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JP2003110397A - Surface-mounting type electronic component - Google Patents

Surface-mounting type electronic component

Info

Publication number
JP2003110397A
JP2003110397A JP2001294155A JP2001294155A JP2003110397A JP 2003110397 A JP2003110397 A JP 2003110397A JP 2001294155 A JP2001294155 A JP 2001294155A JP 2001294155 A JP2001294155 A JP 2001294155A JP 2003110397 A JP2003110397 A JP 2003110397A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
electrodes
substrate
package substrate
external electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001294155A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaya Wajima
正哉 輪島
Kenichi Kotani
謙一 小谷
Kenichi Sakai
健一 坂井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001294155A priority Critical patent/JP2003110397A/en
Publication of JP2003110397A publication Critical patent/JP2003110397A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface-mounting type electronic component which can cope with three-dimensional, high-density mounting, can make thin and reduce variation in thickness, and can provide superior reliability to an electrical connection between inner and outer electrodes. SOLUTION: A chip type piezoelectric oscillator 1 includes a laminate 10, having a piezoelectric resonator 2 and first and second sealing substrates 6 and 7 laminated on upper and lower sides of the resonator 2 as package substrates. First recesses 6c and 6d are formed in the upper surface of the laminate 10, and second recesses 7c and 7d are formed in the lower surface of the laminate. Outer electrodes 21 and 22 are formed to be extended as far as the first and second recesses 6c, 6d, 7c and 7d of the laminate 10. Inner electrodes 15 and 16 are exposed within the second recesses 7c and 7d and are electrically connected to the outer electrodes 21 and 22 in surface contacting relation.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路基板
などに表面実装される表面実装型電子部品に関し、例え
ば、圧電素子の上下に封止基板を積層してなる積層体か
らなるパッケージ基板を用いた表面実装型電子部品に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface mount type electronic component which is surface mounted on a printed circuit board or the like. For example, a package board made of a laminated body in which sealing substrates are laminated above and below a piezoelectric element is used. The present invention relates to surface mount electronic components.

【0002】[0002]

【従来の技術】特開平2−33908号公報には、表面
実装型電子部品の製造に際し、電子部品チップの側面に
導電ペーストを転写することにより外部電極を形成する
方法が示されている。この方法では、転写により形成さ
れた外部電極は、電子部品チップの側面だけでなく、上
面及び下面にも及んでいる。
2. Description of the Related Art Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 2-33908 discloses a method of forming an external electrode by transferring a conductive paste onto the side surface of an electronic component chip when manufacturing a surface mount electronic component. In this method, the external electrodes formed by transfer extend not only to the side surface of the electronic component chip but also to the upper surface and the lower surface.

【0003】もっとも、外部電極が上面及び下面にも至
るように形成されているため、電子部品の厚みが増大し
たり、該厚みがばらつきがちであった。近年、電子部品
においては、薄型化が強く求められているが、上記外部
電極を有する電子部品では、このような要求に応えるこ
とができなかった。
However, since the external electrodes are formed so as to reach the upper surface and the lower surface, the thickness of the electronic component tends to increase or the thickness tends to vary. In recent years, electronic components have been strongly required to be thin, but electronic components having the external electrodes have not been able to meet such demands.

【0004】また、上記外部電極を有する電子部品で
は、実装に際しての応力が外部電極の上面及び下面に至
っている部分の先端側に集中しやすく、従って、薄型化
を進めた場合、電子部品の割れが生じる恐れがあるとい
う問題もあった。
Further, in the electronic component having the above-mentioned external electrode, the stress during mounting tends to concentrate on the tip side of the portion reaching the upper surface and the lower surface of the external electrode. Therefore, when the thinning is advanced, the cracking of the electronic component occurs. There was also a problem that could occur.

【0005】さらに、電子部品の高密度実装が進んでい
るため、電子部品では、上面に外部電極が存在しないも
のが求められてきているが、上記先行技術に記載の外部
電極を有する電子部品では、このような要求に応えるこ
とも困難であった。
Further, since electronic parts have been highly densely packaged, it has been required that the upper surface of the electronic parts does not have external electrodes. However, in the electronic parts having the external electrodes described in the above-mentioned prior art. It was also difficult to meet such demands.

【0006】他方、実開平3−44334号公報には、
図10に示すチップ型圧電部品が示されている。チップ
型圧電発振子101では、板状のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子102の上下に封止基板103,104が接
着剤層105,106を介して積層されている。上記の
ようにして構成された積層体の両端面に、外部電極10
7,108が形成されている。
On the other hand, Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-44334 discloses that
The chip type piezoelectric component shown in FIG. 10 is shown. In the chip-type piezoelectric oscillator 101, sealing substrates 103 and 104 are laminated above and below a plate-shaped energy trap type piezoelectric resonator 102 with adhesive layers 105 and 106 interposed therebetween. The external electrodes 10 are formed on both end surfaces of the laminated body configured as described above.
7, 108 are formed.

【0007】また、積層体の中央においては、積層体の
底面、両側面及び上面を巻回するように外部電極109
が形成されている。外部電極107〜109は、それぞ
れ、導電ペーストの焼付により形成された焼付電極層1
07a,108a,109aと、その外側表面に形成さ
れたメッキ層107b,108b,109bとを有す
る。また、積層体の上面、下面及び両側面において凹部
111〜113が形成されており、外部電極107〜1
09が該凹部111〜113に形成されている。
In the center of the laminated body, the external electrode 109 is wound so that the bottom surface, both side surfaces and the upper surface of the laminated body are wound.
Are formed. The external electrodes 107 to 109 are each a baked electrode layer 1 formed by baking a conductive paste.
07a, 108a, 109a and plated layers 107b, 108b, 109b formed on the outer surface thereof. Further, the recesses 111 to 113 are formed on the upper surface, the lower surface and both side surfaces of the laminated body, and the external electrodes 107 to 1 are formed.
09 are formed in the recesses 111 to 113.

【0008】この先行技術では、メッキ層107b〜1
09bをバレルメッキにより形成する際に、焼付電極膜
107a〜109aの稜線部分における断線を防止する
ために、外部電極107〜109が凹部111〜113
に形成されている。
In this prior art, the plated layers 107b-1
When the 09b is formed by barrel plating, the external electrodes 107 to 109 are provided with recesses 111 to 113 in order to prevent disconnection at the ridges of the baking electrode films 107a to 109a.
Is formed in.

