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JP2003086910A - Conductive photosensitive film and conductor pattern forming method using the same - Google Patents

Conductive photosensitive film and conductor pattern forming method using the same

Info

Publication number
JP2003086910A
JP2003086910A JP2001276360A JP2001276360A JP2003086910A JP 2003086910 A JP2003086910 A JP 2003086910A JP 2001276360 A JP2001276360 A JP 2001276360A JP 2001276360 A JP2001276360 A JP 2001276360A JP 2003086910 A JP2003086910 A JP 2003086910A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
conductive
film
conductive layer
conductor pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001276360A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Kimura
高士 木村
Akihiro Kinoshita
尭博 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MESH KK
Original Assignee
MESH KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MESH KK filed Critical MESH KK
Priority to JP2001276360A priority Critical patent/JP2003086910A/en
Publication of JP2003086910A publication Critical patent/JP2003086910A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductor pattern forming method which utilizes a conductive photosensitive film capable of forming a conductor pattern on a wiring board at a low cost through a small number of processes. SOLUTION: This conductor pattern forming method comprises a laminating process of laminating a conductive photosensitive film 1 equipped with a photosensitive conductive layer 5 which contains a photopolymer component photosensitive to light hν and a conductor component on a wiring board PL and a light exposure process of exposing the photosensitive conductive layer 5 to light, corresponding to a conductor pattern, and a development process of removing an unexposed part NR from the exposed photosensitive conductive layer 5 by dissolution.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導電感光性フィル
ム、及び導電感光性フィルムを利用する導体パターン形
成方法に関するものであり、特に、配線板上に電子部品
を接合し導電回路を構築するための導体パターンを形成
する導電感光性フィルム、及び導電感光性フィルムを利
用する導体パターン形成方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive photosensitive film and a method for forming a conductive pattern using the conductive photosensitive film, and in particular, for bonding electronic parts on a wiring board to construct a conductive circuit. And a conductive pattern forming method using the conductive photosensitive film.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、配線板上にICチップ、コン
デンサ、及び抵抗などの電子部品をハンダ付けによって
機械的及び電気的に接合し、家電及び情報機器端末等に
用いられる導電回路を形成するための配線板が作製され
ている。これらは、ICチップやコンデンサなどの電子
部品のリード部(脚部)を、配線板上に略格子状に穿設
された複数のスルーホール(貫通孔)に挿通し、該スル
ーホールと接する導体パターンに接合することによって
導電回路が形成されている。さらに、実装技術の進歩に
より、SMT(Surface Mount Tech
nology:表面実装技術)と呼ばれる、スルーホー
ルを用いないで配線板に直接電子部品を実装することに
より、導電回路が形成されることもある。
2. Description of the Related Art Conventionally, electronic parts such as an IC chip, a capacitor, and a resistor are mechanically and electrically joined to each other on a wiring board by soldering to form a conductive circuit used for home appliances, information equipment terminals, and the like. The wiring board for is manufactured. These are conductors in which lead portions (leg portions) of electronic components such as IC chips and capacitors are inserted into a plurality of through holes (through holes) formed in a substantially lattice pattern on a wiring board and contact the through holes. A conductive circuit is formed by joining the pattern. Furthermore, due to advances in packaging technology, SMT (Surface Mount Tech)
A conductive circuit may be formed by directly mounting an electronic component on a wiring board without using a through hole, which is called a "surface: surface mounting technology".

【0003】このとき、配線板上に導体パターンを形成
する方法としては、プリント配線板などの表面に銅など
の金属箔をラミネートし、その表面に水溶性のドライフ
ィルムレジストをさらに貼着し、回路を形成する箇所の
レジストを露光して硬化、焼き付けを行なう。そして、
未硬化のレジストを現像液によって配線板表面から洗い
流し、さらにレジストが除去された箇所の金属箔をエッ
チング処理する方法が知られている。
At this time, as a method for forming a conductor pattern on a wiring board, a metal foil such as copper is laminated on the surface of a printed wiring board or the like, and a water-soluble dry film resist is further adhered to the surface, The resist at the portion where the circuit is formed is exposed, cured, and baked. And
A method is known in which an uncured resist is washed off from the surface of a wiring board with a developing solution, and a metal foil in a portion where the resist is removed is etched.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、配線板
上に導体パターンを形成するには、前述したようにラミ
ネート→露光→現像→エッチング等の複数の工程を経る
必要があった。そのため、多工程に伴う導体パターン形
成に係る作製時間、コストの増加、及びこれらの工程を
実施するための製造設備を維持管理するなどの種々の問
題を有していた。さらに、現在の配線板は高実装密度化
に伴い、導体パターンを多層にわたって形成することが
あった。この場合、前述の問題がさらに大きくなった。
However, in order to form a conductor pattern on a wiring board, it is necessary to go through a plurality of steps such as laminating, exposure, development, and etching as described above. Therefore, there are various problems such as an increase in manufacturing time and cost associated with the formation of the conductor pattern associated with multiple steps, and maintenance of manufacturing equipment for performing these steps. Furthermore, in the current wiring boards, conductor patterns may be formed in multiple layers as the packaging density increases. In this case, the above-mentioned problem becomes more serious.

