JP2003254802A - 超音波送受信式流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波の伝播効率が高く、良好に流量を計測
することができる超音波送受信式流量計を提供する。 【解決手段】 超音波センサ式渦流量計１０は、流路２
２が形成された流量計本体１２と、流路２２中に設けら
れた渦発生体１４と、流路２２を挟んで設けられた超音
波送受信センサ１６、１８とを有する。超音波送受信セ
ンサ１６、１８は、音波送受信面の各部位と流路２２と
の間の距離が、各部位について同一になるように形成さ
れる。送信センサ１６の超音波送信面の各部位から放射
された超音波は、流路２２に対してそれぞれ垂直方向か
ら入射し、流路２２を伝播した後、受信センサ１８の超
音波受信面の各部位に垂直に入射され、部分的な全反射
を生じることがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波送受信式流
量計に関し、特に、カルマン渦に遭遇して位相変調を受
けた超音波を受信することに基づいて被測流体の流量を
測定する渦流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】流量計には、その用途に適した測定原理
を利用した各種のタイプがある。

【０００３】超音波流量計は、超音波の伝播速度が流体
の流速（流量）によって変化する原理を利用した伝播速
度差法と、流体中に含まれる微小粒子に衝突して散乱さ
れる超音波の周波数と入射波の周波数の差が流速に比例
する原理を利用したドップラー法の各方式がある。いず
れの方式の超音波流量計も、超音波が伝わる流体であれ
ば、粘度が高いものあるいは非導電性のものについても
適用可能であるため、広範に用いられている。

【０００４】渦流計は、物体の下流側に発生するカルマ
ン渦の発生周波数が流体の流速（流量）に比例する原理
を利用したものであり、円柱、角柱あるいは断面が台形
形状の渦発生体を用いて発生させたカルマン渦を含む渦
発生体の下流側の流体について、カルマン渦の発生によ
る流体の振動や圧力変化を検出することによって流速を
測定する。カルマン渦の検出センサとしては、熱線、サ
ーミスタあるいはひずみゲージ等も用いられるが、超音
波がカルマン渦に遭遇したときに位相変調を受けること
を利用した超音波センサを用いた渦流量計（以下、これ
を超音波センサ式渦流量計ということがある。）が、半
導体業界を中心として用いられる超純水や薬液等の流量
測定に好適に用いられる。この超音波センサ式渦流量計
は、流体と接触する部位（流量計本体）を形成する材料
として、上記した超純水等を被測流体とするときは、化
学的に安定なＰＦＡやＰＥＥＫ等の樹脂材が選定される
が、一般のプロセス流体を被測流体とするときは、ステ
ンレス材が多く用いられる。

【０００５】上記超音波センサ式渦流量計の一例につい
て図１を参照してさらに説明する。

【０００６】超音波センサ式渦流量計１は、例えば流体
の流れる配管（図示せず。）の間に配管の一部として機
能するように設けられた流路断面形状が円形の流路２を
有する流量計本体３と、流量計本体３とともに一体成形
され、流路２に図１中上下方向に延出した渦発生体４
と、流量計本体３を挟んで対向して配置された例えば圧
電センサからなる超音波送受信センサ５ａ、５ｂとを有
する。

【０００７】超音波送受信センサ５ａ、５ｂは、渦発生
体４の下流の、カルマン渦が生成される所定の位置に設
けられる（図３参照。）。超音波送受信センサ５ａ、５
ｂは、音響接合剤６、６によって流量計本体３に接合さ
れる。また、超音波送受信センサ５ａ、５ｂの外側に
は、超音波送受信センサ５ａ、５ｂを流量計本体３の側
に押圧する弾性部材７、７が設けられる。なお、図１
中、参照符号８は弾性部材７、７を押して弾性変形させ
て、その復元力によって超音波送受信センサ５ａ、５ｂ
を流量計本体３の側に押圧させる押え部材を示し、参照
符号９は弾性部材７および押え部材８を収容する流量計
本体３の凹部を閉塞する蓋体を示す。

