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JP2003127053A - Polishing device - Google Patents

Polishing device

Info

Publication number
JP2003127053A
JP2003127053A JP2002321579A JP2002321579A JP2003127053A JP 2003127053 A JP2003127053 A JP 2003127053A JP 2002321579 A JP2002321579 A JP 2002321579A JP 2002321579 A JP2002321579 A JP 2002321579A JP 2003127053 A JP2003127053 A JP 2003127053A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
moving
shaft
moving means
swing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002321579A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003127053A5 (en
JP4055945B2 (en
Inventor
Nobuo Nagata
暢男 永田
Shuji Nezu
修司 祢津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagata Seisakusho Co Ltd
Original Assignee
Nagata Seisakusho Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagata Seisakusho Co Ltd filed Critical Nagata Seisakusho Co Ltd
Priority to JP2002321579A priority Critical patent/JP4055945B2/en
Publication of JP2003127053A publication Critical patent/JP2003127053A/en
Publication of JP2003127053A5 publication Critical patent/JP2003127053A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4055945B2 publication Critical patent/JP4055945B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel polishing device in which adjustment work of the device can be easily executed by unnecessitating the adjustment work of a mounting part of an upper rocking shaft and a rocking arm, and at the same time, skill is not required for the adjustment work. SOLUTION: A lower rotary shaft 11 is mounted to a rotary frame 15 that is constituted so as to be rotatable around a rotary axis S and the rotary frame 15 is mounted to a horizontal movement base 16. The horizontal movement base is mounted slidably in the forward and backward directions to a horizontal movement guide 18 via a horizontal movement frame 17 and the horizontal movement guide 18 is fixed to the vertical movement base 19. The vertical movement base 19 is mounted to the vertical movement guide 22 so as to be freely movable in the vertical direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は研摩装置に係り、特
に、レンズを研摩するための研摩装置として好適な装置
構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing device, and more particularly to a device structure suitable as a polishing device for polishing a lens.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、従来のレンズ研摩装置において
は、オスカータイプと呼ばれる上軸揺動型の研摩装置
と、下軸揺動型の研摩装置とがある。いずれの研摩方式
においても、多くの場合、レンズに摺接する一対の研摩
部材の一方にレンズをワックスやチャッキング等により
固定し、レンズを固定した研摩部材を回転させた状態
で、遊離砥粒を含む研摩液を供給しながら、他方の研摩
部材の研摩面をレンズの表面に対して揺動させて研摩を
行うようになっている。
2. Description of the Related Art Generally, conventional lens polishing apparatuses include an upper shaft swinging type polishing apparatus called an Oscar type and a lower axis swinging type polishing apparatus. In any of the polishing methods, in many cases, the lens is fixed to one of a pair of polishing members that are in sliding contact with the lens by wax, chucking, etc., and the polishing member with the lens fixed is rotated to remove loose abrasive grains. While supplying the polishing liquid containing the polishing liquid, the polishing surface of the other polishing member is swung with respect to the surface of the lens for polishing.

【0003】オスカータイプと呼ばれる研摩装置におい
ては、往復揺動、旋回揺動などの種々の揺動動作が可能
になるように構成された揺動アームに、かんざしと呼ば
れる揺動軸部材が取り付けられ、この揺動軸部材は一方
の研摩部材であるレンズホルダに対して角度自在に取り
付けられる。一方、他方の研摩部材である研摩皿は回転
可能に構成された下回転軸に取り付けられる。
In a polishing apparatus called an Oscar type, a swing shaft member called a Kanzashi is attached to a swing arm configured to enable various swing operations such as reciprocating swing and swing swing. The swing shaft member is attached to the lens holder, which is one polishing member, at an angle. On the other hand, the other polishing member, the polishing plate, is attached to a lower rotation shaft that is configured to be rotatable.

【0004】従来の上記研摩装置においては、上軸構造
として、揺動アームの基部に揺動アームを左右に往復揺
動、或いは円形状若しくは楕円状に旋回揺動させるため
の揺動機構が接続されている。揺動アームの先端部に
は、揺動軸部材を介してレンズホルダに所定の研摩圧を
付与するためのエアシリンダ等からなる加圧機構が接続
されている。揺動軸部材は、揺動アームに対して、その
取付位置を上下方向のみ、或いは、上下方向及び前後方
向に調整可能に取り付けられている。
In the conventional polishing apparatus, as an upper shaft structure, a swing mechanism for reciprocally swinging the swing arm left and right, or swinging in a circular or elliptical shape is connected to the base of the swing arm. Has been done. A pressure mechanism composed of an air cylinder or the like for applying a predetermined polishing pressure to the lens holder is connected to the tip end portion of the swing arm via a swing shaft member. The swing shaft member is attached to the swing arm so that its mounting position can be adjusted only in the vertical direction or in the vertical direction and the front-back direction.

【0005】また、従来の研摩装置の中には、先に本発
明者が考案したもののように、下回転軸を前後方向に移
動させることができるもの、或いは、下回転軸を垂直姿
勢に対して傾斜させることができるものも提案されてい
る。また、上記のように揺動軸部材と研摩部材とを角度
自在に取り付けるのではなく、揺動軸部材を研摩部材に
固定し、揺動軸をレンズ研摩面に沿った球心運動をする
ように揺動させる機構が用いられる場合もある。
Further, among the conventional polishing devices, a device capable of moving the lower rotary shaft in the front-rear direction, such as the device devised by the present inventor, or the lower rotary shaft with respect to the vertical posture. There is also a proposal that can be tilted. Further, as described above, the swing shaft member and the polishing member are not attached at an angle, but the swing shaft member is fixed to the polishing member so that the swing shaft moves along the lens polishing surface. There are also cases where a mechanism for swinging is used.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
研摩装置においては、レンズ厚や研摩皿に固着するため
のワックス厚の変動によってレンズ表面の高さが変化
し、また、上記のように下回転軸が前後方向に移動可能
に構成されていたり、下回転軸の角度が調整可能に構成
されていたりする場合には調整度合いに応じて研摩皿の
高さや前後位置が変化するので、これに合わせて揺動ア
ームと揺動軸部材との間の取付部を調整する必要があ
る。この取付部は、通常、揺動軸部材と揺動アームの一
方に貫通孔を形成し、他方を貫通孔に挿通した状態で止
めネジ等によって固定するという構造が多いため、調整
作業が多分に勘に頼らざるを得なくなり、試行錯誤や熟
練を要するという問題点がある。特に、上記の取付部は
一般に研摩液が付着しやすい位置にあるため、上記の調
整作業をさらに困難なものとしている。
By the way, in the above-mentioned conventional polishing apparatus, the height of the lens surface changes due to the variation of the lens thickness and the thickness of the wax for sticking to the polishing dish, and as described above, If the rotary shaft is configured to be movable in the front-rear direction or the angle of the lower rotary shaft is adjustable, the height and front-back position of the polishing plate will change depending on the degree of adjustment. At the same time, it is necessary to adjust the mounting portion between the swing arm and the swing shaft member. This mounting part usually has a structure in which a through hole is formed in one of the rocking shaft member and the rocking arm, and the other end is inserted into the through hole and fixed with a set screw, etc. There is a problem that you have to rely on your intuition and require trial and error and skill. In particular, since the above-mentioned mounting portion is generally located at a position where the polishing liquid is easily attached, the above-mentioned adjustment work is made more difficult.