【0005】そこで、本発明は、上記実情に鑑み、少な
い工程で、かつ低コストで導体パターンを配線板上に形
成することのできる導電感光性フィルム、及び導電感光
性フィルムを利用する導体パターン形成方法の提供を課
題とするものである。
In view of the above situation, the present invention is directed to a conductive photosensitive film capable of forming a conductive pattern on a wiring board in a small number of steps and at a low cost, and to form a conductive pattern using the conductive photosensitive film. The challenge is to provide a method.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1の発明にかかる導電感光性フィルムは、特
定波長の光に対して感光し、物性が変化するフォトポリ
マー成分、及びICチップなどの電子部品と通電可能な
導電性を有する導電体成分を分散混合し、均一膜厚のフ
ィルム状に製膜した感光導電層を有するものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the conductive photosensitive film according to the invention of claim 1 is a photopolymer component which changes its physical properties by being exposed to light of a specific wavelength, and an IC. It has a photosensitive conductive layer formed by dispersing and mixing an electronic component such as a chip and an electrically conductive component having conductivity to form a film having a uniform film thickness.

【0007】ここで、フォトポリマー成分とは、特定波
長の光(例えば、紫外線など)に対して感光する感光性
樹脂組成物を混合した材料系で構成されるものであり、
例えば、材料系として、アクリルモノマー/ポリマー混
合系、ポリチオール/ポリエン混合系、オリゴマー/ポ
リマー混合系、不飽和ポリエステル/アクリルモノマー
混合系、ポリアミド/アクリルモノマー混合系、熱可塑
性エラストマー/アクリルモノマー混合系、熱可塑性エ
ラストマー/アクリルモノマー/マレイミド混合系、及
び熱可塑性エラストマー/ポリブタジエン/マレイン酸
誘導体混合系などが挙げられる。
Here, the photopolymer component is composed of a material system in which a photosensitive resin composition sensitive to light of a specific wavelength (for example, ultraviolet rays) is mixed.
For example, as the material system, acrylic monomer / polymer mixed system, polythiol / polyene mixed system, oligomer / polymer mixed system, unsaturated polyester / acrylic monomer mixed system, polyamide / acrylic monomer mixed system, thermoplastic elastomer / acrylic monomer mixed system, Examples include thermoplastic elastomer / acrylic monomer / maleimide mixed system, and thermoplastic elastomer / polybutadiene / maleic acid derivative mixed system.

【0008】また、導電体成分は、銅、金、銀、パラジ
ウム、白金、ニッケル、アルミニウム、モリブデン、及
びタングステンなどの導電性を有する金属単体、或いは
これらの合金などが含まれる。そして、これらの金属等
が粒状、または粉末状となって分散されているものであ
る。
Further, the conductor component includes a single metal having conductivity such as copper, gold, silver, palladium, platinum, nickel, aluminum, molybdenum, and tungsten, or an alloy thereof. Then, these metals and the like are dispersed in the form of particles or powder.

【0009】さらに、配線板は、使用する製品及び用途
に応じて種々のものが有り、紙基材にフェノール樹脂、
エポキシ樹脂、及びポリエステル樹脂などを含浸して形
成されるもの、エポキシ樹脂やポリエステル樹脂などを
利用した複合材から形成されるもの、ガラス基材、セラ
ミック基材、及びシリコンウエハーなどの種類がある。
Further, there are various kinds of wiring boards according to the products to be used and the uses thereof.
There are types such as those formed by impregnating epoxy resin and polyester resin, those formed of composite material using epoxy resin or polyester resin, glass base material, ceramic base material, and silicon wafer.

【0010】また、感光導電層をフィルム状に製膜する
ときの製膜特性を向上させるために、メタクリル酸エス
テル、アクリル酸エステル、及びスチレンなどの共重合
体をバインダーポリマーとしてフォトポリマー成分及び
導電体成分を分散混合させる際に、添加してもよい。さ
らに、感光導電層は、光重合開始剤、安定剤、及び着色
剤などを含んでいてもよい。
Further, in order to improve film forming characteristics when the photosensitive conductive layer is formed into a film, a copolymer such as methacrylic acid ester, acrylic acid ester, and styrene is used as a binder polymer for the photopolymer component and the conductive material. It may be added when the body components are dispersed and mixed. Further, the photosensitive conductive layer may contain a photopolymerization initiator, a stabilizer, a colorant and the like.