【０００８】流体が流路２を流れると、流路２の渦発生
体４の下流側には流速に比例した周波数を持つカルマン
渦列（図３参照。）が発生する。そして、送信センサ５
ａから送信された超音波がカルマン渦に遭遇すると、受
信センサ５ｂによって受信される超音波は位相変調を受
ける。したがって、超音波がカルマン渦に遭遇する場合
と超音波がカルマン渦に遭遇しない場合とでは、送信さ
れる超音波と受信される超音波の位相差が異なる。この
超音波の異なる位相差の変化を検出することにより、カ
ルマン渦の発生数が計測されることを通じて流速の変化
が計測される。なお、図１中、破線矢印は、超音波の進
路を模式的に示したものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記超
音波流量計あるいは超音波センサ式渦流量計（以下、両
者を総称して超音波送受信式流量計という。）は、図１
に示すように、送信センサ５ａの超音波送信面の各部位
から発射された超音波は流路２の中心に入射するものに
ついては、流路２に対して垂直方向から入射するため、
そのまま流路２内を伝播するが、一方、流路２の中心か
ら離れた上下側に入射した超音波は流路２と流量計本体
３との界面で屈折して流路２内を進行する。あるいは、
この流路２の中心から離れた上下側に入射した超音波
は、入射角が過大な場合、流量計本体３の材質によって
は、全反射してしまい、流路２内に入ることが出来なく
なる。このため、超音波の伝播が著しく阻害され、安定
した流速の測定が困難となり、さらには計測不能にいた
るおそれもある。

【００１０】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
のであり、超音波の伝播効率が高く、良好に流量を計測
することができる超音波送受信式流量計を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係る超音波送受
信式流量計は、被測流体が流れる流路を挟んで対となる
超音波送受信センサが設けられ、超音波を送受信するこ
とに基づいて該被測流体の流量を測定する超音波送受信
式流量計において、該超音波送受信センサの超音波送受
信面の各部位と該流路との間の距離が該各部位について
略同一であるように形成してなることを特徴とする。

【００１２】また、本発明に係る超音波送受信式流量計
は、前記超音波送受信面のうちの超音波送信面の各部位
から発射された超音波が、それぞれ直進して超音波送受
信面のうちの超音波受信面の各部位に入射されるように
構成されてなることを特徴とする。

【００１３】ここで、対となる超音波送受信センサは、
１組であってもよく、あるいは２組以上であってもよ
い。また、超音波送受信面とは、超音波送受信センサの
流路側に向いた面をいう。また、流路の断面形状は、円
形状に限定するものではなく、矩形状やその他の多角形
状であってもよく、さらに他の異形形状であってもよ
い。

【００１４】また、超音波が直進するとは、超音波送受
信面の間に介在する流路および部材等に入射された超音
波が屈折することなく透過し、また全反射しないことを
いう。すなわち、超音波送受信式流量計は、超音波が超
音波送受信面の間に介在する流路および部材等に垂直方
向（入射角０°）に入射するように、超音波の入射方向
に対して流路および部材等の表面（界面）が直交するよ
うに配置される。

【００１５】本発明の上記の構成により、超音波は、送
信センサの超音波送信面の各部位から発信されて流路の
各部位において略垂直方向に流路内に入射される。ま
た、同様に、流路を伝播して流路の反対側に達した各部
位の超音波は、受信センサの超音波受信面の各部位に略
垂直方向に入射される。したがって、スネルの法則によ
り、一般的には、管路の材質によっては超音波の入射角
（入射する超音波と法線との間の角度）が大きいとき、
すなわち、流路に斜め方向から超音波が入射したときに
は極端なケースでは流路内での超音波の屈折率（入射し
た超音波と法線との間の角度）が９０°を超えて流路内
に入射することなく流路の表面から超音波が全反射する
現象が起き、これによって受信センサでの受信信号電圧
が大きく低下することが起こり得るが、本発明によれ
ば、超音波の伝播効率が高く、このような不具合を生じ
ることがない。

【００１６】このため、特に、流路の幅寸法に応じて超
音波送受信センサの送受信面の幅寸法を大きく形成した
場合や、超音波の屈折率の大きな材質で流路を画成する
管路（流路を有する流量計本体、ホルダ）を形成した場
合等においても、良好に流量を計測することができる。

