JP2003112423A - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電アクチュエータの個別電極とキャビティ
ユニットの圧力室とを正確に対応させて、圧電アクチュ
エータとキャビティユニットとを組み合わせることがで
きるインクジェットプリンタヘッドを提供すること。 【解決手段】 個別電極２４が形成される圧電シート２
１ａ等の四隅に個別電極２４と同じ材料で構成した位置
決めマーク２８ａを設け、その位置決めマーク２８ａに
対し、圧電シートの積層方向に光線９１ａを照射する。
位置決めマーク２８ａの陰影を各四隅において受像し、
その４点の重心を対角線上に結んだ交点を圧電アクチュ
ェータ２０とキャビティユニット１０との接続基準点と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタヘッドに関し、特に、圧電アクチュエータの個別
電極とキャビティユニットの圧力室とを正確に対応させ
て、圧電アクチュエータとキャビティユニットとを組み
合わせることができるインクジェットプリンタヘッドに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】先行技術のオンディマンド型の圧電式イ
ンクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこ
の各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティユニット
と、前記各圧力室ごとに形成された個別電極及び隣接す
る複数の圧力室に共通するコモン電極により圧電シート
（セラミック材料からなるグリーンシート）を挟んで積
層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、こ
の圧電アクチュエータを、前記キャビティユニットに、
当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室
に対応するように重ねて構成されている。

【０００３】ここで、該圧電アクチュエータの製造工程
におけるグリーンシートの焼結工程においては、グリー
ンシートは収縮し、その圧電シート上に形成される個別
電極のピッチが小さくなることが知られている。このた
め、予め収縮を見込んで圧電シートとなるグリーンシー
トを製作するが、それでも、グリーンシートの中央部分
と周辺部分とで収縮量が異なったり、また焼結炉の中で
も位置によって収縮量が異なる。したがって、圧電アク
チュエータと金属材料等で作成したキャビティプレート
とを組み合わせるとき、グリーンシートの外周面に予め
設けたマークをキャビティプレートの所定位置と合わせ
ても個別電極とキャビティプレートの圧力室とが合わな
いことが生じるという問題点があった。

【０００４】そこで、本願出願人は、特願２００１−０
４１１４６号（未公知）において、図１０に示すよう
に、圧電シート５０の長辺に沿って列状に配列される複
数の個別電極５１の中央部の１つの電極５２を圧電シー
ト５０の長辺端部まで延出して、その電極５２の延出部
５２ａによって、外部から個別電極５１の位置を把握す
ることを提案している。即ち、図１１に示すように、電
極５２の延出部５２ａをキャビティユニット５４に設け
られた位置決めマーク５４ａと位置合わせすることによ
って、各個別電極５１を正確にキャビティユニット５４
の圧力室５５と対応させて、圧電アクチュエータ５６と
キャビティユニット５４とを組み合わせることができる
とするものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
電極５２の厚さは非常に薄いため、圧電アクチュエータ
５６の側面から露出された電極５２の延出部５２ａを正
確に認識するのが困難であるという問題点があった。

【０００６】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、インクジェットプリンタヘッド
に関し、特に、圧電アクチュエータの個別電極とキャビ
ティユニットの圧力室とを正確に対応させて、圧電アク
チュエータとキャビティユニットとを組み合わせること
ができるインクジェットプリンタヘッドに関するもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドは、複
数個のノズルとその複数個のノズルごとに形成される圧
力室を有するキャビティユニットと、前記複数の圧力室
にわたって延びる圧電シートを複数積層して構成され、
その圧電シート間に前記各圧力室に対応した複数の個別
電極を有する圧電アクチュエータとからなり、前記圧電
シートには、圧電シートの積層方向に照射された光によ
って、前記個別電極の位置を検出するための検出部が設
けられている。

【０００８】この請求項１記載のインクジェットプリン
タヘッドによれば、圧電アクチュエータの複数の個別電
極に電圧が印加されると、その個別電極を有する圧電シ
ートに歪みが生じる。その歪みは、キャビティユニット
の対応する圧力室に伝わり、その圧力室に対応するノズ
ルからインクが吐出される。ここで、圧電アクチュエー
タの製造工程においては、焼結工程において圧電シート
が収縮し、その圧電シートに形成される個別電極のピッ
チが変化するが、個別電極の位置は、圧電シートに設け
られた検出部に、圧電シートの積層方向から光を照射し
て検出される。