【0007】また、上記のような揺動軸部材と揺動アー
ムとの取付部の構造は、上軸構造全体の剛性を低下させ
るので、研摩精度を維持するに必要な程度の剛性を確保
するために取付部周辺の重量増を招くという問題点があ
る。上軸構造の重量の増加は、研摩圧の制御を困難に
し、例えば研摩圧を十分に低減させることができないた
め、薄いレンズの加工時にレンズの変形が生じてレンズ
の光学面精度が得られないなどの不具合がある。
Further, since the structure of the mounting portion of the rocking shaft member and the rocking arm as described above reduces the rigidity of the entire upper shaft structure, a rigidity sufficient to maintain the polishing accuracy is ensured. Therefore, there is a problem in that the weight around the mounting portion is increased. The increase in the weight of the upper shaft structure makes it difficult to control the polishing pressure, and for example, the polishing pressure cannot be sufficiently reduced, so that the lens is deformed when a thin lens is processed and the optical surface accuracy of the lens cannot be obtained. There is a problem such as.

【0008】さらに、近年、労働環境の劣悪な現場にお
ける若年労働者の不足や海外労働者の増加によって、熟
練労働者の不足が深刻になってきている一方、レンズ研
摩においては熟練作業者の技量がきわめて重要であるこ
とから、熟練を要しない調整作業を可能とするレンズ研
摩装置の需要が急速に拡大してきている。
Furthermore, in recent years, the shortage of skilled workers has become serious due to the shortage of young workers and the increase in overseas workers in the workplaces where the working environment is poor. Is extremely important, the demand for a lens polishing apparatus that enables adjustment work that does not require skill is rapidly expanding.

【0009】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、上揺動軸と揺動アームとの取付部
の調整作業を不要にすることにより、装置の調整作業を
容易に行うことができるとともに当該調整作業に熟練を
要しない新規の研摩装置を提供することにある。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to make the adjustment work of the device easy by eliminating the need for the adjustment work of the mounting portion of the upper swing shaft and the swing arm. It is an object of the present invention to provide a new polishing apparatus that can be performed and does not require any skill for the adjustment work.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の研摩装置は、第1研摩部材と、該第1研摩部
材に連結された揺動部材と、前記第1研摩部材に対して
被研材を介して対向する第2研摩部材と、前記揺動部材
を揺動させる揺動駆動手段と、前記第2研摩部材をその
軸線周りに回転させる回転駆動手段とを有する、前記被
研材を研摩するための研摩装置であって、前記第2研摩
部材の回転軸線の前記揺動部材に対する傾斜角度を変更
可能とする傾斜調整手段と、前記傾斜角度の変更面に沿
った第1方向に前記第2研磨冶具の位置を移動可能とす
る第1移動手段と、前記第1方向と交差するとともに前
記変更面に沿った第2方向に前記第2研摩部材の位置を
移動可能とする第2移動手段とを設けたことを特徴とす
る。
In order to solve the above-mentioned problems, a polishing apparatus of the present invention comprises a first polishing member, a swinging member connected to the first polishing member, and the first polishing member. And a second polishing member opposed to each other via a material to be polished, a swing drive unit that swings the swing member, and a rotation drive unit that rotates the second polishing member around its axis. A polishing device for polishing an abrasive material, comprising: an inclination adjusting means capable of changing an inclination angle of a rotation axis of the second polishing member with respect to the swing member; A first moving means for moving the position of the second polishing jig in a direction, and a position for moving the second polishing member in a second direction along the changing surface while intersecting the first direction. A second moving means is provided.

【0011】この発明によれば、第2研摩部材の回転軸
線を傾斜調整手段によって所定の傾斜角度に調整した場
合、第1移動手段及び第2移動手段によって、上記傾斜
角度の変更面に沿った、相互に交差する2つの方向に第
2研摩部材を移動させることができるように構成されて
いるので、第1研摩部材と第2研摩部材の位置の整合性
をとる場合に第2研摩部材の位置のみを修正することで
足り、第1研摩部材の位置を調整する必要をなくするこ
とができる。したがって、揺動側の機構を簡易に構成で
きるとともに重量を増加させることなく剛性を高めるこ
とができるため、研摩圧の制御が容易になるとともに研
摩部材の位置精度も高めることができるから、研摩精度
を向上させることができる。
According to the present invention, when the rotation axis of the second polishing member is adjusted to the predetermined tilt angle by the tilt adjusting means, the first moving means and the second moving means move along the changing surface of the tilt angle. , The second polishing member can be moved in two directions intersecting with each other, so that when the positions of the first polishing member and the second polishing member are matched, It is sufficient to correct only the position, and it is possible to eliminate the need to adjust the position of the first polishing member. Therefore, since the mechanism on the rocking side can be simply configured and the rigidity can be increased without increasing the weight, the polishing pressure can be easily controlled and the positioning accuracy of the polishing member can be improved. Can be improved.

【0012】特に、第1研摩部材が上側に、第2研摩部
材が下側に配置される場合には、第1研摩部材の重量増
を回避することができるために研摩圧の低減が可能にな
り、また、揺動動作の高精度化を図ることができる。
In particular, when the first polishing member is arranged on the upper side and the second polishing member is arranged on the lower side, the weight increase of the first polishing member can be avoided, so that the polishing pressure can be reduced. Further, it is possible to improve the accuracy of the swinging motion.

