【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶パネル等の欠陥検査を行う際、光源からの発光を減光する減光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、液晶パネルは液晶プロジェクタ、携帯電話やＰＤＡ（ｐｅｒｓｏｎａｌ ｄｉｇｉｔａｌａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）のディスプレイ等に広く使用されている。このような液晶パネルは、例えば特許文献１に開示された検査装置によって欠陥検査が行われている。図４は上記特許文献１に開示された検査装置の例である。この検査装置は、検査対象である液晶パネルに光を照射するランプと、液晶パネルの透過光を所定位置に設置されたスクリーン上に投射する投射光学系と、スクリーン上の像の輝度分布を検出する視野角θのＣＣＤカメラと、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動する検査パターン発生部と、検査パターンとＣＣＤカメラによる検出結果を参照し、液晶パネルの点欠陥の存在の有無を判定する欠陥判定部とで構成されている。
【０００３】
上記構成において、ランプは検査パターンが供給された液晶パネルに光を照射し、その透過光をスクリーン上に投射し、ＣＣＤカメラはスクリーン上の投射像を輝度情報として取り込み、欠陥判定部に供給する。欠陥判定部ではこの輝度情報と検査パターン発生部から供給される検査パターンを比較し、液晶パネルの点欠陥を検査する。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−１７４３９８号公報（図１、段落番号００２９）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶パネルの検査装置では、検査規定上液晶パネルに一定強度の光を照射する必要があり、例えば光路の一部に光を減衰させる為のＮＤフィルタを挿入し、光量調整を行っている。すなわち、ランプの発光強度は経時的に低下するので、発光容量の大きいランプを使用し、ＮＤフィルタによって減光し、液晶パネルに一定強度の光が照射されるように調整している。
【０００６】
しかしながら、ＮＤフィルタはフィルタ内に分散する光吸収物質が光を熱に変換して光吸収を行っており、検査用のランプからの強い光が照射されると光吸収物質が酸化し、内部に酸化物が生成され減光機能が低下する。
【０００７】
一方、ＮＤフィルタには酸化チタンや酸化シリコンの膜が多層に積層された誘電体多層膜で形成されたＮＤフィルタもあり、このＮＤフィルタをハーフミラーとして使用し、光源からの発光を反射し、減光する方法も提案されている。
【０００８】
しかしながら、このようなＮＤフィルタは波長による分光特性にばらつきがあり、同じ透過率のＮＤフィルタを使用したとしても波長によってその透過率が一定しない。この為、広い波長域において一定の減光特性を得ることが難しい。
【０００９】
そこで、本発明は、液晶パネル等の強い光を必要とする検査装置において、長期間に渡って所定の光強度の光を検査対象物に照射することができる減光装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、請求項１記載の発明によれば、光源と、該光源からの発光を検査対象物に集光させる集光手段と、該集光手段と前記検査対象物間に配設され、減光率を可変できる反射部材であり、前記光源からの発光を減光する減光手段とを備える減光装置を提供することによって達成できる。
【００１１】
ここで、上記光源は、例えば超高圧水銀ランプであり、経時的に発光強度が低下する。また、上記集光手段は複数のレンズで構成され、上記光源からの発光を検査対象物に集光する。
また、上記検査対象物は、例えば液晶プロジェクタ等に使用する液晶パネルであり、液晶パネルの欠陥検査等のために光源からの発光が行われる。また、検査対象物への照射光の強度は、例えば検査規定により所定値であることが要求されている。
【００１２】
また、上記減光手段は光源からの発光を減光し、液晶パネル等の検査対象物に所定強度の光を照射するための部材であり、経時的に減光率を変えながら検査対象物に常時一定強度の光を照射する。
このように構成することにより、本発明によれば光照射による酸化や、波長による分光特性の影響を受けることなく、液晶パネル等の検査対象物に対して常に一定強度の光を照射することができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記請求項１記載の発明において、前記減光手段は、例えば前記光源の発光強度の低下に対応して、連続的又は段階的に前記光源からの発光を減光する。
前記減光手段は、前記光源の発光強度の低下に対応して、段階的又は連続的に前記光源からの発光を減光する構成である。
上記光源の発光強度の低下は、例えばＣＣＤカメラで検出し、この検出結果から、予め設定された値との比較によって段階的又は連続的に減光手段の減光率を可変する。
【００１４】
尚、上記光源の使用時間を計数手段によって計数し、予め設定された時間との比較によって段階的又は連続的に光源からの発光を減光する構成としてもよい。
