１）と既知となる実形状を表す前記実形状データ（Ｙｋ、Ｙｋ＋１、Ｘｋ、Ｘｋ＋１）との相関を表す相関データａ、ｂ、ｃ、ｄが下式に従って演算され、ｋ番目の画像（撮影領域Ｅｋの画像）に対する相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ１４）。
Ｘｋ＝ａ・ｘｋ＋ｂ・・・（１）
Ｙｋ＝ｃ・ｙｋ＋ｄ・・・（２）
Ｘｋ＋１＝ａ・ｘｋ＋１＋ｂ・・・（３）
Ｙｋ＋１＝ｃ・ｙｋ＋１＋ｄ・・・（４）
【０１２６】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ１２〜Ｓ１４）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて前記相関データが得られると（Ｓ１５でＹＥＳ）、一連処理を終了させる。このようなキャリブレーションモードでの処理が終了すると、各撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）_ｋが処理ユニット３００に保存されることになる。
【０１２７】
次に、検査対象となるウエハ収納カセット１０がカセット設置台１１０に設置され、入力ユニット１１０において検査モードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、図１１及び図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１１に示す処理では、基準ウエハ収納カセットの場合と同様に、リフタ装置１２０の制御によって撮影装置の撮影領域Ｅｋが順次上昇移動される。そして、その過程で隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む各撮影領域Ｅｋについての画像データが処理ユニット３００に蓄積される。
【０１２８】
次いで、処理ユニット３００は、図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１３において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ２１）後に、以下の処理（Ｓ２２〜Ｓ２６）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ２７）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で、次のステップＳ２８に進む。まず、前述したように取り込んだＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ２２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（図１５における▽参照）の画素座標系ｘ−ｙ上でのｙ座標値ｙｋ、ｙｋ＋１が画像上ウエハ支持面位置データとして計測される（Ｓ２３）。
【０１２９】
このようにして隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）についての画像上ウエハ支持面位置データ（ｙｋ、ｙｋ＋１）の計測が終了すると、当該画像データ（撮影領域Ｅｋの画像）に対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）_ｋのｃ、ｄを用いて前記式（２）、（４）に従って、画像上ウエハ支持面位置データ（ｙｋ、ｙｋ＋１）が所定の絶対座標系Ｘ−Ｙ上でのＹ座標値Ｙｋ、Ｙｋ＋１に変換される（Ｓ２４）。そして、このＹ座標値Ｙｋ、Ｙｋ＋１が各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の実位置を表す実ウエハ支持面位置データとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ２５）。
【０１３０】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ２２〜Ｓ２５）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて実ウエハ支持面位置データ（Ｙｋ、Ｙｋ＋１）が得られると（Ｓ２６でＹＥＳ）、保存された実ウエハ支持面位置データ（Ｙｋ、Ｙｋ＋１）を用いて、図１４に示されるような隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の間隔ΔＹｋ＋１（各棚板部の間隔）を
ΔＹｋ＋１＝Ｙｋ＋１−Ｙｋ・・・（５）
に従って演算する（Ｓ２８）。
【０１３１】
なお、図１４に示すように、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む撮影領域Ｅｋがスロットピッチずつ移動することから、２番目の棚板部１３１（２）からＮ−１番目の棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについては画像上ウエハ支持面位置データｙｋが２つずつ得られる。これに対応して、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについて実ウエハ支持面位置データＹｋも２つずつ得られる。従って、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）については、それら２つの実ウエハ支持面データＹｋの平均値を用いてウエハ支持面の間隔ΔＹｋ＋１が演算される（式（５）参照）。
【０１３２】
次いで、処理ユニット３００は、全ての棚板部について隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹｋ＋１が得られると、それらの総和ΣΔＹｋを演算する（Ｓ２９）。
【０１３３】
前述した処理は、第一のカメラユニット２００（１）、第二のカメラユニット２００（２）、第三のカメラユニット２００（３）及び第四のカメラユニット２００（４）からの画像信号のそれぞれに対して実行される。従って、前述した処理の結果、図１６に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られ、また、左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られる。更に、右ウエハ支持体１３Ｒについても同様に、前端部分及び後端部分のそれぞれの画像から、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１、ＤＺ１と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＣＺ２６、ＤＺ２６とが得られる。なお、図１６に示す例では、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒがそれぞれ２５個（Ｎ＝２５）の棚板部を有する構造となっている。
【０１３４】
前述したように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹｋ）が得られると、処理ユニット３００は、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定する（Ｓ３０）。この良否判定は、前記実形状データが所定の条件を満足するか否かに基づいてなされる。例えば、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔は全て所定の範囲内にあるか否か、前記間隔の総和は所定の範囲内にあるか否か、左ウエハ支持体１３Ｌの前後部分及び右ウエハ支持体１３Ｒの前後部分について得られた４つの前記間隔の総和の差分が所定範囲内となっているか否か等の判定がなされる。なお、この判定の項目及びその基準は、ウエハ収納カセット１０の形状的な要求などに基づいて適宜定めることができる。
【０１３５】
前記良否判定の処理が終了すると、処理ユニット３００は、検査結果を表示ユニット３０２に供給し（Ｓ３１）、その検査結果が表示ユニット３０２に表示される。この検査結果は、検査対象となるウエハ収納カセット１０についての良否判定結果、前記判定の項目それぞれの判定結果、及び図１６に示す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹｋ）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニット３０２に表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、処理ユニット３００は、検査モードでの一連の処理を終了する。
【０１３６】
なお、前述した例では、撮影領域Ｅｋをスロットピッチずつ移動させ、その過程で得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしているが、その撮影領域Ｅｋの移動ピッチは任意に定めることができる。例えば、簡易な検査でよければ、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの下方所定部位、中間所定部位、上方所定部位の３箇所を撮影できるように撮影領域を移動させ、各部位に設定された撮影領域から得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしてもよい。また、各撮影領域Ｅｋは、連続して配列される３以上の棚板部が含まれるように設定することも、単一の棚板部だけが含まれるように設定することもできる。
【０１３７】
更に、撮影する部位は、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの前後部分の４箇所に限られることはない。各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒそれぞれの前端部分だけを後端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１３８】
また、前記例では、全ての隣接する２つの棚板部の組について基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成するようにしたが、一部の隣接する２つの棚板部の組についてのみ基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成し、他の隣接する２つの棚板部の組については、補間処理によってその相関データを生成するようにしてもよい。更に、各カメラユニットの画面に絶対座標系での位置が既知となる基準点と基準ピッチとを表すスケールを写し込むようにしてもよい。この場合、その基準点の絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値（Ｘ，Ｙ）及びその基準ピッチの絶対座標系Ｘ−Ｙ上での距離と、画素座標系ｘ−ｙで表される画像上形状データ（ｘ、ｙ）との関係に基づいて当該画像上形状データを実形状データに変換することもできる。
【０１３９】
更に、また、前述した例では、絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値と画素座標系ｘ−ｙにおけるｘ座標値との相関関係を表す相関データａ、ｂを求めたが、実際には縦方向（Ｙ方向）の形状しか検査をしないことから、実形状データとしては、Ｙ座標値しか用いていない。このため、前記相関データａ、ｂは特に求めなくてもよい。しかし、実形状データとして絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値を用いる場合には、前述した例のように、前記相関データａ、ｂを求める必要がある。
【０１４０】
処理ユニット３００は、所定のタイミング、例えば、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査に先立って、ウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を検査する。具体的には、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理が行われる。キャリブレーションモードでの処理では、ハンドリング部材の実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）が既知となる基準ウエハ収納カセットの当該ハンドリング部材がカメラユニット２０３にて撮影され、そのカメラユニット２０３からから出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）と前記既知となる実形状データとの関係から相関データが演算される（図１２参照）。
【０１４１】
検査モードの処理では、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査の場合と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５がカメラユニット２０３によって撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）を前記相関データに従って実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）に変換する。ハンドリング部材１５の前記所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値に基づいて、例えば、図１７に示すように、ハンドリング部材１５の横辺及び縦辺の長さＨＦ３、ＨＦ５、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端との距離ＨＦ１、前記下横辺とノッチ部１５ａとの距離ＨＦ２、左縦辺とノッチ部１５ｂとの距離ＨＦ４、上横辺に形成された２つのノッチ部１５ｃ、１５ｄとの間隔ＨＦ６、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端縁線とのなす角度θａ等が更に実形状データとして計測される。
【０１４２】
前述したように得られた実形状データが所定の基準を満たすか否かの判定結果に基づいてウエハ収納カセット１０の良否の判定がなされる。前記実形状データ及び良否の判定結果の少なくとも一方が表示ユニット３０２に表示される。この表示ユニット３０２の表示内容に基づいてオペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状の良否を判定することができる。
【０１４３】
次に、本発明の第二の実施の形態に係るウエハ収納カセットの検査装置について説明する。この第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１８に示すように構成される。
【０１４４】
図１８において、このウエハ収納カセット５０は、ウエハを他の作業場等に運送するために用いられるものであり、前部に開口面を有した箱体となっている。ウエハ収納カセット５０の内部において、一方の側壁（左側壁）５１には左ウエハ支持体５３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）５２には右ウエハ支持体５３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された棚板部を複数備えている。
【０１４５】
また、背面壁５５には、左背面ウエハ支持体５４Ｌと、この左背面ウエハ支持体５４Ｌと右側壁５２との間に位置する右背面上は支持体５４Ｒが形成されている。左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔を持って配列された後述するような構造となる複数のＶ溝支持部を備えている。
【０１４６】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分は図１９に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部５３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部５３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬｋが形成される。そして、ウエハ周辺部が棚板部５３１（ｋ）のウエハ支持面（上面）にて支えられるようになっている。
【０１４７】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは図２０に示すように構成される。図２０において、ｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）は、左右端に位置するＶ字形状の第一の溝部５４２ａ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）と、第一の溝部５４２ａ（ｋ）の下端から張出す第一の棚板部５４１ａ（ｋ）と、第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の下端から張出す第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）とを備えた構造となっている。そして、第一の溝部５４２ａの溝線５４３ａ（ｋ）と第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）とは同じ高さに位置すると共に、第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面と第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面とは同じ高さに位置するように設計されている。隣接するｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）とｋ＋１番目のＶ溝支持部５４０（ｋ＋１）の棚板部５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）との間にウエハ周端部が挿入されるべきスロットＳＬｋが形成される。
【０１４８】
ウエハ収納カセット５０は、ウエハ周辺部が左ウエハ支持体５３Ｌの棚板部５３１（ｋ）及びそれと対応した位置となる右ウエハ支持体５３Ｒの棚板部５３１（ｋ）に支えられると共に、その周端部が前記各棚板部５３１（ｋ）と対応した位置となる左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４ＲそれぞれのＶ溝支持部５４０（ｋ）に支持された状態でウエハを収納する。そして、ウエハ収納カセット５０の前部開口面を蓋体（図示略）で閉じると、ウエハ端部が蓋体にて僅に押され、ウエハの逆端がＶ溝支持部５４０（ｋ）における溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）に押さえつけられるようになり、当該ウエハのウエハ収納カセット５０内でのがたつきが防止される。
【０１４９】
前述したような構造のウエハ収納カセット５０を検査するための検査装置は、図２１乃至図２３に示すように構成される。なお、図２１乃至図２３は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１５０】
図２１において、検査装置１００は、検査台１０１、側板１０６、１０７及び背面板１０８を備えている。検査台１０１は、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。また、カセット設置台１１０には、第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の位置決め機構が設けられており、ウエハ収納カセット５０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定位置に設置されるようになっている。
【０１５１】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０４（１）、第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）及び第四のカメラユニット２０４（４）の四台のカメラユニットと、第一の照明器２０５（１）、第二の照明器２０５（２）及び第三の照明器２０５（３）の３台の照明器とが設置されている。第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、ウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの撮影に用いられ、第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における左背面ウエハ支持体５４Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０４（３）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における右背面ウエハ支持体５４Ｒの撮影に用いられ、第四のカメラユニット２０４（４）及び第三の照明器２０５（３）は、右ウエハ支持体５３Ｒの撮影に用いられる。
【０１５２】
検査台１０１には、一端が検査台１０１に固定され、他端にミラー１５２ａ、１５２ｂが固定設置された板体１５１が設けられている。この板体１５１は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット５０の底板との間に所定の隙間をもってカセット収納カセット５０内に延びており、２つのミラー１５２ａ、１５２ｂがウエハ収納カセット５０の背面壁５５近傍に位置するようになっている。ミラー１５２ａは、後述するように、左背面ウエハ支持体５４Ｌの側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くようにその向きが設定されている。また、ミラー１５２ｂは、右背面ウエハ支持体５４Ｒの側端部分の像を第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにその向きが設定されている。
【０１５３】
撮影装置における第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、撮影台１２１上において図２２に示すように配置される。レンズ部２０４ａ、コンバータ２０４ｂ及びカメラ本体２０４ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される第一のカメラユニット２０４（１）のレンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０４（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０４（１）がウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分（図１９参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるに配置される。また、第一の照明器２０５（１）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の角度の調整（ウエハ収納カセット５０の中心軸に略平行）等により、第一の照明器２０５（１）が第一のカメラユニット２０４（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０４（１）にて得られる左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストが明瞭にするためのスクリーン６０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１５４】
第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、図２３に示すように配置される。レンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０４（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０４（２）がミラー１５２ａに映し出される像を撮影できるように配置される。ミラー１５２ａは、その角度α及び左背面ウエハ支持体５４Ｌとの距離ｍが第二のカメラユニット２０４（２）の前記位置及び向きの調整に対応して調整され、左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分（図２０に示す各Ｖ溝支持部における第一の棚板部５４１ａ（ｋ）及び第一の溝部５４２ａ（ｋ）側の部分と、第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）側の部分）の所定範囲（計測部）の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くように配置される。また、第二の照明器２０５（２）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の調整等により、第二の照明器２０５（２）がミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の側方の所定位置には第二のカメラユニット２０４（２）にて得られる左背面上は支持体５４Ｌの両側端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン６１（例えば、黒系の色）が配置される。
【０１５５】
第三のカメラユニット２０４（３）及びミラー１５２ｂは、第二のカメラユニット２０４（２）及びミラー１５２ｂと同様にして（図２３参照）、右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分の所定範囲を撮影できるようにそれぞれ配置される。第二の照明器２０５（２）は、前述したようにミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすと共に、ミラー１５２ａと同様にミラー１５２ｂが映し出す右背面ウエハ支持体５４Ｒの所定範囲を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０４（４）は、第一のカメラユニット２０４（１）と同様にして（図２２参照）、ウエハ収納カセット５０における右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０５（３）は、第一の照明器２０５（１）と同様にして（図２２参照）、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を照らすように配置される。
【０１５６】
前述したように配置される第一のカメラユニット２０４（１）及び第四のカメラユニット２０４（４）の撮影領域Ｅｋは、前記第一の実施の形態における第一のカメラユニット２０１（１）及び第四のカメラユニット２０１（４）と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部５３１（ｋ）、５３１（ｋ＋１）が含まれるように設定される（図１４及び図１５参照）。また、前述したように配置される第二のカメラユニット２０４（２）及び第三のカメラユニット２０４（３）の撮影領域Ｅｋは、図２４に示すように、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれにおいて隣接するＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の両側端部分が含まれるように設定される。
【０１５７】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）等）が設置される撮影台１２１は、前記第一の実施の形態と同様に、リフタ装置１２０により昇降可能となっている（図７参照）。また、カセット設置台１１０の所定位置には、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の底板に設けられた複数のパッドの有無を光学的に検出するための複数の光学センサが埋設されている（図８参照）。更に、検査装置における処理系は、前記第一の実施の形態と同様に、図９及び図１０に示すように構成される。
【０１５８】
前述したような構成となる第二の実施の形態に係る検査装置は、前記第一の実施の形態と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理により、ウエハ収納カセット５０の左ウエハ支持体５３Ｌ、右ウエハ支持体５３Ｒ、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの実形状を検査する。
【０１５９】
まず、基準ウエハ収納カセット（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置され、第一の実施の形態と同様に、図１１及び図１２に示す手順に従ってキャリブレーションモードでの処理が実行される。このキャリブレーションモードでの処理では、各撮影領域Ｅｋでの画像を表す画像データに基いて相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋが生成される（前記式（１）〜（４）参照）。基準ウエハ収納カセットは、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒの各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値（図１５参照）が実形状データとして既知となる。また、図２０に示す左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの各Ｖ溝支持部（５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）等）の各棚板部（５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）等）の上面の所定ポイント及び各溝部（５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）、５４２ｂ（ｋ＋１）等）の溝線（５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）等）の絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値が実形状データとして既知となる。
【０１６０】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅｋ（図１５参照）に対して一組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋが生成される。また、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、図２４に示すような各撮影領域Ｅｋに対して、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）の計４組の相関データが生成される。これは、カメラユニットにて撮影される部位に対する視差に応じて画像上の形状と実際の形状との相関関係が異なることから、その視差（Ｘ軸方向の位置）に応じてより適した相関データを得るためである。
【０１６１】
前記キャリブレーションモードでの処理が終了すると、検査対象となるウエハ収納カセット５０がカセット設置台１１０に設置され、検査モードでの処理が図１１及び図１３に示す手順に従って実行される。この検査モードでの処理は、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅｋから得られた画像データに基づいて各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙｋ，ｙｋ＋１）が画像上形状データとして得られる。そして、そのｙ座標値（ｙｋ，ｙｋ＋１）が当該撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋにおけるｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙｋ、Ｙｋ＋１）に変換される（前記式（２）、（４）参照）。このＹ座標値（Ｙｋ、Ｙｋ＋１）が実形状データとして得られる。また、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹｋ＋１（前記式（５）参照）及びそれら間隔の総和ΣΔＹｋが実形状データとして算出される。
【０１６２】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、各撮影領域Ｅｋ（図２４参照）から得られた画像データに基づいて、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各棚板部５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）、５４２ｂ（ｋ＋１）の上面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙａｋ、ｙｂｋ、ｙａｋ＋１、ｙｂｋ＋１）が画像上形状データとして得られる。また、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）の画素座標系ｘ−ｙでのｙ座標値（ｙａｖｋ，ｙｂｖｋ、ｙａｖｋ＋１、ｙｂｖｋ＋１）が画像上形状データとして得られる。そして、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙａｋ、ｙａｋ＋１）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙｂｋ、ｙｂｋ＋１）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙａｖｋ、ｙａｖｋ＋１）、及び隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙｂｖｋ、ｙｂｖｋ＋１）のそれぞれが対応する相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）のｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙａｋ、Ｙａｋ＋１）、（Ｙｂｋ、Ｙｂｋ＋１）、（Ｙａｖｋ、Ｙａｖｋ＋１）、（Ｙｂｖｋ、Ｙｂｖｋ＋１）に変換され（前記式（２）、（４）参照）、これらのＹ座標値（Ｙａｋ、Ｙａｋ＋１）、（Ｙｂｋ、Ｙｂｋ＋１）、（Ｙａｖｋ、Ｙａｖｋ＋１）、（Ｙｂｖｋ、Ｙｂｖｋ＋１）が実形状データとして得られる。
【０１６３】
更に、例えば、各第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙａｋと対応する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙｂｋとの平均値がＶ溝支持部５４０の棚板部の上面のＹ座標値Ｙｋとして演算され、各第一の溝部５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）のＹ座標値Ｙａｖｋと対応する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）のＹ座標値Ｙｂｖｋとの平均値がＶ溝支持部５４０の溝線のＹ座標値Ｙｖｋとして演算される。また、更に、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記棚板部のＹ座標値（Ｙｋ、Ｙｋ＋１）に基づいて棚板部の間隔ΔＹｋ＋１（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹｋが算出され、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記溝線のＹ座標値（Ｙｖｋ、Ｙｖｋ＋１）に基づいて溝線の間隔ΔＹｖｋ＋１（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹｖｋが算出される。
【０１６４】
前述した処理の結果、図２５に示すように、前記第一の実施の形態と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られ、また、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＤＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＤＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られる。更に、左背面ウエハ支持体５４Ｌの画像から、隣接する２つＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５（ΔＹｖｋ）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＥＺ１と、各間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５の総和ＥＺ２６（ΣΔＹｖｋ）とが得られる。また、右背面ウエハ支持体５４Ｒの画像から、前記と同様に、隣接する２つＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＣＢＺ２〜ＣＺ２５（ΔＹｋ）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５の総和ＣＺ２６（ΣΔＹｋ）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５（ΔＹｖｋ）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＦＺ１と、各間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５の総和ＦＺ２６（ΣΔＹｖｋ）とが得られる。
【０１６５】
前述したように、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹｋ）、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについての各棚板部及び溝線の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹｋ，Ｙｖ１、ΔＹｖｋ，ΣΔＹｖｋ）が得られると、前記第一の実施の形態と同様に、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否判定がなされる。そして、この良否判定が終了すると、その検査結果が表示ユニットに表示される。この検査結果は、前記第一の実施の形態と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット５０についての良否判定結果、判定の項目それぞれの判定結果、及び図２５に示す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹｋ、Ｙｖ１、ΔＹｖｋ、ΣΔＹｖｋ）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニットに表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、検査モードでの一連の処理は終了する。
【０１６６】
なお、前記第二の実施の形態では、ミラー１５２ａ、１５２ｂにて左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持面５４Ｒの両側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにしているが、他の光学系（ミラー、レンズ、ファイバー等）によって前記像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにすることもできる。
【０１６７】
また、前記第二の形態では、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）にて撮影するようにしているが、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの一方の側端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１６８】
各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）の撮影領域Ｅｋは、図２４に示すものに限られず、前記第一の実施の形態において記載したように、適宜設定することができる。また、撮影領域Ｅｋの移動ピッチも、検査の目的（詳細検査、簡易検査等）に応じて適宜設定することができる。
【０１６９】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置及び方法によれば、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影し、その結果得られた前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を実形状情報に変換するようにしているので、その実形状情報に基づいてウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図２】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の前端部分の構造を示す図である。
【図３】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の後端部分の構造を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図５】図４に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置を示す図である。
【図６】図４に示す検査装置における第二のカメラユニット及び第二の照明器の配置を示す図である。
【図７】図４に示す検査装置が備えるリフタ装置を示す図である。
【図８】図４に示す検査装置におけるカセット設置台及び撮影台の状態を示す図である。
【図９】図４に示す検査装置における処理系の構成を示すブロック図である。
【図１０】図９に示す処理系における駆動制御回路の具体的な構成を示すブロック図である。
