【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数種の微量の流体を混合して反応させるマイクロリアクター及びそれを用いた化学反応方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、微量の試料で化学反応を行うための微小反応容器であるマイクロリアクターが提供されている。このマイクロリアクターは、反応容量が通常μLオーダであるため、微量の原料で高速に反応させ得る、小型にて軽量な実験システムが実現できる、集積化及び並列化が容易である、不純物の混入が抑えられる、温度制御など反応条件を一定に保つことが容易である、安全性に優れている等の種々の利点がある。このため、化学合成反応、生化学反応等の化学反応や生体試料検出等に用いられている。
【0003】
前記マイクロリアクターは、例えば図9に示すように、第1のチップ101に第2のチップ102を積層して基板100を形成するとともに、前記チップ101,102の何れか一方又は双方に予め形成しておいた細長い凹溝によって、両者間に反応流路103を構成し、前記第1のチップ102に、前記反応流路103に連通する二つの流体供給ポート104及び一つの流体排出ポート105を形成している(例えば特開平10−337173号公報参照)。
このマイクロリアクターにおいては、前記二つの流体供給ポート104からそれぞれ注入された2種類の流体が、前記反応流路103で混合されて流体排出ポート105から排出される。ところが、前記反応流路103における流体の混合は、2種類の流体の衝突や流動時の相互拡散によって行われるために、両者が十分に混合されない。このため、2種類の流体の混合が速やかに行われず、反応収率に劣る、副反応が発生する等の問題があった。
【0004】
そこで、図10に示すように、前記反応流路103を蛇行させて流体の滞留時間を長くしたものが提案されている(特開平2002−27984号公報参照)。しかし、このマイクロリアクターについても、反応流路103の全長を単に長くしたに過ぎず、2種類の流体の混合が衝突や流動時の相互拡散によって行われるために、両者の混合効率がなお不十分である。
また、何れのマイクロリアクターについても、反応流路103が微小であり、この微小流路内では流体の流れが通常層流となるので、レイノルズ数が非常に小さく、乱流の発生が抑えられる。このため、反応流路103の幅方向や深さ方向での流体どうしの混合はほとんど行われず、拡散による混合しか期待できない。しかし、流体どうしを拡散のみによって効果的に混合するにはきわめて長時間が必要である。したがって、前記従来のマイクロリアクターにおいては、化学反応の基本である流体どうしの分散混合がきわめて困難である。
この発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、流体どうしの分散混合を効果的に行うことができるマイクロリアクターを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するためのこの発明のマイクロリアクターは、基板の内部に、流体供給ポートから注入した複数種の流体を反応させる反応流路を設けたマイクロリアクターにおいて、前記反応流路内に、前記複数種の流体を蛇行させながら流動させて分散混合させる微細な凹凸面を形成したことを特徴としている(請求項1)。
このような構成のマイクロリアクターによれば、前記反応流路内に形成した微細な凹凸面によって、複数種の流体を蛇行させながら流動させて分散混合させることができる。このため、流体どうしの混合を短時間で効果的に行うことができる。
【0006】
前記凹凸面は、互いに対向させた状態で位置をずらして配置され且つ互いに接近する側が開口された複数の小室からなる第1の混合小室群と第2の混合小室群とにより構成されているのが好ましい(請求項2)。この場合には、複数種の流体を第1の混合小室群の各小室と第2の混合小室群の各小室とに交互に導入してより効率よく分散混合させることができる。
【0007】
前記各混合小室群は、反応流路に沿って複数列形成されているのが好ましい(請求項3)。この場合には、複数種の流体を、流路の縦断面内で蛇行させつつ、横断面内で分割及び合流させながら流動させることができる。このため、流体どうしの混合をより短時間で効果的に行うことができる。また、この場合において、前記各混合小室群はハニカム状のものであってもよく(請求項4)、これにより、各混合小室群の小室を高密度に配置することができるので、流体どうしの混合をより短時間で効果的に行うことができる。
【0008】
