JP2003194693A

JP2003194693A - 走査型プローブ顕微鏡

Info

Publication number: JP2003194693A
Application number: JP2001398286A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Kami; 喜裕上
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-12-27
Filing date: 2001-12-27
Publication date: 2003-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】レバースキャンタイプでありながら、走査をよ
り高速でより安定に行なえる走査型プローブ顕微鏡を提
供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡１００はカンチレバ
ー１１０を走査する走査機構１２０を有している。走査
機構１２０はｚ走査用駆動部１３０とｘ走査用駆動部１
５０とｙ走査用駆動部１７０とを有している。ｚ走査用
駆動部１３０は一軸に沿って変位し得る一対のｚ走査用
アクチュエーター１３２と１３４を有している。これら
は第一の支持部材１３６に支持され、第一の支持部材１
３６を間に挟んで面対照に配置されている。ｚ走査用駆
動部１３０は更にカンチレバーホルダー１４２を有し、
これは下側のｚ走査用アクチュエーター１３２の自由端
に固定されている。ｚ走査用駆動部１３０は更に上側の
ｚ走査用アクチュエーター１３４の自由端に固定された
錘１４４を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は走査型プローブ顕微
鏡、特にレバースキャンタイプの走査型プローブ顕微鏡
に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は、例えば、探針
と試料とを相対的にＸＹ方向にラスター走査（ＸＹ走
査）しながら、Ｚ方向についても試料と探針との相互作
用が一定になるようフィードバック制御（Ｚ走査）する
ことにより、試料の所望の領域の表面情報を得る装置で
ある。

【０００３】その走査機構は、探針あるいは試料を移動
（ＸＹ走査およびＺ走査）させるためのアクチュエータ
ーを有しており、それには一般に圧電アクチュエーター
が利用されている。走査機構は、例えば、一軸に沿って
変位し得る複数の積層型圧電アクチュエーターを組み合
わせて構成される。

【０００４】ＸＹ走査とＺ走査のために、試料を移動さ
せる走査型プローブ顕微鏡は試料スキャンタイプと呼ば
れ、カンチレバーを移動させる走査型プローブ顕微鏡は
レバースキャンタイプと呼ばれている。

【０００５】走査型プローブ顕微鏡は、最近では、生体
試料の測定に多く利用されている。このような生体試料
の測定に対しては、試料スキャンタイプの走査型プロー
ブ顕微鏡よりも、レバースキャンタイプの走査型プロー
ブ顕微鏡が適している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】レバースキャンタイプ
の走査型プローブ顕微鏡では、カンチレバーを保持する
ためのカンチレバーホルダーを走査機構に設ける必要が
ある。特に、複数の一軸に沿って変位し得る圧電アクチ
ュエーターを組み合わせた走査機構では、カンチレバー
ホルダーはｚ走査用の圧電アクチュエーターの自由端に
固定される。

【０００７】カンチレバーホルダーは一般的に金属部品
で製作されるために質量が大きい。このため、ｚ走査用
の圧電アクチュエーターの自由端に設けられたカンチレ
バーホルダーは、ｚ走査用のアクチュエーターの上下の
バランスを崩す要因として働き、その結果、走査型プロ
ーブ顕微鏡の走査の安定性と走査速度の上限を低下させ
る。

【０００８】本発明の目的は、レバースキャンタイプで
ありながら、走査をより高速でより安定に行なえる走査
型プローブ顕微鏡を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、レバースキャ
ンタイプの走査型プローブ顕微鏡であり、探針を自由端
に備えるカンチレバーと、カンチレバーを走査するため
の走査機構と、走査機構を支持する支持機構と、カンチ
レバーの変位を検出するための変位検出光学系とを有し
ており、走査機構は、カンチレバーを第一の軸に沿って
移動させるための第一の駆動部と、カンチレバーを第一
の駆動部と共に第一の軸とは異なる第二の軸に沿って移
動させるための第二の駆動部と、カンチレバーを第二の
駆動部と共に第一の軸と第二の軸とは異なる第三の軸に
沿って移動させるための第三の駆動部とを有しており、
第一の駆動部は、一軸に沿って変位し得る一対の第一の
アクチュエーターと、これらを支持する第一の支持部材
とを有し、一対の第一のアクチュエーターは第一の支持
部材を間に挟んで面対照に配置されており、第一の駆動
部は更に、カンチレバーを保持するためのカンチレバー
ホルダーを有し、カンチレバーホルダーは一方の第一の
アクチュエーターの自由端に固定されており、第一の駆
動部は更に、他方の第一のアクチュエーターの自由端に
固定された錘を有し、錘の重さはカンチレバーホルダー
の重さとほぼ同じである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。

