JP2003307613A - 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器 - Google Patents
成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 172
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 155
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 268
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 87
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 53
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 100
- 230000036544 posture Effects 0.000 claims description 63
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 56
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 22
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 235000019642 color hue Nutrition 0.000 claims description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 322
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 159
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 146
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 106
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 description 34
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 32
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 30
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 30
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 26
- 239000002585 base Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 21
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 15
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 15
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 13
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 9
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 description 7
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102000053602 DNA Human genes 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- RETDKIXQRINZEF-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole;zinc Chemical compound [Zn].C1=CC=C2OC=NC2=C1 RETDKIXQRINZEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001339 C alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- HIZCTWCPHWUPFU-UHFFFAOYSA-N Glycerol tribenzoate Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)OCC(OC(=O)C=1C=CC=CC=1)COC(=O)C1=CC=CC=C1 HIZCTWCPHWUPFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 150000004984 aromatic diamines Chemical class 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M perchlorate Inorganic materials [O-]Cl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N quinolin-2-ol Chemical compound C1=CC=C2NC(=O)C=CC2=C1 LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229920002477 rna polymer Polymers 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- JFLKFZNIIQFQBS-FNCQTZNRSA-N trans,trans-1,4-Diphenyl-1,3-butadiene Chemical class C=1C=CC=CC=1\C=C\C=C\C1=CC=CC=C1 JFLKFZNIIQFQBS-FNCQTZNRSA-N 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000006617 triphenylamine group Chemical group 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットヘッドのような液滴吐出ヘッ
ド等を用いて液状材料を吐出させて成膜する場合に、液
状材料の吐出量のばらつきによるムラを低減することの
できる装置及び方法を提供する。また、液状材料の吐出
による成膜技術において、様々な被吐出物に対してもコ
ストの増大を抑制しながら処理効率を高めることのでき
る装置及び方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタを製造する場合に、各フ
ィルタエレメント形成領域7に対して液滴吐出ヘッド2
2のノズル27からフィルタエレメント材料を液滴にし
て吐出させる。この場合、或る色のフィルタエレメント
材料については、マザー基板12の長手方向Lに対して
液滴吐出ヘッド22を走査させ、他の色のフィルタエレ
メント材料については、マザー基板12の短辺方向Mに
液滴吐出ヘッド22を走査させる。
ド等を用いて液状材料を吐出させて成膜する場合に、液
状材料の吐出量のばらつきによるムラを低減することの
できる装置及び方法を提供する。また、液状材料の吐出
による成膜技術において、様々な被吐出物に対してもコ
ストの増大を抑制しながら処理効率を高めることのでき
る装置及び方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタを製造する場合に、各フ
ィルタエレメント形成領域7に対して液滴吐出ヘッド2
2のノズル27からフィルタエレメント材料を液滴にし
て吐出させる。この場合、或る色のフィルタエレメント
材料については、マザー基板12の長手方向Lに対して
液滴吐出ヘッド22を走査させ、他の色のフィルタエレ
メント材料については、マザー基板12の短辺方向Mに
液滴吐出ヘッド22を走査させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、成膜方法、成膜装
置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラー
フィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示
装置、及び、電子機器に係り、特に、液状材料を吐出さ
せて成膜する技術に関する。
置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラー
フィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示
装置、及び、電子機器に係り、特に、液状材料を吐出さ
せて成膜する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、液晶表示装置やエレクトロルミ
ネッセンス装置(以下、単にEL装置という。)などと
いった電気光学装置を表示手段として用いた各種の表示
装置、或いは、これらの表示装置を備えた携帯電話機や
携帯型情報端末等の電子機器が知られている。このよう
な表示装置においては、近年、カラー表示が一般的にな
りつつあるため、ガラスやプラスチックなどによって構
成された基板の表面に、R(赤)・G(緑)・B(青)
のドット状のフィルタエレメントをストライプ配列、デ
ルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パター
ンにて配列させてなるカラーフィルタを用いる場合があ
る。
ネッセンス装置(以下、単にEL装置という。)などと
いった電気光学装置を表示手段として用いた各種の表示
装置、或いは、これらの表示装置を備えた携帯電話機や
携帯型情報端末等の電子機器が知られている。このよう
な表示装置においては、近年、カラー表示が一般的にな
りつつあるため、ガラスやプラスチックなどによって構
成された基板の表面に、R(赤)・G(緑)・B(青)
のドット状のフィルタエレメントをストライプ配列、デ
ルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パター
ンにて配列させてなるカラーフィルタを用いる場合があ
る。
【0003】また、カラー表示可能に構成されたEL装
置においては、ガラスやプラスチック等で構成された基
板の表面に、R(赤)・G(緑)・B(青)のドット状
のEL発光層をストライプ配列、デルタ配列、モザイク
配列などといった所定の配列パターンにて配列させ、こ
れらのEL発光層を一対の電極で挟持した表示ドットを
形成する。そして、これらの電極に印加する電圧を表示
ドット毎に制御することにより、各表示ドットを所定の
色及び階調で発光させる。
置においては、ガラスやプラスチック等で構成された基
板の表面に、R(赤)・G(緑)・B(青)のドット状
のEL発光層をストライプ配列、デルタ配列、モザイク
配列などといった所定の配列パターンにて配列させ、こ
れらのEL発光層を一対の電極で挟持した表示ドットを
形成する。そして、これらの電極に印加する電圧を表示
ドット毎に制御することにより、各表示ドットを所定の
色及び階調で発光させる。
【0004】上記のような各種の表示装置を製造する場
合には、上記カラーフィルタの各色のフィルタエレメン
トやEL装置の各色の発光層を、フォトリソグラフィ法
を用いることによってパターニングする方法が一般的で
ある。しかしながら、このフォトリソグラフィ法を用い
るパターニング工程は、材料の塗布・露光・現像などと
いった複雑で時間のかかる処理が必要になるとともに、
各色材料やレジスト等を多量に消費するので、コストが
高くなるなどといった問題がある。
合には、上記カラーフィルタの各色のフィルタエレメン
トやEL装置の各色の発光層を、フォトリソグラフィ法
を用いることによってパターニングする方法が一般的で
ある。しかしながら、このフォトリソグラフィ法を用い
るパターニング工程は、材料の塗布・露光・現像などと
いった複雑で時間のかかる処理が必要になるとともに、
各色材料やレジスト等を多量に消費するので、コストが
高くなるなどといった問題がある。
【0005】この問題を解決するために、インクジェッ
ト法によってフィルタエレメント材料やEL発光材料を
溶媒等を加えた液状材料の液滴として吐出し、基板表面
に着弾させることによって、ドット状に配列されたフィ
ルタエレメントや発光層を配列形成する方法が提案され
ている。ここで、このインクジェット法によって、図6
1(a)に示すように、ガラスやプラスチックなどによ
って構成された大面積の基板、いわゆるマザーボード3
01の表面に設定される複数の単位領域302の内部
に、図61(b)に示すようなドット状に配列されたフ
ィルタエレメント303を形成する場合について説明す
る。
ト法によってフィルタエレメント材料やEL発光材料を
溶媒等を加えた液状材料の液滴として吐出し、基板表面
に着弾させることによって、ドット状に配列されたフィ
ルタエレメントや発光層を配列形成する方法が提案され
ている。ここで、このインクジェット法によって、図6
1(a)に示すように、ガラスやプラスチックなどによ
って構成された大面積の基板、いわゆるマザーボード3
01の表面に設定される複数の単位領域302の内部
に、図61(b)に示すようなドット状に配列されたフ
ィルタエレメント303を形成する場合について説明す
る。
【0006】この場合には、例えば、図61(c)に示
すように、複数のノズル304を配列してなるノズル列
305を有する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘ
ッド306を、図61(b)の矢印A1及び矢印A2で
示すように、1個の単位領域302に関して複数回(図
61では2回)直線状に走査させながら、各走査期間に
おいて複数のノズル304から選択的にインクすなわち
フィルタ材料を吐出することによって希望位置にフィル
タエレメント303を形成する。
すように、複数のノズル304を配列してなるノズル列
305を有する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘ
ッド306を、図61(b)の矢印A1及び矢印A2で
示すように、1個の単位領域302に関して複数回(図
61では2回)直線状に走査させながら、各走査期間に
おいて複数のノズル304から選択的にインクすなわち
フィルタ材料を吐出することによって希望位置にフィル
タエレメント303を形成する。
【0007】このフィルタエレメント303は、上述し
たように、R・G・Bなどの各色をいわゆるストライプ
配列、デルタ配列、モザイク配列などといった適宜の配
列パターンで配列させることによって形成される。この
ため、通常、R・G・Bの各色のインクジェットヘッド
306を色毎に用意し、各色のインクジェットヘッド3
06を順次用いることにより、一つのマザーボード30
1上に所定の色配列のカラーフィルタを形成するように
している。
たように、R・G・Bなどの各色をいわゆるストライプ
配列、デルタ配列、モザイク配列などといった適宜の配
列パターンで配列させることによって形成される。この
ため、通常、R・G・Bの各色のインクジェットヘッド
306を色毎に用意し、各色のインクジェットヘッド3
06を順次用いることにより、一つのマザーボード30
1上に所定の色配列のカラーフィルタを形成するように
している。
【0008】ところで、インクジェットヘッド306に
ついては、一般に、ノズル列305を構成する複数のノ
ズル304のインク吐出量にばらつきがある。例えば、
図62(a)に示すように、ノズル列305の両端部に
対応する位置にあるノズル304の吐出量は多く、中央
位置にあるノズル304の吐出量がその次に多く、これ
らの中間位置にあるノズルの吐出量が最も少ないという
ようなインク吐出特性Qを有する。
ついては、一般に、ノズル列305を構成する複数のノ
ズル304のインク吐出量にばらつきがある。例えば、
図62(a)に示すように、ノズル列305の両端部に
対応する位置にあるノズル304の吐出量は多く、中央
位置にあるノズル304の吐出量がその次に多く、これ
らの中間位置にあるノズルの吐出量が最も少ないという
ようなインク吐出特性Qを有する。
【0009】したがって、図61(b)に示すようにし
て、インクジェットヘッド306によりフィルタエレメ
ント303を形成したとき、図62(b)に示すよう
に、インクジェットヘッド306の端部に対応する位置
P1又は中央位置P2、或いは、P1及びP2の両方に
濃度の濃いスジ、すなわち縞状の色ムラ、が形成されて
しまう。このため、カラーフィルタの平面的な光透過特
性が不均一になるという問題点がある。
て、インクジェットヘッド306によりフィルタエレメ
ント303を形成したとき、図62(b)に示すよう
に、インクジェットヘッド306の端部に対応する位置
P1又は中央位置P2、或いは、P1及びP2の両方に
濃度の濃いスジ、すなわち縞状の色ムラ、が形成されて
しまう。このため、カラーフィルタの平面的な光透過特
性が不均一になるという問題点がある。
【0010】このため、各フィルタエレメント303を
複数の液滴の吐出によって形成するようにし、上記液滴
供給ヘッド306の位置を送り方向(図61(b)の左
右方向)に少しずつずらしながら順次に走査を行うよう
にして、液適の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを
低減する方法(以下、単に「誤差分散法」という。)が
知られている(たとえば、以下の特許文献1を参照)。
複数の液滴の吐出によって形成するようにし、上記液滴
供給ヘッド306の位置を送り方向(図61(b)の左
右方向)に少しずつずらしながら順次に走査を行うよう
にして、液適の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを
低減する方法(以下、単に「誤差分散法」という。)が
知られている(たとえば、以下の特許文献1を参照)。
【0011】しかしながら、上記のように誤差分散法を
用いる場合には、同じ製造対象であっても従来よりも走
査回数が飛躍的に増加して製造時間が増大し、生産効率
が低下するという問題点がある。そこで、この問題点を
解消するために、姿勢を調整可能に構成した複数のヘッ
ドを共通のキャリッジに搭載し、一回の走査で処理を行
う範囲を広げることによって効率的に製造を行うことの
可能な装置が提案されている(たとえば、以下の特許文
献2を参照。)
用いる場合には、同じ製造対象であっても従来よりも走
査回数が飛躍的に増加して製造時間が増大し、生産効率
が低下するという問題点がある。そこで、この問題点を
解消するために、姿勢を調整可能に構成した複数のヘッ
ドを共通のキャリッジに搭載し、一回の走査で処理を行
う範囲を広げることによって効率的に製造を行うことの
可能な装置が提案されている(たとえば、以下の特許文
献2を参照。)
【0012】
【特許文献1】特開2002−221616号公報
【特許文献2】特開2002−273868号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上記のように種々の方
法によって成膜ムラを低減したり製造効率の低下を抑制
したりする試みが提案されているが、実際には、液滴吐
出ヘッドの走査方向に伸びる縞状の成膜ムラを十分に低
減することは困難であり、特に、走査速度を高速にして
生産性を向上させようとすればするほど、上記公報に記
載された方法を採用しても縞状のムラを低減することが
難しくなるという問題点がある。
法によって成膜ムラを低減したり製造効率の低下を抑制
したりする試みが提案されているが、実際には、液滴吐
出ヘッドの走査方向に伸びる縞状の成膜ムラを十分に低
減することは困難であり、特に、走査速度を高速にして
生産性を向上させようとすればするほど、上記公報に記
載された方法を採用しても縞状のムラを低減することが
難しくなるという問題点がある。
【0014】一方、マザーボード301に複数の単位領
域302を形成する場合、表示装置の画面サイズ若しく
は画面形状に対応させるため、単位領域302に異なる
色配列パターン(ストライプ配列、デルタ配列、モザイ
ク配列など)が設定される場合があるため、又は、マザ
ーボード301内において単位領域302の取り数を増
加させるために、マザーボード301における或る方向
に沿った同一色の表示ドットの配列数や配列間隔は、機
種毎に異なる。したがって、このように様々なマザーボ
ード301に対して一律にインクジェットヘッドを走査
させていくと、処理効率が悪くなるという問題点があ
る。この場合、機種毎に異なる構造のインクジェットヘ
ッドを用意することによって処理効率を高める方法も考
えられるが、多数のインクジェットヘッドを用意するこ
とにより、コストが増大してしまう。
域302を形成する場合、表示装置の画面サイズ若しく
は画面形状に対応させるため、単位領域302に異なる
色配列パターン(ストライプ配列、デルタ配列、モザイ
ク配列など)が設定される場合があるため、又は、マザ
ーボード301内において単位領域302の取り数を増
加させるために、マザーボード301における或る方向
に沿った同一色の表示ドットの配列数や配列間隔は、機
種毎に異なる。したがって、このように様々なマザーボ
ード301に対して一律にインクジェットヘッドを走査
させていくと、処理効率が悪くなるという問題点があ
る。この場合、機種毎に異なる構造のインクジェットヘ
ッドを用意することによって処理効率を高める方法も考
えられるが、多数のインクジェットヘッドを用意するこ
とにより、コストが増大してしまう。
【0015】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、液滴吐出手段による液滴の吐出に
よって行う成膜方法や成膜装置において、成膜ムラを従
来よりも低減できる技術を提供することにある。また、
インクジェットヘッドのような液滴吐出ヘッド等を用い
て液状材料を吐出させて成膜する場合に、液状材料の吐
出量のばらつきによるムラを低減することのできる装置
及び方法を提供することにある。さらに、液状材料の吐
出による成膜技術において、様々な被吐出物に対しても
コストの増大を抑制しながら処理効率を高めることので
きる装置及び方法を提供することにある。
であり、その課題は、液滴吐出手段による液滴の吐出に
よって行う成膜方法や成膜装置において、成膜ムラを従
来よりも低減できる技術を提供することにある。また、
インクジェットヘッドのような液滴吐出ヘッド等を用い
て液状材料を吐出させて成膜する場合に、液状材料の吐
出量のばらつきによるムラを低減することのできる装置
及び方法を提供することにある。さらに、液状材料の吐
出による成膜技術において、様々な被吐出物に対しても
コストの増大を抑制しながら処理効率を高めることので
きる装置及び方法を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の成膜方法は、液滴吐出手段により対象物の表
面に対して液状材料の液滴を吐出して成膜する成膜方法
であって、前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記
表面に沿った第1方向に走査させながら複数の前記液滴
を順次吐出する第1走査段階と、前記液滴吐出手段を前
記対象物に対して前記第1方向とは異なる前記表面に沿
った第2の方向に走査させながら複数の前記液滴を順次
吐出する第2走査段階とを有することを特徴とする。
に本発明の成膜方法は、液滴吐出手段により対象物の表
面に対して液状材料の液滴を吐出して成膜する成膜方法
であって、前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記
表面に沿った第1方向に走査させながら複数の前記液滴
を順次吐出する第1走査段階と、前記液滴吐出手段を前
記対象物に対して前記第1方向とは異なる前記表面に沿
った第2の方向に走査させながら複数の前記液滴を順次
吐出する第2走査段階とを有することを特徴とする。
【0017】この発明によれば、第1走査段階と第2走
査段階とで液滴吐出手段による対象物に対する走査方向
を相互に異なる第1方向及び第2方向としたことによ
り、異なる2方向に走査しながら複数の液滴を順次吐出
させて成膜するため、走査方向に起因する成膜ムラを低
減することができる。特に、個々の走査によって走査方
向に伸びる縞状の成膜ムラが発生しても、異なる方向に
伸びる縞状の成膜ムラによって成膜ムラが目立ちにくく
なり相互に打ち消し合いが生ずることによって全体とし
てより均一性の高い成膜状態を得ることができる。
査段階とで液滴吐出手段による対象物に対する走査方向
を相互に異なる第1方向及び第2方向としたことによ
り、異なる2方向に走査しながら複数の液滴を順次吐出
させて成膜するため、走査方向に起因する成膜ムラを低
減することができる。特に、個々の走査によって走査方
向に伸びる縞状の成膜ムラが発生しても、異なる方向に
伸びる縞状の成膜ムラによって成膜ムラが目立ちにくく
なり相互に打ち消し合いが生ずることによって全体とし
てより均一性の高い成膜状態を得ることができる。
【0018】本発明において、前記第1走査段階と前記
第2走査段階とにおいて前記対象物を回転させて相互に
異なる姿勢とすることによって、前記第1方向と前記第
2方向とを相互に交差する方向に設定することが好まし
い。対象物を回転させてその姿勢を変えることにより、
液滴吐出手段の走査方向を変える必要がなくなるので、
大型の機構を用いることなく、簡易な構成で成膜を行う
ことができる。
第2走査段階とにおいて前記対象物を回転させて相互に
異なる姿勢とすることによって、前記第1方向と前記第
2方向とを相互に交差する方向に設定することが好まし
い。対象物を回転させてその姿勢を変えることにより、
液滴吐出手段の走査方向を変える必要がなくなるので、
大型の機構を用いることなく、簡易な構成で成膜を行う
ことができる。
【0019】次に、本発明の成膜装置は、対象物の表面
に対して液状材料の液滴を吐出する液滴吐出手段と、前
記対象物と前記液滴吐出手段とを前記表面に沿って相対
的に移動させる移動手段とを有する成膜装置であって、
前記対象物に対して前記表面に沿った相互に異なる少な
くとも2つの方向に前記液滴吐出手段を相対的に移動さ
せることができ、かつ、前記2つの方向のいずれの移動
中においても複数の前記液滴を順次吐出可能に構成され
ていることを特徴とする。
に対して液状材料の液滴を吐出する液滴吐出手段と、前
記対象物と前記液滴吐出手段とを前記表面に沿って相対
的に移動させる移動手段とを有する成膜装置であって、
前記対象物に対して前記表面に沿った相互に異なる少な
くとも2つの方向に前記液滴吐出手段を相対的に移動さ
せることができ、かつ、前記2つの方向のいずれの移動
中においても複数の前記液滴を順次吐出可能に構成され
ていることを特徴とする。
【0020】この発明によれば、対象物に形成すべき成
膜パターンなどに応じて少なくとも2つの方向のいずれ
の方向に走査させながら液滴を吐出させるかを選択する
ことができる。また、対象物に対して少なくとも2つの
方向に走査させながら液滴を順次吐出させていくことに
よって走査方向に起因する成膜ムラも低減できる。
膜パターンなどに応じて少なくとも2つの方向のいずれ
の方向に走査させながら液滴を吐出させるかを選択する
ことができる。また、対象物に対して少なくとも2つの
方向に走査させながら液滴を順次吐出させていくことに
よって走査方向に起因する成膜ムラも低減できる。
【0021】本発明において、前記対象物を回転させる
ことによって前記対象物を少なくとも2つの姿勢に設定
することの可能な姿勢位置決め手段を有することが好ま
しい。これによれば、姿勢位置決め手段により対象物を
回転させて姿勢を設定することによって、装置を大型化
せず、しかも、移動手段を一方向にのみ走査可能な簡易
な構造とすることができるため、全体として装置の小型
化や低コスト化を図ることができる。
ことによって前記対象物を少なくとも2つの姿勢に設定
することの可能な姿勢位置決め手段を有することが好ま
しい。これによれば、姿勢位置決め手段により対象物を
回転させて姿勢を設定することによって、装置を大型化
せず、しかも、移動手段を一方向にのみ走査可能な簡易
な構造とすることができるため、全体として装置の小型
化や低コスト化を図ることができる。
【0022】次に、本発明の液滴吐出装置は、被吐出物
に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置であっ
て、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴
吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出
物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段
と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決
め手段とを有し、前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出
物を異なる2以上の平面姿勢で位置決め可能に構成され
ていることを特徴とする。
に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置であっ
て、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴
吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出
物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段
と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決
め手段とを有し、前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出
物を異なる2以上の平面姿勢で位置決め可能に構成され
ていることを特徴とする。
【0023】この発明によれば、被吐出物の平面姿勢を
位置決めする姿勢位置決め手段が、被吐出物を異なる2
以上の平面姿勢に位置決め可能に構成されていることに
より、被吐出物における液滴を着弾させるべき領域の配
列態様に応じて、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの相
対的な走査方向を2以上の方向の中から選択することが
可能になるので、処理効率を高めることができる。ま
た、被吐出物の平面姿勢を変えることによって、移動手
段による液滴吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対する
異なる2以上の方向に変更することが可能になるので、
一つの被吐出物に対して異なる2方向に液滴吐出ヘッド
を走査させて液滴を吐出して成膜を行うことによって、
液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラ
を低減することが可能になる。
位置決めする姿勢位置決め手段が、被吐出物を異なる2
以上の平面姿勢に位置決め可能に構成されていることに
より、被吐出物における液滴を着弾させるべき領域の配
列態様に応じて、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの相
対的な走査方向を2以上の方向の中から選択することが
可能になるので、処理効率を高めることができる。ま
た、被吐出物の平面姿勢を変えることによって、移動手
段による液滴吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対する
異なる2以上の方向に変更することが可能になるので、
一つの被吐出物に対して異なる2方向に液滴吐出ヘッド
を走査させて液滴を吐出して成膜を行うことによって、
液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラ
を低減することが可能になる。
【0024】本発明において、前記姿勢位置決め手段
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記異なる2以上の平面姿勢において相互に
異なる前記観測手段を用いるように構成されていること
が好ましい。
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記異なる2以上の平面姿勢において相互に
異なる前記観測手段を用いるように構成されていること
が好ましい。
【0025】この発明によれば、被吐出物が異なる平面
姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように
構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、
或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になる
ため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高め
ることができる。
姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように
構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、
或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になる
ため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高め
ることができる。
【0026】本発明において、前記観測手段は、前記被
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
【0027】この発明によれば、複数の観測手段のそれ
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
【0028】本発明において、前記観測手段の観測位置
は装置において固定されていることが好ましい。
は装置において固定されていることが好ましい。
【0029】この発明によれば、観測手段による観測位
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
【0030】本発明において、前記異なる2以上の平面
姿勢は、前記被吐出物の表面の法線周りに約90度回転
させた2つの平面姿勢であることが好ましい。
姿勢は、前記被吐出物の表面の法線周りに約90度回転
させた2つの平面姿勢であることが好ましい。
【0031】この発明によれば、被吐出物に対して相互
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
【0032】次に、本発明の別の液滴吐出装置は、被吐
出物に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置で
あって、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該
液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被
吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手
段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置
決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物
に対して前記液状材料の液滴を吐出しながら移動する走
査方向と、前記姿勢位置決め手段により位置決めされる
前記被吐出物の平面姿勢とを、異なる2以上の位置関係
に設定可能に構成されていることを特徴とする。
出物に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置で
あって、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該
液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被
吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手
段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置
決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物
に対して前記液状材料の液滴を吐出しながら移動する走
査方向と、前記姿勢位置決め手段により位置決めされる
前記被吐出物の平面姿勢とを、異なる2以上の位置関係
に設定可能に構成されていることを特徴とする。
【0033】この発明によれば、液滴吐出ヘッドが被吐
出物に対して液状材料の液滴を吐出しながら移動する走
査方向と、姿勢位置決め手段により位置決めされる被吐
出物の平面姿勢とを、異なる2以上の位置関係に設定可
能に構成されていることにより、被吐出物における液滴
を着弾させるべき領域の配列態様に応じて、被吐出物に
対する液滴吐出ヘッドの相対的な走査方向を2以上の方
向の中から選択することが可能になるので、処理効率を
高めることができる。また、液滴吐出ヘッドの走査方向
を、被吐出物に対する異なる2以上の方向に変更するこ
とが可能になるので、一つの被吐出物に対して異なる2
方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液滴を吐出して成膜
を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して
生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。
出物に対して液状材料の液滴を吐出しながら移動する走
査方向と、姿勢位置決め手段により位置決めされる被吐
出物の平面姿勢とを、異なる2以上の位置関係に設定可
能に構成されていることにより、被吐出物における液滴
を着弾させるべき領域の配列態様に応じて、被吐出物に
対する液滴吐出ヘッドの相対的な走査方向を2以上の方
向の中から選択することが可能になるので、処理効率を
高めることができる。また、液滴吐出ヘッドの走査方向
を、被吐出物に対する異なる2以上の方向に変更するこ
とが可能になるので、一つの被吐出物に対して異なる2
方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液滴を吐出して成膜
を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して
生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。
【0034】本発明において、前記姿勢位置決め手段
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記異なる2以上の位置関係において相互に
異なる前記観測手段を用いるように構成されていること
が好ましい。
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記異なる2以上の位置関係において相互に
異なる前記観測手段を用いるように構成されていること
が好ましい。
【0035】この発明によれば、被吐出物が異なる平面
姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように
構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、
或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になる
ため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高め
ることができる。
姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように
構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、
或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になる
ため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高め
ることができる。
【0036】本発明において、前記観測手段は、前記被
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
【0037】この発明によれば、複数の観測手段のそれ
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
【0038】本発明において、前記観測手段による観測
位置は装置において固定されていることが好ましい。
位置は装置において固定されていることが好ましい。
【0039】この発明によれば、観測手段による観測位
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
【0040】本発明において、前記異なる2以上の位置
関係は、前記走査方向に対して前記平面姿勢を前記被吐
出物の表面の法線周りに約90度回転させた2つの位置
関係であることが好ましい。
関係は、前記走査方向に対して前記平面姿勢を前記被吐
出物の表面の法線周りに約90度回転させた2つの位置
関係であることが好ましい。
【0041】この発明によれば、被吐出物に対して相互
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
【0042】次に、本発明のさらに別の液滴吐出装置
は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜するため
の液滴吐出装置であって、前記液状材料を吐出する液滴
吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向さ
せた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に
移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置
決めする姿勢位置決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッ
ドが前記被吐出物に対して前記液状材料の液滴を吐出し
ながら移動する走査方向を、処理途中において前記姿勢
位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物に対し
て異なる方向に変更可能に構成されていることを特徴と
する。
は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜するため
の液滴吐出装置であって、前記液状材料を吐出する液滴
吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向さ
せた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に
移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置
決めする姿勢位置決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッ
ドが前記被吐出物に対して前記液状材料の液滴を吐出し
ながら移動する走査方向を、処理途中において前記姿勢
位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物に対し
て異なる方向に変更可能に構成されていることを特徴と
する。
【0043】この発明によれば、処理途中において液滴
吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対して異なる方向に
変更可能に構成されていることにより、一つの被吐出物
に対して異なる2方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液
滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走
査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減すること
が可能になる。
吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対して異なる方向に
変更可能に構成されていることにより、一つの被吐出物
に対して異なる2方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液
滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走
査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減すること
が可能になる。
【0044】本発明において、前記姿勢位置決め手段
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記走査方向の変更の前後において相互に異
なる前記観測手段を用いるように構成されていることが
好ましい。
は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手
段を有し、前記走査方向の変更の前後において相互に異
なる前記観測手段を用いるように構成されていることが
好ましい。
【0045】この発明によれば、被吐出物に対する走査
方向が変更される前後において相互に異なる観測手段を
用いるように構成されていることにより、観測範囲を広
げなくても、或いは、観測手段を移動させなくても観測
が可能になるため、装置を安価に構成できるとともに観
測精度を高めることができる。
方向が変更される前後において相互に異なる観測手段を
用いるように構成されていることにより、観測範囲を広
げなくても、或いは、観測手段を移動させなくても観測
が可能になるため、装置を安価に構成できるとともに観
測精度を高めることができる。
【0046】本発明において、前記観測手段は、前記被
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが
好ましい。
【0047】この発明によれば、複数の観測手段のそれ
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
ぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、
被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能にな
る。このように複数の部位を観測可能な観測手段として
は、例えば、2つの撮像装置によって構成されたものを
用いることができる。
【0048】本発明において、前記観測手段による観測
位置は装置において固定されていることが好ましい。
位置は装置において固定されていることが好ましい。
【0049】この発明によれば、観測手段による観測位
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
置が装置において固定されていることにより、観測手段
を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度
を高めることができる。
【0050】本発明において、前記走査方向の変更角度
は、前記被吐出物の表面の法線周りに約90度の角度で
あることが好ましい。
は、前記被吐出物の表面の法線周りに約90度の角度で
あることが好ましい。
【0051】この発明によれば、被吐出物に対して相互
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
に直交する2方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可
能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査
方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低
減できる。
【0052】本発明において、前記液状材料としては、
前記被吐出物上にフィルタエレメントを成膜し得る液状
フィルタ材料である場合、前記被吐出物上にEL発光層
を成膜し得る液状発光材料である場合などが挙げられ
る。これによって、表示装置を構成するカラーフィルタ
やEL素子などにおいて、それらのカラー表示の態様を
高品位化することができる。
前記被吐出物上にフィルタエレメントを成膜し得る液状
フィルタ材料である場合、前記被吐出物上にEL発光層
を成膜し得る液状発光材料である場合などが挙げられ
る。これによって、表示装置を構成するカラーフィルタ
やEL素子などにおいて、それらのカラー表示の態様を
高品位化することができる。
【0053】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、被吐出物に対して液状材料を吐出してフィルタエレ
メントを成膜する吐出成膜工程を有するカラーフィルタ
の製造方法であって、第1の走査方向に沿って前記被吐
出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第1吐
出段階と、前記第1の走査方向とは異なる第2の走査方
向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続
して吐出する第2吐出段階と、を有することを特徴とす
る。
は、被吐出物に対して液状材料を吐出してフィルタエレ
メントを成膜する吐出成膜工程を有するカラーフィルタ
の製造方法であって、第1の走査方向に沿って前記被吐
出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第1吐
出段階と、前記第1の走査方向とは異なる第2の走査方
向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続
して吐出する第2吐出段階と、を有することを特徴とす
る。
【0054】この発明によれば、カラーフィルタのフィ
ルタエレメントを液状材料の液滴の吐出によって形成す
る場合に、異なる第1走査方向と第2走査方向の2つの
走査方向に走査することによって、走査方向に起因して
生ずる縞状の色ムラを低減することができる。
ルタエレメントを液状材料の液滴の吐出によって形成す
る場合に、異なる第1走査方向と第2走査方向の2つの
走査方向に走査することによって、走査方向に起因して
生ずる縞状の色ムラを低減することができる。
【0055】本発明において、前記第1吐出段階では、
前記被吐出物の第1領域に対して第1の色相を呈する第
1の前記フィルタエレメントが形成され、前記第2吐出
段階では、前記被吐出物の前記第1領域とは異なる第2
領域に対して前記第1の色相とは異なる第2の色相を呈
する第2の前記フィルタエレメントが形成されることが
好ましい。
前記被吐出物の第1領域に対して第1の色相を呈する第
1の前記フィルタエレメントが形成され、前記第2吐出
段階では、前記被吐出物の前記第1領域とは異なる第2
領域に対して前記第1の色相とは異なる第2の色相を呈
する第2の前記フィルタエレメントが形成されることが
好ましい。
【0056】この発明によれば、異なる色相のフィルタ
エレメントを異なる走査方向で形成することによって、
色相間の色ムラの発生態様を相互に変えることができる
ので、全体としての色ムラを低減できる。
エレメントを異なる走査方向で形成することによって、
色相間の色ムラの発生態様を相互に変えることができる
ので、全体としての色ムラを低減できる。
【0057】本発明において、3色の色相を呈する前記
フィルタエレメントを形成し、前記液状材料の液滴の走
査方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈す
る前記フィルタエレメントと、他の2色の色相を呈する
前記フィルタエレメントとを異なる吐出段階にて形成す
ることが好ましい。
フィルタエレメントを形成し、前記液状材料の液滴の走
査方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈す
る前記フィルタエレメントと、他の2色の色相を呈する
前記フィルタエレメントとを異なる吐出段階にて形成す
ることが好ましい。
【0058】この発明によれば、最も大きな色ムラを生
ずる色相を呈する前記フィルタエレメントと、他の2色
の色相を呈する前記フィルタエレメントとが相互に異な
る走査方向で形成されることとなるので、走査方向の相
違による色ムラの相違が相互に打ち消され易くなり、全
体としての色ムラをさらに低減できる。
ずる色相を呈する前記フィルタエレメントと、他の2色
の色相を呈する前記フィルタエレメントとが相互に異な
る走査方向で形成されることとなるので、走査方向の相
違による色ムラの相違が相互に打ち消され易くなり、全
体としての色ムラをさらに低減できる。
【0059】本発明において、前記フィルタエレメント
は、前記第1吐出段階で吐出される液滴と、前記第2吐
出段階で吐出される液滴とによって形成されることが好
ましい。
は、前記第1吐出段階で吐出される液滴と、前記第2吐
出段階で吐出される液滴とによって形成されることが好
ましい。
【0060】この発明によれば、フィルタエレメントが
異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成
されるので、走査方向に起因するフィルタエレメント材
料の量のばらつきを低減することができるため、走査方
向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することができ
る。
異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成
されるので、走査方向に起因するフィルタエレメント材
料の量のばらつきを低減することができるため、走査方
向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することができ
る。
【0061】本発明において、前記第1の走査方向と前
記第2の走査方向とは、前記被吐出物の表面の法線周り
に約90度の角度を有する2つの方向であることが好ま
しい。
記第2の走査方向とは、前記被吐出物の表面の法線周り
に約90度の角度を有する2つの方向であることが好ま
しい。
【0062】この発明によれば、被吐出物に対して相互
に直交する2方向に走査しながら液滴を吐出させること
が可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの
走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的
に低減できる。
に直交する2方向に走査しながら液滴を吐出させること
が可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの
走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的
に低減できる。
【0063】次に、本発明のカラーフィルタを備えた表
示装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜さ
れてなるフィルタエレメントを有するカラーフィルタを
備えた表示装置であって、前記カラーフィルタは、異な
る複数の走査方向に沿って連続して吐出された前記液状
材料の液滴によって構成されたものであることを特徴と
する。
示装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜さ
れてなるフィルタエレメントを有するカラーフィルタを
備えた表示装置であって、前記カラーフィルタは、異な
る複数の走査方向に沿って連続して吐出された前記液状
材料の液滴によって構成されたものであることを特徴と
する。
【0064】本発明によれば、異なる複数の走査方向に
沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴、すなわ
ち、或る走査方向に沿って連続して吐出された液滴と、
別の走査方向に沿って連続して吐出された液滴との混合
によって形成されたカラーフィルタを備えているので、
液滴の吐出時の走査方向によって生ずる縞状の色ムラを
低減することができ、より高品位の像を表示することが
可能になる。
沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴、すなわ
ち、或る走査方向に沿って連続して吐出された液滴と、
別の走査方向に沿って連続して吐出された液滴との混合
によって形成されたカラーフィルタを備えているので、
液滴の吐出時の走査方向によって生ずる縞状の色ムラを
低減することができ、より高品位の像を表示することが
可能になる。
【0065】本発明によれば、前記カラーフィルタは、