【0013】なお、上記研摩装置としては、上軸揺動
型、下軸揺動型のいずれにも適用することができ、ま
た、かんざし等を用いた揺動機構(すなわち、揺動軸部
材と第1研摩部材とが角度自在に連結されているもの)
に加えて、球芯揺動型の機構にも適用可能なものであ
る。
The above polishing apparatus can be applied to either an upper shaft swing type or a lower shaft swing type, and a swing mechanism using a hairpin or the like (that is, a swing shaft member and a swing shaft member). (Attached to the first polishing member at an angle)
In addition to this, the present invention can be applied to a ball-swinging mechanism.

【0014】また、上記傾斜角度の変更面とは、傾斜角
度を測るために当該傾斜角度で交差する仮想的な基準軸
と動径軸とを設定した場合、傾斜角度が変化していくと
きに基準軸と回動する動径軸との双方を常に含む仮想的
な面を言う。
The tilt angle changing surface means that when a virtual reference axis and a radial axis intersecting at the tilt angle are set to measure the tilt angle, when the tilt angle changes. It refers to a virtual surface that always includes both the reference axis and the rotating radial axis.

【0015】本発明において、前記傾斜調整手段、前記
第1移動手段及び前記第2移動手段によって設定された
前記傾斜角度並びに前記第2研摩部材の第1方向及び第
2方向の位置を検出する検出手段を設けることが好まし
い。この発明によれば、この検出手段を設けることによ
り、第2研摩部材の位置及びその回転軸線の傾斜角度を
客観的に知ることができるとともに、予め位置及び傾斜
角度の値を設定しておけば、作業者の熟練度合いに拘わ
らず、常に同一の条件にて研摩を行うことができる。
In the present invention, detection for detecting the tilt angle set by the tilt adjusting means, the first moving means and the second moving means and the position of the second polishing member in the first direction and the second direction. Means are preferably provided. According to the present invention, by providing the detecting means, the position of the second polishing member and the inclination angle of the rotation axis thereof can be objectively known, and the values of the position and the inclination angle can be set in advance. The polishing can always be performed under the same conditions regardless of the skill level of the operator.

【0016】本発明において、前記検出手段は、前記傾
斜調整手段、前記第1移動手段及び前記第2移動手段の
駆動軸に直接若しくは間接的に取り付けられたデジタル
カウンタであることが好ましい。デジタルカウンタによ
って第2研摩部材の位置及び傾斜角度について容易に把
握できるとともに、位置及び傾斜角度の調整作業時にお
ける設定のあいまいさを低減できる。
In the present invention, the detecting means is preferably a digital counter directly or indirectly attached to the drive shafts of the tilt adjusting means, the first moving means and the second moving means. The position and inclination angle of the second polishing member can be easily grasped by the digital counter, and the ambiguity of setting at the time of adjusting the position and inclination angle can be reduced.

【0017】本発明において、前記第2研摩部材は、前
記傾斜調整手段によって回動可能に構成された回動フレ
ームに軸支され、該回動フレームは、第1移動手段若し
くは第2移動手段の一方によって移動可能な1次移動ベ
ースに対して回動可能に取り付けられ、該1次移動ベー
スは、第1移動手段若しくは第2移動手段の他方によっ
て移動可能な2次移動ベースに取り付けられ、前記傾斜
調整手段は、前記1次移動ベースを基準として前記回動
フレームの傾斜角度を設定するように構成されているこ
とが好ましい。
In the present invention, the second polishing member is rotatably supported by a rotating frame which is configured to be rotatable by the inclination adjusting means, and the rotating frame of the first moving means or the second moving means. The first moving base is rotatably attached to a primary moving base movable by one side, and the primary moving base is attached to a secondary moving base movable by the other of the first moving means or the second moving means. It is preferable that the inclination adjusting means is configured to set the inclination angle of the rotating frame with the primary movement base as a reference.

【0018】また、本発明において、前記第1研摩部材
及び前記第2研摩部材を収容するための上カバー及び下
カバーを有し、前記上カバーは前記第1研摩部材及び前
記第2研磨部材を平面的に取り巻く枠形状に形成され、
前記下カバーは前記第1研摩部材及び前記第2研摩部材
を下方から覆うように所定の深さを有する有底形状に形
成され、前記上カバーと前記下カバーとの間の間隙を覆
うための可撓性部材が配置され、前記上カバーと前記下
カバーのいずれか一方が前記第2研摩部材若しくはその
支持構造とともに傾斜可能、並びに前記第1方向及び前
記第2方向に移動可能に構成されていることが好まし
い。
Further, in the present invention, an upper cover and a lower cover for accommodating the first polishing member and the second polishing member are provided, and the upper cover includes the first polishing member and the second polishing member. It is formed in the shape of a frame that surrounds the plane,
The lower cover is formed in a bottomed shape having a predetermined depth so as to cover the first polishing member and the second polishing member from below, and covers the gap between the upper cover and the lower cover. A flexible member is arranged, and one of the upper cover and the lower cover is configured to be tiltable together with the second polishing member or its supporting structure, and movable in the first direction and the second direction. Is preferred.

【0019】さらに、本発明において、前記第1方向は
垂直方向であり、前記第2方向は水平方向であり、前記
上カバーと前記下カバーのいずれか他方が前記第2研摩
部材若しくはその支持構造とともに前記第2方向に移動
可能に構成されていることが好ましい。
Further, in the present invention, the first direction is a vertical direction, the second direction is a horizontal direction, and the other one of the upper cover and the lower cover is the second polishing member or its supporting structure. At the same time, it is preferable to be configured to be movable in the second direction.

【0020】上記各発明において、第1移動手段は上下
方向に、第2移動手段は水平方向に第2研摩部材を移動
可能とするように構成される場合がある。また、前記傾
斜調整手段は、(前記1次移動ベースに軸支され、)回
転可能に構成された傾斜駆動軸と、該傾斜駆動軸に対し
て屈曲可能に連結されたネジ軸と、該ネジ軸に対して螺
合するとともに前記第2研摩部材(或いは前記回動フレ
ーム)に対して固定されたナット部とを有する場合があ
る。
In each of the above inventions, the first moving means may be vertically movable and the second moving means may be horizontally movable. The tilt adjusting means includes a tilt drive shaft (rotatably supported by the primary movement base) configured to be rotatable, a screw shaft bendably connected to the tilt drive shaft, and the screw. It may have a nut portion that is screwed onto the shaft and is fixed to the second polishing member (or the rotating frame).

