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JP2003249196A - マイクロ波無電極放電ランプ点灯装置 - Google Patents

マイクロ波無電極放電ランプ点灯装置

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Publication number
JP2003249196A
JP2003249196A JP2002048795A JP2002048795A JP2003249196A JP 2003249196 A JP2003249196 A JP 2003249196A JP 2002048795 A JP2002048795 A JP 2002048795A JP 2002048795 A JP2002048795 A JP 2002048795A JP 2003249196 A JP2003249196 A JP 2003249196A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
microwave
bulb
sodium
mercury
iodide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002048795A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Ukekawa
信 請川
Atsushi Kobayashi
敦 小林
Motohiro Saimi
元洋 齋見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP2002048795A priority Critical patent/JP2003249196A/ja
Priority to PCT/JP2003/001956 priority patent/WO2003071581A1/en
Priority to KR1020037013478A priority patent/KR100563110B1/ko
Priority to EP03705390A priority patent/EP1479096A1/en
Priority to CNB038004097A priority patent/CN1275288C/zh
Priority to AU2003208016A priority patent/AU2003208016A1/en
Priority to US10/474,178 priority patent/US20040108815A1/en
Publication of JP2003249196A publication Critical patent/JP2003249196A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/12Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
    • H01J61/18Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent
    • H01J61/20Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent mercury vapour
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/044Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光効率が高いマイクロ波無電極放電ランプ
点灯装置を提供する。 【解決手段】 マイクロ波を発生するマグネトロン1
が、マイクロ波を低損失で伝達するための導波管3に接
続され、導波管3は結合孔4を介して空洞共振器5に接
続されている。空洞共振器5内において比較的高電界強
度分布になるほぼ中央部には、気密な石英からなるバル
ブ6が、石英からなる支持棒7により側面部5aの底面
に固定・配置されており、バルブの直径は27mmで、
その内部には希ガスたるアルゴンAr:30Torr、
水銀Hg:40mg、セリウム沃化物CeI3:5m
g、ナトリウム沃化物NaI:10mgが封入されて、
発光物質であるセリウムCeとナトリウムNaとのモル
比は約1:7の比率となっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波エネル
ギーにより無電極放電ランプを発光させるマイクロ波無
電極放電ランプ点灯装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のマイクロ波無電極放電ランプ点灯
装置については日本国特許第3196653号に示され
るような空洞共振器によるものがあり、これは空洞共振
器を利用してマイクロ波のエネルギーを共振させるもの
で、石英ガラスなどの透光性部材の内部に希ガスや金属
などの封入物質を封入した無電極放電ランプたるバルブ
は、金属からなる空洞共振器の内部に配置されている。
