JP2003307487A - 光走査プローブ - Google Patents
光走査プローブInfo
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光走査プローブの挿入部を体腔内に挿入中に
姿勢変化が有っても、物体側と参照側の光路長の変動が
無く、観察対象の像を安定して得る光走査プローブを提
供する。 【解決手段】 光走査プローブ2の体腔内に挿入される
可撓性の挿入部4の先端の硬質の先端ハウジング部5の
内部に、低干渉性光を発生する低干渉光源11、その光
を平行ビームにするコリメータレンズ15、そのビーム
を物体側光路31と参照側光路32とに分岐するビーム
スプリッタ16、その透過光側の物体側光路31に配置
した2次元スキャンミラー22、対物レンズ23、ビー
ムスプリッタ16の反射光側となる参照側光路32のピ
エゾ駆動ミラー19等をそれぞれ配置し、挿入中に挿入
部4が屈曲等の姿勢変化があっても、物体側光路31と
参照側光路32との両光路長が変化なく、観察対象の像
を安定して得ることができる。
姿勢変化が有っても、物体側と参照側の光路長の変動が
無く、観察対象の像を安定して得る光走査プローブを提
供する。 【解決手段】 光走査プローブ2の体腔内に挿入される
可撓性の挿入部4の先端の硬質の先端ハウジング部5の
内部に、低干渉性光を発生する低干渉光源11、その光
を平行ビームにするコリメータレンズ15、そのビーム
を物体側光路31と参照側光路32とに分岐するビーム
スプリッタ16、その透過光側の物体側光路31に配置
した2次元スキャンミラー22、対物レンズ23、ビー
ムスプリッタ16の反射光側となる参照側光路32のピ
エゾ駆動ミラー19等をそれぞれ配置し、挿入中に挿入
部4が屈曲等の姿勢変化があっても、物体側光路31と
参照側光路32との両光路長が変化なく、観察対象の像
を安定して得ることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被検体に対して低干
渉性の光を走査して画像情報を得る光走査プローブに関
する。
渉性の光を走査して画像情報を得る光走査プローブに関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、生体組織を診断する場合、低干渉
性光を用いて被検体に対する断層像を得る干渉型OCT
(オプチカル・コヒーレント・トモグラフィ)が提案さ
れている。この干渉型OCT(オプチカル・コヒーレン
ト・トモグラフィ)の従来例を図6によって説明する。
図6に示す従来例の干渉型OCT60は低干渉性光源6
1を有し、この低干渉性光源61から出射した近赤外の
低干渉性光は第1の光ファイバに62aに導光され、光
結合を行う光カプラ63により第3の光ファイバ62c
と第4の光ファイバ62dに分岐される。
性光を用いて被検体に対する断層像を得る干渉型OCT
(オプチカル・コヒーレント・トモグラフィ)が提案さ
れている。この干渉型OCT(オプチカル・コヒーレン
ト・トモグラフィ)の従来例を図6によって説明する。
図6に示す従来例の干渉型OCT60は低干渉性光源6
1を有し、この低干渉性光源61から出射した近赤外の
低干渉性光は第1の光ファイバに62aに導光され、光
結合を行う光カプラ63により第3の光ファイバ62c
と第4の光ファイバ62dに分岐される。
【0003】第3の光ファイバ62cは光コネクタ64
により第5の光ファイバ65に接続され、体腔内に挿入
可能な光走査プローブ66に低干渉性光を伝送する。
により第5の光ファイバ65に接続され、体腔内に挿入
可能な光走査プローブ66に低干渉性光を伝送する。
【0004】第5の光ファイバ65の端部から出射され
た低干渉性光は、図示しない集光レンズにより観察ビー
ム67として観察対象内部の観察物68に集光される。
た低干渉性光は、図示しない集光レンズにより観察ビー
ム67として観察対象内部の観察物68に集光される。
【0005】一方、第4の光ファイバ62dは周波数シ
フタ69に接続され、周波数シフタ69を経て第6の光
ファイバ62eに導光される。周波数シフタ69として
は、音響光学素子(AOM)や電気光学素子(EO)、
ピエゾ素子にファイバループを設けたもの等の位相変調
手段が用いられる。
フタ69に接続され、周波数シフタ69を経て第6の光
ファイバ62eに導光される。周波数シフタ69として
は、音響光学素子(AOM)や電気光学素子(EO)、
ピエゾ素子にファイバループを設けたもの等の位相変調
手段が用いられる。
【0006】第6の光ファイバ62eの端部から出射し
た光はレンズ70により可動ミラー71に導光される。
この可動ミラー71はミラー駆動手段72で出射光の光
軸方向に移動される。第6の光ファイバ69の端部、レ
ンズ70、可動ミラー71、ミラー駆動手段72で光路
長調整手段73が構成されている。
た光はレンズ70により可動ミラー71に導光される。
この可動ミラー71はミラー駆動手段72で出射光の光
軸方向に移動される。第6の光ファイバ69の端部、レ
ンズ70、可動ミラー71、ミラー駆動手段72で光路
長調整手段73が構成されている。
【0007】第2の光ファイバ62bは光ディテクタ7
4に接続されている。低干渉性光源61から出射した近
赤外の低干渉光は第1の光ファイバ62aに導光され、
光カプラ63により、第3の光ファイバ62cと第4の
光ファイバ62dに分岐される。第3の光ファイバ62
cに導光された光は光コネクタ64、第5の光ファイバ
65を介して光走査プローブ66に導光され、観察対象
物68側に観察ビーム67として出射される。
4に接続されている。低干渉性光源61から出射した近
赤外の低干渉光は第1の光ファイバ62aに導光され、
光カプラ63により、第3の光ファイバ62cと第4の
光ファイバ62dに分岐される。第3の光ファイバ62
cに導光された光は光コネクタ64、第5の光ファイバ
65を介して光走査プローブ66に導光され、観察対象
物68側に観察ビーム67として出射される。
【0008】観察ビーム67および観察点は、走査駆動
手段81による走査駆動信号により図示しないスキャナ
により観察対象物68に対して例えば矢印で示す方向等
に走査される。観察点での観察対象物68側からの反
射、或いは散乱光は、集光レンズを介して第5の光ファ
イバ65にもどり、逆の光路で第3の光ファイバ62c
に戻る。この光路が物体側光路となる。
手段81による走査駆動信号により図示しないスキャナ
により観察対象物68に対して例えば矢印で示す方向等
に走査される。観察点での観察対象物68側からの反
射、或いは散乱光は、集光レンズを介して第5の光ファ
イバ65にもどり、逆の光路で第3の光ファイバ62c
に戻る。この光路が物体側光路となる。
【0009】同様に第4の光ファイバ62dに分岐した
低干渉光は周波数シフタ69で周波数遷移を受け、第6
の光ファイバ62eおよびレンズ70で略平行光に変換
され、可動ミラー71に導かれる。可動ミラー71で反
射した光は再びレンズ70により第6の光ファイバ62
eに導かれ、さらに第4の光ファイバ62dに戻る。こ
の光路が参照側光路である。
低干渉光は周波数シフタ69で周波数遷移を受け、第6
の光ファイバ62eおよびレンズ70で略平行光に変換
され、可動ミラー71に導かれる。可動ミラー71で反
射した光は再びレンズ70により第6の光ファイバ62
eに導かれ、さらに第4の光ファイバ62dに戻る。こ
の光路が参照側光路である。
【0010】物体側光路と参照側光路の光が光カプラ6
3により混合され、第2の光ファイバ62bでは物体側
光路と参照側光路の光路長が低干渉性光源61のコヒー
レンス長の範囲で一致した場合には周波数シフタ69の
周波数遷移量に起因する周波数に変調された干渉光が検
出される。
3により混合され、第2の光ファイバ62bでは物体側
光路と参照側光路の光路長が低干渉性光源61のコヒー
レンス長の範囲で一致した場合には周波数シフタ69の
周波数遷移量に起因する周波数に変調された干渉光が検
出される。
【0011】ここで、光路長調整手段73により参照側
の光路長を物体側の観察点までの光路長に一致するよう
に、ミラー駆動手段72により予め調整しておくと、観
察点からの情報が干渉光として常に得られることにな
る。この干渉光を光ディテクタ74により電気信号に変
換し、復調器75により変調周波数近傍の信号だけを取
り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイン検出によ
り高S/Nで検出できる。
の光路長を物体側の観察点までの光路長に一致するよう
に、ミラー駆動手段72により予め調整しておくと、観
察点からの情報が干渉光として常に得られることにな
る。この干渉光を光ディテクタ74により電気信号に変
換し、復調器75により変調周波数近傍の信号だけを取
り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイン検出によ
り高S/Nで検出できる。
【0012】この信号は観察点での走査と同期してA/
Dコンバータ76によりパーソナルコンピュータ(以
下、パソコンと略記)77で取り込み、走査位置と対応
して復調信号を輝度でディスプレイ78に表示すること
により、観察対象物68の像を得ることが出来る。な
お、第3の光ファイバ62cには可視光のエイミングビ
ームを発生するエイミングビームレーザ79からの光が
カプラ80を介して導光される。
Dコンバータ76によりパーソナルコンピュータ(以
下、パソコンと略記)77で取り込み、走査位置と対応
して復調信号を輝度でディスプレイ78に表示すること
により、観察対象物68の像を得ることが出来る。な
お、第3の光ファイバ62cには可視光のエイミングビ
ームを発生するエイミングビームレーザ79からの光が
カプラ80を介して導光される。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例によれば、物体側光路の一部となる光ファイバ
65が光走査プローブ66の体腔内に挿入されるフレキ
シブルなチューブ内に挿通されているため、少なくとも
数10センチ以上と長い光ファイバ65は、光走査プロ
ーブ66を体腔内に挿入した際に、様々な形状に曲げら
れることにより、引っ張りや圧縮の応力を受ける。
た従来例によれば、物体側光路の一部となる光ファイバ
65が光走査プローブ66の体腔内に挿入されるフレキ
シブルなチューブ内に挿通されているため、少なくとも