【0011】ここで、感光導電層を均一膜厚に製膜する
には、例えば、ベースフィルム(基材)として使用する
ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、
従来から既知の方法であるワイヤーバー、ディップ、ロ
ール、及びブレードなどのコーティング技術を応用し、
分散混合した前述のフォトポリマー成分等を一定の膜厚
に保ちながら塗布し、これを乾燥または静置することな
どによってフィルム形状が形成される。これにより、未
使用時における保存性、フィルムの定型性、及び取扱性
が容易となる。さらに、形成された感光導電層の上にポ
リエチレンフィルムなどの保護フィルムを載せ、ベース
フィルム及び保護フィルムによって感光導電層を挟込ん
だ三層構造にすることにより、さらに保護が完全に行な
われる。
Here, in order to form the photosensitive conductive layer into a uniform film thickness, for example, on a polyethylene terephthalate (PET) film used as a base film (base material),
Applying coating technology such as wire bar, dip, roll, and blade, which are conventionally known methods,
A film shape is formed by applying the above-mentioned dispersed and mixed photopolymer components and the like while maintaining a constant film thickness, and drying or allowing to stand. This facilitates storability when not in use, regularity of the film, and handleability. Further, a protective film such as a polyethylene film is placed on the formed photosensitive conductive layer, and a three-layer structure in which the photosensitive conductive layer is sandwiched by the base film and the protective film is formed to further protect the film.

【0012】また、感光導電層と各フィルムとの密着面
には、使用時における剥離容易性を付与するために離型
性を有するシリコーン組成物をコーティングしてもよ
い。ここで、ベースフィルム及び保護フィルムに使用す
るものは、特に限定されないが、表面平滑性、可撓性、
及びコストなどの点から、上述したPETフィルムやポ
リエチレンなどのポリオレフィン系フィルムが好適とい
える。
Further, the adhesion surface between the photosensitive conductive layer and each film may be coated with a silicone composition having releasability so as to provide easy peeling during use. Here, what is used for the base film and the protective film is not particularly limited, but surface smoothness, flexibility,
From the viewpoint of cost and the like, it can be said that the above-mentioned PET film and polyolefin film such as polyethylene are suitable.

【0013】したがって、請求項1の発明の導電感光性
フィルムによれば、フォトポリマー成分及び導電体成分
を分散混合して、均一膜厚のフィルム状に製膜された感
光導電層を導電感光性フィルムは有している。これによ
り、光によって感光する感光性と、導電体成分による導
電性との両方の機能を備えたフィルムが形成されること
になる。
Therefore, according to the conductive photosensitive film of the invention of claim 1, the photopolymer component and the conductor component are dispersed and mixed to form a photosensitive conductive layer formed into a film having a uniform film thickness. The film has. As a result, a film having both the photosensitivity to light and the conductivity due to the conductor component is formed.

【0014】請求項2の発明にかかる導電感光性フィル
ムを利用する導体パターン形成方法は、請求項1に記載
の前記導電感光性フィルムを利用する導体パターン形成
方法であって、前記感光導電層を配線板にラミネートす
るラミネート工程と、前記ラミネート工程によりラミネ
ートされた前記感光導電層に特定波長の前記光を照射し
て、所望の導体パターンに対応させて露光する露光工程
と、前記露光工程により露光した前記導電感光性フィル
ムの前記感光導電層から未露光領域を除去する現像工程
とを具備するものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a conductive pattern forming method using the conductive photosensitive film according to the first aspect, wherein the conductive pattern forming method uses the conductive photosensitive film. A laminating step of laminating on a wiring board, an exposing step of irradiating the photosensitive conductive layer laminated by the laminating step with the light of a specific wavelength, and exposing the photosensitive conductive layer corresponding to a desired conductor pattern, and an exposing step of the exposing step. And a developing step of removing an unexposed region from the photosensitive conductive layer of the conductive photosensitive film.

【0015】ここで、導体パターンとは、配線板に電子
部品を接合し、導電回路を形成する際に、各電子部品同
士をつなぐため配線パターンである。この導体パターン
は、電子部品の接合部及び配線部分が導電性を有する金
属(例えば、銅)などによって形成されている。
Here, the conductor pattern is a wiring pattern for connecting the electronic parts to each other when the electronic parts are joined to the wiring board to form a conductive circuit. In this conductor pattern, the joint portion and the wiring portion of the electronic component are formed of a conductive metal (for example, copper) or the like.

【0016】また、前述したフォトポリマー成分は、特
定波長の光に感光すると、光化学反応を伴って、物性が
変化するものである。例えば、特定の溶媒に対する溶解
性が変化する物性を有しているものなどが挙げられる。
これらの溶媒には、フォトポリマー成分の種類によって
異なるものの、1,1,1−トリクロロエタン、モノエ
タノールアミン、ジエタノールアミンなどの有機系溶剤
に不溶化するもの、炭酸ナトリウム、水酸化カリウム、
水酸化ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩な
どの塩基または弱塩基性水溶液に不溶化するもの、或い
は特に水(温水)などに不溶化するものなどが挙げられ
る。また、光に感光することによって、光分解反応を引
き起こすものなどもある。
The photopolymer component described above changes its physical properties when it is exposed to light of a specific wavelength and undergoes a photochemical reaction. For example, those having physical properties such that the solubility in a specific solvent changes can be mentioned.
Although these solvents differ depending on the type of the photopolymer component, those which are insolubilized in an organic solvent such as 1,1,1-trichloroethane, monoethanolamine, diethanolamine, sodium carbonate, potassium hydroxide,
Examples thereof include those that are insoluble in a base or weakly basic aqueous solution such as sodium hydroxide, ammonia, and quaternary ammonium salt, and those that are insoluble in water (warm water) and the like. Further, there are some that cause a photolytic reaction when exposed to light.

