【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録ディスクの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量のデジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録ディスクが広く用いられている。
【０００３】
これらの光記録ディスクは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのいわゆるＲＯＭ型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記は可能であるが、データの書き換えができないタイプのいわゆる追記型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプのいわゆる書き換え型光記録ディスクに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型光記録ディスクにおいては、製造段階で、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されるのが一般的であり、書き換え型光記録ディスクにおいては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。また、必要に応じ、記録層の上下に、誘電体層を設けて、全体として、記録層として、機能させることもある。
【０００５】
これに対して、追記型光記録ディスクにおいては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素などの有機色素が用いられ、その化学的変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００６】
近年、ＤＶＤよりも、さらに長時間にわたって、記録・再生が可能な光記録ディスクの開発が要望されており、記録密度の向上が図られている。
【０００７】
光記録ディスクにおいて、記録密度を高くするためには、光記録ディスクに照射されるレーザ光のビームスポット径を小さくすることが必要であり、レーザ光のビームスポット径は、レーザ光の波長λとレンズの開口数ＮＡとの比に比例するため、波長λの短いレーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが要求される。
【０００８】
そのため、記録密度が高い次世代の光記録ディスクにおいては、波長λの短い青色レーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、開口数ＮＡの大きいレンズを用いる場合には、焦点距離が短くなり、ＣＤやＤＶＤのように、光透過性基板を介して、レーザ光を記録層に照射することができないため、記録層上に、光透過層を形成し、光透過層を介して、レーザ光を記録層に照射することが必要になる。
【００１０】
一方、レンズの開口数ＮＡを大きくすると、光透過層の厚みムラに対する許容度が小さくなるため、光透過層を均一に設けることが要求される。
【００１１】
記録層上に、光透過層を形成する方法として、信号面にピットやグルーブが形成された基板上に形成された記録層上に、液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング装置を用いて、塗布し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【００１２】
しかしながら、基板上に形成された記録層上に、液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング装置を用いて、塗布する場合には、基板および記録層にはセンターホールが形成され、液状の紫外線硬化性樹脂を、記録層の中心部に吐出することができないため、形成された塗布膜の膜厚が不均一になりやすいという問題があった。
【００１３】
そこで、特開平１１−２１３４５９号公報は、キャップを用いて、センターホールを塞ぎ、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップの中心部に吐出して、スピンコーティング装置により、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、塗布膜を形成する方法を提案している。
【００１４】
この方法によれば、スピンコーティング装置により、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、均一な塗布膜を形成することができ、したがって、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になるが、この方法にあっては、キャップ上面のほぼ全面が紫外線硬化性樹脂で覆われてしまうため、キャップをハンドリングするためのアームなどに、紫外線硬化性樹脂が付着することは避けられず、アームなどが紫外線硬化性樹脂によって汚染され、さらに、スピンコーティング装置の他の部分や、スピンコーティング装置以外の製造装置にも、紫外線硬化性樹脂が付着するおそれがあり、その結果、製造工程全体の信頼性を悪化させるという問題があった。
【００１５】
アームなどの洗浄することによって、かかる問題を解決することは可能であるが、アームなどの洗浄装置を設けることは、製造工程を複雑化し、コストアップの原因になるという問題がある。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、特開２００１−３５１２７５号公報は、中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを用い、把持軸の外周面に向けて、ノズルから、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出し、スピンコーティング装置によって、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、光透過層を形成する方法を提案している。
【００１７】
この方法によれば、アームなどを用いて、キャップの中央部に形成された把持軸の紫外線硬化性樹脂が付着していない部分を把持して、キャップをハンドリングすることによって、紫外線硬化性樹脂により、アームや、スピンコーティング装置の他の部分、スピンコーティング装置以外の製造装置が汚染されることを効果的に防止することが可能になり、また、把持軸を細く形成することによって、液状の紫外線硬化性樹脂をキャップのほぼ中央部に吐出することができ、粘度が低い液状の紫外線硬化性樹脂を用いる場合には、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の紫外線硬化性樹脂を展開させることによって、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になり、好ましい。
【００１８】
しかしながら、開口数ＮＡが大きい対物レンズを用いるためには、１００μｍ程度の厚さを有する光透過層を形成することが要求され、そのためには、塗布液として、２０００ないし１００００センチポイズという粘度が高い液状の紫外線硬化性樹脂を用いることが必要になるが、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップの把持軸の外周面に吐出して、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の紫外線硬化性樹脂を展開させ、光透過層を形成する場合には、光透過層の円周方向の膜厚にむらが生じ、生成された光記録ディスクの品質が低下するという問題があった。
【００１９】
したがって、本発明は、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明のかかる目的は、記録層が形成された円形の基板を、スピンコーティング装置のステージ上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、前記頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを、前記基板上にセットして、前記基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、前記ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする光記録ディスクの製造方法によって達成される。
【００２１】
本発明によれば、記録層が形成された円形の基板を、スピンコーティング装置のステージ上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを、基板上にセットして、基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の回転数よりも低下させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２３】
本発明の好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、ステージの回転数を、所定の低回転数よりも低下させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、キャップの頂面に吐出された液状の放射線硬化性樹脂が、よりレベリングされやすく、したがって、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、より均一に、基板の周縁部と同心円状に展開させることが可能になるから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転を停止させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、ステージの回転を停止させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、キャップの頂面に吐出された液状の放射線硬化性樹脂が、より一層、レベリングされやすく、したがって、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、より均一に、基板の周縁部と同心円状に展開させることが可能になるから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２６】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の低回転数に保持して、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２７】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記液状の放射線硬化性樹脂が、２０００ないし１００００センチポイズの粘度を有している。
【００２８】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの把持軸の外周面に吐出して、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の放射線硬化性樹脂を展開させ、光透過層を形成する場合には、光透過層の円周方向の膜厚にむらが生じやすいが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、ステージの回転数を、所定の低回転数に保持し、あるいは、ステージの回転数を、所定の低回転数よりも低下させ、あるいは、ステージの回転を停止させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、液状の放射線硬化性樹脂が、２０００ないし１００００センチポイズという高い粘度を有している場合にも、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２９】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、光記録ディスクの製造方法は、さらに、前記ステージを高速で回転させるステップを備えている。
【００３０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されている。
【００３１】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、高速で回転されているキャップの頂面上に吐出すると、液状の放射線硬化性樹脂が、記録層上に展開されて形成された光透過層に、気泡が混入しやすく、生成された光記録ディスクの品質が低下するが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．という低速で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されているから、光透過層に、気泡が混入することを効果的に防止することができ、したがって、高品質の光記録ディスクを製造することが可能になる。
【００３２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されている。
【００３３】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、高速で回転されているキャップの頂面上に吐出すると、液状の放射線硬化性樹脂が、記録層上に展開されて形成された光透過層に、気泡が混入しやすく、生成された光記録ディスクの品質が低下するが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．回転という低速で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されているから、光透過層に、気泡が混入することを効果的に防止することができ、したがって、高品質の光記録ディスクを製造することが可能になる。
【００３４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記キャップを、前記キャップの前記頂面の周縁部が、前記基板の前記周縁部と同心円上に位置するように、前記基板上にセットするように構成されている。
【００３５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、キャップを、キャップの頂面の周縁部が、基板の周縁部と同心円上に位置するように、基板上にセットするように構成されているから、キャップの頂面の全面にわたって、液状の放射線硬化性樹脂を展開させることによって、液状の放射線硬化性樹脂を、基板の周縁部と同心円状に展開されることができ、その後に、ステージを高速で回転させることによって、液状の放射線硬化性樹脂を、同心円状に、記録層上を展開することができ、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３６】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記キャップの側面の投影面が、略台形状をなしている。
【００３７】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、キャップの側面の投影面が、略台形状をなしているから、キャップの頂面上に、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂は、ステージを高速で回転させると、キャップの斜面状の側面をつたって流れ、液状の放射線硬化性樹脂を、確実に、同心円状に、記録層上に展開することができ、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３８】
本発明において、放射線硬化性樹脂としては、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂などが好ましく使用される。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００４０】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図であり、図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【００４１】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１は、ポリカーボネートなどによって形成された円形の基板２と、光が入射すべき側の基板２の表面に、スパッタリングなどによって形成された記録層３と、記録層３の表面上に形成された光透過層４を備えている。
【００４２】
図２に示されるように、基板２の光が入射すべき側の表面には、基板２を射出成形によって形成する際に、スタンパによって、グルーブ５が形成されている。
【００４３】
光透過層４は、基板２に形成された記録層３上に、スピンコーティングによって、液状の紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、形成されている。
【００４４】
図１に示されるように、光記録ディスク１の中央部には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのセンターホール６が形成され、センターホール６の外側には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのクランプ領域７が形成されており、クランプ領域７には、記録層３および光透過層４が形成されてはいない。
【００４５】
図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の要部を示す略斜視図であり、図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の要部の略縦断面図である。
【００４６】
図３および図４に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるスピンコーティング装置１０は、その径が光記録ディスク１の径とほぼ等しいステージ２１と、ステージ２１の中央部に設けられた第１の突出部２２と、第１の突出部２２の中央部に設けられた第２の突出部２３とを備えている。
【００４７】
ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３は、ステージモータ（図示せず）によって、一体的に回転するように構成されている。
【００４８】
図３および図４に示されるように、第１の突出部２２は、基板２上に、記録層３が形成されたデータ記録ユニットのクランプ領域７に相当する領域が載置される部分であり、その表面には、複数の第１の吸気口２４が形成されている。複数の第１の吸気口２４には、第１の吸気ポンプ（図示せず）が接続され、第１の吸気機構を作動することによって、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニットが、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定されるように構成されている。
【００４９】
第２の突出部２３は、径が製造されるべき光記録ディスク１のセンターホール６の径に対応しており、第１の突出部２２にデータ記録ユニットを載置したときに、データ記録ユニットのセンターホール６に、第２の突出部２３が挿入されるように構成されている。
【００５０】
図３および図４に示されるように、第２の突出部２３の中央部には、第２の吸気口２５が形成され、第２の吸気口２５には、第２の吸気ポンプ（図示せず）が接続されている。
【００５１】
図３および図４には図示されていないが、スピンコーティング装置１０は、さらに、先端に、柔軟性を有する吸引パッドを備え、データ記録ユニットのクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットし、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１のクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０から取り出す第１のアームと、キャップを保持して、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置に載置するとともに、キャップを、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１から取り去る第２のアームと、紫外線硬化性樹脂を、キャップ上に吐出する吐出ノズルを備えている。
【００５２】
図５は、スピンコーティング装置１０の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【００５３】
図５に示されるように、スピンコーティング装置１０の制御系は、スピンコーティング装置１０の全体の動作を制御するコントロールユニット３０を備えている。
【００５４】