【0009】従って、図10に示されているように、結
果として、外部電極107〜109が、チップ型圧電発
振子101の天面、すなわち封止基板103の上面より
も下方に位置するため、薄型化を図ることができ、かつ
高密度実装に対応することができる。また、チップ型圧
電発振子101の厚みのばらつきを低減することもでき
る。
Therefore, as shown in FIG. 10, as a result, the external electrodes 107 to 109 are located below the top surface of the chip type piezoelectric oscillator 101, that is, the upper surface of the sealing substrate 103. The thickness can be reduced and high-density mounting can be supported. Further, it is possible to reduce variations in the thickness of the chip type piezoelectric oscillator 101.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、チップ
型圧電発振子101では、内蔵される静電容量は、外部
電極107,108と外部電極109間で取り出され、
従って大きな容量を内蔵させることが困難であった。
However, in the chip type piezoelectric oscillator 101, the built-in capacitance is taken out between the external electrodes 107 and 108 and the external electrode 109, and
Therefore, it is difficult to incorporate a large capacity.

【0011】チップ型圧電発振子101において、封止
基板103または104内に内部電極を形成し、それに
よって封止基板103または104内に積層コンデンサ
を構成することも考えられる。しかしながら、このよう
な構成では、内部電極が、封止基板103,104の端
面において外部電極107または108に線接触的に接
続されることにより、電気的接続の信頼性を十分に図る
ことが困難である。
In the chip type piezoelectric oscillator 101, it is also conceivable to form an internal electrode in the sealing substrate 103 or 104 and thereby form a multilayer capacitor in the sealing substrate 103 or 104. However, in such a configuration, since the internal electrodes are connected to the external electrodes 107 or 108 in line contact with the end surfaces of the sealing substrates 103 and 104, it is difficult to sufficiently secure the electrical connection. Is.

【0012】本発明の目的は、上述した従来技術の現状
に鑑み、上面に外部電極が形成されておらず、高密度実
装に適しており、薄型化及び厚みばらつきの低減を図る
ことができ、さらに、内部電極が形成されたパッケージ
基板を有し、内部電極と外部電極との電気的接続の信頼
性に優れた表面実装型電子部品を提供することにある。
In view of the above-mentioned conventional state of the art, an object of the present invention is that an external electrode is not formed on the upper surface, it is suitable for high-density mounting, and it is possible to reduce the thickness and reduce the variation in thickness. Another object of the present invention is to provide a surface mount electronic component that has a package substrate on which internal electrodes are formed and that has excellent reliability of electrical connection between internal electrodes and external electrodes.

【0013】本発明の他の目的は、板状の圧電素子の上
下に第1,第2の封止基板が積層されており、かつコン
デンサが内蔵された表面実装型電子部品であって、コン
デンサを構成する内部電極と外部電極との電気的接続の
信頼性に優れ、さらに薄型化を進めることができ、かつ
厚みばらつきが小さい、表面実装型電子部品を提供する
ことにある。
Another object of the present invention is a surface mount type electronic component in which first and second sealing substrates are laminated on and under a plate-shaped piezoelectric element, and a capacitor is built in. An object of the present invention is to provide a surface-mounted electronic component that has excellent reliability of electrical connection between the internal electrode and the external electrode that configures, can be further thinned, and has a small thickness variation.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、上面と、下面と、上面と下面とを結ぶ複数の側面と
を有し、上面の外周縁に向かって開いた第1の凹部が上
面に形成されており、下面の外周縁に向かって開いた第
2の凹部が下面に形成されているパッケージ基板と、前
記パッケージ基板の内部に形成されており、前記第2の
凹部に露出している内部電極と、前記パッケージ基板の
第1の凹部を除く上面部分には至らないように形成され
た複数の外部電極とを備え、複数の外部電極のうち少な
くとも1つの外部電極が、前記パッケージ基板の側面か
ら第1の凹部内及び第2の凹部内に至るように形成され
ている、表面実装型電子部品が提供される。
According to a broad aspect of the present invention, there is provided a first opening which has an upper surface, a lower surface, and a plurality of side surfaces connecting the upper surface and the lower surface, and which is open toward an outer peripheral edge of the upper surface. A package substrate having a concave portion formed on the upper surface and a second concave portion opened toward the outer peripheral edge of the lower surface, and a package substrate formed inside the package substrate. An exposed internal electrode and a plurality of external electrodes formed so as not to reach the upper surface portion of the package substrate other than the first recessed portion, at least one external electrode of the plurality of external electrodes, There is provided a surface mount electronic component formed so as to extend from the side surface of the package substrate into the first recess and the second recess.

【0015】本発明のある特定の局面では、前記複数の
外部電極が、前記第1の凹部内及び第2の凹部内に至る
第1の外部電極と、前記パッケージ基板の上面には至ら
ないように形成された第2の外部電極とを有する。
In a particular aspect of the present invention, the plurality of external electrodes do not reach the first external electrodes reaching the first recess and the second recess and the upper surface of the package substrate. And a second external electrode formed on.

【0016】本発明の別の特定の局面では、前記パッケ
ージ基板が、複数のセラミック層を積層し、一体焼成し
て得られるセラミック多層基板により構成される。本発
明のさらに他の特定の局面では、前記パッケージ基板
が、板状の圧電素子と、該圧電素子の圧電振動部の振動
を妨げない空間を確保しつつ圧電素子の上下に積層され
た第1,第2の封止基板とを備える。
In another specific aspect of the present invention, the package substrate is composed of a ceramic multilayer substrate obtained by laminating a plurality of ceramic layers and firing them integrally. In still another specific aspect of the present invention, the package substrate is laminated on and below the piezoelectric element while securing a plate-shaped piezoelectric element and a space that does not hinder vibration of a piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric element. , A second sealing substrate.

【0017】本発明のさらに限定的な特定の局面では、
上記第1及び/または第2の封止基板に内部電極を利用
してコンデンサが内蔵されている。また、本発明のさら
に他の特定の局面では、第1,第2の封止基板が、セラ
ミックよりも面方向の収縮率が低いガラスまたはガラス
セラミックスを含む無収縮性基板により構成される。
In a more specific, limiting aspect of the invention:
A capacitor is built in the first and / or second sealing substrate by utilizing internal electrodes. Further, according to still another specific aspect of the present invention, the first and second sealing substrates are composed of non-shrinkable substrates containing glass or glass ceramics having a lower shrinkage in the surface direction than ceramics.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明ら
かにする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.

