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JP2003047266A - Vibration wave drive - Google Patents

Vibration wave drive

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Publication number
JP2003047266A
JP2003047266A JP2001228059A JP2001228059A JP2003047266A JP 2003047266 A JP2003047266 A JP 2003047266A JP 2001228059 A JP2001228059 A JP 2001228059A JP 2001228059 A JP2001228059 A JP 2001228059A JP 2003047266 A JP2003047266 A JP 2003047266A
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JP
Japan
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elastic body
energy conversion
mechanical energy
conversion element
vibration wave
Prior art date
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Application number
JP2001228059A
Other languages
Japanese (ja)
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JP2003047266A5 (en
Inventor
Kiyoshi Nitsuto
潔 日塔
Takayuki Tsukimoto
貴之 月本
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JP2003047266A publication Critical patent/JP2003047266A/en
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型高出力で安価な振動波駆動装置を提供す
る。 【解決手段】振動体は、上面に小径の金属製棒状弾性体
である第1の弾性体aを有する円板状弾性体dと、下面に
第1の弾性体aより外径の大きい金属製棒状弾性体であ
る円板状の第2の弾性体bがあり、その間に多角形の圧電
素子cが挟持固定されている。尚、小径の第1の弾性体a
の下部はボルト構造となっており、第2の弾性体bとネ
ジ結合する構造となっている。そして、圧電素子cの外
接円の直径と、前記第2の弾性体bの直径が同じになる
ように構成されている。
(57) [Problem] To provide a small-sized, high-output and inexpensive vibration wave driving device. A vibrating body includes a disc-shaped elastic body d having a first elastic body a which is a small-diameter metal rod-shaped elastic body on an upper surface, and a metal having a larger outer diameter than the first elastic body a on a lower surface. There is a disk-shaped second elastic body b which is a rod-shaped elastic body, and a polygonal piezoelectric element c is sandwiched and fixed between them. In addition, the first elastic body a having a small diameter
Has a bolt structure at the lower portion, and has a structure to be screw-coupled to the second elastic body b. The diameter of the circumscribed circle of the piezoelectric element c is equal to the diameter of the second elastic body b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は振動波モータ等の振
動波駆動装置に係り、特に振動体の構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration wave driving device such as a vibration wave motor, and more particularly to a structure of a vibration body.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、振動波モータ等の振動波駆動装
置は、駆動振動が形成される振動体を基本構成として有
し、例えば前記振動体と、前記振動体に加圧接触する接
触体とを前記駆動振動により相対的に移動させるように
している。
2. Description of the Related Art Generally, a vibration wave driving device such as a vibration wave motor has a vibrating body having a driving vibration as a basic structure, and includes, for example, the vibrating body and a contact body that makes pressure contact with the vibrating body. Are relatively moved by the drive vibration.

【0003】そして、前記振動体は、一般に、弾性体
と、電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子と
により構成され、例えば弾性体に対して空間的に互いに
90°の位相差を持った位置に駆動相を有する圧電素子
を配置し、この2つの駆動相に互いに90°の位相差を
持つ2相の交番信号を印加することによって弾性体上に
進行波を発生させ、これに接触体を圧接して摩擦力によ
り駆動力を得るようにしている。
The vibrating body is generally composed of an elastic body and a piezoelectric element as an electro-mechanical energy conversion element, and for example, a position having a phase difference of 90 ° with respect to the elastic body. A piezoelectric element having a driving phase is arranged on the two driving phases, and a traveling wave is generated on the elastic body by applying an alternating signal of two phases having a phase difference of 90 ° to the two driving phases. The driving force is obtained by pressing and frictional force.

【0004】このような振動波駆動装置としての振動波
モータはカメラレンズ駆動用途等への製品応用がなされ
ており、円環型のものと棒状型のものが存在する。
The vibration wave motor as such a vibration wave driving device has been applied to products such as driving a camera lens, and there are an annular type and a rod type.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の棒状型振動波モ
ータにおいて、より小さくする、コストを安くするとい
う要求がある。その要求を達成するために単純に小さく
すると、出力が小さくなるという課題がある。
In the conventional rod-shaped vibration wave motor, there is a demand to make it smaller and to lower the cost. If the size is simply reduced to meet the demand, there is a problem that the output becomes small.