また、スピンコーティング装置１０の駆動系は、ステージ２１を回転させるステージモータ３１と、第１の吸気ポンプ３２と、第２の吸気ポンプ３３と、データ記録ユニットを吸引して、搬送する第１のアーム３４を移動させる第１のアーム移動手段３５と、キャップを把持して、搬送する第２のアーム３６を移動させる第２のアーム移動手段３７と、吐出ノズル３８を、キャップ上に紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２１から退避した退避位置との間で、移動させるとともに、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出するノズル駆動手段３９と、紫外線ランプ４０を備えている。
【００５５】
以上のように構成されたスピンコーティング装置１０によって、光記録ディスク１を製造するにあたっては、まず、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第１の駆動信号が出力され、基板２と、スパッタリングなどによって、基板２上に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニットが、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）に吸引されて、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００５６】
データ記録ユニットは、第１のアーム３４によって、そのクランプ領域７が吸引されて、搬送され、記録層３が上方に位置し、センターホール６に、第２の突出部２３が嵌合するように、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００５７】
データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされると、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に退避信号が出力されて、第１のアーム３４が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第１の吸気ポンプ３２に作動信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２が作動され、第１の突出部２２に載置された基板２が、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定される。
【００５８】
図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上に固定された状態を示す略断面図である。
【００５９】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第１の駆動信号が出力されて、キャップが、第２のアーム３６によって、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置に載置される。
【００６０】
図７は、キャップの略斜視図であり、図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【００６１】
図７および図８に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００６２】
図７および図８に示されるように、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂をデータ記録ユニット５０の表面上に塗布するときに、紫外線硬化性樹脂が、毛管現象によって、キャップ５５の傘部５６の底面と基板２の間に入り込むことを防止するため、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００６３】
キャップ５５は、金属によって形成されている。
【００６４】
傘部５６の径は、製造すべき光記録ディスク１のセンターホール６の径よりも大きく、かつ、製造すべき光記録ディスク１のクランプ領域７の外径以下に設定される。
【００６５】
また、キャップ５５の突起部５８は、その径は、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５の内径よりもわずかに小さくなるように形成されている。
【００６６】
キャップ５５は、第２のアーム３６によって、支持軸５７が把持されて、搬送されるように構成され、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上に載置されたときに、突起部５８が、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合し、所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００６７】
図９は、キャップ５５が、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【００６８】
ここに、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされている。
【００６９】
キャップ５５が、データ記録ユニット５０上にセットされると、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、退避信号が出力されて、第２のアーム３６が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３が作動され、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合しているキャップ５５の突起部５８が吸引されて、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定される。
【００７０】
第２の吸気ポンプ３３が作動され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第１の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１が作動され、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３が、一体となって、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。その結果、ステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５も、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３とともに、一体的に、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７１】
次いで、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に第１の駆動信号が出力され、吐出ノズル３８が、データ記録ユニット５０上に固定されたキャップ５５上に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置に移動され、さらに、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出信号が出力されて、図１０に示されるように、吐出ノズル３８から、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出される。
【００７２】
ステージ２１が、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転され、所定の量の液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されると、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出停止信号が出力されて、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が停止され、同時に、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第２の駆動信号が出力されて、ステージ２１の回転速度が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．から、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下される。
【００７３】
したがって、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ５５が、一体として、より低速で、たとえば、２０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７４】
ここに、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出される液状の紫外線硬化性樹脂６０の量は、ステージ２１が高速で回転され、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０の一部が、ステージ２１の回転により生じた遠心力によって、基板２の周縁部から飛散しても、所望の膜厚の光透過層４が形成可能な量Ｍに設定され、したがって、キャップ５５の円形の傘部５６も、量Ｍ以上の液状の紫外線硬化性樹脂６０を、その頂面で、保持できるサイズに形成される。
【００７５】
ステージモータ３１により、ステージ２１の回転速度が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．から２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下された結果、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、図１１に示されるように、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開される。
【００７６】
本実施態様においては、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出され、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高いため、図１１に示されるように、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、表面張力により、その周縁部が、キャップ５５の傘部５６の頂面の周縁部から突出するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、キャップ５５が、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされているから、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたり、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０の周縁部は、基板２の周縁部の同心円上に位置している。
【００７７】
ステージ２１が、より低速で、たとえば、２０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第３の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１により、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ３５が、一体として、高速で、たとえば、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７８】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出され、傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、図１２に示されるように、所定の厚さ、たとえば、約１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００７９】
本実施態様においては、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上を展開され、したがって、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、記録層３上に形成される。
【００８０】
また、キャップ５５の傘部５６は、略台形状の縦断面を有しているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になる。
【００８１】
データ記録ユニット５０の記録層３上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第４の駆動信号が出力されるとともに、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力される。
【００８２】
その結果、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０およびデータ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５が、一体的に、中程度の速度で回転されるとともに、紫外線ランプ４０がオンされて、図１３に示されるように、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００８３】
紫外線４１が照射されて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、ある程度、硬化されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に駆動停止信号が出力されて、ステージモータ３１の作動が停止され、さらに、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動停止信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３の作動が停止される。
【００８４】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第２の駆動信号が出力され、第２のアーム３６により、キャップ５５の支持軸５７が把持されて、キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られる。
【００８５】
キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られると、コントロールユニット３０から、再び、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオンされ、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００８６】
データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が完全に硬化され、光透過層４が形成されて、光記録ディスク１が生成されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、第１の吸気ポンプ３２に駆動停止信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２の作動が停止される。
【００８７】
次いで、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第２の駆動信号が出力されて、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）によって、光記録ディスク１のクランプ領域７が吸引され、第１のアーム３４により、光記録ディスク１が、スピンコーティング装置１１から取り出される。
【００８８】
本実施態様によれば、キャップ５５が、その傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上に展開することができ、したがって、記録層３上に、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成することが可能になるから、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に展開して、均一な膜厚を有する光透過層４を形成することが可能になる。
【００８９】
また、本実施態様によれば、キャップ５５の傘部５６は、その側面の投影形状が略台形状をなしているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になるから、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に展開することによって、均一な膜厚を有する光透過層４を形成することが可能になる。
【００９０】
図１４は、本発明の他の実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップを示す略斜視図であり、図１５は、図１４に示されたキャップの略中央断面図である。
【００９１】
図１４および図１５に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が円形で、頂面に、凹部５６ｂが形成された傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００９２】
図１４および図１５に示されるように、キャップ５５の傘部５６の頂面に形成された凹部５６ｂは、傘部５６の頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に形成されており、図７および図８に示されたキャップ５５と同様に、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００９３】
本実施態様においても、前記実施態様と同様にして、キャップ５５が、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上に固定され、ステージ２１が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で回転されて、ステージ２１とともに、低速で回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面に、吐出ノズル３８から、紫外線硬化性樹脂６０が吐出される。
【００９４】
ステージ２１が、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転され、所定の量の液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されると、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出停止信号が出力されて、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が停止され、同時に、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、駆動停止信号が出力されて、ステージ２１の回転が停止される。
【００９５】
その結果、吐出ノズル３８から、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、図１６に示されるように、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開される。
【００９６】
このように、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、吐出ノズル３８から、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出した後に、スピンコーティング装置のステージ２１を停止させる場合には、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂がレベリングされやすく、液状の紫外線硬化性樹脂を、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、より均一に、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開することが可能になり、好ましい。
【００９７】
