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JP2003298009A - パワーモジュール及びそれを用いた電力変換装置 - Google Patents

パワーモジュール及びそれを用いた電力変換装置

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JP2003298009A
JP2003298009A JP2002093669A JP2002093669A JP2003298009A JP 2003298009 A JP2003298009 A JP 2003298009A JP 2002093669 A JP2002093669 A JP 2002093669A JP 2002093669 A JP2002093669 A JP 2002093669A JP 2003298009 A JP2003298009 A JP 2003298009A
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JP
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semiconductor element
power
power semiconductor
power module
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Application number
JP2002093669A
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Inventor
Atsuhiko Kuzumaki
淳彦 葛巻
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、制御回路の温度上昇を抑制し、小
型化及び信頼性の向上を図ったパワーモジュールを提供
することを目的とする。 【解決手段】 絶縁基板11上に配置した電力用半導体
素子1の一側面上方部に制御回路2を配置し、前記絶縁
基板11の他側面に放熱板12を接合配置し、この放熱
板12には前記電力用半導体素子1及び制御回路2を包
囲するゲル状充填物15で充填されたケース7を設け
る。そして、前記電力用半導体素子1と制御回路2間に
面方向の熱抵抗が厚み方向のそれより低い特性を持つ熱
遮蔽シート材14を介在させ、この熱遮蔽シート材14
を介して電力用半導体素子1からの熱をケース7の外部
へ伝達させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はパワーモジュール及
び電力変換装置に係り、特に制御回路の冷却効果を改良
したパワーモジュール及びそれを用いた電力変換装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電力用半導体素子はインテリジェ
ントパワーモジュール(以下IPMと記す。)化が行わ
れている。IPMは電力半導体素子とその制御回路を一
体化して同一パッケージに収納したもので、これを用い
ると、電力変換装置の設計を容易に行える特徴がある。
【0003】図7は一般的なIPMの内部接続を示すブ
ロック図である。IPM5は電力用半導体素子1と制御
回路2を1つのパッケージに収納する構造となってい
る。電力用半導体素子1は、制御回路2から、ゲート電
極配線3及びエミッタ電極配線4を経由して得られる信
号により制御されている。IPM5の電流定格を上げる
ため、電力用半導体素子1は複数個のチップから構成さ
れているのが普通である。
【0004】上記構成のIPM5は、通常片面のみをヒ
ートシンクを介して冷却する構造となっているため、冷
却されていない面では熱がこもり、高温となる。IPM
5は、モジュール内に駆動回路や保護回路等の制御回路
が内蔵されるが、発熱体である電力用半導体素子1の発
熱損失はパッケージ内に充填されているゲル状充填物を
伝導して制御回路2を温度上昇させる。制御回路2には
ダイオード、ツエナーダイオード、ケミカルコンデンサ
など、熱によって誤動作を引き起こし易いものが含まれ
ている。特にケミカルコンデンサは耐熱性が低いため注
意が必要である。このため、従来のIPM5の制御回路
2は、熱による寿命短縮や誤動作を引き起こす恐れがあ
った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のIPM5の制御回路2は、電力用半導体素子1の
発熱損失の影響を直接受けて温度上昇するため、熱によ