【０００９】請求項２記載のインクジェットプリンタヘ
ッドは、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、前記検出部は、前記圧電シート上に前記個
別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成された
マークで構成されている。

【００１０】請求項３記載のインクジェットプリンタヘ
ッドは、請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、前記個別電極は、前記圧電シートの各長辺
に沿って列状に配設されており、前記検出部は、前記個
別電極の列の少なくとも両端部に配設されている。

【００１１】請求項４記載のインクジェットプリンタヘ
ッドは、請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、前記検出部は、前記両端部の２個から前記
圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を更に有
している。

【００１２】請求項５記載のインクジェットプリンタヘ
ッドは、請求項２から４のいずれかに記載のインクジェ
ットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータ
は、前記複数の圧電シート間に前記個別電極と、その個
別電極の配列方向にわたって延びるコモン電極とを交互
に有し、前記コモン電極は、前記検出部と対応する位置
を避けて形成されている。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例に
ついて、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明
のインクジェットプリンタヘッド６を搭載したカラーイ
ンクジェットプリンタを示す斜視図である。図１におい
て、このカラーインクジェットプリンタ１００は、例え
ば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカ
ラーインクがそれぞれ充填されるインクカートリッジ６
１と、用紙６２に印字するためのインクジェットプリン
タヘッド６（以下ヘッド６という）を備えるヘッドユニ
ット６３と、インクカートリッジ６１およびヘッドユニ
ット６３が搭載されるキャリッジ６４と、このキャリッ
ジ６４を直線方向に往復移動させる駆動ユニット６５
と、キャリッジ６４の往復移動方向に延び、ヘッド６と
対向配置されるプラテンローラ６６と、パージ装置６７
とを備えている。

【００１４】駆動ユニット６５は、キャリッジ６４の下
端部に配置されプラテンローラ６６と平行に延びるキャ
リッジ軸７１と、キャリッジ６４の上端部に配置されキ
ャリッジ軸７１に平行に延びるガイド板７２と、そのキ
ャリッジ軸７１とガイド板７２との間であって、キャリ
ッジ軸７１の両端部に配置される２つのプーリー７３お
よび７４と、これらのプーリー７３および７４の間に掛
け渡されるエンドレスベルト７５とからなる。

【００１５】そして、一方のプーリ７３が、モータの駆
動により正逆回転されると、エンドレスベルト７５に接
合されているキャリッジ６４が、キャリッジ軸７１およ
びガイド板７２に沿って、直線方向に往復移動される。

【００１６】用紙６２は、インクジェットプリンタ１０
０の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給
紙され、ヘッド６と、プラテンローラ６６との間に導入
されて、ヘッド６から吐出されるインクにより所定の印
字がなされ、その後、排紙される。なお、図１において
は、用紙６２の給紙機構および排紙機構の図示を省略し
ている。

【００１７】パージ装置６７は、プラテンローラ６６の
側方に設けられ、ヘッドユニット６３がリセット位置に
ある時に、ヘッド６に対向するように配置されている。
このパージ装置６７は、ヘッド６の後述する複数のノズ
ルを覆うように当該ノズルの開口面に対し当接するパー
ジキャップ８１と、ポンプ８２およびカム８３と、イン
ク貯留部８４と、を備えており、ヘッドユニット６３
が、リセット位置にある時に、ヘッド６のノズルをパー
ジキャップ８１で覆い、ヘッド６の内部に溜まる気泡な
どを含んだ不良インクを、カム８３の駆動によりポンプ
８２によって吸引することにより、ヘッド６の回復を図
るようにしている。なお、吸引された不良インクは、イ
ンク貯留部８４に貯められる。

【００１８】キャップ８５は、インクの乾燥を防止する
ため、印字が終了するとリセット位置に戻されるキャリ
ッジ６４に搭載されたヘッド６の複数のノズル１５（図
２参照）を覆うものである。

【００１９】図２は、ヘッドユニット６３のノズル１５
側を上にした斜視図を示すものである。ヘッドユニット
６３は、図２に示すように、上面開放の略箱状に形成さ
れており、その上方から４つのインクカートリッジ６１
を着脱自在に装着できる搭載部を有し、該搭載部の一側
部位には、各インクカートリッジ６１のインク放出部に
接続できるインク供給通路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄがヘ
ッドユニット６３の底板５の下面まで連通して形成され
ている。なお、このインク供給通路４ａ、４ｂ、４ｃ、
４ｄには、後述するインク供給孔１９ａと密接できるよ
うにしたゴム製等のパッキング４７が配置されている。