ステージモータ３１に、駆動停止信号が出力されてから、所定の時間が経過すると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第３の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１により、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０およびデータ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５が、一体として、高速で、たとえば、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００９８】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出され、傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、所定の厚さ、たとえば、約１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００９９】
本実施態様によれば、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上を展開され、したがって、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を、記録層３上に形成することが可能になる。
【０１００】
また、本実施態様においても、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になる。
【０１０１】
【実施例】
以下、本発明の効果を、より一層明らかにするため、実施例を掲げる。
【０１０２】
実施例
図１７に示されるように、平面形状が円形で、側面の投影形状が台形をなし、頂面の径が２３ｍｍ、底面の径が３８ｍｍで、高さが２ｍｍの傘部５６を備え、傘部５６の頂面の中央に、４ｍｍの径を有する把持軸５７が形成されたキャップ５５を用い、キャップ５５の傘部５６の頂面上に、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を吐出して、スピンコーティング装置によって、径が１２０ｍｍの基板に形成された記録層の表面に、光透過層を形成した。
【０１０３】
まず、キャップ５５を、その傘部５６の周縁部が、基板の周縁部の同心円上に位置するように、記録層上にセットした。
【０１０４】
次いで、スピンコーティング装置のステージを、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、１０秒間にわたって、キャップ５５の傘部５６の頂面の中心から４ｍｍの位置に、１．８ｇの液状の紫外線硬化性樹脂を吐出した。
【０１０５】
液状の紫外線硬化性樹脂の吐出完了後、スピンコーティング装置のステージの回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させ、１０秒間にわたって、スピンコーティング装置のステージを回転させたところ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂が、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、液状の紫外線硬化性樹脂が、表面張力により、その周縁部が、キャップ５５の傘部５６の頂面の周縁部から突出していることが認められた。
【０１０６】
次いで、スピンコーティング装置のステージの回転数を、７秒間かけて、２０ｒ．ｐ．ｍ．から、２０００ｒ．ｐ．ｍ．に増大させ、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、５．１秒間にわたって、スピンコーティング装置のステージを回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成した。
【０１０７】
さらに、紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線を照射し、紫外線硬化性樹脂の薄膜を硬化させて、光透過層を形成し、光記録ディスクを作製した。
【０１０８】
こうして作製された光記録ディスクの光透過層の膜厚分布を、光記録ディスクの中心から、２２ｍｍの部分、４０ｍｍの部分および５８ｍｍの部分で、円周方向に測定した。
【０１０９】
その結果、膜厚の最大値と最小値との差は、光記録ディスクの中心から、２２ｍｍの部分で０．５９μｍ、４０ｍｍの部分で０．５４μｍ、５８ｍｍの部分で０．４９μｍであり、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を用いて、スピンコーティング装置により、光透過層を形成したにもかかわらず、光透過層の円周方向の膜厚分布が、十分に均一であることが判明した。
【０１１０】
これは、キャップ５５を、その傘部５６の周縁部が、基板の周縁部の同心円上に位置するように、記録層上にセットし、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂を、レベリングさせて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開させた後に、スピンコーティング装置のステージが高速で回転させ、液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面に展開しっため、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板の周縁部に対し、同心円状に、記録層上に展開したためと推測される。
【０１１１】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１１２】
たとえば、図３ないし図１３に示された実施態様および前記実施例においては、液状の紫外線硬化性樹脂を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で、回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した後、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させて、数回転にわたって、ステージ２１を回転させ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開し、図１４ないし図１６に示された実施態様においては、液状の紫外線硬化性樹脂を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で、回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した後、所定の時間にわたって、スピンコーティング装置のステージ２１の回転を停止させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開しているが、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させて、数回転にわたって、ステージ２１を回転させ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開し、あるいは、所定の時間にわたって、スピンコーティング装置のステージ２１の回転を停止させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、数回転にわたって、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した際の回転数に保持して、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開するようにすることもでき、さらには、スピンコーティング装置のステージ２１が低速で回転されていれば、ステージ２１の回転数を、数回転にわたって、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した際の回転数よりも増大させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開するようにすることもできる。
【０１１３】
また、図３ないし図１３に示された実施態様および前記実施例においては、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５を用い、図１４ないし図１６に示された実施態様においては、平面形状が円形で、頂面に、周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に、凹部５６ｂが形成され、平らな側面を有する傘部５６を備えたキャップ５５を用いているが、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５や、平面形状が円形で、頂面に、周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に、凹部５６ｂが形成され、平らな側面を有する傘部５６を備えたキャップ５５を用いることは必ずしも必要でなく、傘部５６が、円形の平面形状と、平坦な頂面または周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有していれば、傘部５６の側面が曲面によって形成されていてもよく、また、円板状の傘部５６を備えたキャップ５５を用いることもできる。
【０１１４】
さらに、前記実施態様においては、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に塗布して、光透過層を形成し、前記実施例においては、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって、記録層上に塗布して、光透過層を形成しているが、７０００センチポイズあるいは７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって、記録層上に塗布して、光透過層を形成することは必ずしも必要でなく、２０００ないし１００００センチポイズの粘度を有していれば、いかなる粘度の液状の紫外線硬化性樹脂を用いてもよい。
【０１１５】
また、前記実施態様および前記実施例においては、スピンコーティング装置のステージ２１を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出しているが、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、３０ｒ．ｐ．ｍ．に保持することは必ずしも必要でなく、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．、好ましくは、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の範囲内に保持すればよい。
【０１１６】
さらに、前記実施例においては、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開した後、スピンコーティング装置のステージを、２０００ｒ．ｐ．ｍ．で回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成しているが、スピンコーティング装置のステージを、２０００ｒ．ｐ．ｍ．で回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置のステージの回転数は、液状の紫外線硬化性樹脂の粘度に応じて、選択することができる。
【０１１７】
また、前記実施態様および前記実施例においては、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成しているが、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成することは必ずしも必要でなく、紫外線硬化性樹脂に代えて、電子線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することもできる。
【０１１８】
【発明の効果】
本発明によれば、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の要部を示す略斜視図である。
【図４】図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の要部の略縦断面図である。
【図５】図５は、スピンコーティング装置の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【図６】図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置のステージ上に固定された状態を示す略断面図である。
【図７】図７は、キャップの略斜視図である。
【図８】図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【図９】図９は、キャップが、ステージ上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【図１０】図１０は、紫外線硬化性樹脂が、吐出ノズルから、キャップの傘部の頂面に吐出された状態を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、液状の紫外線硬化性樹脂が、キャップの傘部の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた状態を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、所定の膜厚を有する紫外線硬化性樹脂の薄膜が、データ記録ユニットの記録層上に形成された状態を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、データ記録ユニットの記録層上に形成された紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線が照射されている状態を示す略断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップを示す略斜視図である。
【図１５】図１５は、図１４に示されたキャップの略中央断面図である。
【図１６】図１６は、液状の紫外線硬化性樹脂が、キャップの傘部の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた状態を示す略断面図である。
【図１７】図１７は、実施例に用いたキャップの側面の略断面図である。
【符号の説明】
１ 光記録ディスク
２ 基板
３ 記録層
４ 光透過層
５ グルーブ
６ センターホール
７ クランプ領域
１１ スピンコーティング装置
２１ ステージ
２２ 第１の突出部
２３ 第２の突出部
２４ 第１の吸気口
２５ 第２の吸気口
３０ コントロールユニット
３１ ステージモータ
３２ 第１の吸気ポンプ
３３ 第２の吸気ポンプ
３４ 第１のアーム
３５ 第１のアーム移動手段
３６ 第２のアーム
３７ 第２のアーム移動手段
３８ 吐出ノズル
３９ ノズル駆動手段
４０ 紫外線ランプ
４１ 紫外線
５０ データ記録ユニット
５５ キャップ
５６ キャップの傘部
５６ａ キャップの底面に形成された凹部
５６ｂ キャップの頂面に形成された凹部
５７ キャップの把持軸
５８ キャップの突起部
６０ 紫外線硬化性樹脂[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording disk, and more particularly, to a light transmitting layer having a uniform film thickness even when a light transmitting layer is formed using an ultraviolet curable resin having a high viscosity. The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording disk capable of forming a recording medium.
[0002]
[Prior art]
In recent years, optical recording disks represented by CDs and DVDs have been widely used as recording media for recording large volumes of digital data.
[0003]
These optical recording disks are so-called ROM type optical recording disks of a type in which data cannot be additionally written or rewritten, such as a CD-ROM or a DVD-ROM, and data have to be additionally written, such as a CD-R or a DVD-R. It is possible to broadly divide into so-called write-once optical recording discs, which are possible but not data rewritable, and so-called rewritable optical recording discs, which are rewritable data such as CD-RW and DVD-RW. Can be.
[0004]
As is widely known, in a ROM type optical recording disk, data is generally recorded by pre-pits formed on a substrate at a manufacturing stage, and in a rewritable type optical recording disk, for example, Generally, a phase change material is used as a material of the recording layer, and data is generally recorded using a change in optical characteristics based on a change in the phase state. If necessary, a dielectric layer may be provided above and below the recording layer to function as a recording layer as a whole.
[0005]
On the other hand, in a write-once optical recording disk, an organic dye such as a cyanine dye, a phthalocyanine dye, or an azo dye is used as a material of a recording layer, and a change in optical characteristics based on a chemical change is used. In general, data is recorded.
[0006]
In recent years, there has been a demand for the development of an optical recording disk capable of recording / reproducing for a longer time than a DVD, and the recording density has been improved.
[0007]
In an optical recording disk, in order to increase the recording density, it is necessary to reduce the beam spot diameter of the laser light applied to the optical recording disk, and the beam spot diameter of the laser light is equal to the wavelength λ of the laser light. Since the ratio is proportional to the numerical aperture NA of the lens, it is required to record data on an optical recording disk using a laser beam having a short wavelength λ and a lens having a large numerical aperture NA.
