JP2003158315A - レーザ発振器の保持構造 - Google Patents
レーザ発振器の保持構造Info
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- JP2003158315A JP2003158315A JP2001355039A JP2001355039A JP2003158315A JP 2003158315 A JP2003158315 A JP 2003158315A JP 2001355039 A JP2001355039 A JP 2001355039A JP 2001355039 A JP2001355039 A JP 2001355039A JP 2003158315 A JP2003158315 A JP 2003158315A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ発振器の発熱あるいは外部温度にとも
なう前記ベースの熱変形や、運搬等の際にレーザ発振器
に震動が作用した場合にも、ベース上に保持されたレー
ザ発振器が所定の光路を適正に確保することができるレ
ーザ発振器の保持構造を提供すること。 【解決手段】 ホルダ10の光路方向の一端部をベース
8に対して所定の点を中心にして3次元方向に移動自在
に保持する第1保持手段26と、前記ホルダ10の前記
一端部に対向する光路方向の他端部を前記ベース8に対
してこのベース8と平行な同一平面上の全自由方向に所
定の自由度を有するように保持する第2保持手段33お
よび第3保持手段34とによって保持手段を形成したこ
と。
なう前記ベースの熱変形や、運搬等の際にレーザ発振器
に震動が作用した場合にも、ベース上に保持されたレー
ザ発振器が所定の光路を適正に確保することができるレ
ーザ発振器の保持構造を提供すること。 【解決手段】 ホルダ10の光路方向の一端部をベース
8に対して所定の点を中心にして3次元方向に移動自在
に保持する第1保持手段26と、前記ホルダ10の前記
一端部に対向する光路方向の他端部を前記ベース8に対
してこのベース8と平行な同一平面上の全自由方向に所
定の自由度を有するように保持する第2保持手段33お
よび第3保持手段34とによって保持手段を形成したこ
と。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器の保持構
造に係り、特に、レーザ加工装置に内蔵されたYAGレ
ーザ発振器等のレーザ発振器をベース上の所定位置に保
持するためのレーザ発振器の保持構造に関する。
造に係り、特に、レーザ加工装置に内蔵されたYAGレ
ーザ発振器等のレーザ発振器をベース上の所定位置に保
持するためのレーザ発振器の保持構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、図6に示すYAGレーザ発振
器等のレーザ発振器1においては、励起ランプ2からの
光によってYAGロッド3内の原子を励起させ、この励
起させた原子から放出されたレーザー光を、全反射ミラ
ー4、出力ミラー5および分岐ミラー9等を利用してレ
ンズ6側に導光し、このレーザ光を前記レンズ6によっ
て集光しつつ所定の出射ユニット7に進行させるように
なっていた。
器等のレーザ発振器1においては、励起ランプ2からの
光によってYAGロッド3内の原子を励起させ、この励
起させた原子から放出されたレーザー光を、全反射ミラ
ー4、出力ミラー5および分岐ミラー9等を利用してレ
ンズ6側に導光し、このレーザ光を前記レンズ6によっ
て集光しつつ所定の出射ユニット7に進行させるように
なっていた。
【0003】このようなレーザ発振器1においては、発
振器1の外部の光路を適正に確保する観点から、例えば
図示しないホルダ内にレーザ発振器1を保持するととも
に前記ホルダをボルト等の固定手段を介してベース8上
に固定するレーザ発振器1の保持構造が採用されてい
た。
振器1の外部の光路を適正に確保する観点から、例えば
図示しないホルダ内にレーザ発振器1を保持するととも
に前記ホルダをボルト等の固定手段を介してベース8上
に固定するレーザ発振器1の保持構造が採用されてい
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなレ
ーザ発振器1の保持構造においては、発振器1内の励起
ランプ2の発熱や外部温度によってベース8に熱変形が
生じる場合、このベース8上に保持されたレーザ発振器
1が当初の保持位置からずれてしまう。
ーザ発振器1の保持構造においては、発振器1内の励起
ランプ2の発熱や外部温度によってベース8に熱変形が
生じる場合、このベース8上に保持されたレーザ発振器
1が当初の保持位置からずれてしまう。
【0005】このため、レーザ発振器1から放出された
レーザ光の光路を適正に確保することができないとった
問題を有していた。
レーザ光の光路を適正に確保することができないとった
問題を有していた。
【0006】このような問題を解決するため、例えばレ
ーザ発振器1の保持構造全体を例えばインバー材等の温
度膨張係数が小さい材料によって形成することも考えら
れるが、この場合は、材料に要するコストが高価になっ
てしまう。
ーザ発振器1の保持構造全体を例えばインバー材等の温
度膨張係数が小さい材料によって形成することも考えら
れるが、この場合は、材料に要するコストが高価になっ
てしまう。
