JP2004261726A

JP2004261726A - 含ハロゲン化学物質の分解処理方法及び分解処理装置

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Publication number: JP2004261726A
Application number: JP2003055303A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Takeuchi; 章浩竹内
Original assignee: Chubu Electric Power Co Inc
Current assignee: Chubu Electric Power Co Inc
Priority date: 2003-03-03
Filing date: 2003-03-03
Publication date: 2004-09-24
Anticipated expiration: 2023-03-03
Also published as: JP4216622B2

Abstract

【目的】含ハロゲン化学物質を従来にもまして、大量処理が容易となり、さらには、吸着剤の選択幅も広げることができる含ハロゲン化学物質の分解処理方法を提供すること。
【構成】含ハロゲン化学物質の分解処理方法。吸着剤からなる充填層１２を備えた反応管１４に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解させながら吸着剤に反応吸着させる。そして、充填層１２に、ガスの流れ方向に沿ってガス拡散帯１８および反応帯２２を連続的に形成する。分解反応温度未満に制御されたガス拡散帯１８を介して分解反応温度に維持した反応帯２２に被処理ガスを導入する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【技術分野】
この発明は、フロン類、ハロン類、六フッ化硫黄、ハロゲン化水素類等のハロゲンを含む化合物や、ハロゲンガス等（以下、これらを総称して「含ハロゲン化学物質」という。）を大量分解（破壊）処理するための分解処理方法及び分解処理装置に関する。本明細書で「反応」とは、「分解」、「解離」を含む広い意味である。
【０００２】
【背景技術】
昨今、オゾン層破壊低減の見地からフロン類生産・使用規制が始まる前に生産された冷蔵庫や冷房装置（エアコン）が廃棄されつつある。また、フロン類、ハロン類は、工業製品等の洗浄に、六フッ化硫黄は電気絶縁用気体として電気機器にそれぞれ多用されている。それらの含ハロゲン化合物は、高い温暖化係数を示す温室効果ガスとして（フロン類はさらにオゾン層破壊ガスとしても）知られている。
【０００３】
このため、使用済みの回収した廃棄含ハロゲン化合物を、効率的に分解処理する方法及び装置が要望されている。そこで、当該要望に応えるべく分解処理装置（吸着剤を含む。）が、例えば、特許文献１〜４等において提案されている。
【０００４】
特許文献１・２に示す分解処理装置は、立て型石灰焼成炉を利用したもので、導入部から有機ハロゲン化合物をその炉内に導入することができるとともに、炉内には石灰石又はドロマイトからなる吸着剤が配置されるようになっている。そして、炉内において８００〜１４００℃の温度下で吸着剤と有機ハロゲン化合物とを接触させることで、有機ハロゲン化合物が分解処理できるようになっている。（特許文献４
【０００３】から引用）
しかし、上記処理装置の場合、８００〜１４００℃の炉内温度で融着して、吸着剤が塊状となって、大量の分解処理が困難であった。石灰又はドロマイトと含ハロゲン化合物が反応して生成する塩化カルシウム（ＣａＣｌ_２）や塩化マグネシウム（ＭｇＣｌ_２）の融点（ＣａＣｌ_２：７７２℃、ＭｇＣｌ_２：７１２℃）が炉内温度より低いためである（同
【０００４】、
【０００５】参照）。
【０００５】
そこで、下記構成の有機ハロゲン吸着剤（特許文献３）、及び該吸着剤を使用した有機ハロゲン分解処理装置が提案されている（特許文献４）。
【０００６】
この有機ハロゲン吸着剤は、
（ａ）酸化マグネシウムを５０重量％以上含有する吸着剤、又は、