数10センチ以上と長い光ファイバ65は、光走査プロ
ーブ66を体腔内に挿入した際に、様々な形状に曲げら
れることにより、引っ張りや圧縮の応力を受ける。
【0014】光ファイバ65が応力を受けることによっ
て、光学的な特性が変化する。さらに光ファイバ65の
長さが長いため、物体側光路の光路長が意図しない変動
を生じる。これによって、正しい観察対象の像が表示さ
れないという問題点を有する。
て、光学的な特性が変化する。さらに光ファイバ65の
長さが長いため、物体側光路の光路長が意図しない変動
を生じる。これによって、正しい観察対象の像が表示さ
れないという問題点を有する。
【0015】また、従来の観測装置は、挿入部を装置本
体から交換した際、挿入部の個体差、又は種類の違いに
より、挿入部での光路長が大きく変わってしまうと、参
照光路の光路長調整が困難であった。
体から交換した際、挿入部の個体差、又は種類の違いに
より、挿入部での光路長が大きく変わってしまうと、参
照光路の光路長調整が困難であった。
【0016】(発明の目的)本発明は上記問題点に鑑み
てなされたものであり。光走査プローブを体腔内に挿入
中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側と
参照側の光路長の変動が無く、観察対象の像を安定して
得ることができる光走査プローブを提供することを目的
とする。また、本発明は挿入部の個体差や種類が変わっ
た場合でも、その都度、使用する人が参照側の光路長を
調整する必要が無い光走査プローブを提供することを目
的とする。
てなされたものであり。光走査プローブを体腔内に挿入
中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側と
参照側の光路長の変動が無く、観察対象の像を安定して
得ることができる光走査プローブを提供することを目的
とする。また、本発明は挿入部の個体差や種類が変わっ
た場合でも、その都度、使用する人が参照側の光路長を
調整する必要が無い光走査プローブを提供することを目
的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】被検体内に挿通可能な挿
入部の硬質の先端内部に、低干渉性光源からの低干渉性
光を測定を行う物体側に導く物体側光路と、参照側とな
る参照側光路とに光路を分岐する光路分岐手段と、前記
物体側光路と参照側光路とによる光を混合して干渉光と
して光検出手段側に導く光混合手段と、とを設けたこと
により、挿入部を体腔内に挿入中にいかなる姿勢になっ
ても、姿勢変化による物体側光路と参照側光路の光路長
の変動が無く、正しい観察対象の像を安定して得ること
ができるようにしている。
入部の硬質の先端内部に、低干渉性光源からの低干渉性
光を測定を行う物体側に導く物体側光路と、参照側とな
る参照側光路とに光路を分岐する光路分岐手段と、前記
物体側光路と参照側光路とによる光を混合して干渉光と
して光検出手段側に導く光混合手段と、とを設けたこと
により、挿入部を体腔内に挿入中にいかなる姿勢になっ
ても、姿勢変化による物体側光路と参照側光路の光路長
の変動が無く、正しい観察対象の像を安定して得ること
ができるようにしている。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 (第1の実施の形態)図1及び図2は本発明の第1の実
施の形態に係り、図1は第1の実施の形態を備えた干渉
型光イメージング装置の全体構成を示し、図2は第1の
実施の形態の光走査プローブの先端側の構成を平面断面
図で示す。
施の形態を説明する。 (第1の実施の形態)図1及び図2は本発明の第1の実
施の形態に係り、図1は第1の実施の形態を備えた干渉
型光イメージング装置の全体構成を示し、図2は第1の
実施の形態の光走査プローブの先端側の構成を平面断面
図で示す。
【0019】図1に示すように干渉型光イメージング装
置1は、体腔内に挿入される第1の実施の形態の光走査
プローブ2と、光走査プローブ2と接続され、動作制御
と画像表示等の機能を備えた制御装置3とから構成され
る。
置1は、体腔内に挿入される第1の実施の形態の光走査
プローブ2と、光走査プローブ2と接続され、動作制御
と画像表示等の機能を備えた制御装置3とから構成され
る。
【0020】光走査プローブ2は体腔内に挿入される細
長で可撓性を有するプローブ挿入部4と、このプローブ
挿入部4の先端部に設けられた硬質の先端ハウジング部
5と、プローブ挿入部4の後端に設けたコネクタ部6と
を有し、このコネクタ部6は制御装置3に着脱自在で接
続される。
長で可撓性を有するプローブ挿入部4と、このプローブ
挿入部4の先端部に設けられた硬質の先端ハウジング部
5と、プローブ挿入部4の後端に設けたコネクタ部6と
を有し、このコネクタ部6は制御装置3に着脱自在で接
続される。
【0021】本実施の形態では図2により説明するよう
に光走査プローブ2の先端部の先端ハウジング部5内部
に光源及び光学系を内蔵し、コネクタ部6により制御装
置3と単に信号線の接続を行う構造にしている。
に光走査プローブ2の先端部の先端ハウジング部5内部
に光源及び光学系を内蔵し、コネクタ部6により制御装
置3と単に信号線の接続を行う構造にしている。
【0022】そして、先端ハウジング部5の例えば側面
部に設けた観察窓のカバーガラス7を介して観察対象物
8側に低干渉性光を出射し、その反射光を受光して光検
出手段で光電変換して制御装置3に入力し、画像化して
表示することができるようにしている。
部に設けた観察窓のカバーガラス7を介して観察対象物
8側に低干渉性光を出射し、その反射光を受光して光検
出手段で光電変換して制御装置3に入力し、画像化して
表示することができるようにしている。
【0023】図2に示すように光走査プローブ2のプロ
ーブ挿入部4は、例えば密巻きコイル9とその外周面を
水密的に覆う可撓性のチューブ10で形成され、その先
端部には硬質で遮光性の先端ハウジング5が水密的に固
定されている。
ーブ挿入部4は、例えば密巻きコイル9とその外周面を
水密的に覆う可撓性のチューブ10で形成され、その先
端部には硬質で遮光性の先端ハウジング5が水密的に固
定されている。
【0024】この先端ハウジング5の内部には、スーパ
ールミネッセントダイオード(SLD)により形成され
た低干渉光源11が、光源保持台12に取り付けて配置
されている。この低干渉光源11は、信号線13aによ
り制御装置3内部の光源駆動回路(光源発光回路)14
と接続され、この光源駆動回路14からの駆動信号で低
干渉光源11はその発光部から低干渉性の光を出力す
る。
ールミネッセントダイオード(SLD)により形成され
た低干渉光源11が、光源保持台12に取り付けて配置
されている。この低干渉光源11は、信号線13aによ
り制御装置3内部の光源駆動回路(光源発光回路)14
と接続され、この光源駆動回路14からの駆動信号で低
干渉光源11はその発光部から低干渉性の光を出力す
る。
【0025】この低干渉性光源11の発光部の前方位置
に平行光束にするコリメータレンズ15が配置され、こ
のコリメータレンズ15の前方位置に、光路分岐素子と
してのプリズムによるビームスプリッタ16が配置さ
れ、透過して物体側に進む光と反射して参照光となる光
とに分岐する。なお、後述するようにこのビームスプリ
ッタ16は分岐された両光を混合してその干渉光を光検
出手段側に導く手段、つまり光混合手段の機能も兼ね
る。
に平行光束にするコリメータレンズ15が配置され、こ
のコリメータレンズ15の前方位置に、光路分岐素子と
してのプリズムによるビームスプリッタ16が配置さ
れ、透過して物体側に進む光と反射して参照光となる光
とに分岐する。なお、後述するようにこのビームスプリ
ッタ16は分岐された両光を混合してその干渉光を光検
出手段側に導く手段、つまり光混合手段の機能も兼ね
る。
【0026】ビームスプリッタ16の光分岐面16aは
低干渉性光源11から出射された光の光軸に対して45
°をなし、透過する光とこれに直交する反射光とに分岐
する。
低干渉性光源11から出射された光の光軸に対して45
°をなし、透過する光とこれに直交する反射光とに分岐
する。
【0027】さらにビームスプリータ16の反射光側に
望む側方には、プリズムによるミラー(プリズムミラー
という)17が配置されている。このプリズムミラー1
7の反射面はビームスプリッタ16の光分岐面16aに
対して90°をなしている。このプリズムミラー17で
反射された光路上にコリメータレンズ18が配置され、
そのフォーカス位置に光周波数シフタとしての機能を持
つピエゾ駆動ミラー19がミラー保持台20に取り付け
られている。
望む側方には、プリズムによるミラー(プリズムミラー
という)17が配置されている。このプリズムミラー1
7の反射面はビームスプリッタ16の光分岐面16aに
対して90°をなしている。このプリズムミラー17で
反射された光路上にコリメータレンズ18が配置され、
そのフォーカス位置に光周波数シフタとしての機能を持
つピエゾ駆動ミラー19がミラー保持台20に取り付け
られている。
【0028】このピエゾ駆動ミラー19は信号線13b
により制御装置3内部のパソコン(図1ではPCと略
記)21に接続され、このパソコン21からの制御信号
或いは駆動信号でピエゾ駆動ミラー19はそのミラー面
が矢印Aで示すように光軸方向に前後動する。
により制御装置3内部のパソコン(図1ではPCと略
記)21に接続され、このパソコン21からの制御信号
或いは駆動信号でピエゾ駆動ミラー19はそのミラー面
が矢印Aで示すように光軸方向に前後動する。
【0029】また、ビームスプリッタ16の前方側に
は、2次元スキャンを行う2次元スキャンミラー22が
配置され、その反射光路側に対物レンズ23が配置され
ている。
は、2次元スキャンを行う2次元スキャンミラー22が
配置され、その反射光路側に対物レンズ23が配置され
ている。
【0030】この2次元スキャンミラー22は信号線1
3cを介して制御装置3内部の走査駆動回路25と接続
されており、走査駆動回路25からの走査駆動信号によ
り、2次元スキャンミラー22はビームスプリッタ16
から入射される光を2次元的に走査するように反射し、
対物レンズ23を経て観察対象物8側に低干渉性光を2
次元的に走査するように出射する。
3cを介して制御装置3内部の走査駆動回路25と接続
されており、走査駆動回路25からの走査駆動信号によ