【0007】さらに、前述したレーザ発振器1の光路の
ずれは、特に、機器の運搬の際にレーザ発振器1に作用
する震動によって、レーザ発振器1がベース8から離間
する方向に揺動してベース8上の所定位置からずれてし
まうことによっても起こり得た。
ずれは、特に、機器の運搬の際にレーザ発振器1に作用
する震動によって、レーザ発振器1がベース8から離間
する方向に揺動してベース8上の所定位置からずれてし
まうことによっても起こり得た。
【0008】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
もので、レーザ発振器の発熱あるいは外部温度にともな
う前記ベースの熱変形や、運搬等の際にレーザ発振器に
震動が作用した場合にも、ベース上に保持されたレーザ
発振器が所定の光路を適正に確保することができるレー
ザ発振器の保持構造を提供することを目的とするもので
ある。
もので、レーザ発振器の発熱あるいは外部温度にともな
う前記ベースの熱変形や、運搬等の際にレーザ発振器に
震動が作用した場合にも、ベース上に保持されたレーザ
発振器が所定の光路を適正に確保することができるレー
ザ発振器の保持構造を提供することを目的とするもので
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の請求項1に係るレーザ発振器の保持構造の特徴
は、前記ホルダの前記光路方向の一端部を前記ベースに
対して所定の点を中心にして3次元方向に移動自在に保
持する第1保持手段と、前記ホルダの前記一端部に対向
する光路方向の他端部を前記ベースに対してこのベース
と平行な同一平面上の全自由方向に所定の自由度を有す
るように保持する第2保持手段および第3保持手段とに
よって前記保持手段を形成した点にある。
本発明の請求項1に係るレーザ発振器の保持構造の特徴
は、前記ホルダの前記光路方向の一端部を前記ベースに
対して所定の点を中心にして3次元方向に移動自在に保
持する第1保持手段と、前記ホルダの前記一端部に対向
する光路方向の他端部を前記ベースに対してこのベース
と平行な同一平面上の全自由方向に所定の自由度を有す
るように保持する第2保持手段および第3保持手段とに
よって前記保持手段を形成した点にある。
【0010】そして、このような構成を採用したことに
より、前記第1乃至第3保持手段からなる三つの保持手
段による三点保持によって前記レーザ発振器を前記ベー
スによる熱変形の方向にある程度の自由度を有するよう
に保持することができる。
より、前記第1乃至第3保持手段からなる三つの保持手
段による三点保持によって前記レーザ発振器を前記ベー
スによる熱変形の方向にある程度の自由度を有するよう
に保持することができる。
【0011】請求項2に係るレーザ発振器の保持構造の
特徴は、請求項1において、前記ホルダの前記他端部
に、この他端部による前記ベースから離間する方向への
揺動を一定の範囲内に規制するための規制手段を設けた
点にある。
特徴は、請求項1において、前記ホルダの前記他端部
に、この他端部による前記ベースから離間する方向への
揺動を一定の範囲内に規制するための規制手段を設けた
点にある。
【0012】そして、このような構成を採用したことに
より、前記規制手段によって運搬等の際にレーザ発振器
によるベースから離間する方向への揺動を一定範囲内に
規制することができるため、ホルダを介してベース上に
保持されたレーザ発振器が所定の光路を適正に確保する
ことができる。
より、前記規制手段によって運搬等の際にレーザ発振器
によるベースから離間する方向への揺動を一定範囲内に
規制することができるため、ホルダを介してベース上に
保持されたレーザ発振器が所定の光路を適正に確保する
ことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るレーザ発振器
の保持構造の実施形態を図1乃至図5を参照して説明す
る。
の保持構造の実施形態を図1乃至図5を参照して説明す
る。
【0014】なお、従来と基本的構成の同一もしくはこ
れに類する箇所については、同一の符号を用いて説明す
る。
れに類する箇所については、同一の符号を用いて説明す
る。
【0015】図1乃至図5に示すように、本実施形態に
おけるレーザ発振器1の保持構造は、レーザ加工機の底
部に、レーザ発振器1を保持するための平板状のベース
8を有しており、このベース8上には、レーザ発振器1
をその光路側の両端部を介して保持するためのホルダ1
0が配設されている。
おけるレーザ発振器1の保持構造は、レーザ加工機の底
部に、レーザ発振器1を保持するための平板状のベース
8を有しており、このベース8上には、レーザ発振器1
をその光路側の両端部を介して保持するためのホルダ1
0が配設されている。
【0016】前記ホルダ10は、レーザ発振器1の光路
方向に所定の間隔を設けて前記ベース8に直交する平板
状の一対の保持フレーム11,12を有しており、両保
持フレーム11,12は、光路方向に沿って長尺とされ
た複数本(図3において3本)の連結シャフト14によ
って互いに連結されている。前記連結シャフト14は、
好ましくはインバー材等の熱膨張率の小さな材料によっ
て形成されている。
方向に所定の間隔を設けて前記ベース8に直交する平板
状の一対の保持フレーム11,12を有しており、両保
持フレーム11,12は、光路方向に沿って長尺とされ