【図１１】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その１）を示すフローチャートである。
【図１２】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その２）を示すフローチャートである。
【図１３】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その３）を示すフローチャートである。
【図１４】ウエハ支持体の棚板部の構造と撮影領域との関係とを示す図である。
【図１５】撮影領域と隣接する２つの棚板部の計測ポイントとを示す図である。
【図１６】図４に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【図１７】ウエハ収納カセットの上面に設けられたハンドリング部材１５の具体的な形状を表す図である。
【図１８】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図１９】左右ウエハ支持体それぞれの前端部分の構造を示す図である。
【図２０】左右背面ウエハ支持体それぞれの構造を示す図である。
【図２１】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図２２】図２１に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置示す図である。
【図２３】図２１に示す検査装置における第二のカメラユニット、第二の照明器、及びミラーの配置を示す図である。
【図２４】左右背面ウエハ支持体それぞれについての撮影領域を示す図である。
【図２５】
図２１に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【符号の説明】
１０ウエハ収納カセット
１１左側壁
１２右側壁
１３Ｌ左ウエハ支持体
１３Ｒ右ウエハ支持体
１５ハンドリング部材
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄパッド
２０スクリーン
５０ウエハ収納カセット
５１左側壁
５２右側壁
５３Ｌ左ウエハ支持体
５３Ｒ右ウエハ支持体
５４Ｌ左背面ウエハ支持体
５４Ｒ右背面ウエハ支持体
５５背面
６０、６１スクリーン
１００検査装置
１０１検査台
１０２背面版
１０３天板
１０６、１０７側板
１０８背面板
１１０カセット設置台
１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄ光学センサ
１２０リフタ装置
１２１撮影台
１２２昇降シャフト
１２５モータ
１２６エンコーダ
１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）棚板部
１５１板体
１５２ａ、１５２ｂミラー
２０１（１）、２０４（１）第一のカメラユニット
２０１（２）、２０４（２）第二のカメラユニット
２０１（３）、２０４（３）第三のカメラユニット
２０１（４）、２０４（４）第四のカメラユニット
２０１ａ、２０４ａレンズ部
２０１ｂ、２０４ｂコンバータ
２０１ｃ、２０４ｃカメラ本体
２０２（１）、２０５（１）第一の照明器
２０２（２）、２０５（２）第二の照明器
２０２（３）、２０５（３）第三の照明器
２０２（４）第四の照明器
２０３カメラユニット
２０６照明器
３００処理ユニット
３０１入力ユニット
３０２表示ユニット
３０３駆動制御回路
３０３１周波数制御部
３０３２駆動パルス出力部
３０３３駆動パルスカウンタ
３０３４出力パルスカウンタ
３０３５比較器
５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）Ｖ溝支持部
５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）第一の棚板部
５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）第二の棚板部
５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）第一の溝部
５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）第二の溝部
５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）溝線[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection apparatus and method for inspecting an internal shape of a wafer storage cassette for aligning and storing wafers.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection apparatus for a wafer storage cassette used in a manufacturing process or a transport process of a semiconductor wafer (hereinafter, simply referred to as a wafer) has been proposed (see Patent Document 1). This conventional inspection apparatus for a wafer storage cassette has a pair of optical sensors installed at a height where a slit for storing a wafer of the wafer storage cassette should be located, and detects light by the pair of optical sensors. It is determined whether or not the slit is at a regular position based on the presence or absence. Further, this conventional inspection apparatus for a wafer storage cassette has a reflection type optical sensor installed at a position having a predetermined relationship with respect to the installation position of the wafer storage cassette, and detects whether or not light is detected by the optical sensor. It is determined whether or not the wafer storage cassette installed at the installation position has a distortion based on the above.
[0003]
Such a conventional wafer storage cassette inspection apparatus can determine the deformation and distortion of the wafer storage cassette with a simple structure.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-10-233427
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional inspection apparatus for a wafer storage cassette as described above, it is only determined whether or not a predetermined portion of the wafer storage cassette is at a position to be originally located based on the presence or absence of light detection by an optical sensor. Therefore, it is not possible to perform an accurate inspection such as how much the size of the predetermined portion deviates from the original size. In recent years, dimensional accuracy of the wafer storage cassette has become very important with the increase in the diameter of the wafer, and the conventional wafer storage cassette inspection apparatus as described above is sufficiently capable of responding to such a situation. You don't get it. For example, in the method of determining whether the slit of the wafer storage cassette is at a regular position based on the presence or absence of light detection by the pair of optical sensors, the quality of the wafer storage cassette is determined with a resolution smaller than the slit width. Cannot be determined.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problem, and provides an inspection apparatus and method for a wafer storage cassette that can inspect a wafer storage cassette with higher accuracy.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The wafer storage cassette inspection apparatus according to the present invention is provided with an installation table on which a wafer storage cassette to be inspected is installed, and a front opening surface of the wafer storage cassette installed on the installation table. A photographing device for photographing a predetermined portion inside the storage cassette and outputting an image signal, and a process of generating actual shape information representing an actual shape of the predetermined portion based on an image represented by an image signal from the photographing device A processing unit, wherein the processing unit is configured to generate on-image shape information representing a shape of the predetermined part on an image represented by the image signal, and the processing unit is provided by the image processing means. Real shape information generating means for generating the real shape information from the shape information on the image using predetermined conversion information.
[0008]
With such a configuration, on-image shape information representing the shape of the predetermined portion is first generated on an image represented by an image signal from a photographing device for photographing a predetermined portion inside the wafer storage cassette, and then the image Actual shape information representing the actual shape of the predetermined part is generated from the upper shape information using predetermined conversion information. Since the actual shape information indicating the actual shape of the predetermined portion inside the wafer storage cassette is generated in this manner, it is possible to determine whether the actual shape of the predetermined portion is appropriate based on the actual shape information.
[0009]
The predetermined conversion information is a reference for representing the shape of the object to be photographed represented on the image represented by the image signal from the photographing device, and for representing the shape of the object to be photographed installed on the installation table. Can be determined based on the relationship with the standard. The shape information on the image is not particularly limited as long as it is information on the shape of the predetermined portion, and is, for example, information such as a position and a distance. Further, the actual shape information is not particularly limited as long as it is information on the actual shape of the predetermined portion, and is, for example, information on a position, a distance, and the like.
[0010]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may generate on-image position information representing the position of the predetermined portion in the image coordinate system set on the image as the on-image shape information. So that
The real shape information generating means has coordinate conversion means for converting the position information on the image into real position information in a predetermined absolute coordinate system using the conversion information, and converts the real shape information based on the real position information. It can be configured to be generated.
[0011]
With such a configuration, on-image position information representing the position of a predetermined part imaged in the image coordinate system set on the image is generated, and the on-image position information is converted into actual position information in the predetermined absolute coordinate system. Is done. Then, actual shape information is generated based on the actual position information.
[0012]
The predetermined absolute coordinate system can be arbitrarily set as long as it can represent the actual shape of the wafer storage cassette installed on the installation table. Then, the conversion information may be determined as representing the relationship between the image coordinate system and the absolute coordinate system.
[0013]
The actual shape information based on the actual position information may be the actual position information itself or shape information obtained from the actual position information.
[0014]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the conversion information used by the actual shape information generating means is obtained from a reference wafer storage cassette whose actual shape information representing the shape of the predetermined portion is known. The configuration may be determined based on a relationship between the on-image shape information and the known actual shape information.
[0015]
With such a configuration, the actual shape of the predetermined portion of the wafer storage cassette to be inspected can be inspected based on the actual shape of the predetermined portion of the reference wafer storage cassette.
[0016]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention targets a plurality of wafer storage cassettes to be inspected such that shelf portions for supporting peripheral portions of wafers to be stored are arranged in a vertical direction on a side wall. The predetermined part to be imaged by the camera may be a predetermined part of a predetermined number of shelf boards.
[0017]
According to such a configuration, real shape information representing the real shape of a predetermined portion of a predetermined number of shelf boards in a plurality of shelf boards arranged on the side wall is obtained. From the actual shape information, the actual shape of each shelf can be inspected.
[0018]
The inspection device for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured such that the predetermined portion to be photographed by the photographing device is a predetermined portion of two adjacent shelf plates.
[0019]
With such a configuration, real shape information indicating the real shape of a predetermined portion of two adjacent shelf portions can be obtained. From the actual shape information, it is possible to inspect the actual shape of the slot formed by the two adjacent shelf portions.
[0020]
Furthermore, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured such that the photographing device photographs a front end portion of the predetermined number of shelf boards as the predetermined portion.
[0021]
With such a configuration, real shape information representing the real shape of the front end portion of the predetermined number of shelf portions can be obtained. The actual shape of each shelf can be inspected from the actual shape information on the front end portion of each shelf.
[0022]
Further, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured so that the photographing device photographs a rear end portion of the predetermined number of shelf boards as the predetermined portion.
[0023]
With such a configuration, actual shape information representing the actual shape of the rear end portion of the predetermined number of shelf portions can be obtained. The actual shape of each shelf can be inspected from the actual shape information on the rear end portion of each shelf.
[0024]
The inspection device for a wafer storage cassette according to the present invention, wherein the imaging device includes a first imaging unit having a light source for illuminating a front end portion of the predetermined number of shelves and a camera for imaging the front end portion; It is possible to adopt a configuration having a second photographing unit having a light source for illuminating the rear end portions of the number of the shelf portions and a camera for photographing the rear end portions.
[0025]
With such a configuration, actual shape information representing the actual shape of the front end portion of the predetermined number of shelf boards is obtained based on the image represented by the image signal obtained from the first imaging unit, and the second imaging Based on the image represented by the image signal obtained from the unit, actual shape information indicating the actual shape of the rear end portion of the predetermined number of shelf portions is obtained. The actual shape of each shelf can be inspected from the actual shape information of the front end and the rear end of each shelf.
[0026]
The photographing of the front end portion by the first photographing unit and the photographing of the rear end portion by the second photographing unit may be performed simultaneously or at different timings. From the viewpoint that efficient inspection can be performed, it is preferable that the two photographing operations be performed simultaneously.
[0027]
In addition, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention includes a first wafer support having a plurality of shelves vertically arranged on one side wall and a first wafer support vertically arranged on the other side wall. A wafer storage cassette provided with a second wafer support provided with a plurality of shelves is set as an inspection target, and the imaging device illuminates a front end portion of a predetermined number of shelves in the first wafer support. A first photographing unit having a light source and a camera for photographing the front end portion, a light source for illuminating a rear end portion of a predetermined number of shelves in the first wafer support, and a camera for photographing the rear end portion; A second photographing unit having a third photographing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelf portions in the second wafer support and a camera for photographing the front end portion; and On the wafer support It can be configured to have a fourth imaging unit and a camera for photographing the light source and the rear end portion to illuminate the rear end of the predetermined number of the shelf plate.
[0028]
With such a configuration, based on the image represented by the image signal obtained from the first imaging unit, the actual shape information of the front end portion of the predetermined number of the shelf portions on one of the side walls is obtained, and the second imaging Based on the image represented by the image signal obtained from the unit, the actual shape information of the rear end portion of the predetermined number of the shelf portions on one side wall is obtained. Further, based on the image represented by the image signal obtained from the third imaging unit, the actual shape information of the front end portion of the predetermined number of the shelf portions on the other side wall is obtained, and is obtained from the fourth imaging unit. Based on the image represented by the image signal, the actual shape information of the rear end portion of the predetermined number of shelf portions on the other side wall is obtained. From the actual shape information on the front end portion and the rear end portion of each shelf portion on one side wall, the actual shape of each shelf portion on one side wall can be inspected, and each shelf portion on the other side wall can be inspected. From the actual shape information on the front end portion and the rear end portion of the section, the actual shape of each shelf on the other side wall can be inspected.
[0029]
The shooting by the first shooting unit, the shooting by the second shooting unit, the shooting by the third shooting unit, and the shooting by the fourth shooting unit are all performed at different timings. It may be done at the same time. Further, shootings in any combination can be performed simultaneously. From the viewpoint that efficient inspection becomes possible, it is preferable to perform imaging in any combination at the same time, and it is more preferable to perform all imaging at the same time.
[0030]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may include an on-image wafer support surface position information representing a position of a wafer support surface of each shelf in an image coordinate system set on the image. The real shape information generating means converts the wafer support surface position information on the image into real wafer support surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. It is possible to have a configuration that has coordinate conversion means and generates actual shape information based on the actual wafer support surface position information.
[0031]
With such a configuration, on-image wafer support surface position information representing the position of the wafer support surface of each shelf is generated in the image coordinate system set on the image, and the on-image wafer support surface position information is set to a predetermined value. Is converted into actual wafer support surface position information in the absolute coordinate system. Then, actual shape information based on the actual wafer support surface position information is generated. With this actual shape information, it is possible to inspect the actual shape based on the actual position of the wafer support surface of each shelf.
[0032]
The actual shape information based on the actual wafer support surface position information may be the actual wafer support surface position information itself or shape information obtained from the actual wafer support surface information.
[0033]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the actual shape information generating means may generate actual shape information representing an interval between the respective shelf portions based on actual wafer support surface position information for the respective shelf portions. It can be configured to be generated.
[0034]
According to such a configuration, it is possible to inspect the width of the slot formed by two adjacent shelf portions from the actual shape information indicating the interval between the respective shelf portions.
[0035]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention includes a photographing area moving unit that moves a photographing area of the photographing apparatus including a predetermined portion of the predetermined number of shelf boards in an arrangement direction of the plurality of shelf boards. It can be.
[0036]
