JP2003156614A - パタン形成方法、光学部品、及び、光学部品の製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 紫外線硬化樹脂のプラスチック材に微細で高
アスペクトの微細なパタンを形成する方法、及びそのよ
うなパタンを備える光学部品、並びに、その製造方法を
提供すること。 【解決手段】 パタン形成方法を、基板上に感光性樹脂
のパタンを形成し、感光性樹脂のパタン上に紫外線硬化
樹脂層を密着させて形成して紫外線硬化樹脂層に感光性
樹脂のパタンを転写させ、その紫外線硬化樹脂層に紫外
線を照射して硬化させた後に紫外線硬化樹脂層を基板か
ら剥離する構成とした。また、このパタン形成方法でパ
タン形成された紫外線硬化樹脂層を光学構造材に備えて
光学部品を構成することとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パタン形成方法、
光学部品、及び、光学部品の製造方法に関し、より詳細
には、回折格子やフレネルゾーンプレートに代表される
回折光学素子のような微細パタンの形成方法、及び微細
パタンを備える光学部品、並びに、光学部品の製作方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】回折格子やフレネルゾーンプレートに代
表される光学部品は、特定の屈折率の光学膜表面上に規
則的な微細パタンを形成したものであり、どのようなパ
タンを作製するかによって、レンズ、分合波、波長フィ
ルタ等の機能をもたせることが可能である。例えば、回
折格子は一定幅の直線ラインパタンの集合であり、フレ
ネルゾーンプレートは半径が大きくなるに従ってライン
幅が次第に狭くなる同心円パタンの集合である。

【０００３】このような回折光学素子を作製するために
は２つの方法が知られており、その１つは、ルーリング
エンジンと呼ばれる工作機械を用いる方法である。ルー
リングエンジンは、精密ステージに工具を取り付けて往
復運動をさせ、ステージ上に載置した基板を所定の間隔
で送りながら溝を刻む刻線機である。ルーリングエンジ
ンの開発当初は、基板送りが送りねじの精度に依存して
いたために微細加工が困難であったが、最近では、ステ
ージ位置をその場で正確に測定可能とする光波干渉計と
サーボ技術の進展によってサブミクロンレベルでの格子
溝配列加工が可能となっている。

【０００４】回折光学素子のもう一つの作製方法は、近
年の半導体集積回路製造で目覚しい進展を遂げてきたリ
ソグラフィ技術とドライエッチング技術とを用いる方法
である。リソグラフィー技術としては、レーザの２光束
干渉を利用する「ホログラフィック露光法」や、微小径
に収束させた電子ビームを用いる「電子ビーム描画法」
が採用され、これらの方法で基板上に感光樹脂パタンを
形成し、この感光樹脂パタンをマスクにして基板をドラ
イエッチングして格子溝を形成する。

【０００５】このようなルーリングエンジンやリソグラ
フィを用いるいずれかの方法によって、光学ガラスを直
接加工して回折光学素子を得ることも可能であるが、最
近では、これらの方法を用いて金型を作製し、プラスチ
ックを射出成形して回折光学素子を量産する方法が用い
られている。ここで金型とは、回折光学素子のパタンと
はその凹凸が反転した原版のことで、射出成型時の高温
に耐え得る硬い金属、例えばＮｉやステンレス鋼等で作
製される。

【０００６】図５は、射出成形の原理を説明するための
図で、先ず図５（ａ）に示した金型５１を用意し、図５
（ｂ）に示したように金型５１に高温で溶解したプラス
チック材５２を注入部材５３を介して流し込み、最後に
図５（ｃ）に示したように冷却されてある程度固まった
プラスチック材を金型５１から離型して所望の形状のプ
ラスチック５４を得る方法で、ルーリングエンジンやリ
ソグラフィ技術の進展によって高精度な金型が作製でき
るようになったことと、射出成形技術の進展によって精
度の良い複製品が安価に作製できるようになったことか
ら利用範囲が急激に拡大し、バーコードリーダの読み取
り機構部品やコンパクトディスク用のピックアップ機構
部品等に多用されている方法である。また、最近では光
学特性が安定したプラスチック材が開発されてその用途
が益々広がりつつある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】近年では、微細パタン
を備える光学部品の適用領域が拡大するにつれて、この
微細パタンに高度な光学機能を持たせるようになってき
た。このため、パタン形状や品質に対する要求が厳しく
なってきており、例えば、ライン幅が２００ｎｍ以下の
格子パタンや、深さ数μｍの溝パタンの精度を１０ｎｍ
以下に押さえることが要求されたり、アスペクト比（高
さと幅の比）が１０以上の溝パタン加工が要求されたり
している。

