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JP2003114259A - Lsiテスト方法および装置 - Google Patents

Lsiテスト方法および装置

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JP2003114259A
JP2003114259A JP2001310794A JP2001310794A JP2003114259A JP 2003114259 A JP2003114259 A JP 2003114259A JP 2001310794 A JP2001310794 A JP 2001310794A JP 2001310794 A JP2001310794 A JP 2001310794A JP 2003114259 A JP2003114259 A JP 2003114259A
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JP
Japan
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test
lsi
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data
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JP2001310794A
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Inventor
Masahiro Hoshaku
雅浩 寶積
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 LSIのテストに際し、プロセッサの命令実
行回路の機能テストを高速で且つ効率良く実行できるよ
うにする。 【解決手段】 信号処理を行うプロセッサをオペコード
とオペランドとを用いてテストするときに、オペコード
を蓄積したテーブルデータから順次フェッチし、乱数発
生手段102によってオペランドをランダムに発生さ
せ、テーブルデータから得たオペコードと乱数発生した
オペランドとの組合せによって、プロセッサの演算処理
部106における機能検査を実施する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はLSIテスト方法お
よび装置に関し、特に高速動作チップを効率良く検査で
きる自己テスト回路技術にもとづくLSIテスト方法お
よび装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、LSIテストの一般的な手法とし
ては、下記のものが挙げられる。すなわち、まずコンピ
ュータシミュレーションからテストデータ(以下「テス
トパターン」と呼ぶ)を予め作成する。このテストパタ
ーンは、LSIの外部から入力してLSIを動作させる
ドライブ信号と、LSIの応答結果である期待値とから
構成される。そして、このテストパターンをLSIテス
タから直接テスト対象となるLSIチップに入力し、L
SIチップで処理した出力結果をLSIテスタで前記期
待値と比較して、故障有無の検査を実施する方法が最も
一般的である。
【0003】マイクロプロセッサやマイクロコントロー
ラ、ディジタル・シグナル・プロセッサなどのプロセッ
サの高機能化、高速化が進むにつれて、より高速な検査
を可能とする高速LSIテスタが必要になる。或いはL
SIの高集積化が進むにつれて、LSIテスタに対して
信号を入出力する外部端子が増えることで、テスタチャ
ネルの多いより高価なLSIテスタが必要となる。
【0004】また、微細化が進むにつれLSIの電源電
圧が低下するため、LSIチップの入出力電圧も低下す
る。従って高速LSIの検査をLSIの最大動作速度で
直接検査する場合に、電圧降下やノイズによって、LS
IテスタとLSIチップとの間での高速信号伝搬が困難
となる。
【0005】このため最近では、組込み型自己テスト回
路(以下「BIST」と呼ぶ)がLSIに搭載されてい
る。BISTを搭載した従来のLSIの構成例を図5に
示す。図5のLSI400において、BISTは、一般
的に、テストパターン生成部401と、期待値生成部4
05と、比較判定部403とから構成される。404は