【0003】マグネトロンなどの発振器から発生したマ
イクロ波エネルギーは、導波管などを通じて伝搬し、マ
イクロ波導入用の結合孔により空洞共振器に結合され
る。そして、空洞共振器内には、好適なある寸法におい
て定在波が生じ、その共振エネルギーによりバルブに放
電が生じて、バルブに発生したプラズマは金属メッシュ
などの開口部を通じて外部に取り出される構成となって
いる。ここで主要な発光に関与する封入物質として、イ
ンジウムハロゲン化物が用いられている。
【0004】また、特開平10−228886号公報に
開示されたバルブには主要な発光に関与する封入物質と
して、S(硫黄)あるいはSe(セレン)が用いられて
いる。
【0005】さらに、米国特許4810938号あるい
は5363015号に開示された点灯装置では、図14
に示すように、バルブ13の外周に巻いたコイル11に
バラスト10からMHz帯域の高周波電流を流すことで
誘導電界をバルブ12内に発生させ、バルブ12内の封
入物質を放電、発光させている。これらの従来例では実
質的に水銀を含まない構成となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】日本国特許第3196
653号に示される従来例においては、その発光効率が
低いという問題があり、100lm/W以下である。
【0007】また、特開平10−228866に開示さ
れたバルブは、主要な発光に関与する封入物質としてS
(硫黄)あるいはSe(セレン)が用いられており、こ
れらはその発光分布スペクトルが示すように550nm
付近の緑色発光の強度が比較的強く、色度座標上での黒
体軌跡から緑方向にずれたいわゆる緑がかった白色とな
り、人間の目に違和感を生じさせるという問題があり、
これを補正するために色フィルターを使用すると発光効
率が低下してしまう。
【0008】米国特許4810938号あるいは536
3015号に開示されたバルブは、水銀を含まない構成
としているが、水銀を封入すると、動作前のランプイン
ピーダンスと放電維持時のランプインピーダンスとが水
銀の高い蒸気圧により大きく異なることになり、整合に
不都合が生じてしまうという問題がある。具体的には放
電維持時のランプインピーダンスに予め整合させておく
と始動が困難になり、逆に動作前の状態に予め整合させ
ておくと放電維持状態に至るまでにバルブが消えてしま
ういわゆる立ち消え現象を生じたり、放電維持時に不整
合となり電力反射による効率低下が生じたりする。
【0009】本発明は、上記事由に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、発光効率が高いマイクロ波無電極
放電ランプ点灯装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、マイ
クロ波エネルギーを発生する手段と、マイクロ波が導入
され,マイクロ波に対しては非透過性で、光に対しては
透過可能な部材が一部または全部に用いられて成るマイ
クロ波共振器と、マイクロ波エネルギーを前記マイクロ
波共振器に結合するための手段と、前記マイクロ波共振
器内に配置された透光性材料から成り、前記透光性材料
内に、希土類ハライド、ナトリウムハライド、一定量以
上の水銀、及び希ガスから構成された封入物質を封入し
た気密なバルブとを備え、前記希土類ハライドが、セリ
ウム沃化物、あるいはプラセオジム沃化物、あるいはセ
リウム沃化物とプラセオジム沃化物との混合体を含むこ
とを特徴とする。
【0011】請求項2の発明は、請求項1において、前
記希土類ハライドとナトリウムハライドとの封入モル比
率は、1:1〜1:10の間であることを特徴とする。
【0012】請求項3の発明は、請求項1または2にお
いて、前記水銀の量は、前記気密バルブの内容積に対
し、2mg/cm3以上であることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【0014】(実施形態1)図1,2は本実施形態のマ
イクロ波無電極ランプ点灯装置の側面断面図及び斜視図
である。マイクロ波、ここでは例えば2.45GHzの
周波数の電磁波(マイクロ波エネルギー)を発生するマ
グネトロン1(マグネトロンを駆動するための電源部は
ここでは図示せず)がマイクロ波を低損失で伝達するた
めの導波管3(断面は109mm×54、5mmの長方
形)に接続され、導波管3は結合孔4を介して空洞共振
器5に接続されている。
【0015】空洞共振器5は高さ75mmの放物面形状
の側面部5aと、直径190mmの円形の天井面5bと
からなり、側面部5aは可視光の反射率の高い、例えば
アルミニウムで構成されている。天井面5bは、マイク
ロ波は遮断し、可視光は透過するような金属網部材で構
成されている。側面部5aと天井面5bとは良好な電気
導通が得られるべく接続されている。
【0016】空洞共振器5内において比較的高電界強度
分布になるほぼ中央部には、気密な石英からなるバルブ
6が配置されている。バルブの直径は27mmで、その
内部には希ガスたるアルゴンAr:30Torr、水銀
Hg:40mg、希土類ハライドたるセリウム沃化物C
