JP2003035737A - プリント回路基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安価な構成で高精度の検査データを検出する
ことができ、且つ汎用性のあるプリント回路基板検査装
置を提供する。 【解決手段】 プリント回路基板検査装置１は、インタ
ーポーザー基板Ａを載置して裏面から電気信号を印加す
る電気信号入力回路６と、電気信号入力回路６を所定量
ずつ移動させる移動機構７と、インターポーザー基板Ａ
の表面の電位分布を検出するセンサ１５とを備えてい
る。センサ１５の内部には、端部に電極が形成されたセ
ンサ用回路が、インターポーザー基板Ａに対して垂直且
つ電気信号入力回路６の移動方向に対して斜めに配設さ
れている。よって、インターポーザー基板Ａが所定量ず
つ移動していくごとに裏面から電気信号が印加され、表
面の電位分布をセンサ用回路が検出する。プリント回路
基板検査装置１は、インターポーザー基板Ａの高精度の
検査データを検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路基板
検査装置に関するものであり、特に、安価な構成で汎用
性のあるプリント回路基板検査装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント回路基板の完成品検査で
は、配線設計された通りに製作されているかを試験する
ための導通検査が行われている。具体的には、プリント
回路基板の回路パターンの電極に検査用のコンタクトピ
ンを接続して電圧を印加し、電流が正常に流れているか
を測定して検査するものである。また、生産量の多いプ
リント回路基板に関しては、プリント回路基板の規格に
合わせた専用のコンタクトピン治具を作成することによ
り、検査作業に要する労力の削減と検査時間の短縮とが
図られている。

【０００３】一方、電子機器は急速な高性能化に伴っ
て、情報技術産業など広範囲な分野での利用が進んでい
る。特に、携帯型のノートパソコン、携帯情報端末、及
び携帯電話等の普及により、電子機器の小型化・軽量化
が進む傾向にある。このため、電子回路の中核であるプ
リント回路基板も高性能化・小型化を図るために、多層
化されたプリント回路基板が開発され、回路パターンも
高密度なものになっている。

【０００４】このため、高密度化されたプリント回路基
板の導通検査を行うために、例えば、特開平８−２７８
３４２号に開示された非接触の検査方式が提案されてい
る。これは、絶縁性回路基板の一面に、検査対象プリン
ト回路基板に電磁波を印加するスティミュレータと、検
査対象プリント回路基板に生じる電気的変化を検出する
センサとを備え、検査対象プリント回路基板とは電気的
に非接触の状態で導通検査を行うものである。この方式
では、複数のセンサが一列に設置されたセンサ配列にな
っており、検査対象プリント回路基板と相対的に移動し
て電気的変化を検出する。これによれば、検出されるデ
ータを、良品のプリント回路基板のデータと比較するこ
とにより、検査対象プリント回路基板の良否を判断する
ことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、高密度化され
たプリント回路基板は電極と電極との間隔が狭くなって
いるため、電極にコンタクトピンを接続して電流を測定
する検査方法では、誤って隣りの電極に接続してしまう
恐れがあり、検査が困難になっていた。また、専用のコ
ンタクトピン治具を作成する場合においても、コンタク
トピンの加工や密度には限界があり、コストがかかりす
ぎる問題が生じるとともに、高密度化されたプリント回
路基板になるほど充分な検査結果が得られないという問
題が生じていた。

【０００６】また、電極（前記公報ではセンサに相当す
る）を使用して電気的変化を検出する非接触の検査方法
では、より高密度な検査対象プリント回路基板の導通検
査を行うには、詳細なデータを検出するために、電極と
電極との間隔を狭くして電極の数を増やす必要があっ
た。しかし、電極が一列に設置された電極配列では、間
隔を狭くして電極を設置すると配線が複雑になる恐れが
あった。言い替えれば、電極の設置には間隔を保つ必要
があり、この間隔をさらに狭くして電極を設置するのは
難しく、一定の範囲内に設置できる電極の数には限界が
あった。このため、電極が一列に設置された電極配列で
は設置される電極の数が制限され、より高密度化された
プリント回路基板には対応できなかった。