【０００８】しかしながら、ルーリングエンジンのよう
な機械加工でこのようなアスペクト比の大きな微細パタ
ンが施された金型を作製するのは非常に難しく、また、
高精度の微細パタンを得るためには、基板や環境の温度
を高精度で制御する技術が要求されるという問題もあ
る。

【０００９】一方、リソグラフィ技術とドライエッチン
グ技術を用いる方法によれば、１００ｎｍ以下幅でアス
ペクト比が１０の微細パタン形成が可能であり、高精度
の金型の作製可能性があるものの、例えアスペクト比の
大きな微細パタンを施した金型が得られたとしても、射
出成型のプロセスで溶融したプラスチック材を金型の微
細パタンに確実に埋め込ませるのが難しく、更に、アス
ペクト比が大きい場合には離型時にプラスチック材が破
壊されるため、射出成形によって精度の高いプラスチッ
ク部品を作製することは容易ではない。射出成形は、通
常、離型し易い材料を金型表面に形成する技術が多用さ
れているが、上述したような微細パタンをもつ金型では
その材料の厚さだけ寸法や深さが変化するので、表面に
皮膜を形成することはできず、射出成形で安定して形成
できるのは、一般には、幅が２００ｎｍ以上でアスペク
ト比が１／２程度のパタンまでとされている。

【００１０】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、金型を一切用いず
にリソグラフィ技術と紫外線硬化樹脂を用いてプラスチ
ック材に微細で高アスペクトの微細なパタンを形成する
方法、及びそのようなパタンを備える高性能の光学部
品、並びに、その製造方法を提供するところにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、紫外線
硬化樹脂層のパタン形成方法であって、基板上に感光性
樹脂のパタンを形成する第１の工程と、該感光性樹脂の
パタン上に紫外線硬化樹脂層を密着させて形成し該紫外
線硬化樹脂層に前記感光性樹脂のパタンを転写させる第
２の工程と、該パタン転写された紫外線硬化樹脂層に紫
外線を照射して硬化させる第３の工程と、該硬化した紫
外線硬化樹脂層を前記基板から剥離する第４の工程とを
少なくとも備えることを特徴とする。

【００１２】また、請求項２に記載の発明は、光学構造
体上に、パタン形成された紫外線硬化樹脂層を備える光
学部品であって、該紫外線硬化樹脂層は、請求項１に記
載のパタン形成方法によりパタン形成されたものである
ことを特徴とする。

【００１３】更に、請求項３に記載の発明は、光学構造
体上に、パタン形成された紫外線硬化樹脂層を備える光
学部品の作製方法であって、紫外線に透明又は不透明な
基板上に感光性樹脂のパタンを形成する第１の工程と、
該感光性樹脂のパタン上に、接着機能を有する紫外線硬
化樹脂層を密着させて形成し該紫外線硬化樹脂層に前記
感光性樹脂のパタンを転写させる第２の工程と、紫外線
に透明又は不透明な光学構造体を前記紫外線硬化樹脂層
上に接着する第３の工程と、前記紫外線硬化樹脂層に紫
外線を照射して硬化させる第４の工程と、該硬化した紫
外線硬化樹脂層を前記基板から剥離する第５の工程とを
少なくとも備え、前記基板及び前記光学構造体の少なく
とも一方は紫外線に透明であって、前記第４の工程の紫
外線照射を、該紫外線に透明な基板又は光学構造体のい
ずれか一方又は双方側から行なうことを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００１５】図１は、本発明のパタン形成方法の構成例
を説明するための図で、先ず、図１（ａ）に示すよう
に、Ｓｉウエハ基板１１上にリソグラフィ技術を用いて
感光樹脂１２のパタンを形成する。なお、基板はＳｉウ
エハに限定されるものではなく、表面が平滑な基板であ
ればよい。

