JP2003064470A - 電子ビーム蒸着装置とウェハの処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ＥＢアルミ蒸着装置（１）のプロダクトチャン
バー部（３）内に飛散したアルミニウムに起因するメン
テナンス時間の短縮を図る。 【解決手段】プロダクトチャンバー部（３）内にプラネ
タリィ（９）を有したＥＢアルミ蒸着装置（１）におい
て、プラネタリィ（９）を取り囲むように覆うブライン
ド防着板（１９）、防着天板（２０）を配置すること
で、プロダクトチャンバー部（３）内壁の防着板数を無
くす又は減少させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビームを用い
たアルミ蒸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造過程において、電極等
を形成するための金属被膜方法として、電子ビームを用
いたアルミ蒸着装置（以下、ＥＢアルミ蒸着装置と称
す）による製法がある。

【０００３】図７は従来のＥＢアルミ蒸着装置を表した
図である。（１）はＥＢアルミ蒸着装置、（２）はソー
スチャンバー部、（３）はプロダクトチャンバー部、
（４）はクライオポンプ、（５）はフィラメント、
（６）はフィラメント台、（７）はアルミインゴット、
（８）はウェハ、（９）はプラネタリィ、（１３）はプ
ラネタリィ（９）裏面の円盤部、（１０）は回転モー
タ、（１１）はコントロールパネル、（１２）はレー
ル、（１３）は円盤部をそれぞれ表す。

【０００４】ＥＢアルミ蒸着装置（１）は、主として下
方のソースチャンバー部（２）と上方のプロダクトチャ
ンバー部（３）とから成り、バルブＶ１、バルブＶ２を
開閉し、外部にあるクライオポンプ（４）により、ＥＢ
アルミ蒸着装置（１）内部を高真空状態（４Ｐａ（パス
カル））にする。ソースチャンバー部（２）には、内部
にフィラメント（５）を備えたフィラメント台（６）が
設置されている。フィラメント（５）は、ＥＢアルミ蒸
着装置（１）外部にあるＥ／Ｂ電源から約１００００Ｖ
にて、１．１Ａの電流を供給される。フィラメント台
（６）上には、純度９９．９９９％のアルミニウムのイ
ンゴット（７）が設置され、フィラメント（５）から放
出された電子ビームがインゴット（６）と衝突すること
で、高真空のプロダクトチャンバー部（３）内にアルミ
ニウム粒子を飛散させる。このとき、飛散させたアルミ
ニウム粒子はプロダクトチャンバー部（３）の床面には
蒸着しないように計算されている。

【０００５】プロダクトチャンバー部（３）には、複数
のウェハ（８）が取り付けられた複数のプラネタリィ
（９）（ドーム状のウェハ取り付け装置）が設置され
る。プロダクトチャンバー部（３）外上部にある回転モ
ータ（１０）により、プラネタリィ（９）が回転する。
飛散したアルミニウム粒子は、図中の矢印のような軌跡
を描いて、プラネタリィ（９）とともに回転しているウ
ェハ（８）表面に蒸着されて、初期の目的である金属箔
被膜を形成する。コントロールパネル（１１）は、ソー
スチャンバー部（２）及びプロダクトチャンバー部
（３）内の真空及びアルミ蒸着状態等を制御する。レー
ル（１２）は溝を有した円形状を為し、プラネタリィ
（９）の裏面に設置した円盤部（１３）がその溝を通る
ことで、プラネタリィ（９）が回転をする。

【０００６】上記のアルミ蒸着工程において、ウェハ
（８）の表面のアルミ蒸着が終了するまで（以下、ワン
バッチと称す）に約６０分程度を要した。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のＥＢアルミ蒸着
装置（１）にて、その動作時にプロダクトチャンバー部
（３）内の天井及び側壁面等（以下、総じて壁面と称
す）に飛散したアルミニウム粒子が付着する。これらの
付着量が増大すると、所定の真空状態にまで真空引き
（高真空を形成する作業）するまでの時間に影響を及ぼ
し、ワンバッチにかかる時間が増大する。本願発明者の
実施によると、壁面に過度のアルミニウム粒子が付着し
た場合、ワンバッチ終了までに８０分〜９０分以上かか
る場合も確認された。これまでは、プロダクトチャンバ
ー部（３）内部の壁面に、取り外し可能な板（以下、防
着板と称す）を設置してきた。壁面にアルミニウムが過
度に蒸着すると、適宜側壁面等に設置した防着板を取り
外し、リン酸、又はアルカリ洗浄剤等のエッチャントで
洗浄（メンテナンス）することで対処してきた。これら
の洗浄は、およそ３００バッチに１回の割合でメンテナ
ンスが必要である。