[0008]
Therefore, in a next-generation optical recording disk having a high recording density, it has been proposed to use a blue laser beam having a short wavelength λ and a lens having a large numerical aperture NA to record data on the optical recording disk.
[0009]
However, when a lens having a large numerical aperture NA is used, the focal length becomes short, and a laser beam cannot be applied to the recording layer via a light-transmitting substrate like a CD or DVD. It is necessary to form a light transmitting layer thereon and irradiate the recording layer with laser light through the light transmitting layer.
[0010]
On the other hand, when the numerical aperture NA of the lens is increased, the tolerance for the thickness non-uniformity of the light transmitting layer is reduced. Therefore, it is required to provide the light transmitting layer uniformly.
[0011]
On the recording layer, as a method of forming a light transmission layer, on a recording layer formed on a substrate having pits and grooves formed on the signal surface, a liquid ultraviolet curable resin, using a spin coating device, There has been proposed a method of irradiating an applied and formed coating film with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable resin.
[0012]
However, when a liquid UV-curable resin is applied to the recording layer formed on the substrate using a spin coating apparatus, a center hole is formed in the substrate and the recording layer, and the liquid UV-curable resin is cured. Since the reactive resin cannot be discharged to the central part of the recording layer, there is a problem that the thickness of the formed coating film tends to be uneven.
[0013]
Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-213459 discloses that a cap is used to close a center hole, a liquid ultraviolet curable resin is discharged to the center of the cap, and the liquid ultraviolet curable resin is discharged by a spin coating apparatus. It proposes a method of forming a coating film by developing.
[0014]
According to this method, the liquid ultraviolet curable resin can be spread by the spin coating apparatus to form a uniform coating film, and therefore, a light transmitting layer having a uniform film thickness can be formed. However, in this method, since almost the entire upper surface of the cap is covered with the ultraviolet curable resin, it is inevitable that the ultraviolet curable resin adheres to the arm for handling the cap and the like. , Arms and the like are contaminated by the UV curable resin, and further, the UV curable resin may adhere to other parts of the spin coating apparatus and to manufacturing apparatuses other than the spin coating apparatus. There is a problem of deteriorating reliability.
[0015]
It is possible to solve such a problem by cleaning the arm and the like, but providing a cleaning device for the arm and the like complicates the manufacturing process and causes an increase in cost.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-351275 discloses a method in which a liquid ultraviolet curable resin is discharged from a nozzle toward an outer peripheral surface of a gripping shaft by using a cap having a gripping shaft formed at a central portion thereof, and spinning. A method has been proposed in which a light transmitting layer is formed by developing a liquid ultraviolet curable resin using a coating apparatus.
[0017]
According to this method, by using an arm or the like, gripping a portion of the gripping shaft formed at the center of the cap where the ultraviolet curable resin is not attached, and handling the cap, the ultraviolet curable resin is used. It is possible to effectively prevent contamination of the arm, other parts of the spin coating apparatus, and manufacturing equipment other than the spin coating apparatus, and by forming the gripping shaft thin, liquid ultraviolet rays can be prevented. The curable resin can be discharged to almost the center of the cap, and when using a liquid UV-curable resin having a low viscosity, by spreading the discharged liquid UV-curable resin by a spin coating device, A light-transmitting layer having a uniform film thickness can be formed, which is preferable.
[0018]
However, in order to use an objective lens having a large numerical aperture NA, it is required to form a light transmitting layer having a thickness of about 100 μm. For that purpose, a liquid having a high viscosity of 2,000 to 10,000 centipoise is used as a coating liquid. It is necessary to use an ultraviolet curable resin, but a high-viscosity liquid ultraviolet curable resin is discharged onto the outer peripheral surface of the gripping shaft of the cap, and the liquid ultraviolet curable resin discharged by the spin coating device is used. When the light transmitting layer is formed by developing the above, there is a problem that the thickness of the light transmitting layer in the circumferential direction becomes uneven, and the quality of the generated optical recording disc is deteriorated.
[0019]
Therefore, the present invention provides a method for manufacturing an optical recording disk capable of forming a light-transmitting layer having a uniform film thickness even when forming a light-transmitting layer using an ultraviolet-curable resin having a high viscosity. It is intended to do so.
[0020]
[Means for Solving the Problems]
An object of the present invention is to set a circular substrate on which a recording layer is formed, on a stage of a spin coating apparatus, to form a circular, concentric circle with a flat top surface or a peripheral portion of the top surface, and to form a circle in a circumferential direction. A cap having a top surface on which a uniform recess is formed, and a cap formed with a gripping shaft that can be gripped at the center of the top surface, is set on the substrate, and a center formed on the center of the substrate. Close the hole, the stage, at a predetermined low rotation speed, while rotating, while discharging the liquid radiation-curable resin on the top surface of the cap, after stopping the discharge of the liquid radiation-curable resin, The method is achieved by a method for manufacturing an optical recording disk, wherein the liquid radiation-curable resin is spread on the top surface of the cap concentrically with a peripheral portion of the substrate.
[0021]
According to the present invention, a circular substrate on which a recording layer is formed is set on a stage of a spin coating apparatus, and is circular, forms a concentric circle with a flat top surface or a peripheral portion of the top surface, and is uniform in a circumferential direction. A cap having a top surface with a concave portion formed thereon, and a cap formed with a gripping shaft that can be gripped at the center of the top surface, is set on the substrate, and a center hole formed at the center of the substrate is closed. While rotating the stage at a predetermined low rotational speed, the liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap, and after the discharge of the liquid radiation-curable resin is stopped, the liquid radiation-curable resin is discharged. On the top surface of the cap, it is configured to be developed concentrically with the peripheral portion of the substrate.Therefore, after that, the stage is rotated at high speed, and concentrically with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap. Liquid radiation-curable resin developed in When the liquid radiation-curable resin is spread on the recording layer formed on the plate, the liquid radiation-curable resin is concentrically spread on the recording layer, and therefore, the liquid radiation-curable resin having a high viscosity is used to transmit light. Also in the case of forming a layer, it is possible to form a light transmitting layer having a uniform film thickness.
[0022]
In a preferred embodiment of the present invention, while the stage is rotated at the predetermined low rotation speed, a liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap, and the liquid radiation-curable resin is discharged. After stopping the discharge, the rotation speed of the stage is reduced below the predetermined rotation speed, and the liquid radiation-curable resin is concentric with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap. It is configured to be deployed to.
[0023]
According to a preferred embodiment of the present invention, the liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap while rotating the stage at a predetermined low rotation speed, and the discharge of the liquid radiation-curable resin is stopped. After that, the rotation number of the stage is made lower than a predetermined low rotation number, and the liquid radiation-curable resin is developed on the top surface of the cap so as to be concentric with the peripheral portion of the substrate. Thus, the liquid radiation-curable resin discharged on the top surface of the cap is more easily leveled, and therefore, the liquid radiation-curable resin is more uniformly concentric with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap. After that, the stage is rotated at a high speed, and the liquid radiation-curable resin developed concentrically with the periphery of the substrate on the top surface of the cap is then applied to the substrate. Record formed When the upper part is developed, the liquid radiation-curable resin is concentrically developed on the recording layer, and therefore, even when the light-transmitting layer is formed by using a high-viscosity liquid radiation-curable resin. Thus, it is possible to form a light transmitting layer having a uniform film thickness.
[0024]
In a further preferred embodiment of the present invention, while rotating the stage at the predetermined low rotation speed, a liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap, and the liquid radiation-curable resin is discharged. After stopping the discharge of the resin, stop the rotation of the stage, the liquid radiation-curable resin, on the top surface of the cap, is configured to be developed concentrically with the peripheral portion of the substrate. I have.
[0025]
According to a further preferred embodiment of the present invention, while rotating the stage at a predetermined low rotation speed, the liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap, and the discharge of the liquid radiation-curable resin is performed. After the stop, the rotation of the stage is stopped, and the liquid radiation-curable resin is developed on the top surface of the cap so as to be concentric with the peripheral portion of the substrate. The liquid radiation-curable resin is more easily leveled, so that the liquid radiation-curable resin can be more uniformly spread on the top surface of the cap and concentrically with the periphery of the substrate. After that, the stage is rotated at a high speed, and the liquid radiation-curable resin developed concentrically with the periphery of the substrate on the top surface of the cap is placed on the recording layer formed on the substrate. Expanded When the liquid radiation-curable resin is developed, the liquid radiation-curable resin is spread concentrically on the recording layer. It is possible to form a light transmitting layer having a thickness.
[0026]
In another preferred embodiment of the present invention, while rotating the stage at the predetermined low rotation speed, a liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap, and the liquid radiation-curable resin is discharged. After stopping the discharge of the resin, the rotation speed of the stage is maintained at the predetermined low rotation speed, and the liquid radiation-curable resin is concentric with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap. It is configured to be deployed in a shape.
[0027]
In a further preferred embodiment of the present invention, the liquid radiation-curable resin has a viscosity of 2,000 to 10,000 centipoise.