【0019】図1(a)及び(b)は、本発明の一実施
例に係る表面実装型電子部品としてのチップ型圧電発振
子を示す縦断面図及び斜視図である。チップ型圧電発振
子1は、板状のエネルギー閉じ込め型の圧電共振子2を
有する。図3に示すように、圧電共振子2では、矩形板
状の圧電基板3の上面中央に、第1の振動電極4が形成
されており、第1の振動電極4と圧電基板を介して表裏
対向するように第2の振動電極5が圧電基板3の下面に
形成されている。圧電基板3の上面及び下面には、振動
電極4,5に接続される引出電極4a,5aがそれぞれ
形成されている。引出電極4aは、圧電基板3の一方端
面3aに至るように、引出電極5aは、他方端面3b側
に至るように形成されている。圧電共振子2は、本実施
例では、厚み縦振動を利用したエネルギー閉じ込め型の
圧電共振子である。
1A and 1B are a longitudinal sectional view and a perspective view showing a chip type piezoelectric oscillator as a surface mount type electronic component according to an embodiment of the present invention. The chip-type piezoelectric oscillator 1 has a plate-shaped energy trap type piezoelectric resonator 2. As shown in FIG. 3, in the piezoelectric resonator 2, the first vibrating electrode 4 is formed in the center of the upper surface of the rectangular plate-shaped piezoelectric substrate 3, and the first vibrating electrode 4 and the piezoelectric substrate are interposed between the front and back surfaces. The second vibrating electrodes 5 are formed on the lower surface of the piezoelectric substrate 3 so as to face each other. Lead-out electrodes 4 a and 5 a connected to the vibrating electrodes 4 and 5 are formed on the upper surface and the lower surface of the piezoelectric substrate 3, respectively. The extraction electrode 4a is formed so as to reach the one end surface 3a of the piezoelectric substrate 3, and the extraction electrode 5a is formed so as to reach the other end surface 3b side. In the present embodiment, the piezoelectric resonator 2 is an energy trap type piezoelectric resonator utilizing thickness longitudinal vibration.

【0020】圧電共振子2の上下には、第1,第2の封
止基板6,7が接着剤層8,9を介して積層されてい
る。すなわち、圧電共振子2に封止基板6,7が積層さ
れて積層体10が構成されている。
First and second sealing substrates 6 and 7 are laminated above and below the piezoelectric resonator 2 with adhesive layers 8 and 9 interposed therebetween. That is, the laminated body 10 is configured by laminating the sealing substrates 6 and 7 on the piezoelectric resonator 2.

【0021】この積層体10が本発明におけるパッケー
ジ基板を構成している。封止基板6の下面には、凹部6
aが形成されており、封止基板7の上面にも凹部7aが
形成されている。凹部6a,7aは、圧電共振子2の振
動部の振動を妨げないための空間を形成するために設け
られている。
This laminated body 10 constitutes the package substrate of the present invention. The lower surface of the sealing substrate 6 has a recess 6
a is formed, and a recess 7 a is also formed on the upper surface of the sealing substrate 7. The recesses 6 a and 7 a are provided to form a space that does not hinder the vibration of the vibrating portion of the piezoelectric resonator 2.

【0022】他方、封止基板6の上面には、長さ方向両
端に高さが封止基板6の上面6bよりも低くなる凹部6
c,6dが形成されている。封止基板7は、図4に示す
各層を積層した構造を有する。封止基板7は、枠状の絶
縁層11と、誘電体層12〜14とを、積層した構造を
有する。誘電体層12,13間には、内部電極15が積
層されており、誘電体層13と誘電体層14との間に
は、内部電極16,17が積層されている。内部電極1
6と内部電極17とは、所定のギャップを隔てて対向さ
れている。また、内部電極16,17は、誘電体層13
を介して内部電極15と重なり合うように配置されてい
る。従って、内部電極15と内部電極16,17との間
で、それぞれ、コンデンサが構成される。誘電体層13
を介して内部電極15と内部電極16,17が対向され
てそれぞれコンデンサが構成されているので、本実施例
では、大きな静電容量のコンデンサを内蔵させることが
できる。
On the other hand, on the upper surface of the sealing substrate 6, the recesses 6 whose heights at both ends in the length direction are lower than the upper surface 6b of the sealing substrate 6 are formed.
c and 6d are formed. The sealing substrate 7 has a structure in which the layers shown in FIG. 4 are laminated. The sealing substrate 7 has a structure in which a frame-shaped insulating layer 11 and dielectric layers 12 to 14 are laminated. The internal electrode 15 is laminated between the dielectric layers 12 and 13, and the internal electrodes 16 and 17 are laminated between the dielectric layer 13 and the dielectric layer 14. Internal electrode 1
6 and the internal electrode 17 are opposed to each other with a predetermined gap. In addition, the internal electrodes 16 and 17 are the dielectric layers 13
It is arranged so as to overlap with the internal electrode 15 via. Therefore, a capacitor is formed between the internal electrode 15 and the internal electrodes 16 and 17, respectively. Dielectric layer 13
Since the internal electrode 15 and the internal electrodes 16 and 17 are opposed to each other through the capacitor to form a capacitor, respectively, in the present embodiment, a capacitor having a large capacitance can be incorporated.

【0023】内部電極15は、封止基板7の側面に露出
している引出部15aを有する。他方、内部電極16,
17は、誘電体層13の下面において、端面13a,1
3bに至るように形成されている。
The internal electrode 15 has a lead portion 15a exposed on the side surface of the sealing substrate 7. On the other hand, the internal electrode 16,
Reference numeral 17 denotes end faces 13a, 1 on the lower surface of the dielectric layer 13.
3b is formed.

【0024】誘電体層14においては、端面14a,1
4bの中央に、それぞれ、誘電体層14の上面から下面
に貫いている切欠14c,14dが形成されている。絶
縁層11と、誘電体層12〜14と、内部電極15〜1
7とを積層してなる封止基板7では、内部電極16,1
7の下面が、切欠14c,14d内に露出されている。
In the dielectric layer 14, the end faces 14a, 1
Cutouts 14c and 14d are formed in the center of 4b so as to penetrate from the upper surface to the lower surface of the dielectric layer 14, respectively. Insulating layer 11, dielectric layers 12-14, and internal electrodes 15-1
In the sealing substrate 7 formed by laminating the internal electrodes 16 and 1
The lower surface of 7 is exposed in the notches 14c and 14d.