【0017】そこで、特定波長の光で感光させる際に、
例えば、光の透過する領域(露光領域)と光の透過しな
い領域(未露光領域)とを区別したマスクフィルムを形
成し、該マスクフィルムを感光導電層に重ね合わせて光
に感光させ、上述した溶媒と接触させることにより、未
露光領域は、溶媒によって溶解し、感光導電層から除去
される。一方、露光領域は、溶媒に溶解せずに感光導電
層に残ることになる。すなわち、溶媒によって感光導電
層の現像処理が行なわれ、感光導電層に凹凸が形成され
る。
Therefore, when exposing to light of a specific wavelength,
For example, a mask film is formed by distinguishing a region that transmits light (exposed region) and a region that does not transmit light (unexposed region), and the mask film is superposed on a photosensitive conductive layer and exposed to light. Upon contact with the solvent, the unexposed areas are dissolved by the solvent and removed from the photosensitive conductive layer. On the other hand, the exposed area remains in the photosensitive conductive layer without being dissolved in the solvent. That is, the photosensitive conductive layer is developed with a solvent to form irregularities on the photosensitive conductive layer.

【0018】したがって、請求項2の発明の導電感光性
フィルムを利用した導体パターン形成方法によれば、導
電感光性フィルムを配線板にラミネートした後、特定波
長の光によって所望の導体パターンに対応させて感光導
電層を露光する。これにより、フォトポリマー成分の物
性が変化した露光領域と未露光領域とが感光導電層に形
成される。そこで、未露光領域をフォトポリマー成分の
物性変化(例えば、溶解性の変化に起因するもの)に基
づいて除去する現像処理を行なうと、配線板上に選択的
に導電体成分が残った導体パターン(露光領域に該当)
が形成される。さらに、導電体成分は、導電感光性フィ
ルムが均一膜厚に製膜されているために、配線板上に所
定の高さを保持している。
Therefore, according to the conductive pattern forming method using the conductive photosensitive film of the invention of claim 2, after laminating the conductive photosensitive film on the wiring board, it is made to correspond to a desired conductive pattern by light of a specific wavelength. To expose the photosensitive conductive layer. As a result, exposed areas and unexposed areas where the physical properties of the photopolymer component have changed are formed in the photosensitive conductive layer. Therefore, when a developing process is performed to remove the unexposed region based on the change in the physical properties of the photopolymer component (for example, due to the change in solubility), the conductor pattern in which the conductor component remains selectively on the wiring board. (Corresponds to the exposure area)
Is formed. Furthermore, the conductive component holds a predetermined height on the wiring board because the conductive photosensitive film is formed into a uniform film thickness.

【0019】請求項3の発明にかかる導電感光性フィル
ムを利用する導体パターン形成方法は、請求項2に記載
の導電感光性フィルムを利用する導体パターン形成方法
において、前記フォトポリマー成分は、前記光に感光す
ると水性溶液に対して不溶化する物性を有し、前記現像
工程は、前記感光導電層の前記未露光領域を、前記水性
溶液を用いて溶解除去するものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a conductive pattern forming method using a conductive photosensitive film according to the second aspect of the present invention. It has a physical property of being insoluble in an aqueous solution when exposed to, and in the developing step, the unexposed region of the photosensitive conductive layer is dissolved and removed using the aqueous solution.

【0020】したがって、請求項3の発明の導電感光性
フィルムを利用する導体パターン形成方法によれば、請
求項2の発明の導電感光性フィルムを利用する導体パタ
ーン形成方法の作用に加え、フォトポリマー成分が光に
感光すると水性溶液に対して不溶化する性質を有する。
そのため、水性溶液で導電感光性フィルムの感光導電層
を処理することによって、未露光領域を該水性溶液によ
って溶解除去することが可能となる。つまり、水を含有
する水溶液によって現像処理が行なえる。ここで、水性
溶液は、フォトポリマー成分の種類によって異なるが、
例えば、炭酸ナトリウム水溶液などの塩基性を呈するも
のや、或いは中性を呈するものが挙げられ、これらが適
宜選択して使用される。
Therefore, according to the conductor pattern forming method using the conductive photosensitive film of the third aspect of the invention, in addition to the function of the conductor pattern forming method using the conductive photosensitive film of the second aspect, the photopolymer is used. The component has a property of becoming insoluble in an aqueous solution when exposed to light.
Therefore, by treating the photosensitive conductive layer of the conductive photosensitive film with an aqueous solution, it becomes possible to dissolve and remove the unexposed region with the aqueous solution. That is, the development process can be performed with an aqueous solution containing water. Here, the aqueous solution depends on the type of the photopolymer component,
Examples thereof include those exhibiting basicity such as sodium carbonate aqueous solution and those exhibiting neutrality, and these are appropriately selected and used.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態である
導電感光性フィルム1、及び導電感光性フィルムを利用
する導体パターン形成方法2について図1乃至図4に基
づいて説明する。図1は本発明の一実施形態である導電
感光性フィルム1の構成を示す説明図であり、図2及び
図3は導電感光性フィルムを利用する導体パターン形成
方法を説明する説明図であり、図4は導電感光性フィル
ムを利用する導体パターン形成方法の工程の流れを示す
フローチャートである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A conductive photosensitive film 1 according to an embodiment of the present invention and a conductive pattern forming method 2 using the conductive photosensitive film will be described below with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a conductive photosensitive film 1 according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are explanatory diagrams illustrating a conductive pattern forming method using the conductive photosensitive film, FIG. 4 is a flowchart showing the flow of steps of a method for forming a conductor pattern using a conductive photosensitive film.

