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JP2003311220A - Clean system - Google Patents

Clean system

Info

Publication number
JP2003311220A
JP2003311220A JP2002149867A JP2002149867A JP2003311220A JP 2003311220 A JP2003311220 A JP 2003311220A JP 2002149867 A JP2002149867 A JP 2002149867A JP 2002149867 A JP2002149867 A JP 2002149867A JP 2003311220 A JP2003311220 A JP 2003311220A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean
metering pump
pump
cleaning fluid
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002149867A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Meiho Shu
明 豊 朱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chi Mei Optoelectronics Corp
Original Assignee
Chi Mei Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chi Mei Electronics Corp filed Critical Chi Mei Electronics Corp
Priority to JP2002149867A priority Critical patent/JP2003311220A/en
Publication of JP2003311220A publication Critical patent/JP2003311220A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean system which can shorten the closedown time, can increase a throughput and has a long working life. <P>SOLUTION: The clean system 300 includes a reservoir 302 for storing a cleaning fluid, a clean head 304 for cleaning pads (or leads) 404 on a substrate, and a metering pump 306 other than a peristaltic pump for pumping the cleaning fluid from the reservoir 302 to the clean head 304. Suitable metering pumps for use in the present invention are piston pumps, gear pumps or diaphragm pumps. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一般にクリーンシ
ステム、特に表示パネル上に形成されるパッド(又はリ
ード)を清浄化するクリーンシステムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention generally relates to a clean system, and more particularly to a clean system for cleaning pads (or leads) formed on a display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の表示パネルとして、従来、液
晶パネルやプラズマ表示パネルが知られている。一般
に、このような表示パネルは駆動装置の外部リードをガ
ラス板からなる下部パネルの端部に位置するパッド(又
はリード)に結合することによって組み立てられる。一
般的なドライバー(駆動回路)は、TAB(テープオー
トメイティッドボンディング)法によって形成されるテ
ープキャリアパッケージ(以下、TCPという。)から
なる。
2. Description of the Related Art Conventionally, liquid crystal panels and plasma display panels have been known as display panels for electronic devices. In general, such a display panel is assembled by connecting external leads of a driving device to pads (or leads) located at an end of a lower panel made of a glass plate. A general driver (driving circuit) is composed of a tape carrier package (hereinafter referred to as TCP) formed by a TAB (Tape Automated Bonding) method.

【0003】しかし、ボンディングプロセスが行なわれ
る前に、TCPの外部リードとパネルのパッド(又はリ
ード)間の良好な電気的接触を確保するため、パネルの
パッド(又はリード)を清浄化する必要がある。従っ
て、従来の外部リードボンディング装置は、一般的に、
パネルのパッド(又はリード)を清浄化するためのクリ
ーンシステムを有する。図1に示すように、従来のクリ
ーンシステム100は、清浄化用流体を貯留槽104か
ら上部クリーンヘッド106及び下部クリーンヘッド1
08にそれぞれ供給するため、2つの処理ユニット10
2を有する。
However, it is necessary to clean the panel pads (or leads) to ensure good electrical contact between the TCP external leads and the panel pads (or leads) before the bonding process is performed. is there. Therefore, the conventional external lead bonding apparatus generally
It has a clean system to clean the pads (or leads) of the panel. As shown in FIG. 1, a conventional clean system 100 includes a cleaning fluid from a storage tank 104 to an upper clean head 106 and a lower clean head 1.
Two processing units 10 to supply each
Have two.

【0004】現在、各処理ユニット102は、それぞ
れ、設定量の清浄化用流体の正確な供給を確実に行なう
ために、蠕動ポンプ200(図2参照)を具備する。図
2に示すように、蠕動ポンプ200の作動は、回転ロー
ラヘッド204を用いて、所定長さの屈曲自在なチュー
ブ202(固定流路間に配置される場合もある)を圧縮
したり絞ったりすることによって行なわれる。ローラヘ
ッド204が回転すると、ローラ206がチューブ20
2の一部をつまみ、ローラ206間でチューブ202内
に補足されている如何なる流体も回転方向に押し出す。
この際、流量はローラヘッド204の回転速度と駆動力
によって決定される。
Presently, each processing unit 102 is equipped with a peristaltic pump 200 (see FIG. 2) to ensure accurate delivery of a set amount of cleaning fluid. As shown in FIG. 2, the operation of the peristaltic pump 200 uses a rotary roller head 204 to compress or squeeze a bendable tube 202 (may be arranged between fixed flow paths) of a predetermined length. It is done by doing. When the roller head 204 rotates, the roller 206 moves the tube 20.
Pinch part of 2 to push any fluid trapped in the tube 202 between the rollers 206 in the direction of rotation.
At this time, the flow rate is determined by the rotation speed and driving force of the roller head 204.