With such a configuration, the imaging region is moved, and a plurality of actual shape information representing the actual shape of a predetermined number of predetermined portions of the plurality of shelves arranged on the side wall can be obtained. From the plurality of actual shape information, the actual shapes of the respective shelf portions in a wider range of the plurality of shelf portions can be inspected.
[0037]
The method of moving the photographing region by the photographing region moving means is not particularly limited, and even if the optical system for guiding an image to the photographing device is switched, the photographing device and the wafer storage cassette to be inspected are relatively moved. May be moved.
[0038]
Further, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured such that the imaging region moving means includes a lifter device for moving the imaging device in an arrangement direction of the plurality of shelf boards.
[0039]
With such a configuration, the photographing device is moved by the lifter device in the arrangement direction of the plurality of shelves in the wafer storage cassette to be inspected. As a result, the photographing area of the photographing device moves in the arrangement direction of the plurality of shelf boards.
[0040]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the photographing region moving means may move the photographing region stepwise so that each of the plurality of shelf portions is included in the photographing region at least once. A configuration can be adopted.
[0041]
With such a configuration, at least one actual shape information can be obtained for each of the plurality of shelf boards. As a result, based on the obtained actual shape information, it is possible to inspect the actual shape of the entire plurality of shelves formed on the side wall.
[0042]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the imaging region moving means may move the imaging region by a predetermined amount corresponding to an interval between the plurality of shelf boards. Can be.
[0043]
With such a configuration, in a process in which the imaging region including the predetermined portion of the predetermined number of the shelf portions is moved by the predetermined amount corresponding to the interval between the shelf portions, at least one actual shape is provided for each of the plurality of shelf portions. Information may be obtained, and there may be a shelf part from which a plurality of actual shape information is obtained. Thus, the actual shapes of the plurality of shelf portions can be more accurately inspected based on the actual shape information obtained for each shelf portion.
[0044]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may be configured such that an image on an image representing a position of a wafer support surface of each shelf in an image coordinate system set on an image obtained for each imaging region. The support surface position information is generated as the shape information on the image, and the actual shape information generating means converts the wafer support surface position information on the image into the actual wafer support in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. A coordinate conversion unit that converts the information into surface position information, and at least an interval between the respective shelf portions and the respective shelf portions in all of the plurality of shelf portions based on the actual wafer support surface position information on the respective shelf portions. May be generated as the actual shape information.
[0045]
With such a configuration, an image set on an image obtained for each shooting region in the process of stepwise moving the shooting region so that each of the plurality of shelf portions is included in the shooting region at least once Wafer support surface position information on the image representing the position of the wafer support surface of each shelf in the coordinate system is generated, and the wafer support surface position information on the image is converted into actual wafer support surface position information in a predetermined absolute coordinate system. Is done. As a result, at least one piece of actual wafer support surface position information is obtained for all of the plurality of shelves. Based on the actual wafer support surface position information for each of the shelves, at least one of the intervals between the shelves and the sum of the intervals between the shelves in all of the plurality of shelves is the actual shape information. Will be generated as From such actual shape information, it becomes possible to inspect the arrangement state of the plurality of shelf boards as a whole with higher accuracy.
[0046]
The wafer storage cassette inspection apparatus according to the present invention has a V-shaped groove that opens toward the front opening surface and a shelf plate portion that projects from the lower end of the groove toward the front opening surface. The predetermined portion to be photographed by the photographing device is to be inspected with a plurality of wafer storage cassettes formed so that V-groove supporting portions for supporting the ends of the wafers to be stored are vertically arranged on the back wall. Can be configured as a predetermined portion of a predetermined number of V-groove support portions.
[0047]
With such a configuration, real shape information indicating the real shape of a predetermined number of V groove support portions in a plurality of V groove support portions arranged on the back wall can be obtained. From the actual shape information, the actual shape of each V-groove support can be inspected.
[0048]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured such that the predetermined portion to be photographed by the photographing device is a predetermined portion of two adjacent V-groove support portions.
[0049]
With such a configuration, actual shape information indicating the actual shapes of the predetermined portions of the two adjacent V-groove supporting portions can be obtained. From the actual shape information, it becomes possible to inspect the actual shape of the slot formed by each shelf of the two adjacent V-groove supports.
[0050]
Further, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention guides the images of the side end portions of the predetermined number of V-groove support portions to the photographing device installed facing the front opening surface of the wafer storage cassette. The image forming apparatus may have an optical system, and the photographing device may photograph a side end portion of the support.
[0051]
With such a configuration, an image of a side end portion of each V-groove support portion having a groove opening toward the photographing device facing the front opening surface of the wafer storage cassette is guided to the photographing device by the optical system, and Photograph the side end portion of each V-groove support. Therefore, an actual shape representing the actual shape of the side end portion of each V-groove support portion can be obtained. The actual shape of each V-groove support can be inspected from the actual shape information on the side end portion of each V-groove support.
[0052]
Further, the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may be configured such that the optical system is set so as to guide the images of both side end portions of the predetermined number of V-groove support portions to the video device. .
[0053]
With such a configuration, actual shape information indicating the actual shape of both end portions of each V-groove support portion can be obtained. The actual shape of each V-groove support can be more accurately inspected from the actual shape information on both side end portions of each V-groove support.
[0054]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention further comprises: A first photographing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelf portions formed on the side wall and a camera for photographing the front end portion; and a predetermined portion of the predetermined number of V-groove support portions. And a second imaging unit having a light source for illuminating the camera and a camera for imaging the predetermined portion.
[0055]
With such a configuration, real shape information representing the real shape of the front end portion of the predetermined number of shelf portions formed on the side wall based on the image represented by the image signal obtained from the first imaging unit is obtained. Then, based on the image represented by the image signal obtained from the second photographing unit, the actual shape information representing the actual shape of the predetermined portion of the predetermined number of V-groove supporting portions formed on the back wall is obtained. The actual shape of each shelf and each V-groove support can be inspected based on the actual shape information about each shelf and the actual shape information about each V-groove support.
[0056]
The photographing of the front end portion of the predetermined number of shelf portions by the first photographing unit and the photographing of the predetermined portion of the predetermined number of V-groove support portions by the second photographing unit are different even if they are performed simultaneously. It may be done at the timing. From the viewpoint that efficient inspection can be performed, it is preferable that the two photographing operations be performed simultaneously.
[0057]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention has an optical system for guiding an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supporting portions to a camera of the second imaging unit, and The unit may be configured to photograph the side end portions of the predetermined number of V-groove supporting portions.
[0058]
With such a configuration, a predetermined number of side end portions of the V-groove supporting portions are photographed by the second photographing unit, and actual shape information is generated from the on-image shape information obtained thereby. The actual shape of each V-groove support portion can be inspected from the actual shape information about the side end of each V-groove support portion together with the actual shape of each shelf plate portion.
[0059]
Further, the inspection apparatus of the wafer storage cassette according to the present invention, a first wafer support body formed in a plurality such that a shelf supporting the peripheral portion of the wafer to be stored is vertically arranged on one side wall, A V-shaped groove for supporting an end of a wafer to be housed, having a V-shaped groove opening toward the front opening surface and a shelf extending from the lower end of the groove toward the front opening surface; A plurality of second wafer supports formed so that the support portions are vertically arranged on the back wall, and a shelf portion supporting a peripheral portion of the accommodated wafer is vertically arranged on the other side wall. A third wafer support, a V-shaped groove opening toward the front opening surface, and a shelf plate projecting from the lower end of the groove toward the front opening surface. The V-groove supporting portion for supporting the edge of the wafer to be stored is A wafer storage cassette having a plurality of fourth wafer supports formed so as to be arranged in a vertical direction between the EHA support and the other side wall is to be inspected, and the photographing apparatus is configured to perform the first imaging process. A first imaging unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelves in the wafer support and a camera for photographing the front end portion; and a predetermined number of V-groove support portions in the second wafer support. A second photographing unit having a light source for illuminating a predetermined portion and a camera for photographing the predetermined portion; a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelves in the third wafer support; and photographing the front end portion. A fourth imaging unit having a third imaging unit having a camera, a light source for illuminating a predetermined number of predetermined portions of the V-groove support portion in the fourth wafer support, and a camera for imaging the predetermined portion. It can be configured to have a preparative.
[0060]
With such a configuration, actual image information of a front end portion of a predetermined number of shelf boards (first wafer supports) on one side wall based on an image represented by an image signal obtained from the first imaging unit. And real shape information of a predetermined number of V-groove support portions (second wafer support members) on the rear wall is obtained based on an image represented by an image signal obtained from the second imaging unit. Can be Further, based on an image represented by an image signal obtained from the third photographing unit, actual shape information of a front end portion of a predetermined number of shelf portions (third wafer supports) on the other side wall is obtained, A predetermined number of V-groove supports (fourth wafer support) between the second wafer support on the back wall and the other side wall based on an image represented by an image signal obtained from the fourth imaging unit The actual shape information of a predetermined portion of the body is obtained. From the actual shape information about the front end portion of each shelf portion on the one side wall and the actual shape information about the front end portion of each shelf portion on the other side wall, the actual shape of each shelf portion on both side walls is inspected. In addition to this, the actual shape of each V-groove support portion can be inspected from the actual shape information of a predetermined portion of each V-groove support portion on the back wall.
[0061]
The shooting by the first shooting unit, the shooting by the second shooting unit, the shooting by the third shooting unit, and the shooting by the fourth shooting unit are all performed at different timings. It may be done at the same time. Further, shootings in any combination can be performed simultaneously. From the viewpoint that efficient inspection becomes possible, it is preferable to perform imaging in any combination at the same time, and it is more preferable to perform all imaging at the same time. A second photographing unit and a fourth photographing unit for illuminating predetermined portions of the second wafer support and the fourth wafer support, respectively, in which V-groove support portions are vertically arranged on the rear wall of the wafer storage cassette. Each light source in the unit can be shared or separate.
[0062]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention may further include a first guiding unit that guides an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supports in the second wafer support to a camera of the second imaging unit. An optical system, and a second optical system that guides an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supports in the fourth wafer support to a camera of the fourth photographing unit; A photographing unit photographs a side end portion of the predetermined number of V-groove supports in the second wafer support, and the fourth photographing unit photographs the predetermined number of V-grooves in the fourth wafer support. It is possible to adopt a configuration in which a side end portion of the support is photographed.
[0063]
With such a configuration, the second wafer support is performed based on an image represented by an image signal from the second image capturing unit that captures a side end portion of the predetermined number of V-groove support portions in the second wafer support. The actual shape information about the side end portions of the respective V-groove supports in the body is obtained, and a predetermined number of V-side support portions of the fourth wafer support are photographed from the fourth photographing unit. Based on the image represented by the image signal, the actual shape information on the side end portion of each V-groove support in the fourth wafer support is obtained. The actual shape of each V-groove support portion can be inspected from the actual shape information on the side end portion of each V-groove support portion.
[0064]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing unit may be configured to convert the image groove line position information representing the position of the groove line of the groove in each V-groove support portion in an image coordinate system set on the image. Coordinate conversion means for generating the shape information on the image, wherein the actual shape information generating means converts the groove position information on the image into actual groove line position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. , And may be configured to generate actual shape information based on the actual groove position information.
[0065]
With such a configuration, on-screen groove line position information indicating the position of the groove line of the groove in each V-groove support section is generated in the image coordinate system set on the image, and the information on the image is set to a predetermined absolute value. It is converted into actual groove line position information in the coordinate system. Then, actual shape information based on the actual groove line position is generated. With this actual shape information, it is possible to inspect the actual shape based on the actual position of the groove line of each V-groove support.
[0066]
The actual shape information based on the actual groove line position information may be the actual groove line position information itself or shape information obtained from the actual groove line position information.
[0067]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may include an image upper shelf surface position representing an upper surface position of the shelf portion in each V-groove support portion in an image coordinate system set on the image. Information is generated as the on-image shape information, and the actual shape information generating means converts the on-image shelf surface position information into actual shelf surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. It is possible to have a configuration that includes coordinate conversion means for performing conversion and generates actual shape information based on the actual shelf board surface position information.
[0068]
With such a configuration, on-screen shelf surface position information representing the upper surface position of each shelf unit is generated in an image coordinate system set on the image, and the on-screen shelf surface position information is determined in a predetermined absolute coordinate system. Converted to actual shelf surface position information. Then, actual shape information based on the actual shelf surface position information is generated. With this actual shape information, the actual shape based on the actual position of the upper surface of each shelf can be inspected.