る寿命短縮、誤動作などが懸念される。モジュール内上
部の熱のこもりをなくし制御回路2の温度上昇を防ぐた
めに、IPM5の冷却器を大型化することが考えられる
が、この場合にはIPM5が大型となり、IPM5及び
これを用いて構成される電力変換装置のコスト上昇にも
つながる。
【0006】従って、本発明は、制御回路の温度上昇を
抑制でき、小型で、且つ信頼性の高いパワーモジュール
及びそれを用いた電力変換装置を提供することを目的と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のパワーモジュールは、絶縁基板と、この絶
縁基板の一側面に配置した電力用半導体素子と、前記絶
縁基板と前記電力用半導体素子を介して対向して配置し
た制御部と、前記絶縁基板の他側面にその一側面を接合
配置した放熱板と、前記電力用半導体素子と前記制御部
を包囲するように前記放熱板に設けられ、内部を充填物
で充填したケースと、このケース内の前記電力用半導体
素子と前記制御部との間に配置され、前記電力用半導体
素子の発熱を前記ケース外部に伝達する面方向の熱抵抗
が厚み方向のそれより低い熱遮蔽部材と、から成る。
【0008】本発明によれば、電力用半導体素子の発熱
を、厚み方向より面方向が低熱抵抗の熱遮蔽部材により
拡散し、制御回路の温度上昇を抑えることが可能とな
り、パワーモジュールの小型化及び信頼性の向上を図る
ことができる。
【0009】上記目的を達成するために、本発明のパワ
ーモジュールは、絶縁基板と、この絶縁基板の一側面に
配置した電力用半導体素子と、前記絶縁基板と前記電力
用半導体素子を介して対向して配置した制御部と、前記
絶縁基板の他側面にその一側面を接合配置した第2のヒ
ートシンクと、前記電力用半導体素子と前記制御部を包
囲するように前記第2のヒートシンクに設けられ、内部
を充填物で充填したケースとこのケース内の前記電力用
半導体素子と前記制御部との間に配置され、前記電力用
半導体素子の発熱を前記ケース外部に伝達する面方向の
熱抵抗が厚み方向のそれより低い熱遮蔽部材と、から成
る。
【0010】本発明によれば、電力用半導体素子の発熱
を、厚み方向より面方向が低熱抵抗の熱遮蔽部材により
拡散し、制御回路の温度上昇を抑えることが可能とな
り、パワーモジュールの小型化及び信頼性の向上を図る
ことができる。
【0011】上記目的を達成するために、本発明の電力
変換装置は、前記構成の本発明のパワーモジュールを組
み込んだことを特徴とする。
【0012】本発明によれば、制御回路の温度上昇を抑
制でき、小型で、且つ信頼性の高いパワーモジュールを
組み込んでいるので、小型で信頼性の高い電力変換装置
を実現できる。
【0013】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)以下に本発
明によるパワーモジュールの第1の実施の形態を、図面
に基づいて説明する。図1、図2はそれぞれ本発明のパ
ワーモジュールの断面図及び一部欠載の平面図である。
【0014】発熱源となる複数個の電力用半導体素子1
は、互いに離間して絶縁基板11上に配置され、絶縁基
板11の下部には放熱板12が設けられている。前記電
力用半導体素子1の上方部には、この電力用半導体素子
1を配置した絶縁基板11を覆うように設けた熱遮蔽シ
ート材14を介して制御回路2が配置される。制御回路
2は通常絶縁基板11から立てた支柱で支えられている
ので、熱遮蔽シート材14には支柱貫通用の開口部が設
けられている。また、熱遮蔽シート材14の端部は放熱
板12の面上に接続されている。
【0015】更に、前記放熱板12の上面に、電力用半
導体素子1を配置した絶縁基板11及び制御回路2を包
囲するように樹脂性のケース7が取り付けられ、パワー
モジュール6を形成している。前記熱遮蔽シート材14
は厚み方向より面方向が低熱抵抗の材料、例えばグラフ
ァイト系の材料を使用する。グラファイト系の材料は、
熱伝達の異方性があり、面方向の熱抵抗が厚み方向のそ
れに比べて1桁以上小さい材料が実用化されている。
(例えば、大塚電機株式会社から商品名eGaf TMとし
て販売されている。)更に、この熱遮蔽シート材は、面
方向の導電性が高いことが知られている。シート材の厚
さは通常1mm以下がであるが、ブロック材と呼ばれる
ものを使用すればこれを数mm以上とすることもでき
る。
【0016】またパワーモジュール6のケース7の内部
空間は、例えばシリコン樹脂のような絶縁用のゲル状充
填物15で充填されている。
【0017】図2に示すように、パワーモジュール6
は、放熱板12を介してヒートシンク13とネジ16に