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be Solved by the Invention]

【0005】しかし、このような外部リードボンディン
グ装置において、蠕動ポンプを処理ユニットとして用い
ることには、以下の問題点がある。 (a)蠕動ポンプの屈曲自在なチューブは作動中に摩滅
し、その結果、清浄化流体の望ましくない流量変化を生
じる。 (b)摩滅したチューブを周期的に交換する必要があ
り、また、その交換に際しては、外部リードボンディン
グ装置全体を完全に停止する必要がある。 (c)蠕動ポンプの機構部が容易に磨耗する。 これらの欠点は、チューブの交換や蠕動ポンプの補修に
必要な費用を増大するのみならず、作業停止時間を著し
く増大し、また、処理量の大幅な低減をもたらす。
However, the use of a peristaltic pump as a processing unit in such an external lead bonding apparatus has the following problems. (A) The bendable tubing of a peristaltic pump wears out during operation, resulting in undesirable flow rate changes of the cleaning fluid. (B) It is necessary to periodically replace the worn tube, and at the time of replacement, it is necessary to completely stop the entire external lead bonding apparatus. (C) The mechanism part of the peristaltic pump is easily worn. These disadvantages not only increase the costs required to replace tubes and repair peristaltic pumps, but also significantly increase downtime and significantly reduce throughput.

【0006】従って、本発明は、上述した従来技術の問
題を解決でき、又は、少なくとも低減でき、作業停止時
間を少なくできると共に処理量を増大できる長稼動寿命
のクリーンシステムを提供することを目的とする。本発
明の他の目的は、基板を、同基板上に形成されるパッド
(又はリード)と共に清浄化するため、外部リードボン
ディングプロセスにおいて用いる信頼性のあるクリーン
システムを提供することにある。
[0006] Therefore, it is an object of the present invention to provide a clean system having a long operating life which can solve the above-mentioned problems of the prior art, or at least can reduce the work stop time and increase the throughput. To do. Another object of the present invention is to provide a reliable clean system for use in an external lead bonding process for cleaning a substrate with pads (or leads) formed on the substrate.

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

【0007】上記した目的及び他の目的を達成するた
め、本発明に係るクリーンシステムは、主として、清浄
化用流体を貯留する貯留槽と、第1クリーンヘッドと、
清浄化用流体を貯留槽から第1クリーンヘッドに吐出す
る蠕動ポンプ以外の計量ポンプを具備する。本発明にお
いて好適に用いることができる計量ポンプは、吐出サイ
クル毎に同容積を吐出するための一定容積の空所を有す
ることを特徴とするピストンポンプ、ギアポンプ又はダ
イアフラムポンプである。計量ポンプは流入口と流出口
とを有する。流入口は貯留槽に接続されており、清浄化
用流体の計量ポンプへの流入を可能とする。流出口は第
1クリーンヘッドに接続されており、清浄化用流体の計
量ポンプから第1クリーンヘッドへの流入を可能とす
る。クリーンシステムは、清浄化用流体が第1クリーン
ヘッドから計量ポンプに逆流するのを防止するため、計
量ポンプと第1クリーンヘッドとの間に配置される逆止
弁を具備することもできる。
In order to achieve the above objects and other objects, the clean system according to the present invention mainly comprises a storage tank for storing a cleaning fluid, a first clean head,
A metering pump other than the peristaltic pump that discharges the cleaning fluid from the storage tank to the first clean head is provided. The metering pump that can be preferably used in the present invention is a piston pump, a gear pump or a diaphragm pump, which has a space of a constant volume for discharging the same volume for each discharge cycle. The metering pump has an inlet and an outlet. The inflow port is connected to the storage tank and allows the cleaning fluid to flow into the metering pump. The outlet is connected to the first clean head, and allows the cleaning fluid to flow from the metering pump to the first clean head. The clean system may also include a check valve disposed between the metering pump and the first clean head to prevent the cleaning fluid from flowing back from the first clean head to the metering pump.