[0069]
The actual shape information based on the actual shelf surface position information may be the actual shelf surface position information itself, or may be shape information obtained from the actual shelf surface position information.
[0070]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the actual shape information generating means may include an actual shape representing an interval between the groove lines based on actual groove position information with respect to a groove line of the groove in each of the V-groove supporting portions. It is possible to adopt a configuration in which information is generated.
[0071]
With such a configuration, the pitch of the slot formed by two adjacent V-groove support portions can be inspected from the actual shape information representing the interval between the groove lines of the groove portions in each V-groove support portion.
[0072]
Still further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the actual shape information generating means may include an interval between the shelf portions based on actual shelf surface position information with respect to the shelf portion in each of the V-groove supporting portions. May be generated.
[0073]
With such a configuration, the width of the slot formed by the shelf portions of two adjacent V-groove support portions can be inspected from the actual shape information indicating the interval between the shelf portions of each V-groove support portion. become.
[0074]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention has a configuration including a photographing area moving unit that moves a photographing area of the photographing apparatus including the predetermined number of V-groove supports in an arrangement direction of the plurality of V-groove supports. can do.
[0075]
With such a configuration, the photographing area is moved, and a plurality of actual shape information representing the actual shape of a predetermined portion of the predetermined number of V-groove supports in the plurality of V-groove supports arranged on the back wall can be obtained. It becomes. From the plurality of actual shape information, the actual shape of each V-groove support in a wider range of the plurality of V-groove supports can be inspected.
[0076]
The method of moving to the photographing area by the photographing area moving means is not particularly limited. Even if the photographing apparatus is moved, the wafer storage cassette to be inspected is moved, An optical system for guiding an image of a predetermined portion may be switched.
[0077]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the imaging region moving means may include a lifter device for moving the imaging device in the direction in which the plurality of V-groove supports are arranged.
[0078]
With such a configuration, the photographing device is moved by the lifter device in the arrangement direction of the plurality of V-groove support portions in the wafer storage cassette to be inspected. As a result, the photographing area of the photographing device moves in the direction in which the plurality of V-groove supports are arranged.
[0079]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the photographing region moving means may move the photographing region stepwise so that each of the plurality of V-groove supporting portions is included in the photographing region at least once. Such a configuration can be adopted.
[0080]
With such a configuration, at least one actual shape information can be obtained for each of the plurality of V-groove support portions. As a result, it is possible to inspect the actual shape of the entire plurality of V-groove support portions formed on the back wall based on the obtained actual shape information.
[0081]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the photographing area moving means may move the photographing area by a predetermined amount corresponding to an interval between the plurality of V-groove supports. be able to.
[0082]
With such a configuration, in the process of moving the imaging region including the predetermined portion of the predetermined number of V-groove support portions by a predetermined amount corresponding to the interval between the V-groove support portions, at least one of each of the plurality of V-groove support portions is provided. There may be a V-groove support portion from which one real shape information is obtained and a plurality of real shape information is obtained. Thus, the actual shapes of the plurality of V-groove supports can be more accurately inspected based on the actual shape information obtained for each V-groove support.
[0083]
In the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may include an image representing a position of a groove line in a groove portion of each V-groove support portion in an image coordinate system set on an image obtained for each photographing region. The upper groove line position information is generated as the shape information on the image, and the actual shape generating means converts the image upper groove line position information to the actual groove line position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. And a coordinate conversion unit for converting, based on the actual groove line position information about each of the V-groove support portions, at least the interval between the groove lines of the groove portions in each of the V-groove support portions and each of the grooves in all of the plurality of V-groove support portions. One of the sums of the line intervals may be generated as the actual shape information.
[0084]
With such a configuration, the plurality of V-groove support portions are set on an image obtained for each imaging region in the process of moving the imaging region stepwise so that each of the plurality of V-groove support portions is included in the imaging region at least once. Groove line position information on the image representing the position of the groove line in the groove of each V-groove support portion is generated in the image coordinate system, and the groove line position information on the image is converted into actual groove line position information in a predetermined absolute coordinate system. . As a result, at least one actual groove line position information is obtained for all of the plurality of V-groove support portions. Based on such actual groove line position information about each V-groove support portion, at least one of the sum of the groove line intervals of the groove portions in each V-groove support portion and the groove line intervals in the plurality of V-groove support portions. Is generated as the actual shape information. From such information, the arrangement state of the entire plurality of V-groove support portions can be inspected more accurately.
[0085]
Further, in the inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing means may determine an upper surface position of the shelf plate portion in each V-groove support portion in an image coordinate system set on an image obtained for each imaging region. The on-image shelf surface position information to be represented is generated as the on-image shape information, and the actual shape information generating means converts the on-image shelf surface position information into an actual image in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. Coordinate conversion means for converting the information into shelf surface position information; at least a space between shelf portions in each V-groove support portion and the plurality of V-grooves based on actual shelf surface position information for each of the V-groove support portions; It is possible to adopt a configuration in which one of the sums of the intervals between the respective shelf portions in all the support portions is generated as the actual shape information.
[0086]
With such a configuration, the plurality of V-groove support portions are set on an image obtained for each imaging region in the process of moving the imaging region stepwise so that each of the plurality of V-groove support portions is included in the imaging region at least once. The upper shelf surface position information on the image representing the upper surface position of the shelf portion of each V-groove support portion is generated in the image coordinate system, and the upper shelf surface position information on the image is converted into the actual shelf surface position information in the predetermined absolute coordinate system. Is converted. As a result, at least one actual shelf surface position information is obtained for all of the plurality of V-groove support portions. Based on such actual shelf surface position information on each V-groove support portion, at least the sum of the intervals between the shelf portions in each V-groove support portion and the intervals between the shelf portions in all of the plurality of V-groove support portions. Either one is generated as the actual shape information. From such actual shape information, the arrangement state of the plurality of V-groove support portions as a whole can be inspected more accurately.
[0087]
The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention includes an inspection result output control unit that outputs an inspection result from an output unit, and the inspection result output control unit includes an actual shape obtained by the actual shape information generating unit. The information may be output from the output unit as the inspection result.
[0088]
With such a configuration, the actual shape information generated for a predetermined portion inside the wafer storage cassette to be inspected is output from the output unit as an inspection result. For example, the inspector can easily determine the quality of the wafer storage cassette to be inspected based on the actual shape information output from the output unit.
[0089]
In addition, the inspection device for a wafer storage cassette according to the present invention may include an inspection result output control unit that outputs an inspection result to an output unit and an actual shape information obtained by the actual shape information generation unit that satisfies a predetermined standard. And a shape determination unit for determining whether or not the inspection result is present, wherein the inspection result output control unit outputs the determination result of the shape determination unit to the output unit as the inspection result. it can.
[0090]
With such a configuration, a determination result as to whether or not the actual shape information generated for a predetermined portion inside the wafer storage cassette to be inspected satisfies a predetermined criterion is output to the output unit as an inspection result. Become. For example, the inspector can directly determine the quality of the wafer storage cassette to be inspected based on the determination result output by the output unit.
[0091]
Each of the output units may visually output the actual shape information to an inspector (for example, a display unit, a printer unit, etc.), and may output the actual shape information to another system (a wafer storage cassette transport system, an inspection system, or the like). Output to a result totaling system).
[0092]
An inspection apparatus for a wafer storage cassette according to the present invention includes an installation table for installing a wafer storage cassette provided with a handling member gripped by a robot on an upper surface, and a wafer storage cassette installed on the installation table opposed to the handling member. A photographing device that photographes the handling member and outputs an image signal, and a processing unit that generates actual shape information of the handling unit based on an image represented by an image signal from the photographing device. Wherein the processing unit includes: an image processing unit configured to generate on-image shape information representing an outer shape of the handling member on an image represented by the image signal; and an image obtained by the image processing unit. Real shape information generating means for generating real shape information representing the real outer shape of the handling unit from the upper shape information using predetermined conversion information A configuration with.
[0093]
With such a configuration, on-image shape information representing the shape of the handling unit is first generated on an image represented by an image signal from an imaging device that captures a handling member provided on the upper surface of the wafer storage cassette, Next, actual shape information representing the actual outer shape of the handling member is generated from the shape information on the image using predetermined conversion information. As described above, since the actual shape information indicating the actual outer shape of the handling member provided on the upper surface of the wafer storage cassette is generated, it is possible to determine whether the actual outer shape of the handling member is appropriate based on the actual shape information. become able to.
[0094]
An inspection method of a wafer storage cassette according to the present invention includes an installation step of installing a wafer storage cassette to be inspected on an installation table, and an installation step opposite to a front opening surface of the wafer storage cassette installed on the installation table. A photographing step of photographing a predetermined part inside the wafer storage cassette by the photographing apparatus, and an actual shape of the predetermined part based on an image represented by an image signal output from the photographing apparatus by photographing the predetermined part. A processing step of generating actual shape information representing the image processing step, wherein the processing step generates on-image shape information representing the shape of the predetermined portion on the image represented by the image signal, A real shape generating step of generating the real shape information using predetermined conversion information from the on-image shape information obtained in the image processing step; and That.
[0095]
In the method for inspecting a wafer storage cassette according to the present invention, the image processing step may include generating on-image position information representing a position of the predetermined part in the image coordinate system set on the image as the on-image shape information. The shape information generating step includes a coordinate conversion step of converting the position information on the image into real position information in a predetermined absolute coordinate system using the conversion information, and real shape information based on the real position information. Is generated.
[0096]
Further, the inspection method of the wafer storage cassette according to the present invention includes a conversion information obtaining step of obtaining conversion information used in the actual shape information step, wherein the conversion information obtaining step represents a shape of the predetermined part. A first step of performing the installation step, the photographing step, and the image processing step on a reference wafer storage cassette whose actual shape information is known to generate on-image shape information of the predetermined portion in the reference wafer storage cassette And a second step of generating the conversion information based on a relationship between the on-image shape information and the known real shape information.
[0097]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0098]
The wafer storage cassette to be inspected by the inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention is configured as shown in FIG.
[0099]
In FIG. 1, the wafer storage cassette 10 is used for transporting wafers in a semiconductor manufacturing process, and is a box (for example, made of resin) having an opening at a front portion. Inside the wafer storage cassette 10, a left wafer support 13L is formed on one side wall (left side wall) 11, and a right wafer support 13R is formed on the other side wall (right side wall) 12. Each of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R includes a plurality of shelves arranged at predetermined intervals in the vertical direction. The wafer is accommodated in the wafer accommodating cassette 10 with its peripheral portion supported by the shelf of the left wafer support 13L and the shelf of the right wafer support 13R located at the same height.
[0100]
On the upper surface of the wafer storage cassette 10, a handling member 15 (handling flange) to be gripped by the transfer robot is provided. In the semiconductor manufacturing process, the transfer robot holds the handling member 15 and transfers the wafer storage cassette 10. The handling member 15 has a rectangular shape, and a notch is formed at a predetermined position.
[0101]
The front end portion (the front opening side of the wafer storage cassette 10) of each shelf of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R is configured as shown in FIG. The end portion (the back side of the wafer storage cassette 10) is configured as shown in FIG. A slot SLk into which a wafer peripheral portion is to be inserted is formed between the adjacent k-th shelf 131 (k) and the (k + 1) -th shelf 131 (k + 1). The peripheral portion of the wafer is supported on the upper surface (wafer supporting surface) of the shelf 131 (k). In addition, a protruding portion is formed on the wafer support surface at the front end portion and the rear end portion of each shelf portion, so that the contact area between the wafer surface and the wafer support surface of the shelf portion becomes smaller. .
[0102]
An inspection apparatus for inspecting the wafer storage cassette 10 having the above-described structure is configured as shown in FIGS. 4 to 8 mainly show the arrangement of the components of the inspection apparatus, and the fixing and support of each component are performed by a known method.
[0103]
4, the inspection apparatus 100 includes an inspection table 101, a back plate 102, and a top plate 103. The inspection table 101 includes a cassette setting table 110 on which the wafer storage cassette 10 is set, and an imaging table 121 on which an imaging device having a configuration described below is installed. The cassette mounting table 110 is provided with a positioning mechanism (not shown) for the wafer storage cassette 10, and the wafer storage cassette 10 is always fixed to the cassette mounting table 110 with its front opening face facing the imaging table 121. It is designed to be installed at the location.