【0006】そこで、この課題を克服するために、振動
体を単純に小さくし、従来のように電気-機械エネルギ
ー変換素子を円形断面(軸対称)形状にすると、該電気-
機械エネルギー変換素子の電極面積が小さくなり、大き
な力を取り出すことができない。
Therefore, in order to overcome this problem, if the vibrator is simply made small and the electro-mechanical energy conversion element has a circular cross section (axial symmetry) as in the conventional case, the electric
The electrode area of the mechanical energy conversion element becomes small, and a large force cannot be extracted.

【0007】本願発明の目的は、このような従来の問題
に鑑みなされたもので、小型高出力で安価な振動波駆動
装置を提供しようとするものである。
The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a small-sized, high-power and inexpensive vibration wave driving device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、軸方向に対し
て直交する横断面が多角形の電気-機械エネルギー変換
素子と、軸方向に対して直交する横断面が円形に形成さ
れた一対の金属製弾性体とを有し、前記一対の金属製弾
性体間に前記電気−機械エネルギー変換素子を配置し、
前記一対の金属製弾性体を締結手段で締結することによ
り、前記一対の金属製弾性体間に前記電気−機械エネル
ギー変換素子を挟持固定した棒状の振動体を有すること
を特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, an electro-mechanical energy conversion element having a polygonal cross section orthogonal to the axial direction and a pair of circular cross sections orthogonal to the axial direction are formed. With a metal elastic body of, the electro-mechanical energy conversion element is arranged between the pair of metal elastic body,
A pair of metallic elastic bodies are fastened by a fastening means to have a rod-shaped vibrating body in which the electro-mechanical energy conversion element is sandwiched and fixed between the pair of metallic elastic bodies.

【0009】このように電気−機械エネルギー変換素子
の断面形状を多角形にすることにより、電極面積を大き
くすることができるため、前記電気-機械エネルギー変
換素子を有効活用でき、高出力を取り出すことができ、
低電圧化を達成することができる。その低電圧化に伴な
い、昇圧回路等が不要になりコストダウンを図ることが
でき、安価な振動波モータを提供することができる。
By thus making the cross section of the electro-mechanical energy conversion element polygonal, the electrode area can be increased, so that the electro-mechanical energy conversion element can be effectively utilized and high output can be taken out. Can
Low voltage can be achieved. With the reduction in voltage, a booster circuit or the like is not required, and the cost can be reduced, and an inexpensive vibration wave motor can be provided.

【0010】また、高効率化を実現するために、電気−
機械エネルギー変換素子は振動体が振動方向が直交する
2つの曲げ振動を励起するように構成した。
In order to achieve high efficiency, electricity-
The mechanical energy conversion element is configured such that the vibrating body excites two bending vibrations whose vibration directions are orthogonal to each other.

【0011】また、電気-機械エネルギー変換素子を最
大限有効活用するために、該電気-機械エネルギー変換
素子の断面を方形になるように構成した。
Further, in order to make the most effective use of the electro-mechanical energy conversion element, the electro-mechanical energy conversion element has a rectangular cross section.

【0012】また、動剛性差を設ける手段として、該電
気-機械エネルギー変換素子の縦横の寸法比を変える構
成にした。
Further, as a means for providing a difference in dynamic rigidity, a configuration is adopted in which the vertical-horizontal dimension ratio of the electro-mechanical energy conversion element is changed.

【0013】また、外形を合わせることで容易に組み立
てが可能になるように、多角形の電気-機械エネルギー
変換素子の外接円の直径と円形の棒状部材の直径の長さ
が同じになるように構成した。
Further, the diameter of the circumscribed circle of the polygonal electric-mechanical energy conversion element and the diameter of the circular rod-shaped member should be the same so that the outer shapes can be easily assembled. Configured.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)図1は本発
明の第1の実施の形態における振動波駆動装置の振動体
を示す。図1(a)は振動体の断面図であり、(b)はその斜
視図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) FIG. 1 shows a vibrating body of a vibration wave drive device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a sectional view of the vibrating body, and FIG. 1B is a perspective view thereof.