相互に異なる走査方向に沿って連続して吐出された前記
液状材料の液滴によって構成された、異なる色相を呈す
る複数種類のフィルタエレメントを有することが好まし
い。
相互に異なる走査方向に沿って連続して吐出された前記
液状材料の液滴によって構成された、異なる色相を呈す
る複数種類のフィルタエレメントを有することが好まし
い。
【0066】この発明によれば、異なる色相を呈する複
数種類のフィルタエレメントが相互に異なる走査方向に
沿って連続して吐出された液状材料の液滴によって構成
されたものであるため、連続吐出される液滴の走査方向
に起因して生ずる縞状の色ムラを低減することができ
る。
数種類のフィルタエレメントが相互に異なる走査方向に
沿って連続して吐出された液状材料の液滴によって構成
されたものであるため、連続吐出される液滴の走査方向
に起因して生ずる縞状の色ムラを低減することができ
る。
【0067】本発明において、3色の色相を呈する前記
フィルタエレメントを有し、前記液状材料の液滴の走査
方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する
前記フィルタエレメントと、他の2色の色相を呈する前
記フィルタエレメントとが異なる走査方向に沿って連続
形成されたものであることが好ましい。
フィルタエレメントを有し、前記液状材料の液滴の走査
方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する
前記フィルタエレメントと、他の2色の色相を呈する前
記フィルタエレメントとが異なる走査方向に沿って連続
形成されたものであることが好ましい。
【0068】この発明によれば、或る色相の最も大きな
色ムラが他の2つの色相の色ムラと混合されることによ
って、全体として色ムラをさらに低減することが可能に
なる。
色ムラが他の2つの色相の色ムラと混合されることによ
って、全体として色ムラをさらに低減することが可能に
なる。
【0069】本発明において、異なる前記走査方向に沿
って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合によ
り形成された前記フィルタエレメントを有することが好
ましい。
って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合によ
り形成された前記フィルタエレメントを有することが好
ましい。
【0070】この発明によれば、フィルタエレメントが
異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成
されているので、走査方向に起因するフィルタエレメン
ト材料の量のばらつきを低減することができるため、走
査方向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することが
できる。
異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成
されているので、走査方向に起因するフィルタエレメン
ト材料の量のばらつきを低減することができるため、走
査方向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することが
できる。
【0071】本発明において、異なる前記走査方向は、
前記カラーフィルタの表面の法線周りに約90度の角度
を有する2つの方向であることが好ましい。
前記カラーフィルタの表面の法線周りに約90度の角度
を有する2つの方向であることが好ましい。
【0072】この発明によれば、相互に直交する2方向
に走査しながら液滴を吐出させてカラーフィルタが形成
されているので、液滴の走査方向に起因して生ずる縞状
の材料ムラを最も効果的に低減できる。
に走査しながら液滴を吐出させてカラーフィルタが形成
されているので、液滴の走査方向に起因して生ずる縞状
の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【0073】本発明の表示装置としては、電気光学物質
によって表示を可能にした電気光学装置が挙げられる。
この電気光学装置としては、例えば、前記カラーフィル
タと平面的に重なる液晶パネルを有する場合があり、ま
た、前記カラーフィルタと平面的に重なるEL発光層を
有する場合もある。
によって表示を可能にした電気光学装置が挙げられる。
この電気光学装置としては、例えば、前記カラーフィル
タと平面的に重なる液晶パネルを有する場合があり、ま
た、前記カラーフィルタと平面的に重なるEL発光層を
有する場合もある。
【0074】次に、本発明の電子機器は、上記いずれか
に記載のカラーフィルタを備えた表示装置を有するもの
である。本発明の電子機器としては、特に限定されるも
のではないが、例えば、携帯電話機などの携帯型情報端
末、携帯型コンピュータ、電子腕時計などの携帯型電子
機器であることが好ましい。
に記載のカラーフィルタを備えた表示装置を有するもの
である。本発明の電子機器としては、特に限定されるも
のではないが、例えば、携帯電話機などの携帯型情報端
末、携帯型コンピュータ、電子腕時計などの携帯型電子
機器であることが好ましい。
【0075】次に、本発明の表示装置の製造方法は、基
材に対して液状材料を吐出して成膜する吐出成膜工程を
有する表示装置の製造方法であって、第1の走査方向に
沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出
する第1吐出段階と、前記第1の走査方向とは異なる第
2の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴
を連続して吐出する第2吐出段階と、を有することを特
徴とする。
材に対して液状材料を吐出して成膜する吐出成膜工程を
有する表示装置の製造方法であって、第1の走査方向に
沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出
する第1吐出段階と、前記第1の走査方向とは異なる第
2の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴
を連続して吐出する第2吐出段階と、を有することを特
徴とする。
【0076】この発明によれば、基材に対して異なる2
つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行う
ことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる
縞状の材料ムラを低減することが可能になる。特に、電
気光学装置の製造方法として効果的である。
つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行う
ことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる
縞状の材料ムラを低減することが可能になる。特に、電
気光学装置の製造方法として効果的である。
【0077】本発明において、前記液状材料の液滴によ
って表示ドットが形成されることが好ましい。
って表示ドットが形成されることが好ましい。
【0078】この発明によれば、走査方向に起因する表
示ドットの材料ムラを低減することができるので、表示
ムラを低減し、高品位の表示を行うことが可能になる。
示ドットの材料ムラを低減することができるので、表示
ムラを低減し、高品位の表示を行うことが可能になる。
【0079】本発明において、前記表示ドットが複数の
液滴によって形成され、前記第1吐出段階では前記複数
の液滴のうちの一部が吐出され、前記第2吐出段階では
前記複数の液滴のうちの残部が吐出されることが好まし
い。
液滴によって形成され、前記第1吐出段階では前記複数
の液滴のうちの一部が吐出され、前記第2吐出段階では
前記複数の液滴のうちの残部が吐出されることが好まし
い。
【0080】この発明によれば、表示ドットが異なる走
査方向で吐出された複数の液滴によって形成されるの
で、材料ムラをさらに低減することができるため、表示
品位を更に高めることが可能になる。
査方向で吐出された複数の液滴によって形成されるの
で、材料ムラをさらに低減することができるため、表示
品位を更に高めることが可能になる。
【0081】本発明において、前記表示ドットは、EL
発光層を有する場合がある。この場合、EL発光層を上
記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ド
ットは、EL発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持す
る一対の電極とによって構成される場合がある。この場
合には、EL発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうち
のいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成され
る場合も含まれる。
発光層を有する場合がある。この場合、EL発光層を上
記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ド
ットは、EL発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持す
る一対の電極とによって構成される場合がある。この場
合には、EL発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうち
のいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成され
る場合も含まれる。
【0082】本発明において、前記第1の走査方向と前
記第2の走査方向とは、前記基材の表面の法線周りに約
90度の角度を有する2つの方向であることが好まし
い。
記第2の走査方向とは、前記基材の表面の法線周りに約
90度の角度を有する2つの方向であることが好まし
い。
【0083】この発明によれば、相互に直交する2つの
走査方向に沿って走査しながら液滴を吐出することによ
って、全体の材料ムラを効果的に低減できる。
走査方向に沿って走査しながら液滴を吐出することによ
って、全体の材料ムラを効果的に低減できる。
【0084】次に、本発明の表示装置は、被吐出物に対
して液状材料を吐出して成膜されてなる表示ドットを備
えた表示装置であって、前記表示ドットは、異なる複数
の走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の
液滴によって構成されたものであることが好ましい。
して液状材料を吐出して成膜されてなる表示ドットを備
えた表示装置であって、前記表示ドットは、異なる複数
の走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の
液滴によって構成されたものであることが好ましい。
【0085】この発明によれば、基材に対して異なる2
つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行う
ことによって表示ドットが形成されるので、液滴吐出時
の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減する
ことが可能になり、表示品位を高めることが可能にな
る。特に、液晶装置やEL装置などの電気光学装置であ
る場合に効果的である。
つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行う
ことによって表示ドットが形成されるので、液滴吐出時
の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減する
ことが可能になり、表示品位を高めることが可能にな
る。特に、液晶装置やEL装置などの電気光学装置であ
る場合に効果的である。
【0086】本発明において、異なる前記走査方向に沿
って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合によ
り形成された前記表示ドットを有することが好ましい。
って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合によ
り形成された前記表示ドットを有することが好ましい。
【0087】この発明によれば、表示ドットが異なる走
査方向にて吐出された複数の液滴によって形成されてい
るので、走査方向に起因する材料の量のばらつきを低減
することができるため、走査方向に起因する縞状の表示
ムラをさらに低減することができる。
査方向にて吐出された複数の液滴によって形成されてい
るので、走査方向に起因する材料の量のばらつきを低減
することができるため、走査方向に起因する縞状の表示
ムラをさらに低減することができる。
【0088】本発明において、前記表示ドットは、EL
発光層を有する場合がある。この場合、EL発光層を上
記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ド
ットは、EL発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持す
る一対の電極とによって構成される場合がある。この場
合には、EL発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうち
のいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成され
る場合も含まれる。
発光層を有する場合がある。この場合、EL発光層を上
記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ド
ットは、EL発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持す
る一対の電極とによって構成される場合がある。この場
合には、EL発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうち
のいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成され
る場合も含まれる。
【0089】本発明において、異なる前記走査方向は、
前記カラーフィルタの表面の法線周りに約90度の角度
を有する2つの方向であることが好ましい。
前記カラーフィルタの表面の法線周りに約90度の角度
を有する2つの方向であることが好ましい。
【0090】この発明によれば、相互に直交する2方向
に走査しながら液滴を吐出させることにより表示ドット
が形成されているので、液滴の走査方向に起因して生ず
る縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
に走査しながら液滴を吐出させることにより表示ドット
が形成されているので、液滴の走査方向に起因して生ず
る縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【0091】次に、本発明の電子機器は、上記のいずれ
かに記載の表示装置を有するものである。本発明の電子
機器としては、特に限定されるものではないが、例え
ば、携帯電話機などの携帯型情報端末、携帯型コンピュ
ータ、電子腕時計などの携帯型電子機器であることが好
ましい。
かに記載の表示装置を有するものである。本発明の電子
機器としては、特に限定されるものではないが、例え
ば、携帯電話機などの携帯型情報端末、携帯型コンピュ
ータ、電子腕時計などの携帯型電子機器であることが好
ましい。
【0092】
【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィ
ルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表
示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器の実施形
態について詳細に説明する。
に係る成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィ
ルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表
示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器の実施形
態について詳細に説明する。
【0093】[液滴吐出装置]まず、本発明に係る成膜
装置及び液滴吐出装置の実施形態について説明する。こ
の実施形態の液滴吐出装置16は、図8に示すように、
液滴吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いられる
インクジェットヘッドなどで構成される液滴吐出手段で
ある液滴吐出ヘッド22を備えたヘッドユニット26
と、液滴吐出ヘッド22の位置を制御するヘッド位置を
制御するヘッド位置制御装置17と、マザー基板12の
位置を制御する基板位置制御装置18と、液滴吐出ヘッ
ド22をマザー基板12に対して走査方向Xに走査移動
させる走査駆動手段としての走査駆動装置19と、液滴
吐出ヘッド22をマザー基板12に対して走査方向と交
差(直交)する送り方向Yに送る送り駆動装置21と、
マザー基板12を液滴吐出装置16内の所定の作業位置
へ供給する基板供給装置23と、この液滴吐出装置16
の全般の制御を司るコントロール装置24とを有する。
装置及び液滴吐出装置の実施形態について説明する。こ
の実施形態の液滴吐出装置16は、図8に示すように、
液滴吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いられる
インクジェットヘッドなどで構成される液滴吐出手段で
ある液滴吐出ヘッド22を備えたヘッドユニット26
と、液滴吐出ヘッド22の位置を制御するヘッド位置を
制御するヘッド位置制御装置17と、マザー基板12の
位置を制御する基板位置制御装置18と、液滴吐出ヘッ
ド22をマザー基板12に対して走査方向Xに走査移動
させる走査駆動手段としての走査駆動装置19と、液滴
吐出ヘッド22をマザー基板12に対して走査方向と交
差(直交)する送り方向Yに送る送り駆動装置21と、
マザー基板12を液滴吐出装置16内の所定の作業位置
へ供給する基板供給装置23と、この液滴吐出装置16
の全般の制御を司るコントロール装置24とを有する。
【0094】上記のヘッド位置制御装置17、基板位置
制御装置18、走査駆動装置19、送り駆動装置21の
各装置は、ベース9の上に設置される。また、これらの
各装置は、必要に応じてカバー14によって覆われる。
ここで、ヘッド位置制御装置17、走査駆動装置19及
び送り駆動装置21は移動手段を構成する。
制御装置18、走査駆動装置19、送り駆動装置21の
各装置は、ベース9の上に設置される。また、これらの
各装置は、必要に応じてカバー14によって覆われる。
ここで、ヘッド位置制御装置17、走査駆動装置19及
び送り駆動装置21は移動手段を構成する。
【0095】液滴吐出ヘッド22は、例えば、図10に
示すように、複数のノズル27が配列されてなるノズル
列28を有する。ノズル27の数は例えば180であ
り、ノズル27の孔径は例えば28μmであり、ノズル
27のピッチtは例えば141μmである。図10に示
す短辺方向Mは液滴吐出ヘッド22の標準の走査方向を
示し、配列方向Tはノズル列28におけるノズル27の
配列方向を示す。
示すように、複数のノズル27が配列されてなるノズル
列28を有する。ノズル27の数は例えば180であ
り、ノズル27の孔径は例えば28μmであり、ノズル
27のピッチtは例えば141μmである。図10に示
す短辺方向Mは液滴吐出ヘッド22の標準の走査方向を
示し、配列方向Tはノズル列28におけるノズル27の
配列方向を示す。
【0096】液滴吐出ヘッド22は、例えば、図12
(a)及び(b)に示すように、ステンレス等で構成さ
れるノズルプレート29と、これに対向する振動板31
と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材23とを
有する。ノズルプレート29と振動板31との間には、
仕切り部材32によって複数のインク室33と液溜り3
4とが形成される。これらのインク室33と液溜り34
とは通路38を介して互いに連通している。
(a)及び(b)に示すように、ステンレス等で構成さ
れるノズルプレート29と、これに対向する振動板31
と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材23とを
有する。ノズルプレート29と振動板31との間には、
仕切り部材32によって複数のインク室33と液溜り3
4とが形成される。これらのインク室33と液溜り34
とは通路38を介して互いに連通している。
【0097】振動板31の適所にはインク供給孔36が
形成されている。このインク供給孔36にはインク供給
装置37が接続される。インク供給装置37は、R,
G,Bのうちの一色、例えばR色のフィルタエレメント
材料Mをインク供給孔36へ供給する。このように供給
されたフィルタエレメント材料Mは、液溜り34に充満
し、さらに通路38を通ってインク室33に充満する。
形成されている。このインク供給孔36にはインク供給
装置37が接続される。インク供給装置37は、R,
G,Bのうちの一色、例えばR色のフィルタエレメント
材料Mをインク供給孔36へ供給する。このように供給
されたフィルタエレメント材料Mは、液溜り34に充満
し、さらに通路38を通ってインク室33に充満する。
【0098】ノズルプレート29には、インク室33か
らフィルタエレメント材料Mをジェット状に噴出するた
めのノズル27が設けられている。また、振動板31の
インク室33に臨む面の裏面には、このインク室33に
対応させてインク加圧体39が取り付けられている。こ
のインク加圧体39は、図12(b)に示すように、圧
電素子41並びにこれを挟持する一対の電極42a及び
42bを有する。圧電素子41は、電極42a及び42
bへの通電によって矢印Cで示す外側へ突出するように
撓み変形し、これによりインク室33の容積が増大す
る。すると、増大した容積分に相当するフィルタエレメ
ント材料Mが液溜り34から通路38を通ってインク室
33へ流入する。
らフィルタエレメント材料Mをジェット状に噴出するた
めのノズル27が設けられている。また、振動板31の
インク室33に臨む面の裏面には、このインク室33に
対応させてインク加圧体39が取り付けられている。こ
のインク加圧体39は、図12(b)に示すように、圧
電素子41並びにこれを挟持する一対の電極42a及び
42bを有する。圧電素子41は、電極42a及び42
bへの通電によって矢印Cで示す外側へ突出するように
撓み変形し、これによりインク室33の容積が増大す
る。すると、増大した容積分に相当するフィルタエレメ
ント材料Mが液溜り34から通路38を通ってインク室
33へ流入する。
【0099】その後、圧電素子41への通電を解除する
と、この圧電素子41と振動板31とは共に元の形状に
戻り、これにより、インク室33も元の容積に戻るた
め、インク室33の内部にあるフィルタエレメント材料
Mの圧力が上昇し、ノズル27からフィルタエレメント
材料Mが液滴8となって噴出する。なお、ノズル27の
周辺部には、液滴8の飛行曲りやノズル27の孔詰まり
などを防止するために、例えば、Ni−テトラフルオロ
エチレン共析メッキ層からなる撥インク層43が設けら
れる。
と、この圧電素子41と振動板31とは共に元の形状に
戻り、これにより、インク室33も元の容積に戻るた
め、インク室33の内部にあるフィルタエレメント材料
Mの圧力が上昇し、ノズル27からフィルタエレメント
材料Mが液滴8となって噴出する。なお、ノズル27の
周辺部には、液滴8の飛行曲りやノズル27の孔詰まり
などを防止するために、例えば、Ni−テトラフルオロ
エチレン共析メッキ層からなる撥インク層43が設けら
れる。
【0100】次に、図9を参照して、上記の液滴吐出ヘ
ッド22の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置1
7、基板位置制御装置18、走査駆動装置19、送り駆
動装置21、及び、その他の手段について説明する。ヘ
ッド位置制御装置17は、ヘッドユニット26に取り付
けられた液滴吐出ヘッド22を平面(水平面)内にて回
転させるαモータ44と、液滴吐出ヘッド22を送り方
向Yと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ46
と、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xと平行な軸線周り
に揺動回転させるγモータ47と、液滴吐出ヘッド22
を上下方向へ平行移動させるZモータ48とを有する。
ッド22の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置1
7、基板位置制御装置18、走査駆動装置19、送り駆
動装置21、及び、その他の手段について説明する。ヘ
ッド位置制御装置17は、ヘッドユニット26に取り付
けられた液滴吐出ヘッド22を平面(水平面)内にて回
転させるαモータ44と、液滴吐出ヘッド22を送り方
向Yと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ46
と、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xと平行な軸線周り
に揺動回転させるγモータ47と、液滴吐出ヘッド22
を上下方向へ平行移動させるZモータ48とを有する。
【0101】また、基板位置制御装置18は、マザー基
板12を載せるテーブル49と、このテーブル49を平
面(水平面)内にて回転させるθモータ51とを有す
る。また、走査駆動装置19は、走査方向Xへ伸びるX
ガイドレール52と、例えばパルス駆動されるリニアモ
ータを内蔵したXスライダ53とを有する。このXスラ
イダ53は、例えば内蔵するリニアモータの稼動によ
り、Xガイドレール52に沿って走査方向Xへ平行移動
する。
板12を載せるテーブル49と、このテーブル49を平
面(水平面)内にて回転させるθモータ51とを有す
る。また、走査駆動装置19は、走査方向Xへ伸びるX
ガイドレール52と、例えばパルス駆動されるリニアモ
ータを内蔵したXスライダ53とを有する。このXスラ
イダ53は、例えば内蔵するリニアモータの稼動によ
り、Xガイドレール52に沿って走査方向Xへ平行移動
する。
【0102】さらに、送り駆動装置19は、送り方向Y
へ伸びるYガイドレール54と、例えばパルス駆動され
るリニアモータを内蔵したYスライダ56とを有する。
Yスライダ56は、例えば内蔵するリニアモータの稼動
により、Yガイドレール54に沿って送り方向Yへ平行
移動する。
へ伸びるYガイドレール54と、例えばパルス駆動され
るリニアモータを内蔵したYスライダ56とを有する。
Yスライダ56は、例えば内蔵するリニアモータの稼動
により、Yガイドレール54に沿って送り方向Yへ平行
移動する。
【0103】Xスライダ53やYスライダ56内におい
てパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給す
るパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行
うことができる。したがって、Xスライダ53に支持さ
れた液滴吐出ヘッド22の走査方向X上の位置やテーブ
ル49の送り方向Y上の位置などを高精度に制御でき
る。なお、液滴吐出ヘッド22やテーブル49の位置制
御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボ
モータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法
によって実現することができる。
てパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給す
るパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行
うことができる。したがって、Xスライダ53に支持さ
れた液滴吐出ヘッド22の走査方向X上の位置やテーブ
ル49の送り方向Y上の位置などを高精度に制御でき
る。なお、液滴吐出ヘッド22やテーブル49の位置制
御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボ
モータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法
によって実現することができる。
【0104】上記テーブル49には、マザー基板12の
平面位置を規制する位置決めピン50a,50bが設け
られている。マザー基板12は、後述する基板供給装置
23によって位置決めピン50a,50bに走査方向X
側及び送り方向Y側の端面を当接させた状態で、位置決
め保持される。テーブル49には、このような位置決め
状態で保持されたマザー基板12を固定するための、例
えば空気吸引(真空吸着)などの、公知の固定手段を設
けることが望ましい。
平面位置を規制する位置決めピン50a,50bが設け
られている。マザー基板12は、後述する基板供給装置
23によって位置決めピン50a,50bに走査方向X
側及び送り方向Y側の端面を当接させた状態で、位置決
め保持される。テーブル49には、このような位置決め
状態で保持されたマザー基板12を固定するための、例
えば空気吸引(真空吸着)などの、公知の固定手段を設
けることが望ましい。
【0105】本実施形態の液滴吐出装置16において
は、図9に示すように、テーブル49の上方に複数組
(図示例では2組)の撮像装置91R,91L及び92
R,92Lが配置されている。ここで、撮像装置91
R,91L及び92R,92Lは、図9において鏡筒の
みを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。
これらの観察手段である撮像装置としては、CCDカメ
ラ等を用いることができる。なお、図8には、これらの
撮像装置について図示を省略してある。
は、図9に示すように、テーブル49の上方に複数組
(図示例では2組)の撮像装置91R,91L及び92
R,92Lが配置されている。ここで、撮像装置91
R,91L及び92R,92Lは、図9において鏡筒の
みを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。
これらの観察手段である撮像装置としては、CCDカメ
ラ等を用いることができる。なお、図8には、これらの
撮像装置について図示を省略してある。
【0106】ここで、本実施形態における上記撮像装置
91R,91L及び92R,92Lの構成についてより
詳細に説明する。図22(a)及び(b)は、テーブル
49上にマザー基板12を位置決め保持した状態を示す
平面図である。テーブル49上には、図22(a)に示
すようにマザー基板12をその長手方向Lが装置の走査
方向Xに合致する平面姿勢で保持することもでき、ま
た、図22(b)に示すようにマザー基板12をその長
手方向Lが送り方向Yに合致する平面姿勢で保持するこ
ともできるように構成されている。ここで、図示例で
は、位置決めピン50aがマザー基板12の平面姿勢に
応じて図示左右に移動するように構成され、位置決めピ
ン50bはテーブル49に対して固定されている。ただ
し、位置決めピン50a,50bはいずれも、50bの
ようにテーブル49に対して固定されたものであって
も、50aのように移動可能に構成されたものであって
も構わない。
91R,91L及び92R,92Lの構成についてより
詳細に説明する。図22(a)及び(b)は、テーブル
49上にマザー基板12を位置決め保持した状態を示す
平面図である。テーブル49上には、図22(a)に示
すようにマザー基板12をその長手方向Lが装置の走査
方向Xに合致する平面姿勢で保持することもでき、ま
た、図22(b)に示すようにマザー基板12をその長
手方向Lが送り方向Yに合致する平面姿勢で保持するこ
ともできるように構成されている。ここで、図示例で
は、位置決めピン50aがマザー基板12の平面姿勢に
応じて図示左右に移動するように構成され、位置決めピ
ン50bはテーブル49に対して固定されている。ただ
し、位置決めピン50a,50bはいずれも、50bの
ようにテーブル49に対して固定されたものであって
も、50aのように移動可能に構成されたものであって
も構わない。
【0107】マザー基板12には、その周縁部に2組合
計4つのアライメントマーク12ar,12al及び1
2br,12blが予め形成されている。ここで、アラ
イメントマーク12ar,12alは、マザー基板12
の長手方向Lの両端にそれぞれ形成されている。また、
アライメントマーク12br,12blは、マザー基板
12の短辺の伸びる方向、すなわち短辺方向Mの両端に
それぞれ形成されている。図22(a)に示すように、
マザー基板12がその長手方向Lを走査方向Xに合わせ
た状態でテーブル49上に保持されている状態では、上
記撮像装置91R,91Lはアライメントマーク12a
r,12alをそれぞれ撮影できるようになっている。
また、図22(b)に示すように、マザー基板12がそ
の長手方向Lを送り方向Yに合わせた状態でテーブル4
9上に保持されている状態では、上記撮像装置92R,
92Lは、アライメントマーク12br,12blをそ
れぞれ撮影することができるようになっている。
計4つのアライメントマーク12ar,12al及び1
2br,12blが予め形成されている。ここで、アラ
イメントマーク12ar,12alは、マザー基板12
の長手方向Lの両端にそれぞれ形成されている。また、
アライメントマーク12br,12blは、マザー基板
12の短辺の伸びる方向、すなわち短辺方向Mの両端に
それぞれ形成されている。図22(a)に示すように、
マザー基板12がその長手方向Lを走査方向Xに合わせ
た状態でテーブル49上に保持されている状態では、上
記撮像装置91R,91Lはアライメントマーク12a
r,12alをそれぞれ撮影できるようになっている。
また、図22(b)に示すように、マザー基板12がそ
の長手方向Lを送り方向Yに合わせた状態でテーブル4
9上に保持されている状態では、上記撮像装置92R,
92Lは、アライメントマーク12br,12blをそ
れぞれ撮影することができるようになっている。
【0108】上記の撮像装置91R,91L及び92
R,92Lはいずれも液滴吐出装置16の固定部分(例
えばベース9)に対して直接若しくは間接的に固定され
ている。そして、これらの固定された撮像装置を用いて
マザー基板12を観察することによって、テーブル49
上のマザー基板12の位置を正確に検出することができ
るように構成されている。
R,92Lはいずれも液滴吐出装置16の固定部分(例
えばベース9)に対して直接若しくは間接的に固定され
ている。そして、これらの固定された撮像装置を用いて
マザー基板12を観察することによって、テーブル49
上のマザー基板12の位置を正確に検出することができ
るように構成されている。
【0109】再び図8に戻って説明を続ける。図8に示
す基板供給装置23は、マザー基板12を収容する基板
収容部57と、マザー基板12を搬送するロボットなど
の基板移載機構58とを有する。基板移載機構58は、
基台59と、基台59に対して昇降移動する昇降軸61
と、昇降軸61を中心として回転する第1アーム62
と、第1アーム62に対して回転する第2アーム63
と、第2アーム63の先端下面に設けられた吸着パッド
64とを有する。この吸着パッド64は空気吸引(真空
吸着)などによってマザー基板12を吸着保持すること
ができるように構成されている。
す基板供給装置23は、マザー基板12を収容する基板
収容部57と、マザー基板12を搬送するロボットなど
の基板移載機構58とを有する。基板移載機構58は、
基台59と、基台59に対して昇降移動する昇降軸61
と、昇降軸61を中心として回転する第1アーム62
と、第1アーム62に対して回転する第2アーム63
と、第2アーム63の先端下面に設けられた吸着パッド
64とを有する。この吸着パッド64は空気吸引(真空
吸着)などによってマザー基板12を吸着保持すること
ができるように構成されている。
【0110】また、図8に示すように、上記液滴吐出ヘ
ッド22の走査軌跡下であって、送り駆動装置21の一
方の脇位置に、キャッピング装置76及びクリーニング
装置77が配設されている。さらに、送り駆動装置21
の他方の脇位置には電子天秤78が設置されている。こ
こで、キャッピング装置76は液滴吐出ヘッド22が待
機状態にあるときにノズル27(図10参照)の乾燥を
防止するための装置である。クリーニング装置77は、
液滴吐出ヘッド22を洗浄するための装置である。電子
天秤78は、液滴吐出ヘッド22内の個々のノズル27
から吐出されるインクの液滴8の重量をノズル毎に測定
する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド22の近傍に
は、液滴吐出ヘッド22と一体に移動するヘッド用カメ
ラ81が取り付けられている。
ッド22の走査軌跡下であって、送り駆動装置21の一
方の脇位置に、キャッピング装置76及びクリーニング
装置77が配設されている。さらに、送り駆動装置21
の他方の脇位置には電子天秤78が設置されている。こ
こで、キャッピング装置76は液滴吐出ヘッド22が待
機状態にあるときにノズル27(図10参照)の乾燥を
防止するための装置である。クリーニング装置77は、
液滴吐出ヘッド22を洗浄するための装置である。電子
天秤78は、液滴吐出ヘッド22内の個々のノズル27
から吐出されるインクの液滴8の重量をノズル毎に測定
する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド22の近傍に
は、液滴吐出ヘッド22と一体に移動するヘッド用カメ
ラ81が取り付けられている。
【0111】図8に示すコントロール装置24は、プロ
セッサを収容したコンピュータ本体部66と、キーボー
ド等の入力装置67と、CRT等の表示装置68とを有
する。コンピュータ本体部66には、図14に示すCP
U(中央処理ユニット)69と、各種情報を記憶するメ
モリである情報記録媒体71とを備えている。
セッサを収容したコンピュータ本体部66と、キーボー
ド等の入力装置67と、CRT等の表示装置68とを有
する。コンピュータ本体部66には、図14に示すCP
U(中央処理ユニット)69と、各種情報を記憶するメ
モリである情報記録媒体71とを備えている。
【0112】上記のヘッド位置制御装置17、基板位置
制御装置18、走査駆動装置19、送り駆動装置21、
及び、液滴吐出ヘッド22内の圧電素子41(図12
(b)参照)を駆動するヘッド駆動回路72の各機器
は、図14に示すように、入出力インターフェイス73
及びバス74を介してCPU69に接続されている。ま
た、基板供給装置23、入力装置67、表示装置68、
キャッピング装置76、クリーニング装置77及び電子
天秤78も、上記と同様に入出力インターフェイス73
及びバス74を介してCPU69に接続されている。
制御装置18、走査駆動装置19、送り駆動装置21、
及び、液滴吐出ヘッド22内の圧電素子41(図12
(b)参照)を駆動するヘッド駆動回路72の各機器
は、図14に示すように、入出力インターフェイス73
及びバス74を介してCPU69に接続されている。ま
た、基板供給装置23、入力装置67、表示装置68、
キャッピング装置76、クリーニング装置77及び電子
天秤78も、上記と同様に入出力インターフェイス73
及びバス74を介してCPU69に接続されている。
【0113】情報記録媒体71としてのメモリは、RA
M(ランダムアクセスメモリ)、ROM(リードオンリ
メモリ)などといった半導体メモリや、ハードディス
ク、CD−ROM読み取り装置、ディスク型記録媒体な
どといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的
には、液滴吐出装置16の動作の制御手順が記述された
プログラムソフトを記憶する記憶領域や、液滴吐出ヘッ
ド22によるインクのマザー基板12内における吐出位
置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図9
における送り方向Yへのマザー基板12の送り移動量を
記憶するための記憶領域や、CPU69のためのワーク
エリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域
や、その他各種の記憶領域が設定される。
M(ランダムアクセスメモリ)、ROM(リードオンリ
メモリ)などといった半導体メモリや、ハードディス
ク、CD−ROM読み取り装置、ディスク型記録媒体な
どといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的
には、液滴吐出装置16の動作の制御手順が記述された
プログラムソフトを記憶する記憶領域や、液滴吐出ヘッ
ド22によるインクのマザー基板12内における吐出位
置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図9
における送り方向Yへのマザー基板12の送り移動量を
記憶するための記憶領域や、CPU69のためのワーク
エリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域
や、その他各種の記憶領域が設定される。
【0114】CPU69は、情報記憶媒体71であるメ
モリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー
基板12の表面の所定位置に、インクを吐出するための
制御を行うものである。具体的な機能実現部としては、
図14に示すように、クリーニング処理を実現するため
の演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を
実現するためのキャッピング演算部、電子天秤78を用
いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算
部、及び、液滴吐出によってインクをマザー基板12の
表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための
描画演算部を有する。
モリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー
基板12の表面の所定位置に、インクを吐出するための
制御を行うものである。具体的な機能実現部としては、
図14に示すように、クリーニング処理を実現するため
の演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を
実現するためのキャッピング演算部、電子天秤78を用
いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算
部、及び、液滴吐出によってインクをマザー基板12の
表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための
描画演算部を有する。
【0115】上記描画演算部には、液滴吐出ヘッド22
を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置
演算部、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ所定の速度
で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算
部、マザー基板12を送り方向Yへ所定の送り移動量だ
けずらすための制御を演算する送り制御演算部、液滴吐
出ヘッド22内の複数のノズル27のうちのいずれを作
動させてインクを吐出するかを制御するための演算を行
うノズル吐出制御演算部などといった各種の機能演算部
を有する。
を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置
演算部、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ所定の速度
で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算
部、マザー基板12を送り方向Yへ所定の送り移動量だ
けずらすための制御を演算する送り制御演算部、液滴吐
出ヘッド22内の複数のノズル27のうちのいずれを作
動させてインクを吐出するかを制御するための演算を行
うノズル吐出制御演算部などといった各種の機能演算部
を有する。
【0116】なお、上記実施形態では、上述の各機能
を、CPU69を用いるプログラムソフトによって実現
しているが、上述の各機能を、CPUを用いない電子回
路によって実現できる場合には、そのような電子回路を
用いても構わない。
を、CPU69を用いるプログラムソフトによって実現
しているが、上述の各機能を、CPUを用いない電子回
路によって実現できる場合には、そのような電子回路を
用いても構わない。
【0117】次に、上記構成からなる液滴吐出装置16
の動作を、図15に示すフローチャートに基づいて説明
する。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置
16が作動すると、最初にステップS1において初期設
定が実現される。具体的には、ヘッドユニット26や基
板供給装置23やコントロール装置24などが予め決め
られた初期状態にセットされる。
の動作を、図15に示すフローチャートに基づいて説明
する。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置
16が作動すると、最初にステップS1において初期設
定が実現される。具体的には、ヘッドユニット26や基
板供給装置23やコントロール装置24などが予め決め
られた初期状態にセットされる。
【0118】次に、重量測定タイミングが到来(ステッ
プS2)すると、図9に示すヘッドユニット26を走査
駆動装置19によって図8に示す電子天秤78の所まで
移動させる(ステップS3)。そして、ノズル27から
吐出されるインクの量を、電子天秤78を用いて測定す
る(ステップS4)。さらに、このように測定されたノ
ズル27のインク吐出特性に合わせて、各ノズル27の
圧電素子41に印加する電圧を調節する(ステップS
5)。
プS2)すると、図9に示すヘッドユニット26を走査
駆動装置19によって図8に示す電子天秤78の所まで
移動させる(ステップS3)。そして、ノズル27から
吐出されるインクの量を、電子天秤78を用いて測定す
る(ステップS4)。さらに、このように測定されたノ
ズル27のインク吐出特性に合わせて、各ノズル27の
圧電素子41に印加する電圧を調節する(ステップS
5)。
【0119】この後、クリーニングタイミングが到来
(ステップS6)すれば、ヘッドユニット26を走査駆
動装置19によってクリーニング装置77の所まで移動
させ(ステップS7)、そのクリーニング装置77によ
って液滴吐出ヘッド22をクリーニングする(ステップ
S8)。
(ステップS6)すれば、ヘッドユニット26を走査駆
動装置19によってクリーニング装置77の所まで移動
させ(ステップS7)、そのクリーニング装置77によ
って液滴吐出ヘッド22をクリーニングする(ステップ
S8)。
【0120】重量測定タイミングやクリーニングタイミ
ングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニン
グが終了した場合には、ステップ9において図8に示す
基板供給装置23を作動させてマザー基板12をテーブ
ル49へ供給する。具体的には、基板収容部57内のマ
ザー基板12を吸着パッド64によって吸着保持し、昇
降軸61、第1アーム62及び第2アーム63を移動さ
せてマザー基板12をテーブル49まで搬送し、さらに
テーブル49の適所に予め設けてある位置決めピン50
a,50b(図9参照)に押し付ける。なお、テーブル
49上におけるマザー基板12の位置ずれを防止するた
め、空気吸引(真空吸着)などの手段によってマザー基
板12をテーブル49に固定することが望ましい。
ングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニン
グが終了した場合には、ステップ9において図8に示す
基板供給装置23を作動させてマザー基板12をテーブ
ル49へ供給する。具体的には、基板収容部57内のマ
ザー基板12を吸着パッド64によって吸着保持し、昇
降軸61、第1アーム62及び第2アーム63を移動さ
せてマザー基板12をテーブル49まで搬送し、さらに
テーブル49の適所に予め設けてある位置決めピン50
a,50b(図9参照)に押し付ける。なお、テーブル
49上におけるマザー基板12の位置ずれを防止するた
め、空気吸引(真空吸着)などの手段によってマザー基
板12をテーブル49に固定することが望ましい。
【0121】次に、図9に示す撮像装置91R,91L
によってマザー基板12を観察しながら、θモータ51
の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テー
ブル49を平面(水平面)内にて回転させ、マザー基板
12を位置決めする(ステップS10)。より具体的に
は、マザー基板12の左右両端にそれぞれ形成されたア
ライメントマーク12ar,12al,12br,12
blを、図9に示す上記一対の撮像装置91R,91L
又は92R,92Lによってそれぞれ撮影し、これらの
アライメントマークの撮像位置によってマザー基板12
の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテー
ブル49を回転させて角度θを調整する。
によってマザー基板12を観察しながら、θモータ51
の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テー
ブル49を平面(水平面)内にて回転させ、マザー基板
12を位置決めする(ステップS10)。より具体的に
は、マザー基板12の左右両端にそれぞれ形成されたア
ライメントマーク12ar,12al,12br,12
blを、図9に示す上記一対の撮像装置91R,91L
又は92R,92Lによってそれぞれ撮影し、これらの
アライメントマークの撮像位置によってマザー基板12
の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテー
ブル49を回転させて角度θを調整する。
【0122】この後、図8に示すヘッド用カメラ81に
よってマザー基板12を観察しながら、液滴吐出ヘッド
22によって描画を開始する位置を演算によって決定す
る(ステップS11)。そして、走査駆動装置19及び
送り駆動装置21を適宜に作動させて、液滴吐出ヘッド
22を描画開始位置へ移動させる(ステップS12)。
よってマザー基板12を観察しながら、液滴吐出ヘッド
22によって描画を開始する位置を演算によって決定す
る(ステップS11)。そして、走査駆動装置19及び
送り駆動装置21を適宜に作動させて、液滴吐出ヘッド
22を描画開始位置へ移動させる(ステップS12)。
【0123】このとき、液滴吐出ヘッド22は、図10
に示す基準方向Sが走査方向Xに合致した姿勢となるよ
うにしてもよく、或いは、基準方向Sが図1及び図2に
示すように走査方向に対して角度φ1,φ2で傾斜する
姿勢となるように構成してもよい。この角度φ1,φ2
は、ノズル27のピッチと、マザー基板12の表面上に
おいてインクを着弾させるべき位置のピッチとが異なる
場合が多く、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ移動さ
せるときに、配列方向Tに配列されたノズル27のピッ
チの送り方向Yの寸法成分がマザー基板12の送り方向
Yの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにす
るための措置である。
に示す基準方向Sが走査方向Xに合致した姿勢となるよ
うにしてもよく、或いは、基準方向Sが図1及び図2に
示すように走査方向に対して角度φ1,φ2で傾斜する
姿勢となるように構成してもよい。この角度φ1,φ2
は、ノズル27のピッチと、マザー基板12の表面上に
おいてインクを着弾させるべき位置のピッチとが異なる
場合が多く、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ移動さ
せるときに、配列方向Tに配列されたノズル27のピッ
チの送り方向Yの寸法成分がマザー基板12の送り方向
Yの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにす
るための措置である。
【0124】図15に示すステップS12で液滴吐出ヘ
ッド22が描画開始位置に置かれると、ステップS13
において液滴吐出ヘッド22は走査方向Xへ一定の速度
で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴
吐出ヘッド22のノズル27からインクの液滴がマザー
基板12の表面上へ連続的に吐出される。
ッド22が描画開始位置に置かれると、ステップS13
において液滴吐出ヘッド22は走査方向Xへ一定の速度
で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴
吐出ヘッド22のノズル27からインクの液滴がマザー
基板12の表面上へ連続的に吐出される。
【0125】なお、このときのインクの液滴の吐出量
は、一度の走査によって液滴吐出ヘッド22がカバーす
ることのできる吐出範囲において全量が吐出されるよう
に設定されていてもよいが、例えば、図3及び図4を参
照して後述するように、一度の走査によって本来吐出さ
れるべき量の数分の一(例えば4分の一)のインクを吐
出するように構成し、液滴吐出ヘッド22を複数回走査
する場合に、その走査範囲が送り方向Yに相互に部分的
に重なるように設定し、全ての領域において数回(例え
ば4回)インクの吐出が行われるように構成してもよ
い。
は、一度の走査によって液滴吐出ヘッド22がカバーす
ることのできる吐出範囲において全量が吐出されるよう
に設定されていてもよいが、例えば、図3及び図4を参
照して後述するように、一度の走査によって本来吐出さ
れるべき量の数分の一(例えば4分の一)のインクを吐
出するように構成し、液滴吐出ヘッド22を複数回走査
する場合に、その走査範囲が送り方向Yに相互に部分的
に重なるように設定し、全ての領域において数回(例え
ば4回)インクの吐出が行われるように構成してもよ
い。
【0126】液滴吐出ヘッド22は、マザー基板12に
対する1ライン分の走査が終了(ステップS14)する
と、反転移動して初期位置へと復帰し(ステップS1
5)、送り方向Yに所定量(設定された送り移動量だ
け)移動する(ステップS16)。その度、ステップS
13で再び走査され、インクが吐出され、これ以降、上
記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が
行われる。ここで、図2を参照して後述するように、1
ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Yに所
定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというよう
に、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよ
い。
対する1ライン分の走査が終了(ステップS14)する
と、反転移動して初期位置へと復帰し(ステップS1
5)、送り方向Yに所定量(設定された送り移動量だ
け)移動する(ステップS16)。その度、ステップS
13で再び走査され、インクが吐出され、これ以降、上
記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が
行われる。ここで、図2を参照して後述するように、1
ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Yに所
定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというよう
に、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよ
い。
【0127】ここで、後述するように、マザー基板12
内に複数のカラーフィルタが形成される場合について説
明すると、マザー基板12内のカラーフィルタ領域一列
分について全てインクの吐出が完了する(ステップS1
7)と、液滴吐出ヘッド22は所定量送り方向Yに移動
し、再び上記と同様にステップS13乃至S16の動作
を繰り返す。そして、最終的にマザー基板12上の全列
のカラーフィルタ領域に対してインクの吐出が終了する
(ステップS18)と、ステップS20において基板供
給装置23又は別の搬出機構によって、処理後のマザー
基板12が外部へ排出される。その後、オペレータから
作業終了の指示がない限り、上記のようにマザー基板1
2の供給と、インク吐出作業を繰り返し行う。
内に複数のカラーフィルタが形成される場合について説
明すると、マザー基板12内のカラーフィルタ領域一列
分について全てインクの吐出が完了する(ステップS1
7)と、液滴吐出ヘッド22は所定量送り方向Yに移動
し、再び上記と同様にステップS13乃至S16の動作
