JP2003209044A - 特殊環境と通常環境間における特定小電力無線方式を使用した露光装置 - Google Patents
特殊環境と通常環境間における特定小電力無線方式を使用した露光装置Info
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- JP2003209044A JP2003209044A JP2002006943A JP2002006943A JP2003209044A JP 2003209044 A JP2003209044 A JP 2003209044A JP 2002006943 A JP2002006943 A JP 2002006943A JP 2002006943 A JP2002006943 A JP 2002006943A JP 2003209044 A JP2003209044 A JP 2003209044A
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- Japan
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- environment
- special environment
- transmission
- control device
- control
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 特殊環境(高濃度ガス充填環境または高真空
環境などの)における制御対象と通常環境に設置された
制御装置間で制御のためのコマンドや計測のためのテレ
メトリ信号を伝達する必要がある。今まではケーブルに
て相互接続していたが、チャンバ隔壁に設置されたコネ
クタを介した接続となるため微小なすき間が生じ、リー
ク等により特殊環境が徐々に不安定になる場合が考えら
れる。そのような部分を排除しメンテナンスをスムーズ
に行い装置の稼働時間を向上させるために、コネクタイ
ンターフェース部分を排除し、制御装置と制御対象間を
無線通信にてコマンド、テレメントリの送受信を行い制
御するため。 【解決手段】 本発明は、通常環境内制御装置と特殊環
境内制御対象間に無線通信回路およびアンテナを配置
し、電磁弁やフォトインタラプタ等を例として、コマン
ド送信およびテレメトリ受信を説明している。
環境などの)における制御対象と通常環境に設置された
制御装置間で制御のためのコマンドや計測のためのテレ
メトリ信号を伝達する必要がある。今まではケーブルに
て相互接続していたが、チャンバ隔壁に設置されたコネ
クタを介した接続となるため微小なすき間が生じ、リー
ク等により特殊環境が徐々に不安定になる場合が考えら
れる。そのような部分を排除しメンテナンスをスムーズ
に行い装置の稼働時間を向上させるために、コネクタイ
ンターフェース部分を排除し、制御装置と制御対象間を
無線通信にてコマンド、テレメントリの送受信を行い制
御するため。 【解決手段】 本発明は、通常環境内制御装置と特殊環
境内制御対象間に無線通信回路およびアンテナを配置
し、電磁弁やフォトインタラプタ等を例として、コマン
ド送信およびテレメトリ受信を説明している。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高濃度ガス充填環境
や高真空環境等の特殊環境下における露光方法を有した
半導体製造装置内において、特殊環境下に置かれた制御
対象と上記環境外に置かれた制御装置間を結ぶための通
信方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、特許番号第２９０１１９３号に記
載されているように、試料（ウェハ）のホルダの温度を
測定し、その温度を無線通信手段によって温度制御部に
伝達し、それらの温度差が一定の許容範囲内になるよう
に制御することを特徴とする温度制御方法では、ひとつ
の試料ホルダの温度を直接測定し信号変換の後制御部へ
送信するのみであり、複数のセンサやアクチュエータの
制御等には適しない。 【０００３】また、第１図は従来の露光装置における制
御装置と制御対象の信号送受信の模式図である。 【０００４】同図に示すように、制御装置と制御対象
（センサまたはアクチュエータ等）はワークチャンバの
隔壁に設置された電気コネクタを介し、ハーネスで結線
されている。したがって、制御装置から出たハーネスは
一旦、チャンバ隔壁に取り付けられた電気コネクタと接
続し、ワークチャンバ内電気コネクタから制御対象（セ
ンサまたはアクチュエータ等）と接続することになる。 【０００５】高濃度ガスや高真空などの特殊環境にて運
転している際、このチャンバ隔壁に取り付けられた電気
コネクタ部取り付けのすき間よりリークすることがあ
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、露光中は露