[0104]
On the imaging stand 121, a first camera unit 201 (1), a first illuminator 202 (1), a second camera unit 201 (2), a second illuminator 202 (2), A camera unit 201 (3), a third illuminator 202 (3), a fourth camera unit 201 (4), and a fourth illuminator 202 (4) are provided. The first camera unit 201 (1) and the first illuminator 202 (1) and the second camera unit 201 (2) and the second illuminator 202 (2) Used for photographing the support 13L. Further, the third camera unit 201 (3) and the third illuminator 202 (3) and the fourth camera unit 201 (4) and the fourth illuminator 202 (4) Used for photographing the right wafer support 13R.
[0105]
A rectangular measurement window is formed in a predetermined portion of the top plate 103, and a camera unit 203 and an illuminator 206 are installed so as to be located in the measurement window. The illuminator 206 illuminates the handling member 15 provided on the upper surface of the wafer storage cassette 10 installed on the cassette installation table 110, and the camera unit 203 photographs the handling member 15.
[0106]
The first camera unit 201 (1) and the first illuminator 202 (1) in the photographing apparatus are arranged on the photographing table 121 as shown in FIG. The first camera unit 201 (1) includes a lens unit 201a, a converter 201b, and a camera body 201c (for example, a CCD camera). The first camera unit 201 (1) stores the wafer by adjusting the distance between the lens unit 201a and the camera body 201c from the wafer storage cassette 10 and the angle A of the optical axis of the first camera unit 201 (1). The cassette 10 is arranged so that a predetermined range (measurement section) of the rear end portion (see FIG. 3) of the left wafer support 13L can be photographed. In addition, by adjusting the distance of the first illuminator 202 (1) from the wafer storage cassette 10 and adjusting the angle X of the optical axis thereof, the first illuminator 202 (1) becomes the first camera unit 201 ( It is arranged so as to illuminate the shooting area of 1). At a predetermined position behind the wafer storage cassette 10, a screen 20 () for clarifying the contrast between the image of the front end portion of the left wafer support 13L obtained by the first camera unit 201 (1) and the background is provided. For example, a white color) is arranged.
[0107]
The second camera unit 201 (2) and the second illuminator 202 (2) are arranged as shown in FIG. Also in this case, the second camera unit 201 (2) is adjusted by adjusting the distance between the lens unit 201a and the camera body 201c from the wafer storage cassette 10, adjusting the angle A of the optical axis of the second camera unit 201 (2), and the like. ) Are arranged so that a predetermined range (measurement section) of the front end portion (see FIG. 2) of the left wafer support 13L in the wafer storage cassette 10 can be photographed. Further, by adjusting the distance of the second illuminator 202 (2) from the wafer storage cassette 10, adjusting the angle X of the optical axis thereof, and the like, the second illuminator 202 (2) becomes the second camera unit 201 ( It is arranged so as to illuminate the imaging area of 2).
[0108]
The third camera unit 201 (3) is arranged in the same manner as the second camera unit 201 (2) (see FIG. 6) so that the front end portion of the right wafer support 13R in the wafer storage cassette 10 can be photographed. The third illuminator 202 (3) is arranged to illuminate the front end portion of the right wafer support 13R in the same manner as the second illuminator 202 (2) (see FIG. 6). Further, the fourth camera unit 201 (4) can photograph the rear end portion of the right wafer support 13R in the wafer storage cassette 10 in the same manner as the first camera unit 201 (1) (see FIG. 5). The fourth illuminator 202 (4) is arranged to illuminate the rear end portion of the right wafer support 13R in the same manner as the first illuminator 202 (1) (see FIG. 5). .
[0109]
The photographing areas Ek of the camera units 201 (1) to 201 (4) arranged as described above are adjacent to each other on the left wafer support 13L and the right wafer support 13R, as shown in FIGS. The slots SLk (see FIGS. 2 and 3) formed by the shelves 131 (k) and 131 (k + 1) are included so as to include the shelves 131 (k) and 131 (k + 1). Is set to
[0110]
As described above, the imaging table 121 on which the imaging devices (each of the camera units 201 (1) to 201 (4) and the like) are installed is installed in the inspection table 101 (see FIG. 4) as shown in FIG. The lifter device 120 is fixed to the tip of a lifting shaft 122. The photographing device is moved vertically by the lifter device 120, and the photographing area of the photographing device can be sequentially moved in the vertical direction. A transparent protective plate 105 having an opening on a surface facing the cassette mounting table 110 is provided around the imaging devices (each of the camera units 201 (1) to 201 (4) and the like) installed on the imaging table 121. Have been.
[0111]
As shown in FIG. 8, four optical sensors 115a, 115b, 115c, and 115d are provided at predetermined positions of the cassette mounting table 110 where the wafer storage cassette 10 to be inspected is installed, facing the imaging table 121. It is buried. These optical sensors 115a, 115b, 115c, 115d optically detect the presence or absence of pads 18a, 18b, 18c, 18d, 18d to be provided at corresponding positions on the bottom plate of the wafer storage cassette 10. That is, the four optical sensors 115a, 115b, 115c, and 115d read four bits of information represented by the presence or absence of the four pads 18a, 18b, 18c, and 18d. Various information on the wafer storage cassette 10 can be represented by the 4-bit information.
[0112]
The processing system in the inspection device is configured as shown in FIG. 9, this processing system includes a processing unit 300, an input unit 301 (keyboard or the like), a display unit 302, and a drive control circuit 303. The processing unit 300 processes an image signal from each of the camera units 201 (1) to 201 (4) installed on the imaging table 121 and supports the left wafer support 13L and the right wafer support of the wafer storage cassette 10 to be inspected. The real shape data (for example, representing a position, a distance, etc.) representing the real shape of the body 13R is generated. Further, the processing unit 300 processes an image signal from the camera unit 203 installed on the top plate 103 to generate actual shape data representing the actual shape of the handling member 15 of the wafer storage cassette 10. Further, the processing unit 300 supplies predetermined control information to a drive control circuit 303 that performs drive control of the lifter device 120.
[0113]
The processing unit 300 determines the acceptability of the wafer storage cassette 10 to be inspected based on the actual shape data generated as described above, and outputs the acceptability result. Then, the processing unit 300 displays the actual shape information on the left wafer support 13L, the right wafer support 13R, and the handling member 15 generated as described above, and the quality determination result based on the actual shape information on the display unit 302. To be displayed.
[0114]
Further, the processing unit 300 acquires predetermined information on the wafer storage cassette 10 based on output signals from the four optical sensors 115a to 115d provided on the cassette mounting table 110.
[0115]
Under the control of the control unit 300, the drive control circuit 303 controls the drive of a motor 125, which is a drive source of the lifter device 120, based on an output from a sensor 126 provided for the motor 125. The drive control circuit 303 is configured as shown in FIG.
[0116]
10, the drive control circuit 303 includes a position control unit 3031, a motor drive unit 3032, a position information setting unit 3033, a position detection unit 3034, and a comparison unit 3035. The position control section 3031 outputs target position information corresponding to the target drive amount of the lifter device 120 based on the position command information supplied from the processing unit 300, and outputs a drive control signal. The motor drive unit 3032 outputs a drive pulse signal to the motor 125 serving as a drive source of the lifter device 120 based on a drive control signal from the position control unit 3031. The position information setting unit 3033 acquires and holds the target position information output from the position control unit 3031. The position detection unit 3034 acquires detection position information (for example, the number of pulses corresponding to the driving amount of the motor 125) corresponding to the actual driving amount of the motor 125 from the sensor 126. The comparing unit 3035 compares the target position information set in the position information setting unit 3033 with the detected position information acquired by the position detecting unit 3034, and supplies the comparison result to the position control unit 3031. The position control unit 3031 performs output control of a drive control signal based on the comparison result from the comparison unit 3034. Then, when the target position information matches the detected position information, the position control unit 3031 stops outputting the drive control signal based on the comparison result by the comparison unit 3034 at that time. As a result, the motor 125 of the lifter device 120 stops.
[0117]
The motor 125 is driven by the target drive amount (corresponding to the position command information) by the drive control circuit 303 configured as described above. The lift shaft 122 (see FIG. 7) of the lifter device 120 is sequentially moved upward from the lowest position by the target drive amount by the motor 125 whose drive is controlled in this manner. For example, if the target drive amount is set to an amount (slot pitch) corresponding to the interval between adjacent shelf portions in each of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R, the photographing device (each The shooting area Ek of the camera units 201 (1) to 201 (4) moves by the slot pitch.
[0118]
The processing unit 300 performs processing according to the procedures shown in FIGS. Note that the processing for image signals obtained from each of the camera units 201 (1) to 201 (4) is the same, and therefore, each of the camera units 200 (1) to 200 (4) will be collectively described as a photographing apparatus. .
[0119]
First, a reference wafer storage case (a non-defective wafer storage cassette) in which the actual shapes of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R are known is set on the cassette mounting table 110. In this state, when the input operation of the calibration mode is performed in the input unit 301, the processing unit 300 first executes the processing according to the procedure shown in FIG. The known actual shape is represented by a Y coordinate value and an X coordinate value (actual shape data) in a predetermined absolute coordinate system (XY). More specifically, as shown in FIG. 15, the Y coordinate values (Yk, Yk + 1, etc.) of a predetermined point (▽) on the wafer supporting surface of each shelf (131 (k), 131 (k + 1), etc.), and The actual shape is represented by the X coordinate values (Xk, Xk + 1, etc.) of the predetermined points (▼) at the root and the tip of each shelf.
[0120]
In FIG. 11, after setting the internal counter k to “1” (S1), the processing unit 300 controls the drive control circuit 303 of the lifter device 120 so that the photographing device is at the position of the photographing area Ek (E1). (S2). As a result, as shown in FIG. 14, the photographing apparatus is configured so that a photographing area E1 (including the slot SL1) including the lowest shelf 131 (1) and the adjacent shelf 132 (2) is obtained. Set. In this state, the processing unit 300 converts the image signal from the photographing device that photographs the photographing area E1 into image data in pixel units and stores the image data in a predetermined memory (S3). Thereafter, the processing unit 300 determines whether or not the internal counter k has reached N-1 (S4). Note that N is the total number of shelf portions in each of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R.
[0121]
If the internal counter k has not reached N−1 (NO in S4), the processing unit 300 increments the internal counter k by +1 (S5), and moves the photographing apparatus to the position of the next photographing area Ek (E2). Then, the drive control circuit 303 of the lifter device 120 is controlled (S2). Thereby, as shown in FIG. 14, the photographing apparatus is set so that a photographing area E2 (including the slot SL2) including the shelf 131 (2) and the shelf 131 (3) adjacent thereto is obtained. . In this state, the processing unit 300 stores the image data based on the image signal from the photographing device that photographs the photographing area E2 in a predetermined memory (S3).
[0122]
Hereinafter, similarly, the processing unit 300 moves the photographing device so that the photographing region Ek moves by the slot pitch, and sequentially stores the image data obtained in each photographing region Ek in a predetermined memory (S2 to S5). ). In this process, when the internal counter k reaches N-1, as shown in FIG. 14, the shelf 131 (N-1) and the uppermost shelf 131 (N) adjacent thereto are included (slot SLN). The image data based on the image signal from the photographing device that photographs the photographing area EN-1 (including -1) is stored in a predetermined memory (S2, S3). Then, when it is determined that the internal counter k has reached N−1 (YES in S4), the processing unit 300 ends a series of processing.
[0123]
By the processing as described above, the shelf portions 131 (k), 131 (k + 1) (k = 1, 2,...) Adjacent to the left wafer support 13L and the right wafer support 13R in the reference wafer storage cassette, respectively. N-1 image data representing (N-1) is taken into the processing unit 300.
[0124]
Next, the processing unit 300 executes processing according to the procedure shown in FIG. 12, after setting the internal counter k to “1” (S11), the processing unit 300 increments the internal counter k by +1 each time the following processing (S12 to S15) is executed (S16). The process ends when the counter k reaches N-1. First, the k-th image data is read from the (N-1) image data taken in as described above (S12). Then, based on the image data, on-image shape data for specifying the shape of the adjacent shelf 131 (k) and the shelf 131 (k + 1) on the image is generated (S13). Specifically, as shown in FIG. 15, in a coordinate system (hereinafter referred to as a pixel coordinate system) xy for specifying a pixel position on an image, each of the shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1) Y coordinate value (yk, yk + 1) of a predetermined point (▽) on the wafer support surface of the wafer and the x coordinate value of a predetermined point (▼) at the root and tip of each shelf 131 (k), 131 (k + 1) (Xk, xk + 1) are generated as shape data on the image.
[0125]
When the shape data on the image is obtained in this way, the shape data on the image (yk, yk + 1, xk, xk + 1) and the real shape data (Yk, Yk + 1, Xk, Xk + 1) representing the known real shape are compared. Correlation data a, b, c, and d representing the correlation are calculated according to the following equation, and are stored in the processing unit 300 as correlation data (a, b, c, d) k for the k-th image (the image of the imaging region Ek). (S14).
Xk = a.xk + b (1)
Yk = c · yk + d (2)
Xk + 1 = a.xk + 1 + b (3)
Yk + 1 = c · yk + 1 + d (4)
[0126]
The processing unit 300 repeatedly executes the above-described processes (S12 to S14), and when the correlation data is obtained for all of the N-1 image data (YES in S15), ends the series of processes. When the processing in the calibration mode is completed, the correlation data (a, b, c, d) corresponding to each photographing area Ek _k Is stored in the processing unit 300.
[0127]
Next, when the wafer storage cassette 10 to be inspected is set on the cassette mounting table 110 and the input operation of the inspection mode is performed in the input unit 110, the processing unit 300 performs the processing according to the procedure shown in FIGS. Execute. In the process shown in FIG. 11, similarly to the case of the reference wafer storage cassette, the imaging region Ek of the imaging device is sequentially moved upward by the control of the lifter device 120. Then, in the process, the image data of each imaging region Ek including the two adjacent shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1) is accumulated in the processing unit 300.
[0128]
Next, the processing unit 300 executes processing according to the procedure shown in FIG. In FIG. 13, after setting the internal counter k to “1” (S21), the processing unit 300 increments the internal counter k by +1 each time the following processing (S22 to S26) is executed (S27). When the counter k reaches N-1, the process proceeds to the next step S28. First, the k-th image data is read from the (N-1) image data taken in as described above (S22). Then, based on this image data, y on the pixel coordinate system xy of a predetermined point (see ▽ in FIG. 15) on the wafer support surface of the two adjacent shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1). The coordinate values yk, yk + 1 are measured as wafer support surface position data on the image (S23).
[0129]
When the measurement of the wafer support surface position data (yk, yk + 1) on the image for the two adjacent shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1) ends in this manner, the image data (the image of the photographing region Ek) Correlation data (a, b, c, d) corresponding to _k The data (yk, yk + 1) on the image is converted into Y coordinate values Yk, Yk + 1 on a predetermined absolute coordinate system XY in accordance with the equations (2) and (4) using c and d. Is performed (S24). Then, the Y coordinate values Yk and Yk + 1 are stored in the processing unit 300 as actual wafer support surface position data representing the actual positions of the wafer support surfaces of the respective shelves 131 (k) and 131 (k + 1) (S25).
[0130]
The processing unit 300 repeatedly executes the above-described processing (S22 to S25), and when the actual wafer support surface position data (Yk, Yk + 1) is obtained for all of the N-1 image data (YES in S26), saves. Using the actual wafer support surface position data (Yk, Yk + 1) thus obtained, the interval ΔYk + 1 (each shelf) between the wafer support surfaces of two adjacent shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1) as shown in FIG. Plate section)