た複数本(図3において3本)の連結シャフト14によ
って互いに連結されている。前記連結シャフト14は、
好ましくはインバー材等の熱膨張率の小さな材料によっ
て形成されている。
【0017】以下、前記一対の保持フレーム11,12
のうち、右側に示すL字状の一方の保持フレーム12
を、レーザ光の出射位置に近い下流側保持フレーム12
と称し、左側に示す他方11を上流側保持フレーム11
と称する。
のうち、右側に示すL字状の一方の保持フレーム12
を、レーザ光の出射位置に近い下流側保持フレーム12
と称し、左側に示す他方11を上流側保持フレーム11
と称する。
【0018】前記一対の保持フレーム11,12の内側
には、レーザ発振器1の光路方向の両端面を当接させて
保持するための、上流側保持板15および下流側保持板
16からなる一対の保持板15,16が配設されてい
る。
には、レーザ発振器1の光路方向の両端面を当接させて
保持するための、上流側保持板15および下流側保持板
16からなる一対の保持板15,16が配設されてい
る。
【0019】両保持板15,16の内側面には、レーザ
発振器1を当接保持する際の複数の位置決め部18が、
フレーム内側に突出するように形成されている。
発振器1を当接保持する際の複数の位置決め部18が、
フレーム内側に突出するように形成されている。
【0020】前記下流側保持板16と、前記下流側保持
フレーム12とは、例えばコイルバネ等の保持板付勢部
材19を介して互いに連結されており、この保持板付勢
部材19によって前記下流側保持板16が前記下流側保
持フレーム12の方向に付勢されるようになっている。
フレーム12とは、例えばコイルバネ等の保持板付勢部
材19を介して互いに連結されており、この保持板付勢
部材19によって前記下流側保持板16が前記下流側保
持フレーム12の方向に付勢されるようになっている。
【0021】また、前記下流側保持板16と前記下流側
保持フレーム12との間には、前記下流側保持板16に
よるレーザ発振器1の保持力を調整するための調整手段
が配設されている。
保持フレーム12との間には、前記下流側保持板16に
よるレーザ発振器1の保持力を調整するための調整手段
が配設されている。
【0022】この調整手段は、前記下流側保持フレーム
12の外側に、締結方向への回転動作にともなってフレ
ーム内側へ螺進可能とされた複数個の調整用締結部材2
0を有しており、これらの調整用締結部材20によっ
て、前記下流側保持板16を前記保持板付勢部材19に
よる付勢力に抗するフレーム内側方向へ押動可能とされ
ている。なお、前記調整用締結部材20は、例えば、調
整ネジや六角穴付きネジ等であってもよい。
12の外側に、締結方向への回転動作にともなってフレ
ーム内側へ螺進可能とされた複数個の調整用締結部材2
0を有しており、これらの調整用締結部材20によっ
て、前記下流側保持板16を前記保持板付勢部材19に
よる付勢力に抗するフレーム内側方向へ押動可能とされ
ている。なお、前記調整用締結部材20は、例えば、調
整ネジや六角穴付きネジ等であってもよい。
【0023】また、前記調整手段は、前記調整用締結部
材20による下流側保持板16の押圧の際の位置決めを
行うための位置決め機構を有している。この位置決め機
構は、例えば、調整用締結部材20の先端部に鋼球22
を設けるとともに、この鋼球22を摺接保持するニード
ル23を前記下流側保持板16に配設することによって
形成するようにしてもよい。また、これに限らず、前記
調整用締結部材20の先端部を摺接保持する円筒コロ2
4を前記下流側保持板16に設けることによって形成す
るようにしてもよい。
材20による下流側保持板16の押圧の際の位置決めを
行うための位置決め機構を有している。この位置決め機
構は、例えば、調整用締結部材20の先端部に鋼球22
を設けるとともに、この鋼球22を摺接保持するニード
ル23を前記下流側保持板16に配設することによって
形成するようにしてもよい。また、これに限らず、前記
調整用締結部材20の先端部を摺接保持する円筒コロ2
4を前記下流側保持板16に設けることによって形成す
るようにしてもよい。
【0024】一方、前記上流側保持板15も、図1およ
び図2には示していないが、前記下流側保持板16と同
様に、保持板付勢部材19等によって上流側保持フレー
ム11に連結されており、レーザ発振器1を保持する際
には、この上流側保持板15と前記上流側保持フレーム
11との間に配設された前記調整手段と同様の調整手段
によってフレーム内側へ押圧されるようになっている。
このため、前記上流側保持板15と同様に、前記レーザ
発振器1に対して所定の保持力を付与することができる
ようになっている。
び図2には示していないが、前記下流側保持板16と同
様に、保持板付勢部材19等によって上流側保持フレー
ム11に連結されており、レーザ発振器1を保持する際
には、この上流側保持板15と前記上流側保持フレーム
11との間に配設された前記調整手段と同様の調整手段
によってフレーム内側へ押圧されるようになっている。
このため、前記上流側保持板15と同様に、前記レーザ
発振器1に対して所定の保持力を付与することができる
ようになっている。
【0025】そして、本実施形態におけるレーザ発振器
1の保持構造は、前記上流側保持フレーム11を前記ベ
ース8に対して所定の点を中心にして3次元方向に移動
自在に保持する第1保持手段26を有している。