テスト制御部である。テストパターン生成部401は乱
数生成回路を用いてランダムにテストパターンを生成
し、テスト対象回路402に前記テストパターンを入力
する。テスト対象回路402からの応答出力は、比較判
定部403で期待値生成部405からの期待値と比較判
定され、一致/不一致の判定信号がLSI400の外部
に出力される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】プロセッサにおいて、
前記BISTを用いたLSI機能検査を実施する場合、
従来技術では次の様な課題が発生する。即ち、プロセッ
サ、特に演算処理回路の検査では、命令(オペコード)の
実行順序における前後関係に意味を持つ場合や、命令と
して割り付けられていないビット列(コード)が存在す
る場合などある。従って、乱数発生回路でオペコードの
テストパターンを作成して検査対象回路に入力する方法
でBISTを構成した場合は、テスト効率が悪く、故障
検出率も上がらない。更に、オペランドのテストパター
ン(演算処理回路の入力データ)は、演算命令によって
はデータ依存性が高く、入力データのトポロジ毎に演算
回路内の信号経路が大きく異なる場合があり、これに伴
って同一のオペコードであっても、オペランドのトポロ
ジによっては、プロセッサ内部の信号伝搬遅延に違いが
発生する。即ち、オペランドのテストパターン依存性が
重要となり、「オペコード」と「オペランド」の組合せ
を乱数発生回路で与えるBISTの場合は、膨大な乱数
出力が必要となり、テスト時間の増加が生じる。一方、
テスト時間の削減を目的として、発生せさる乱数データ
を絞り込む場合は、故障検出率が不充分となる等、効率
の良いLSI検査が望めない。
【0007】そこで本発明は、プロセッサの命令実行回
路の機能テストを高速で且つ効率良く実行できるように
することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、信号処理を行うプロセッサをオペコードとオ
ペランドとを用いてテストするに際し、オペコードを蓄
積したテーブルデータから順次フェッチし、乱数発生手
段によってオペランドをランダムに発生させ、テーブル
データから得たオペコードと乱数発生したオペランドと
の組合せによって、プロセッサの演算処理部における機
能検査を実施するものである。
【0009】このようにすると、無意味なテストパター
ンを無くした効率の良いLSI検査を行うことが可能と
なって、プロセッサの命令実行回路の機能テストを高速
で且つ効率良く実行可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。図1は本発明の実施の形態
におけるテスト実現手段を内蔵したハーバードアーキテ
クチャ型のプロセッサを示す。以下この図1或いは図
2、図3、図4を用いて説明する。
【0011】図1のプロセッサは、オペコード用のXメ
モリ100と、オペランド用のYメモリ101と、命令
制御部104と、演算処理部106とから構成されるプ
ロセッサ本体に、テスト専用レジスタ103、108、
111と、乱数発生手段102と、期待値生成手段10
9と、比較手段110とから構成されるテスト回路を組
込むことで自己テストを可能としたLSIである。演算
処理部106において、106aはALUやMULなど
の演算回路、106bは汎用レジスタである。
【0012】このようなプロセッサにおける命令は、異
なった命令であっても、データ処理に使用する信号経路
(演算パスなど)として部分的に同じ回路を使用する場
合がある。このとき、最初の命令実行時に回路の一部が
活性化された状態にある場合と、そうでない場合とで、
次の演算命令の実行過程に影響を及ぼす事態が発生す
る。或いは、例えば命令A、命令B、命令Cの関係が、
A命令実行直後にB命令は実行可能であるが、C命令は
実行不可といった様に、プロセッサの回路仕様的な制約
条件が設けられているケースがある。この様なプロセッ
サのLSIテストをBISTで実行する場合、従来のB
ISTで最もよく利用される乱数発生回路でオペコード
(命令)を作成したランダムデータのみを与えていて
は、そのプロセッサにとってオペコードとして意味の無
いテストパターンまで実施する場合が生じ、テスト効率
が低下するケースや、良品チップを不良品と誤って判定
するケースがある。
【0013】そこで本発明では、プロセッサの設計仕様