【０００７】そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、配
線が複雑にならない電極配列で高精度のデータを検出す
ることができ、且つ多種類の検査対象プリント回路基板
に対応することができるプリント回路基板検査装置の提
供を課題とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明にかかる
プリント回路基板検査装置は、検査対象プリント回路基
板に平行なＸＹ平面上に配設された電極群を有する非接
触センサを備え、前記検査対象プリント回路基板の一方
の面に電気信号が加えられた際に、前記検査対象プリン
ト回路基板の他方の面の電位分布を、前記電極群を介し
て検出するプリント回路基板検査装置であって、前記電
極群は、Ｘ座標が第一所定間隔で大きくなり、且つＹ座
標が第二所定間隔で大きくなるように、斜め直線上に配
置された複数の電極からなる電極列を有するとともに、
該電極列をＸ軸方向に複数並設して構成され、前記検査
対象プリント回路基板を前記非接触センサに対してＹ軸
方向に相対的に移動させる移動手段と、前記検査対象プ
リント回路基板を前記移動手段によって所定量移動させ
る毎に、複数の前記電極を走査し、前記検査対象プリン
ト回路基板の電位分布を取得する分布取得手段とを具備
するものである。

【０００９】したがって、請求項１の発明のプリント回
路基板検査装置によれば、検査対象プリント回路基板を
検査する場合には、移動手段によって検査対象プリント
回路基板を非接触センサに対して相対的に移動させる。
検査対象プリント回路基板がＹ軸方向に所定量移動する
ごとに、検査対象プリント回路基板の一方の面に電気信
号が印加される。プリント回路基板検査装置は非接触セ
ンサに備えた電極群を走査して、検査対象プリント回路
基板の他方の面の電位分布を取得する。電位分布を検出
する電極群は、斜め直線上に複数の電極を配置した電極
列をＸ軸方向に並設した構成のため、Ｘ軸方向に隣接す
る電極同士の間隔、すなわち並設される電極列同士の間
隔を比較的広くしても電位分布を高精度に取得すること
が可能になる。

【００１０】請求項２の発明にかかるプリント回路基板
検査装置は、請求項１に記載のプリント回路基板検査装
置において、前記電極列が、一枚のセンサ用プリント回
路基板の端部に形成され、前記電極群は、前記ＸＹ平面
に対して垂直に且つ前記Ｙ軸に対して斜めに並設された
複数枚の前記センサ用プリント回路基板から構成されて
いるものである。

【００１１】したがって、請求項２の発明のプリント回
路基板検査装置によれば、請求項１の発明の作用に加
え、電極列は端部に複数の電極を形成したセンサ用プリ
ント回路基板から成り、電極群はセンサ用プリント回路
基板をＸＹ平面に対して垂直に、且つＹ軸に対して斜め
に複数枚並設したものであることから、センサ用プリン
ト回路基板の傾斜角度、及びセンサ用プリント回路基板
の設置間隔を変更することにより、電極の間隔が設定で
きる。

【００１２】請求項３の発明にかかるプリント回路基板
検査装置は、請求項２に記載のプリント回路基板検査装
置において、前記センサ用プリント回路基板に形成され
た前記電極は、先細形状に形成され、前記センサ用プリ
ント回路基板の端面とともに研磨可能な材料から作られ
ているものである。

【００１３】したがって、請求項３の発明のプリント回
路基板検査装置によれば、請求項２の発明の作用に加
え、電極の幅を変更したい場合は、センサ用プリント回
路基板の端面とともに電極を研磨すると、電極の幅が広
くなる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態である
プリント回路基板検査装置１について、図１乃至図７に
基づいて説明する。図１はプリント回路基板検査装置１
の構成を示す説明図であり、図２はプリント回路基板検
査装置１の電気信号入力回路６の周辺の構成を示す説明
図である。図３（ａ）はプリント回路基板検査装置１の
センサ１５の内部構成を示す説明図であり、図３（ｂ）
はセンサ１５内のセンサ用回路２８の端部の拡大図であ
る。図４はプリント回路基板検査装置１の電極２６の配
置を示す説明図であり、図５はプリント回路基板検査装
置１の機能的構成を示すブロック図である。図６はプリ
ント回路基板検査装置１の処理の流れを示すフローチャ
ートであり、図７はコンピュータ２の処理の流れを示す
フローチャートである。

【００１５】プリント回路基板検査装置１は、プリント
回路基板、特にＣＳＰ／ＢＧＡ等のインターポーザー基
板の検査をするための装置であり、図１に示すように、
検査データの処理を行うコンピュータ２が接続されてい
る。なお、インターポーザー基板は一般的に表面（半導
体チップ等の接続面）、及び裏面（マザー基板への実装
面）の電極がスルーホールで接続され、表面の高密度な
回路パターンから裏面の粗密度な回路パターンへの配置
変換、又は電極間のピッチ変換を目的とした基板であ
る。プリント回路基板検査装置１は主な構成として、イ
ンターポーザー基板Ａの裏面から電気信号を入力する電
気信号入力装置３、及びインターポーザー基板Ａの表面
の電位分布を検出するセンサユニット４を備えている。