このように構成することにより、長期に渡って一定した光強度の光を検査対象物に照射することができ、例えば検査対象物の欠陥検査等を正確に行うことができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、前記請求項１、又は請求項２に記載の発明において、前記減光手段は、例えば金属製の材料より成る。
ここで、金属製の材料としては、ステンレスやニッケル等であり、強い発光を受けても劣化しない金属材料が使用される。
このように構成することにより、容易に減光手段の材料を入手でき、光源の光を反射して効率よく減光処理を行うことができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項３に記載のいずれかの発明において、前記光源と前記集光手段間には蠅の目レンズが配設されている。
このように構成することにより、例えば集光手段のみでは上記検査対象物の中心部と外周部で光強度が異なる不具合を解消でき、液晶パネル等の検査対象物に対して全面に渡って一定強度の光照射を行うことができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項４に記載のいずれかの発明において、前記減光手段は、例えば前記集光手段の焦点位置以外の位置に配設される。
このように構成することにより、減光手段を光学系の焦点位置からずらして配設でき、減光手段に使用される部材が検査対象物上に結像させることを回避できる。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項５に記載のいずれかの発明において、前記減光手段は、例えばターレットに減光率の異なる網目状の減光部材が複数配設され、該減光部材は段階的に選択される構成である。
例えば、上記ターレットの中心には回転軸があり、該回転軸を中心にして等間隔に複数の減光部材が配設され、各減光部材はそれぞれ減光率の異なる網目状の金属線（金網）で構成されている。
このように構成することにより、上記光源の劣化に伴って減光部材を選択して使用し、液晶パネル等の検査対象物に対して常に一定強度の光を照射することができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、前記請求項６に記載の発明において、前記複数の減光部材は、例えば前記網目の配設幅を異ならせることによって前記減光率を相違させる構成である。
ここで、上記網目の配設幅は、例えば縦方向及び横方向について相違させてもよく、又縦方向又は横方向のみについて相違させる構成としてもよい。
このように構成することにより、減光手段の減光率をより詳細に設定でき、光源の劣化に伴ってより正確に一定強度の光を検査対象物に照射することができる。
【００２０】
請求項８に記載の発明は、前記請求項６に記載の発明において、前記複数の減光部材は、例えば前記網目を構成する金属線の線径を異ならせることによって前記減光率を相違させる構成である。
このように構成することにより、減光部材をより容易に作成でき、例えばターレットの製造も簡単になる。
【００２１】
請求項９に記載の発明は、前記請求項６に記載の発明において、前記減光部材の網目は、例えば中央部が密であり、外周部が粗である。
このように構成することにより、液晶パネル等の検査対象物の中央部と外周部の光量バランスが改善でき、検査対象物に照射する光をより均一にすることができる。
【００２２】
請求項１０に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項５に記載のいずれかの発明において、前記減光手段は、複数の金属線を平行に配設して構成され、該金属線の保持具を機械的に稼働することによって連続的に前記減光率を可変する構成である。
このように構成することにより、連続的に減光率を可変でき、一定した光強度の光を検査対象物に安定して照射することができ、検査対象物の欠陥検査をより正確に行うことが可能となる。
【００２３】
また、金属線の保持具を機械的に稼働する機構には各種の方法があり、例えば金属線の両側に配設した保持具を平行に傾け、光軸を遮断する金属線の密度を可変する方法や、金属線の両側に配設した保持具自体を弾性部材で構成し、保持具を伸縮させて光軸を遮断する金属線の密度を可変する等の方法がある。
【００２４】
請求項１１に記載の発明は、前記請求項１０に記載の発明において、前記減光手段は、例えば光軸上に複数個並設された構成である。
例えば、２個の減光手段を金属線が直行する位置に並設することによって、より詳細に光源の発光強度を可変することができる。また、２個に限らず、３個、４個、・・・の減光手段を並設する構成とすることもできる。
【００２５】
請求項１２に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項５に記載のいずれかの発明において、前記減光手段は、例えばガラス基板上に反射材料を蒸着させた構成である。
ここで、例えば上記反射材料としてはクロム等の反射材料があり、ガラス基板上にこのような反射材料を、パターンを変えて複数蒸着することによって減光率を可変できる減光手段を作成することができる。
尚、この場合、反射材料としては金属に限るものではない。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の減光装置について、図面を参照しながら実施形態を詳述する。
【００２７】