【0025】図2に示すように、封止基板7の側面7c
の中央には外部電極18が形成されている。外部電極1
8は、内部電極15の引出部15aに電気的に接続され
ている。図2では、明瞭ではないが、封止基板7の他方
の側面中央にも同様に外部電極が形成されており、かつ
内部電極15の引出部15aと反対側に設けられた引出
部に電気的に接続されている。
As shown in FIG. 2, the side surface 7c of the sealing substrate 7
An external electrode 18 is formed at the center of the. External electrode 1
8 is electrically connected to the lead-out portion 15 a of the internal electrode 15. Although not clear in FIG. 2, an external electrode is similarly formed in the center of the other side surface of the sealing substrate 7, and an electrical connection is provided to the lead portion provided on the opposite side of the lead portion 15a of the internal electrode 15. It is connected to the.

【0026】他方、封止基板7のコーナー部には外部電
極18が形成されている。外部電極18は、内部電極1
6,17に電気的に接続されるものの、本実施例では、
内部電極16,17の外部電極との接続は、主として上
述した切欠14c,14dを利用して行われる。
On the other hand, external electrodes 18 are formed on the corners of the sealing substrate 7. The external electrode 18 is the internal electrode 1
Although electrically connected to 6 and 17, in the present embodiment,
The internal electrodes 16 and 17 are connected to the external electrodes mainly by using the cutouts 14c and 14d described above.

【0027】すなわち、図1(b)に示すように、積層
体10の両端面10a,10bには、外部電極21,2
2が形成されている。外部電極21,22は、端面10
a,10bの中央において上下に延びるように形成され
ており、かつ封止基板6の凹部6c,6dに至るよう
に、さらに前述した切欠14c,14dに至るように形
成されている。
That is, as shown in FIG. 1B, the external electrodes 21, 2 are formed on both end faces 10a, 10b of the laminate 10.
2 is formed. The external electrodes 21 and 22 have end faces 10
It is formed so as to extend vertically in the center of a, 10b, and so as to reach the recesses 6c, 6d of the sealing substrate 6 and further reach the above-mentioned notches 14c, 14d.

【0028】図1(a)から明らかなように、積層体1
0の下面側においては、上述した切欠14c,14d内
において、外部電極21,22が内部電極16,17に
重なるように、すなわち面接触的に接合されている。従
って、外部電極21,22と内部電極16,17との電
気的接続の信頼性が高められている。
As is apparent from FIG. 1A, the laminated body 1
On the lower surface side of 0, the external electrodes 21 and 22 are joined to the internal electrodes 16 and 17 in the above-mentioned notches 14c and 14d so as to overlap, that is, in surface contact. Therefore, the reliability of the electrical connection between the external electrodes 21 and 22 and the internal electrodes 16 and 17 is improved.

【0029】他方、図3に示したように、圧電共振子2
は、振動電極4,5に接続される引出電極4a,5aを
有するが、引出電極4a,5aが、それぞれ、外部電極
21,22に端面10a,10bにおいて接続されてい
る。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the piezoelectric resonator 2
Has extraction electrodes 4a, 5a connected to the vibrating electrodes 4, 5, but the extraction electrodes 4a, 5a are connected to the external electrodes 21, 22 respectively at the end faces 10a, 10b.

【0030】本実施例のチップ型圧電発振子1では、上
記のように、積層体10の上面においては、第1の封止
基板6に設けられた凹部6c,6d内に外部電極21,
22が至るように形成されているので、積層体10の上
面に電極は存在しない。従って、チップ型圧電発振子1
は、三次元的な高密度実装に対応することができる。
In the chip-type piezoelectric oscillator 1 of this embodiment, as described above, the external electrodes 21 are formed in the recesses 6c and 6d provided in the first sealing substrate 6 on the upper surface of the laminated body 10.
No electrodes are present on the upper surface of the laminated body 10 because the electrodes 22 are formed so as to extend therethrough. Therefore, the chip-type piezoelectric oscillator 1
Can support three-dimensional high-density mounting.

【0031】また、上記のように外部電極21,22が
積層体10の上面すなわち封止基板6の上面6bには至
っておらず、外部電極21,22の下方部分は、第2の
凹部としての切欠14c,14d内に至っているため、
チップ型圧電発振子1では、外部電極21,22の厚み
ばらつきの影響を受けることなく、電子部品全体の厚み
を一定とすることができ、かつ薄型化を進めることがで
きる。
Further, as described above, the external electrodes 21 and 22 do not reach the upper surface of the laminated body 10, that is, the upper surface 6b of the sealing substrate 6, and the lower portions of the external electrodes 21 and 22 serve as second concave portions. Since it reaches the notches 14c and 14d,
In the chip-type piezoelectric oscillator 1, the thickness of the entire electronic component can be made constant without being affected by the thickness variation of the external electrodes 21 and 22, and further reduction in thickness can be promoted.

【0032】加えて、内部電極16,17が外部電極2
1,22と面接触的に接続されているので、電気的接続
の信頼性も高められる。上記実施例では、図5に示す積
層体10を得た後に、外部電極21,22が、導電ペー
ストの塗布・焼付により形成されている。上記外部電極
21,22の外表面に、さらにメッキ層を形成してもよ
い。
In addition, the inner electrodes 16 and 17 are the outer electrodes 2
Since they are connected in surface contact with 1 and 22, the reliability of electrical connection is also improved. In the above-mentioned embodiment, after the laminated body 10 shown in FIG. 5 is obtained, the external electrodes 21 and 22 are formed by applying and baking a conductive paste. A plating layer may be further formed on the outer surfaces of the external electrodes 21 and 22.