【００１６】電気信号入力装置３は、略直方体の形状を
成すケース本体５と、インターポーザー基板Ａを載置し
て裏面から電気信号を入力する電気信号入力回路６と、
ケース本体５の上面において電気信号入力回路６を摺動
させる移動機構７とから構成されている。ケース本体５
の上板は、略長方形の二つの開口５ａを平行に有してお
り、二つの開口５ａによって形成された橋部５ｂ上を電
気信号入力回路６が移動する。また、移動機構７は、開
口５ａ上に橋設されたリニアスケール８、橋部５ｂ上に
配設され断面がＨ形状を成すリニアレール９、及びケー
ス本体５内に設置されたモータ１０を備えている。モー
タ１０の駆動軸１１に取り付けられたベルト１２が、電
気信号入力回路６の下面に設けられた接続部（図示しな
い）に接続しており、モータ１０が駆動することにより
電気信号入力回路６がリニアレール９に沿って移動す
る。さらに、ケース本体５の上板隅部には、インターポ
ーザー基板Ａの検査処理を開始するための操作スイッチ
１３と、検査処理中に誤ってインターポーザー基板Ａが
外れてしまった場合等に処理を中止するための非常停止
スイッチ１４とが設置されている。

【００１７】センサユニット４は、ケース本体５の上面
に設置されており、インターポーザー基板Ａの表面の電
位分布を検出するセンサ１５と、センサ１５に対して垂
直に設けられ、センサ１５が検出する電位分布を解析し
て出力する分布情報出力回路１６と、センサ１５及び分
布情報出力回路１６をインターポーザー基板Ａの上方に
位置するように支持する支持機構１７とから構成されて
いる。支持機構１７は、ケース本体５の上面に並設され
た二枚の側板１８、二枚の側板１８の上端に架設された
天板１９、及び分布情報出力回路１６が装着される支持
板２０を有している。支持板２０は天板１９の下面に配
設され、センサ１５がインターポーザー基板Ａの上方で
電気信号入力回路６の移動方向に対し、斜めになるよう
に支持されている。

【００１８】図２に示すように、電気信号入力回路６は
下面に脚２１を有しており、リニアスケール８及びリニ
アレール９上を摺動するベース２２の上面に設けられて
いる。リニアスケール８の側面８ａにはガラス面が形成
され、ガラス面に光を発射して反射光を読取る計測用セ
ンサ２３がベース２２の下面に設置されている。なお、
ガラス面は所定量（例えば１μｍ）ごとに光が反射しな
いようになっている。また、ベース２２は、リニアレー
ル９の両側面の凹部を狭持するツメ２４を備えており、
電気信号入力回路６がリニアレール９上を摺動する。

【００１９】また、図３に示すように、センサ１５の内
部には、端部まで電極２６が形成された入力素子２７を
連設したセンサ用回路２８が８枚配設されている。具体
的には、センサ用回路２８の端部には、電極２６及び入
力素子２７を等間隔ｗで４８個連設してあり、合計３８
４個の電極２６がインターポーザー基板Ａの表面の電位
分布を検出する。電極２６はパターンの幅が３段階に形
成されており、センサ用回路２８の端面とともに研磨す
ると、電極２６の幅を広げることが可能である（図３
（ｂ）参照）。また、センサ用回路２８は夫々が等間隔
ｗ’で並設されている。ここで、センサ用回路２８の端
部に連設した４８個の電極２６が本発明の電極列に相当
し、センサ用回路２８を８枚並設して電極２６を３８４
個配置したものが本発明の電極群に相当する。

【００２０】さらに、図４に示すように、センサ用回路
２８はＹ軸方向に対し、所定角度傾斜させて配設されて
いる。なお、図４では、説明の都合上、角度及び数は模
式的に表わしている。このようにすることにより、セン
サ用回路２８の電極２６が、Ｘ軸方向において等間隔ｖ
で配置されることになり、例えば１枚目のセンサ用回路
２８の４８個目の電極と、２枚目のセンサ用回路２８の
１個目の電極とにおいても、Ｘ軸方向において等間隔ｖ
で電極が配置されることになる。したがって、Ｘ軸方向
において３８４個の電極２６全てが、等間隔ｖで切れ目
なく配置されることになる。なお、丸印は電極２６の配
置を示すためのものであり、電極２６の形状に一致する
ものではない。