【００１６】次に、図１（ｂ）に示すように、感光樹脂
１２のパタン上に紫外線硬化樹脂１３を所望の厚みで塗
布し、更に、図１（ｃ）に示すように、紫外線硬化樹脂
１３に紫外線を照射して硬化させた後、図１（ｄ）に示
すように、紫外線硬化樹脂１３の膜をＳｉウエハ基板１
１から剥離する。そして最後にアセトンなどの溶剤で紫
外線硬化樹脂１３の膜に付着している感光樹脂１２ｂを
除去すれば、図１（ｅ）に示すような感光樹脂１２のパ
タンとは凹凸が逆になったパタンをもつ紫外線硬化樹脂
１３の膜が形成できる。

【００１７】ここで用いられる紫外線硬化樹脂１３は、
光通信用の光ファイバの接着剤として多用されている材
料で光学部品用の材料として充分使用可能なものであ
り、この樹脂の屈折率制御技術も既に開発されているも
のであるため、図１に示した方法で形成したパタン付き
紫外線硬化樹脂膜を光学部品としてそのまま使用できる
というメリットがある。

【００１８】図２は、本発明のパタン形成方法の他の構
成例を説明するための図で、図１に示した方法が紫外線
硬化樹脂を単独で用いて光学部品を作製する方法である
のに対して、この方法はガラスのような光学構造体を予
め準備してその光学構造体表面に紫外線硬化樹脂パタン
を形成する方法である。

【００１９】先ず、図２（ａ）に示すように、Ｓｉウエ
ハ基板２１上にリソグラフィ技術を用いて感光樹脂２２
のパタンを形成した後、図２（ｂ）に示すように、感光
樹脂２２のパタン上に紫外線硬化樹脂２３を滴下してそ
の上からガラス板２４を接着する。更に、図２（ｃ）に
示すように、紫外線硬化樹脂２３に紫外線を照射して硬
化させた後、図２（ｄ）に示すように、紫外線硬化樹脂
２３の膜をＳｉウエハ基板２１から剥離する。紫外線硬
化樹脂２３は接着剤としての機能を持っているので、ガ
ラス板２４に強固に接着している。最後にアセトンなど
の溶剤で紫外線硬化樹脂２３の膜に付着している感光樹
脂２２ｂを除去すれば、図２（ｅ）に示すように、ガラ
ス板２４の表面に紫外線硬化樹脂２３のパタンが容易に
形成できる。なお、図２に示した方法において、ガラス
板２４の代わりにレンズを用いることとすれば、同様の
手法に従って、回折光学素子と屈折レンズとを組み合わ
せた複合レンズが形成可能である。

【００２０】上述したように、本発明のパタン形成方法
は、従来の射出成形で用いていたような繰返し使用が可
能な金型は使用せず、感光性樹脂パタンに金型の役割を
担わせて１つのプラスチックパタンを形成させた後に除
去する。このため本発明のパタン形成方法では、射出成
形における離型時の問題は生じ得ない。

【００２１】また、本発明のパタン形成方法に用いられ
る紫外線硬化樹脂には、感光性樹脂の溶剤によっては損
傷されないことという制約があるものの、一般に、感光
性樹脂はアセトンによって容易に溶解されるものが多い
一方、紫外線硬化樹脂はアセトンによっては溶解され難
いものが多いため、溶剤としてアセトンを用いることと
すれば、紫外線硬化樹脂を損傷することなく感光性樹脂
のみを除去することができる。このような特性の感光性
樹脂としては、例えば、紫外線用感光性樹脂としてＯＦ
ＰＲ−８００（東京応化製、商品名）、電子線およびＸ
線用感光性樹脂としてＵＶII（シップレイ製、商品名）
等がある。

【００２２】更に、紫外線硬化樹脂は感光樹脂パタンの
隙間にスムーズに侵入して感光樹脂パタン通りの形状を
転写することが可能である上に、硬化時に外部からの熱
を必要としないため、温度による変形や硬化時の収縮率
も小さいため、感光樹脂パタンを忠実に反映したパタン
を形成できるというメリットがある。

【００２３】本発明のパタン形成方法では、紫外線硬化
樹脂に形成されるパタンは感光樹脂のパタンを忠実に反
映するから、その精度は、感光樹脂のパタン精度に依存
する。一方、感光樹脂パタンの精度は、パタン形成のた
めのリソグラフィ方法には依存せず、要求されるパタン
精度を得るのに最適なリソグラフィ方法を選択すること
ができる。例えば、幅０．２μｍ以上のパタンであれば
紫外線リソグラフィを用いることができるし、幅０．２
μｍ以下の微細パタンなら電子線リソグラフィを用いる
ことができる。また、微細でアスペクト比の大きいパタ
ンを得るにはＸ線リソグラフィが適しており、０．１μ
ｍ幅のパタンやアスペクト比１０以上のパタンも容易に
形成できる。これらのいずれのリソグラフィ方法によっ
ても５％よりすぐれた精度のパタンが形成可能なことは
半導体集積回路の製造で実証されている。