（ｂ）酸化マグネシウムと酸化カルシウムとを含有し、その含有量が合わせて５０重量％以上であるとともに、［酸化カルシウム／（酸化マグネシウム＋酸化カルシウム）］（モル比）が０．６７以下である吸着剤、
であり、有機ハロゲン化合物の分解処理装置は、
反応部に有機ハロゲン化合物と吸着剤が反応部から連続的に排出されるように構成した有機ハロゲン化合物の分解処理装置であって、吸着剤が上記の（ａ）又は（ｂ）であることを特徴とするものである。
【０００７】
しかし、上記構成においては、ある程度大量処理（効率処理）が可能になるが、やはり、大量処理を行なおうとすると、固体アルカリ材（酸化マグネシウム、酸化カルシウム等）（以下「吸着剤」と称す。）が腐食性ガス（ハロゲンガス等）と反応中に融着する現象が若干見られた。
【０００８】
したがって、有機ハロゲン化合物を大量（例えば、２０ｋｇ／ｈ程度）に処理することが機構的に困難であった。
【０００９】
また、吸着剤（分解処理剤）も、ＭｇＯを所定比率以上（ＣａＯを併用する場合は、１３％以上）含有することが必須であり、吸着剤の選択幅が狭かった。このような問題は、ハロゲンガスやハロゲン化水素類等の分解処理時にもいえることである。
【００１０】
【特許文献１】
特許第２７９５８３７号公報
【特許文献２】
特開平１０−２２５６１８号公報
【特許文献３】
特開２００１−７９３４４公報
【特許文献４】
特開２００２−１６５８９８公報
【００１１】
【発明の開示】
本発明は、上記にかんがみて、含ハロゲン化学物質を従来にもまして、大量処理が容易となり、さらには、吸着剤の選択幅も広げることができる含ハロゲン化学物質の分解処理方法及び分解処理装置を提供することにある。
【００１２】
本発明は、上記課題を、解決するために鋭意開発に努力をする過程で、前述の「吸着剤が融着する」という課題の原因は、「高温の吸着剤と、含ハロゲン化学物質が大量に（高濃度で）接触することにより、部分的ないし局所的に過剰反応が発生して、融点の低い化合物（塩化物、臭化物など）が局所的ないし部分的に大量生成するためである。」ことを解明して、下記構成の含ハロゲン化学物質の分解処理方法に想到した。
【００１３】
吸着剤からなる充填層を備えた反応管に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解反応させながら吸着剤に（反応）吸着させて前記含ハロゲン化学物質を分解処理する方法において、
充填層にガスの流れ方向に沿ってガス拡散帯および反応帯を連続的に形成し、反応帯を分解反応温度に維持しながら、ガス拡散帯を分解反応温度未満に制御し、反応帯にガス拡散帯を介して被処理ガスを導入することを特徴とする。
【００１４】
反応帯に分解反応温度未満に制御された吸着剤からなるガス拡散帯を介して被処理ガスが導入されるため、被処理ガスが分解反応温度以上に維持された反応帯に直接導入される場合に発生する問題点（吸着剤の融着現象）が発生しない。ガス拡散帯により導入ガスが分散（希釈）されながら反応帯に移動するため、導入ガスが高濃度で吸着剤と接触して、部分的ないし局所的に急激な（過剰な）反応が発生し難い。
【００１５】
上記構成において、分解反応温度の設定は、通常、６００℃以上とする。６００℃未満では、効率的な含ハロゲン化学物質の分解反応が期待できないためである。
【００１６】
上記構成において、反応管に吸着剤を連続的又は間欠的に供給・排出することにより、充填層を流動層とすることが望ましい。吸着剤の流動により、導入ガスの拡散及び温度傾斜帯が形成され易く、さらには、たとえ、吸着剤粒子相互が融着しようとしても、当該融着が阻止（防止）される。
【００１７】
そして、上記構成において、ガス拡散帯の被処理ガス導入口と、反応帯のガス導出口との間で差圧制御を行なうことが望ましい。ガス流れの円滑化のためである。
【００１８】
反応管を立て型とすることにより、吸着剤からなる充填層の形成及び、該充填層の流動化も、重力を利用でき容易となる。
【００１９】
そして、上記方法に使用する含ハロゲン化学物質の分解処理装置は、下記構成となる。
【００２０】
吸着剤の充填層を備えた反応管に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを吸着剤に接触させて含ハロゲン化学物質の処理を行なうための装置であって、