[0028]
When discharging a high-viscosity liquid radiation-curable resin onto the outer peripheral surface of a gripping shaft of a cap and using a spin coating device to develop the discharged liquid radiation-curable resin to form a light-transmitting layer, The film thickness in the circumferential direction of the light transmitting layer is likely to be uneven, but according to a further preferred embodiment of the present invention, the stage is rotated at a predetermined low rotation speed, and a liquid surface is formed on the top surface of the cap. By discharging the radiation-curable resin, the rotation speed of the stage is maintained at a predetermined low rotation speed, or the rotation speed of the stage is reduced below the predetermined low rotation speed, or the rotation of the stage is stopped. Since the liquid radiation-curable resin is configured to be developed concentrically with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap, the liquid radiation-curable resin is 2,000 to 10,000 centipoise. Even if it has a high viscosity, the stage is then rotated at high speed, and on the top surface of the cap, the liquid radiation-curable resin developed concentrically with the periphery of the substrate is applied to the substrate. When the liquid radiation-curable resin is spread on the recording layer formed on the recording layer, the liquid radiation-curable resin is concentrically developed on the recording layer, and therefore, the liquid radiation-curable resin having a high viscosity is used to form the light-transmitting layer. Is formed, it is possible to form a light transmitting layer having a uniform film thickness.
[0029]
In a further preferred aspect of the present invention, the method for manufacturing an optical recording disk further comprises a step of rotating the stage at a high speed.
[0030]
In a further preferred embodiment of the invention, the stage is 5 to 100 rpm. p. m. The liquid radiation curable resin is discharged onto the top surface of the cap while rotating at a speed of.
[0031]
When the high-viscosity liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap that is rotating at a high speed, the liquid radiation-curable resin is spread on the light-transmitting layer formed on the recording layer and bubbles are formed. However, according to a further preferred embodiment of the present invention, the stage is set at 5 to 100 rpm. p. m. Since the liquid radiation curable resin is discharged onto the top surface of the cap while rotating at a low speed, it is possible to effectively prevent air bubbles from being mixed into the light transmitting layer. Therefore, it is possible to manufacture a high-quality optical recording disk.
[0032]
In a further preferred embodiment of the invention, the stage is 10 to 50 r. p. m. The liquid radiation curable resin is discharged onto the top surface of the cap while rotating at a speed of.
[0033]
When the high-viscosity liquid radiation-curable resin is discharged onto the top surface of the cap that is rotating at a high speed, the liquid radiation-curable resin is spread on the light-transmitting layer formed on the recording layer and bubbles are formed. However, according to a further preferred embodiment of the present invention, the stage is set at 10 to 50 r.p.m. p. m. Since the liquid radiation curable resin is discharged onto the top surface of the cap while rotating at a low speed of rotation, it is possible to effectively prevent air bubbles from being mixed into the light transmitting layer. It is possible to manufacture optical recording disks of high quality.
[0034]
In a further preferred aspect of the present invention, the cap is configured to be set on the substrate such that a peripheral portion of the top surface of the cap is located concentrically with the peripheral portion of the substrate. ing.
[0035]
According to a further preferred embodiment of the present invention, the cap is configured to be set on the substrate such that the peripheral portion of the top surface of the cap is located concentrically with the peripheral portion of the substrate. By spreading the liquid radiation-curable resin over the entire top surface of the substrate, the liquid radiation-curable resin can be developed concentrically with the periphery of the substrate, and then the stage is rotated at high speed By doing so, the liquid radiation-curable resin can be concentrically spread on the recording layer, and therefore, even when the light-transmitting layer is formed using a liquid radiation-curable resin having a high viscosity. Thus, it is possible to form a light transmitting layer having a uniform film thickness.
[0036]
In a further preferred aspect of the present invention, the projection surface on the side surface of the cap has a substantially trapezoidal shape.
[0037]
According to a further preferred embodiment of the present invention, since the projection surface of the side surface of the cap has a substantially trapezoidal shape, the liquid radiation curing liquid developed concentrically with the peripheral portion of the substrate on the top surface of the cap. When the stage is rotated at high speed, the conductive resin flows along the sloped side surface of the cap, and the liquid radiation-curable resin can be reliably and concentrically spread on the recording layer, and therefore, Even when the light transmitting layer is formed using a liquid radiation curable resin having a high viscosity, the light transmitting layer having a uniform film thickness can be formed.
[0038]
In the present invention, as the radiation curable resin, an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like is preferably used.
[0039]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0040]
FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording disk to be manufactured by a method for manufacturing an optical recording disk according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a substantially enlarged cross section of a portion indicated by A in FIG. FIG.
[0041]
As shown in FIG. 1, an optical recording disk 1 to be manufactured by the method for manufacturing an optical recording disk according to the present embodiment includes a circular substrate 2 formed of polycarbonate or the like, and a substrate on the side where light is to be incident. 2 has a recording layer 3 formed by sputtering or the like, and a light transmitting layer 4 formed on the surface of the recording layer 3.
[0042]
As shown in FIG. 2, when the substrate 2 is formed by injection molding, a groove 5 is formed on a surface of the substrate 2 on which light is to be incident by a stamper.
[0043]
The light transmitting layer 4 forms a coating film of a liquid ultraviolet curable resin by spin coating on the recording layer 3 formed on the substrate 2, and irradiates the coating film with ultraviolet light to convert the ultraviolet curable resin. It is cured and formed.
[0044]
As shown in FIG. 1, a center hole 6 for setting the optical recording disk 1 in a recording / reproducing apparatus is formed at a central portion of the optical recording disk 1, and an optical recording disk is provided outside the center hole 6. A clamp area 7 for setting 1 in a recording / reproducing apparatus is formed, and the recording layer 3 and the light transmitting layer 4 are not formed in the clamp area 7.
[0045]
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a main part of a spin coating apparatus used in a method of manufacturing an optical recording disk according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of the spin coating apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a schematic vertical sectional view of a main part.
[0046]
As shown in FIGS. 3 and 4, the spin coating apparatus 10 used in the method for manufacturing an optical recording disk according to the present embodiment includes a stage 21 having a diameter substantially equal to the diameter of the optical recording disk 1, A first protruding portion 22 is provided at a central portion, and a second protruding portion 23 is provided at a central portion of the first protruding portion 22.
[0047]
The stage 21, the first projecting portion 22, and the second projecting portion 23 are configured to be integrally rotated by a stage motor (not shown).
[0048]
As shown in FIGS. 3 and 4, the first protrusion 22 is a portion on the substrate 2 on which a region corresponding to the clamp region 7 of the data recording unit in which the recording layer 3 is formed is placed. A plurality of first air inlets 24 are formed on the surface thereof. A first suction pump (not shown) is connected to the plurality of first suction ports 24, and a data recording unit mounted on the first protrusion 22 by operating the first suction mechanism. Is sucked on the surface of the first protrusion 22 and is fixed on the stage 21.
[0049]
The second protrusion 23 has a diameter corresponding to the diameter of the center hole 6 of the optical recording disk 1 to be manufactured. When the data recording unit is mounted on the first protrusion 22, the data recording unit The second projecting portion 23 is inserted into the center hole 6.
[0050]
As shown in FIGS. 3 and 4, a second intake port 25 is formed at the center of the second protrusion 23, and the second intake port 25 is provided with a second intake pump (not shown). Is connected.
[0051]
Although not shown in FIGS. 3 and 4, the spin coating apparatus 10 further includes a flexible suction pad at the tip to suck and hold the clamp area 7 of the data recording unit. It is set on the stage 21 of the device 10, and a coating film of an ultraviolet curable resin is formed by spin coating, and the generated clamp area 7 of the optical recording disk 1 is sucked and held, and the spin coating device 10 While holding the first arm to be taken out and the cap, it is placed at a predetermined position on the data recording unit set on the stage 21, and the cap is coated with an ultraviolet curable resin by spin coating. Then, the second arm to be removed from the generated optical recording disk 1 and a UV curable resin And a discharge nozzle for discharging the.
[0052]
FIG. 5 is a block diagram of a control system and a drive system of the spin coating apparatus 10.
[0053]
As shown in FIG. 5, the control system of the spin coating device 10 includes a control unit 30 that controls the entire operation of the spin coating device 10.
[0054]
The drive system of the spin coating apparatus 10 includes a stage motor 31 for rotating the stage 21, a first suction pump 32, a second suction pump 33, and a first recording and suction unit for sucking and conveying the data recording unit. A first arm moving means 35 for moving the arm 34, a second arm moving means 37 for gripping the cap and moving the second arm 36 to be conveyed, and a discharge nozzle 38 are provided with an ultraviolet curable A nozzle driving unit 39 that moves between a discharge position at which the resin can be discharged and a retracted position retracted from the stage 21 and discharges a liquid ultraviolet curable resin from a discharge nozzle 38; ing.
[0055]
In manufacturing the optical recording disk 1 by the spin coating apparatus 10 configured as described above, first, a first drive signal is output from the control unit 30 to the first arm moving means 35, and the substrate 2 The data recording unit having the recording layer 3 formed on the substrate 2 is sucked by a suction pad (not shown) of the first arm 34 by sputtering or the like, and the data is recorded on the stage 21 of the spin coating apparatus 10. Is set to
[0056]
The data recording unit is moved so that the clamp area 7 is sucked and conveyed by the first arm 34, the recording layer 3 is positioned above, and the second protrusion 23 fits into the center hole 6. Is set on the stage 21 of the spin coating apparatus 10.