よって固定されている。また図2には、電力用半導体素
子1からの主回路配線となるボンディングワイヤ17を
示してある。
【0018】電力用半導体素子1の損失に起因する発熱
は、電力用半導体素子1の下部方向に対しては、絶縁基
板11、放熱板12を経由してヒートシンク13に伝わ
り、ヒートシンク13から外部に放熱されて冷却され
る。
【0019】一方、電力用半導体素子1の発熱は、電力
用半導体素子1の上部方向に対しても作用し、パワーモ
ジュール6のケース7に充填されているゲル状充填物1
5を介して電力用半導体素子1の上方部に配置された制
御回路2を温度上昇させるように作用する。電力用半導
体素子1と制御回路2の間には熱遮蔽シート材14が配
置してあるので、ゲル状充填物15を伝導してきた電力
用半導体素子1の発熱損失が熱遮蔽シート材14の厚さ
方向に配置された制御回路2を温度上昇させる前に、そ
の熱を面方向へ輸送することができる。
【0020】これにより、電力用半導体素子1の発熱が
面方向に拡散することになり、電力用半導体素子1の上
部がスポット的に高温になることもなくなり、更に、図
示するように、熱遮蔽シート材14の端部を放熱板12
の面上へ接続した構造にしてあるので、熱遮蔽シート材
14の面方向へ輸送された熱を、放熱板12を介してヒ
ートシンク13へ容易に伝達できるので、熱遮蔽の効果
が十分発揮できる。
【0021】このように本発明によれば、電力用半導体
素子1の上方部に配置されている制御回路2の温度上昇
を抑制することができるので、小型で信頼性の高いパワ
ーモジュール6を実現できる。 (第2の実施の形態)図3は、本発明の第2の実施の形
態に係るパワーモジュールの断面図である。この第2の
実施の形態の各部について、図1の第1の実施の形態に
係るパワーモジュールの各部と同一部分は同一符号で示
し、その説明は省略する。図3に示す第2の実施の形態
では、熱遮蔽シート材14の側面部をケース7の内側面
部に当接させるとともに、端部を直接ヒートシンク13
に接続するようにしている。このような構成によるパワ
ーモジュールによれば、熱遮蔽シート材14の面方向へ
輸送された熱は、放熱板12を介さずにヒートシンク1
3へ直接放熱できるので、制御回路2に対する熱遮蔽の
効果が更に発揮できる。尚、熱遮蔽シート材14が放熱
板12を横切り、ヒートシンク13に接続する構造とし
て、放熱板12に複数個のスリットを設け、このスリッ
トに熱遮蔽シート材14に設けた凹凸部の凸部を貫通さ
せるような構造が採用可能である。 (第3の実施の形態)図4は、本発明の第3の実施の形
態に係るパワーモジュールの断面図である。この第3の
実施の形態の各部について、図1の第1の実施の形態に
係るパワーモジュールの各部と同一部分は同一符号で示
し、その説明は省略する。図4に示す第3の実施の形態
においては、熱遮蔽シート材14をパワーモジュール6
のケース7外部へ延長して取り出し、そこへ熱遮蔽シー
ト用ヒートシンク13a及び13bを取り付けた構造とし
ている。この場合ケース7は、熱遮蔽シート材14がケ
ース7の外部に出る部分で2分割できる構造とし、この
2分割接合部から熱遮蔽シート材14をケース外部に導
出する。
【0022】図4において熱遮蔽シート14用ヒートシ
ンク13a及び13bはパワーモジュール6の側面に取
り付けられているが、熱遮蔽シート14をケース7の上
面部まで延長し、ヒートシンク13a及び13bを取り
付けるようにしても良い。
【0023】上記の発明の実施の形態によれば、熱遮蔽
シート材14の熱は熱遮蔽シート用ヒートシンク13a
及び13bにより冷却されるため、制御回路2の温度上
昇を抑制できる。尚、第3の実施の形態では、熱遮蔽シ
ート用ヒートシンク13a及び13bを、個別に設計で
きるので設計の自由度が高い。 (第4の実施の形態)図5は、本発明の第4の実施の形
態に係るパワーモジュールの断面図である。この第4の
実施の形態の各部について、図1の第1の実施の形態に
係るパワーモジュールの各部と同一部分は同一符号で示
し、その説明は省略する。
【0024】第4の実施の形態は、第1の実施の形態で
用いた図1の放熱板12を無くし、電力用半導体素子1
を取り付けた絶縁基板11を直接ヒートシンク13上へ
取り付けた構成である。言い換えれば、図5では、パワ
ーモジュール6の放熱板12を、ヒートシンク13で置
き換えた構成である。
【0025】この様に、放熱板12を省き、パワーモジ
ュール6をヒートシンク13と一体化したことにより、
更に冷却効果を向上させ、制御回路2の温度上昇を抑制
することができる。 (第5の実施の形態)図6は本発明に係るパワーモジュ
