JP2003069385A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Abstract
ができ、さらに温度変化によりフィルタ特性が変化した
場合であっても通過帯域内における挿入損失のばらつき
を小さくし得る、弾性表面波フィルタ装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板2上に、少なくとも2個のID
Tを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部101
と、入力端または出力端と弾性表面波フィルタ部101
との間において、該弾性表面波フィルタ部101に電気
的に並列接続された少なくとも1つの弾性表面波共振子
104とを備え、該弾性表面波共振子104の共振点が
弾性表面波フィルタ部101の通過帯域内に配置されて
いる、弾性表面波フィルタ1。
Description
て用いられる弾性表面波フィルタ及び該弾性表面波フィ
ルタを有する通信機に関し、より詳細には、圧電基板上
に弾性表面波フィルタ部と、該弾性表面波フィルタ部に
電気的に接続された弾性表面波共振子とを備える弾性表
面波フィルタに関する。
増加及びサービスの多様化に伴って、使用周波数の広い
システムが増えてきている。このため、携帯電話器のR
F段のバンドパスフィルタとして広く用いられている弾
性表面波フィルタにおいても、通過帯域幅の拡大が強く
求められている。
ャネルを使用した場合であっても一定であることが望ま
しい。従って、通過帯域内における挿入損失のばらつき
が小さいことが強く求められている。
ィルタとして用いられる弾性表面波フィルタとして、縦
結合共振子型弾性表面波フィルタが広く用いられてい
る。特開平5−267990号公報には、縦結合共振子
型弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域幅の拡大及び
挿入損失の低減を果たすための構造が開示されている。
ここでは、電気機械結合係数の大きな64°YカットX
伝搬のLiNbO3基板上に、3個のIDTが配置され
ており、IDT同士の互いに隣接する電極指中心間距離
をλ/4とすることにより、通過帯域幅の拡大が図られ
るとされている。
共振子型弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域幅を広
げようとした場合、通過帯域における挿入損失の平坦性
が悪くなるという問題があった。
を解消し、平衡−不平衡変換機能に対応し得る縦結合共
振子型弾性表面波フィルタであって、通過帯域内の挿入
損失の平坦性を高めることができ、さらに温度変化によ
りフィルタ特性が変化した場合であっても、通過帯域内
における挿入損失のばらつきを小さくすることができ
る、弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。
局面によれば、圧電基板と、前記圧電基板上において、
弾性表面波伝搬方向に沿って配置された少なくとも2個
のIDTを有する弾性表面波フィルタ部と、入力端また
は出力端と弾性表面波フィルタ部との間において、前記
弾性表面波フィルタ部に電気的に並列に接続された少な
くとも1つの弾性表面波共振子とを備え、該弾性表面波
共振子の共振点が前記弾性表面波フィルタ部の通過帯域
内に配置されている、弾性表面波フィルタが提供され
る。
面波共振子の共振点が、前記弾性表面波フィルタ部の通
過帯域内の最も挿入損失が小さい周波数に略一致されて
いる。
前記弾性表面波共振子のQ値が190以下とされてい
る。本願の第2の発明の広い局面によれば、圧電基板
と、前記圧電基板上において、弾性表面波伝搬方向に沿
って配置された少なくとも2個のIDTを有する弾性表
面波フィルタ部と、前記圧電基板上に構成されており、
前記弾性表面波フィルタ部と入出力端との間に接続され
ており、前記弾性表面波フィルタ部と電気的に並列に接
続されている少なくとも1つの弾性表面波共振子とを備
え、前記弾性表面波共振子の副共振点が、前記弾性表面
波フィルタ部の通過帯域内に配置されている、弾性表面
波フィルタが提供される。
面波共振子の副共振点が、前記弾性表面波フィルタ部の
通過帯域内の最も挿入損失が小さい周波数に略一致され
ている。
性表面波共振子が、IDTと、IDTの表面波伝搬方向
両側に配置された反射器とを備え、前記IDTと反射器
とが隣り合う部分の電極指中心間距離が、前記IDTの
電極指ピッチで定められる波長の[(0.50〜0.8
0)+0.50n]倍(但し、nは−1、0、1、2…
……)とされている。
平衡信号端子と、一つの不平衡信号端子とが備えられて
おり、平衡−不平衡変換機能を有するように構成され
る。本発明に係る通信機は、第1または第2の発明に係
る弾性表面波フィルタを帯域フィルタとして備えること
を特徴とし、それによって平衡−不平衡変換機能を持た
せることができ、かつ通過帯域内の挿入損失の平坦性に
優れており、温度変化によりフィルタ特性の変動が少な
