JP2003083468A

JP2003083468A - バルブにおけるガスパージ方法及び構造

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Publication number: JP2003083468A
Application number: JP2001271488A
Authority: JP
Inventors: Kimihito Sasao; 起美仁笹尾
Original assignee: Advance Denki Kogyo KK
Current assignee: Advance Denki Kogyo KK
Priority date: 2001-09-07
Filing date: 2001-09-07
Publication date: 2003-03-19
Anticipated expiration: 2021-09-07
Also published as: JP4763936B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過
又は漏出するガスをパージして、アクチュエータ部や駆
動源の構成部品や配線等の保護を目的とする。【解決手段】ボディ本体１１と、被制御流体の制御の
ためにボディ本体１１内で作動する弁機構体２０と、弁
機構体を作動させるアクチュエータ部６０と、アクチュ
エータ部と駆動源６５とを接続する配線Ｌを通す配線挿
通部８０とを備えたバルブ１０内における、アクチュエ
ータ部側へ透過又は漏出するガスをパージする方法であ
って、アクチュエータ部内外を連通する気体流通部９
０，９１を設け、配線挿通部よりパージ用気体Ａｐをア
クチュエータ部内に送り、そのパージ用気体を気体流通
部から排出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の制御に使用
されるバルブにおけるガスパージ方法及び構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、腐食性流体，有機溶剤，オゾン
水，電解水，ガス等、各種の流体を所定状態に制御（調
節又は切り替えを含む。以下、同じ。）するために使用
される減圧弁，背圧弁，安全弁，開度調節弁，混合比率
調節弁，開閉弁等のバルブとしては、被制御流体が流通
するチャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御
のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、該弁
機構体を作動させるアクチュエータ部とを備えたものが
ある。前記弁機構体を作動させるアクチュエータ部とし
て、電磁力を利用する電磁アクチュエータを用いること
があり、その場合にはアクチュエータ部と駆動源とを接
続する導線やハーネス等の配線を通す配線挿通部が設け
られる。なお、調圧気体（主に加圧気体）を利用するエ
アオペレイト方式を採用して、弁機構体を作動させるこ
ともあるが、その場合には調圧気体の圧縮性等に起因し
て応答性が悪いといった不利な面がある。

【０００３】ところで、上記電磁アクチュエータ等のア
クチュエータ部を備えるバルブにおいては、ボディ本体
のチャンバ内を流通する被制御流体（気体の場合）或い
は該被制御流体中のガスがアクチュエータ部側へ透過又
は漏出する現象が生じることがある。その場合、前記ガ
スが原因でアクチュエータ部や駆動源の構成部品（主に
電気部品）や配線等が腐食する等の不都合が生じるおそ
れがあった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みなされたもので、ボディ本体側からアクチュエ
ータ部側へ透過又は漏出するガスをパージ（除去）して
アクチュエータ部や駆動源の構成部品や配線等を保護す
ることができるバルブにおけるガスパージ方法及び構造
を提供する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本
体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作
動する弁機構体と、該弁機構体を作動させるアクチュエ
ータ部と、該アクチュエータ部と駆動源とを接続する配
線を通す配線挿通部とを備えたバルブ内における、前記
ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出す
るガスをパージする方法であって、前記アクチュエータ
部内外を連通する気体流通部を設け、前記配線挿通部よ
りパージ用気体をアクチュエータ部内に送り、そのパー
ジ用気体を前記気体流通部から排出することを特徴とす
るバルブにおけるガスパージ方法に係る。

【０００６】請求項２の発明は、被制御流体が流通する
チャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御のた
めに前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、前記弁機
構体を作動させるアクチュエータ部と、前記アクチュエ
ータ部と駆動源とを接続する配線を通す配線挿通部と、
前記アクチュエータ部内外を連通するように設けられた
気体流通部と、前記ボディ本体側からアクチュエータ部
側へ透過又は漏出するガスをパージするためのパージ用
気体を供給するための気体供給部とを備えるバルブにお
いて、前記気体供給部からのパージ用気体を前記配線挿
通部よりアクチュエータ部内に送り、該パージ用気体を
前記気体流通部から排出するように構成されたことを特
徴とするバルブにおけるガスパージ構造に係る。