ールを使用した電力変換装置の一例を示すブロック図で
ある。商用三相入力をコンバータ21で直流に変換し、
これをコンデンサ22で平滑してインバータ23に供給
する。インバータ23は、複数個のパワーモジュール6
と、これと逆並列に接続されたフライホイールダイオー
ド8とから構成されるアームがブリッジ接続され、これ
により任意の周波数の三相出力を得ている。
【0026】このようにインバータ23の主変換デバイ
スとして本発明に係るパワーモジュール6を適用するこ
とにより、小型で、且つ信頼性の高い電力変換装置を提
供することができる。
【0027】尚、上記熱遮蔽シート材14は面方向の導
電性が高いことから、シールド材として作用するので、
本発明はノイズ対策に対しても付加的効果がある。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、制御回路の温度上昇を
抑制でき、小型で、且つ信頼性の高いパワーモジュール
及びそれを用いた電力変換装置を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係るパワーモジ
ュールの断面図。
【図2】 本発明のパワーモジュールの平面図。
【図3】 本発明の第2の実施の形態に係るパワーモジ
ュールの断面図。
【図4】 本発明の第3の実施の形態に係るパワーモジ
ュールの断面図。
【図5】 本発明の第4の実施の形態に係るパワーモジ
ュールの断面図。
【図6】 本発明の第5の実施の形態に係る電力変換装
置のブロック図。
【図7】 IPMの内部接続を示すブロック図。
【符号の説明】
1・・・電力用半導体素子 2・・・制御回路 3・・・ゲート電極配線 4・・・エミッタ電極配線 5・・・インテリジェントパワーモジュール(IPM) 6・・・パワーモジュール 7・・・ケース 8・・・フライホイールダイオード 11・・・絶縁基板 12・・・放熱板 13、13a、13b・・・ヒートシンク 14・・・熱遮蔽シート材 15・・・ゲル状充填物 16・・・ネジ 17・・・ボンディングワイヤ 21・・・コンバータ 22・・・コンデンサ 23・・・インバータ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板と、この絶縁基板の一側面に配
    置した電力用半導体素子と、前記絶縁基板と前記電力用
    半導体素子を介して対向して配置した制御部と、前記絶
    縁基板の他側面にその一側面を接合配置した放熱板と、
    前記電力用半導体素子と前記制御部を包囲するように前
    記放熱板に設けられ、内部を充填物で充填したケース
    と、このケース内の前記電力用半導体素子と前記制御部
    との間に配置され、前記電力用半導体素子の発熱を前記
    ケース外部に伝達する面方向の熱抵抗が厚み方向のそれ
    より低い熱遮蔽部材と、から成るパワーモジュール。
  2. 【請求項2】 前記放熱板の他側面には第1のヒートシ
    ンクが接合配置されていることを特徴とする請求項1記
    載のパワーモジュール。
  3. 【請求項3】 熱遮蔽部材を前記第1のヒートシンクに
    接合したことを特徴とする請求項2記載のパワーモジュ
    ール。
  4. 【請求項4】 絶縁基板と、この絶縁基板の一側面に配
    置した電力用半導体素子と、前記絶縁基板と前記電力用
    半導体素子を介して対向して配置した制御部と、前記絶
    縁基板の他側面にその一側面を接合配置した第2のヒー
    トシンクと、前記電力用半導体素子と前記制御部を包囲
    するように前記第2のヒートシンクに設けられ、内部を
    充填物で充填したケースとこのケース内の前記電力用半
    導体素子と前記制御部との間に配置され、前記電力用半
    導体素子の発熱を前記ケース外部に伝達する面方向の熱
    抵抗が厚み方向のそれより低い熱遮蔽部材と、から成る
    パワーモジュール。
  5. 【請求項5】 熱遮蔽部材を前記第2のヒートシンクに
    接合したことを特徴とする請求項4に記載のパワーモジ
    ュール。
  6. 【請求項6】 熱遮蔽部材を前記ケースの外部へ導出さ
    せ、この導出部に第3のヒートシンクを取り付けたこと
    を特徴とする請求項1または請求項4に記載のパワーモ
    ジュール。
  7. 【請求項7】 請求項1または請求項4に記載のパワー