【００２４】また、感光樹脂の膜厚も１０ｎｍの精度で
制御可能な技術が既に確立されているから、感光樹脂パ
タン形成後にその膜厚が厚すぎる場合には、酸素プラズ
マ等を用いて薄くすることも可能である。更に、最近で
は紫外線リソグラフィ用のマスクの遮光率を変化させる
技術が開発され、この技術を用いると鋸歯状や階段状の
感光樹脂パタンも形成できる。

【００２５】このように、近年の高度なリソグラフィ技
術を用いると、光学部品に要求される形状を充分に満足
する精度の微細な感光樹脂パタンが形成できる。また、
このような感光樹脂パタンは８インチウエハ全面に１時
間当り２０〜３０枚の速度で形成できるため、光学部品
の大きさが高々１０ｍｍであることを考慮すると、コス
ト的な制約もない。

【００２６】なお、図２に示したパタン形成方法では、
ガラスのように紫外線に透明な光学構造体を用いたため
に、その上から紫外線照射を行って紫外線硬化樹脂を硬
化させることができるが、光学構造体が紫外線に透明で
ない場合や非常に大きい場合には上部から紫外線を照射
して樹脂を硬化させることができない。この場合には、
Ｓｉウエハの替わりにガラス板のような紫外線に透明な
基板上に感光樹脂パタンを形成し、紫外線硬化樹脂を塗
布後、基板の裏面から紫外線を照射することで樹脂を硬
化させることが可能である。

【００２７】以下に、上述した本発明のパタン形成方法
を用いて光学部品を作製した実施例について説明する。

【００２８】（実施例１）直径８インチのＳｉウエハ上
にポジ型の感光性樹脂であるＯＦＰＲ−８００を、２．
０μｍ厚に塗布し、８０℃で３０分ベークした後、紫外
線リソグラフィを用いて幅０．８μｍのラインパタンを
０．８μｍ間隔で複数本形成した。この場合の感光性樹
脂はポジ型であるため、ウエハ表面の大部分は感光性樹
脂で覆われている。なお、ポストベークは１００℃、２
０分間行った。このようにして形成した感光性樹脂のパ
タンを走査型電子顕微鏡を使って測定したところ、パタ
ン幅は０．８１４μｍで、ほぼ矩形の断面をしていた。
また、触針式の段差計を用いて膜厚を測定したところ
１．９２μｍであった。

【００２９】次に、この感光性樹脂のパタン上に屈折率
が１．５１２の紫外線硬化樹脂をスポイトで２滴滴下し
たところ、直径８ｍｍの領域に広がり、中心部分の厚さ
が約１ｍｍとなった。この状態で上部より３０秒間紫外
線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させた。その後、こ
のウエハをアセトンに浸漬したところ、約２０秒で感光
性樹脂層がアセトンに溶解し、紫外線硬化樹脂を剥離さ
せることが可能であった。このようにして剥離させた紫
外線硬化樹脂は透明なプラスチックで、感光性樹脂の残
渣は認められず、屈折率は原材料と同じ１．５１２であ
り、表面に形成されたパタンを走査型電子顕微鏡で観察
した結果、ほぼ矩形断面を有し、パタン幅は０．８１０
μｍ、パタン深さは１．９５μｍであった。

【００３０】このように、本発明のパタン形成方法を用
いることにより、感光性樹脂パタンに極めて忠実なパタ
ンをプラスチック表面に形成することができる。なお、
このパタンを備える基板は、光学部品としてそのまま利
用可能である。

【００３１】本実施例では紫外線硬化樹脂をＳｉウエハ
から剥離する工程と剥離後の紫外線硬化樹脂に付着した
感光性樹脂を除去する工程とを同時に行っているが、一
旦紫外線硬化樹脂をＳｉウエハから他の方法で剥離し、
その後感光性樹脂を除去しても同様の結果が得られる。