ΔYk + 1 = Yk + 1−Yk (5)
(S28).
[0131]
As shown in FIG. 14, since the imaging region Ek including the two adjacent shelf portions 131 (k) and 131 (k + 1) moves by the slot pitch, from the second shelf portion 131 (2). For each of the (N-1) -th shelf 131 (N-1), two pieces of wafer support surface position data yk on the image are obtained. Correspondingly, two actual wafer support surface position data Yk are obtained for each of the shelf portions 131 (2) to 131 (N-1). Therefore, for the shelf portions 131 (2) to 131 (N-1), the distance ΔYk + 1 between the wafer support surfaces is calculated using the average value of the two actual wafer support surface data Yk (Equation ( 5)).
[0132]
Next, when the interval ΔYk + 1 between the wafer support surfaces of the two adjacent shelf portions is obtained for all the shelf portions, the processing unit 300 calculates the sum ΣΔYk thereof (S29).
[0133]
The above-described processing is performed for each of the image signals from the first camera unit 200 (1), the second camera unit 200 (2), the third camera unit 200 (3), and the fourth camera unit 200 (4). Executed for Therefore, as a result of the above-described processing, as shown in FIG. 16, the distances AZ2 to AZ25 (ΔYk) between the wafer support surfaces of the two adjacent shelves from the image of the front end portion of the left wafer support 13L and the first ( The distance AZ1 (Y1) between the lowermost shelf plate portion and the horizontal reference plane (Y = 0) and the sum AZ26 (ΣΔYk) of the intervals AZ2 to AZ25 are obtained, and after the left wafer support 13L. From the image of the end portion, the distances BZ2 to BZ25 (ΔYk) between the wafer support surfaces of two adjacent shelf portions, and the distance BZ1 between the first (lowest) shelf portion and the horizontal reference plane (Y = 0) , A total sum BZ26 (ΣΔYk) of the intervals AZ2 to AZ25 is obtained. Similarly, for the right wafer support 13R, the distances CZ2 to CZ25, DZ2 to DZ25 between the wafer support surfaces of the two adjacent shelf portions, and the first (most The distances CZ1 and DZ1 between the (lower) shelf portion and the horizontal reference plane (Y = 0), and the sum totals CZ26 and DZ26 of the intervals CZ2 to CZ25 and DZ2 to DZ25 are obtained. In the example shown in FIG. 16, each of the wafer supports 13L and 13R has a structure having 25 (N = 25) shelves.
[0134]
As described above, when the actual shape data (Y1, ΔYk, ΣΔYk) representing the actual shape of each shelf for the left wafer support 13L and the right wafer support 13R is obtained, the processing unit 300 executes The quality of the wafer storage cassette 10 to be inspected is determined based on the shape data (S30). This pass / fail judgment is made based on whether or not the actual shape data satisfies a predetermined condition. For example, whether the intervals between the wafer support surfaces of two adjacent shelf portions are all within a predetermined range, whether the sum of the intervals is within a predetermined range, and the front and rear portions of the left wafer support 13L Then, it is determined whether or not the difference between the sums of the four intervals obtained for the front and rear portions of the right wafer support 13R is within a predetermined range. In addition, the item of this determination and its reference can be appropriately determined based on the shape requirement of the wafer storage cassette 10 and the like.
[0135]
When the pass / fail determination process is completed, the processing unit 300 supplies the inspection result to the display unit 302 (S31), and the inspection result is displayed on the display unit 302. This inspection result is a pass / fail judgment result of the wafer storage cassette 10 to be inspected, a judgment result of each of the judgment items, and an arbitrary part of all or part of the actual shape data (Y1, ΔYk, ΣΔYk) shown in FIG. Can be combined. By displaying such an inspection result on the display unit 302, the operator can immediately determine the acceptability of the wafer storage cassette 10 to be inspected. When the output of the inspection result ends as described above, the processing unit 300 ends a series of processes in the inspection mode.
[0136]
In the example described above, the shooting area Ek is moved by the slot pitch, and the actual shape data is obtained based on the image obtained in the process. However, the movement pitch of the shooting area Ek can be arbitrarily determined. it can. For example, if a simple inspection is sufficient, the imaging area is moved so that three lower, predetermined intermediate, and upper predetermined parts of each of the wafer supports 13L and 13R can be imaged, and the imaging areas set for each part are moved. The actual shape data may be obtained based on the image obtained from. Further, each photographing area Ek can be set so as to include three or more shelves that are continuously arranged, or can be set so as to include only a single shelf.
[0137]
Further, the imaging sites are not limited to the four locations before and after the wafer supports 13L and 13R. Only the front end portion of each of the wafer supports 13L and 13R may be photographed only at the rear end portion.
[0138]
Further, in the above example, the correlation data is generated using the reference wafer storage cassette for all the sets of two adjacent shelves, but only for a part of the set of two adjacent shelves. Correlation data may be generated using the reference wafer storage cassette, and the correlation data may be generated by interpolation processing for another pair of two adjacent shelf portions. Further, a scale representing a reference point and a reference pitch whose position in the absolute coordinate system is known may be printed on the screen of each camera unit. In this case, the coordinate value (X, Y) of the reference point in the absolute coordinate system XY, the distance of the reference pitch in the absolute coordinate system XY, and the image represented by the pixel coordinate system xy It is also possible to convert the image shape data into actual shape data based on the relationship with the shape data (x, y).
[0139]
Further, in the above-described example, the correlation data a and b representing the correlation between the X coordinate value in the absolute coordinate system XY and the x coordinate value in the pixel coordinate system xy are obtained. Since only the shape in the direction (Y direction) is inspected, only the Y coordinate value is used as the actual shape data. For this reason, the correlation data a and b need not be particularly determined. However, when the X coordinate value in the absolute coordinate system XY is used as the actual shape data, it is necessary to obtain the correlation data a and b as in the above-described example.
[0140]
The processing unit 300 inspects the actual shape of the handling member 15 of the wafer storage cassette 10 at a predetermined timing, for example, before inspecting the actual shape of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R described above. Specifically, similarly to the actual shape inspection of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R, processing in the calibration mode and processing in the inspection mode are performed. In the process in the calibration mode, the handling unit of the reference wafer storage cassette in which the actual shape data of the handling member (the coordinate value of the predetermined point in the absolute coordinate system XY) is known is photographed by the camera unit 203, Image data corresponding to the image signal output from the camera unit 203 is captured (see the procedure in FIG. 11). Then, correlation data is calculated from the relationship between the on-image shape data (coordinate values of the predetermined point in the pixel coordinate system xy) obtained from the image data and the known actual shape data (see FIG. 12). .
[0141]
In the processing in the inspection mode, as in the case of the inspection of the actual shape of the left wafer support 13L and the right wafer support 13R, the handling member 15 of the wafer storage cassette 10 to be inspected is photographed by the camera unit 203, Image data corresponding to the image signal output from the camera unit 203 is captured (see the procedure in FIG. 11). Then, the on-image shape data (coordinate values of the predetermined point in the pixel coordinate system xy) obtained from the image data is converted into actual shape data (coordinate values of the predetermined point in the absolute coordinate system XY) according to the correlation data. Convert to Based on the coordinate values of the predetermined point of the handling member 15 in the absolute coordinate system XY, for example, as shown in FIG. 17, the lengths HF3 and HF5 of the horizontal and vertical sides of the handling member 15, The distance HF1 between the lower horizontal side and the front end of the wafer storage cassette 10, the distance HF2 between the lower horizontal side and the notch portion 15a, the distance HF4 between the left vertical side and the notch portion 15b, and the two formed on the upper horizontal side The distance HF6 between the notch portions 15c and 15d, the angle θa between the lower side of the handling member 15 and the front edge line of the wafer storage cassette 10, and the like are further measured as actual shape data.
[0142]
The quality of the wafer storage cassette 10 is determined based on the result of the determination as to whether the obtained actual shape data satisfies a predetermined standard. At least one of the actual shape data and the quality determination result is displayed on the display unit 302. The operator can determine the quality of the actual shape of the handling member 15 of the wafer storage cassette 10 to be inspected based on the display contents of the display unit 302.
[0143]
Next, an inspection apparatus for a wafer storage cassette according to a second embodiment of the present invention will be described. The wafer storage cassette to be inspected by the inspection apparatus according to the second embodiment is configured as shown in FIG.
[0144]
In FIG. 18, the wafer storage cassette 50 is used for transporting wafers to another work place or the like, and is a box having an opening at the front. Inside the wafer storage cassette 50, a left wafer support 53L is formed on one side wall (left side wall) 51, and a right wafer support 53R is formed on the other side wall (right side wall) 52. Each of the left wafer support 53L and the right wafer support 53R has a plurality of shelf portions arranged at predetermined intervals in the vertical direction.
[0145]
In the back wall 55, a left back wafer support 54L and a support 54R on the right back surface located between the left back wafer support 54L and the right side wall 52 are formed. Each of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R is provided with a plurality of V-groove supports arranged in a vertical direction at predetermined intervals and having a structure as described later.
[0146]
The front ends of the respective shelf portions of the left wafer support 53L and the right wafer support 53R are configured as shown in FIG. A slot SLk into which a wafer peripheral portion is to be inserted is formed between the adjacent k-th shelf 531 (k) and the (k + 1) -th shelf 531 (k + 1). The peripheral portion of the wafer is supported on the wafer supporting surface (upper surface) of the shelf 531 (k).
[0147]
Each of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R is configured as shown in FIG. 20, the k-th V-groove support portion 540 (k) includes V-shaped first and second groove portions 542a (k) and 542b (k) located at the left and right ends, and the first groove portion 542a. A structure including a first shelf 541a (k) extending from the lower end of (k) and a second shelf 541b (k) extending from the lower end of the second groove 542b (k). ing. The groove line 543a (k) of the first groove 542a and the groove line 543b (k) of the second groove 542b (k) are located at the same height, and the first shelf 541a (k). Is designed to be located at the same height as the upper surface of the second shelf plate portion 541b (k). The shelf 541a (k), 541b (k) of the adjacent k-th V-groove support 540 (k) and the shelf 541a (k + 1), 541b (k + 1) of the (k + 1) -th V-groove support 540 (k + 1) ) Is formed with a slot SLk into which the peripheral edge of the wafer is to be inserted.
[0148]
The wafer storage cassette 50 is supported by the shelf 531 (k) of the left wafer support 53L and the shelf 531 (k) of the right wafer support 53R at a position corresponding to the periphery of the wafer. Wafers are stored in a state where the ends are supported by the V-groove support portions 540 (k) of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R at positions corresponding to the respective shelf portions 531 (k). I do. Then, when the front opening surface of the wafer storage cassette 50 is closed with a lid (not shown), the edge of the wafer is slightly pressed by the lid, and the opposite end of the wafer is grooved in the V-groove support portion 540 (k). The wafers 542a (k) and 542b (k) are pressed against the groove lines 543a (k) and 543b (k), thereby preventing the wafer from rattling in the wafer storage cassette 50.
[0149]
An inspection apparatus for inspecting the wafer storage cassette 50 having the above-described structure is configured as shown in FIGS. FIGS. 21 to 23 mainly show the arrangement relationship of the components of the inspection apparatus, and the fixing and support of each component are performed by a known method.
[0150]
In FIG. 21, the inspection apparatus 100 includes an inspection table 101, side plates 106 and 107, and a back plate 108. The inspection table 101 includes, similarly to the first embodiment, a cassette installation table 110 on which the wafer storage cassette 50 is installed, and an imaging table 121 on which an imaging device having a configuration described later is installed. I have. Further, similarly to the first embodiment, the cassette mounting table 110 is provided with a positioning mechanism for the wafer storage cassette 50, and the front opening surface of the wafer storage cassette 50 always faces the imaging table 121. In this state, it is installed at a fixed position on the cassette installation table 110.
[0151]
On the imaging stand 121, there are four camera units, a first camera unit 204 (1), a second camera unit 204 (2), a third camera unit 204 (3), and a fourth camera unit 204 (4). A camera unit and three illuminators, a first illuminator 205 (1), a second illuminator 205 (2), and a third illuminator 205 (3), are installed. The first camera unit 204 (1) and the first illuminator 205 (1) are used for photographing the left wafer support 53L in the wafer storage cassette 50, and use the second camera unit 204 (2) and the second camera unit 204 (2). The illuminator 205 (2) is used for photographing the left rear wafer support 54L in the wafer storage cassette 50. Further, the third camera unit 204 (3) and the second illuminator 205 (2) are used for photographing the right rear wafer support 54R in the wafer storage cassette 50, and the fourth camera unit 204 (4) and the The third illuminator 205 (3) is used for photographing the right wafer support 53R.
[0152]
The inspection table 101 is provided with a plate 151 having one end fixed to the inspection table 101 and the other end fixedly provided with mirrors 152a and 152b. The plate 151 extends into the cassette storage cassette 50 with a predetermined gap between the plate 151 and the bottom plate of the wafer storage cassette 50 installed on the cassette mounting table 110. Two mirrors 152a and 152b It is located near the back wall 55. The orientation of the mirror 152a is set so as to guide the image of the side end portion of the left rear wafer support 54L to the second camera unit 204 (2), as described later. The orientation of the mirror 152b is set so as to guide the image of the side end portion of the right rear wafer support 54R to the third camera unit 204 (3).
[0153]
The first camera unit 204 (1) and the first illuminator 205 (1) in the photographing apparatus are arranged on the photographing table 121 as shown in FIG. Adjustment of the distance between the lens unit 204a and the camera body 204c of the first camera unit 204 (1) including the lens unit 204a, the converter 204b, and the camera body 204c (for example, a CCD camera) from the wafer storage cassette 50; By adjusting the angle A of the optical axis of one camera unit 204 (1) or the like, the first camera unit 204 (1) moves the predetermined range of the front end portion (see FIG. 19) of the left wafer support 53L in the wafer storage cassette 50. (Measurement unit) is arranged so that it can be photographed. The first illuminator 205 (1) is adjusted by adjusting the distance of the first illuminator 205 (1) from the wafer storage cassette 50 and adjusting the angle of its optical axis (substantially parallel to the central axis of the wafer storage cassette 50). (1) is arranged so as to illuminate the shooting area of the first camera unit 204 (1). At a predetermined position behind the wafer storage cassette 50, a screen 60 (for clearing the contrast between the image of the front end portion of the left wafer support 53L and the background obtained by the first camera unit 204 (1) and the background. For example, a white color) is arranged.
[0154]
The second camera unit 204 (2) and the second illuminator 205 (2) are arranged as shown in FIG. The adjustment of the distance between the lens unit 204a and the camera body 204c from the wafer storage cassette 50, the adjustment of the angle A of the optical axis of the second camera unit 204 (2), and the like allow the second camera unit 204 (2) to move the mirror 152a. It is arranged so that an image projected on the camera can be photographed. The mirror 152a has its angle α and the distance m with respect to the left back wafer support 54L adjusted in accordance with the adjustment of the position and orientation of the second camera unit 204 (2), and both sides of the left back wafer support 54L. End portions (portions on the first shelf 541a (k) and first groove 542a (k) side of each V-groove support shown in FIG. 20, and second shelf 541b (k) and second (A portion on the side of the groove 542b (k)) is arranged to guide an image in a predetermined range (measurement unit) to the second camera unit 204 (2). Further, by adjusting the distance of the second illuminator 205 (2) from the wafer storage cassette 50 and adjusting the optical axis thereof, the second illuminator 205 (2) is projected onto the mirror 152a, and the left rear wafer support is projected. It is arranged to illuminate a predetermined range of 54L. In addition, at a predetermined position on the side of the wafer storage cassette 50, on the left rear surface obtained by the second camera unit 204 (2), in order to clarify the contrast between the image of the both end portions of the support 54L and the background. Screen 61 (for example, a black color) is arranged.