【０００８】図８は、図７のプロダクトチャンバー部
（３）を表した斜視図である。プロダクトチャンバー部
（３）内は説明のため省略した。（１４）はドア部、
（１５）はドア窓部、（１６）は真空引きをするための
排気口、（１７）はアルミ粒子が飛散するアルミ飛散口
を表す。プロダクトチャンバー部（３）は天井と側壁面
４つから構成される。プロダクトチャンバー部（３）の
１つの壁面は１ｍ〜２ｍ程度の大きさであるため、１つ
の壁面を２枚の防着板で分割して、天井と側壁面４つの
計５つの壁面に対し、合計１０枚の防着板を設置してき
た（図８参照）。そして、防着板1枚につき複数のねじ
で壁面に固定していた。

【０００９】ドア部（１４）には、インゴット（７）の
量が適切であるかを確認する覗き穴のドア窓部（１５）
が形成されており、アルミ蒸着装置（１）が稼動中は、
いつでもドア窓部（１５）に設置されたガラス部分を通
して、プロダクトチャンバー部（３）内を確認すること
ができる。ドア窓部（１５）の内側は、金属製の防着板
が設置してあり、この防着板は着脱可能である。

【００１０】メンテナンス時においては、１０枚の防着
板に固定してある複数のねじを外して、人力によって新
しい又は洗浄済みの防着板と交換した。本願発明者の実
施では、上記の防着板の取り替え作業に、一人の人間が
担当した場合、約８０分程度の時間を要していた。取り
替え作業中は、ＥＢアルミ蒸着装置（１）は、完全に停
止しているため、稼働時間という点でロスを生じてい
た。つまり、防着板の取り替え交換作業時間を更に短縮
することが可能となれば、ＥＢアルミ蒸着装置の稼動時
間を増大させることができ、稼動率の向上が望めること
になる。

【００１１】本願は上記課題に鑑みてなされたものであ
り、プロダクトチャンバー部（３）内の防着板数を減少
又は交換容易にすることで、アルミ蒸着装置（１）の取
り替え時間を短縮させるものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願は、ウェハを複数搭
載する、回転する円盤上のプラネタリィと、複数の前記
プラネタリィを回転させるために設けたレールと、前記
レールの下方に位置するフィラメント台と、前記フィラ
メント台下方に位置した、金属素材からなるインゴット
を加熱する為のフィラメントと、前記プラネタリィ、前
記レール、前記フィラメント台、前記フィラメントとを
その内部に設けたチャンバー部と、前記チャンバー部の
外部に設置したクライオポンプと、を備えた電子ビーム
蒸着装置において、前記プラネタリィ全体を覆うように
形成した円柱状の防着板を前記チャンバー内に配置し、
前記防着板内部に配置した円錐台形状の防着天板が、前
記プラネタリィが回転するのに十分な空間を保持するよ
うに配置されたことを特徴とする電子ビーム蒸着装置及
び、複数のウェハが設置されたプラネタリィを、その裏
面の円盤部が、プロダクトチャンバー部内のレール上に
当接する様に、前記チャンバー内に設置する工程と、前
記プラネタリィ全体を取り囲むように、円柱状の防着板
が設置されており、前記円柱状の防着板上方から、円柱
台形をした防着天板を前記プラネタリィ上部に覆うよう
に設置されており、前記プロダクトチャンバー部下方に
あるソースチャンバー部から、金属粒子を飛散させて、
前記ウェハ表面に所定の膜厚の金属被膜を形成する工程
と、を具備し、前記ウェハに蒸着した以外のアルミ粒子
の大部分が、前記円柱状の防着板及び前記防着天板の内
面に付着する様に処理することを特徴としたウェハの処
理方法を、提供する。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第1の実施の形態
を表すＥＢアルミ蒸着装置を表した全体図である。以
下、従来例（図７）と同一の構成要素には同一の符号を
付した。（１９）はブラインド防着板、（２０）は防着
天板をそれぞれ表す。