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る研摩装置の実施形態について詳細に説明する。図
1は本実施形態の装置を右側方から見た縦断面図であ
り、図2は本実施形態の装置を正面から見た縦断面図で
ある。いずれの図面においても、縦断面に現れない手前
側の構造部分の一部を一点鎖線にて示してある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of a polishing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of the device of this embodiment as seen from the right side, and FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of the device of this embodiment as seen from the front. In each of the drawings, a part of the structural portion on the front side that does not appear in the vertical cross section is shown by a chain line.

【0022】箱枠状に形成されたフレーム10の内部に
おいて、下回転軸11が下軸受21によって回転自在に
軸支され、この下回転軸11は駆動ベルト12を介して
駆動モータ13によって回転駆動されるように構成され
ている。上記下回転軸11には研摩皿51が固定され、
この研摩皿51の上面がレンズ53の研摩を行う研摩面
となっている。
A lower rotary shaft 11 is rotatably supported by a lower bearing 21 inside a frame 10 formed in the shape of a box frame. The lower rotary shaft 11 is rotationally driven by a drive motor 13 via a drive belt 12. It is configured to be. A polishing plate 51 is fixed to the lower rotary shaft 11,
The upper surface of the polishing plate 51 serves as a polishing surface for polishing the lens 53.

【0023】レンズ53はレンズホルダ52の下面上に
ピッチ等を用いて貼り付け固定されている。レンズホル
ダ52の上部は揺動軸部材54の先端に形成された球体
部に回動自在に嵌合している。揺動軸部材54の上部は
揺動アーム55に対して取付固定されている。揺動アー
ム55は駆動部57に対して回動軸56を中心に回動可
能に接続されており、また、エアシリンダ58によって
図示下方へ所定の研摩圧を印加できるように構成されて
いる。上記の上軸構造においては、駆動部57の揺動動
作によって揺動軸部材54が往復揺動若しくは旋回揺動
し、これに応じてレンズホルダ52もまた研摩皿51上
において揺動するようになっている。
The lens 53 is attached and fixed on the lower surface of the lens holder 52 using a pitch or the like. The upper portion of the lens holder 52 is rotatably fitted to a spherical portion formed at the tip of the swing shaft member 54. The upper portion of the swing shaft member 54 is attached and fixed to the swing arm 55. The swing arm 55 is rotatably connected to a drive unit 57 about a rotary shaft 56, and is structured so that a predetermined polishing pressure can be applied downward in the drawing by an air cylinder 58. In the above upper shaft structure, the rocking shaft member 54 reciprocally rocks or swivels by the rocking motion of the drive unit 57, and accordingly the lens holder 52 also rocks on the polishing plate 51. Has become.

【0024】下回転軸11の軸支部及び下回転軸11の
駆動系は回動フレーム15に固定されている。回動フレ
ーム15は、左右両端部において一対の水平移動ベース
16に対して回動自在に取り付けられている。一対の水
平移動ベース16はそれぞれ水平移動枠17に取り付け
られ、水平移動枠17は、前後方向に伸びる上下一対の
ガイド軸を有する水平移動ガイド18に対してスライド
自在に取り付けられている。水平移動ガイド18は上下
移動ベース19に固定されている。上下移動ベース19
は、上下移動ガイド22に対して上下にスライド自在に
取り付けられている。
The shaft support of the lower rotary shaft 11 and the drive system of the lower rotary shaft 11 are fixed to the rotary frame 15. The rotating frame 15 is rotatably attached to the pair of horizontal moving bases 16 at both left and right ends. Each of the pair of horizontal movement bases 16 is attached to a horizontal movement frame 17, and the horizontal movement frame 17 is slidably attached to a horizontal movement guide 18 having a pair of upper and lower guide shafts extending in the front-rear direction. The horizontal movement guide 18 is fixed to the vertical movement base 19. Vertical movement base 19
Is attached to the vertical movement guide 22 so as to be vertically slidable.

【0025】左右一対の水平移動ガイド18は、一対の
水平移動軸23の先端部外周面に形成された雄ネジ23
aにそれぞれ螺合し、図2に示す左側の水平移動軸23
はハンドル24によって回転させられる。左側の水平移
動軸23にはスプロケット27が固定され、このスプロ
ケット27と同様のスプロケット28との間に架設され
た伝動チェーン29を介して右側の水平移動軸23もま
た回転するように構成されている。左側の水平移動軸2
3の回転量はデジタルカウンタ25によって計測できる
ようになっている。
The pair of left and right horizontal movement guides 18 are male screws 23 formed on the outer peripheral surfaces of the tips of the pair of horizontal movement shafts 23.
a and the horizontal moving shaft 23 on the left side shown in FIG.
Is rotated by the handle 24. A sprocket 27 is fixed to the left horizontal moving shaft 23, and the right horizontal moving shaft 23 is also configured to rotate via a transmission chain 29 installed between the sprocket 27 and a sprocket 28 similar to the sprocket 27. There is. Horizontal movement axis 2 on the left
The rotation amount of 3 can be measured by the digital counter 25.

【0026】左右一対の上下移動ベース19にはそれぞ
れ左右に設けられた一対の上下従動軸31の上部に形成
された雄ネジ31aが螺合している。図2に示す右側の
上下従動軸31の中間高さ位置には、図1に示すように
従動傘歯車32が固定され、この従動傘歯車32は上下
駆動軸33に固定された駆動傘歯車34に噛合してい
る。この右側の上下駆動軸33はハンドル35によって
回転させることができ、その回転はデジタルカウンタ3
6によって計測できるようになっている。右側の上下駆
動軸33が回転すると、図2に示す右側の上下従動軸3
1が回転し、その上下従動軸31の下端に固定されたス
プロケット37と、左側の上下従動軸31の下端に固定
されたスプロケット38との間に架設された伝動チェー
ン39を介して左側の上下従動軸31が回転駆動される
ようになっている。
Male screws 31a formed on the upper part of a pair of vertical driven shafts 31 provided on the left and right sides are screwed onto the pair of vertical moving bases 19 on the left and right. A driven bevel gear 32 is fixed to an intermediate height position of the upper and lower driven shafts 31 on the right side shown in FIG. 2, and the driven bevel gear 32 is fixed to a vertical drive shaft 33 as a driven bevel gear 34. Meshes with. This right and left vertical drive shaft 33 can be rotated by a handle 35, and the rotation thereof can be performed by the digital counter 3
It can be measured by 6. When the right vertical drive shaft 33 rotates, the right vertical drive shaft 3 shown in FIG.
1 rotates, and a left and right upper and lower sides are provided via a transmission chain 39 that is installed between a sprocket 37 fixed to the lower end of the upper and lower driven shafts 31 and a sprocket 38 fixed to the lower end of the left and right driven shafts 31. The driven shaft 31 is driven to rotate.