り、2次元スキャンミラー22はビームスプリッタ16
から入射される光を2次元的に走査するように反射し、
対物レンズ23を経て観察対象物8側に低干渉性光を2
次元的に走査するように出射する。
【0031】また、観察対象物8側で反射された光は逆
の光路を通り、ピームスプリッタ16における光分岐面
16aで上記プリズムミラー17と反対側の側面側に一
部の光を反射して光分岐をし、その側面に対向するよう
に配置された集光レンズ26により集光されて光検出器
27で受光される。
の光路を通り、ピームスプリッタ16における光分岐面
16aで上記プリズムミラー17と反対側の側面側に一
部の光を反射して光分岐をし、その側面に対向するよう
に配置された集光レンズ26により集光されて光検出器
27で受光される。
【0032】この光検出器27で光電変換された信号は
信号線13dを経て制御装置3内部の復調器28に入力
され、復調される。この復調器28で復調された信号は
A/Dコンバータ29により、デジタル信号に変換され
た後、パソコン21に入力され、このパソコン21で画
像化したデータに変換された後、ディスプレイ30に出
力され、ディスプレイ30でその画像が表示される。
信号線13dを経て制御装置3内部の復調器28に入力
され、復調される。この復調器28で復調された信号は
A/Dコンバータ29により、デジタル信号に変換され
た後、パソコン21に入力され、このパソコン21で画
像化したデータに変換された後、ディスプレイ30に出
力され、ディスプレイ30でその画像が表示される。
【0033】図2において、ビームスプリッタ16の光
分岐面16aから観察対象物8にいたる光路が物体側光
路31となる。また、光分岐面16aからプリズムミラ
ー17、コリメータレンズ18を経てピエゾ駆動ミラー
19に至る光路が参照側光路32となる。
分岐面16aから観察対象物8にいたる光路が物体側光
路31となる。また、光分岐面16aからプリズムミラ
ー17、コリメータレンズ18を経てピエゾ駆動ミラー
19に至る光路が参照側光路32となる。
【0034】また、この参照側光路32はその一部分、
具体的にはプリズムミラー17からピエゾ駆動ミラー1
9に至る光路部分が、光走査プローブ2の軸方向(図2
中で左右方向)と平行な部分32aを有する。
具体的にはプリズムミラー17からピエゾ駆動ミラー1
9に至る光路部分が、光走査プローブ2の軸方向(図2
中で左右方向)と平行な部分32aを有する。
【0035】このような構成の光走査プローブ2による
作用を以下に説明する。低干渉光源11から出射した、
例えば近赤外の低干渉性光はコリメータレンズ15によ
り平行な光ビームにされ、ピームスプリッタ16に入射
する。このビームスプリッタ16に入射した光の一部は
光分岐面16aを透過し、2次元スキャンミラー22の
反射面に斜めに入射する。
作用を以下に説明する。低干渉光源11から出射した、
例えば近赤外の低干渉性光はコリメータレンズ15によ
り平行な光ビームにされ、ピームスプリッタ16に入射
する。このビームスプリッタ16に入射した光の一部は
光分岐面16aを透過し、2次元スキャンミラー22の
反射面に斜めに入射する。
【0036】2次元スキャンミラー22の反射面に入射
した低干渉性光は光走査プローブ2の軸に直交する方向
に反射され、対物レンズ23に入射する。この対物レン
ズ23により集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。
した低干渉性光は光走査プローブ2の軸に直交する方向
に反射され、対物レンズ23に入射する。この対物レン
ズ23により集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。
【0037】この2次元スキャンミラー22は制御装置
3の走査駆動回路25により電気的に駆動されることに
よって、反射面が2次元にチルトする。これにより、観
察対象物8上の低干渉性光の合焦点は観察対象物8上で
2次元にスキャンされる。
3の走査駆動回路25により電気的に駆動されることに
よって、反射面が2次元にチルトする。これにより、観
察対象物8上の低干渉性光の合焦点は観察対象物8上で
2次元にスキャンされる。
【0038】一方、低干渉光源11から出射し、ビーム
スプリッタ16に入射した光の一部は光分岐面16aで
反射し、参照側光路32に進む。つまりビームスプリッ
タ16の光分岐面16aで反射された光はプリズムミラ
ー17の反射面に斜めに入射する。
スプリッタ16に入射した光の一部は光分岐面16aで
反射し、参照側光路32に進む。つまりビームスプリッ
タ16の光分岐面16aで反射された光はプリズムミラ
ー17の反射面に斜めに入射する。
【0039】このプリズムミラー17の反射面で反射さ
れた低干渉性光は光走査プローブ2の軸に平行な方向に
反射し、コリメータレンズ18に入射する。このレンズ
18により集光され、ピエゾ駆動ミラー19上に焦点を
結ぶ。ピエゾ駆動ミラー19は、パソコン21からの駆
動信号により電気的に駆動され、その反射面が光軸に垂
直方向に往復移動する。つまり、図2で符号Aで示す方
向に前後動する。
れた低干渉性光は光走査プローブ2の軸に平行な方向に
反射し、コリメータレンズ18に入射する。このレンズ
18により集光され、ピエゾ駆動ミラー19上に焦点を
結ぶ。ピエゾ駆動ミラー19は、パソコン21からの駆
動信号により電気的に駆動され、その反射面が光軸に垂
直方向に往復移動する。つまり、図2で符号Aで示す方
向に前後動する。
【0040】ピエゾ駆動ミラー19で光が反射すること
により、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向の速度に応じた
ドップラーシフト周波数Ωだけ、低干渉性光の周波数ω
からシフトした光が発生する。
により、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向の速度に応じた
ドップラーシフト周波数Ωだけ、低干渉性光の周波数ω
からシフトした光が発生する。
【0041】上記観察対象物8で反射、或いは散乱した
光の一部は、対物レンズ23を介してビームスプリッタ
16の光分岐面16aに戻る。この光路が物体側光路3
1である。
光の一部は、対物レンズ23を介してビームスプリッタ
16の光分岐面16aに戻る。この光路が物体側光路3
1である。
【0042】同様に上記ピエゾ駆動ミラー19で反射
し、周波数変調された光も再びコリメータレンズ18に
より平行なビームにされ、ビームスプリッタ16の光分
岐面16aに戻る。この光路が参照側光路32である。
し、周波数変調された光も再びコリメータレンズ18に
より平行なビームにされ、ビームスプリッタ16の光分
岐面16aに戻る。この光路が参照側光路32である。
【0043】物体側光路31と参照側光路32の光がビ
ームスプリッタ16の光分岐面16aで混合され、物体
側光路31と参照側光路32の光路長が低干渉光源11
の光のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップ
ラシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。
ームスプリッタ16の光分岐面16aで混合され、物体
側光路31と参照側光路32の光路長が低干渉光源11
の光のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップ
ラシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。
【0044】ここで、光路長調整手段により参照側の光
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの情報が干渉光
として常に得られることになる。
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの情報が干渉光
として常に得られることになる。
【0045】この干渉光を集光レンズ26により光検出
器27上に集光し、電気信号に変換し、復調器28によ
り周波数シフタの周波数遷移量の2倍の周波数近傍の信
号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイ
ン検出により高S/Nで検出できる。
器27上に集光し、電気信号に変換し、復調器28によ
り周波数シフタの周波数遷移量の2倍の周波数近傍の信
号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイ
ン検出により高S/Nで検出できる。
【0046】この信号を観察対象物8上の集光点の走査
と同期してA/Dコンバータ29を介してパソコン21
で取り込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディ
スプレイ30に表示することにより、観察対象物8の画
像を得ることが出来る。
と同期してA/Dコンバータ29を介してパソコン21
で取り込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディ
スプレイ30に表示することにより、観察対象物8の画
像を得ることが出来る。
【0047】ここで、上記物体側光路31と参照側光路
32は光走査プローブ2のプローブ挿入部4の硬質の先
端ハウジング5内部に設けられているため、体腔内に挿
入した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを
受けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれ
る。
32は光走査プローブ2のプローブ挿入部4の硬質の先
端ハウジング5内部に設けられているため、体腔内に挿
入した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを
受けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれ
る。
【0048】従って、光走査プローブ2を体腔内に挿入
中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光
路31と参照側光路32の光路長の変動が無く、観察対
象物8の像を予め設定した状態で常時得ることができ、