【００１４】本発明の特徴は、図７の従来のＥＢアルミ
蒸着装置（１）に、アルミニウム粒子の飛散枠を最小に
抑えるため、プラネタリィ（９）全体を取り囲むように
覆う円柱状の防着板（以下、ブラインド防着板（１９）
と称す）を配置すること、及びプロダクトチャンバー部
（３）の天井部へのアルミニウム粒子の飛散・付着を防
止する、円錐台形状（上円面は完全に塞がり、下円面は
開口している）の防着天板（２０）をプラネタリィ
（９）全体上方から覆うように配置することである。以
下、これらについて、詳細に説明する。

【００１５】図２（Ａ）はブラインド防着板（１９）の
平面図を、図２（Ｂ）は側面図をそれぞれ表す。Ｒはブ
ラインド防着板（１９）が形成する円の直径を表す。

【００１６】図２（Ａ）、（Ｂ）において、（２１）は
内輪線、（２２）は外輪線、（２３）はそれぞれのブラ
インド板、（２４）は軸、（２５）は接合部、（２６）
は上リング、（２７）は下リング、（２８）は留め具、
（２９）は窓部を表す。また、図２（Ａ）及び図２
（Ｂ）において同一の箇所には同一の符号を付す。

【００１７】ブラインド防着板（１９）は複数のブライ
ンド板（２３）と上リング（２６）及び下リング（２
7）とから構成され、内輪線（２１）及び外輪線（２
２）に沿った円形を形成する。このとき、内輪線（２
１）と外輪線（２２）とはリングの内側及び外側の輪郭
を表す。また、内輪線（２１）と外輪線（２２）との半
径の差は、距離ｄとなるように形成する。ブラインド防
着板（１９）の直径Ｒはプロダクトチャンバー部（３）
内の大きさにもよるが、概ね１０００〜１５００ｍｍ程
度である。

【００１８】ブラインド防着板（１９）が形成する円周
部（円柱の側面部）は、２６枚のブラインド板（２３）
で形成されている。ブラインド板（２３）は板厚１ｍｍ
程度のステンレス製でできており、各々は矩形をなし、
その寸法は高さ（長辺）５００ｍｍ程度、幅（短辺）１
００ｍｍ程度である。上述した如く、隣り合う各ブライ
ンド板（２３）は重複面積を有するように形成され、一
定の隙間ｄを形成する。一枚のブラインド板（２３）の
長辺の一端を内輪線（２１）上に配置し、長辺の他端を
外輪線（２２）上に配置する。つまり、ブラインド板
（２３）が全て一定の間隔（距離ｄ）内に収まるように
配置する。このとき、２６枚のブラインド板（２３）の
うち２４枚は上リング（２６）と下リング（２7）とに
よって完全に固定され、ブラインド板（２３）の端部が
互いに約１０ｍｍ程度重なるようなブラインド状となる
ように形成し、隣り合う２枚のブラインド板（２３）は
一定の隙間ｄをもって固定されている。この隙間ｄは、
上述した半径の差である距離ｄと略一致する。この隙間
ｄは上述した距離ｄと略一致する。