【0033】また、図6に示すように、図5に示した積
層体10を得た後に、蒸着、スパッタリングまたはメッ
キなどの薄膜形成法により、積層体10の全幅に至る外
部電極21A,22Aを形成してもよい。この場合にお
いても、外部電極21A,22Aは、切欠14c,14
d内において、内部電極16,17と面接触的に接続さ
れるため、内部電極16,17と外部電極21A,22
Aとの電気的接続の信頼性を高めることができる。ま
た、外部電極21A,22Aは、封止基板6の上面6b
には至らず、かつ封止基板7の下面にも至らないように
形成されている。従って、上記実施例と同様に、チップ
型圧電発振子1の薄型化及び厚みばらつきの低減を図る
ことができると共に、高密度実装に対応することができ
る。
Further, as shown in FIG. 6, after the laminated body 10 shown in FIG. 5 is obtained, the external electrodes 21A and 22A reaching the full width of the laminated body 10 are formed by a thin film forming method such as vapor deposition, sputtering or plating. You may form. Also in this case, the external electrodes 21A and 22A have the notches 14c and 14A.
In d, since the internal electrodes 16 and 17 are connected in a surface contact manner, the internal electrodes 16 and 17 and the external electrodes 21A and 22
The reliability of the electrical connection with A can be improved. The external electrodes 21A and 22A are the upper surface 6b of the sealing substrate 6.
Is formed so as not to reach the bottom surface of the sealing substrate 7. Therefore, similarly to the above-described embodiment, it is possible to reduce the thickness of the chip-type piezoelectric oscillator 1 and reduce the thickness variation, and it is possible to cope with high-density mounting.

【0034】図7は、本発明の他の実施例に係る表面実
装型電子部品としてのチップ型圧電発振子を示す斜視図
である。チップ型圧電発振子31では、板状のエネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振子32の上下に封止基板33,
34が積層されている。
FIG. 7 is a perspective view showing a chip type piezoelectric oscillator as a surface mount type electronic component according to another embodiment of the present invention. In the chip-type piezoelectric oscillator 31, the sealing substrate 33, and
34 are stacked.

【0035】図8に分解斜視図で示すように、圧電共振
子32は、圧電基板35を有する。圧電基板35は、そ
の長さ方向に分極されており、かつ上面に共振電極36
が形成されている。圧電基板35の下面には、中央にお
いて共振電極36と対向するように共振電極(図示せ
ず)が形成されている。圧電共振子32は、滑りモード
を利用してエネルギー閉じ込め型の圧電共振子である。
As shown in the exploded perspective view of FIG. 8, the piezoelectric resonator 32 has a piezoelectric substrate 35. The piezoelectric substrate 35 is polarized in its length direction and has a resonance electrode 36 on its upper surface.
Are formed. A resonance electrode (not shown) is formed on the lower surface of the piezoelectric substrate 35 so as to face the resonance electrode 36 at the center. The piezoelectric resonator 32 is an energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode.

【0036】図8に示されているように、封止基板33
の上面には、側面33a,33bに沿って、外周縁に向
かって開いた凹部33c〜33e,33f〜33hが形
成されている。
As shown in FIG. 8, the sealing substrate 33
Recesses 33c to 33e and 33f to 33h opened toward the outer peripheral edge are formed on the upper surface of the side surfaces 33a and 33b.

【0037】他方、封止基板34は、図9に分解斜視図
で示す構造を有する。すなわち、封止基板34では、絶
縁体層41と、誘電体層42,43,44とが積層され
ている。絶縁体層41は、矩形枠状の形状を有する。ま
た、誘電体層42と誘電体層43との間には、内部電極
45が積層されている。内部電極45は、封止基板34
の側面34aに露出する引出部45aと、引出部45a
とは反対側に設けられた引出部(図示せず)とを有す
る。
On the other hand, the sealing substrate 34 has a structure shown in an exploded perspective view in FIG. That is, in the sealing substrate 34, the insulating layer 41 and the dielectric layers 42, 43, 44 are laminated. The insulator layer 41 has a rectangular frame shape. An internal electrode 45 is laminated between the dielectric layer 42 and the dielectric layer 43. The internal electrode 45 is the sealing substrate 34.
45a exposed to the side surface 34a of the
And a drawer portion (not shown) provided on the opposite side.

【0038】誘電体層43には、上記引出部45aが臨
む切欠43aが形成されている。他方、誘電体層43と
誘電体層44との間には、内部電極46,47が形成さ
れている。誘電体層44の側面44aには、切欠44c
〜44eが形成されている。また、側面44b側にも同
様に3個の切欠が形成されており、図9では切欠44h
のみが図示されている。
The dielectric layer 43 is formed with a notch 43a facing the lead-out portion 45a. On the other hand, internal electrodes 46 and 47 are formed between the dielectric layer 43 and the dielectric layer 44. The side surface 44a of the dielectric layer 44 has a cutout 44c.
.About.44e are formed. Similarly, three notches are also formed on the side surface 44b side, and in FIG. 9, the notch 44h is formed.
Only shown.

【0039】なお、切欠44dは、切欠43aと重なる
位置に形成されている。また、内部電極46,47は、
封止基板34の全幅に至る引出部46a,47aを有す
る。引出部46a,47aは、切欠44c,44eに臨
むように形成されている。なお、内部電極46,47の
引出部46a,47aは、誘電体層44の側面44b側
においても、切欠44hなどに臨むように形成されてい
る。
The cutout 44d is formed at a position overlapping the cutout 43a. Further, the internal electrodes 46 and 47 are
It has lead-out portions 46 a and 47 a that extend to the entire width of the sealing substrate 34. The lead-out portions 46a and 47a are formed so as to face the notches 44c and 44e. The lead-out portions 46a and 47a of the internal electrodes 46 and 47 are formed so as to face the notches 44h and the like also on the side surface 44b side of the dielectric layer 44.

【0040】図7に示すように、上記のようにして構成
されている圧電共振子32及び封止基板33,34が積
層されてなる積層体51の外表面に外部電極52a〜5
2fが形成される。外部電極52a〜52fは、導電ペ
ーストの塗布・焼付により形成されているが、メッキ,
蒸着またはスパッタリングなどの薄膜形成法により形成
されてもよい。
As shown in FIG. 7, the external electrodes 52a to 5 are formed on the outer surface of the laminated body 51 in which the piezoelectric resonator 32 and the sealing substrates 33 and 34 configured as described above are laminated.
2f is formed. The external electrodes 52a to 52f are formed by applying / baking a conductive paste.
It may be formed by a thin film forming method such as vapor deposition or sputtering.