【００１７】この場合、前記流路内にカルマン渦を発生
する渦発生体が設けられ、前記対となる超音波送受信セ
ンサが相互に対向する位置に設けられ、カルマン渦に遭
遇して位相変調を受けた超音波を受信することに基づい
て該被測流体の流量を測定すると、好適である。

【００１８】また、この場合、前記超音波送受信面は、
前記流路の流れ方向に沿う側の幅寸法が該超音波送受信
面の間に１つのカルマン渦のみを含むように所定の大き
さに形成されてなると、言い換えると、超音波送受信面
が、流路の流れ方向と直交する側の断面方向の幅寸法に
対して流路の流れ方向に沿う側の幅寸法を所定の小さい
値に形成されていると、好適である。

【００１９】ここで、超音波送受信面の流路の流れ方向
に沿う側の所定の幅寸法は、流路形状により決定される
渦発生体の寸法より、設計条件として適宜設定すること
ができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明に係る超音波送受信式流量
計の好適な実施の形態（以下、本実施の形態例とい
う。）について、図を参照して、以下に説明する。

【００２１】まず、本実施の形態の第１の例に係る超音
波送受信式流量計について、図２および図３を参照して
説明する。

【００２２】超音波送受信式流量計１０は、従来例で説
明した超音波センサ式渦流量計１と同じタイプである。

【００２３】超音波センサ式渦流量計１０は、流量計本
体（ホルダ）１２と、渦発生体１４と、超音波送受信セ
ンサ１６、１８とを有する。

【００２４】流量計本体１２は、配管２０ａ、２０ｂの
間に配管の一部として機能するように設けられる。すな
わち、流量計本体１２は、配管２０ａ、２０ｂの流路と
連通する、流体の流れ方向に直交する側の流路の断面形
状が矩形の流路２２が形成されている。流量計本体１２
は、略直方体状の部材の図２中上下両面に幅広い凹部１
２ａ、１２ｂが形成されるとともに、左右両側にも幅広
い段差状の凹部１２ｃ、１２ｄが形成されている。流路
２２ａおよび凹部１２ｃ、１２ｄを離隔する流量計本体
１２ａの側壁（矢印Ｐ１で示す。）は、流路２２ａの図
２中上下方向全体にわたって均一な厚みＴ３、Ｔ４に形
成される。この厚みＴ３、Ｔ４は、送受信センサ１６、
１８を厚み振動モード（縦振動）で振動させる場合、超
音波の波長λに対して、好ましくはλ／２またはλ／４
の整数倍とする。なお、流量計本体１２は、配管２０
ａ、２０ｂの間に設ける上記の構成に変えて、分断する
ことなく延出した配管を外嵌するように設けてもよい。

【００２５】ここで、流量計本体１２の流路２２の形状
は、通常、配管の流路形状（流路断面形状）と略一致し
たものであり、配管の流路形状が、矩形、多角形等の場
合それに対応した形状に形成される。但し、流量計本体
１２の流路２２の形状は、配管の流路形状とは異形に形
成してもよい。流量計本体１２は、例えばステンレス材
や、ＰＦＡあるいはＰＥＥＫ等の樹脂材で形成される。

【００２６】渦発生体１４は、例えば円柱、角柱あるい
は断面が台形形状の部材であり、流路２２に図２中上下
方向に延出して、例えば流量計本体１２と一体的に形成
される。渦発生体１４は、例えば流量計本体１２と同様
にステンレス材や、ＰＦＡあるいはＰＥＥＫ等の樹脂材
で形成される。

【００２７】超音波送受信センサ１６、１８は、例え
ば、全面が均一な厚みＴ１、Ｔ２の平板状に形成された
圧電センサ（圧電素子）である。ここで、厚みＴ１およ
び厚みＴ２は同一寸法である。超音波送受信センサ１
６、１８は、流量計本体１２の凹部１２ｃ、１２ｄの深
部の平面に、言い換えれば流路２２を挟んで対向する位
置に、例えば接着剤やグリス等の音響接合材２４を介し
て密着固定される。したがって、超音波送受信センサ１
６、１８の音波送受信面（平板のうち向き表面）の各部
位と流路２２との間の距離（図２中、側壁Ｐ１の厚みＴ
３またはＴ４、言い換えれば、送受信センサ１６、１８
の超音波送受信面の各部位と側壁Ｐ１の流路２２ａ側の
面との間の距離）は、各部位について同一である。