充填層が、被処理ガスの流れ方向に沿って、被処理ガス導入口を備えたガス拡散帯と、被処理ガス導出口を備えた反応帯とを備え、
反応管の反応帯対応部位には加熱手段が配されている、
ことを特徴とする。
【００２１】
【発明を実施するための最良の形態】
本発明の含ハロゲン化学物質の分解処理方法に使用する分解処理装置の一例を図例（図１に示すモデル図）に基づいて説明をする。
【００２２】
本分解処理方法に使用する装置は、上位概念的には、吸着剤からなる充填層１２を備えた反応管１４に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解させながら吸着剤に主として反応吸着させて接触させて含ハロゲン化学物質の処理を行なうための装置である。
【００２３】
ここで、吸着剤としては、通常、カルシウム系のものを使用し、石灰石やドロマイトを焼成して得られる生石灰（ＣａＯ）や軽焼ドロマイト（ＣａＯ・ＭｇＯ）を使用するが、さらには、消石灰（Ｃａ（ＯＨ）_２）石灰石（炭酸カルシウム（ＣａＣＯ_３））、けい酸カルシウム（ＣａＳｉＯ_３）等も使用可能である。
【００２４】
また、吸収剤の粒径は、粒子形状により異なるが、通常２〜５０ｍｍ、望ましくは５〜２０ｍｍとする。粒径が小さすぎては、充填層１２（ガス拡散帯、反応帯）の空隙率が低くてガス流れが阻害されて、また、粒径が大きすぎては、粒子内へのガス拡散が不充分であるため、それぞれ、最適な処理効率（拡散効率及び吸着反応効率）を得難い。
【００２５】
そして、該充填層１２は、ガスの流れ方向に沿って、被処理ガス導入口１６を備えたガス拡散帯１８と、被処理ガス導出口２０を備えた反応帯２２とを備えている。図例では、反応管１４は立て型（図例では垂直）とされ、ガス拡散帯１８と反応帯２２が上下に形成されるようになっている。また、ガス導入口１６は、ガス拡散帯１８にガス流れが下方に向かうようにガイド（案内）キャップ２４が取り付けられている。
【００２６】
そして、ガス導入口１６（導入パイプ）とガス導出口２０（導出パイプ）との一方側又は双方側には、ガス流れを吸引により発生させるために、差圧発生手段（気体輸送機）、図例ではブロア２６がガス導出口２０側に配されている。気体輸送機としては、通常、加圧輸送機となる送風機（ファン、ブロア）又は減圧輸送機となる圧縮機（コンプレッサ）を、適宜、要求処理量、反応管１４の充填密度に対応させて適宜選定する。
【００２７】
反応管１４の反応帯２２対応部位には電熱ヒータ（加熱手段）２８、３０が配されている。この電熱ヒータは、図示しない制御手段で出力制御可能なものを使用する。加熱手段としては、電熱ヒータ（抵抗発熱体）に限らず、誘導加熱等の他の電気加熱手段あるいは燃焼加熱等の火力加熱手段であってもよい。
【００２８】
図例では筒状電熱ヒータからなる外設ヒータ２８、及び反応帯２２対応部位のみ加熱部とされたシーズドヒータ（電熱ヒータ）からなる内設ヒータ３０とからなる。反応帯２２の横断面内外の温度差を小さくするためである。ここで、外設ヒータ２８のみ又は内設ヒータ３０のみでもよい。また、内設ヒータを複数本としてもよい。
【００２９】
他方、反応管１４のガス拡散帯１８対応部位には、第一冷却手段３２が配されている。第一冷却手段３２は、反応管１４の一部を放熱蛇腹部で形成した空冷手段であるが、水冷手段であってもよい。
【００３０】
さらに、反応管１４の上方には、吸着剤供給ホッパ３４が、反応管１４の下方には吸着剤排出手段（機構）３６が配されている。そして、吸着剤排出手段は、通常、の強制排出手段（図例ではねじコンベヤ（スクリューコンベヤ））３６とし、強制排出手段の吸着剤流入口側と、反応管１４の下端側（吸着剤流出口）との間には、吸着剤が移動する導管（連絡管、ダクト）３８が配されている。そして、導管３８の外周には第二冷却手段（図例では水冷ジャケット４０）が配されている。
【００３１】