図１は本実施形態の減光装置を使用した液晶パネルの検査装置の一部を示す図である。同図において、ランプ１は超高圧水銀ランプであり、例えば石英ガラス製の放電管に水銀を希ガス及び少量のハロゲンガスと共に封入して構成されている。また、ランプリフレクタ２はランプ１の一部を覆設し、ランプ１から平行光を蠅の目レンズに出力する。
【００２８】
蠅の目レンズ（以下、フライアイレンズで示す）３及び４は、それぞれ液晶パネル６内の液晶材料の配設位置に対応して形成された相似形状の多数の小レンズから成り、二次元配設されている。このフライアイレンズ３及び４は一対で光インテグレータを構成し、液晶パネル６に均一な光を照射する構成である。ここで、ランプ１側に配設された第１のフライアイレンズ３に照射された光は、各レンズ（小レンズ）によって、第２のフライアイレンズ４の対応する各レンズ（小レンズ）に集光する。
【００２９】
コンデンサレンズ５は第２のフライアイレンズ４に集光した光を液晶パネル６に集光させるレンズであり、ランプ１から出射された光を液晶パネル６に略均一に照射させる。液晶パネル６は、本実施形態の減光装置を利用した検査装置の検査対象物であり、液晶パネル６に形成された液晶素子の欠陥検査が行われる。尚、この液晶パネル６には検査パターンを供給する回路も接続されるが、当該回路は省略している。
【００３０】
一方、減光部７はコンデンサレンズ５と液晶パネル６間に配設され、コンデンサレンズ５を透過した光を減光する。この減光部７は、所定ピッチで配設された金属製の網（以下、金網で示す）で構成され、この金網でコンデンサレンズ５を透過した光の一部を反射し、減光する。
【００３１】
図２は上記減光部７の具体的な構成を説明する図である。同図において、減光部７は回転軸７ａを中心に複数の金網（減光手段）９〜１４が形成されたターレット８で構成され、各金網９〜１４は光軸に対して垂直に配設される。例えば、同図に示す金網９は最もメッシュの密度が粗な金網であり、金網１０は次にメッシュの密度が粗な金網である。以下、金網１１、１２、１３と順次メッシュの密度が密になり、金網１４が最もメッシュの密度が高い金網である。
【００３２】
例えば、これらの金網９〜１４は、線径を同じ０．５ｍｍとし、縦横の金属線のピッチを３．０ｍｍ〜２．０ｍｍまで変更して作成される。この場合、例えば金網９の線径は０．５ｍｍに設定され、ピッチは３．０ｍｍに設定される。また、金網１０の線径は０．５ｍｍに設定され、ピッチは２．８ｍｍに設定される。以下同様にして、金網１１〜１４の線径とピッチが設定される。尚、上記の設定例は一例であり、使用するランプ１の経時変化に従って各種の線径、及びピッチの設定が可能である。
【００３３】
また、図１に示す減光部７を通過する光束の直径が、例えば１００ｍｍであるとすると、上記各金網９〜１４の直径は１１０ｍｍ程度に設定される。
また、上記金網９〜１４を構成する金属線としては、例えばステンレスやニッケルが使用され、強い光で劣化しない金属材料であれば使用可能である。
【００３４】
以上の構成の減光装置において、以下にその処理動作を説明する。
先ず、検査対象物である液晶パネル６を所定位置にセットし、ランプ１を発光する。ランプ１は前述のように発光強度が経時的に低下する光源であり、経時変化を考慮して発光容量の大きいランプである。
【００３５】
本例においては、先ず最も減光率の高い金網を選択し、減光部７にセットする。前述のように金網１４のメッシュが最も密であり、ターレット８を回転して減光部７に先ず金網１４をセットする。
【００３６】
したがって、この設定状態において、ランプ１の発光は前述のようにフライアイレンズ３及び４を透過してコンデンサレンズ５に入射し、コンデンサレンズ５を透過した光は液晶パネル６に集光する。この時、減光部７に位置する金網１４はコンデンサレンズ５を透過して液晶パネル６に集光する光の一部を反射し、液晶パネル６に照射する光を減光する。
【００３７】
金網１４は前述のように形成されるメッシュの密度が高く、液晶パネル６に向かう光の多くを反射する。この時、金網１４のメッシュ密度は予め液晶パネル６に所定強度の光が照射されるように設定されたものであり、反射光量対通過光量の比が予め最適な状態に設定されたメッシュである。したがって、ランプ１の発光量が大きい初期時においても、予め設定された所定強度の光を液晶パネル６に照射することができる。
【００３８】
したがって、液晶パネル６の検査時、液晶パネル６には不図示の検査パターン発生部から特定の検査パターンの信号が供給されており、最適な光量照射を受けた液晶パネル６からの透過光を不図示の光検出器で検出することによって正確な液晶パネル６の欠陥検査を行うことが可能となる。
【００３９】
その後、液晶パネル６の欠陥検査が続けられ、例えば不図示のＣＣＤカメラで検出した光強度が一定レベル以下になると、ターレット８を回転して金網１４に変えて金網１３を光軸上にセットする。前述のようにこの金網１３はメッシュ密度が金網１４より粗く、光の反射率も減光部１４より小さい。したがって、ランプ１の光量低下に従ってターレット８を回転して金網１３に切り換えることにより、最適な光量の光を液晶パネル６に照射して検査を更に続けることができる。尚、金網１３のメッシュ密度もランプ１の経時変化に対応して、液晶パネル６に最適な強度の光が照射されるように予め設定されており、ランプ１の発光量が低下しても液晶パネル６には所定光量の光を照射することができる。
【００４０】