    モジュールを組み込んでなる電力変換装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006102874A1 (de) * 2005-03-29 2006-10-05 Infineon Technologies Ag Halbleitermodul mit halbleiterchips in einem kunststoffgehäuse in getrennten bereichen und verfahren zur herstellung desselben
JP2007335735A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Toyota Motor Corp 半導体装置
US7508668B2 (en) * 2003-08-21 2009-03-24 Denso Corporation Electric power converter and mounting structure of semiconductor device
KR101203466B1 (ko) * 2006-04-20 2012-11-21 페어차일드코리아반도체 주식회사 전력 시스템 모듈 및 그 제조 방법
KR20220081886A (ko) * 2020-12-09 2022-06-16 주식회사 솔루엠 충진체를 이용한 방열 구조를 갖는 전기기기 및 이의 제조 방법

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7508668B2 (en) * 2003-08-21 2009-03-24 Denso Corporation Electric power converter and mounting structure of semiconductor device
US7724523B2 (en) 2003-08-21 2010-05-25 Denso Corporation Electric power converter and mounting structure of semiconductor device
US7826226B2 (en) 2003-08-21 2010-11-02 Denso Corporation Electric power converter and mounting structure of semiconductor device
US8027161B2 (en) 2003-08-21 2011-09-27 Denso Corporation Electronic power converter and mounting structure of semiconductor device
WO2006102874A1 (de) * 2005-03-29 2006-10-05 Infineon Technologies Ag Halbleitermodul mit halbleiterchips in einem kunststoffgehäuse in getrennten bereichen und verfahren zur herstellung desselben
US7825506B2 (en) 2005-03-29 2010-11-02 Infineon Technologies Ag Semiconductor module including semiconductor chips in a plastic housing in separate regions
KR101203466B1 (ko) * 2006-04-20 2012-11-21 페어차일드코리아반도체 주식회사 전력 시스템 모듈 및 그 제조 방법
JP2007335735A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Toyota Motor Corp 半導体装置
KR20220081886A (ko) * 2020-12-09 2022-06-16 주식회사 솔루엠 충진체를 이용한 방열 구조를 갖는 전기기기 및 이의 제조 방법
US12028985B2 (en) 2020-12-09 2024-07-02 Solum Co., Ltd. Electrical device having heat dissipation structure using filler and manufacturing method of the same
KR102749437B1 (ko) * 2020-12-09 2025-01-02 주식회사 솔루엠 충진체를 이용한 방열 구조를 갖는 전기기기 및 이의 제조 방법

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