に従って本来テストすべきオペコードの組合せ(実行順
序)を考慮した命令実行スケジュールを予め作成し、こ
のスケジュールに従ってオペコードのテーブルデータを
作成する。作成したテーブルデータはオペコードの発生
頻度を極力抑え、且つテスト項目洩れの無い様スケジュ
ーリングされたものとしておく必要がある。そしてLS
Iテスト時には外部からLSIの命令格納機構、例えば
プロセッサ搭載メモリすなわち図1におけるXメモリ1
00へ、オペコードを格納しておく。LSIテスト時に
は、前記プロセッサ搭載メモリであるXメモリ100に
格納したオペコードをフェッチして、命令制御部10
4、命令デコード部へ転送する。
【0014】図3は、本発明にもとづくLSIの命令コ
ードの構造を示す。オペランドは図3において300で
示されるビット列でコードが構成されている。すなわち
MSB側から乗算命令や加算命令あるいは転送命令とい
った命令の種類を表す“オペレーション部”301と、
演算結果を格納する場所を表す“デスティネーションデ
ータ格納先”304と、被演算データの格納場所を表す
“ソースデータ1”302、“ソースデータ2”303
とによって構成されている。具体例として、図3に「命
令1」、「命令2」、「命令3」の3種類のコード列と
ニーモニックを記す。例えば、命令1は、ソースデータ
が302a、303aのビット列で定義された格納場所
にあるデータ(S1)、(S2)を用いて演算op1を
実行し、その結果D1をコード304aで定義された格
納場所に格納する。
【0015】また図3における「命令1」、「命令
2」、「命令3」は、乗算命令、加算命令、論理積命令
といった関係にあり、かつソース、デスティネーション
先がそれぞれ異なったケースである。
【0016】通常動作時にプロセッサは命令制御部でオ
ペコード300を基にソースデータがメモリの何番地か
或いはどのレジスタかを判断し、ソースデータ記憶資源
へ制御信号を発信する。
【0017】本発明にもとづくLSIは、検査を行う
際、外部からテストモード信号120がテストモード制
御部105に与えられ、この信号によってソース記憶資
源の制御信号発信を停止する。そしてテスト時にテスト
対象となる命令、即ちオペコード300の“ソースデー
タ1”302、“ソースデータ2”303がメモリを指
す場合、即ちメモリソース演算である場合は、そのメモ
リの代わりに乱数発生手段102でランダムに生成した
乱数データパターンがデータバスへ供給され、テスト対
象オペコードのオペランドとして演算処理される。演算
処理結果はオペコード内の“デスティネーションデータ
格納先”304に指定されたレジスタに格納されるが、
次のクロックサイクルではレジスタ内のデータをテスト
専用レジスタ108に転送する。そして、期待値生成手
段109において予め用意されレジスタ111に転送さ
れたた期待値と、テスト専用レジスタ108の内容とを
比較器110で比較し、不一致の場合は判定信号121
としてのFAIL信号をLSI外部へ出力する。
【0018】乱数発生手段102は、LFSR(線形フ
ィードバックシフトレジスタ)を用いて実現することが
できる。このLFSRによって発生された乱数発生手段
出力信号は、バス107aに転送されると同時に図2に
示す“レジスタ1”202に格納される。通常動作で
は、Yメモリ101のデータは、バス107aとバス1
07bとを経由して演算回路106aに入力されるか或
いはレジスタへ転送される。一方、テスト実施時には、
このYメモリ101に代わって乱数発生手段102がバ
スバス107a、107bへ信号を出力する。したがっ
て、第n番目の乱数発生手段出力信号がバス107aを
経由して演算回路106aに入力される際に、第(n+
1)番目の乱数発生手段出力信号が“レジスタ1”20
2とバス107bとを経由して演算回路106aに入力
される。
【0019】また、テスト時にテスト対象となる命令、
即ちオペコード300の“ソースデータ1”302、
“ソースデータ2”303がレジスタを指す場合、即ち
レジスタソース演算である場合は、テーブルデータにお
いて前記レジスタ演算のオペコード直前に「転送命令」
のオペコードを挿入しておく。これは実際のプロセッサ
動作がメモリからレジスタ転送しておかないとレジスタ
演算できない回路仕様である場合は、前記のようなテス
トを実施するほうがよりユーザ使用状態に近く好ましい