その後、更に液晶パネル６の欠陥検査が続けられ、ランプ１の光量は更に低下すると、ターレット８が回転し金網１３に変えて金網１２を光軸上にセットする。前述のように、この金網１２は金網１３よりメッシュ密度が粗く、光の反射率も金網１３より小さく、ランプ１の発光量が更に低下しても液晶パネル６には一定光量の光が照射され続ける。
【００４１】
以下、同様にして光源の光量低下に伴ってターレット８を回転し、金網１１→金網１０→金網９を順次切り換えて使用し、ランプ１の発光量の低下を減光部７によって補正し、常に一定光量の光を液晶パネル６に照射することができる。
【００４２】
特に本例によれば、従来のようにＮＤフィルタを使用しないので、長期間に渡って安定した減光機能を維持し、光吸収物質の酸化や、波長域の相違に基づく分光特性による影響を受けることもない。
【００４３】
尚、上記実施形態の説明では、金網９〜金網１４による光の減光率をメッシュの配設ピッチで変えたが、線径を変えることによって光の減光率を変える構成としてもよい。また、金網を構成する金属線の材質によって減光率を変える構成としてもよい。
【００４４】
また、上記金網の配設ピッチは、例えば縦方向及び横方向について相違させてもよく、又縦方向又は横方向のみについて相違させる構成としてもよい。
【００４５】
さらに、上記金網のピッチは、例えば中央部が密であり、外周部が粗に構成してもよい。このように構成することによって、液晶パネル６に照射される光強度が中心部で弱まり、外周部で高まり、液晶パネル６の全面により均一な強度の光照射を行うことができる。
【００４６】
また、上記実施形態の説明では複数の金網９〜金網１４をターレット８に形成したが、減光部７を他の構成としてもよい。例えば、図３（ａ）、（ｂ）は、コンデンサレンズ５を透過した光を反射する金属線の数を機械的に変化させ、減光率を連続的に可変させる例である。
【００４７】
同図（ａ）、（ｂ）に示す１５ａ、１５ｂは金網保持具であり、多数本の金属線１６−１、１６−２、１６−３、・・・の両端が金網保持具１５ａ、１５ｂに取り付けられている。また、同図（ａ）、（ｂ）に示す点線丸印領域１７は減光部７を通過する光束の範囲を示す。したがって、例えばランプ１の使用初期時には、同図（ｂ）に示すように金網保持具１５ａ、１５ｂを平行に大きく傾けて使用し、点線丸印領域１７に多くの金属線を位置させ、光の減光率を大きくする。一方、使用時間に従って序々に同図（ａ）に示す状態に戻し、点線丸印領域１７に位置する金属線の数を減らし、光の減光率を調整する。このように構成することにより、液晶パネル６には常時一定強度の光が照射され、液晶パネル６の欠陥検査を正確に行うことができる。
【００４８】
また、図３（ａ）、（ｂ）の説明では減光部７を１個の減光部材で構成したが、例えば互いに金属線が直行する方向に２個の減光部材を使用して減光部７を構成してもよく、更に３個、４個、・・・の減光部材を光軸方向に並設する構成としてもよい。このように構成することにより、より緻密な液晶パネル６に対する照射光の調整を行うことができる。
【００４９】
さらに、本実施形態の説明では液晶パネルの欠陥検査に本発明の減光装置を使用したが、液晶パネルの検査に限らず他の材料や装置の検査に本発明の減光装置を適用する構成としてもよい。したがって、検査対象物は液晶パネル６に限定されるものではない。
【００５０】
また、上記構成では減光手段を金属製の材料で構成したが、金属材料に限らず、例えばガラス基板に反射材料を蒸着させた構成であってもよい。
ここで、例えば上記反射材料としてはクロム等の反射材料があり、ガラス基板上にこのような反射材料を、パターンを変えて複数形成することによって減光率を可変できる減光手段を作成することができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば光源の光量が低下した場合でも長期間に渡って安定した減光を行うことができ、液晶パネル等の検査対象物に対して常に一定光量の光を照射することができる。
また、配設密度の異なる金網等を使用して減光率を可変するので、分光特性に影響されることがなく、検査対象物に対する正確な検査を行うことができる。
さらに、減光手段の配設位置を光学系の焦点位置からずらして配設でき、金網等の像を検査対象物上に結像させることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の減光装置を使用した液晶パネルの検査装置の一部を示す図である。
【図２】減光部の具体的な構成を説明する図である。
【図３】金網の密度を機械的に変化させ、減光率を連続的に可変する例を説明する図であり、
（ａ）は減光率が小さい状態を示し、
（ｂ）は減光率が大きい状態を示す。
【図４】従来の液晶パネルの検査装置を説明する図である。
【符号の説明】
１ ランプ
２ ランプリフレクタ
３、４ フライアイレンズ
５ コンデンサレンズ
６ 液晶パネル
７ 減光部
７ａ 回転軸
８ ターレット
９〜１４ 金網
１５ａ、１５ｂ 金網保持具
１６−１、１６−２、１６−３ 金属線
１７ 点線丸印領域[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a dimming device for dimming light emitted from a light source when performing a defect inspection of a liquid crystal panel or the like.