1の保持構造は、前記上流側保持フレーム11を前記ベ
ース8に対して所定の点を中心にして3次元方向に移動
自在に保持する第1保持手段26を有している。
【0026】この第1保持手段26は、図1、図2およ
び図4に示すように、前記上流側保持フレーム11の光
路方向外側のベース8上であって前記上流側保持フレー
ム11の前記光路方向に直交する幅方向中央部に対峙す
る位置に、球形の外周面を有する被摺接部材27を有し
ており、この被摺接部材27は、例えばボルト等の固定
手段28によって前記ベース8上に固定されている。そ
して、前記上流側保持フレーム11の幅方向中央部に
は、前記被摺接部材27とともに第1保持手段26を構
成する摺接部材29が、前記被摺接部材27の方向に突
出するように配設されている。
び図4に示すように、前記上流側保持フレーム11の光
路方向外側のベース8上であって前記上流側保持フレー
ム11の前記光路方向に直交する幅方向中央部に対峙す
る位置に、球形の外周面を有する被摺接部材27を有し
ており、この被摺接部材27は、例えばボルト等の固定
手段28によって前記ベース8上に固定されている。そ
して、前記上流側保持フレーム11の幅方向中央部に
は、前記被摺接部材27とともに第1保持手段26を構
成する摺接部材29が、前記被摺接部材27の方向に突
出するように配設されている。
【0027】この摺接部材29は、前記上流側保持フレ
ーム11にボルト等を介して連結された軸部30を有し
ており、この軸部30の先端部には、前記被摺接部材2
7の外周に沿って球状の内周面を有する環状の摺接部3
1が、前記被摺接部材27の外周面を囲繞するように形
成されている。
ーム11にボルト等を介して連結された軸部30を有し
ており、この軸部30の先端部には、前記被摺接部材2
7の外周に沿って球状の内周面を有する環状の摺接部3
1が、前記被摺接部材27の外周面を囲繞するように形
成されている。
【0028】このため、前記上流側保持フレーム11
を、前記ベース8に対して所定の点を中心にして3次元
方向に移動自在に保持することができるようになってい
る。
を、前記ベース8に対して所定の点を中心にして3次元
方向に移動自在に保持することができるようになってい
る。
【0029】また、本実施形態におけるレーザ発振器1
の保持構造は、前記下流側保持フレーム12を前記ベー
ス8に対して前記光路方向と平行な同一平面上の全自由
方向に所定の自由度を有するように保持する第2保持手
段33および第3保持手段34を有している(図1およ
び図3参照)。
の保持構造は、前記下流側保持フレーム12を前記ベー
ス8に対して前記光路方向と平行な同一平面上の全自由
方向に所定の自由度を有するように保持する第2保持手
段33および第3保持手段34を有している(図1およ
び図3参照)。
【0030】すなわち、前記下流側保持フレーム12に
は、前記第2および第3保持手段33,34を取り付け
るための取付板35がフレームの外側に延出するように
形成されており、この取付板35の幅方向一端部の近傍
には、第2保持手段33の一部を構成する第2保持側調
整ネジ36が、前記取付板35に直交するように配設さ
れている。前記第2保持側調整ネジ36は、取付板35
に形成された雌ネジ35aを介して取付板35の上面か
ら下面を経てベース8側に螺進可能とされており、この
第2保持側調整ネジ36の先端部には、摺接用の鋼球3
7が形成されている。
は、前記第2および第3保持手段33,34を取り付け
るための取付板35がフレームの外側に延出するように
形成されており、この取付板35の幅方向一端部の近傍
には、第2保持手段33の一部を構成する第2保持側調
整ネジ36が、前記取付板35に直交するように配設さ
れている。前記第2保持側調整ネジ36は、取付板35
に形成された雌ネジ35aを介して取付板35の上面か
ら下面を経てベース8側に螺進可能とされており、この
第2保持側調整ネジ36の先端部には、摺接用の鋼球3
7が形成されている。
【0031】そして、前記ベース8の、前記第2保持側
調整ネジ36の配設位置に対応する位置には、前記第2
保持側調整ネジ36とともに第2保持手段33を構成す
るニードル38が配設されており、このニードル38に
は、前記第2保持側調節ネジ36が前記鋼球37を介し
て摺接するようになっている。また、前記ニードル38
には、前記第2保持側調整ネジ36を介してこの第2保
持側調整ネジ36に螺合された前記下流側保持フレーム
12の自重が作用するようになっている。
調整ネジ36の配設位置に対応する位置には、前記第2
保持側調整ネジ36とともに第2保持手段33を構成す
るニードル38が配設されており、このニードル38に
は、前記第2保持側調節ネジ36が前記鋼球37を介し
て摺接するようになっている。また、前記ニードル38
には、前記第2保持側調整ネジ36を介してこの第2保
持側調整ネジ36に螺合された前記下流側保持フレーム
12の自重が作用するようになっている。
【0032】このため、前記鋼球37とニードル38と
の摺接によって保持位置を適正に確保しつつ前記下流側
保持フレーム12を自重を介してベース8上に保持する
ことができるようになっている。また、前記第2保持側
調整ネジ36を前記鋼球37を介してニードル38に摺
接させることができるため、前記第2保持側調整ネジ3
6に螺合された下流側保持フレーム12が、ベース8に
平行な同一平面上の全自由方向に所定の自由度を有する