またこの発明の化学反応方法は、請求項1〜4の何れかに記載のマイクロリアクターの流体供給ポートから複数種の流体を注入し、その反応流路内において当該複数種の流体を混合させて分散反応させることを特徴としている(請求項6)。
この化学反応方法によれば、前記マイクロリアクターの反応流路内に形成した微細な凹凸面によって、複数種の流体を蛇行させながら流動させて効果的に分散混合させることができるので、流体どうしの反応を短時間で効果的に行うことができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のマイクロリアクターの実施の形態について、添付図面を参照しながら説明する。
図1はこの発明のマイクロリアクターの一実施形態を示す一部欠截平面図であり、図2はその拡大断面図である。このマイクロリアクターは、第1のチップ1と第2のチップ2とからなる基板Aの内部に、複数種の流体を反応させる反応流路3を設け、この反応流路3に連通させて、二つの流体供給ポート4及び一つの流体排出ポート5を形成している。
【0010】
第1のチップ1及び第2のチップ2は薄い平板状のものであり、互いに積層することにより基板Aを構成している。各チップ1,2のサイズは例えば幅5〜25mm、長さ10〜75mm、厚み1〜5mm程度に設定されている。各チップ1,2の素材としては、金属、ガラス、セラミックス、プラスチック等が用いられ、適用される流体の性質、光反応や光遮断下での反応等の反応条件に応じて適宜選択される。
【0011】
反応流路3は前記第1のチップ1に形成された凹溝31と、これに対向させて第2のチップ2に形成された凹溝32とによって構成されており、その内部には一対の混合エレメント6,7が互いに対向させた状態で配置されている。
各混合エレメント6,7は平面形状が長方形を呈しており、その互いに対向する側には、複数の小室61a,71aからなる第1の混合小室群61及び第2の混合小室群71がそれぞれ形成されている。前記第1の混合小室群61を構成する小室61a及び第2の混合小室群71を構成する小室71aは、互いに接近する側が開口された正方形断面のものであり(図3及び図4参照)、それぞれ反応流路3に沿って所定ピッチ毎に1列形成されている。
【0012】
前記第1の混合小室群61の小室61aと、第2の混合小室群71の小室71aとは、反応流路3に沿って1/2ピッチずつ互いに位置をずらした状態で配置されている。したがって、第1の混合小室群61の小室61aの周壁61bは、2の混合小室群71の小室71aの周壁71bの中間に位置している。
各小室61a,71aの周壁の外接円の直径は例えば0.1〜1mmの範囲に設定され、深さは例えば0.01〜0.5mmの範囲に設定される。したがって、前記一対の混合エレメント6,7の各小室61a,71aによって、前記反応流路3に微細な凹凸面Xが構成されている。これら各小室61a,71aは、例えばリソグラフィ法や光造形法等によって形成されている。
なお、前記第1の混合小室群61の周壁61bの下面と、2の混合小室群71の周壁71bの上面とは、ほぼ同一平面に配置されている。また、前記混合エレメント7の上流端には、各小室61a,71aに流体を導入するための切欠き71cが形成されており、下流端には、各小室61a,71aから流体を排出するための切欠き71dが形成されている。
【0013】
各流体供給ポート4は、前記第1のチップ1に貫通形成されており、それぞれ連通路41を介して前記反応流路3に連通されている。各流体供給ポート4には、ディフューザ式やダイヤフラム式等のマイクロポンプ、マイクロバルブ、マイクロシリンジ等によって、種類の異なる流体が個別に供給される。この流体としては、液体、気体、粉体等が挙げられる。
また、流体排出ポート5は前記第1のチップ1に貫通形成されており、それぞれ連通路51を介して前記反応流路3に連通されている。
【0014】
以上の構成であれば、各流体供給ポート4から供給された種類の異なる流体は、連通路41を通して反応流路3に供給され、この反応流路3において、図2の矢印で示すように、第1の混合小室群61の各小室61a内と、第2の混合小室群71の各小室71a内に交互に導入されながら下流側に導かれる。このため、微小な反応流路3であるにもかかわらず、流体の流れを乱流にすることができ、種類の異なる流体どうしを、拡散混合だけでなく分散混合させることもできる。したがって、流体どうしをきわめて短時間で効率よく混合させて反応させることができる。
【0015】