を繰り返す。そして、最終的にマザー基板12上の全列
のカラーフィルタ領域に対してインクの吐出が終了する
(ステップS18)と、ステップS20において基板供
給装置23又は別の搬出機構によって、処理後のマザー
基板12が外部へ排出される。その後、オペレータから
作業終了の指示がない限り、上記のようにマザー基板1
2の供給と、インク吐出作業を繰り返し行う。
【0128】オペレータから作業終了の指示がある(ス
テップS21)と、CPU69は図8において液滴吐出
ヘッド22をキャッピング装置76の所まで搬送し、そ
のキャッピング装置76によって液滴吐出ヘッド22に
対してキャッピング処理を施す(ステップS22)。
テップS21)と、CPU69は図8において液滴吐出
ヘッド22をキャッピング装置76の所まで搬送し、そ
のキャッピング装置76によって液滴吐出ヘッド22に
対してキャッピング処理を施す(ステップS22)。
【0129】以上のように構成された液滴吐出装置16
においては、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xに走査し
ながらインクの液滴を連続して吐出させ、この走査を送
り方向Yへの移動を介して繰り返し行うことにより、マ
ザー基板12の全表面上にインクを着弾させることがで
きるようになっている。本実施形態では、図22(a)
に示すようにマザー基板12をテーブル49上に配置し
て、撮像装置91R,91Lによるアライメントマーク
12ar,12alの撮影によってマザー基板12の位
置決めを行うことができるとともに、図22(b)に示
すようにマザー基板12を異なる平面姿勢(基板表面の
法線周りに90度回転させた姿勢)でテーブル49上に
配置して、撮像装置92R,92Lによるアライメント
マーク12br,12blの撮影によってマザー基板1
2の位置決めを行うこともできるので、マザー基板12
に対する走査方向Xを異なる2方向(相互に直交する2
方向)に設定して処理を行うことが可能になっている。
においては、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xに走査し
ながらインクの液滴を連続して吐出させ、この走査を送
り方向Yへの移動を介して繰り返し行うことにより、マ
ザー基板12の全表面上にインクを着弾させることがで
きるようになっている。本実施形態では、図22(a)
に示すようにマザー基板12をテーブル49上に配置し
て、撮像装置91R,91Lによるアライメントマーク
12ar,12alの撮影によってマザー基板12の位
置決めを行うことができるとともに、図22(b)に示
すようにマザー基板12を異なる平面姿勢(基板表面の
法線周りに90度回転させた姿勢)でテーブル49上に
配置して、撮像装置92R,92Lによるアライメント
マーク12br,12blの撮影によってマザー基板1
2の位置決めを行うこともできるので、マザー基板12
に対する走査方向Xを異なる2方向(相互に直交する2
方向)に設定して処理を行うことが可能になっている。
【0130】一般に、インクを着弾すべき位置の配列態
様が異なるマザー基板12が液滴吐出装置16に供給さ
れることが想定される。例えば、図22に示すように、
マザー基板12に複数の単位領域11が配列される場
合、製品の機種毎に単位領域11の大きさやドット配列
のパターンの相違が存在し、また、単位領域11の取り
数をなるべく多くして生産性を高めるために、単位領域
11の配列態様もまた異なる場合がある。したがって、
図22のように単位領域11が配列されたマザー基板1
2の場合には、図22(a)に示すようにマザー基板1
2の長手方向Lを液滴吐出ヘッド22の走査方向Xと一
致させることが効率的に処理を行うために都合がよいと
しても、図23に示すように、別の単位領域11'が配
列されているマザー基板12'の場合、或いは、マザー
基板において単位領域11が図22とは異なる姿勢で配
列されている場合などにおいては、図23(a)に示す
ように、マザー基板12の長手方向Lを送り方向Yに一
致させることが効率的に処理を行うために都合が良いこ
ともある。
様が異なるマザー基板12が液滴吐出装置16に供給さ
れることが想定される。例えば、図22に示すように、
マザー基板12に複数の単位領域11が配列される場
合、製品の機種毎に単位領域11の大きさやドット配列
のパターンの相違が存在し、また、単位領域11の取り
数をなるべく多くして生産性を高めるために、単位領域
11の配列態様もまた異なる場合がある。したがって、
図22のように単位領域11が配列されたマザー基板1
2の場合には、図22(a)に示すようにマザー基板1
2の長手方向Lを液滴吐出ヘッド22の走査方向Xと一
致させることが効率的に処理を行うために都合がよいと
しても、図23に示すように、別の単位領域11'が配
列されているマザー基板12'の場合、或いは、マザー
基板において単位領域11が図22とは異なる姿勢で配
列されている場合などにおいては、図23(a)に示す
ように、マザー基板12の長手方向Lを送り方向Yに一
致させることが効率的に処理を行うために都合が良いこ
ともある。
【0131】したがって、本実施形態の液滴吐出装置1
6によれば、図22及び図23に示すようにマザー基板
12を異なる2方向(図示例では直交する2方向)のい
ずれの平面姿勢でも処理を行うことができるように構成
されているので、インクの着弾させるべき位置の配列態
様に適合した平面姿勢でマザー基板12をテーブル49
上に設置することができ、その結果、被吐出物であるマ
ザー基板12の態様に応じて、効率的に処理を行うこと
が可能になる。
6によれば、図22及び図23に示すようにマザー基板
12を異なる2方向(図示例では直交する2方向)のい
ずれの平面姿勢でも処理を行うことができるように構成
されているので、インクの着弾させるべき位置の配列態
様に適合した平面姿勢でマザー基板12をテーブル49
上に設置することができ、その結果、被吐出物であるマ
ザー基板12の態様に応じて、効率的に処理を行うこと
が可能になる。
【0132】なお、上記実施形態では、テーブル49上
にマザー基板12を配置するために基板供給装置23を
用いているので、テーブル49上のマザー基板12の平
面姿勢を図22及び図23に示すように異なる2方向の
いずれかに設定するためには、基板供給装置23による
供給姿勢を変えて対応することができる。ただし、テー
ブル49の回転機構を用いてテーブル49を例えば90
度回転させることができるように構成し、テーブル49
上にマザー基板12が供給された後に、テーブル49を
回転させてマザー基板12の平面姿勢を変更するか否か
を選択するようにしても構わない。
にマザー基板12を配置するために基板供給装置23を
用いているので、テーブル49上のマザー基板12の平
面姿勢を図22及び図23に示すように異なる2方向の
いずれかに設定するためには、基板供給装置23による
供給姿勢を変えて対応することができる。ただし、テー
ブル49の回転機構を用いてテーブル49を例えば90
度回転させることができるように構成し、テーブル49
上にマザー基板12が供給された後に、テーブル49を
回転させてマザー基板12の平面姿勢を変更するか否か
を選択するようにしても構わない。
【0133】ところで、液滴吐出ヘッド22のノズル列
28を形成する複数のノズル27のインク吐出量の分布
が不均一になること、例えば、ノズル列28の両端部に
存在する数個(例えば10個ずつ)のノズル27が特に
インク吐出量が多くなることは、図56に関連して説明
した通りである。このように、インク吐出量が他のノズ
ル27に較べて多いノズル27を使用することは、イン
ク吐出によって形成される膜厚を均一にするために好ま
しくない。したがって、例えば、図13に示すように、
ノズル列28を形成する複数のノズル27のうち、ノズ
ル列28の両端部Eに存在する数個、例えば10個程
度、は予めインクを吐出しないものと設定しておき、残
りの部分Fに存在するノズル27を用いることが望まし
い。
28を形成する複数のノズル27のインク吐出量の分布
が不均一になること、例えば、ノズル列28の両端部に
存在する数個(例えば10個ずつ)のノズル27が特に
インク吐出量が多くなることは、図56に関連して説明
した通りである。このように、インク吐出量が他のノズ
ル27に較べて多いノズル27を使用することは、イン
ク吐出によって形成される膜厚を均一にするために好ま
しくない。したがって、例えば、図13に示すように、
ノズル列28を形成する複数のノズル27のうち、ノズ
ル列28の両端部Eに存在する数個、例えば10個程
度、は予めインクを吐出しないものと設定しておき、残
りの部分Fに存在するノズル27を用いることが望まし
い。
【0134】また、液滴吐出ヘッド22の吐出する液滴
の一滴で所定領域に成膜を行うのではなく、複数の液滴
によって成膜を行うようにすることによって、形成され
た膜の厚さのばらつきを低減できる。すなわち、複数の
領域毎に成膜を行う場合、個々の液滴の量に或る程度の
ばらつきが存在しても、複数の液滴によって一つの領域
の成膜を行うことによって、各領域に形成される膜の厚
さのばらつきが低減される。
の一滴で所定領域に成膜を行うのではなく、複数の液滴
によって成膜を行うようにすることによって、形成され
た膜の厚さのばらつきを低減できる。すなわち、複数の
領域毎に成膜を行う場合、個々の液滴の量に或る程度の
ばらつきが存在しても、複数の液滴によって一つの領域
の成膜を行うことによって、各領域に形成される膜の厚
さのばらつきが低減される。
【0135】液滴吐出ヘッド22の構造としては、上記
のものに限らず、種々の構造のものを用いることができ
る。例えば、図11に示す液滴吐出ヘッド22Aは、基
準方向Sに配置された2列のノズル列28,28を備え
ている。これらのいずれのノズル列28にも、上記と同
様に複数のノズル27が含まれる。また、図16に示す
液滴吐出ヘッド22Bは、基準方向Sに配列された3列
のノズル列28R,28G,28Bを備えている。これ
らのいずれの液滴吐出ヘッド22A,22Bでも、各ノ
ズル列28のノズル27から吐出される液滴の材料を同
じものとすることもでき、相互に異なるものとすること
もできる。例えば、図11に示す液滴吐出ヘッド22A
は2つのノズル列28のいずれの列のノズル27からも
同じインクが吐出されるように構成されており、図16
に示す液滴吐出ヘッド22Bでは、各ノズル列28R,
28G,28Bのノズル27から吐出されるインクが相
互に異なるものであり、例えば、後述するフィルタエレ
メント材料13R,13G,13Bとなるように用いら
れる。
のものに限らず、種々の構造のものを用いることができ
る。例えば、図11に示す液滴吐出ヘッド22Aは、基
準方向Sに配置された2列のノズル列28,28を備え
ている。これらのいずれのノズル列28にも、上記と同
様に複数のノズル27が含まれる。また、図16に示す
液滴吐出ヘッド22Bは、基準方向Sに配列された3列
のノズル列28R,28G,28Bを備えている。これ
らのいずれの液滴吐出ヘッド22A,22Bでも、各ノ
ズル列28のノズル27から吐出される液滴の材料を同
じものとすることもでき、相互に異なるものとすること
もできる。例えば、図11に示す液滴吐出ヘッド22A
は2つのノズル列28のいずれの列のノズル27からも
同じインクが吐出されるように構成されており、図16
に示す液滴吐出ヘッド22Bでは、各ノズル列28R,
28G,28Bのノズル27から吐出されるインクが相
互に異なるものであり、例えば、後述するフィルタエレ
メント材料13R,13G,13Bとなるように用いら
れる。
【0136】[カラーフィルタ及びその製造方法]次
に、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の実施形態
について説明する。この実施形態では、カラーフィルタ
を上記液滴吐出装置16を用いて行う例について説明す
るが、本発明のカラーフィルタの製造方法は、用いる装
置構造によって限定されるものではない。
に、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の実施形態
について説明する。この実施形態では、カラーフィルタ
を上記液滴吐出装置16を用いて行う例について説明す
るが、本発明のカラーフィルタの製造方法は、用いる装
置構造によって限定されるものではない。
【0137】図5(a)はカラーフィルタの1つの実施
形態の平面構造を模式的に示すものである。また、図6
(d)は、図5(a)のVI−VI線に沿った断面構造を示
すものである。
形態の平面構造を模式的に示すものである。また、図6
(d)は、図5(a)のVI−VI線に沿った断面構造を示
すものである。
【0138】本実施形態のカラーフィルタ1は、ガラス
やプラスチックなどによって形成された方形状の基板
(基材)2の表面に、複数のフィルタエレメント3をド
ットパターン状、図示例ではドットマトリクス状に形成
している。さらに、カラーフィルタ1は、図6(d)に
示すように、フィルタエレメント3の上に保護膜4が積
層されている。なお、図5(a)は、保護膜4を取り除
いた状態のカラーフィルタ1を平面的に示している。
やプラスチックなどによって形成された方形状の基板
(基材)2の表面に、複数のフィルタエレメント3をド
ットパターン状、図示例ではドットマトリクス状に形成
している。さらに、カラーフィルタ1は、図6(d)に
示すように、フィルタエレメント3の上に保護膜4が積
層されている。なお、図5(a)は、保護膜4を取り除
いた状態のカラーフィルタ1を平面的に示している。
【0139】基板2の表面上に、透光性のない樹脂材料
によって格子状のパターンに形成された隔壁6が形成さ
れ、この隔壁6により区画された方形状の領域を色材で
埋めることによってフィルタエレメント3が形成され
る。また、これらのフィルタエレメント3は、それぞれ
が、R(赤)、G(緑)、B(青)のうちのいずれか1
色の色材によって形成され、それらの各色のフィルタエ
レメント3が所定の配列に並べられている。この配列と
しては、例えば、図7(a)に示すストライプ配列(マ
トリクスの縦列が全て同色になる配列)、図7(b)に
示すモザイク配列(縦横の直線状に並んだ任意の3つの
フィルタエレメントがR,G,Bの3色となる配列)、
図7(c)に示すデルタ配列(フィルタエレメント3の
配置を段違いにし、任意の隣接する3つのフィルタエレ
メント3がR,G,Bとなる配列)などが挙げられる。
なお、本発明における「隔壁」は、「バンク」の意味を
も含む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側
面に限らず、或る程度の傾斜角を持った側面を有するも
のを含み、基板から見て凸になる部分を指す。
によって格子状のパターンに形成された隔壁6が形成さ
れ、この隔壁6により区画された方形状の領域を色材で
埋めることによってフィルタエレメント3が形成され
る。また、これらのフィルタエレメント3は、それぞれ
が、R(赤)、G(緑)、B(青)のうちのいずれか1
色の色材によって形成され、それらの各色のフィルタエ
レメント3が所定の配列に並べられている。この配列と
しては、例えば、図7(a)に示すストライプ配列(マ
トリクスの縦列が全て同色になる配列)、図7(b)に
示すモザイク配列(縦横の直線状に並んだ任意の3つの
フィルタエレメントがR,G,Bの3色となる配列)、
図7(c)に示すデルタ配列(フィルタエレメント3の
配置を段違いにし、任意の隣接する3つのフィルタエレ
メント3がR,G,Bとなる配列)などが挙げられる。
なお、本発明における「隔壁」は、「バンク」の意味を
も含む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側
面に限らず、或る程度の傾斜角を持った側面を有するも
のを含み、基板から見て凸になる部分を指す。
【0140】なお、カラーフィルタ1の大きさは、例え
ば、約4.57cm(1.8インチ)である。また、1
個のフィルタエレメント3の大きさは、例えば、30μ
m×100μmである。そして、隣接するフィルタエレ
メント3の間隔、すなわちエレメント間ピッチは、例え
ば、75μmである。
ば、約4.57cm(1.8インチ)である。また、1
個のフィルタエレメント3の大きさは、例えば、30μ
m×100μmである。そして、隣接するフィルタエレ
メント3の間隔、すなわちエレメント間ピッチは、例え
ば、75μmである。
【0141】本実施形態のカラーフィルタ1をカラー表
示(フルカラー表示)のための光学要素として用いる場
合には、R,G,B3個のフィルタエレメント3を1つ
のユニットとして画素が構成され、1画素内のR,G,
Bのいずれか1つ又はそれらの組合せに光を選択的に透
過させることにより、カラー表示を行う。このとき、透
光性のない樹脂材料によって形成された隔壁6はブラッ
クマスクとして作用するように構成できる。
示(フルカラー表示)のための光学要素として用いる場
合には、R,G,B3個のフィルタエレメント3を1つ
のユニットとして画素が構成され、1画素内のR,G,
Bのいずれか1つ又はそれらの組合せに光を選択的に透
過させることにより、カラー表示を行う。このとき、透
光性のない樹脂材料によって形成された隔壁6はブラッ
クマスクとして作用するように構成できる。
【0142】上記のカラーフィルタ1は、例えば、図5
(b)に示すような基板である大面積のマザー基板12
から切り出される。具体的には、まず、マザー基板12
内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域(単位領
域)11のそれぞれの表面にカラーフィルタ1の1個分
のパターンを形成する。そして、それらのカラーフィル
タ形成領域11の周りに分断用の溝を形成し、これらの
溝に沿って応力を加えるなどの方法でマザー基板12を
分断(破断)させることにより、図5(a)に示す個々
のカラーフィルタ1が形成される。
(b)に示すような基板である大面積のマザー基板12
から切り出される。具体的には、まず、マザー基板12
内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域(単位領
域)11のそれぞれの表面にカラーフィルタ1の1個分
のパターンを形成する。そして、それらのカラーフィル
タ形成領域11の周りに分断用の溝を形成し、これらの
溝に沿って応力を加えるなどの方法でマザー基板12を
分断(破断)させることにより、図5(a)に示す個々
のカラーフィルタ1が形成される。
【0143】次に、上述のカラーフィルタ1の製造方法
について具体的に説明する。図6には、カラーフィルタ
1の製造方法を工程順に模式的に示してある。まず、マ
ザー基板12の表面に透光性のない樹脂材料によって隔
壁6を矢印B方向から見て格子状のパターンに形成す
る。格子状パターンの格子穴の部分7は、フィルタエレ
メント3が形成される領域、すなわちフィルタエレメン
ト形成領域である。この隔壁6によって画成される個々
のフィルタエレメント形成領域7の矢印B方向から見た
場合の平面寸法は、例えば30μm×100μm程度に
形成される。
について具体的に説明する。図6には、カラーフィルタ
1の製造方法を工程順に模式的に示してある。まず、マ
ザー基板12の表面に透光性のない樹脂材料によって隔
壁6を矢印B方向から見て格子状のパターンに形成す
る。格子状パターンの格子穴の部分7は、フィルタエレ
メント3が形成される領域、すなわちフィルタエレメン
ト形成領域である。この隔壁6によって画成される個々
のフィルタエレメント形成領域7の矢印B方向から見た
場合の平面寸法は、例えば30μm×100μm程度に
形成される。
【0144】隔壁6は、フィルタエレメント形成領域7
に供給される液状体としてのフィルタエレメント材料1
3の流動を阻止する機能及びブラックマスクの機能を併
せて有する。また、隔壁6は任意のパターニング手法、
例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに
必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。
に供給される液状体としてのフィルタエレメント材料1
3の流動を阻止する機能及びブラックマスクの機能を併
せて有する。また、隔壁6は任意のパターニング手法、
例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに
必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。
【0145】隔壁6の形成後、図6(b)に示すよう
に、フィルタエレメント材料13の液滴8を各フィルタ
エレメント形成領域7に供給することにより、各フィル
タエレメント形成領域7をフィルタエレメント材料13
で埋める。これは、例えば、上述の液滴吐出装置16の
液滴吐出ヘッド22からインク(フィルタエレメント材
料13)の液滴8を吐出させ、フィルタエレメント形成
領域7内に着弾させることによって行われる。図6
(b)において、符号13RはR(赤)の色を有するフ
ィルタエレメント材料を示し、そして符号13GはG
(緑)の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符
号13BはB(緑)の色を有するフィルタエレメント材
料を示している。
に、フィルタエレメント材料13の液滴8を各フィルタ
エレメント形成領域7に供給することにより、各フィル
タエレメント形成領域7をフィルタエレメント材料13
で埋める。これは、例えば、上述の液滴吐出装置16の
液滴吐出ヘッド22からインク(フィルタエレメント材
料13)の液滴8を吐出させ、フィルタエレメント形成
領域7内に着弾させることによって行われる。図6
(b)において、符号13RはR(赤)の色を有するフ
ィルタエレメント材料を示し、そして符号13GはG
(緑)の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符
号13BはB(緑)の色を有するフィルタエレメント材
料を示している。
【0146】各フィルタエレメント形成領域7に所定量
のフィルタエレメント材料13が充填されると、ヒータ
によってマザー基板12を例えば70℃程度に加熱し
て、フィルタエレメント材料13の溶媒を蒸発させる。
この蒸発により、図6(c)に示すようにフィルタエレ
メント材料13の体積が減少し、平坦化する。体積の減
少が著しい場合には、カラーフィルタ1として充分な膜
厚が得られるまで、フィルタエレメント材料13の液滴
8の供給とその液滴8の加熱とを繰り返し実行する。以
上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料13
の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する
各色のフィルタエレメント3が形成される。
のフィルタエレメント材料13が充填されると、ヒータ
によってマザー基板12を例えば70℃程度に加熱し
て、フィルタエレメント材料13の溶媒を蒸発させる。
この蒸発により、図6(c)に示すようにフィルタエレ
メント材料13の体積が減少し、平坦化する。体積の減
少が著しい場合には、カラーフィルタ1として充分な膜
厚が得られるまで、フィルタエレメント材料13の液滴
8の供給とその液滴8の加熱とを繰り返し実行する。以
上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料13
の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する
各色のフィルタエレメント3が形成される。
【0147】上記のようにフィルタエレメント3が形成
された後に、各フィルタエレメント3を完全に乾燥させ
るために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行す
る。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート
法、ディピング法、又は、インクジェット法などといっ
た適宜の手法を用いて保護膜4を形成する。この保護膜
4は、フィルタエレメント3などの保護及びカラーフィ
ルタ1の表面の平坦化のために形成されるものである。
なお、本実施形態では、隔壁6の樹脂を非透光性のもの
としていて、遮光機能を有するもの(ブラックマトリク
ス)として構成しているが、隔壁6の樹脂に透光性のも
のを用いる代りに、当該樹脂の下層に当該樹脂よりも一
回り広いサイズのCrなどの金属などからなる遮光層を
形成してもよい。
された後に、各フィルタエレメント3を完全に乾燥させ
るために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行す
る。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート
法、ディピング法、又は、インクジェット法などといっ
た適宜の手法を用いて保護膜4を形成する。この保護膜
4は、フィルタエレメント3などの保護及びカラーフィ
ルタ1の表面の平坦化のために形成されるものである。
なお、本実施形態では、隔壁6の樹脂を非透光性のもの
としていて、遮光機能を有するもの(ブラックマトリク
ス)として構成しているが、隔壁6の樹脂に透光性のも
のを用いる代りに、当該樹脂の下層に当該樹脂よりも一
回り広いサイズのCrなどの金属などからなる遮光層を
形成してもよい。
【0148】本実施形態においては、図6(b)に示す
ようにフィルタエレメント材料13をインクとして、上
記液滴吐出装置16によって各フィルタエレメント形成
領域7にそのインクの液滴8を着弾させることにより、
フィルタエレメント3を形成するようにしている。この
場合、3色のフィルタエレメント3を形成するための3
種のフィルタエレメント材料13R,13G,13B
を、全てマザー基板12に対する同じ走査方向Xに液滴
吐出ヘッド22を走査させながら吐出していくと、上述
のように液滴吐出ヘッド22の各ノズル27間における
吐出量のばらつき、液滴吐出ヘッド22のノズル27の
インク吐出量の経時変化などによって、走査方向Xに縞
状に色ムラが生ずる場合がある。
ようにフィルタエレメント材料13をインクとして、上
記液滴吐出装置16によって各フィルタエレメント形成
領域7にそのインクの液滴8を着弾させることにより、
フィルタエレメント3を形成するようにしている。この
場合、3色のフィルタエレメント3を形成するための3
種のフィルタエレメント材料13R,13G,13B
を、全てマザー基板12に対する同じ走査方向Xに液滴
吐出ヘッド22を走査させながら吐出していくと、上述
のように液滴吐出ヘッド22の各ノズル27間における
吐出量のばらつき、液滴吐出ヘッド22のノズル27の
インク吐出量の経時変化などによって、走査方向Xに縞
状に色ムラが生ずる場合がある。
【0149】そこで、本実施形態では、上記3色のフィ
ルタエレメント材料13R,13G,13Bのうちのい
ずれか1色の材料を、他の色の材料とは異なる走査方向
で液滴吐出ヘッド22を走査させながら吐出させるよう
にしている。例えば、図22(a)に示すように、上記
3色の材料のうちの2色の材料(例えば13R及び13
G)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマザー基板
12の長手方向Lと一致した状態で吐出させていき、図
22(b)に示すように、残りの1色の材料(例えば1
3B)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマザー基
板12の長手方向Lと直交する状態(すなわち送り方向
Yがマザー基板12の長手方向Lと一致する状態)で吐
出させていく。また、逆に、図23(a)に示すよう
に、上記3色の材料のうちの2色の材料(例えば13R
及び13G)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマ
ザー基板12の長手方向Lと直交する状態(すなわち送
り方向Yがマザー基板12の長手方向Lと一致する状
態)で吐出させていき、図23(b)に示すように、残
りの1色の材料(例えば13B)を、液滴吐出ヘッド2
2の走査方向Xがマザー基板12の長手方向Lと一致し
た状態で吐出させていくようにしてもよい。
ルタエレメント材料13R,13G,13Bのうちのい
ずれか1色の材料を、他の色の材料とは異なる走査方向
で液滴吐出ヘッド22を走査させながら吐出させるよう
にしている。例えば、図22(a)に示すように、上記
3色の材料のうちの2色の材料(例えば13R及び13
G)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマザー基板
12の長手方向Lと一致した状態で吐出させていき、図
22(b)に示すように、残りの1色の材料(例えば1
3B)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマザー基
板12の長手方向Lと直交する状態(すなわち送り方向
Yがマザー基板12の長手方向Lと一致する状態)で吐
出させていく。また、逆に、図23(a)に示すよう
に、上記3色の材料のうちの2色の材料(例えば13R
及び13G)を、液滴吐出ヘッド22の走査方向Xがマ
ザー基板12の長手方向Lと直交する状態(すなわち送
り方向Yがマザー基板12の長手方向Lと一致する状
態)で吐出させていき、図23(b)に示すように、残
りの1色の材料(例えば13B)を、液滴吐出ヘッド2
2の走査方向Xがマザー基板12の長手方向Lと一致し
た状態で吐出させていくようにしてもよい。
【0150】上記のようにすると、3色のフィルタエレ
メント材料13R,13G,13Bのうちのいずれか一
つの材料の吐出時の走査方向と、残りの材料の吐出時の
走査方向とがマザー基板12に対して相互に異なる(直
交する)こととなるので、一つの材料による縞状の色ム
ラと、残りの材料による縞状の色ムラとが異なる方向に
生ずるようになるため、カラーフィルタ1全体の色ムラ
を目立ち難くすることができ、実質的にムラを低減でき
る。
メント材料13R,13G,13Bのうちのいずれか一
つの材料の吐出時の走査方向と、残りの材料の吐出時の
走査方向とがマザー基板12に対して相互に異なる(直
交する)こととなるので、一つの材料による縞状の色ム
ラと、残りの材料による縞状の色ムラとが異なる方向に
生ずるようになるため、カラーフィルタ1全体の色ムラ
を目立ち難くすることができ、実質的にムラを低減でき
る。
【0151】図1乃至図4は、上記のフィルタエレメン
ト材料13R,13G,13Bを液滴吐出ヘッド22の
ノズル27からマザー基板12に対して吐出していく場
合の手順を示す説明図である。また、図24は、上記手
順にて処理を行う場合の製造装置の装置構成を模式的に
示す概略構成図である。
ト材料13R,13G,13Bを液滴吐出ヘッド22の
ノズル27からマザー基板12に対して吐出していく場
合の手順を示す説明図である。また、図24は、上記手
順にて処理を行う場合の製造装置の装置構成を模式的に
示す概略構成図である。
【0152】(処理態様1)図24に示すように、カラ
ーフィルタを形成するための製造装置には、上述のもの
とそれぞれほぼ同様の液滴吐出装置16で構成される第
1段部16R、第2段部16G及び第3段部16Bを有
する。ただし、第1段部16Rにのみ基板収容部57が
配置され、第2段部16G及び第3段部には配置されて
いない。また、第1段部16Rと第2段部16Gとの
間、第2段部16Gと第3段部16Bとの間、及び、第
3段部16Bの後段には、それぞれ基各段の液滴吐出装
置においてマザー基板12上に吐出され付着されたイン
ク(フィルタエレメント材料)を仮乾燥させるためのホ
ットプレートを有する仮乾燥装置96が配置されてい
る。また、各段部へマザー基板12を供給するための基
板移載機構58と、前段の液滴吐出装置からマザー基板
12を取り出してその直後の仮乾燥装置96へ移載する
基板移載機構95とが各段に対応してそれぞれ設けられ
ている。さらに、第3段部16Bの後段に配備された仮
乾燥装置96からマザー基板を取り出して基板収容部9
8へと移載する基板排出機構97も設けられている。
ーフィルタを形成するための製造装置には、上述のもの
とそれぞれほぼ同様の液滴吐出装置16で構成される第
1段部16R、第2段部16G及び第3段部16Bを有
する。ただし、第1段部16Rにのみ基板収容部57が
配置され、第2段部16G及び第3段部には配置されて
いない。また、第1段部16Rと第2段部16Gとの
間、第2段部16Gと第3段部16Bとの間、及び、第
3段部16Bの後段には、それぞれ基各段の液滴吐出装
置においてマザー基板12上に吐出され付着されたイン
ク(フィルタエレメント材料)を仮乾燥させるためのホ
ットプレートを有する仮乾燥装置96が配置されてい
る。また、各段部へマザー基板12を供給するための基
板移載機構58と、前段の液滴吐出装置からマザー基板
12を取り出してその直後の仮乾燥装置96へ移載する
基板移載機構95とが各段に対応してそれぞれ設けられ
ている。さらに、第3段部16Bの後段に配備された仮
乾燥装置96からマザー基板を取り出して基板収容部9
8へと移載する基板排出機構97も設けられている。
【0153】この製造装置においては、第1段部16R
においてR(赤)のフィルタエレメント材料13Rがマ
ザー基板12上に吐出されてから、仮乾燥装置96にて
フィルタエレメント材料13Rが仮乾燥される。その
後、第2段部16GにおいてG(緑)のフィルタエレメ
ント材料13Gがマザー基板12上に吐出され、やはり
仮乾燥装置96にて仮乾燥される。さらに、第3段部1
6BにおいてB(青)のフィルタエレメント材料13B
がマザー基板12上に吐出され、仮乾燥装置96にて仮
乾燥される。そして、最終的にR,G,Bの全ての色に
ついてフィルタエレメント3R,3G,3Bが形成され
た後に、基板収容部98へ格納される。
においてR(赤)のフィルタエレメント材料13Rがマ
ザー基板12上に吐出されてから、仮乾燥装置96にて
フィルタエレメント材料13Rが仮乾燥される。その
後、第2段部16GにおいてG(緑)のフィルタエレメ
ント材料13Gがマザー基板12上に吐出され、やはり
仮乾燥装置96にて仮乾燥される。さらに、第3段部1
6BにおいてB(青)のフィルタエレメント材料13B
がマザー基板12上に吐出され、仮乾燥装置96にて仮
乾燥される。そして、最終的にR,G,Bの全ての色に
ついてフィルタエレメント3R,3G,3Bが形成され
た後に、基板収容部98へ格納される。
【0154】(処理態様1の詳細)図1には、上記製造
装置によってマザー基板12に対して施される各段部1
6R,16G,16Bにおける処理態様の具体例を示
す。なお、図1においては、図示の都合上、送り方向に
移動していくときの液滴吐出ヘッド22の位置を走査方
向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査に
おける走査開始位置が異なることを意味しない。
装置によってマザー基板12に対して施される各段部1
6R,16G,16Bにおける処理態様の具体例を示
す。なお、図1においては、図示の都合上、送り方向に
移動していくときの液滴吐出ヘッド22の位置を走査方
向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査に
おける走査開始位置が異なることを意味しない。
【0155】マザー基板12の各カラーフィルタ形成領
域(単位領域)11には、ドットマトリクス状にフィル
タエレメント形成領域7が配列されている。マザー基板
12の長手方向Lと、短辺方向Mは図示のように設定さ
れている。そして、上記フィルタエレメント材料13
R,13G,13Bのうちの1色又は2色(例えば13
R、又は、13R及び13G)については、マザー基板
12の一端(図示左端)の外側位置(初期位置)から長
手方向Lに沿って液滴吐出ヘッド22を走査しながら連
続して材料をインクとして吐出させ、その液滴を長手方
向Lに沿って配列されたフィルタエレメント形成領域7
に着弾させていく。そして、マザー基板12の図示しな
い他端(図示右端側)まで液滴吐出ヘッド22が到達す
ると、マザー基板12の短辺方向Mに所定の送り移動量
だけ移動し、再びマザー基板12の一端の外側位置に移
動する。そして、再び液滴吐出ヘッド22は長手方向L
に沿って走査され、液滴を吐出していく。
域(単位領域)11には、ドットマトリクス状にフィル
タエレメント形成領域7が配列されている。マザー基板
12の長手方向Lと、短辺方向Mは図示のように設定さ
れている。そして、上記フィルタエレメント材料13
R,13G,13Bのうちの1色又は2色(例えば13
R、又は、13R及び13G)については、マザー基板
12の一端(図示左端)の外側位置(初期位置)から長
手方向Lに沿って液滴吐出ヘッド22を走査しながら連
続して材料をインクとして吐出させ、その液滴を長手方
向Lに沿って配列されたフィルタエレメント形成領域7
に着弾させていく。そして、マザー基板12の図示しな
い他端(図示右端側)まで液滴吐出ヘッド22が到達す
ると、マザー基板12の短辺方向Mに所定の送り移動量
だけ移動し、再びマザー基板12の一端の外側位置に移
動する。そして、再び液滴吐出ヘッド22は長手方向L
に沿って走査され、液滴を吐出していく。
【0156】この場合、フィルタエレメント材料13
R,13G,13Bの3色のうちの2色又は1色(例え
ば13G及び13B、又は、13B)の材料について
は、上記とは逆に、液滴吐出ヘッド22の初期位置をマ
ザー基板12の短辺方向Mの一端の外側位置とし、当該
位置から液滴吐出ヘッド22を短辺方向Mに走査しなが
ら上記材料の液滴をマザー基板12上に吐出していく。
この場合、液滴吐出ヘッド22の走査が終了した後に
は、液滴吐出ヘッド22を長手方向Lに所定の送り移動
量だけ移動させた後、短辺方向Mに沿って走査時とは逆
方向に移動させて、再びマザー基板12の短辺方向Mの
一端の外側位置に復帰させる、という動作を繰り返す。
これによって、3色のフィルタエレメント材料13R,
13G,13Bのうちの少なくとも1色が他の色の材料
と異なる(直交する)ヘッド走査方向で吐出されたもの
となる。
R,13G,13Bの3色のうちの2色又は1色(例え
ば13G及び13B、又は、13B)の材料について
は、上記とは逆に、液滴吐出ヘッド22の初期位置をマ
ザー基板12の短辺方向Mの一端の外側位置とし、当該
位置から液滴吐出ヘッド22を短辺方向Mに走査しなが
ら上記材料の液滴をマザー基板12上に吐出していく。
この場合、液滴吐出ヘッド22の走査が終了した後に
は、液滴吐出ヘッド22を長手方向Lに所定の送り移動
量だけ移動させた後、短辺方向Mに沿って走査時とは逆
方向に移動させて、再びマザー基板12の短辺方向Mの
一端の外側位置に復帰させる、という動作を繰り返す。
これによって、3色のフィルタエレメント材料13R,
13G,13Bのうちの少なくとも1色が他の色の材料
と異なる(直交する)ヘッド走査方向で吐出されたもの
となる。
【0157】(処理態様1の詳細の変形例)図2には、
上記とは異なる態様の各段部16R,16G,16Bに
おける処理態様1の他の例を示すものである。この場合
においても、上記と同様に、フィルタエレメント材料1
3R,13G,13Bの3色のうちの一色又は2色の材
料については、液滴吐出ヘッド22の走査方向が上記長
手方向Lと一致する態様で処理が行われ、残りの色の材
料については、液滴吐出ヘッド22の走査方向が上記短
辺方向Mと一致する態様で処理が行われる。
上記とは異なる態様の各段部16R,16G,16Bに
おける処理態様1の他の例を示すものである。この場合
においても、上記と同様に、フィルタエレメント材料1
3R,13G,13Bの3色のうちの一色又は2色の材
料については、液滴吐出ヘッド22の走査方向が上記長
手方向Lと一致する態様で処理が行われ、残りの色の材
料については、液滴吐出ヘッド22の走査方向が上記短
辺方向Mと一致する態様で処理が行われる。
【0158】この場合に図1に示す方法と異なるのは、
マザー基板12の一端の外側位置から他端に向かう液滴
吐出ヘッド22の長手方向L又は短辺方向Mに沿った走
査が終了し、マザー基板12の他端の外側位置にて送り
動作が行われた後、そのまま、マザー基板12の他端の
外側位置から走査方向(長手方向L又は短辺方向M)を
前回とは逆向きにして液滴吐出ヘッド22が走査され、
液滴が吐出されるようになっていることである。このよ
うな動作を繰り返すことによって、液滴吐出ヘッド22
は、マザー基板12上を交互に反対向きに走査していく
ので、液滴吐出ヘッド22の復帰動作が不要となり、よ
り効率的に処理を行っていくことができる。
マザー基板12の一端の外側位置から他端に向かう液滴
吐出ヘッド22の長手方向L又は短辺方向Mに沿った走
査が終了し、マザー基板12の他端の外側位置にて送り
動作が行われた後、そのまま、マザー基板12の他端の
外側位置から走査方向(長手方向L又は短辺方向M)を
前回とは逆向きにして液滴吐出ヘッド22が走査され、
液滴が吐出されるようになっていることである。このよ
うな動作を繰り返すことによって、液滴吐出ヘッド22
は、マザー基板12上を交互に反対向きに走査していく
ので、液滴吐出ヘッド22の復帰動作が不要となり、よ
り効率的に処理を行っていくことができる。
【0159】上述の図1及び図2に示す処理態様の詳細
において、マザー基板12におけるフィルタエレメント
形成領域(単位領域)11の形成ピッチが長手方向Lと
短辺方向Mとで異なるということが一般的に起こり得
る。このような場合には、同じ液滴吐出ヘッド22を用
いて長手方向Lへの走査を行う場合と、短辺方向Mへの
走査を行う場合とでは、図1及び図2に示すように、液
滴吐出ヘッド22の基準方向Sと、走査方向X(図示例
では長手方向L又は短辺方向Mと一致する。)との間の
角度φ1,φ2を相互に変更すればよい。
において、マザー基板12におけるフィルタエレメント
形成領域(単位領域)11の形成ピッチが長手方向Lと
短辺方向Mとで異なるということが一般的に起こり得
る。このような場合には、同じ液滴吐出ヘッド22を用
いて長手方向Lへの走査を行う場合と、短辺方向Mへの
走査を行う場合とでは、図1及び図2に示すように、液
滴吐出ヘッド22の基準方向Sと、走査方向X(図示例
では長手方向L又は短辺方向Mと一致する。)との間の
角度φ1,φ2を相互に変更すればよい。
【0160】(処理態様1の詳細の別の変形例)図3
は、上記とは異なる液滴吐出ヘッド22の走査態様を示
す説明図である。なお、図3においては、図示の都合
上、送り方向に移動していくときの液滴吐出ヘッド22
の位置を走査方向にずらして示してあり、これらは、必
ずしも各走査における走査開始位置が異なることを意味
しない。この例においては、一つのフィルタエレメント
形成領域7に対して液滴吐出ヘッド22から吐出される
インク(フィルタエレメント材料)の液滴8をN滴(図
示例では4滴)着弾させることによってフィルタエレメ
ント3を形成することができるように、液滴吐出ヘッド
22から吐出される液滴8の量と、フィルタエレメント
3の体積とが予め設定されている。
は、上記とは異なる液滴吐出ヘッド22の走査態様を示
す説明図である。なお、図3においては、図示の都合
上、送り方向に移動していくときの液滴吐出ヘッド22
の位置を走査方向にずらして示してあり、これらは、必
ずしも各走査における走査開始位置が異なることを意味
しない。この例においては、一つのフィルタエレメント
形成領域7に対して液滴吐出ヘッド22から吐出される
インク(フィルタエレメント材料)の液滴8をN滴(図
示例では4滴)着弾させることによってフィルタエレメ
ント3を形成することができるように、液滴吐出ヘッド
22から吐出される液滴8の量と、フィルタエレメント
3の体積とが予め設定されている。
【0161】この場合には、液滴吐出ヘッド22の走査
方向Xが短辺方向Mであるとき、液滴吐出ヘッド22の
ノズル列28の幅Wlに対して、各走査の間に行われる
送り動作の送り移動量ΔSl=Wl/N(図示例ではW
l/4)とする。また、液滴吐出ヘッド22の走査方向
Xが長辺方向Lであるとき、液滴吐出ヘッド22のノズ
ル列28の幅Wmに対して、各走査の間に行われる送り
動作の送り移動量ΔSm=Wm/N(図示例ではWm/
4)とする。これによって、各走査によってフィルタエ
レメント形成領域7内に吐出されるフィルタエレメント
材料の量は全量の1/N(図示例では1/4)である
が、各フィルタエレメント形成領域7についてN回(図
示例では4回)ずつ液滴8が吐出されることになるの
で、各フィルタエレメント形成領域7において全量のフ
ィルタエレメント材料が充填されることになる。
方向Xが短辺方向Mであるとき、液滴吐出ヘッド22の
ノズル列28の幅Wlに対して、各走査の間に行われる
送り動作の送り移動量ΔSl=Wl/N(図示例ではW
l/4)とする。また、液滴吐出ヘッド22の走査方向
Xが長辺方向Lであるとき、液滴吐出ヘッド22のノズ
ル列28の幅Wmに対して、各走査の間に行われる送り
動作の送り移動量ΔSm=Wm/N(図示例ではWm/
4)とする。これによって、各走査によってフィルタエ
レメント形成領域7内に吐出されるフィルタエレメント
材料の量は全量の1/N(図示例では1/4)である
が、各フィルタエレメント形成領域7についてN回(図
示例では4回)ずつ液滴8が吐出されることになるの
で、各フィルタエレメント形成領域7において全量のフ
ィルタエレメント材料が充填されることになる。
【0162】なお、この例において、図2に示す例と同
様に、液滴吐出ヘッド22をマザー基板12に対して往
復走査させ、相互に逆向きに走査している際にも液滴8
が吐出されるようにしてもよい。
様に、液滴吐出ヘッド22をマザー基板12に対して往
復走査させ、相互に逆向きに走査している際にも液滴8
が吐出されるようにしてもよい。
【0163】(処理態様2)上記の処理態様1では、図
24に示すように、複数種類のフィルタエレメント材料
13R,13G,13Bのそれぞれに対応する液滴吐出
装置16R,16G,16Bを複数段設置し、例えばマ
ザー基板12の供給姿勢を変えることによって、少なく
とも一段の液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)2
2の走査方向が他の段のそれと異なるようにしている。
しかし、本発明はこのような方法に限らず、例えば、一
つの液滴吐出装置において、複数種類のフィルタエレメ
ント材料を順次吐出させていくようにしてもよい。すな
わち、同じ液滴吐出装置において、途中でマザー基板1
2と液滴吐出ヘッドの走査方向との間の相対的な方向関
係を変更するのである。この場合、途中で液滴吐出ヘッ
ドの走査方向を変更することによって相対的な方向関係
を変更する方法がある。この場合には、例えば、液滴吐
出ヘッド(インクジェットヘッド)22を図9に示す走
査方向Xだけでなく、送り方向Yにも走査できるように
構成すればよい。一方、途中でマザー基板12の平面姿
勢を変更することによって相対的な方向関係を変更する
方法もある。本発明においては、いずれの方法を用いて
も構わないが、後者の方法については、図25を参照し
て以下により具体的に説明する。
24に示すように、複数種類のフィルタエレメント材料
13R,13G,13Bのそれぞれに対応する液滴吐出
装置16R,16G,16Bを複数段設置し、例えばマ
ザー基板12の供給姿勢を変えることによって、少なく
とも一段の液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)2
2の走査方向が他の段のそれと異なるようにしている。
しかし、本発明はこのような方法に限らず、例えば、一
つの液滴吐出装置において、複数種類のフィルタエレメ
ント材料を順次吐出させていくようにしてもよい。すな
わち、同じ液滴吐出装置において、途中でマザー基板1
2と液滴吐出ヘッドの走査方向との間の相対的な方向関
係を変更するのである。この場合、途中で液滴吐出ヘッ
ドの走査方向を変更することによって相対的な方向関係
を変更する方法がある。この場合には、例えば、液滴吐
出ヘッド(インクジェットヘッド)22を図9に示す走
査方向Xだけでなく、送り方向Yにも走査できるように
構成すればよい。一方、途中でマザー基板12の平面姿
勢を変更することによって相対的な方向関係を変更する
方法もある。本発明においては、いずれの方法を用いて
も構わないが、後者の方法については、図25を参照し
て以下により具体的に説明する。
【0164】図25は、図8及び図9に示す液滴吐出装
置16におけるテーブル49上にマザー基板12が載置
されている状態を示すものである。この実施形態の場合
には、マザー基板12の長手方向Lを走査方向Xに一致
させた状態(図25(a)及び(b)に示す状態)と、
マザー基板12の短辺方向Mを走査方向Xに一致させた
状態(図25(c)に示す状態)とを、テーブル49を
回転させることによって切り換えることができるように
している。これによって、マザー基板12に対して液滴
吐出ヘッド22の走査方向Xを相対的に90度回転させ
ることが可能になる。
置16におけるテーブル49上にマザー基板12が載置
されている状態を示すものである。この実施形態の場合
には、マザー基板12の長手方向Lを走査方向Xに一致
させた状態(図25(a)及び(b)に示す状態)と、
マザー基板12の短辺方向Mを走査方向Xに一致させた
状態(図25(c)に示す状態)とを、テーブル49を
回転させることによって切り換えることができるように
している。これによって、マザー基板12に対して液滴
吐出ヘッド22の走査方向Xを相対的に90度回転させ
ることが可能になる。
【0165】例えば、まず、図8に示す基板供給装置2
3によってマザー基板12をテーブル49上に供給す
る。このとき、図25(a)に示すように、テーブル4
9上に保持されたマザー基板12の長手方向Lが液滴吐
出装置16の液滴吐出ヘッド22の走査方向Xに一致す
るようにマザー基板12が供給される。そして、そのま
ま、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xに走査させなが
ら、ノズル27からフィルタエレメント材料13Rの液
滴を吐出させていく。そして、上記と同様に走査動作と
送り動作とを繰り返すことにより、必要とされる全ての
フィルタエレメント形成領域7に対して材料が充填さ
れ、それぞれにフィルタエレメント3Rが形成される。
3によってマザー基板12をテーブル49上に供給す
る。このとき、図25(a)に示すように、テーブル4
9上に保持されたマザー基板12の長手方向Lが液滴吐
出装置16の液滴吐出ヘッド22の走査方向Xに一致す
るようにマザー基板12が供給される。そして、そのま
ま、液滴吐出ヘッド22を走査方向Xに走査させなが
ら、ノズル27からフィルタエレメント材料13Rの液
滴を吐出させていく。そして、上記と同様に走査動作と
送り動作とを繰り返すことにより、必要とされる全ての
フィルタエレメント形成領域7に対して材料が充填さ
れ、それぞれにフィルタエレメント3Rが形成される。
【0166】次に、上記と同様の方法で、図25(b)
に示すように、同じ状態において液滴吐出ヘッド22か
らフィルタエレメント材料13Gが吐出される。このと
き、上記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すこと
により、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領
域7に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレ
メント3Gが形成される。
に示すように、同じ状態において液滴吐出ヘッド22か
らフィルタエレメント材料13Gが吐出される。このと
き、上記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すこと
により、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領
域7に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレ
メント3Gが形成される。
【0167】その後、図25(c)に示すように、テー
ブル49は90度回転される。これによって、テーブル
49上のマザー基板12は、その短辺方向Mが液滴吐出
ヘッド22の走査方向Xに一致する平面姿勢で保持され
る。そして、この状態で、上記と同様にフィルタエレメ
ント材料13Bが液滴吐出ヘッド22から吐出され、上
記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すことによ
り、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領域7
に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレメン
ト3Bが形成される。
ブル49は90度回転される。これによって、テーブル
49上のマザー基板12は、その短辺方向Mが液滴吐出
ヘッド22の走査方向Xに一致する平面姿勢で保持され
る。そして、この状態で、上記と同様にフィルタエレメ
ント材料13Bが液滴吐出ヘッド22から吐出され、上
記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すことによ
り、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領域7
に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレメン
ト3Bが形成される。
【0168】このとき、上記の液滴吐出ヘッド22のよ
うに単一のフィルタエレメント材料を吐出することので
きる液滴吐出ヘッドを用いる場合には、上記3種のフィ
ルタエレメント材料13R,13G,13Bをそれぞれ
吐出可能な3つのインクジェットヘッドを用意し、それ
らを順次用いて上記25(a)〜(c)の3段階の処理
を行うことができる。また、図16に示す液滴吐出ヘッ
ド22Bでは、3つのインク供給装置37R,37G,
37Bからフィルタエレメント材料13R,13G,1
3Bが供給されるように構成され、これらの3種の材料
が3列のノズル列28R,28G,28Bに属するノズ
ル27から吐出されるように構成されている。したがっ
て、この液滴吐出ヘッド22Bの場合には、一つでも上
記の3段階の処理を実施することが可能になる。
うに単一のフィルタエレメント材料を吐出することので
きる液滴吐出ヘッドを用いる場合には、上記3種のフィ
ルタエレメント材料13R,13G,13Bをそれぞれ
吐出可能な3つのインクジェットヘッドを用意し、それ
らを順次用いて上記25(a)〜(c)の3段階の処理
を行うことができる。また、図16に示す液滴吐出ヘッ
ド22Bでは、3つのインク供給装置37R,37G,
37Bからフィルタエレメント材料13R,13G,1
3Bが供給されるように構成され、これらの3種の材料
が3列のノズル列28R,28G,28Bに属するノズ
ル27から吐出されるように構成されている。したがっ
て、この液滴吐出ヘッド22Bの場合には、一つでも上
記の3段階の処理を実施することが可能になる。
【0169】なお、この処理態様2に関する詳細につい
ては、上記処理態様1において図1乃至図3を参照して
説明した各方法を同様に適用することができる。
ては、上記処理態様1において図1乃至図3を参照して
説明した各方法を同様に適用することができる。
【0170】(処理態様3)上記の図3を参照して説明
した方法では、一つのフィルタエレメント形成領域7内
に複数の液滴を吐出する方法について説明したが、この
場合、上記のフィルタエレメント材料13R,13G,
13Bの少なくともいずれか一つを吐出するときに、一
つのフィルタエレメント形成領域7に吐出される複数の
液滴のうち、一部の液滴を吐出する際のマザー基板12
に対する走査方向と、残りの液滴を吐出する際のマザー
基板12に対する走査方向とを変えることも可能であ
る。このようにすると、一つのフィルタエレメント形成
領域7内に複数の液滴を充填することによるインク量の
ばらつきの低減効果に加えて、走査方向に起因して生ず
る色ムラの低減を図ることが可能になる。
した方法では、一つのフィルタエレメント形成領域7内
に複数の液滴を吐出する方法について説明したが、この
場合、上記のフィルタエレメント材料13R,13G,
13Bの少なくともいずれか一つを吐出するときに、一
つのフィルタエレメント形成領域7に吐出される複数の
液滴のうち、一部の液滴を吐出する際のマザー基板12
に対する走査方向と、残りの液滴を吐出する際のマザー
基板12に対する走査方向とを変えることも可能であ
る。このようにすると、一つのフィルタエレメント形成
領域7内に複数の液滴を充填することによるインク量の
ばらつきの低減効果に加えて、走査方向に起因して生ず
る色ムラの低減を図ることが可能になる。
【0171】図26は、上記のように一つのフィルタエ
レメント形成領域7内に複数の同一の材料で構成される
液滴を吐出する場合の工程例を示すものである。例え
ば、図26(a)に示すように、フィルタエレメント形
成領域7に吐出されるN個(図示例では4個)の液滴8
のうちの一部(図示例では2個)の液滴については、マ
ザー基板12の長手方向Lが走査方向Xに一致するよう
にマザー基板12の平面姿勢を保持した状態で、インク
ジェットヘッドを走査しながら吐出される。一方、図2
6(b)に示すように、残り(図示例では2個)の液滴
8については、マザー基板12の短辺方向Mが走査方向
Xに一致するようにマザー基板12の平面姿勢を保持し
た状態で、インクジェットヘッドを走査しながら吐出さ
れる。
レメント形成領域7内に複数の同一の材料で構成される