【0027】回動フレーム15の下部には延長フレーム
部41が固定され、この延長フレーム部41の下端には
ナット部材42が回動自在に取り付けられている。傾斜
駆動軸43は屈折自在に構成された自在継手44を介し
て傾斜調整軸45に連結されている。傾斜調整軸45の
外周には雄ネジ45aが形成され、この雄ネジ45aは
上記ナット部材42に螺合している。傾斜駆動軸43は
ハンドル46によって回転駆動されるように構成され、
また、その回転量はデジタルカウンタ47によって計測
される。傾斜駆動軸43は、上記水平移動ベース16或
いは水平移動枠17に固定された支持枠48に対して固
定具等を介して軸支されている。
An extension frame portion 41 is fixed to the lower portion of the rotating frame 15, and a nut member 42 is rotatably attached to the lower end of the extension frame portion 41. The tilt drive shaft 43 is connected to the tilt adjusting shaft 45 via a universal joint 44 that is configured to be bendable. A male screw 45a is formed on the outer circumference of the tilt adjusting shaft 45, and the male screw 45a is screwed into the nut member 42. The tilt drive shaft 43 is configured to be rotationally driven by the handle 46,
The amount of rotation is measured by the digital counter 47. The tilt drive shaft 43 is axially supported by a support frame 48 fixed to the horizontal movement base 16 or the horizontal movement frame 17 via a fixture or the like.

【0028】なお、上記デジタルカウンタ25,36,
47はいずれも水平駆動軸23、上下駆動軸33及び傾
斜駆動軸43の正逆回転量に応じてカウンタの計測値が
増減するように構成され、その計測値は、回動フレーム
15の前後位置、上下位置及び傾斜角度を絶対値として
示すものである。このデジタルカウンタとしては検出方
法及びカウント方法が電気式や機械式である種々のもの
を用いることができるが、信頼性及びコスト上の観点か
ら見て、検出方法とカウント方法が共に機械式のもので
あることが好ましい。
The digital counters 25, 36,
47 is configured such that the measured value of the counter increases or decreases in accordance with the forward and reverse rotation amounts of the horizontal drive shaft 23, the vertical drive shaft 33, and the tilt drive shaft 43, and the measured value is the front and rear position of the rotating frame 15. , The vertical position and the tilt angle are shown as absolute values. As this digital counter, various ones having a detection method and a counting method of electric type or mechanical type can be used, but from the viewpoint of reliability and cost, both the detection method and the counting method are mechanical type. Is preferred.

【0029】次に、以上説明した研摩装置の動作につい
て説明する。この研摩装置においては、図1に示すよう
に、ハンドル46を回転させることによって傾斜駆動軸
43が回転すると、自在継手44を介して傾斜調整軸4
5もまた回転するので、ナット部材42が傾斜調整軸4
5に対して図1に2点鎖線で示すようにその軸線方向に
移動し、その結果、回動フレーム15と水平移動ベース
16との間の回動軸である傾斜中心軸Sを中心に回動フ
レーム15が回動する。回動フレーム15の回動によっ
て、下回転軸11はその回動量に応じた傾斜角度を有す
ることになる。
Next, the operation of the polishing apparatus described above will be described. In this polishing apparatus, as shown in FIG. 1, when the tilt drive shaft 43 is rotated by rotating the handle 46, the tilt adjusting shaft 4 is rotated through the universal joint 44.
5 also rotates, so that the nut member 42 moves the tilt adjusting shaft 4
5 is moved in the axial direction as indicated by the chain double-dashed line in FIG. 1, and as a result, the tilt center axis S, which is the rotation axis between the rotation frame 15 and the horizontal movement base 16, is rotated. The moving frame 15 rotates. By the rotation of the rotation frame 15, the lower rotation shaft 11 has an inclination angle according to the rotation amount.

【0030】また、ハンドル24を回転させることによ
って一対の水平駆動軸23が回転すると、水平移動枠1
7が水平移動ベース16や回動フレーム15を伴って水
平移動ガイド18の2本のガイド軸に沿って前後方向に
移動するので、下回転軸11はその回転量に応じた移動
量で前後方向に移動することとなる。
When the pair of horizontal drive shafts 23 is rotated by rotating the handle 24, the horizontal moving frame 1
Since 7 moves in the front-rear direction along the two guide shafts of the horizontal movement guide 18 together with the horizontal movement base 16 and the rotating frame 15, the lower rotation shaft 11 moves in the front-rear direction with a movement amount according to the rotation amount. Will be moved to.

【0031】さらに、ハンドル35を回転させることに
よって上下駆動軸33が回転すると、一対の上下従動軸
31が回転して上下移動ベース19が水平移動枠17、
水平移動ベース16や回動フレーム15を伴って上下に
移動するので、下回転軸11はその回転量に応じた移動
量で上下方向に移動することとなる。
Further, when the vertical drive shaft 33 rotates by rotating the handle 35, the pair of vertical driven shafts 31 rotates and the vertical moving base 19 moves the horizontal moving frame 17,
Since it moves up and down together with the horizontal movement base 16 and the rotating frame 15, the lower rotation shaft 11 moves up and down with a movement amount according to the rotation amount.

【0032】以上のように構成された本実施形態では、
図3(a)に示すように、下回転軸11を、傾斜中心軸
Sを中心にして所定の傾斜角度θだけ傾斜させた場合、
図3(b)に示すように前後方向Xに水平移動量x分、
下回転軸11を移動させ、図3(c)に示すように上下
方向Zに上下移動量z分、下回転軸11を移動させるこ
とによって、揺動軸部材54の位置を全く変えることな
く、研摩皿51上のレンズ(被研材)53に対してレン
ズホルダ52の位置を合わせることができる。
In the present embodiment configured as described above,
As shown in FIG. 3A, when the lower rotation shaft 11 is tilted about the tilt center axis S by a predetermined tilt angle θ,
As shown in FIG. 3B, the horizontal movement amount x in the front-rear direction X,
By moving the lower rotary shaft 11 and moving the lower rotary shaft 11 in the vertical direction Z by the vertical movement amount z as shown in FIG. 3C, the position of the swing shaft member 54 is not changed at all. The position of the lens holder 52 can be aligned with the lens (material to be polished) 53 on the polishing plate 51.

