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JP2003110080A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JP2003110080A
JP2003110080A JP2001300206A JP2001300206A JP2003110080A JP 2003110080 A JP2003110080 A JP 2003110080A JP 2001300206 A JP2001300206 A JP 2001300206A JP 2001300206 A JP2001300206 A JP 2001300206A JP 2003110080 A JP2003110080 A JP 2003110080A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor element
lead
semiconductor
semiconductor device
lead frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001300206A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuzo Kashiwagi
勇造 柏木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Electronics Co Ltd
Original Assignee
Citizen Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Electronics Co Ltd filed Critical Citizen Electronics Co Ltd
Priority to JP2001300206A priority Critical patent/JP2003110080A/ja
Publication of JP2003110080A publication Critical patent/JP2003110080A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体チップの表面に複数の放熱面を形成す
ることで放熱効果が高められるようにすると共に、高密
度実装が可能な小型の半導体装置を提供することであ
る。 【解決手段】 半導体素子22と、この半導体素子22
に向けて延びる複数のリード部23を有するリードフレ
ーム31と、前記半導体素子22及びリード部23を封
止する樹脂材24とを備えた半導体装置21において、
前記各リード部23が、柱部26と、この柱部26の側
面から半導体素子22に向けて突出する支持部28とで
一体に形成され、該支持部28の先端上面に半導体素子
22を設置すると共に、これら半導体素子22及びリー
ド部23を樹脂材24で封止したときに各柱部26の上
面23a,側面23b及び底面23cを露出させて放熱
面とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームを
用いたチップ型の半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、複数の電極部を備えたチップ型の
半導体装置(以下、半導体チップという)は、リード部
及びアイランド部を備えた金属製のリードフレーム上に
半導体素子を搭載し、その上を樹脂材で封止することに
よって形成されている。前記アイランド部は半導体素子
を支持するためのもので、リードフレームの中央部に設
けられる。また、リード部は、前記支持された半導体素
子の素子電極部とボンディングワイヤ等を介して接続さ
れ、その一端が外部基板と接続される外部電極部となっ
ている。図5はこのような従来の半導体チップ1の内部
構造を示したものであり、図6は前記半導体チップ1を
形成するためのリードフレーム2を示したものである。
リードフレーム2は、42アロイ(Ni42%のNi−
Fe合金)やアルミニウム、銅などの薄い金属帯板を用
い、アイランド部4及びリード部7が打ち抜き形成され
たチップ形成領域Aが複数設けられている。アイランド
部4は、リードフレーム本体6から内方に向かって延び
る4本の腕部10を凹設して一段低い位置に設置され
る。また、リード部7は先端に半導体チップ1の外部電
極となる電極部5が形成され、前記アイランド部4の端
部に向けて下方に折り曲げ形成される。したがって、前
記チップ形成領域A内に樹脂材9を充填して半導体チッ
プ1を形成した際に、前記各電極部5はマザーボード等
の外部基板14に接続される下面電極となる。一方、ア
イランド部4から延びる各腕部10の端部は樹脂材9の
側面の露出する放熱部材となる。