【０００７】請求項３の発明は、請求項２において、弁
機構体がダイヤフラム部を有するものからなり、前記ボ
ディ本体側から前記ダイヤフラム部の膜部を介してアク
チュエータ部側へ透過又は漏出したガスをパージ用気体
によりパージするバルブにおけるガスパージ構造に係
る。

【０００８】請求項４の発明は、請求項２又は３におい
て、アクチュエータ部が電磁アクチュエータにより構成
されているバルブにおけるガスパージ構造に係る。

【０００９】請求項５の発明は、請求項４において、バ
ルブが開閉弁であり、アクチュエータ部と駆動源とを接
続する配線中に電気抵抗体が設けられたバルブにおける
ガスパージ構造に係る。

【００１０】請求項６の発明は、請求項２〜５の何れか
一項において、アクチュエータ部内外を連通する気体流
通部が複数設けられたバルブにおけるガスパージ構造に
係る。

【００１１】請求項７の発明は、請求項２〜６の何れか
一項において、バルブがサックバック機構を備えた開閉
弁であるバルブにおけるガスパージ構造に係る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付の図面に従って本発明を
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係るバルブ
を示す断面図、図２は他の実施例に係るバルブを示す断
面図、図３はさらに他の実施例に係るバルブを示す断面
図、図４はさらに他の実施例に係るバルブを示す断面図
である。

【００１３】図１に示すバルブ１０は、本発明の一実施
例に係るもので、一次側の流体の圧力変動に対応して二
次側の流体の圧力を所定状態に制御するための、圧力制
御弁（減圧弁）として使用されるものである。このバル
ブ１０は、ボディ本体１１と、弁機構体２０と、アクチ
ュエータ部６０と、配線挿通部８０と、気体流通部９
０，９１と、気体供給部９５とを備えている。なお、当
該バルブ１０により制御される被制御流体としては、純
水，腐食性流体，有機溶剤，オゾン水，電解水，ガス
等、各種の流体が挙げられる。

【００１４】ボディ本体１１は、本実施例ではフッ素樹
脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成され、被
制御流体のための流入部１３を有する第一チャンバ１２
と、被制御流体のための流出部１５を有する第二チャン
バ１４と、前記第一チャンバ１２及び第二チャンバ１４
に連通しかつ弁座１８が形成された連通流路１７を有し
ている。この連通流路１７において、後述する弁機構体
２０の作動によって、該弁機構体２０の弁部２２と弁座
１８との間の開口量が変化して、一次側（流入部１３
側）から二次側（流出部１５側）へ流通する被制御流体
の流量（二次側圧力）が制御される。本実施例のボディ
本体１１は、第一ブロック１１ａ，第二ブロック１１ｂ
に分割され、これらと後述するアクチュエータ部６０の
カバーケース６１とをボルト等の適宜の固定部材により
一体に組み付けて構成されている。また、前記流入部１
３には流入用配管が、前記流出部１５には流出用配管が
それぞれ接続される。

【００１５】弁機構体２０は、ボディ本体１１と同様
に、本実施例ではフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の
高い樹脂から形成される。実施例の弁機構体２０は、請
求項３の発明に規定したように、前記連通流路１７内に
進退自在に挿通されるロッド部２１と、前記第一チャン
バ１２内（流入部１３側）に配される第一ダイヤフラム
部３０と、前記第二チャンバ１４内（流出部１５側）に
配される第二ダイヤフラム部４０とを含んでいる。