【0033】この場合、下回転軸11の傾斜動作は、X
−Z平面(本実施形態の場合は垂直面、すなわち図1及
び図3の紙面と平行な平面である。この平面は上記の変
更面に相当する。)内において行われ、この傾斜動作に
よって、上軸構造(揺動アーム55等)に取り付けられ
た揺動軸部材54及びレンズホルダ52の位置と、下軸
(下回転軸11等)に取り付けられた研摩皿51及びレ
ンズ53の位置とが、上記X−Z平面内において相互に
ずれることとなる。一方、下回転軸11は、上述のよう
に、X方向(水平な前後方向)と、Z方向(垂直な上下
方向)とのいずれに対しても独立に移動可能に構成され
ていることによって、X−Z平面内の任意の位置に移動
させることができる。したがって、本実施形態の下軸構
造は、上述の機構によって任意の傾斜角度θに設定され
た状態でも常に上軸構造に対して整合させることができ
る。このことは、揺動軸部材の長さ、或いは、レンズホ
ルダ、レンズ、研摩皿の厚さ、或いは下回転軸の長さ等
を変更して、研摩位置と上記傾斜中心軸Sとの距離を変
化させた場合についても同様であり、これらの変化に対
応して常に上軸と下軸との整合性をとることができる。
In this case, the tilting motion of the lower rotary shaft 11 is X
-In the Z plane (in the case of the present embodiment, a vertical plane, that is, a plane parallel to the plane of the paper of FIGS. 1 and 3; this plane corresponds to the above-mentioned modified plane), and by this tilting operation, The positions of the swing shaft member 54 and the lens holder 52 attached to the upper shaft structure (the swing arm 55 etc.) and the positions of the polishing plate 51 and the lens 53 attached to the lower shaft (the lower rotary shaft 11 etc.) , Are mutually displaced in the XZ plane. On the other hand, as described above, the lower rotation shaft 11 is configured to be independently movable in both the X direction (horizontal front-back direction) and the Z direction (vertical vertical direction), It can be moved to any position in the XZ plane. Therefore, the lower shaft structure of the present embodiment can always be aligned with the upper shaft structure even when the inclination angle θ is set to an arbitrary value by the mechanism described above. This means that the length of the swing shaft member, the thickness of the lens holder, the lens, the polishing plate, the length of the lower rotation shaft, or the like is changed to change the distance between the polishing position and the tilted central axis S. The same applies to the case where they are changed, and the upper axis and the lower axis can always be matched with each other in response to these changes.

【0034】また、本実施形態では、上記の傾斜角度
θ、水平移動量x及び上下移動量zについてそれぞれデ
ジタルカウンタ25、36、47によって精度良く、し
かも直ちに把握することができる。したがって、所定の
調整状態を確実に、且つ、再現性良く簡単に得ることが
できるので、各設定値さえ予め求められていれば、調整
作業に熟練を要することなく、初心者でも容易に調整を
行うことができる。特に、デジタルカウンタによって予
め設定された値にセットするだけでよいから、アナログ
設定を行う場合に比べて、設定のあいまいさを低減でき
るので、より高精度の調整作業を行うことが可能であ
る。なお、本実施形態のデジタルカウンタは機械式の検
出構造及び機械式のカウンタを備えているため、設定の
バックアップが不要になり、確実な動作が得られる利点
がある。
Further, in this embodiment, the tilt angle θ, the horizontal movement amount x and the vertical movement amount z can be accurately and immediately grasped by the digital counters 25, 36 and 47, respectively. Therefore, a predetermined adjustment state can be obtained reliably and easily with good reproducibility. Therefore, even if each setting value is obtained in advance, even a beginner can easily perform the adjustment without requiring skill in the adjustment work. be able to. Particularly, since it is only necessary to set the value to a preset value by the digital counter, the ambiguity of the setting can be reduced as compared with the case where the analog setting is performed, so that it is possible to perform the adjustment work with higher accuracy. Since the digital counter of the present embodiment has a mechanical detection structure and a mechanical counter, there is an advantage that setting backup is unnecessary and reliable operation can be obtained.

【0035】本実施形態では、上軸において揺動アーム
と揺動軸部材との間の取付部を調整する必要が全くなく
なるため、研摩液が付着しやすい取付部をいじる必要が
ないとともに、感によって作業を行うこともないので、
調整精度及び再現性が向上する。また、調整作業をきわ
めて容易に行うことができる。さらに、上記の取付部に
調整のための構造を設ける必要がないため、揺動機構の
高剛性化を、重量増を招くことなく実現することができ
るので、研摩圧も低減できるとともに、研摩精度も高め
ることができる。
In this embodiment, since it is not necessary to adjust the mounting portion between the swing arm and the swing shaft member on the upper shaft, there is no need to tamper with the mounting portion to which the polishing liquid is likely to adhere, There is no work done by
Adjustment accuracy and reproducibility are improved. Moreover, the adjustment work can be performed very easily. Further, since it is not necessary to provide a structure for adjustment on the above-mentioned mounting portion, the rigidity of the swinging mechanism can be increased without increasing the weight, so that the polishing pressure can be reduced and the polishing accuracy can be reduced. Can also be increased.

【0036】図4には、本実施形態に用いる研摩カバー
の取り付け構造を示す。通常、研摩カバーは、研摩処理
部、すなわち研摩皿51、レンズホルダ52及びレンズ
53が配置される部分の周囲を覆って砥粒を含むスラリ
ー液が周囲に飛散しないようにするためのものである。
本実施形態では、フレーム10に係合したステンレス鋼
板等からなる上カバー62と、下回転軸11の軸支構造
及び上記回動フレーム15に対して固定されたステンレ
ス鋼板等からなる下カバー67と、フレームの上部開口
を閉鎖するように着脱可能に取り付けられたアクリル板
等の透明素材等からなる閉鎖カバー68とが設けられて
いる。閉鎖カバー68には図示しない揺動軸部材(かん
ざし)をその揺動範囲において支障なく通過させること
ができるように構成された開口68aが形成されてい
る。
FIG. 4 shows an attachment structure of the polishing cover used in this embodiment. Normally, the polishing cover is for covering the periphery of the polishing processing portion, that is, the portion where the polishing plate 51, the lens holder 52 and the lens 53 are arranged, so that the slurry liquid containing abrasive grains does not scatter around. .
In this embodiment, an upper cover 62 made of a stainless steel plate or the like engaged with the frame 10 and a lower cover 67 made of a stainless steel plate or the like fixed to the pivotal support structure of the lower rotary shaft 11 and the rotating frame 15. A closing cover 68 made of a transparent material such as an acrylic plate is detachably attached so as to close the upper opening of the frame. The closing cover 68 is formed with an opening 68a configured to allow an unillustrated swing shaft member (hairpin) to pass through in the swing range without trouble.