【００２８】なお、超音波送受信センサ１６、１８は、
従来のものと同様に、図２中、上下方向の幅寸法Ｗ１、
Ｗ２が流量計本体１２の流路２２の径寸法（幅寸法）Ｄ
１よりも小さな値に形成されているが、これに限らず、
幅寸法Ｗ１、Ｗ２を径寸法（幅寸法）Ｄ１よりも大きく
形成してもよい。この点は、後述する本実施の形態の第
２の例に係る超音波送受信式流量計３２についても同様
である。

【００２９】また、超音波送受信センサ１６、１８は、
流路２２の流れ方向に沿う側の幅寸法が設計条件として
略一義的に定まる所定値Ｌ１に形成される。幅寸法Ｌ１
は、超音波送受信センサ１６、１８の間に１つのカルマ
ン渦（図３中、矢印Ｖで示す。）のみを含む所定の大き
さに設定される。

【００３０】したがって、超音波送受信センサ１６、１
８は、流路２２の断面方向の幅寸法Ｗ１、Ｗ２に比べて
流路２２の流れ方向に沿う側の幅寸法Ｌ１が小さい矩形
形状の超音波送受信面を有する。

【００３１】超音波送受信センサ１６、１８の外側（背
面側）には、例えばシリコンゴム等の弾性体を材料とす
る弾性部材２６、２６が設けられる。弾性部材２６、２
６に接して押え部材２８、２８が設けられる。押え部材
２８、２８は、流量計本体１２の凹部１２ｃ、１２ｄ内
に設けられる。このとき、押え部材２８、２８は、弾性
部材２６、２６が弾性変形してその復元力により所定の
押圧力を超音波送受信センサ１６、１８に与えて、超音
波送受信センサ１６、１８が音響接合材２４、２４を介
して流量計本体１２の凹部１２ｃ、１２ｄの底面である
平面に密着するように、流量計本体１２の凹部１２ｃ、
１２ｄの所定の位置に位置決めされる。押え部材２８、
２８の外側には、凹部１２ｃ、１２ｄを覆う蓋体３０、
３０が熱溶着や接着などの方法により流量計本体１２に
固着して設けられる。

【００３２】上記のように構成した超音波送受信式流量
計１０の作用を説明する。

【００３３】送信センサ１６は、図示しない駆動回路に
よって駆動される。送信センサ１６で生成した超音波振
動（以下、超音波という。）は音響接合材２４を介して
流量計本体１２に伝播される。このとき、送信センサ１
６の超音波送信面の全幅（全面）の各部位から放射され
た超音波は、それぞれ側壁Ｐ１の外面から略垂直に入射
して側壁Ｐ１の内部を平行して直進する。さらに、各部
位の超音波は、それぞれ流路２２の外面から略垂直に入
射して流路２２の内部を平行して直進する。そして、各
部位の超音波は、それぞれ流路２２の反対側の側壁Ｐ１
内をそのまま直進して、受信センサ１８の超音波受信面
に垂直方向から入射される。なお、図２中、超音波送受
信面間の領域のなかの矢印は、超音波の進行方向を模式
的に示す。この点は、以下の図４においても同様であ
る。

【００３４】流体が流路２２を流れると、渦発生体１４
の下流には流速（流量）に比例する発生周波数のカルマ
ン渦Ｖが交番的に発生する。そして、送信センサ１６か
らの超音波がカルマン渦Ｖに遭遇すると、受信センサ１
８によって受信される超音波は位相変調を受ける。した
がって、超音波がカルマン渦Ｖに遭遇する場合と超音波
がカルマン渦Ｖに遭遇しない場合とでは、送信される超
音波と受信される超音波の位相差が異なる。この超音波
の異なる位相差の変化を図示しない受信回路で検出する
ことにより、カルマン渦Ｖの発生数が計測されることを
通じて流速の変化が計測される。