ことができるようになっている。さらに、前記第2保持
側調整ネジ36を締結方向に回転させてこの第2保持側
調整ネジ36をベース8方向に螺進させると、この第2
保持側調整ネジ36の螺進にともなって前記下流側保持
フレーム12が前記ベース8から離間する上方へ移動す
るようになっている。このため、第2保持側調整ネジ3
6の回転によって下流側保持フレーム12の高さを調整
することができるようになっている。
の摺接によって保持位置を適正に確保しつつ前記下流側
保持フレーム12を自重を介してベース8上に保持する
ことができるようになっている。また、前記第2保持側
調整ネジ36を前記鋼球37を介してニードル38に摺
接させることができるため、前記第2保持側調整ネジ3
6に螺合された下流側保持フレーム12が、ベース8に
平行な同一平面上の全自由方向に所定の自由度を有する
ことができるようになっている。さらに、前記第2保持
側調整ネジ36を締結方向に回転させてこの第2保持側
調整ネジ36をベース8方向に螺進させると、この第2
保持側調整ネジ36の螺進にともなって前記下流側保持
フレーム12が前記ベース8から離間する上方へ移動す
るようになっている。このため、第2保持側調整ネジ3
6の回転によって下流側保持フレーム12の高さを調整
することができるようになっている。
【0033】さらに、前記取付板35には、前記第2保
持側調整ネジ36の回転を係止する第2保持側止めネジ
39が前記第2保持側調整ネジ36に対してネジ軸に直
交する方向から当接可能に配設されており、この第2保
持側止めネジ39によって第2保持側調整ネジ36を係
止することにより、前記下流側保持フレーム12を所定
の高さに保持することができるようになっている。
持側調整ネジ36の回転を係止する第2保持側止めネジ
39が前記第2保持側調整ネジ36に対してネジ軸に直
交する方向から当接可能に配設されており、この第2保
持側止めネジ39によって第2保持側調整ネジ36を係
止することにより、前記下流側保持フレーム12を所定
の高さに保持することができるようになっている。
【0034】一方、前記第2保持手段が配設された前記
取付板の幅方向の一端部近傍に対向する幅方向の他端部
の近傍には、第3保持手段34の一部を構成する第3保
持側調整ネジ41が、前記取付板35に直交するように
配設されている。前記第3保持側調整ネジ41は、取付
板35に形成された雌ネジ35bを介して取付板35の
上面から下面を経てベース8側に螺進可能とされてい
る。そして、前記ベース8の、前記第3保持側調整ネジ
41の配設位置に対応する位置には、前記第3保持側調
整ネジ41とともに前記第3保持手段34を構成する円
筒コロ42が配設されており、この円筒コロ42の内周
面には、前記第3保持側調整ネジ41の先端部が摺接す
るようになっている。また、前記円筒コロ42には、前
記第3保持側調整ネジ41を介して前記下流側保持フレ
ーム12の自重が作用するようになっている。
取付板の幅方向の一端部近傍に対向する幅方向の他端部
の近傍には、第3保持手段34の一部を構成する第3保
持側調整ネジ41が、前記取付板35に直交するように
配設されている。前記第3保持側調整ネジ41は、取付
板35に形成された雌ネジ35bを介して取付板35の
上面から下面を経てベース8側に螺進可能とされてい
る。そして、前記ベース8の、前記第3保持側調整ネジ
41の配設位置に対応する位置には、前記第3保持側調
整ネジ41とともに前記第3保持手段34を構成する円
筒コロ42が配設されており、この円筒コロ42の内周
面には、前記第3保持側調整ネジ41の先端部が摺接す
るようになっている。また、前記円筒コロ42には、前
記第3保持側調整ネジ41を介して前記下流側保持フレ
ーム12の自重が作用するようになっている。
【0035】このため、前記第3保持側調整ネジ41と
前記円筒コロ42との摺接によって保持位置を適正に確
保しつつ前記下流側保持フレーム12を自重を介してベ
ース8上に保持することができるようになっている。ま
た、前記第3保持側調整ネジ41を前記円筒コロ42の
内周面に摺接させることができるため、前記第3保持側
調整ネジ41に螺合された前記下流側保持フレーム12
が、前記ベース8に平行な同一平面上の全自由方向に所
定の自由度を有することができるようになっている。さ
らに、前記第3保持側調整ネジ41を締結方向に回転さ
せてこの第3保持側調整ネジ41をベース8側に螺進さ
せると、この第3保持側調整ネジ41の螺進にともなっ
て前記下流側保持フレーム12が前記ベース8から離間
する上方へ移動するようになっている。このため、前記
第3保持側調整ネジ41の回転によって前記下流側保持
フレーム12の高さを調整することができるようになっ
ている。
前記円筒コロ42との摺接によって保持位置を適正に確
保しつつ前記下流側保持フレーム12を自重を介してベ
ース8上に保持することができるようになっている。ま
た、前記第3保持側調整ネジ41を前記円筒コロ42の
内周面に摺接させることができるため、前記第3保持側
調整ネジ41に螺合された前記下流側保持フレーム12
が、前記ベース8に平行な同一平面上の全自由方向に所
定の自由度を有することができるようになっている。さ
らに、前記第3保持側調整ネジ41を締結方向に回転さ
せてこの第3保持側調整ネジ41をベース8側に螺進さ
せると、この第3保持側調整ネジ41の螺進にともなっ