[0155]
Similarly to the second camera unit 204 (2) and the mirror 152b (see FIG. 23), the third camera unit 204 (3) and the mirror 152b cover a predetermined range of both side end portions of the right rear wafer support 54R. They are arranged so that they can be photographed. The second illuminator 205 (2) illuminates a predetermined area of the left rear wafer support 54L projected on the mirror 152a as described above, and also illuminates a predetermined area of the right rear wafer support 54R projected on the mirror 152b similarly to the mirror 152a. It is arranged to illuminate the area. Further, the fourth camera unit 204 (4) can photograph the front end portion of the right wafer support 53R in the wafer storage cassette 50 in the same manner as the first camera unit 204 (1) (see FIG. 22). The third illuminator 205 (3) is arranged so as to illuminate the front end portion of the right wafer support 53R in the same manner as the first illuminator 205 (1) (see FIG. 22).
[0156]
The shooting areas Ek of the first camera unit 204 (1) and the fourth camera unit 204 (4) arranged as described above are the same as those of the first camera unit 201 (1) and the first camera unit 201 (1) in the first embodiment. Similarly to the fourth camera unit 201 (4), the left wafer support 53L and the right wafer support 53R are set so as to include the adjacent shelf portions 531 (k), 531 (k + 1). 14 and 15). Further, as shown in FIG. 24, the photographing area Ek of the second camera unit 204 (2) and the third camera unit 204 (3) arranged as described above has the left rear wafer support 54L and the right rear The wafer support 54R is set so as to include both end portions of the adjacent V-groove support portions 540 (k) and 540 (k + 1).
[0157]
As described above, the imaging table 121 on which the imaging devices (each of the camera units 204 (1) to 204 (4) and the like) are installed can be moved up and down by the lifter device 120, as in the first embodiment. (See FIG. 7). A plurality of optical sensors for optically detecting the presence or absence of a plurality of pads provided on the bottom plate of the wafer storage cassette 50 at a predetermined position of the cassette mounting table 110, as in the first embodiment. Are buried (see FIG. 8). Further, the processing system in the inspection apparatus is configured as shown in FIGS. 9 and 10 as in the first embodiment.
[0158]
The inspection apparatus according to the second embodiment having the above-described configuration performs the processing in the calibration mode and the processing in the inspection mode similarly to the first embodiment, so that the left side of the wafer storage cassette 50 can be moved. The actual shapes of the wafer support 53L, the right wafer support 53R, the left rear wafer support 54L, and the right rear wafer support 54R are inspected.
[0159]
First, a reference wafer storage cassette (a non-defective wafer storage cassette) is set on the cassette mounting table 110, and processing in the calibration mode is executed in accordance with the procedure shown in FIGS. 11 and 12 as in the first embodiment. Is done. In the processing in the calibration mode, correlation data (a, b, c, d) k is generated based on image data representing an image in each shooting region Ek (see the above equations (1) to (4)). ). The reference wafer storage cassette has a Y coordinate value and an X coordinate value in the absolute coordinate system XY of a predetermined point on the wafer support surface of each shelf of the left wafer support 53L and the right wafer support 53R (see FIG. 15). Becomes known as actual shape data. Further, each shelf plate portion (541a (k), 541b (541 (k), 540 (k + 1), etc.) of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R shown in FIG. k), 541a (k + 1), 541b (k + 1), etc.) at predetermined points on the upper surface and groove lines (543a (k + 1), 542a (k), 542b (k), 542a (k + 1), 542b (k + 1), etc.). k), 543b (k), 543a (k + 1), 543b (k + 1), etc.) in the absolute coordinate system XY are known as the actual shape data.
[0160]
As for the left wafer support 53L and the right wafer support 53R, a set of correlation data (a, b, c, d) is set for each imaging region Ek (see FIG. 15), as in the first embodiment. ) K is generated. Further, regarding the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R, the first shelf portions 541a (k) and 541a (k + 1) adjacent to each photographing area Ek as shown in FIG. One set of correlation data (a, b, c, d) and one set of correlation data (a, b, c, d) for adjacent second shelf portions 541b (k), 541b (k + 1) One set of correlation data (a, b, c, d) for the groove lines 543a (k), 543a (k + 1) of the first grooves 542a (k), 542a (k + 1), and the adjacent second groove 542b (k ), 542b (k + 1) groove lines 543b (k), 543b (k + 1), a total of four sets of correlation data (a, b, c, d) are generated. This is because the correlation between the shape on the image and the actual shape is different depending on the parallax of the part imaged by the camera unit, so that the more suitable correlation data is based on the parallax (position in the X-axis direction). In order to get
[0161]
When the processing in the calibration mode is completed, the wafer storage cassette 50 to be inspected is set on the cassette mounting table 110, and the processing in the inspection mode is executed according to the procedure shown in FIGS. The processing in this inspection mode is performed for each of the left and right wafer supports 53L and 53R based on the image data obtained from each photographing area Ek, as in the first embodiment. The y coordinate value (yk, yk + 1) of the predetermined point on the wafer support surface in the pixel coordinate system xy is obtained as shape data on the image. Then, the y coordinate value (yk, yk + 1) is used as the Y coordinate value (a, b, c, d) k in the absolute coordinate system XY using the c and d in the correlation data (a, b, c, d) k corresponding to the imaging region Ek. Yk, Yk + 1) (see equations (2) and (4)). This Y coordinate value (Yk, Yk + 1) is obtained as actual shape data. Further, an interval ΔYk + 1 between the wafer support surfaces of the two adjacent shelf portions (see the above equation (5)) and a sum ΣΔYk of the intervals are calculated as the actual shape data.
[0162]
Regarding the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R, each of the V-groove support portions 540 (k) and 540 (k + 1) is based on image data obtained from each imaging region Ek (see FIG. 24). The y coordinate values (yak, ybk, yak + 1, ybk + 1) of the predetermined point on the upper surface of each shelf 542a (k), 542b (k), 542a (k + 1), 542b (k + 1) in the pixel coordinate system xy are represented as images. Obtained as upper shape data. Also, the y-coordinate of each of the groove lines 543a (k), 543b (k), 543a (k + 1), 543b (k + 1) of the V-groove support portions 540 (k), 540 (k + 1) in the pixel coordinate system xy. The values (yavk, ybvk, yavk + 1, ybvk + 1) are obtained as shape data on the image. The y coordinate values (yak, yak + 1) of the upper surfaces of the adjacent first shelf portions 541a (k) and 541a (k + 1), and the upper surfaces of the adjacent second shelf portions 541b (k) and 541b (k + 1) Y coordinate values (ybk, ybk + 1), y coordinate values (yavk, yavk + 1) of adjacent first groove portions 542a (k), 542a (k), and groove lines 543a (k), 543a (k + 1). Correlation data (a, b, c, d) corresponding to each of the y coordinate values (ybvk, ybvk + 1) of the groove lines 543b (k), 543b (k + 1) of the second groove portions 542b (k), 542b (k + 1). Are converted to Y coordinate values (Yak, Yak + 1), (Ybk, Ybk + 1), (Yavk, Yavk + 1), and (Ybvk, Ybvk + 1) in the absolute coordinate system XY using c and d. 2), (4)), and these Y-coordinate values (Yak, Yak + 1), (Ybk, Ybk + 1), (Yavk, Yavk + 1), (Ybvk, Ybvk + 1) is obtained as the actual shape data.
[0163]
Further, for example, the average value of the Y coordinate value Yak of the upper surface of each first shelf plate portion 541a (k) and the corresponding Y coordinate value Ybk of the upper surface of the second shelf plate portion 541b (k) is V groove support. The Y coordinate value Yk of the upper surface of the shelf portion of the portion 540 is calculated, and the Y coordinate value Yavk of the groove line 543a (k) of each first groove portion 542a (k) corresponds to the Y coordinate value Yavk of the second groove portion 542b (k). The average value of the groove line 543b (k) and the Y coordinate value Ybvk is calculated as the Y coordinate value Yvk of the groove line of the V-groove support portion 540. Further, based on the Y coordinate values (Yk, Yk + 1) of the shelf obtained for the two adjacent V-groove support portions 540 (k) and 540 (k + 1), the interval ΔYk + 1 (the above formula) (See (5)) and their sum ΣΔYk is calculated, and the Y coordinate values (Yvk, Yvk + 1) of the groove lines obtained for two adjacent V-groove support portions 540 (k), 540 (k + 1) ), A groove line interval ΔYvk + 1 (see the above equation (5)) is calculated, and a sum ΣΔYvk thereof is calculated.
[0164]
As a result of the above-described processing, as shown in FIG. 25, similarly to the first embodiment, from the image of the front end portion of the left wafer support 53L, the distance AZ2 between the wafer support surfaces of the two adjacent shelf portions is determined. AZ25 (ΔYk), the distance AZ1 (Y1) between the first (lowest) shelf and the horizontal reference plane (Y = 0), and the sum AZ26 (ΣΔYk) of the intervals AZ2 to AZ25 are obtained. Further, the distances DZ2 to DZ25 (ΔYk) between the wafer support surfaces of the two adjacent shelf boards from the image of the front end portion of the right wafer support 53R, the first (lowest) shelf board and the horizontal reference plane (Y = 0) and the sum DZ26 (ΣΔYk) of the intervals DZ2 to DZ25. Further, from the image of the left rear wafer support 54L, the distances BZ2 to BZ25 (ΔYk) between the upper surfaces of the shelf portions in the adjacent two V-groove support portions, the first (lowest) shelf portion and the horizontal reference plane The distance BZ1 (Y1) from (Y = 0) and the sum BZ26 (ΣΔYk) of the respective intervals BZ2 to BZ25 are obtained, and the distance EZ2 to EZ25 (ΔYvk) between the groove lines in the two adjacent V-groove supporting portions is obtained. , The distance EZ1 between the first groove line and the horizontal reference plane (Y = 0), and the total sum EZ26 (ΣΔYvk) of the intervals EZ2 to EZ25 are obtained. Also, from the image of the right rear wafer support 54R, similarly to the above, the distance CBZ2 to CZ25 (ΔYk) between the upper surfaces of the shelf portions in the adjacent two V-groove support portions, and the first (lowest) shelf plate CZ1 (Y1) between the section and the horizontal reference plane (Y = 0) and the sum CZ26 (ΣΔYk) of the respective intervals CZ2 to CZ25 are obtained, and the interval FZ2 between the groove lines in the two adjacent V-groove support portions is obtained. The distance FZ1 between FZ25 (ΔYvk), the horizontal reference plane (Y = 0) of the first groove line, and the total sum FZ26 (ΣΔYvk) of the intervals FZ2 to FZ25 are obtained.
[0165]
As described above, the actual shape data (Y1, ΔYk, ΣΔYk) representing the actual shape of each shelf for the left wafer support 53L and the right wafer support 53R, the left back wafer support 54L and the right back wafer support When the actual shape data (Y1, ΔYk, ΣΔYk, Yv1, ΔYvk, ΣΔYvk) representing the actual shapes of the respective shelf portions and groove lines for the 54R are obtained, as in the first embodiment, The quality of the wafer storage cassette 50 to be inspected is determined based on the shape data. When the pass / fail judgment is completed, the inspection result is displayed on the display unit. As in the first embodiment, the inspection result is a pass / fail judgment result for the wafer storage cassette 50 to be inspected, a judgment result of each judgment item, and the actual shape data (Y1, ΔYk) shown in FIG. , ΣΔYk, Yv1, ΔYvk, ΣΔYvk), or an arbitrary combination of all or some of them. By displaying such an inspection result on the display unit, the operator can immediately determine the acceptability of the wafer storage cassette 50 to be inspected. When the output of the inspection result ends as described above, a series of processes in the inspection mode ends.
[0166]
In the second embodiment, the images of both end portions of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support surface 54R are mirrored by the mirrors 152a and 152b in the second camera unit 204 (2) and the third camera unit 204 (2). The image is guided to the camera unit 204 (3), but the image is transmitted to the second camera unit 204 (2) and the third camera unit 204 (3) by another optical system (mirror, lens, fiber, etc.). It can be guided.
[0167]
In the second embodiment, both end portions of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R are photographed by the second camera unit 204 (2) and the third camera unit 204 (3). However, only one side end of the left rear wafer support 54L and the right rear wafer support 54R may be photographed.
[0168]
The photographing area Ek of each of the camera units 204 (1) to 204 (4) is not limited to the one shown in FIG. 24, and can be set appropriately as described in the first embodiment. Further, the moving pitch of the photographing area Ek can be set as appropriate according to the purpose of the inspection (a detailed inspection, a simple inspection, and the like).
[0169]
【The invention's effect】
As described above, according to the apparatus and method for inspecting a wafer storage cassette according to the present invention, a predetermined portion inside the wafer storage cassette is photographed by the photographing device, and the resulting image representing the shape of the predetermined portion is obtained. Since the upper shape information is converted into the actual shape information, the wafer storage cassette can be inspected more accurately based on the actual shape information.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a wafer storage cassette to be inspected by an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a structure of a front end portion of a wafer support of the wafer storage cassette shown in FIG. 1;
FIG. 3 is a view showing a structure of a rear end portion of a wafer support of the wafer storage cassette shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of an inspection device according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram showing an arrangement of a first camera unit and a first illuminator in the inspection device shown in FIG.
6 is a diagram showing an arrangement of a second camera unit and a second illuminator in the inspection device shown in FIG.
7 is a diagram showing a lifter device provided in the inspection device shown in FIG.
8 is a diagram showing a state of a cassette mounting table and a photographing table in the inspection apparatus shown in FIG.
9 is a block diagram showing a configuration of a processing system in the inspection device shown in FIG.
10 is a block diagram showing a specific configuration of a drive control circuit in the processing system shown in FIG.
11 is a flowchart illustrating a processing procedure (1) in a processing unit in the processing system illustrated in FIG. 9;
12 is a flowchart showing a processing procedure (part 2) in a processing unit in the processing system shown in FIG. 9;
13 is a flowchart showing a processing procedure (3) in a processing unit in the processing system shown in FIG. 9;
FIG. 14 is a diagram illustrating the relationship between the structure of a shelf portion of a wafer support and an imaging area.
FIG. 15 is a diagram showing a photographing area and measurement points of two adjacent shelf portions.
FIG. 16 is a diagram showing a measurement result by the inspection device shown in FIG. 4;
FIG. 17 is a view showing a specific shape of a handling member 15 provided on the upper surface of the wafer storage cassette.
FIG. 18 is a view showing a wafer storage cassette to be inspected by an inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 19 is a diagram showing a structure of a front end portion of each of the left and right wafer supports.
FIG. 20 is a diagram showing the structure of each of the left and right rear wafer supports.
FIG. 21 is a diagram showing a configuration of an inspection device according to a second embodiment of the present invention.
22 is a diagram showing an arrangement of a first camera unit and a first illuminator in the inspection device shown in FIG. 21.
23 is a diagram showing an arrangement of a second camera unit, a second illuminator, and a mirror in the inspection device shown in FIG.
FIG. 24 is a diagram showing an imaging area for each of the left and right rear wafer supports.
FIG. 25
FIG. 22 is a diagram showing a measurement result by the inspection device shown in FIG. 21.
[Explanation of symbols]
10. Wafer storage cassette
11 Left side wall
12 Right side wall
13L left wafer support
13R Right wafer support
15 Handling members
18a, 18b, 18c, 18d pad
20 screens
50 wafer storage cassette
51 Left side wall
52 Right side wall
53L left wafer support
53R Right wafer support
54L left back wafer support
54R Right back wafer support
55 back
60, 61 screen
100 inspection equipment
101 Inspection table
102 back version
103 top plate
106, 107 side plate
108 back plate
110 cassette stand
115a, 115b, 115c, 115d Optical sensor
120 Lifter device
121 Shooting stand
122 lifting shaft
125 motor
126 encoder
131 (k), 131 (k + 1) shelves
151 plate
152a, 152b mirror
201 (1), 204 (1) First camera unit
201 (2), 204 (2) Second camera unit
201 (3), 204 (3) Third camera unit
201 (4), 204 (4) Fourth camera unit
201a, 204a lens unit
201b, 204b converter
201c, 204c Camera body
202 (1), 205 (1) First illuminator
202 (2), 205 (2) Second illuminator
202 (3), 205 (3) Third illuminator
202 (4) Fourth illuminator
203 camera unit
206 Illuminator
300 processing unit
301 input unit
302 display unit
303 drive control circuit
3031 Frequency control unit
3032 drive pulse output unit
3033 drive pulse counter
3034 Output pulse counter
3035 comparator
540 (k), 540 (k + 1) V-groove support
541a (k), 541a (k + 1) First shelf unit
541b (k), 541b (k + 1) Second shelf
542a (k), 542a (k + 1) First groove
542b (k), 542b (k + 1) Second groove
543a (k), 543a (k + 1), 543b (k), 543b (k + 1) groove lines