【００３２】（実施例２）直径８インチ、厚さ０．７５
ｍｍのＳｉウエハ上に、ポジ型のＸ線感光性樹脂である
ＵＶIIを０．３５μｍ厚に塗布し、１２０℃で１２０分
間ベークした後、Ｘ線リソグラフィを用いて幅０．１μ
ｍ、０．２μｍ、０．３μｍ、０．５μｍのラインパタ
ンをライン幅と同間隔でそれぞれ２０本ずつ形成した。
Ｘ線露光後、１５０℃で９０分間ベークを行い、現像し
た後に１００℃、６０分間のベークを行った。樹脂に対
する透過率が大きなＸ線で露光したため、形成されたパ
タン断面はほぼ完全な矩形になっており、その厚さは
０．３３μｍであった。また、感光性樹脂のパタン幅を
走査型電子顕微鏡により測定した。

【００３３】次に、このパタン上に屈折率が１．５１２
の紫外線硬化樹脂をスポイトで１滴滴下したのち、厚さ
１ｍｍ、１００ｍｍ角の屈折率１．５１２のガラス板を
載せ、紫外線硬化樹脂が均一な膜厚になるように保持し
た。この状態で上部より３０秒間紫外線を照射し、紫外
線硬化樹脂を硬化させた後、このウエハをアセトンに浸
漬したところ、約２０秒でＸ線感光性樹脂がアセトンに
溶解し、ガラス板にプラスチックの紫外線硬化樹脂が付
着した状態でウエハから剥離した。

【００３４】紫外線硬化樹脂にはＸ線感光性樹脂の残渣
は全く観察されず、表面に形成されたパタンを走査型電
子顕微鏡で観察した結果、ほぼ矩形断面でパタン深さは
０．３３μｍであった。なお、得られたパタン幅はそれ
ぞれ表１に示したとおりで、感光性樹脂に形成したパタ
ンにほぼ一致するパタンが得られた。

【００３５】

【表１】（単位：μｍ）

【００３６】この実験結果により、本発明のパタン形成
方法を用いると、０．１μｍ幅でアスペクト比が３．３
のプラスチックパタンを形成可能なことが明らかになっ
た。また、感光性樹脂の厚さを２．０μｍとした別の実
験においては、０．２μｍ幅でアスペクト比１０．０の
パタンも形成可能なことが確認された。

【００３７】このようにして得られた紫外線硬化樹脂の
付着したガラス板の光学的透過率を測定した結果、紫外
線硬化樹脂とガラス板との屈折率が整合していたために
境界での反射はなく、透過率は９９％以上あった。

【００３８】（実施例３）直径８インチ、厚さ０．７５
ｍｍ厚のガラス板上に感光性樹脂ＯＦＰＲ−８００を
２．０μｍ厚に塗布し、８０℃で３０分ベークした後、
紫外線リソグラフィを用いてパタン形成した。

【００３９】図３は、このときに使用した遮光率変化型
ホトマスクの構成と感光性樹脂パタンを説明するための
図で、遮光率変化型ホトマスクは図３（ａ）に示すよう
に、ガラス板３１上の直径１００μｍの同心円状領域に
遮光率が段階的に変化する遮光膜を形成させたものを用
い、得られた感光性樹脂パタンは図３（ｂ）に示すよう
に、基板３３上に形成された同心円の階段状の感光性樹
脂パタン３４であって、同心円の階段状のパタンを有す
る回折レンズを形成することができた。なお、ポストベ
ークは１００℃、２０分間行った。

【００４０】図４は、このようにして形成した感光性樹
脂パタンを用いて、光ファイバ先端部に紫外線硬化樹脂
パタンを形成する様子を説明するための図で、先ず、図
３で説明したように形成した、ガラス板４１上に形成さ
れた感光性樹脂パタン４２の上に、屈折率１．５の紫外
線硬化樹脂４３をスポイトで１滴滴下し、その上から、
感光性樹脂パタン４２の同心円の中心に合わせて直径１
００μｍの石英製光ファイバ４４の先端を固定する。こ
の状態でガラス板４１の裏面より３０秒間紫外線を照射
し、紫外線硬化樹脂４３を硬化させた。その後、ガラス
板４１ごとアセトンに浸漬したところ、約２０秒間で感
光性樹脂４２がアセトンに溶解し、紫外線硬化樹脂４３
が光ファイバ４４の先端部に接着した状態でガラス板４
１を剥離し、光ファイバ４４周囲に広がった紫外線硬化
樹脂４３を除去した。光ファイバ４４先端部に形成され
たパタンを顕微鏡観察した結果、ほぼ設計どおりのパタ
ンが得られた。