eI3:5mg、ナトリウム沃化物NaI:10mgが
封入されている。すなわち発光物質であるセリウムCe
とナトリウムNaとのモル比は約1:7の比率となって
いる。また、この石英バルブ6は石英からなる支持棒7
により側面部5aの底面に固定されている。
【0017】このような構成でマグネトロン用電源を動
作させると、マグネトロン1のアンテナ部2より導波管
3に2.45GHzのマイクロ波エネルギーが導入さ
れ、マイクロ波エネルギーは導波管3内を低ロスで伝播
し、結合孔4に到達したマイクロ波エネルギーは、予め
2.45GHzで共振するように設計された空洞共振器
5に結合孔4を介して導入される。
【0018】そして、マイクロ波は空洞共振器5内で共
振し、石英バルブ6内部のガスを電離、励起する。放電
開始直後は水銀主体の放電であるが、放電による熱で石
英バルブ6の壁温度が上昇すると、室温で固体であった
メタルハライド(ここではセリウム沃化物CeI3、及
びナトリウム沃化物NaI)が蒸発し、放電内で金属原
子とハロゲン原子とに分離して、金属原子(ここではセ
リウムCe及びナトリウムNa)が励起されて発光す
る。この光は天井面5bの孔を通って外部に放出され、
側面部5aの側壁に到達した可視光は反射率の高い内面
により反射されて、最終的には天井面5bを通して外部
に放出される。
【0019】このような動作において、マイクロ波によ
る石英バルブ6近傍の電界強度分布は、動作前は図3に
示すように、石英バルブ6内部で最大になるような分布
であり、動作中は図4に示すように、石英バルブ6内部
に導電性を持ったプラズマが発生するため電界は打ち消
され、石英バルブ6の内部方向へ向かって急速に減衰し
ている。言いかえれば、石英バルブ6内の表面近傍から
のみ強い可視発光が得られることになる。この分光スペ
クトルを示したのが図5である。可視域全体に分布する
セリウムCeの発光と、波長590nm近傍に存在する
ナトリウムNaの発光が顕著である。
【0020】図6は本発明と同じ封入物を従来の電極を
有する発光管に封入し、同じランプ入力で発光させたと
きの分光スペクトル(発光分布)である。この場合、顕
著な差異としてナトリウムNaの発光形状がある。従来
のような有電極の通電方式を用いた場合、発光は主に発
光管の中央部で生じるため、ナトリウムNaの発光はバ
ルブ管壁にいたるまでにナトリウムNa原子に再吸収さ
れる、いわゆる自己吸収現象を生じるので、ナトリウム
Naの発光は効率良くランプ外部に出ることができな
い。このことが図6の発光分布において、ナトリウムN
a発光での大きな谷となって現れている。本実施形態で
は、上記従来の発光管のようにナトリウムNaの発光が
再吸収されることなくバルブ外部に放射されるために高
効率になっている。
【0021】また、図7には、従来のマイクロ波放電で
用いられた封入物のひとつであるインジウム臭化物In
Brの発光効率(曲線c)と、本実施形態での封入物で
あるセリウム沃化物CeI3及びナトリウム沃化物Na
Iでの発光効率(曲線a)との比較データが示されてい
る。実験は同一測定系、マイクロ波給電装置で行われ、
この実験結果が示すように、本実施形態の発光効率(曲
線a)は、従来の発光効率(曲線c)に比べてはるかに
大きく、発光効率を大幅に改善するという大きな効果が
見られる。この効果は、上記のマイクロ波給電とナトリ
ウムNaの自己吸収の因果関係によるものと、セリウム
Ceの高効率発光との相乗効果によるものである。さら
に、曲線bは、希土類ハライドとしてプラセオジウム沃
化物PrI3を用い(後述する実施形態2で用いた)、
プラセオジウム沃化物PrI3及びナトリウム沃化物N
aIを本実施形態の石英バルブ6に適用した場合の発光
効率を示しており、この場合も従来の発光効率(曲線
c)に比べてはるかに大きく、発光効率を大幅に改善す
るという大きな効果を得ることができる。
【0022】次に、図8は、石英バルブ6のバルブ内容
積に対する単位体積あたりの封入水銀量と相対効率との
関係を示した実験結果であり、管壁負荷、すなわちバル
ブ内表面積あたりのランプ電力をパラメーターにしてお
り、これは同一バルブでは入力電力に相当し、ランプ温
度に直接関係し、ランプ効率に関係している。ここで
は、管壁負荷15W/cm2時の相対効率(曲線d)、
管壁負荷20W/cm2時の相対効率(曲線e)、管壁
負荷25W/cm2時の相対効率(曲線f)を示してい
る。
【0023】図8によると2mg/cm3以上の水銀の
封入量において、顕著な高効率効果が見られる。これは
マイクロ波給電方式においてのみ実現される現象であ
り、従来の有電極の放電管においては水銀封入量を増加
させると、弾性衝突ロスや対流ロスが増加して効率は低
下する。さらにはランプ電圧が所望の値よりも高くなり
すぎたり、あるいは対流により放電が不安定になったり
する。
【0024】マイクロ波給電においては、水銀封入量を
所定の値より増やすとバルブ内部抵抗率が上昇し(これ
は蒸発した水銀原子の密度が増えるが、水銀は電離電圧
が残りの封入物よりも比較的高く電離しにくいため、主
にバッファガスとして働き、蒸気圧が高くなるほど抵抗
