JP2003045322A - Method for manufacturing plasma display panel - Google Patents
Method for manufacturing plasma display panelInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイパネルの高輝度化、高
信頼性化を図る。
【解決手段】 従来ガラス基板上に形成されてきた表示
電極12の表面に平均粒径が0.1μm〜1.5μm
で、最大粒径が平均粒径の3倍以内でガラス粉末を用い
てそのガラス軟化点から20℃以内の温度で焼成し、次
にこのガラスの軟化点よりも約100℃低いガラスをそ
の軟化点より50℃〜100℃高い温度で焼成する2層
構造の誘電体層(誘電体ガラス下層(高軟化点ガラス)
13aと誘電体ガラス上層(低軟化点ガラス)13b)
を形成することで、高輝度で画像の鮮明なプラズマディ
スプレイパネルを得ることが出来る。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To increase the brightness and reliability of a plasma display panel. SOLUTION: The average particle diameter is 0.1 μm to 1.5 μm on the surface of a display electrode 12 conventionally formed on a glass substrate.
Then, the glass powder is fired at a temperature within 20 ° C. from the glass softening point using a glass powder having a maximum particle size within three times the average particle size, and then a glass having a softening point of about 100 ° C. lower than the softening point of the glass is softened. Dielectric layer (dielectric glass lower layer (high softening point glass)) which is fired at a temperature 50 ° C. to 100 ° C. higher than the temperature
13a and dielectric glass upper layer (low softening point glass) 13b)
By forming, a plasma display panel with high brightness and clear image can be obtained.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルに関し、特にプラ
ズマディスプレイパネルの誘電体層の改良及び誘電体ガ
ラス層の材料の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel used for a display device and the like, and more particularly to improvement of a dielectric layer and a material of a dielectric glass layer of the plasma display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年ハイビジョンをはじめとする高品
位、大画面テレビへの期待が高まっている。CRTは解
像度・画質の点でプラズマディスプレイや液晶に対して
優れているが、奥行きと重量の点で40インチ以上の大
画面には向いていない。一方、液晶は、消費電力が少な
く、駆動電圧も低いという優れた性能を有しているが、
画面の大きさや視野角に限界がある。これに対して、プ
ラズマディスプレイは、大画面の実現が可能であり、す
でに40インチクラスの製品が開発されている。2. Description of the Related Art In recent years, expectations for high-definition and large-screen televisions such as high-definition television have been increasing. CRTs are superior to plasma displays and liquid crystals in terms of resolution and image quality, but are not suitable for large screens of 40 inches or more in terms of depth and weight. On the other hand, liquid crystal has excellent performance of low power consumption and low driving voltage.
There are limits to the screen size and viewing angle. On the other hand, the plasma display can realize a large screen, and a product of 40-inch class has already been developed.
【0003】図4は、従来の交流型(AC型)のプラズ
マディスプレイパネルの要部斜視図を示したものであ
る。図4において51は、フロート法による硼硅酸ナト
リウム系ガラスよりなる前面ガラス基板(フロントカバ
ープレート)であり、この前面ガラス基板51上にIT
Oと銀電極から成る表示電極50が存在し、この上をコ
ンデンサの働きをする平均粒径2μm〜15μmのガラ
ス粉末を用いて形成された2層構造の誘電体ガラス層5
2,53と酸化マグネシウム(MgO)誘電体保護層5
4が覆っている。55は背面ガラス基板(バックプレー
ト)であり、この背面ガラス基板55上にアドレス電極
(ITOと銀電極)56,誘電体ガラス層60が設けら
れ、その上に隔壁58、蛍光体層59が設けられてお
り、隔壁58間が放電ガスを封入する放電空間59とな
っている。FIG. 4 is a perspective view showing a main part of a conventional AC type plasma display panel. In FIG. 4, reference numeral 51 denotes a front glass substrate (front cover plate) made of sodium borosilicate glass by the float method.
There is a display electrode 50 composed of O and a silver electrode, on which a dielectric glass layer 5 having a two-layer structure formed by using glass powder having an average particle diameter of 2 μm to 15 μm which functions as a capacitor.
2, 53 and magnesium oxide (MgO) dielectric protective layer 5
4 covers. Reference numeral 55 denotes a back glass substrate (back plate). Address electrodes (ITO and silver electrodes) 56 and a dielectric glass layer 60 are provided on the back glass substrate 55, and a partition wall 58 and a phosphor layer 59 are provided thereon. The space between the barrier ribs 58 is a discharge space 59 for enclosing the discharge gas.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】近年期待されているフ
ルスペックのハイビジョンテレビの画素レベルは、画素
数が1920×1125となり、ドットピッチも42イ
ンチクラスで、0.15mm×0.48mmで1セルの
面積は0.072mm2の細かさになる。The pixel level of a full-spec high-definition television, which is expected in recent years, is 1920 × 1125 pixels, and the dot pitch is 42 inch class, 0.15 mm × 0.48 mm, 1 cell. Area is 0.072 mm2.
【0005】同じ42インチの大きさでハイビジョンテ
レビを作製したとき、1画素の面積で従来のNTSC
(画素数640×480個、ドットピッチ0.43mm
×1.29mm、1セルの面積0.55mm2)と比較
すると、1/7〜1/8の細かさとなる。従って、パネ
ルの輝度が低くなってしまう。When a high-definition television having the same size of 42 inches is manufactured, the area of one pixel is larger than that of the conventional NTSC.
(Number of pixels 640 x 480, dot pitch 0.43 mm
When compared with × 1.29 mm, the area of one cell is 0.55 mm 2), the fineness is 1/7 to 1/8. Therefore, the brightness of the panel becomes low.
【0006】又、第1の放電電極(表示電極)間距離が
短くなるばかりでなく放電空間も狭くなるため、特に第
1電極上の誘電体ガラス層は、セル面積が減少するため
にコンデンサとしての同一容量を確保しようとすれば、
膜厚を従来よりも薄くすることが必要となる。Further, not only the distance between the first discharge electrodes (display electrodes) is shortened but also the discharge space is narrowed. In particular, the dielectric glass layer on the first electrodes is used as a capacitor because the cell area is reduced. If you try to secure the same capacity of
It is necessary to make the film thickness thinner than before.
【0007】従来の方法で、誘電体層を形成するのには
3つの方法がある。第1の方法は、ガラス粉末の平均粒
径が5〜6μmでガラスの軟化点が550℃〜600℃
のガラス(酸化鉛系ガラスまたは酸化ビスマス系ガラ
ス)を用いて、ガラスの軟化点付近(550℃〜600
℃)で焼成して誘電体層を形成する方法である。この方
法の特長は、軟化点付近の焼成であるためガラスがあま
り流動しない不活性な状態であるため、(ガラスの粘度
が107ポアズ)電極であるAg,ITO,Cr−Cu
等とほとんど反応しない。したがって電極の抵抗値が上
昇したり、ガラス中に電極成分が拡散して着色したりし
ないこと、および1回の焼成で誘電体層が形成できるこ
とである。There are three conventional methods for forming the dielectric layer. The first method is that the average particle size of the glass powder is 5 to 6 μm and the softening point of the glass is 550 to 600 ° C.
Glass (lead oxide-based glass or bismuth oxide-based glass) is used, and the vicinity of the softening point of the glass (550 ° C. to 600 ° C.) is used.
It is a method of forming a dielectric layer by firing at (° C.). The advantage of this method is that it is in an inactive state in which the glass does not flow so much because it is fired near the softening point. Therefore, the glass (viscosity is 10 7 poise) Ag, ITO, Cr-Cu
It hardly reacts with etc. Therefore, the resistance value of the electrode is not increased, the electrode component is not diffused and colored in the glass, and the dielectric layer can be formed by firing once.
【0008】しかしながらこの方法の問題点は、ガラス
粉末の平均粒径が5μm〜6μmでガラスの軟化点付近
で焼成するためにガラスの流動性が悪く、表面が4μm
〜6μmの荒い面となり可視光が散乱し、スリガラス状
となり誘電体ガラス層の可視光の透過率が低下する。そ
のため画像の鮮明度が低下することおよび、気泡やピン
ホールが誘電体中に発生し、誘電体層の耐圧が低下する
ことである。However, the problem with this method is that the average particle size of the glass powder is 5 μm to 6 μm and the glass has poor fluidity because it is fired near the softening point of the glass and the surface is 4 μm.
The surface becomes a rough surface of ˜6 μm, visible light is scattered, and it becomes frosted glass, and the visible light transmittance of the dielectric glass layer decreases. As a result, the sharpness of the image is reduced, and bubbles and pinholes are generated in the dielectric, which lowers the breakdown voltage of the dielectric layer.
【0009】第2の方法は、同じくガラス粉末の平均粒
径が5μm〜6μmで軟化点が450〜500℃程度の
低融点鉛ガラス粉(PbOが75%程度)を軟化点よ
り、50℃〜100℃程度高い550〜600℃で焼成
する方法がある。この方法の特長はガラスの焼成温度が
軟化点より十分高いため、ガラスの流動性が良いため、
表面の平坦なガラス層(表面荒さ2μm程度)を得るこ
とが出来ること、および1回の焼成で誘電体層が形成で
きることである。The second method is to use a low melting point lead glass powder (PbO of about 75%) having an average particle diameter of 5 μm to 6 μm and a softening point of about 450 to 500 ° C. from the softening point of 50 ° C. There is a method of firing at 550 to 600 ° C, which is about 100 ° C higher. The advantage of this method is that since the firing temperature of glass is sufficiently higher than the softening point, the fluidity of glass is good,
That is, a glass layer having a flat surface (surface roughness of about 2 μm) can be obtained, and a dielectric layer can be formed by firing once.
【0010】しかしながらこの方法の問題点は、ガラス
が流動しやすく活性化されているため、Ag,ITO,
Cr−Cu−Cr等の電極と反応をおこし抵抗値が上昇
したり、誘電体層が着色したりすることおよび、電極と
の反応で大きな気泡が生じ易いということである。However, the problem with this method is that since glass is easily flowable and activated, Ag, ITO,
That is, the resistance value is increased by reacting with an electrode such as Cr-Cu-Cr or the dielectric layer is colored, and large bubbles are easily generated by the reaction with the electrode.
【0011】又、第3の方法は、第一の方法と第2の方
法を組み合わせる方法であり、実現され実用化されてい
る(例えば特開平7−105855号公報,特開平9−
50769号公報)。すなわち電極上にはガラスの平均
粒径が5μm〜6μm(粒径の分布は0.1μm〜15
μm)でガラスの軟化点が550℃〜600℃のガラス
粉体を用いて軟化点付近で焼成後、この誘電体層上に同
じく平均粒径が5μm〜6μmで、ガラスの軟化点が4
50℃〜500℃のガラス粉末を用いて軟化点より50
℃〜100℃高い550℃〜600℃で焼成して、誘電
体層を形成する方法である。この方法の特長はこのよう
な2層構造の構成にすることで、電極とガラスの反応を
おさえあわせてガラス表面を平坦化し可視光の透過率と
絶縁耐圧性の向上を計ることが出来る。The third method is a method in which the first method and the second method are combined and has been realized and put into practical use (for example, Japanese Patent Laid-Open Nos. 7-105855 and 9-9).