【0015】本実施の形態の振動体は、上面に小径の金
属製棒状弾性体である第1の弾性体aを有する円板状弾
性体dと、下面に第1の弾性体aより外径の大きい金属製
棒状弾性体である円板状の第2の弾性体bがあり、その間
に多角形の圧電素子cが挟持固定されている。尚、小径
の第1の弾性体aの下部はボルト構造となっており、第2
の弾性体bとネジ結合する構造となっている。
The vibrating body according to the present embodiment has a disc-shaped elastic body d having a first elastic body a which is a metal rod-shaped elastic body having a small diameter on the upper surface, and an outer diameter smaller than that of the first elastic body a on the lower surface. There is a disk-shaped second elastic body b which is a large metal rod-shaped elastic body, and a polygonal piezoelectric element c is sandwiched and fixed between them. The lower part of the small-diameter first elastic body a has a bolt structure, and the second
It has a structure in which it is screwed to the elastic body b.

【0016】前記圧電素子cの外接円の直径と、前記第
2の弾性体bの直径が同じになるように構成されてい
る。
The diameter of the circumscribed circle of the piezoelectric element c and the diameter of the second elastic body b are the same.

【0017】(第2の実施の形態)図2は本発明の第2
の実施の形態を示し、(a)は振動体の断面図であり、(b)
はその斜視図である。
(Second Embodiment) FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention.
Of the embodiment, (a) is a cross-sectional view of the vibrating body, (b)
Is a perspective view thereof.

【0018】本実施の形態では、第1の弾性体a及び第2
の弾性体bの直径と、圧電素子cの外接円の直径が同じ長
さになるよう構成されており、外形を合わすことによ
り、容易に振動体を組み立てることができる。
In this embodiment, the first elastic body a and the second elastic body a
The diameter of the elastic body b and the diameter of the circumscribed circle of the piezoelectric element c are configured to have the same length, and by combining the outer shapes, the vibrating body can be easily assembled.

【0019】(第3の実施の形態)図3は本発明の第3
の実施の形態で、(a)は振動体の断面図であり、(b)はそ
の斜視図である。
(Third Embodiment) FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention.
In the embodiment, (a) is a sectional view of the vibrating body, and (b) is a perspective view thereof.

【0020】本実施の形態の振動体は、断面形状が正方
形である圧電素子cを用いている。圧電素子を正方形に
することで、円形の場合と比べて電極面積を大きくする
ことができるため圧電素子を有効活用でき、低電圧化を
達成することができる。
The vibrating body of this embodiment uses a piezoelectric element c having a square cross section. By forming the piezoelectric element in a square shape, the electrode area can be made larger than that in the case of a circular shape, so that the piezoelectric element can be effectively used and a lower voltage can be achieved.

【0021】(第4の実施の形態)図6は圧電素子cの
他の形状を示す第4の実施の形態を示す。図における圧
電素子の断面形状は、(a)が長方形、(b)が正6角形、
(c)が正方形を示している。
(Fourth Embodiment) FIG. 6 shows a fourth embodiment showing another shape of the piezoelectric element c. The cross-sectional shape of the piezoelectric element in the figure is (a) rectangular, (b) regular hexagonal,
(c) shows a square.

【0022】図7は圧電素子cの形とその振動方向を示し
ている。(a)に示す正方形の場合においては、互いに直
交する2つの曲げ振動が励起されるが、その振動方向は
一義的には決定しないという性質を有している。
FIG. 7 shows the shape of the piezoelectric element c and the vibration direction thereof. In the case of the square shown in (a), two bending vibrations orthogonal to each other are excited, but the direction of the vibration is not uniquely determined.