Claims

An installation table for installing a wafer storage cassette to be inspected,
An imaging device that is provided to face a front opening surface of a wafer storage cassette installed on the installation table and that outputs an image signal by imaging a predetermined portion inside the wafer storage cassette;
A processing unit that generates actual shape information representing the actual shape of the predetermined part based on an image represented by an image signal from the imaging device,
The processing unit, image processing means for generating on-image shape information representing the shape of the predetermined portion on the image represented by the image signal,
An actual shape information generating means for generating the actual shape information using predetermined conversion information from the on-image shape information obtained by the image processing means.

The image processing means is to generate on-image position information representing the position of the predetermined part in the image coordinate system set on the image as the on-image shape information,
The real shape information generating means has coordinate conversion means for converting the position information on the image into real position information in a predetermined absolute coordinate system using the conversion information, and converts the real shape information based on the real position information. 2. The wafer storage cassette inspection device according to claim 1, wherein the inspection device is configured to generate the inspection result.

The conversion information used by the actual shape information generating means includes the shape information on the image obtained from the reference wafer storage cassette where the actual shape information representing the shape of the predetermined portion is known, and the known actual shape information. 3. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection apparatus is determined based on the following relationship.

A plurality of wafer storage cassettes are formed to be inspected so that the shelf supporting the peripheral portion of the wafer to be stored is arranged in a vertical direction on the side wall.
4. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the predetermined portion to be photographed by the photographing device is a predetermined portion of a predetermined number of shelf boards.

The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 4, wherein the predetermined portion to be imaged by the imaging device is a predetermined portion of two adjacent shelf plates.

6. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 4, wherein the photographing device photographs a front end portion of the predetermined number of shelf boards.

6. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 4, wherein the photographing device photographs a rear end portion of the predetermined number of shelf boards.

The imaging device, a first imaging unit having a light source for illuminating the front end portion of the predetermined number of shelf boards and a camera for imaging the front end portion,
The wafer storage cassette according to claim 4, further comprising a second photographing unit having a light source for illuminating a rear end portion of the predetermined number of shelf boards and a camera for photographing the rear end portion. Inspection equipment.

A first wafer support having a plurality of shelves vertically arranged on one side wall, and a second wafer support having a plurality of shelves vertically arranged on the other side wall The wafer storage cassette provided with
The image capturing apparatus, a first image capturing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelves in the first wafer support and a camera for imaging the front end portion,
A second imaging unit having a light source for illuminating a rear end portion of a predetermined number of shelf portions in the first wafer support and a camera for imaging the rear end portion,
A third photographing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelves in the second wafer support and a camera for photographing the front end portion,
5. The image forming apparatus according to claim 4, further comprising: a fourth imaging unit having a light source for illuminating a rear end portion of a predetermined number of shelf portions of the second wafer support and a camera for photographing the rear end portion. 5. The wafer storage cassette inspection apparatus according to 5.

The image processing means, in the image coordinate system set on the image, to generate on-image wafer support surface position information representing the position of the wafer support surface of each shelf, as the on-image shape information,
The real shape information generating means includes coordinate conversion means for converting the wafer support surface position information on the image into real wafer support surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information, 10. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 4, wherein the actual shape information is generated based on the support surface position information.

11. The actual shape information generating means generates actual shape information representing an interval between the respective shelf portions based on actual wafer support surface position information for the respective shelf portions. Wafer storage cassette inspection equipment.

6. The wafer according to claim 4, further comprising: a photographing area moving unit that moves a photographing area of the photographing apparatus including a predetermined portion of the predetermined number of shelf boards in an arrangement direction of the plurality of shelf boards. Storage cassette inspection device.

13. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 12, wherein the photographing area moving means has a lifter device for moving the photographing apparatus in the direction in which the plurality of shelf boards are arranged.

13. The wafer storage according to claim 12, wherein the photographing area moving means moves the photographing area stepwise so that each of the plurality of shelf portions is included in the photographing area at least once. Cassette inspection equipment.

15. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 14, wherein the photographing area moving means moves the photographing area by a predetermined amount corresponding to an interval between the plurality of shelves.

The image processing means generates on-image wafer support surface position information representing the position of the wafer support surface of each shelf in the image coordinate system set on the image obtained for each imaging region as the on-image shape information. So that
The actual shape information generating means includes coordinate conversion means for converting the wafer support surface position information on the image into actual wafer support surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information; Based on actual wafer support surface position information about the plate portion, at least one of the intervals between the respective shelf portions and the sum total of the intervals between the respective shelf portions in all of the plurality of shelf portions is generated as the actual shape information. 15. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 14, wherein:

A V-shaped groove that opens toward the front opening surface and a shelf that projects from the lower end of the groove toward the front opening surface and supports the end of the wafer stored therein. A plurality of wafer storage cassettes are formed to be inspected such that the groove support portions are arranged in the vertical direction on the rear wall,
4. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the predetermined portion to be photographed by the photographing device is a predetermined portion of a predetermined number of V-groove supporting portions.

18. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 17, wherein the predetermined portion to be imaged by the imaging device is a predetermined portion of two adjacent V-groove support portions.

An optical system for guiding an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supporting portions to the photographing device installed facing a front opening surface of the wafer storage cassette, wherein the photographing device is 18. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 17, wherein the side end portion is photographed.

20. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 19, wherein the optical system is set so as to guide images of both side end portions of the predetermined number of V-groove supporting portions to the video device.

Further, a plurality of wafer storage cassettes formed so that shelves supporting the peripheral portion of the wafer to be stored are arranged in the vertical direction on the side wall are inspected, and the photographing apparatus includes a predetermined number of wafers formed on the side wall. A first imaging unit having a light source for illuminating the front end portion of the shelf and a camera for imaging the front end portion,
19. The inspection of the wafer storage cassette according to claim 17, further comprising a second photographing unit having a light source for illuminating a predetermined portion of the predetermined number of V-groove supports and a camera for photographing the predetermined portion. apparatus.

An optical system for guiding an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supporting portions to a camera of the second photographing unit, wherein the second photographing unit is configured to have a side end portion of the predetermined number of V-groove supporting portions. 22. The apparatus for inspecting a wafer storage cassette according to claim 21, wherein an image is taken.

A first wafer support having a plurality of shelves supporting a peripheral portion of a wafer to be housed arranged vertically on one side wall, and a V-shape opening toward the front opening surface; A V-groove supporting portion for supporting a wafer edge stored therein having a groove portion and a shelf portion projecting from the lower end of the groove portion toward the front opening surface is arranged vertically on the rear wall. A plurality of second wafer supports, and a plurality of third wafer supports formed so that shelf portions for supporting the peripheral portion of the wafer to be stored are vertically arranged on the other side wall; A V-groove support for supporting an edge portion of a wafer to be housed having a V-shaped groove opening toward the front opening surface and a shelf portion projecting from the lower end of the groove toward the front opening surface. Parts are vertically arranged between the second wafer support of the back wall and the other side wall. The wafer storage cassette to the inspection target and a fourth wafer support having a plurality of formed such that,
The image capturing apparatus, a first image capturing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelves in the first wafer support and a camera for imaging the front end portion,
A second photographing unit having a light source for illuminating a predetermined portion of a predetermined number of V-groove supports in the second wafer support and a camera for photographing the predetermined portion;
A third photographing unit having a light source for illuminating a front end portion of a predetermined number of shelf portions in the third wafer support and a camera for photographing the front end portion,
19. The image forming apparatus according to claim 17, further comprising: a fourth imaging unit having a light source for illuminating a predetermined number of predetermined portions of the V-groove support portion of the fourth wafer support and a camera for imaging the predetermined portion. An inspection apparatus for a wafer storage cassette as described in the above.

A first optical system for guiding an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove support portions in the second wafer support to a camera of the second imaging unit;
A second optical system that guides an image of a side end portion of the predetermined number of V-groove supports in the fourth wafer support to a camera of the fourth imaging unit,
The second photographing unit photographs a side end portion of the predetermined number of V-groove support portions in the second wafer support, and the fourth photographing unit photographs the predetermined number of the fourth wafer support in the fourth wafer support. 24. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 23, wherein an image of a side end portion of the V-groove supporting portion is taken.

The image processing means, in an image coordinate system set on the image, to generate on-image groove line position information representing the position of the groove line of the groove in each V-groove support portion as the on-image shape information,
The actual shape information generating means has coordinate conversion means for converting the on-image groove line position information into actual groove line position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. 25. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 17, wherein actual shape information based on the actual shape information is generated.

The image processing means, on the image coordinate system set on the image, to generate on-image shelf surface position information representing the upper surface position of the shelf in each V-groove support portion as the on-image shape information,
The actual shape information generating means includes coordinate conversion means for converting the image upper shelf surface position information into actual shelf surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information, 25. The wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 17, wherein the actual shape information is generated based on the surface position information.

The actual shape information generating means generates actual shape information representing an interval between the groove lines based on actual groove position information with respect to a groove line of a groove in each of the V-groove supporting portions. 25. A wafer storage cassette inspection apparatus according to claim 25.

The actual shape information generating means generates actual shape information representing an interval between the shelf portions based on actual shelf surface position information with respect to the shelf portion in each of the V-groove supporting portions. The inspection device for a wafer storage cassette according to claim 26.

19. The wafer storage according to claim 17, further comprising: a photographing area moving unit configured to move a photographing area of the photographing apparatus including the predetermined number of V-groove supports in an arrangement direction of the plurality of V-groove supports. Cassette inspection equipment.

30. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 29, wherein the photographing area moving means has a lifter device for moving the photographing apparatus in an arrangement direction of the plurality of V-groove supporting portions.

30. The wafer according to claim 29, wherein the photographing region moving means moves the photographing region in a stepwise manner so that each of the plurality of V-groove supporting portions is included in the photographing region at least once. Storage cassette inspection device.

32. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 31, wherein the photographing area moving means moves the photographing area by a predetermined amount corresponding to an interval between the plurality of V-groove supporting portions.

The image processing means generates on-image groove line position information representing the position of the groove line in the groove of each V-groove support portion in the image coordinate system set on the image obtained for each photographing region as the on-image shape information. So that
The actual shape generating means has coordinate conversion means for converting the on-image groove line position information into actual groove line position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information. Based on the actual groove line position information, at least one of the intervals between the groove lines of the groove portions in each V-groove support portion and the sum total of the intervals between the groove lines in all of the plurality of V-groove support portions is generated as the actual shape information. The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 31, wherein the inspection is performed.

The image processing means includes, on the image coordinate system set on the image obtained for each photographing area, image upper shelf surface position information representing an upper surface position of the shelf portion in each V-groove support portion as the image upper shape information. To generate,
The actual shape information generating means includes coordinate conversion means for converting the image upper shelf surface position information into actual shelf surface position information in a predetermined absolute coordinate system using the predetermined conversion information, Based on the actual shelf surface position information on the support, at least one of the spacing between the shelf portions in each of the V-groove support portions and the sum of the spacing between the shelf portions in all of the plurality of V-groove support portions is determined by the actual The inspection apparatus for a wafer storage cassette according to claim 31, wherein the inspection apparatus is generated as shape information.

Having inspection result output control means for outputting the inspection result from the output unit,
4. The inspection result output control unit according to claim 1, wherein the actual shape information obtained by the actual shape information generation unit is output from the output unit as the inspection result. An inspection apparatus for a wafer storage cassette as described in the above.

Inspection result output control means for outputting an inspection result from an output unit,
And a shape determining unit for determining whether the actual shape information obtained by the actual shape information generating unit satisfies a predetermined criterion,
4. The wafer storage cassette according to claim 1, wherein the inspection result output control unit outputs the determination result of the shape determination unit from the output unit as the inspection result. 5. Inspection equipment.

An installation table for installing a wafer storage cassette provided with a handling member gripped by a robot on an upper surface,
A photographing device that is provided to face the handling member of the wafer storage cassette installed on the installation table, and that photographs the handling member and outputs an image signal; and an image represented by an image signal from the photographing device. A processing unit that generates actual shape information of the handling unit based on
The processing unit is an image processing unit that generates on-image shape information representing an outer shape of the handling member on an image represented by the image signal,
A real shape information generating means for generating real shape information representing an actual external shape of the handling unit using predetermined conversion information from the on-image shape information obtained by the image processing means; Storage cassette inspection device.

An installation step of installing a wafer storage cassette to be inspected on an installation table;
A photographing step in which a photographing device provided to face a front opening surface of the wafer storage cassette installed on the installation table images a predetermined portion inside the wafer storage cassette;
A processing step of generating actual shape information representing an actual shape of the predetermined portion based on an image represented by an image signal output from the imaging device by imaging the predetermined portion,
The processing step is an image processing step of generating on-image shape information representing the shape of the predetermined part on an image represented by the image signal,
An actual shape generating step of generating the actual shape information using predetermined conversion information from the on-image shape information obtained in the image processing step.

The image processing step generates on-image position information representing the position of the predetermined part in the image coordinate system set on the image as the on-image shape information,
The shape information generating step includes a coordinate conversion step of converting the position information on the image into actual position information in a predetermined absolute coordinate system using the conversion information, and generating actual shape information based on the actual position information. The inspection method of a wafer storage cassette according to claim 38, wherein the inspection is performed.

Having a conversion information obtaining step of obtaining conversion information used in the actual shape information step,
The conversion information obtaining step includes performing the installation step, the photographing step, and the image processing step on a reference wafer storage cassette in which actual shape information representing the shape of the predetermined portion is known, and performing the conversion in the reference wafer storage cassette. A first step of generating shape information on the image of the predetermined part,
40. The wafer storage cassette inspection method according to claim 38, further comprising a second step of generating the conversion information based on a relationship between the on-image shape information and the known actual shape information. .