図5及び図6は各混合エレメント6,7の他の実施の形態を示す底面図及び平面図である。この実施の形態においては、各混合小室群61,71がハニカム状に形成されている。すなわち、各混合小室群61,71を構成する各小室61a,71aが図の場合六角形断面に形成されおり、これら各小室61a,71aが反応流路3に沿って復列にて所定ピッチ毎に形成されているとともに、隣設する小室どうしは、その周壁の一部を共有している。また、第1の混合小室群61の小室61aと、第2の混合小室群71の小室71aとは、左右対称に配置されているとともに、反応流路3に沿って1/4ピッチずつ互いに位置をずらした状態で配置されている。したがって、第1の混合小室群61の一つの小室61aは、第2の混合小室群71の3つの小室71aの一部と対向している(図7参照)。なお、前記第1の混合小室群61の周壁61bの下面と、2の混合小室群71の周壁71bの上面とは、ほぼ同一平面に配置されている。
【0016】
この実施の形態においては、流体供給ポート4から供給された複数種の流体を、流路の縦断面内では蛇行させ、横断面内では分割及び合流させながら流動させることができる。このため、種類の異なる流体どうしをより効率的に分散混合させることができる。しかも、各小室61a,71aがハニカム状にて高密度に配置されているので、流体どうしをより一層効率的に分散混合させることができる。
【0017】
前記小室61a,71aの断面形状としては、前記正方形や六角形の他、三角形、五角形、八角形等の種々の多角形や円形等であってもよく、これら何れについても外接円の直径は0.1〜1mmの範囲に、深さは0.01〜0.5mmの範囲にそれぞれ設定するのが好ましい。前記外接円の直径が前記範囲を超えると、反応に必要な流体の容量が増大するとともに、流体の混合効果が低下する。また、外接円の直径が小さすぎると小室61a,71aの製造が困難となる。
なお、前記各小室61a,71aの底面に、微細な凹凸を設けて実施してもよい。また、前記各小室61a,71aの開口縁に曲面からなる面取りを形成してもよく、この場合には、第1の混合小室群61の小室61aと第2の混合小室群71の小室71aとが交差する部分において流体が滞留するのを、前記面取りによって抑制することができる。
【0018】
前記小室61a,71aの個数については、流体の種類の応じて適宜選択されるが、一般に混合エレメント6,7毎に3〜15個の範囲で選択される。また、流体供給ポート4の個数については、反応させる流体の種類に応じて選択される。
さらに、各混合小室群61,71は、第1のチップ1及び第2のチップ2自体に直接形成してもよい。
前記マイクロリアクターは、基台8上に複数個形成してもよく(図8参照)、この場合には、多数の化学反応を同時に実施することができるので、効率よく化学反応を行うことができる。
【0019】
この発明のマイクロリアクターは原料流体どうしの分散混合を高度に達成することができるので、従来、フラスコスケールでは実施が困難であった各種の化学反応も実施できる。この発明の化学反応は液体−液体、液体−気体、液体−固体、液体−固体−気体など様々な系で実施することができる。
また、この発明のマイクロリアクターは、生化学反応その他の化学反応に用いられ、コンビナトリアル・ケミストリー、創薬分野等にも応用できる。この他、ハイブリダイゼーションの原理を利用したDNAの検出、抗体―抗原反応、各種酵素反応当にも用いられる。
【0020】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、原料流体どうしの分散混合を効果的に行うことができ、ひいては流体どうしの反応を良好に行わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のマイクロリアクターの一実施の形態を示す一部欠截平面図である。
【図2】図1の要部拡大断面図である。
【図3】第1の混合エレメントを示す底面図である。
【図4】第2の混合エレメントを示す平面図である。
【図5】第1の混合エレメントの他の実施の形態を示す底面図である。
【図6】第2の混合エレメントの他の実施の形態を示す平面図である。
【図7】反応流路を示す模式図である。
【図8】他の実施の形態を示す平面図である。
【図9】従来例を示す一部欠截平面図である。
【図10】他の従来例を示す一部欠截平面図である。
【符号の説明】
1 第1のチップ
2 第2のチップ
3 反応流路
4 流体供給ポート
5 流体排出ポート
6 第1の混合エレメント
61 第1の混合小室群
61a 小室
7 第2の混合エレメント
71 第2の混合小室群
71a 小室
A 基板
X 凹凸面[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a microreactor for mixing and reacting a plurality of kinds of trace fluids and a chemical reaction method using the same.