[0002]
[Prior art]
Today, liquid crystal panels are widely used for liquid crystal projectors, displays for mobile phones, PDAs (personal digital assistants), and the like. Such a liquid crystal panel is subjected to a defect inspection by an inspection device disclosed in Patent Document 1, for example. FIG. 4 shows an example of the inspection device disclosed in Patent Document 1. This inspection device detects a lamp that irradiates the liquid crystal panel to be inspected with light, a projection optical system that projects light transmitted through the liquid crystal panel onto a screen installed at a predetermined position, and a luminance distribution of an image on the screen. Camera that has a viewing angle of θ, a test pattern generator that drives the liquid crystal panel with a predetermined test pattern, and a defect that determines whether or not a point defect exists in the liquid crystal panel by referring to the test pattern and the detection result by the CCD camera. And a determination unit.
[0003]
In the above configuration, the lamp irradiates the liquid crystal panel to which the inspection pattern is supplied with light, projects the transmitted light on the screen, and the CCD camera captures the projected image on the screen as luminance information and supplies it to the defect determination unit. . The defect determination unit compares the luminance information with the inspection pattern supplied from the inspection pattern generation unit, and inspects a liquid crystal panel for point defects.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-11-174398 (FIG. 1, paragraph 0029)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In a liquid crystal panel inspection apparatus, it is necessary to irradiate the liquid crystal panel with light of a constant intensity in accordance with inspection regulations. For example, an ND filter for attenuating light is inserted in a part of an optical path to adjust the light amount. That is, since the light emission intensity of the lamp decreases with time, a lamp having a large light emission capacity is used, the light is reduced by the ND filter, and adjustment is performed so that the liquid crystal panel is irradiated with light of a constant intensity.
[0006]
However, in the ND filter, a light absorbing substance dispersed in the filter converts light into heat to absorb light, and when irradiated with strong light from an inspection lamp, the light absorbing substance is oxidized, and the light is absorbed inside. Oxide is generated and the dimming function is reduced.
[0007]
On the other hand, an ND filter includes an ND filter formed of a dielectric multilayer film in which titanium oxide or silicon oxide films are stacked in multiple layers. This ND filter is used as a half mirror to reflect light emitted from a light source, A method of dimming has also been proposed.
[0008]
However, such ND filters have variations in spectral characteristics depending on the wavelength, and even if ND filters having the same transmittance are used, the transmittance is not constant depending on the wavelength. For this reason, it is difficult to obtain constant light attenuation characteristics in a wide wavelength range.
[0009]
Therefore, the present invention provides a dimming device that can irradiate a test object with light having a predetermined light intensity for a long period of time in an inspection device such as a liquid crystal panel that requires strong light. .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, a light source, a light condensing unit that condenses light emitted from the light source to an inspection target, and disposed between the light collection unit and the inspection target, This can be achieved by providing a dimming device, which is a reflecting member capable of changing the dimming rate and includes dimming means for dimming light emitted from the light source.
[0011]
Here, the light source is, for example, an ultra-high pressure mercury lamp, and the emission intensity decreases with time. The condensing means is composed of a plurality of lenses, and condenses light emitted from the light source to the inspection object.
The inspection object is, for example, a liquid crystal panel used for a liquid crystal projector or the like, and emits light from a light source for defect inspection of the liquid crystal panel or the like. Further, the intensity of the irradiation light on the inspection object is required to be a predetermined value according to, for example, inspection regulations.
[0012]
The dimming means is a member for dimming light emitted from a light source and irradiating a test object such as a liquid crystal panel with light of a predetermined intensity. Irradiates light with a constant intensity at all times.
With such a configuration, according to the present invention, an object to be inspected such as a liquid crystal panel can always be irradiated with light of a constant intensity without being affected by oxidation due to light irradiation or spectral characteristics due to wavelength. it can.
[0013]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the dimming unit reduces the light emission from the light source continuously or stepwise, for example, in response to a decrease in the light emission intensity of the light source. Light.
The dimming unit is configured to diminish light emission from the light source stepwise or continuously in response to a decrease in the light emission intensity of the light source.
The decrease in the light emission intensity of the light source is detected by, for example, a CCD camera, and from this detection result, the dimming rate of the dimming means is changed stepwise or continuously by comparing with a preset value.
[0014]
The usage time of the light source may be counted by a counting means, and the light emission from the light source may be reduced stepwise or continuously by comparing with a preset time.
With this configuration, it is possible to irradiate the inspection object with light having a constant light intensity over a long period of time, and it is possible to accurately perform, for example, a defect inspection of the inspection object.
[0015]
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the dimming means is made of, for example, a metal material.
Here, as the metal material, stainless steel, nickel, or the like is used, which is a metal material that does not deteriorate even if it receives strong light emission.
With such a configuration, it is possible to easily obtain the material of the dimming unit, and to efficiently perform the dimming process by reflecting the light of the light source.
[0016]
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, a fly-eye lens is disposed between the light source and the light collecting means.
With this configuration, it is possible to eliminate the problem that the light intensity is different between the central portion and the outer peripheral portion of the inspection object, for example, using only the light condensing means, and the intensity of the light is constant over the entire inspection object such as a liquid crystal panel. Light irradiation can be performed.
[0017]
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects of the present invention, the dimming unit is disposed, for example, at a position other than the focal position of the light collecting unit.