【0003】図5に示したような一つの半導体チップ1
を形成するには、先ず、半導体素子3をアイランド部4
に載置し、半導体素子3の素子電極部11と前記リード
部7の先端の電極部5とをボンディングワイヤ8で接続
する。そして、半導体素子3を中心にしてリード部7及
び腕部10にかけて樹脂材9を充填して封入した後、樹
脂材9の外側のリード部7及び腕部10をリードフレー
ム本体6から切り離して単体の半導体チップ1を取り出
す。このようにして形成された半導体チップ1は、樹脂
材9の下面に露出した電極部5をマザーボード等の外部
基板14の電極端子16に半田付けして実装される。
【0004】また、図7及び図8に示した従来の半導体
チップ12,15は、放熱部材を設けることによって、
より一層の放熱効果を高めた例である。半導体チップ1
2は、半導体素子3を載置するアイランド部4の裏面側
に放熱用のフィン13が別体で設けられ、半導体素子3
から発した熱はこのフィン13を通じて放出される(特
開平3−214763号公報参照)。一方、半導体チッ
プ15はアイランド部4を支持する腕部10の先端を樹
脂材9から突出させたものである。このように、腕部1
0の一端を樹脂材9から露出させたことで、半導体素子
3から発した熱は腕部10の先端から放出される(特開
平1−128887号公報参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
7に示した半導体チップ12にあっては、放熱用のフィ
ン13を別体で設けなければならないため、部品点数の
増加に伴って製造工数及びコストが嵩むといった問題が
あった。
【0006】一方、図8に示した半導体チップ15にあ
っては、樹脂材9の側面から突出させた腕部10の先端
が放熱板の役目をしているため、上記のように別途放熱
板を設ける必要はないが、図5に示したようなマザーボ
ード等の外部基板14に実装する際には、腕部10が側
方に突出する分だけ半導体チップ15の実装領域が広く
なってしまうことから、高密度実装及び小型化に制約が
あった。
【0007】そこで、本発明の第1の目的は、部品点
数、製造工数及びコストの増加を伴うことなく、半導体
素子から発する熱を効率よく放出することのできる半導
体装置を提供することである。
【0008】また、本発明の第2の目的は、半導体チッ
プの表面に複数の放熱面を形成することで放熱効果が高
められると共に、高密度実装が可能な小型の半導体装置
を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項1に係る半導体装置は、半導体素子
と、この半導体素子に向けて延びる複数のリード部を有
するリードフレームと、前記半導体素子及びリード部を
封止する樹脂材とを備えた半導体装置において、前記各
リード部が、柱部と、この柱部の側面から半導体素子に
向けて突出する支持部とで一体に形成され、該支持部の
先端上面に半導体素子を設置すると共に、これら半導体
素子及びリード部を樹脂材で封止したときに各柱部の外
周面を露出させたことを特徴とする。
【0010】この発明によれば、各リード部が、半導体
素子を載置する支持部と、外周面が露出する柱部とを備
えているため、半導体素子で発生した熱が前記支持部か
ら柱部に伝達され、さらに柱部の外周面から外部に放出
される。また、柱部の上面、側面及び底面を露出させる
ことで、半導体素子からの発生熱をより効果的に放出さ
せることができる。
【0011】請求項3に係る発明は、請求項1記載の半
導体装置において、前記支持部が柱部の高さ方向の中心
より下方側の側面から突出され、支持部の先端に半導体
素子を設置したときに柱部の上面が半導体素子より上方
に位置していることを特徴とする。
【0012】この発明によれば、半導体素子を載置する
支持部が柱部の中心より下方側から突出しているので、
前記柱部の上面近辺まで樹脂材を充填させたときに半導
体素子及びボンディングワイヤ等を完全に埋入させた状
態で封止することができる。
【0013】請求項4に係る発明は、請求項1記載の半
導体装置において、前記リード部がリードフレームを構
成する厚肉形状の金属帯板から形成され、金属帯板の厚
みと同一高さを有する柱部と、金属帯板を凹設して形成
される支持部とで構成されていることを特徴とする。
【0014】この発明によれば、厚肉形状の金属帯板の
厚みをそのまま柱部の高さにしているので、外部に露出
する面積を有効に増やすことができる。また、支持部は
金属帯板をエッチング加工などで凹設することによって
簡単に形成することができ、柱部と一体構造のリード部
が構成される。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
に係る半導体チップの実施形態を詳細に説明する。図1
は本発明の第1実施形態を示す半導体チップの斜視図で