【００１６】ロッド部２１は、前記弁座１８を開閉する
弁部２２を有している。本実施例では、前記弁部２２
は、第一チャンバ１２側に位置するようにロッド部２１
外周面に突出して形成されている。また、本実施例で
は、前記弁部２２の表面はテーパ面にて形成されてい
る。また、第一ダイヤフラム部３０は、前記ロッド部２
１の第一チャンバ側端部に設けられ、ダイヤフラム面で
ある薄肉の膜部（可動部）３１と、その外周側の外周シ
ール部３２を有している。さらに、第二ダイヤフラム部
４０は、前記ロッド部２１の第二チャンバ側端部に設け
られ、ダイヤフラム面である薄肉の膜部（可動部）４１
と、その外周側の外周シール部４２を有している。本実
施例では、前記第一ダイヤフラム部３０の膜部３１の外
径（ダイヤフラム有効径）は、第二ダイヤフラム部４０
の膜部４１の外径（ダイヤフラム有効径）よりも小さく
されている。

【００１７】前記第一ダイヤフラム部３０及び第二ダイ
ヤフラム部４０は、それらの外周シール部３２及び４２
がボディ本体１１に固定されて、前記第一チャンバ１２
内又は第二チャンバ１４内にそれぞれ配されている。実
施例では、図示のように、第一ダイヤフラム部３０は、
その外周シール部３２がボディ本体１１の第一ブロック
１１ａと第二ブロック１１ｂ間に挟着されて固定されて
いる。これに対して、第二ダイヤフラム部４０は、その
外周シール部４２がボディ本体１１の第二ブロック１１
ｂとアクチュエータ部６０のカバーケース６１間に挟着
されて固定されている。

【００１８】前記第一ダイヤフラム部３０によって、前
記第一チャンバ１２は、第一ダイヤフラム部３０内側の
弁座１８より上流側で、前記流入部１３を含む第一弁室
５１と、第一ダイヤフラム部３０外側の第一調圧室５２
とに区分される。また、前記第二ダイヤフラム部４０に
よって、前記第二チャンバ１４は、第二ダイヤフラム部
４０内側の弁座１８より下流側で、前記流出部１５を含
む第二弁室５５と、第二ダイヤフラム部４０外側の第二
調圧室５６とに区分される。

【００１９】ここで、前記第二ダイヤフラム部４０の膜
部４１を介して、前記第二弁室５５内を流通する被制御
流体（気体の場合）或いは該被制御流体中のガスがアク
チュエータ部６０側（第二調圧室５６側）へ漏出又は透
過するおそれがある。

【００２０】また、本実施例においては、前記弁機構体
２０のロッド部２１が第二ダイヤフラム部４０に一体に
設けられ、前記ロッド部２１に第一ダイヤフラム部３０
が螺着固定されている。なお、この例とは逆にロッド部
２１が第一ダイヤフラム部３０に一体に設けられ、前記
ロッド部２１に第二ダイヤフラム部４０が螺着固定され
るようにしても良いし、各部がそれぞれ螺着固定される
ようにしても良いし、さらには各部が一体形成されても
良い。また、特開２０００―１９３１０６号記載のバル
ブの如く、前記ロッド部２１を互いに分離及び遊嵌結合
可能な二つの部材で構成するようにしても良い。

【００２１】さらに、本実施例では、前記第二ダイヤフ
ラム部４０の外側（図では上側）に、後述のアクチュエ
ータ部６０の作動部材６４に連結される連結軸部４５が
立設されている。

【００２２】前記弁機構体２０を作動（図では上下移
動）させるアクチュエータ部６０は、前記ボディ本体１
１の第二ブロック１１ｂの外側（上側）に設けられる。
本実施例におけるアクチュエータ部６０は、請求項４の
発明に規定したように、電磁力を利用する電磁アクチュ
エータにより構成されている。図示の符号６１は前記ボ
ディ本体１１の第二ブロック１１ｂの上側に組み付けら
れるカバーケース、６２は金属カバー、６３はコイル、
６４はコイル６３に電流を流すことによって発生する電
磁力によって進退し前記弁機構体２０の連結軸部４５に
連結結合（螺着）される作動部材、６５は駆動源（駆動
出力電源）、Ｌはコイル６３と駆動源６５とを接続する
導線（電線，コード等）やハーネス等の配線、６１ｏは
配線Ｌを挿通するためにカバーケース６１に形成された
挿通穴、６１ｒはカバーケース６１内と第二調圧室５６
とを連通し後述のパージ用気体を通すための連通穴、６
２ｏは配線Ｌを挿通するために金属カバー６２に形成さ
れた挿通穴である。なお、アクチュエータ部６０は、ム
ービングコイル，ノーマルクローズ（ＮＣ），ノーマル
オープン（ＮＯ）を問わない。また、コイル（ソレノイ
ド）と磁性体（磁石）を併用する構成としても良い。さ
らには、アクチュエータ部６０は電磁アクチュエータに
限定されるものではない。