[0002]
Problems to be solved by the prior art and the invention
BACKGROUND ART Conventionally, a microreactor, which is a microreaction vessel for performing a chemical reaction with a small amount of sample, has been provided. Since the reaction volume of this microreactor is usually on the order of μL, a small and lightweight experimental system that can react at high speed with a small amount of raw materials can be realized, integration and parallelization are easy, and impurities are not mixed. There are various advantages such as being suppressed, easy to keep the reaction conditions such as temperature control constant, and excellent in safety. For this reason, it is used for chemical reactions such as chemical synthesis reactions and biochemical reactions, detection of biological samples, and the like.
[0003]
For example, as shown in FIG. 9, the microreactor is formed by laminating a second chip 102 on a first chip 101 to form a substrate 100 and forming a microchip on one or both of the chips 101 and 102 in advance. The reaction channel 103 is formed between the two by the elongated concave groove, and two fluid supply ports 104 and one fluid discharge port 105 communicating with the reaction channel 103 are formed in the first chip 102. (For example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-337173).
In this microreactor, two kinds of fluids respectively injected from the two fluid supply ports 104 are mixed in the reaction channel 103 and discharged from the fluid discharge port 105. However, the mixing of the fluids in the reaction channel 103 is performed by collision of two types of fluids or mutual diffusion at the time of flow, so that the two are not sufficiently mixed. For this reason, there is a problem that the two kinds of fluids are not mixed promptly, and the reaction yield is inferior and a side reaction occurs.
[0004]
In view of this, as shown in FIG. 10, there has been proposed an apparatus in which the reaction channel 103 is meandering to extend the residence time of the fluid (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-27984). However, also in this microreactor, the total length of the reaction channel 103 is simply increased, and the mixing efficiency of the two types of fluids is still insufficient because the two types of fluids are mixed by collision or mutual diffusion during flow. It is.
Further, in any of the microreactors, the reaction channel 103 is minute, and the flow of the fluid is usually a laminar flow in the minute channel. Therefore, the Reynolds number is very small, and the generation of turbulent flow is suppressed. Therefore, fluids are hardly mixed in the width direction and the depth direction of the reaction channel 103, and only mixing by diffusion can be expected. However, it takes a very long time to effectively mix fluids only by diffusion. Therefore, in the conventional microreactor, it is extremely difficult to disperse and mix fluids, which are the basis of a chemical reaction.
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a microreactor capable of effectively performing dispersion and mixing of fluids.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The microreactor of the present invention for achieving the above object is a microreactor provided with a reaction channel for reacting a plurality of types of fluids injected from a fluid supply port inside a substrate, wherein the reaction channel includes: A fine uneven surface is formed in which plural kinds of fluids are made to flow while meandering and dispersed and mixed (claim 1).
According to the microreactor having such a configuration, a plurality of kinds of fluids can be caused to flow while meandering and dispersed and mixed by the fine uneven surface formed in the reaction channel. For this reason, mixing of fluids can be performed effectively in a short time.
[0006]
The uneven surface is composed of a first mixed small chamber group and a second mixed small chamber group, each of which includes a plurality of small chambers arranged so as to be shifted from each other in a state where they face each other and open on the side approaching each other. Is preferable (claim 2). In this case, a plurality of types of fluids can be alternately introduced into each of the small chambers of the first mixed small chamber group and each of the small chambers of the second mixed small chamber group, and can be more efficiently dispersed and mixed.
[0007]
It is preferable that each of the mixing chamber groups is formed in a plurality of rows along the reaction channel (claim 3). In this case, a plurality of types of fluids can be caused to flow while meandering in the vertical cross section of the flow path, and dividing and joining in the horizontal cross section. Therefore, the fluids can be effectively mixed in a shorter time. Further, in this case, each of the mixing chamber groups may be in a honeycomb shape (Claim 4), whereby the chambers of each of the mixing chamber groups can be arranged at a high density. Mixing can be performed effectively in a shorter time.
[0008]
Further, the chemical reaction method of the present invention is characterized in that a plurality of types of fluids are injected from the fluid supply port of the microreactor according to any one of claims 1 to 4, and the plurality of types of fluids are mixed in the reaction channel. It is characterized by performing a dispersion reaction (claim 6).