従って光路長の変動を受けない良好な画像を得ることが
出来る効果がある。
中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光
路31と参照側光路32の光路長の変動が無く、観察対
象物8の像を予め設定した状態で常時得ることができ、
従って光路長の変動を受けない良好な画像を得ることが
出来る効果がある。
【0049】また、参照側光路32の一部を挿入部4の
軸方向と平行に形成しているので、光走査プローブ2の
径方向の寸法を小さくすることができる。
軸方向と平行に形成しているので、光走査プローブ2の
径方向の寸法を小さくすることができる。
【0050】(第2の実施の形態)次に本発明の第2の
実施の形態を図3(A)、(B)を用いて説明する。図
3(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第2
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図3(A)が平面断面図、図3
(B)が側面断面図である。
実施の形態を図3(A)、(B)を用いて説明する。図
3(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第2
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図3(A)が平面断面図、図3
(B)が側面断面図である。
【0051】本実施例の光走査プローブ2Bは、被検体
内に挿通可能なプローブ挿入部4の先端ハウジング5b
の内部に、低干渉性光源11、この低干渉性光源11の
発光部前方に、コリメータレンズ15、このコリメータ
レンズ15の前方に、光路分岐素子としてのプリズムに
よるビームスプリッタ41が配置されている。
内に挿通可能なプローブ挿入部4の先端ハウジング5b
の内部に、低干渉性光源11、この低干渉性光源11の
発光部前方に、コリメータレンズ15、このコリメータ
レンズ15の前方に、光路分岐素子としてのプリズムに
よるビームスプリッタ41が配置されている。
【0052】ビームスプリッタ41の光分岐面41aは
低干渉性光源11から出射された光の光軸に対して45
°をなしている。
低干渉性光源11から出射された光の光軸に対して45
°をなしている。
【0053】このビームスプリータ41は反射面41b
を有する。この反射面41bはビームスプリッタ41の
光分岐面41aと平行である。
を有する。この反射面41bはビームスプリッタ41の
光分岐面41aと平行である。
【0054】このビームスプリータ41における反射面
41bに対向する前方位置には集光レンズ42が配置さ
れ、更にこの集光レンズ42の前方位置に固定された固
定反射ミラー43が配置され、この固定反射ミラー43
で反射された光路上に2次元スキャンミラー22が配置
され、さらにこの2次元スキャンミラー22で反射され
た光路上に対物レンズ23が配置されている。
41bに対向する前方位置には集光レンズ42が配置さ
れ、更にこの集光レンズ42の前方位置に固定された固
定反射ミラー43が配置され、この固定反射ミラー43
で反射された光路上に2次元スキャンミラー22が配置
され、さらにこの2次元スキャンミラー22で反射され
た光路上に対物レンズ23が配置されている。
【0055】この対物レンズ23は先端ハウジング5b
の先端面の観察窓に取り付けられたカバーガラス7に対
向するように配置され、このカバーガラス7を経て観察
対象物8側に低干渉性光を出射する。つまり、本実施の
形態は直視タイプの光走査プローブ2Bである。
の先端面の観察窓に取り付けられたカバーガラス7に対
向するように配置され、このカバーガラス7を経て観察
対象物8側に低干渉性光を出射する。つまり、本実施の
形態は直視タイプの光走査プローブ2Bである。
【0056】また、ビームスプリッタ41における光分
岐面41aに対向する前方位置には、光を折り返すプリ
ズム44が配置され、このプリズム44で折り返された
光はビームスプリッタ41の下方に配置されたコリメー
タレンズ18を経て、このコリメータレンズ18に対向
し、光周波数シフタとしてのピエゾ駆動ミラー19に導
光される。
岐面41aに対向する前方位置には、光を折り返すプリ
ズム44が配置され、このプリズム44で折り返された
光はビームスプリッタ41の下方に配置されたコリメー
タレンズ18を経て、このコリメータレンズ18に対向
し、光周波数シフタとしてのピエゾ駆動ミラー19に導
光される。
【0057】また、図3(A)に示すようにビームスプ
リッタ41は、反射面41bと反対側に第2の反射面4
1cを有する。そして、この反射面41cで反射された
光路上となる後方位置には集光レンズ26と、この集光
レンズ26で集光された光を受光する光検出器27が配
置されている。
リッタ41は、反射面41bと反対側に第2の反射面4
1cを有する。そして、この反射面41cで反射された
光路上となる後方位置には集光レンズ26と、この集光
レンズ26で集光された光を受光する光検出器27が配
置されている。
【0058】ここで、ビームスプリッタ41の光分岐面
41aから観察対象物8にいたる光路が物体側光路45
となる。
41aから観察対象物8にいたる光路が物体側光路45
となる。
【0059】また、光分岐面41aからプリズム44、
コリメータレンズ18を経てピエゾ駆動ミラー19への
光路が参照側光路46となる。
コリメータレンズ18を経てピエゾ駆動ミラー19への
光路が参照側光路46となる。
【0060】また、参照側光路46はその一部分に、光
走査プローブ2Bの軸方向(図3で左右方向)と平行な
部分46a、46bとを有する。
走査プローブ2Bの軸方向(図3で左右方向)と平行な
部分46a、46bとを有する。
【0061】また、本実施の形態ではピエゾ駆動ミラー
19が取り付けられた台20はリニアモータ47により
コリメータレンズ18の光軸方向に移動自在にしてい
る。つまり、リニアモータ47により台20と共にピエ
ゾ駆動ミラー19の反射面を図3(B)の符号Bで示す
ように移動して、参照側光路46の光路長を観察対象物
8に応じて変更設定できるようにして、光路長調整機構
を形成している。
19が取り付けられた台20はリニアモータ47により
コリメータレンズ18の光軸方向に移動自在にしてい
る。つまり、リニアモータ47により台20と共にピエ
ゾ駆動ミラー19の反射面を図3(B)の符号Bで示す
ように移動して、参照側光路46の光路長を観察対象物
8に応じて変更設定できるようにして、光路長調整機構
を形成している。
【0062】このリニアモータ47は信号線13eを介
して図1に示した制御装置3のパソコン21に接続さ
れ、ユーザがキーボード等により光路長を変更設定の指
示操作をすると、パソコン21は指示された値だけ、台
20を前方側或いは後方側に移動するようにリニアモー
タ47を制御を行う。なお、リニアモータ47による実
際の移動量は図示しないエンコーダ等により検出され、
このエンコーダにより検出された移動量だけ、前方側或
いは後方側に移動する。その他の構成は第1の実施の形
態と同様の構成である。
して図1に示した制御装置3のパソコン21に接続さ
れ、ユーザがキーボード等により光路長を変更設定の指
示操作をすると、パソコン21は指示された値だけ、台
20を前方側或いは後方側に移動するようにリニアモー
タ47を制御を行う。なお、リニアモータ47による実
際の移動量は図示しないエンコーダ等により検出され、
このエンコーダにより検出された移動量だけ、前方側或
いは後方側に移動する。その他の構成は第1の実施の形
態と同様の構成である。
【0063】次に本実施の形態の光走査プローブ2Bの
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉光はコリメータレンズ15により平行ビームに
され、ビームスプリッタ41に入射する。このビームス
プリッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反
射され、さらに反射面41bで反射され、対向する集光
レンズ42を経て固定反射ミラー43に入射し、反射さ
れて2次元スキャンミラー22の反射面に斜めに入射す
る。
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉光はコリメータレンズ15により平行ビームに
され、ビームスプリッタ41に入射する。このビームス
プリッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反
射され、さらに反射面41bで反射され、対向する集光
レンズ42を経て固定反射ミラー43に入射し、反射さ
れて2次元スキャンミラー22の反射面に斜めに入射す
る。
【0064】この2次元スキャンミラー22の反射面に
入射した低干渉光は光走査プローブ2Bの軸方向に反射
され、対物レンズ23に入射する。対物レンズ23によ
り集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。
入射した低干渉光は光走査プローブ2Bの軸方向に反射
され、対物レンズ23に入射する。対物レンズ23によ
り集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。
【0065】2次元スキャンミラー22は電気的に駆動
されることによって、その反射面が2次元的にチルトす
る。これにより、観察対象物8上の低干渉性光の合焦点
は観察対象物上で2次元的にスキャンされる。
されることによって、その反射面が2次元的にチルトす
る。これにより、観察対象物8上の低干渉性光の合焦点
は観察対象物上で2次元的にスキャンされる。
【0066】一方、ビームスプリッタ41に入射した光
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。このプリズム44の二つの反射面44a、44b
で全反射され、折り返えされる。そしてコリメータレン
ズ18に入射する。
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。このプリズム44の二つの反射面44a、44b
で全反射され、折り返えされる。そしてコリメータレン
ズ18に入射する。
【0067】このコリメータレンズ18により集光さ
れ、ピエゾ駆動ミラー19上に焦点を結ぶ。ピエゾ駆動