【0023】しかし、一方、(b)に示す長方形の場合
においては、互いに直交する2つの曲げ振動が励起さ
れ、なおかつその振動方向は図中の矢印の方向に一義的
に決定する性質を有している。その性質を利用すれば、
振動体の振動方向を意図的に決定したい場合には、意図
的に決まった方向に振動を励起することができる。具体
的には、圧電素子cの向きを変えることによって簡単に
実施することができる。
On the other hand, in the case of the rectangle shown in (b), two bending vibrations orthogonal to each other are excited, and the vibration direction thereof has the property of being uniquely determined in the direction of the arrow in the figure. ing. If you take advantage of that property,
When it is desired to intentionally determine the vibration direction of the vibrating body, the vibration can be intentionally excited in the determined direction. Specifically, it can be easily implemented by changing the direction of the piezoelectric element c.

【0024】図4は圧電素子cの製作方法に関するもの
である。断面が円形の圧電素子を作るためには、まず、
圧電材料の1枚のシートから複数の圧電シートを正方形
に切り取り、その後、外形加工して円形にする方法が取
られている。正方形の圧電素子を使うことにより、外形
加工をする手間が省け、コストダウンを図ることができ
る。
FIG. 4 relates to a method of manufacturing the piezoelectric element c. To make a piezoelectric element with a circular cross section, first,
A method is used in which a plurality of piezoelectric sheets are cut into squares from one sheet of piezoelectric material, and then the outer shape is processed into a circular shape. By using the square piezoelectric element, it is possible to save the time and effort for the outer shape processing and reduce the cost.

【0025】(第5の実施の形態)図5は本発明の第5
の実施の形態を示す振動波モータの構成図である。
(Fifth Embodiment) FIG. 5 shows a fifth embodiment of the present invention.
2 is a configuration diagram of a vibration wave motor showing the embodiment of FIG.

【0026】振動波駆動装置としての振動波モータは、
不図示の電源から圧電素子cに時間的にπ/2の位相差を
有する交流電界を印加すると、互いに直交した2方向に
2つの曲げ振動を励振する。ロータhの接触するディス
ク状弾性体dの上端面には円運動が形成され、耐摩耗性
を有するディスク状弾性体dに押圧されたロータhは摩擦
駆動される。eは軸棒で、下部には振動体挟持用のネジf
1が、上部には結合用のネジf2によりモータ固定体gが設
けられている。ロータhには接触用のバネh1が接着等に
より結合され、またバネケースh2が嵌合している。iは
出力用ギアでバネケースh2とラジアル方向に相対移動せ
ぬよう嵌合結合している。jは加圧用のコイルバネであ
る。モータ固定体gとギアiとの結合部kは滑り軸受けを
構成している。lは圧電素子への給電用のフレキシブル
基板である。
A vibration wave motor as a vibration wave driving device is
When an AC electric field having a temporal phase difference of π / 2 is applied to the piezoelectric element c from a power source (not shown), two bending vibrations are excited in two directions orthogonal to each other. A circular motion is formed on the upper end surface of the disk-shaped elastic body d with which the rotor h is in contact, and the rotor h pressed by the disk-shaped elastic body d having wear resistance is frictionally driven. e is a shaft rod, and a screw f for clamping the vibrating body is
1, a motor fixing body g is provided on the upper part by a coupling screw f2. A contact spring h1 is joined to the rotor h by adhesion or the like, and a spring case h2 is fitted. i is an output gear, which is fitted and coupled to the spring case h2 so as not to move in the radial direction. j is a coil spring for pressurization. A joint portion k between the motor fixed body g and the gear i constitutes a sliding bearing. l is a flexible substrate for supplying power to the piezoelectric element.