No. 50769). That is, the average particle size of the glass on the electrode is 5 μm to 6 μm (the particle size distribution is 0.1 μm to 15 μm).
μm) and the glass having a softening point of 550 ° C. to 600 ° C. and being fired near the softening point, the dielectric layer also has an average particle size of 5 μm to 6 μm and a glass softening point of 4 μm.
50 from the softening point using glass powder of 50 ° C to 500 ° C
It is a method of forming a dielectric layer by firing at 550 ° C. to 600 ° C., which is higher by 100 ° C. to 100 ° C. The feature of this method is that by adopting such a two-layer structure, it is possible to suppress the reaction between the electrode and the glass and flatten the glass surface to improve the transmittance of visible light and the withstand voltage.
【0012】しかしこの方法でも電極上に平均粒径が、
5μm〜6μmのガラス粉体で焼成した誘電体が電極下
層として一層存在するため、やはり、このガラス層中お
よび電極との界面に気泡が発生するため、耐電圧が向上
せず又、気泡やガラスの界面での光の散乱のため透過率
が低下し、しかも散乱のため画像のぼけが発生するとい
う課題があった。However, even with this method, the average particle size on the electrode is
Since a single layer of a dielectric material fired with a glass powder of 5 μm to 6 μm exists as an electrode lower layer, bubbles still occur in the glass layer and at the interface with the electrode, so that the withstand voltage does not improve, and the bubbles and the glass are not formed. There is a problem in that the transmittance is reduced due to the scattering of light at the interface of and the image is blurred due to the scattering.
【0013】そこで本発明は、このような課題を克服す
ることによって、精細なセル構造の場合にも高輝度で信
頼の高いプラズマディスプレイパネルを提供することを
目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a plasma display panel having high brightness and high reliability even in the case of a fine cell structure by overcoming such problems.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマディスプレイパネルは、第1電極
上の誘電体ガラス層が前記第1電極と接する下層と、前
記第1電極と接しない上層からなる2層構造のガラス層
を有し、前記下層が平均粒径0.1μm〜1.5μmで
あるガラス粉を用いて、そのガラスの軟化点から20℃
以内の温度で焼成され、次に前記上層が前記下層のガラ
スの軟化点より平均100℃低い軟化点を有するガラス
であって、このガラスの軟化点より50℃〜100℃高
い温度で焼成された誘電体層であることを特徴とする。In order to achieve the above object, in the plasma display panel of the present invention, the lower layer in which the dielectric glass layer on the first electrode is in contact with the first electrode, and the lower layer is not in contact with the first electrode. 20 ° C. from the softening point of the glass, using a glass powder having a two-layered glass layer composed of an upper layer and the lower layer having an average particle diameter of 0.1 μm to 1.5 μm.
A glass having a softening point lower than the softening point of the glass of the lower layer by an average of 100 ° C. and a temperature of 50 ° C. to 100 ° C. higher than the softening point of the glass. It is characterized by being a dielectric layer.
【0015】また、前記第1電極上の誘電体ガラス層が
前記透明電極とその上にあるバス電極と接する下層と前
記バス電極付近のみをおおう上層から成る複層構造のガ
ラス層を有し、前記下層が平均粒径0.1μm〜1.5
μmであるガラス粉を用いて、そのガラスの軟化点から
20℃以内の温度で焼成され、次に前記上層が前記下層
上のバス電極近傍のみをコーティングした構造であっ
て、前記上層が前記下層のガラスの軟化点より50℃〜
100℃高い温度で焼成された誘電体層であることを特
徴とする。Further, the dielectric glass layer on the first electrode has a multi-layered glass layer consisting of a lower layer in contact with the transparent electrode and a bus electrode thereabove and an upper layer covering only the vicinity of the bus electrode, The lower layer has an average particle size of 0.1 μm to 1.5
A glass powder having a diameter of μm is used for firing at a temperature within 20 ° C. from the softening point of the glass, and then the upper layer is formed by coating only the vicinity of the bus electrode on the lower layer, and the upper layer is the lower layer. From the softening point of the glass
It is characterized in that the dielectric layer is fired at a temperature 100 ° C. higher.
【0016】また、本発明のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法は、第1電極上の誘電体層が、前記第1電
極と接する下層と、前記第1電極と接しない上層からな
る複層構造のガラス層であって、前記下層が平均粒径
0.1μm〜1.5μmでガラスの軟化点が550℃〜
575℃であるガラス粉体成分と樹脂を含む溶剤,可塑
剤,分散剤から成るバインダー成分構成のペーストをダ
イコート法,またはスクリーン印刷法にて第1電極上に
塗布し、乾燥後560℃〜590℃で焼成し、次にガラ
スの軟化点が440℃〜475℃であるガラス粉末成分
と樹脂成分を含む溶剤,可塑剤,分散剤から成る成分で
構成されたペーストを、ダイコート法,またはスクリー
ン印刷法にて前記第1電極下層上に塗布し、乾燥後52
0℃〜590℃で焼成して得られることを特徴とする。In the method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention, the dielectric layer on the first electrode has a double-layered structure including a lower layer in contact with the first electrode and an upper layer not in contact with the first electrode. The lower layer has an average particle diameter of 0.1 μm to 1.5 μm and a glass softening point of 550 ° C.
A paste having a binder component composed of a solvent containing a glass powder component and a resin of 575 ° C., a plasticizer, and a dispersant is applied onto the first electrode by a die coating method or a screen printing method, and dried 560 ° C. to 590 ° C. The paste composed of a glass powder component having a softening point of 440 ° C. to 475 ° C. and a component containing a solvent, a plasticizer, and a dispersant including a resin component, which is fired at a temperature of ℃, is die-coated or screen-printed. Coated on the lower layer of the first electrode by the method
It is characterized by being obtained by firing at 0 ° C to 590 ° C.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】本発明は、透明電極とその上にあ
るバス電極から成る第1の電極と当該第1の電極を覆う
誘電体ガラス層とを配したフロントカバープレートと、
第2の電極と誘電体層,蛍光体層とを配したバックプレ
ートとが対向してなるプラズマディスプレイパネルにお
いて、前記第1の電極と接する下層誘電体用ガラス粉体
が平均粒径が0.1μm〜1.5μmで、ガラスの軟化
点が550℃〜575℃の酸化鉛系または酸化ビスス
系,酸化亜鉛系,酸化燐系等の微細で粒径分布のそろっ
たガラス粉体と、有機バインダーから成るペーストを塗
布し乾燥後ガラスの軟化点から20℃以内温度で焼成し
て、第1電極の下層誘電体ガラス層を形成した後、前記
下層上、または、バス電極付近のみにガラスの軟化点が
440℃〜475℃であるガラスをこの軟化点より50
℃〜100℃高い温度で、焼成脱胞して上層を形成する
複層構造にすることにより、電極との反応なしに誘電体
中の気泡やピンホールがなく、表面が平滑で透過率の高
い誘電体ガラス層が形成出来る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention relates to a front cover plate having a transparent electrode, a first electrode composed of a bus electrode on the transparent electrode, and a dielectric glass layer covering the first electrode,
In a plasma display panel in which a second electrode and a back plate on which a dielectric layer and a phosphor layer are arranged face each other, the glass powder for a lower dielectric layer in contact with the first electrode has an average particle size of 0. Glass powder with 1 μm to 1.5 μm and a softening point of glass of 550 ° C. to 575 ° C., such as lead oxide type, bismuth oxide type, zinc oxide type, phosphorus oxide type, and the like, with fine and uniform particle size distribution, and an organic binder After the paste is formed and dried, it is fired at a temperature within 20 ° C from the softening point of the glass to form a lower dielectric glass layer of the first electrode, and then the softening of the glass on the lower layer or only near the bus electrode. The glass whose point is 440 ° C to 475 ° C is 50 from this softening point.
By using a multi-layer structure in which the upper layer is formed by firing and removing the cells at a temperature as high as 100 ° C to 100 ° C, there are no bubbles or pinholes in the dielectric without reaction with the electrode, the surface is smooth and the transmittance is high. A dielectric glass layer can be formed.
【0018】又、このような平均粒径の細かいガラス粉
末(平均粒径0.1μm〜1.5μmで粒度分布のそろ
ったガラス粉体,すなわち粒径分布は0.03μm〜
4.5μm)を第1電極の下層に使用することで、従来
の2層構造(例えば、特開平9−50769号公報)の
誘電体の可視光,透過率の向上と光散乱率の低減が可能
となり、しかも誘電体ガラス層を15μm以下にしても
絶縁耐圧が良好で、高い輝度,効率のパネルが得られ
る。Further, glass powder having such a small average particle diameter (glass powder having an average particle diameter of 0.1 μm to 1.5 μm and a uniform particle size distribution, that is, a particle size distribution of 0.03 μm to
By using 4.5 μm) as the lower layer of the first electrode, it is possible to improve the visible light and the transmittance and reduce the light scattering rate of the conventional two-layer structure (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-50769). Even if the dielectric glass layer is 15 μm or less, the dielectric strength is good, and a panel with high brightness and efficiency can be obtained.
【0019】すなわち、下層のガラス粉末の粒径を細か
くし粒度分布をそろえることでガラス粒子の焼結性が高
められ、下層の表面が平滑(表面荒さ2μm以下)でガ
ラス内に内在する気泡が0.5μm以下で均一に分布し
た状態が得られる。That is, the sinterability of the glass particles is enhanced by making the particle size of the lower layer glass powder fine and making the particle size distribution uniform, and the surface of the lower layer is smooth (surface roughness 2 μm or less) and bubbles existing in the glass are generated. A uniform distribution can be obtained at 0.5 μm or less.
【0020】しかも、この下層上に軟化点が下層より平
均100℃低いガラス粉体を上層に使用し、その軟化点
より50℃〜100℃高い温度で焼成して、ガラス中の
気泡を十分脱胞してやるために、誘電体層全体として2
0μm以下の誘電体ガラス層を形成しても、絶縁破壊さ
れにくい信頼性の高い誘電体層が薄く形成できる。した
がって放電電圧を低くすると同時に、誘電体の絶縁耐圧
の向上を図ることができる。Moreover, glass powder having an average softening point lower than that of the lower layer by 100 ° C. is used on the lower layer, and the upper layer is fired at a temperature 50 ° C. to 100 ° C. higher than the softening point to sufficiently remove bubbles in the glass. 2 for the dielectric layer as a whole
Even if a dielectric glass layer having a thickness of 0 μm or less is formed, a highly reliable dielectric layer that is less likely to undergo dielectric breakdown can be formed. Therefore, it is possible to lower the discharge voltage and at the same time improve the dielectric strength of the dielectric.