ミラー19は電気的に駆動されることによって、反射面
が光軸に垂直方向に往復移動する。つまり、矢印Aで示
すように前後動される。このピエゾ駆動ミラー19で光
が反射することにより、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向
の速度に応じたドップラーシフト周波数Ωだけ、光の周
波数ωからシフトした光が発生する。
れ、ピエゾ駆動ミラー19上に焦点を結ぶ。ピエゾ駆動
ミラー19は電気的に駆動されることによって、反射面
が光軸に垂直方向に往復移動する。つまり、矢印Aで示
すように前後動される。このピエゾ駆動ミラー19で光
が反射することにより、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向
の速度に応じたドップラーシフト周波数Ωだけ、光の周
波数ωからシフトした光が発生する。
【0068】観察対象物8で反射、或いは散乱した光の
一部は、前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光
路45である。
一部は、前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光
路45である。
【0069】同様にミラー19で反射し、周波数変調さ
れた光は再びコリメータレンズ18により平行ビームに
されたビームスプリッタ41の光分岐面41aに戻る。
この光路が参照側光路46である。
れた光は再びコリメータレンズ18により平行ビームに
されたビームスプリッタ41の光分岐面41aに戻る。
この光路が参照側光路46である。
【0070】物体側光路45と参照側光路46の光がビ
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源1
1のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップラ
ーシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源1
1のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップラ
ーシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。
【0071】ここで、光路長調整手段により参照側の光
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの情報が干渉光
として常に得られることになる。この干渉光を集光レン
ズ26により光検出器27上に集光し、電気信号に変換
する。
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの情報が干渉光
として常に得られることになる。この干渉光を集光レン
ズ26により光検出器27上に集光し、電気信号に変換
する。
【0072】そして図1で示したように、復調器28に
より周波数シフタの周波数遷移量の2倍の周波数近傍の
信号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダ
イン検出により高S/Nで検出できる。この信号を観察
対象物8上の集光点の走査と同期してA/Dコンバータ
29を経てパソコン21に取り込み、走査位置と対応し
て復調信号を輝度でディスプレイ30に表示することに
より、観察対象物8の像を得ることができる。
より周波数シフタの周波数遷移量の2倍の周波数近傍の
信号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダ
イン検出により高S/Nで検出できる。この信号を観察
対象物8上の集光点の走査と同期してA/Dコンバータ
29を経てパソコン21に取り込み、走査位置と対応し
て復調信号を輝度でディスプレイ30に表示することに
より、観察対象物8の像を得ることができる。
【0073】本実施の形態では、上記物体側光路45と
参照側光路46は光走査プローブ2Bのプローブ挿入部
4の硬質の先端部内部に設けられているため、体腔内に
挿入した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなど
を受けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれ
ている。
参照側光路46は光走査プローブ2Bのプローブ挿入部
4の硬質の先端部内部に設けられているため、体腔内に
挿入した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなど
を受けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれ
ている。
【0074】従って、光走査プローブ2Bを体腔内に挿
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路45と参照側光路46の光路長の変動が無く、正し
い観察対象の像を得ることができる。
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路45と参照側光路46の光路長の変動が無く、正し
い観察対象の像を得ることができる。
【0075】さらに、光分岐面41aから光検出器27
に至る光路を折り曲げていることにより、第1の実施の
形態よりも先端ハウジング5bの外形を小さくすること
ができる。
に至る光路を折り曲げていることにより、第1の実施の
形態よりも先端ハウジング5bの外形を小さくすること
ができる。
【0076】(第3の実施の形態)次に本発明の第3の
実施の形態を図4(A)、(B)を用いて説明する。図
4(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第3
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図4(A)が平面断面図、図4
(B)が側面断面図である。
実施の形態を図4(A)、(B)を用いて説明する。図
4(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第3
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図4(A)が平面断面図、図4
(B)が側面断面図である。
【0077】本実施の形態の光走査プローブ2Cは、第
2の実施の形態において、プリズム44の下部側を切り
欠いて、光周波数シフタとしてのEO素子51を配置
し、さらにピエゾ駆動ミラー19を単に反射ミラー52
にした構成にした。このEO素子51は信号線13bを
介してパソコン21と接続されている。
2の実施の形態において、プリズム44の下部側を切り
欠いて、光周波数シフタとしてのEO素子51を配置
し、さらにピエゾ駆動ミラー19を単に反射ミラー52
にした構成にした。このEO素子51は信号線13bを
介してパソコン21と接続されている。
【0078】具体的に説明すると、被検体内に挿通可能
なプローブ挿入部4の先端ハウジング5bの内部に、低
干渉性光源11、この低干渉性光源11の発光部の前方
に、コリメータレンズ15、このコリメータレンズ15
の前方に、光路分岐素子としてのプリズムによるビーム
スプリッタ41とが配置されている。このビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aは低干渉性光源11から出射
された光の光軸に対して45°をなしている。
なプローブ挿入部4の先端ハウジング5bの内部に、低
干渉性光源11、この低干渉性光源11の発光部の前方
に、コリメータレンズ15、このコリメータレンズ15
の前方に、光路分岐素子としてのプリズムによるビーム
スプリッタ41とが配置されている。このビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aは低干渉性光源11から出射
された光の光軸に対して45°をなしている。
【0079】さらにこのビームスプリータ41は反射面
41bを有する。この反射面41bはビームスプリッタ
41の光分岐面41aと平行である。このビームスプリ
ータ41の前方には集光レンズ42、更にこの集光レン
ズ42の前方に固定反射ミラー43、この固定反射ミラ
ー43に対向した2次元スキャンミラー22、対物レン
ズ23が配置されている。
41bを有する。この反射面41bはビームスプリッタ
41の光分岐面41aと平行である。このビームスプリ
ータ41の前方には集光レンズ42、更にこの集光レン
ズ42の前方に固定反射ミラー43、この固定反射ミラ
ー43に対向した2次元スキャンミラー22、対物レン
ズ23が配置されている。
【0080】また、ビームスプリッタ41の前方には、
光を折り返すプリズム44が配置され、このプリズム4
4の2つの反射面44a、44bで下方に折り返される
ように反射された光はその光路上に配置された光周波数
シフタとしてのEO素子51に入射される。このEO素
子51を通った光は、対向配置されたコリメータレンズ
18により集光されて反射ミラー52に入射される。
光を折り返すプリズム44が配置され、このプリズム4
4の2つの反射面44a、44bで下方に折り返される
ように反射された光はその光路上に配置された光周波数
シフタとしてのEO素子51に入射される。このEO素
子51を通った光は、対向配置されたコリメータレンズ
18により集光されて反射ミラー52に入射される。
【0081】また、ビームスプリッタ41は、上述のよ
うに第2の反射面41cを有する。この反射面41cで
反射された光はその光路上で後方側に配置された集光レ
ンズ26により集光されて受光素子としての光検出器2
7に入射される。
うに第2の反射面41cを有する。この反射面41cで
反射された光はその光路上で後方側に配置された集光レ
ンズ26により集光されて受光素子としての光検出器2
7に入射される。
【0082】ここで、ビームスプリッタ41の光分岐面
41aから観察対象物8にいたる光路が物体側光路45
となる。また、光分岐面41aからプリズム44、コリ
メータレンズ18を経て反射ミラー52への光路が参照
側光路46となる。この参照側光路46はその一部分
に、光走査プローブ2Cの軸方向(図4中で左右方向)
と平行な部分46a、46bを有する。
41aから観察対象物8にいたる光路が物体側光路45