【００１１】本発明の走査型プローブ顕微鏡の第一の実
施の形態が図１と図２に示される。

【００１２】図１に示されるように、走査型プローブ顕
微鏡１００は、生体試料の測定に好適なレバースキャン
タイプの走査型プローブ顕微鏡であり、これはステージ
５１０の上に載置される。

【００１３】ステージ５１０の上には、例えば、生体試
料５３２を入れたシャーレ５３０が置かれる。シャーレ
５３０の代わりに、生体試料を載せたスライドガラスが
置かれてもよい。

【００１４】ステージ５１０は、好ましくは、光学観察
を可能にする開口５１２を有している。開口５１２の内
側には対物レンズ５２０が配置される。試料５３２は、
対物レンズ５２０を含む観察光学系によって光学的に観
察され得る。

【００１５】図１と図２に示されるように、走査型プロ
ーブ顕微鏡１００は、カンチレバー１１０と、カンチレ
バー１１０を走査するための走査機構１２０と、走査機
構１２０を支持する複数の支柱（例えば四本の支柱）２
３０と、カンチレバー１１０の変位を検出するための変
位検出光学系２５０とを有している。

【００１６】カンチレバー１１０は、探針１１２と、こ
れを自由端に備えるレバー１１４とで構成されている。
支柱２３０は、各々独立に高さを調整し得る。つまり、
支柱２３０は、走査機構１２０の高さと傾きを調整し得
る。

【００１７】走査機構１２０は、カンチレバー１１０を
第一の軸すなわちｚ軸に沿って移動させる（つまりｚ走
査する）ための第一の駆動部すなわちｚ走査用駆動部１
３０と、カンチレバー１１０をｚ走査用駆動部１３０と
共にｚ軸とは異なる第二の軸すなわちｘ軸に沿って移動
させる（つまりｘ走査する）ための第二の駆動部すなわ
ちｘ走査用駆動部１５０と、カンチレバー１１０をｘ走
査用駆動部１５０と共にｚ軸とｘ軸とは異なる第三の軸
すなわちｙ軸に沿って移動させる（つまりｙ走査する）
ための第三の駆動部すなわちｙ走査用駆動部１７０とを
有している。ｘ軸とｙ軸とｚ軸は互いに直交している。

【００１８】ｚ走査用駆動部１３０は、一軸に沿って変
位し得る一対の第一のアクチュエーターすなわちｚ走査
用アクチュエーター１３２と１３４と、これらを支持す
る第一の支持部材１３６とを有している。一対のｚ走査
用アクチュエーター１３２と１３４は第一の支持部材１
３６を間に挟んで面対照に配置されている。ｚ走査用ア
クチュエーター１３２と１３４は例えば積層型圧電アク
チュエーターである。

【００１９】ｚ走査用駆動部１３０は更に、カンチレバ
ー１１０を保持するためのカンチレバーホルダー１４２
を有している。カンチレバーホルダー１４２は下側のｚ
走査用アクチュエーター１３２の自由端に固定されてい
る。ｚ走査用駆動部１３０は更に、上側のｚ走査用アク
チュエーター１３４の自由端に固定された錘１４４を有
している。錘１４４の重さはカンチレバーホルダー１４
２の重さとほぼ同じであり、カンチレバーホルダー１４
２の重さとカンチレバー１１０の重さの合計に等しいと
してよい。

【００２０】ｘ走査用駆動部１５０は、一軸に沿って変
位し得る一つの第二のアクチュエーターすなわちｘ走査
用アクチュエーター１５２と、これを支持する第二の支
持部材１６０とを有している。第一の支持部材１３６は
ｘ走査用アクチュエーター１５２の自由端に固定されて
いる。ｘ走査用アクチュエーター１５２は例えば積層型
圧電アクチュエーターである。

【００２１】第二の支持部材１６０は、平板状のベース
部１６２と、ベース部１６２から下方に突出した突出部
１６４とを有している。ｘ走査用アクチュエーター１５
２は第二の支持部材１６０の突出部１６４に固定されて
いる。