ためである。従って、転送命令実行時もメモリの代わり
に乱数発生手段102からバスを経由してレジスタ転送
される。但し、レジスタ演算を数百回実行してデータ依
存を見る場合は、前記テストモード信号を第二の状態で
ある簡易レジスタソース演算命令モードとして乱数発生
手段102が生成するランダムデータを直接レジスタ出
力バスへ転送する機構も設けておく。そして、このモー
ドにおいては、オペコードが指し示すレジスタの代わり
に乱数発生手段102でランダムに生成した乱数データ
パターンを用いてテスト対象命令の演算処理を実行す
る。図1において、112は、簡易レジスタソース演算
/メモリソース演算選択信号である。
【0020】更に、従来のBISTでは、オペランド、
オペコードを夫々ランダムに発生した乱数で与えていた
ため、ひとつの命令(オペコード)に対するデータパタ
ーンの組合せを十分検査できない。もし従来のBIST
で十分な組合せを確保する場合は、乱数発生手段で膨大
な回数の乱数を発生する必要がある。この場合はテスト
時間が大幅に増加する。これに対し、本発明のプロセッ
サにおけるテスト回路は、1回のオペコードのフェッチ
動作に対して、乱数発生手段102からのオペランド転
送を数十回〜数百回繰り返すよう制御することで、1命
令に関するデータパターン依存性を十分検査可能で、故
障検出率を上げる効果がある。
【0021】本発明によると、テーブルデータ中のオペ
コードひとつに対して、すなわち1命令あたりに、オペ
ランドは乱数発生手段102から繰り返しランダムなパ
ターンとして供給することができる。このようにする
と、命令毎のデータ依存性が高くなって効率良くテスト
することが可能となる。これにより、短いテスト時間で
故障検出率の高いLSIテストを行うことが可能とな
る。
【0022】本発明にもとづくプロセッサにおいては、
予め命令実行順序を考慮したオペコードのテーブルデー
タを作成する。このテーブルデータをテスト実施前に外
部端子122からLSIのXメモリ100へ転送し格納
する。メモリソース演算の場合は、図3におけるオペコ
ード300の中でオペレーション指定部301とデステ
ィネーションデータ格納場所304を示すビット列のみ
有効で、ソースデータ格納場所302、303を表すビ
ットは全てテストモード時に無視される。このためテー
ブルデータ中では“0”の場合のみ取り扱う。
【0023】テスト実施時は外部からテストモード信号
120を入力する。このテストモード信号120の入力
をトリガとして、演算処理部106のテストが実施され
る。すると、Xメモリ100に格納されたオペコード
は、レジスタ103にフェッチされ命令制御部104へ
転送される。フェッチしたオペコードがメモリソース演
算命令であった場合は、テストモード信号120の入力
時に、テストモード制御部105は、命令制御部104
内のポインタアドレス生成回路の動作を停止する。即ち
ソースデータを格納したメモリアドレスへのリード信号
を発信しないようにする。そして、代わりに乱数発生手
段102からのデータをバスへ転送し演算処理部106
へ供給する。乱数発生手段102はテスト対象となる演
算処理部106の最高速度でデータを供給し、且つ例え
ばひとつのオペコードフェッチ動作に対して乱数発生手
段102からのデータ転送は数百回繰り返される。即ち
ひとつの演算命令(オペコード)を異なるデータの組み
あわせで数百回繰り返し実行する。
【0024】そのときの演算処理結果は、図1のプロセ
ッサの場合は、汎用レジスタ106bへ格納される。そ
して、この演算毎の演算結果を汎用レジスタ106bか
らテスト専用デスティネーションレジスタ108へ順次
転送し、比較手段110を用いて、演算処理部106の
応答結果と、期待値生成手段109からの期待値信号と
を比較判定する。演算結果と期待値が不一致の場合は、
FAILを意味する信号が、判定信号121としてLS
I外部へ出力される。このとき、同時にテストモード制
御回路105へテストモード停止信号113を転送して
テスト動作を停止し、レジスタ108、103、111
及び図2中のレジスタ203a、203b内の情報を上
書きしない様にする。これにより前記各レジスタに不一
致発生時のオペコード、オペランド、期待値、演算処理
部応答結果が格納された状態でテストが停止する。
【0025】その後、外部からフェイル情報読出し用ク
ロック端子114に低速のクロック信号を入力すると、