【0027】なお、上記した各実施の形態において、振
動体に形成される直交する2方向の曲げ振動の振動系に
おける動剛性に差を設ける手段として、圧電素子の縦横
の寸法比を変えるようにすると、前記両振動系の周波数
差の調整が容易となる。
In each of the above-described embodiments, as a means for providing a difference in dynamic rigidity in the vibration system of bending vibrations formed in the vibrating body in two directions orthogonal to each other, the vertical and horizontal dimensional ratios of the piezoelectric elements are changed. Then, it becomes easy to adjust the frequency difference between the both vibration systems.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1、2に係
る発明によれば、振動体構成部品の中で比較的高価な圧
電素子等の電気−機械エネルギー変換素子を有効活用で
き、高出力を取り出すことができる。さらに低電圧化を
達成することができる。それに伴ない昇圧回路等が不要
になりコストダウンを図ることができ、安価な振動波モ
ータ等の振動波駆動装置を提供することができる。
As described above, according to the first and second aspects of the present invention, it is possible to effectively utilize the relatively expensive electro-mechanical energy conversion element such as a piezoelectric element among the vibrating body components. You can retrieve the output. Further lower voltage can be achieved. As a result, a booster circuit and the like are not required, and the cost can be reduced, and an inexpensive vibration wave drive device such as a vibration wave motor can be provided.

【0029】請求項3に係る発明によれば、シート状か
ら切り出された形のものをそのまま使用することができ
るため、より圧電素子を有効活用することができる。
According to the third aspect of the invention, since the sheet cut out can be used as it is, the piezoelectric element can be more effectively utilized.

【0030】請求項4に係る発明によれば、容易に共振
周波数差を調整することができ、安定した性能を維持す
る振動波モータを提供することができる。
According to the invention of claim 4, it is possible to provide a vibration wave motor capable of easily adjusting the resonance frequency difference and maintaining stable performance.

【0031】請求項5に係る発明によれば、断面が多角
形の電気-機械エネルギー変換素子の外接円の直径と断
面が円形の棒状部材の直径の長さが同じになるように構
成されているため、外形を合わせることで簡単に組み立
てることができる。
According to the fifth aspect of the invention, the diameter of the circumscribed circle of the electro-mechanical energy conversion element having a polygonal cross section and the diameter of the rod-shaped member having a circular cross section have the same length. Therefore, it can be easily assembled by matching the outer shapes.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の振動波駆動装置における振動体の第
1の実施の形態を示し、(a)は断面図、(b)は斜視
1A and 1B show a first embodiment of a vibrating body in a vibration wave driving device of the present invention, where FIG. 1A is a sectional view and FIG. 1B is a perspective view.

【図2】本発明の振動波駆動装置における振動体の第2
の実施の形態を示し、(a)は断面図、(b)は斜視図
FIG. 2 is a second vibrating body in the vibration wave driving device of the present invention.
2A shows an embodiment of the present invention, in which (a) is a sectional view and (b) is a perspective view.

【図3】本発明の振動波駆動装置における振動体の第3
の実施の形態を示し、(a)は断面図、(b)は斜視図
FIG. 3 is a third vibrating body in the vibration wave driving device of the present invention.
2A shows an embodiment of the present invention, in which (a) is a sectional view and (b) is a perspective view.

【図4】図6(c)の圧電素子の製作方法を示す図FIG. 4 is a view showing a method for manufacturing the piezoelectric element of FIG. 6 (c).

【図5】本発明の振動波駆動装置の第5の実施の形態を
示す断面図
FIG. 5 is a sectional view showing a fifth embodiment of a vibration wave driving device of the present invention.

【図6】(a)〜(c)は本発明の振動波駆動装置にお
ける振動体に組み込まれる圧電素子の形状をそれぞれ示
す断面図
6A to 6C are cross-sectional views each showing the shape of a piezoelectric element incorporated in a vibrating body in the vibration wave driving device of the present invention.

【図7】(a)(b)は図6の(c)(a)の圧電素子
にける振動方向を示す図
7A and 7B are views showing vibration directions in the piezoelectric element of FIGS. 6C and 6A.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

a 第1の弾性体 b 第2の弾性体 c 電気-機械エネルギー変換素子(圧電素子) d ディスク状弾性体 e ボルト f ネジ部 g モータ固定体 h ロータ I ギア J コイルバネ K 滑り軸受け L フレキシブル基板 a first elastic body b Second elastic body c Electric-mechanical energy conversion element (piezoelectric element) d disk-shaped elastic body e bolt f screw part g Motor fixed body h rotor I gear J coil spring K sliding bearing L flexible board

