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JP2003139957A - 位相型体積ホログラム光学素子の製造方法 - Google Patents

位相型体積ホログラム光学素子の製造方法

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Publication number
JP2003139957A
JP2003139957A JP2001333786A JP2001333786A JP2003139957A JP 2003139957 A JP2003139957 A JP 2003139957A JP 2001333786 A JP2001333786 A JP 2001333786A JP 2001333786 A JP2001333786 A JP 2001333786A JP 2003139957 A JP2003139957 A JP 2003139957A
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JP
Japan
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optical element
phase
hologram
type volume
volume hologram
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001333786A
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English (en)
Inventor
Satoshi Shibata
諭 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2001333786A priority Critical patent/JP2003139957A/ja
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    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/26Processes or apparatus specially adapted to produce multiple sub- holograms or to obtain images from them, e.g. multicolour technique
    • G03H2001/2625Nature of the sub-holograms
    • G03H2001/264One hologram being a HOE

Landscapes

  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】1光束の干渉露光によって任意の波長を反射す
る位相型体積ホログラム光学素子を得ることができ、さ
らにRGB等のピクセル化もマスクを用いることなく、
1つの光源を用いた1回の露光で行う事を可能とする。 【解決手段】位相型体積ホログラム光学素子をレーザー
の干渉露光により製造する際に、感光体のレーザー光入
射面側に角度変換層として透過型の回折格子を配置し、
レーザー光入射面と反対側の面に反射体を配置して干渉
露光を行なう。このような方法を用いる事により、角度
変換層に入射したレーザー光が回折されて感光体に入射
する光束と、感光体を透過後、感光体裏面の反射体によ
り反射され、再び感光体に入射する光束とを干渉させる
事により位相型体積ホログラム光学素子を形成する事が
可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、干渉露光光学系に
より形成される位相型体積ホログラム光学素子や回折格
子の製造方法に関し、特に複数の画素領域にピクセル化
するためのパターニング技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、位相型体積ホログラム光学素子と
して、高分子化合物中に屈折率の異なる層が層状に積層
された位相型体積ホログラム光学素子が知られている。
位相型体積ホログラム光学素子は、干渉フィルタの原理
により特定の波長の光を反射、あるいは回折する事が可
能であり、カラー反射板等の応用がなされている。反射
色を決定するのはホログラム内部の多層膜の層間隔であ
るが、2光束干渉露光光学系を設計することにより層間
隔を制御することが可能である。すなわちホログラム感
板である感光体に入射する物体光と参照光の波長、ある
いは交差する角度を変化させることにより、生じる干渉
縞の間隔を変化させることができ、任意の波長を反射、
あるいは回折する位相型体積ホログラム光学素子を作製