光環境を極めて安定にする必要がある。また、露光装置
の稼働時間をあげるためには特殊環境のメンテナンスを
短時間で行う必要がある。そこで、チャンバ内は高濃度
ガスや高真空などの特殊環境にて運転されており、特に
露光中において、上記の特殊環境を高精度に保つために
はその阻害要素となりえるインタフェース部分は極力持
たないほうがよい。チャンバ隔壁に取り付けられた電気
コネクタ等の部品はこういった特殊環境を高純度、高品
質に保つためにはあってはならないと考えた。 【０００７】また、メンテナンス時の障害となる、従来
より周知のように露光装置はそのメンテナンスのために
特殊環境を解除し、ワーキングチャンバを外す必要があ
る。その際、チャンバに接続されているケーブルが存在
すると、作業の障害になることがある。それだけでな
く、作業の際、誤ってハーネスもしくは作業者が何らか
の理由により損傷をすることになりかねない。 【０００８】今回の提案は、上記のような障害の原因を
排除することにより、露光装置としての、露光品質の向
上、メンテナンス作業性および安全性を向上することに
役立つ。 【０００９】さらに、上記のように部品を削減すること
により構成品の信頼性も向上する。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本出願に係る第１の発明は、高濃度ガス充填環境ま
たは高真空環境等の特殊環境内に固定された制御対象と
（クリーンルーム等の）通常環境に設置された装置間を
電気コネクタを用いた物理的な接続を行わず、特定小電
力無線通信方式を用いて制御対象と制御装置を結び制御
することを特徴とする。 【００１１】(作用)この発明における特定小電力無線通
信方式はワークチャンバ隔壁にインタフェースコネクタ
を設置しないで済むため、高濃度充填ガスのリークや高
真空環境の低下を防ぐことができる。上記隔壁にインタ
フェースコネクタが存在しないため、メンテナンスにお
ける上記ワークチャンバの開閉時に、上記インタフェー
スコネクタを外す作業が発生しない。 【００１２】また、上記インタフェースコネクタが存在
しないため、構成品の信頼性向上に繋がる。 【００１３】 【発明の実施の形態】（第１の実施例）第３図は本発明
にかかる特定小電力無線機器を使用した特殊環境内制御
対象と通常環境内制御装置のブロック図であり、第４
図、第５図は通常環境内制御装置から露光装置ワークチ
ャンバ内制御対象に対し、例としてコマンド送信側およ
びテレメトリ受信側をそれぞれ電磁弁、フォトインタラ
プタとしたフローチャートである。通常環境内制御装置
はＣＰＵと無線モジュールおよび上記制御装置外に設置
されたアンテナを備える。また、ワークチャンバ内制御
装置はＣＰＵと無線モジュール、制御対象とのインタフ
ェース回路、および制御装置外にアンテナを備える。図
３に示すように、電磁弁を動作させる場合、まず、Ｃ
ＰＵにてＣＰＵに対し電磁弁駆動のための送信コマン
ドを設定する。次に無線モジュールに対し送信準備を
するための制御信号を送る。無線モジュールは上記制
御信号を受け、送信準備（送／受信回路を送信側にす
る、チャンネルを設定する等）を開始し、送信可能状態
となり次第、送信許可しＣＰＵの設定したコマンドを
送信する。無線モジュールは無線モジュールからの
信号（電波）を検出し、受信準備（送／受信回路を受信
側にする、チャンネルを設定する等）を開始し、受信可
能状態となり次第、受信許可およびデータの送信禁止を
し、ＣＰＵのコマンドを受信する。ＣＰＵは上記送
信コマンドから電磁弁の駆動コマンドとしてのデータを
送信し駆動回路より電磁弁を駆動する。 【００１４】また、図４に示すように電磁弁の状態を確
認するため、フォトインタラプタの信号を確認する場
合、まず、ＣＰＵにてＣＰＵに対しフォトインタラ
プタ信号受信のための送信コマンドを設定する。次に
無線モジュールに対し送信準備をするための制御信号を
送る。無線モジュールは上記制御信号を受け、送信準
備（送／受信回路を送信側にする、チャンネルを設定す
る等）を開始し、送信可能状態となり次第、送信許可し
ＣＰＵの設定したコマンドを送信する。無線モジュ
ールは無線モジュールからの信号（電波）を検出し、
受信準備（送／受信回路を受信側にする、チャンネルを
設定する等）を開始し、受信可能状態となり次第、受信
許可およびデータの送信禁止をし、ＣＰＵのコマンド
を受信する。ＣＰＵは上記送信コマンドからフォトイ
ンタラプタの状態をテレメトリデータとしてバッファ回
路より入力する。今度はＣＰＵにてＣＰＵに対しフ
ォトインタラプタ状態送信のためのコマンドを設定す
る。次に無線モジュールに対し送信準備をするための
制御信号を送る。無線モジュールは上記制御信号を受
け、送信準備（送／受信回路を送信側にする、チャンネ
ルを設定する等）を開始し、送信可能状態となり次第、
送信許可しＣＰＵの設定したテレメトリデータを送信
する。無線モジュールは無線モジュールからの信号