【0037】上カバー62は上記研摩処理部を取り巻く
ように平面枠形状に形成され、フレーム10の開口縁
と、この開口縁の下面に対して取り付けられた案内レー
ル61との間に係合する左右一対の側縁部62aを有
し、図の紙面方向に摺動自在に構成されている。上カバ
ー62には接続具64が取り付けられ、この接続具64
はリニアスライダ65に取り付けられている。リニアス
ライダ65は、水平移動ベース16に取り付けられたリ
ニアレール66に嵌合し、このリニアレール66に対し
て上下方向に摺動自在に取り付けられている。したがっ
て、上カバー62はその上下方向の位置を保ちながら、
水平移動ベース16が前後に移動するに従って一体的に
前後に移動するように構成されている。上カバー62の
下端には合成ゴムなどからなる可撓性シート63が下回
転軸11を取り巻くように取り付けられている。
The upper cover 62 is formed in a flat frame shape so as to surround the above-mentioned polishing processing portion, and is engaged between the opening edge of the frame 10 and the guide rail 61 attached to the lower surface of this opening edge. It has a pair of left and right side edge portions 62a and is configured to be slidable in the direction of the drawing sheet. A connection tool 64 is attached to the upper cover 62.
Is attached to the linear slider 65. The linear slider 65 is fitted to a linear rail 66 attached to the horizontal movement base 16, and is attached to the linear rail 66 slidably in the vertical direction. Therefore, the upper cover 62 maintains its vertical position,
The horizontal movement base 16 is configured to integrally move forward and backward as the horizontal moving base 16 moves forward and backward. A flexible sheet 63 made of synthetic rubber or the like is attached to the lower end of the upper cover 62 so as to surround the lower rotary shaft 11.

【0038】下カバー67は研摩部分を下方から覆うよ
うに蓋無有底箱状に形成されている。下カバー67には
下回転軸11を軸支する軸支構造が貫通する貫通孔67
aが形成され、下カバー67は、その下方に配置された
回動フレーム15に固定されている。したがって、下カ
バー67は、回動フレーム15が上下動するに従って一
体的に上下動し、回動フレーム15が傾斜するに従って
一体的に傾斜するように構成されている。
The lower cover 67 is formed in a box shape without a lid so as to cover the polished portion from below. The lower cover 67 has a through hole 67 through which a shaft supporting structure for supporting the lower rotating shaft 11 passes.
a is formed, and the lower cover 67 is fixed to the rotating frame 15 arranged below the lower cover 67. Therefore, the lower cover 67 is configured to integrally move up and down as the rotating frame 15 moves up and down, and integrally tilt as the rotating frame 15 tilts.

【0039】上記のように上カバー62は前後方向につ
いては水平移動ベース16と共に移動するが、下カバー
67の昇降動作及び傾斜動作によって上カバー62との
位置関係が変化し、場所によっては上カバー62と下カ
バー67との間に隙間が生ずることとなる場合がある。
その場合には上記可撓性シート63が上カバー62と下
カバー67との間に延在し、上記研摩部分の密閉性(被
覆性)を確保するようになっている。なお、本実施形態
では可撓性シート63は上カバー62に取り付けられて
そのまま下方に垂れ下がった状態になっているが、可撓
性シート63の下端部を下カバー67(好ましくはその
上端部)に取り付け、上カバー62と下カバー67との
間が可撓性シート63によって完全に密閉されるように
構成しても構わない。このとき、可撓性シート63は上
カバー62と下カバー67の双方に対してある程度の余
裕を持って取り付けられる。
As described above, the upper cover 62 moves together with the horizontal moving base 16 in the front-back direction, but the positional relationship with the upper cover 62 changes due to the raising and lowering operation and the tilting operation of the lower cover 67, and in some places the upper cover 62. A gap may be formed between 62 and the lower cover 67.
In that case, the flexible sheet 63 extends between the upper cover 62 and the lower cover 67 to ensure the sealing property (coverability) of the polished portion. In the present embodiment, the flexible sheet 63 is attached to the upper cover 62 and hangs downward as it is, but the lower end portion of the flexible sheet 63 is at the lower cover 67 (preferably the upper end portion thereof). Alternatively, the flexible sheet 63 may completely seal the space between the upper cover 62 and the lower cover 67. At this time, the flexible sheet 63 is attached to both the upper cover 62 and the lower cover 67 with some margin.

【0040】尚、本発明の研摩装置は、上述の図示例に
のみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であ
る。例えば、上記実施形態では下軸を水平方向(前後方
向)と垂直方向(上下方向)に移動させるようにしてい
るが、傾斜角度の変化する平面内において下軸を任意に
位置決めすることができるように、2つの移動方向が上
記平面内において相互に交差していさえすればよい。ま
た、上記実施形態は上軸構造としてかんざしと呼ばれる
揺動軸部材とレンズホルダとの角度自在の連結構造を有
するものであるが、例えばレンズ面に適合した球芯運動
を行う上軸構造を有するものであっても構わない。
The polishing apparatus of the present invention is not limited to the above-mentioned illustrated examples, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the lower shaft is moved in the horizontal direction (front-back direction) and the vertical direction (up-down direction), but the lower shaft can be arbitrarily positioned in the plane where the inclination angle changes. Moreover, it is only necessary that the two movement directions intersect each other in the plane. Further, in the above-described embodiment, the upper shaft structure has a structure in which an oscillating shaft member called a kanzashi and a lens holder are freely angled. However, for example, the upper shaft structure performs a spherical core movement suitable for a lens surface. It can be one.