となる。また、光分岐面41aからプリズム44、コリ
メータレンズ18を経て反射ミラー52への光路が参照
側光路46となる。この参照側光路46はその一部分
に、光走査プローブ2Cの軸方向(図4中で左右方向)
と平行な部分46a、46bを有する。
【0083】次に本実施の形態の光走査プローブ2Cの
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉光はコリメータレンズ15により平行ビームに
され、ビームスプリッタ41に入射する。このビームス
プリッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反
射し、さらに反射面41bで反射し、集光レンズ42を
経て固定反射ミラー43に入射し、反射して2次元スキ
ャンミラー22の反射面に斜めに入射する。
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉光はコリメータレンズ15により平行ビームに
され、ビームスプリッタ41に入射する。このビームス
プリッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反
射し、さらに反射面41bで反射し、集光レンズ42を
経て固定反射ミラー43に入射し、反射して2次元スキ
ャンミラー22の反射面に斜めに入射する。
【0084】この2次元スキャンミラー22の反射面に
入射した低干渉性光は光走査プローブ2Cの軸方向に反
射し、対物レンズ23に入射する。この対物レンズ23
により集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。2次元
スキャンミラー22は電気的に駆動されることによっ
て、反射面が2次元にチルトする。これにより、観察対
象物8上の低干渉性光の合焦点は観察対象物8上で2次
元にスキャンされる。
入射した低干渉性光は光走査プローブ2Cの軸方向に反
射し、対物レンズ23に入射する。この対物レンズ23
により集光され、観察対象物8上に焦点を結ぶ。2次元
スキャンミラー22は電気的に駆動されることによっ
て、反射面が2次元にチルトする。これにより、観察対
象物8上の低干渉性光の合焦点は観察対象物8上で2次
元にスキャンされる。
【0085】一方、ビームスプリッタ41に入射した光
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。このプリズム44の2つの反射面44a、44b
で反射されて、折り返され、EO素子51に入射する。
このEO素子51は電気光学結晶の表面に電極を形成
し、パソコン21を介して電極間に電圧を印加すること
によって電気光学結晶の光学定数が変化し、内部を通過
する光を変調するものである。
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。このプリズム44の2つの反射面44a、44b
で反射されて、折り返され、EO素子51に入射する。
このEO素子51は電気光学結晶の表面に電極を形成
し、パソコン21を介して電極間に電圧を印加すること
によって電気光学結晶の光学定数が変化し、内部を通過
する光を変調するものである。
【0086】このEO素子51内を光が通過することに
より、EO素子51を駆動する信号の周波数Ωの整数倍
だけ、光の周波数ωからシフトした光が発生する。さら
にコリメータレンズ18に入射し、このレンズ18によ
り集光され、反射ミラー52上に焦点を結ぶ。
より、EO素子51を駆動する信号の周波数Ωの整数倍
だけ、光の周波数ωからシフトした光が発生する。さら
にコリメータレンズ18に入射し、このレンズ18によ
り集光され、反射ミラー52上に焦点を結ぶ。
【0087】観察対象物8で反射、或いは散乱した光の
一部は、前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光
路45である。同様に反射ミラー52で反射し、周波数
変調された光は再びコリメータレンズ18により平行ビ
ームにされビームスプリッタ41の光分岐面41aに戻
る。この光路が参照側光路46である。
一部は、前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光
路45である。同様に反射ミラー52で反射し、周波数
変調された光は再びコリメータレンズ18により平行ビ
ームにされビームスプリッタ41の光分岐面41aに戻
る。この光路が参照側光路46である。
【0088】物体側光路45と参照側光路46の光がビ
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源
11のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはEO素
子51の駆動周波数に起因する周波数で変調された干渉
光が生成される。
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源
11のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはEO素
子51の駆動周波数に起因する周波数で変調された干渉
光が生成される。
【0089】ここで、光路長調整手段により参照側の光
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの反射光情報が
干渉光として常に得られることになる。この干渉光を集
光レンズ26により光検出器27上に集光し、電気信号
に変換する。
路長と物体側の観察点までの光路長とが一致するように
予め調整しておくと、観察対象物8からの反射光情報が
干渉光として常に得られることになる。この干渉光を集
光レンズ26により光検出器27上に集光し、電気信号
に変換する。
【0090】そして、図1に示したように復調器28に
より干渉光の変調周波数近傍の信号だけを取り出すと、
観察点からの信号を光ヘテロダイン検出により高S/N
で検出できる。この信号を観察対象上の集光点の走査と
同期してA/Dコンバータ29を経てパソコン21に取
り込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディスプ
レイ30に表示することにより、観察対象物8の像を得
ることが出来る。
より干渉光の変調周波数近傍の信号だけを取り出すと、
観察点からの信号を光ヘテロダイン検出により高S/N
で検出できる。この信号を観察対象上の集光点の走査と
同期してA/Dコンバータ29を経てパソコン21に取
り込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディスプ
レイ30に表示することにより、観察対象物8の像を得
ることが出来る。
【0091】ここで、上記物体側光路45と参照側光路
46は光走査プローブ2Cのプローブ挿入部4の先端の
硬質容器内部に設けられているため、体腔内に挿入した
際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受ける
ことが無く、光学的な位置関係が安定に保たれる。
46は光走査プローブ2Cのプローブ挿入部4の先端の
硬質容器内部に設けられているため、体腔内に挿入した
際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受ける
ことが無く、光学的な位置関係が安定に保たれる。
【0092】従って、光走査プローブ2Cを体腔内に挿
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路45と参照側光路46の光路長の変動が無く、正し
い観察対象の像を得ることが出来る。
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路45と参照側光路46の光路長の変動が無く、正し
い観察対象の像を得ることが出来る。
【0093】さらに、EO素子51は、ピエゾ駆動ミラ
ー19より高速な駆動が可能であるため、ピエゾ駆動ミ
ラー19を周波数シフタとして用いた場合よりも高フレ
ームレートの画像表示に対応できる。
ー19より高速な駆動が可能であるため、ピエゾ駆動ミ
ラー19を周波数シフタとして用いた場合よりも高フレ
ームレートの画像表示に対応できる。
【0094】(第4の実施の形態)次に本発明の第4の
実施の形態を図5(A)、(B)を用いて説明する。図
5(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第4
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図5(A)が平面断面図、図5
(B)が側面断面図である。
実施の形態を図5(A)、(B)を用いて説明する。図
5(A)と(B)は互いに90°異なった方向から第4
の実施の形態の光走査プローブの先端部を見た場合の図
であり、具体的には図5(A)が平面断面図、図5
(B)が側面断面図である。
【0095】本実施の形態の光走査プローブ2Cは、第
2の実施の形態において、ビームスプリッタ41の反射
面41cで反射された光を集光レンズ26を介して光検
出器27で受光する代わりに、低干渉性光源11の背面
側に配置した光検出器27で受光する構成にしたもので
ある。
2の実施の形態において、ビームスプリッタ41の反射
面41cで反射された光を集光レンズ26を介して光検
出器27で受光する代わりに、低干渉性光源11の背面
側に配置した光検出器27で受光する構成にしたもので
ある。
【0096】具体的に説明すると、本実施の形態の光走
査プローブ2Dは、被検体内に挿通可能なプローブ挿入
部4の先端ハウジング5bの内部に、低干渉性光源1
1、低干渉性光源11の発光部前方に、コリメータレン
ズ15、コリメータレンズ15の前方に、光路分岐素子
としてのビームスプリッタ41を有する。ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aは低干渉性光源11から出射
された光の光軸に対してい傾いている。
査プローブ2Dは、被検体内に挿通可能なプローブ挿入
部4の先端ハウジング5bの内部に、低干渉性光源1
1、低干渉性光源11の発光部前方に、コリメータレン
ズ15、コリメータレンズ15の前方に、光路分岐素子
としてのビームスプリッタ41を有する。ビームスプリ