（電波）を検出し、受信準備（送／受信回路を受信側に
する、チャンネルを設定する等）を開始し、受信可能状
態となり次第、受信許可およびデータの送信禁止をし、
ＣＰＵのテレメトリデータを受信する。ＣＰＵは上
記テレメトリデータからフォトインタラプタの状態を入
力する。 【００１５】以上のように、特定小電力無線機器を使用
して制御装置と制御対象を結ぶことにより、特殊環境と
通常環境に物理的な接点がなくなるため、露光装置内の
環境維持が高精度に保つことが可能になり、かつ、電気
コネクタによる接合ではないため、チャンバ内メンテナ
ンス時においても電気コネクタの取り外し／取り付けの
必要がない。 【００１６】なお、上記例においては、通常環境と特殊
環境間のコマンドテレメトリ通信に特定小電力無線方式
を使用したが、制御対象が多い場合、この代わりに赤外
線を用いた通信を用い、高速の通信を実現することがで
きる。 【００１７】さらに、上記実施例では通常環境と特殊環
境間の通信について適用したが、通常環境間または特殊
環境間において離れた場所を結ぶ手段としても有効であ
る。 【００１８】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば通
常環境の制御装置と特殊環境内の制御対象間を特定小電
力無線機器で結ぶことによって、物理的接触を不要にす
ることにより、高濃度ガス充填環境、高真空環境等を高
精度にて安定することができ、また、メンテナンスにお
いて上記ワークチャンバ内外を結ぶハーネスを取り外し
／取り付ける必要が無くなり、さらに、介在する部品の
点数が削減することから信頼性の向上につながる。
や高真空環境等の特殊環境下における露光方法を有した
半導体製造装置内において、特殊環境下に置かれた制御
対象と上記環境外に置かれた制御装置間を結ぶための通
信方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、特許番号第２９０１１９３号に記
載されているように、試料（ウェハ）のホルダの温度を
測定し、その温度を無線通信手段によって温度制御部に
伝達し、それらの温度差が一定の許容範囲内になるよう
に制御することを特徴とする温度制御方法では、ひとつ
の試料ホルダの温度を直接測定し信号変換の後制御部へ
送信するのみであり、複数のセンサやアクチュエータの
制御等には適しない。 【０００３】また、第１図は従来の露光装置における制
御装置と制御対象の信号送受信の模式図である。 【０００４】同図に示すように、制御装置と制御対象
（センサまたはアクチュエータ等）はワークチャンバの
隔壁に設置された電気コネクタを介し、ハーネスで結線
されている。したがって、制御装置から出たハーネスは
一旦、チャンバ隔壁に取り付けられた電気コネクタと接
続し、ワークチャンバ内電気コネクタから制御対象（セ
ンサまたはアクチュエータ等）と接続することになる。 【０００５】高濃度ガスや高真空などの特殊環境にて運
転している際、このチャンバ隔壁に取り付けられた電気
コネクタ部取り付けのすき間よりリークすることがあ
る。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、露光中は露
光環境を極めて安定にする必要がある。また、露光装置
の稼働時間をあげるためには特殊環境のメンテナンスを
短時間で行う必要がある。そこで、チャンバ内は高濃度
ガスや高真空などの特殊環境にて運転されており、特に
露光中において、上記の特殊環境を高精度に保つために
はその阻害要素となりえるインタフェース部分は極力持
たないほうがよい。チャンバ隔壁に取り付けられた電気
コネクタ等の部品はこういった特殊環境を高純度、高品
質に保つためにはあってはならないと考えた。 【０００７】また、メンテナンス時の障害となる、従来
より周知のように露光装置はそのメンテナンスのために
特殊環境を解除し、ワーキングチャンバを外す必要があ
る。その際、チャンバに接続されているケーブルが存在
すると、作業の障害になることがある。それだけでな
く、作業の際、誤ってハーネスもしくは作業者が何らか
の理由により損傷をすることになりかねない。 【０００８】今回の提案は、上記のような障害の原因を
排除することにより、露光装置としての、露光品質の向
上、メンテナンス作業性および安全性を向上することに
役立つ。 【０００９】さらに、上記のように部品を削減すること
により構成品の信頼性も向上する。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本出願に係る第１の発明は、高濃度ガス充填環境ま
たは高真空環境等の特殊環境内に固定された制御対象と
（クリーンルーム等の）通常環境に設置された装置間を
電気コネクタを用いた物理的な接続を行わず、特定小電
力無線通信方式を用いて制御対象と制御装置を結び制御
することを特徴とする。 【００１１】(作用)この発明における特定小電力無線通