い帯域フィルタを備えた、通信機を提供することができ
る。
の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明ら
かにする。
表面波フィルタ1の模式的平面図である。なお、本実施
例及び以下の実施例ではPCS用送信フィルタとして用
いられる弾性表面波フィルタを例にとり説明する。
搬LiTaO3基板からなる圧電基板2が用いられてい
る。この圧電基板2上に、縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ部101と、弾性表面波共振子102,103,
104がAl電極により構成されている。弾性表面波共
振子102,103は、縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ部101と入力信号端子121との間において互い
に直列に接続されている。また、弾性表面波共振子10
4は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ101の入力
端側において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ10
1に並列に接続されている。すなわち入力端子とアース
電位との間に弾性表面波共振子104が接続されてい
る。
1では、表面波伝搬方向に沿ってIDT105〜107
が配置されており、IDT105〜107が形成されて
いる領域の両側に反射器108,109が形成されてい
る。
IDT106との間隔、及びIDT106とIDT10
7との間の間隔の両側の電極指のピッチが、IDT10
5〜107の他の部分の電極指のピッチよりも狭くされ
ている。すなわち、IDT105〜107は、IDT同
士が隣接する部分において複数本の狭ピッチ電極指を有
する。
2に、他端がアース電位に接続されている。また、ID
T105,107の一端が弾性表面波共振子102,1
03を介して入力端子121に、各他端がアース電位に
接続されている。
電極指の本数は実際よりも少なくされている。縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ部101の具体的な仕様は以
下の通りである。
波長をλI2、その他の電極指のピッチで定められる波
長をλI1とする。 IDT105〜107において、交差幅Wは60.6λ
I1、IDTの電極指の本数(IDT105、106、
107の順):29(4)/(4)44(4)/(4)
29本(カッコ内は狭ピッチ電極指の本数) IDT波長λI1:2.06μm、λI2:1.88μ
m 反射器波長λR:2.07μm 反射器の電極指の本数:100本 IDT−IDT間隔y(電極指中心距離):0.50λ
I2 IDT−反射器間隔(電極指中心距離):0.50λR duty:0.60(IDT、反射器共) 電極膜厚:0.080λI1
計は以下の通りである。 交差幅W:49.1λ IDTの電極指の本数:401本 波長λ(IDT、反射器共):2.04μm 反射器の電極指の本数:30本 IDT−反射器間隔(電極指中心間距離):0.50λ duty:0.60(IDT反射器共) 電極膜厚:0.080λ
計は以下の通りである。 交差幅W:40.6λ IDTの電極指の本数:241本 波長λ(IDT、反射器共):1.97μm 反射器の電極指の本数:30本 IDT−反射器間隔(電極指中心間距離):0.50λ duty:0.60(IDT反射器共) 電極膜厚:0.084λ
設計は以下の通りである。 交差幅W:2.5λ IDTの電極指の本数:31本 波長λ:1.99μm duty:0.60 電極膜厚:0.083λ 本実施例の弾性表面波フィルタの周波数−振幅特性を図
2に、周波数−VSWR特性を図3に示す。
ルタ501を用意した。弾性表面波フィルタ501は、
上記実施例の弾性表面波フィルタ1から、弾性表面波共
振子104を除去したことを除いては、同様に構成され
ている。なお、この図4に示した弾性表面波フィルタ5
01を、以下、従来例と表記する。
周波数−振幅特性を図5に、周波数−VSWR特性を図
6に示す。なお、図2及び図5において、破線は、縦軸
の挿入損失を縦軸の右側のスケールで拡大して示した特
性である。また、図3及び図6におけるS11及びS2
2は、それぞれ、入力側のVSWR及び出力側のVSW
Rを示す。
例の弾性表面波フィルタでは、従来例の弾性表面波フィ
ルタの場合に比べて、通過帯域内における凹凸が小さく
なり、挿入損失の平坦性が向上していることがわかる。
より具体的には、PCS送信用フィルタの周波数範囲1
930〜1990MHzにおいて、従来例では通過帯域
内の挿入損失の偏差は0.81dBであるのに対し、実
施例1では0.48dBであり、0.33dB改善され
ている。
施例では従来例に比べて約0.55dB大きくなってい
ることがわかる。最小挿入損失が小さい場合には、常温
において通過帯域内における挿入損失の偏差が小さくと
も、温度変化が与えられると通過帯域内の挿入損失の偏