液滴を吐出する場合の工程例を示すものである。例え
ば、図26(a)に示すように、フィルタエレメント形
成領域7に吐出されるN個(図示例では4個)の液滴8
のうちの一部(図示例では2個)の液滴については、マ
ザー基板12の長手方向Lが走査方向Xに一致するよう
にマザー基板12の平面姿勢を保持した状態で、インク
ジェットヘッドを走査しながら吐出される。一方、図2
6(b)に示すように、残り(図示例では2個)の液滴
8については、マザー基板12の短辺方向Mが走査方向
Xに一致するようにマザー基板12の平面姿勢を保持し
た状態で、インクジェットヘッドを走査しながら吐出さ
れる。
【0172】このようにすると、各フィルタエレメント
形成領域7において収容される液滴8の一部は残りに対
して異なる走査方向でヘッド走査が行われながら吐出さ
れたものであるので、走査方向に起因する材料のばらつ
きはさらに低減され、そこに形成されるフィルタエレメ
ント3の縞状の色ムラも低減される。
形成領域7において収容される液滴8の一部は残りに対
して異なる走査方向でヘッド走査が行われながら吐出さ
れたものであるので、走査方向に起因する材料のばらつ
きはさらに低減され、そこに形成されるフィルタエレメ
ント3の縞状の色ムラも低減される。
【0173】(処理態様3の詳細)上記処理態様3より
具体的な方法の詳細について、図4を参照して説明す
る。なお、図4においては、図示の都合上、送り方向に
移動していくときの液滴吐出ヘッド22の位置を走査方
向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査に
おける走査開始位置が異なることを意味しない。この例
では、図26(a)に示す処理段階においては、液滴吐
出ヘッド22における短辺方向Mの幅成分Wmに対し
て、送り移動量ΔSm=Wm/I(図示例ではWm/
2)とし、上記と同様の走査方向X(=長手方向L)へ
の走査動作と、送り方向Y(=短辺方向M)への送り動
作とを繰り返して液滴8を吐出していく。また、図26
(b)に示す処理段階においては、液滴吐出ヘッド22
における長手方向Lの幅成分Wlに対して、送り移動量
ΔSl=Wl/K(図示例ではWl/2)とし、上記と
同様の走査方向X(=短辺方向M)への走査動作と、送
り方向Y(=長手方向L)への送り動作とを繰り返して
液滴8を吐出していく。ここで、一つのフィルタエレメ
ント形成領域7に吐出すべき液滴8の数はN(図示例で
は4)であり、N=I+Kである。
具体的な方法の詳細について、図4を参照して説明す
る。なお、図4においては、図示の都合上、送り方向に
移動していくときの液滴吐出ヘッド22の位置を走査方
向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査に
おける走査開始位置が異なることを意味しない。この例
では、図26(a)に示す処理段階においては、液滴吐
出ヘッド22における短辺方向Mの幅成分Wmに対し
て、送り移動量ΔSm=Wm/I(図示例ではWm/
2)とし、上記と同様の走査方向X(=長手方向L)へ
の走査動作と、送り方向Y(=短辺方向M)への送り動
作とを繰り返して液滴8を吐出していく。また、図26
(b)に示す処理段階においては、液滴吐出ヘッド22
における長手方向Lの幅成分Wlに対して、送り移動量
ΔSl=Wl/K(図示例ではWl/2)とし、上記と
同様の走査方向X(=短辺方向M)への走査動作と、送
り方向Y(=長手方向L)への送り動作とを繰り返して
液滴8を吐出していく。ここで、一つのフィルタエレメ
ント形成領域7に吐出すべき液滴8の数はN(図示例で
は4)であり、N=I+Kである。
【0174】以上説明したカラーフィルタの製造方法に
おいては、カラーフィルタを構成する複数の色相のう
ち、走査方向に起因して生ずる縞状の色ムラが最も目立
ち易い色相だけを他の色相と異なる方向に走査しながら
形成することが好ましい。これによって、他の色相の色
ムラとの混合によって全体として認められる縞状の色ム
ラを低減することができる。例えば、上記R,G,Bの
3色の場合には、B(青)のフィルタエレメント3Bに
おいて走査方向に起因する縞状の色ムラが最も強く表れ
るので、Bのフィルタエレメント3Bの形成時の液滴吐
出ヘッドの走査方向を、他のR(赤)及びG(緑)のフ
ィルタエレメント3R,3Gの形成時の液滴吐出ヘッド
の走査方向と異なる方向(直交する方向)に設定するこ
とが望ましい。
おいては、カラーフィルタを構成する複数の色相のう
ち、走査方向に起因して生ずる縞状の色ムラが最も目立
ち易い色相だけを他の色相と異なる方向に走査しながら
形成することが好ましい。これによって、他の色相の色
ムラとの混合によって全体として認められる縞状の色ム
ラを低減することができる。例えば、上記R,G,Bの
3色の場合には、B(青)のフィルタエレメント3Bに
おいて走査方向に起因する縞状の色ムラが最も強く表れ
るので、Bのフィルタエレメント3Bの形成時の液滴吐
出ヘッドの走査方向を、他のR(赤)及びG(緑)のフ
ィルタエレメント3R,3Gの形成時の液滴吐出ヘッド
の走査方向と異なる方向(直交する方向)に設定するこ
とが望ましい。
【0175】なお、上記の各処理態様は、カラーフィル
タの製造に限定されることなく、後述するEL装置の製
造にも用いることができ、さらに、後述する種々の成膜
方法及び成膜装置の構成としても採用することができ
る。また、上記の各処理態様においては、液滴吐出ヘッ
ド22をその吐出幅分だけ送りながら繰り返し走査して
いくものであるが、液滴吐出ヘッド22に設けられた複
数のノズル間の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを
低減するために、液滴吐出ヘッド22を上記吐出幅より
も小さい間隔で送りながら繰り返し走査を行う誤差分散
方式を採用してもよい。この場合には、成膜ムラをさら
に低減できる。
タの製造に限定されることなく、後述するEL装置の製
造にも用いることができ、さらに、後述する種々の成膜
方法及び成膜装置の構成としても採用することができ
る。また、上記の各処理態様においては、液滴吐出ヘッ
ド22をその吐出幅分だけ送りながら繰り返し走査して
いくものであるが、液滴吐出ヘッド22に設けられた複
数のノズル間の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを
低減するために、液滴吐出ヘッド22を上記吐出幅より
も小さい間隔で送りながら繰り返し走査を行う誤差分散
方式を採用してもよい。この場合には、成膜ムラをさら
に低減できる。
【0176】[カラーフィルタを備えた表示装置(電気
光学装置)及びその製造方法]図17は、本発明に係る
表示装置(電気光学装置)の製造方法の一例としての、
液晶装置の製造方法の実施形態を示している。また、図
18は、当該製造方法によって製造される表示装置(電
気光学装置)の一例としての液晶装置の実施形態を示し
ている。さらに、図19は、図18のIX−IX線に沿った
液晶装置の断面構造を示している。最初に、液晶装置の
一例の構造について図18及び図19を参照して説明す
る。なお、この液晶装置の一例は、単純マトリクス方式
でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置であ
る。
光学装置)及びその製造方法]図17は、本発明に係る
表示装置(電気光学装置)の製造方法の一例としての、
液晶装置の製造方法の実施形態を示している。また、図
18は、当該製造方法によって製造される表示装置(電
気光学装置)の一例としての液晶装置の実施形態を示し
ている。さらに、図19は、図18のIX−IX線に沿った
液晶装置の断面構造を示している。最初に、液晶装置の
一例の構造について図18及び図19を参照して説明す
る。なお、この液晶装置の一例は、単純マトリクス方式
でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置であ
る。
【0177】図18に示すように、液晶装置101は、
液晶パネル102に半導体チップ等として構成された液
晶駆動用IC103a及び液晶駆動用IC103bを実
装し、配線接続要素としてのFPC(フレキシブル印刷
回路)104を液晶パネル102に接続したものであ
る。液晶装置101は、液晶パネル102の裏面側に照
明装置106をバックライトとして設けることによって
構成されている。
液晶パネル102に半導体チップ等として構成された液
晶駆動用IC103a及び液晶駆動用IC103bを実
装し、配線接続要素としてのFPC(フレキシブル印刷
回路)104を液晶パネル102に接続したものであ
る。液晶装置101は、液晶パネル102の裏面側に照
明装置106をバックライトとして設けることによって
構成されている。
【0178】液晶パネル102は、第1基板107aと
第2基板107bとをシール材108によって貼り合わ
せることによって形成される。シール材108は、例え
ば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第1
基板107a又は第2基板107bの内側表面に環状
(周回状)に付着することによって形成される。また、
シール材108の内部には図19に示すように導電性材
料によって球状又は円筒状に形成された導通材109が
分散状態で含まれる。
第2基板107bとをシール材108によって貼り合わ
せることによって形成される。シール材108は、例え
ば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第1
基板107a又は第2基板107bの内側表面に環状
(周回状)に付着することによって形成される。また、
シール材108の内部には図19に示すように導電性材
料によって球状又は円筒状に形成された導通材109が
分散状態で含まれる。
【0179】図19に示すように、第1基板107aは
透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材111aを有する。この基材111aの
内側表面(図19の上側表面)には反射膜112が形成
されている。また、その上に絶縁膜113が積層され、
その上に第1電極114aが矢印D方向から見てストラ
イプ状(図18参照)に形成されている。さらにその上
には配向膜116aが形成される。また、基材111a
の外側表面(図19の下側表面)には偏光板117aが
貼着などによって装着される。
透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材111aを有する。この基材111aの
内側表面(図19の上側表面)には反射膜112が形成
されている。また、その上に絶縁膜113が積層され、
その上に第1電極114aが矢印D方向から見てストラ
イプ状(図18参照)に形成されている。さらにその上
には配向膜116aが形成される。また、基材111a
の外側表面(図19の下側表面)には偏光板117aが
貼着などによって装着される。
【0180】図18においては、第1電極114aの配
列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大
幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれてい
る第1電極114aの本数よりも実際には多数の第1電
極114aが基材111上に形成されている。
列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大
幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれてい
る第1電極114aの本数よりも実際には多数の第1電
極114aが基材111上に形成されている。
【0181】図19に示すように、第2基板107bは
透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材111bを有する。この基材111bの
内側表面(図19の下側表面)にはカラーフィルタ11
8が形成され、その上に第2電極114が上記第1電極
114aと直交する方向へ矢印Dから見てストライプ状
(図18参照)に形成されている。さらにその上には配
向膜116bが形成されている。また、基材111bの
外側表面(図19の上側表面)には偏光板117bが貼
着などによって装着されている。
透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成さ
れた板状の基材111bを有する。この基材111bの
内側表面(図19の下側表面)にはカラーフィルタ11
8が形成され、その上に第2電極114が上記第1電極
114aと直交する方向へ矢印Dから見てストライプ状
(図18参照)に形成されている。さらにその上には配
向膜116bが形成されている。また、基材111bの
外側表面(図19の上側表面)には偏光板117bが貼
着などによって装着されている。
【0182】図18においては、第2電極114bの配
列を判り易くするために、第1電極の場合と同様に、そ
れらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したが
って、図面上で描かれている第1電極114aの本数よ
りも実際には多数の第1電極114aが基材111上に
形成されている。
列を判り易くするために、第1電極の場合と同様に、そ
れらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したが
って、図面上で描かれている第1電極114aの本数よ
りも実際には多数の第1電極114aが基材111上に
形成されている。
【0183】図19に示すように、第1基板107a、
第2基板107b及びシール材108によって囲まれる
間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶L、例えばST
N(スーパー捩れネマチック)液晶、が封入されてい
る。第1基板107a又は第2基板107bの内側表面
には微小で球形のスペーサ119が多数分散され、これ
らのスペーサ119がセルギャップ内に存在することに
より、そのセルギャップが均一に維持されるようになっ
ている。
第2基板107b及びシール材108によって囲まれる
間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶L、例えばST
N(スーパー捩れネマチック)液晶、が封入されてい
る。第1基板107a又は第2基板107bの内側表面
には微小で球形のスペーサ119が多数分散され、これ
らのスペーサ119がセルギャップ内に存在することに
より、そのセルギャップが均一に維持されるようになっ
ている。
【0184】第1電極114aと第2電極114bとは
互いに直交する方向に伸びるように配設されている。そ
れらが平面的に交差する部分は、図19の矢印D方向か
ら見てドットマトリクス状に配列されている。そして、
そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドット
を構成する。カラーフィルタ118は、R(赤)・G
(緑)・B(青)の各色要素(フィルタエレメント)を
矢印D方向から見て所定のパターン、例えば、ストライ
プ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配
列させることによって構成されている。上記の一つの表
示ドットはR,G,Bのそれぞれ一つずつに対応してい
る。そして、R,G,Bの3色の表示ドットにより一つ
の画素(ピクセル)が構成されるようになっている。
互いに直交する方向に伸びるように配設されている。そ
れらが平面的に交差する部分は、図19の矢印D方向か
ら見てドットマトリクス状に配列されている。そして、
そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドット
を構成する。カラーフィルタ118は、R(赤)・G
(緑)・B(青)の各色要素(フィルタエレメント)を
矢印D方向から見て所定のパターン、例えば、ストライ
プ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配
列させることによって構成されている。上記の一つの表
示ドットはR,G,Bのそれぞれ一つずつに対応してい
る。そして、R,G,Bの3色の表示ドットにより一つ
の画素(ピクセル)が構成されるようになっている。
【0185】マトリクス状に配列される表示ドットを選
択的にオン状態にすることにより、液晶パネル102の
第2基板107bの外側に文字、数字などといった像が
表示される。このようにして像が表示される領域が有効
表示領域であり、図18及び図19において矢印Vによ
って示される。
択的にオン状態にすることにより、液晶パネル102の
第2基板107bの外側に文字、数字などといった像が
表示される。このようにして像が表示される領域が有効
表示領域であり、図18及び図19において矢印Vによ
って示される。
【0186】図19に示すように、反射膜112はAP
C合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によっ
て形成される。また、この反射膜112には、第1電極
114aと第2電極114bの交点である各表示ドット
に対応する位置に開口121が形成されている。したが
って、開口121は図19の矢印Dから見て表示ドット
と同様にマトリクス状に配列されている。
C合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によっ
て形成される。また、この反射膜112には、第1電極
114aと第2電極114bの交点である各表示ドット
に対応する位置に開口121が形成されている。したが
って、開口121は図19の矢印Dから見て表示ドット
と同様にマトリクス状に配列されている。
【0187】第1電極114aおよび第2電極114b
は、例えば、透明導電材であるITO(インジウムスズ
酸化物)によって形成される。また、配向膜116a,
116bは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付
着させることによって形成される。これらの配向膜11
6a,116bがラビング処理を受けることにより、第
1基板107a及び第2基板107bの表面上における
液晶分子の初期配向が決定される。
は、例えば、透明導電材であるITO(インジウムスズ
酸化物)によって形成される。また、配向膜116a,
116bは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付
着させることによって形成される。これらの配向膜11
6a,116bがラビング処理を受けることにより、第
1基板107a及び第2基板107bの表面上における
液晶分子の初期配向が決定される。
【0188】図18に示すように、第1基板107aは
第2基板107bよりも広い面積に形成されており、こ
れらの基板をシール材108によって貼り合わせたと
き、第1基板107aは第2基板107bの外側へ張り
出す基板張出部107cを有する。そして、この基板張
出部107cには、第1電極114aから伸び出る引出
し配線114c、シール材108の内部に存在する導通
材109(図19参照)を介して第2基板107b上の
第2電極114bと導通する引出し配線114d、液晶
駆動用IC103aの入力用バンプ、すなわち入力用端
子に接続される金属配線114e、及び、液晶駆動用I
C103bの入力用バンプに接続される金属配線114
fなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成さ
れている。
第2基板107bよりも広い面積に形成されており、こ
れらの基板をシール材108によって貼り合わせたと
き、第1基板107aは第2基板107bの外側へ張り
出す基板張出部107cを有する。そして、この基板張
出部107cには、第1電極114aから伸び出る引出
し配線114c、シール材108の内部に存在する導通
材109(図19参照)を介して第2基板107b上の
第2電極114bと導通する引出し配線114d、液晶
駆動用IC103aの入力用バンプ、すなわち入力用端
子に接続される金属配線114e、及び、液晶駆動用I
C103bの入力用バンプに接続される金属配線114
fなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成さ
れている。
【0189】このとき、第1電極114aから伸びる引
出し配線114c及び第2電極114bに通電する引出
し配線114dは、それらの電極と同じ材料であるIT
Oによって形成される。また、液晶駆動用IC103
a,103bの入力側の配線である金属配線114e,
114fは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばAPC
合金によって形成される。このAPC合金は、主として
Agを含み、これにPd及びCuを添加した合金、例え
ば、Ag;98wt%、Pd;1wt%、Cu;1wt
%の組成を有する合金である。
出し配線114c及び第2電極114bに通電する引出
し配線114dは、それらの電極と同じ材料であるIT
Oによって形成される。また、液晶駆動用IC103
a,103bの入力側の配線である金属配線114e,
114fは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばAPC
合金によって形成される。このAPC合金は、主として
Agを含み、これにPd及びCuを添加した合金、例え
ば、Ag;98wt%、Pd;1wt%、Cu;1wt
%の組成を有する合金である。
【0190】液晶駆動用IC103a,103bは、A
CF(異方性導電膜)122によって基板張出部107
cの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形
態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構
造、いわゆるCOG(チップオングラス)方式の液晶パ
ネルとして形成されている。このCOG方式の実装構造
においては、ACF122の内部に含まれる導電粒子に
よって、液晶駆動用IC103a,103bの入力側バ
ンプと金属配線114e,114fとが導電接続され、
液晶駆動用IC103a,103bの出力側バンプと引
出し配線114c,114dとが導電接続される。
CF(異方性導電膜)122によって基板張出部107
cの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形
態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構
造、いわゆるCOG(チップオングラス)方式の液晶パ
ネルとして形成されている。このCOG方式の実装構造
においては、ACF122の内部に含まれる導電粒子に
よって、液晶駆動用IC103a,103bの入力側バ
ンプと金属配線114e,114fとが導電接続され、
液晶駆動用IC103a,103bの出力側バンプと引
出し配線114c,114dとが導電接続される。
【0191】図18において、FPC104は、可撓性
の樹脂フィルム123と、チップ部品124を含んで構
成された回路126と、金属配線端子127とを有す
る。回路126は樹脂フィルム123の表面に半田付け
その他の導電接続手法によって直接に搭載される。ま
た、金属配線端子127はAPC合金、Cr,Cuその
他の導電材料によって形成される。FPC104のうち
金属配線端子127が形成された部分は、第1基板10
7aのうち金属配線114e,114fが形成された部
分にACF122によって接続される。そして、ACF
122の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属
配線114e,114fとFPC側の金属配線端子12
7とが導通する。
の樹脂フィルム123と、チップ部品124を含んで構
成された回路126と、金属配線端子127とを有す
る。回路126は樹脂フィルム123の表面に半田付け
その他の導電接続手法によって直接に搭載される。ま
た、金属配線端子127はAPC合金、Cr,Cuその
他の導電材料によって形成される。FPC104のうち
金属配線端子127が形成された部分は、第1基板10
7aのうち金属配線114e,114fが形成された部
分にACF122によって接続される。そして、ACF
122の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属
配線114e,114fとFPC側の金属配線端子12
7とが導通する。
【0192】FPC104の反対側の辺端部には外部接
続端子131が形成され、この外部接続端子131が図
示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路
から伝送される信号に基づいて液晶駆動用IC103
a,103bが駆動され、第1電極114a及び第2電
極114bの一方に走査信号が供給され、他方にデータ
信号が供給される。これにより、有効表示領域V内に配
列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、
液晶Lの配向が個々に制御される。
続端子131が形成され、この外部接続端子131が図
示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路
から伝送される信号に基づいて液晶駆動用IC103
a,103bが駆動され、第1電極114a及び第2電
極114bの一方に走査信号が供給され、他方にデータ
信号が供給される。これにより、有効表示領域V内に配
列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、
液晶Lの配向が個々に制御される。
【0193】図18に示す照明装置106は、図19に
示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光
体132と、この導光体132の光出射面132bに設
けられた拡散シート133と、導光体132の光出射面
132bの反対側に設けられた反射シート134と、発
光源としてのLED(発光ダイオード)136とを有す
る。
示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光
体132と、この導光体132の光出射面132bに設
けられた拡散シート133と、導光体132の光出射面
132bの反対側に設けられた反射シート134と、発
光源としてのLED(発光ダイオード)136とを有す
る。
【0194】LED136はLED基板137に支持さ
れ、そのLED基板137は、例えば導光体132と一
体に形成された支持部(図示せず)に装着される。LE
D基板137が支持部の所定位置に装着されることによ
り、LED136が導光体132の側辺端面である光取
込み面132aに対向する位置に置かれる。なお、符号
138は液晶パネル102に加わる衝撃を緩衝するため
の緩衝部材を示している。
れ、そのLED基板137は、例えば導光体132と一
体に形成された支持部(図示せず)に装着される。LE
D基板137が支持部の所定位置に装着されることによ
り、LED136が導光体132の側辺端面である光取
込み面132aに対向する位置に置かれる。なお、符号
138は液晶パネル102に加わる衝撃を緩衝するため
の緩衝部材を示している。
【0195】LED136が発光すると、その光は光取
込み面132aから取り込まれて導光体132の内部へ
導かれ、反射シート134や導光体132の壁面で反射
しながら伝播する間に光出射面132bから拡散シート
133を通して外部へ平面光として出射される。
込み面132aから取り込まれて導光体132の内部へ
導かれ、反射シート134や導光体132の壁面で反射
しながら伝播する間に光出射面132bから拡散シート
133を通して外部へ平面光として出射される。
【0196】以上説明した液晶装置101は、太陽光、
室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図19
において第2基板107b側から外部光が液晶パネル1
02の内部へ取り込まれ、その光が液晶Lを通過した後
に反射膜112で反射して再び液晶Lへ供給される。液
晶Lは、これを挟持する電極114a,114bによっ
てR,G,Bの表示ドット毎に配向制御される。したが
って、液晶Lへ供給された光は表示ドット毎に変調さ
れ、その変調によって偏光板117bを通過する光と通
過できない光とによって液晶パネル102の外部に文
字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行
われる。
室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図19
において第2基板107b側から外部光が液晶パネル1
02の内部へ取り込まれ、その光が液晶Lを通過した後
に反射膜112で反射して再び液晶Lへ供給される。液
晶Lは、これを挟持する電極114a,114bによっ
てR,G,Bの表示ドット毎に配向制御される。したが
って、液晶Lへ供給された光は表示ドット毎に変調さ
れ、その変調によって偏光板117bを通過する光と通
過できない光とによって液晶パネル102の外部に文
字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行
われる。
【0197】他方、外部光の光量が充分に得られない場
合には、LED136が発光して導光体132の光出射
面132bから平面光が出射され、その光が反射膜11
2に形成された開口121を通して液晶Lへ供給され
る。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光
が、配向制御される液晶Lによって表示ドット毎に変調
される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表
示が行われる。
合には、LED136が発光して導光体132の光出射
面132bから平面光が出射され、その光が反射膜11
2に形成された開口121を通して液晶Lへ供給され
る。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光
が、配向制御される液晶Lによって表示ドット毎に変調
される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表
示が行われる。
【0198】上記構成の液晶装置101は、例えば、図
17に示す製造方法によって製造される。この製造方法
においては、工程P1〜P6の一連の工程が第1基板1
07aを形成する工程であり、工程P11〜工程P14
の一連の工程が第2基板107bを形成する工程であ
る。第1基板形成工程と第2基板形成工程は、通常、そ
れぞれが独自に行われる。
17に示す製造方法によって製造される。この製造方法
においては、工程P1〜P6の一連の工程が第1基板1
07aを形成する工程であり、工程P11〜工程P14
の一連の工程が第2基板107bを形成する工程であ
る。第1基板形成工程と第2基板形成工程は、通常、そ
れぞれが独自に行われる。
【0199】まず、第1基板形成工程では、透光性ガラ
ス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積
のマザー原基板の表面に液晶パネル102の複数個分の
反射膜112をフォトリソグラフィ法などを用いて形成
する。さらに、その上に絶縁膜113を周知の成膜法を
用いて成形する(工程P1)。次に、フォトリソグラフ
ィ法などを用いて第1電極114a、引出し配線114
c,114dおよび金属配線114e,114fを形成
する(工程P2)。
ス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積
のマザー原基板の表面に液晶パネル102の複数個分の
反射膜112をフォトリソグラフィ法などを用いて形成
する。さらに、その上に絶縁膜113を周知の成膜法を
用いて成形する(工程P1)。次に、フォトリソグラフ
ィ法などを用いて第1電極114a、引出し配線114
c,114dおよび金属配線114e,114fを形成
する(工程P2)。
【0200】この後、第1電極114aの上に塗布、印
刷などによって配向膜116aを形成し(工程P3)、
さらにその配向膜116aに対してラビング処理を施す
ことにより液晶の初期配向を決定する(工程P4)。次
に、例えばスクリーン印刷などによってシール材108
を環状に形成し(工程P5)、さらにその上に球状のス
ペーサ119を分散する(工程P6)以上により、液晶
パネル102の第1基板107a上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第1基板が形成される。
刷などによって配向膜116aを形成し(工程P3)、
さらにその配向膜116aに対してラビング処理を施す
ことにより液晶の初期配向を決定する(工程P4)。次
に、例えばスクリーン印刷などによってシール材108
を環状に形成し(工程P5)、さらにその上に球状のス
ペーサ119を分散する(工程P6)以上により、液晶
パネル102の第1基板107a上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第1基板が形成される。
【0201】以上の第1基板形成工程とは別に、第2基
板形成工程(図17の工程P11〜工程P14)を実施
する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどに
よって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その
表面に液晶パネル102の複数個分のカラーフィルタ1
18を形成する(工程P11)。このカラーフィルタ1
18の形成工程は図6に示した製造方法を用いて行わ
れ、その製造方法中のR、G、Bの各色フィルタエレメ
ントの形成は図8の液滴吐出装置16を用いて図1乃至
図4などに示した液滴吐出ヘッド22の制御方法に従っ
て実行される。これらカラーフィルタの製造方法および
液滴吐出ヘッド22の制御方法は既に説明した内容と同
じであるので、それらの説明は省略する。
板形成工程(図17の工程P11〜工程P14)を実施
する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどに
よって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その
表面に液晶パネル102の複数個分のカラーフィルタ1
18を形成する(工程P11)。このカラーフィルタ1
18の形成工程は図6に示した製造方法を用いて行わ
れ、その製造方法中のR、G、Bの各色フィルタエレメ
ントの形成は図8の液滴吐出装置16を用いて図1乃至
図4などに示した液滴吐出ヘッド22の制御方法に従っ
て実行される。これらカラーフィルタの製造方法および
液滴吐出ヘッド22の制御方法は既に説明した内容と同
じであるので、それらの説明は省略する。
【0202】図6(d)に示すようにマザー基板12す
なわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ1すなわち
カラーフィルタ118が形成されると、次に、フォトリ
ソグラフィ法によって第2電極114bが形成される
(工程P12)。さらに、塗布、印刷などによって配向
膜116bが形成される(工程P13)。次に、その配
向膜116bに対してラビング処理が施されて液晶の初
期配向が決められる(工程P14)。以上により、液晶
パネル102の第2基板107b上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第2基板が形成される。
なわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ1すなわち
カラーフィルタ118が形成されると、次に、フォトリ
ソグラフィ法によって第2電極114bが形成される
(工程P12)。さらに、塗布、印刷などによって配向
膜116bが形成される(工程P13)。次に、その配
向膜116bに対してラビング処理が施されて液晶の初
期配向が決められる(工程P14)。以上により、液晶
パネル102の第2基板107b上のパネルパターンを
複数個分有する大面積のマザー第2基板が形成される。
【0203】以上により、大面積のマザー第1基板およ
びマザー第2基板が形成された後、それらのマザー基板
をシール材108を間に挟んでアライメント、すなわち
位置合わせした上で互いに貼り合わせる(工程P2
1)。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を
含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネ
ル構造体が形成される。
びマザー第2基板が形成された後、それらのマザー基板
をシール材108を間に挟んでアライメント、すなわち
位置合わせした上で互いに貼り合わせる(工程P2
1)。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を
含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネ
ル構造体が形成される。
【0204】次に、完成した空のパネル構造体の所定の
位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さら
にそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又
は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板を
ブレイク(破断)させることによって分断する(工程P
22)。これにより、各液晶パネル部分のシール材10
8の液晶注入用開口110(図18参照)が外部へ露出
する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成
される。
位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さら
にそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又
は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板を
ブレイク(破断)させることによって分断する(工程P
22)。これにより、各液晶パネル部分のシール材10
8の液晶注入用開口110(図18参照)が外部へ露出
する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成
される。
【0205】その後、露出した液晶注入用開口110を
通して各液晶パネル部分の内部に液晶Lを注入し、さら
に各液晶注入用開口110を樹脂などによって封止する
(工程P23)。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部
分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入する
ことによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を
貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パ
ネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空
状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に
短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気
圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大
気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通して
パネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶
パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注
入処理後の短冊状パネルは工程P24において洗浄処理
を受ける。
通して各液晶パネル部分の内部に液晶Lを注入し、さら
に各液晶注入用開口110を樹脂などによって封止する
(工程P23)。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部
分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入する
ことによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を
貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パ
ネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空
状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に
短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気
圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大
気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通して
パネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶
パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注
入処理後の短冊状パネルは工程P24において洗浄処理
を受ける。
【0206】その後、液晶注入および洗浄が終わった後
の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝
を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短
冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶
パネル102が個々に切り出される(工程P25)。こ
うして作製された個々の液晶パネル102に対して、図
18に示すように、液晶駆動用IC103a,103b
を実装し、照明装置106をバックライトとして装着
し、さらにFPC104を接続することにより、目標と
する液晶装置101が完成する(工程P26)。
の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝
を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短
冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶
パネル102が個々に切り出される(工程P25)。こ
うして作製された個々の液晶パネル102に対して、図
18に示すように、液晶駆動用IC103a,103b
を実装し、照明装置106をバックライトとして装着
し、さらにFPC104を接続することにより、目標と
する液晶装置101が完成する(工程P26)。
【0207】以上に説明した液晶装置及びその製造方法
は、特にカラーフィルタを製造する段階において、上述
のカラーフィルタ及びその製造方法に記述された複数の
方法のいずれかによって実施される。したがって、図5
(a)に示すカラーフィルタ1と同様に、図19に示す
カラーフィルタ118を製造する場合には、フィルタエ
レメント材料の液滴の走査方向が相互に異なる複数(実
施例では2つ)の方向で処理が行われ、その結果、個々
のフィルタエレメントが形成される。したがって、上記
と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラが低減される
ため、液晶装置の表示品位が向上する。
は、特にカラーフィルタを製造する段階において、上述
のカラーフィルタ及びその製造方法に記述された複数の
方法のいずれかによって実施される。したがって、図5
(a)に示すカラーフィルタ1と同様に、図19に示す
カラーフィルタ118を製造する場合には、フィルタエ
レメント材料の液滴の走査方向が相互に異なる複数(実
施例では2つ)の方向で処理が行われ、その結果、個々
のフィルタエレメントが形成される。したがって、上記
と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラが低減される
ため、液晶装置の表示品位が向上する。
【0208】また、上記の図3及び図4に示す方法でカ
ラーフィルタを製造する場合には、個々のフィルタエレ
メント3は、液滴吐出ヘッド22の1回の走査によって
形成されるのではなくて、複数回の走査によってN回
(例えば4回)、重ねてインク吐出を受けることにより
所定の膜厚に形成される。このため、仮に複数のノズル
27間においてインク吐出量にバラツキが存在する場合
でも、複数のフィルタエレメント3間で膜厚にバラツキ
が生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラもさらに
低減され、それ故、カラーフィルタの光透過特性を平面
的に均一にすることができる。
ラーフィルタを製造する場合には、個々のフィルタエレ
メント3は、液滴吐出ヘッド22の1回の走査によって
形成されるのではなくて、複数回の走査によってN回
(例えば4回)、重ねてインク吐出を受けることにより
所定の膜厚に形成される。このため、仮に複数のノズル
27間においてインク吐出量にバラツキが存在する場合
でも、複数のフィルタエレメント3間で膜厚にバラツキ
が生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラもさらに
低減され、それ故、カラーフィルタの光透過特性を平面
的に均一にすることができる。
【0209】また、本実施形態の液晶装置及びその製造
方法では、図8に示す液滴吐出装置16を用いることに
より液滴吐出ヘッド22を用いたインク吐出によってフ
ィルタエレメント3を形成するようにしているので、フ
ォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を
経る必要がなく、また材料を浪費することもない。
方法では、図8に示す液滴吐出装置16を用いることに
より液滴吐出ヘッド22を用いたインク吐出によってフ
ィルタエレメント3を形成するようにしているので、フ
ォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を
経る必要がなく、また材料を浪費することもない。
【0210】なお、上記実施形態では、表示装置として
液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記
と同様のカラーフィルタを備えた表示装置として、液晶
装置以外の他の電気光学装置、例えば、EL素子、プラ
ズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けた
ものに適用することも可能である。すなわち、例えばE
L素子の場合、EL発光機能を有する複数の表示ドット
に対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタ
を平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の
効果を得ることができる。
液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記
と同様のカラーフィルタを備えた表示装置として、液晶
装置以外の他の電気光学装置、例えば、EL素子、プラ
ズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けた
ものに適用することも可能である。すなわち、例えばE
L素子の場合、EL発光機能を有する複数の表示ドット
に対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタ
を平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の
効果を得ることができる。
【0211】[EL素子を用いた表示装置(電気光学装
置)及びその製造方法]図20は、本発明に係る表示装
置(電気光学装置)及びその製造方法の一例としてのE
L装置及びその製造方法の実施形態を示している。ま
た、図21はその製造方法の主要工程および最終的に得
られるEL装置の主要断面構造を示している。図21
(d)に示すように、EL装置201は、透明基板20
4上に画素電極202を形成し、各画素電極202間に
バンク205を矢印G方向から見て格子状に形成する。
それらの格子状凹部の中に、正孔注入層220を形成
し、矢印G方向から見てストライプ配列などといった所
定の配列となるようにR色発光層203R、G色発光層
203GおよびB色発光層203Bを各格子状凹部の中
に形成する。さらに、それらの上に対向電極213を形
成することによってEL装置201が形成される。
置)及びその製造方法]図20は、本発明に係る表示装
置(電気光学装置)及びその製造方法の一例としてのE
L装置及びその製造方法の実施形態を示している。ま
た、図21はその製造方法の主要工程および最終的に得
られるEL装置の主要断面構造を示している。図21
(d)に示すように、EL装置201は、透明基板20
4上に画素電極202を形成し、各画素電極202間に
バンク205を矢印G方向から見て格子状に形成する。
それらの格子状凹部の中に、正孔注入層220を形成
し、矢印G方向から見てストライプ配列などといった所
定の配列となるようにR色発光層203R、G色発光層
203GおよびB色発光層203Bを各格子状凹部の中
に形成する。さらに、それらの上に対向電極213を形
成することによってEL装置201が形成される。
【0212】上記画素電極202をTFD(薄膜ダイオ
ード)素子などといった2端子型のアクティブ素子によ
って駆動する場合には、上記対向電極213は矢印G方
向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極
202をTFT(薄膜トランジスタ)などといった3端
子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記
対向電極213は単一な面電極として形成される。
ード)素子などといった2端子型のアクティブ素子によ
って駆動する場合には、上記対向電極213は矢印G方
向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極
202をTFT(薄膜トランジスタ)などといった3端
子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記
対向電極213は単一な面電極として形成される。
【0213】各画素電極202と各対向電極213とに
よって挟まれる領域が1つの表示ドットとなり、R、
G、B3色の表示ドットが1つのユニットとなって1つ
の画素を形成する。各表示ドットを流れる電流を制御す
ることにより、複数の表示ドットのうちの希望するもの
を選択的に発光させ、これにより、矢印H方向に希望す
るフルカラー像を表示することができる。
よって挟まれる領域が1つの表示ドットとなり、R、
G、B3色の表示ドットが1つのユニットとなって1つ
の画素を形成する。各表示ドットを流れる電流を制御す
ることにより、複数の表示ドットのうちの希望するもの
を選択的に発光させ、これにより、矢印H方向に希望す
るフルカラー像を表示することができる。
【0214】上記EL装置201は、例えば、図20に
示す製造方法によって製造される。すなわち、工程P5
1および図21(a)のように、透明基板204の表面
にTFD素子やTFT素子といった能動素子を形成し、
さらに画素電極202を形成する。形成方法としては、
例えばフォトリソグラフィ法、真空状着法、スパッタリ
ング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素
電極202の材料としてはITO、酸化スズ、酸化イン
ジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることがで
きる。
示す製造方法によって製造される。すなわち、工程P5
1および図21(a)のように、透明基板204の表面
にTFD素子やTFT素子といった能動素子を形成し、
さらに画素電極202を形成する。形成方法としては、
例えばフォトリソグラフィ法、真空状着法、スパッタリ
ング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素
電極202の材料としてはITO、酸化スズ、酸化イン
ジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることがで
きる。
【0215】次に、工程P52および図21(a)に示
すように、隔壁すなわちバンク205を周知のパターン
ニング手法、例えばフォトリソグラフィ法を用いて形成
し、このバンク205によって各透明な画素電極202
の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光
材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなど
を防止することができる。バンク205の材料として
は、EL発光材料の溶媒に対して耐久性を有するもので
あれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズ
マ処理によりテトラフルオロエチレン化できるものであ
ること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性
ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
すように、隔壁すなわちバンク205を周知のパターン
ニング手法、例えばフォトリソグラフィ法を用いて形成
し、このバンク205によって各透明な画素電極202
の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光
材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなど
を防止することができる。バンク205の材料として
は、EL発光材料の溶媒に対して耐久性を有するもので
あれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズ
マ処理によりテトラフルオロエチレン化できるものであ
ること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性
ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
【0216】次に、機能性液状体としての正孔注入層用
インクを塗布する直前に、透明基板204に酸素ガスと
フロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う
(工程P53)。これにより、ポリイミド表面は撥水化
され、ITO表面は親水化され、液滴を微細にパターニ
ングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズ
マを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生す
る装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様
に用いることができる。
インクを塗布する直前に、透明基板204に酸素ガスと
フロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う
(工程P53)。これにより、ポリイミド表面は撥水化
され、ITO表面は親水化され、液滴を微細にパターニ
ングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズ
マを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生す
る装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様
に用いることができる。
【0217】次に、工程P54および図21(a)に示
すように、正孔注入層用インクを図8の液滴吐出装置1
6の液滴吐出ヘッド22から吐出し、各画素電極202
の上にパターニング塗布を行う。具体的な液滴吐出ヘッ
ド22の制御方法は、図1、図2、図3および図4に示
した方法のいずれかの方法が用いられる。その塗布後、
真空(1torr)中、室温、20分という条件で溶媒
を除去する(工程P55)。この後、大気中、20℃
(ホットプレート上)、10分の熱処理により、発光層
用インクと相溶しない正孔注入層220を形成する(工
程P56)。上記条件では、膜厚は40nmであった。