することができる。
【0003】また、特表平8−505716に位相型体
積ホログラム光学素子をR(赤)G(緑)B(青)等の
各画素領域にピクセル化し、反射型液晶表示素子の反射
型カラーフィルターとして応用する例が開示されてい
る。RGB等のピクセル化は、マスクを用いた2光束干
渉露光により行っている。RGBそれぞれの画素領域に
開口を持つマスクを3枚用意し、各マスクを用いて2光
束干渉露光を行う事で、ピクセル化を実現することがで
きる。マスクの設計によっては、1枚のマスクを用い
て、マスクの移動によりそれぞれの画素領域のみを2光
束干渉露光することも可能である。
【0004】一方、特開平11−231117、特開平
11−231118では、マスターホログラムの転写に
よる反射型ホログラフィックカラーフィルタの製造方法
が開示されている。感光体の裏面にマスターホログラム
を密着させ、1光束のレーザー光を感光体に入射させる
と、感光体に入射した参照光が感光体を透過後、マスタ
ーホログラムによって反射され、再び感光体に入射する
ため、この光束を物体光として利用することで、1光束
のレーザー光を用いて2光束干渉露光光学系を実現する
事ができ、簡便に干渉露光を行う事が可能となる。
【0005】また、特開平11−338338に、カラ
ーフィルターとミラーを用いて複数のレーザー光を用い
てRGB等のピクセル化を一回の露光で行なう手法が公
開されている。複数の波長域のレーザー光を照射し、各
画素領域に配置したカラーフィルターにより選択透過さ
れた光束のみが干渉する事で、各画素領域で異なる波長
の光を反射する反射型ホログラムを記録する事ができ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】位相型体積ホログラム
光学素子の層構造を制御し、任意の反射色や、拡散性等
の反射プロファイルを得るためには、感光体に入射する
物体光と参照光の波長、あるいは交差する角度を制御す
る必要があることを前述したが、従来技術ではレーザー
光源そのものを複数用意するか、あるいは大規模な光学
系を組んで入射角を制御する必要があった。
【0007】また、RGB等のピクセル化技術において
は、特表平8−505716、特開平11−23111
7、特開平11−231118等の従来技術ではマスク
を用いた干渉露光が必要であり、各画素領域において、
それぞれの波長のレーザー光を、前述したマスクを用い
て露光する必要があるため、3つの光源を用いて、3回
の干渉露光が必要となる。また、特開平11−3383
38の手法では、マスクを用いることなく、1回の干渉
露光でピクセル化できるものの、レーザー光源は複数用
意する必要がある。
【0008】本発明は、この点を解決するもので、マス
ターホログラムを感光体に用いて位相型体積ホログラム
光学素子を作製することで、簡便かつ少ない部品数で位
相型体積ホログラム光学素子のRGB等のパターニング
を可能とし、また、反射プロファイルにオフアクシス性
や拡散性を付与することができ、さらに、使用するレー
ザー光源も1つで済み、露光も1回で良いホログラム光
学素子の製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザー光入
射面側に角度変換層として透過型の回折格子を配置し、
該レーザー光入射面と反対側の該感光体面に反射体を配
置して、該感光体への入射光と、反射後に該感光体に再
入射される再入射光とを干渉露光して位相型体積ホログ
ラム光学素子を形成する位相体積ホログラムの製造方法
を特徴とする。また、前記角度変換層が透過型ホログラ
ムの第1のマスターホログラムである事を特徴とする。
また、前記角度変換層がプリズムシートである事を特徴
とする。また、前記第1のマスターホログラムをレーザ
ー光の干渉露光により製造する際の露光波長がλ0であ
り、前記反射体の反射面の法線ベクトルが前記感光体の
表面の法線に対してθoffの角度で傾斜しており、前記
第1のマスターホログラムのグレーティングベクトルが
一般式
【0010】
【式2】
【0011】のθgの角度で傾斜した事を特徴とする。
この場合、任意の波長λ1の光を反射し、グレーティン
グベクトルの傾斜角が平均でθoffの角度で傾斜した位
相型体積ホログラム光学素子の製造することが可能であ
る。また、前記第1のマスターホログラムのグレーティ
ングベクトルがθg1、θg2、θg3等の異なる角度に傾斜
した透過ホログラムを複数の領域に平面的に分割、配置
した構造を持つ事を特徴とする。この場合、複数の領域
に平面的に分割され、それぞれの領域において任意の波
長λ1、λ2、λ3等の光を反射し、グレーティングベク
トルが平均でθoffの角度で傾斜した位相型体積ホログ
ラム光学素子を製造することが可能である。また、前記
第1のマスターホログラムがストライプ状のパターンに