レジスタ108、103、111及び図2中のレジスタ
203a、203bは、シフトレジスタとして動作し、
同レジスタ内の情報をシリアル出力端子204a、20
4bからLSI外部へシリアル出力する。これにより、
不一致発生時の情報を得ることが可能で、これをFAI
L原因解析のために利用可能である。
【0026】これによれば、テスト実行時はLSIの動
作最高速度で動作するが、オペコード(或いはオペラン
ドや期待値)をLSIテスタからLSI内蔵のオペコー
ド格納手段(或いはオペランドや期待値格納手段)へ転
送する機構と、前記テスト応答結果が期待値と不一致時
に出力されるFAIL信号や、前記不一致時に応答結果
とオペコード、オペランドをLSI外部へリアル転送す
る機構を有し、これらLSIチップとLSIテスタ間の
インタフェース部がLSIの動作速度より低速で入出力
する機構とすることで、高速チップを低速で安価なLS
Iテスタ設備を用いてテスト可能となり、テストコスト
を抑制できる。
【0027】また、テスト専用レジスタ108、10
3、111、乱数発生手段102、期待値生成手段10
9、比較手段110及びその他テスト専用回路をLSI
レイアウト的に集中して配置し、前記回路の電源ライン
と、LSIの通常電源ラインとを分離しておく。即ち、
図4に示すように、、テスト部電源ライン501と通常
電源ライン502とは、夫々異なるLSI外部端子を割
り当てるか、或いはテスト部電源ライン501を通常電
源ライン502から切り離す電源遮断機構を設ける。5
03はGNDラインである。テスト実施時には、テスト
部電源ライン501と通常電源ライン502とに同じ電
源電圧を供給する。
【0028】テスト時以外のときには、テスト部電源ラ
イン501を接地して、回路を使用できないようにす
る。或いはテスト部電源ライン501を通常電源ライン
502から切り離して、テスト部電源ライン501に電
源電圧を供給しない様にする。これにより、本発明にも
とづくLSIをデジタル機器などに搭載して使用する際
に、テスト回路から発生するオフリークを無くすことが
できる。
【0029】尚、本発明にもとづくプロセッサにおいて
は、メモリBIST回路を別途搭載することで、Yメモ
リ101を演算処理部106と並列で検査し、演算処理
部106とYメモリ101との検査の終了後に、前記メ
モリ用BISTを用いてXメモリ100の検査を実施す
ることができる。
【0030】或いは、図1に示した乱数発生手段10
2、期待値生成手段109、比較手段110をメモリテ
スト時にも再度利用できるように、テスト制御回路を若
干変更することができる。その場合は、前記の方法に比
べテスト時間の短縮効果はなくなるが、テスト回路の面
積的なオーバヘッドは軽減される。
【0031】更に、オペランドをランダムに発生させる
乱数発生手段102を設ける代わりに、予め作成した乱
数をLSI搭載メモリに格納しておき、テスト時にメモ
リから順次読み出して使用することもできる。また同様
に、期待値生成手段109を設ける代わりに、乱数を用
いた時の期待値を事前に求めておき、乱数をメモリに格
納する際に同時に前記期待値を格納し、テストモード時
にはこの格納された期待値をメモリから比較器へ転送し
て比較判定することもできる。
【0032】
【発明の効果】以上のように本発明によると、信号処理
を行うプロセッサをオペコードとオペランドとを用いて
テストするに際し、オペコードを蓄積したテーブルデー
タから順次フェッチし、乱数発生手段によってオペラン
ドをランダムに発生させ、テーブルデータから得たオペ
コードと乱数発生したオペランドとの組合せによって、
プロセッサの演算処理部における機能検査を実施するた
め、換言すると、事前に用意したオペコードのテーブル
データをLSI内蔵のオペコード格納手段に格納してお
き順次フェッチする一方、乱数発生手段によってランダ
ムに発生させた乱数をオペランドとしてプロセッサに転
送する回路を有し、前記オペコードとオペランドを組合
せてテストを実施するため、無意味なテストパターンを
無くした効率の良いLSIテストを実現できて、テスト
時間を短縮できるとともに良品チップの誤判定をなくす
ことができる。
【0033】また本発明によると、既存の命令制御部や
デコーダを利用してフェッチデータを処理し、テストモ
ード時はソースデータ格納資源への制御を停止して乱数
発生手段からオペランドを供給することで、テスト制御