【0008】クリーンシステムは第2クリーンヘッドを
具備することもできる。第1及び第2クリーンヘッド
は、上記した同一の計量ポンプに接続されている。クリ
ーンヘッドは、好ましくは、半製品の表面に接触して清
浄化する紐状物、例えば、不織紐状物を具備する。紐状
物を清浄化用流体によって湿らすことによって、クリー
ンヘッドは、埃、塵、その他の表面汚染物質を半製品の
表面から容易に拭き取ることができる。
The clean system can also include a second clean head. The first and second clean heads are connected to the same metering pump described above. The clean head preferably comprises a string, for example, a non-woven string, which comes into contact with and cleans the surface of the semi-finished product. By moistening the string with a cleaning fluid, the clean head can easily wipe dust, dirt and other surface contaminants from the surface of the semi-finished product.

【0009】本発明に係るクリーンシステムは、従来の
蠕動ポンプを、ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイ
アフラムポンプのような計量ポンプによって置換するも
のである。ピストンポンプ、ギアポンプ又はダイアフラ
ムポンプの作動においては、従来の蠕動ポンプの屈曲自
在なチューブのような容易に摩滅する部品を必要としな
いので、クリーンシステムの稼動寿命を従来のクリーン
システムより長くでき、従って、作業停止時間を低減で
きると共に処理量を増大することができる。さらに、本
発明に係るクリーンシステムは、外部リードボンディン
グプロセスに用いられる既存の材料や関連する機器と十
分に共存できるものであり、かつ、それらの性能に影響
を及ぼすものではない。
The clean system according to the present invention replaces a conventional peristaltic pump with a metering pump such as a piston pump, a gear pump or a diaphragm pump. The operation of piston pumps, gear pumps or diaphragm pumps does not require easily abrading parts such as the bendable tubes of conventional peristaltic pumps, which allows the clean system to have a longer service life than traditional clean systems. Therefore, the work stop time can be reduced and the processing amount can be increased. Furthermore, the clean system according to the present invention is sufficiently compatible with existing materials and related equipment used in the external lead bonding process, and does not affect their performance.

【0010】本発明は、従来の蠕動ポンプをピストンポ
ンプ、ギアポンプ又はダイアフラムポンプのような計量
ポンプによって置換することによって、長稼動寿命を有
することができるクリーンシステムを提供する。ここで
提示する解決策は、既存の装置と十分に共存できるもの
であり、かつ、それらの性能に影響を及ぼすものではな
い。
The present invention provides a clean system which can have a long operating life by replacing the conventional peristaltic pump with a metering pump such as a piston pump, a gear pump or a diaphragm pump. The solution presented here is well compatible with existing devices and does not affect their performance.