分割され、それぞれの領域において、グレーティングベ
クトルが傾斜角θg1、θg2、θg3等の角度でストライプ
状の各パターンの長手方向に傾斜した透過ホログラムで
あることを特徴とする。この場合、ストライプ状の複数
のパターンに分割され、それぞれの領域において任意の
波長λ1、λ2、λ3等の波長の光を反射し、グレーティ
ングベクトルがストライプパターンの長手方向に平均で
θoffの角度で傾斜した構造を持つ位相型体積ホログラ
ム光学素子を製造することが可能である。また、前記反
射体と前記感光体の間に少なくとも1つのプリズムを、
マッチングオイルを用いて密着させて干渉露光を行なう
ことで、位相型体積ホログラム光学素子の反射特性にオ
フアクシス性を付与した事を特徴とする。また、前記反
射体として、反射特性に拡散性を有する拡散反射体を用
いて干渉露光を行なう事により、反射特性に拡散性を付
与した事を特徴とする。また、前記反射体が反射型ホロ
グラムの第2のマスターホログラムである事を特徴とす
る。また、前記第2のマスターホログラムが、オフアク
シス反射特性を持つようにグレーティングベクトルを傾
斜させた構造であることを特徴とする。また、前記第2
のマスターホログラムが、拡散反射特性を持つようにグ
レーティングベクトルの方向に分布を持たせた構造であ
ることを特徴とする。また、前記反射体が、干渉露光の
際に、ピクセル化された各画素領域間でそれぞれ異なる
入射角で入射してくるレーザー光に対して、一様に感光
体に再入射させるために、グレーティングの層間隔が各
画素領域の各入射角とブラッグマッチするように、それ
ぞれ対応した間隔にピクセル化された第2のマスターホ
ログラムであることを特徴とする。
【0012】
【実施の形態】本発明の一実施の形態を図に基づいて説
明する。
【0013】
【第一の実施の形態】本発明の第一実施の形態を図1を
用いて説明する。第一の実施の形態は、位相型体積ホロ
グラム光学素子をレーザーの干渉露光により製造する際
に、感光体2のレーザー光入射面側に角度変換層として
透過型の回折格子1を配置し、レーザー光入射面と反対
側の面に反射体3を配置して干渉露光を行なう事により
位相型体積ホログラム光学素子を形成した例を示す。こ
のような方法を用いる事により、角度変換層に入射した
レーザー光が回折されて感光体に入射する光束と、感光
体を透過後、感光体裏面の反射体により反射され、再び
感光体に入射する光束とを干渉させる事により位相型体
積光学素子を形成する事が可能となる。
【0014】本例では、透過型の回折格子1は、入射し
たレーザー光を特定の方向に回折する透過型のホログラ
ム(即ち、第一のマスターホログラム)が形成され、感
光体2へ入射する参照光の入射角を制御する機能を有す
る。一方、感光体裏面の反射体3は、透過型の回折格子
1より回折され、感光体2を通過したレーザー光を反射
し、再び感光体2に物体光として入射させる機能を有す
る。また、透過型の回折格子1の回折角を制御すること
により、感光体2に入射する参照光、物体光の入射角を
制御することが可能であり、1つの波長のレーザー光を
用いて、任意の波長を反射する位相型体積ホログラム光
学素子を作製することができる。
【0015】例えば、オフアクシス反射特性としてグレ
ーティングベクトルがθoff傾斜しており、波長λ1の光
を反射する位相型体積ホログラムを製造する場合を説明
すると、グレーティングベクトルの方向は反射体3のグ
レーティングベクトルの方向を反映するため、反射体3
のグレーティングベクトルをθoff傾斜させておけばよ
い。透過型の回折格子1のグレーティングベクトルの傾
斜角θgは、感光体2に入射するレーザー光の入射角を
決定するが、マスター作製の際に用いるレーザー光源の
波長をλ0、マスターホログラムの屈折率を約1.5と
すると、一般式、
【0016】
【式3】
【0017】によりマスターホログラムの所望の傾斜角
を設計する事ができる。この場合、λ 1の波長を反射
し、グレーティングベクトルが平均でθoffの角度で傾
斜した位相型体積ホログラム光学素子を製造することが
可能である。
【0018】
【第二の実施の形態】第二の実施の形態は、透過型の回
折格子として、ホログラム構造の異なる複数のパターン
がストライプ状に分割して平面状に配置されたものを用
いる、R(赤)G(緑)B(青)等のピクセル化を行う
例を示す。図2に、マスターホログラムを用いた本発明
の第二の実施の形態の干渉露光法を示す。図2におい
て、5は透過型の回折格子としての第1のマスターホロ
グラムを示し、該第1のマスターホログラム5はRGB
各画素領域に対応したストライプ状のパターンにピクセ
ル化されている。また、6は感光体を示す。更に、図2
において、7は反射体としての第2のマスターホログラ
ムを示し、入射したレーザー光を正反射方向から一定の
角度で傾いた方向に反射するように設計されたオフアク