【００２１】また、図５に示すように、プリント回路基
板検査装置１は、機能的構成として、検査処理を実行さ
せるための主制御手段３０を備えている。主制御手段３
０は、計測用センサ２３により電気信号入力回路６の移
動量を読取る移動量検出手段３１と、検出した移動量を
認識して電気信号を出力する電気信号出力手段３２とを
備えている。電気信号出力手段３２のタイミングで電気
信号入力回路６から出力される電気信号は、インターポ
ーザー基板Ａに印加される。また、主制御手段３０は、
電気信号出力手段３２が電気信号を出力したことを認識
し、インターポーザー基板Ａの電位分布を、センサ１５
により検出する電位分布取得手段３３を備えている。電
位分布取得手段３３により取得された電位分布情報は、
電位分布情報出力手段３４により、プリント回路基板検
査装置１に接続されたコンピュータ２に出力される。

【００２２】コンピュータ２は汎用のコンピュータであ
り、プリント回路基板検査装置１の検査データに基づい
てインターポーザー基板Ａの導通状態を示す画像データ
を作成し、作成した画像データを比較してインターポー
ザー基板Ａの良否を判断するものである。ハード構成と
して、主記憶装置、演算装置、及び制御装置から構成さ
れる中央処理装置（図示しない）と、キーボードやマウ
ス等、情報を直接入力するための入力装置（図示しな
い）と、ディスプレイ３５に画像データを表示させる表
示制御手段３６とを備えている。

【００２３】また、コンピュータ２は、記憶手段とし
て、検査データに基づいて作成した画像データを記憶す
る画像データ記憶手段３７、及び画像データを比較する
際に基準となるデータが記憶される基準データ記憶手段
３８を備えている。さらに、機能的構成として、電位分
布情報出力手段３４が出力した電位分布情報を認識する
電位分布情報認識手段３９と、電位分布情報から画像デ
ータを作成する画像データ作成手段４０と、画像データ
を合成して導通状態を示す画像を作成する画像データ合
成手段４１とを備えている。画像データ作成手段４０に
よって作成された画像データは、画像データ記憶手段３
７に記憶される。また、画像データ合成手段４１によっ
て作成された画像は、表示制御手段３６によりディスプ
レイ３５に表示される。

【００２４】さらに、コンピュータ２は、比較・判定手
段４２を有しており、画像データ合成手段４１によって
作成された画像と、予め基準データ記憶手段３８に記憶
されていた画像とを比較して、画像が一致するかどうか
を判定する。画像が一致する場合は、そのままディスプ
レイ３５に画像が表示され、画像が一致しない場合は、
画像とともにエラー情報が表示される。

【００２５】次に、プリント回路基板検査装置１の動
作、及びコンピュータ２の処理について、図６並びに図
７に基づき説明する。

【００２６】プリント回路基板検査装置１において、イ
ンターポーザー基板Ａの検査を行う場合は、電気信号出
力回路６の所定の位置にインターポーザー基板Ａを載置
し、操作スイッチ１３を操作して検査処理を開始する。
検査処理の開始が指示されるとモータ１０が駆動して、
電気信号出力回路６はリニアレール９に沿って移動を開
始する。

【００２７】移動量検出手段３１により、電気信号入力
回路６が所定距離移動したことを判断すると（ステップ
Ｓ１においてＹＥＳ）、電気信号出力手段３２により電
気信号入力回路６からインターポーザー基板Ａの基板側
第一電極（複数の電極のうち任意の電極）に電気信号を
印加する（ステップＳ２）。インターポーザー基板Ａが
配線設計された通りに製作されている場合は、基板側第
一電極とスルーホールで接続された表面の基板側電極に
電気信号が導通する。

【００２８】よって、電位分布取得手段３３により、セ
ンサ１５の電極２６を走査してインターポーザー基板Ａ
の表面の電位分布を検出する。センサ１５がインターポ
ーザー基板Ａの電位分布を取得すると（ステップＳ３に
おいてＹＥＳ）、電位分布情報出力手段３４は電位分布
情報をコンピュータ２に出力する（ステップＳ４）。イ
ンターポーザー基板Ａの基板側第一電極の導通検査が終
了すると、次に基板側第二電極に電気信号を印加して電
位分布を検出する。このように、インターポーザー基板
Ａの全ての基板側電極に電気信号を印加して電位分布を
取得する。