フロントページの続き Fターム(参考) 5H680 AA01 AA19 BB02 BB11 BC01 CC01 DD02 DD12 DD23 DD53 DD65 DD74 DD85 EE04 EE12 FF04 FF32 Continued front page    F term (reference) 5H680 AA01 AA19 BB02 BB11 BC01                       CC01 DD02 DD12 DD23 DD53                       DD65 DD74 DD85 EE04 EE12                       FF04 FF32

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軸方向に対して直交する横断面が多角形
の電気-機械エネルギー変換素子と、軸方向に対して直
交する横断面が円形に形成された一対の金属製弾性体と
を有し、前記一対の金属製弾性体間に前記電気−機械エ
ネルギー変換素子を配置し、前記一対の金属製弾性体を
締結手段で締結することにより、前記一対の金属製弾性
体間に前記電気−機械エネルギー変換素子を挟持固定し
た棒状の振動体を有することを特徴とする振動波駆動装
置。
1. An electro-mechanical energy conversion element having a polygonal cross section orthogonal to the axial direction, and a pair of metallic elastic bodies having a circular cross section orthogonal to the axial direction. Then, the electro-mechanical energy conversion element is arranged between the pair of metal elastic bodies, and the pair of metal elastic bodies are fastened by fastening means, so that the electricity- A vibration wave driving device comprising a rod-shaped vibrating body having a mechanical energy conversion element sandwiched and fixed.
【請求項2】 前記電気−機械エネルギー変換素子は、
前記振動体が振動方向が直交する2つの曲げ振動を励起
するように構成されていることを特徴とする請求項1に
記載の振動波駆動装置。
2. The electro-mechanical energy conversion element,
The vibration wave driving device according to claim 1, wherein the vibrating body is configured to excite two bending vibrations whose vibration directions are orthogonal to each other.
【請求項3】 前記電気-機械エネルギー変換素子は断
面が方形であることを特徴とする請求項1または2に記
載の振動波駆動装置。
3. The vibration wave driving device according to claim 1, wherein the electro-mechanical energy conversion element has a rectangular cross section.
【請求項4】 前記電気-機械エネルギー変換素子の縦
横の寸法比を変えることにより、前記2つの曲げ振動が
励起される振動系に動剛性差を設けるようにしたことを
特徴とする請求項1、2または3に記載の振動波駆動装
置。
4. A dynamic rigidity difference is provided in a vibration system in which the two bending vibrations are excited by changing a longitudinal / lateral dimension ratio of the electro-mechanical energy conversion element. 2. The vibration wave driving device according to 2 or 3.
【請求項5】 前記電気-機械エネルギー変換素子の外
接円の直径と、前記金属製棒状弾性体の直径が同じにな
るように構成されていることを特徴とする請求項1、
2、3または4に記載の振動波駆動装置。
5. The diameter of the circumscribed circle of the electro-mechanical energy conversion element and the diameter of the metal rod-shaped elastic body are the same.
The vibration wave driving device according to 2, 3, or 4.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7459832B2 (en) 2004-12-21 2008-12-02 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy converter and vibration wave driving
WO2024048237A1 (en) * 2022-09-01 2024-03-07 キヤノン株式会社 Oscillation wave motor and drive device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05328755A (en) * 1992-05-20 1993-12-10 Olympus Optical Co Ltd Ultrasonic motor
JP2001007419A (en) * 1999-06-24 2001-01-12 Tokai Rubber Ind Ltd Actuator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05328755A (en) * 1992-05-20 1993-12-10 Olympus Optical Co Ltd Ultrasonic motor
JP2001007419A (en) * 1999-06-24 2001-01-12 Tokai Rubber Ind Ltd Actuator

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7459832B2 (en) 2004-12-21 2008-12-02 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy converter and vibration wave driving
US7633215B2 (en) 2004-12-21 2009-12-15 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy converter and vibration wave driving
WO2024048237A1 (en) * 2022-09-01 2024-03-07 キヤノン株式会社 Oscillation wave motor and drive device

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