【００２３】前記アクチュエータ部６０によって、前記
第二ダイヤフラム部４０は所定方向に所定圧力で調圧
（主に内向き（図では下向き）に加圧）されるようにな
っている。また、この実施例では、前記第一ダイヤフラ
ム部３０の外側の第一調圧室５２内には、前記第一ダイ
ヤフラム部３０を外側（下側）から押圧する進退自在な
押圧部材７１と、該押圧部材７１を第一ダイヤフラム部
方向（図では上方）へ付勢する所定バネ定数のスプリン
グ等の付勢部材７２とが配設され、当該押圧部材７１及
び付勢部材７２によって、第一ダイヤフラム部３０が調
圧される、ここでは常時一定の調圧圧力が第一ダイヤフ
ラム部３０に加わるように構成されている。図示の例で
は、前記押圧部材７１は前記第一ダイヤフラム部３０に
係着されていると共に、前記付勢部材７２は第一調圧室
５２内壁と押圧部材６１との間に装着されている。前記
第一ダイヤフラム部３０を調圧する構成は、上記例示の
ものに限定されず、加圧気体を採用したり、ソレノイド
（電磁石）等を採用してもよい。図中の符号７３は第一
調圧室５２内の空気の出入りを行う呼吸路を表す。

【００２４】配線挿通部８０は、前記アクチュエータ部
６０のコイル６３と駆動源６５とを接続する配線Ｌを通
すためのものであって、本実施例の配線挿通部８０は、
配線Ｌが挿通される保護チューブ８１と継ぎ手本体８３
と袋ナット８４とを備え、前記保護チューブ８１の拡径
端部８２を継ぎ手本体８３に装着し袋ナット８４で圧締
することによって、アクチュエータ部６０のカバーケー
ス６１に取り付けられている。勿論、配線挿通部８０を
取り付ける構造は、上記継ぎ手構造に限定されない。

【００２５】気体流通部９０，９１は、アクチュエータ
部６０内（前記第二ダイヤフラム部４０外側の第二調圧
室５６を含む。以下、同じ。）へのパージ用気体（エ
ア）を供給するため或いはアクチュエータ部６０内に供
給されたパージ用気体を排出するためのものであって、
前記アクチュエータ部６０内外を連通するように、アク
チュエータ部６０のカバーケース６１又はボディ本体１
１に設けられる。なお、前記気体流通部９０，９１の配
設位置は、上記例に限らない。

【００２６】本実施例においては、請求項６の発明に規
定したように、前記気体流通部９０，９１は２つ設けら
れている。具体的には、前記アクチュエータ部６０のカ
バーケース６１のボディ本体１１近傍に、前記第二調圧
室５６内とバルブ外部とを連通する第一気体流通部９０
が設けられていると共に、前記カバーケース６１の外側
端（前記配線挿通部８０が配設された端、図では上端）
にカバーケース６１内とバルブ外部とを連通する第二気
体流通部９１が設けられている。

【００２７】気体供給部９５は、前記ボディ本体１１側
からアクチュエータ部６０側へ透過又は漏出するガスを
パージするパージ用気体（空気やＮ₂ガス等）を供給す
るためのもので、コンプレッサ等で構成される。なお、
気体供給部９５はバルブ（ボディ本体１１或いはアクチ
ュエータ部６０）と一体的に設けても良いし、別々に設
けても良い。