【００３５】本実施の形態の第１の例に係る超音波送受
信式流量計１０は、送信センサ１６の超音波送信面の各
部位から発射された超音波が、流路２２に垂直方向から
進入、伝播して、受信センサ１８の超音波受信面に垂直
方向から入射し、受信されるため、超音波の伝播経路に
おいて超音波が全反射することによる超音波のエネルギ
の減衰を来たすことがない。このため、例えば、受信セ
ンサ１８の受信電圧が安定動作に必要な回路的な最低受
信電圧を下回る不具合を生じるおそれがない。したがっ
て、流路の幅寸法に応じて超音波送受信センサの送受信
面の幅寸法を大きく形成した場合や、超音波の屈折率の
大きな材質で流路を画成する管路（流路を有する流量計
本体、ホルダ）を形成した場合等においても、超音波の
伝播効率が高く、良好に流量を計測することができる。

【００３６】なお、超音波送受信式流量計１０は、送受
信センサ１６、１８が均一な厚みの平板状に形成されて
いるため、超音波送受信面のどの部位においても送受信
する超音波の周波数が同じである。

【００３７】つぎに、本実施の形態の第２の例に係る超
音波送受信式流量計について、図４を参照して説明す
る。

【００３８】本実施の形態の第２の例に係る超音波送受
信式流量計３２は、基本的な構成は、本実施の形態の第
１の例の超音波送受信式流量計１０と同様であるため、
同一の構成要素については、同一の参照符号を付すとと
もに、重複する説明を省略する。

【００３９】超音波送受信式流量計３２は、流量計本体
１２ａの側壁（図４中、矢印Ｐ２で示す。）が、断面形
状が円形の流路２２ａの形状に合わせて、均一な厚みＴ
５の円環状に形成されている。したがって、送受信セン
サ３４、３６の超音波送受信面の各部位と流路２２ａと
の間の距離（図４中、側壁Ｐ２の厚みＴ５、言い換えれ
ば、送受信センサ３４、３６の超音波送受信面の各部位
と側壁Ｐ２の流路２２ａ側の面との間の距離）は、各部
位について同一である。この厚みＴ５は、送受信センサ
３４、３６を厚み振動モード（縦振動）で振動させる場
合、超音波の波長λに対して、好ましくはλ／２または
λ／４の整数倍とする。また、これにあわせて、送受信
センサ３４、３６も半円環状に形成されている。送受信
センサ３４、３６は、全面にわたって均一な同一寸法の
厚みＴ６、Ｔ７を有する。また、送受信センサ３４、３
６は、送受信センサ１６、１８と同様に、幅寸法Ｗ３、
Ｗ４に対して、流路２２ａの流れ方向に沿う側の幅寸法
は所定の小さい値に形成される（図示せず。）。

【００４０】本実施の形態の第２の例に係る超音波送受
信式流量計３２は、本実施の形態の第１の例に係る超音
波送受信式流量計１０と同様の作用効果を奏する。

【００４１】送信センサ３４の超音波送信面の各部位か
ら発射された超音波は、流路２２ａに垂直方向から進
入、伝播して、流路２２ａの中心に集中して交差する。
さらに、超音波は、受信センサ３６の超音波受信面に垂
直方向から入射し、受信される。これにより、超音波の
伝播経路において超音波が全反射することによる超音波
のエネルギの減衰を来たすことがない。このため、例え
ば、受信センサ３６の受信電圧が安定動作に必要な回路
的な最低受信電圧を下回る不具合を生じるおそれがな
い。したがって、流路の幅寸法に応じて超音波送受信セ
ンサの送受信面の幅寸法を大きく形成した場合や、超音
波の屈折率の大きな材質で流路を画成する管路（流路を
有する流量計本体、ホルダ）を形成した場合等において
も、超音波の伝播効率が高く、良好に流量を計測するこ
とができる。

【００４２】なお、超音波送受信式流量計３２は、送受
信センサ３４、３６が均一な厚みの半円環状に形成され
ているため、超音波送受信面のどの部位においても送受
信する超音波の周波数が同じである。

【００４３】以上説明した本実施の形態の第１、２の例
において、超音波の送信は、バーストまたは連続発信等
のいずれの方法に依ってもよい。また、超音波の受信に
よる流量の計測方法は、送受信信号管の時間差または位
相差を検出することに基づくものであってもよく、ま
た、受信信号の位相変調からカルマン渦を検出すること
に基づくものであってもよい。