あり、図2は前記半導体チップをマザーボード等の外部
基板に実装したときの断面図である。
【0016】図1及び図2に示されるように、本実施形
態に係る半導体チップ21は、半導体素子22と、該半
導体素子22を載置する4個のリード部23と、該リー
ド部23と半導体素子22とを封止する樹脂材24とで
構成されている。前記半導体素子22は、正方形をした
シリコン結晶体の薄板であり、四隅に素子電極部25を
備えている。各リード部23は高さ及び幅方向に厚みを
持って形成されており、垂直に延びるブロック状の柱部
26と、この柱部26の一側面から水平方向に突出する
平板状の支持部28とで断面が略L字状に形成される。
このようにして形成されたリード部23は、図1に示さ
れるように、支持部28の先端を互いに向かい合わせた
状態で2列に配列される。そして、各支持部28の上面
に半導体素子22の四隅が載置され、素子電極部25が
半田バンプ29を介して支持部28と電気的に接続され
る。その後、半導体素子22及びリード部23全体を樹
脂材24で封止して一個の半導体チップ21となる。こ
のようにして形成された半導体チップ21は、樹脂材2
4の表面に前記柱部26の上面23a,側面23b及び
底面23cが露出した状態となる。この露出させた上面
23a、側面23b及び底面23cは外気と接する放熱
面となるため、半導体素子22で発生した熱を効率よく
半導体チップ21の外部に放出することができる。ま
た、柱部26の底面23cはマザーボード等の外部基板
30aの電極パターン30bに設置される電極面とな
る。なお、この底面23cは外部基板30aの電極パタ
ーン30bと接続面を合わせるために、図1に示したよ
うに、前記支持部28の下面側を僅かに浮かす程度に凹
設される場合もある。
【0017】図3は前記半導体チップ21を形成するた
めの土台となるリードフレーム31を示したものであ
る。このリードフレーム31は従来と同様に42アロイ
(Ni42%のNi−Fe合金)やアルミニウム、銅な
どの材質で形成されるが、本実施形態ではリードフレー
ム31が厚肉の金属帯板から作られており、その厚みが
そのまま半導体チップ21の高さになっている。長尺状
のリードフレーム31には半導体チップ21を形成する
ためのチップ形成領域Bが多数配列され、各チップ形成
領域Bには4個のリード部23が互いに向かい合うよう
にして突出形成される。各リード部23は、リードフレ
ーム31の厚みと同一高さを有するブロック状の柱部2
6と、この柱部26の内側を凹設して形成される平板状
の支持部28とで構成される。
【0018】次に、上記構成のリードフレーム31を打
ち抜き加工とエッチング加工との2工程で製造する場合
を説明するが、エッチング加工のみで上記のリードフレ
ーム31を形成することもできる。以下の〜はリー
ドフレーム31及びこのリードフレーム31を用いた半
導体チップ21の製造工程を順に示したものである。こ
の製造工程を図1及び図3に基づいて説明する。 先ず、厚肉形状の金属帯板をプレス加工やエッチング
加工等によって、リード部23に形成する部分を残して
打ち抜き、チップ形成領域Bを形成する。 次に、前記チップ形成領域B内の中央部に向けた各リ
ード部23の先端部分を上方向からエッチング加工によ
って深く凹設する。これによって、リード部23は、柱
部26と、この柱部26の内側面から水平方向に突出す
る支持部28とで断面L字状に形成される。また、リー
ド部23の下面も必要に応じてエッチング加工による凹
み部を設ける。ただし、下面側を凹設するのは柱部26
の底面23cから支持部28を僅かに浮かせるようにす
るためであるので、深く凹設する必要はない。 前記形成された支持部28の先端部に、半田バンプ2
9が形成された半導体素子22の素子電極部25を載置
し、リフロー処理を施して支持部28の先端部に溶着す
る。 次に、前記半導体素子22が搭載されたチップ形成領
域B内に樹脂材24を充填する。このとき、各リード部
23の上面23a及び底面23cが露出するように充填
する量を調整して樹脂封止する。 前記樹脂材24によって封止されたチップ形成領域B
の外枠に沿ってリードフレーム31を切断し、一つ一つ
の半導体チップ21に分ける。 以上の工程を経ることによって、図1に示されるような
半導体チップ21を製造することができる。
【0019】図4は本発明の半導体チップの第2実施形
態を示したものである。本実施形態の半導体チップ41
は、半導体素子42の実装形態を前記半導体チップ21
のフリップチップ実装方式からワイヤボンド実装方式に
置き換えて形成されたものである。このため、半導体素
子42の素子電極部45を上向きの状態とし、反対側の
面を接着剤で支持部28の端部に固着してからボンディ
ングワイヤ43で半導体素子42の素子電極部45と支
持部28の一端とを導通接続させることになる。