【００２０】底板５の下面側には、ヘッド６を４つ並列
させて配置するための４つの支持部８を段付き状に形成
する。該各支持部８には、ヘッド６をＵＶ接着材にて固
定するための複数の空所９ａ、９ｂが上下に貫通するよ
うに形成されている。

【００２１】図３は、ヘッド６の斜視図を示すものであ
る。ヘッド６は、図３に示すように、積層型のキャビテ
ィユニット１０と、該キャビティユニット１０に対して
接着剤または接着シートを介して接着、積層されるプレ
ート型の圧電アクチュエータ２０と、その上面に外部機
器との電気的接続のために、フレキシブルフラットケー
ブル４０が重ね接合されて構成されており、キャビティ
ユニット１０の下面側に開口されたノズル１５から下向
きにインクが吐出する。なお、圧電アクチュエータ２０
については、図７ないし図９において詳細に説明する。

【００２２】図４は、キャビティユニット１０の分解斜
視図を示すものである。図５は、キャビティユニット１
０の分解拡大斜視図（図３のＶ−Ｖ方向断面）を示すも
のである。キャビティユニット１０は、図４に示すよう
に、ノズルプレート１１、２枚のマニホールドプレート
１２Ｘ、１２Ｙ、スペーサプレート１３、ベースプレー
ト１４の５枚の薄い金属板をそれぞれ接着剤にて重ね接
合して積層した構造である。本実施形態では、これらの
各プレート１１〜１４は、４２％ニッケル合金鋼板（４
２合金）製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有し
ている。なお、これらの各プレート１１〜１４は、金属
製に限られず、例えば、樹脂により形成してもよい。

【００２３】ベースプレート１４には、図５に示すよう
に、ベースプレート１４の長手方向に対して直交する方
向に延びる細幅の複数の圧力室１６が千鳥状配列で２列
に穿設されている。また、ベースプレート１４のスペー
サプレート１３側には、各圧力室１６と接続される絞り
部１６ｄと、当該絞り部１６ｄと接続されるインク供給
孔１６ｂとが凹設されている。各インク供給孔１６ｂ
は、スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設
された各インク供給孔１８を介して、マニホールドプレ
ート１２Ｘにおける共通インク室１２ａに連通してい
る。ここで、各絞り部１６ｄにおけるインクが流れる方
向と直交する断面積は、各圧力室１６における当該断面
積より小さい構造となっている。これは、絞り部１６ｄ
の断面積を小さくすることにより、流路抵抗を増すため
である。

【００２４】各圧力室１６の一端部１６ａは、ノズルプ
レート１１における千鳥状配列のノズル１５に、スペー
サプレート１３および二枚のマニホールドプレート１２
Ｘ、１２Ｙに同じく千鳥状配列で穿設されている微小径
の貫通孔１７を介して連通している。

【００２５】また、ベースプレート１４およびスペーサ
プレート１３には、図４に示すように、共通のインクカ
ートリッジからインクをマニホールドプレート１２にお
ける２つの共通インク室１２ａに供給するための２つの
インク供給孔１９ａ、１９ｂがそれぞれ穿設されてい
る。

【００２６】ベースプレート１４のインク供給孔１９ａ
は、インクジェットヘッドを小型にするため、複数の圧
力室１６のなす列の端部に接近して穿設されている。ま
た、２つのインク供給孔１９ａに供給されるインクは、
共通のインクカートリッジから供給されるので、２つの
インク供給孔１９ａは、互いに接近して配置さている。
なお、２つのインク供給孔１９ａは、スペーサプレート
１３に穿設された２つのインク供給孔１９ｂを介して、
対応する２つの共通インク室１２ａにインクを供給する
ため、スペーサプレート１３上のインク供給孔１９ｂが
２つ穿設されておれば、ベースプレート１４上のインク
供給孔１９ａは、１つであっても良い。