【0041】本実施例においても、外部電極52a〜5
2fは、積層体51の側面上において上下に延ばされて
いるだけでなく、封止基板33に設けられた切欠33c
〜33e,33f〜33h及び封止基板34に設けられ
た切欠34c〜34hに至るように形成されている。例
えば、外部電極52cを例に取ると、外部電極52c
は、切欠33e及び切欠34eに至るように形成されて
いる。そして、内部電極45〜47は、それぞれ、切欠
43aまたは切欠44c,44e,44hなどに露出し
ているため、内部電極45〜47と外部電極52a〜5
2fとの電気的接続が面接触的に行われる。従って、内
部電極45〜47と外部電極52a〜52fとの電気的
接続の信頼性が高められている。
Also in this embodiment, the external electrodes 52a to 5a are formed.
2f not only extends vertically on the side surface of the laminated body 51, but also the cutout 33c provided in the sealing substrate 33.
To 33e, 33f to 33h and notches 34c to 34h provided in the sealing substrate 34. For example, taking the external electrode 52c as an example, the external electrode 52c
Are formed so as to reach the notch 33e and the notch 34e. Since the internal electrodes 45 to 47 are exposed in the cutouts 43a or the cutouts 44c, 44e, and 44h, respectively, the internal electrodes 45 to 47 and the external electrodes 52a to 5h are exposed.
The electrical connection with the 2f is performed by surface contact. Therefore, the reliability of the electrical connection between the internal electrodes 45 to 47 and the external electrodes 52a to 52f is improved.

【0042】また、本実施例のチップ型圧電発振子31
においても、外部電極52a〜52fは、積層体51の
上面及び下面には露出せず、上面及び下面では切欠内に
位置しているため、チップ型圧電発振子31の薄型化及
び厚みばらつきの低減を果たすことができると共に、天
面に外部電極が存在しないため、三次元的な高密度実装
に対応することができる。
Further, the chip type piezoelectric oscillator 31 of the present embodiment.
In the above, since the external electrodes 52a to 52f are not exposed on the upper surface and the lower surface of the laminated body 51 and are located in the notches on the upper surface and the lower surface, the chip-type piezoelectric oscillator 31 is thinned and the variation in thickness is reduced. It is possible to achieve the above, and since there is no external electrode on the top surface, it is possible to cope with three-dimensional high-density mounting.

【0043】なお、図1及び図7に示したチップ型圧電
発振子1,31では、下方の封止基板7,34内に内部
電極が形成され、コンデンサが構成されていたが、上方
の封止基板6,33内に内部電極が形成され、コンデン
サが構成されてもよい。また、この内部電極の形成対応
すなわち静電容量の取り出し方は特に上記実施例に限定
されるものではない。さらにまた、封止基板7,34
は、内部電極と共にセラミック一体焼成技術により構成
することができる。
In the chip type piezoelectric oscillators 1 and 31 shown in FIGS. 1 and 7, the internal electrodes are formed in the lower sealing substrates 7 and 34 to form the capacitors, but the upper sealings are formed. Internal electrodes may be formed in the stop substrates 6 and 33 to form a capacitor. Further, the method of forming the internal electrodes, that is, the method of taking out the electrostatic capacitance is not particularly limited to the above-mentioned embodiment. Furthermore, the sealing substrates 7, 34
Can be configured with the internal electrodes by a ceramic integral firing technique.

【0044】また、好ましくは、上記封止基板7,34
は、セラミックに比べて面方向の収縮率が低い無収縮性
のガラスまたはガラスセラミックスを液相焼結させるこ
とにより、未焼結セラミックに介在させた基板により構
成される。この場合には、封止基板7,34の存在によ
り、チップ型圧電発振子1,31の温度変化による歪み
や変形を抑制することができ、チップ型圧電発振子1,
31の精度を高めることができる。
Further, preferably, the above-mentioned sealing substrates 7, 34
Is composed of a substrate interposed in an unsintered ceramic by liquid-phase sintering of non-shrinkable glass or glass ceramics having a lower shrinkage in the surface direction than that of ceramics. In this case, the presence of the sealing substrates 7 and 34 makes it possible to suppress distortion and deformation of the chip-type piezoelectric oscillators 1 and 31 due to temperature changes.
The accuracy of 31 can be improved.

【0045】なお、チップ型圧電発振子1,31を例に
取り説明したが、本発明に係る表面実装型電子部品は、
このような圧電部品に限定されるものではなく、内部電
極と外部電極とが電気的に接続され、外部電極がパッケ
ージ基板内に構成されている構造を有する様々な表面実
装部品、例えばセラミック多層基板などにも適用するこ
とができる。
Although the chip-type piezoelectric oscillators 1 and 31 have been described as an example, the surface-mounted electronic component according to the present invention is
The piezoelectric component is not limited to such a piezoelectric component, and various surface mount components having a structure in which the internal electrode and the external electrode are electrically connected and the external electrode is configured in the package substrate, for example, a ceramic multilayer substrate. It can also be applied to.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明に係る表面実装型電子部品では、
パッケージ基板の外周縁に向かって開いた第1の凹部が
上面に形成されており、下面の外周縁に向かって開いた
第2の凹部が下面に形成されており、複数の外部電極が
パッケージ基板の第1の凹部を除く上面部分には至らな
いように形成されており、かつ複数の外部電極のうち少
なくとも1つの外部電極が、パッケージ基板の側面から
第1の凹部内及び第2の凹部内に至るように形成されて
いる。従って、表面実装型電子部品の天面に外部電極が
存在しないので、三次元的な高密度実装に対応すること
ができ、かつ電子部品の厚みの低減及び厚みのばらつき
の低減を果たすことができる。
According to the surface mount type electronic component of the present invention,
A first concave portion that opens toward the outer peripheral edge of the package substrate is formed on the upper surface, and a second concave portion that opens toward the outer peripheral edge of the lower surface is formed on the lower surface. Is formed so as not to reach the upper surface portion excluding the first concave portion, and at least one external electrode of the plurality of external electrodes is formed in the first concave portion and the second concave portion from the side surface of the package substrate. Is formed to reach. Therefore, since there is no external electrode on the top surface of the surface-mounted electronic component, it is possible to cope with three-dimensional high-density mounting, and it is possible to reduce the thickness of the electronic component and the variation in the thickness. .

【0047】加えて、内部電極が、パッケージ基板内に
形成されており、該内部電極が第2の凹部内に露出して
おり、外部電極と第2の凹部において面接触的に接続さ
れているので、内部電極と外部電極との電気的接続の信
頼性も高められる。
In addition, the internal electrode is formed in the package substrate, the internal electrode is exposed in the second recess, and is connected to the external electrode in surface contact with the second recess. Therefore, the reliability of the electrical connection between the internal electrode and the external electrode can be improved.