【0022】本実施形態の導電感光性フィルム1は、図
1に示すように、特定波長の光hνに対して感光し、物
性が変化するフォトポリマー成分3と、電子部品に対し
て通電可能な導電性を有する導電体成分4とを分散混合
して、均一膜厚のフィルム状に製膜した感光導電層5
と、感光導電層5の一方の面に当接し、フィルム形状を
保つために感光導電層5を支持するベースフィルム6
と、感光導電層5の他方の面に当接して感光導電層5の
表面を保護する保護フィルム7とを有し、ベースフィル
ム6及び保護フィルム7で感光導電層5を挟み込んだ三
層構造によって構成されている。ここで、ベースフィル
ム6には特定波長の光hνを透過する透明性を有するポ
リエステルフィルムが使用され、一方、保護フィルム7
にはポリエチレンフィルムが使用されている。さらに、
導電感光性フィルム1の感光導電層5には、フィルム形
状に整形するためのアクリル酸エステル系のバインダポ
リマーが混合されている。なお、導電体成分4として、
銅を主成分して構成されるものを本実施形態では使用し
ている。
As shown in FIG. 1, the conductive photosensitive film 1 of the present embodiment is capable of conducting electricity to a photopolymer component 3 which is exposed to light hν having a specific wavelength and whose physical properties change, and electronic parts. Photosensitive conductive layer 5 formed by dispersing and mixing conductive component 4 having conductivity to form a film having a uniform thickness.
And a base film 6 that contacts one surface of the photosensitive conductive layer 5 and supports the photosensitive conductive layer 5 to maintain the film shape.
And a protective film 7 that contacts the other surface of the photosensitive conductive layer 5 to protect the surface of the photosensitive conductive layer 5, and has a three-layer structure in which the photosensitive conductive layer 5 is sandwiched between the base film 6 and the protective film 7. It is configured. Here, as the base film 6, a transparent polyester film that transmits light hν having a specific wavelength is used, while the protective film 7 is used.
Polyethylene film is used for. further,
The photosensitive conductive layer 5 of the conductive photosensitive film 1 is mixed with an acrylic acid ester-based binder polymer for shaping into a film shape. As the conductor component 4,
In this embodiment, a material composed mainly of copper is used.

【0023】次に、本実施形態の導電感光性フィルム1
を利用する導体パターン形成方法2について、図2及び
図3に模式的に示す説明図、及び図4のフローチャート
に基づいて説明する。始めに、図2(a)に示すよう
に、配線板PL、導電感光性フィルム1、及びマスクパ
ターン8を準備する。そして、配線板PLのパターン形
成面9に保護フィルム7を剥がした感光導電層5をラミ
ネートする(ラミネート工程S1)。このとき、まだベ
ースフィルム6は感光導電層5に当接したままの状態に
ある。なお、感光導電層5は、主として高分子材料から
形成されているため、若干の粘着性状を呈している。し
たがって、ラミネート工程S1によって配線板PLとラ
ミネートする際に、特に接着剤などを要することはな
い。
Next, the conductive photosensitive film 1 of this embodiment
A conductor pattern forming method 2 utilizing the above method will be described based on explanatory views schematically shown in FIGS. 2 and 3 and a flowchart of FIG. First, as shown in FIG. 2A, the wiring board PL, the conductive photosensitive film 1, and the mask pattern 8 are prepared. Then, the photosensitive conductive layer 5 from which the protective film 7 is peeled off is laminated on the pattern forming surface 9 of the wiring board PL (laminating step S1). At this time, the base film 6 is still in contact with the photosensitive conductive layer 5. Since the photosensitive conductive layer 5 is mainly made of a polymer material, it has a slight adhesive property. Therefore, when laminating with the wiring board PL in the laminating step S1, there is no particular need for an adhesive or the like.

【0024】その後、ベースフィルム6の上からマスク
フィルム8を重ねる(重合工程S2:図2(b))。こ
こで、マスクフィルム8は、配線板PL上に導電体成分
4を供給する箇所が特定波長の光hνを透過するように
形成された透過部TPと、配線板PL上に導電体成分4
を供給しない箇所が光hνを透過しないように形成され
た非透過部NPとによって、所望の導体パターンCPに
対応したパターンが構成されている。
After that, the mask film 8 is overlaid on the base film 6 (polymerization step S2: FIG. 2B). Here, the mask film 8 has a transparent portion TP formed so that a portion of the wiring board PL that supplies the conductor component 4 transmits light hν having a specific wavelength, and the conductor component 4 on the wiring board PL.
A pattern corresponding to the desired conductor pattern CP is formed by the non-transmissive portion NP formed so that the portion not supplied with the light does not transmit the light hν.