【発明の実施の形態】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0011】図3は、本発明の1実施例に係るクリーン
システム300を示すブロック図である。クリーンシス
テム300は、主として、貯留槽302と、クリーンヘ
ッド304と、計量ポンプ306とを具備する。貯留槽
302は、イソプロピルアルコール(IPA)のような
清浄化用流体を内蔵している。計量ポンプ306は、貯
留槽302からクリーンヘッド304に向けて清浄化用
流体を吐出する。計量ポンプ306は流入口308と流
出口310を有する。流入口308は貯留槽302に接
続されているので、吐出される清浄化用流体の計量ポン
プ306への流入が可能となる。流出口310はクリー
ンヘッド304に接続されているので、計量ポンプ30
6から吐出される清浄化用流体のクリーンヘッド304
内への流入が可能となる。クリーンシステムは、計量ポ
ンプ306とクリーンヘッド304間に配置される逆止
弁312を具備してもよい。逆止弁312は、清浄化用
流体がクリーンヘッド304から計量ポンプ306に逆
流するのを防止するため、選択的に閉弁する。本発明に
係るクリーンヘッド304は、表示パネル406の上面
402に形成されるパッド(又はリード)404(1つ
のパッドのみが参照番号404で示されている。)を清
浄化するため好適に用いられる(図5参照)。クリーン
ヘッド304は、好ましくは、表示パネル406上のパ
ッド(又はリード)404を接触しながら清浄化するた
め、例えば不織紐状物からなる紐状物400を有する。
清浄化用流体がクリーンヘッド304内に吐出される
と、紐状物400は清浄化用流体によって湿らすことが
できるので、パッド(又はリード)404の表面から、
埃、塵、その他の表面汚染物質を簡単に拭き取ることが
できる。
FIG. 3 is a block diagram showing a clean system 300 according to one embodiment of the present invention. The clean system 300 mainly includes a storage tank 302, a clean head 304, and a metering pump 306. The reservoir 302 contains a cleaning fluid such as isopropyl alcohol (IPA). The metering pump 306 discharges the cleaning fluid from the storage tank 302 toward the clean head 304. The metering pump 306 has an inlet 308 and an outlet 310. Since the inflow port 308 is connected to the storage tank 302, the cleaning fluid discharged can flow into the metering pump 306. Since the outlet 310 is connected to the clean head 304, the metering pump 30
Clean head 304 for cleaning fluid discharged from 6
Inflow is possible. The clean system may include a check valve 312 located between the metering pump 306 and the clean head 304. The check valve 312 is selectively closed to prevent the cleaning fluid from flowing back from the clean head 304 to the metering pump 306. The clean head 304 according to the present invention is preferably used for cleaning a pad (or lead) 404 (only one pad is designated by reference numeral 404) formed on the upper surface 402 of the display panel 406. (See Figure 5). The clean head 304 preferably has a string-like object 400 made of, for example, a non-woven string-like object in order to clean the pad (or the lead) 404 on the display panel 406 while making contact with the clean head 304.
When the cleaning fluid is discharged into the clean head 304, the string-like object 400 can be moistened with the cleaning fluid, so that the surface of the pad (or the lead) 404 is
Dust, dust, and other surface contaminants can be easily wiped off.

【0012】図4は、本発明の他の実施例に係るクリー
ンシステム350を示すブロック図である。図4に示す
ように、本発明では、さらに、表示パネル406の上面
402と対向する下面を清浄化するため、同一の計量ポ
ンプ306に連結されるもう一つのクリーンヘッド31
4を設けている(図5参照)。クリーンヘッド314
は、クリーンヘッド304と実質的に同じ構造と材料を
有する。計量ポンプは、貯留槽302からクリーンヘッ
ド304とクリーンヘッド314の両方に清浄化用流体
を吐出する。好ましくは、クリーンシステム350は、
計量ポンプ306とクリーンヘッド314間に配置され
る逆止弁316を有する。逆止弁316は、清浄化用流
体がクリーンヘッド314から計量ポンプ306に逆流
するのを防止するため、選択的に閉弁する。
FIG. 4 is a block diagram showing a clean system 350 according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, in the present invention, another clean head 31 connected to the same metering pump 306 for cleaning the lower surface of the display panel 406 facing the upper surface 402 is further used.
4 are provided (see FIG. 5). Clean head 314
Has substantially the same structure and material as the clean head 304. The metering pump discharges the cleaning fluid from the storage tank 302 to both the clean head 304 and the clean head 314. Preferably, the clean system 350 is
It has a check valve 316 arranged between the metering pump 306 and the clean head 314. The check valve 316 is selectively closed to prevent the cleaning fluid from flowing back from the clean head 314 to the metering pump 306.