シス反射膜である。第1のマスターホログラム5の各領
域に入射したレーザー光は、ストライプパターンの長手
方向に、それぞれの領域で異なる角度に回折されるよ
う、グレーティングベクトルがそれぞれ異なる角度で傾
斜した構造を持っており、傾斜角に基づきθR1、θG
1、θB1の角度に回折される。第1のマスターホログ
ラム5で回折されたレーザー光と、感光体6を通過後、
第2のマスターホログラム7により反射され再び感光体
6にθR2、θG2、θB2で入射する光束とを干渉さ
せることで、位相型体積ホログラム光学素子を作製する
ことができる。各画素領域で形成されるグレーティング
ベクトルの方向は、第2のマスターホログラム7のグレ
ーティングベクトルによって規定されるが、第2のマス
ターホログラム7はピクセル化されていないため、全て
の画素領域において同じ方向のグレーティングベクトル
を持つオフアクシス反射膜が形成される。また各画素領
域では、感光体に対して異なる角度でレーザー光が交差
する事により、間隔がそれぞれ異なる干渉じまが形成さ
れ、結果として異なる波長の光を反射する反射膜がスト
ライプ状に分割したホログラフィックカラーフィルタを
形成することができる。この様に、本発明によれば、1
つのレーザー光源を用いて1回の露光でRGB等の各色
をピクセル化する事ができる。これは本願発明の特徴の
一つである。
【0019】また、第1のマスターホログラム5を所望
のセグメント状、あるいはマトリクス状に分割して形成
することにより、セグメント状、あるいはマトリクス状
に分割したホログラフィックカラーフィルタを作製する
ことも可能である。
【0020】
【第三の実施の形態】また、感光体裏面の反射体として
反射型ホログラム(第2のマスターホログラム)を用い
る事が可能である。第2のマスターホログラムは、入射
したレーザー光を特定の方向に反射するホログラム反射
膜であり、第1のマスターホログラムにより回折され、
感光体を通過したレーザー光を反射し、再び感光体に物
体光として入射させる機能を有する。
【0021】図3に、本発明の第三の実施の形態のマス
ターホログラムによる干渉露光法を示す。図3で、9は
第1のマスターホログラム、10は感光体、11は第2
のマスターホログラムをそれぞれ示す。参照光12が第
1のマスターホログラム9に入射、回折後に感光体10
を透過し、第2のマスターホログラム11で反射された
物体光13と干渉する事によりホログラム記録が可能で
ある。
【0022】また、第2のマスターホログラム11のグ
レーティングベクトルの方向を制御することで、位相型
体積ホログラム光学素子の反射特性にオフアクシス性を
付与することができる。マスターホログラムの転写によ
り形成される位相型体積ホログラム光学素子のグレーテ
ィングベクトルの方向は第2のマスターホログラムのグ
レーティングベクトルを反映するため、例えば第2のマ
スターホログラム11のグレーティングベクトルが10
°傾斜している場合、位相型体積ホログラム光学素子の
屈折率を1.5として考慮すると、30°方向からの入
射光を0°方向に反射するオフアクシス性反射膜が得ら
れることになる。このように第2のマスターホログラム
11のグレーティングベクトルの方向を種々設計する事
により、位相型体積ホログラム光学素子のオフアクシス
性反射特性を制御する事が可能となる。
【0023】さらに、第2のマスターホログラム11の
反射特性に拡散性を与えておけば、位相型体積ホログラ
ムの反射特性に拡散性を付与することも可能であり、反
射型ディスプレイとしての表示品位を向上させることが
できる。
【0024】また、ピクセル化された第1のマスターホ
ログラム9のグレーティングベクトルの傾斜角が、各画
素領域によって大きく異なり、干渉露光の際に第2のマ
スターホログラム11に入射するレーザー光の入射角が
各画素領域で大きく異なる場合に、第2のマスターホロ
グラム11においてブラッグマッチしない領域が生じる
場合がある。この場合には第2のマスターホログラム1
1の方も各画素領域におけるレーザーの入射角に応じた
ホログラム構造にピクセル化する事で、干渉露光の際に
感光体を透過し、第2のマスターホログラム11に入射
した光束を再び感光体10に、一様に入射する事ができ
る。
【0025】更に、実施例により本発明を詳細に説明す
る。
【0026】
【実施例1】以下にマスターホログラムの作製法を示
す。マスターホログラムの感板としてデゥポン社製のH
RF−700Xを用いた。
【0027】第1のマスターホログラムは、フォトマス
クを用いてRGB各色を形成するためのストライプパタ
ーンを作製した。Krレーザーの407nmを用いた2
光束干渉露光により、R領域はグレーティングピッチが
400nm、G領域は464nm、B領域は674n
m、グレーティングベクトルの傾斜角がR領域で59.