【0041】また、本明細書において記載された発明と
しては、第1研摩部材と、該第1研摩部材に連結された
揺動部材と、前記第1研摩部材に対して被研材を介して
対向する第2研摩部材と、前記揺動部材を揺動させる揺
動駆動手段と、前記第2研摩部材をその軸線周りに回転
させる回転駆動手段とを有する、前記被研材を研摩する
ための研摩装置であって、前記第2研摩部材の回転軸線
の前記揺動部材に対する傾斜角度を変更可能とする傾斜
調整手段と、前記第2研磨冶具の位置を移動可能とする
移動手段とを有し、前記傾斜調整手段による傾斜角度を
検出する角度検出手段と、前記移動手段による移動位置
を検出する位置検出手段とを備えていることを特徴とす
るものがある。この場合、角度検出手段及び位置検出手
段をデジタルカウンタとすることが好ましい。
Further, as the invention described in the present specification, the first polishing member, the swinging member connected to the first polishing member, and the material to be polished with respect to the first polishing member are provided. For polishing the material to be polished, which has a second polishing member facing each other, a swing drive means for swinging the swing member, and a rotation drive means for rotating the second polishing member around its axis. A polishing device, comprising: tilt adjusting means capable of changing a tilt angle of a rotation axis of the second polishing member with respect to the swinging member; and moving means capable of moving a position of the second polishing jig. There is a feature in that an angle detecting means for detecting an inclination angle by the inclination adjusting means and a position detecting means for detecting a moving position by the moving means are provided. In this case, the angle detecting means and the position detecting means are preferably digital counters.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
揺動側の機構を簡易に構成できるとともに重量を増加さ
せることなく剛性を高めることができるため、研摩圧の
制御が容易になるとともに研摩部材の位置精度も高める
ことができるから、研摩精度を向上させることができ
る。
As described above, according to the present invention,
Since the mechanism on the rocking side can be configured simply and the rigidity can be increased without increasing the weight, the polishing pressure can be controlled easily and the positioning accuracy of the polishing member can be improved, thus improving the polishing accuracy. Can be made.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る研摩装置の実施形態の構造を右側
面から見た縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a structure of an embodiment of a polishing device according to the present invention as seen from a right side surface.

【図2】同実施形態の構造を正面から見た縦断面図であ
る。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of the structure of the same embodiment as seen from the front.

【図3】同実施形態における調整作業の手順を示す説明
図(a)〜(c)である。
FIG. 3 is explanatory diagrams (a) to (c) showing a procedure of an adjustment work in the same embodiment.

【図4】同実施形態における研摩カバーの取り付け構造
を示す部分縦断面図である。
FIG. 4 is a partial vertical cross-sectional view showing a structure for attaching a polishing cover in the same embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 フレーム 11 下回転軸 15 回動フレーム 16 水平移動ベース 17 水平移動枠 18 水平移動ガイド 19 上下移動ベース 22 上下移動ガイド 23 水平駆動軸 25,36,47 デジタルカウンタ 33 上下駆動軸 43 傾斜駆動軸 62 上カバー 63 可撓性シート 67 下カバー 10 frames 11 Lower rotation axis 15 rotating frame 16 Horizontal movement base 17 Horizontal movement frame 18 Horizontal movement guide 19 Vertical movement base 22 Vertical movement guide 23 Horizontal drive shaft 25,36,47 Digital Counter 33 Vertical drive shaft 43 Tilt drive shaft 62 Top cover 63 Flexible sheet 67 Lower cover

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C049 AA04 AA11 AA16 AC02 CA01 CB01 CB04 3C058 AA07 AA11 AA16 AA18 CA01 CA06 CB04 CB07 DA02 DA10   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 3C049 AA04 AA11 AA16 AC02 CA01                       CB01 CB04                 3C058 AA07 AA11 AA16 AA18 CA01                       CA06 CB04 CB07 DA02 DA10

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1研摩部材と、該第1研摩部材に連結
された揺動部材と、前記第1研摩部材に対して被研材を
介して対向する第2研摩部材と、前記揺動部材を揺動さ
せる揺動駆動手段と、前記第2研摩部材をその軸線周り
に回転させる回転駆動手段とを有する、前記被研材を研
摩するための研摩装置であって、 前記第2研摩部材の回転軸線の前記揺動部材に対する傾
斜角度を変更可能とする傾斜調整手段と、前記傾斜角度
の変更面に沿った第1方向に前記第2研磨冶具の位置を
移動可能とする第1移動手段と、前記第1方向と交差す
るとともに前記変更面に沿った第2方向に前記第2研摩
部材の位置を移動可能とする第2移動手段とを設けたこ
とを特徴とする研摩装置。
1. A first polishing member, a swinging member connected to the first polishing member, a second polishing member that faces the first polishing member with a material to be polished, and the swinging member. A polishing device for polishing the material to be polished, comprising: a swing drive means for swinging the member; and a rotation drive means for rotating the second polishing member around its axis. Adjustment means for changing the tilt angle of the rotation axis of the second polishing jig with respect to the swing member, and first moving means for moving the position of the second polishing jig in the first direction along the change surface of the tilt angle. And a second moving means that allows the position of the second polishing member to move in a second direction along the changing surface while intersecting the first direction.
【請求項2】 請求項1において、前記傾斜調整手段、
前記第1移動手段及び前記第2移動手段によって設定さ
れた前記傾斜角度並びに前記第2研摩部材の第1方向及
び第2方向の位置を検出する検出手段が設けられている
ことを特徴とする研摩装置。
2. The tilt adjusting means according to claim 1,
Polishing, characterized in that detection means for detecting the tilt angle set by the first moving means and the second moving means and the position of the second polishing member in the first direction and the second direction is provided. apparatus.
【請求項3】 請求項2において、前記検出手段は、前
記傾斜調整手段、前記第1移動手段及び前記第2移動手
段の駆動軸に直接若しくは間接的に取り付けられたデジ
タルカウンタであることを特徴とする研摩装置。
3. The detector according to claim 2, wherein the detecting means is a digital counter directly or indirectly attached to the drive shafts of the tilt adjusting means, the first moving means and the second moving means. And polishing equipment.
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に
おいて、前記第2研摩部材は、前記傾斜調整手段によっ
て回動可能に構成された回動フレームに軸支され、該回
動フレームは、第1移動手段若しくは第2移動手段の一
方によって移動可能な1次移動ベースに対して回動可能
に取り付けられ、該1次移動ベースは、第1移動手段若
しくは第2移動手段の他方によって移動可能な2次移動
ベースに取り付けられ、前記傾斜調整手段は、前記1次
移動ベースを基準として前記回動フレームの傾斜角度を
設定するように構成されていることを特徴とする研摩装
置。
4. The rotating frame according to any one of claims 1 to 3, wherein the second polishing member is axially supported by a rotating frame configured to be rotatable by the inclination adjusting means. Is rotatably attached to a primary moving base movable by one of the first moving means and the second moving means, and the primary moving base is attached by the other of the first moving means and the second moving means. A polishing apparatus attached to a movable secondary movement base, wherein the inclination adjusting means is configured to set an inclination angle of the rotating frame with reference to the primary movement base.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007015034A (en) * 2005-07-05 2007-01-25 Nagata Seisakusho:Kk Polishing equipment

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