差が大きくなる。これに対して、本実施例では、通過帯
域内の最小挿入損失が大きいので、温度変化が与えられ
た場合に周波数−振幅特性が変化したとしても、通過帯
域内の挿入損失の偏差は従来例に比べて小さくなる。従
って、この点においても、本実施例によれば、従来例に
比べて通過帯域における挿入損失の偏差の低減を図るこ
とができる。
帯域幅自体はほとんど変化しない。さらに、図3と図6
とを比較すれば明らかなように、本実施例における通過
帯域内のVSWRの最大値は、従来例と同様であること
がわかる。
ルタ部101の通過帯域内に共振点を有する弾性表面波
共振子104が弾性表面波フィルタ部101に並列に接
続されることにより、従来例に比べて、通過帯域幅やV
SWRをほとんど劣化させることなく、通過帯域内の挿
入損失のばらつきを低減することができる。
る。本実施例で用いられた弾性表面波共振子104にお
いて、IDTの電極指の本数を201本、141本、8
1本及び21本とそれぞれ変更し、他の設計パラメータ
を変更することなく複数の弾性表面波共振子を作製し
た。これらの弾性表面波共振子のインピーダンス特性を
図7に示す。
は、共振点frと反共振点faとが現れるが、弾性表面
波共振子のIDTの電極指の本数を少なくすることによ
り、弾性表面波共振子のQ値が小さくなり、図7に示さ
れているように、共振点fr及び反共振点faにおける
ピークが鈍くなる。また、IDTの電極指の本数を減ら
すと、インピーダンス特性は、全体的に高インピーダン
ス側に移動する。したがって、IDTの電極指の本数が
21本とされている場合には、インピーダンス特性上に
おいて反共振点faがほとんど明確に現れず、共振点f
rのみが明瞭に現れ、共振点fr以外ではインピーダン
スがほぼ一定となるように見える。
することにより、弾性表面波共振子は、ある一点の周波
数で抵抗値の極小値を有し、その他の周波数では抵抗値
がほぼ一定となる抵抗体のような働きをすることとな
る。なお、このようなインピーダンス特性は、IDTの
電極指の対数のパラメータを適宜設定することによって
も実現することができる。
性表面波フィルタ部に並列に接続され、さらに弾性表面
波共振子のインピーダンスの極小値の周波数すなわち共
振点frが、弾性表面波フィルタ部の挿入損失が最小と
なる周波数に略一致されていることが好ましく、それに
よって通過帯域内の挿入損失が部分的に劣化され、通過
帯域内全体の挿入損失の偏差が大きく改善される。
は上記のように高インピーダンス側に移動しているた
め、通過帯域内におけるVSWRや通過帯域幅などには
ほとんど悪影響はない。
性表面波共振子は、上述した説明からも明らかなよう
に、従来用いられてきた弾性表面波共振子よりもQ値が
小さいことが望ましい。Q値が大き過ぎると、通過帯域
内にリップルが現れ、通過帯域内の挿入損失の偏差を逆
に大きくする恐れがある。Q値を変化させる設計パラメ
ータとしては、IDTの電極指の本数、反射器及びID
Tのメタライゼーションレシオ、電極膜厚及び基板材料
などの様々な条件が存在する。従って、これらのすべて
について、最適範囲を調査することは現実には不可能で
ある。
ップルの変化を調べ、上記リップルの影響を抑制して通
過帯域内の挿入損失のばらつきを低減し得るQ値の最適
範囲を求めた。結果を図8に示す。なお、図8の縦軸は
リップルのレベルを示し、このリップルのレベルとは、
弾性表面波フィルタの通過帯域中央に現れる弾性表面波
共振子に基づくリップルが現れることによる減衰量周波
数特性上の凹み量を言うものとする。
子のQ値が190以下の場合には、リップルのレベルが
従来例の帯域内挿入損失のばらつきである0.81dB
以下となっていることがわかる。すなわち、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタに弾性表面波共振子が並列接続
され、該弾性表面波共振子の共振点を利用して通過帯域
内の挿入損失の偏差を改善する場合、弾性表面波共振子
のQ値が190以下であれば、従来例に比べて通過帯域
内の挿入損失のばらつきを改善することができる。
共振子104のみが弾性表面波フィルタ部101に並列
に接続されていたが、弾性表面波フィルタ部に並列接続
される弾性表面波共振子は複数であってもよい。図9
は、2個の弾性表面波共振子104,104Aが弾性表
面波フィルタ部に並列に接続されている変形例を示す。
このような変形例では、上記弾性表面波共振子104,
104AのQ値を合成したQ値が190以下であればよ
い。
ィルタ部101に並列に接続されている弾性表面波共振
子104に直列に弾性表面波共振子104Cが接続され
ている構成の場合においても、同様に弾性表面波共振子
104,104CのQ値の合成のQ値が190以下であ
ればよい。
ルタ部に並列に接続した構成は、例えば特開平7−03
0366号公報に記載のように従来より公知である。し
かしながら、従来例において、弾性表面波共振子が並列
接続されている理由は、通過帯域内の挿入損失を悪化さ
せることなく、通過帯域外の減衰量を拡大するためであ