回路とレジスタをわずかに追加するだけでプロセッサの
組込み自己テスト回路を実現できるため、従来のプロセ
ッサ用BISTより回路面積的なオーバヘッドを小さく
することが可能である。
【0034】また本発明によると、プロセッサのテスト
応答結果と期待値を比較した結果が不一致の場合にFA
IL信号をLSI外部へ出力する機構と、不一致発生時
にテストを中止する機構と、不一致時にテスト専用デス
ティネーションレジスタ内に格納されているテスト応答
結果をLSI外部へ出力する機構と、不一致時のオペコ
ード、オペランドを記憶しておきLSI外部へ出力でき
る機構を有することで比較的容易にFAIL解析を実施
することができる。
【0035】また本発明によると、テスト回路の電源ラ
インをLSIの通常電源ラインと分離し、テスト時以外
ではテスト回路へ電源を供給しない構成とすることで、
LSIの実動作時にテスト回路から発生するオフリーク
をゼロにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にもとづくLSIテスト装
置の回路構成図
【図2】図1における乱数発生手段の構成を説明する図
【図3】テスト対象プロセッサにおけるオペコードの構
成例を示す図
【図4】本発明にもとづく電源供給方法を示す図
【図5】従来のBISTの構成図
【符号の説明】
100 Xメモリ 102 乱数発生手段 103、111、108 レジスタ(テスト専用レジ
スタ) 106 演算処理部 109 期待値生成手段 110 比較手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/822 27/04 Fターム(参考) 2G132 AA01 AB01 AD06 AG02 AK09 AK29 AL09 5B048 AA12 DD06 DD08 5B062 DD10 JJ05 5F038 DF04 DT07 DT08 DT15 DT18 DT19 EZ20

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 信号処理を行うプロセッサをオペコード
    とオペランドとを用いてテストするに際し、オペコード
    を蓄積したテーブルデータから順次フェッチし、乱数発
    生手段によってオペランドをランダムに発生させ、テー
    ブルデータから得たオペコードと乱数発生したオペラン
    ドとの組合せによって、プロセッサの演算処理部におけ
    る機能検査を実施するLSIテスト方法。
  2. 【請求項2】 テストモード時には、プロセッサが本来
    持つ回路を使用してオペコードのデコードやプログラム
    制御を行うとともに、演算時のソースデータやデスティ
    ネーションデータを格納する記憶資源に関する制御を停
    止して、テストモード専用レジスタにソースデータある
    いはデスティネーションデータを格納し、かつ前記テス
    トモード専用レジスタからオペコードやオペランドを供
    給してテストを実施する請求項1記載のLSIテスト方
    法。
  3. 【請求項3】 プロセッサが持つ全オペコードに対して
    予め命令実行順番による影響を考慮してテスト順番を決
    定したスケジュールを基にオペコードのテーブルデータ
    を作成し、LSIの搭載メモリへ前記オペコードのテー
    ブルデータを格納するとともに、テスト時に順次読み出
    してLSIテストを実施し、オペコード中でソースデー
    タの指定を行うコード部分におけるビットパターンの組
    み合わせをテスト項目から省く請求項1または2記載の
    LSIテスト方法。
  4. 【請求項4】 乱数発生手段によってオペランドをラン
    ダムに発生させる代わりに、予め作成した乱数をLSI
    搭載メモリに格納しておいて、テスト時に前記乱数をメ
    モリから読み出して使用する請求項1から3までのいず
    れか1項記載のLSIテスト方法。
  5. 【請求項5】 予め作成した乱数を用いたときの期待値
    を事前に求めておいて、乱数をメモリに格納する際に前
    記期待値も格納し、テストモード時には前記期待値を比
    較手段に転送して比較判定する請求項4記載のLSIテ
    スト方法。
  6. 【請求項6】 演算結果をテスト専用デスティネーショ