【0048】パッケージ基板が複数のセラミック層を積
層し、一体焼成してセラミック多層基板を有する場合に
は、セラミック一体焼成技術を用いて、内部電極を有す
るセラミック多層基板を容易に得ることができる。
When the package substrate has a ceramic multilayer substrate obtained by laminating a plurality of ceramic layers and integrally firing it, a ceramic multilayer substrate having internal electrodes can be easily obtained by using the ceramic integral firing technique.

【0049】パッケージ基板が、板状の圧電素子と、該
圧電素子の圧電振動部の振動を妨げない空間を確保しつ
つ圧電素子の上下に積層された第1,第2の封止基板と
を備える場合には、本発明に従って、高密度実装に対応
でき、薄型化及び厚みばらつきの低減を果たし得る圧電
共振部品を提供することができる。
The package substrate includes a plate-shaped piezoelectric element and first and second sealing substrates stacked above and below the piezoelectric element while ensuring a space that does not hinder the vibration of the piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric element. When it is provided, according to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric resonance component that can be used for high-density mounting, can be thinned, and can reduce thickness variation.

【0050】この場合、第1及び/または第2の封止基
板に前記内部電極を利用してコンデンサが内蔵されてい
る場合には、負荷容量内蔵型の圧電発振子などを提供す
ることができる。
In this case, when a capacitor is built in the first and / or second sealing substrate by utilizing the internal electrodes, a load capacity built-in type piezoelectric oscillator or the like can be provided. .

【0051】第1,第2の封止基板が、通常の焼結させ
たセラミックよりも面方向の収縮率が低い無収縮性基板
により構成されている場合には、表面実装型電子部品の
面方向の変形や歪みを抑制することができ、寸法精度に
優れた表面実装型電子部品を提供することができる。
When the first and second sealing substrates are made of non-shrinkable substrates having a shrinkage in the surface direction lower than that of a normal sintered ceramic, the surface of the surface mount type electronic component is It is possible to provide a surface-mounted electronic component that can suppress deformation and distortion in the direction and that has excellent dimensional accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)及び(b)は、本発明の表面実装型電子
部品の一実施例としてのチップ型圧電発振子を示す縦断
面図及び斜視図。
1A and 1B are a longitudinal sectional view and a perspective view showing a chip type piezoelectric oscillator as an example of a surface mount electronic component of the present invention.

【図2】図1に示した実施例のチップ型圧電発振子の分
解斜視図。
FIG. 2 is an exploded perspective view of the chip type piezoelectric oscillator of the embodiment shown in FIG.

【図3】図1に示した実施例のチップ型圧電発振子に用
いられるエネルギー閉じ込め型の圧電共振子を示す斜視
図。
FIG. 3 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator used in the chip type piezoelectric oscillator of the embodiment shown in FIG.

【図4】図1に示した実施例で用いられている第2の封
止基板の分解斜視図。
4 is an exploded perspective view of a second sealing substrate used in the embodiment shown in FIG.

【図5】図1の実施例で用いられているパッケージ基板
としての積層体の外観を示す斜視図。
5 is a perspective view showing an appearance of a laminated body as a package substrate used in the embodiment of FIG.

【図6】図1に示した実施例の変形例の表面実装型電子
部品としてのチップ型圧電発振子を示す斜視図。
FIG. 6 is a perspective view showing a chip type piezoelectric oscillator as a surface mount type electronic component of a modification of the embodiment shown in FIG.

【図7】本発明の他の実施例の表面実装型電子部品の外
観を示す図。
FIG. 7 is a view showing the outer appearance of a surface mount electronic component according to another embodiment of the present invention.

【図8】図7に示した実施例の表面実装型電子部品とし
てのチップ型圧電発振子の分解斜視図。
8 is an exploded perspective view of a chip-type piezoelectric oscillator as a surface-mounted electronic component of the embodiment shown in FIG.

【図9】図8に示した封止基板の分解斜視図。9 is an exploded perspective view of the sealing substrate shown in FIG.

【図10】従来の表面実装型電子部品の一例としての圧
電発振子の縦断面図。
FIG. 10 is a vertical cross-sectional view of a piezoelectric oscillator as an example of a conventional surface mount electronic component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…チップ型圧電発振子 2…圧電共振子 3…圧電基板 4,5…振動電極 6,7…第1,第2の封止基板 6c,6d…第1の凹部 8,9…接着剤層 10…パッケージ基板としての積層体 14c,14d…第2の凹部としての切欠 15〜17…内部電極 21,22…外部電極 31…チップ型圧電発振子 32…圧電共振子 33,34…第1,第2の封止基板 33c〜33g…第1の凹部としての切欠 34c〜34e,34h…第2の凹部としての切欠 44c〜44e,44h…第2の凹部としての切欠 45〜47…内部電極 1. Chip-type piezoelectric oscillator 2 Piezoelectric resonator 3 ... Piezoelectric substrate 4, 5 ... Vibration electrodes 6, 7 ... First and second sealing substrates 6c, 6d ... 1st recessed part 8, 9 ... Adhesive layer 10 ... Laminate as package substrate 14c, 14d ... Notches as second recesses 15 to 17 ... Internal electrodes 21, 22 ... External electrodes 31 ... Chip type piezoelectric oscillator 32 ... Piezoelectric resonator 33, 34 ... First and second sealing substrates 33c to 33g ... Notches as first recesses 34c to 34e, 34h ... Notches as second recesses 44c to 44e, 44h ... Notches as second recesses 45-47 ... internal electrodes