った。従って、並列に接続される弾性表面波共振子の共
振点が通過帯域外の減衰量を拡大したい周波数に一致さ
れ、反共振点が通過帯域内に存在するように構成されて
いた。
の挿入損失の偏差を低減することを目的として弾性表面
波共振子が並列に接続されている。従って、上記のよう
に、並列接続される弾性表面波共振子の共振点が、通過
帯域内に配置され、好ましくは通過帯域内の挿入損失が
最小である周波数に略一致され、それによって挿入損失
をあえて悪化させ、結果的に通過帯域内の挿入損失のば
らつきが小さくされてる。従って、本願発明は、従来の
弾性表面波共振子を弾性表面波フィルタ部に並列接続し
た構成とは、目的及び構成において全く異なるものであ
ることを指摘しておく。
表面波共振子では、IDTの電極指の本数が少なくても
良いため、小型の弾性表面波共振子を用いることができ
る。従って、弾性表面波フィルタ全体の大きさをほとん
ど変えることなく、通過帯域内の挿入損失のばらつきを
低減することができる。
性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図であ
る。第2の実施例の弾性表面波フィルタにおいても、第
1の実施例と同様に、特に図示はしないが、40°±5
°YカットX伝搬LiTaO3基板が用いられ、該基板
上に図示の電極が構成されている。また、図11から明
らかなように、第2の実施例の弾性表面波フィルタの電
極構造は、第1の実施例とほぼ同様である。もっとも、
第2の実施例では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
部101に並列接続される弾性表面波共振子204のI
DT120の両側に反射器123,124が設けられて
いる。その他の点については、第2の実施例の電極構造
が第1の実施例と同様であるため、同一部分について
は、同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。
下の通りとし、その他については第1の実施例の実験例
と同様として、第2の実施例の弾性表面波フィルタを構
成した。
0λ duty:0.60 電極膜厚:0.083λ 図12に、弾性表面波共振子204のインピーダンス特
性を示す。図12から明らかなように、弾性表面波共振
子204のインピーダンス特性では、共振点fr及び反
共振点faの他に、副共振点fcが発生している。副共
振点fcを、弾性表面波フィルタ部の挿入損失が最小と
なる周波数に略一致させることにより、通過帯域内の挿
入損失を部分的に劣化させ、通過帯域内の挿入損失のば
らつきをより一層改善することができる。さらに、本実
施例では、共振点frの影響により、通過帯域低域側に
おける帯域外減衰量が大きくなるという効果も得られ
る。
面波共振子において、反射器123,124を設けるこ
とにより発生させ得る。また、副共振点fcは、IDT
−反射器の電極指中心間距離xを変えることにより、そ
の周波数位置や応答レベルを変化させることができる。
図13は、IDT−反射器間隔xを0.50λ〜0.7
0λまで変化させた場合のインピーダンス特性を示し、
図14は0.80〜1.00まで変化させた場合のイン
ピーダンス特性を示す。
DT−反射器間隔を0.50λから大きくすることによ
り、副共振点fcのレベルが大きくなり、さらに共振点
fr側に副共振点fcの位置がシフトしていくことがわ
かる。このように、IDT−反射器間隔xを調整するこ
とにより、副共振点fcの周波数位置及びレベルを調整
することができる。
低減しようとする場合には、副共振点fcのレベルが大
き過ぎると逆に通過帯域内の挿入損失のばらつきが大き
くなる恐れがある。従って、副共振点fcのレベルが挿
入損失の偏差を低減し得る範囲、すなわちIDT−反射
器間隔を0.50λ〜0.80λを範囲とすることが望
ましい。
くなると、共振点frが見えなくなり、副共振点fcが
共振点となり、さらに別の副共振点fdが発生する。副
共振点fdは、IDT−反射器間隔を、1.10λ、
1.20λ、………とさらに大きくしてくと、副共振点
fcと同様に変化し、1.50λまで大きくされると、
別の副共振点が発生することになる。従って、副共振点
による効果は、IDT−反射器間隔の0.50λ周期で
得られるため、IDT−反射器間隔の好ましい範囲はλ
の[(0.50λ〜0.80)+0.50n]倍となる。
(但し、nは、−1、0、1、2、………である。)
位置及びレベルの調整方法として、IDT−反射器間隔
を変化させたが、他の方法を用いてもよい。例えば、I
DTを2つ以上のIDT部に分割し、分割されたIDT
部同士が隣り合う電極指中心間距離を調整しても良い。
また、反射器を2つ以上の反射器部に分割し、分割され
た反射器部同士が隣り合う電極指中心間距離を調整して
も良い。さらに、IDTと反射器が隣り合う部分におけ
る数本の電極指のピッチあるいはdutyを他の電極指
と異ならせることによっても、副共振点の周波数及びレ
ベルを調整することができる。