According to this chemical reaction method, a plurality of types of fluids can be caused to flow while meandering, and can be effectively dispersed and mixed by the fine uneven surface formed in the reaction channel of the microreactor. The reaction can be performed effectively in a short time.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the microreactor of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing an embodiment of the microreactor of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view thereof. In this microreactor, a reaction channel 3 for reacting a plurality of types of fluids is provided inside a substrate A including a first chip 1 and a second chip 2, and the reaction channel 3 is communicated with the reaction channel 3. One fluid supply port 4 and one fluid discharge port 5 are formed.
[0010]
The first chip 1 and the second chip 2 have a thin flat plate shape, and constitute a substrate A by being stacked on each other. The size of each of the chips 1 and 2 is set to, for example, about 5 to 25 mm in width, about 10 to 75 mm in length, and about 1 to 5 mm in thickness. As a material of each of the chips 1 and 2, metal, glass, ceramics, plastic, or the like is used, and is appropriately selected according to properties of a fluid to be applied and reaction conditions such as a photoreaction and a reaction under light blocking.
[0011]
The reaction channel 3 is constituted by a groove 31 formed in the first chip 1 and a groove 32 formed in the second chip 2 opposed thereto. The mixing elements 6, 7 are arranged facing each other.
Each of the mixing elements 6 and 7 has a rectangular planar shape, and a first mixing small chamber group 61 and a second mixing small chamber group 71 including a plurality of small chambers 61a and 71a are formed on opposing sides thereof. Have been. The small chambers 61a constituting the first mixed small chamber group 61 and the small chambers 71a constituting the second mixed small chamber group 71 have a square cross section in which the sides approaching each other are opened (see FIGS. 3 and 4). Each row is formed at predetermined pitches along the reaction channel 3.
[0012]
The small chambers 61a of the first mixing small chamber group 61 and the small chambers 71a of the second mixing small chamber group 71 are arranged so as to be shifted from each other by ピ ッ チ pitch along the reaction flow path 3. Therefore, the peripheral wall 61b of the small chamber 61a of the first mixed small chamber group 61 is located in the middle of the peripheral wall 71b of the small chamber 71a of the second mixed small chamber group 71.
The diameter of the circumscribed circle of the peripheral wall of each of the small chambers 61a, 71a is set, for example, in the range of 0.1 to 1 mm, and the depth is set, for example, in the range of 0.01 to 0.5 mm. Therefore, a fine uneven surface X is formed in the reaction channel 3 by the small chambers 61a and 71a of the pair of mixing elements 6 and 7. Each of these small chambers 61a, 71a is formed by, for example, a lithography method or a stereolithography method.
The lower surface of the peripheral wall 61b of the first mixed small chamber group 61 and the upper surface of the peripheral wall 71b of the second mixed small chamber group 71 are arranged on substantially the same plane. At the upstream end of the mixing element 7, a notch 71c for introducing a fluid into each of the small chambers 61a, 71a is formed, and at the downstream end, a cutout for discharging the fluid from each of the small chambers 61a, 71a. A notch 71d is formed.
[0013]
Each fluid supply port 4 is formed to penetrate the first chip 1, and is connected to the reaction channel 3 via a communication path 41. Different types of fluids are individually supplied to the respective fluid supply ports 4 by a micro pump, a micro valve, a micro syringe, or the like such as a diffuser type or a diaphragm type. Examples of the fluid include a liquid, a gas, and a powder.
The fluid discharge ports 5 are formed to penetrate the first chip 1, and communicate with the reaction channels 3 via communication paths 51.
[0014]
According to the above configuration, different types of fluids supplied from the respective fluid supply ports 4 are supplied to the reaction channel 3 through the communication passage 41, and in the reaction channel 3, as shown by arrows in FIG. It is guided to the downstream side while being alternately introduced into each small chamber 61a of the first mixing small chamber group 61 and each small chamber 71a of the second mixing small chamber group 71. For this reason, the flow of the fluid can be made turbulent in spite of the minute reaction channel 3, and different types of fluids can be dispersed and mixed as well as diffusion mixed. Therefore, fluids can be efficiently mixed and reacted in a very short time.