【0025】そして、重ね合わせたマスクフィルム8の
側から(図2における上方に相当)、露光装置10を用
いて光hνを照射する(露光工程S3:図2(c))。
このとき、光hνを照射する露光時間及び露光強度は、
感光導電層5に含有しているフォトポリマー成分3によ
って決定される。さらに、使用する光hνの波長もフォ
トポリマー成分3に対応したものが選択される。なお、
本実施形態においては、光hνは紫外線波長領域にある
ものを使用し、フォトポリマー成分3も該紫外線波長領
域によって光化学反応をするものが使用されている。感
光導電層5は、露光によってマスクフィルム8の透過部
TPを透過した光hνによって感光した露光領域ER
と、マスクフィルム8の非透過部NPによって光hνの
透過が阻害(マスク)された未露光領域NRとの二つ領
域が現れる。
Then, light hν is radiated from the side of the mask film 8 which is superposed (corresponding to the upper side in FIG. 2) using the exposure device 10 (exposure step S3: FIG. 2 (c)).
At this time, the exposure time and the exposure intensity for irradiating the light hν are
It is determined by the photopolymer component 3 contained in the photosensitive conductive layer 5. Further, the wavelength of the light hν to be used is selected so as to correspond to the photopolymer component 3. In addition,
In this embodiment, the light hν is used in the ultraviolet wavelength region, and the photopolymer component 3 is also used in which the photochemical reaction is caused in the ultraviolet wavelength region. The photosensitive conductive layer 5 has an exposed region ER exposed by the light hν transmitted through the transparent portion TP of the mask film 8 by exposure.
And an unexposed area NR in which the transmission of the light hν is blocked (masked) by the non-transmissive portion NP of the mask film 8 appears.

【0026】露光工程S3によって、感光導電層5を感
光した後、重ね合せられたマスクフィルム8と、さらに
感光導電層5に当接しているベースフィルム6とを剥が
す(剥離工程S4)。その後、配線板PL上の感光導電
層5を現像処理する(現像工程S5:図3(a))。
After the photosensitive conductive layer 5 has been exposed to light in the exposure step S3, the mask film 8 and the base film 6 which are in contact with the photosensitive conductive layer 5 are peeled off (peeling step S4). Then, the photosensitive conductive layer 5 on the wiring board PL is developed (developing step S5: FIG. 3A).

【0027】具体的には、感光導電層5の面に水系現像
液Lを噴射、或いは水系現像液Lに浸積することによっ
て、マスクフィルム8によって光hνの透過がマスクさ
れた未露光領域NRが溶解除去される。これにより、配
線板PL上に露光領域ERに相当する箇所で形成された
導体パターンCPを形成することができる(図3
(b))。
Specifically, the unexposed region NR in which the transmission of the light hν is masked by the mask film 8 by jetting or immersing the water-based developer L on the surface of the photosensitive conductive layer 5 Are dissolved and removed. As a result, it is possible to form the conductor pattern CP formed on the wiring board PL at a position corresponding to the exposure region ER (FIG. 3).
(B)).

【0028】これにより、従来の導体パターンCPを形
成する方法と比較して、エッチング処理などの工程を省
くことができる。そのため、係る工程に必要な設備を備
える必要がなくなり、さらに導体パターンCP形成のた
めの作業時間も低減させることができる。これにより、
生産能力のアップや、製造コストを抑えることができる
ようになる。
As a result, compared with the conventional method of forming the conductor pattern CP, steps such as etching processing can be omitted. Therefore, it is not necessary to provide the equipment necessary for the process, and the working time for forming the conductor pattern CP can be reduced. This allows
It will be possible to increase the production capacity and reduce the manufacturing cost.

【0029】また、本実施形態では、現像工程S5にお
いて水系現像液Lを用いて現像処理が行なわれる。従来
から、スクリーン印刷プロセスにおいて感光材を塗布し
た印刷版などを製版する際にも、一般的に水系現像液L
を利用することが多い。そのため、既存の設備等をその
まま転用することができるため、新たな設備コストが多
くかかることがない。また、溶剤系の現像液と比較して
取扱い時の火気などに対する安全性が高く、環境に対す
る影響も極力抑えることができる。
In the present embodiment, the developing process is carried out using the aqueous developing solution L in the developing step S5. Conventionally, even when a printing plate coated with a photosensitive material is made in a screen printing process, a water-based developer L is generally used.
Is often used. Therefore, existing equipment and the like can be diverted as they are, so that new equipment cost does not increase. In addition, compared to a solvent-based developer, it is more safe against fire and the like during handling, and the influence on the environment can be suppressed as much as possible.

【0030】以上、本発明について好適な実施形態を挙
げて説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定され
るものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸
脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可
能である。
Although the present invention has been described above with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and as shown below, within the scope not departing from the gist of the present invention. Various improvements and design changes are possible.