て前記下流側保持フレーム12が前記ベース8から離間
する上方へ移動するようになっている。このため、前記
第3保持側調整ネジ41の回転によって前記下流側保持
フレーム12の高さを調整することができるようになっ
ている。
【0036】さらに、前記取付板35には、前記第3保
持側調整ネジ41の回転を係止する第3保持側止めネジ
43が前記第3保持側調整ネジ41に対してネジ軸に直
交する方向から当接可能に配設されており、この第3保
持側止めネジ43によって第3保持側調整ネジ41を係
止することにより、前記下流側保持フレーム12を所定
の高さに保持することができるようになっている。
持側調整ネジ41の回転を係止する第3保持側止めネジ
43が前記第3保持側調整ネジ41に対してネジ軸に直
交する方向から当接可能に配設されており、この第3保
持側止めネジ43によって第3保持側調整ネジ41を係
止することにより、前記下流側保持フレーム12を所定
の高さに保持することができるようになっている。
【0037】さらに、本実施形態におけるレーザ発振器
1の保持機構は、前記下流側保持フレーム12の幅方向
中央部に、下流側保持フレーム12による前記ベース8
から離間する方向への揺動を一定の範囲内に規制するた
めの規制手段45を有している。
1の保持機構は、前記下流側保持フレーム12の幅方向
中央部に、下流側保持フレーム12による前記ベース8
から離間する方向への揺動を一定の範囲内に規制するた
めの規制手段45を有している。
【0038】前記規制手段45は、図3に示すように、
取付板35に穿設された貫通孔46を介してベース8側
に貫通された規制側軸部47を有している。前記規制側
軸部47の下端部には、この規制側軸部47よりもわず
かに小径とされ、外周に所定のネジ山が形成されたネジ
部48が形成されており、このネジ部48を介して規制
手段45がベース8に螺合されるようになっている。ま
た、前記規制側軸部47の上端部には、この規制側軸部
47よりもわずかに径が大きく形成された円盤状の付勢
部材保持部49が形成されている。
取付板35に穿設された貫通孔46を介してベース8側
に貫通された規制側軸部47を有している。前記規制側
軸部47の下端部には、この規制側軸部47よりもわず
かに小径とされ、外周に所定のネジ山が形成されたネジ
部48が形成されており、このネジ部48を介して規制
手段45がベース8に螺合されるようになっている。ま
た、前記規制側軸部47の上端部には、この規制側軸部
47よりもわずかに径が大きく形成された円盤状の付勢
部材保持部49が形成されている。
【0039】前記取付板35の、前記貫通孔46の上部
に対応する位置には、前記貫通孔46と同心とされると
ともに貫通孔46よりも径が大きな円形の凹部50が、
取付板35の上面から下面側に向かって所定の深さにわ
たって形成されている。そして、この凹部50の端面5
0aには、前記規制側軸部47の外周を囲繞するように
して、コイルバネ等の規制用付勢部材51がその下端部
を固定されており、この規制用付勢部材51の上端部
は、上方に位置する前記付勢部材保持部49の下面に固
定されている。従って、前記規制用付勢部材51の付勢
力を介して前記下流側保持フレーム12が下方向となる
ベース8側に付勢されるようになっている。
に対応する位置には、前記貫通孔46と同心とされると
ともに貫通孔46よりも径が大きな円形の凹部50が、
取付板35の上面から下面側に向かって所定の深さにわ
たって形成されている。そして、この凹部50の端面5
0aには、前記規制側軸部47の外周を囲繞するように
して、コイルバネ等の規制用付勢部材51がその下端部
を固定されており、この規制用付勢部材51の上端部
は、上方に位置する前記付勢部材保持部49の下面に固
定されている。従って、前記規制用付勢部材51の付勢
力を介して前記下流側保持フレーム12が下方向となる
ベース8側に付勢されるようになっている。
【0040】また、前記規制側軸部47の外周であって
前記規制用付勢部材51の内側には、長手方向の寸法が
前記凹部50の端面50aから前記付勢部材保持部49
の下端面に至る長さよりもわずかに短く形成された円筒
状のカラー53が遊嵌されている。
前記規制用付勢部材51の内側には、長手方向の寸法が
前記凹部50の端面50aから前記付勢部材保持部49
の下端面に至る長さよりもわずかに短く形成された円筒
状のカラー53が遊嵌されている。
【0041】従って、前記規制用付勢部材51および前
記カラー53によって前記下流側保持フレーム12によ
る前記ベース8から離間する上方向への揺動を一定の範
囲内に規制することができるようになっている。
記カラー53によって前記下流側保持フレーム12によ
る前記ベース8から離間する上方向への揺動を一定の範
囲内に規制することができるようになっている。
【0042】さらに、本実施形態においては、前記上流
側保持フレーム11および前記下流側保持フレーム12
によって形成されたホルダ10を、前記第1乃至第3保
持手段26,33,34からなるホルダ10の保持のた
めの必要最小限の数の保持手段によって三点保持するよ
うになっているため、ホルダ10が当初の保持位置を確
保すべくベース8の熱変形に柔軟に対応することができ
るようになっている。
側保持フレーム11および前記下流側保持フレーム12
によって形成されたホルダ10を、前記第1乃至第3保
持手段26,33,34からなるホルダ10の保持のた