With such a configuration, the dimming means can be arranged at a position shifted from the focal position of the optical system, and it is possible to prevent a member used for the dimming means from forming an image on the inspection object.
[0018]
According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects of the present invention, the dimming means includes, for example, a plurality of mesh-shaped dimming members having different dimming rates arranged on a turret. The dimming member is configured to be selected in a stepwise manner.
For example, there is a rotation axis at the center of the turret, a plurality of dimming members are arranged at equal intervals around the rotation axis, and each dimming member has a mesh-like metal wire (different dimming rate). Wire mesh).
With this configuration, it is possible to irradiate an object to be inspected such as a liquid crystal panel with light of a constant intensity by selecting and using a dimming member in accordance with the deterioration of the light source.
[0019]
A seventh aspect of the present invention is the configuration according to the sixth aspect, wherein the plurality of dimming members have different dimming rates by, for example, changing the arrangement width of the meshes.
Here, the arrangement width of the mesh may be different in the vertical direction and the horizontal direction, for example, or may be different only in the vertical direction or the horizontal direction.
With this configuration, the dimming rate of the dimming unit can be set in more detail, and the inspection object can be more accurately irradiated with light of a constant intensity as the light source deteriorates.
[0020]
According to an eighth aspect of the present invention, in the sixth aspect of the invention, the plurality of dimming members make the dimming rates different by, for example, changing the diameters of metal wires constituting the mesh. Configuration.
With this configuration, the dimming member can be more easily created, and for example, the production of the turret can be simplified.
[0021]
According to a ninth aspect of the present invention, in the invention according to the sixth aspect, the mesh of the dimming member has, for example, a dense central portion and a rough outer peripheral portion.
With this configuration, it is possible to improve the light amount balance between the central part and the outer peripheral part of the inspection target such as the liquid crystal panel, and to make the light irradiated on the inspection target more uniform.
[0022]
According to a tenth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, the dimming means is configured by arranging a plurality of metal wires in parallel. This is a configuration in which the dimming rate is continuously varied by mechanically operating the holder.
With this configuration, the dimming rate can be continuously varied, light with a constant light intensity can be stably radiated to the inspection target, and the defect inspection of the inspection target can be performed more accurately. Becomes possible.
[0023]
There are various methods for mechanically operating a metal wire holder. For example, the holders disposed on both sides of the metal wire are inclined in parallel to change the density of the metal wire that blocks the optical axis. There is a method of changing the density of the metal wire that blocks the optical axis by expanding and contracting the holding tool itself, which is provided on both sides of the metal wire with elastic members.
[0024]
According to an eleventh aspect of the present invention, in the tenth aspect of the invention, a plurality of the dimming units are arranged, for example, on an optical axis.
For example, by arranging two dimming means in parallel at a position where the metal wire is perpendicular, the emission intensity of the light source can be changed in more detail. The number of dimming means is not limited to two, but may be three, four,....
[0025]
According to a twelfth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects of the present invention, the dimming unit has a structure in which a reflective material is deposited on a glass substrate, for example.
Here, for example, there is a reflective material such as chromium as the reflective material, and it is necessary to create a dimming means capable of changing a dimming rate by depositing a plurality of such reflective materials on a glass substrate by changing a pattern. Can be.
In this case, the reflective material is not limited to metal.
[0026]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the dimming device of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0027]
FIG. 1 is a diagram showing a part of a liquid crystal panel inspection apparatus using the dimming device of the present embodiment. Referring to FIG. 1, a lamp 1 is an ultra-high pressure mercury lamp, which is formed by sealing mercury together with a rare gas and a small amount of a halogen gas in a discharge tube made of, for example, quartz glass. The lamp reflector 2 covers a part of the lamp 1 and outputs parallel light from the lamp 1 to the fly-eye lens.
[0028]
The fly-eye lenses (hereinafter, referred to as fly-eye lenses) 3 and 4 are composed of a number of similar small lenses formed corresponding to the positions of the liquid crystal material in the liquid crystal panel 6, and are two-dimensionally arranged. Has been established. The fly-eye lenses 3 and 4 constitute a pair of optical integrators, and irradiate the liquid crystal panel 6 with uniform light. Here, the light applied to the first fly-eye lens 3 disposed on the side of the lamp 1 is applied to each corresponding lens (small lens) of the second fly-eye lens 4 by each lens (small lens). Collect light.
[0029]
The condenser lens 5 is a lens that condenses the light condensed on the second fly-eye lens 4 on the liquid crystal panel 6, and irradiates the light emitted from the lamp 1 to the liquid crystal panel 6 substantially uniformly. The liquid crystal panel 6 is an object to be inspected by an inspection device using the light reducing device of the present embodiment, and a defect inspection of a liquid crystal element formed on the liquid crystal panel 6 is performed. Although a circuit for supplying a test pattern is also connected to the liquid crystal panel 6, the circuit is omitted.