【００２８】上記構造のバルブ１０においては、前記ア
クチュエータ部６０及び押圧部材７１，付勢部材７２に
よって、弁機構体２０に対して、その第一ダイヤフラム
部３０及び第二ダイヤフラム部４０を介して、常時内向
きの調圧圧力が加えられている。そして、通常の制御状
態（通水状態）では、前記内向きの調圧圧力は、被制御
流体が所定圧力（所定流量）のとき釣り合いを保つよう
に構成されていて、弁機構体２０の弁部２２と弁座１８
との間の開口量は一定間隔に保たれている。これによっ
て、流入部１３側（一次側）から第一弁室５１を経て第
二弁室５５内に流入した被制御流体は所定の流量だけ流
出部１５側（二次側）へ流出される。

【００２９】流入部１３側（一次側）において被制御流
体に何らかの変化があると、その変化は一次側の圧力変
動として現れ、前記第二設定圧力が加えられている弁機
構体２０の第二ダイヤフラム部４０に対する背圧（外向
きの圧力）変動として現れる。この一次側の外向きの変
動圧力と前記アクチュエータ部６０及び押圧部材７１，
付勢部材７２による内向きの調圧圧力とが釣り合いを保
とうとして、弁機構体２０が変動し、それに伴って弁部
２２が位置移動し、弁部２２と弁座１８間の開口量が変
化して、被制御流体の圧力（流量）が制御される。

【００３０】これに対して、二次側の圧力が高くなった
場合、背圧すなわち弁機構体２０の各ダイヤフラム部３
０，４０に作用する外向きの圧力は、通常制御状態に比
して高くなる。その結果、第二ダイヤフラム部４０は外
向きに移動し、それに伴って弁部２２及び第一ダイヤフ
ラム部３０は第二ダイヤフラム部４０側に移動し、弁座
１８に弁部２２が当接して連通流路１７が閉じられる。

【００３１】次に、上記構成のバルブ１０におけるガス
パージ方法の一例について説明する。この例では、前記
気体供給部９５からのパージ用気体Ａｐを前記配線挿通
部８０の保護チューブ８１の先端口８１ａ、及び第一気
体流通部９０を介してアクチュエータ部６０内（前記第
二ダイヤフラム部４０外側の第二調圧室５６を含む。）
に送り、そのパージ用気体Ａｐをアクチュエータ部６０
内で循環させ、その循環させたパージ用気体Ａｐを第二
気体流通部９１から排出することによって、前記ボディ
本体１１側からアクチュエータ部６０側へ漏出又は透過
するガスをパージする。

【００３２】このようにガスパージを行うようにすれ
ば、アクチュエータ部６０内、特には金属カバー６２内
（コイル６３付近）にもパージ用気体Ａｐを効率的に循
環させることができ、アクチュエータ部６０内に漏出又
は透過したガスを確実にパージすることができ、アクチ
ュエータ部６０の構成部品や駆動源６５の構成部品（主
に電気部品）や配線等を保護することができる。その結
果、強酸，強アルカリ，高濃度オゾン等の性質を有する
流体を制御する場合に好適である。

【００３３】なお、前記パージ用気体Ａｐを排出する第
二気体流通部９１と、作業場（工場等）内に設置された
不要流体排出路（作業場内雰囲気とは隔離された排出
路）等とを配管を介して接続すれば、前記アクチュエー
タ部６０側へ漏出又は透過したガスが作業場内の雰囲気
に影響を及ぼすのを防ぐことができる。

【００３４】ここで、上記実施例ではアクチュエータ部
６０内外を連通する気体流通部９０，９１は２つ設けら
れているが、これに限らず、３つ以上設けられるように
しても良いし、或いは図２に示すように気体流通部９０
を１つだけ設けるようにしても良い。図２に示すバルブ
１０Ａでは、前記気体供給部９５からのパージ用気体Ａ
ｐを前記配線挿通部８０の保護チューブ８１の先端口８
１ａを介してアクチュエータ部６０内に送り、そのパー
ジ用気体Ａｐをアクチュエータ部６０内で循環させ、そ
の循環させたパージ用気体Ａｐを気体流通部９０から排
出することによって、前記ボディ本体１１側からアクチ
ュエータ部６０側へ漏出又は透過するガスがパージされ
る。このようにすれば、ガスパージ効果を得ることがで
き、しかも、構造が簡単になる（コンパクト化）と共
に、コストを低減できる利点がある。