めの必要最小限の数の保持手段によって三点保持するよ
うになっているため、ホルダ10が当初の保持位置を確
保すべくベース8の熱変形に柔軟に対応することができ
るようになっている。
【0043】次に、本実施形態の作用について説明す
る。
る。
【0044】本実施形態においては、ホルダ10に保持
されたレーザ発振器1の発熱や外部の熱によってベース
8に熱変形が生じたとしても、前記第1保持手段26に
よって前記上流側保持フレーム12を所定の点を中心に
して3次元方向に移動自在に保持している。このため、
この上流側保持フレーム12が熱変形によるベース8の
変形方向に抗する方向へ微少な移動を行うことができ、
ベース8の熱変形を吸収することができる。
されたレーザ発振器1の発熱や外部の熱によってベース
8に熱変形が生じたとしても、前記第1保持手段26に
よって前記上流側保持フレーム12を所定の点を中心に
して3次元方向に移動自在に保持している。このため、
この上流側保持フレーム12が熱変形によるベース8の
変形方向に抗する方向へ微少な移動を行うことができ、
ベース8の熱変形を吸収することができる。
【0045】また、前記第2保持手段33および前記第
3保持手段34によって前記下流側保持フレーム12を
前記ベース8に平行な同一平面上の全自由方向に所定の
自由度を有した状態に保持しているため、下流側保持フ
レーム12がベース8の変形方向に抗する方向へ微少な
移動を行うことができ、ベース8の熱変形による影響を
回避することができる。
3保持手段34によって前記下流側保持フレーム12を
前記ベース8に平行な同一平面上の全自由方向に所定の
自由度を有した状態に保持しているため、下流側保持フ
レーム12がベース8の変形方向に抗する方向へ微少な
移動を行うことができ、ベース8の熱変形による影響を
回避することができる。
【0046】このため、前記上流側保持フレーム11お
よび前記下流側保持フレーム12からなるホルダ10が
ベース8の熱変形を解消するように柔軟に対応すること
ができるため、このホルダ10に保持された前記レーザ
発振器1が当初に設定された光路を適正に確保すること
ができる。
よび前記下流側保持フレーム12からなるホルダ10が
ベース8の熱変形を解消するように柔軟に対応すること
ができるため、このホルダ10に保持された前記レーザ
発振器1が当初に設定された光路を適正に確保すること
ができる。
【0047】また、このようなホルダ10の保持を、第
1乃至第3保持手段26,33,34からなる必要最小
限の数の保持手段によって実現することができるため、
ベース8の熱変形にさらに柔軟に対処することができ
る。
1乃至第3保持手段26,33,34からなる必要最小
限の数の保持手段によって実現することができるため、
ベース8の熱変形にさらに柔軟に対処することができ
る。
【0048】さらに、本実施形態においては、レーザ加
工機の運搬あるいは駆動の際に加工機に作用する震動に
よって前記ホルダ10による前記ベース8から離間する
方向への揺動が生じたとしても、前記規制手段45の規
制用付勢部材51およびカラー53によって前記ホルダ
10の下流側保持フレーム12の揺動を一定範囲に規制
することができる。このため、ホルダ10の揺動によっ
てこのホルダ10に保持されたレーザ発振器1が所定位
置からずれることを防止することができ、レーザ発振器
1の当初の光路を適正に確保することができる。
工機の運搬あるいは駆動の際に加工機に作用する震動に
よって前記ホルダ10による前記ベース8から離間する
方向への揺動が生じたとしても、前記規制手段45の規
制用付勢部材51およびカラー53によって前記ホルダ
10の下流側保持フレーム12の揺動を一定範囲に規制
することができる。このため、ホルダ10の揺動によっ
てこのホルダ10に保持されたレーザ発振器1が所定位
置からずれることを防止することができ、レーザ発振器
1の当初の光路を適正に確保することができる。
【0049】したがって、本実施形態によれば、前記第
1乃至第3保持手段26,33,34からなる保持手段
によって前記ホルダ10をベース8に対して所定の自由
度を有した状態に保持することができるため、ホルダ1
0がベース8の熱変形を有効に吸収することができ、こ
のホルダ10に保持されたレーザ発振器1が当初に設定
された光路を適正に確保することができる。
1乃至第3保持手段26,33,34からなる保持手段
によって前記ホルダ10をベース8に対して所定の自由
度を有した状態に保持することができるため、ホルダ1
0がベース8の熱変形を有効に吸収することができ、こ
のホルダ10に保持されたレーザ発振器1が当初に設定
された光路を適正に確保することができる。
【0050】また、前記規制手段45によって前記ホル
ダ10による前記ベース8から離間する方向への揺動を
一定の範囲内に規制することができるため、特に運搬の
際にホルダ10に位置ずれが生じることを防止すること
ができ、このホルダ10に保持されたレーザ発振器1の
光路をさらに適正に確保することができる。
ダ10による前記ベース8から離間する方向への揺動を
一定の範囲内に規制することができるため、特に運搬の
際にホルダ10に位置ずれが生じることを防止すること
ができ、このホルダ10に保持されたレーザ発振器1の
光路をさらに適正に確保することができる。
【0051】なお、本発明は前記実施形態のものに限定