【００２７】２枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２
Ｙには、図４に示すように、それぞれ２つの共通インク
室１２ａ、１２ｂが、ノズルプレート１１における複数
のノズル１５のなす列を挟んで設けられている。この共
通インク室１２ａ、１２ｂは、ベースプレート１４にお
ける複数の圧力室１６がなす面と平行な面内に位置し、
かつ当該複数の圧力室１６よりも、ノズルプレート１１
における複数のノズル１５開口面側に配置されている。

【００２８】２枚のマニホールドプレートのうちスペー
サプレート１３側のマニホールドプレート１２Ｘには、
該マニホールドプレート１２Ｘを貫通して共通インク室
１２ａが形成され、ノズルプレート１１側のマニホール
ドプレート１２Ｙには、前者のマニホールドプレート１
２Ｘ側にのみ開放するように凹設されている。そして、
２枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２Ｙとスペーサ
プレート１３とを積層することにより、上下に重なった
共通インク室１２ａ、１２ｂが、貫通孔１７の列の両側
に１つずつの共通インク室をそれぞれ形成する。これに
より、複数の圧力室１６に対し供給するインク量を十分
に確保することができる。貫通孔１７の列の両側に２列
の共通インク室を設けたのは、２列に配置された圧力室
１６に対応させるためである。

【００２９】ノズルプレート１１には、図４に示すよう
に、微小径（本実施形態では、２５μｍ程度）の複数の
インク吐出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１
における長手方向に沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥
状配列で穿設されている。

【００３０】以上のキャビティユニット１０の構成によ
り、ベースプレート１４およびスペーサプレート１３の
一端部に穿設されたインク供給孔１９ａ、１９ｂから共
通インク室１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、共通
インク室１２ａから各インク供給孔１８、各インク供給
孔１６ｂ、絞り部１６ｄを通って各圧力室１６に分配さ
れる。そして、各圧力室１６の一端部１６ａの方向にイ
ンクが流れ、各貫通孔１７を通って、各圧力室１６に対
応するノズル１５に至ることとなる。

【００３１】次に前記圧電アクチュエータ２０につい
て、図６ないし図９を参照しつつ説明する。圧電アクチ
ュエータ２０は、図６及び図８に示すように、９枚の圧
電セラミックスシート（以下単に圧電シートという）２
１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１
ｇ，２２，２３を積層した構造で、各圧電シートは全圧
力室１６にわたる大きさを有している。なお、最上段と
最下段のシート２３，２２２は圧電セラミックス材料で
なく、絶縁材料であっても良い。

【００３２】図６及び図７に示すように、前記各圧電シ
ートのうち圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上面
（広幅面）には、個別電極２４、ダミーコモン電極２
７、ダミー電極２８が形成されている。個別電極２４
は、前記キャビティユニット１０における各圧力室１６
の箇所ごとに細幅状に形成されており、第１の方向（長
辺方向）に沿って列状に配設され、各個別電極２４は前
記第１の方向と直交する第２の方向に沿って矩形に形成
されている。尚、実施形態においては、前記各個別電極
２４の幅寸法は対応する圧力室１６における広幅部より
平面視で少し狭く設定されている。ダミーコモン電極２
７は、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ等の各短辺の
端部を覆うように、略平面視矩形状に形成されている。

【００３３】ダミー電極２８は、個別電極２４と同様の
材料で構成され、各個別電極列の両端部であって、前記
第１の方向と直交する第２の方向に沿って配設されてい
る。また、ダミー電極２８は、ほぼ個別電極２４と同様
に細幅状に形成されているが、その細幅状の途中に、第
１の方向と平行に２箇所の切れ目２９，２９が形成され
ており、その２箇所の切れ目２９，２９によって、３つ
に分離して形成されている。そして、その３つに分離さ
れているダミー電極２８のうち、切れ目２９，２９に挟
まれるダミー電極２８が、後述する位置決めマーク２８
ａとして作用する。この位置決めマーク２８ａは、前記
２箇所の切れ目２９，２９と、隣接する個別電極２４
と、ダミーコモン電極２７とに囲まれて、平面視略矩形
状に形成されている。

【００３４】他方、圧電シート２２，２１ｂ，２１ｄ，
２１ｆ，２１ｇの上面（広幅面）には、全圧力室１６に
対して共通のコモン電極２５、ダミー個別電極２６、第
２ダミー個別電極２６ａが形成されている（図６参
照）。コモン電極２５は、圧力室１６が前記のベースプ
レート１４の短辺の中央部側で、前記第１の方向（長
辺）に沿って２列状に配列されているので、その２列の
圧力室１６、１６を一体的に覆うように、各圧電シート
２２等の短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平
面視略矩形状に形成されると共に、短辺の端縁部近傍で
は当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２
５ａが一体的に形成されている。