【0021】また、誘電体層を薄くすることによってパ
ネルの輝度の向上も図ることが出来る。ただし、あまり
ガラスの平均粒径を細かくすると(平均粒径0.1μm
以下にすると)焼成時に有機バインダーの成分が誘電体
ガラス層内に閉じ込められてしまうので好ましくない。
なお上層ガラスの粒径は、軟化点より50℃〜100℃
高い温度で焼成するため、ガラスの流動性が良くなるの
で3μm以下であれば良い。Further, the brightness of the panel can be improved by thinning the dielectric layer. However, if the average particle size of the glass is made too small (average particle size 0.1 μm
The following) is not preferable because the component of the organic binder is confined in the dielectric glass layer during firing.
The particle size of the upper glass is 50 ° C to 100 ° C from the softening point.
Since it is fired at a high temperature, the fluidity of the glass is improved, so that it is 3 μm or less.
【0022】〔はじめに〕はじめに、本発明について概
説する。まず図4において、表示電極50の面積をS,
表示電極上の誘電体ガラス層の厚みをd,誘電体ガラス
層の誘電率をε,誘電体ガラス層上の電荷をQとすると
表示電極50とアドレス電極56との間の静電容量C
は、下記式1で表される。[Introduction] First, the present invention will be outlined. First, in FIG. 4, the area of the display electrode 50 is S,
When the thickness of the dielectric glass layer on the display electrode is d, the dielectric constant of the dielectric glass layer is ε, and the charge on the dielectric glass layer is Q, the capacitance C between the display electrode 50 and the address electrode 56 is C.
Is represented by the following formula 1.
【0023】C=εS/d (式1)
また、表示電極52とアドレス電極56との間に印加さ
れる電圧をV,表示電極50上の誘電体ガラス層上にた
まる電荷量をQとすると、VとQとの間には下記式2の
関係がある。C = εS / d (Equation 1) Further, when the voltage applied between the display electrode 52 and the address electrode 56 is V, and the charge amount accumulated on the dielectric glass layer on the display electrode 50 is Q, , V and Q have the relationship of the following expression 2.
【0024】V=dQ/εS (式2)
(ただし放電空間は、放電中はプラズマ状態なので導電
体となる。)上記式1,式2において、dを小さくする
とコンデンサーとしての静電容量Cが大きくなり、又ア
ドレス時や表示時の放電電圧Vが低下することになる。V = dQ / εS (Equation 2) (However, since the discharge space is in a plasma state during discharge, it becomes a conductor.) In the above Equations 1 and 2, when d is reduced, the electrostatic capacitance C as a capacitor is obtained. In addition, the discharge voltage V becomes large and the discharge voltage V at the time of addressing and displaying decreases.
【0025】つまり、誘電体ガラス層の厚さを薄くする
ことにより、同じ電圧を印加しても電荷がたくさん溜ま
るので、高容量化と放電電圧の低減を図ることができ
る。That is, by reducing the thickness of the dielectric glass layer, a large amount of electric charge is accumulated even if the same voltage is applied, so that the capacity can be increased and the discharge voltage can be reduced.
【0026】しかし、単に誘電体ガラス層の膜厚を薄く
すると絶縁耐圧が低減し、アドレスパルスや表示パルス
を印加する時に誘電体層が絶縁破壊され易くなってしま
う。However, if the film thickness of the dielectric glass layer is simply reduced, the dielectric strength voltage is reduced, and the dielectric layer is liable to be broken down when an address pulse or a display pulse is applied.
【0027】そこで発明者らは、第1電極を構成する下
層の誘電体層に使用されているガラス粉体の平均粒径を
0.1μm〜1.5μmと細かくし、好ましくはその最
大粒径が平均粒径の3倍以内のガラス粉体を使用して、
そのガラスの軟化点より20℃以内の温度で焼成し、下
層を形成後次にこの上に軟化点が下層より平均100℃
低いガラスをその軟化点より50℃〜100℃高い温度
で焼成することによって、従来のNTSC並以下の放電
電圧とセルの静電容量を確保しつつ、一層の薄い誘電体
層で絶縁耐圧の向上および可視光の透過率の向上および
光散乱率の低減を図った。Therefore, the inventors have made the average particle diameter of the glass powder used in the lower dielectric layer constituting the first electrode as small as 0.1 μm to 1.5 μm, preferably the maximum particle diameter. Is a glass powder with an average particle size of 3 times or less,
The glass is fired at a temperature within 20 ° C from the softening point of the glass to form a lower layer, and then the softening point is 100 ° C above the lower layer on average.
By firing a low glass at a temperature 50 ° C to 100 ° C higher than its softening point, a discharge voltage and a cell capacitance equivalent to those of a conventional NTSC are secured, and the dielectric strength is improved with a thinner dielectric layer. In addition, the transmittance of visible light was improved and the light scattering rate was reduced.
【0028】上層を下層上全面に形成する場合と、上層
をバス電極近傍のみに形成する場合の2通りあるが、全
面に形成する場合は、パターニングする必要はないので
工数が少ないが、2層で10μm以下にするとアドレス
放電時にデータ電極とバス電極間の耐電圧が不足し、絶
縁耐圧が維持できなくなる。又、アドレス放電時は、バ
ス電極とデータ電極間にほぼ電圧が集中的に印加され、
透明電極とデータ電極間には、電圧はほとんど印加され
ていない。そのため、バス電極近傍のみ2層構造に誘電
体を形成しておき、透明電極上は一層のままにしておけ
ば上層のパターニングは必要となるが、透明電極間は誘
電体が薄くなるため、放電電圧の低減が可能である。そ
のためアドレス放電時の耐電圧と放電維持電圧の低減が
同時に計れ、しかも可視光の透明率の向上も計れる。There are two cases, that is, the upper layer is formed on the entire surface of the lower layer and the upper layer is formed only in the vicinity of the bus electrode. If it is less than 10 μm, the withstand voltage between the data electrode and the bus electrode becomes insufficient at the time of address discharge, and the withstand voltage cannot be maintained. In addition, during address discharge, a voltage is concentrated between the bus electrode and the data electrode,
Almost no voltage is applied between the transparent electrode and the data electrode. Therefore, if the dielectric is formed in a two-layer structure only in the vicinity of the bus electrode and the transparent electrode is left as a single layer, patterning of the upper layer is necessary. The voltage can be reduced. Therefore, the withstand voltage and the discharge sustaining voltage at the time of address discharge can be reduced at the same time, and the transparency of visible light can be improved.
【0029】〔実施の形態〕図1は、本実施の形態に係
る交流面放電型プラズマディスプレイパネル(以下、
「PDP」という)の要部断面図で、第1電極上の誘電
体がラス層が2層の積層となっている図である。図2は
同じく、本実施の形態に係るPDPの断面図で、バス電
極近傍のみが2層の積層構造となっている図である。
尚、これらの図では便宜上セルが3つだけ示されている
が、実際には赤(R),緑(G),青(B)の各色を発
光するセルが多数配列されてPDPが構成されている。
又、第1電極と第2電極とは、本来直交しているが説明
上並行になるように図示されている。[Embodiment] FIG. 1 shows an AC surface discharge type plasma display panel according to the present embodiment (hereinafter, referred to as
FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part of (“PDP”), in which the dielectric on the first electrode is a lamination of two lath layers. Similarly, FIG. 2 is a cross-sectional view of the PDP according to the present embodiment, in which only the vicinity of the bus electrode has a two-layer laminated structure.
Although only three cells are shown in these figures for the sake of convenience, a PDP is actually constructed by arranging a large number of cells that emit red (R), green (G), and blue (B) colors. ing.
Further, although the first electrode and the second electrode are originally orthogonal to each other, they are illustrated as being parallel in the description.
【0030】このPDPは、図1、図2に示すように前
面ガラス基板(フロントカバープレート)11に第1電
極としての放電電極(表示電極)12があり、表示電極
12はITOやSnO2の透明電極(12a)上にバスラ
インとしてAgまたは、Cr−Cu−Crの電極(12
b)が設けられた構成になっている。この表示電極12
の上に平均粒径が0.1μm〜1.5μmのガラス粉末
(好ましくは、最大粒径が平均粒径の3倍以内でのガラ
ス粉末)を用い、そのガラスの軟化点から20℃以内の
温度で焼成された誘電体ガラス下層13aが配され、さ
らにその上に前記下層の誘電体ガラスの軟化点より平均
100℃低い軟化点を有するガラスでこのガラスの軟化
点より50℃〜100℃高い温度で焼成された誘電体ガ
ラス上層13bが配されて成る前面パネル10と、背面
ガラス基板(バックプレート)19にアドレス電極18
があり、その上に蛍光体の発光を反射する酸化チタン
(TiO2 )入りのガラス粉末を用いて作成された誘電
体ガラス層17(ガラス組成は第1電極上の下層誘電体
と同じ),隔壁15,R,G,B各色の蛍光体層16が
配されてなる背面パネル20とを張り合わせ、前面パネ
ル10と背面パネル20の間に形成される放電空間30
内に放電ガスが封入された構成となっており、以下に示
すように作製される。As shown in FIGS. 1 and 2, this PDP has a discharge electrode (display electrode) 12 as a first electrode on a front glass substrate (front cover plate) 11, and the display electrode 12 is made of transparent ITO or SnO 2. A bus line on the electrode (12a) is made of Ag or Cr-Cu-Cr (12).
b) is provided. This display electrode 12
A glass powder having an average particle size of 0.1 μm to 1.5 μm (preferably a glass powder having a maximum particle size within 3 times the average particle size), and within 20 ° C. from the softening point of the glass. A dielectric glass lower layer 13a fired at a temperature is arranged, and a glass having a softening point which is lower than the softening point of the lower dielectric glass by 100 ° C on average is 50 ° C to 100 ° C higher than the softening point of the glass. An address electrode 18 is provided on a front panel 10 including a dielectric glass upper layer 13b fired at a temperature and a rear glass substrate (back plate) 19.
And a dielectric glass layer 17 (glass composition is the same as that of the lower layer dielectric on the first electrode) formed by using glass powder containing titanium oxide (TiO2) that reflects the emission of the phosphor, and partition walls. A discharge space 30 formed between the front panel 10 and the rear panel 20 is adhered to the rear panel 20 on which the phosphor layers 16 of 15, R, G, and B colors are arranged.