すように、正孔注入層用インクを図8の液滴吐出装置1
6の液滴吐出ヘッド22から吐出し、各画素電極202
の上にパターニング塗布を行う。具体的な液滴吐出ヘッ
ド22の制御方法は、図1、図2、図3および図4に示
した方法のいずれかの方法が用いられる。その塗布後、
真空(1torr)中、室温、20分という条件で溶媒
を除去する(工程P55)。この後、大気中、20℃
(ホットプレート上)、10分の熱処理により、発光層
用インクと相溶しない正孔注入層220を形成する(工
程P56)。上記条件では、膜厚は40nmであった。
【0218】次に、工程P57および図21(b)に示
すように、各フィルタエレメント形成領域7内の正孔注
入層220の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体で
あるEL発光材料としてのR発光層用インクおよび機能
性液状体であるEL発光材料としてのG発光層用インク
を塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図8の液
滴吐出装置16の液滴吐出ヘッド22から吐出させる。
液滴吐出ヘッド22の制御方法は、図1乃至図4に示し
た方法のいずれかにおいて、上記カラーフィルタの各色
相の代りにEL発光材料の発光色を適用させた方法が用
いられる。インクジェット方式によれば、微細なパター
ニングを簡便にかつ短時間に行うことができる。また、
インク組成物の固形分濃度および吐出量を変えることに
より膜厚を変えることが可能である。
すように、各フィルタエレメント形成領域7内の正孔注
入層220の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体で
あるEL発光材料としてのR発光層用インクおよび機能
性液状体であるEL発光材料としてのG発光層用インク
を塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図8の液
滴吐出装置16の液滴吐出ヘッド22から吐出させる。
液滴吐出ヘッド22の制御方法は、図1乃至図4に示し
た方法のいずれかにおいて、上記カラーフィルタの各色
相の代りにEL発光材料の発光色を適用させた方法が用
いられる。インクジェット方式によれば、微細なパター
ニングを簡便にかつ短時間に行うことができる。また、
インク組成物の固形分濃度および吐出量を変えることに
より膜厚を変えることが可能である。
【0219】発光層用インクの塗布後、真空(1tor
r)中、室温、20分などという条件で溶媒を除去する
(工程P58)。続けて、窒素雰囲気中、150℃、4
時間の熱処理により共役化させてR色発光層203Rお
よびG色発光層203Gを形成する(工程P59)。上
記条件による形成で膜厚は50nmとなった。熱処理に
より共役化した発光層は溶媒に不溶である。
r)中、室温、20分などという条件で溶媒を除去する
(工程P58)。続けて、窒素雰囲気中、150℃、4
時間の熱処理により共役化させてR色発光層203Rお
よびG色発光層203Gを形成する(工程P59)。上
記条件による形成で膜厚は50nmとなった。熱処理に
より共役化した発光層は溶媒に不溶である。
【0220】なお、発光層を形成する前に正孔注入層2
20に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プ
ラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層2
20上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャ
ルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率
の高い有機EL装置を提供できる。
20に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プ
ラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層2
20上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャ
ルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率
の高い有機EL装置を提供できる。
【0221】次に、工程P60および図21(c)に示
すように、機能性液状体であるEL発光材料としてのB
色発光層203Bを各表示ドット内のR色発光層203
R、G色発光層203Gおよび正孔注入層220の上に
重ねて形成した。これにより、R、G、Bの3原色を形
成するのみならず、R色発光層203RおよびG色発光
層203Gとバンク205との段差を埋めて平坦化する
ことができる。これにより、上下電極間のショートを確
実に防ぐことができる。B色発光層203Bの膜厚を調
整することで、B色発光層203BはR色発光層203
RおよびG色発光層203Gとの積層構造において、電
子注入輸送層として作用してB色には発光しない。
すように、機能性液状体であるEL発光材料としてのB
色発光層203Bを各表示ドット内のR色発光層203
R、G色発光層203Gおよび正孔注入層220の上に
重ねて形成した。これにより、R、G、Bの3原色を形
成するのみならず、R色発光層203RおよびG色発光
層203Gとバンク205との段差を埋めて平坦化する
ことができる。これにより、上下電極間のショートを確
実に防ぐことができる。B色発光層203Bの膜厚を調
整することで、B色発光層203BはR色発光層203
RおよびG色発光層203Gとの積層構造において、電
子注入輸送層として作用してB色には発光しない。
【0222】以上のようなB色発光層203Bの形成方
法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート
法を採用することもできるし、あるいは、R色発光層2
03RおよびG色発光層203Gの形成法と同様のイン
クジェット法を採用することもできる。
法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート
法を採用することもできるし、あるいは、R色発光層2
03RおよびG色発光層203Gの形成法と同様のイン
クジェット法を採用することもできる。
【0223】その後、工程P61および図21(d)に
示すように、対向電極213を形成することにより、目
標とするEL装置201が製造される。対向電極213
はそれが面電極である場合には、例えば、Mg、Ag、
Al、Liなどを材料として、蒸着法、スパッタ法など
といった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極2
13がストライプ状電極である場合には、成膜された電
極層をフォトリソグラフィ法などといったパターニング
手法を用いて形成できる。
示すように、対向電極213を形成することにより、目
標とするEL装置201が製造される。対向電極213
はそれが面電極である場合には、例えば、Mg、Ag、
Al、Liなどを材料として、蒸着法、スパッタ法など
といった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極2
13がストライプ状電極である場合には、成膜された電
極層をフォトリソグラフィ法などといったパターニング
手法を用いて形成できる。
【0224】以上説明したEL装置201及びその製造
方法によれば、インクジェットヘッドの制御方法として
図1乃至図4に示したいずれかの制御方法を採用するの
で、上述と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラを低
減できる。また、図21における各表示ドット内の正孔
注入層220およびR、G、B各色発光層203R,2
03G,203Bは、1個の表示ドット内の正孔注入層
および/または各色発光層は、インクジェットヘッド
(図1参照)の1回の走査によって形成されるのではな
く、複数の走査によってN回(例えば4回)のインク吐
出を受けることにより所定の膜厚に形成される。このた
め、仮に複数のノズル27間においてインク吐出量にバ
ラツキが存在する場合でも、複数の表示ドット間で膜厚
にバラツキが生じることを防止でき、上記の縞状の色ム
ラも低減できるから、EL装置201の発光面の発光分
布特性を平面的に均一にすることができる。
方法によれば、インクジェットヘッドの制御方法として
図1乃至図4に示したいずれかの制御方法を採用するの
で、上述と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラを低
減できる。また、図21における各表示ドット内の正孔
注入層220およびR、G、B各色発光層203R,2
03G,203Bは、1個の表示ドット内の正孔注入層
および/または各色発光層は、インクジェットヘッド
(図1参照)の1回の走査によって形成されるのではな
く、複数の走査によってN回(例えば4回)のインク吐
出を受けることにより所定の膜厚に形成される。このた
め、仮に複数のノズル27間においてインク吐出量にバ
ラツキが存在する場合でも、複数の表示ドット間で膜厚
にバラツキが生じることを防止でき、上記の縞状の色ム
ラも低減できるから、EL装置201の発光面の発光分
布特性を平面的に均一にすることができる。
【0225】また、本実施形態のEL装置及びその製造
方法では、図8に示す液滴吐出装置16を用いることに
より、液滴吐出ヘッド22を用いたインク吐出によって
R、G、Bの各表示ドットを形成するので、フォトリソ
グラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要
もなく、また材料を浪費することもない。
方法では、図8に示す液滴吐出装置16を用いることに
より、液滴吐出ヘッド22を用いたインク吐出によって
R、G、Bの各表示ドットを形成するので、フォトリソ
グラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要
もなく、また材料を浪費することもない。
【0226】[カラーフィルタの製造方法及び製造装
置]次に、本発明のカラーフィルタの製造方法及び製造
装置の実施形態について図面を参照して説明する。ま
ず、このカラーフィルタの製造装置の説明に先立って、
製造されるカラーフィルタについて説明する。図38は
カラーフィルタを示す部分拡大図で、図38(A)は平
面図であり、図38(B)は図38(A)のX−X線断
面図である。なお、この図38に示すカラーフィルタに
おいて、図5に示す実施形態のカラーフィルタ1と同一
の構成については、同一の符号を付して説明する。
置]次に、本発明のカラーフィルタの製造方法及び製造
装置の実施形態について図面を参照して説明する。ま
ず、このカラーフィルタの製造装置の説明に先立って、
製造されるカラーフィルタについて説明する。図38は
カラーフィルタを示す部分拡大図で、図38(A)は平
面図であり、図38(B)は図38(A)のX−X線断
面図である。なお、この図38に示すカラーフィルタに
おいて、図5に示す実施形態のカラーフィルタ1と同一
の構成については、同一の符号を付して説明する。
【0227】(カラーフィルタの構成)図38(A)に
おいて、カラーフィルタ1は、マトリックス状に並んだ
複数のフィルタエレメント3を備えている。これらフィ
ルタエレメント3の境目は、隔壁6によって区切られて
いる。フィルタエレメント3の1つ1つには、赤
(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのインクである
液状体としてのカラーフィルタ材料すなわちフィルタエ
レメント材料13が導入されている。この図38に示す
カラーフィルタは、赤、緑、青の配置をいわゆるモザイ
ク配列として説明したが、上述したように、ストライプ
配列やデルタ配列など、いずれの配置でも適用できる。
おいて、カラーフィルタ1は、マトリックス状に並んだ
複数のフィルタエレメント3を備えている。これらフィ
ルタエレメント3の境目は、隔壁6によって区切られて
いる。フィルタエレメント3の1つ1つには、赤
(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのインクである
液状体としてのカラーフィルタ材料すなわちフィルタエ
レメント材料13が導入されている。この図38に示す
カラーフィルタは、赤、緑、青の配置をいわゆるモザイ
ク配列として説明したが、上述したように、ストライプ
配列やデルタ配列など、いずれの配置でも適用できる。
【0228】カラーフィルタ1は、図38(B)に示す
ように、透光性の基板2と、透光性の隔壁6とを備えて
いる。この隔壁6が形成されていない、すなわち除去さ
れた部分は、上記フィルタエレメント3が配置されたフ
ィルタエレメント形成領域7を構成する。隔壁6および
フィルタエレメント3の上面には、保護層である保護膜
4および電極層5が形成されている。
ように、透光性の基板2と、透光性の隔壁6とを備えて
いる。この隔壁6が形成されていない、すなわち除去さ
れた部分は、上記フィルタエレメント3が配置されたフ
ィルタエレメント形成領域7を構成する。隔壁6および
フィルタエレメント3の上面には、保護層である保護膜
4および電極層5が形成されている。
【0229】(カラーフィルタの製造装置の構成)次
に、上記カラーフィルタを製造する製造装置の構成につ
いて図面を参照して説明する。図27は、本発明に係る
カラーフィルタの製造装置を構成する液滴吐出装置を示
す一部を切り欠いた斜視図である。カラーフィルタ製造
装置は、電気光学装置としてのカラー液晶パネルを構成
するカラーフィルタ1を製造する。このカラーフィルタ
製造装置は、基本的に上記の液滴吐出装置16と同様の
基本機能を備えた液滴吐出装置を備えている。
に、上記カラーフィルタを製造する製造装置の構成につ
いて図面を参照して説明する。図27は、本発明に係る
カラーフィルタの製造装置を構成する液滴吐出装置を示
す一部を切り欠いた斜視図である。カラーフィルタ製造
装置は、電気光学装置としてのカラー液晶パネルを構成
するカラーフィルタ1を製造する。このカラーフィルタ
製造装置は、基本的に上記の液滴吐出装置16と同様の
基本機能を備えた液滴吐出装置を備えている。
【0230】(液滴吐出装置の構成)この製造装置は、
図27に示すような3台の液滴吐出装置405R、40
5G、405Bを有している。これら液滴吐出装置40
5R、405G、405Bは、液状体としてのインクす
なわちカラーフィルタ材料である例えばR、G、Bのフ
ィルタエレメント材料13をマザー基板12にそれぞれ
吐出するR、G、Bの3色に対応している。なお、これ
ら液滴吐出装置405R、405G、405Bは、略直
列状に配置されて製造装置を構成する。また、各液滴吐
出装置405R、405G、405Bには、各構成部材
の動作を制御する図示しない制御装置が一体的に設けら
れている。
図27に示すような3台の液滴吐出装置405R、40
5G、405Bを有している。これら液滴吐出装置40
5R、405G、405Bは、液状体としてのインクす
なわちカラーフィルタ材料である例えばR、G、Bのフ
ィルタエレメント材料13をマザー基板12にそれぞれ
吐出するR、G、Bの3色に対応している。なお、これ
ら液滴吐出装置405R、405G、405Bは、略直
列状に配置されて製造装置を構成する。また、各液滴吐
出装置405R、405G、405Bには、各構成部材
の動作を制御する図示しない制御装置が一体的に設けら
れている。
【0231】なお、各液滴吐出装置405R、405
G、405Bには、これら液滴吐出装置405R、40
5G、405Bにマザー基板12を一枚ずつ搬入および
搬出する図示しない搬送ロボットがそれぞれ接続され
る。また、各液滴吐出装置405R、405G、405
Bには、マザー基板12が例えば6枚収容可能で、マザ
ー基板12を熱処理、例えば120℃、5分間加熱して
吐出されたフィルタエレメント材料13を乾燥させる図
示しない多段ベーク炉が接続されている。
G、405Bには、これら液滴吐出装置405R、40
5G、405Bにマザー基板12を一枚ずつ搬入および
搬出する図示しない搬送ロボットがそれぞれ接続され
る。また、各液滴吐出装置405R、405G、405
Bには、マザー基板12が例えば6枚収容可能で、マザ
ー基板12を熱処理、例えば120℃、5分間加熱して
吐出されたフィルタエレメント材料13を乾燥させる図
示しない多段ベーク炉が接続されている。
【0232】そして、各液滴吐出装置405R,405
G,405Bは、図27に示すように、中空箱状の本体
ケースであるサーマルクリーンチャンバ422を有して
いる。このサーマルクリーンチャンバ422内は、イン
クジェット方式による安定した良好な描画が得られるよ
うに、内部が例えば20℃プラスマイナス0.5℃に調
整されて外部から塵埃が侵入不可能に形成されている。
このサーマルクリーンチャンバ422内には、液滴吐出
処理本体423が配設されている。
G,405Bは、図27に示すように、中空箱状の本体
ケースであるサーマルクリーンチャンバ422を有して
いる。このサーマルクリーンチャンバ422内は、イン
クジェット方式による安定した良好な描画が得られるよ
うに、内部が例えば20℃プラスマイナス0.5℃に調
整されて外部から塵埃が侵入不可能に形成されている。
このサーマルクリーンチャンバ422内には、液滴吐出
処理本体423が配設されている。
【0233】液滴吐出処理本体423は、図27に示す
ように、X軸エアースライドテーブル424を有してい
る。このX軸エアースライドテーブル424上には、図
示しないリニアモータが配設された走査駆動装置425
が配設されている。この走査駆動装置425は、マザー
基板12を例えば吸引により取付固定する図示しない台
座部を有し、この台座部をマザー基板12に対して走査
方向Xに移動させる。
ように、X軸エアースライドテーブル424を有してい
る。このX軸エアースライドテーブル424上には、図
示しないリニアモータが配設された走査駆動装置425
が配設されている。この走査駆動装置425は、マザー
基板12を例えば吸引により取付固定する図示しない台
座部を有し、この台座部をマザー基板12に対して走査
方向Xに移動させる。
【0234】液滴吐出処理本体423には、図27に示
すように、X軸エアースライドテーブル424の上方に
位置して、Y軸テーブルとしての送り駆動装置427が
配設されている。この送り駆動装置427は、フィルタ
エレメント材料13を例えば上下方向に沿って吐出させ
るヘッドユニット420をY軸方向であるマザー基板1
2に対して送り方向に移動させる。なお、図27におい
て、ヘッドユニット420は、位置関係を明確化するた
めに、空中に浮いた状態で実線により表示している。
すように、X軸エアースライドテーブル424の上方に
位置して、Y軸テーブルとしての送り駆動装置427が
配設されている。この送り駆動装置427は、フィルタ
エレメント材料13を例えば上下方向に沿って吐出させ
るヘッドユニット420をY軸方向であるマザー基板1
2に対して送り方向に移動させる。なお、図27におい
て、ヘッドユニット420は、位置関係を明確化するた
めに、空中に浮いた状態で実線により表示している。
【0235】また、液滴吐出処理本体423には、イン
クジェットヘッド421の位置やマザー基板12の位置
を制御するために位置を認識する観察手段である図示し
ない各種カメラなどの撮像装置が配設されている。な
お、ヘッドユニット420や台座部の位置制御は、パル
スモータを用いた位置制御の他、サーボモータを用いた
フィードバック制御や、その他任意の制御方法によって
実現できる。上記撮像装置を含む種々の構成は、上記図
8及び図9に示す液滴吐出装置と基本的に同様に構成さ
れている。
クジェットヘッド421の位置やマザー基板12の位置
を制御するために位置を認識する観察手段である図示し
ない各種カメラなどの撮像装置が配設されている。な
お、ヘッドユニット420や台座部の位置制御は、パル
スモータを用いた位置制御の他、サーボモータを用いた
フィードバック制御や、その他任意の制御方法によって
実現できる。上記撮像装置を含む種々の構成は、上記図
8及び図9に示す液滴吐出装置と基本的に同様に構成さ
れている。
【0236】また、液滴吐出処理本体423には、図2
7に示すように、ヘッドユニット420におけるフィル
タエレメント材料13を吐出する面を拭き取るワイピン
グユニット481が設けられている。このワイピングユ
ニット481は、例えば布部材およびゴムシートが一体
的に積層された図示しないワイピング部材の一端側を適
宜巻き取り、順次新しい面でフィルタエレメント材料1
3を吐出する面をワイピングする構成となっている。こ
れにより、吐出面に付着したフィルタエレメント材料1
3を除去し、後述するノズル466の目詰まりが起こら
ないようにしている。
7に示すように、ヘッドユニット420におけるフィル
タエレメント材料13を吐出する面を拭き取るワイピン
グユニット481が設けられている。このワイピングユ
ニット481は、例えば布部材およびゴムシートが一体
的に積層された図示しないワイピング部材の一端側を適
宜巻き取り、順次新しい面でフィルタエレメント材料1
3を吐出する面をワイピングする構成となっている。こ
れにより、吐出面に付着したフィルタエレメント材料1
3を除去し、後述するノズル466の目詰まりが起こら
ないようにしている。
【0237】さらに、液滴吐出処理本体423には、図
27に示すように、インクシステム482が設けられて
いる。このインクシステム482は、フィルタエレメン
ト材料13を貯留するインクタンク483、フィルタエ
レメント材料13が流通可能な供給管478、および、
インクタンク483から供給管478を介してフィルタ
エレメント材料13をヘッドユニット420へ供給する
図示しないポンプを有している。なお、図27におい
て、供給管478の配管は、模式的に示したもので、イ
ンクタンク483からヘッドユニット420の移動に影
響しないように送り駆動装置427に配線され、ヘッド
ユニット420を走査する送り駆動装置427の上方か
らヘッドユニット420にフィルタエレメント材料13
を供給するようになっている。
27に示すように、インクシステム482が設けられて
いる。このインクシステム482は、フィルタエレメン
ト材料13を貯留するインクタンク483、フィルタエ
レメント材料13が流通可能な供給管478、および、
インクタンク483から供給管478を介してフィルタ
エレメント材料13をヘッドユニット420へ供給する
図示しないポンプを有している。なお、図27におい
て、供給管478の配管は、模式的に示したもので、イ
ンクタンク483からヘッドユニット420の移動に影
響しないように送り駆動装置427に配線され、ヘッド
ユニット420を走査する送り駆動装置427の上方か
らヘッドユニット420にフィルタエレメント材料13
を供給するようになっている。
【0238】また、液滴吐出処理本体423には、ヘッ
ドユニット420から吐出されるフィルタエレメント材
料13の吐出量を検出する重量測定ユニット485が設
けられている。
ドユニット420から吐出されるフィルタエレメント材
料13の吐出量を検出する重量測定ユニット485が設
けられている。
【0239】さらに、液滴吐出処理本体423には、例
えば図示しない光センサを有しヘッドユニット420か
らのフィルタエレメント材料13の吐出状態を検出する
ドット抜け検出ユニット487が一対の配設されてい
る。このドット抜け検出ユニット487は、ヘッドユニ
ット420から液滴が吐出される方向に対して交差する
方向、例えばX軸方向、に沿って図示しない光センサの
光源および受光部がヘッドユニット420から吐出され
た液滴8が通過する空間を挟んで対向するように配設さ
れている。また、このドット抜け検出ユニット487
は、ヘッドユニット420の搬送方向であるY軸方向側
に配置され、フィルタエレメント材料13を吐出するた
めにヘッドユニット420を送り移動させる毎に吐出状
態を検出してドット抜けを検出するように構成されてい
る。
えば図示しない光センサを有しヘッドユニット420か
らのフィルタエレメント材料13の吐出状態を検出する
ドット抜け検出ユニット487が一対の配設されてい
る。このドット抜け検出ユニット487は、ヘッドユニ
ット420から液滴が吐出される方向に対して交差する
方向、例えばX軸方向、に沿って図示しない光センサの
光源および受光部がヘッドユニット420から吐出され
た液滴8が通過する空間を挟んで対向するように配設さ
れている。また、このドット抜け検出ユニット487
は、ヘッドユニット420の搬送方向であるY軸方向側
に配置され、フィルタエレメント材料13を吐出するた
めにヘッドユニット420を送り移動させる毎に吐出状
態を検出してドット抜けを検出するように構成されてい
る。
【0240】なお、詳しくは後述するが、ヘッドユニッ
ト420には、フィルタエレメント材料13を吐出する
ヘッド装置433を2列に配置している。このため、ド
ット抜け検出ユニット487は、各ヘッド装置の各列毎
に吐出状態を検出するために、一対設けられている。
ト420には、フィルタエレメント材料13を吐出する
ヘッド装置433を2列に配置している。このため、ド
ット抜け検出ユニット487は、各ヘッド装置の各列毎
に吐出状態を検出するために、一対設けられている。
【0241】(ヘッドユニットの構成)次に、ヘッドユ
ニット420の構成について説明する。図28は、液滴
吐出装置に設けられたヘッドユニットを示す平面図であ
る。図29は、ヘッドユニットを示す側面図である。図
30は、ヘッドユニットを示す正面図である。図31
は、ヘッドユニットを示す断面図である。
ニット420の構成について説明する。図28は、液滴
吐出装置に設けられたヘッドユニットを示す平面図であ
る。図29は、ヘッドユニットを示す側面図である。図
30は、ヘッドユニットを示す正面図である。図31
は、ヘッドユニットを示す断面図である。
【0242】ヘッドユニット420は、図28ないし図
31に示すように、ヘッド本体部430と、インク供給
部431とを有している。また、ヘッド本体部430
は、平板状のキャリッジ426と、このキャリッジ42
6に複数取り付けられた実質的に略同一形状のヘッド装
置433とを有している。
31に示すように、ヘッド本体部430と、インク供給
部431とを有している。また、ヘッド本体部430
は、平板状のキャリッジ426と、このキャリッジ42
6に複数取り付けられた実質的に略同一形状のヘッド装
置433とを有している。
【0243】図32はヘッドユニットに配設されたヘッ
ド装置を示す分解斜視図である。ヘッド装置433は、
図32に示すように、短冊状のプリント基板435を有
している。このプリント基板435には、各種電気部品
436が実装され電気配線が設けられている。また、プ
リント基板435には、長手方向の一端側(図32中右
側)に位置して窓部437が貫通形成されている。さら
に、プリント基板435には、インクであるフィルタエ
レメント材料13が流通可能な流通路438が窓部43
7の両側に位置して設けられている。
ド装置を示す分解斜視図である。ヘッド装置433は、
図32に示すように、短冊状のプリント基板435を有
している。このプリント基板435には、各種電気部品
436が実装され電気配線が設けられている。また、プ
リント基板435には、長手方向の一端側(図32中右
側)に位置して窓部437が貫通形成されている。さら
に、プリント基板435には、インクであるフィルタエ
レメント材料13が流通可能な流通路438が窓部43
7の両側に位置して設けられている。
【0244】そして、このプリント基板435の一面側
(図32中下面側)には、長手方向の略一端側(図32
中右側)に位置してインクジェットヘッド421が取付
部材440により一体的に取り付けられている。このイ
ンクジェットヘッド421は、長手矩形状に形成され、
長手方向がプリント基板435の長手方向に沿う状態で
取り付けられる。なお、各ヘッド装置433における各
インクジェットヘッドは、実質的に略同一形状、すなわ
ち例えば所定の規格の製品であって、所定の品質に選別
されたものなどであればよい。具体的には、これらイン
クジェットヘッド421が同一個数のノズルを有し、ノ
ズルの形成位置が互いに同一であることが、キャリッジ
に対してインクジェットヘッドを組み立てる際に効率的
となり、また組立精度も高まる点で好ましい。さらに、
同一の製造・組立工程を経て作られた製品を用いれば、
特別な製品を作る必要が無くなり、低コストとすること
ができる。
(図32中下面側)には、長手方向の略一端側(図32
中右側)に位置してインクジェットヘッド421が取付
部材440により一体的に取り付けられている。このイ
ンクジェットヘッド421は、長手矩形状に形成され、
長手方向がプリント基板435の長手方向に沿う状態で
取り付けられる。なお、各ヘッド装置433における各
インクジェットヘッドは、実質的に略同一形状、すなわ
ち例えば所定の規格の製品であって、所定の品質に選別
されたものなどであればよい。具体的には、これらイン
クジェットヘッド421が同一個数のノズルを有し、ノ
ズルの形成位置が互いに同一であることが、キャリッジ
に対してインクジェットヘッドを組み立てる際に効率的
となり、また組立精度も高まる点で好ましい。さらに、
同一の製造・組立工程を経て作られた製品を用いれば、
特別な製品を作る必要が無くなり、低コストとすること
ができる。
【0245】また、プリント基板435の他面側(図3
2中上面側)には、長手方向の略他端側(図32中左
側)に位置してインクジェットヘッド421に電気配線
にて電気的に接続されるコネクタ441が一体的に取り
付けられている。これらコネクタ441には、図27に
模式的に示すように、ヘッドユニット420の移動に影
響しないように送り駆動装置427に配線された電気配
線(電源配線、信号配線を含む)442が接続される。
この電気配線442は図示しない制御装置とヘッドユニ
ット420を接続するものとなる。すなわち、これら電
気配線442は、図28および図31に二点鎖線の矢印
で模式的に示すように、送り駆動装置427からヘッド
ユニット420の2列のヘッド装置433の配列方向の
両側であるヘッドユニット420の外周側に配線されて
コネクタ441に接続され、電気ノイズが生じないよう
になっている。
2中上面側)には、長手方向の略他端側(図32中左
側)に位置してインクジェットヘッド421に電気配線
にて電気的に接続されるコネクタ441が一体的に取り
付けられている。これらコネクタ441には、図27に
模式的に示すように、ヘッドユニット420の移動に影
響しないように送り駆動装置427に配線された電気配
線(電源配線、信号配線を含む)442が接続される。
この電気配線442は図示しない制御装置とヘッドユニ
ット420を接続するものとなる。すなわち、これら電
気配線442は、図28および図31に二点鎖線の矢印
で模式的に示すように、送り駆動装置427からヘッド
ユニット420の2列のヘッド装置433の配列方向の
両側であるヘッドユニット420の外周側に配線されて
コネクタ441に接続され、電気ノイズが生じないよう
になっている。
【0246】さらに、プリント基板435の他面側(図
32中上面側)には、長手方向の略一端側(図32中右
側)でインクジェットヘッド421に対応してインク導
入部443が取り付けられている。このインク導入部4
43は、取付部材440に設けられプリント基板435
を貫通する位置決めピン部444を嵌合する略円筒状の
位置決め筒部445と、プリント基板435に係止する
係止爪部446とを有している。
32中上面側)には、長手方向の略一端側(図32中右
側)でインクジェットヘッド421に対応してインク導
入部443が取り付けられている。このインク導入部4
43は、取付部材440に設けられプリント基板435
を貫通する位置決めピン部444を嵌合する略円筒状の
位置決め筒部445と、プリント基板435に係止する
係止爪部446とを有している。
【0247】また、インク導入部443には、先端先細
り形状の略円筒状の連結部448が一対突設されてい
る。これら連結部448は、プリント基板435側とな
る基端部にプリント基板435の流通路438に略液密
に連通する図示しない開口を有し、先端部にフィルタエ
レメント材料13が流通可能な図示しない孔を有してい
る。
り形状の略円筒状の連結部448が一対突設されてい
る。これら連結部448は、プリント基板435側とな
る基端部にプリント基板435の流通路438に略液密
に連通する図示しない開口を有し、先端部にフィルタエ
レメント材料13が流通可能な図示しない孔を有してい
る。
【0248】さらに、これら連結部448には、図29
乃至図31に示すように、先端側に位置してシール連結
部450がそれぞれ取り付けられている。これらシール
連結部450は、内周側に連結部448を略液密に嵌着
する略円筒状に形成され、先端部にシール部材449が
設けられている。
乃至図31に示すように、先端側に位置してシール連結
部450がそれぞれ取り付けられている。これらシール
連結部450は、内周側に連結部448を略液密に嵌着
する略円筒状に形成され、先端部にシール部材449が
設けられている。
【0249】図33は、インクジェットヘッドを示す分
解斜視図である。図34はインクジェットヘッドのフィ
ルタエレメント材料を吐出する動作をインクジェットヘ
ッドの断面に対応して説明する模式図で、図34(A)
はフィルタエレメント材料を吐出する前の状態、図34
(B)は圧電振動子を収縮させてフィルタエレメント材
料を吐出している状態、図34(C)はフィルタエレメ
ント材料を吐出した直後の状態である。図35は、イン
クジェットヘッドにおけるフィルタエレメント材料の吐
出量を説明する説明図である。図36は、インクジェッ
トヘッドの配置状態を説明する概略的な模式図である。
図37は、図36における部分拡大図である。
解斜視図である。図34はインクジェットヘッドのフィ
ルタエレメント材料を吐出する動作をインクジェットヘ
ッドの断面に対応して説明する模式図で、図34(A)
はフィルタエレメント材料を吐出する前の状態、図34
(B)は圧電振動子を収縮させてフィルタエレメント材
料を吐出している状態、図34(C)はフィルタエレメ
ント材料を吐出した直後の状態である。図35は、イン
クジェットヘッドにおけるフィルタエレメント材料の吐
出量を説明する説明図である。図36は、インクジェッ
トヘッドの配置状態を説明する概略的な模式図である。
図37は、図36における部分拡大図である。
【0250】インクジェットヘッド421は、図33に
示すように、略矩形状のホルダ451を有している。こ
のホルダ451には、長手方向に沿って例えば180個
のピエゾ素子などの圧電振動子452が2列設けられて
いる。また、ホルダ451には、プリント基板435の
流通路438に連通し長手方向の両側略中央にインクで
あるフィルタエレメント材料13が流通する貫通孔45
3がそれぞれ設けられている。
示すように、略矩形状のホルダ451を有している。こ
のホルダ451には、長手方向に沿って例えば180個
のピエゾ素子などの圧電振動子452が2列設けられて
いる。また、ホルダ451には、プリント基板435の
流通路438に連通し長手方向の両側略中央にインクで
あるフィルタエレメント材料13が流通する貫通孔45
3がそれぞれ設けられている。
【0251】また、ホルダ451の圧電振動子452が
位置する一面である上面には、図33に示すように、合
成樹脂にてシート状に形成された弾性板455が一体的
に設けられている。この弾性板455には、貫通孔45
3に連続する連通孔456がそれぞれ設けられている。
そして、弾性板455には、ホルダ451の上面略四隅
に突設された位置決め爪部457に係合する係合孔45
8が設けられ、ホルダ451の上面に位置決めされて一
体的に取り付けられている。
位置する一面である上面には、図33に示すように、合
成樹脂にてシート状に形成された弾性板455が一体的
に設けられている。この弾性板455には、貫通孔45
3に連続する連通孔456がそれぞれ設けられている。
そして、弾性板455には、ホルダ451の上面略四隅
に突設された位置決め爪部457に係合する係合孔45
8が設けられ、ホルダ451の上面に位置決めされて一
体的に取り付けられている。
【0252】さらに、弾性板455の上面には、平板状
の流路形成板460が設けられている。この流路形成板
460には、ホルダ451の幅方向に長手状で圧電振動
子452に対応してホルダ451の長手方向に180個
の直列状に2列設けられたノズル溝461と、ノズル溝
461の一側にホルダの長手方向に長手状に設けられた
開口部462と、弾性板455の連通孔456に連続す
る流通孔463とが設けられている。そして、弾性板4
55には、ホルダ451の上面略四隅に突設された位置
決め爪部457に係合する係合孔458が設けられ、ホ
ルダ451の上面に弾性板455とともに位置決めされ
て一体的に取り付けられている。
の流路形成板460が設けられている。この流路形成板
460には、ホルダ451の幅方向に長手状で圧電振動
子452に対応してホルダ451の長手方向に180個
の直列状に2列設けられたノズル溝461と、ノズル溝
461の一側にホルダの長手方向に長手状に設けられた
開口部462と、弾性板455の連通孔456に連続す
る流通孔463とが設けられている。そして、弾性板4
55には、ホルダ451の上面略四隅に突設された位置
決め爪部457に係合する係合孔458が設けられ、ホ
ルダ451の上面に弾性板455とともに位置決めされ
て一体的に取り付けられている。
【0253】また、流路形成板460の上面には、略平
板状のノズルプレート465が設けられている。このノ
ズルプレート465には、流路形成板460のノズル溝
461に対応して略円形のノズル466がホルダ451
の長手方向に180個で25.4mm(1inch)の
長さ範囲に直列状で2列設けられている。また、ノズル
プレート465には、ホルダ451の上面略四隅に突設
された位置決め爪部457に係合する係合孔458が設
けられ、ホルダ451の上面に弾性板455および流路
形成板460とともに位置決めされて一体的に取り付け
られている。
板状のノズルプレート465が設けられている。このノ
ズルプレート465には、流路形成板460のノズル溝
461に対応して略円形のノズル466がホルダ451
の長手方向に180個で25.4mm(1inch)の
長さ範囲に直列状で2列設けられている。また、ノズル
プレート465には、ホルダ451の上面略四隅に突設
された位置決め爪部457に係合する係合孔458が設
けられ、ホルダ451の上面に弾性板455および流路
形成板460とともに位置決めされて一体的に取り付け
られている。
【0254】そして、積層する弾性板455、流路形成
板460およびノズルプレート465により、図34に
模式的に示すように、流路形成板460の開口部462
にて液リザーバ467が区画形成されるとともに、この
液リザーバ467は各ノズル溝461に液供給路468
を介して連続する。このことにより、インクジェットヘ
ッド421は、圧電振動子452の動作により、ノズル
溝461内の圧力が増大しノズルからフィルタエレメン
ト材料13を2〜13pl例えば約10plの液滴量で
7m/sプラスマイナス2m/sで吐出する。すなわ
ち、図34に示すように、圧電振動子452に対して所
定の印加電圧Vhをパルス状に印加することで、図34
(A),(B),(C)に順次示すようにして、圧電振
動子452を矢印Q方向に適宜伸縮させることで、イン
クであるフィルタエレメント材料13を加圧して所定量
の液滴8でノズル466から吐出させる。
板460およびノズルプレート465により、図34に
模式的に示すように、流路形成板460の開口部462
にて液リザーバ467が区画形成されるとともに、この
液リザーバ467は各ノズル溝461に液供給路468
を介して連続する。このことにより、インクジェットヘ
ッド421は、圧電振動子452の動作により、ノズル
溝461内の圧力が増大しノズルからフィルタエレメン
ト材料13を2〜13pl例えば約10plの液滴量で
7m/sプラスマイナス2m/sで吐出する。すなわ
ち、図34に示すように、圧電振動子452に対して所
定の印加電圧Vhをパルス状に印加することで、図34
(A),(B),(C)に順次示すようにして、圧電振
動子452を矢印Q方向に適宜伸縮させることで、イン
クであるフィルタエレメント材料13を加圧して所定量
の液滴8でノズル466から吐出させる。
【0255】また、このインクジェットヘッド421
は、上記実施の形態でも説明したように、図35に示す
様な配列方向の両端部側の吐出量が多くなる吐出量のバ
ラツキがある。このことから、例えば吐出量バラツキが
5%以内となる範囲のノズル466すなわち両端部の1
0個ずつのノズル466からはフィルタエレメント材料
13を吐出しないように制御される。
は、上記実施の形態でも説明したように、図35に示す
様な配列方向の両端部側の吐出量が多くなる吐出量のバ
ラツキがある。このことから、例えば吐出量バラツキが
5%以内となる範囲のノズル466すなわち両端部の1
0個ずつのノズル466からはフィルタエレメント材料
13を吐出しないように制御される。
【0256】そして、ヘッドユニット420を構成する
ヘッド本体部430は、図27ないし図31に示すよう
に、インクジェットヘッド421を有したヘッド装置4
33が複数互いに並んで配置されて構成されている。こ
のヘッド装置433のキャリッジ426における配置
は、図36に模式的に示すように、送り方向であるY軸
方向よりもY軸方向と直交する走査方向であるX軸方向
側に傾斜した方向にオフセットしながら配列される状態
である。すなわち、送り方向であるY軸方向より若干傾
斜した方向に例えば6個並べて配置され、この列が複数
列例えば2列で配置されている。これは、インクジェッ
トヘッド421よりもヘッド装置433の短辺方向の幅
が広く、互いに隣接するインクジェットヘッド421同
士の配置間隔を狭めることができない一方で、ノズル4
66の列がY軸方向に連続して配列されているようにし
なければならない状況から考えられた配置の仕方であ
る。
ヘッド本体部430は、図27ないし図31に示すよう
に、インクジェットヘッド421を有したヘッド装置4
33が複数互いに並んで配置されて構成されている。こ
のヘッド装置433のキャリッジ426における配置
は、図36に模式的に示すように、送り方向であるY軸
方向よりもY軸方向と直交する走査方向であるX軸方向
側に傾斜した方向にオフセットしながら配列される状態
である。すなわち、送り方向であるY軸方向より若干傾
斜した方向に例えば6個並べて配置され、この列が複数
列例えば2列で配置されている。これは、インクジェッ
トヘッド421よりもヘッド装置433の短辺方向の幅
が広く、互いに隣接するインクジェットヘッド421同
士の配置間隔を狭めることができない一方で、ノズル4
66の列がY軸方向に連続して配列されているようにし
なければならない状況から考えられた配置の仕方であ
る。
【0257】さらに、ヘッド本体部430は、ヘッド装
置433が、インクジェットヘッド421の長手方向が
X軸方向に対して交差する方向に傾斜する状態で、かつ
コネクタ441が相対向方向と反対側に位置する状態で
略点対称に配設されている。このヘッド装置433の傾
斜する配置状態は、例えばインクジェットヘッド421
の長手方向であるノズル466の配設方向がX軸方向に
対して57.1度傾斜する。
置433が、インクジェットヘッド421の長手方向が
X軸方向に対して交差する方向に傾斜する状態で、かつ
コネクタ441が相対向方向と反対側に位置する状態で
略点対称に配設されている。このヘッド装置433の傾
斜する配置状態は、例えばインクジェットヘッド421
の長手方向であるノズル466の配設方向がX軸方向に
対して57.1度傾斜する。
【0258】また、ヘッド装置433は、略千鳥状すな
わち配列方向に対して並列状態に位置しないように配置
されている。すなわち、図28ないし図31および図3
6に示すように、12個のインクジェットヘッド421
のノズル466がY軸方向に連続して配列されるよう
に、インクジェットヘッド421は2列に配列され、か
つそのY軸方向への配列順序が互い違いの交互に配置さ
れる。
わち配列方向に対して並列状態に位置しないように配置
されている。すなわち、図28ないし図31および図3
6に示すように、12個のインクジェットヘッド421
のノズル466がY軸方向に連続して配列されるよう
に、インクジェットヘッド421は2列に配列され、か
つそのY軸方向への配列順序が互い違いの交互に配置さ
れる。
【0259】具体的には、図36および図37に基づい
て、より詳細に説明する。ここで、インクジェットヘッ
ド421は、長手方向であるノズル466の配列方向が
X軸方向に対して傾斜する。このため、インクジェット
ヘッド421に設けられた2列のノズル466の一列目
において、フィルタエレメント材料13を吐出する11
個目のノズル466が位置するX軸方向の直線上で、2
列目のノズル466の他方は吐出しない10個以内の位
置となる領域Aがある(図37中のA)。すなわち、1
つのインクジェットヘッド421では、X軸方向での直
線上に2個のノズル466が存在しない領域Aが生じ
る。
て、より詳細に説明する。ここで、インクジェットヘッ
ド421は、長手方向であるノズル466の配列方向が
X軸方向に対して傾斜する。このため、インクジェット
ヘッド421に設けられた2列のノズル466の一列目
において、フィルタエレメント材料13を吐出する11
個目のノズル466が位置するX軸方向の直線上で、2
列目のノズル466の他方は吐出しない10個以内の位
置となる領域Aがある(図37中のA)。すなわち、1
つのインクジェットヘッド421では、X軸方向での直
線上に2個のノズル466が存在しない領域Aが生じ
る。
【0260】したがって、図36および図37に示すよ
うに、1つのインクジェットヘッド421でX軸方向の
直線上に2個のノズル466が位置する領域B(図37
中のB)では、列をなすヘッド装置433はX軸方向で
並列状態に位置させない。さらに、一方の列をなすヘッ
ド装置433のX軸方向での直線上に1個しか位置しな
い領域Aと、他方の列をなすヘッド装置433のX軸方
向での直線上に1個しか位置しない領域Aとは、X軸方
向で互いに並列状態に位置させ、一方の列のインクジェ
ットヘッド421と他方の列のインクジェットヘッド4
21とにてX軸方向の直線上に合計で2個のノズル46
6が位置する状態とする。すなわち、インクジェットヘ
ッド421が配設されている領域においては、どの位置
でもX軸方向の直線上に必ず合計2個のノズル466が
位置するように千鳥状に配設する。なお、フィルタエレ
メント材料13を吐出しないノズル466の領域Xは、
このX軸方向の直線上における2個のノズル466の数
として数えない。このように、走査されるX軸方向に対
してインクを吐出するノズル466は2個が直線上に位
置し、後述するように、この2個のノズル466から1
つの箇所にインクが吐出されることになる。1つのノズ
ル466からの吐出だけで1つのエレメントを構成する
と、ノズル466間の吐出量のバラツキがエレメントの
特性バラツキや歩留まり劣化に繋がるので、このように
別々のノズル466からの吐出により1つのエレメント
を形成すれば、ノズル466間の吐出のバラツキを分散
し、エレメント間での特性の均一化および歩留まり向上
を図ることができる。
うに、1つのインクジェットヘッド421でX軸方向の
直線上に2個のノズル466が位置する領域B(図37
中のB)では、列をなすヘッド装置433はX軸方向で
並列状態に位置させない。さらに、一方の列をなすヘッ
ド装置433のX軸方向での直線上に1個しか位置しな
い領域Aと、他方の列をなすヘッド装置433のX軸方
向での直線上に1個しか位置しない領域Aとは、X軸方
向で互いに並列状態に位置させ、一方の列のインクジェ
ットヘッド421と他方の列のインクジェットヘッド4
21とにてX軸方向の直線上に合計で2個のノズル46
6が位置する状態とする。すなわち、インクジェットヘ
ッド421が配設されている領域においては、どの位置
でもX軸方向の直線上に必ず合計2個のノズル466が
位置するように千鳥状に配設する。なお、フィルタエレ
メント材料13を吐出しないノズル466の領域Xは、
このX軸方向の直線上における2個のノズル466の数
として数えない。このように、走査されるX軸方向に対
してインクを吐出するノズル466は2個が直線上に位
置し、後述するように、この2個のノズル466から1
つの箇所にインクが吐出されることになる。1つのノズ
ル466からの吐出だけで1つのエレメントを構成する
と、ノズル466間の吐出量のバラツキがエレメントの
特性バラツキや歩留まり劣化に繋がるので、このように
別々のノズル466からの吐出により1つのエレメント
を形成すれば、ノズル466間の吐出のバラツキを分散
し、エレメント間での特性の均一化および歩留まり向上
を図ることができる。
【0261】インク供給部431は、図28ないし図3
1に示すように、ヘッド本体部430の2列に対応して
それぞれ設けられた一対の平板状の取付板471と、こ
れら取付板471に複数取り付けられた供給本体部47
2とを有している。そして、供給本体部472は、略細
長円筒状の進退部474を有している。この進退部47
4は、取付治具473にて取付板471を貫通する状態
で軸方向に沿って移動可能に取り付けられる。また、供
給本体部472の進退部474は、例えばコイルスプリ
ング475などにより取付板471からヘッド装置43
3に向けて進出する方向に付勢されて取り付けられる。
なお、図28において、説明の都合上、インク供給部4
31は、2列のヘッド装置433のうちの一方の列に対
してのみ図示し、他はそれを省略して図示している。
1に示すように、ヘッド本体部430の2列に対応して
それぞれ設けられた一対の平板状の取付板471と、こ
れら取付板471に複数取り付けられた供給本体部47
2とを有している。そして、供給本体部472は、略細
長円筒状の進退部474を有している。この進退部47
4は、取付治具473にて取付板471を貫通する状態
で軸方向に沿って移動可能に取り付けられる。また、供
給本体部472の進退部474は、例えばコイルスプリ
ング475などにより取付板471からヘッド装置43
3に向けて進出する方向に付勢されて取り付けられる。
なお、図28において、説明の都合上、インク供給部4
31は、2列のヘッド装置433のうちの一方の列に対
してのみ図示し、他はそれを省略して図示している。
【0262】この進退部474のヘッド装置433に対
向する側の端部には、フランジ部476が設けられてい
る。このフランジ部476は、進退部474の外周縁に
鍔状に突出し、端面がヘッド装置433のインク導入部
443のシール部材449に、コイルスプリング475
の付勢に抗して略液密に当接する。また、進退部474
のフランジ部476が設けられた側と反対側の端部に
は、ジョイント部477が設けられている。このジョイ
ント部477は、図27に模式的に示すように、フィル
タエレメント材料13が流通する供給管478の一端が
接続される。
向する側の端部には、フランジ部476が設けられてい
る。このフランジ部476は、進退部474の外周縁に
鍔状に突出し、端面がヘッド装置433のインク導入部
443のシール部材449に、コイルスプリング475
の付勢に抗して略液密に当接する。また、進退部474
のフランジ部476が設けられた側と反対側の端部に
は、ジョイント部477が設けられている。このジョイ
ント部477は、図27に模式的に示すように、フィル
タエレメント材料13が流通する供給管478の一端が
接続される。
【0263】この供給管478は、上述したように、図
27に模式的に示すように、ヘッドユニット420の移
動に影響しないように送り駆動装置427に配線され、
図28および図30に一点鎖線の矢印で模式的に示すよ
うに、送り駆動装置427からヘッドユニット420上
方より2列で配列されたインク供給部431の間の略中
央に配管され、さらに放射状に配管されて先端がインク
供給部431のジョイント部477に接続されて配管さ
れる。
27に模式的に示すように、ヘッドユニット420の移
動に影響しないように送り駆動装置427に配線され、
図28および図30に一点鎖線の矢印で模式的に示すよ
うに、送り駆動装置427からヘッドユニット420上
方より2列で配列されたインク供給部431の間の略中
央に配管され、さらに放射状に配管されて先端がインク
供給部431のジョイント部477に接続されて配管さ
れる。
【0264】そして、インク供給部431は、供給管を
介して流通するフィルタエレメント材料13をヘッド装
置433のインク導入部443に供給する。また、イン
ク導入部443に供給されたフィルタエレメント材料1
3はインクジェットヘッド421に供給され、電気制御
されたインクジェットヘッド421の各ノズル466か
ら適宜液滴8状に吐出される。
介して流通するフィルタエレメント材料13をヘッド装
置433のインク導入部443に供給する。また、イン
ク導入部443に供給されたフィルタエレメント材料1
3はインクジェットヘッド421に供給され、電気制御
されたインクジェットヘッド421の各ノズル466か
ら適宜液滴8状に吐出される。
【0265】(カラーフィルタ製造時の動作)次に、上
記実施の形態のカラーフィルタ製造装置を用いてカラー
フィルタ1を形成する際の装置動作を図面を参照して説
明する。図39は上記カラーフィルタの製造装置を用い
てカラーフィルタ1を製造する手順を説明する製造工程
断面図である。
記実施の形態のカラーフィルタ製造装置を用いてカラー
フィルタ1を形成する際の装置動作を図面を参照して説
明する。図39は上記カラーフィルタの製造装置を用い
てカラーフィルタ1を製造する手順を説明する製造工程
断面図である。
【0266】まず、例えば膜厚寸法が0.7mm、縦寸
法が38cm、横寸法が30cmの無アルカリガラスの
透明基板であるマザー基板12の表面を、熱濃硫酸に過
酸化水素水を1質量%添加した洗浄液で洗浄する。この
洗浄後、純水でリンスして空気乾燥し、清浄表面を得
る。このマザー基板12の表面に、例えばスパッタ法に
よりクロム膜を平均0.2μmの膜厚で形成し、金属層
6aを得る(図39中手順S1)。
法が38cm、横寸法が30cmの無アルカリガラスの
透明基板であるマザー基板12の表面を、熱濃硫酸に過
酸化水素水を1質量%添加した洗浄液で洗浄する。この
洗浄後、純水でリンスして空気乾燥し、清浄表面を得
る。このマザー基板12の表面に、例えばスパッタ法に
よりクロム膜を平均0.2μmの膜厚で形成し、金属層
6aを得る(図39中手順S1)。
【0267】このマザー基板12をホットプレート上
で、80℃で5分間乾燥させた後、金属層6aの表面
に、例えばスピンコートにより図示しないフォトレジス
ト層を形成する。このマザー基板12の表面に、例えば
所要のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを密着させ、紫外線で露光する。次に、
この露光したマザー基板12を、例えば水酸化カリウム
を8質量%の割合で含有するアルカリ現像液に浸漬し、
未露光部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパ
ターニングする。続いて、露出した金属層6aを、例え
ば塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去す
る。このようにして、所定のマトリックスパターンを有
するブラックマトリックスである遮光層6bが得られる
(図39中手順S2)。なお、遮光層6bの膜厚はおお
よそ0.2μmで、遮光層6bの幅寸法はおおよそ22
μmである。
で、80℃で5分間乾燥させた後、金属層6aの表面
に、例えばスピンコートにより図示しないフォトレジス
ト層を形成する。このマザー基板12の表面に、例えば
所要のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを密着させ、紫外線で露光する。次に、
この露光したマザー基板12を、例えば水酸化カリウム
を8質量%の割合で含有するアルカリ現像液に浸漬し、
未露光部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパ
ターニングする。続いて、露出した金属層6aを、例え
ば塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去す
る。このようにして、所定のマトリックスパターンを有
するブラックマトリックスである遮光層6bが得られる
(図39中手順S2)。なお、遮光層6bの膜厚はおお
よそ0.2μmで、遮光層6bの幅寸法はおおよそ22
μmである。
【0268】この遮光層6bが設けられたマザー基板1
2上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組
成物6cを例えばスピンコート法で塗布形成する(図3
9中手順S3)。この感光性樹脂組成物6cを設けたマ
ザー基板12を100℃で20分間プレベークした後、
所定のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを用いて紫外線露光する。そして、未露
光部分の樹脂を、例えば上述したようなアルカリ性の現
像液で現像し、純水でリンスした後にスピン乾燥する。
最終乾燥としてのアフターベークを例えば200℃で3
0分間実施し、樹脂部分を十分に硬化させ、バンク層6
dを形成する。このバンク層6dの膜厚は平均で約2.