この導管３８は、反応管１４の下端側から流出（流下）してきた吸着剤を冷却する作用を奏して吸着剤冷却帯４２を形成するものである。吸着剤冷却帯４２を介さずにねじコンベヤ３６等の強制排出手段に直接吸着剤を流入させると、強制排出手段として特別な耐熱仕様のものを使用する必要がある。なお、この吸着剤冷却帯４２は、ねじコンベヤ３６等の強制排出手段と協働して、強制排出手段の出口３６ａを介してのガス導出口２０との間のガス流れを絞る作用も奏する。ガス導出口２０と強制排出手段出口３６ａとの間に、流体流れの圧損を発生させる吸着剤充填部が形成されるためである。この作用により、ガス導入口１６からガス導出口２０への被処理ガスの流れが円滑となる。
【００３２】
すなわち、ガス導出口２０と（強制）排出手段排出口３６ａの間のガス流れが絞られないと（自由であると）、被処理ガスを差圧制御により輸送（ガス移動）させるに際して、吸引制御の場合は外気が吸引されて、加圧制御の場合は排出手段出口に処理済みガスが逃げて、ガス流れが円滑に行なわれない。
【００３３】
なお、該ガス流れをより円滑とする必要がある場合は、強制排出手段出口３６ａを回収コンテナ４８も含めて略密閉状態とすることが望ましい。
【００３４】
ここで、強制排出手段（コンベヤ）としては、図例のねじコンベヤ３６でなくても、ベルトコンベヤ、エプロンコンベヤ、バケットコンベヤ等でもよい。なお、ねじコンベヤ（スクリューコンベヤ）３６の方が他のコンベヤに比して、吸着剤を密状態で搬送可能なため外気封鎖性を確保し易い。なお、ねじコンベヤ３６のねじ部（スクリュー軸）３７には、適宜、冷水を通過させて排出吸着剤を積極的に冷却するようにしてもよい。
【００３５】
また、間欠的に吸着剤を排出させる場合は、プランジャー方式でもよく、さらには、自由落下方式としてもよい。
【００３６】
なお、図例中、４４は歯車伝動手段であり、通常、原動機４６の出力軸と接続されている。
【００３７】
次に、上記含ハロゲン化学物質の分解処理装置の使用態様、すなわち、本発明の含ハロゲン化学物質の分解処理方法について説明する。
【００３８】
まず、ねじコンベヤ３６を停止させた状態で、吸収剤供給ホッパ３４内に投入口３４ａの蓋４６をあけて、導管３８内および反応管１４内が充填され、さらに、供給ホッパ３４が略一杯になるまで吸着剤を投入する。
【００３９】
次に、外設・内設電熱ヒータ２８、３０をオン（ＯＮ）として、反応帯２２の内部雰囲気温度を、含ハロゲン化学物質の分解反応温度以上となるまで昇温させ維持する。ここで、分解反応温度の設定温度は、分解反応（効率）の見地から、通常、６００℃以上、望ましくは、７００℃以上、さらに望ましくは、９００℃以上とする。そして、上限は、熱効率及び化学平衡の見地から、約１４００℃以下、望ましくは１２００℃以下とする。
【００４０】
ここで、当該設定温度は、反応帯２２の略中央部位置、例えば、図１のＤ点ないしＥ点におけるものとする。
【００４１】
そして、通常、第一冷却手段（放熱蛇腹）３２を備えたガス拡散帯１８は、分解反応温度未満である。ここで、ガス拡散帯１８は、通常、分解反応温度より格段に低い温度、高くて２００℃以下、通常１００℃以下の温度雰囲気になっている（例えば、図１のＢ点）。これは、ガス拡散帯１８を形成する吸着剤の充填層１２の熱伝導率が非常に低く、反応帯２２の温度影響を受け難いためである。
【００４２】
この状態で、ブロア２６を運転（稼動）させると、含ハロゲン化学物質は、ガス導入口１６から反応管１４の充填層１２内へ吸引導入される。すると、ガス導入口１６から吸引導入された被処理ガスは、ガス拡散帯１８で拡散されながら反応帯２２ヘ輸送（搬送）される。
【００４３】
このとき、ガス拡散帯１８の吸着剤雰囲気温度は、被処理ガスの分解反応温度未満である。このため、被処理ガスは、吸着剤の充填隙間で拡散されながら反応帯２２に移動する。
【００４４】
反応帯２２に到達した被処理ガスは、反応帯２２で、分解後、反応吸着されてハロゲン成分が除去された排ガスとしてガス導出口２０から排出される。
【００４５】
なお、ガス拡散帯１８の反応帯２２との境界部には、温度傾斜ゾーン（例えば、１００℃以上６００℃未満）である移行帯（中間帯）が存在する。
【００４６】
また、ガス導出口２０は、図示しないが、例えば、脱水槽、集塵槽等の所要の後処理設備に接続されている。
【００４７】