【００３５】なお、本発明は、上記二つの実施例に限定
されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲にお
いて構成の一部を適宜に変更して実施することができ
る。例えば、上記各実施例では、２つのダイヤフラム部
が設けられた弁機構体を有しているが、これに限らず、
弁機構体に１つ或いは３つ以上のダイヤフラム部が設け
られたバルブについても、本発明を適用することができ
る。また、ダイヤフラム部を有しないバルブにも本発明
を適用することができる。

【００３６】また、上記実施例のバルブは、二次側の流
体を所定の圧力状態に制御するために使用される圧力制
御弁とされているが、この圧力制御弁に限らず、本発明
は一次側の流体を所定の圧力状態に制御する圧力制御弁
（背圧弁や安全弁とも称される。）や、開閉弁，開度調
節弁，混合比率調節弁等、各種のバルブに広く適用する
ことができる。

【００３７】図３に示す開閉弁１０Ｂは、本発明を適用
した開閉弁（バルブ）であって、請求項７の発明に規定
したように、サックバック機構を備えている。なお、こ
の開閉弁１０Ｂは、ボディ本体１００，弁機構体１１０
を除き、上記実施例のバルブ１０，１０Ａと概ね同じ構
成とされているため、該バルブ１０，１０Ａと同一部分
については同一符号を付し、その説明を省略する。図の
ボディ本体１００に関する符号１０１は第一チャンバ
（流入側チャンバ）、１０２は被制御流体のための流入
部、１０３は第二チャンバ（流出側チャンバ）、１０４
は被制御流体のための流出部、１０５は前記第一チャン
バ１０１及び第二チャンバ１０３に連通する連通流路、
１０６は弁座、１０７は第二チャンバ１０３（厳密に言
えば、第二ダイヤフラム部外側空間）内の空気の出入り
を行う呼吸路である。

【００３８】また、図の弁機構体１１０に関する符号１
１１は前記連通流路１０５内に進退自在に挿通されるロ
ッド部、１２０は前記第一チャンバ１０１内に配される
第一ダイヤフラム部、１２１は第一ダイヤフラム部１２
０の膜部、１２２は同じく外周シール部、１２３は同じ
く前記弁座１０６に当接及び離間して連通流路１０５を
開閉する開閉部、１２４は前記第一ダイヤフラム部１２
０の外側（図では上側）に立設されアクチュエータ部６
０の作動部材６４に連結される連結軸部、１３０は前記
第二チャンバ１０３内に配される第二ダイヤフラム部、
１３１は第二ダイヤフラム部１３０の膜部、１３２は同
じく外周シール部である。

【００３９】この開閉弁１０Ｂでは、アクチュエータ部
６０の作用により弁機構体１１０を作動させ、連通流路
１０５を閉じて流出部１０４からの被制御流体の流出を
止める時に、流出側である第二チャンバ１０３における
第二ダイヤフラム部１３０内側の空間の容積が大きくな
り、前記空間内の圧力が下がり、前記流出部１０４と接
続される流出用配管内の液体を開閉弁１０Ｂ内へ引き戻
し、いわゆる液だれを防ぐことができる（サックバック
機構）。なお、この開閉弁１０Ｂにおける第一ダイヤフ
ラム部１２０を介してアクチュエータ部６０側へ透過又
は漏出するガスのパージは上記実施例と同様に行われ
る。