7μm、幅寸法は約14μmである。このバンク層6d
と遮光層6bとにて隔壁6が形成される(図39中手順
S4)。
2上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組
成物6cを例えばスピンコート法で塗布形成する(図3
9中手順S3)。この感光性樹脂組成物6cを設けたマ
ザー基板12を100℃で20分間プレベークした後、
所定のマトリックスパターン形状を描画した図示しない
マスクフィルムを用いて紫外線露光する。そして、未露
光部分の樹脂を、例えば上述したようなアルカリ性の現
像液で現像し、純水でリンスした後にスピン乾燥する。
最終乾燥としてのアフターベークを例えば200℃で3
0分間実施し、樹脂部分を十分に硬化させ、バンク層6
dを形成する。このバンク層6dの膜厚は平均で約2.
7μm、幅寸法は約14μmである。このバンク層6d
と遮光層6bとにて隔壁6が形成される(図39中手順
S4)。
【0269】上記得られた遮光層6bおよびバンク層6
dで区画された着色層形成領域であるフィルタエレメン
ト形成領域7(特にマザー基板12の露出面)のインク
濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプ
ラズマ処理をする。具体的には、例えばヘリウムに酸素
を20%加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ処
理でエッチングスポットに形成し、マザー基板12を形
成したエッチングスポット下を通過させてエッチング
し、マザー基板12の前処理工程を実施する。
dで区画された着色層形成領域であるフィルタエレメン
ト形成領域7(特にマザー基板12の露出面)のインク
濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプ
ラズマ処理をする。具体的には、例えばヘリウムに酸素
を20%加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ処
理でエッチングスポットに形成し、マザー基板12を形
成したエッチングスポット下を通過させてエッチング
し、マザー基板12の前処理工程を実施する。
【0270】次に、上述の前処理が実施されたマザー基
板12の隔壁6で区切られて形成されたフィルタエレメ
ント形成領域7内に、赤(R)、緑(G)、青(B)の
各フィルタエレメント材料をインクジェット方式により
導入、すなわち吐出する(図39中手順S5)。
板12の隔壁6で区切られて形成されたフィルタエレメ
ント形成領域7内に、赤(R)、緑(G)、青(B)の
各フィルタエレメント材料をインクジェット方式により
導入、すなわち吐出する(図39中手順S5)。
【0271】このインクジェット方式によるフィルタエ
レメント材料の吐出に際しては、あらかじめヘッドユニ
ット420を組立形成しておく。そして、液滴吐出装置
の各液滴吐出装置405R、405G、405Bにおい
て、各インクジェットヘッド421の1つのノズル46
6から吐出されるフィルタエレメント材料13の吐出量
が所定量、例えば10pl程度となるように調整してお
く。一方、マザー基板12の一面に、あらかじめ隔壁6
を格子状パターンに形成しておく。
レメント材料の吐出に際しては、あらかじめヘッドユニ
ット420を組立形成しておく。そして、液滴吐出装置
の各液滴吐出装置405R、405G、405Bにおい
て、各インクジェットヘッド421の1つのノズル46
6から吐出されるフィルタエレメント材料13の吐出量
が所定量、例えば10pl程度となるように調整してお
く。一方、マザー基板12の一面に、あらかじめ隔壁6
を格子状パターンに形成しておく。
【0272】そして、上述したように前処理したマザー
基板12を、図示しない搬送ロボットにより、まずR色
用の液滴吐出装置405R内に搬入し、液滴吐出装置4
05R内の台座部上に載置する。この台座部上に載置さ
れたマザー基板12は、例えば吸引により位置決め固定
される。そして、マザー基板12を保持した台座部は、
各種カメラなどの撮像装置にてマザー基板12の位置が
確認され、適宜所定の位置となるように走査駆動装置4
25を制御して移動する。また、送り駆動装置427に
てヘッドユニット420を適宜移動させ、その位置を認
識する。この後、ヘッドユニット420を送り方向に移
動させドット抜け検出ユニット487にて、ノズル46
6からの吐出状態を検出し、吐出不良を生じていないこ
とを認識して初期位置に移動させる。
基板12を、図示しない搬送ロボットにより、まずR色
用の液滴吐出装置405R内に搬入し、液滴吐出装置4
05R内の台座部上に載置する。この台座部上に載置さ
れたマザー基板12は、例えば吸引により位置決め固定
される。そして、マザー基板12を保持した台座部は、
各種カメラなどの撮像装置にてマザー基板12の位置が
確認され、適宜所定の位置となるように走査駆動装置4
25を制御して移動する。また、送り駆動装置427に
てヘッドユニット420を適宜移動させ、その位置を認
識する。この後、ヘッドユニット420を送り方向に移
動させドット抜け検出ユニット487にて、ノズル46
6からの吐出状態を検出し、吐出不良を生じていないこ
とを認識して初期位置に移動させる。
【0273】この後、走査駆動装置425により可動さ
れる台座部に保持されたマザー基板12をX方向に走査
して、マザー基板12に対して相対的にヘッドユニット
420を移動させつつ、適宜インクジェットヘッド42
1の所定のノズル466から適宜フィルタエレメント材
料13を吐出させ、マザー基板12の隔壁6にて区画さ
れた凹部内に充填する。このノズル466からの吐出
は、図示しない制御装置により、図37に示すノズル4
66の配設方向の両端部に位置する所定領域X、例えば
両端10個ずつのノズル466からはフィルタエレメン
ト材料13は吐出させない制御をし、中間部分に位置す
る比較的に吐出量が一様な160個から吐出させる。
れる台座部に保持されたマザー基板12をX方向に走査
して、マザー基板12に対して相対的にヘッドユニット
420を移動させつつ、適宜インクジェットヘッド42
1の所定のノズル466から適宜フィルタエレメント材
料13を吐出させ、マザー基板12の隔壁6にて区画さ
れた凹部内に充填する。このノズル466からの吐出
は、図示しない制御装置により、図37に示すノズル4
66の配設方向の両端部に位置する所定領域X、例えば
両端10個ずつのノズル466からはフィルタエレメン
ト材料13は吐出させない制御をし、中間部分に位置す
る比較的に吐出量が一様な160個から吐出させる。
【0274】また、ノズル466からの吐出は、走査方
向の直線上、すなわち走査ライン上に2つのノズル46
6が位置するので、移動中に1つの凹部に1ノズル46
6から2ドット、より詳しくは1ノズル466から1ド
ットとして2液滴8分を吐出させるので、計8液滴8分
が吐出される。この1走査移動毎にドット抜け検出ユニ
ット487より吐出状態を検出してドット抜けが生じて
いないか確認する。
向の直線上、すなわち走査ライン上に2つのノズル46
6が位置するので、移動中に1つの凹部に1ノズル46
6から2ドット、より詳しくは1ノズル466から1ド
ットとして2液滴8分を吐出させるので、計8液滴8分
が吐出される。この1走査移動毎にドット抜け検出ユニ
ット487より吐出状態を検出してドット抜けが生じて
いないか確認する。
【0275】ドット抜けを認識しない場合、ヘッドユニ
ット420を送り方向に所定量移動させ、再びマザー基
板12を保持する台座部を走査方向に移動させつつフィ
ルタエレメント材料13を吐出させる動作を繰り返し、
所定のカラーフィルタ形成領域11の所定のフィルタエ
レメント形成領域7にフィルタエレメント3を形成す
る。
ット420を送り方向に所定量移動させ、再びマザー基
板12を保持する台座部を走査方向に移動させつつフィ
ルタエレメント材料13を吐出させる動作を繰り返し、
所定のカラーフィルタ形成領域11の所定のフィルタエ
レメント形成領域7にフィルタエレメント3を形成す
る。
【0276】そして、R色のフィルタエレメント材料1
3が吐出されたマザー基板12は、図示しない搬送ロボ
ットにより液滴吐出装置405Rから採り出され、図示
しない多段ベーク炉にて、フィルタエレメント材料13
を例えば120℃で5分間乾燥させる。この乾燥後、搬
送ロボットにより多段ベーク炉からマザー基板12を採
り出し、冷却しつつ搬送する。この後、液滴吐出装置4
05Rから順次G色用の液滴吐出装置405GおよびB
色用の液滴吐出装置405Bに搬送し、R色の形成の場
合と同様に、所定のフィルタエレメント形成領域7にG
色およびB色のフィルタエレメント材料13を順次吐出
する。なお、この場合、上記と同様に、例えばマザー基
板12の供給姿勢を変えるなどの方法で、3色のフィル
タエレメント材料のうち一色の材料が他の2色の材料と
は異なる走査方向で走査される際に吐出されるようにす
る。そして、各3色のフィルタエレメント材料13が吐
出されて乾燥されたマザー基板12を回収し、熱処理、
すなわちフィルタエレメント材料13を加熱により固化
定着させる(図39中手順S6)。
3が吐出されたマザー基板12は、図示しない搬送ロボ
ットにより液滴吐出装置405Rから採り出され、図示
しない多段ベーク炉にて、フィルタエレメント材料13
を例えば120℃で5分間乾燥させる。この乾燥後、搬
送ロボットにより多段ベーク炉からマザー基板12を採
り出し、冷却しつつ搬送する。この後、液滴吐出装置4
05Rから順次G色用の液滴吐出装置405GおよびB
色用の液滴吐出装置405Bに搬送し、R色の形成の場
合と同様に、所定のフィルタエレメント形成領域7にG
色およびB色のフィルタエレメント材料13を順次吐出
する。なお、この場合、上記と同様に、例えばマザー基
板12の供給姿勢を変えるなどの方法で、3色のフィル
タエレメント材料のうち一色の材料が他の2色の材料と
は異なる走査方向で走査される際に吐出されるようにす
る。そして、各3色のフィルタエレメント材料13が吐
出されて乾燥されたマザー基板12を回収し、熱処理、
すなわちフィルタエレメント材料13を加熱により固化
定着させる(図39中手順S6)。
【0277】この後、フィルタエレメント3が形成され
たマザー基板12の略全面に保護膜4を形成する。さら
に、この保護膜4の上面にITOにて電極層5を所要パ
ターンで形成する。この後、別途カラーフィルタ形成領
域11毎に切断して複数のカラーフィルタ1を切り出し
形成する(図39中手順S7)。このカラーフィルタ1
が形成された基板12は、先に実施形態において説明し
たように、図18に示すような液晶装置における一対の
基板の一方として用いられる。
たマザー基板12の略全面に保護膜4を形成する。さら
に、この保護膜4の上面にITOにて電極層5を所要パ
ターンで形成する。この後、別途カラーフィルタ形成領
域11毎に切断して複数のカラーフィルタ1を切り出し
形成する(図39中手順S7)。このカラーフィルタ1
が形成された基板12は、先に実施形態において説明し
たように、図18に示すような液晶装置における一対の
基板の一方として用いられる。
【0278】(カラーフィルタの製造装置の効果)この
図27ないし図39に示す実施形態によれば、先に説明
した各実施の形態の作用効果に加え、以下に示す作用効
果を奏する。
図27ないし図39に示す実施形態によれば、先に説明
した各実施の形態の作用効果に加え、以下に示す作用効
果を奏する。
【0279】すなわち、流動性を有した液状体としての
例えばインクであるフィルタエレメント材料13を液滴
8として吐出するノズル466が一面に複数設けられ互
いに並べて配置された複数のインクジェットヘッド42
1を、これらインクジェットヘッド421のノズル46
6が設けられた一面が被吐出物であるマザー基板12の
表面に所定の間隙を介して対向する状態で、マザー基板
12の表面に沿って相対的に移動させ、複数のインクジ
ェットヘッド421の各ノズル466からマザー基板1
2の表面上に同一のフィルタエレメント材料13を吐出
させる。このため、例えば実質的に同一の規格品のイン
クジェットヘッド421を用いて、マザー基板12の広
い範囲にフィルタエレメント材料13を吐出させること
が可能となり、長手(長尺)の特別なインクジェットヘ
ッドを用いることなく従来の規格品を複数用いることで
代用でき、コストを低減できる。寸法の長いインクジェ
ットヘッドは、製造歩留まりが極めて落ちるので、高価
な部品になってしまうが、それに比べて短寸法のインク
ジェットヘッド421は製造歩留まりが良いので、本発
明ではこれを複数使って実質的な長手のインクジェット
ヘッドとなるように配置するだけであるため、コストを
大幅に低減することができる。
例えばインクであるフィルタエレメント材料13を液滴
8として吐出するノズル466が一面に複数設けられ互
いに並べて配置された複数のインクジェットヘッド42
1を、これらインクジェットヘッド421のノズル46
6が設けられた一面が被吐出物であるマザー基板12の
表面に所定の間隙を介して対向する状態で、マザー基板
12の表面に沿って相対的に移動させ、複数のインクジ
ェットヘッド421の各ノズル466からマザー基板1
2の表面上に同一のフィルタエレメント材料13を吐出
させる。このため、例えば実質的に同一の規格品のイン
クジェットヘッド421を用いて、マザー基板12の広
い範囲にフィルタエレメント材料13を吐出させること
が可能となり、長手(長尺)の特別なインクジェットヘ
ッドを用いることなく従来の規格品を複数用いることで
代用でき、コストを低減できる。寸法の長いインクジェ
ットヘッドは、製造歩留まりが極めて落ちるので、高価
な部品になってしまうが、それに比べて短寸法のインク
ジェットヘッド421は製造歩留まりが良いので、本発
明ではこれを複数使って実質的な長手のインクジェット
ヘッドとなるように配置するだけであるため、コストを
大幅に低減することができる。
【0280】さらに、例えばインクジェットヘッド42
1を並べて配列する配置方向や数、吐出するために使用
するノズル466の数や間隔(ノズル466を1個また
は数個おきに使用して画素のピッチに調節することもで
きる)を適宜設定することにより、サイズや画素のピッ
チや配列の異なったカラーフィルタ1に対してもフィル
タエレメント材料13を吐出する領域に対応させること
が可能となり、汎用性を向上できる。
1を並べて配列する配置方向や数、吐出するために使用
するノズル466の数や間隔(ノズル466を1個また
は数個おきに使用して画素のピッチに調節することもで
きる)を適宜設定することにより、サイズや画素のピッ
チや配列の異なったカラーフィルタ1に対してもフィル
タエレメント材料13を吐出する領域に対応させること
が可能となり、汎用性を向上できる。
【0281】そして、複数のインクジェットヘッド42
1として実質的に同一形状のものを用いることにより、
1種類のインクジェットヘッド421でも、適宜配列さ
せることで液状体を吐出する領域に対応させることが可
能となり、構成が簡略化し、製造性を向上でき、コスト
も低減できる。
1として実質的に同一形状のものを用いることにより、
1種類のインクジェットヘッド421でも、適宜配列さ
せることで液状体を吐出する領域に対応させることが可
能となり、構成が簡略化し、製造性を向上でき、コスト
も低減できる。
【0282】また、ノズル466が略等間隔で直線上に
配設したインクジェットヘッド421を用いることによ
り、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型など、
所定の規則性を有した構成を描画することが容易にでき
る。
配設したインクジェットヘッド421を用いることによ
り、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型など、
所定の規則性を有した構成を描画することが容易にでき
る。
【0283】そして、マザー基板12の表面に沿って相
対的に移動される走査方向に対してノズル466の略直
線上の配設方向が交差する傾斜した状態の方向に沿うよ
うに、複数のインクジェットヘッド421をマザー基板
12の表面に沿って相対的に移動させるので、複数のイ
ンクジェットヘッド421のノズル466の配列方向が
マザー基板12の表面に沿って移動される方向である走
査方向に対して傾斜する状態となる。このため、フィル
タエレメント材料13の吐出される間隔であるピッチが
ノズル間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメ
ント材料13が吐出されたマザー基板12を液晶パネル
などの電気光学装置である表示装置などに利用した場
合、より詳細な表示形態が得られ、良好な表示装置を得
ることができる。さらに、隣り合うインクジェットヘッ
ド421の干渉を防止することが可能となり、容易に小
型化を図ることができる。そして、この傾斜角を適宜設
定することにより、描画のドットピッチが適宜設定さ
れ、汎用性を向上できる。
対的に移動される走査方向に対してノズル466の略直
線上の配設方向が交差する傾斜した状態の方向に沿うよ
うに、複数のインクジェットヘッド421をマザー基板
12の表面に沿って相対的に移動させるので、複数のイ
ンクジェットヘッド421のノズル466の配列方向が
マザー基板12の表面に沿って移動される方向である走
査方向に対して傾斜する状態となる。このため、フィル
タエレメント材料13の吐出される間隔であるピッチが
ノズル間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメ
ント材料13が吐出されたマザー基板12を液晶パネル
などの電気光学装置である表示装置などに利用した場
合、より詳細な表示形態が得られ、良好な表示装置を得
ることができる。さらに、隣り合うインクジェットヘッ
ド421の干渉を防止することが可能となり、容易に小
型化を図ることができる。そして、この傾斜角を適宜設
定することにより、描画のドットピッチが適宜設定さ
れ、汎用性を向上できる。
【0284】さらに、ノズル466が略等間隔で直線上
に配設されたインクジェットヘッド421の構成におい
て、長手矩形状のインクジェットヘッド421に長手方
向に沿ってノズル466を略等間隔で直線上に設けたの
で、インクジェットヘッド421が小型化し、例えば隣
接するインクジェットヘッド421同士や他の部位との
干渉を防止でき、容易に小型化できる。
に配設されたインクジェットヘッド421の構成におい
て、長手矩形状のインクジェットヘッド421に長手方
向に沿ってノズル466を略等間隔で直線上に設けたの
で、インクジェットヘッド421が小型化し、例えば隣
接するインクジェットヘッド421同士や他の部位との
干渉を防止でき、容易に小型化できる。
【0285】また、ノズル466の配設方向がそれぞれ
略平行となる状態で複数のインクジェットヘッド421
をキャリッジ426に配設してヘッドユニット420を
構成したので、長手の特別なインクジェットヘッドを用
いることなく容易に1つの領域に同一の液状体の複数の
吐出領域を形成できる。さらに、1つの箇所に異なるイ
ンクジェットヘッド421からフィルタエレメント材料
13を重ねて吐出させることが可能となり、吐出領域で
の吐出量を容易に平均化でき、安定した良好な描画を得
ることができる。
略平行となる状態で複数のインクジェットヘッド421
をキャリッジ426に配設してヘッドユニット420を
構成したので、長手の特別なインクジェットヘッドを用
いることなく容易に1つの領域に同一の液状体の複数の
吐出領域を形成できる。さらに、1つの箇所に異なるイ
ンクジェットヘッド421からフィルタエレメント材料
13を重ねて吐出させることが可能となり、吐出領域で
の吐出量を容易に平均化でき、安定した良好な描画を得
ることができる。
【0286】そして、複数のインクジェットヘッド42
1をそれぞれ走査方向Xに対して交差する方向に傾斜さ
せ、かつ全てのノズル466の配置方向が互いに平行に
なるようにインクジェットヘッド421の長手方向とは
異なる方向に並べて配置したため、長尺な寸法を有する
特別なインクジェットヘッドを製造することなく容易に
吐出領域を拡大できる。さらに、ノズル466の配列方
向が走査方向に対して交差する方向に傾斜する状態とす
ることにより、上述したように、隣り合うインクジェッ
トヘッド421が干渉することなく、フィルタエレメン
ト材料13の吐出される間隔であるピッチがノズル46
6間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメント
材料13が吐出されたマザー基板12を表示装置などに
利用した場合、より詳細な表示形態が得られる。そし
て、この傾斜角を適宜設定することにより、描画のドッ
トピッチが適宜設定され、汎用性を向上できる。
1をそれぞれ走査方向Xに対して交差する方向に傾斜さ
せ、かつ全てのノズル466の配置方向が互いに平行に
なるようにインクジェットヘッド421の長手方向とは
異なる方向に並べて配置したため、長尺な寸法を有する
特別なインクジェットヘッドを製造することなく容易に
吐出領域を拡大できる。さらに、ノズル466の配列方
向が走査方向に対して交差する方向に傾斜する状態とす
ることにより、上述したように、隣り合うインクジェッ
トヘッド421が干渉することなく、フィルタエレメン
ト材料13の吐出される間隔であるピッチがノズル46
6間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメント
材料13が吐出されたマザー基板12を表示装置などに
利用した場合、より詳細な表示形態が得られる。そし
て、この傾斜角を適宜設定することにより、描画のドッ
トピッチが適宜設定され、汎用性を向上できる。
【0287】また、複数のインクジェットヘッド421
を複数列例えば2列で略千鳥状に配設したため、長手の
特別なインクジェットヘッド421を用いることなく、
既製品のインクジェットヘッド421を用いても、隣り
合うインクジェットヘッド421が干渉せずにインクジ
ェットヘッド421間でフィルタエレメント材料13が
吐出されない領域を生じることがなく、連続的なフィル
タエレメント材料13の良好な吐出、すなわち連続した
描画ができる。
を複数列例えば2列で略千鳥状に配設したため、長手の
特別なインクジェットヘッド421を用いることなく、
既製品のインクジェットヘッド421を用いても、隣り
合うインクジェットヘッド421が干渉せずにインクジ
ェットヘッド421間でフィルタエレメント材料13が
吐出されない領域を生じることがなく、連続的なフィル
タエレメント材料13の良好な吐出、すなわち連続した
描画ができる。
【0288】そして、流動性を有した液状体である例え
ばインクであるフィルタエレメント材料13を吐出する
ノズル466が一面に複数設けられたインクジェットヘ
ッド421を、インクジェットヘッド421のノズル4
66が設けられた一面が被吐出物としてのマザー基板1
2の表面に所定の間隙を介して対向する状態でマザー基
板12の表面に沿って相対的に移動させ、この相対的な
移動方向に沿った直線上に位置する複数、例えば2つの
ノズル466からフィルタエレメント材料13を吐出さ
せる。このため、異なる2つのノズル466から重ねて
フィルタエレメント材料13を吐出する構成が得られ、
仮に複数のノズル466間において吐出量にバラツキが
存在する場合でも、吐出されたフィルタエレメント材料
13の吐出量が平均化されてバラツキを防止でき、平面
的に均一な吐出が得られ、平面的に品質の均一な良好な
特性の電気光学装置を得ることができる。
ばインクであるフィルタエレメント材料13を吐出する
ノズル466が一面に複数設けられたインクジェットヘ
ッド421を、インクジェットヘッド421のノズル4
66が設けられた一面が被吐出物としてのマザー基板1
2の表面に所定の間隙を介して対向する状態でマザー基
板12の表面に沿って相対的に移動させ、この相対的な
移動方向に沿った直線上に位置する複数、例えば2つの
ノズル466からフィルタエレメント材料13を吐出さ
せる。このため、異なる2つのノズル466から重ねて
フィルタエレメント材料13を吐出する構成が得られ、
仮に複数のノズル466間において吐出量にバラツキが
存在する場合でも、吐出されたフィルタエレメント材料
13の吐出量が平均化されてバラツキを防止でき、平面
的に均一な吐出が得られ、平面的に品質の均一な良好な
特性の電気光学装置を得ることができる。
【0289】また、フィルタエレメント材料13を吐出
するノズル466が一面に複数略直線上に設けられたイ
ンクジェットヘッド421を、これらインクジェットヘ
ッド421のノズル466が設けられた一面が被吐出物
としてのマザー基板12の表面に所定の間隙を介して対
向する状態でマザー基板12の表面に沿って相対的に移
動させ、インクジェットヘッド421の各ノズル466
のうちこれらノズル466の配設方向の両端部の所定領
域Xに位置する例えば両側10個のノズル466からは
吐出させることなく所定領域X以外の中間部分に位置す
るノズル466からマザー基板12の表面にフィルタエ
レメント材料13を吐出する。この構成により、吐出量
が特に多くなるノズル466の配設方向の両端部に位置
する所定領域である両端10個ずつのノズル466から
は吐出させず、吐出量が比較的一様な中間部分のノズル
466を用いてフィルタエレメント材料13を吐出させ
るので、マザー基板12の表面に平面的に均一に吐出で
き、平面的に品質が均一なカラーフィルタ1が得られ、
このカラーフィルタ1を用いた電気光学装置である表示
装置にて良好な表示が得られる。
するノズル466が一面に複数略直線上に設けられたイ
ンクジェットヘッド421を、これらインクジェットヘ
ッド421のノズル466が設けられた一面が被吐出物
としてのマザー基板12の表面に所定の間隙を介して対
向する状態でマザー基板12の表面に沿って相対的に移
動させ、インクジェットヘッド421の各ノズル466
のうちこれらノズル466の配設方向の両端部の所定領
域Xに位置する例えば両側10個のノズル466からは
吐出させることなく所定領域X以外の中間部分に位置す
るノズル466からマザー基板12の表面にフィルタエ
レメント材料13を吐出する。この構成により、吐出量
が特に多くなるノズル466の配設方向の両端部に位置
する所定領域である両端10個ずつのノズル466から
は吐出させず、吐出量が比較的一様な中間部分のノズル
466を用いてフィルタエレメント材料13を吐出させ
るので、マザー基板12の表面に平面的に均一に吐出で
き、平面的に品質が均一なカラーフィルタ1が得られ、
このカラーフィルタ1を用いた電気光学装置である表示
装置にて良好な表示が得られる。
【0290】そして、フィルタエレメント材料13の吐
出量の平均値より1割以上多い吐出量となるノズル46
6からは吐出させないので、特にカラーフィルタ1のフ
ィルタエレメント材料13やEL発光材料、荷電粒子を
含有した電気泳動装置用などの機能性液状体を液状体と
して用いる場合でも、特性にバラツキが生じず、液晶装
置やEL装置などの電気光学装置として良好な特性を確
実に得ることができる。
出量の平均値より1割以上多い吐出量となるノズル46
6からは吐出させないので、特にカラーフィルタ1のフ
ィルタエレメント材料13やEL発光材料、荷電粒子を
含有した電気泳動装置用などの機能性液状体を液状体と
して用いる場合でも、特性にバラツキが生じず、液晶装
置やEL装置などの電気光学装置として良好な特性を確
実に得ることができる。
【0291】また、各ノズル466から吐出量の平均値
に対してプラスマイナス1割以内でフィルタエレメント
材料13が吐出されるので、吐出量が比較的一様とな
り、マザー基板12の表面に平面的に均一に吐出され、
良好な特性の電気光学装置が得られる。
に対してプラスマイナス1割以内でフィルタエレメント
材料13が吐出されるので、吐出量が比較的一様とな
り、マザー基板12の表面に平面的に均一に吐出され、
良好な特性の電気光学装置が得られる。
【0292】さらに、ドット抜け検出ユニット487を
設け、ノズル466からのフィルタエレメント材料13
の吐出を検出するため、フィルタエレメント材料13の
吐出むらを防止でき、確実で良好な液状体の吐出である
描画を得ることができる。
設け、ノズル466からのフィルタエレメント材料13
の吐出を検出するため、フィルタエレメント材料13の
吐出むらを防止でき、確実で良好な液状体の吐出である
描画を得ることができる。
【0293】そして、ドット抜け検出ユニット487に
光センサを設け、この光センサにてフィルタエレメント
材料13の吐出方向に対して交差する方向でフィルタエ
レメント材料13の通過を検出するので、フィルタエレ
メント材料13を吐出する工程中でも、簡単な構成で確
実なフィルタエレメント材料13の吐出状態を認識で
き、フィルタエレメント材料13の吐出むらを防止で
き、確実で良好なフィルタエレメント材料13の吐出で
ある描画を得ることができる。
光センサを設け、この光センサにてフィルタエレメント
材料13の吐出方向に対して交差する方向でフィルタエ
レメント材料13の通過を検出するので、フィルタエレ
メント材料13を吐出する工程中でも、簡単な構成で確
実なフィルタエレメント材料13の吐出状態を認識で
き、フィルタエレメント材料13の吐出むらを防止で
き、確実で良好なフィルタエレメント材料13の吐出で
ある描画を得ることができる。
【0294】さらに、ノズル466からマザー基板12
にフィルタエレメント材料13を吐出する工程の前後
で、ドット抜け検出ユニット487によりフィルタエレ
メント材料13の吐出の吐出を検出するため、フィルタ
エレメント材料13の吐出の吐出直前および直後の吐出
状態を検出でき、フィルタエレメント材料13の吐出の
吐出状態を確実に認識でき、ドット抜けを確実に防止し
て良好な描画を得ることができる。なお、吐出する構成
の前あるいは後のいずれか一方の時点で行うのみでもよ
い。
にフィルタエレメント材料13を吐出する工程の前後
で、ドット抜け検出ユニット487によりフィルタエレ
メント材料13の吐出の吐出を検出するため、フィルタ
エレメント材料13の吐出の吐出直前および直後の吐出
状態を検出でき、フィルタエレメント材料13の吐出の
吐出状態を確実に認識でき、ドット抜けを確実に防止し
て良好な描画を得ることができる。なお、吐出する構成
の前あるいは後のいずれか一方の時点で行うのみでもよ
い。
【0295】また、ヘッドユニット420の走査方向側
にドット抜け検出ユニット487を配設するため、フィ
ルタエレメント材料13の吐出の吐出状態の検出のため
にヘッドユニット420を移動させる距離が短く、かつ
吐出のための走査方向への移動をそのまま継続させる簡
単な構成ででき、ドット抜けの検出を効率よく簡単な構
成でできる。
にドット抜け検出ユニット487を配設するため、フィ
ルタエレメント材料13の吐出の吐出状態の検出のため
にヘッドユニット420を移動させる距離が短く、かつ
吐出のための走査方向への移動をそのまま継続させる簡
単な構成ででき、ドット抜けの検出を効率よく簡単な構
成でできる。
【0296】そして、インクジェットヘッド421を2
列に点対称で配設したため、フィルタエレメント材料1
3の吐出を供給する供給管478をヘッドユニット42
0の近傍までまとめることができ、装置の組立や保守管
理などが容易にできる。さらに、インクジェットヘッド
421を制御するための電気配線442の配線がヘッド
ユニット420の両側からとなり、配線による電気ノイ
ズの影響を防止でき、良好で安定した描画を得ることが
できる。
列に点対称で配設したため、フィルタエレメント材料1
3の吐出を供給する供給管478をヘッドユニット42
0の近傍までまとめることができ、装置の組立や保守管
理などが容易にできる。さらに、インクジェットヘッド
421を制御するための電気配線442の配線がヘッド
ユニット420の両側からとなり、配線による電気ノイ
ズの影響を防止でき、良好で安定した描画を得ることが
できる。
【0297】さらに、複数のインクジェットヘッド42
1を短冊状のプリント基板435の一端側に配設し、他
端側にコネクタ441を設けたため、複数直線上に配設
してもコネクタ441が干渉することなく配設でき、小
型化ができるとともに、走査方向でのノズル466が存
在しない位置が形成されることがなく、連続したノズル
466の配列を得ることができ、長い寸法の特別なイン
クジェットヘッドを用いる必要がない。
1を短冊状のプリント基板435の一端側に配設し、他
端側にコネクタ441を設けたため、複数直線上に配設
してもコネクタ441が干渉することなく配設でき、小
型化ができるとともに、走査方向でのノズル466が存
在しない位置が形成されることがなく、連続したノズル
466の配列を得ることができ、長い寸法の特別なイン
クジェットヘッドを用いる必要がない。
【0298】そして、コネクタ441が反対側に位置す
るように点対称で配設したため、コネクタ441部分で
の電気ノイズの影響を防止でき、良好で安定した描画を
得ることができる。
るように点対称で配設したため、コネクタ441部分で
の電気ノイズの影響を防止でき、良好で安定した描画を
得ることができる。
【0299】なお、これらの実施形態における作用効果
は、上記各実施形態で同様の構成を有していれば、対応
する同様の作用効果を奏する。
は、上記各実施形態で同様の構成を有していれば、対応
する同様の作用効果を奏する。
【0300】[EL素子を用いた表示装置(電気光学装
置)及びその製造方法]次に、本発明の表示装置(電気
光学装置)及びその製造方法について図面を参照して説
明する。なお、本実施形態では、各種の表示装置のう
ち、電気光学装置として、EL表示素子を用いたアクテ
ィブマトリックス型の表示装置について説明する。な
お、この表示装置の製造方法の説明に先立って、製造さ
れる表示装置の構成について説明する。
置)及びその製造方法]次に、本発明の表示装置(電気
光学装置)及びその製造方法について図面を参照して説
明する。なお、本実施形態では、各種の表示装置のう
ち、電気光学装置として、EL表示素子を用いたアクテ
ィブマトリックス型の表示装置について説明する。な
お、この表示装置の製造方法の説明に先立って、製造さ
れる表示装置の構成について説明する。
【0301】(表示装置の構成)図40は、本発明の電
気光学装置の製造装置における有機EL装置の一部を示
す等価回路図である。図41は、表示装置の表示ドット
(画素領域)の平面構造を示す拡大平面図である。この
表示装置は、図40に示すように、EL装置であるEL
表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置
501である。この表示装置501は、基板である透明
の表示基板502上に、複数の走査線503と、これら
走査線503に対して交差する方向に延びる複数の信号
線504と、これら信号線504に並列に延びる複数の
共通給電線505とがそれぞれ配線された構成を有して
いる。そして、走査線503と信号線504との各交点
には、画素領域(表示ドット)501Aが設けられてい
る。
気光学装置の製造装置における有機EL装置の一部を示
す等価回路図である。図41は、表示装置の表示ドット
(画素領域)の平面構造を示す拡大平面図である。この
表示装置は、図40に示すように、EL装置であるEL
表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置
501である。この表示装置501は、基板である透明
の表示基板502上に、複数の走査線503と、これら
走査線503に対して交差する方向に延びる複数の信号
線504と、これら信号線504に並列に延びる複数の
共通給電線505とがそれぞれ配線された構成を有して
いる。そして、走査線503と信号線504との各交点
には、画素領域(表示ドット)501Aが設けられてい
る。
【0302】信号線504に対しては、シフトレジス
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
有したデータ側駆動回路507が設けられている。ま
た、走査線503に対しては、シフトレジスタおよびレ
ベルシフタを有した走査側駆動回路508が設けられて
いる。そして、画素領域501Aのそれぞれには、走査
線503を介して走査信号がゲート電極に供給されるス
イッチング薄膜トランジスタ509と、このスイッチン
グ薄膜トランジスタ509を介して信号線504から供
給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量cap
と、この蓄積容量capによって保持された画像信号が
ゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ51
0と、このカレント薄膜トランジスタ510を介して共
通給電線505に電気的に接続したときに共通給電線5
05から駆動電流が流れ込む画素電極511と、この画
素電極511および反射電極512間に挟み込まれる発
光素子513とが設けられている。
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
有したデータ側駆動回路507が設けられている。ま
た、走査線503に対しては、シフトレジスタおよびレ
ベルシフタを有した走査側駆動回路508が設けられて
いる。そして、画素領域501Aのそれぞれには、走査
線503を介して走査信号がゲート電極に供給されるス
イッチング薄膜トランジスタ509と、このスイッチン
グ薄膜トランジスタ509を介して信号線504から供
給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量cap
と、この蓄積容量capによって保持された画像信号が
ゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ51
0と、このカレント薄膜トランジスタ510を介して共
通給電線505に電気的に接続したときに共通給電線5
05から駆動電流が流れ込む画素電極511と、この画
素電極511および反射電極512間に挟み込まれる発
光素子513とが設けられている。
【0303】この構成により、走査線503が駆動され
てスイッチング薄膜トランジスタ509がオンすると、
その時の信号線504の電位が蓄積容量capに保持さ
れる。この蓄積容量capの状態に応じて、カレント薄
膜トランジスタ510のオン・オフ状態が決まる。そし
て、カレント薄膜トランジスタ510のチャネルを介し
て、共通給電線505から画素電極511に電流が流
れ、さらに発光素子513を通じて反射電極512に電
流が流れる。このことにより、発光素子513は、これ
を流れる電流量に応じて発光する。
てスイッチング薄膜トランジスタ509がオンすると、
その時の信号線504の電位が蓄積容量capに保持さ
れる。この蓄積容量capの状態に応じて、カレント薄
膜トランジスタ510のオン・オフ状態が決まる。そし
て、カレント薄膜トランジスタ510のチャネルを介し
て、共通給電線505から画素電極511に電流が流
れ、さらに発光素子513を通じて反射電極512に電
流が流れる。このことにより、発光素子513は、これ
を流れる電流量に応じて発光する。
【0304】ここで、画素領域501Aは、反射電極5
12や発光素子513を取り除いた状態の拡大平面図で
ある図41に示すように、平面状態が長方形の画素電極
511の4辺が、信号線504、共通給電線505、走
査線503および図示しない他の画素電極511用の走
査線503によって囲まれた配置となっている。
12や発光素子513を取り除いた状態の拡大平面図で
ある図41に示すように、平面状態が長方形の画素電極
511の4辺が、信号線504、共通給電線505、走
査線503および図示しない他の画素電極511用の走
査線503によって囲まれた配置となっている。
【0305】次に、上記EL表示素子を用いたアクティ
ブマトリックス型の表示装置を製造する製造工程の手順
について説明する。図42乃至図44は、EL表示素子
を用いたアクティブマトリックス型の表示装置の製造工
程の手順を示す製造工程断面図である。
ブマトリックス型の表示装置を製造する製造工程の手順
について説明する。図42乃至図44は、EL表示素子
を用いたアクティブマトリックス型の表示装置の製造工
程の手順を示す製造工程断面図である。
【0306】まず、図42(A)に示すように、透明の
表示基板502に対して、必要に応じて、テトラエトキ
シシラン(TEOS)や酸素ガスなどを原料ガスとして
プラズマCVD法により、厚さ寸法が約2000〜50
00オングストロームのシリコン酸化膜である図示しな
い下地保護膜を形成する。次に、表示基板502の温度
を約350℃に設定し、下地保護膜の表面にプラズマC
VD法により厚さ寸法が約300〜700オングストロ
ームの非晶質のシリコン膜である半導体膜520aを形
成する。この後、半導体膜520aに対して、レーザア
ニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半
導体膜520aをポリシリコン膜に結晶化する。ここ
で、レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビ
ームの長寸が約400nmのラインビームを用い、出力
強度が約200mJ/cm2である。ラインビームにつ
いては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の
約90%に相当する部分が各領域毎に重なるようにライ
ンビームが走査される。
表示基板502に対して、必要に応じて、テトラエトキ
シシラン(TEOS)や酸素ガスなどを原料ガスとして
プラズマCVD法により、厚さ寸法が約2000〜50
00オングストロームのシリコン酸化膜である図示しな
い下地保護膜を形成する。次に、表示基板502の温度
を約350℃に設定し、下地保護膜の表面にプラズマC
VD法により厚さ寸法が約300〜700オングストロ
ームの非晶質のシリコン膜である半導体膜520aを形
成する。この後、半導体膜520aに対して、レーザア
ニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半
導体膜520aをポリシリコン膜に結晶化する。ここ
で、レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビ
ームの長寸が約400nmのラインビームを用い、出力
強度が約200mJ/cm2である。ラインビームにつ
いては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の
約90%に相当する部分が各領域毎に重なるようにライ
ンビームが走査される。
【0307】そして、図42(B)に示すように、半導
体膜520aをパターニングして島状の半導体膜520
bを形成する。この半導体膜520bが設けられた表示
基板502の表面に、TEOSや酸素ガスなどを原料ガ
スとしてプラズマCVD法により厚さ寸法が約600〜
1500オングストロームのシリコン酸化膜あるいは窒
化膜であるゲート絶縁膜521aを形成する。なお、半
導体膜520bは、カレント薄膜トランジスタ510の
チャネル領域およびソース・ドレイン領域となるもので
あるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜ト
ランジスタ509のチャネル領域およびソース・ドレイ
ン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。す
なわち、図42乃至図44に示す製造工程では二種類の
スイッチング薄膜トランジスタ509およびカレント薄
膜トランジスタ510が同時に形成されるが、同じ手順
で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トラ
ンジスタ510についてのみ説明し、スイッチング薄膜
トランジスタ509については説明を省略する。
体膜520aをパターニングして島状の半導体膜520
bを形成する。この半導体膜520bが設けられた表示
基板502の表面に、TEOSや酸素ガスなどを原料ガ
スとしてプラズマCVD法により厚さ寸法が約600〜
1500オングストロームのシリコン酸化膜あるいは窒
化膜であるゲート絶縁膜521aを形成する。なお、半
導体膜520bは、カレント薄膜トランジスタ510の
チャネル領域およびソース・ドレイン領域となるもので
あるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜ト
ランジスタ509のチャネル領域およびソース・ドレイ
ン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。す
なわち、図42乃至図44に示す製造工程では二種類の
スイッチング薄膜トランジスタ509およびカレント薄
膜トランジスタ510が同時に形成されるが、同じ手順
で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トラ
ンジスタ510についてのみ説明し、スイッチング薄膜
トランジスタ509については説明を省略する。
【0308】この後、図42(C)に示すように、アル
ミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステ
ンなどの金属膜である導電膜をスパッタ法により形成し
た後にパターニングし、図41にも示すゲート電極51
0Aを形成する。この状態で、高温度のリンイオンを打
ち込み、半導体膜520bにゲート電極510Aに対し
て自己整合的にソース・ドレイン領域510a,510
bを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分が
チャネル領域510cとなる。
ミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステ
ンなどの金属膜である導電膜をスパッタ法により形成し
た後にパターニングし、図41にも示すゲート電極51
0Aを形成する。この状態で、高温度のリンイオンを打
ち込み、半導体膜520bにゲート電極510Aに対し
て自己整合的にソース・ドレイン領域510a,510
bを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分が
チャネル領域510cとなる。
【0309】次に、図42(D)に示すように、層間絶
縁膜522を形成した後、コンタクトホール523,5
24を形成し、これらコンタクトホール523,524
内に中継電極526,527を埋め込み形成する。
縁膜522を形成した後、コンタクトホール523,5
24を形成し、これらコンタクトホール523,524
内に中継電極526,527を埋め込み形成する。
【0310】さらに、図42(E)に示すように、層間
絶縁膜522上に、信号線504、共通給電線505お
よび走査線503(図42中には図示しない)を形成す
る。このとき、信号線504、共通給電線505および
走査線503の各配線は、配線として必要な厚さ寸法に
とらわれることなく、十分に厚く形成する。具体的に
は、各配線を例えば1〜2μm程度の厚さ寸法に形成す
るとよい。ここで、中継電極527と各配線とは、同一
工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極52
6は、後述するITO膜により形成される。
絶縁膜522上に、信号線504、共通給電線505お
よび走査線503(図42中には図示しない)を形成す
る。このとき、信号線504、共通給電線505および
走査線503の各配線は、配線として必要な厚さ寸法に
とらわれることなく、十分に厚く形成する。具体的に
は、各配線を例えば1〜2μm程度の厚さ寸法に形成す
るとよい。ここで、中継電極527と各配線とは、同一
工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極52
6は、後述するITO膜により形成される。
【0311】そして、各配線の上面を覆うように層間絶
縁膜530を形成し、中継電極526に対応する位置に
コンタクトホール532を形成する。このコンタクトホ
ール532内を埋めるようにITO膜を形成し、このI
TO膜をパターニングして、信号線504、共通給電線
505および走査線503に囲まれた所定位置に、ソー
ス・ドレイン領域510aに電気的に接続する画素電極
511を形成する。
縁膜530を形成し、中継電極526に対応する位置に
コンタクトホール532を形成する。このコンタクトホ
ール532内を埋めるようにITO膜を形成し、このI
TO膜をパターニングして、信号線504、共通給電線
505および走査線503に囲まれた所定位置に、ソー
ス・ドレイン領域510aに電気的に接続する画素電極
511を形成する。
【0312】ここで、図42(E)では、信号線504
および共通給電線505に挟まれた部分が、光学材料が
選択的に配置される所定位置に相当するものである。そ
して、その所定位置とその周囲との間には、信号線50
4や共通給電線505によって段差535が形成され
る。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く、
凹型の段差535が形成される。
および共通給電線505に挟まれた部分が、光学材料が
選択的に配置される所定位置に相当するものである。そ
して、その所定位置とその周囲との間には、信号線50
4や共通給電線505によって段差535が形成され
る。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く、
凹型の段差535が形成される。
【0313】次に、上述の前処理が実施された表示基板
502にインクジェット方式により、機能性液状体であ
るEL発光材料を吐出する。すなわち、図43(A)に
示すように、前処理が実施された表示基板502の上面
を上方に向けた状態で、発光素子140の下層部分に当
たる正孔注入層513Aを形成するための機能性液状体
としての溶媒に溶かされた溶液状の前駆体である光学材
料540Aを、インクジェット方式すなわち上述した各
実施の形態の装置を用いて吐出し、段差535で囲まれ
た所定位置の領域内に選択的に塗布する。
502にインクジェット方式により、機能性液状体であ
るEL発光材料を吐出する。すなわち、図43(A)に
示すように、前処理が実施された表示基板502の上面
を上方に向けた状態で、発光素子140の下層部分に当
たる正孔注入層513Aを形成するための機能性液状体
としての溶媒に溶かされた溶液状の前駆体である光学材
料540Aを、インクジェット方式すなわち上述した各