[0015]
FIG. 5 and FIG. 6 are a bottom view and a plan view showing another embodiment of each of the mixing elements 6 and 7. In this embodiment, the mixing small chamber groups 61 and 71 are formed in a honeycomb shape. That is, each of the small chambers 61a, 71a forming each of the mixing small chamber groups 61, 71 is formed in a hexagonal cross section in the figure, and these small chambers 61a, 71a are arranged in a row along the reaction flow path 3 at a predetermined pitch. The adjacent small chambers share a part of the peripheral wall. Further, the small chambers 61a of the first mixing small chamber group 61 and the small chambers 71a of the second mixing small chamber group 71 are arranged symmetrically with respect to each other, and are positioned with respect to each other by 1/4 pitch along the reaction channel 3. Are displaced from each other. Therefore, one small chamber 61a of the first mixing small chamber group 61 faces a part of the three small chambers 71a of the second mixing small chamber group 71 (see FIG. 7). The lower surface of the peripheral wall 61b of the first mixed small chamber group 61 and the upper surface of the peripheral wall 71b of the second mixed small chamber group 71 are arranged on substantially the same plane.
[0016]
In this embodiment, a plurality of types of fluid supplied from the fluid supply port 4 can flow while meandering in a vertical cross section of the flow path, and splitting and joining in a horizontal cross section. Therefore, different types of fluids can be more efficiently dispersed and mixed. In addition, since the small chambers 61a and 71a are arranged at high density in a honeycomb shape, fluids can be more efficiently dispersed and mixed.
[0017]
The sectional shape of the small chambers 61a and 71a may be various polygons such as a square, a hexagon, a hexagon, a pentagon, an octagon, a circle, or the like. It is preferable that the depth is set in the range of 0.1 to 1 mm and the depth is set in the range of 0.01 to 0.5 mm. When the diameter of the circumscribed circle exceeds the above range, the volume of the fluid required for the reaction increases, and the mixing effect of the fluid decreases. If the diameter of the circumscribed circle is too small, it becomes difficult to manufacture the small chambers 61a and 71a.
In addition, you may implement by providing fine unevenness | corrugation in the bottom face of each said small chamber 61a, 71a. Further, a chamfer having a curved surface may be formed at the opening edge of each of the small chambers 61a, 71a. In this case, the small chamber 61a of the first mixed small chamber group 61 and the small chamber 71a of the second mixed small chamber group 71 are formed. Can be suppressed by the chamfering at the portion where the fluid crosses.
[0018]
The number of the small chambers 61a and 71a is appropriately selected according to the type of fluid, but is generally selected in the range of 3 to 15 for each of the mixing elements 6 and 7. The number of fluid supply ports 4 is selected according to the type of fluid to be reacted.
Further, the mixing chamber groups 61 and 71 may be formed directly on the first chip 1 and the second chip 2 themselves.
A plurality of the microreactors may be formed on the base 8 (see FIG. 8). In this case, a large number of chemical reactions can be performed simultaneously, so that the chemical reactions can be performed efficiently. .
[0019]
Since the microreactor of the present invention can achieve a high degree of dispersion and mixing of the raw material fluids, it can also carry out various chemical reactions which were conventionally difficult to carry out on a flask scale. The chemical reaction of the present invention can be carried out in various systems such as liquid-liquid, liquid-gas, liquid-solid, and liquid-solid-gas.
The microreactor of the present invention is used for biochemical reactions and other chemical reactions, and can be applied to combinatorial chemistry, drug discovery and the like. In addition, it is used for detection of DNA using the principle of hybridization, antibody-antigen reaction, and various enzyme reactions.
[0020]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the material fluids can be effectively dispersed and mixed with each other, and the fluids can be favorably reacted with each other.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing an embodiment of a microreactor of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of FIG.
FIG. 3 is a bottom view showing the first mixing element.
FIG. 4 is a plan view showing a second mixing element.
FIG. 5 is a bottom view showing another embodiment of the first mixing element.
FIG. 6 is a plan view showing another embodiment of the second mixing element.
FIG. 7 is a schematic diagram showing a reaction channel.
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment.
FIG. 9 is a partially cutaway plan view showing a conventional example.
FIG. 10 is a partially cutaway plan view showing another conventional example.
[Explanation of symbols]
REFERENCE SIGNS LIST 1 first chip 2 second chip 3 reaction channel 4 fluid supply port 5 fluid discharge port 6 first mixing element 61 first mixing chamber group 61a small chamber 7 second mixing element 71 second mixing chamber group 71a Small chamber A Substrate X Uneven surface