[0057]
When the data recording unit is set on the stage 21 of the spin coating apparatus 10, a retreat signal is output from the control unit 30 to the first arm moving means 35, and the first arm 34 is moved from above the stage 21. At the same time, an operation signal is output from the control unit 30 to the first suction pump 32, the first suction pump 32 is operated, and the substrate 2 placed on the first protrusion 22 is It is sucked on the surface of the one protrusion 22 and fixed on the stage 21.
[0058]
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a state where the data recording unit is fixed on the stage 21 of the spin coating apparatus 10.
[0059]
Next, the first drive signal is output from the control unit 30 to the second arm moving means 37, and the cap is moved by the second arm 36 to the predetermined position on the data recording unit 50 set on the stage 21. Is placed at the position.
[0060]
FIG. 7 is a schematic perspective view of the cap, and FIG. 8 is a schematic center sectional view of the cap shown in FIG.
[0061]
As shown in FIGS. 7 and 8, the cap 55 used in the present embodiment is formed on an umbrella portion 56 having a circular planar shape and a substantially trapezoidal side projection shape, and is formed on the top surface of the umbrella portion 56. A support shaft 57 extending in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the top surface of the umbrella portion 56, and substantially formed on the bottom surface of the umbrella portion 56 and extending in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the bottom surface of the umbrella portion 56. A columnar projection 58 is provided.
[0062]
As shown in FIGS. 7 and 8, when the ultraviolet curable resin is applied on the surface of the data recording unit 50 by spin coating, the ultraviolet curable resin is removed from the umbrella portion 56 of the cap 55 by capillary action. A recess 56 a is formed on the bottom surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 in order to prevent entry between the bottom surface and the substrate 2.
[0063]
The cap 55 is formed of a metal.
[0064]
The diameter of the umbrella portion 56 is set to be larger than the diameter of the center hole 6 of the optical recording disk 1 to be manufactured and smaller than the outer diameter of the clamp area 7 of the optical recording disk 1 to be manufactured.
[0065]
The projection 58 of the cap 55 is formed so that the diameter thereof is slightly smaller than the inner diameter of the second suction port 25 of the spin coating device 10.
[0066]
The cap 55 is configured so that the support shaft 57 is gripped and transported by the second arm 36, and when the cap 55 is mounted on the data recording unit 50 set on the stage 21, the protrusion 58 Are fitted to the second air inlet 25 of the spin coating apparatus 10 and are positioned at predetermined positions.
[0067]
FIG. 9 is a schematic sectional view showing a state where the cap 55 is set at a predetermined position on the data recording unit 50 set on the stage 21.
[0068]
Here, the cap 55 is set on the data recording unit 50 such that the peripheral portion of the umbrella portion 56 is located on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2.
[0069]
When the cap 55 is set on the data recording unit 50, a retract signal is output from the control unit 30 to the second arm moving means 37, and the second arm 36 is retracted from the stage 21. At the same time, an operation signal is output from the control unit 30 to the second suction pump 33, the second suction pump 33 is operated, and the cap 55 fitted to the second suction port 25 of the spin coating apparatus 10 is operated. Is sucked, and the cap 55 is fixed on the data recording unit 50.
[0070]
When the second suction pump 33 is operated and the cap 55 is fixed on the data recording unit 50, a first drive signal is output from the control unit 30 to the stage motor 31, and the stage motor 31 is operated. The stage 21, the first protrusion 22 and the second protrusion 23 are integrally formed at a low speed, for example, at 30 r. p. m. Rotated at the speed of As a result, the data recording unit 50 fixed to the stage 21 and the cap 55 fixed on the data recording unit 50 are also integrated with the stage 21, the first protrusion 22, and the second protrusion 23. At a low speed, for example, at 30 r. p. m. Rotated at the speed of
[0071]
Next, a first drive signal is output from the control unit 30 to the nozzle drive means 39, and the discharge nozzle 38 can discharge the liquid ultraviolet curable resin onto the cap 55 fixed on the data recording unit 50. The discharge unit is moved to the discharge position, and further, a discharge signal is output from the control unit 30 to the nozzle driving means 39. As shown in FIG. 10, the discharge nozzle 38 outputs a liquid ultraviolet curable resin having a viscosity of 7000 centipoise. 60 is discharged to the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55.
[0072]
The stage 21 is operated at a low speed, for example, at 30 r. p. m. When a predetermined amount of the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the control unit 30 discharges the predetermined amount of the liquid ultraviolet curable resin 60 to the nozzle driving means 39. When a stop signal is output, the discharge of the liquid ultraviolet curable resin 60 is stopped, and at the same time, a second drive signal is output from the control unit 30 to the stage motor 31, so that the rotation speed of the stage 21 becomes, for example, , 30r. p. m. From 20r. p. m. Is reduced to
[0073]
Therefore, the stage 21, the first protrusion 22, the second protrusion 23, the data recording unit 30 fixed to the stage 21, and the cap 55 fixed on the data recording unit 30 are moved by the stage motor 31. As a whole, at a lower speed, e.g. p. m. Rotated at the speed of
[0074]
Here, the amount of the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is determined by the amount of the liquid UV-curable resin 60 discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 by rotating the stage 21 at high speed. Even if a part of the liquid ultraviolet curable resin 60 scatters from the peripheral edge of the substrate 2 due to the centrifugal force generated by the rotation of the stage 21, the liquid ultraviolet curing resin 60 has an amount M capable of forming the light transmitting layer 4 having a desired thickness. Accordingly, the circular umbrella portion 56 of the cap 55 is formed to have a size capable of holding the liquid ultraviolet curable resin 60 in an amount of M or more on the top surface.
[0075]
The rotation speed of the stage 21 is, for example, 30 r. p. m. From 20 r. p. m. As a result, the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is leveled as shown in FIG. It is unfolded over the entire surface of.
[0076]
In the present embodiment, the liquid UV curable resin 60 having a viscosity of 7000 centipoise is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and the liquid UV curable resin 60 has a high viscosity. As shown in FIG. 5, the liquid UV-curable resin 60 is formed on the top of the umbrella portion 56 of the cap 55 so that the peripheral portion thereof protrudes from the peripheral portion of the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 due to surface tension. The cap 55 is unfolded over the entire surface, and the cap 55 is set on the data recording unit 50 such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is located on the concentric circle of the peripheral edge of the substrate 2. Over the entire top surface of the portion 56, the peripheral portion of the developed liquid ultraviolet curable resin 60 is located on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2.
[0077]
Stage 21 is slower, for example, at 20 r. p. m. When the control unit 30 is rotated several times at the speed, a third drive signal is output from the control unit 30 to the stage motor 31, and the stage 21, the first protrusion 22, and the second The data recording unit 30 fixed to the projection 23 and the stage 21 and the cap 35 fixed to the data recording unit 30 are integrally formed at a high speed, for example, at 2000 rpm. p. m. Rotated at the speed of
[0078]
As a result, the liquid ultraviolet curable resin 60 that is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 and spreads over the entire top surface of the umbrella portion 56 is centrifugally generated by the rotation of the data recording unit 50. Is developed on the recording layer 3 of the data recording unit 50 toward the peripheral edge of the data recording unit 50. As shown in FIG. 12, a thin film of the ultraviolet curable resin 60 having a predetermined thickness, for example, a film thickness of about 100 μm is formed. , On the recording layer 3 of the data recording unit 50.
[0079]
In the present embodiment, the cap 55 is set on the data recording unit 50 such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is located on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2, and the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is After the liquid UV-curable resin 60 is spread and leveled over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the stage 21 is rotated at a high speed, and the liquid UV-curable resin 60 is discharged. Since the liquid ultraviolet curable resin 60 is configured to be spread on the surface of the recording layer 3 formed on the substrate 2, the liquid ultraviolet curable resin 60 is concentrically formed on the recording layer 3 with respect to the peripheral portion of the substrate 2. The thin film of the ultraviolet curable resin 60 which is developed and therefore has a uniform film thickness is formed on the recording layer 3.
[0080]
Further, since the umbrella portion 56 of the cap 55 has a substantially trapezoidal longitudinal section, the liquid ultraviolet curable resin 60 is applied to the umbrella portion 56 of the cap 55 from the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. It is possible to spread the liquid ultraviolet curable resin 60 on the recording layer 3 in a concentric manner with respect to the peripheral edge of the substrate 2 by spreading the inclined side surface onto the recording layer 3. Becomes possible.
[0081]
When the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50, the control unit 30 outputs a fourth drive signal to the stage motor 31 and drives the ultraviolet lamp 40. A signal is output.
[0082]
As a result, the stage 21, the first protrusion 22, the second protrusion 23, the data recording unit 50 fixed to the stage 21, and the cap 55 fixed on the data recording unit 50 are moved by the stage motor 31. The UV lamp 40 is turned on while being rotated integrally at a moderate speed, and the UV light 41 is applied to the UV curing formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50 as shown in FIG. The thin film of the conductive resin 60 is irradiated.
[0083]
When the ultraviolet ray 41 is irradiated and the thin film of the ultraviolet curable resin 60 is cured to some extent, the control unit 30 outputs a drive stop signal to the ultraviolet lamp 40 to turn off the ultraviolet lamp 40 and A drive stop signal is output from the unit 30 to the stage motor 31 to stop the operation of the stage motor 31. Further, an operation stop signal is output from the control unit 30 to the second intake pump 33, and a second stop signal is output. The operation of the suction pump 33 is stopped.