【００４０】図４に示す開閉弁１０Ｃも、前記図３の開
閉弁１０Ｂと同様に、本発明を適用したサックバック機
構を備えた開閉弁（バルブ）である。なお、この開閉弁
１０Ｃは、ボディ本体２００，弁機構体２１０，アクチ
ュエータ部２３０を除き、上記実施例のバルブ１０，１
０Ａ，１０Ｂと概ね同じ構成とされているため、該バル
ブ１０，１０Ａ，１０Ｂと同一部分については同一符号
を付し、その説明を省略する。図のボディ本体２００に
関する符号２０１は第一チャンバ（流入側チャンバ）、
２０２は被制御流体のための流入部、２０３は第二チャ
ンバ（流出側チャンバ）、２０４は被制御流体のための
流出部、２０５は前記第一チャンバ２０１と第二チャン
バ２０３とを連通する連通流路、２０６は弁座である。

【００４１】また、図の弁機構体２１０に関する符号２
１１は前記連通流路２０５内に進退自在に挿通されるロ
ッド部、２１２は前記ロッド部２１１の先端側外周面に
装着され前記弁座２０６に当接及び離間して連通流路２
０５を開閉する弁用シール部材、２１３はロッド部２１
１のアクチュエータ部側（図では上側）に設けられたピ
ストン部（大径部）である。さらに、図のアクチュエー
タ部２３０に関する符号２３１は前記ボディ本体２００
の上側に組み付けられるカバーケース、２３２は金属カ
バー、２３３はコイル、２３４はコイル２３３に電流を
流すことによって発生する電磁力によって進退し前記弁
機構体２１０に連結結合（螺着）される作動部材、２３
５は前記弁機構体２１０のピストン部２１３を進退可能
に収容するためのシリンダ部、２３６は前記シリンダ部
２３５とボディ本体２００の第一チャンバ２０１とを連
通するように形成され前記ロッド部２１１が摺動可能に
挿通される挿通部、２３７は前記挿通部２３６壁面とロ
ッド部２１１外面間に介在されるシール部材、２３８は
前記シリンダ部２３５内外を連通する気体流通部（ここ
ではパージ用気体をバルブ外へ排出するための気体排出
部）、２３９は前記シリンダ部２３５とカバーケース２
３１内上部（金属カバー２３２等が配設される空間）と
を連通する連通穴である。

【００４２】この開閉弁１０Ｃでは、アクチュエータ部
２３０の作用により弁機構体２１０を作動させ、連通流
路２０５を閉じて流出部２０４からの被制御流体の流出
を止める時に、流出側である第二チャンバ２０３の弁機
構体２１０のロッド部２１１を除いた空間の容積（被制
御流体収容可能容積）が大きくなり、第二チャンバ２０
３内の圧力が下がり、前記流出部２０４と接続される流
出用配管内の液体を開閉弁１０Ｃ内へ引き戻し、いわゆ
る液だれを防ぐことができる（サックバック機構）。

【００４３】また、この例の開閉弁１０Ｃにおいては、
請求項５の発明に規定したように、前記アクチュエータ
部２３０と駆動源６５とを接続する配線Ｌの途中に電気
抵抗体Ｒが設けられている。これによって、弁機構体２
１０の作動時における応答性が向上し、言い換えれば、
タイムアンドプレッシャ方式等でバルブ開放時間の精度
が向上する。なお、この開閉弁１０Ｃにおける前記挿通
部２３６壁面とロッド部２１１外面間を介してアクチュ
エータ部２３０内へ透過又は漏出するガスのパージは上
記実施例と同様に行われる。

【００４４】

【発明の効果】以上図示し説明したように、本発明のバ
ルブにおけるガスパージ方法及び構造によれば、アクチ
ュエータ部内に漏出又は透過したガスをパージ用気体に
よりパージすることができ、アクチュエータ部の構成部
品や駆動源の構成部品や配線等を保護することができ
る。その結果、バルブを強酸，強アルカリ，高濃度オゾ
ン等の性質を有する流体の制御に好適に使用することが
できる。

【００４５】また、請求項３の構造発明の如く、弁機構
体がダイヤフラム部を有するものからなり、前記ボディ
本体側から前記ダイヤフラム部の膜部を介してアクチュ
エータ部側へ透過又は漏出したガスをパージ用気体によ
りパージするように構成すれば、現在広く利用されてい
るダイヤフラム部を用いたバルブにおける透過又は漏出
ガスの問題を解消することができる。