5°、G領域で64°、B領域で72.5°のものを作
製した。この時グレーティング構造は、マスターホログ
ラム表面の法線方向に対してR領域で30.5°、G領
域で26°、B領域で17.5°の傾斜角で層構造を形
成しており、グレーティング構造の傾斜方向はストライ
プパターンの長手方向に傾いている(図1)。傾斜方向
がストライプパターンの長手方向に傾いている事によ
り、第1のマスターホログラムで回折されたレーザー光
が隣のパターンの領域内に入射してしまう事がないた
め、多重記録による失活領域の発生を防ぐ事ができる。
【0028】一方、第1のマスターホログラムの構造
は、セグメント状、マトリクス状等の種々の構造を作製
する事ができるため、ストライプパターンには限らな
い。また、グレーティング構造のピッチ、傾斜角も所望
の選択波長によって種々の値を用いる事ができるためこ
の値に限定しない。一般式
【0029】
【式4】
【0030】を用いて種々の設計が可能である。第2の
マスターホログラムは第1のマスターホログラムのよう
なピクセル化は必要ないため、全面にわたりグレーティ
ングベクトルがマスターホログラム表面の法線方向に対
して10度傾斜し、407nmの波長の光を反射するホ
ログラフィック反射膜を作製した。また、反射光に拡散
性を持たせるためグレーティングベクトルに分布を持つ
構造を与えた。グレーティングベクトルの傾斜と、媒質
の屈折率を考慮すると、第2のマスターホログラムを転
写して作製した位相型体積ホログラム光学素子に対して
入射した光は、表面反射(正反射)方向に対して、約3
0°方向傾いた方向に反射光を射出し、反射特性にオフ
アクシス性を持たせることができる。第2のマスターホ
ログラムにおけるグレーティングベクトルの傾斜角、層
間隔は種々の値に設定することができるため、この値に
限定しない。
【0031】
【実施例2】先述の第1のマスターホログラムを転写す
る事でRGB各色を反射するピクセル化した位相型体積
ホログラム光学素子を作製した。以下に作製法を示す。
【0032】ホログラム感板として、感光体であるデゥ
ポン社製のHRF−700Xを用いた。感光体のレーザ
ー光入射面側に第1のマスターホログラムを、マッチン
グオイルを用いて密着させ、レーザー光入射面と反対側
の面に、頂角が10°のくさび型プリズムをマッチング
オイルを用いて密着させ、さらにプリズムの背面に散乱
膜を、誘電体ミラーで挟むようにマッチングオイルを用
いて密着させた。誘電体ミラーの反射面自体を加工して
拡散反射板としてもよい。407nmのKrレーザー光
を第1のマスターホログラムに対して垂直に入射させ、
第1のマスターホログラムにより回折された光束と、感
光体を透過後誘電体ミラーで反射され再び感光体に入射
した光束とを干渉させる事により、位相型体積ホログラ
ム光学素子を作製した。図4に干渉露光の様子を示す。
15は第1のマスターホログラム、16は感光体、17
はプリズム、18は散乱膜、19は誘電体ミラー、20
は参照光、21は物体光である。感光体の法線方向に対
して10°傾いたグレーティングベクトルを有するホロ
グラム構造が記録され、R領域では層間隔が173n
m、G領域では141nm、B領域では122nmの屈
折率の異なる多層膜が形成され、それぞれ650nm、
550nm、450nm付近の光を反射するホログラフ
ィックカラーフィルタを作製する事ができた。グレーテ
ィングベクトルが傾斜しているため、媒体の屈折率を考
慮すると正反射光の射出方向から約30°ずれた方向に
ホログラムによる反射光が射出されるオフアクシス性反
射のため視認性が良く、さらに誘電体ミラーの前面に挟
んだ散乱膜の散乱特性を転写しているため、視角特性の
よい反射膜が得られた。
【0033】
【実施例3】感光体裏面に配置する反射体として、上述
の第2のマスターホログラムを用いて位相型体積ホログ
ラム光学素子を作製した。以下に作製法を示す。
【0034】位相型体積ホログラム光学素子として、感
光体であるデゥポン社製のHRF−700Xを用いた。
感光体のレーザー光入射面側に第1のマスターホログラ
ムを、マッチングオイルを用いて密着させ、レーザー光
入射面と反対側の面に第2のマスターホログラムを、マ
ッチングオイルを用いて密着させた。407nmのKr
レーザー光を第1のマスターホログラムに対して垂直に
入射させ、第1のマスターホログラムにより回折された
光束と、感光体を透過後第2のマスターホログラムで反
射され再び感光体に入射した光束とを干渉させる事によ
り、位相型体積ホログラム光学素子を作製した。感光体
の法線方向に対して10°傾いたグレーティングベクト
ルを有するホログラム構造が記録され、R領域では層間
隔が173nm、G領域では141nm、B領域では1
22nmの屈折率の異なる多層膜が形成され、それぞれ
650nm、550nm、450nm付近の光を反射す
るホログラフィックカラーフィルタを作製する事ができ