【００３５】ダミー個別電極２６は、個別電極２４と幅
寸法は同等であって長さは短く形成されている。また、
コモン電極２５が形成されていない長辺の端縁部近傍で
あって、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応する
位置）に配設されている。尚、この場合、各ダミー個別
電極２６の端部は、前記コモン電極２５の第１の方向
（長辺に沿う方向）の側縁に対して適宜の隙間寸法の切
れ目があるように隔てる。

【００３６】第２ダミー個別電極２６ａは、ダミー電極
２８と同じ上下位置（対応する位置）に配設されてい
る。そのダミー電極２８と幅寸法は同等であって長さは
短く形成されている。また、第２ダミー個別電極２６ａ
の長さは、ダミー個別電極２６の長さより短く形成され
ており、第２ダミー個別電極２６ａの端部と前記コモン
電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁との隙
間寸法Ｌ２は、位置決めマーク２８ａを挟む切れ目２
９，２９の外側の幅寸法Ｌ１より大きく構成されている
（図８参照）。尚、隙間寸法Ｌ２と幅寸法Ｌ１とは略同
等に構成しても良い。

【００３７】従って、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１
ｅの上面に形成された位置決めマーク２８ａを圧電シー
ト２２，２１ｂ，２１ｄに投影した場合、位置決めマー
ク２８ａの陰影は、第２ダミー個別電極２６ａの端部と
前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の
側縁との隙間の２８ｂに形成される（図６及び図８参
照）。

【００３８】また、最上段のトップシート２３の上面に
は、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の
各々に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５の引
き出し部２５ａに対する表面電極３１とが設けられてい
る。

【００３９】さらに、前記最下段の圧電シート２２を除
いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，
２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３と
には、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同
じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６
とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設す
る。同様に、前記表面電極３１と、それに対応する位置
（同じ上下位置）のコモン電極２５の引き出し部２５ａ
とダミーコモン電極２７とが互いに連通するように、ス
ルーホール３３を穿設し、スルーホール３２、３３内に
充填された導電性材料を介して、積層方向の個別電極２
４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０とが電気
的に接続されているように構成し、同じく、積層方向の
コモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面電極
３１とが電気的に接続されているように構成するもので
ある。

【００４０】これにより、上下に積層された複数枚の圧
電シート２１とトップシート２３とは上下同じ位置の前
記個別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０
の箇所と電気的に接続され、同じく上下複数枚のコモン
電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇
所と電気的に接続されることになる。

【００４１】なお前記スルーホール３２、３３を形成し
ない場合には、積層した全ての圧電シートシート２２、
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２
１ｇとトップシート２３とからなる圧電アクチュエータ
２０の一側面に全てのコモン電極２５の引き出し部２５
ａを露出させ、この全ての上下位置のコモン電極２５に
接続する接続電極（図示せず）を圧電アクチュエータ２
０の厚さ方向に延びるように塗布して、これらの接続電
極をトップシート２３における表面電極３１の箇所に電
気的に接続するように連接させる。また、同様に、全て
の個別電極２４の端部を圧電アクチュエータ２０の一側
面に露出させ、上下方向に同じ位置の個別電極２４に接
続する接続電極（同じく図示せず）を当該圧電アクチュ
エータ２０の一側面に塗布し、接続電極をトップシート
２３における各対応する表面電極３０の箇所に電気的に
接続するように連接させても良い。

【００４２】上記の各電極２４，２５，２６，２７，２
８，２８ａ，３０，３１は、焼結前の圧電材料のシート
（グリーンシート）に公知のスクリーン印刷によって形
成される。電極が形成された複数のグリーンは、上述の
ように上下方向の各電極の位置が相互に位置決めされた
状態で積層され、脱脂された後、焼結されて一体化され
る。表面電極３０，３１は、焼結後の圧電アクチュェー
タ２０の上面に形成することもできる。圧電アクチュェ
ータ２０の側面に上記の接続電極を設ける場合は、焼結
後に、その接続電極を形成することになる。