It has a structure in which a discharge gas is enclosed, and is manufactured as shown below.
【0031】前面パネル10の作成:前面パネル10
は、前面ガラス基板11に放電電極(表示電極)12を
作成し、その上を本実施の形態では、平均粒径が0.1
μm〜1.5μmのガラスで望ましくは最大粒径が平均
粒径の3倍以内で軟化点が600℃以下、望ましくは5
50℃〜575℃のガラス粉末を用いて、この軟化点か
ら20℃以内の温度で焼成して作成された誘電体ガラス
下層13aで覆い、次に下層の誘電体ガラスの軟化点よ
り平均100℃低い軟化点が望ましくは、440℃〜4
75℃のガラス粉末を用いて、軟化点より50℃〜10
0℃高い温度で焼成された誘電体ガラス上層13bで覆
い、この表面にMgO(酸化マグネシウム)から成る保
護層14を形成することによって作製する。Preparation of Front Panel 10: Front Panel 10
Forms a discharge electrode (display electrode) 12 on the front glass substrate 11, and the average particle diameter is 0.1
In the glass of μm to 1.5 μm, the maximum particle size is preferably within 3 times the average particle size and the softening point is 600 ° C. or less, preferably 5
It is covered with a dielectric glass lower layer 13a prepared by firing glass powder at 50 ° C. to 575 ° C. at a temperature within 20 ° C. from this softening point, and then an average of 100 ° C. from the softening point of the lower dielectric glass. A low softening point is preferably 440 ° C to 4
Using glass powder at 75 ° C, 50 ° C to 10 ° C from the softening point
It is manufactured by covering with a dielectric glass upper layer 13b baked at a temperature higher by 0 ° C. and forming a protective layer 14 made of MgO (magnesium oxide) on this surface.
【0032】(放電電極の作成について)放電電極(放
電維持電極)12は、以下のようにして、前面ガラス基
板11に形成する。図1を用いながら説明する。(Preparation of Discharge Electrode) The discharge electrode (discharge sustaining electrode) 12 is formed on the front glass substrate 11 as follows. This will be described with reference to FIG.
【0033】まず、前面ガラス基板11上に厚さ0.1
2μmのITO(酸化インジウムと酸化スズからなる透
明導体)をスパッタ法で全面に形成後フォトリソグラフ
法にて、巾150μmのストライプ状電極を形成し(電
極間距離は0.05mm)、次に感光性の銀ペーストを
全面に形成後、同じくフォトリソグラフ法にて、巾30
μmのAgバスラインをITO上に形成しその後、Ag
を550℃で焼成することによって第1の電極としての
放電電極12を形成する。First, a thickness of 0.1 is formed on the front glass substrate 11.
After forming 2 μm ITO (a transparent conductor made of indium oxide and tin oxide) on the entire surface by sputtering, a stripe electrode with a width of 150 μm is formed by photolithography (distance between electrodes is 0.05 mm), and then exposed. After forming a silver paste with a high-quality property on the entire surface, use a photolithographic method to make a width of 30
After forming the Ag bus line of μm on ITO,
Is fired at 550 ° C. to form the discharge electrode 12 as the first electrode.
【0034】(誘電体ガラス下層の作成について)誘電
体ガラス層13は、以下のようにして前面ガラス基板1
1および放電電極12上に形成する。(Preparation of Lower Layer of Dielectric Glass) The dielectric glass layer 13 is formed as follows on the front glass substrate 1.
1 and the discharge electrode 12.
【0035】先づ、下層用誘電体用ガラス(例えば、軟
化点550℃〜575℃のPbO−B2O3−SiO2−M
gO系ガラス)を湿式ジェットミルで平均粒径が0.1
μm〜1.5μmまで粉砕し、粉砕されたガラスの最大
粒径が各平均粒径の3倍以内になるように粉砕条件を設
定する。次にこのガラス粉末55重量%〜70重量%と
エチルセルロースまたは、アクリル樹脂を1重量%〜2
0重量%を含むターピネオール、またはブチルカルビト
ールアセテートから成るバインダー成分30重量%〜4
5重量%を、三本ロールでよく混練し、ダイコート用ま
たは印刷用ペーストを作成する。又、必要に応じて可塑
剤、例えばフタル酸ジオクチル,フタル酸ジブチル,リ
ン酸トリフェニル,リン酸トリブチル等や分散剤,グリ
セロールモノオレート,ソルビタンセスキオレヘート,
ホモゲノール(Kaoコーポレーション社製品名)アル
キルアリル基のリン酸エステル等を0.1〜0.4重量
%添加して、印刷性を向上させても良い。First, a glass for a lower dielectric layer (for example, PbO-B2O3-SiO2-M having a softening point of 550 ° C to 575 ° C) is used.
gO glass) with a wet jet mill having an average particle size of 0.1
The crushing conditions are set so that the maximum particle size of the crushed glass is within 3 times each average particle size. Next, 55 wt% to 70 wt% of this glass powder and 1 wt% to 2 wt% of ethyl cellulose or acrylic resin are added.
Binder component consisting of terpineol containing 0% by weight or butyl carbitol acetate 30% by weight to 4
5% by weight is thoroughly kneaded with a three-roll mill to prepare a paste for die coating or printing. In addition, if necessary, a plasticizer such as dioctyl phthalate, dibutyl phthalate, triphenyl phosphate, tributyl phosphate or the like, a dispersant, glycerol monooleate, sorbitan sesquioleate,
The printability may be improved by adding 0.1 to 0.4% by weight of homogenol (product name of Kao Corporation) alkyl allyl group phosphate.
【0036】次にこのペーストを用いてガラス基板1
1,電極12上にダイコート法またはスクリーン印刷法
で印刷し乾燥後ガラスの軟化点より少し高い560℃〜
590℃で焼成する。Next, using this paste, the glass substrate 1
1, printed on the electrode 12 by a die coating method or a screen printing method and dried and then slightly higher than the softening point of the glass 560 ° C.
Bake at 590 ° C.
【0037】(誘電体ガラス上層の作成について)次
に、上層用誘電体ガラス、例えば軟化点が440℃〜4
75℃のPbO−B2O3−SiO2−CaO系ガラス
を、ボールミルにて平均粒径2.5μmまで粉砕し、次
にこのガラス粉末55重量%〜70重量%とエチルセル
ロースまたは、アクリル樹脂を1重量%〜20重量%を
含むターピネオールまたはブチルカルビトールアセテー
トから成るバインダー成分30重量%〜45重量%を、
三本ロールでよく混練し、印刷用ペーストまたはダイコ
ート用ペーストを作成する。(Regarding Preparation of Upper Layer of Dielectric Glass) Next, the upper layer of dielectric glass, for example, having a softening point of 440 ° C. to 4 °
PbO-B2O3-SiO2-CaO-based glass at 75 ° C was crushed with a ball mill to an average particle size of 2.5 µm, and then 55% by weight to 70% by weight of this glass powder and 1% by weight of ethyl cellulose or acrylic resin were added. 30% to 45% by weight of a binder component consisting of terpineol or butyl carbitol acetate containing 20% by weight,
Knead well with a three-roll to prepare printing paste or die coating paste.
【0038】又、必要に応じて可塑剤、例えばフタル酸
ジオクチル,フタル酸シブチル,リン酸トリフェニル,
リン酸トリブチル等の分散剤,グリセロールモノオレー
ト,ソルビタンセスキオレート,ホモゲノール(KaO
コーポレーション社製品名)アルキルアリル基のリン酸
エステル等を0.1〜0.4重量%添加して、印刷性を
向上させても良い。If necessary, a plasticizer such as dioctyl phthalate, cibutyl phthalate, triphenyl phosphate,
Dispersing agents such as tributyl phosphate, glycerol monooleate, sorbitan sesquioleate, homogenol (KaO
The printability may be improved by adding 0.1 to 0.4% by weight of a phosphoric acid ester of an alkylallyl group, etc., manufactured by Corporation.
【0039】次にこのペーストを用いて誘電体下層13
a上に電極スクリーン印刷法でまたは、ダイコート法で
印刷し乾燥後ガラスの軟化点より50℃〜100℃高い
520℃〜590℃で焼成する。Next, using this paste, the dielectric lower layer 13
It is printed on a by an electrode screen printing method or a die coating method, dried, and then baked at 520 ° C to 590 ° C which is 50 ° C to 100 ° C higher than the softening point of the glass.
【0040】なお、バス電極12b近傍だけに上層を作
成する場合は、スクリーン印刷法にてパターニングして
必要な所だけを印刷し、乾燥後ガラスの軟化点より50
℃〜100℃高い520℃〜590℃で焼成する。When the upper layer is formed only in the vicinity of the bus electrode 12b, patterning is performed by a screen printing method to print only a necessary portion, and after drying, the softening point of the glass is 50.
Baking at 520 ° C to 590 ° C, which is higher by 100 ° C to 100 ° C.
【0041】(CVD法による保護層の形成について)
図3は保護層14を形成する際に用いるCVD装置の概
略図である。(Regarding formation of protective layer by CVD method)
FIG. 3 is a schematic view of a CVD apparatus used when forming the protective layer 14.
【0042】このCVD装置は、熱CVD及びプラズマ
CVDのいずれも行うことができるものであって、CV
D装置本体45の中には、ガラス基板47(図1におけ
る放電電極12及または誘電体層13を形成した前面ガ
ラス基板11)を加熱するヒータ部46が設けられ、C
VD装置本体45内は排気装置49で減圧にすることが
できるようになっている。また、CVD装置本体45の
中にプラズマを発生させるための高周波電源48が設置
されている。This CVD apparatus is capable of performing both thermal CVD and plasma CVD.
A heater unit 46 for heating a glass substrate 47 (the front electrode 11 on which the discharge electrode 12 and the dielectric layer 13 are formed in FIG. 1) is provided in the D device body 45, and C
The inside of the VD device body 45 can be depressurized by an exhaust device 49. Further, a high frequency power source 48 for generating plasma is installed in the CVD device body 45.
【0043】Arガスボンベ41a,41bは、キャリ
アであるアルゴン[Ar]ガスを、気化器(バブラー)
42,43を経由してCVD装置本体45に供給するも
のである。気化器42は、MgOの原料(ソース)とな
る金属キレートを加熱して貯え、Arガスボンベ41a
からArガスを吹き込むことにより、この金属キレート
を蒸発させてCVD装置本体45に送り込むことができ
るようになっている。The Ar gas cylinders 41a and 41b use a vaporizer (bubbler) for the argon [Ar] gas that is a carrier.
It is supplied to the CVD apparatus main body 45 via 42 and 43. The vaporizer 42 heats and stores a metal chelate that is a raw material (source) of MgO, and the Ar gas cylinder 41a.