[0084]
Next, a second drive signal is output from the control unit 30 to the second arm moving means 37, and the support shaft 57 of the cap 55 is gripped by the second arm 36, and the cap 55 is moved to the data recording unit 50. Removed from above.
[0085]
When the cap 55 is removed from the data recording unit 50, a drive signal is output from the control unit 30 to the ultraviolet lamp 40 again, the ultraviolet lamp 40 is turned on, and the ultraviolet light 41 is transmitted to the recording layer 3 of the data recording unit 50. The thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed thereon is irradiated.
[0086]
When the thin film of the ultraviolet curable resin 60 formed on the recording layer 3 of the data recording unit 50 is completely cured, the light transmitting layer 4 is formed, and the optical recording disk 1 is generated, the control unit 30 The drive stop signal is output to the ultraviolet lamp 40, the ultraviolet lamp 40 is turned off, and the drive stop signal is output to the first intake pump 32, so that the operation of the first intake pump 32 is stopped.
[0087]
Next, a second drive signal is output from the control unit 30 to the first arm moving means 35, and the clamp area 7 of the optical recording disk 1 is moved by the suction pad (not shown) of the first arm 34. The optical recording disk 1 is taken out of the spin coating device 11 by the suction and the first arm 34.
[0088]
According to the present embodiment, the cap 55 is set on the data recording unit 50 such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is located on a concentric circle of the peripheral edge portion of the substrate 2. After the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged to the top surface is leveled and spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the stage 21 is rotated at a high speed, and the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged. Since the resin 60 is configured to be spread on the surface of the recording layer 3 formed on the substrate 2, the liquid UV-curable resin 60 is concentrically arranged on the recording layer 3 with respect to the periphery of the substrate 2. 3 can be formed on the recording layer 3, so that a thin film of the UV-curable resin 60 having a uniform film thickness can be formed on the recording layer 3. The spinco By coating, to expand on the recording layer 3, it is possible to form the light transmitting layer 4 having a uniform thickness.
[0089]
Further, according to the present embodiment, since the umbrella portion 56 of the cap 55 has a substantially trapezoidal projected shape on the side surface, the liquid ultraviolet curable resin 60 is applied to the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. From above, the inclined side surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is connected to the recording layer 3, so that the liquid ultraviolet curable resin 60 is reliably concentrically formed on the peripheral portion of the substrate 2. The light-transmitting layer having a uniform thickness can be spread on the recording layer 3 by spin-coating the liquid UV-curable resin 60 having a high viscosity, since it can be spread on the recording layer 3. 4 can be formed.
[0090]
FIG. 14 is a schematic perspective view showing a cap used in a method for manufacturing an optical recording disk according to another embodiment of the present invention, and FIG. 15 is a schematic center sectional view of the cap shown in FIG.
[0091]
As shown in FIGS. 14 and 15, a cap 55 used in the present embodiment has a circular shape in plan view, an umbrella portion 56 having a concave portion 56b formed on the top surface, and a cap formed on the top surface of the umbrella portion 56. The support shaft 57 extends in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the top surface of the umbrella portion 56, and is formed on the bottom surface of the umbrella portion 56, and extends in the axial direction of the umbrella portion 56 from the center of the bottom surface of the umbrella portion 56. A substantially cylindrical projection 58 extending is provided.
[0092]
As shown in FIGS. 14 and 15, the concave portion 56 b formed on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 forms a concentric circle with the peripheral portion of the top surface of the umbrella portion 56 and is formed uniformly in the circumferential direction. As in the case of the cap 55 shown in FIGS. 7 and 8, a concave portion 56a is formed on the bottom surface of the umbrella portion 56 of the cap 55.
[0093]
Also in this embodiment, similarly to the above embodiment, the cap 55 is fixed on the data recording unit 50 so that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is located on the concentric circle of the peripheral edge of the substrate 2, 21 is, for example, 30r. p. m. The ultraviolet curable resin 60 is discharged from the discharge nozzle 38 to the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 rotated at a low speed together with the stage 21 while being rotated at a low speed.
[0094]
The stage 21 is operated at a low speed, for example, at 30 r. p. m. When a predetermined amount of the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the control unit 30 discharges the predetermined amount of the liquid ultraviolet curable resin 60 to the nozzle driving means 39. The stop signal is output, and the discharge of the liquid ultraviolet curable resin 60 is stopped. At the same time, the drive stop signal is output from the control unit 30 to the stage motor 31, and the rotation of the stage 21 is stopped.
[0095]
As a result, the liquid ultraviolet curable resin 60 discharged from the discharge nozzle 38 onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is leveled as shown in FIG. Unfolded over the entire top surface.
[0096]
As described above, when the stage 21 of the spin coating apparatus is stopped after the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged from the discharge nozzle 38 to the top surface of the head portion 56 of the cap 55, the head portion of the cap 55 is required. The liquid UV-curable resin discharged on the top surface of the substrate 56 is easily leveled, and the liquid UV-curable resin is more evenly distributed so that its peripheral edge is located on a concentric circle of the peripheral edge of the substrate 2. The cap 55 can be spread over the entire top surface of the umbrella portion 56, which is preferable.
[0097]
When a predetermined time elapses after the drive stop signal is output to the stage motor 31, a third drive signal is output from the control unit 30 to the stage motor 31, and the stage motor 31 The first projection 22 and the second projection 23 and the data recording unit 50 fixed to the stage 21 and the cap 55 fixed on the data recording unit 50 are integrally formed at high speed, for example, at 2000 rpm. p. m. Rotated at the speed of
[0098]
As a result, the liquid ultraviolet curable resin 60 that is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 and spreads over the entire top surface of the umbrella portion 56 is centrifugally generated by the rotation of the data recording unit 50. Is spread on the recording layer 3 of the data recording unit 50 toward the peripheral portion of the data recording unit 50, and a thin film of the ultraviolet curable resin 60 having a predetermined thickness, for example, a film thickness of about 100 μm is formed on the recording layer of the data recording unit 50. 3 is formed.
[0099]
According to this embodiment, the cap 55 is set on the data recording unit 50 such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is located on a concentric circle of the peripheral edge portion of the substrate 2, and the top of the umbrella portion 56 of the cap 55 is set. The liquid ultraviolet curable resin 60 discharged onto the surface is spread and leveled over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and then the stage 21 is rotated at a high speed, and the liquid ultraviolet curable resin 60 is discharged. Is spread on the surface of the recording layer 3 formed on the substrate 2, so that the liquid ultraviolet curable resin 60 is concentrically formed on the recording layer 3 with respect to the periphery of the substrate 2. Therefore, it is possible to form a thin film of the ultraviolet curable resin 60 having a uniform film thickness on the recording layer 3.
[0100]
Also in this embodiment, the liquid ultraviolet curable resin 60 is spread on the recording layer 3 from the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 to the sloped side surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. Therefore, the liquid ultraviolet curable resin 60 can be reliably and concentrically spread on the recording layer 3 with respect to the peripheral portion of the substrate 2.
[0101]
【Example】
Hereinafter, examples will be described in order to further clarify the effects of the present invention.
[0102]
Example
As shown in FIG. 17, the planar shape is circular, the projected shape of the side surface is trapezoidal, the diameter of the top surface is 23 mm, the diameter of the bottom surface is 38 mm, and the umbrella portion 56 has a height of 2 mm. Using a cap 55 in which a gripping shaft 57 having a diameter of 4 mm is formed at the center of the top surface of 56, a liquid ultraviolet curable resin having a viscosity of 7400 centipoise is applied on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. After discharging, a light transmitting layer was formed on the surface of the recording layer formed on a substrate having a diameter of 120 mm by a spin coating apparatus.
[0103]
First, the cap 55 was set on the recording layer such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 was located concentrically with the peripheral edge of the substrate.
[0104]
Next, the stage of the spin coating apparatus was set to 30 r. p. m. 1.8 g of the liquid ultraviolet curable resin was discharged at a position 4 mm from the center of the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 over 10 seconds while rotating at a speed of.
[0105]
After the discharge of the liquid ultraviolet curable resin is completed, the rotation speed of the stage of the spin coating apparatus is set to 20 r. p. m. When the stage of the spin coating device is rotated for 10 seconds, the liquid ultraviolet curable resin discharged on the top surface of the head 56 of the cap 55 is leveled, and the head 56 of the cap 55 is leveled. Was spread over the entire surface of the top surface, and it was recognized that the liquid crystal ultraviolet curable resin had its peripheral portion projecting from the peripheral portion of the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 due to surface tension.
[0106]
Then, the rotation speed of the stage of the spin coating apparatus was increased to 20 r. p. m. From 2000r. p. m. To 2000 r. p. m. The stage of the spin coating apparatus is rotated at a speed of 5.1 seconds for 5.1 seconds, and the liquid ultraviolet curable resin spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is recorded on the substrate. It was spread on the surface of the layer to form a thin film of an ultraviolet curable resin.
[0107]
Further, the thin film of the ultraviolet-curable resin was irradiated with ultraviolet rays to cure the thin film of the ultraviolet-curable resin to form a light transmitting layer, thereby producing an optical recording disk.