【００４４】

【発明の効果】本発明に係る超音波送受信式流量計によ
れば、被測流体が流れる流路を挟んで対となる超音波送
受信センサが設けられ、超音波を送受信することに基づ
いて被測流体の流量を測定する超音波送受信式流量計に
おいて、超音波送受信センサの超音波送受信面の各部位
と流路との間の距離が各部位について略同一であるよう
に形成してなり、また、本発明に係る超音波送受信式流
量計によれば、超音波送受信面のうちの超音波送信面の
各部位から発射された超音波が、それぞれ直進して超音
波送受信面のうちの超音波受信面の各部位に入射される
ように構成されてなり、これにより、超音波が屈折する
ことなく直進して超音波送受信面間で送受されるため、
特に、流路の幅寸法に応じて超音波送受信センサの送受
信面の幅寸法を大きく形成した場合や、超音波の屈折率
の大きな材質で流路を画成する管路を形成した場合等に
おいても、超音波の伝播効率が高く、良好に流量を計測
することができる。

【００４５】また、本発明に係る超音波送受信式流量計
によれば、流路内にカルマン渦を発生する渦発生体が設
けられ、対となる超音波送受信センサが相互に対向する
位置に設けられ、カルマン渦に遭遇して位相変調を受け
た超音波を受信することに基づいて被測流体の流量を測
定するため、好適である。

【００４６】また、本発明に係る超音波送受信式流量計
によれば、超音波送受信面は、流路の流れ方向に沿う側
の幅寸法が超音波送受信面の間に１つのカルマン渦のみ
を含むように所定の大きさに形成されてなるため、好適
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の超音波センサ式渦流量計の構成を示す断
面図である。

【図２】本実施の形態の第１の例に係る超音波送受信式
流量計の構成を流路の流れ方向に対して垂直に切断して
示す断面図である。

【図３】本実施の形態の第１の例に係る超音波送受信式
流量計の構成を流路の流れ方向に沿って切断して示す断
面図である。

【図４】本実施の形態の第２の例に係る超音波送受信式
流量計の構成を流路の流れ方向に対して垂直に切断して
示す断面図である。

【符号の説明】

１０、３２、３８ 超音波送受信式流量計 １２、１２ａ 流量計本体 １４ 渦発生体 １６、３４ 送信センサ １８、３６ 受信センサ ２２、２２ａ 流路 ２４ 音響接合材 ２６ 弾性部材 ２８ 押え部材 ３０ 蓋体 Ｐ１、Ｐ２ 側壁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲吉▼倉 博史 神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３ 号 トキコ株式会社内 Ｆターム(参考） 2F035 DA05 DA08

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測流体が流れる流路を挟んで対となる
   超音波送受信センサが設けられ、超音波を送受信するこ
   とに基づいて該被測流体の流量を測定する超音波送受信
   式流量計において、 該超音波送受信センサの超音波送受信面の各部位と該流
   路との間の距離が該各部位について略同一であるように
   形成してなることを特徴とする超音波送受信式流量計。
2. 【請求項２】 被測流体が流れる流路を挟んで対となる
   超音波送受信センサが設けられ、超音波を送受信するこ
   とに基づいて該被測流体の流量を測定する超音波送受信
   式流量計において、 該超音波送受信センサの超音波送受信面のうちの超音波
   送信面の各部位から発射された超音波が、それぞれ直進
   して超音波送受信面のうちの超音波受信面の各部位に入
   射されるように構成されてなることを特徴とする超音波
   送受信式流量計。
3. 【請求項３】 前記流路内にカルマン渦を発生する渦発
   生体が設けられ、 前記対となる超音波送受信センサが相互に対向する位置
   に設けられ、 カルマン渦に遭遇して位相変調を受けた超音波を受信す
   ることに基づいて該被測流体の流量を測定することを特
   徴とする請求項１または２に記載の超音波送受信式流量
   計。
4. 【請求項４】 前記超音波送受信面は、前記流路の流れ
   方向に沿う側の幅寸法が該超音波送受信面の間に１つの
   カルマン渦のみを含むように所定の大きさに形成されて
   なることを特徴とする請求項３記載の超音波送受信式流
   量計。