【００２９】全ての基板側電極に電気信号を印加して電
位分布を取得するまで（ステップＳ５においてＮＯ）、
ステップＳ２乃至ステップＳ４の処理を繰返す。非常停
止スイッチ１４が押されていなければ（ステップＳ６に
おいてＮＯ）、電気信号入力回路６は所定量移動する毎
に同様の検査処理を行い、電位分布を取得する。なお、
電気信号出力手段３２によりインターポーザー基板Ａの
一つの基板側電極に電気信号が印加される時間は僅か２
μ秒のため、インターポーザー基板Ａの検査処理は時間
を要するものではなく、電気信号出力回路６がセンサ１
５の下面に沿って移動する間に検査処理は終了する。ま
た、インターポーザー基板Ａが検査処理中に誤って外れ
てしまい、非常停止スイッチ１４による非常停止指示を
認識した場合は（ステップＳ６においてＹＥＳ）、直ち
に検査処理を終了する。

【００３０】コンピュータ２では、電位分布情報認識手
段３９が電位分布情報出力手段３４から出力された電位
分布情報を認識すると（ステップＴ１においてＹＥ
Ｓ）、画像データ作成手段４０が電位分布情報から画像
データを作成する（ステップＴ２）。作成された画像デ
ータは、画像データ記憶手段３７に記憶される（ステッ
プＴ３）。また、画像データは認識する電位分布情報に
基づいて、全ての基板側電極に対して所定量ごとに作成
されていくため、全ての画像データが認識されるまで
（ステップＴ４においてＮＯ）、ステップＴ１乃至ステ
ップＴ３の処理を繰り返す。そして、全ての画像データ
が揃ったことを認識すると（ステップＴ４においてＹＥ
Ｓ）、画像データ合成手段４１が画像データを合成して
インターポーザー基板Ａの導通状態を示す画像を作成す
る（ステップＴ５）。

【００３１】また、作成された画像データは、比較・判
定手段４２により予め基準データ記憶手段３８に記憶さ
れている基準データと比較される。画像データを比較し
た結果、画像データが一致する場合は（ステップＴ６に
おいてＹＥＳ）、表示制御手段３６によりディスプレイ
３５に画像が表示される（ステップＴ８）。画像データ
が一致しない場合は（ステップＴ６においてＮＯ）、エ
ラーメッセージを表示するとともに（ステップＴ７）、
ディスプレイ３５に画像が表示される。

【００３２】よって、画像データを比較して良否を判定
し、画像で視覚的に確認することにより、インターポー
ザー基板Ａの導通状態を正確に把握することが可能であ
る。また、良否を判定して終了指示を認識した場合は
（ステップＴ９においてＹＥＳ）、インターポーザー基
板Ａの検査処理を終了する。引き続き次の検査対象プリ
ント回路基板の検査を行う場合は（ステップＴ９におい
てＮＯ）、ステップＴ１乃至ステップＴ８の処理を繰返
して検査処理を行う。

【００３３】このように、上記実施形態では、インター
ポーザー基板Ａの電位分布を取得するセンサ１５を、端
部に入力素子２７の電極２６が形成されたセンサ用回路
２８をＹ軸に対して傾斜させ、Ｘ軸方向に並設して作成
することにより、Ｘ軸方向に隣接する電極２６同士の間
隔、すなわちセンサ用回路２８同士の間隔を比較的広く
しても、センサ用回路２８における隣り合う電極２６同
士のＸ軸方向における間隔は狭く形成することができ、
インターポーザー基板Ａを所定量ずつ移動させることに
より、電位分布を高精度に取得することができる。ま
た、コンピュータ２で電位分布情報から画像データを作
成すると、画像データを比較して良否を判定することが
できるとともに、導通状態を視覚的に確認することが可
能である。

【００３４】以上、本発明について好適な実施形態を挙
げて説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるも
のではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能で
ある。

【００３５】すなわち、上記実施形態では、センサ１５
の内部にセンサ用回路２８を８枚並設したものを示した
が、センサ用回路２８を取り外し式にして、センサ１５
の内部に設置するセンサ用回路２８の枚数を変更できる
ようにしてもよい。

【００３６】また、上記実施形態では、センサ１５の内
部にセンサ用回路２８をＹ軸に対して傾斜させて設置し
たものを示したが、センサ１５内にセンサ用回路２８の
傾斜角度を調節する機能を加えてもよい。このようにす
ると、センサ用回路２８の傾斜角度を調節することによ
り、電極と電極との間隔が調節できるので、検査対象プ
リント回路基板に合わせて角度を調節して高精度なデー
タを検出することができる。