【００１９】本発明において、ブラインド防着板（１
９）を図２（Ａ）に示すブラインド形状にした（隙間ｄ
を設けた）理由は、ブラインド防着板（１９）内部のア
ルミガスの排気コンダクタンスを向上させるためであ
る。仮に、ブラインド防着板（１９）を隙間のない１枚
の円筒板で構成した場合、内側にアルミガスが滞留し、
ブラインド防着板（１９）内部においては、ガス濃度が
均一にならず、適正な膜厚のアルミ蒸着ができなくなる
虞がある。また、ブラインド防着板（１９）外部におい
ては、排気口から遠い箇所のガスはブラインド防着板
（１９）を迂回して排気される為、結果真空引きに更に
時間がかかることになる。本発明の隙間ｄが各ブライン
ド防着板（１９）間にあることで、これらの滞留しやす
いガスはブラインド防着板（１９）内部を通過すること
が可能となり、真空引きが短時間で行える。本願発明者
が行った実験によると、アルミ粒子を含んだガスは直進
性を有することから、隙間ｄが６〜１２ｍｍ程度、望ま
しくは８〜１０ｍｍ程度であるときにアルミ粒子のみが
ブラインド板（２３）に衝突付着し、残されたガスのみ
が隙間ｄを通過し、排気口へ至ることが判った。

【００２０】ブラインド防着板（１９）の円の外周面側
には、軸（２４）を等間隔で４本配置する。この軸（２
４）は２６枚のブラインド板（２３）が円を形成するた
めに、十分な強度を有する金属等で構成した棒であり、
上リング（２６）と下リング（２7）とを固定する。こ
の軸（２４）の数について、特に限定はない。

【００２１】接合部（２５）は、円を形成する上リング
（２６）、下リング（２7）の円周上に２箇所形成し、
それらは直径Ｒだけ離間する。これにより、２箇所の接
合部（２５）は円周上の最も遠い位置関係となる。接合
部（２５）の働きについては後述する。図２（B）にお
いて、２６枚のブラインド板（２３）のうち２箇所の接
合部（２５）近傍に位置する合計２枚のブラインド板
（２３）を各々ブラインド板（２３Ａ）、ブラインド板
（２３Ａ）と称す。両者は円周上の最も遠く、直径Ｒだ
け離間するように配置する。

【００２２】ブラインド板（２３Ａ）及びブラインド板
（２３Ｂ）を除く２４枚のブラインド板（２３）は、上
下の上リング（２６）及び下リング（２7）と留め具
（２８）によって完全に固定する。留め具（２８）は溶
接等でもよい。このとき、ブラインド板（２３Ａ）及び
ブラインド板（２３Ｂ）は、ブラインド防着板（１９）
から取り外し可能となるように形成する。取り外し可能
な方法の一例として、上リング（２６）及び下リング
（２7）のブラインド板（２３）が当接する側の面にブ
ラインド板（２３）に対応する溝（図示せず）を形成し
て、ブラインド板（２３Ａ）及びブラインド板（２３
Ｂ）をスライドさせる方法があるが、特にこの方法に限
定されるものではない。

【００２３】ブラインド板（２３Ａ）の下リング（２
7）側に偏った位置に、これを開口した窓部（２９）を
形成する。この窓部（２９）は、図１に示すアルミイン
ゴット（７）が適正な量を維持しているかを確認するた
めの覗き窓である。状況に応じて、この窓部（２９）を
必要としない場合もあり得る。この窓部（２９）と上述
したドア窓部（１５）とは、アルミインゴット（７）の
量を確認できるように配置する。

【００２４】図３はブラインド板（２３Ａ）及びブライ
ンド板（２３Ｂ）を取り外し、且つブラインド防着板
（１９）を接合部（２５）にて、２つの要素に分解した
ときの図である。図中、図３上方に示した要素をブライ
ンド防着板（１９Ａ）、図３下方に示した要素をブライ
ンド防着板（１９Ｂ）とそれぞれ称す。ブラインド防着
板（１９Ａ）の上リング（２６Ａ）及び下リング（２7
Ａ）の端部（合計４箇所）には、図に示すような接合凹
部（２９）を形成する。同様にブラインド防着板（１９
Ｂ）の上リング（２６Ｂ）及び下リング（２7Ｂ）の端
部（合計４箇所）には、図に示すような接合凸部（３
０）を形成する。これら４箇所の接合凹部（２９）と接
合凸部（３０）とがそれぞれ互いに嵌合することによ
り、ブラインド防着板（１９Ａ）とブラインド防着板
（１９Ｂ）とが互いに一体化して本発明であるブライン
ド防着板（１９）を形成する。ブラインド防着板（１
９）を図３に示すように分解可能としたのは、移動・運
搬、洗浄の際に有用性が増すと考えたからである。尚、
本発明のブラインド防着板（１９）が常に分解可能であ
るものに限定されるものではない。