ルタの電極構造を示す模式的平面図である。第3の実施
例では縦結合共振子型弾性表面波フィルタの中央のID
Tが、一対の平衡信号端子301,302に接続されて
おり、その他の点は第1の実施例と同様に構成されてい
る。このように、一対の平衡信号端子301,302に
縦結合共振子型弾性表面波フィルタの中央のIDTを接
続することにより、不平衡信号端子としての入力端子1
21と、平衡信号端子301,302を有する、平衡−
不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタが構成され
ている。
能を有することを除いては第1の実施例と同様に構成さ
れている。従って、第3の実施例によれば、通過帯域内
の挿入損失の偏差の小さい、平衡−不平衡変換機能を有
する弾性表面波フィルタを提供することができる。
性表面波フィルタの中央のIDT106が一対の平衡信
号端子301,302に接続されているが、図16また
は図17に示すように、両側のIDT105,107が
一対の平衡信号端子301,302に接続されていても
よい。また、図17において、305,305Aは弾性
表面波共振子であり、弾性表面波共振子305,305
Aは、それぞれ、IDT105,107の一端と平衡信
号端子301,302との間に直列に接続されている。
振子型弾性表面波フィルタ部101,101Aが並列接
続され、各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部10
1,101Aが、それぞれ、一対の平衡信号端子30
1,302に接続されている構成であってもよい。な
お、図18示す構成においては、縦結合共振子型弾性表
面波フィルタ部101,101Aの中央のIDTと平衡
信号端子301,302との間に、それぞれ、弾性表面
波共振子305,305Aが直列に接続されている。図
16〜図18に示す各変形例においても、その他の点は
第1の実施例と同様に構成されているため、通過帯域内
の挿入損失の偏差を改善することができ、第3の実施例
と同様に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィ
ルタを提供することができる。
て、40°±5°YカットX伝搬LiTaO3基板が用
いられたが、本発明では、圧電基板を構成する材料はこ
れに限定されない。例えば、64°〜72°YカットX
伝搬LiNbO3基板、41°YカットX伝搬LaNb
O3基板などを用いた場合にも同様の効果を得ることが
できる。
DTを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部が用
いられたが、本発明においては、弾性表面波フィルタ部
は、2個のIDTもしくは4個以上のIDTを有する縦
結合共振子型弾性表面波フィルタであってもよい。ま
た、縦結合共振子型弾性表面波フィルタに限らず、弾性
表面波フィルタ部は、横結合共振子型弾性表面波フィル
タ、トランスバーサル型弾性表面波フィルタなどであっ
てもよい。
いる弾性表面波共振子104の他に弾性表面波フィルタ
部に直列に接続されている弾性表面波共振子102,1
03が用いられているが、直列接続されている弾性表面
波共振子は特に設けられずともよい。すなわち、並列接
続されている弾性表面波共振子が少なくとも1つ以上配
置されており、該弾性表面波共振子の共振点が弾性表面
波フィルタの通過帯域内に配置されてさえおればよい。
タを用いた通信機160を説明するための各概略ブロッ
ク図である。図19において、アンテナ161に、デュ
プレクサ162が接続されている。デュプレクサ162
と受信側ミキサ163との間に、RF段を構成する弾性
表面波フィルタ164及び増幅器165が接続されてい
る。さらにミキサ163にIF段の表面波フィルタ16
9が接続されている。また、デュプレクサ162と送信
側のミキサ166との間には、RF段を構成する増幅器
167及び弾性表面波フィルタ168が接続されてい
る。
ルタ164,168として本発明に従って構成された弾
性表面波フィルタを好適に用いることができる。
圧電基板上に弾性表面波フィルタ部と、該弾性表面波フ
ィルタ部に並列に接続さた少なくとも1つの弾性表面波
共振子とが構成されており、該弾性表面波共振子の共振
点が弾性表面波フィルタ部の通過帯域内に配置されてい
るため、該弾性表面波共振子の共振点における応答を利
用して、通過帯域内における挿入損失の偏差が小さくさ
れる。
弾性表面波フィルタ部の通過帯域内のもっとも挿入損失
が小さい周波数に略一致されている場合には、通過帯域
内における挿入損失の偏差を効果的に低減することがで
きる。
0以下とされている場合には、上述した実験例から明ら
かなように弾性表面波共振子によるリップルの影響を受
けることなく、通過帯域内の挿入損失の偏差をより一層
効果的に改善することができる。
いては、圧電基板上に弾性表面波フィルタ部と、該弾性
表面波フィルタ部に並列に接続された少なくとも1つの
弾性表面波共振子とが構成されており、該弾性表面波共