[0108]
The film thickness distribution of the light transmitting layer of the optical recording disk thus manufactured was measured in the circumferential direction at a portion of 22 mm, 40 mm, and 58 mm from the center of the optical recording disk.
[0109]
As a result, the difference between the maximum value and the minimum value of the film thickness is 0.59 μm from the center of the optical recording disk at 22 mm, 0.54 μm at 40 mm, 0.49 μm at 58 mm, and 7400 μm. Using a liquid UV-curable resin having a viscosity of centipoise and using a spin coating device, the thickness distribution of the light-transmitting layer in the circumferential direction is sufficiently uniform even though the light-transmitting layer is formed. There was found.
[0110]
This is because the cap 55 is set on the recording layer such that the peripheral edge of the umbrella portion 56 is positioned concentrically with the peripheral edge of the substrate, and the liquid discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is set. After the ultraviolet curable resin is leveled and spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the stage of the spin coating device is rotated at high speed, and the liquid ultraviolet curable resin is applied to the substrate. It is presumed that the liquid ultraviolet curable resin 60 spread on the recording layer concentrically with respect to the peripheral portion of the substrate because it spread on the surface of the formed recording layer.
[0111]
The present invention is not limited to the above embodiments and examples, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims, which are also included in the scope of the present invention. It goes without saying that it is a thing.
[0112]
For example, in the embodiment shown in FIGS. 3 to 13 and the above-described embodiment, the liquid ultraviolet-curable resin is used for 30 r. p. m. After the liquid is discharged onto the top surface of the umbrella portion 56 of the rotating cap 55 at a low speed, the rotation speed of the stage 21 of the spin coating apparatus is reduced to 20 r. p. m. And the stage 21 is rotated for several rotations to level the liquid ultraviolet curable resin discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and its peripheral edge is concentric with the peripheral edge of the substrate 2. It is spread over the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 so as to be located above, and in the embodiment shown in FIGS. p. m. After discharging onto the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 being rotated at a low speed, the rotation of the stage 21 of the spin coating apparatus is stopped for a predetermined time, and the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is stopped. Is spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 so that the peripheral portion is positioned concentrically with the peripheral portion of the substrate 2. Changes the rotation speed of the stage 21 of the spin coating apparatus to 20 r. p. m. The stage 21 is rotated for several rotations to level the liquid ultraviolet curable resin discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and its peripheral edge is concentric with the peripheral edge of the substrate 2. It is spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 so as to be located above, or the rotation of the stage 21 of the spin coating apparatus is stopped for a predetermined time, and the umbrella portion 56 of the cap 55 is stopped. The liquid ultraviolet curable resin discharged on the top surface is leveled, and is spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 so that the peripheral portion is located on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2. It is not always necessary to increase the number of rotations of the stage 21 of the spin coating apparatus over several rotations by applying the liquid ultraviolet curable resin to the umbrella portion 56 of the cap 55. The liquid UV curable resin discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is leveled while maintaining the rotation speed at the time of discharging on the surface, and the peripheral portion is formed on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2. Can be deployed over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and furthermore, if the stage 21 of the spin coating apparatus is rotated at a low speed, the rotation of the stage 21 The number of rotations is increased over the number of rotations of the liquid ultraviolet curable resin over the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, and the number of rotations is increased to the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. The liquid UV curable resin may be leveled and spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 so that the peripheral portion is located on a concentric circle of the peripheral portion of the substrate 2. so That.
[0113]
Further, in the embodiment shown in FIGS. 3 to 13 and the above embodiment, a cap 55 having an umbrella portion 56 having a circular planar shape and a substantially trapezoidal side projection is used. In the embodiment shown in FIG. 16, an umbrella portion 56 having a circular shape in plan view, forming a concentric circle with the peripheral portion on the top surface, uniformly forming a concave portion 56b in the circumferential direction, and having flat side surfaces is provided. A cap 55 having an umbrella portion 56 having a circular planar shape and a substantially trapezoidal side projected shape, or a circular planar shape and forming a concentric circle on the top surface with the peripheral portion. It is not always necessary to use a cap 55 having an umbrella portion 56 having a recess 56b formed uniformly in the circumferential direction and having a flat side surface, and the umbrella portion 56 has a circular planar shape and a flat top. Concentric with surface or periphery, in circumferential direction As long as it has a top surface with a uniform concave portion, the side surface of the umbrella portion 56 may be formed by a curved surface, or a cap 55 having a disk-shaped umbrella portion 56 may be used. .
[0114]
Further, in the above-described embodiment, a liquid ultraviolet-curable resin 60 having a viscosity of 7000 centipoise is applied on the recording layer 3 by spin coating to form a light-transmitting layer. A liquid ultraviolet curable resin having a viscosity of 7000 centipoise or 7400 centipoise is formed by applying a liquid ultraviolet curable resin having a viscosity of centipoise on the recording layer by spin coating to form a light transmitting layer. It is not always necessary to form a light-transmitting layer by coating on a recording layer by spin coating, and a liquid-state UV-curable resin having any viscosity may be used as long as it has a viscosity of 2,000 to 10,000 centipoise. May be used.
[0115]
In the embodiment and the example, the stage 21 of the spin coating apparatus is set to 30 r. p. m. The liquid ultraviolet curable resin is discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 while rotating at the speed of, but the liquid ultraviolet curable resin is discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55. At this time, the rotation speed of the stage 21 of the spin coating apparatus is set to 30 r. p. m. It is not always necessary to maintain the rotation speed of the stage 21 of the spin coating apparatus at 5 to 100 rpm when discharging the liquid ultraviolet curable resin. p. m. , Preferably 10 to 50 r. p. m. May be maintained within the range.
[0116]
Further, in the above-described embodiment, the liquid ultraviolet curable resin discharged on the top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 is leveled, and its peripheral edge is located on a concentric circle of the peripheral edge of the substrate 2. After being spread over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55, the stage of the spin coating apparatus is moved to 2000 rpm. p. m. To spread the spread liquid ultraviolet curable resin over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 on the surface of the recording layer formed on the substrate. However, the stage of the spin coating apparatus was set to 2000 r.p.m. p. m. To spread the spread liquid ultraviolet curable resin over the entire top surface of the umbrella portion 56 of the cap 55 on the surface of the recording layer formed on the substrate. It is not always necessary to form them, and the number of rotations of the stage of the spin coating apparatus can be selected according to the viscosity of the liquid ultraviolet curable resin.
[0117]
In addition, in the above-described embodiment and the example, the light transmitting layer 4 is formed by the ultraviolet curable resin 60; however, the light transmitting layer 4 is not necessarily formed by the ultraviolet curable resin 60. Alternatively, the light transmitting layer 4 can be formed using an electron beam curable resin instead of the ultraviolet curable resin.
[0118]
【The invention's effect】
According to the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical recording disk capable of forming a light transmitting layer having a uniform film thickness even when forming a light transmitting layer using an ultraviolet curable resin having high viscosity. It becomes possible to do.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view of an optical recording disk to be manufactured by a method for manufacturing an optical recording disk according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic enlarged sectional view of a portion indicated by A in FIG. 1;
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a main part of a spin coating apparatus used in a method of manufacturing an optical recording disk according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic vertical sectional view of a main part of the spin coating apparatus shown in FIG. 3;
FIG. 5 is a block diagram of a control system and a drive system of the spin coating apparatus.
FIG. 6 is a schematic sectional view showing a state where the data recording unit is fixed on a stage of the spin coating apparatus.
FIG. 7 is a schematic perspective view of a cap.
FIG. 8 is a schematic center sectional view of the cap shown in FIG. 7;
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a state where a cap is set at a predetermined position on a data recording unit set on a stage.
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a state in which an ultraviolet curable resin is discharged from a discharge nozzle to a top surface of an umbrella portion of a cap.
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a liquid ultraviolet curable resin is spread and leveled over the entire top surface of an umbrella portion of a cap.
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a thin film of an ultraviolet curable resin having a predetermined thickness is formed on a recording layer of a data recording unit.
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a state in which ultraviolet light is applied to a thin film of an ultraviolet curable resin formed on a recording layer of a data recording unit.
FIG. 14 is a schematic perspective view showing a cap used in a method for manufacturing an optical recording disk according to another embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a schematic center sectional view of the cap shown in FIG. 14;
FIG. 16 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a liquid ultraviolet curable resin is spread and leveled over the entire top surface of an umbrella portion of a cap.
FIG. 17 is a schematic sectional view of a side surface of a cap used in the embodiment.
[Explanation of symbols]
1 Optical recording disk
2 substrate
3 Recording layer
4 Light transmission layer
5 grooves
6 Center Hall
7 Clamp area
11 Spin coating equipment
21 stages
22 First protrusion
23 Second protrusion
24 First Inlet
25 Second inlet
30 Control unit
31 Stage motor
32 1st suction pump
33 Second suction pump
34 first arm
35 First Arm Moving Means
36 Second arm
37 Second Arm Moving Means
38 Discharge nozzle
39 Nozzle driving means
40 UV lamp
41 UV
50 data recording units
55 cap
56 cap umbrella
56a recess formed in bottom surface of cap
56b Recess formed in top surface of cap
57 Cap gripping shaft
58 Cap projection
60 UV curable resin