【００２５】図４は、防着天板（２０）を表す側面図で
ある。防着天板（２０）は上面円（３１）、側面部（３
２）、下面円（３３）からなる円錐台を形成し、主にス
テンレス金属から為る。このとき、上面円（３１）及び
側面部（３２）は金属にて形成されるが、下面円（３
３）は開口する。上面円の直径は４５０ｍｍ程度、下面
円の直径は７００ｍｍ程度である。防着天板（２０）
は、ブラインド防着板（１９）内部のレール（１４）上
を走る、プラネタリィ（９）裏面側にある円盤部（１
３）上に設置する。従って、該円盤は回転しながら防着
天板（２０）を支持し、防着天板（２０）も同様に回転
する。防着天板（２０）は、プロダクトチャンバー部
（３）の天井に飛散するアルミ粒子を付着することを防
止するために設置する。

【００２６】以上、本発明の第1の実施の形態によると
従来の１１点あったプロダクトチャンバー部（３）内の
防着板数はブラインド防着板（１９）、防着天板
（２０）ドア窓部（１５）の３点にまで減少可能とな
る。

【００２７】図５は本発明の第２の実施の形態を表すＥ
Ｂアルミ蒸着装置を表した全体図である。図６は図５の
ＥＢアルミ蒸着装置のプロダクトチャンバー部（３）を
拡大し、詳細に示した図であるが便宜上プラネタリィ
（９）等は省略した。（２８）は部分的防着板、（２８
Ａ）乃至（２８Ｄ）は４枚の部分的防着板（２８）、
（２９）はプロダクトチャンバー部（３）のドア部、
（１６）は排気口、（１７）はアルミ飛散口を表し、そ
の他の符号は図１と同じものを指す。

【００２８】本発明の第2の実施の形態の特徴は高さが
縮小されたブラインド防着板（１９）をレール（１２）
上に設置することである。ブラインド防着板（１９）の
直径Ｒは８００ｍｍ程度、一枚の矩形のブラインド板
（２３）の長辺は３００ｍｍ、短辺は１００ｍｍ程度で
ある。防着天板（２０）は本発明の第１の実施の形態と
同一のものを使用する。（２８）は部分的防着板を表
し、ドア部（２９）の内側面に付す部分的防着板（２８
Ａ）、ドア部（２９）と連続している壁面に付す部分的
防着板（２８Ｂ）、ドア部（２９）と反対側の壁面に付
す部分的防着板（２８Ｃ）、部分的防着板（２８Ｂ）と
反対側の壁面に付す部分的防着板（２８Ｄ）からなる。
このとき、部分的防着板（２８Ａ）と部分的防着板（２
８Ｃ）とは同一形状となるが、部分的防着板（２８Ｄ）
は真空引きを行うための排気口（１６）があるため、図
６中に示したような、一部を排気口（１６）にあわせた
開口部を有する形状となる。これら部分的防着板（２８
Ａ）乃至（２８Ｄ）は、固定してある壁面の面積に対
し、約１／２〜１／３の面積であり、従来例と同様にね
じ等で固定する。

【００２９】アルミ飛散口（１７）は、下部にソースチ
ャンバー部（２）を備え、その内部に配置したアルミイ
ンゴット（７）からアルミ粒子を飛散するための開口部
である。アルミ飛散口（１７）は、ウェハ（８）を交換
するとき等はバルブＶ３を閉めて、ソースチャンバー部
（２）とプロダクトチャンバー部（３）とを完全に隔離
する。

【００３０】本発明の第2の実施の形態において、ブラ
インド防着板（１９）をレール（１２）上に配置した主
な理由は、レール（１２）下にワンバッチ終了ごとにプ
ラネタリィ（９）を取り替えるための出し入れするため
のスペースを確保するためである。このスペースを設け
たことで、レール（１２）下にもアルミ粒子の飛散を防
止する必要がある。これらの飛散を防止するために、プ
ロダクトチャンバー部（３）内の４つの壁面の、レール
（１２）下方の飛散範囲に部分的防着板（２８）を取り
付けることで対処する（図６参照）。