【0013】本発明での使用に適する計量ポンプは、吐
出サイクル毎に同容積を吐出する一定容積の空所を有す
ることを特徴とするピストンポンプ、ギアポンプ、又は
ダイアフラムポンプである。ピストンポンプはユニット
を通して液体を移動させるために往復動プランジャを用
いる。ピストンポンプは剛性ピストン組立体からなり、
このような構成によって、ピストンポンプは、計量ポン
プとして最高の圧力と精度を有することができる。ギア
ポンプは、2つ又は3つの回転するギアの歯の間に介在
する流体を移送することによって作動する。ギアポンプ
は1回転当り多くの小さな空所を移動させるので、ピス
トンポンプほど頻繁に脈動しない。ダイアフラムポンプ
は、屈曲自在なダイアフラムを脈動させることによっ
て、ストローク毎に液体を移動させる。ポンプ作用は、
ダイアフラム(図示せず)によって流体から保護されて
いる往復動ピストン(図示せず)によってさらに増大す
る。ダイアフラムは、ソレノイドによって機械的に、又
は、ピストンとダイアフラム間に供給される油圧流体に
よって作動される。好ましくは、本発明に係る計量ポン
プ306は、稼動部品を最少化できる観点から、ソレノ
イド駆動のダイアフラムポンプとする。好適なソレノイ
ド駆動のダイアフラムポンプとして、ProMinent Dosie
rtechnik GmbH製のポンプ(商標Beta)が市販されてい
る。このポンプは電気信号によって進退し、2位置4方
向電気ソレノイド弁からなる空気弁を有し、空気弁は単
一の操作子とスプリング復帰機構を有する。電力を付与
すると、弁スプールが移動して空気で空気室の圧力を昇
圧する。電気信号を解除すると、スプリング復帰機構
が、弁スプールを、昇圧された空気室を降圧すると共に
同空気室と対向する空気室を昇圧する位置まで移動させ
る。ポンプは、電力を交互に付加、解除することによっ
て往復動する。電気信号の供給が速くなれば、ポンプも
より速く作動する。
The metering pump suitable for use in the present invention is a piston pump, a gear pump, or a diaphragm pump characterized by having a constant volume void for discharging the same volume for each discharge cycle. Piston pumps use a reciprocating plunger to move liquid through the unit. The piston pump consists of a rigid piston assembly,
With such a configuration, the piston pump can have the highest pressure and accuracy as a metering pump. Gear pumps operate by transferring a fluid that is interposed between the teeth of two or three rotating gears. Since the gear pump moves many small voids per revolution, it does not pulsate as often as a piston pump. The diaphragm pump moves the liquid for each stroke by pulsating the flexible diaphragm. The pump action is
It is further augmented by a reciprocating piston (not shown) that is protected from fluid by a diaphragm (not shown). The diaphragm is actuated mechanically by a solenoid or by hydraulic fluid supplied between the piston and the diaphragm. The metering pump 306 according to the present invention is preferably a solenoid-driven diaphragm pump from the viewpoint of minimizing the number of moving parts. ProMinent Dosie as a suitable solenoid driven diaphragm pump
Pumps (trademark Beta) from rtechnik GmbH are commercially available. This pump has an air valve that is moved back and forth by an electric signal and has a two-position four-way electric solenoid valve, which has a single operator and a spring return mechanism. When power is applied, the valve spool moves and the air boosts the pressure in the air chamber. When the electric signal is released, the spring return mechanism moves the valve spool to a position where the pressure of the pressurized air chamber is reduced and the pressure of the air chamber facing the air chamber is increased. The pump reciprocates by alternately applying and releasing electric power. The faster the electrical signal is delivered, the faster the pump will operate.

【0014】本発明に係るクリーンシステムは、以下の
工程を有する外部リードボンディングプロセスに、特に
好適に用いられる。まず、図6に示すように、表示パネ
ル406のパッド(又はリード)404を、本発明に係
るクリーンシステム300によって清浄化する。その
後、本来的に接着性のある異方性導電テープ500(図
6参照)を、パッド(又はリード)404上の表示パネ
ル406に取り付ける。次に、テープキャリアパッケー
ジ(TCP)502を表示パネル406上に配置する。
TCP502は、一般的に、フィルム504と、フィル
ム504に結合されるドライバーチップ506と、フィ
ルム504上に形成される(例えば、貼り付けられる)
複数の外部リード508とを具備する。ここで、2つの
近接する外部リード508間には微小な間隙が設けられ
ている。この工程で、TCP502の外部リード508
は、表示パネル406のパッド(又はリード)404と
整合する。最後に、テープキャリアパッケージの外部リ
ード508を、例えば、熱圧着工具によってパッド(又
はリード)404に結合する。
The clean system according to the present invention is particularly preferably used in the external lead bonding process having the following steps. First, as shown in FIG. 6, the pad (or lead) 404 of the display panel 406 is cleaned by the clean system 300 according to the present invention. Thereafter, the anisotropic conductive tape 500 (see FIG. 6), which is inherently adhesive, is attached to the display panel 406 on the pad (or lead) 404. Next, the tape carrier package (TCP) 502 is placed on the display panel 406.
The TCP 502 is generally formed (eg, affixed) on the film 504, the driver chip 506 coupled to the film 504, and the film 504.
And a plurality of external leads 508. Here, a minute gap is provided between two adjacent external leads 508. In this process, the external lead 508 of the TCP 502
Align with the pads (or leads) 404 of the display panel 406. Finally, the tape carrier package outer leads 508 are bonded to the pads (or leads) 404 by, for example, a thermocompression bonding tool.