【００４３】このように構成された圧電アクチュエータ
２０は、その下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体
に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材から
なる接着剤シートが予め貼着される。次いで、前記キャ
ビティユニット１０に対して、当該圧電アクチュエータ
２０における各個別電極２４が前記キャビティユニット
１０における各圧力室１６の各々に対応するように接
着、固定される。

【００４４】しかし、前述したように圧電アクチュエー
タ２０を製造する際の焼結工程における圧電シートの収
縮によって、圧電シートの内部に形成された個別電極２
４のピッチ間隔も収縮しているため、積層した圧電シー
トの内部にある個別電極の位置を外部から正確に把握す
ることが困難である。

【００４５】そこで、図８に示すように、上述した構成
の圧電アクチュエータ２０のトップシート２３側から光
源装置９０によって、位置決めマーク２８ａに対して光
線９１ａを照射する。位置決めマーク２８ａの周縁であ
って、その積層方向への延長上には、光線９１ａの進行
を妨げるような電極等は形成されておらず、光線９１ａ
は、圧電シート２３等と、圧電シート２１ａ，２１ｃ，
２１ｅの上面（広幅面）に形成された位置決めマーク２
８ａの周縁（切れ目２９，２９）とを透過して、最下段
の圧電シート２２側に設置された受像装置９２に受像さ
れる。

【００４６】そして、画像処理装置（図示せず）により
マーク２８ａの形状、位置が認識される。この際、受像
装置９２には、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上
に形成された３つの位置決めマーク２８ａの陰影２８ｃ
が図９に示すように形成される。画像処理装置により四
隅に形成された位置決めマーク２８ａのそれぞれの陰影
２８ｃにおける最も濃い部分２９の重心が検出される。
得られた４点の重心は対角線上に結ばれ、その交点Ｐが
圧電アクチュェータ２０の重心とされる。

【００４７】また、ベースプレート１４につても、その
四隅に形成された位置決めマーク１４ａを撮像装置（図
示せず）により撮影して、上記のように４点のマークの
重心Ｑが求められる。そして、圧電アクチュェータ２０
を保持する治具（図示せず）と、キャビティユニット１
０を保持する治具（図示せず）とを、相対移動して両者
の重心Ｐ、Ｑが一致したところで、両者の相対角度が補
正され両者が接着固定される。ここで、位置決めマーク
２８ａは、個別電極２４と同様な材料で構成されている
ため、個別電極２４の位置を正確にあらわす。

【００４８】更に、位置決めマーク２８ａは、１つの個
別電極列の両端部と、その両端部の位置からさらに圧電
シートの短辺方向に離れた位置で、他の個別電極列の両
端部との４箇所にあるので、４点の重心を正確に検出す
ることができる。

【００４９】また、圧電シートの収縮は一般的に圧電シ
ートの両端部においてその収縮率が大きい上、各個別電
極列の両端部に位置決めマーク２８ａは、各個別電極列
の両端部に配設されているので、個別電極２４の相互の
位置ズレを平均化することができる。よって、キャビテ
ィユニット１０の圧力室１６と圧電アクチュエータ２０
の個別電極２４を対応させて、キャビティユニット１０
と圧電アクチュエータ２０とを接続することができる。

【００５０】こうして、キャビティユニット１０と接続
された圧電アクチュエータ２０における上側の表面に
は、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ねられ
て、フレキシブルフラットケーブル４０における各種の
配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３
１に電気的に接合される。そして、前記圧電アクチュエ
ータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極
２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することに
より、圧電シートのうち前記電圧を印加した個別電極２
４に対応する部分に圧電による積層方向の歪みが発生
し、その個別電極２４に対応する圧力室１６内のインク
を、ノズル５４から液滴状に吐出することができる。

【００５１】以上、上記実施例に基づき本発明を説明し
たが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものでな
く、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形
が可能であることは容易に推察できるものである。

【００５２】上記実施形態においては、圧電シート２１
ａ等の四隅に位置決めマーク２８ａを設けたが、このう
ち３つの位置決めマーク２８ａのみであっても良い。

【００５３】

【発明の効果】請求項１に記載のインクジェットプリン
タヘッドによれば、圧電シートには、圧電シートの積層
方向に照射された光によって、個別電極の位置を検出す
るための検出部が設けられているので、焼結工程におい
て圧電シートが収縮しても、個別電極の位置を把握する
ことができ、圧電アクチュエータの個別電極とキャビテ
ィユニットの圧力室とを正確に対応させて、圧電アクチ
ュエータとキャビティユニットとを組み合わせることが
できるという効果がある。