【００２２】第二の支持部材１６０は更に、ベース部１
６２に形成されたｚ軸に沿って延びる貫通孔１６６を有
している。錘１４４の設けられた上側のｚ走査用アクチ
ュエーター１３４は第二の支持部材１６０の貫通孔１６
６の中に延びている。

【００２３】ｙ走査用駆動部１７０は、一軸に沿って変
位し得る一つの第三のアクチュエーターすなわちｙ走査
用アクチュエーター１７２と、これを支持する第三の支
持部材１８０とを有している。第二の支持部材１６０は
ｙ走査用アクチュエーター１７２の自由端に固定されて
いる。ｙ走査用アクチュエーター１７２は例えば積層型
圧電アクチュエーターである。

【００２４】第三の支持部材１８０は、平板状のベース
部１８２と、ベース部１８２から下方に突出した突出部
１８４とを有している。ｙ走査用アクチュエーター１７
２は第三の支持部材１８０の突出部１８４に固定されて
いる。

【００２５】走査機構１２０は更に、第一の支持部材１
３６をｘ軸に沿って案内するための第一の案内機構１９
０と、第二の支持部材１６０をｙ軸に沿って案内するた
めの第二の案内機構２１０とを有している。第一の案内
機構１９０は例えば微小球を用いた案内である。微小球
を用いた案内は滑り案内とも転がり案内とも言える。つ
まり、第一の案内機構１９０は例えば微小球の滑り／転
がり案内である。第二の案内機構２１０も例えば微小球
の滑り／転がり案内である。

【００２６】第一の案内機構１９０は、カンチレバーホ
ルダー１４２の設けられた下側のｚ走査用アクチュエー
ター１３２を通すための開口１９４を有する抑え板１９
２と、抑え板１９２を第二の支持部材１６０に固定する
ための複数のねじ（例えば四本のねじ）１９６と、第一
の支持部材１３６と第二の支持部材１６０の間にこれら
に接して配置される複数の微小球２０２と、第一の支持
部材１３６と抑え板１９２の間にこれらに接して配置さ
れる複数の微小球２０４とを有している。微小球２０２
と微小球２０４は共に抑え板１９２とねじ１９６によっ
て保持されている。

【００２７】第二の案内機構２１０は、ｘ走査用アクチ
ュエーター１５２を通すための開口２１４を有する抑え
板２１２と、抑え板２１２を第三の支持部材１８０に固
定するための複数のねじ（例えば四本のねじ）２１６
と、第二の支持部材１６０と第三の支持部材１８０の間
にこれらに接して配置される複数の微小球２２２と、第
二の支持部材１６０と抑え板１９２の間にこれらに接し
て配置される複数の微小球２２４とを有している。微小
球２２２と微小球２２４は共に抑え板１９２とねじ１９
６によって保持されている。

【００２８】ｚ走査用アクチュエーター１３２とｚ走査
用アクチュエーター１３４は共に中空であり、それぞれ
ｚ軸に沿って延びる貫通孔１４６と貫通孔１４８を有し
ている。また、第一の支持部材１３６は、ｚ軸に沿って
延びる貫通孔１３８を有している。ｚ走査用アクチュエ
ーター１３２の貫通孔１４６とｚ走査用アクチュエータ
ー１３４の貫通孔１４８と第一の支持部材１３６の貫通
孔１３８は、ほぼ同軸に位置しており、それらは互いに
連続している。さらに、第三の支持部材１８０は、ベー
ス部１８２に形成されたｚ軸に沿って延びる貫通孔１８
６を有している。

【００２９】ｚ走査用アクチュエーター１３２の貫通孔
１４６とｚ走査用アクチュエーター１３４の貫通孔１４
８と第一の支持部材１３６の貫通孔１３８と第二の支持
部材１６０の貫通孔１６６と第三の支持部材１８０の貫
通孔１８６は、変位検出光学系２５０による上方からの
カンチレバー１１０の変位の光学的な検出を可能にして
いる。