【００３１】以上より、本発明においてアルミ粒子が飛
散防止のための防着板数は以下の７点となる。ブライ
ンド防着板（１９）（１点）、防着天板（２０）（１
点）、部分的防着板（２８）（４点）、ドア窓部
（１５）（１点）である。部分的防着板（２８）はプロ
ダクトチャンバー部（３）の４つの壁面にねじで固定さ
れているが、ブラインド防着板（１９）はレール（１
２）上に配置しただけの状態であり、防着天板（２０）
も同様にブラインド防着板（１９）内に隠れるように覆
い被せてあるだけである。レール（１２）よりも上方の
アルミ粒子の飛散は、ブラインド防着板（１９）及び防
着天板（２０）の２点で完全に防止可能となる。

【００３２】本発明の第1及び第2の実施の形態により、
ブラインド防着板（１９）及び防着天板（２０）はねじ
等で固定しているわけではないので、交換時の取り外し
がとても迅速、且つ容易となる。

【００３３】尚、本発明において防着板にブラインド形
状を取り入れたが、本発明の本来の目的である防着板の
取り替え作業のスピード化という点においては、ブライ
ンド防着板ではなく、隙間のない単なる金属製の円柱状
防着板であっても特に問題はない。

【００３４】

【発明の効果】以上より、本発明はブラインド防着板
（１９）及び防着天板（２０）を利用することで、アル
ミ蒸着装置内部の防着板が、１１点から３点又は７点と
大幅に削減できる。また、ブラインド防着板（１９）及
び防着天板（２０）は単にプロダクトチャンバー部
（３）内部に置いてあるだけなので、付着したアルミニ
ウムを除去するための交換時間を従来例と比較して大幅
に短縮できる。本願発明者の実施結果によると、本発明
の第2の実施の形態において、ブラインド防着板（１
９）等を用いたＥＢアルミ蒸着装置では、一人で担当し
た場合、取り替え作業におよそ３０分弱の時間で実施可
能となり、従来例の半分以下の時間で作業が完了した。
その結果、短縮した作業時間相当分、ＥＢアルミ蒸着装
置（１）の稼動時間を増大させることができ、稼動効率
の向上が望める。

【００３５】加えて、ブラインド防着板（１９）の側面
部に、ある一定の隙間を設けたブラインド形状をした２
６枚のブラインド板（２３）を形成している。このブラ
インド板（２３）が隙間を形成することで、ブラインド
防着板（１９）内部に飛散したアルミ粒子ガスの流動性
が増し、ウェハ（８）に付着するアルミニウムの膜厚が
一定となる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の第1の実施の一形態を表す側面図であ
る。

【図２】本願のブラインド防着板における平面図及び側
面図である。

【図３】本願のブラインド防着板における斜視図であ
る。

【図４】本願の防着天板における側面図である。

【図５】本願の第２の実施の一形態を表す側面図であ
る。

【図６】図５のプロダクトチャンバー部拡大図である。

【図７】従来のアルミ蒸着装置を表す側面図である。

【図８】従来のアルミ蒸着装置を表す斜視図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 添田 博幸 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 谷田 伸幸 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA06 BA03 BC03 BD01 CA01 DA10 DB21 JA03 4M104 BB02 DD34 DD35