振子の副共振点が、弾性表面波フィルタ部の通過帯域内
に配置されているので、第1の発明の場合と同様に、従
来例に比べて通過帯域内における挿入損失のばらつきが
低減される。
表面波フィルタ部の通過帯域内のもっとも挿入損失が小
さい周波数に略一致されている場合には、該副共振点を
利用してより一層効果的に通過帯域内の挿入損失の偏差
を低減することができる。
振子のIDTと反射器の電極指間中心間距離がIDTの
電極指ピッチで定めされる波長の[(0.50〜0.8
0)+0.50n]倍(但し、nは−1、0、1、2、
………)とした場合には、より一層効果的に通過帯域内
の挿入損失の偏差を低減することができる。
タにおいては、一対の平衡信号端子と1つの不平衡信号
端子とを有し、平衡−不平衡変換機能を有するように構
成されてもよく、その場合には、本発明に従って通過帯
域内挿入損失の偏差が小さい、かつ平衡−不平衡変換機
能を有する弾性表面波フィルタを提供することができ
る。
構成された弾性表面波フィルタが帯域フィルタとして備
えられているので、通過帯域内の挿入損失が小さい帯域
フィルタを有する、良好な送信もしくは受信特性を有す
る通信機を提供することができる。
ための模式的平面図。
振幅特性を示す図。
VSWR特性を示す図。
例の弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面
図。
図。
示す図。
化させた場合のインピーダンス特性の変化を示す図。
れるリップルの変化を示す図。
説明するための模式的平面図。
形例を説明するための模式的平面図。
造を示す模式的平面図。
振子のインピーダンス特性を示す図。
ス特性の変化の一例を示す図。
ス特性の変化の他の例を示す図。
極構造を説明するための模式的平面図。
の電極構造を示す模式的平面図。
形例の電極構造を示す模式的平面図。
他の変形例の電極構造を示す模式的平面図。
ている通信機を説明するための概略ブロック図。
弾性表面波共振子 105〜107…IDT 108,109…反射器 121…入力信号端子 160…通信機 161…アンテナ 162…デュプレクサ 163,166…ミキサ 164…弾性表面波フィルタ 165…増幅器 167…増幅器 168…弾性表面波フィルタ 169…表面波フィルタ 204…弾性表面波共振子
Claims (8)
- 【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板上において、弾性表面波伝搬方向に沿って
配置された少なくとも2個のIDTを有する弾性表面波
フィルタ部と、 入力端または出力端と弾性表面波フィルタ部との間にお
いて、前記弾性表面波フィルタ部に電気的に並列に接続
された少なくとも1つの弾性表面波共振子とを備え、該
弾性表面波共振子の共振点が前記弾性表面波フィルタ部
の通過帯域内に配置されている、弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 前記弾性表面波共振子の共振点が、前記
弾性表面波フィルタ部の通過帯域内の最も挿入損失が小
さい周波数に略一致されている、請求項1に記載の弾性
表面波フィルタ。 - 【請求項3】 前記弾性表面波共振子のQ値が190以
下である、請求項1または2に記載の弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項4】 圧電基板と、 前記圧電基板上において、弾性表面波伝搬方向に沿って
配置された少なくとも2個のIDTを有する弾性表面波
フィルタ部と、 前記圧電基板上に構成されており、前記弾性表面波フィ
ルタ部と入出力端との間に接続されており、前記弾性表
面波フィルタ部と電気的に並列に接続されている少なく
とも1つの弾性表面波共振子とを備え、 前記弾性表面波共振子の副共振点が、前記弾性表面波フ
ィルタ部の通過帯域内に配置されている、弾性表面波フ
ィルタ。 - 【請求項5】 前記弾性表面波共振子の副共振点が、前
記弾性表面波フィルタ部の通過帯域内の最も挿入損失が
小さい周波数に略一致されている、請求項4に記載の弾
性表面波フィルタ。 - 【請求項6】 前記弾性表面波共振子が、IDTと、I
DTの表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを備
え、前記IDTと反射器とが隣り合う部分の電極指中心
間距離が、前記IDTの電極指ピッチで定められる波長
の[(0.50〜0.80)+0.50n]倍(但し、n
は−1、0、1、2………)である、請求項4または5
に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項7】 一対の平衡信号端子と、一つの不平衡信
号端子とを有し、平衡−不平衡変換機能を有する請求項
1〜6のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項8】 請求項1〜7のいずれかに記載の弾性表
面波フィルタを帯域フィルタとして備えることを特徴と