【００３０】変位検出光学系２５０は、ＬＤ駆動信号の
供給に応じて光ビームを発射するレーザーダイオード
（ＬＤ）２５２と、レーザーダイオード２５２から発射
された光ビームを平行化するコリメートレンズ２５４
と、コリメートレンズ２５４からの光ビームをカンチレ
バー１１０に向けて反射するとともにカンチレバー１１
０で反射された光ビームを透過するビームスプリッター
２５６と、ビームスプリッター２５６からの光ビームを
集光する集光レンズ２５８と、集光レンズ２５８からの
光ビームを光電変換してカンチレバー１１０の自由端の
ｚ軸に沿った変位を反映したレバー変位信号を出力する
光検出器２６０とを有している。

【００３１】カンチレバー１１０の探針１１２は、走査
機構１２０によって、生体試料５３２に対してｘ軸とｙ
軸に沿って移動される、つまりｘｙ走査される。ｘｙ走
査の間、探針１１２のｚ軸に沿った変位が変位検出光学
系２５０によって監視される。ｚ走査用駆動部１３０
は、変位検出光学系２５０で得られるレバー変位信号を
一定に保つようにカンチレバー１１０のｚ軸に沿った位
置を制御する、つまりｚ走査する。ｘｙ走査の位置情報
とｚ走査の位置情報とから生体試料５３２の凹凸情報等
が得られる。

【００３２】ｚ走査用駆動部１３０では、下側のｚ走査
用アクチュエーター１３２と上側のｚ走査用アクチュエ
ーター１３４は互いに逆向きに等しく変位する。つま
り、下側のｚ走査用アクチュエーター１３２と上側のｚ
走査用アクチュエーター１３４はそれぞれほぼ同じ重さ
のカンチレバーホルダー１４２と錘１４４とを逆方向に
同じ距離だけ移動させる。

【００３３】一対のｚ走査用アクチュエーター１３２と
１３４の互いに逆向きの動きは振動の発生を抑える。つ
まり、一方のｚ走査用アクチュエーターの伸縮動作のた
めに第一の支持部材１３６が受ける衝撃は、他方のｚ走
査用アクチュエーターの伸縮動作によって打ち消され
る。その結果、走査機構１２０は振動の発生が少ない。

【００３４】第一の案内機構１９０は、ｘ走査用アクチ
ュエーター１５２の走査動作を制約することなく、第一
の支持部材１３６を案内する。これにより、ｘ走査用ア
クチュエーター１５２の撓みや振動の発生が抑えられ
る。同様に、第二の案内機構２１０は、ｙ走査用アクチ
ュエーター１７２の走査動作を制約することなく、第二
の支持部材１６０を案内する。これにより、ｙ走査用ア
クチュエーター１７２の撓みや振動の発生が抑えられ
る。その結果、走査機構１２０は、高い機械的剛性を有
し、高速で走査できる。

【００３５】これまでの説明から分かるように、本実施
形態の走査型プローブ顕微鏡は、レバースキャンタイプ
でありながら、走査をより高速でより安定に行なえる。

【００３６】本発明の走査型プローブ顕微鏡の第二の実
施の形態が図３に示される。図３において、第一の実施
の形態の部材と同一の参照符号で示された部材は同様の
部材を示している。

【００３７】本実施形態の走査型プローブ顕微鏡３００
は、第一の駆動部と変位検出光学系を除いては、第一の
実施の形態の走査型プローブ顕微鏡１００と同様であ
る。以下では、相違部分である第一の駆動部と変位検出
光学系についてのみ説明する。

【００３８】図３に示されるように、走査型プローブ顕
微鏡３００の第一の駆動部すなわちｚ走査用駆動部３１
０は、一軸に沿って変位し得る一対の第一のアクチュエ
ーターすなわちｚ走査用アクチュエーター３１２と３１
４と、これらを支持する第一の支持部材３１６とを有し
ている。第一の支持部材３１６は、ｘ走査用駆動部１５
０のｘ走査用アクチュエーター１５２の自由端に固定さ
れている。

【００３９】一対のｚ走査用アクチュエーター３１２と
３１４は第一の支持部材３１６を間に挟んで面対照に配
置されている。ｚ走査用アクチュエーター３１２と３１
４は例えば積層型圧電アクチュエーターである。第一の
支持部材３１６は、ｚ軸に沿って延びる貫通孔３１８を
有している。ｚ走査用アクチュエーター３１２と３１４
は中実であり、第一の支持部材３１６の貫通孔３１８の
近くに配置されている。