【００５４】請求項２に記載のインクジェットプリンタ
ヘッドによれば、請求項１に記載のインクジェットプリ
ンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、圧電シート
上に個別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成
されたマークで構成されるので、個別電極の位置をマー
クに正確に反映させることができると共に、検出部を圧
電シート上に容易に配設することができるという効果が
ある。

【００５５】請求項３に記載のインクジェットプリンタ
ヘッドによれば、請求項２に記載のインクジェットプリ
ンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、個別電極の
列の少なくとも両端部に配設されているので、平均した
個別電極の位置を検出することができるという効果があ
る。

【００５６】請求項４に記載のインクジェットプリンタ
ヘッドによれば、請求項３に記載のインクジェットプリ
ンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、両端部の２
個から圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を
更に有しているので、それら複数の点の重心位置を正確
に検出することができるという効果がある。

【００５７】請求項５に記載のインクジェットプリンタ
ヘッドによれば、請求項２から４のいずれかに記載のイ
ンクジェットプリンタヘッドの奏する効果に加え、コモ
ン電極は、検出部と対応する位置を避けて形成されてい
るので、検出部に照射した光を遮ることなく、光を透過
させることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットプリンタヘッドの実施
の形態であるカラーインクジェットプリンタを示す斜視
図である。

【図２】ヘッドユニットのノズル側を上にした斜視図で
ある。

【図３】インクジェットプリンタヘッドの各部品の斜視
図である。

【図４】キャビティユニットの分解斜視図である。

【図５】図３のキャビティユニットのＶ−Ｖ断面線にお
ける分解拡大斜視図である。

【図６】圧電アクチュエータの分解拡大斜視図である。

【図７】圧電シートにおける個別電極のパターンを示す
平面図である。

【図８】図６における圧電アクチュェータのＶＩＩＩ−
ＶＩＩＩ断面図である。

【図９】圧電アクチュエータに検出部が投影されている
状態を示す模式図である。

【図１０】従来の圧電シートにおける個別電極のパター
ンを示す平面図である。

【図１１】従来のインクジェットプリンタヘッドの各部
品の斜視図である。

【符号の説明】

６ インクジェットプリンタ
ヘッド １０ キャビティユニット １５ ノズル ２０ 圧電アクチュエータ ２２，２１ａ〜２１ｇ，２３ 圧電シート ２４ 個別電極 ２５ コモン電極 ２６ ダミー個別電極 ２７ ダミーコモン電極 ２８ ダミー電極 ２８ａ 位置決めマーク ３０，３１ 表面電極 ３２，３３ スルーホール ９１ 光源装置 ９１ａ 光線

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個のノズルとその複数個のノズルご
   とに形成される圧力室を有するキャビティユニットと、 前記複数の圧力室にわたって延びる圧電シートを複数積
   層して構成され、その圧電シート間に前記各圧力室に対
   応した複数の個別電極を有する圧電アクチュエータとか
   らなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、 前記圧電シートには、圧電シートの積層方向に照射され
   た光によって、前記個別電極の位置を検出するための検
   出部が設けられていることを特徴とするインクジェット
   プリンタヘッド。
2. 【請求項２】 前記検出部は、前記圧電シート上に前記
   個別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成され
   たマークであることを特徴とする請求項１に記載のイン
   クジェットプリンタヘッド。
3. 【請求項３】 前記個別電極は、前記圧電シートの各長
   辺に沿って列状に配設されており、 前記検出部は、前記個別電極の列の少なくとも両端部に
   配設されていることを特徴とする請求項２に記載のイン
   クジェットプリンタヘッド。
4. 【請求項４】 前記検出部は、前記両端部の２個から前
   記圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を更に
   有することを特徴とする請求項３に記載のインクジェッ
   トプリンタヘッド。
5. 【請求項５】 前記圧電アクチュエータは、前記複数の
   圧電シート間に前記個別電極と、その個別電極の配列方
   向にわたって延びるコモン電極とを交互に有し、 前記コモン電極は、前記検出部と対応する位置を避けて
   形成されていることを特徴とする請求項２から４のいず
   れかに記載のインクジェットプリンタヘッド。