【００４１】なお、本実施例では光学構造体が光ファイ
バの場合であり、光ファイバの上部から紫外線を照射し
て紫外線硬化樹脂を硬化させることが困難であったの
で、感光樹脂パタンを紫外線に透明なガラス板上に形成
し、ガラス板の裏面から紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せている。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のパタン形
成方法は、リソグラフィ法で形成した感光性樹脂パタン
を原版にした紫外線硬化樹脂のパタン形成方法であり、
感光性樹脂パタンさえ形成できればそれを忠実に転写し
た紫外線硬化樹脂のパタンが形成できる。従って０．１
μｍ幅でアスペクト比３以上のパタン形成も可能であ
る。

【００４３】また、感光性樹脂パタンは、パタン形成し
たい光学構造体とは全く別の、平坦で平滑な基板上に形
成可能なため、極めて理想的な感光性樹脂パタンを形成
できる。一方、紫外線硬化樹脂は接着剤としての機能が
あるので、ガラス、Ｓｉなどほとんどの材料で構成され
る光学構造体上にパタン形成できる。このため、光学構
造体としてはレンズやファイバだけでなく、他の種々の
構造の光学部品を用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のパタン形成方法の構成例を説明するた
めの図である。

【図２】本発明のパタン形成方法の他の構成例を説明す
るための図である。

【図３】本発明のパタン形成方法における遮光率変化型
ホトマスクと感光性樹脂パタンを説明するための図であ
る。

【図４】本発明のパタン形成方法を用いて光ファイバ先
端部にパタンを形成する方法を説明するための図であ
る。

【図５】射出成形の原理を説明するための図である。

【符号の説明】

１１、２１ Ｓｉウエハ １２、１２ａ、１２ｂ、２２、２２ａ、２２ｂ 感光性
樹脂 ２４、３１、４１ ガラス板 ３２ 遮光膜 ３３ 基板 ３４、４２ 感光性樹脂パタン １３、２３、４３ 紫外線硬化樹脂 ４４ 光ファイバ ５１ 金型 ５２ プラスチック材 ５３ 注入部材 ５４ 所望の形状のプラスチック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 保直 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 高橋 進 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H049 AA03 AA07 AA13 AA33 AA37 AA43 AA48 AA51 AA55 2H096 AA28 BA05 HA07 JA04 4F204 AA44 AD04 AG05 AH73 EA03 EA04 EB01 EB11 EK17 EK18

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に感光性樹脂のパタンを形成する
   第１の工程と、該感光性樹脂のパタン上に紫外線硬化樹
   脂層を密着させて形成し該紫外線硬化樹脂層に前記感光
   性樹脂のパタンを転写させる第２の工程と、該パタン転
   写された紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させ
   る第３の工程と、該硬化した紫外線硬化樹脂層を前記基
   板から剥離する第４の工程とを少なくとも備えることを
   特徴とする紫外線硬化樹脂層のパタン形成方法。
2. 【請求項２】 光学構造体上に、パタン形成された紫外
   線硬化樹脂層を備える光学部品であって、該紫外線硬化
   樹脂層は、請求項１に記載のパタン形成方法によりパタ
   ン形成されたものであることを特徴とする光学部品。
3. 【請求項３】 光学構造体上に、パタン形成された紫外
   線硬化樹脂層を備える光学部品の作製方法であって、 紫外線に透明又は不透明な基板上に感光性樹脂のパタン
   を形成する第１の工程と、該感光性樹脂のパタン上に、
   接着機能を有する紫外線硬化樹脂層を密着させて形成し
   該紫外線硬化樹脂層に前記感光性樹脂のパタンを転写さ
   せる第２の工程と、紫外線に透明又は不透明な光学構造
   体を前記紫外線硬化樹脂層上に接着する第３の工程と、
   前記紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させる第
   ４の工程と、該硬化した紫外線硬化樹脂層を前記基板か
   ら剥離する第５の工程とを少なくとも備え、前記基板及
   び前記光学構造体の少なくとも一方は紫外線に透明であ
   って、前記第４の工程の紫外線照射を、該紫外線に透明
   な基板又は光学構造体のいずれか一方又は双方側から行
   なうことを特徴とする光学部品の作製方法。