【００４０】変位検出光学系３５０は、ＬＤ駆動信号の
供給に応じて光ビームを発射するレーザーダイオード
（ＬＤ）３５２と、レーザーダイオード３５２から発射
された光ビームを平行化するコリメートレンズ３５４
と、コリメートレンズ３５４からの光ビームの一部を透
過する一方で残りをカンチレバー１１０に向けて反射す
るとともにカンチレバー１１０で反射された光ビームを
透過する第一のビームスプリッター３５６と、第一のビ
ームスプリッター３５６を透過した光ビームを上側のｚ
走査用アクチュエーター３１４の端面に向けて反射する
とともに上側のｚ走査用アクチュエーター３１４の端面
で反射された光ビームを透過する第二のビームスプリッ
ター３５８とを有している。

【００４１】変位検出光学系３５０は更に、第一のビー
ムスプリッター３５６で反射された光ビームを集光する
第一の集光レンズ３６２と、第二のビームスプリッター
３５６で反射された光ビームを集光する第二の集光レン
ズ３６２と、カンチレバー１１０で反射された光ビーム
を光電変換する第一の光検出器３６６と、上側のｚ走査
用アクチュエーター３１４の端面で反射された光ビーム
を光電変換する第二の光検出器３６８と、第一の光検出
器３６６からの信号と第二の光検出器３６８からの信号
とに基づいてカンチレバー１１０の自由端のｚ軸に沿っ
た変位を反映したレバー変位信号を出力する演算回路３
７０とを有している。

【００４２】第一の駆動部３１０は更に、カンチレバー
１１０を保持するためのカンチレバーホルダー３４２を
有している。カンチレバーホルダー３４２は下側のｚ走
査用アクチュエーター３１２の自由端に固定されてい
る。第一の集光レンズ３６２はカンチレバーホルダー３
４２に固定されている。第一の駆動部３１０は更に、上
側のｚ走査用アクチュエーター３１４の自由端に固定さ
れたレンズホルダー３４４を有している。レンズホルダ
ー３４４は、上側のｚ走査用アクチュエーター３１４の
端面を露出するために、ｚ軸に沿って延びる貫通孔を有
している。第二の集光レンズ３６４はレンズホルダー３
４４に固定されている。

【００４３】レンズホルダー３４４は、カンチレバーホ
ルダー３４２とのバランスを取るための錘として働き、
その重さはカンチレバーホルダー３４２の重さとほぼ同
じである。より好ましくは、レンズホルダー３４４の重
さと第二の集光レンズ３６４の重さの合計は、カンチレ
バーホルダー３４２の重さと第一の集光レンズ３６２の
重さとカンチレバー１１０の重さの合計に等しい。

【００４４】第一の駆動部３１０では、ｚ走査の際、下
側のｚ走査用アクチュエーター３１２と上側のｚ走査用
アクチュエーター３１４は互いに逆向きに等しく変位す
る。このため、一方のｚ走査用アクチュエーターの伸縮
動作のために第一の支持部材３１６が受ける衝撃は、他
方のｚ走査用アクチュエーターの伸縮動作によって打ち
消される。従って、走査型プローブ顕微鏡３００の走査
機構は振動の発生が少ない。

【００４５】第一の実施の形態の説明を参照し、これま
での説明から分かるように、本実施形態の走査型プロー
ブ顕微鏡は、第一の実施の形態の走査型プローブ顕微鏡
と同様に、レバースキャンタイプでありながら、走査を
より高速でより安定に行なえる。

【００４６】これまで、図面を参照しながら本発明の実
施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて様々な変形や変更が施されてもよい。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、レバースキャンタイプ
でありながら、走査をより高速でより安定に行なえる走
査型プローブ顕微鏡が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の走査型プローブ顕微鏡の第一の実施の
形態の縦断面図である。

【図２】図１に示される走査型プローブ顕微鏡の斜視図
である。

【図３】本発明の走査型プローブ顕微鏡の第二の実施の
形態の縦断面図である。

【符号の説明】

１００走査型プローブ顕微鏡１１０カンチレバー１２０走査機構１３０ｚ走査用駆動部１３２ｚ走査用アクチュエーター１３４ｚ走査用アクチュエーター１３６第一の支持部材１４２カンチレバーホルダー１４４錘１５０ｘ走査用駆動部１７０ｙ走査用駆動部２５０変位検出光学系