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/08 H01L 23/08 C (72)発明者 坂井 健一 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5J108 CC04 DD01 DD06 DD07 EE03 EE04 EE07 FF11 GG16 GG17 JJ02 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 23/08 H01L 23/08 C (72) Inventor Kenichi Sakai 2 26-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing F-term (reference) 5J108 CC04 DD01 DD06 DD07 EE03 EE04 EE07 FF11 GG16 GG17 JJ02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面と、下面と、上面と下面とを結ぶ複
数の側面とを有し、上面の外周縁に向かって開いた第1
の凹部が上面に形成されており、下面の外周縁に向かっ
て開いた第2の凹部が下面に形成されているパッケージ
基板と、 前記パッケージ基板の内部に形成されており、前記第2
の凹部に露出している内部電極と、 前記パッケージ基板の第1の凹部を除く上面部分には至
らないように形成された複数の外部電極とを備え、複数
の外部電極のうち少なくとも1つの外部電極が、前記パ
ッケージ基板の側面から第1の凹部内及び第2の凹部内
に至るように形成されている、表面実装型電子部品。
1. A first opening, which has an upper surface, a lower surface, and a plurality of side surfaces connecting the upper surface and the lower surface, and which opens toward an outer peripheral edge of the upper surface.
Is formed on the upper surface, and a second recess is formed on the lower surface, the second concave portion opening toward the outer peripheral edge of the lower surface, and the package substrate is formed inside the package substrate.
Internal electrodes exposed in the recesses of the package substrate and a plurality of external electrodes formed so as not to reach the upper surface portion of the package substrate except the first recesses, and at least one of the external electrodes is external. A surface mount electronic component, wherein electrodes are formed so as to extend from the side surface of the package substrate into the first recess and the second recess.
【請求項2】 前記複数の外部電極が、前記第1の凹部
内及び第2の凹部内に至る第1の外部電極と、前記パッ
ケージ基板の上面には至らないように形成された第2の
外部電極とを有する、請求項1に記載の表面実装型電子
部品。
2. The plurality of external electrodes are formed so as not to reach the first external electrodes reaching the inside of the first recess and the second recess and the upper surface of the package substrate. The surface mount electronic component according to claim 1, further comprising an external electrode.
【請求項3】 前記パッケージ基板が、複数のセラミッ
ク層を積層し、一体焼成して得られるセラミック多層基
板である、請求項1または2に記載の表面実装型電子部
品。
3. The surface mount electronic component according to claim 1, wherein the package substrate is a ceramic multilayer substrate obtained by laminating a plurality of ceramic layers and integrally firing the layers.
【請求項4】 前記パッケージ基板が、板状の圧電素子
と、該圧電素子の圧電振動部の振動を妨げない空間を確
保しつつ圧電素子の上下に積層された第1,第2の封止
基板とを備える、請求項1または2に記載の表面実装型
電子部品。
4. The first and second sealings in which the package substrate is stacked above and below the piezoelectric element while ensuring a plate-shaped piezoelectric element and a space that does not hinder the vibration of the piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric element. The surface mount type electronic component according to claim 1, comprising a substrate.
【請求項5】 前記第1及び/または第2の封止基板に
前記内部電極を利用してコンデンサが内蔵されている、
請求項4に記載の表面実装型電子部品。
5. A capacitor is built in the first and / or second sealing substrate using the internal electrodes.
The surface mount electronic component according to claim 4.
【請求項6】 前記第1,第2の封止基板が、セラミッ
クよりも面方向の収縮率が低いガラスまたはガラスセラ
ミックスを含む無収縮性基板である、請求項4または5
に記載の表面実装型電子部品。
6. The non-shrinkable substrate according to claim 4, wherein the first and second sealing substrates include glass or glass ceramics having a lower shrinkage in the surface direction than ceramics.
The surface mount electronic component described in.
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006270170A (en) * 2005-03-22 2006-10-05 Seiko Epson Corp Surface acoustic wave device and method of manufacturing surface acoustic wave device
WO2007072617A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ceramic electronic component and method for manufacturing same
JP2008277927A (en) * 2007-04-26 2008-11-13 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric oscillator for surface mounting
WO2008152837A1 (en) * 2007-06-12 2008-12-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric vibration component
WO2009057276A1 (en) * 2007-10-31 2009-05-07 Panasonic Corporation Inductive component and method for manufacturing the same
JP2009272708A (en) * 2008-04-30 2009-11-19 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric vibrator and electronic component
JP2011176787A (en) * 2010-02-01 2011-09-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric device and manufacturing method thereof
JP2012033862A (en) * 2010-07-09 2012-02-16 Denso Corp Semiconductor device
WO2013128496A1 (en) * 2012-03-02 2013-09-06 富士通株式会社 Crystal resonator, and production method therefor
US20160086727A1 (en) * 2014-09-18 2016-03-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electronic component and board having the same
CN108281274A (en) * 2016-12-28 2018-07-13 株式会社村田制作所 The manufacturing method and laminated electronic component of laminated electronic component
CN110136938A (en) * 2018-02-09 2019-08-16 三星电机株式会社 electronic components

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006270170A (en) * 2005-03-22 2006-10-05 Seiko Epson Corp Surface acoustic wave device and method of manufacturing surface acoustic wave device
WO2007072617A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ceramic electronic component and method for manufacturing same
JP2008277927A (en) * 2007-04-26 2008-11-13 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric oscillator for surface mounting
WO2008152837A1 (en) * 2007-06-12 2008-12-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric vibration component
US8284005B2 (en) 2007-10-31 2012-10-09 Panasonic Corporation Inductive component and method for manufacturing the same
WO2009057276A1 (en) * 2007-10-31 2009-05-07 Panasonic Corporation Inductive component and method for manufacturing the same
JP2009272708A (en) * 2008-04-30 2009-11-19 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric vibrator and electronic component
JP2011176787A (en) * 2010-02-01 2011-09-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Piezoelectric device and manufacturing method thereof
US8341814B2 (en) 2010-02-01 2013-01-01 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Methods for manufacturing piezoelectric devices
JP2012033862A (en) * 2010-07-09 2012-02-16 Denso Corp Semiconductor device
WO2013128496A1 (en) * 2012-03-02 2013-09-06 富士通株式会社 Crystal resonator, and production method therefor
JPWO2013128496A1 (en) * 2012-03-02 2015-07-30 富士通株式会社 Quartz crystal resonator and manufacturing method thereof
US9853627B2 (en) 2012-03-02 2017-12-26 Fujitsu Limited Crystal resonator, and production method therefor
US20160086727A1 (en) * 2014-09-18 2016-03-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electronic component and board having the same
CN108281274A (en) * 2016-12-28 2018-07-13 株式会社村田制作所 The manufacturing method and laminated electronic component of laminated electronic component
CN110136938A (en) * 2018-02-09 2019-08-16 三星电机株式会社 electronic components
CN110136938B (en) * 2018-02-09 2025-01-24 三星电机株式会社 Electronic components

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