実施の形態の装置を用いて吐出し、段差535で囲まれ
た所定位置の領域内に選択的に塗布する。
【0314】この吐出する正孔注入層513Aを形成す
るための光学材料540Aとしては、ポリマー前駆体が
ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフ
ェニレンビニレン、1,1−ビス−(4−N,N−ジト
リルアミノフェニル)シクロヘキサン、トリス(8−ヒ
ドロキシキノリノール)アルミニウムなどが用いられ
る。
るための光学材料540Aとしては、ポリマー前駆体が
ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフ
ェニレンビニレン、1,1−ビス−(4−N,N−ジト
リルアミノフェニル)シクロヘキサン、トリス(8−ヒ
ドロキシキノリノール)アルミニウムなどが用いられ
る。
【0315】なお、この吐出の際、流動性を有した液状
体の光学材料540Aは、上述した各実施の形態の隔壁
にフィルタエレメント材料13を吐出する場合と同様
に、流動性が高いので、平面方向に広がろうとするが、
塗布された位置を取り囲むように段差535が形成され
ているため、光学材料540Aの1回当たりの吐出量を
極端に大量にしなければ、光学材料540Aは段差53
5を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。
体の光学材料540Aは、上述した各実施の形態の隔壁
にフィルタエレメント材料13を吐出する場合と同様
に、流動性が高いので、平面方向に広がろうとするが、
塗布された位置を取り囲むように段差535が形成され
ているため、光学材料540Aの1回当たりの吐出量を
極端に大量にしなければ、光学材料540Aは段差53
5を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。
【0316】そして、図43(B)に示すように、加熱
あるいは光照射などにより液状の光学材料540Aの溶
媒を蒸発させ、画素電極511上に固形の薄い正孔注入
層513Aを形成する。この図43(A),(B)を必
要回数繰り返し、図43(C)に示すように、十分な厚
さ寸法の正孔注入層513Aを形成する。なお、複数の
液滴を吐出させて正孔注入層を形成する場合、吐出時の
ヘッド走査方向を上記のように2以上の異なる方向(例
えば直交する2方向)とすることによって、材料ムラが
低減される。
あるいは光照射などにより液状の光学材料540Aの溶
媒を蒸発させ、画素電極511上に固形の薄い正孔注入
層513Aを形成する。この図43(A),(B)を必
要回数繰り返し、図43(C)に示すように、十分な厚
さ寸法の正孔注入層513Aを形成する。なお、複数の
液滴を吐出させて正孔注入層を形成する場合、吐出時の
ヘッド走査方向を上記のように2以上の異なる方向(例
えば直交する2方向)とすることによって、材料ムラが
低減される。
【0317】次に、図44(A)に示すように、表示基
板502の上面を上に向けた状態で、発光素子513の
上層部分に有機半導体膜513Bを形成するための機能
性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の有機蛍光材
料である光学材料540Bを、インクジェット方式すな
わち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出し、これ
を段差535で囲まれた所定位置である領域内に選択的
に塗布する。なお、この光学材料540Bについても、
上述したように、光学材料540Aの吐出と同様に、段
差535を越えて所定位置の外側に広がることは防止さ
れる。
板502の上面を上に向けた状態で、発光素子513の
上層部分に有機半導体膜513Bを形成するための機能
性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の有機蛍光材
料である光学材料540Bを、インクジェット方式すな
わち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出し、これ
を段差535で囲まれた所定位置である領域内に選択的
に塗布する。なお、この光学材料540Bについても、
上述したように、光学材料540Aの吐出と同様に、段
差535を越えて所定位置の外側に広がることは防止さ
れる。
【0318】この吐出する有機半導体膜513Bを形成
するための光学材料540Bとしては、シアノポリフェ
ニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキ
ルフェニレン、2,3,6,7−テトラヒドロ−11−
オキソ−1H・5H・11H(1)ペンゾビラノ[6,
7,8−ij]−キノリジン−10−カルボン酸、1,
1−ビス−(4−N,N−ジトリルアミノフェニル)シ
クロヘキサン、2−13・4'−ジヒドロキシフェニ
ル)−3,5,7−トリヒドロキシー1―ベンゾピリリ
ウムパークロレート、トリス(8−ヒドロキシキノリノ
ール)アルミニウム、2,3・6・7−テトラヒドロ−
9−メチル−11−オキソ−1H・5H・11H(1)
ベンゾピラノ[6,7,8−ij]−キノリジン、アロ
マティックジアミン誘導体(TDP)、オキシジアゾー
ルダイマ(OXD)、オキシジアゾール誘導体(PB
D)、ジスチルアリーレン誘導体(DSA)、キノリノ
ール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体
(Bebq)、トリフェニルアミン誘導体(MTDAT
A)、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマ、ルブレ
ン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレ
ン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェ
ン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベン
ゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウ
ム錯体などが用いられる。
するための光学材料540Bとしては、シアノポリフェ
ニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキ
ルフェニレン、2,3,6,7−テトラヒドロ−11−
オキソ−1H・5H・11H(1)ペンゾビラノ[6,
7,8−ij]−キノリジン−10−カルボン酸、1,
1−ビス−(4−N,N−ジトリルアミノフェニル)シ
クロヘキサン、2−13・4'−ジヒドロキシフェニ
ル)−3,5,7−トリヒドロキシー1―ベンゾピリリ
ウムパークロレート、トリス(8−ヒドロキシキノリノ
ール)アルミニウム、2,3・6・7−テトラヒドロ−
9−メチル−11−オキソ−1H・5H・11H(1)
ベンゾピラノ[6,7,8−ij]−キノリジン、アロ
マティックジアミン誘導体(TDP)、オキシジアゾー
ルダイマ(OXD)、オキシジアゾール誘導体(PB
D)、ジスチルアリーレン誘導体(DSA)、キノリノ
ール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体
(Bebq)、トリフェニルアミン誘導体(MTDAT
A)、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマ、ルブレ
ン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレ
ン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェ
ン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベン
ゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウ
ム錯体などが用いられる。
【0319】次に、図44(B)に示すように、加熱あ
るいは光照射などにより、光学材料540Bの溶媒を蒸
発させ、正孔注入層513A上に、固形の薄い有機半導
体膜513Bを形成する。この図44(A),(B)を
必要回数繰り返し、図44(C)に示すように、十分な
厚さ寸法の有機半導体膜513Bを形成する。なお、複
数の液滴を吐出させて有機半導体膜であるEL発光層を
形成する場合、吐出時のヘッド走査方向を上記のように
2以上の異なる方向(例えば直交する2方向)とするこ
とによって、材料ムラが低減される。
るいは光照射などにより、光学材料540Bの溶媒を蒸
発させ、正孔注入層513A上に、固形の薄い有機半導
体膜513Bを形成する。この図44(A),(B)を
必要回数繰り返し、図44(C)に示すように、十分な
厚さ寸法の有機半導体膜513Bを形成する。なお、複
数の液滴を吐出させて有機半導体膜であるEL発光層を
形成する場合、吐出時のヘッド走査方向を上記のように
2以上の異なる方向(例えば直交する2方向)とするこ
とによって、材料ムラが低減される。
【0320】上記の正孔注入層513Aおよび有機半導
体膜513Bによって、発光素子513が構成される。
最後に、図44(D)に示すように、表示基板502の
表面全体、若しくはストライプ状に反射電極512を形
成し、表示装置501を製造する。ここで、正孔注入層
と有機半導体膜(EL発光層)とを相互に異なる走査方
向で吐出された液滴で形成することによって、上記と同
様に材料ムラに起因する表示ムラを低減できる。
体膜513Bによって、発光素子513が構成される。
最後に、図44(D)に示すように、表示基板502の
表面全体、若しくはストライプ状に反射電極512を形
成し、表示装置501を製造する。ここで、正孔注入層
と有機半導体膜(EL発光層)とを相互に異なる走査方
向で吐出された液滴で形成することによって、上記と同
様に材料ムラに起因する表示ムラを低減できる。
【0321】この図40ないし図44に示す実施の形態
においても、上述した各実施形態と同様のインクジェッ
ト方式を実施することにより、同様の作用効果を享受で
きる。さらに、機能性液状体を選択的に塗布する際に、
それらが周囲に流れ出ることを防止でき、高精度にパタ
ーニングできる。
においても、上述した各実施形態と同様のインクジェッ
ト方式を実施することにより、同様の作用効果を享受で
きる。さらに、機能性液状体を選択的に塗布する際に、
それらが周囲に流れ出ることを防止でき、高精度にパタ
ーニングできる。
【0322】なお、この図40乃至図44の実施の形態
において、カラー表示を念頭においたEL表示素子を用
いたアクティブマトリックス型の表示装置について説明
したが、例えば図45に示すように、図40乃至図44
に示す構成を単色表示の表示装置にも適用できる。
において、カラー表示を念頭においたEL表示素子を用
いたアクティブマトリックス型の表示装置について説明
したが、例えば図45に示すように、図40乃至図44
に示す構成を単色表示の表示装置にも適用できる。
【0323】すなわち、有機半導体膜513Bは、表示
基板502の全面に一様に形成してもよい。ただし、こ
の場合でも、クロストークを防止するために、正孔注入
層513Aは各所定位置毎に選択的に配置しなければな
らないため、段差111を利用した塗布が極めて有効で
ある。なお、この図45において、図40乃至図44に
示す実施形態と同一の構成については、同一の符号を付
す。
基板502の全面に一様に形成してもよい。ただし、こ
の場合でも、クロストークを防止するために、正孔注入
層513Aは各所定位置毎に選択的に配置しなければな
らないため、段差111を利用した塗布が極めて有効で
ある。なお、この図45において、図40乃至図44に
示す実施形態と同一の構成については、同一の符号を付
す。
【0324】また、EL表示素子を用いた表示装置とし
ては、アクティブマトリックス型に限らず、例えば図4
6に示すようなパッシブマトリックス型の表示装置とし
てもできる。図46は本発明の電気光学装置の製造装置
におけるEL装置であり、図46(A)は複数の第1の
バス配線550と、これに直交する方向に配設された複
数の第2のバス配線560と、の配置関係を示す平面図
で、図46(B)は同(A)のB−B線断面図である。
この図46において、図40ないし図44に示す実施の
形態と同様の構成には、同じ符号を付して重複する説明
は省略する。また、細かな製造工程なども図40ないし
図44に示す実施の形態と同様であるため、その図示お
よび説明は省略する。
ては、アクティブマトリックス型に限らず、例えば図4
6に示すようなパッシブマトリックス型の表示装置とし
てもできる。図46は本発明の電気光学装置の製造装置
におけるEL装置であり、図46(A)は複数の第1の
バス配線550と、これに直交する方向に配設された複
数の第2のバス配線560と、の配置関係を示す平面図
で、図46(B)は同(A)のB−B線断面図である。
この図46において、図40ないし図44に示す実施の
形態と同様の構成には、同じ符号を付して重複する説明
は省略する。また、細かな製造工程なども図40ないし
図44に示す実施の形態と同様であるため、その図示お
よび説明は省略する。
【0325】この図46に示す実施の形態の表示装置
は、発光素子513が配置される所定位置を取り囲むよ
うに、例えばSiO2などの絶縁膜570が配設され、
これにより、所定位置とその周囲との間に段差535を
形成したものである。このため、機能性液状体を選択的
に塗布する際に、それらが周囲に流れ出ることを防止で
き、高精度にパターニングできる。
は、発光素子513が配置される所定位置を取り囲むよ
うに、例えばSiO2などの絶縁膜570が配設され、
これにより、所定位置とその周囲との間に段差535を
形成したものである。このため、機能性液状体を選択的
に塗布する際に、それらが周囲に流れ出ることを防止で
き、高精度にパターニングできる。
【0326】さらに、アクティブマトリックス型の表示
装置としては、図40乃至図44に示す実施形態の構成
に限られない。すなわち、例えば図47に示すような構
成、図48に示すような構成、図49に示すような構
成、図50に示すような構成、図51に示すような構
成、あるいは図52に示すような構成など、いずれの構
成のものでもできる。
装置としては、図40乃至図44に示す実施形態の構成
に限られない。すなわち、例えば図47に示すような構
成、図48に示すような構成、図49に示すような構
成、図50に示すような構成、図51に示すような構
成、あるいは図52に示すような構成など、いずれの構
成のものでもできる。
【0327】図47に示す表示装置は、画素電極511
を利用して段差535を形成することにより、高精度に
パターニングできるようにしたものである。図47は、
表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面
図であり、その前後の段階は上記図40乃至図44に示
す実施形態と略同様であるため、その図示および説明は
省略する。
を利用して段差535を形成することにより、高精度に
パターニングできるようにしたものである。図47は、
表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面
図であり、その前後の段階は上記図40乃至図44に示
す実施形態と略同様であるため、その図示および説明は
省略する。
【0328】この図47に示す表示装置では、画素電極
511を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲
と間に段差535を形成している。つまり、この図47
に示す表示装置では、後に光学材料が塗布される画素電
極511の方がその周囲よりも高くなっている凸型の段
差が形成されている。そして、上記図40乃至図44に
示す実施の形態と同様に、インクジェット方式により、
発光素子513の下層部分に当たる正孔注入層513A
を形成するための前駆体である光学材料540Aを吐出
し、画素電極511の上面に塗布する。
511を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲
と間に段差535を形成している。つまり、この図47
に示す表示装置では、後に光学材料が塗布される画素電
極511の方がその周囲よりも高くなっている凸型の段
差が形成されている。そして、上記図40乃至図44に
示す実施の形態と同様に、インクジェット方式により、
発光素子513の下層部分に当たる正孔注入層513A
を形成するための前駆体である光学材料540Aを吐出
し、画素電極511の上面に塗布する。
【0329】ただし、上記図40乃至図44に示す実施
の形態の場合とは異なり、表示基板502を上下逆にし
た状態、つまり光学材料540Aが塗布される画素電極
511の上面を下方に向けた状態で、光学材料540A
を吐出して塗布する。このことにより、光学材料540
Aは、重力と表面張力とによって、画素電極511の上
面(図47中で下面)に溜り、その周囲には広がらな
い。よって、加熱や光照射などにより固形化すれば、図
43(B)と同様の薄い正孔注入層513Aを形成で
き、これを繰り返せば正孔注入層513Aが形成され
る。同様の手法で、有機半導体膜513Bも形成され
る。このため、凸型の段差を利用して高精度にパターニ
ングできる。なお、重力と表面張力とに限らず、遠心力
などの慣性力を利用して光学材料540A,540Bの
量を調整してもよい。
の形態の場合とは異なり、表示基板502を上下逆にし
た状態、つまり光学材料540Aが塗布される画素電極
511の上面を下方に向けた状態で、光学材料540A
を吐出して塗布する。このことにより、光学材料540
Aは、重力と表面張力とによって、画素電極511の上
面(図47中で下面)に溜り、その周囲には広がらな
い。よって、加熱や光照射などにより固形化すれば、図
43(B)と同様の薄い正孔注入層513Aを形成で
き、これを繰り返せば正孔注入層513Aが形成され
る。同様の手法で、有機半導体膜513Bも形成され
る。このため、凸型の段差を利用して高精度にパターニ
ングできる。なお、重力と表面張力とに限らず、遠心力
などの慣性力を利用して光学材料540A,540Bの
量を調整してもよい。
【0330】図48に示す表示装置も、アクティブマト
リックス型の表示装置である。図48は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図40乃至図44に示す実施形態と
同様で、その図示および説明は省略する。
リックス型の表示装置である。図48は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図40乃至図44に示す実施形態と
同様で、その図示および説明は省略する。
【0331】この図48に示す表示装置では、まず、表
示基板502上に反射電極512を形成し、この反射電
極512上に後に発光素子513が配置される所定位置
を取り囲むように絶縁膜570を形成し、これにより所
定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段差
535を形成する。
示基板502上に反射電極512を形成し、この反射電
極512上に後に発光素子513が配置される所定位置
を取り囲むように絶縁膜570を形成し、これにより所
定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段差
535を形成する。
【0332】そして、上記図40乃至図44に示す実施
形態と同様に、段差535で囲まれた領域内に、インク
ジェット方式により機能性液状体である光学材料540
A,540Bを選択的に吐出して塗布することにより、
発光素子513を形成する。
形態と同様に、段差535で囲まれた領域内に、インク
ジェット方式により機能性液状体である光学材料540
A,540Bを選択的に吐出して塗布することにより、
発光素子513を形成する。
【0333】一方、剥離用基板580上に、剥離層58
1を介して、走査線503、信号線504、画素電極5
11、スイッチング薄膜トランジスタ509、カレント
薄膜トランジスタ510および層間絶縁膜530を形成
する。最後に、表示基板502上に、剥離用基板580
上の剥離層581から剥離された構造を転写するもので
ある。
1を介して、走査線503、信号線504、画素電極5
11、スイッチング薄膜トランジスタ509、カレント
薄膜トランジスタ510および層間絶縁膜530を形成
する。最後に、表示基板502上に、剥離用基板580
上の剥離層581から剥離された構造を転写するもので
ある。
【0334】この図48の実施の形態では、走査線50
3、信号線504、画素電極511、スイッチング薄膜
トランジスタ509、カレント薄膜トランジスタ510
および層間絶縁膜530への光学材料540A,540
Bの塗布形成によるダメージの軽減が図れる。なお、パ
ッシブマトリックス型の表示素子にも適用できる。
3、信号線504、画素電極511、スイッチング薄膜
トランジスタ509、カレント薄膜トランジスタ510
および層間絶縁膜530への光学材料540A,540
Bの塗布形成によるダメージの軽減が図れる。なお、パ
ッシブマトリックス型の表示素子にも適用できる。
【0335】図49に示す表示装置も、アクティブマト
リックス型の表示装置である。図49は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図40乃至図44に示す実施形態と
同様で、その図示および説明は省略する。
リックス型の表示装置である。図49は、表示装置を製
造する製造工程の途中の段階における断面図であり、こ
の前後の段階では、図40乃至図44に示す実施形態と
同様で、その図示および説明は省略する。
【0336】この図49に示す表示装置では、層間絶縁
膜530を利用して凹型の段差535を形成するもので
ある。このため、特に新たな工程が増加することなく、
層間絶縁膜530を利用でき、製造工程の大幅な複雑化
などを防止できる。なお、層間絶縁膜530をSiO2
で形成するとともに、その表面に紫外線やO2、C
F 3、Arなどのプラズマなどを照射し、その後に、画
素電極511の表面を露出させ、そして液状の光学材料
540A,540Bを選択的に吐出して塗布してもよ
い。このことにより、層間絶縁膜530の表面に沿って
撥液性の強い分布が形成され、光学材料540A,54
0Bが段差535と層間絶縁膜530の撥液性との両方
の作用によって所定位置に溜り易くなる。
膜530を利用して凹型の段差535を形成するもので
ある。このため、特に新たな工程が増加することなく、
層間絶縁膜530を利用でき、製造工程の大幅な複雑化
などを防止できる。なお、層間絶縁膜530をSiO2
で形成するとともに、その表面に紫外線やO2、C
F 3、Arなどのプラズマなどを照射し、その後に、画
素電極511の表面を露出させ、そして液状の光学材料
540A,540Bを選択的に吐出して塗布してもよ
い。このことにより、層間絶縁膜530の表面に沿って
撥液性の強い分布が形成され、光学材料540A,54
0Bが段差535と層間絶縁膜530の撥液性との両方
の作用によって所定位置に溜り易くなる。
【0337】図50に示す表示装置は、液状体である光
学材料540A,540Bが塗布される所定位置の親水
性を、その周囲の親水性よりも相対的に強くすることに
より、塗布された光学材料540A,540Bが周囲に
広がらないようにしたものである。図50は、表示装置
を製造する製造工程の途中の段階における断面図であ
り、この前後の段階では、図40乃至図44に示す実施
形態と同様で、その図示および説明は省略する。
学材料540A,540Bが塗布される所定位置の親水
性を、その周囲の親水性よりも相対的に強くすることに
より、塗布された光学材料540A,540Bが周囲に
広がらないようにしたものである。図50は、表示装置
を製造する製造工程の途中の段階における断面図であ
り、この前後の段階では、図40乃至図44に示す実施
形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【0338】この図50に示す表示装置では、層間絶縁
膜530を形成した後に、その上面に非晶質シリコン層
590を形成する。非晶質シリコン層590は、画素電
極511を形成するITOよりも相対的に撥水性が強い
ので、ここに、画素電極511の表面の親水性がその周
囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水性の分布
が形成される。そして、上記図40乃至図44に示す実
施形態と同様に、画素電極511の上面に向けて、イン
クジェット方式により液状の光学材料540A,540
Bを選択的に吐出して塗布することにより、発光素子5
13を形成し、最後に反射電極512を形成するもので
ある。
膜530を形成した後に、その上面に非晶質シリコン層
590を形成する。非晶質シリコン層590は、画素電
極511を形成するITOよりも相対的に撥水性が強い
ので、ここに、画素電極511の表面の親水性がその周
囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水性の分布
が形成される。そして、上記図40乃至図44に示す実
施形態と同様に、画素電極511の上面に向けて、イン
クジェット方式により液状の光学材料540A,540
Bを選択的に吐出して塗布することにより、発光素子5
13を形成し、最後に反射電極512を形成するもので
ある。
【0339】なお、この図50に示す実施の形態につい
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図48に示す実施の形態のように、剥離用
基板580上に剥離層581を介して形成された構造
を、表示基板502に転写する工程を含んでいてもよ
い。
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図48に示す実施の形態のように、剥離用
基板580上に剥離層581を介して形成された構造
を、表示基板502に転写する工程を含んでいてもよ
い。
【0340】そして、撥水性・親水性の分布は、金属
や、陽極酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコンなどの
絶縁膜や、他の材料により形成していてもよい。なお、
パッシブマトリックス型の表示素子であれば第1のバス
配線550、アクティブマトリックス型の表示素子であ
れば走査線503、信号線504、画素電極511、絶
縁膜530あるいは遮光層6bによって形成してもよ
い。
や、陽極酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコンなどの
絶縁膜や、他の材料により形成していてもよい。なお、
パッシブマトリックス型の表示素子であれば第1のバス
配線550、アクティブマトリックス型の表示素子であ
れば走査線503、信号線504、画素電極511、絶
縁膜530あるいは遮光層6bによって形成してもよ
い。
【0341】図51に示す表示装置は、段差535や撥
液性・親液性の分布などを利用してパターニング精度を
向上させるのではなく、電位による引力や斥力などを利
用してパターニング精度の向上を図るものである。図5
1は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階におけ
る断面図であり、この前後の段階では、図40乃至図4
4に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略
する。
液性・親液性の分布などを利用してパターニング精度を
向上させるのではなく、電位による引力や斥力などを利
用してパターニング精度の向上を図るものである。図5
1は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階におけ
る断面図であり、この前後の段階では、図40乃至図4
4に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略
する。
【0342】この図51に示す表示装置では、信号線5
04や共通給電線505を駆動するとともに、図示しな
いトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素
電極511がマイナス電位となり、層間絶縁膜530が
プラス電位となる電位分布を形成する。そして、インク
ジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料
540Aを所定位置に選択的に吐出して塗布形成するも
のである。このことにより、光学材料540Aを帯電さ
せているので、自発分極だけでなく帯電電荷も利用で
き、パターニングの精度をさらに向上できる。
04や共通給電線505を駆動するとともに、図示しな
いトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素
電極511がマイナス電位となり、層間絶縁膜530が
プラス電位となる電位分布を形成する。そして、インク
ジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料
540Aを所定位置に選択的に吐出して塗布形成するも
のである。このことにより、光学材料540Aを帯電さ
せているので、自発分極だけでなく帯電電荷も利用で
き、パターニングの精度をさらに向上できる。
【0343】なお、この図51に示す実施の形態につい
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図48に示す実施の形態のように、剥離用
基板580上に剥離層581を介して形成された構造
を、表示基板502に転写する工程を含んでいてもよ
い。
ても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用でき
る。さらに、図48に示す実施の形態のように、剥離用
基板580上に剥離層581を介して形成された構造
を、表示基板502に転写する工程を含んでいてもよ
い。
【0344】また、画素電極511と、その周囲の層間
絶縁膜530との両方に電位を与えているが、これに限
定されるものではなく、例えば図52に示すように、画
素電極511には電位を与えず、層間絶縁膜530にの
みプラス電位を与え、そして、液状の光学材料540A
をプラスに帯電させてから塗布するようにしてもよい。
この図52に示す構成によれば、塗布された後にも、液
状の光学材料540Aは確実にプラスに帯電した状態を
維持できるから、周囲の層間絶縁膜530との間の斥力
によって、液状の光学材料540Aが周囲に流れ出るこ
とをより確実に防止できる。
絶縁膜530との両方に電位を与えているが、これに限
定されるものではなく、例えば図52に示すように、画
素電極511には電位を与えず、層間絶縁膜530にの
みプラス電位を与え、そして、液状の光学材料540A
をプラスに帯電させてから塗布するようにしてもよい。
この図52に示す構成によれば、塗布された後にも、液
状の光学材料540Aは確実にプラスに帯電した状態を
維持できるから、周囲の層間絶縁膜530との間の斥力
によって、液状の光学材料540Aが周囲に流れ出るこ
とをより確実に防止できる。
【0345】[液滴吐出手段の構成例]次に、上記各実
施形態にも適用可能な液滴吐出手段の他の構成例につい
て説明する。以下に説明する構成例は、いずれも、複数
の液滴吐出ヘッド22を所定の配列パターンにて配列固
定して一体に用いる液滴吐出ユニットを用いるものであ
る。このような液滴吐出ユニットを用いることによっ
て、液滴吐出ヘッド22の構造を大型化することなく、
しかも、複数の異なる構造の液滴吐出ヘッド22を製造
することなく、種々の対象物に対応して効率的な処理を
行うことが可能になる。以下、図面を参照して複数の構
成例について順次説明する。
施形態にも適用可能な液滴吐出手段の他の構成例につい
て説明する。以下に説明する構成例は、いずれも、複数
の液滴吐出ヘッド22を所定の配列パターンにて配列固
定して一体に用いる液滴吐出ユニットを用いるものであ
る。このような液滴吐出ユニットを用いることによっ
て、液滴吐出ヘッド22の構造を大型化することなく、
しかも、複数の異なる構造の液滴吐出ヘッド22を製造
することなく、種々の対象物に対応して効率的な処理を
行うことが可能になる。以下、図面を参照して複数の構
成例について順次説明する。
【0346】(構成例1)図55は、本発明に係る液滴
吐出ユニットの構成例1の構造を示す概略平面図であ
る。この構成例1では、上記各実施形態において説明し
たものと同様の複数の液滴吐出ヘッド22がノズル列2
8(図中において28A,28Bで示す。)の配列方向
に沿って一列に配列されている。複数の液滴吐出ヘッド
22は、サブキャリッジ25に対してそれぞれ取り付け
られている。複数の液滴吐出ヘッド22は所定の間隔を
介してノズル列28の延長方向に配列されていることに
より、各液滴吐出ヘッド22の吐出幅tを有するノズル
列28の間には、ノズル27が存在しない間隔sが設け
られる。ここで、間隔sは、液滴吐出ヘッド22の吐出
幅tと同一幅となるように構成されていることが好まし
い。
吐出ユニットの構成例1の構造を示す概略平面図であ
る。この構成例1では、上記各実施形態において説明し
たものと同様の複数の液滴吐出ヘッド22がノズル列2
8(図中において28A,28Bで示す。)の配列方向
に沿って一列に配列されている。複数の液滴吐出ヘッド
22は、サブキャリッジ25に対してそれぞれ取り付け
られている。複数の液滴吐出ヘッド22は所定の間隔を
介してノズル列28の延長方向に配列されていることに
より、各液滴吐出ヘッド22の吐出幅tを有するノズル
列28の間には、ノズル27が存在しない間隔sが設け
られる。ここで、間隔sは、液滴吐出ヘッド22の吐出
幅tと同一幅となるように構成されていることが好まし
い。
【0347】この液滴吐出ユニット25Uは、サブキャ
リッジ25に回転中心25aが設定され、この回転中心
25aを中心にサブキャリッジ25が回転可能に構成さ
れている。たとえば、サブキャリッジ25は上記実施形
態のヘッドユニット26に取付けられ、モータなどの駆
動機構により、その回転中心25aを中心として回転可
能に構成され、これによって、液滴吐出ユニット全体が
走査方向Xと直交する方向(送り方向Y)に対して傾斜
角度θで傾斜した姿勢で位置決めされるように構成され
る。上記回転中心25aは、図示例のようにサブキャリ
ッジ25の中心部に設定されていることが好ましい。
リッジ25に回転中心25aが設定され、この回転中心
25aを中心にサブキャリッジ25が回転可能に構成さ
れている。たとえば、サブキャリッジ25は上記実施形
態のヘッドユニット26に取付けられ、モータなどの駆
動機構により、その回転中心25aを中心として回転可
能に構成され、これによって、液滴吐出ユニット全体が
走査方向Xと直交する方向(送り方向Y)に対して傾斜
角度θで傾斜した姿勢で位置決めされるように構成され
る。上記回転中心25aは、図示例のようにサブキャリ
ッジ25の中心部に設定されていることが好ましい。
【0348】なお、サブキャリッジ25に搭載される各
液滴吐出ヘッド22は、サブキャリッジ25に設けられ
たアライメント原点25oを基準として、それぞれ精密
に位置決めされた状態で固定されている。アライメント
原点25oは図示のようにサブキャリッジ25における
ノズル列28の延長方向両端部に設けられることが好ま
しい。アライメント原点25oは、例えば、微細な印刷
パターンなどのマークとして構成される。
液滴吐出ヘッド22は、サブキャリッジ25に設けられ
たアライメント原点25oを基準として、それぞれ精密
に位置決めされた状態で固定されている。アライメント
原点25oは図示のようにサブキャリッジ25における
ノズル列28の延長方向両端部に設けられることが好ま
しい。アライメント原点25oは、例えば、微細な印刷
パターンなどのマークとして構成される。
【0349】図56は、上記の液滴吐出ユニット25U
を用いて基板12に対して処理を行う様子を示す。基板
(マザー基板)12には、上記と同様のパターン形成領
域(単位領域)11が縦横に配列されている。液滴吐出
ユニット25Uは、上記各実施形態と同様に基板12に
対して走査され、その過程において各液滴吐出ヘッド2
2のノズルから液滴が吐出されていく。このとき、一回
の走査ステップにおいては、液滴吐出ヘッド22の吐出
幅tに重なる領域では液滴が吐出されていくが、間隔s
に重なる領域では液滴が吐出されない。したがって、一
回の走査で処理できない領域を別の走査において処理す
る必要が生ずる。たとえば、図示上部に示した液滴吐出
ユニット25Uの位置から走査ステップST1を行った
後に、図示下部に示した液滴吐出ユニット25Uのよう
に送り方向Yにδyだけずらして再び走査ステップST
2を行う。ここで、δyは、上記吐出幅t或いは間隔s
であることが好ましい。特に、吐出幅t=sである場合
には、δy=t=sとすれば、2回の走査ステップST
1,ST2によって液滴の吐出されない領域をなくすこ
とができる。この場合、図57A及び図57Bに示すよ
うに、基板12の短辺方向Mと長手方向Lのパターン配
列周期の差に応じて、基板12の短辺方向Mに走査を行
う場合の液滴吐出ユニット25Uの傾斜角度θaと、長
手方向Lに走査を行う場合の液滴吐出ユニット25Uの
傾斜角度θbとを相互に異なる角度に設定してもよい。
を用いて基板12に対して処理を行う様子を示す。基板
(マザー基板)12には、上記と同様のパターン形成領
域(単位領域)11が縦横に配列されている。液滴吐出
ユニット25Uは、上記各実施形態と同様に基板12に
対して走査され、その過程において各液滴吐出ヘッド2
2のノズルから液滴が吐出されていく。このとき、一回
の走査ステップにおいては、液滴吐出ヘッド22の吐出
幅tに重なる領域では液滴が吐出されていくが、間隔s
に重なる領域では液滴が吐出されない。したがって、一
回の走査で処理できない領域を別の走査において処理す
る必要が生ずる。たとえば、図示上部に示した液滴吐出
ユニット25Uの位置から走査ステップST1を行った
後に、図示下部に示した液滴吐出ユニット25Uのよう
に送り方向Yにδyだけずらして再び走査ステップST
2を行う。ここで、δyは、上記吐出幅t或いは間隔s
であることが好ましい。特に、吐出幅t=sである場合
には、δy=t=sとすれば、2回の走査ステップST
1,ST2によって液滴の吐出されない領域をなくすこ
とができる。この場合、図57A及び図57Bに示すよ
うに、基板12の短辺方向Mと長手方向Lのパターン配
列周期の差に応じて、基板12の短辺方向Mに走査を行
う場合の液滴吐出ユニット25Uの傾斜角度θaと、長
手方向Lに走査を行う場合の液滴吐出ユニット25Uの
傾斜角度θbとを相互に異なる角度に設定してもよい。
【0350】本実施形態においては、液滴吐出ユニット
25Uを用いる場合においても、上記各実施形態と同様
に、基板12の短辺方向Mに沿って走査するステップ
と、この長手方向Lに沿って走査するステップとのいず
れをも行うことによって成膜ムラを低減することができ
る。また、基板12の短辺方向Mと長手方向Lのいずれ
に走査を行った方が効率的な処理ができるかに応じて、
より好ましいいずれか一方の走査方向を選択して当該方
向にのみ走査を行うようにしてもよい。
25Uを用いる場合においても、上記各実施形態と同様
に、基板12の短辺方向Mに沿って走査するステップ
と、この長手方向Lに沿って走査するステップとのいず
れをも行うことによって成膜ムラを低減することができ
る。また、基板12の短辺方向Mと長手方向Lのいずれ
に走査を行った方が効率的な処理ができるかに応じて、
より好ましいいずれか一方の走査方向を選択して当該方
向にのみ走査を行うようにしてもよい。
【0351】なお、この構成例においても、上記実施形
態と同様に誤差分散法による走査態様を用いることがで
きる。この場合、上記実施形態のように送り方向Yに所
定量だけ送りながら繰り返し走査ステップを行っていけ
ばよいが、その態様としては、上記ステップST1とS
T2とを順次行うプロセスを1セットとし、このセット
を少しずつ送り方向Yにずらしながら行っていく方法
と、たとえば走査ステップST1のみを少しずつ送り方
向Yにずらしながら行った後に、走査ステップST2を
少しずつ送り方向Yにずらしながら行っていく方法とが
あり、いずれの方法であってもよい。
態と同様に誤差分散法による走査態様を用いることがで
きる。この場合、上記実施形態のように送り方向Yに所
定量だけ送りながら繰り返し走査ステップを行っていけ
ばよいが、その態様としては、上記ステップST1とS
T2とを順次行うプロセスを1セットとし、このセット
を少しずつ送り方向Yにずらしながら行っていく方法
と、たとえば走査ステップST1のみを少しずつ送り方
向Yにずらしながら行った後に、走査ステップST2を
少しずつ送り方向Yにずらしながら行っていく方法とが
あり、いずれの方法であってもよい。
【0352】(構成例2)次に、図58を参照して、液
滴吐出ユニットの構成例2について説明する。この液滴
吐出ユニット25Vは、複数の液滴吐出ヘッド22が所
定間隔をもって配列されている点、各液滴吐出ヘッド2
2の構造に関する点、及び、サブキャリッジ25にアラ
イメント原点25oが設けられている点において上記構
成例1と同様であるので、同様の部分については説明を
省略する。この液滴吐出ユニット25Vが構成例1と異
なる点は、各液滴吐出ヘッド22がそれぞれサブキャリ
ッジ25に対して回転可能に構成されている点にある。
また、複数の液滴吐出ヘッド22は相互間隔を変更可能
に構成されている。
滴吐出ユニットの構成例2について説明する。この液滴
吐出ユニット25Vは、複数の液滴吐出ヘッド22が所
定間隔をもって配列されている点、各液滴吐出ヘッド2
2の構造に関する点、及び、サブキャリッジ25にアラ
イメント原点25oが設けられている点において上記構
成例1と同様であるので、同様の部分については説明を
省略する。この液滴吐出ユニット25Vが構成例1と異
なる点は、各液滴吐出ヘッド22がそれぞれサブキャリ
ッジ25に対して回転可能に構成されている点にある。
また、複数の液滴吐出ヘッド22は相互間隔を変更可能
に構成されている。
【0353】サブキャリッジ25には、その長手方向に
伸びる案内路25cが設けられ、この案内路25cに沿
って取付部材25dが移動可能に構成されている。そし
て、取付部材25dに対して液滴吐出ヘッド22が回転
中心22aを中心として回転可能に構成されている。よ
り具体的には、案内路25cは凹溝や凸条などで構成さ
れ、この案内路25cに対して取付部材25dが嵌合
し、案内路25cの延長方向にスライド可能に構成され
ている。取付部材25dは案内路25cの適宜の位置に
マイクロメータ等の調整手段により調整した上で固定で
きるようになっている。液滴吐出ヘッド22は、取付部
材25dに対して回転可能に取り付けられていて、マイ
クロメータなどの調整手段によって適宜の傾斜角度θに
調整した上で固定できるようになっている。
伸びる案内路25cが設けられ、この案内路25cに沿
って取付部材25dが移動可能に構成されている。そし
て、取付部材25dに対して液滴吐出ヘッド22が回転
中心22aを中心として回転可能に構成されている。よ
り具体的には、案内路25cは凹溝や凸条などで構成さ
れ、この案内路25cに対して取付部材25dが嵌合
し、案内路25cの延長方向にスライド可能に構成され
ている。取付部材25dは案内路25cの適宜の位置に
マイクロメータ等の調整手段により調整した上で固定で
きるようになっている。液滴吐出ヘッド22は、取付部
材25dに対して回転可能に取り付けられていて、マイ
クロメータなどの調整手段によって適宜の傾斜角度θに
調整した上で固定できるようになっている。
【0354】この構成例2においては、各液滴吐出ヘッ
ド22の吐出幅tが間隔sを介して配列されている点で
は構成例1と同様である。しかし、上記構成例1では、
各液滴吐出ヘッド22がサブキャリッジ25に対して固
定されていて、サブキャリッジ25全体が回転すること
により所定の傾斜角度θが設定されるため、傾斜させる
ことによって走査方向の広い範囲に液滴吐出ヘッド22
が分散配置されることとなり、特に、回転中心25aか
ら離れた液滴吐出ヘッド22では、走査ステップの開始
後又は終了前に長い空送距離が生ずる。これに対して、
構成例2においては、各液滴吐出ヘッド22が個々にサ
ブキャリッジ25に対して回転して所定の傾斜角度θが
得られるように構成されているため、上記の空送距離を
ほとんどなくすことができる。したがって、空送距離の
低減による動作ストロークの低減を図ることが可能にな
る。
ド22の吐出幅tが間隔sを介して配列されている点で
は構成例1と同様である。しかし、上記構成例1では、
各液滴吐出ヘッド22がサブキャリッジ25に対して固
定されていて、サブキャリッジ25全体が回転すること
により所定の傾斜角度θが設定されるため、傾斜させる
ことによって走査方向の広い範囲に液滴吐出ヘッド22
が分散配置されることとなり、特に、回転中心25aか
ら離れた液滴吐出ヘッド22では、走査ステップの開始
後又は終了前に長い空送距離が生ずる。これに対して、
構成例2においては、各液滴吐出ヘッド22が個々にサ
ブキャリッジ25に対して回転して所定の傾斜角度θが
得られるように構成されているため、上記の空送距離を
ほとんどなくすことができる。したがって、空送距離の
低減による動作ストロークの低減を図ることが可能にな
る。
【0355】この構成例2においては、サブキャリッジ
25に搭載された個々の液滴吐出ヘッド22が回転して
所定の傾斜角度θを設定できるように構成されているの
で、例えば、液滴吐出ヘッド22の吐出幅tと間隔sと
の比率を一定に保とうとすれば、傾斜角度θの変化に応
じて個々の液滴吐出ヘッド22の間隔を修正する必要が
ある。例えば、液滴吐出ヘッド22の実質的な吐出幅と
間隔sとを同一に設定しようとすれば、傾斜角度θが0
の場合にはt=sでよいのに対して、傾斜角度θが0で
ない場合には、間隔sを実質的な吐出幅t・cosθと
一致させなければならない。したがって、形成すべきパ
ターンの構造周期に合わせて傾斜角度θを設定したとき
には、この傾斜角度θに合わせて、各液滴吐出ヘッド2
2を案内路25cに沿って移動させ、相互間隔を上記の
ようにs=t・cosθに修正する。
25に搭載された個々の液滴吐出ヘッド22が回転して
所定の傾斜角度θを設定できるように構成されているの
で、例えば、液滴吐出ヘッド22の吐出幅tと間隔sと
の比率を一定に保とうとすれば、傾斜角度θの変化に応
じて個々の液滴吐出ヘッド22の間隔を修正する必要が
ある。例えば、液滴吐出ヘッド22の実質的な吐出幅と
間隔sとを同一に設定しようとすれば、傾斜角度θが0
の場合にはt=sでよいのに対して、傾斜角度θが0で
ない場合には、間隔sを実質的な吐出幅t・cosθと
一致させなければならない。したがって、形成すべきパ
ターンの構造周期に合わせて傾斜角度θを設定したとき
には、この傾斜角度θに合わせて、各液滴吐出ヘッド2
2を案内路25cに沿って移動させ、相互間隔を上記の
ようにs=t・cosθに修正する。
【0356】(構成例3)次に、図59を参照して構成
例3である液滴吐出ユニット25Wの構造について説明
する。この液滴吐出ユニット25Wは、複数の液滴吐出
ヘッド22が配列されている点では上記構成例1及び構
成例2と同様であるが、その配列態様が異なる。この構
成例3においても、液滴吐出ヘッド22はサブキャリッ
ジ25に取り付けられている。ただし、この構成例3で
は、ノズル28(28A及び28B)の配列方向に向け
て、この配列方向と直交する方向(すなわち上記基準方
向S)にずれた2列の液滴吐出ヘッド22を有する。そ
して、各液滴吐出ヘッド22が互い違いに配列されてい
ることによって、液滴吐出ユニット25W全体として
は、連続した一体のノズル列を有するものとなってい
る。すなわち、一方の列に含まれる液滴吐出ヘッド22
の吐出幅tと、他方の列に含まれる液滴吐出ヘッド22
の吐出幅tとが隣接し連続するように配置されている。
例3である液滴吐出ユニット25Wの構造について説明
する。この液滴吐出ユニット25Wは、複数の液滴吐出
ヘッド22が配列されている点では上記構成例1及び構
成例2と同様であるが、その配列態様が異なる。この構
成例3においても、液滴吐出ヘッド22はサブキャリッ
ジ25に取り付けられている。ただし、この構成例3で
は、ノズル28(28A及び28B)の配列方向に向け
て、この配列方向と直交する方向(すなわち上記基準方
向S)にずれた2列の液滴吐出ヘッド22を有する。そ
して、各液滴吐出ヘッド22が互い違いに配列されてい
ることによって、液滴吐出ユニット25W全体として
は、連続した一体のノズル列を有するものとなってい
る。すなわち、一方の列に含まれる液滴吐出ヘッド22
の吐出幅tと、他方の列に含まれる液滴吐出ヘッド22
の吐出幅tとが隣接し連続するように配置されている。
【0357】この構成例3では、液滴吐出ユニット25
W全体として見た場合、一体の液滴吐出ヘッドに連続し
た単一のノズル列が構成されている場合と同様に用いる
ことができる。したがって、ノズル数の異なる新たな液
滴吐出ヘッドを形成する必要がなくなり、既存の液滴吐
出ヘッド22を複数用いるだけでノズル数を増大させる
ことができる。また、上記構成例1及び2のように間隔
sが存在することがないため、間隔sに対応する未処理
領域を処理するための余分な走査ステップを設ける必要
もなくなる。
W全体として見た場合、一体の液滴吐出ヘッドに連続し
た単一のノズル列が構成されている場合と同様に用いる
ことができる。したがって、ノズル数の異なる新たな液
滴吐出ヘッドを形成する必要がなくなり、既存の液滴吐
出ヘッド22を複数用いるだけでノズル数を増大させる
ことができる。また、上記構成例1及び2のように間隔
sが存在することがないため、間隔sに対応する未処理
領域を処理するための余分な走査ステップを設ける必要
もなくなる。
【0358】なお、この構成例3においても、構成例1
に示すように、液滴吐出ユニット25W全体を所定の回
転中心を中心として回転可能に構成し、この回転によっ
て所要の傾斜角度θを設定できるように構成してもよ
い。また、構成例2に示すように、サブキャリッジ25
に対して液滴吐出ヘッド22を個々に回転可能かつ並進
可能に取り付けることによって、所定の傾斜角度θと、
これに対応した液滴吐出ヘッド22の間隔を設定するこ