する、通信機。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006074749A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アンテナ共用器、ならびに、それを用いた高周波モジュールおよび通信機器 |
JP2006157174A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | アンテナ分波器およびアンテナ分波器用表面弾性波フィルタ |
JP2008504756A (ja) * | 2004-06-29 | 2008-02-14 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | デュプレクサ |
JP2008118277A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ装置及びデュプレクサ |
US7701311B2 (en) | 2004-08-04 | 2010-04-20 | Panasonic Corporation | Antenna duplexer, and RF module and communication apparatus using the same |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003289234A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-10-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、通信装置 |
JP3985717B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2007-10-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置 |
US7095295B1 (en) * | 2003-05-21 | 2006-08-22 | Sandia Corporation | Multi-tunable microelectromechanical system (MEMS) resonators |
JP2005244669A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
DE102006010752B4 (de) * | 2006-03-08 | 2013-10-31 | Epcos Ag | DMS-Filter mit verschalteten Resonatoren |
JP4465625B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2010-05-19 | Tdk株式会社 | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器 |
CN102217193B (zh) * | 2008-11-04 | 2014-11-05 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置以及具备其的滤波器模块 |
CN107871053B (zh) * | 2017-12-15 | 2021-03-30 | 北京航天微电科技有限公司 | 一种声表面波滤波器仿真方法及装置 |
CN108418566A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-17 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种声表面波滤波器 |
CN109787580B (zh) * | 2019-01-17 | 2020-12-04 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种高品质因素的saw谐振器及其构成的saw滤波器 |
CN112683975A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-20 | 天津理工大学 | 叉指型微电极阵列电化学传感器及制备方法与应用、专用测试盒 |
CN114938217A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-23 | 安徽安努奇科技有限公司 | 一种声表面波滤波器及多工器 |
CN115955212B (zh) * | 2023-03-14 | 2023-06-16 | 阿尔伯达(苏州)科技有限公司 | 一种扩大带宽的saw滤波器 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01314008A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 梯子型圧電フィルタ |