【0031】すなわち、本実施形態で示した露光工程S
3では、露光装置9及びマスクフィルム8を使用し、感
光導電層5を露光するものを示したが、この場合、従来
既知の手段を用いて、マスクフィルム8を重ね合わせた
状態で、配線板PL、感光導電層5、及びマスクフィル
ム8全体を真空引きし、それぞれの面における密着度を
上げてもよい。これにより、形成される導体パターンC
Pの寸法精度や品質の向上が期待できる。さらに、マス
クフィルム8を使用しないで、露光する導体パターンC
Pに対応する画像を光hνによって映像化して投影する
投影装置を用いて露光を行なうなどの露光方式を採用す
ることも可能である。
That is, the exposure step S shown in this embodiment.
3, the exposure device 9 and the mask film 8 are used to expose the photosensitive conductive layer 5. However, in this case, the mask film 8 is superposed on the wiring board by a conventionally known means. The PL, the photosensitive conductive layer 5, and the mask film 8 as a whole may be evacuated to increase the degree of adhesion on each surface. Thereby, the conductor pattern C formed
Dimensional accuracy and quality of P can be expected to improve. Further, the conductor pattern C is exposed without using the mask film 8.
It is also possible to adopt an exposure method such as performing exposure using a projection device that visualizes and projects an image corresponding to P with light hν.

【0032】また、導電体成分4として、銅を主成分と
するものを示したが、これに限定されるものではなく、
その他の導電性を有する金属及び合金等を用いることが
できる。例えば、銅、金、銀、パラジウム、白金、ニッ
ケル、アルミニウム、モリブデン、及びタングステンな
どの導電回路を形成する際に従来から使用されている金
属等を適宜選択してもよい。
Although the conductor component 4 is mainly composed of copper, the conductor component 4 is not limited to this.
Other conductive metals and alloys can be used. For example, a metal or the like conventionally used when forming a conductive circuit such as copper, gold, silver, palladium, platinum, nickel, aluminum, molybdenum, or tungsten may be appropriately selected.

【0033】さらに、現像工程S5において、水系現像
液Lを用いるものを示したが、これに限定されるもので
なく、感光導電層5に含有されるフォトポリマー成分3
に対応する溶剤系やアルカリ系の現像液で処理すること
もできる。しかしながら、工程を実施する際の安全性な
どの問題、及び地球環境に係わる影響を考慮すると、水
系のものが好適と思われる。
Further, in the developing step S5, the one using the aqueous developer L is shown, but the invention is not limited to this, and the photopolymer component 3 contained in the photosensitive conductive layer 5 is used.
It is also possible to perform processing with a solvent-based or alkaline-based developing solution corresponding to. However, in consideration of the safety issues in carrying out the process and the influence on the global environment, the water-based one seems to be preferable.

【0034】また、感光導電層5を支持または保護する
ものとして使用したベースフィルム6及び保護フィルム
7の材質は、ポリエステル系及びポリエチレン系のもの
に限定されるものではない。加えて、感光導電層5を露
光する特定波長の光hνについても、本実施形態で示し
た紫外線に限定されるものでなく、その他の領域の波長
を使用することもできる。
The materials of the base film 6 and the protective film 7 used for supporting or protecting the photosensitive conductive layer 5 are not limited to those of polyester and polyethylene. In addition, the light hν having a specific wavelength for exposing the photosensitive conductive layer 5 is not limited to the ultraviolet light shown in this embodiment, and wavelengths in other regions can be used.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のように、請求項1の発明の導電感
光性フィルムは、フォトポリマー成分と導電体成分とを
含有する感光導電層を有している。これにより、感光性
及び導電性の両方の機能を兼ね備えたフィルムが一定膜
厚で形成される。
As described above, the conductive photosensitive film of the invention of claim 1 has the photosensitive conductive layer containing the photopolymer component and the conductor component. As a result, a film having both a photosensitive function and a conductive function is formed with a constant film thickness.

【0036】請求項2の発明の導電感光性フィルムを利
用する導体パターン形成方法は、導電感光性フィルムを
利用して導体パターンを配線板上に形成することができ
る。そのため、従来と比して導体パターン形成に係る工
程を省略化することができ、製造コスト及び設備等に係
る負担を軽減することができる。さらに、感光導電層が
一定膜厚で形成されているため形成された導体パターン
の表面平滑性も良好となり、その後の導電回路作製に係
る不具合を引き起こすことがない。
In the conductor pattern forming method using the conductive photosensitive film according to the second aspect of the present invention, the conductive pattern can be formed on the wiring board by using the conductive photosensitive film. Therefore, as compared with the related art, the process for forming the conductor pattern can be omitted, and the manufacturing cost and the burden on the facility can be reduced. Furthermore, since the photosensitive conductive layer is formed to have a constant film thickness, the surface smoothness of the formed conductor pattern is also good, and no problems will be caused in the subsequent production of the conductive circuit.