    ンレジスタに一次格納するとともに、前記レジスタ内の
    データと期待値を比較して、比較結果が一致しなかった
    場合に、テストを停止し、かつ不一致時の演算出力およ
    び前記演算に用いたオペコードとオペランドとをLSI
    外部へ取り出す請求項1から5までのいずれか1項記載
    のLSIテスト方法。
  7. 【請求項7】 テストを行うためのテスト専用回路の電
    源ラインを、LSIの通常電源系とは別系統として、L
    SIテスト実施時以外には前記テスト専用回路へは電源
    を供給しない請求項1から6までのいずれか1項記載の
    LSIテスト方法。
  8. 【請求項8】 信号処理を行うプロセッサをオペコード
    とオペランドとを用いてテストするための回路構成であ
    って、オペコードを蓄積したテーブルデータから順次フ
    ェッチする手段と、オペランドをランダムに発生させる
    乱数発生手段と、テーブルデータから得たオペコードと
    乱数発生したオペランドとの組合せによって、プロセッ
    サの演算処理部における機能検査を実施する手段とを具
    備したLSIテスト装置。
  9. 【請求項9】 プロセッサが本来持つ回路がテストモー
    ド時にオペコードのデコードやプログラム制御のために
    使用されるように構成されるとともに、テストモード専
    用レジスタを備えて、テストモード時には、演算時のソ
    ースデータやデスティネーションデータを格納する記憶
    資源に関する制御を停止して、前記テストモード専用レ
    ジスタにソースデータあるいはデスティネーションデー
    タを格納するとともに、このテストモード専用レジスタ
    からオペコードやオペランドを供給してテストを実施す
    るように構成されている請求項8記載のLSIテスト装
    置。
  10. 【請求項10】 プロセッサが持つ全オペコードに対し
    て予め命令実行順番による影響を考慮してテスト順番を
    決定したスケジュールを基にオペコードのテーブルデー
    タを作成する手段と、LSIの搭載メモリへ前記オペコ
    ードのテーブルデータを格納するとともに、テスト時に
    順次読み出してLSIテストを実施する手段と、オペコ
    ード中でソースデータの指定を行うコード部分における
    ビットパターンの組み合わせをテスト項目から省く手段
    とを具備した請求項8または9記載のLSIテスト装
    置。
  11. 【請求項11】 オペランドをランダムに発生させる乱
    数発生手段の代わりに、予め作成した乱数を格納可能で
    あるとともにテスト時に前記乱数を読み出して使用可能
    なLSI搭載メモリを具備した請求項8から10までの
    いずれか1項記載のLSIテスト装置。
  12. 【請求項12】 予め作成した乱数を用いたときの期待
    値であって事前に求められたものを格納可能であるとと
    もに、テストモード時には前記期待値を比較判定のため
    に比較手段に転送可能な格納手段を具備した請求項11
    記載のLSIテスト装置。
  13. 【請求項13】 演算処理部における機能検査結果をテ
    スト専用デスティネーションレジスタに一次格納する手
    段と、前記レジスタ内のデータと期待値とを比較する比
    較手段と、比較結果が一致しなかった場合にテストを停
    止する手段と、不一致時の演算出力および前記演算に用
    いたオペコードとオペランドとをLSI外部へ取り出す
    手段とを具備する請求項8から12までのいずれか1項
    記載のLSIテスト装置。
  14. 【請求項14】 テストを行うためのテスト専用回路の
    電源ラインを、LSIの通常電源系とは別系統であっ
    て、LSIテスト実施時以外には前記テスト専用回路へ
    は電源を供給しない構成とする請求項8から13までの
    いずれか1項記載のLSIテスト装置。
  15. 【請求項15】 請求項1から7までのいずれか1項記
    載のLSIテスト方法を含んだ半導体製造方法。
  16. 【請求項16】 請求項8から14までのいずれか1項
    記載のLSIテスト装置を具備したディジタル機器。
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