信方式はワークチャンバ隔壁にインタフェースコネクタ
を設置しないで済むため、高濃度充填ガスのリークや高
真空環境の低下を防ぐことができる。上記隔壁にインタ
フェースコネクタが存在しないため、メンテナンスにお
ける上記ワークチャンバの開閉時に、上記インタフェー
スコネクタを外す作業が発生しない。 【００１２】また、上記インタフェースコネクタが存在
しないため、構成品の信頼性向上に繋がる。 【００１３】 【発明の実施の形態】（第１の実施例）第３図は本発明
にかかる特定小電力無線機器を使用した特殊環境内制御
対象と通常環境内制御装置のブロック図であり、第４
図、第５図は通常環境内制御装置から露光装置ワークチ
ャンバ内制御対象に対し、例としてコマンド送信側およ
びテレメトリ受信側をそれぞれ電磁弁、フォトインタラ
プタとしたフローチャートである。通常環境内制御装置
はＣＰＵと無線モジュールおよび上記制御装置外に設置
されたアンテナを備える。また、ワークチャンバ内制御
装置はＣＰＵと無線モジュール、制御対象とのインタフ
ェース回路、および制御装置外にアンテナを備える。図
３に示すように、電磁弁を動作させる場合、まず、Ｃ
ＰＵにてＣＰＵに対し電磁弁駆動のための送信コマン
ドを設定する。次に無線モジュールに対し送信準備を
するための制御信号を送る。無線モジュールは上記制
御信号を受け、送信準備（送／受信回路を送信側にす
る、チャンネルを設定する等）を開始し、送信可能状態
となり次第、送信許可しＣＰＵの設定したコマンドを
送信する。無線モジュールは無線モジュールからの
信号（電波）を検出し、受信準備（送／受信回路を受信
側にする、チャンネルを設定する等）を開始し、受信可
能状態となり次第、受信許可およびデータの送信禁止を
し、ＣＰＵのコマンドを受信する。ＣＰＵは上記送
信コマンドから電磁弁の駆動コマンドとしてのデータを
送信し駆動回路より電磁弁を駆動する。 【００１４】また、図４に示すように電磁弁の状態を確
認するため、フォトインタラプタの信号を確認する場
合、まず、ＣＰＵにてＣＰＵに対しフォトインタラ
プタ信号受信のための送信コマンドを設定する。次に
無線モジュールに対し送信準備をするための制御信号を
送る。無線モジュールは上記制御信号を受け、送信準
備（送／受信回路を送信側にする、チャンネルを設定す
る等）を開始し、送信可能状態となり次第、送信許可し
ＣＰＵの設定したコマンドを送信する。無線モジュ
ールは無線モジュールからの信号（電波）を検出し、
受信準備（送／受信回路を受信側にする、チャンネルを
設定する等）を開始し、受信可能状態となり次第、受信
許可およびデータの送信禁止をし、ＣＰＵのコマンド
を受信する。ＣＰＵは上記送信コマンドからフォトイ
ンタラプタの状態をテレメトリデータとしてバッファ回
路より入力する。今度はＣＰＵにてＣＰＵに対しフ
ォトインタラプタ状態送信のためのコマンドを設定す
る。次に無線モジュールに対し送信準備をするための
制御信号を送る。無線モジュールは上記制御信号を受
け、送信準備（送／受信回路を送信側にする、チャンネ
ルを設定する等）を開始し、送信可能状態となり次第、
送信許可しＣＰＵの設定したテレメトリデータを送信
する。無線モジュールは無線モジュールからの信号
（電波）を検出し、受信準備（送／受信回路を受信側に
する、チャンネルを設定する等）を開始し、受信可能状
態となり次第、受信許可およびデータの送信禁止をし、
ＣＰＵのテレメトリデータを受信する。ＣＰＵは上
記テレメトリデータからフォトインタラプタの状態を入
力する。 【００１５】以上のように、特定小電力無線機器を使用
して制御装置と制御対象を結ぶことにより、特殊環境と
通常環境に物理的な接点がなくなるため、露光装置内の
環境維持が高精度に保つことが可能になり、かつ、電気
コネクタによる接合ではないため、チャンバ内メンテナ
ンス時においても電気コネクタの取り外し／取り付けの
必要がない。 【００１６】なお、上記例においては、通常環境と特殊
環境間のコマンドテレメトリ通信に特定小電力無線方式
を使用したが、制御対象が多い場合、この代わりに赤外
線を用いた通信を用い、高速の通信を実現することがで
きる。 【００１７】さらに、上記実施例では通常環境と特殊環
境間の通信について適用したが、通常環境間または特殊
環境間において離れた場所を結ぶ手段としても有効であ
る。 【００１８】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば通
常環境の制御装置と特殊環境内の制御対象間を特定小電
力無線機器で結ぶことによって、物理的接触を不要にす
ることにより、高濃度ガス充填環境、高真空環境等を高
精度にて安定することができ、また、メンテナンスにお
いて上記ワークチャンバ内外を結ぶハーネスを取り外し
／取り付ける必要が無くなり、さらに、介在する部品の