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェハを複数搭載する、回転する円盤上の
   プラネタリィと、 複数の前記プラネタリィを回転させるために設けたレー
   ルと、 前記レールの下方に位置するフィラメント台と、 前記フィラメント台下方に位置した、金属素材からなる
   インゴットを加熱する為のフィラメントと、 前記プラネタリィ、前記レール、前記フィラメント台、
   前記フィラメントとをその内部に設けたチャンバー部
   と、 前記チャンバー部の外部に設置したクライオポンプと、
   を備えた電子ビーム蒸着装置において、 前記プラネタリィ全体を覆うように形成した円柱状の防
   着板を前記チャンバー内に配置し、前記防着板内部に配
   置した円錐台形状の防着天板が、前記プラネタリィが回
   転するのに十分な空間を保持するように配置されたこと
   を特徴とする電子ビーム蒸着装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の電子ビーム蒸着装置におい
   て、 前記防着板の側面部が複数枚のブラインド防着板から形
   成され、前記板同士が互いに重複、且つ数隙間を形成す
   るように配置されたブラインド形状であることを特徴と
   する電子ビーム蒸着装置。
3. 【請求項３】前記隙間が６乃至１２ｍｍであることを特
   徴とする、請求項２記載の電子ビーム蒸着装置。
4. 【請求項４】ウェハを複数搭載する、回転する円盤上の
   プラネタリィと、 複数の前記プラネタリィを回転させるために設けたレー
   ルと、 前記レールの下方に位置するフィラメント台と、 前記フィラメント台下方に位置した、金属素材から成る
   インゴットを加熱する為のフィラメントと、 前記プラネタリィ、前記レール、前記フィラメント台、
   前記フィラメントとをその内部に設けたチャンバー部
   と、 前記チャンバー部の外部に設置したクライオポンプと、
   を備えた電子ビーム蒸着装置において、 前記レール上部に配置され、前記レール上部にある前記
   プラネタリィ全体を覆うように形成した円柱状の防着板
   を配置し、前記防着板内部に配置した円錐台形状の防着
   天板が、前記プラネタリィが回転するのに十分な空間を
   保持するように配置されたことを特徴とする電子ビーム
   蒸着装置。
5. 【請求項５】請求項４記載の電子ビーム蒸着装置におい
   て、 前記防着板の側面部が複数枚の固定されたブラインド防
   着板から形成され、前記板同士が互いに重複するよう
   に、且つ隙間を形成するように配置されたブラインド状
   であることを特徴とする電子ビーム蒸着装置。
6. 【請求項６】前記隙間が６乃至１２ｍｍであることを特
   徴とする、請求項５記載の電子ビーム蒸着装置。
7. 【請求項７】複数のウェハが設置されたプラネタリィ
   を、その裏面の円盤部が、プロダクトチャンバー部内の
   レール上に当接する様に、前記チャンバー内に設置する
   工程と、 前記プラネタリィ全体を取り囲むように、円柱状の防着
   板が設置されており、前記円柱状の防着板上方から、円
   柱台形をした防着天板を前記プラネタリィ上部に覆うよ
   うに設置されており、前記プロダクトチャンバー部下方
   にあるソースチャンバー部から、金属粒子を飛散させ
   て、前記ウェハ表面に所定の膜厚の金属被膜を形成する
   工程と、を具備し、 前記ウェハに蒸着した以外のアルミ粒子の大部分が、前
   記円柱状の防着板及び前記防着天板の内面に付着する様
   に処理することを特徴としたウェハの処理方法。
8. 【請求項８】前記円柱状の防着板の側面部が複数の防着
   板で構成され、且つ前記複数の防着板同士が互いに重な
   り合い、一定の隙間を有するように形成することを特徴
   とする、請求項７記載のウェハの処理方法。
9. 【請求項９】複数のウェハが設置されたプラネタリィ
   を、その裏面の円盤部が、プロダクトチャンバー部内の
   レール上に当接する様に、前記チャンバー内に設置する
   工程と、 前記レールよりも上方の前記プラネタリィを取り囲むよ
   うに、且つ前記レール上に円柱状の防着板が設置されて
   おり、前記円柱状の防着板上方から、円柱台形をした防
   着天板を前記プラネタリィ上部に覆うように設置されて
   おり、前記プロダクトチャンバー部下方にあるソースチ
   ャンバー部から、金属粒子を飛散させて、前記ウェハ表
   面に所定の膜厚の金属被膜を形成する工程と、を具備
   し、 前記ウェハに蒸着した以外のアルミ粒子の大部分が、前
   記円柱状の防着板及び前記防着天板の内面に付着するこ
   とを特徴としたウェハの処理方法。
10. 【請求項１０】前記円柱状の防着板の側面部が複数の防
    着板で構成され、且つ前記複数の防着板同士が互いに重
    なり合い、一定の隙間を有するように形成することを特
    徴とする、請求項９記載のウェハの処理方法。