The metal chelate can be evaporated and sent to the CVD apparatus main body 45 by blowing Ar gas from the inside.
【0044】キレートの具体例としては、アセチルアセ
トンマグネシウム〔Mg(C5H7O2)2〕,マグネシウ
ムジピバブロイルメタン〔Mg(C11H19O2)2〕であ
る。Specific examples of the chelate include acetylacetone magnesium [Mg (C5H7O2) 2] and magnesium dipivabroylmethane [Mg (C11H19O2) 2].
【0045】酸素ボンベ44は、反応ガスである酸素
[O2]をCVD装置本体45に供給するものである。The oxygen cylinder 44 supplies oxygen [O 2] which is a reaction gas to the CVD apparatus main body 45.
【0046】(1)このCVD装置を用いて熱CVDを
行う場合、ヒータ部46の上に、誘電体層を上にしてガ
ラス基板47を置き、所定の温度(250℃)に加熱す
ると共に、反応容器内を排気装置49で減圧にする(数
十Torr程度)。(1) When performing thermal CVD using this CVD apparatus, a glass substrate 47 is placed on the heater portion 46 with the dielectric layer facing upward and heated to a predetermined temperature (250 ° C.). The pressure inside the reaction container is reduced by the exhaust device 49 (several tens Torr).
【0047】そして、アセチルアセトンマグネシウムよ
りMgOを形成する時は気化器42をマグネシウムジピ
バブロイルメタンよりMgO保護層14を形成する時は
気化器43で、ソースとなるキレートを、所定の気化温
度に加熱しながら、Arガスボンベ41a又は41bか
らArガスを送り込む。また、これと同時に、酸素ボン
ベ44から酸素を流す。The vaporizer 42 is used to form MgO from magnesium acetylacetone, and the vaporizer 43 is used to form the MgO protective layer 14 from magnesium dipivabroyl methane. Ar gas is sent from the Ar gas cylinder 41a or 41b while heating. At the same time, oxygen is supplied from the oxygen cylinder 44.
【0048】これによって、CVD装置本体45内に送
り込まれるキレート化合物が、酸素と反応し、ガラス基
板47の電極上にMgO保護膜が形成される。As a result, the chelate compound fed into the CVD apparatus body 45 reacts with oxygen to form a MgO protective film on the electrode of the glass substrate 47.
【0049】上記構成のCVD装置を用いてプラズマC
VDを行う場合も、熱CVDの場合とほぼ同様に行う
が、ヒータ部46によるガラス基板47の加熱温度は2
50℃程度に設定し、排気装置49を用いて反応容器内
を10Torr程度に減圧し、高周波電源48を駆動し
て13.56MHzの高周波電界を印加することによっ
て、CVD装置本体45内にプラズマを発生させなが
ら、金属酸化物層またはMgOからなる保護層を形成す
る。Plasma C is formed by using the CVD apparatus having the above structure.
The VD is also performed in the same manner as in the thermal CVD, but the heating temperature of the glass substrate 47 by the heater portion 46 is 2
The temperature is set to about 50 ° C., the pressure inside the reaction vessel is reduced to about 10 Torr by using the exhaust device 49, and the high frequency power source 48 is driven to apply a high frequency electric field of 13.56 MHz to generate plasma in the CVD device main body 45. While generating, a metal oxide layer or a protective layer made of MgO is formed.
【0050】このように熱CVD法またはプラズマCV
D法によって保護層を形成すれば、緻密な保護層を形成
することができる。As described above, the thermal CVD method or the plasma CV method is used.
If the protective layer is formed by the D method, a dense protective layer can be formed.
【0051】誘電体ガラス層の厚みは、薄いほどパネル
輝度の向上と放電電圧を低減するという効果は顕著にな
るので、絶縁耐圧が低下しない範囲内であればできるだ
け薄く設定するのが望ましい。The thinner the dielectric glass layer, the more remarkable the effect of improving the panel brightness and reducing the discharge voltage becomes. Therefore, it is desirable to set the thickness of the dielectric glass layer as thin as possible within the range where the withstand voltage does not decrease.
【0052】従って、本実施の形態では、誘電体ガラス
層13の厚みを、従来の厚み15μm〜30μmに設定
する。すなわち下層が5μm〜15μm、上層が10μ
m〜15μmとする。Therefore, in the present embodiment, the thickness of the dielectric glass layer 13 is set to the conventional thickness of 15 μm to 30 μm. That is, the lower layer is 5 μm to 15 μm, and the upper layer is 10 μm.
m to 15 μm.
【0053】次に、誘電体ガラス層13上にMgOから
なる保護層14を形成する。本実施の形態では、CVD
法(熱CVD法またはプラズマCVD法)を用いて、
(100)面または(110)面配向の酸化マグネシウ
ム(MgO)からなる保護層を形成する。CVD法によ
る保護層14の形成については、金属酸化物と同様の方
法で形成する。本実施の形態では、プラズマCVD法で
1.0μmの厚みに形成している。Next, a protective layer 14 made of MgO is formed on the dielectric glass layer 13. In the present embodiment, the CVD
Method (thermal CVD method or plasma CVD method)
A protective layer made of magnesium oxide (MgO) having a (100) plane orientation or a (110) plane orientation is formed. The protective layer 14 is formed by the CVD method in the same manner as the metal oxide. In this embodiment, it is formed to a thickness of 1.0 μm by the plasma CVD method.
【0054】背面パネル20の作製:まず、背面ガラス
基板19にフォトレジスト法によりレジストの凹部を形
成し、この凹部に放電電極12と同様にして第2の電極
としてのアドレス電極18を形成し(リフトオフ法)、
その上に前面パネル10の場合と同様の種類の平均粒子
径(0.1μm〜3.5μm)と粒度分布を有するガラ
ス粉末に同じく平均粒子径が0.1μm〜0.5μmの
酸化チタンTiO2を添加した白色誘電体ガラス層17を
形成する。白色誘電体ガラス層の形成方法や誘電体イン
キペーストの作成方法は、前面パネルの誘電体ガラスと
同様の方法である。白色誘電体ガラス層の焼成温度は、
540℃〜580℃とした。Fabrication of back panel 20: First, a resist recess is formed on the back glass substrate 19 by a photoresist method, and an address electrode 18 as a second electrode is formed in this recess in the same manner as the discharge electrode 12. Lift-off method),
Further, on the glass powder having the same kind of average particle size (0.1 μm to 3.5 μm) and particle size distribution as in the case of the front panel 10, titanium oxide TiO 2 having an average particle size of 0.1 μm to 0.5 μm is also added. The added white dielectric glass layer 17 is formed. The method for forming the white dielectric glass layer and the method for forming the dielectric ink paste are the same as those for the dielectric glass of the front panel. The firing temperature of the white dielectric glass layer is
The temperature was 540 ° C to 580 ° C.
【0055】そして、スクリーン印刷法やプラズマ溶射
法によって作成された隔壁15を所定のピッチで固着す
る。そして、隔壁15に挟まれた各空間内に、赤色
(R)蛍光体,緑色(G)蛍光体,青色(B)蛍光体の
中の1つを配設することによって蛍光体層16を形成す
る。各色R,G,Bの蛍光体としては、一般的にPDP
に用いられている蛍光体を用いることができるが、ここ
では次の蛍光体を用いる。Then, the partition walls 15 formed by the screen printing method or the plasma spraying method are fixed at a predetermined pitch. Then, one of red (R) phosphor, green (G) phosphor, and blue (B) phosphor is arranged in each space sandwiched by the partition walls 15 to form the phosphor layer 16. To do. Generally, PDP is used as the phosphor of each color R, G, B.
Although the phosphors used in the above can be used, the following phosphors are used here.
【0056】
「赤色蛍光体」: Y2O3:Eu3+
「緑色蛍光体」: Zn2SiO4:Mn
「青色蛍光体」: BaMgAl10O17:Eu2+
以下では、上記の隔壁内に入れる蛍光体の作成方法につ
いて図5を用いて述べる。先ず、サーバー71内に平均
粒径2.0μmの赤色蛍光体であるY2O3:Eu3+粉末
50重量%,エチルセルローズ1.0重量%,溶剤(α
−ターピネオール)49重量%から成る蛍光体混合物を
サンドミルで混合撹はんし、15センチポイズ(CP)
とした塗布液を入れ、ポンプ72の圧力で噴射装置のノ
ズル部73(ノズル径60μm)から赤色蛍光体形成用
液体をストライプ形状の隔壁内に噴射させると同時に基
板を直線状に移動させて、赤色蛍光体ラインを形成す
る。同様にして、赤色(BaMgAl10O17:Eu2
+),緑色(Zn2SiO:Mn)のラインを形成した後
500℃で10分間焼成し、蛍光体層16を形成する。“Red phosphor”: Y2O3: Eu3 + “Green phosphor”: Zn2SiO4: Mn “Blue phosphor”: BaMgAl10O17: Eu2 + In the following, referring to FIG. Describe. First, in the server 71, 50% by weight of Y2O3: Eu3 + powder, which is a red phosphor having an average particle size of 2.0 μm, 1.0% by weight of ethyl cellulose, a solvent (α
-Terpineol) A phosphor mixture consisting of 49% by weight is mixed and stirred in a sand mill to obtain 15 centipoise (CP).
The coating liquid is added, and the red phosphor forming liquid is jetted from the nozzle portion 73 (nozzle diameter 60 μm) of the jetting device into the stripe-shaped partition wall by the pressure of the pump 72, and at the same time, the substrate is linearly moved, Form a red phosphor line. Similarly, red (BaMgAl10O17: Eu2
+) And green (Zn2SiO: Mn) lines are formed and then baked at 500 ° C. for 10 minutes to form the phosphor layer 16.
【0057】前面パネル10及び背面パネル20の張り
合わせによるPDPの作製:次に、前述のようにして作
製した前面パネル10と背面パネル20とを封着用ガラ
スを用いて張り合わせると共に、隔壁15で仕切られた
放電空間30内を高真空(8×10-7Torr)に排気
した後、所定の組成の放電ガスを所定の圧力で封入する
ことによってPDPを作製する。Production of PDP by pasting front panel 10 and back panel 20: Next, the front panel 10 and the back panel 20 produced as described above are pasted together using sealing glass, and are separated by the partition wall 15. The discharge space 30 is evacuated to a high vacuum (8 × 10 -7 Torr), and then a discharge gas having a predetermined composition is filled at a predetermined pressure to produce a PDP.
【0058】このようにして作製されたPDPは、各電
極(放電電極及びアドレス電極)が誘電体ガラス下層と
緻密に結合し、気泡が極めて少ない構造をなしている。The PDP thus manufactured has a structure in which each electrode (discharge electrode and address electrode) is closely bonded to the lower layer of the dielectric glass, and the number of bubbles is extremely small.