ッタ41の光分岐面41aは低干渉性光源11から出射
された光の光軸に対してい傾いている。
【0097】さらにビームスプリッタ41は反射面41
bを有する。反射面41bはビームスプリッタ41の光
分岐面41aと平行である。ビームスプリッタ41の前
方にはレンズ42、更にレンズ44の前方に固定反射ミ
ラー43、2次元スキャンミラー22、対物レンズ23
が配置されている。また、ビームスプリッタ41の前方
には、プリズム44、ビームスプリッタ41の下方にレ
ンズ18、レンズ18の後方にピエゾ駆動ミラー19は
配置されている。また、低干渉性光源11の後方に受光
素子27が配置されている。
bを有する。反射面41bはビームスプリッタ41の光
分岐面41aと平行である。ビームスプリッタ41の前
方にはレンズ42、更にレンズ44の前方に固定反射ミ
ラー43、2次元スキャンミラー22、対物レンズ23
が配置されている。また、ビームスプリッタ41の前方
には、プリズム44、ビームスプリッタ41の下方にレ
ンズ18、レンズ18の後方にピエゾ駆動ミラー19は
配置されている。また、低干渉性光源11の後方に受光
素子27が配置されている。
【0098】ビームスプリッタ41の光分岐面41aか
ら観察対象物8にいたる光路が物体側光路45である。
ら観察対象物8にいたる光路が物体側光路45である。
【0099】この光分岐面41aからプリズム44、レ
ンズ18を経てミラー19への光路が参照側光路46で
ある。また、参照側光路46はその一部分に、光走査プ
ローブ2Dの軸方向(図5中、左右方向)と平行な部分
46a、46bを有する。
ンズ18を経てミラー19への光路が参照側光路46で
ある。また、参照側光路46はその一部分に、光走査プ
ローブ2Dの軸方向(図5中、左右方向)と平行な部分
46a、46bを有する。
【0100】次に本実施の形態の光走査プローブ2Dの
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉性光はコリメータレンズ15により平行ビーム
にされ、ビームスプリッタ41に入射する。ビームスプ
リッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反射
する。
作用を説明する。低干渉性光源11から出射した近赤外
の低干渉性光はコリメータレンズ15により平行ビーム
にされ、ビームスプリッタ41に入射する。ビームスプ
リッタ41に入射した光の一部は光分岐面41aで反射
する。
【0101】さらに反射面41bで反射し、レンズ42
を経て固定反射ミラー43に入射し、反射して2次元ス
キャンミラー22の反射面に斜めに入射する。2次元ス
キャンミラー22の反射面に入射した低干渉性光は光走
査プローブ2Dの軸方向に反射し、対物レンズ23に入
射する。
を経て固定反射ミラー43に入射し、反射して2次元ス
キャンミラー22の反射面に斜めに入射する。2次元ス
キャンミラー22の反射面に入射した低干渉性光は光走
査プローブ2Dの軸方向に反射し、対物レンズ23に入
射する。
【0102】対物レンズ23により集光され、観察対象
物8上に焦点を結ぶ。2次元スキャンミラー22は電気
的に駆動されることによって、反射面が2次元にチルト
する。これにより、観察対象物8上の低干渉光の合焦点
は観察対象上で2次元にスキャンされる。
物8上に焦点を結ぶ。2次元スキャンミラー22は電気
的に駆動されることによって、反射面が2次元にチルト
する。これにより、観察対象物8上の低干渉光の合焦点
は観察対象上で2次元にスキャンされる。
【0103】一方、ビームスプリッタ41に入射した光
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。プリズム44の二つの反射面44a、44bで反
射し、折り返す。さらにレンズ18に入射する。
の一部は光分岐面41aを透過し、プリズム44に入射
する。プリズム44の二つの反射面44a、44bで反
射し、折り返す。さらにレンズ18に入射する。
【0104】このレンズ18により集光され、ピエゾ駆
動ミラー19上に焦点を結ぶ。ピエゾ駆動ミラー19は
電気的に駆動されることによって、反射面が光軸に垂直
方向に往復移動する。ピエゾ駆動ミラー19で光が反射
することにより、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向の速度
に応じたドップラーシフト周波数Ωだけ、光の周波数ω
からシフトした光が発生する。
動ミラー19上に焦点を結ぶ。ピエゾ駆動ミラー19は
電気的に駆動されることによって、反射面が光軸に垂直
方向に往復移動する。ピエゾ駆動ミラー19で光が反射
することにより、ピエゾ駆動ミラー19の軸方向の速度
に応じたドップラーシフト周波数Ωだけ、光の周波数ω
からシフトした光が発生する。
【0105】上記観察対象物8で反射、散乱した光は、
前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリッタ41
の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光路45で
ある。
前述した光路の逆の光路を戻り、ビームスプリッタ41
の光分岐面41aに戻る。この光路が物体側光路45で
ある。
【0106】同様にミラー19で反射し、周波数変調さ
れた光は再びレンズ18により平行ビームにされたビー
ムスプリッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が
参照側光路46である。
れた光は再びレンズ18により平行ビームにされたビー
ムスプリッタ41の光分岐面41aに戻る。この光路が
参照側光路46である。
【0107】物体側光路45と参照側光路46の光がビ
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源1
1のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップラ
ーシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。ここ
で、光路長調整手段により参照側の光路長と物体側の観
察点までの光路長とが一致するように予め調整しておく
と、観察対象からの情報が干渉光として常に得られるこ
とになる。
ームスプリッタ41の光分岐面41aで混合され、物体
側光路45と参照側光路46の光路長が低干渉性光源1
1のコヒーレンス長の範囲で一致した場合にはドップラ
ーシフト周波数Ωの周波数の干渉光が生成される。ここ
で、光路長調整手段により参照側の光路長と物体側の観
察点までの光路長とが一致するように予め調整しておく
と、観察対象からの情報が干渉光として常に得られるこ
とになる。
【0108】この干渉光はコリメータレンズ15、低干
渉性光源11を経て、その背面側に配置した受光素子2
7に入射する。受光素子27は光強度を、電気信号に変
換し、図1に示す復調器28により周波数Ωの近傍の信
号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイ
ン検出により高S/Nで検出できる。
渉性光源11を経て、その背面側に配置した受光素子2
7に入射する。受光素子27は光強度を、電気信号に変
換し、図1に示す復調器28により周波数Ωの近傍の信
号だけを取り出すと、観察点からの信号を光ヘテロダイ
ン検出により高S/Nで検出できる。
【0109】この信号を観察対象上の集光点の走査と同
期してA/Dコンバータ29によりパソコン21に取り
込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディスプレ
イ30に表示することにより、観察対象物8の像を得る
ことができる。
期してA/Dコンバータ29によりパソコン21に取り
込み、走査位置と対応して復調信号を輝度でディスプレ
イ30に表示することにより、観察対象物8の像を得る
ことができる。
【0110】ここで、上記物体側光路45と参照側光路
46は光走査プローブ2Dのプローブ挿入部4の硬質の
先端内部に設けられているため、体腔内に挿入した際、
体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受けること
が無く、光学的な位置関係が安定に保たれている。
46は光走査プローブ2Dのプローブ挿入部4の硬質の
先端内部に設けられているため、体腔内に挿入した際、
体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受けること
が無く、光学的な位置関係が安定に保たれている。
【0111】従って、光走査プローブ2Dを体腔内に挿
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路と参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対
象の像を得ることができる。
入中にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側
光路と参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対
象の像を得ることができる。
【0112】さらに、本実施の形態では、光分岐面41
aから受光素子27に至る光路が、低干渉性光源11と
同軸上に配置されるため、第2,第3の実施の形態より
も、先端ハウジング5bの外形を小さくすることができ
る。
aから受光素子27に至る光路が、低干渉性光源11と
同軸上に配置されるため、第2,第3の実施の形態より
も、先端ハウジング5bの外形を小さくすることができ
る。
【0113】以上説明した各実施の形態により、物体側
光路と参照側光路は光走査プローブのプローブ挿入部4
の硬質の先端内部に設けられているため、体腔内に挿入
した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受
けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれる。
光路と参照側光路は光走査プローブのプローブ挿入部4
の硬質の先端内部に設けられているため、体腔内に挿入
した際、体腔内の形状に起因する曲げ、ねじれなどを受
けることが無く、光学的な位置関係が安定に保たれる。