成分が大きくなることに起因している)、マイクロ波エ
ネルギーがバルブ6の内部に向かって進入できる距離が
増える。このことは、図9(a)に封入水銀量が少ない
場合の発光強度分布,(b)に封入水銀量が多い場合の
発光強度分布を示すように、前述のバルブ内壁近傍の発
光のみを利用しているマイクロ波放電では、水銀封入量
を増加することにより、その実効発光体積を増やすこと
ができ、効率を上昇させることが可能となる。また、相
対的にプラズマがバルブ内壁から離れ、バルブ劣化の1
要因である封入物質とバルブ材料との化学変化が抑制さ
れる。ただし、水銀量を極端に増加させると弾性衝突ロ
スが生じたり、実質発光厚みが増加することによるナト
リウムNaの再吸収ロスが生じるので、その量には限界
がある。実験経験的には50mg/cm3以下にするの
が適当であり、本実施形態では、図7に示すように40
0Wレベルにおいて150lm/W以上の効率の白色光
源を得ることができた。この値は従来の400Wの白色
有電極ランプの最高効率である100lm/Wに対し
1.5倍の効果を示すものであり、従来のマイクロ波光
源であるインジウム臭化物InBrランプに対しても、
図7に示すように1.9倍の効果を持つものである。
【0025】なお、本実施形態において、空洞共振器5
の形状は図1,2に示す形状に限らず、多角柱形状や、
側面が回転楕円体の一部であったり、または円筒形状で
も構わない。バルブ6の形状は球状で説明しているが、
本封入物を用いれば、そのバルブ形状は自由である。ま
た、マイクロ波の伝送方式については、導波管3を用い
る方式を説明したが、他の方式、たとえば同軸伝送方式
でもよく、マイクロ波を空洞共振器5に結合させる部分
は、結合孔4を用いているが、他の方式、例えばアンテ
ナ結合でも構わない。
【0026】さらに、バルブ6のバルブ径に関しては2
7mmで説明したが、他の径でもよく、例えば23mm
径では、上記同様の封入物比率で350W入力におい
て、効率151lm/W、相関色温度3028K、平均
演色評価数65、uv座標上での黒体軌跡からのずれ
0.006が実験で得られている。
【0027】(実施形態2)本実施形態のマイクロ波無
電極ランプ点灯装置の構成は、石英バルブ6は、その外
径が23mm(内径21mm)で、封入物質が、アルゴ
ンAr:30Torr、水銀Hg:30mg、希土類ハ
ライドたるプラセオジウム沃化物PrI3及びナトリウ
ム沃化物NaI:8mgから成り、封入物中のプラセオ
ジウムPrとナトリウムNaのモル比率が、1:1と、
1:3.5と、1:5.5との3種類を有しており、そ
の他の構成は図1,2に示す実施形態1と同様である。
【0028】図10,11,12は本実施形態に基づく
実験データであり、図10は横軸が入力電力[W]、縦
軸が発光効率[lm/W]を示している。ここでは、封
入物中のプラセオジウムPrとナトリウムNaとのモル
比率が1:1時の発光効率(曲線g)、モル比率が1:
3.5時の発光効率(曲線h)、モル比率が1:5.5
時の発光効率(曲線i)を示す。3種類いずれのバルブ
6においても、入力電力300W〜350Wレベルで
は、従来のものに比べ1.5倍の高効率になり、顕著な
効果が見られる。
【0029】図11は横軸が入力電力[W]、縦軸が相
関色温度[K]を示している。ここでは、封入物中のプ
ラセオジウムPrとナトリウムNaとのモル比率が1:
1時の相関色温度(曲線j)、モル比率が1:3.5時
の相関色温度(曲線k)、モル比率が1:5.5時の相
関色温度(曲線l)を示しており、プラセオジウムPr
とナトリウムNaとの比率を変えることで、相関色温度
が変化している。これは従来の一般ランプに比べ設計が
容易であることを示している。
【0030】またプラセオジウムPrとナトリウムNa
との封入モル比が1:3.5、及び1:5,5の石英バ
ルブ6においては、入力電力200W〜350Wの間で
相関色温度の変化が非常に小さく、この変化は人間の目
で色の違いを認識できない程度のものであり、調光時に
色の変化の小さい装置を提供することができる(1:1
の石英バルブ6においても比較的変化は小さい)。
【0031】一方、従来の一般に市販されているメタル
ハライドランプでは調光(入力電力減少)を行うと、相
関色温度が大きく変化することが知られており、このた
めメタルハライドランプを例えば省電力目的で調光した
場合には、大きく色が変化して人に違和感を与えてしま
う(多くの市販ランプは極端に緑色になり、且つ相関色
温度が上昇する)。
【0032】図12は横軸が入力電力[W]、縦軸がDu
v(uv色度座標上での黒体軌跡からのずれを便宜上1
000倍した値で0であれば自然な白色である)を示し
ている。ここでは、封入物中のプラセオジウムPrとナ
トリウムNaとのモル比率が1:1時のDuv(曲線
m)、モル比率が1:3.5時のDuv(曲線n)、モル
比率が1:5.5時のDuv(曲線o)を示しており、封
入物中のプラセオジウムPrとナトリウムNaとのモル
比率が大きいほど、Duvは小さくなり、白色に近い発光
である。通常、プラスマイナス10前後であれば白色と
みなすことができ、この観点から本実施形態のバルブは