た。グレーティングベクトルが傾斜しているため、媒体
の屈折率を考慮すると正反射光の射出方向から約30°
ずれた方向にホログラムによる反射光が射出されるオフ
アクシス性反射のため視認性が良く、さらに第2のマス
ターホログラムの拡散反射性を転写しているため、視角
特性のよい反射膜が得られた。
【0035】
【実施例4】ホログラム感板として、1対の透明電極付
き基板に挟持された液晶/高分子前駆体混合組成を用
い、外場の印加によりスイッチング可能な位相型体積ホ
ログラム光学素子を作製した。以下に作製法を示す。始
めにホログラム感板として用いた液晶/高分子前駆体混
合組成の調整法を示す。
【0036】高分子前駆体組成としては、日本化薬社製
のMPL−214とKSM−074の7:3の混合物を
用いた。高分子前駆体組成に重合開始剤としてチバガイ
ギー社製のIr369を1重量%添加し、さらに重合遅
延剤として、パラフェニルスチレン(PPST)を1重
量%添加した。次に液晶と高分子前駆体組成を混合し、
液晶と高分子前駆体組成の組成比を7:3に調整した。
液晶としてはメルク社製のTL213を用いた。この混
合組成に対して光増感色素として日本化薬社のKAYA
CURE DETX−Sを2重量%添加した。1対の透
明電極付き基板として、EHC社製のガラスセルを用い
た。セル厚は5μm、ガラス基板の内側にはITOが蒸
着されている。このセルに前記液晶/高分子前駆体の混
合組成を注入した後、室温で407nmのクリプトンレ
ーザーを用いて干渉露光することにより、屈折率が周期
的に変化する層構造を有する体積ホログラム光学素子を
作製した。以下に干渉露光の方法を示す。
【0037】実施例2と同様に、レーザー光入射面側に
第1のマスターホログラムを密着させ、レーザー光入射
面と反対側の面に第2のマスターホログラムを密着させ
た。407nmのKrレーザー光を第1のマスターホロ
グラムに対して垂直に入射させ、第1のマスターホログ
ラムにより回折された光束と、感光体を透過後第2のマ
スターホログラムで反射され再び感光体に入射した光束
とを干渉させる事により、位相型体積ホログラム光学素
子を作製した。レーザー光の照射強度は160mW/c
2、照射時間は1分間である。干渉露光後に、未反応
の重合開始剤、高分子前駆体、重合遅延剤、および増感
色素を完全に反応させるために365nm、20mW/
cm2のUV光を30秒間照射した。感光体の法線方向
に対して10°傾いたグレーティングベクトルを有する
ホログラム構造が記録され、R領域では層間隔が173
nm、G領域では141nm、B領域では122nmの
屈折率の異なる多層膜が形成され、それぞれR領域では
650nm、G領域では550nm、B領域では450
nm付近の光を反射するホログラフィックカラーフィル
タを作製する事ができた。グレーティングベクトルが傾
斜しているため、媒体の屈折率を考慮すると正反射光の
射出方向から約30°ずれた方向にホログラムによる反
射光が射出されるオフアクシス性反射のため視認性が良
く、さらに第2のマスターホログラムの拡散反射性を転
写しているため、視角特性のよい反射膜が得られた。ま
た、電場を印加する事により反射/透過状態をスイッチ
ングする事ができた。
【0038】
【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、マス
ターホログラムを感光体に用いて位相型体積ホログラム
光学素子を作製することで、簡便かつ少ない部品数で位
相型体積ホログラム光学素子のRGB等のパターニング
が可能となり、また、反射プロファイルにオフアクシス
性や拡散性を付与することができ、更に、使用するレー
ザー光源も1つで済み、露光も1回で良いためスループ
ット、コストの面で有利である等の優れた効果を発揮す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の第一の実施の形態の説明図。
【図2】図2は、本発明の第二の実施の形態の説明図。
【図3】図3は、本発明の第三の実施の形態の説明図。
【図4】図4は、本発明の第二の実施例の説明図。
【符号の説明】
1 透過型の回折格子、 2、6、10、16 感光体、 3 反射体 5、9、15 第1のマスターホログラム 7、11 第2のマスターホログラム 12、20 参照光 13、21 物体光 17 プリズム 18 散乱膜 19 誘電体ミラー

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 感光体のレーザー光入射面側に角度変換
    層として透過型の回折格子を配置し、該レーザー光入射
    面と反対側の該感光体面に反射体を配置して、該感光体
    への入射光と、反射後に該感光体に再入射される再入射
    光とを干渉露光して位相型体積ホログラム光学素子を形