【0015】本発明に係るクリーンシステムは、従来の
蠕動ポンプを、ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイ
アフラムポンプのような計量ポンプによって置換するも
のである。ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイアフ
ラムポンプを作動するに際し、従来の蠕動ポンプの屈曲
チューブのような容易に摩滅する構成要素を必要としな
いので、クリーンシステムの稼動寿命を従来のクリーン
システムより長くでき、従って稼動停止時間を低減でき
ると共に処理量を増大できる。さらに、本発明に係るク
リーンシステムは、外部リードボンディングプロセスに
用いられている既存の材料及び関連機器と十分に共存で
きるものであり、かつ、それらの性能に影響を及ぼすも
のではない。
The clean system according to the present invention replaces a conventional peristaltic pump with a metering pump such as a piston pump, a gear pump or a diaphragm pump. The operation of piston pumps, gear pumps and diaphragm pumps does not require components that are easily worn away like the bent tubes of conventional peristaltic pumps, which allows the clean system to have a longer service life than conventional clean systems. Therefore, the operation stop time can be reduced and the processing amount can be increased. Furthermore, the clean system according to the present invention is sufficiently compatible with existing materials and related equipment used in the external lead bonding process, and does not affect their performance.

【0016】以上、本発明を好ましい実施例を参照して
説明してきたが、多くのほかの変容例や変形例を、以下
に請求される本発明の要旨及び範囲から逸脱することな
く行なえることが、理解できるであろう。
While the invention has been described with reference to the preferred embodiments, many other modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention as claimed below. But you can understand.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明により、作業停止時間を少なくで
きると共に処理量を増大できる長稼動寿命のクリーンシ
ステムを提供することができる。さらに、基板を、同基
板上に形成されるパッド(又はリード)と共に清浄化す
るため、外部リードボンディングプロセスにおいて用い
る信頼性のあるクリーンシステムを提供することができ
る。
According to the present invention, it is possible to provide a clean system which can reduce the work stop time and increase the processing amount and has a long operating life. Further, since the substrate is cleaned together with the pads (or leads) formed on the substrate, it is possible to provide a reliable clean system used in the external lead bonding process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来のクリーンシステムを示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional clean system.

【図2】図1に示すクリーンシステムで用いられる蠕動
ポンプの概略側面図である。
FIG. 2 is a schematic side view of a peristaltic pump used in the clean system shown in FIG.

【図3】本発明の一実施例に係るクリーンシステムを示
すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a clean system according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の他の実施例に係るクリーンシステムを
示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a clean system according to another embodiment of the present invention.

【図5】表示パネル上のパッド(又はリード)を清浄化
するために用いられる図3のクリーンシステムのクリー
ンヘッドを示す図である。
5 shows a clean head of the clean system of FIG. 3 used to clean pads (or leads) on a display panel.

【図6】図5の表示パネルに結合されるテープキャリア
パッケージの拡大斜視図である。
FIG. 6 is an enlarged perspective view of a tape carrier package combined with the display panel of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

300:クリーンシステム 302:貯留槽 304:クリーンヘッド 306:計量ポンプ 308:流入口 310:流出口 312:逆止弁 400:紐状物 402:上面 404:パッド(又はリード) 406:表示パネル 504:フィルム 506:ドライバーチップ 508:外部リード 300: Clean system 302: Storage tank 304: Clean head 306: Metering pump 308: Inlet 310: Outlet 312: Check valve 400: string-like object 402: upper surface 404: Pad (or lead) 406: Display panel 504: film 506: Driver chip 508: External lead