そして、ねじコンベヤ３６を駆動させると、反応管１４内の吸着剤は重力により、下方へ徐々に移動して、吸着反応が済んだ使用済み吸着剤は、導管３８を介してねじコンベヤ３６の入口に到達し、さらに、コンベヤ出口３６ａから回収コンテナ４８内に落下排出される。
【００４８】
このとき、反応管１４内の充填層１２は流動状態になり、たとえ、吸着剤の表面に融点の低い吸着反応生成物層が発生して吸着剤相互が融着しようとしても、吸着剤相互が流動しているため融着による吸着剤固着現象が発生することがない。
【００４９】
また、導管３８内の吸着剤は移動により放熱冷却されるとともに、水冷ジャケット（第二冷却手段）４０でさらに強制冷却されて、コンベヤ３６に達する。このため、コンベヤ３６が耐熱仕様でなくてもコンベヤ３６を傷めることがない。さらには、導管３８内及びコンベア３６内には、吸着剤の充填部が形成されて、ガス導出口２０とコンベヤ出口３６ａとの間のガス流れが絞られ、外気がコンベヤ出口３６ａからガス導出口２０へ吸引されるのが抑制される。このため、処理ガスのガス導入口１６からガス導出口２０への流れが円滑となる。結果的に、含ハロゲン化学物質の大量分解処理が容易となる。
【００５０】
上記実施形態において、反応管１４内の吸着剤充填層１２を固定層として、バッチ的に所定量のガスを処理後、処理ガス導入を止めて、コンベヤ３６を駆動させて、反応管１４内の吸着剤充填層１２を、供給ホッパ３４から未使用吸着剤を流下させた未使用吸着剤に入れ替えてもよい。
【００５１】
上記では反応管１４を垂直立て型としたが、傾斜立て型であっても、吸着剤を自重落下可能な傾斜角度なら、上記立て型と同様な作用効果を期待できる。
【００５２】
また、反応管１４を横型としてもよい。この場合、流動層を形成される場合、スクリュー等の耐熱送り機構を反応管１４内に配設する。
【００５３】
ここで、本発明の特徴的機構及び成果を、まとめると、下記の如くになる。
【００５４】
Ａ．特徴的機構
（１）拡散機構
吸着剤と含ハロゲン化学物質が高温で局所的に接触することを防ぐためには、拡散帯において低温の吸着剤と接触させ、吸着剤中に含ハロゲン化学物質を十分拡散させることが必要である。吸着剤は断熱材と同様に蓄熱する性質を有しており、吸着剤の温度は容易に下がらない。したがって、反応管上部に温度の低い吸着剤充填層からなる拡散帯を形成し、該拡散帯に含ハロゲン化学物質を導入し、含ハロゲン化学物質が十分拡散させた機構を設けた。
（２）強制排出機構
吸着剤が多少融着しても、連続的な排出を容易にするために、機械的に強制排出する機構を設けた。
（３）差圧制御機構
反応管上部から含ハロゲン化学物質の導入を促進させるため、差圧制御機構をも設けた。
【００５５】
Ｂ．本発明の効果
（１）含ハロゲン化学物質の処理結果
上記の対処により、本装置では吸着剤の融着が生じなくなり、大量の含ハロゲン化学物質を処理することが可能となった。
（２）吸着剤の選択幅の拡大
吸着剤が融着しにくくなったことより、従来法では使用できなかったＭｇＯ含有率３３％未満の吸着剤も使用できるようになり、吸着剤の選択の幅が広がった。
【００５６】
【試験例】
次に、本発明の効果を確認するために行なった、実施例と比較例について、行なった比較試験について説明をする。
【００５７】
【試験例】
本発明の効果を確認するために行った図１（実施例）又は図２（比較例）の含ハロゲン化学物質の分解処理装置を使用して、下記各条件で含ハロゲン化学物質の分解処理試験を行った。
【００５８】
＜分解処理装置の説明＞
実施例の分解処理装置は、図１において下記の仕様のものを使用した。
【００５９】
反応管１４：１０Ｂインコネル管（２６７．４ｍｍφ×１４００ｍｍ）にステンレス伸縮管（２５０Ａ×２０５ｍｍ）を接続して形成しもの。充填量：約８００ｋｇ。
【００６０】
導管３８：ステンレス２０鋼管（５０８ｍｍφ×５５０ｍｍ）で形成したもの。充填量：約５００ｋｇ。
【００６１】
ねじコンベヤ３６：排出速度３５〜１１０ｋｇ／ｈ、開口口２０Ｂ鋼管。
【００６２】
内設ヒータ：１２ｋＷ、外設ヒータ：２４ｋＷ。
【００６３】
ガス導入口、ガス導出口：１Ｂ鋼管（３４．０ｍｍ）
また、比較例の分解処理装置は、図２に示す如く、ガス導入を下側のガス導入口１６Ａから行い、ガス導出を上側のガス導出口２０Ａから行なうガス拡散帯が存在しない機構とするとともに、ガイドキャップ２４を取り外したものを使用した。他の構成・仕様は、実施例に使用した分解処理装置と同一である。