されるものではなく、必要に応じて種々変更することが
可能である。
されるものではなく、必要に応じて種々変更することが
可能である。
【0052】
【発明の効果】以上述べたように本発明に係るレーザ発
振器によれば、ベースの熱変形や運搬の際に装置に作用
する震動にかかわらずレーザ発振器の光路を適正に確保
することができる。
振器によれば、ベースの熱変形や運搬の際に装置に作用
する震動にかかわらずレーザ発振器の光路を適正に確保
することができる。
【図1】本発明に係るレーザ発振器の保持構造の実施形
態を示す平面図
態を示す平面図
【図2】本発明に係るレーザ発振器の保持構造の実施形
態を示す正面側断面図
態を示す正面側断面図
【図3】本発明に係るレーザ発振器の保持構造の実施形
態を示す右側断面図
態を示す右側断面図
【図4】本発明に係るレーザ発振器の保持構造の実施形
態を示す左側断面図
態を示す左側断面図
【図5】本発明に係るレーザ発振器の保持構造の実施形
態を示す図1の5−5断面図
態を示す図1の5−5断面図
【図6】従来から採用されているレーザ発振器を搭載し
たレーザ加工装置を示した概略図
たレーザ加工装置を示した概略図
1 レーザ発振器
10 ホルダ
26 第1保持手段
33 第2保持手段
34 第3保持手段
45 規制手段
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザ発振器をその光路方向の両端部を
介して保持するホルダを有し、このホルダを保持手段を
介して前記ベース上に保持してなるレーザ発振器の保持
構造において、 前記ホルダの前記光路方向の一端部を前記ベースに対し
て所定の点を中心にして3次元方向に移動自在に保持す
る第1保持手段と、前記ホルダの前記一端部に対向する
光路方向の他端部を前記ベースに対してこのベースと平
行な同一平面上の全自由方向に所定の自由度を有するよ
うに保持する第2保持手段および第3保持手段とによっ
て前記保持手段を形成したことを特徴とするレーザ発振
器の保持構造。 - 【請求項2】 前記ホルダの前記他端部に、この他端部
による前記ベースから離間する方向への揺動を一定の範
囲内に規制するための規制手段を設けたことを特徴とす
る請求項1に記載のレーザ発振器の保持構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001355039A JP2003158315A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | レーザ発振器の保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001355039A JP2003158315A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | レーザ発振器の保持構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003158315A true JP2003158315A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19166799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001355039A Pending JP2003158315A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | レーザ発振器の保持構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003158315A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005056229A1 (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ加工装置 |
JP2007329260A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振装置 |
-
2001
- 2001-11-20 JP JP2001355039A patent/JP2003158315A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005056229A1 (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ加工装置 |
JP2005169476A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工装置 |
US7777772B2 (en) | 2003-12-12 | 2010-08-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser processing device |
KR101167328B1 (ko) * | 2003-12-12 | 2012-07-19 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 레이저 가공 장치 |
JP2007329260A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070410 |