【0059】又、誘電体ガラス上層は、ガラスの軟化点
より50℃〜100℃高い温度焼成しているため、気泡
は完全にガラス中からぬけ出ている。そのため同じ誘電
体の膜厚であるなら下層,上層2層構造の方が透過率は
高くなる。Further, since the upper layer of the dielectric glass is fired at a temperature 50 ° C. to 100 ° C. higher than the softening point of the glass, the bubbles are completely removed from the glass. Therefore, if the thickness of the dielectric is the same, the lower layer and the upper two-layer structure have higher transmittance.
【0060】なお、本実施形態では、PDPのセルサイ
ズは、40インチクラスのハイビジョンテレビに適合す
るよう、セルピッチを0.2mm以下、放電電極12の
電極間距離dを0.1mm以下に設定する。In this embodiment, the cell size of the PDP is set so that the cell pitch is 0.2 mm or less and the inter-electrode distance d of the discharge electrodes 12 is 0.1 mm or less so as to be suitable for a 40-inch class high-definition television. .
【0061】また、封入する放電ガスの組成は、従来か
ら用いられているNe−Xe系であるが、Xeの含有量
を5体積%以上に、封入圧力は500〜760Torr
に設定することで、セルの発光輝度の向上を図ってい
る。The composition of the discharge gas to be sealed is the Ne--Xe system which has been used conventionally, but the content of Xe is 5% by volume or more, and the sealing pressure is 500 to 760 Torr.
By setting to, the emission brightness of the cell is improved.
【0062】以上のように本実施の形態のPDPは、放
電電圧の低減を図れるので、動作時にパネル各構成部位
に掛かる負荷が低減される。しかも絶縁耐圧が向上され
ているので、例えば長期に及ぶ繰り返し使用に対して、
高いパネル輝度や低い放電電圧等の優れた初期性能を維
持することができ、信頼性に優れたものである。As described above, since the PDP of this embodiment can reduce the discharge voltage, the load applied to each component of the panel during operation can be reduced. Moreover, since the dielectric strength is improved, for example, for repeated use over a long period,
Excellent initial performance such as high panel brightness and low discharge voltage can be maintained, and reliability is excellent.
【0063】なお、本発明においては、背面パネル20
側の誘電体ガラス層17よりも、前面パネル10側の誘
電体ガラス層13の方が、輝度及び放電電圧に与える影
響が大きいので、前面パネル10側の誘電体ガラス層を
より薄くすれば、輝度向上効果及び放電電圧低減の効果
を得ることができる。In the present invention, the back panel 20 is used.
Since the dielectric glass layer 13 on the front panel 10 side has a greater effect on the luminance and the discharge voltage than the dielectric glass layer 17 on the side, if the dielectric glass layer on the front panel 10 side is made thinner, It is possible to obtain the effect of improving the brightness and the effect of reducing the discharge voltage.
【0064】[0064]
【実施例】〔実施例1〜6,9〜14および,17〜2
0,比較例7,8,15,16,21,22〕[Examples] [Examples 1 to 6, 9 to 14 and 17 to 2
0, Comparative Examples 7, 8, 15, 16, 21, 22]
【0065】[0065]
【表1】 [Table 1]
【0066】[0066]
【表2】 [Table 2]
【0067】[0067]
【表3】 [Table 3]
【0068】[0068]
【表4】 [Table 4]
【0069】[0069]
【表5】 [Table 5]
【0070】[0070]
【表6】 [Table 6]
【0071】[0071]
【表7】 [Table 7]
【0072】[0072]
【表8】 [Table 8]
【0073】[0073]
【表9】 [Table 9]
【0074】(表1)〜(表6),(表7)〜(表9)
に示した試料No.1〜6および9〜14,17〜20
のPDPは、前記実施の形態に基づいて透明電極および
その上のバス電極から成る第1電極上を、ガラスの軟化
点が550℃〜575℃で平均粒径が、0.1〜1.5
μmで最大粒径が平均粒径の3倍以内のガラス粉末を用
いて560℃〜590℃で焼成した誘電体ガラス層でお
おい、その膜厚が5μm〜15μmの誘電体下層とす
る。(Table 1) to (Table 6), (Table 7) to (Table 9)
Sample No. 1-6 and 9-14, 17-20
According to the above-described embodiment, the PDP has a glass softening point of 550 ° C. to 575 ° C. and an average particle size of 0.1 to 1.5 on the first electrode including the transparent electrode and the bus electrode thereon.
A dielectric glass layer fired at 560 ° C. to 590 ° C. using a glass powder having a maximum particle size of 3 μm or less of the average particle size in μm is used as a dielectric lower layer having a film thickness of 5 μm to 15 μm.
【0075】ガラスの軟化点が440℃〜475℃のガ
ラス粉を用いて520℃〜590℃で焼成した誘電体
(上層)を下層全面あるいは、バス電極近傍上にその厚
みが5μm〜15μmになるように積層して複合誘電体
ほ形成したものであって、PDPのセルサイズは、42
インチのハイビジョンテレビ用のディスプレイに合わせ
て、隔壁15の高さは0.15mm、隔壁24の間隔
(セルピッチ)は0.15mmに設定し、放電電極12
の電極間距離dは0.05mmに設定した。The dielectric (upper layer) fired at 520 ° C. to 590 ° C. using glass powder having a softening point of 440 ° C. to 475 ° C. has a thickness of 5 μm to 15 μm on the entire lower layer or near the bus electrodes. The PDP has a cell size of 42.
The height of the barrier ribs 15 is set to 0.15 mm and the interval (cell pitch) of the barrier ribs 24 is set to 0.15 mm according to the display for an inch high-definition television.
The distance d between the electrodes was set to 0.05 mm.
【0076】そして、Xeの含有量が5体積%のNe−
Xe系の混合ガスを封入圧600Torrに封入した。Then, Ne- containing 5% by volume of Xe was used.
The Xe-based mixed gas was sealed at a sealing pressure of 600 Torr.
【0077】MgO保護層14の形成方法については、
保護層をプラズマCVD法で作製した。また、プラズマ
CVD法においては、Magnesium Acetylacetone〔M
g(C5H7O2)2〕又は、Magnesium Dipivaloyl Met
hane〔Mg(C11H19O2)2〕をソースとして用いた。Regarding the method of forming the MgO protective layer 14,
The protective layer was formed by the plasma CVD method. Further, in the plasma CVD method, the magnesium acetate acetone [M
g (C5H7O2) 2] or Magnesium Dipivaloyl Met
Hane [Mg (C11H19O2) 2] was used as the source.
【0078】その他の条件としては、プラズマCVD法
では、気化器の温度125℃、ガラス基板47の加熱温
度は250℃、Arガスは1L/分、酸素は2L/分で
1分間ガラス基板47上に流し、10Torrに減圧
し、高周波電源48から13.56MHzの高周波電界
300Wで20秒間印加して膜厚1.0μmのMgO保
護層を形成した(膜形成速度1.0μm/分)。As other conditions, in the plasma CVD method, the temperature of the vaporizer is 125 ° C., the heating temperature of the glass substrate 47 is 250 ° C., Ar gas is 1 L / min, and oxygen is 2 L / min. Flow rate, and the pressure was reduced to 10 Torr, and a high frequency electric field of 13.56 MHz and a high frequency electric field of 300 W was applied for 20 seconds from a high frequency power source 48 to form a MgO protective layer having a film thickness of 1.0 μm (film forming rate 1.0 μm / min).
【0079】このようにして形成したMgO保護層をX
線解析で結晶面を調べたところ、Mg(C5H7O2)2,
Mg(C11H19O2)2のいずれのソースでも全ての試料
において(100)面に配向した結晶であった。The MgO protective layer formed in this manner is treated with X
When the crystal plane was examined by line analysis, Mg (C5H7O2) 2,
In all the samples, any source of Mg (C11H19O2) 2 was crystals oriented in the (100) plane.
【0080】試料No.1〜8のPDPは、フロントパ
ネルの誘電体ガラス下層にPbO−B2O3−SiO2−
MgO−Al2O3ガラスを使用し、試料No.9〜16
はZnO−B2O3−SiO2−Al2O3−CaO系の誘
電体ガラスを使用し、試料No.17〜22は、Nb2O
3−ZnO−B2O3−SiO2−CaO系をそれぞれ使用
した。Sample No. PDPs 1 to 8 are PbO-B2O3-SiO2-on the lower layer of the dielectric glass on the front panel.
Sample No. 9 to 16 using MgO-Al2O3 glass
ZnO-B2O3-SiO2-Al2O3-CaO-based dielectric glass is used for the samples Nos. 17 to 22 are Nb2O.
The 3-ZnO-B2O3-SiO2-CaO system was used respectively.
【0081】フロントパネルの誘電体ガラス上層につい
ては、試料No1〜8は、PbO−B2O3−SiO2−
CaO系ガラスを使用、試料No.9〜16はP2O5−
ZnO−Al2O3−CaO系ガラスを使用、試料No1
7〜22はBi2O3−ZnO−B2O3−SiO2−Ca
O系ガラスをそれぞれ使用した。Regarding the dielectric glass upper layer of the front panel, Sample Nos. 1 to 8 were PbO-B2O3-SiO2-
Using CaO-based glass, sample Nos. 9-16 are P2O5-
Using ZnO-Al2O3-CaO glass, sample No1
7 to 22 are Bi2O3-ZnO-B2O3-SiO2-Ca.
O-based glass was used.
【0082】背面パネルの誘電体ガラス層は、前面パネ
ルの下層と同一のガラス組成に酸化チタン(TiO2)
を添加した誘電体を用いた。The dielectric glass layer of the rear panel has the same glass composition as that of the lower layer of the front panel and is made of titanium oxide (TiO 2).
A dielectric material to which is added is used.
【0083】放電ガスはNe−Xe(5体積%)の混合
ガスを使用した。なお、MgOの保護層の形成は全てプ
ラズマCVD法で行なった。プラズマCVD法に用いて
るMgOの原料ガスは、マグネシウムアセセルアセトン
および、マグネシウムジピバブロイルメタンの違いによ
っては、ほとんど特性による違いはなかった。As the discharge gas, a mixed gas of Ne-Xe (5% by volume) was used. The formation of the protective layer of MgO was all performed by the plasma CVD method. The source gas of MgO used in the plasma CVD method had almost no characteristic difference depending on the difference between magnesium accelacetone and magnesium dipivabroylmethane.