【0114】従って、光走査プローブを体腔内に挿入中
にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光路
と参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対象の
像を得ることが出来る光走査プローブを提供することが
できる。
にいかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光路
と参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対象の
像を得ることが出来る光走査プローブを提供することが
できる。
【0115】なお、上述の実施の形態、例えば第1の実
施の形態では参照側光路側にピエゾ駆動ミラー19を設
けているが、物体側光路側にEO素子などの光変調素子
などを設けるようにしても良い。また、上述した各実施
の形態を部分的に組み合わせて構成される実施の形態も
本発明に属する。
施の形態では参照側光路側にピエゾ駆動ミラー19を設
けているが、物体側光路側にEO素子などの光変調素子
などを設けるようにしても良い。また、上述した各実施
の形態を部分的に組み合わせて構成される実施の形態も
本発明に属する。
【0116】[付記]
1.前記硬質の先端内部には、低干渉性光源も配置され
ていることを特徴とする請求項1記載の光走査プロー
ブ。
ていることを特徴とする請求項1記載の光走査プロー
ブ。
【0117】2.請求項1において、さらに参照側光路
及び物体側光路の一方の光路側に光変調を行う変調手段
が設けてある。 3.請求項1において、さらに参照側光路側にその参照
側の光路長を調整する光路長調整手段が設けてある。
及び物体側光路の一方の光路側に光変調を行う変調手段
が設けてある。 3.請求項1において、さらに参照側光路側にその参照
側の光路長を調整する光路長調整手段が設けてある。
【0118】4.被検体内に挿通可能な挿入部の先端内
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路は少なくともその一部分が、
光走査プローブの軸方向と平行であることを特徴とする
光走査プローブ。
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路は少なくともその一部分が、
光走査プローブの軸方向と平行であることを特徴とする
光走査プローブ。
【0119】5.被検体内に挿通可能な挿入部の先端内
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路の一箇所が、光走査プローブ
の軸方向と平行であることを特徴とする光走査プロー
ブ。
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路の一箇所が、光走査プローブ
の軸方向と平行であることを特徴とする光走査プロー
ブ。
【0120】6.被検体内に挿通可能な挿入部の先端内
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路はその途中において180°
折り返され、二箇所の部分が、光走査プローブの軸方向
と平行であることを特徴とする光走査プローブ。
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、を少な
くとも有し、該参照側光路はその途中において180°
折り返され、二箇所の部分が、光走査プローブの軸方向
と平行であることを特徴とする光走査プローブ。
【0121】7.被検体内に挿通可能な挿入部の先端内
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、受光素
子と、を少なくとも有し、該参照側光路は少なくともそ
の一部分が、光走査プローブの軸方向と平行であり、該
光分岐素子から受光素子に至る光路も、その一部分が光
走査プローブの軸方向と平行であることを特徴とする光
走査プローブ。
部に、光路分岐素子と、光周波数シフタと、光分岐素子
から観察点にいたる物体側光路の一部と、光分岐素子か
ら光周波数シフタの方へ分岐する参照側光路と、受光素
子と、を少なくとも有し、該参照側光路は少なくともそ
の一部分が、光走査プローブの軸方向と平行であり、該
光分岐素子から受光素子に至る光路も、その一部分が光
走査プローブの軸方向と平行であることを特徴とする光
走査プローブ。
【0122】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
検体内に挿通可能な挿入部の硬質の先端内部に、低干渉
性光源からの低干渉性光を測定を行う物体側に導く物体
側光路と、参照側となる参照側光路とに光路を分岐する
光路分岐手段と、前記物体側光路と参照側光路とによる
光を混合して干渉光として光検出手段側に導く光混合手
段と、とを設けているので、挿入部を体腔内に挿入中に
いかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光路と
参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対象の像
を安定して得ることができる。
検体内に挿通可能な挿入部の硬質の先端内部に、低干渉
性光源からの低干渉性光を測定を行う物体側に導く物体
側光路と、参照側となる参照側光路とに光路を分岐する
光路分岐手段と、前記物体側光路と参照側光路とによる
光を混合して干渉光として光検出手段側に導く光混合手
段と、とを設けているので、挿入部を体腔内に挿入中に
いかなる姿勢になっても、姿勢変化による物体側光路と
参照側光路の光路長の変動が無く、正しい観察対象の像
を安定して得ることができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態を備えた干渉型光イ
メージング装置の全体構成図。
メージング装置の全体構成図。
【図2】第1の実施の形態の光走査プローブの先端側の
構成を平面断面図。
構成を平面断面図。
【図3】本発明の第2の実施の形態の光走査プローブの
先端側の構成を断面図。
先端側の構成を断面図。
【図4】本発明の第3の実施の形態の光走査プローブの
先端側の構成を断面図。
先端側の構成を断面図。
【図5】本発明の第4の実施の形態の光走査プローブの
先端側の構成を断面図。
先端側の構成を断面図。
【図6】従来例の干渉型OCTの構成を示す図。
1…光イメージング装置
2…光走査プローブ
3…制御装置
4…プローブ挿入部
5…先端ハウジング部
6…コネクタ部
8…観察対象物
11…低干渉光源
13a〜13d…信号線
15…コリメータレンズ
16…ビームスプリッタ
17…プリズムミラー
18…コリメータレンズ
19…ピエゾ駆動ミラー
21…パソコン
22…2次元スキャンミラー
23…対物レンズ
25…走査駆動回路
26…集光レンズ
27…光検出器
28…復調器
29…A/Dコンバータ
30…ディスプレイ
31…物体側光路
32…参照側光路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
G02B 26/10 104 G01B 11/24 D 4C061
Fターム(参考) 2F064 AA09 EE01 FF03 GG02 GG12
GG13 GG22 GG24 GG44 GG55
GG68 HH03 JJ05
2F065 AA51 CC16 FF52 FF67 GG07
GG21 HH14 JJ03 LL02 LL04
LL13 LL46 LL53 LL62 MM16
NN08 QQ03
2G059 AA06 BB12 EE09 FF01 FF06
GG02 HH01 JJ11 JJ12 JJ13
JJ15 JJ18 JJ22 JJ30 LL01
MM09 PP04
2H041 AA23 AB14 AC08 AZ02
2H045 AB13 BA12
4C061 CC06 DD03 FF47 HH51
Claims (3)
- 【請求項1】 被検体内に挿通可能な挿入部の硬質の先
端内部に、低干渉性光源からの低干渉性光を測定を行う
物体側に導く物体側光路と、参照側となる参照側光路と
に光路を分岐する光路分岐手段と、 前記物体側光路と参照側光路とによる光を混合して干渉
光として光検出手段側に導く光混合手段と、 とを設けたことを特徴とする光走査プローブ。 - 【請求項2】 前記光路分岐手段は前記光混合手段の機
能を兼ねることを特徴とする請求項1記載の光走査プロ
ーブ。 - 【請求項3】 前記物体側光路には2次元的に低干渉性
光を走査する走査手段が設けられていることを特徴とす
る請求項1記載の光走査プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002111063A JP2003307487A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | 光走査プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002111063A JP2003307487A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | 光走査プローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003307487A true JP2003307487A (ja) | 2003-10-31 |
Family
ID=29394014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002111063A Withdrawn JP2003307487A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | 光走査プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003307487A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2002-04-12 JP JP2002111063A patent/JP2003307487A/ja not_active Withdrawn
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