とができるように構成してもよい。
に示すように、液滴吐出ユニット25W全体を所定の回
転中心を中心として回転可能に構成し、この回転によっ
て所要の傾斜角度θを設定できるように構成してもよ
い。また、構成例2に示すように、サブキャリッジ25
に対して液滴吐出ヘッド22を個々に回転可能かつ並進
可能に取り付けることによって、所定の傾斜角度θと、
これに対応した液滴吐出ヘッド22の間隔を設定するこ
とができるように構成してもよい。
【0359】[対象物の成膜パターン例]次に、上記各
実施形態や各構成例において対象物となるべきマザー基
板12の成膜パターン例について説明する。図60は、
マザー基板12の成膜パターンを示す部分拡大平面図で
ある。このマザー基板12には、上記と同様のパターン
形成領域(単位領域)11が縦横に形成され、このパタ
ーン形成領域11内には複数の領域7が所定の配列パタ
ーンにて設けられている。ここで、パターン形成領域1
1が分離されることによってカラーフィルタ基板が形成
される場合には、上記の領域7はフィルタエレメント領
域となり、例えば、R(赤)、G(緑)、B(青)など
の適宜のフィルタエレメントがストライプ配列、デルタ
配列、斜めモザイク配列などのような適宜の配列パター
ンにて配列される。また、パターン形成領域11が分離
されることによってEL装置やプラズマディスプレイパ
ネルなどの表示装置が形成される場合には、上記の領域
7は表示ドットとなり、発光層や蛍光体が適宜の配列パ
ターンにて配列される。
実施形態や各構成例において対象物となるべきマザー基
板12の成膜パターン例について説明する。図60は、
マザー基板12の成膜パターンを示す部分拡大平面図で
ある。このマザー基板12には、上記と同様のパターン
形成領域(単位領域)11が縦横に形成され、このパタ
ーン形成領域11内には複数の領域7が所定の配列パタ
ーンにて設けられている。ここで、パターン形成領域1
1が分離されることによってカラーフィルタ基板が形成
される場合には、上記の領域7はフィルタエレメント領
域となり、例えば、R(赤)、G(緑)、B(青)など
の適宜のフィルタエレメントがストライプ配列、デルタ
配列、斜めモザイク配列などのような適宜の配列パター
ンにて配列される。また、パターン形成領域11が分離
されることによってEL装置やプラズマディスプレイパ
ネルなどの表示装置が形成される場合には、上記の領域
7は表示ドットとなり、発光層や蛍光体が適宜の配列パ
ターンにて配列される。
【0360】上記マザー基板12においては、パターン
形成領域11間のX方向(たとえば上記の短辺方向M)
に見た間隔Dxは、各パターン形成領域11内の上記領
域7のX方向に見た配列周期dxの自然数倍となるよう
に構成されている。また、パターン形成領域11間のY
方向(たとえば上記の長手方向L)に見た間隔Dyは、
各パターン形成領域11内の上記領域7のY方向に見た
配列周期dyの自然数倍となるように構成されている。
このように構成することによって、一定間隔で配列され
たノズル27の列によって複数のパターン形成領域11
に亘って一度に液滴を各領域7に吐出させることが可能
になるため、より効率的に製造を行うことが可能にな
る。
形成領域11間のX方向(たとえば上記の短辺方向M)
に見た間隔Dxは、各パターン形成領域11内の上記領
域7のX方向に見た配列周期dxの自然数倍となるよう
に構成されている。また、パターン形成領域11間のY
方向(たとえば上記の長手方向L)に見た間隔Dyは、
各パターン形成領域11内の上記領域7のY方向に見た
配列周期dyの自然数倍となるように構成されている。
このように構成することによって、一定間隔で配列され
たノズル27の列によって複数のパターン形成領域11
に亘って一度に液滴を各領域7に吐出させることが可能
になるため、より効率的に製造を行うことが可能にな
る。
【0361】(その他の実施の形態)以上、好ましい実
施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各
実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すよう
な変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他
のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各
実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すよう
な変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他
のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【0362】すなわち、例えば、図8および図9に示し
たカラーフィルタの製造装置(液滴吐出装置)では、液
滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ移動させてマザー基板
12を走査し、マザー基板12を送り駆動装置21によ
って移動させることにより、液滴吐出ヘッド22のマザ
ー基板12に対する送り動作を実現しているが、これと
は逆に、マザー基板12の移動によって走査を実行し、
液滴吐出ヘッド22の移動によって送り動作を実行する
こともできる。さらには、液滴吐出ヘッド22を移動さ
せずにマザー基板12を移動させたり、双方を相対的に
逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一
方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド22がマザー基
板12の表面に沿って相対的に移動するのであれば、い
ずれの構成とすることもできる。
たカラーフィルタの製造装置(液滴吐出装置)では、液
滴吐出ヘッド22を走査方向Xへ移動させてマザー基板
12を走査し、マザー基板12を送り駆動装置21によ
って移動させることにより、液滴吐出ヘッド22のマザ
ー基板12に対する送り動作を実現しているが、これと
は逆に、マザー基板12の移動によって走査を実行し、
液滴吐出ヘッド22の移動によって送り動作を実行する
こともできる。さらには、液滴吐出ヘッド22を移動さ
せずにマザー基板12を移動させたり、双方を相対的に
逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一
方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド22がマザー基
板12の表面に沿って相対的に移動するのであれば、い
ずれの構成とすることもできる。
【0363】また、上記実施の形態では、圧電素子の撓
み変形を利用してインクを吐出する構造の液滴吐出手段
(インクジェットヘッド)421を用いたが、他の任意
の構造のインクジェットヘッド、例えば加熱により発生
するバブルによりインクを吐出する方式のインクジェッ
トヘッドなどを用いることもできる。
み変形を利用してインクを吐出する構造の液滴吐出手段
(インクジェットヘッド)421を用いたが、他の任意
の構造のインクジェットヘッド、例えば加熱により発生
するバブルによりインクを吐出する方式のインクジェッ
トヘッドなどを用いることもできる。
【0364】さらに、図27乃至図37に示す実施の形
態において、インクジェットヘッド421として、ノズ
ル466を略等間隔で略直線上でかつ2列設けて説明し
たが、2列に限らず、複数列とすることができる。ま
た、等間隔でなくてもよく、直線上に列をなして配設し
なくてもよい。
態において、インクジェットヘッド421として、ノズ
ル466を略等間隔で略直線上でかつ2列設けて説明し
たが、2列に限らず、複数列とすることができる。ま
た、等間隔でなくてもよく、直線上に列をなして配設し
なくてもよい。
【0365】そして、液滴吐出装置16,401が製造
に使用されるのは、カラーフィルタ1や液晶装置10
1、EL装置201に限定されるものではなく、FED
(Field Emission Display:フィールドエミッションデ
ィスプレイ)などの電子放出装置、PDP(Plasma Dis
play Panel:プラズマディスプレイパネル)、電気泳動
装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体であるイ
ンクを各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に
挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電
粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装
置、薄型のブラウン管、CRT(Cathode-Ray Tube:陰
極線管)ディスプレイなど、基板(基材)を有し、その
上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表
示装置(電気光学装置)に用いることができる。
に使用されるのは、カラーフィルタ1や液晶装置10
1、EL装置201に限定されるものではなく、FED
(Field Emission Display:フィールドエミッションデ
ィスプレイ)などの電子放出装置、PDP(Plasma Dis
play Panel:プラズマディスプレイパネル)、電気泳動
装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体であるイ
ンクを各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に
挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電
粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装
置、薄型のブラウン管、CRT(Cathode-Ray Tube:陰
極線管)ディスプレイなど、基板(基材)を有し、その
上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表
示装置(電気光学装置)に用いることができる。
【0366】本発明の装置や方法は、カラーフィルタや
表示装置(電気光学装置)を含む、基板(基材)を有す
るデバイスであって、その基板(基材)に液滴8を吐出
する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程
において用いることができる。例えば、プリント回路基
板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材
料、金属含有塗料などをインクジェット方式にて吐出し
て金属配線などをする構成、基材上に形成される微細な
マイクロレンズをインクジェット方式による吐出にて光
学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必
要な部分だけに塗布するようにインクジェット方式にて
吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光
を散乱させる凸部や微小白パターンなどをインクジェッ
ト方式にて吐出形成して光散乱板を形成する構成、DN
A(deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸)チップ
上にマトリクス配列するスパイクスポットにRNA(ri
bonucleic acid:リボ核酸)をインクジェット方式にて
吐出させて蛍光標識プローブを作製してDNAチップ上
でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画された
ドット状の位置に、試料や抗体、DNA(deoxyribonuc
leic acid:デオキシリボ核酸)などをインクジェット方
式にて吐出させてバイオチップを形成する構成などにも
利用できる。
表示装置(電気光学装置)を含む、基板(基材)を有す
るデバイスであって、その基板(基材)に液滴8を吐出
する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程
において用いることができる。例えば、プリント回路基
板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材
料、金属含有塗料などをインクジェット方式にて吐出し
て金属配線などをする構成、基材上に形成される微細な
マイクロレンズをインクジェット方式による吐出にて光
学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必
要な部分だけに塗布するようにインクジェット方式にて
吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光
を散乱させる凸部や微小白パターンなどをインクジェッ
ト方式にて吐出形成して光散乱板を形成する構成、DN
A(deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸)チップ
上にマトリクス配列するスパイクスポットにRNA(ri
bonucleic acid:リボ核酸)をインクジェット方式にて
吐出させて蛍光標識プローブを作製してDNAチップ上
でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画された
ドット状の位置に、試料や抗体、DNA(deoxyribonuc
leic acid:デオキシリボ核酸)などをインクジェット方
式にて吐出させてバイオチップを形成する構成などにも
利用できる。
【0367】また、液晶装置101としても、TFTな
どのトランジスタやTFDのアクティブ素子を画素に備
えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を
取り囲む隔壁6を形成し、この隔壁6にて形成される凹
部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフ
ィルタ1を形成するような構成のもの、画素電極上にイ
ンクとして色材および導電材を混合したものをインクジ
ェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラー
フィルタ1を導電性カラーフィルタとして形成する構
成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒を
インクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装
置101の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用
可能である。
どのトランジスタやTFDのアクティブ素子を画素に備
えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を
取り囲む隔壁6を形成し、この隔壁6にて形成される凹
部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフ
ィルタ1を形成するような構成のもの、画素電極上にイ
ンクとして色材および導電材を混合したものをインクジ
ェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラー
フィルタ1を導電性カラーフィルタとして形成する構
成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒を
インクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装
置101の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用
可能である。
【0368】さらに、カラーフィルタ1に限られず、E
L装置201など、他のいずれの電気光学装置に適用で
き、EL装置201としても、R、G、Bの3色に対応
するELが帯状に形成されるストライプ型や、上述した
ように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトラン
ジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、
あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、
いずれの構成でもできる。
L装置201など、他のいずれの電気光学装置に適用で
き、EL装置201としても、R、G、Bの3色に対応
するELが帯状に形成されるストライプ型や、上述した
ように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトラン
ジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、
あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、
いずれの構成でもできる。
【0369】そして、上記各実施形態の電気光学装置が
組み込まれる電子機器としては、例えば図53に示すよ
うなパーソナルコンピュータ490に限らず、図54に
示すような携帯電話491やPHS(Personal Handy p
hone System)などの携帯型電話機、電子手帳、ページ
ャ、POS(Point Of Sales)端末、ICカード、ミニ
ディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリン
グ・ワークステーション(Engineering Work Station:
EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイン
ダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子
卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを
備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に
適用できる。
組み込まれる電子機器としては、例えば図53に示すよ
うなパーソナルコンピュータ490に限らず、図54に
示すような携帯電話491やPHS(Personal Handy p
hone System)などの携帯型電話機、電子手帳、ページ
ャ、POS(Point Of Sales)端末、ICカード、ミニ
ディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリン
グ・ワークステーション(Engineering Work Station:
EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファイン
ダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子
卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを
備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に
適用できる。
【0370】その他、本発明の実施の際の具体的な構造
および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構
造や手順などとしてもよい。例えば、図28、図36お
よび図37を用いて説明した実施形態において、インク
ジェットヘッド421は全てが同一方向に向けて傾けて
配置されているが、2列のうちの一方は他方の列の傾き
角度から90°回転させた方向に配置し、2列のインク
ジェットヘッド列が「ハ」の字状に互いに90°の角度
を持って配置されていても構わないし、それぞれのイン
クジェットヘッド列において互いに隣り合うヘッド同士
が互いに90°の角度を持って「ハ」の字状に配置され
ていても構わない。このように、本発明の趣旨に反しな
い限り、様々な変更をしても本発明の範囲に含まれるも
のである。
および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構
造や手順などとしてもよい。例えば、図28、図36お
よび図37を用いて説明した実施形態において、インク
ジェットヘッド421は全てが同一方向に向けて傾けて
配置されているが、2列のうちの一方は他方の列の傾き
角度から90°回転させた方向に配置し、2列のインク
ジェットヘッド列が「ハ」の字状に互いに90°の角度
を持って配置されていても構わないし、それぞれのイン
クジェットヘッド列において互いに隣り合うヘッド同士
が互いに90°の角度を持って「ハ」の字状に配置され
ていても構わない。このように、本発明の趣旨に反しな
い限り、様々な変更をしても本発明の範囲に含まれるも
のである。
【0371】本発明の成膜方法及び成膜装置は、任意の
対象物の表面に任意の膜を形成する場合に広く用いるこ
とができる。たとえば、対象物の表面に均一に膜を形成
する場合には、異なる少なくとも2つの走査方向に沿っ
て複数の液滴を順次吐出させていくことにより、走査方
向に起因する成膜ムラを低減できる。このような膜とし
ては、たとえば、感光性レジスト膜や保護コーティング
膜などが挙げられる。また、単なる膜ではなく、対象物
の表面上に種々の構造を形成する場合にも用いることが
できる。たとえば、基板の表面上に柱状スペーサを分散
形成する場合などである。このような柱状スペーサを備
えた基板を用いるものとしては、液晶表示装置、入力パ
ッド装置などが挙げられる。
対象物の表面に任意の膜を形成する場合に広く用いるこ
とができる。たとえば、対象物の表面に均一に膜を形成
する場合には、異なる少なくとも2つの走査方向に沿っ
て複数の液滴を順次吐出させていくことにより、走査方
向に起因する成膜ムラを低減できる。このような膜とし
ては、たとえば、感光性レジスト膜や保護コーティング
膜などが挙げられる。また、単なる膜ではなく、対象物
の表面上に種々の構造を形成する場合にも用いることが
できる。たとえば、基板の表面上に柱状スペーサを分散
形成する場合などである。このような柱状スペーサを備
えた基板を用いるものとしては、液晶表示装置、入力パ
ッド装置などが挙げられる。
【0372】本発明によれば、液状材料の液滴を吐出す
る際の被吐出物に対する相対的な走査方向を異なる2以
上の方向に設定可能とすることによって、種々の被吐出
物に対して効率的に材料を付着させることが可能にな
る。また、被吐出物に対する上記走査方向を異なる2以
上の方向に設定することによって、走査方向に起因する
縞状の材料ムラを低減することができる。
る際の被吐出物に対する相対的な走査方向を異なる2以
上の方向に設定可能とすることによって、種々の被吐出
物に対して効率的に材料を付着させることが可能にな
る。また、被吐出物に対する上記走査方向を異なる2以
上の方向に設定することによって、走査方向に起因する
縞状の材料ムラを低減することができる。
【図1】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法の実
施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図2】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法の他
の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図3】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさ
らに他の実の形態の主要工程を模式的に示す平面図であ
る。
らに他の実の形態の主要工程を模式的に示す平面図であ
る。
【図4】 本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさ
らに他の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図であ
る。
らに他の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図であ
る。
【図5】 本発明に係るカラーフィルタの一実施形態お
よびその基礎となるマザー基板の実施形態を示す平面図
である。
よびその基礎となるマザー基板の実施形態を示す平面図
である。
【図6】 図5(a)のVI−VI線に従った断面部分を用
いてカラーフィルタの製造工程を模式的に示す図であ
る。
いてカラーフィルタの製造工程を模式的に示す図であ
る。
【図7】 カラーフィルタにおけるR、G、B3色の表
示ドットの配列例を示す図である。
示ドットの配列例を示す図である。
【図8】 本発明に係る液滴吐出装置、或いは、カラー
フィルタの製造装置、本発明に係る液晶装置の製造装置
および本発明に係るEL装置の製造装置といった各製造
装置の主要部分である液滴吐出装置の一実施の形態を示
す斜視図である。
フィルタの製造装置、本発明に係る液晶装置の製造装置
および本発明に係るEL装置の製造装置といった各製造
装置の主要部分である液滴吐出装置の一実施の形態を示
す斜視図である。
【図9】 図8の装置の主要部を拡大して示す斜視図で
ある。
ある。
【図10】 図9の装置の主要部であるインクジェット
ヘッドを拡大して示す斜視図である。
ヘッドを拡大して示す斜視図である。
【図11】 インクジェットヘッドの改変例を示す斜視
図である。
図である。
【図12】 インクジェットヘッドの内部構造を示す図
であって、(a)は一部破断斜視図を示し、(b)は
(a)のJ−J線に従った断面構造を示す。
であって、(a)は一部破断斜視図を示し、(b)は
(a)のJ−J線に従った断面構造を示す。
【図13】 インクジェットヘッドの他の改変例を示す
平面図である。
平面図である。
【図14】 図8のインクジェットヘッド装置に用いら
れる電気制御系を示すブロック図である。
れる電気制御系を示すブロック図である。
【図15】 図14の制御系によって実行される制御の
流れを示すフローチャートである。
流れを示すフローチャートである。
【図16】 インクジェットヘッドのさらに他の改変例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図17】 本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施
の形態を示す工程図である。
の形態を示す工程図である。
【図18】 本発明に係る液晶装置の製造方法によって
製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図であ
る。
製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図であ
る。
【図19】 図18におけるIX−IX線に従って液晶装置
の断面構造を示す断面図である。
の断面構造を示す断面図である。
【図20】 本発明に係るEL装置の製造方法の実施形
態を示す工程図である。
態を示す工程図である。
【図21】 図20に示す工程図に対応するEL装置の
断面図である。
断面図である。
【図22】 本発明に係る実施形態の液滴吐出装置のテ
ーブル上のマザー基板の姿勢を示す平面図(a)及び
(b)である。
ーブル上のマザー基板の姿勢を示す平面図(a)及び
(b)である。
【図23】 液滴吐出装置のテーブル上の別のマザー基
板の姿勢を示す平面図(a)及び(b)である。
板の姿勢を示す平面図(a)及び(b)である。
【図24】 複数の液滴吐出装置を含む製造装置の構成
例を示す概略構成図である。
例を示す概略構成図である。
【図25】 液滴吐出装置における処理途中でのマザー
基板の姿勢変更の方法を示す概略平面図(a)〜(c)
である。
基板の姿勢変更の方法を示す概略平面図(a)〜(c)
である。
【図26】 液滴吐出装置における処理途中でのマザー
基板の姿勢変更の別の方法を示す概略平面図(a)及び
(b)である。
基板の姿勢変更の別の方法を示す概略平面図(a)及び
(b)である。
【図27】 本発明に係るカラーフィルタの製造装置の
液滴吐出装置を示す一部を切り欠いた斜視図である。
液滴吐出装置を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図28】 同上液滴吐出装置のヘッドユニットを示す
平面図である。
平面図である。
【図29】 同上側面図である。
【図30】 同上正面図である。
【図31】 同上断面図である。
【図32】 同上ヘッド装置を示す分解斜視図である。
【図33】 同上インクジェットヘッドを示す分解斜視
図である。
図である。
【図34】 同上インクジェットヘッドのフィルタエレ
メント材料を吐出する動作を説明する説明図である。
メント材料を吐出する動作を説明する説明図である。
【図35】 同上インクジェットヘッドのフィルタエレ
メント材料の吐出量を説明する説明図である。
メント材料の吐出量を説明する説明図である。
【図36】 同上インクジェットヘッドの配置状態を説
明する概略図である。
明する概略図である。
【図37】 同上インクジェットヘッドの配置状態を説
明する部分的に拡大した概略図である。
明する部分的に拡大した概略図である。
【図38】 同上カラーフィルタの製造装置により製造
されるカラーフィルタを示す模式図であって、(A)は
カラーフィルタの平面図で、(B)は(A)のX−X線
断面図である。
されるカラーフィルタを示す模式図であって、(A)は
カラーフィルタの平面図で、(B)は(A)のX−X線
断面図である。
【図39】 同上カラーフィルタを製造する手順を説明
する製造工程断面図である。
する製造工程断面図である。
【図40】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置の一部を示す回路図である。
を用いた表示装置の一部を示す回路図である。
【図41】 同上表示装置の画素領域の平面構造を示す
拡大平面図である。
拡大平面図である。
【図42】 同上表示装置の製造工程の前処理における
手順を示す製造工程断面図である。
手順を示す製造工程断面図である。
【図43】 同上表示装置の製造工程のEL発光材料の
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図44】 同上表示装置の製造工程のEL発光材料の
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図45】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大断面
図である。
を用いた表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大断面
図である。
【図46】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置の画素領域の構造を示す拡大図であ
り、(A)は平面構造で、(B)は(A)のB−B線断
面図である。
を用いた表示装置の画素領域の構造を示す拡大図であ
り、(A)は平面構造で、(B)は(A)のB−B線断
面図である。
【図47】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図48】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図49】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図50】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図51】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図52】 本発明の電気光学装置に係るEL表示素子
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断
面図である。
【図53】 同上電気光学装置を備えた電気機器である
パーソナルコンピュータを示す斜視図である。
パーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図54】 同上電気光学装置を備えた電気機器である
携帯電話を示す斜視図である。
携帯電話を示す斜視図である。
【図55】 複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐
出ユニットの平面図である。
出ユニットの平面図である。
【図56】 液滴吐出ユニットを用いた処理方法を示す
説明図である。
説明図である。
【図57A】 液滴吐出ユニットの基板12に対する姿
勢を示す説明図である。
勢を示す説明図である。
【図57B】 液滴吐出ユニットの基板12に対する姿
勢を示す説明図である。
勢を示す説明図である。
【図58】 複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐
出ユニットの平面図である。
出ユニットの平面図である。
【図59】 複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐
出ユニットの平面図である。
出ユニットの平面図である。
【図60】 マザー基板におけるパターン形成領域の配
列態様を示す説明図である。
列態様を示す説明図である。
【図61】 従来のカラーフィルタの製造方法の一例を
示す図である。
示す図である。
【図62】 従来のカラーフィルタの特性を説明するた
めの図である。
めの図である。
1,118・・・カラーフィルタ、2,107a,10
7b 被吐出物である基板、3・・・フィルタエレメ
ント、12・・・基板であるマザー基板、13・・・液
状材料としてのフィルタエレメント材料、16・・・液
滴吐出装置(カラーフィルタの製造装置)、19,42
5・・・移動手段(ヘッド走査手段)を構成する走査駆
動装置、21,427・・・移動手段(ヘッド送り手
段)を構成する送り駆動装置、25・・・液滴吐出ヘッ
ドの保持手段であるキャリッジ、27,466・・・ノ
ズル、49・・・被吐出物の保持手段であるテーブル、
101・・・電気光学装置である液晶装置、102・・
・電気光学装置である液晶パネル、111a,111b
・・・被吐出物である基材、114a,114b・・・
電極、201・・・電気光学装置であるEL装置、20
2・・・画素電極、204・・・基板である透明基板、
213・・・対向電極、405R(405G,405
B)・・・液滴吐出装置としてのカラーフィルタの製造
装置、421・・・液滴吐出ヘッドであるインクジェッ
トヘッド、426・・・保持手段としてのキャリッジ、
501・・・電気光学装置である表示装置、502・・
・被吐出物としての基板である表示基板、540A,5
40B・・・機能性液状体としての光学材料、L・・・
液晶、M・・・フィルタエレメント材料、
7b 被吐出物である基板、3・・・フィルタエレメ
ント、12・・・基板であるマザー基板、13・・・液
状材料としてのフィルタエレメント材料、16・・・液
滴吐出装置(カラーフィルタの製造装置)、19,42
5・・・移動手段(ヘッド走査手段)を構成する走査駆
動装置、21,427・・・移動手段(ヘッド送り手
段)を構成する送り駆動装置、25・・・液滴吐出ヘッ
ドの保持手段であるキャリッジ、27,466・・・ノ
ズル、49・・・被吐出物の保持手段であるテーブル、
101・・・電気光学装置である液晶装置、102・・
・電気光学装置である液晶パネル、111a,111b
・・・被吐出物である基材、114a,114b・・・
電極、201・・・電気光学装置であるEL装置、20
2・・・画素電極、204・・・基板である透明基板、
213・・・対向電極、405R(405G,405
B)・・・液滴吐出装置としてのカラーフィルタの製造
装置、421・・・液滴吐出ヘッドであるインクジェッ
トヘッド、426・・・保持手段としてのキャリッジ、
501・・・電気光学装置である表示装置、502・・
・被吐出物としての基板である表示基板、540A,5
40B・・・機能性液状体としての光学材料、L・・・
液晶、M・・・フィルタエレメント材料、
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
H05B 33/14 H05B 33/14 A
(72)発明者 伊藤 達也
長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ
ーエプソン株式会社内
Fターム(参考) 2H048 BA02 BA64 BB02 BB42
2H091 FA02Y FA03Y FA04Y FA14Y
FA14Z FA23Z FA35Z FA45Z
FC10 FC12 FC29 FD04 FD05
FD06 LA12 LA15 LA30
3K007 AB18 BB06 DB03 FA01
5G435 AA17 BB05 BB12 CC09 CC12
GG12 KK05 KK07 KK10
Claims (28)
- 【請求項1】 液滴吐出手段により対象物の表面に対し
て液状材料の液滴を吐出して成膜する成膜方法であっ
て、 前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記表面に沿っ
た第1方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出
する第1走査段階と、前記液滴吐出手段を前記対象物に
対して前記第1方向とは異なる前記表面に沿った第2の
方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出する第
2走査段階とを有することを特徴とする成膜方法。 - 【請求項2】 前記第1走査段階と前記第2走査段階と
において前記対象物を回転させて相互に異なる姿勢とす
ることによって、前記第1方向と前記第2方向とを相互
に交差する方向に設定することを特徴とする請求項1に
記載の成膜方法。 - 【請求項3】 対象物の表面に対して液状材料の液滴を
吐出する液滴吐出手段と、前記対象物と前記液滴吐出手
段とを前記表面に沿って相対的に移動させる移動手段と
を有する成膜装置であって、 前記対象物に対して前記表面に沿った相互に異なる少な
くとも2つの方向に前記液滴吐出手段を相対的に移動さ
せることができ、かつ、前記2つの方向のいずれの移動
中においても複数の前記液滴を順次吐出可能に構成され
ていることを特徴とする成膜装置。 - 【請求項4】 前記対象物を回転させることによって前
記対象物を少なくとも2つの姿勢に設定することの可能
な姿勢位置決め手段を有することを特徴とする請求項3
に記載の成膜装置。 - 【請求項5】 被吐出物に対して液状材料を吐出するた
めの液滴吐出装置であって、 前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出
ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の
表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前
記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段
とを有し、 前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物を異なる2以上
の平面姿勢で位置決め可能に構成されていることを特徴
とする液滴吐出装置。 - 【請求項6】 前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物
の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記異
なる2以上の平面姿勢において相互に異なる前記観測手
段を用いるように構成されていることを特徴とする請求
項5に記載の液滴吐出装置。 - 【請求項7】 被吐出物に対して液状材料を吐出するた
めの液滴吐出装置であって、 前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出
ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の
表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前
記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段
とを有し、 前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物に対して前記液状材
料の液滴を吐出しながら移動する走査方向と、前記姿勢
位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物の平面
姿勢とを、異なる2以上の位置関係に設定可能に構成さ
れていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 【請求項8】 前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物
の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記異
なる2以上の位置関係において相互に異なる前記観測手
段を用いるように構成されていることを特徴とする請求
項7に記載の液滴吐出装置。 - 【請求項9】 被吐出物に対して液状材料を吐出して成
膜するための液滴吐出装置であって、 前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出
ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の
表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前
記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段
とを有し、 前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物に対して前記液状材
料の液滴を吐出しながら移動する走査方向を、処理途中
において前記姿勢位置決め手段により位置決めされる前
記被吐出物に対して異なる方向に変更可能に構成されて
いることを特徴とする液滴吐出装置。 - 【請求項10】 前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出
物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記
走査方向の変更の前後において相互に異なる前記観測手
段を用いるように構成されていることを特徴とする請求
項9に記載の液滴吐出装置。 - 【請求項11】 前記観測手段は、前記被吐出物の複数
の部位を観測可能に構成されていることを特徴とする請
求項10に記載の液滴吐出装置。 - 【請求項12】 被吐出物に対して液状材料を吐出して
フィルタエレメントを成膜する吐出成膜工程を有するカ
ラーフィルタの製造方法であって、 第1の走査方向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料
の液滴を連続して吐出する第1吐出段階と、 前記第1の走査方向とは異なる第2の走査方向に沿って
前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出す
る第2吐出段階と、を有することを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。 - 【請求項13】 前記第1吐出段階では、前記被吐出物
の第1領域に対して第1の色相を呈する第1の前記フィ
ルタエレメントが形成され、 前記第2吐出段階では、前記被吐出物の前記第1領域と
は異なる第2領域に対して前記第1の色相とは異なる第
2の色相を呈する第2の前記フィルタエレメントが形成
されることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィ
ルタの製造方法。 - 【請求項14】 3色の色相を呈する前記フィルタエレ
メントを形成し、前記液状材料の液滴の走査方向に起因
して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する前記フィル
タエレメントと、他の2色の色相を呈する前記フィルタ
エレメントとを異なる吐出段階にて形成することを特徴
とする請求項13に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項15】 前記フィルタエレメントが複数の液滴
によって形成され、前記第1吐出段階では前記複数の液
滴のうちの一部が吐出され、前記第2吐出段階では前記
複数の液滴のうちの残部が吐出されることを特徴とする
請求項12乃至請求項14のいずれか1項に記載のカラ
ーフィルタの製造方法。 - 【請求項16】 被吐出物に対して液状材料を吐出して
成膜されてなるフィルタエレメントを有するカラーフィ
ルタを備えた表示装置であって、 前記カラーフィルタは、異なる複数の走査方向に沿って
連続して吐出された前記液状材料の液滴によって構成さ
れたものであることを特徴とするカラーフィルタを備え
た表示装置。 - 【請求項17】 前記カラーフィルタは、相互に異なる
走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の液
滴によって構成された、異なる色相を呈する複数種類の
フィルタエレメントを有することを特徴とする請求項1
6に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。 - 【請求項18】 3色の色相を呈する前記フィルタエレ
メントを有し、前記液状材料の液滴の走査方向に起因し
て最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する前記フィルタ
エレメントと、他の2色の色相を呈する前記フィルタエ
レメントとが異なる走査方向に沿って連続形成されたも
のであることを特徴とする請求項17に記載のカラーフ
ィルタを備えた表示装置。 - 【請求項19】 異なる前記走査方向に沿って連続して
吐出された前記液状材料の液滴の混合により形成された
前記フィルタエレメントを有することを特徴とする請求
項16乃至請求項18のいずれか1項に記載のカラーフ
ィルタを備えた表示装置。 - 【請求項20】 前記カラーフィルタと平面的に重なる
液晶パネルを有することを特徴とする請求項16乃至請
求項19のいずれか1項に記載のカラーフィルタを備え
た表示装置。 - 【請求項21】 前記カラーフィルタと平面的に重なる
EL発光層を有することを特徴とする請求項16乃至請
求項20のいずれか1項に記載のカラーフィルタを備え
た表示装置。 - 【請求項22】 請求項16乃至請求項21のいずれか
1項に記載のカラーフィルタを備えた表示装置を有する
電子機器。 - 【請求項23】 基材に対して液状材料を吐出して成膜
する吐出成膜工程を有する表示装置の製造方法であっ
て、 第1の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液
滴を連続して吐出する第1吐出段階と、 前記第1の走査方向とは異なる第2の走査方向に沿って
前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第
2吐出段階と、を有することを特徴とする表示装置の製
造方法。 - 【請求項24】 前記液状材料の液滴によって表示ドッ
トが形成されることを特徴とする請求項23に記載の表
示装置の製造方法。 - 【請求項25】 前記表示ドットが複数の液滴によって
形成され、前記第1吐出段階では前記複数の液滴のうち
の一部が吐出され、前記第2吐出段階では前記複数の液
滴のうちの残部が吐出されることを特徴とする請求項2
4に記載の表示装置の製造方法。 - 【請求項26】 被吐出物に対して液状材料を吐出して
成膜されてなる表示ドットを備えた表示装置であって、 前記表示ドットは、異なる複数の走査方向に沿って連続
して吐出された前記液状材料の液滴によって構成された
ものであることを特徴とする表示装置。 - 【請求項27】 異なる前記走査方向に沿って連続して
吐出された前記液状材料の液滴の混合により形成された
前記表示ドットを有することを特徴とする請求項26に
記載の表示装置。 - 【請求項28】 請求項26又は請求項27に記載の表
示装置を有する電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002375589A JP2003307613A (ja) | 2002-02-12 | 2002-12-25 | 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002034706 | 2002-02-12 | ||
JP2002-34706 | 2002-02-12 | ||
JP2002375589A JP2003307613A (ja) | 2002-02-12 | 2002-12-25 | 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003307613A true JP2003307613A (ja) | 2003-10-31 |
Family
ID=29405088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002375589A Withdrawn JP2003307613A (ja) | 2002-02-12 | 2002-12-25 | 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2003307613A (ja) |
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2002
- 2002-12-25 JP JP2002375589A patent/JP2003307613A/ja not_active Withdrawn
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