【0084】試料No.7,8,13,14,21,2
2,29,30,35,36のPDPは、比較例であっ
て、誘電体ガラス層を形成する時に使用した下層誘電体
ガラスの粉体の平均粒径が、No7は3μmで最大粒径
が6μm,No8の平均粒径は1.5μmで最大粒径が
6μm(平均粒径の4倍),No15は平均粒径が3μ
mで最大粒径は6μm,No16は平均粒径が1.5μ
mで最大粒径が6.0μm(平均粒径の4倍),No2
1は平均粒径3μm,最大粒径が9μm,No22は平
均粒径1.5μm,最大粒径が6.0μm(平均粒径の
4倍)を用いた結果であり、それ以外は、試料No1〜
6,9〜14,17〜20のPDPと同様の設定にして
ある。Sample No. 7,8,13,14,21,2
The PDPs 2, 29, 30, 35, and 36 are comparative examples, and the average particle size of the powder of the lower dielectric glass used when forming the dielectric glass layer was No. 7, and the maximum particle size was 3 μm. 6 μm, the average particle size of No 8 is 1.5 μm and the maximum particle size is 6 μm (4 times the average particle size), and the average particle size of No 15 is 3 μm
m has a maximum particle size of 6 μm, and No 16 has an average particle size of 1.5 μm.
m has a maximum particle size of 6.0 μm (4 times the average particle size), No2
No. 1 is the result of using an average particle size of 3 μm and maximum particle size of 9 μm, and No. 22 is an average particle size of 1.5 μm and maximum particle size of 6.0 μm (4 times the average particle size). ~
The settings are the same as those of the PDPs 6, 9, 14 and 17-20.
【0085】〔実験〕(表7)〜(表9)
実験1;以上のようにして作製した試料No.1〜22
のPDPについて、第1電極上の誘電体ガラスの気泡の
大きさは電子顕微鏡で観察して、平均値で求めた。[Experiment] (Table 7) to (Table 9) Experiment 1; Sample No. manufactured as described above. 1-22
With respect to the PDP, the size of the bubbles of the dielectric glass on the first electrode was observed by an electron microscope, and the average value was obtained.
【0086】実験2;誘電体の透過率と光散乱率(ヘイ
ズ値)は、分光機で測定した値である。Experiment 2; Dielectric transmittance and light scattering rate (haze value) are values measured by a spectroscope.
【0087】実験3;誘電体ガラス層の耐圧テストは、
パネルを封着する前にフロントパネルを抜き取って放電
電極をプラスとし、誘電体ガラス層上に銀ペーストを印
刷して、乾燥後それをマイナスとして、電圧を印加し絶
縁破壊がおこる電圧を耐電圧とした。パネル輝度は各試
作PDPで絶縁破壊しにくい条件である放電維持電圧1
50V程度,周波数30KHz程度で放電させた時の測
定値である。前記(表7)〜(表9)に結果を併記し
た。Experiment 3; the withstand voltage test of the dielectric glass layer
Before sealing the panel, pull out the front panel and make the discharge electrode positive, print the silver paste on the dielectric glass layer, and after drying, make it negative, and apply a voltage to cause dielectric breakdown and withstand voltage. And The panel brightness is the condition that each prototype PDP is less likely to cause dielectric breakdown. Discharge sustaining voltage 1
It is a measured value when discharged at about 50 V and a frequency of about 30 KHz. The results are shown in Tables 7 to 9 above.
【0088】実験4;次に、試料No.1〜22のPD
Pと同様のものを20枚づつ作製して、これらを加速寿
命に供した。Experiment 4; Next, sample No. 1-22 PD
Twenty sheets of the same type as P were produced and subjected to accelerated life.
【0089】この加速寿命テストは、通常の使用条件よ
りもかなり過酷な条件下で行い、放電維持電圧200
V、周波数50KHzで4時間連続で放電した。その
後、パネル内の誘電体ガラス層等の破壊状況(パネルの
絶縁耐圧欠陥)を調べた。この結果も(表7)〜(表
9)に併記した。This accelerated life test was carried out under much severer conditions than normal use conditions, and the discharge sustaining voltage of 200
V was discharged at a frequency of 50 KHz for 4 hours continuously. Then, the state of destruction of the dielectric glass layer and the like in the panel (insulation breakdown voltage defect of the panel) was examined. The results are also shown in (Table 7) to (Table 9).
【0090】考察;試料No.1〜6,9〜14,17
〜20の輝度の測定結果では(表7)〜(表9)、従来
のPDPのパネル輝度が400cd/m2程度(「フラ
ットパネルディスプレイ」1997年198頁(FLA
T−PANEL DISPLAY1997,PP19
8))であるのに比べ、優れたパネルの輝度を示してい
る。Consideration; Sample No. 1-6, 9-14, 17
According to the luminance measurement results of ˜20 (Table 7) to (Table 9), the panel brightness of the conventional PDP is about 400 cd / m 2 (“Flat panel display” 1997, p. 198 (FLA
T-PANEL DISPLAY 1997, PP19
8)), it shows excellent panel brightness.
【0091】これより誘電体ガラス層全体を薄く形成
し、しかも下層誘電体を気泡の少ないガラス層にするこ
とにより、パネル輝度を向上できることが分かる。又光
の散乱も少ないことから画像のぼやけゆがみも少ない。From this, it is understood that the panel brightness can be improved by forming the entire dielectric glass layer thin and making the lower dielectric layer a glass layer having few bubbles. Also, since there is little light scattering, there is little blurring and distortion of the image.
【0092】また、気泡の状態の観察,誘電体の耐電圧
試験,パネルの加速寿命テストの結果から、ガラスの平
均粒径を0.1μm〜1.5μmにし最大粒径が平均粒
径の3倍以内のガラスを用いて誘電体ガラス層を作成し
た試料No.1〜6,9〜14,17〜20のPDPで
は、ガラスの平均粒径を1.5μm以上にしたガラスま
たは、1.5μm以下でも最大粒径が平均粒径の3倍を
こえるガラスを用いて誘電体ガラス層を作成した試料N
o.7,15,16,21,22のPDPと比べて、絶
縁耐圧および表面平滑性に優れていることが明らかであ
る。Also, from the results of the observation of the state of bubbles, the dielectric strength test, and the accelerated life test of the panel, the average particle diameter of glass was set to 0.1 μm to 1.5 μm and the maximum particle diameter was 3 Sample No. in which the dielectric glass layer was formed by using glass within twice the number. In PDPs 1 to 6, 9 to 14, and 17 to 20, glass having an average particle diameter of 1.5 μm or more or glass having a maximum particle diameter of 3 times the average particle diameter of 1.5 μm or less is used. Sample N having a dielectric glass layer formed by
o. It is apparent that the dielectric strength and surface smoothness are superior to those of the PDPs of 7, 15, 16, 21, and 22.
【0093】これらの結果から、電極をガラスの平均粒
径が0.1μm〜1.5μmにし、最大粒径が平均粒径
の3倍以内のガラス粉末を用いて作成した誘電体下層で
コートし、その上にガラスの軟化点より50℃〜100
℃の高い温度で焼成した誘電体ガラス上層を形成するこ
とで、従来よりも輝度の向上と画像の鮮明さを計ること
が出来、しかも絶縁耐圧の向上も図ることができること
が分かる。From these results, the electrodes were coated with a dielectric lower layer prepared by using glass powder having an average glass particle size of 0.1 μm to 1.5 μm and having a maximum particle size within 3 times the average particle size. , Above that, the softening point of the glass is 50 ° C to 100
It can be seen that by forming the dielectric glass upper layer that is fired at a high temperature of ° C, it is possible to improve the brightness and the sharpness of the image more than before, and also to improve the dielectric strength voltage.
【0094】なお、試料No.7,15,21のPDP
でガラスの平均粒径を3μm以上にしたもの、およびN
o.8,16,22のPDPでガラスの平均粒径は1.
5μmであるが、最大粒径が6μm(平均粒径の4倍)
で作成した誘電体下層のものは、Ag電極上の誘電体ガ
ラス層の厚みが、試料No.1〜6,9〜14,17〜
20と比べて同じにもかかわらず絶縁破壊しやすく、輝
度が低く、光散乱率も高いことがわかる。Sample No. 7,15,21 PDP
Glass having an average particle diameter of 3 μm or more, and N
o. The average particle size of the glass is 1.
5 μm, but maximum particle size is 6 μm (4 times the average particle size)
In the case of the dielectric lower layer prepared in the above step, the thickness of the dielectric glass layer on the Ag electrode is the same as the sample No. 1-6, 9-14, 17-
It can be seen that, even though it is the same as 20, the dielectric breakdown is likely to occur, the luminance is low, and the light scattering rate is high, even though it is the same as 20.
【0095】[0095]
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明のプラズ
マディスプレイパネルによると、第1の電極と当該第1
の電極を覆う誘電体ガラス層とを配したフロントカバー
プレートと、第2の電極と蛍光体層とを配したバックプ
レートとが対向してなるプラズマディスプレイパネルに
おいて、前記第1の電極上の誘電体層が前記第1電極と
接する下層と、前記第1電極と接しない上層からなる2
層構造のガラス層であって、前記下層が平均粒径0.1
μm〜1.5μmであるガラス粉を用いて、そのガラス
の軟化点から20℃以内の温度で焼成し、次に前記上層
が前記下層のガラスの軟化点より平均100℃低い軟化
点を有するガラスであって、このガラスの軟化点より5
0℃〜100℃高い温度で焼成して誘電体ガラス層を設
けることにより、低い放電電圧で高輝度でしかも画像の
ぼけが少なく、又、アドレッシングや耐久性における信
頼性が高いプラズマディスプレイパネルが得られる。As described above, according to the plasma display panel of the present invention, the first electrode and the first electrode
In a plasma display panel in which a front cover plate having a dielectric glass layer covering the electrodes of the first electrode and a back plate having the second electrodes and the phosphor layer are opposed to each other. The body layer includes a lower layer in contact with the first electrode and an upper layer not in contact with the first electrode 2
A glass layer having a layered structure, wherein the lower layer has an average particle diameter of 0.1.
A glass having a softening point of, on average, 100 ° C. lower than the softening point of the glass of the lower layer by using glass powder having a particle size of μm to 1.5 μm and firing at a temperature within 20 ° C. from the softening point of the glass. Which is 5 from the softening point of this glass.
By providing a dielectric glass layer by firing at a high temperature of 0 ° C to 100 ° C, a plasma display panel with high discharge at a low discharge voltage and less blurring of the image, and high reliability in addressing and durability can be obtained. To be
【0096】また、前記バックプレートが、第2の電極
を覆う第2の誘電体ガラス層を配してなるものである場
合に、前記第2の電極上には第1電極下層と同じガラス
粉末を用いた誘電体ガラス中にTiO2を添加することに
より、真空紫外光により発光した可視光が効率良く反射
され、さらに、信頼性と輝度の向上を図ることが出来
る。When the back plate has a second dielectric glass layer covering the second electrode, the same glass powder as the lower layer of the first electrode is formed on the second electrode. By adding TiO2 to the dielectric glass using, the visible light emitted by the vacuum ultraviolet light is efficiently reflected, and the reliability and brightness can be improved.