JP3160023B2 (ja) | 1991-08-21 | 2001-04-23 | 東洋通信機株式会社 | 縦結合二重モードsawフィルタ |
JP3139225B2 (ja) * | 1993-07-08 | 2001-02-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP3189508B2 (ja) * | 1993-07-08 | 2001-07-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP3424971B2 (ja) * | 1994-01-20 | 2003-07-07 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
WO1997006652A1 (fr) * | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Kabushiki Kaisha Seta Giken | Dispositif de chauffage par induction electromagnetique et son fonctionnement |
JP3243976B2 (ja) | 1995-08-14 | 2002-01-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP3478447B2 (ja) * | 1995-12-01 | 2003-12-15 | キンセキ株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP3839866B2 (ja) * | 1996-04-24 | 2006-11-01 | 株式会社東芝 | 弾性表面波フィルタおよび通過周波数帯域の形成方法 |
US6137380A (en) | 1996-08-14 | 2000-10-24 | Murata Manufacturing, Co., Ltd | Surface acoustic wave filter utilizing a particularly placed spurious component of a parallel resonator |
JP3728912B2 (ja) | 1998-02-17 | 2005-12-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JPH10261936A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-09-29 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波フィルタ |
JP3255128B2 (ja) * | 1998-11-24 | 2002-02-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
WO2000067374A1 (fr) * | 1999-04-28 | 2000-11-09 | Seiko Epson Corporation | Filtre saw transversal en mode double |
JP3387469B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ |
-
2002
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008504756A (ja) * | 2004-06-29 | 2008-02-14 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | デュプレクサ |
JP2006074749A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アンテナ共用器、ならびに、それを用いた高周波モジュールおよび通信機器 |
US7701311B2 (en) | 2004-08-04 | 2010-04-20 | Panasonic Corporation | Antenna duplexer, and RF module and communication apparatus using the same |
JP2006157174A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | アンテナ分波器およびアンテナ分波器用表面弾性波フィルタ |
JP2008118277A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ装置及びデュプレクサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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