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上の第1表面上に形成される少なくと
も1つのパッドを有する前記基板を清浄化するシステム
であって、 清浄化用流体を貯蔵する貯留槽と、 前記基板上の前記パッドを清浄化するための第1クリー
ンヘッドと、 前記清浄化用流体を前記貯留槽から前記クリーンヘッド
へ吐出するための蠕動ポンプ以外の計量ポンプと、 を具備するシステム。
1. A system for cleaning the substrate having at least one pad formed on a first surface of the substrate, the reservoir storing a cleaning fluid, and the pad on the substrate. And a metering pump other than a peristaltic pump for discharging the cleaning fluid from the storage tank to the clean head.
【請求項2】前記計量ポンプが、 前記貯留槽に接続され、前記吐出すべき清浄化用流体の
前記計量ポンプへの流入を可能とする流入口と、 前記第1クリーンヘッドに接続され、前記吐出すべき清
浄化用流体の前記計量ポンプから前記クリーンヘッドへ
の流入を可能にする流出口と、 を具備することを特徴とするクレーム1記載のシステ
ム。
2. The metering pump is connected to the storage tank, is connected to the first clean head, and has an inlet for allowing the cleaning fluid to be discharged to flow into the metering pump. An outlet for allowing the cleaning fluid to be discharged from the metering pump to the clean head.
【請求項3】前記システムはさらに前記計量ポンプと前
記第1クリーンヘッドとの間に配置される第1逆止弁を具
備し、該逆止弁は、前記清浄化用流体が前記第1クリー
ンヘッドから前記計量ポンプに逆流するのを防止するた
め選択的に閉弁することを特徴とするクレーム1記載の
システム。
3. The system further comprises a first check valve disposed between the metering pump and the first clean head, the check valve wherein the cleaning fluid is the first clean valve. The system of claim 1 which is selectively closed to prevent backflow from the head to the metering pump.
【請求項4】前記クリーンヘッドが、前記清浄化用流体
を担持し、前記基板上の前記パッドと接触して清浄化す
る紐状物を有することを特徴とするクレーム1記載のシ
ステム。
4. The system according to claim 1, wherein the clean head has a string that carries the cleaning fluid and contacts the pad on the substrate to clean.
【請求項5】前記紐状物は不織紐状物であることを特徴
とするクレーム4記載のシステム。
5. The system according to claim 4, wherein the string-like object is a non-woven string-like object.
【請求項6】前記計量ポンプはピストンポンプであるこ
とを特徴とするクレーム1記載のシステム。
6. The system of claim 1 wherein the metering pump is a piston pump.
【請求項7】前記計量ポンプはギアポンプであることを
特徴とするクレーム1記載のシステム。
7. The system of claim 1 wherein the metering pump is a gear pump.
【請求項8】前記計量ポンプはダイアフラムポンプであ
ることを特徴とするクレーム1記載のシステム。
8. The system of claim 1 wherein the metering pump is a diaphragm pump.
【請求項9】前記計量ポンプはソレノイド駆動のダイア
フラムポンプであることを特徴とするクレーム1記載の
システム。
9. The system of claim 1 wherein the metering pump is a solenoid driven diaphragm pump.
【請求項10】前記システムはさらに、 前記計量ポンプに接続され、前記第1表面と対向する前
記基板の第2表面を清浄化する第2クリーンヘッドと、 前記計量ポンプと前記第2クリーンヘッドとの間に配置
され、前記清浄化用流体が前記第2クリーンヘッドから
前記計量ポンプに逆流するのを防止するため選択的に閉
弁する逆止弁と、 を具備することを特徴とするクレーム1記載のシステ
ム。
10. The system further comprises a second clean head connected to the metering pump to clean a second surface of the substrate opposite the first surface, the metering pump and the second clean head. A check valve disposed between the first and second cleaning heads and selectively closed to prevent the cleaning fluid from flowing backward from the second clean head to the metering pump. The system described.
【請求項11】前記各クリーンヘッドが、前記清浄化用
流体を担持し、前記基板の前記第1表面又は前記第2表
面と接触して清浄化する紐状物を有することを特徴とす
るクレーム10記載のシステム。
11. The claim in which each of the clean heads has a string-like object that carries the cleaning fluid and that contacts the first surface or the second surface of the substrate to clean the cleaning fluid. 10. The system according to 10.
【請求項12】前記紐状物は不織紐状物であることを特
徴とするクレーム10記載のシステム。
12. The system according to claim 10, wherein the string-like object is a non-woven string-like object.
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