[0030]
On the other hand, the dimming unit 7 is provided between the condenser lens 5 and the liquid crystal panel 6, and diminishes light transmitted through the condenser lens 5. The dimming unit 7 is composed of a metal net (hereinafter, referred to as a metal net) arranged at a predetermined pitch, and reflects a part of the light transmitted through the condenser lens 5 with the metal net to reduce the light.
[0031]
FIG. 2 is a diagram illustrating a specific configuration of the dimming unit 7. In the figure, the dimming unit 7 is composed of a turret 8 in which a plurality of wire meshes (light reducing means) 9 to 14 are formed around a rotation axis 7a, and each wire mesh 9 to 14 is arranged perpendicular to the optical axis. Is established. For example, the wire mesh 9 shown in the figure is a wire mesh having the coarsest mesh density, and the wire mesh 10 is a wire mesh having the next coarser mesh density. Hereinafter, the mesh densities increase in the order of the wire meshes 11, 12, and 13, and the wire mesh 14 is the wire mesh having the highest mesh density.
[0032]
For example, these metal meshes 9 to 14 are formed by changing the wire diameter to 0.5 mm and changing the pitch of the vertical and horizontal metal wires from 3.0 mm to 2.0 mm. In this case, for example, the wire diameter of the wire mesh 9 is set to 0.5 mm, and the pitch is set to 3.0 mm. The wire diameter of the wire mesh 10 is set to 0.5 mm, and the pitch is set to 2.8 mm. Similarly, the wire diameters and pitches of the wire nets 11 to 14 are set. The above setting example is merely an example, and various wire diameters and pitches can be set according to the change over time of the lamp 1 used.
[0033]
Further, assuming that the diameter of the light beam passing through the dimming unit 7 shown in FIG. 1 is, for example, 100 mm, the diameter of each of the wire nets 9 to 14 is set to about 110 mm.
As the metal wire forming the wire nets 9 to 14, for example, stainless steel or nickel is used, and any metal material that does not deteriorate by strong light can be used.
[0034]
The processing operation of the dimming device having the above configuration will be described below.
First, the liquid crystal panel 6 to be inspected is set at a predetermined position, and the lamp 1 emits light. As described above, the lamp 1 is a light source whose light emission intensity decreases with time, and has a large light emission capacity in consideration of a change with time.
[0035]
In this example, first, a wire net having the highest dimming rate is selected and set in the dimming unit 7. As described above, the mesh of the wire netting 14 is the densest, and the turret 8 is rotated to set the wire netting 14 on the dimming unit 7 first.
[0036]
Therefore, in this setting state, the light emitted from the lamp 1 passes through the fly-eye lenses 3 and 4 to enter the condenser lens 5 as described above, and the light transmitted through the condenser lens 5 is collected on the liquid crystal panel 6. At this time, the wire mesh 14 located in the light reduction unit 7 reflects a part of the light transmitted through the condenser lens 5 and condensed on the liquid crystal panel 6, and reduces the light irradiated on the liquid crystal panel 6.
[0037]
The wire net 14 has a high mesh density formed as described above, and reflects much of the light traveling toward the liquid crystal panel 6. At this time, the mesh density of the wire mesh 14 is set in advance so that the liquid crystal panel 6 is irradiated with light of a predetermined intensity, and the ratio of the amount of reflected light to the amount of transmitted light is previously set to an optimal state. . Therefore, even at the initial time when the amount of light emitted from the lamp 1 is large, it is possible to irradiate the liquid crystal panel 6 with light having a predetermined intensity.
[0038]
Therefore, when the liquid crystal panel 6 is inspected, a signal of a specific inspection pattern is supplied to the liquid crystal panel 6 from an unillustrated inspection pattern generation unit, and the transmitted light from the liquid crystal panel 6 that has been irradiated with the optimal amount of light is not affected. It is possible to perform an accurate defect inspection of the liquid crystal panel 6 by detecting with the illustrated photodetector.
[0039]
Thereafter, the defect inspection of the liquid crystal panel 6 is continued. For example, when the light intensity detected by a CCD camera (not shown) falls below a certain level, the turret 8 is rotated to change to the wire net 14, and the wire net 13 is set on the optical axis. . As described above, this wire mesh 13 has a mesh density coarser than that of the wire mesh 14 and a light reflectance smaller than that of the light attenuating portion 14. Therefore, by rotating the turret 8 in accordance with the decrease in the light amount of the lamp 1 and switching to the wire mesh 13, the liquid crystal panel 6 can be irradiated with the optimum amount of light and the inspection can be further continued. The mesh density of the wire mesh 13 is also set in advance so that the liquid crystal panel 6 is irradiated with light having an optimum intensity in accordance with the temporal change of the lamp 1. The panel 6 can be irradiated with a predetermined amount of light.
[0040]
Thereafter, the defect inspection of the liquid crystal panel 6 is further continued, and when the light amount of the lamp 1 is further reduced, the turret 8 rotates and sets the wire mesh 12 on the optical axis instead of the wire mesh 13. As described above, the wire mesh 12 has a mesh density lower than that of the wire mesh 13, has a lower light reflectance than the wire mesh 13, and irradiates the liquid crystal panel 6 with a constant amount of light even when the light emission amount of the lamp 1 further decreases. to continue.