【００６４】
＜分解処理試験方法・結果＞
図１（実施例）の分解処理装置に、ハロン（１３０１）濃度５０％のエア混合ガス（被処理ガス）を、１００Ｌ／ｍｉｎ（ガス処理量２０ｋｇ／ｈ）の条件で導入して、分解処理を行った。そして、ガス導出口からの排ガス中のハロンガス含有率は、３ｐｐｍで、処理ガスの分解率は９９．９９％であった。
【００６５】
これに対して、図２（比較例）の分解処理装置に、ハロン（１３０１）濃度３２％の空気混合ガス（被処理ガス）を、５４Ｌ／ｍｉｎ（ガス処理量７ｋｇ／ｈ）の条件で導入して、分解処理を行った。しかし、吸着剤が融着して実質的に分解処理ができなかった。なお、ガス処理量２ｋｇでは、分解処理可能なことを確認している。
【００６６】
表１に、上記分解処理時の図１及び図２における各点温度を測定したので、参考的に示す。
【００６７】
【表１】

【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の分解処理装置の一実施例における構成断面図。
【図２】図１の装置を処理ガスを下部導入した比較例における構成断面図。
【符号の説明】
１２・・・充填層
１４・・・反応管
１６・・・ガス導入口
１８・・・ガス拡散帯
２０・・・ガス導出口
２２・・・反応帯
２６・・・差圧発生手段（ブロア）
２８・・・外設ヒータ（加熱手段）
３０・・・内設ヒータ（加熱手段）
３２・・・第一冷却手段（蛇腹放熱）
３６・・・吸着剤排出手段（ねじコンベヤ）
３８・・・導管
４０・・・第二冷却手段（水冷ジャケット）

Claims

吸着剤からなる充填層を備えた反応管に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解させながら前記吸着剤に反応吸着させて前記含ハロゲン化学物質を分解処理する方法において、前記充填層に、ガスの流れ方向に沿ってガス拡散帯および反応帯を連続的に形成し、該反応帯を分解反応温度に維持しながら、前記ガス拡散帯を前記分解反応温度未満に制御し、該ガス拡散帯を介して前記反応帯に前記被処理ガスを導入する、
ことを特徴とする含ハロゲン化学物質の分解処理方法。
前記分解反応温度の設定温度を６００℃以上とすることを特徴とする請求項１記載の含ハロゲン化学物質の分解処理方法。
前記反応管に前記吸着剤を連続的又は間欠的に供給・排出することにより、前記充填層を流動層とすることを特徴とする請求項１又は２記載の含ハロゲン化学物質の分解処理方法。
前記ガス拡散帯の被処理ガス導入口と、前記反応帯のガス導出口との間で差圧制御を行なうことを特徴とする請求項１、２又は３記載の含ハロゲン化学物質の分解処理方法。
前記反応管が立て型であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の含ハロゲン化学物質の分解処理方法。
吸着剤からなる充填層を備えた反応管に、含ハロゲン化学物質（被処理ガス）を連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解させながら前記吸着剤に反応吸着させて含ハロゲン化学物質の分解処理を行なうための装置であって、
前記充填層が、ガスの流れ方向に沿って、被処理ガス導入口を備えたガス拡散帯と、被処理ガス導出口を備えた反応帯とを備え、
前記反応管の反応帯対応部位には加熱手段が配されている、
ことを特徴とする含ハロゲン化学物質の分解処理装置。
前記反応管のガス拡散帯対応部位に冷却手段が配されていることを特徴とする請求項６記載の含ハロゲン化学物質の分解処理装置。
前記反応管に前記吸着剤の連続強制排出手段が接続されていることを特徴とする請求項６又は７記載の含ハロゲン化学物質の分解処理装置。
前記ガス拡散帯のガス導入口と前記反応帯のガス導出口の間に差圧を発生させる差圧制御手段を備えていることを特徴とする請求項６、７又は８記載の含ハロゲン化学物質の分解処理装置。
前記反応管が立て型であることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の含ハロゲン化学物質の分解処理装置。