点数が削減することから信頼性の向上につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来の特殊環境内制御対象と通常環境内制御
装置の接続模式図 【図２】 特定小電力無線機器を使用した特殊環境内制
御対象と通常環境内制御装置の接続模式図 【図３】 上記第２図を詳細に記述した機能ブロック図 【図４】 ワークチャンバ内電磁弁駆動時のフローチャ
ート（コマンド送信の場合） 【図５】 ワークチャンバ内フォトインタラプタセンシ
ング時のフローチャート（テレメトリデータ受信の場
合）
装置の接続模式図 【図２】 特定小電力無線機器を使用した特殊環境内制
御対象と通常環境内制御装置の接続模式図 【図３】 上記第２図を詳細に記述した機能ブロック図 【図４】 ワークチャンバ内電磁弁駆動時のフローチャ
ート（コマンド送信の場合） 【図５】 ワークチャンバ内フォトインタラプタセンシ
ング時のフローチャート（テレメトリデータ受信の場
合）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 高濃度ガス充填環境、または高真空環境
等の特殊環境が実現される露光装置内にアクチュエータ
やセンサ等の制御対象を有し、またそれらを駆動・セン
シングするための制御装置を上記特殊環境外に設置し、
制御対象と制御装置間を特定小電力無線通信方式で結び
制御することを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002006943A JP2003209044A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 特殊環境と通常環境間における特定小電力無線方式を使用した露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002006943A JP2003209044A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 特殊環境と通常環境間における特定小電力無線方式を使用した露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003209044A true JP2003209044A (ja) | 2003-07-25 |
Family
ID=27645566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002006943A Pending JP2003209044A (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 特殊環境と通常環境間における特定小電力無線方式を使用した露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003209044A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007049603A1 (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-03 | Nikon Corporation | ステージ装置とその座標補正方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| US8681314B2 (en) | 2005-10-24 | 2014-03-25 | Nikon Corporation | Stage device and coordinate correction method for the same, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
2002
- 2002-01-16 JP JP2002006943A patent/JP2003209044A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007049603A1 (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-03 | Nikon Corporation | ステージ装置とその座標補正方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| US8681314B2 (en) | 2005-10-24 | 2014-03-25 | Nikon Corporation | Stage device and coordinate correction method for the same, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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