[0041]
Hereinafter, similarly, the turret 8 is rotated in accordance with the decrease in the light amount of the light source, and the wire mesh 11 → the wire mesh 10 → the wire mesh 9 are sequentially used and used. The liquid crystal panel 6 can be irradiated with a certain amount of light.
[0042]
In particular, according to this example, since the ND filter is not used unlike the related art, a stable dimming function is maintained over a long period of time, and the influence of the oxidation of the light absorbing substance and the spectral characteristics based on the difference in the wavelength range is reduced. I do not receive it.
[0043]
In the description of the above-described embodiment, the light extinction rate of the wire nets 9 to 14 is changed by the arrangement pitch of the mesh. However, the light extinction rate may be changed by changing the wire diameter. Further, the light attenuation rate may be changed depending on the material of the metal wire forming the wire netting.
[0044]
Further, the arrangement pitch of the wire mesh may be different in the vertical direction and the horizontal direction, for example, or may be different only in the vertical direction or the horizontal direction.
[0045]
Further, the pitch of the wire mesh may be, for example, such that a central portion is dense and an outer peripheral portion is coarse. With such a configuration, the light intensity applied to the liquid crystal panel 6 is weakened at the central portion and increased at the outer peripheral portion, so that the entire surface of the liquid crystal panel 6 can be irradiated with light having a uniform intensity.
[0046]
Further, in the description of the above embodiment, the plurality of wire nets 9 to 14 are formed on the turret 8, but the light reducing portion 7 may have another configuration. For example, FIGS. 3A and 3B are examples in which the number of metal wires that reflect light transmitted through the condenser lens 5 is mechanically changed, and the dimming rate is continuously changed.
[0047]
15a and 15b shown in FIGS. 7A and 7B are wire mesh holders, and both ends of a large number of metal wires 16-1, 16-2, 16-3,... Are wire mesh holders 15a and 15b. Attached to. Also, the dotted circle areas 17 shown in FIGS. 7A and 7B show the range of the light beam passing through the light reduction unit 7. Therefore, for example, at the initial stage of use of the lamp 1, the wire mesh holders 15 a, 15 b are used with a large inclination parallel to each other as shown in FIG. Increase the dimming rate. On the other hand, the state is gradually returned to the state shown in FIG. 7A according to the use time, the number of metal wires located in the dotted circle area 17 is reduced, and the light extinction ratio is adjusted. With such a configuration, the liquid crystal panel 6 is constantly irradiated with light having a constant intensity, and the defect inspection of the liquid crystal panel 6 can be accurately performed.
[0048]
Further, in the description of FIGS. 3A and 3B, the dimming unit 7 is configured by one dimming member. However, for example, the dimming unit 7 is reduced by using two dimming members in a direction perpendicular to the metal wire. The light unit 7 may be configured, and three, four,... Light reducing members may be arranged in parallel in the optical axis direction. With this configuration, it is possible to perform more precise adjustment of the irradiation light to the liquid crystal panel 6.
[0049]
Further, in the description of the present embodiment, the dimming device of the present invention is used for the defect inspection of the liquid crystal panel. However, the configuration in which the dimming device of the present invention is applied not only to the inspection of the liquid crystal panel but also to the inspection of other materials and devices. It may be. Therefore, the inspection object is not limited to the liquid crystal panel 6.
[0050]
Further, in the above-described configuration, the dimming unit is formed of a metal material. However, the configuration is not limited to a metal material. For example, a configuration in which a reflective material is deposited on a glass substrate may be used.
Here, for example, as the reflective material, there is a reflective material such as chromium, and it is necessary to create a dimming means capable of changing the dimming rate by forming a plurality of such reflective materials on a glass substrate by changing the pattern. Can be.
[0051]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, even when the light amount of the light source is reduced, the light can be stably dimmed for a long period of time, and a constant amount of light is always emitted to the inspection object such as the liquid crystal panel. Can be irradiated.
Further, since the dimming rate is changed by using wire nets having different arrangement densities, accurate inspection of the inspection object can be performed without being affected by spectral characteristics.
Furthermore, the arrangement position of the dimming means can be shifted from the focal position of the optical system, so that an image such as a wire mesh is not formed on the inspection object.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a part of a liquid crystal panel inspection apparatus using a dimming device of the present embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a specific configuration of a dimming unit.
FIG. 3 is a diagram illustrating an example in which the density of a wire mesh is mechanically changed to continuously vary the dimming rate;
(A) shows a state where the dimming rate is small,
(B) shows a state where the dimming rate is large.
FIG. 4 is a diagram illustrating a conventional liquid crystal panel inspection apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lamp 2 Lamp reflector 3, 4 Fly-eye lens 5 Condenser lens 6 Liquid crystal panel 7 Dimming part 7a Rotation axis 8 Turret 9-14 Wire mesh 15a, 15b Wire mesh holder 16-1, 16-2, 16-3 Metal wire 17 Dotted circle area