    成する位相体積ホログラムの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記角度変換層が透過型ホログラムの第
    1のマスターホログラムである事を特徴とする請求項1
    に記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記角度変換層がプリズムシートである
    事を特徴とする請求項1に記載の位相型体積ホログラム
    光学素子の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記第1のマスターホログラムをレーザ
    ー光の干渉露光により製造する際の露光波長がλ0であ
    り、前記反射体の反射面の法線ベクトルが前記感光体の
    表面の法線に対してθoffの角度で傾斜しており、前記
    第1のマスターホログラムのグレーティングベクトルが
    一般式 【式1】 のθgの角度で傾斜した、任意の波長λ1の光を反射し、
    グレーティングベクトルの傾斜角が平均でθoffである
    請求項2に記載位相型体積ホログラム光学素子の製造方
    法。
  5. 【請求項5】 前記第1のマスターホログラムのグレー
    ティングベクトルがθg1、θg2、θg3等の異なる角度に
    傾斜した透過ホログラムを複数の領域に平面的に分割、
    配置した構造を持つことを特徴とする、複数の領域に平
    面的に分割され、それぞれの領域において任意の波長λ
    1、λ2、λ3等の光を反射し、グレーティングベクトル
    が平均でθoffの角度で傾斜した構造を持つ請求項2に
    記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記第1のマスターホログラムがストラ
    イプ状のパターンに分割され、それぞれの領域におい
    て、グレーティングベクトルが傾斜角θg1、θg2、θg3
    等の角度でストライプ状の各パターンの長手方向に傾斜
    した透過ホログラムであることを特徴とする、ストライ
    プ状の複数のパターンに分割され、それぞれの領域にお
    いて任意の波長λ1、λ2、λ3等の波長の光を反射し、
    グレーティングベクトルがストライプパターンの長手方
    向に平均でθoffの角度で傾斜した構造を持つ請求項2
    に記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  7. 【請求項7】 前記反射体と前記感光体の間に少なくと
    も1つのプリズムを、マッチングオイルを用いて密着さ
    せて干渉露光を行なうことで、位相型体積ホログラム光
    学素子の反射特性にオフアクシス性を付与した事を特徴
    とする請求項1に記載の位相型体積ホログラム光学素子
    の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記反射体として、反射特性に拡散性を
    有する拡散反射体を用いて干渉露光を行なう事により、
    反射特性に拡散性を付与した事を特徴とする請求項1ま
    たは2に記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方
    法。
  9. 【請求項9】 前記反射体が反射型ホログラムの第2の
    マスターホログラムである事を特徴とする請求項1に記
    載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記第2のマスターホログラムが、オ
    フアクシス反射特性を持つようにグレーティングベクト
    ルを傾斜させた構造であることを特徴とする請求項9に
    記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記第2のマスターホログラムが、拡
    散反射特性を持つようにグレーティングベクトルの方向
    に分布を持たせた構造であることを特徴とする請求項9
    に記載の位相型体積ホログラム光学素子の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記反射体が、干渉露光の際に、ピク
    セル化された各画素領域間でそれぞれ異なる入射角で入
    射してくるレーザー光に対して、一様に感光体に再入射
    させるために、グレーティングの層間隔が各画素領域の
    各入射角とブラッグマッチするように、それぞれ対応し
    た間隔にピクセル化された第2のマスターホログラムで
    ある請求項5または6に記載の位相型体積ホログラム光
    学素子の製造方法。
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