【0020】上記第1実施形態及び第2実施形態で示し
たように、本発明の半導体チップ21,41は、半導体
素子22,42の土台となるリード部23がリードフレ
ーム31の厚みを生かして立体的に形成され、リード部
23の上面23a,側面23b及び底面23cが外部に
露出しているので、半導体素子22,24が発する熱を
効率よく半導体チップ21,41の外部に放出すること
ができる。また、放熱方向も各リード部23の上面23
a,側面23b,底面23c側に均等であるため、半導
体チップ21,41全体を均等に冷却することができ
る。なお、リード部23の大きさによっては、上面23
a,側面23b,底面23cの全てを露出させなくて
も、所定の放熱効果を得ることができる。
【0021】また、放熱させる面が半導体チップ21,
41から突出することなく、外表面に沿って平面形成さ
れた構造となっているので、半導体チップ21,41全
体の形状及びサイズは従来の放熱板を別途形成した場合
やリード部を延設して放熱板とした半導体チップに比べ
て小さくなる。このため、マザーボード等の外部基板上
に間隔を詰めて高密度実装することができる。
【0022】なお、上記実施形態の半導体チップ21,
41では、半導体素子22,42の素子電極部25,4
5が4極の場合の例を示したが、このような半導体チッ
プの構成に限られず、リードフレームのリード部構成を
変更することで、2極等の少極あるいは4極以上の多極
の半導体素子にも応用可能である。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体装置によれば、各リード部が、半導体素子を載置する
支持部と、外周面が露出する柱部とを備えているので、
半導体素子で発生した熱が前記支持部から柱部に伝達さ
れ、さらに柱部の外周面から外部に放出することができ
る。また、前記柱部の上面、側面及び底面を露出させた
場合には半導体素子から受けた熱を半導体装置の外部に
効率よく放出することができる。
【0024】また、本発明によれば、厚肉形状のリード
フレームの厚みがそのまま柱部の高さになっているの
で、外部に露出する面積を有効に増やすことができる。
また、支持部は金属帯板をエッチング加工などで凹設す
ることによって簡単に形成することができるといった効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置の第1実施形態の斜視
図である。
【図2】上記図1の半導体装置の断面図である。
【図3】上記図1の半導体装置のリードフレームの斜視
図である。
【図4】本発明に係る半導体装置の第2実施形態の斜視
図である。
【図5】従来のリードフレームで製造された半導体装置
の断面図である。
【図6】上記図5で使用されたリードフレームの斜視図
である。
【図7】従来の放熱対策が施された半導体装置の一例を
示す斜視図である。
【図8】従来の放熱対策が施された半導体装置の他の例
を示す斜視図である。
【符号の説明】
21,41 半導体装置(半導体チップ) 22,42 半導体素子 23 リード部 23a 上面 23b 側面 23c 底面 24 樹脂材 25,45 素子電極部 26 柱部 28 支持部 31 リードフレーム

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子と、この半導体素子に向けて
    延びる複数のリード部を有するリードフレームと、前記
    半導体素子及びリード部を封止する樹脂材とを備えた半
    導体装置において、 前記各リード部が、柱部と、この柱部の側面から半導体
    素子に向けて突出する支持部とで一体に形成され、該支
    持部の先端上面に半導体素子を設置すると共に、これら
    半導体素子及びリード部を樹脂材で封止したときに各柱
    部の外周面を露出させたことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記柱部の外周面が、該柱部の上面、側
    面及び底面である請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記支持部が、柱部の高さ方向の中心よ
    り下方側の側面から突出され、支持部の先端に半導体素
    子を設置したときに柱部の上面が半導体素子より上方に
    位置してなる請求項1記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記リード部が、リードフレームを構成
    する厚肉形状の金属帯板から形成され、金属帯板の厚み
    と同一高さを有する柱部と、金属帯板を凹設して形成さ
    れる支持部とで構成されてなる請求項1記載の半導体装
    置。
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