白色に近い発光をもった高効率のシステムであると言え
る。
【0033】図13は本実施形態のうち、モル比1:
3.5の石英バルブ6の分光スペクトルを示している。
ここでも実施形態1で説明した通り、ナトリウムNa線
の再吸収がないマイクロ波給電の効果が現れていて、且
つプラセオジウムPrの高効率な発光分布が加わり、高
効率なシステムが実現されている。
【0034】なお、実施形態1,2において、希土類ハ
ライドとしてセリウム沃化物CeI 3とプラセオジウム
沃化物PrI3との混合体を用いても、略同様の効果を
得ることができる。
【0035】
【発明の効果】請求項1の発明は、マイクロ波エネルギ
ーを発生する手段と、マイクロ波が導入され,マイクロ
波に対しては非透過性で、光に対しては透過可能な部材
が一部または全部に用いられて成るマイクロ波共振器
と、マイクロ波エネルギーを前記マイクロ波共振器に結
合するための手段と、前記マイクロ波共振器内に配置さ
れた透光性材料から成り、前記透光性材料内に、希土類
ハライド、ナトリウムハライド、一定量以上の水銀、及
び希ガスから構成された封入物質を封入した気密なバル
ブとを備え、前記希土類ハライドが、セリウム沃化物、
あるいはプラセオジム沃化物、あるいはセリウム沃化物
とプラセオジム沃化物との混合体を含むので、白色に近
い発光を高い発光効率で得ることができるという効果が
ある。
【0036】請求項2の発明は、請求項1において、前
記希土類ハライドとナトリウムハライドとの封入モル比
率は、1:1〜1:10の間であるので、封入モル比率
を変えて相関色温度を変化させることで、従来のバルブ
に比べて設計が容易となり、且つ調光時には色の変化を
小さくできるという効果がある。
【0037】請求項3の発明は、請求項1または2にお
いて、前記水銀の量は、前記気密バルブの内容積に対
し、2mg/cm3以上であるので、実効発光体積を増
やすことができ、高い発光効率を得ることができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1の構成を示す側面断面図で
ある。
【図2】同上の構成を示す斜視図である。
【図3】同上の放電開始前の電界強度分布を示す図であ
る。
【図4】同上の放電開始後の電界強度分布を示す図であ
る。
【図5】同上の分光スペクトルを示す図である。
【図6】同上に対する従来の分光スペクトルを示す図で
ある。
【図7】同上の入力電力−発光効率の関係を示す図であ
る。
【図8】同上の水銀密度−相対効率の関係を示す図であ
る。
【図9】(a)同上の封入水銀量が少ない場合の発光強
度分布を示す図である。 (b)同上の封入水銀量が多い場合の発光強度分布を示
す図である。
【図10】本発明の実施形態2の入力電力−発光効率の
関係を示す図である。
【図11】同上の入力電力−相関色温度の関係を示す図
である。
【図12】同上の入力電力−Duvの関係を示す図であ
る。
【図13】同上の分光スペクトルを示す図である。
【図14】従来例の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
1 マグネトロン 2 アンテナ部 3 導波管 4 結合孔 5 空洞共振器 5a 側面部 5b 天井面 6 バルブ 7 支持棒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋見 元洋 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 3K072 AA18 CA16 GA08 GB09 5C039 PP01 PP08

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マイクロ波エネルギーを発生する手段
    と、マイクロ波が導入され,マイクロ波に対しては非透
    過性で、光に対しては透過可能な部材が一部または全部
    に用いられて成るマイクロ波共振器と、マイクロ波エネ
    ルギーを前記マイクロ波共振器に結合するための手段
    と、前記マイクロ波共振器内に配置された透光性材料か
    ら成り、前記透光性材料内に、希土類ハライド、ナトリ
    ウムハライド、一定量以上の水銀、及び希ガスから構成
    された封入物質を封入した気密なバルブとを備え、前記
    希土類ハライドが、セリウム沃化物、あるいはプラセオ
    ジム沃化物、あるいはセリウム沃化物とプラセオジム沃
    化物との混合体を含むことを特徴とするマイクロ波無電
    極放電ランプ点灯装置。
  2. 【請求項2】 前記希土類ハライドとナトリウムハライ
    ドとの封入モル比率は、1:1〜1:10の間であるこ
    とを特徴とする請求項1記載のマイクロ波無電極放電ラ
    ンプ点灯装置。
  3. 【請求項3】 前記水銀の量は、前記気密バルブの内容
    積に対し、2mg/cm3以上であることを特徴とする
    請求項1または2記載のマイクロ波無電極放電ランプ点
    灯装置。
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