【0037】請求項3の発明の導電感光性フィルムを利
用する導体パターン形成方法は、請求項2の発明の導電
感光性フィルムを利用する導体パターン形成方法の効果
に加え、現像処理が水性溶液によって行なわれるため、
特殊な設備を必要とせず、さらに環境に与える影響も小
さくなる。
In the conductor pattern forming method using the conductive photosensitive film of the third aspect of the invention, in addition to the effect of the conductor pattern forming method using the conductive photosensitive film of the second aspect, the developing treatment is performed by an aqueous solution. To be done,
No special equipment is required and the impact on the environment is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】導電感光性フィルムの構成を模式的に示す説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory view schematically showing the constitution of a conductive photosensitive film.

【図2】導体パターン形成方法の一例を示す説明図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a conductor pattern forming method.

【図3】導体パターン形成方法の一例を示す説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of a conductor pattern forming method.

【図4】導体パターン形成方法の工程の流れを示すフロ
ーチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing a flow of steps of a conductor pattern forming method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導電感光性フィルム 2 導体パターン形成方法 3 フォトポリマー成分 4 導電体成分 5 感光導電層 hν 光 CP 導体パターン ER 露光領域 L 水系現像液(水性溶液) NR 未露光領域 PL 配線板 S1 ラミネート工程 S3 露光工程 S5 現像工程 1 Conductive photosensitive film 2 Conductor pattern forming method 3 Photopolymer components 4 Conductor component 5 Photosensitive conductive layer hν light CP conductor pattern ER exposure area L water-based developer (aqueous solution) NR Unexposed area PL wiring board S1 laminating process S3 exposure process S5 development process

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01B 13/00 503 H01B 13/00 503D 5G301 H01L 21/60 311 H01L 21/60 311S 5G323 H05K 3/02 H05K 3/02 B Fターム(参考) 2H025 AA19 AB11 AB15 AB16 AC01 AD01 BC13 BC42 CC09 DA05 FA17 2H097 CA12 GA45 LA09 4E351 AA20 CC19 DD02 EE21 GG20 5E339 BB02 BC01 BD06 BD11 BE11 5F044 KK01 5G301 DA02 DA03 DA04 DA05 DA06 DA10 DA11 DA12 DA42 DD08 5G323 CA01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01B 13/00 503 H01B 13/00 503D 5G301 H01L 21/60 311 H01L 21/60 311S 5G323 H05K 3/02 H05K 3/02 BF term (reference) 2H025 AA19 AB11 AB15 AB16 AC01 AD01 BC13 BC42 CC09 DA05 FA17 2H097 CA12 GA45 LA09 4E351 AA20 CC19 DD02 EE21 GG20 5E339 BB02 BC01 BD06 BD11 BE11 5F044 KK01 5G301 DA02 DA42 DA10 DA11 DA04 DA10 DA05 DA04 DA11 5G323 CA01

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 特定波長の光に対して感光し、物性が変
化するフォトポリマー成分、及びICチップなどの電子
部品と通電可能な導電性を有する導電体成分を分散混合
し、均一膜厚のフィルム状に製膜した感光導電層を有す
ることを特徴とする導電感光性フィルム。
1. A photopolymer component which is sensitive to light of a specific wavelength and whose physical properties change, and an electronic component such as an IC chip and a conductive component which has a conductive property and are dispersed and mixed to obtain a uniform film thickness. A conductive photosensitive film having a photosensitive conductive layer formed into a film.
【請求項2】 請求項1に記載の前記導電感光性フィル
ムを利用する導体パターン形成方法であって、 前記感光導電層を配線板にラミネートするラミネート工
程と、 前記ラミネート工程によりラミネートされた前記感光導
電層に特定波長の前記光を照射して、所望の導体パター
ンに対応させて露光する露光工程と、 前記露光工程により露光した前記導電感光性フィルムの
前記感光導電層から未露光領域を除去する現像工程とを
具備することを特徴とする導電感光性フィルムを利用す
る導体パターン形成方法。
2. A method for forming a conductor pattern using the conductive photosensitive film according to claim 1, comprising a laminating step of laminating the photosensitive conductive layer on a wiring board, and the photosensitive layer laminated by the laminating step. An exposure step of irradiating the conductive layer with the light of a specific wavelength to expose the conductive layer in accordance with a desired conductor pattern, and removing an unexposed region from the photosensitive conductive layer of the conductive photosensitive film exposed by the exposure step. A method of forming a conductor pattern using a conductive photosensitive film, comprising: a developing step.
【請求項3】 前記フォトポリマー成分は、 前記光に感光すると水性溶液に対して不溶化する物性を
有し、 前記現像工程は、 前記感光導電層の前記未露光領域を、前記水性溶液を用
いて溶解除去することを特徴とする請求項2に記載の導
電感光性フィルムを利用する導体パターン形成方法。
3. The photopolymer component has a physical property of being insoluble in an aqueous solution when exposed to the light, and in the developing step, the unexposed region of the photosensitive conductive layer is formed by using the aqueous solution. The method for forming a conductor pattern using the conductive photosensitive film according to claim 2, wherein the conductor pattern is dissolved and removed.
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