【００４６】さらに、請求項４の発明のように、アクチ
ュエータ部を電磁アクチュエータにより構成すれば、弁
機構体の作動時における応答性が優れたものとなる。特
に、請求項５の発明の如く、バルブが開閉弁であり、ア
クチュエータ部と駆動源とを接続する配線中に電気抵抗
体を設けるようにすれば、より一層、弁機構体の作動時
における応答性が向上し、バルブ開放時間（流出流量）
の精度が良好となる。

【００４７】また、請求項６の発明のように、アクチュ
エータ部内外を連通する気体流通部が複数設けるように
すれば、前記複数の気体流通部の少なくとも一つを配線
挿通部と共にパージ用気体の供給用として用い、残りの
気体流通部をパージ用気体の排出用として用いることが
でき、それによって、アクチュエータ部内に漏出又は透
過したガスのパージの精度が向上する。

【００４８】さらに、請求項７の発明の如く、バルブを
サックバック機構を備えた開閉弁とすれば、流出部から
の被制御流体の流出を止める時に、前記流出部と接続さ
れる流出用配管内の流体を開閉弁内へ引き戻すことがで
き、いわゆる液だれを防止することができ、流体制御の
精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るバルブを示す断面図で
ある。

【図２】他の実施例に係るバルブを示す断面図である。

【図３】さらに他の実施例に係るバルブを示す断面図で
ある。

【図４】さらに他の実施例に係るバルブを示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１０バルブ１１ボディ本体１２第一チャンバ１３流入部１４第二チャンバ１５流出部２０弁機構体３０第一ダイヤフラム部４０第二ダイヤフラム部６０アクチュエータ部６５駆動源８０配線挿通部９０，９１気体流通部９５気体供給部Ａｐパージ用気体Ｌ配線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被制御流体が流通するチャンバを有する
ボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本
体内で作動する弁機構体と、該弁機構体を作動させるア
クチュエータ部と、該アクチュエータ部と駆動源とを接
続する配線を通す配線挿通部とを備えたバルブ内におけ
る、前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又
は漏出するガスをパージする方法であって、前記アクチュエータ部内外を連通する気体流通部を設
け、前記配線挿通部よりパージ用気体をアクチュエータ部内
に送り、そのパージ用気体を前記気体流通部から排出す
ることを特徴とするバルブにおけるガスパージ方法。
【請求項２】被制御流体が流通するチャンバを有する
ボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する
弁機構体と、前記弁機構体を作動させるアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部と駆動源とを接続する配線を通す
配線挿通部と、前記アクチュエータ部内外を連通するように設けられた
気体流通部と、前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏
出するガスをパージするためのパージ用気体を供給する
ための気体供給部とを備えるバルブにおいて、前記気体供給部からのパージ用気体を前記配線挿通部よ
りアクチュエータ部内に送り、該パージ用気体を前記気
体流通部から排出するように構成されたことを特徴とす
るバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項３】弁機構体がダイヤフラム部を有するもの
からなり、前記ボディ本体側から前記ダイヤフラム部の
膜部を介してアクチュエータ部側へ透過又は漏出したガ
スをパージ用気体によりパージする請求項２に記載のバ
ルブにおけるガスパージ構造。
【請求項４】アクチュエータ部が電磁アクチュエータ
により構成されている請求項２又は３に記載のバルブに
おけるガスパージ構造。
【請求項５】バルブが開閉弁であり、アクチュエータ
部と駆動源とを接続する配線中に電気抵抗体が設けられ
た請求項４に記載のバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項６】アクチュエータ部内外を連通する気体流
通部が複数設けられた請求項２〜５の何れか一項に記載
のバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項７】バルブがサックバック機構を備えた開閉
弁である請求項２〜６の何れか一項に記載のバルブにお
けるガスパージ構造。