【００３７】さらに、上記実施形態では、コンピュータ
２によって電位分布情報から画像データを作成し、画像
データを比較して良否の判定を行なうものを示したが、
プリント回路基板検査装置１に判定機能を備えるように
してもよい。

【００３８】また、上記実施形態では、インターポーザ
ー基板Ａを載置した電気信号入力回路６側を移動させて
電位分布を取得するものを示したが、センサ１５側を移
動させて電位分布を取得するようにしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明のプリン
ト回路基板検査装置は、電極を斜め直線上に配置したこ
とから、電極をＸ軸方向に一列に配置した電極列に比べ
て、Ｘ軸方向に隣接する電極と電極との間隔、すなわち
並設される電極列と電極列との間隔が確保できるため、
同じ数の電極を配置する場合に、配線が複雑になるのを
防ぐことができる。さらに、この電極列をＸ軸方向に複
数並設して電極群を構成するため、Ｘ軸方向には制限な
く電極列を増やすことができる。このため、サイズが異
なる検査対象プリント回路基板の導通検査に対応するこ
とができる。

【００４０】請求項２の発明のプリント回路基板検査装
置は、請求項１に記載の発明の効果に加えて、センサ用
プリント回路基板は端部に電極を形成したものであるた
め、容易に製作することができ、製作にかかる手間及び
コストを削減することができる。また、電極列すなわち
センサ用プリント回路基板ごとに取り扱うことができる
ので、電極が故障した場合等は、故障した電極があるセ
ンサ用プリント回路基板だけを修理するか、又は取り換
えることができ使い勝手を向上できる。

【００４１】請求項３の発明のプリント回路基板検査装
置は、請求項２に記載の発明の効果に加えて、センサ用
プリント回路基板の端面とともに電極を研磨すると、電
極の幅が広くなり電極の感度を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の構成を示す説明図である。

【図２】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の電気信号入力回路の周辺の構成を示す説明図で
ある。

【図３】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の（ａ）センサの内部構成を示す説明図であり、
（ｂ）センサ内のセンサ用回路の端部の拡大図である。

【図４】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の電極の配置を示す説明図である。

【図５】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の機能的構成を示すブロック図である。

【図６】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置の処理の流れを示すフローチャートである。

【図７】本発明の一実施形態であるプリント回路基板検
査装置に接続されるコンピュータの処理の流れを示すフ
ローチャートである。

【符号の説明】

１ プリント回路基板検査装置 ７ 移動機構（移動手段） １５ センサ ２６ 電極 ２８ センサ用回路（センサ用プリント回路基板） ３３ 電位分布取得手段（分布取得手段） Ａ インターポーザー基板（検査対象プリント回路基
板）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象プリント回路基板に平行なＸＹ
   平面上に配設された電極群を有する非接触センサを備
   え、前記検査対象プリント回路基板の一方の面に電気信
   号が加えられた際に、前記検査対象プリント回路基板の
   他方の面の電位分布を、前記電極群を介して検出するプ
   リント回路基板検査装置であって、 前記電極群は、Ｘ座標が第一所定間隔で大きくなり、且
   つＹ座標が第二所定間隔で大きくなるように、斜め直線
   上に配置された複数の電極からなる電極列を有するとと
   もに、該電極列をＸ軸方向に複数並設して構成され、 前記検査対象プリント回路基板を前記非接触センサに対
   してＹ軸方向に相対的に移動させる移動手段と、 前記検査対象プリント回路基板を前記移動手段によって
   所定量移動させる毎に、複数の前記電極を走査し、前記
   検査対象プリント回路基板の電位分布を取得する分布取
   得手段とを具備することを特徴とするプリント回路基板
   検査装置。
2. 【請求項２】 前記電極列が、一枚のセンサ用プリント
   回路基板の端部に形成され、 前記電極群は、前記ＸＹ平面に対して垂直に且つ前記Ｙ
   軸に対して斜めに並設された複数枚の前記センサ用プリ
   ント回路基板から構成されていることを特徴とする請求
   項１に記載のプリント回路基板検査装置。
3. 【請求項３】 前記センサ用プリント回路基板に形成さ
   れた前記電極は、先細形状に形成され、前記センサ用プ
   リント回路基板の端面とともに研磨可能な材料から作ら
   れていることを特徴とする請求項２に記載のプリント回
   路基板検査装置。