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レバースキャンタイプの走査型プローブ
顕微鏡であり、探針を自由端に備えるカンチレバーと、カンチレバーを走査するための走査機構と、走査機構を支持する支持機構と、カンチレバーの変位を検出するための変位検出光学系と
を有しており、走査機構は、カンチレバーを第一の軸に沿って移動させ
るための第一の駆動部と、カンチレバーを第一の駆動部
と共に第一の軸とは異なる第二の軸に沿って移動させる
ための第二の駆動部と、カンチレバーを第二の駆動部と
共に第一の軸と第二の軸とは異なる第三の軸に沿って移
動させるための第三の駆動部とを有しており、第一の駆動部は、一軸に沿って変位し得る一対の第一の
アクチュエーターと、これらを支持する第一の支持部材
とを有し、一対の第一のアクチュエーターは第一の支持
部材を間に挟んで面対照に配置されており、第一の駆動部は更に、カンチレバーを保持するためのカ
ンチレバーホルダーを有し、カンチレバーホルダーは一
方の第一のアクチュエーターの自由端に固定されてお
り、第一の駆動部は更に、他方の第一のアクチュエータ
ーの自由端に固定された錘を有し、錘の重さはカンチレ
バーホルダーの重さとほぼ同じである、走査型プローブ
顕微鏡。
【請求項２】請求項１において、走査機構は更に、第
一の支持部材を第二の軸に沿って案内するための第一の
案内機構を有している、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】請求項１において、第二の駆動部は、一軸に沿って変位し得る一つの第二の
アクチュエーターと、これを支持する第二の支持部材と
を有し、第一の支持部材は第二のアクチュエーターの自
由端に固定されている、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】請求項３において、走査機構は、さら
に、第二の支持部材を第三の軸に沿って案内するための
第二の案内機構を有している、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】請求項３において、第三の駆動部は、一軸に沿って変位し得る一つの第三の
アクチュエーターと、これを支持する第三の支持部材と
を有し、第二の支持部材は第三のアクチュエーターの自
由端に固定されており、支持機構は、第三の支持部を支える複数の支柱を有して
いる、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】請求項５において、第二の支持部材は第
一の軸に沿って延びる貫通孔を有しており、錘の設けら
れた第一のアクチュエーターは第二の支持部材の貫通孔
の中に延びている、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項７】請求項６において、第一の支持部材と第
三の支持部材は共に第一の軸に沿って延びる貫通孔を有
しており、変位検出光学系は第一の支持部材と第二の支
持部材と第三の支持部材の貫通孔を通してカンチレバー
の変位を光学的に検出する、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】請求項７において、第一のアクチュエー
ターは中空で、第一の軸に沿って延びる貫通孔を有して
おり、変位検出光学系は第一のアクチュエーターの貫通
孔を通してカンチレバーの変位を光学的に検出する、走
査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】請求項７において、第一のアクチュエー
ターは中実で、第一の支持部材の貫通孔の近くに配置さ
れている、走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１０】請求項１において、第一のアクチュエ
ーターと第二のアクチュエーターと第三のアクチュエー
ターはいずれも積層型圧電アクチュエーターである、走
査型プローブ顕微鏡。
【請求項１１】請求項２において、第一の案内機構は
微小球の滑り／転がり案内である、走査型プローブ顕微
鏡。
【請求項１２】請求項４において、第二の案内機構は
微小球の滑り／転がり案内である、走査型プローブ顕微
鏡。
【請求項１３】請求項２において、第一の案内機構
は、カンチレバーホルダーの設けられた第一のアクチュ
エーターを通すための開口を有する抑え板と、抑え板を
第二の支持部材に固定するための複数のねじと、第一の
支持部材と第二の支持部材の間にこれらに接して配置さ
れる複数の第一の微小球と、第一の支持部材と抑え板の
間にこれらに接して配置される複数の第二の微小球とを
有しており、第一の微小球と第二の微小球は共に抑え板
とねじによって保持されている、走査型プローブ顕微
鏡。
【請求項１４】請求項４において、第二の案内機構
は、第二のアクチュエーターを通すための開口を有する
抑え板と、抑え板を第三の支持部材に固定するための複
数のねじと、第二の支持部材と第三の支持部材の間にこ
れらに接して配置される複数の第一の微小球と、第二の
支持部材と抑え板の間にこれらに接して配置される複数
の第二の微小球とを有しており、第一の微小球と第二の
微小球は共に抑え板とねじによって保持されている、走
査型プローブ顕微鏡。