【図1】本発明の実施の形態におけるプラズマディスプ
レイパネルの要部斜視図FIG. 1 is a perspective view of a main part of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施の形態におけるプラズマディスプ
レイパネルの要部斜視図FIG. 2 is a perspective view of a main part of the plasma display panel according to the embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施の形態におけるプラズマディスプ
レイパネルを製造する際に用いるCVD装置の概略図FIG. 3 is a schematic view of a CVD apparatus used when manufacturing the plasma display panel in the embodiment of the present invention.
【図4】従来の交流型のプラズマディスプレイパネルの
要部斜視図FIG. 4 is a perspective view of a main part of a conventional AC type plasma display panel.
【図5】蛍光体層18を形成する際に用いるインキ塗布
装置70の概略構成図FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an ink application device 70 used when forming a phosphor layer 18.
10 前面パネル 11 前面ガラス基板 12 放電電極(表示電極) 12a 透明電極(ITO,SnO2) 12b バス電極(Ag,Cr/Cu/Cr) 13 誘電体ガラス層 13a 誘電体ガラス下層(高軟化点ガラス) 13b 誘電体ガラス上層(低軟化点ガラス) 14 保護膜(MgO) 15 隔壁 16 蛍光体 17 誘電体ガラス層 18 アドレス電極 19 背面ガラス基板 20 背面パネル 30 放電空間 40 CVD装置 41a アルゴンガスボンベ 41b アルゴンガスボンベ 42 気化器 43 気化器 44 酸素ガスボンベ 45 CVD装置本体 46 基板加熱ヒータ 47 誘電体ガラス層が形成された前面ガラス基板 48 高周波電源 49 排気装置 70 インキ塗布装置 71 サーバ 72 加圧ポンプ 73 ヘッダ(ノズル部) 74 インキ流 10 Front panel 11 Front glass substrate 12 Discharge electrode (display electrode) 12a Transparent electrode (ITO, SnO2) 12b Bus electrode (Ag, Cr / Cu / Cr) 13 Dielectric glass layer 13a Lower layer of dielectric glass (high softening point glass) 13b Dielectric glass upper layer (low softening point glass) 14 Protective film (MgO) 15 partitions 16 Phosphor 17 Dielectric glass layer 18 address electrodes 19 Rear glass substrate 20 back panel 30 discharge space 40 CVD equipment 41a Argon gas cylinder 41b Argon gas cylinder 42 Vaporizer 43 Vaporizer 44 oxygen gas cylinder 45 CVD equipment main body 46 Substrate heating heater 47 Front glass substrate on which a dielectric glass layer is formed 48 high frequency power supply 49 Exhaust device 70 Ink coating device 71 server 72 Pressurizing pump 73 Header (nozzle part) 74 ink flow
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G062 AA08 AA09 BB04 BB07 DA01 DA03 DA04 DB01 DB02 DB03 DC04 DD01 DE01 DE05 DE06 DF01 DF05 DF06 EA01 EA10 EB01 EC01 ED01 EE01 EE02 EE03 EF01 EG01 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FG03 FG04 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM06 MM25 NN26 NN29 PP04 5C027 AA06 AA10 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GD02 GD07 GD09 JA02 JA12 JA22 KA08 KB02 KB03 KB09 KB28 MA02 MA03 MA05 MA17 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F-term (reference) 4G062 AA08 AA09 BB04 BB07 DA01 DA03 DA04 DB01 DB02 DB03 DC04 DD01 DE01 DE05 DE06 DF01 DF05 DF06 EA01 EA10 EB01 EC01 ED01 EE01 EE02 EE03 EF01 EG01 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FG03 FG04 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM06 MM25 NN26 NN29 PP04 5C027 AA06 AA10 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GD02 GD07 GD09 JA02 JA12 JA22 KA08 KB02 KB03 KB09 KB28 MA02 MA03 MA05 MA17
Claims (11)
及び誘電体ガラス層が形成された前面ガラス基板と、第
2の電極が形成された背面ガラス基板とを有するプラズ
マディスプレイパネルの製造方法であって、 軟化点が600℃以下、平均粒径0.1μm〜1.5μ
mのガラス粉末を含むペーストを前記前面ガラス基板上
に形成された第1の電極上にダイコート法またはスクリ
ーン印刷法で塗布後、焼成して誘電体ガラス層の下層を
形成する工程と、 前記下層の誘電体ガラスの軟化点より平均100℃低い
軟化点を有するガラス粉末を含むペーストを、ダイコー
ト法またはスクリーン印刷法にて前記下層上に塗布し、
当該ガラス粉末の軟化点より50〜100℃高い温度で
焼成して誘電体ガラス層の上層を形成する工程とを含む
プラズマディスプレイパネルの製造方法。1. A method of manufacturing a plasma display panel having a front glass substrate having a transparent electrode, a first electrode composed of a bus electrode and a dielectric glass layer formed thereon, and a back glass substrate having a second electrode formed thereon. And has a softening point of 600 ° C. or lower and an average particle diameter of 0.1 μm to 1.5 μm.
m, a paste containing glass powder is applied on the first electrode formed on the front glass substrate by a die coating method or a screen printing method, and then baked to form a lower layer of the dielectric glass layer; A paste containing glass powder having a softening point lower than the softening point of the dielectric glass by 100 ° C. on average is applied onto the lower layer by a die coating method or a screen printing method,
And a step of forming an upper layer of the dielectric glass layer by firing at a temperature 50 to 100 ° C. higher than the softening point of the glass powder.
傍のみに形成することを特徴とする請求項1記載のプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。2. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein an upper layer of the dielectric glass layer is formed only near the bus electrodes.
るガラス粉末を用い、平均粒子径0.1μm〜0.5μ
mの酸化チタンTiO2を添加したペーストを、前記背面
ガラス基板上に形成された第2の電極上に塗布して焼成
する工程を含む請求項1または2記載のプラズマディス
プレイパネルの製造方法。3. A glass powder having the same particle size and particle size distribution as the lower layer is used, and the average particle size is 0.1 μm to 0.5 μm.
3. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, further comprising a step of applying a paste containing titanium oxide TiO 2 of m on a second electrode formed on the rear glass substrate and baking the paste.
径0.1μm〜1.5μmで、その最大粒径が平均粒径
の3倍以内の粒度分布を有することを特徴とする請求項
1〜3いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
製造方法。4. The glass powder used in the lower layer has an average particle size of 0.1 μm to 1.5 μm, and the maximum particle size has a particle size distribution within 3 times the average particle size. 3. A method for manufacturing a plasma display panel according to any one of 3 to 3.
その軟化点から20℃以内の温度で焼成することを特徴
とする請求項4記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。5. The dielectric glass coated on the lower layer,
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 4, wherein the firing is performed at a temperature within 20 ° C. from the softening point.
575℃であることを特徴とする請求項5記載のプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。6. The softening point of the lower dielectric glass is 500 to
The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 5, wherein the temperature is 575 ° C.
ラスを、540〜580℃で焼成することを特徴とする
請求項3記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。7. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 3, wherein the dielectric glass coated on the second electrode is fired at 540 to 580 ° C.
が550℃〜575℃で、その組成が、酸化鉛45重量
%〜65重量%,酸化硼素10重量%〜30重量%,酸
化硅素10重量%〜30重量%,酸化マグネシウム1重
量%〜10重量%,酸化アルミニウム0重量%〜3重量
%から成るガラスであることを特徴とする請求項1また
は7いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。8. The lower glass which is in contact with the first electrode has a softening point of 550 ° C. to 575 ° C., and its composition is 45% by weight to 65% by weight of lead oxide, 10% by weight to 30% by weight of boron oxide, and silicon oxide. 8. The plasma display panel according to claim 1, wherein the glass is composed of 10% by weight to 30% by weight, magnesium oxide 1% by weight to 10% by weight, and aluminum oxide 0% by weight to 3% by weight. Manufacturing method.
が540℃〜570℃で、その組成が酸化亜鉛44重量
%〜60重量%,酸化硼素19重量%〜30重量%,酸
化硅素1重量%〜10.5重量%,酸化アルミニウム1
重量%〜10重量%,酸化カルシウム4重量%〜10重
量%から成る酸化亜鉛系ガラスであることを特徴とする
請求項1または7いずれかに記載のプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。9. The lower glass in contact with the first electrode has a softening point of 540 ° C. to 570 ° C., and its composition is 44% by weight to 60% by weight of zinc oxide, 19% by weight to 30% by weight of boron oxide, and 1% of silicon oxide. Wt% to 10.5 wt%, aluminum oxide 1
8. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the glass is a zinc oxide-based glass composed of 10% by weight to 10% by weight and 4% to 10% by weight of calcium oxide.
点が540℃〜570℃で、その組成が酸化亜鉛44重
量%〜60重量%,酸化硼素19重量%〜30重量%,
酸化ニオブ9重量%〜19重量%,酸化カルシウム0重
量%〜5重量%から成る酸化亜鉛系ガラスであることを
特徴とする請求項8から9いずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。10. The lower glass which is in contact with the first electrode has a softening point of 540 ° C. to 570 ° C., and its composition is 44% by weight to 60% by weight of zinc oxide, 19% by weight to 30% by weight of boron oxide,
10. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 8, wherein the zinc oxide glass is composed of 9 wt% to 19 wt% of niobium oxide and 0 wt% to 5 wt% of calcium oxide.
化鉛−酸化硼素−酸化硅素−酸化カルシウムから成る酸
化鉛系ガラスまたは、酸化燐−酸化亜鉛−酸化アルミニ
ウム−酸化カルシウムから成る酸化燐系ガラス、または
酸化ビスマス−酸化亜鉛−酸化硼素−酸化硅素−酸化カ
ルシウムから成る酸化ビスマス系ガラスのうちのいづれ
か一種であることを特徴とする請求項8から9いずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。11. A lead oxide glass composed of lead oxide-boron oxide-silicon oxide-calcium oxide or a phosphorus oxide composed of phosphorus oxide-zinc oxide-aluminum oxide-calcium oxide, wherein the composition of the upper glass on the first electrode is. 10. The plasma display panel according to claim 8, wherein the plasma display panel is any one of a bismuth oxide-based glass composed of bismuth oxide-zinc oxide-boron oxide-silicon oxide-calcium oxide. Production method.
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JP2007331999A (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Dielectric material for plasma display panel |
-
2002
- 2002-05-29 JP JP2002155347A patent/JP2003045322A/en active Pending
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US8231422B2 (en) | 2006-05-15 | 2012-07-31 | Hitachi, Ltd. | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
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